KR101688596B1 - 반도체 제조용 챔버의 도어 장치 - Google Patents

반도체 제조용 챔버의 도어 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명의 기술적 사상은 챔버의 전면에 설치되어, 챔버의 출입구를 개방하거나 폐쇄하는 도어 장치로서, 도어 프레임, 개방 위치에서 앞뒤로 정렬되고 폐쇄 위치에서 상하로 밀착되어 정렬되는 제1 도어와 제2 도어를 포함하고, 상기 도어 프레임에 슬라이딩 가능하게 설치되는 도어부, 상기 제1 도어를 상기 제1 도어의 개방 위치와 제1 위치 사이에서 수직 이동시키는 구동부, 상기 제1 도어를 상기 제1 위치와 상기 제1 도어의 폐쇄 위치 사이에서 이동시키는 제1 구동 실린더부, 상기 도어 프레임에 설치되며, 상기 제2 도어를 제2 위치에 정지시키는 정지 블록, 및 상기 제2 도어를 상기 제2 위치와 상기 제2 도어의 폐쇄 위치 사이에서 이동시키는 제2 구동 실린더부를 포함하며, 상기 제2 도어는 상기 제1 도어에 의하여 지지되어 상기 제2 도어의 개방 위치와 제2 위치 사이에서 수직 이동하는 것을 특징으로 하는 도어 장치를 제공한다.

Description

반도체 제조용 챔버의 도어 장치 {Door apparatus for semiconductor manufacturing chamber}
본 발명의 기술적 사상은 반도체 제조용 챔버의 출입구를 개폐하는 도어 장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 제조용 챔버는 반도체 디바이스 등이 반출입되는 출입구를 가지며, 상기 챔버 내에서 반도체 제조 공정이 진행되는 동안 상기 챔버의 출입구는 폐쇄되어야 한다. 다만, 종래 셔터(shutter) 타입의 도어 구조는 폐쇄 상태에서 밀폐력이 부족하여 챔버 내에서 진행되는 반도체 제조 공정이 외부의 영향을 받는 문제가 있었다.
본 발명의 기술적 사상이 해결하고자 하는 과제는 폐쇄 상태에서 도어의 밀폐력을 향상시킬 수 있는 도어 장치를 제공하는데 있다.
또한, 본 발명의 기술적 사상이 해결하고자 하는 또 다른 과제는 복수개로 이루어진 도어들을 이용하여 도어 장치의 전제척인 높이를 낮춘 도어 장치를 제공하는데 있다.
상술한 과제를 해결하기 위하여, 본 발명의 기술적 사상은 챔버의 전면에 설치되어, 챔버의 출입구를 개방하거나 폐쇄하는 도어 장치로서, 도어 프레임, 개방 위치에서 앞뒤로 정렬되고 폐쇄 위치에서 상하로 밀착되어 정렬되는 제1 도어와 제2 도어를 포함하고, 상기 도어 프레임에 슬라이딩 가능하게 설치되는 도어부, 상기 제1 도어를 상기 제1 도어의 개방 위치와 제1 위치 사이에서 수직 이동시키는 구동부, 상기 제1 도어를 상기 제1 위치와 상기 제1 도어의 폐쇄 위치 사이에서 이동시키는 제1 구동 실린더부, 상기 도어 프레임에 설치되며, 상기 제2 도어를 제2 위치에 정지시키는 정지 블록, 및 상기 제2 도어를 상기 제2 위치와 상기 제2 도어의 폐쇄 위치 사이에서 이동시키는 제2 구동 실린더부를 포함하며, 상기 제2 도어는 상기 제1 도어에 의하여 지지되어 상기 제2 도어의 개방 위치와 제2 위치 사이에서 수직 이동하는 것을 특징으로 하는 도어 장치를 제공한다.
본 발명의 기술적 사상의 일 실시예에 있어서, 상기 제1 구동 실린더부는, 상기 도어 프레임에 고정되고, 이동 가능하게 설치된 제1 실린더 로드를 구비한 제1 실린더 몸체, 상기 제1 실린더 로드의 일단과 연결된 제1 지지판, 상기 제1 지지판에 결합되며, 상기 제1 도어가 상기 제1 위치와 상기 제1 도어의 폐쇄 위치 사이에서 이동하는 동안 상기 제1 도어의 가장자리를 지지하는 제1 이동 가이드 레일을 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 기술적 사상의 일 실시예에 있어서, 상기 도어 프레임에 설치되어, 상기 제1 도어의 개방 위치와 상기 제1 위치 사이에서 상기 제1 도어를 안내하는 고정 가이드 레일을 더 포함하며, 상기 제1 도어가 상기 구동부에 의하여 상기 제1 도어의 개방 위치와 상기 제1 위치 사이에서 이동하는 동안, 상기 고정 가이드 레일과 상기 제1 이동 가이드 레일은 일직선 상에 배치되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 기술적 사상의 일 실시예에 있어서, 상기 제2 구동 실린더부는, 상기 도어 프레임에 고정되고, 이동 가능하게 설치된 제2 실린더 로드를 구비한 제2 실린더 몸체, 상기 제2 실린더 로드의 일단과 연결된 제2 지지판, 상기 제2 지지판에 결합되며, 상기 제2 도어가 상기 제2 위치와 상기 제2 도어의 폐쇄 위치 사이에서 이동하는 동안 상기 제2 도어의 가장자리를 지지하는 제2 이동 가이드 레일을 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 기술적 사상의 일 실시예에 있어서, 전진 상태에서 상기 제2 도어를 상기 제2 도어의 개방 위치에 정지시키고, 후진 상태에서 상기 제2 도어를 상기 제2 도어의 개방 위치로부터 하강하는 것을 허용하는 스토퍼를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 기술적 사상의 일 실시예에 있어서, 상기 제1 도어의 위치 및 상기 제2 도어의 위치를 감지할 수 있는 센싱부를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상술한 과제를 해결하기 위하여, 본 발명의 기술적 사상은 테스트될 반도체 디바이스가 반입 또는 반출되는 출입구를 가지는 챔버, 및 상기 챔버의 전면에 설치되어, 상기 챔버의 출입구를 개방하거나 폐쇄하는 도어 장치를 포함하고, 상기 도어 장치는, 도어 프레임, 개방 위치에서 앞뒤로 정렬되고 폐쇄 위치에서 상하로 밀착되어 정렬되는 제1 도어와 제2 도어를 포함하고, 상기 도어 프레임에 슬라이딩 가능하게 설치되는 도어부, 상기 제1 도어를 상기 제1 도어의 개방 위치와 제1 위치 사이에서 수직 이동시키는 구동부, 상기 제1 도어를 상기 제1 위치와 상기 제1 도어의 폐쇄 위치 사이에서 이동시키는 제1 구동 실린더부, 상기 도어 프레임에 설치되며, 상기 제2 도어를 제2 위치에 정지시키는 정지 블록, 및 상기 제2 도어를 상기 제2 위치와 상기 제2 도어의 폐쇄 위치 사이에서 이동시키는 제2 구동 실린더부를 포함하며, 상기 제2 도어는 상기 제1 도어에 의하여 지지되어 상기 제2 도어의 개방 위치와 제2 위치 사이에서 수직 이동하는 것을 특징으로 하는 반도체 테스트 장치를 제공한다.
본 발명의 기술적 사상에 의한 도어 장치는 복수개의 도어를 포함하고, 상기 복수개의 도어들이 개방 상태에서는 앞뒤로 정렬되고, 폐쇄 상태에서는 위아래로 정렬되어, 폐쇄 시 챔버를 외부와 차단할 수 있으면서, 또한 도어 장치의 전체적인 높이를 낮출 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 개방 상태의 도어 장치를 나타내는 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 폐쇄 상태의 도어 장치를 나타내는 사시도이다.
도 3 내지 도 5는 개방 상태에서 폐쇄 상태로 이행될 때의 도어 장치의 동작을 설명하기 위한 도면들이다.
이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 본 발명의 실시예들은 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위하여 제공되는 것이며, 하기 실시예는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 하기 실시예에 한정되는 것은 아니다. 오히려, 이들 실시예는 본 개시를 더욱 충실하고 완전하게 하고, 통상의 기술자에게 본 발명의 사상을 완전하게 전달하기 위하여 제공되는 것이다.
이하의 설명에서 어떤 구성 요소가 다른 구성 요소에 연결된다고 기술될 때, 이는 다른 구성 요소와 바로 연결될 수도 있지만, 그 사이에 제3의 구성 요소가 개재될 수도 있다. 유사하게, 어떤 구성 요소가 다른 구성 요소의 상부에 존재한다고 기술될 때, 이는 다른 구성 요소의 바로 위에 존재할 수도 있고, 그 사이에 제3의 구성 요소가 개재될 수도 있다. 또한, 도면에서 각 구성 요소의 구조나 크기는 설명의 편의 및 명확성을 위하여 과장되었고, 설명과 관계없는 부분은 생략되었다. 도면상에서 동일 부호는 동일한 요소를 지칭한다. 한편, 사용되는 용어들은 단지 본 발명을 설명하기 위한 목적에서 사용된 것이지 의미 한정이나 특허청구범위에 기재된 본 발명의 범위를 제한하기 위하여 사용된 것은 아니다.
이하에서 설명하는 도어 장치는 다양한 구성을 가질 수 있고 여기서는 필요한 구성만을 예시적으로 제시하며, 본 발명 내용이 이에 한정되는 것은 아님을 밝혀둔다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 개방 상태의 도어 장치(1)를 나타내는 사시도이다. 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 폐쇄 상태의 도어 장치(1)를 나타내는 사시도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 도어 장치(1)은 챔버(90)의 전면에 설치되며, 챔버(90)의 출입구(91)를 개방하거나 폐쇄할 수 있다. 상기 챔버(90)는 반도체 제조 공정이 진행되는 공간을 제공할 수 있으며, 예를 들어 상기 챔버(90) 내에서는 TDBI(Test During Burn-In) 테스트와 같은 반도체 디바이스의 결함을 테스트하는 공정, 웨이퍼 상에 박막을 증착하는 등의 반도체 처리 공정 등이 진행될 수 있으나, 상기 챔버(90)의 용도가 이에 한정되는 것은 아니다. 도어 장치(1)는 상기 챔버(90)로 반도체 디바이스가 반입 및 반출되는 동안 챔버(90)의 출입구(91)를 개방하며, 상기 챔버(90)에서 반도체 제조 공정이 진행되는 동안 챔버(90)의 출입구(91)를 폐쇄할 수 있다. 상기 도어 장치(1)는 챔버(90)와 함께 반도체 테스트 장치, 또는 반도체 처리 장치를 구성할 수 있다.
상기 도어 장치(1)은 도어 프레임(10), 도어부(20), 구동부(30), 제1 구동 실린더부(51), 제2 구동 실린더부(52), 정지 블록(40), 센싱부(60) 및 스토퍼(70)를 포함할 수 있다.
상기 도어 프레임(10)은 챔버(90)의 출입구(91)가 형성된 챔버(90)의 전면에 설치될 수 있으며, 도어 장치(1)를 전체적으로 지지하게 된다.
도어부(20)는 도어 프레임(10)에 슬라이딩 가능하도록 설치될 수 있으며, 2 이상의 도어들로 이루어질 수 있다. 예를 들어, 도어부(20)는 제1 도어(21) 및 제2 도어(22)를 포함할 수 있다.
도 1에 도시된 바와 같이, 챔버(90) 내로 반도체 디바이스를 반출입하기 위하여 챔버(90)의 출입구(91)가 개방된 동안, 제1 도어(21)와 제2 도어(22)는 도어 프레임(10)의 상부에서 앞뒤로 겹쳐서 정렬될 수 있다. 이때, 제1 도어(21)와 제2 도어(22)는 챔버(90)의 출입구(91)가 충분히 개방되도록 챔버(90)의 출입구(91)보다 높은 위치에서 정렬되는데, 도어부(20)를 단일의 도어로 구성하는 경우에 비하여 도어 프레임(10)의 높이를 낮추게 된다. 이하에서, 챔버(90)의 출입구(91)가 개방된 동안 제1 도어(21)와 제2 도어(22)의 위치는 각각 제1 도어(21)의 개방 위치 및 제2 도어(22)의 개방 위치라고 하기로 한다.
또한, 도 2에 도시된 바와 같이, 챔버(90)의 출입구(91)가 폐쇄된 동안 제1 도어(21)와 제2 도어(22)는 상하로 밀착되어 정렬되고, 챔버(90)의 외벽과 접하여 챔버(90)의 출입구(91)를 폐쇄하게 된다. 여기서, 제1 도어(21)와 제2 도어(22)는 위 아래로 밀착되며, 하측에 위치한 제1 도어(21)가 제2 도어(22)를 지지하게 된다. 이하에서, 챔버(90)의 출입구(91)가 폐쇄된 동안 제1 도어(21)와 제2 도어(22)의 위치는 각각 제1 도어(21)의 폐쇄 위치 및 제2 도어(22)의 폐쇄 위치라고 하기로 한다. 폐쇄 상태에서, 제1 도어(21)는 제2 도어(22)보다 아래에 위치하므로, 제1 도어(21)는 하부 도어, 제2 도어(22)는 상부 도어로 부를 수도 있다.
상기 구동부(30)는 제1 도어(21)를 상기 제1 도어(21)의 개방 위치(예를 들어, 도 3에서 제1 도어(21(PO1))의 위치)와 제1 위치(예를 들어, 도 4a에서 제1 도어(21(P1))의 위치) 사이에서 수직 방향으로 이동시킬 수 있다. 여기서, 상기 제1 위치는 상기 제1 도어(21)의 개방 위치로부터 수직 방향으로 일정 거리 이격되고, 상기 제1 도어(21)의 폐쇄 위치로부터 수평 방향으로 일정 거리 이격된 위치일 수 있다. 상기 제1 도어(21)가 상기 제1 도어(21)의 개방 위치로부터 제1 위치로 이동하는 동안, 상기 제1 도어(21)는 도어 프레임(10)에 마련되어 제1 도어(21)의 높이 방향을 따라 연장된 고정 가이드 레일(11)에 의하여 안내될 수 있다.
예시적인 실시예들에서, 상기 구동부(30)는 도어 프레임(10)에 회전 가능하도록 배치된 샤프트(32), 상기 샤프트(32)를 회전시키는 구동 모터(31), 상기 샤프트(32)의 일단에 배치되어 상기 샤프트(32)와 함께 회전하는 스프로켓(33), 그리고 상기 스프로켓(33)의 회전에 따라 움직이는 체인(34)을 포함할 수 있다. 상기 체인(34)은 도어 프레임(10)의 상부와 하부에 위치된 스프로켓(33)들에 맞물려 회전할 수 있다. 그리고, 상기 체인(34)은 한 쌍 구비될 수 있다. 상기 체인(34)의 적어도 일부분은 제1 도어(21)와 결합될 수 있고, 그에 따라 제1 도어(21)는 체인(34)을 따라 상하로 이동하게 된다.
한편, 상기 제2 도어(22)가 상기 제2 도어(22)의 개방 위치(예를 들어, 도 3에서 제2 도어(22(PO2))의 위치)와 상기 제2 도어(22)의 개방 위치로부터 수직 방향으로 일정거리 이격된 제2 위치(예를 들어, 도 4a에서 제2 도어(22(P2))의 위치) 사이에서 이동하는 동안, 상기 제2 도어(22)는 상기 제1 도어(21)에 의하여 지지되어 이동될 수 있다. 예를 들어, 상기 제2 도어(22)는 그 상부에 상기 제1 도어(21)를 향하는 방향으로 연장되어 배치된 지지부(221)를 가질 수 있으며, 상기 제1 도어(21)의 상부는 상기 제2 도어(22)의 지지부(221)를 지지하게 된다.
바꿔 말해서, 제1 도어(21)가 구동부(30)에 의하여 제1 도어(21)의 개방 위치로부터 하강하는 동안, 제1 도어(21)는 제2 도어(22)의 지지부(221)를 접촉 지지하고, 이로써 제1 도어(21)와 제2 도어(22)는 함께 하강하게 된다. 또한, 제1 도어(21)가 구동부(30)에 의하여 제1 도어(21)의 개방 위치를 향하여 상승하는 동안, 제1 도어(21)는 제2 도어(22)의 지지부(221)를 접촉 지지하여 제2 도어(22)를 상승시키게 된다.
한편, 제1 구동 실린더부(51)는 제1 도어(21)를 이동시킬 수 있는 동력을 제공할 수 있다. 도어 장치(1)이 폐쇄 상태로 이행되는 과정에서, 제1 구동 실린더부(51)는 제1 도어(21)를 챔버(90)벽에 압착시킬 수 있다. 예를 들어, 제1 구동 실린더부(51)는 제1 도어(21)를 상기 제1 위치로부터 제1 도어(21)의 폐쇄 위치(예를 들어, 도 5에서 제1 도어(21(PC1))의 위치)로 이동시킬 수 있다. 또한, 도어 장치(1)의 폐쇄 상태가 해제될 때, 제1 도어(21)를 챔버(90)벽으로부터 탈착시킬 수 있다. 예를 들어, 제1 구동 실린더부(51)는 제1 도어(21)를 상기 제1 도어(21)의 폐쇄 위치로부터 상기 제1 위치로 이동시킬 수 있다.
이때, 제1 구동 실린더부(51)가 상기 제1 도어(21)를 챔버(90)에 압착시키는 동안 상기 제1 도어(21)는 +x 방향으로 이동할 수 있으며, 반대로 제1 구동 실린더부(51)가 상기 제1 도어(21)를 챔버(90)벽으로부터 탈착시키는 동안 상기 제1 도어(21)는 -x 방향으로 이동할 수 있다.
상기 제1 구동 실린더부(51)는 도어 프레임(10)에 고정된 제1 실린더 몸체(511), 상기 제1 실린더 몸체(511)에 이동 가능하게 설치된 제1 실린더 로드(513), 상기 제1 실린더 로드(513)의 일단에 연결된 제1 지지판(515), 그리고 상기 제1 지지판(515)에 결합된 제1 이동 가이드 레일(517)을 포함할 수 있다. 여기서, 상기 제1 이동 가이드 레일(517)은 제1 도어(21)의 높이 방향을 따라 연장할 수 있고, 제1 도어(21)가 제1 구동 실린더부(51)의 구동에 의하여 이동하는 동안 제1 도어(21)의 양 가장자리를 지지할 수 있다.
제2 구동 실린더부(52)는 제2 도어(22)를 이동시킬 수 있는 동력을 제공할 수 있다. 도어 장치(1)이 폐쇄 상태로 이행되는 과정에서, 제2 구동 실린더부(52)는 제2 도어(22)를 챔버(90)벽에 압착시킬 수 있다. 예를 들어, 제2 구동 실린더부(52)는 제2 도어(22)를 상기 제2 위치로부터 제2 도어(22)의 폐쇄 위치(예를 들어, 도 5에서 제2 도어(22(PC2))의 위치)로 이동시킬 수 있다. 또한, 도어 장치(1)의 폐쇄 상태가 해제될 때, 제2 도어(22)를 챔버(90)벽으로부터 탈착시킬 수 있다. 예를 들어, 제2 구동 실린더부(52)는 제2 도어(22)를 상기 제2 도어(22)의 폐쇄 위치로부터 상기 제2 위치로 이동시킬 수 있다.
이때, 제2 구동 실린더부(52)가 상기 제2 도어(22)를 챔버(90)에 압착시키는 동안 상기 제2 도어(22)는 +x 방향으로 이동할 수 있으며, 반대로 제2 구동 실린더부(52)가 상기 제2 도어(22)를 챔버(90)벽으로부터 탈착시키는 동안 상기 제2 도어(22)는 -x 방향으로 이동할 수 있다.
상기 제2 구동 실린더부(52)는 도어 프레임(10)에 고정된 제2 실린더 몸체(521), 상기 제2 실린더 몸체(521)에 이동 가능하게 설치된 제2 실린더 로드(523), 상기 제2 실린더 로드(523)의 일단에 연결된 제2 지지판(525), 그리고 상기 제2 지지판(525)에 결합된 제2 이동 가이드 레일(527)을 포함할 수 있다. 여기서, 상기 제2 이동 가이드 레일(527)은 제2 도어(22)의 높이 방향을 따라 연장할 수 있고, 제2 도어(22)가 제2 구동 실린더부(52)의 구동에 의하여 이동하는 동안 제2 도어(22)의 양 가장자리를 지지할 수 있다.
상기 정지 블록(40)은 제2 도어(22)를 제2 위치에 정지시켜 제2 도어(22)가 가동 범위를 넘어 하강하는 것을 방지할 수 있다. 그에 따라, 제2 도어(22)가 제1 도어(21)에 의하여 지지되어 이동하는 동안, 제2 도어(22)는 제2 도어(22)의 개방 위치와 상기 제2 위치 사이에서 상승 또는 하강하게 된다.
상기 정지 블록(40)은 도어 프레임에 설치될 수 있으며, 예를 들어 제2 이동 가이드 레일(527)의 일단에 인접하여 배치될 수 있다. 정지 블록(40)은 제2 도어(22)의 양 측부를 지지할 수 있도록 한 쌍으로 구비될 수 있다.
스토퍼(70)는 개방 상태에서 상기 제2 도어(22)를 상기 제2 도어(22)의 개방 위치에 정지시킬 수 있다. 상기 스토퍼(70)는 제2 도어(22)를 사이에 두고 한 쌍으로 구성될 수 있다. 상기 스토퍼(70)는 전진 동작 또는 후진 동작을 수행할 수 있는데, 상기 스토퍼(70)는 전진 동작에 의하여 제2 도어(22)를 상기 제2 도어(22)의 개방 위치에 정지시킬 수 있고, 후진 동작에 의하여 제2 도어(22)가 제2 도어(22)의 개방 위치보다 아래로 하강하는 것을 허용하게 된다.
여기서, 스토퍼(70)의 전진 동작은 스토퍼(70)의 일단이 상기 제2 도어(22)와 가까워지는 방향으로 움직이는 것을 의미할 수 있으며, 반대로 스토퍼(70)의 후진 동작은 스토퍼(70)의 일단이 상기 제2 도어(22)와 멀어지는 방향으로 움직이는 것을 의미할 수 있다. 예를 들어, 도 1을 기준으로 제2 도어(22)의 우측에 배치된 하나의 스토퍼(70)는 -y 방향으로 전진 동작을 수행하고, 반대로 +y 방향으로 후진 동작을 수행할 수 있다.
예를 들어, 상기 제2 도어(22)의 측부에는, 도면에는 도시되지 않으나, 걸림턱이 구비될 수 있으며, 상기 스토퍼(70)가 전진 동작에 의하여 상기 걸림턱을 지지하는 방법으로 상기 제2 도어(22)를 제2 도어(22)의 개방 위치에 정지시킬 수 있다.
상기 센싱부(60)는 제1 도어(21)와 제2 도어(22)의 위치를 감지하기 위하여 구비될 수 있다. 상기 센싱부(60)는 도어 프레임(10)에 여러 지점에 설치된 센서들을 포함할 수 있다. 센싱부(60)는 제1 도어(21)가 제1 도어(21)의 개방 위치, 제1 위치, 그리고 제1 도어(21)의 밀폐 위치에 정확히 위치되었는지를 감지하고, 또한, 제2 도어(22)가 제2 도어(22)의 개방 위치, 제2 위치, 그리고 제2 도어(22)의 밀폐 위치에 정확히 위치되었는지를 감지하게 된다.
상기 센싱부(60)에서 감지된 제1 도어(21) 및 제2 도어(22)의 위치 정보는 도면에 도시되지 않은 별도의 제어 장치로 송신될 수 있으며, 상기 제어 장치는 상기 제1 도어(21) 및 제2 도어(22)의 위치 정보를 이용하여 구동부(30), 제1 구동 실린더부(51), 제2 구동 실린더부(52), 및 스토퍼(70)의 구동을 제어할 수 있는 제어 신호를 생성하게 된다.
도 3 내지 도 5는 개방 상태에서 폐쇄 상태로 이행될 때의 도어 장치(1)의 동작을 설명하기 위한 도면들이다. 이하에서, 도 3 내지 도 5를 도 1 및 도 2와 함께 참조하여, 도어 장치(1)이 개방 상태에서 폐쇄 상태로 이행되는 과정을 설명하기로 한다. 여기서, 도 3, 도 4a, 및 도 5은 제1 도어 및 제2 도어의 위치 변화를 개략적으로 나타내는 도면들이고, 도 4b는 일부 구성요소를 제외하고 도시한 도어 장치의 사시도이고, 도 4c는 일부 구성요소를 제외하고 도시한 도어 장치의 정면도이다.
또한, 도 3, 도 4a, 및 도 5에서, 제1 도어와 제2 도어는 위치에 따라 다른 부재 번호가 사용되는데, 21(PO1), 21(P1), 및 21(PC1)은 각각 제1 도어의 개방 위치, 제1 위치, 및 제1 도어의 폐쇄 위치에 위치된 제1 도어를 나타내며, 22(PO2), 22(P2) 및 22(PC2)는 각각 제2 도어의 개방 위치, 제2 위치, 및 제2 도어의 폐쇄 위치에 위치된 제2 도어를 나타낸다.
도 1과 도 3에 도시된 것과 같이, 개방 상태에서 도어부(20)는 도어 프레임(10)의 상부에 정지되며, 제1 도어(21)와 제2 도어(22)는 앞뒤로 정렬될 수 있다. 이때, 스토퍼(70)는 전진 상태를 유지하여 제2 도어(22)를 제2 도어(22)의 개방 위치에 정지되도록 할 수 있다. 또는, 제1 도어(21)는 제2 도어(22)의 지지부(221)를 지지할 수 있고, 이로써 제2 도어(22)가 제2 도어(22)의 개방 위치에 정지되도록 할 수 있다.
도 4a 내지 도 4c에 도시된 것과 같이, 제1 도어(21)는 구동부(30)에 의하여 수직 방향으로 하강할 수 있다. 즉, 구동 모터(31)의 구동으로 체인(34)이 일정 방향으로 회전하며, 체인(34)에 결합된 제1 도어(21)는 제1 도어(21)의 개방 위치로부터 제1 위치까지 이동하게 된다.
제1 도어(21)가 제1 도어(21)의 개방 위치로부터 제1 위치를 향하여 하강하는 동안, 도어 프레임(10)에 마련된 고정 가이드 레일(11)과 제1 이동 가이드 레일(517)은 일직선 상에 배치될 수 있다. 그에 따라, 제1 도어(21)가 제1 위치까지 하강하는 동안, 제1 도어(21)는 도어 프레임(10)에 마련된 고정 가이드 레일(11)에 의하여 안내된 후, 상기 고정 가이드 레일(11)을 벗어난 이후부터는 제1 이동 가이드 레일(517)에 의하여 안내될 수 있다. 이때, 상기 제1 위치에 위치된 제1 도어(21)는 제1 이동 가이드 레일(517)에 의하여만 지지되고, 고정 가이드 레일(11)로부터는 벗어나게 된다.
또한, 제2 도어(22)를 정지시키던 스토퍼(70)는 후진 동작을 수행하며, 그에 따라 제2 도어(22)는 제1 도어(21)에 의하여 지지되어 제1 도어(21)와 함께 하강하게 된다. 이후, 제2 도어(22)의 측부가 정지 블록(40)에 의하여 지지되면서 제2 도어(22)는 제2 위치에 정지되고, 제2 도어(22)의 지지부(221)를 지지하던 제1 도어(21)는 상기 지지부(221)와 분리되면서 계속 하강하게 된다. 제2 도어(22)가 제2 도어(22)의 개방 위치로부터 제2 위치를 따라 하강하는 동안, 제2 도어(22)는 제2 이동 가이드 레일(527)에 의하여 안내될 수 있다.
이때, 센싱부(60)는 제1 도어(21)가 제1 위치에 도달하는 것을 감지할 수 있으며, 센싱부(60)에서 감지된 제1 도어(21)의 위치 정보는 제어 장치로 송신될 수 있다. 상기 제어 장치는 구동부(30)의 구동을 중지시키고, 제1 구동 실린더부(51) 및 제2 구동 실린더부(52)를 구동시키는 제어 신호를 생성하게 된다.
도 2 및 도 5에 도시된 것과 같이, 제1 구동 실린더부(51)와 제2 구동 실린더부(52)는 각각 제1 도어(21)와 제2 도어(22)를 이동시켜 압착 동작을 수행할 수 있다.
센싱부(60)는 제1 도어(21)와 제2 도어(22)가 각각 제1 도어(21)의 폐쇄 위치와 제2 도어(22)의 폐쇄 위치에 도달하였는지 감지할 수 있으며, 센싱부(60)에서 감지된 제1 도어(21)와 제2 도어(22)의 위치 정보는 제어 장치로 송신될 수 있다. 상기 제어 장치는 제1 구동 실린더부(51)와 제2 구동 실린더부(52)의 구동을 중지시키는 제어 신호를 생성할 수 있다.
상기 제1 구동 실린더부(51)와 제2 구동 실린더부(52)의 압착 동작에 의하여, 제1 도어(21)와 제2 도어(22)는 상하로 밀착되어 정렬되고 또한 챔버(90)에 밀착될 수 있다. 그 결과 챔버(90)의 출입구(91)가 폐쇄되면서 도어 장치(1)의 폐쇄 동작이 완료된다.
또한, 이하에서 폐쇄 상태에서 개방 상태로 이행되는 과정을 설명하기로 한다. 도어 장치(1)이 폐쇄 상태에서 개방 상태로 이행되는 과정은 도 3 내지 도 5를 역순으로 참조하고 도 1, 및 도 2를 참조하여 설명하기로 한다.
도 2 및 도 5에 도시된 것과 같이, 폐쇄 상태에서 제1 도어(21)와 제2 도어(22)는 상하로 밀착되어 정렬되며, 챔버(90)의 출입구(91)를 폐쇄하게 된다.
도 4a 내지 도 4c에 도시된 것과 같이, 제1 구동 실린더부(51)와 제2 구동 실린더부(52)는 각각 제1 도어(21)와 제2 도어(22)를 이동시켜 탈착 동작을 수행하게 된다. 상기 제1 구동 실린더부(51)와 제2 구동 실린더부(52)의 탈착 동작에 의하여, 제1 도어(21)와 제2 도어(22)를 챔버(90)로부터 일정거리 이격되어 각각 제1 위치와 제2 위치에 위치될 수 있다. 이때 제1 위치의 제1 도어(21)는 제2 위치의 제2 도어(22)보다 챔버(90)로부터 수평 방향으로 멀리 떨어지며, 그에 따라 제1 도어(21)와 제2 도어(22)는 위 아래로 겹치지 않도록 위치된다. 또, 제2 위치의 제2 도어(22)는 정지 블록(40)에 의하여 지지될 수 있다.이때, 센싱부(60)는 제1 도어(21)와 제2 도어(22)가 각각 제1 위치와 제2 위치에 도달하는 것을 감지할 수 있으며, 센싱부(60)에서 감지된 제1 도어(21)와 제2 도어(22)의 위치 정보는 제어 장치로 송신될 수 있다. 상기 제어 장치는 구동부(30)를 구동시키는 제어 신호를 생성하게 된다.
도 1 및 도 3에 도시된 것과 같이, 제1 도어(21)는 구동부(30)에 의하여 수직 방향으로 상승할 수 있다. 제1 도어(21)는 제1 위치로부터 제1 도어(21)의 개방 위치까지 이동하게 된다.
제1 도어(21)가 제1 위치로부터 제1 도어(21)의 개방 위치를 향하여 상승하는 동안, 도어 프레임(10)에 마련된 고정 가이드 레일(11)과 제1 이동 가이드 레일(517)은 일직선 상에 배치될 수 있다. 그에 따라, 제1 도어(21)가 구동부(30)에 의하여 상승하는 동안, 제1 도어(21)는 소정 높이까지 제1 이동 가이드 레일(517)에 의하여 안내되고, 이후 제1 이동 가이드 레일(517)을 벗어나 고정 가이드 레일(11)에 의하여 제1 도어(21)의 개방 위치까지 안내될 수 있다.
또한, 제2 도어(22)는 제1 도어(21)에 의하여 지지되어 제2 위치로부터 제2 도어(22)의 개방 위치까지 상승할 수 있다. 즉, 제1 도어(21)가 구동부(30)에 의하여 상승하는 과정에서, 제1 도어(21)는 제2 도어(22)의 지지부(221)를 만나고, 이후 제1 도어(21)가 제2 도어(22)의 지지부(221)를 지지하면서 제1 도어(21)와 제2 도어(22)가 함께 상승하게 된다. 상기 제2 도어(22)가 상기 제2 도어(22)의 개방 위치로 상승하는 동안, 제2 도어(22)는 제2 이동 가이드 레일(527)에 의하여 안내될 수 있다.
센싱부(60)는 제1 도어(21)와 제2 도어(22)가 각각 제1 도어(21)의 개방 위치와 제2 도어(22)의 개방 위치에 도달하였는지 감지할 수 있으며, 센싱부(60)에서 감지된 제1 도어(21)와 제2 도어(22)의 위치 정보는 제어 장치로 송신될 수 있다. 상기 제어 장치는 구동부(30)의 구동을 중지시키고, 제2 도어(22)를 제2 도어(22)의 개방 위치에 정지시키기 위하여 스토퍼(70)를 전진시키는 제어 신호를 생성할 수 있다.
그 결과, 제1 도어(21)와 제2 도어(22)는 도어 프레임(10)의 상부에서 앞뒤로 정렬되며, 도어 장치(1)의 개방 동작이 완료된다.
지금까지의 설명은 본 발명의 기술적 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다.
따라서, 본 발명에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술적 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술적 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
1: 도어 장치 10: 도어 프레임
20: 도어부 21: 제1 도어
22: 제2 도어 30: 구동부
40: 정지 블록 51: 제1 구동 실린더부
52: 제2 구동 실린더부 60: 센싱부
70: 스토퍼

Claims (7)

  1. 챔버의 전면에 설치되어, 챔버의 출입구를 개방하거나 폐쇄하는 도어 장치로서,
    도어 프레임;
    개방 위치에서 앞뒤로 정렬되고 폐쇄 위치에서 상하로 밀착되어 정렬되는 제1 도어와 제2 도어를 포함하고, 상기 도어 프레임에 슬라이딩 가능하게 설치되는 도어부;
    상기 제1 도어를 상기 제1 도어의 개방 위치와 기 설정된 제1 위치 사이에서 수직 이동시키는 구동부;
    상기 제1 도어를 상기 제1 위치와 상기 제1 도어의 폐쇄 위치 사이에서 이동시키는 제1 구동 실린더부;
    상기 도어 프레임에 설치되며, 상기 제2 도어를 기 설정된 제2 위치에 정지시키는 정지 블록; 및
    상기 제2 도어를 상기 제2 위치와 상기 제2 도어의 폐쇄 위치 사이에서 이동시키는 제2 구동 실린더부를 포함하며,
    상기 제2 도어는 상기 제1 도어에 의하여 지지되어 상기 제2 도어의 개방 위치와 제2 위치 사이에서 수직 이동하는 것을 특징으로 하는 도어 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 구동 실린더부는,
    상기 도어 프레임에 고정되고, 이동 가능하게 설치된 제1 실린더 로드를 구비한 제1 실린더 몸체;
    상기 제1 실린더 로드의 일단과 연결된 제1 지지판;
    상기 제1 지지판에 결합되며, 상기 제1 도어가 상기 제1 위치와 상기 제1 도어의 폐쇄 위치 사이에서 이동하는 동안 상기 제1 도어의 가장자리를 지지하는 제1 이동 가이드 레일을 포함하는 것을 특징으로 하는 도어 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 도어 프레임에 설치되어, 상기 제1 도어의 개방 위치와 상기 제1 위치 사이에서 상기 제1 도어를 안내하는 고정 가이드 레일을 더 포함하며,
    상기 제1 도어가 상기 구동부에 의하여 상기 제1 도어의 개방 위치와 상기 제1 위치 사이에서 이동하는 동안, 상기 고정 가이드 레일과 상기 제1 이동 가이드 레일은 일직선 상에 배치되는 것을 특징으로 하는 도어 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 제2 구동 실린더부는,
    상기 도어 프레임에 고정되고, 이동 가능하게 설치된 제2 실린더 로드를 구비한 제2 실린더 몸체;
    상기 제2 실린더 로드의 일단과 연결된 제2 지지판;
    상기 제2 지지판에 결합되며, 상기 제2 도어가 상기 제2 위치와 상기 제2 도어의 폐쇄 위치 사이에서 이동하는 동안 상기 제2 도어의 가장자리를 지지하는 제2 이동 가이드 레일을 포함하는 것을 특징으로 하는 도어 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    전진 상태에서 상기 제2 도어를 상기 제2 도어의 개방 위치에 정지시키고, 후진 상태에서 상기 제2 도어를 상기 제2 도어의 개방 위치로부터 하강하는 것을 허용하는 스토퍼를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 도어 장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 도어의 위치 및 상기 제2 도어의 위치를 감지할 수 있는 센싱부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 도어 장치.
  7. 테스트될 반도체 디바이스가 반입 또는 반출되는 출입구를 가지는 챔버; 및
    상기 챔버의 전면에 설치되어, 상기 챔버의 출입구를 개방하거나 폐쇄하는 도어 장치를 포함하고,
    상기 도어 장치는,
    도어 프레임;
    개방 위치에서 앞뒤로 정렬되고 폐쇄 위치에서 상하로 밀착되어 정렬되는 제1 도어와 제2 도어를 포함하고, 상기 도어 프레임에 슬라이딩 가능하게 설치되는 도어부;
    상기 제1 도어를 상기 제1 도어의 개방 위치와 기 설정된 제1 위치 사이에서 수직 이동시키는 구동부;
    상기 제1 도어를 상기 제1 위치와 상기 제1 도어의 폐쇄 위치 사이에서 이동시키는 제1 구동 실린더부;
    상기 도어 프레임에 설치되며, 상기 제2 도어를 기 설정된 제2 위치에 정지시키는 정지 블록; 및
    상기 제2 도어를 상기 제2 위치와 상기 제2 도어의 폐쇄 위치 사이에서 이동시키는 제2 구동 실린더부를 포함하며,
    상기 제2 도어는 상기 제1 도어에 의하여 지지되어 상기 제2 도어의 개방 위치와 제2 위치 사이에서 수직 이동하는 것을 특징으로 하는 반도체 테스트 장치.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101834133B1 (ko) 2017-10-12 2018-02-28 장인재 챔버용 도어 장치
KR20210076560A (ko) * 2019-12-16 2021-06-24 주식회사 원익아이피에스 기판처리 시스템

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10303277A (ja) * 1997-04-28 1998-11-13 Toshiba Corp 扉開閉装置
JP2004115160A (ja) * 2002-09-24 2004-04-15 Kyoshin Engineering:Kk 加工装置の扉開閉装置
KR100844352B1 (ko) * 2007-02-12 2008-07-07 주식회사 씨어테크 챔버용 도어개폐장치
KR20100009382A (ko) * 2008-07-18 2010-01-27 (주) 예스티 챔버의 도어개폐장치

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10303277A (ja) * 1997-04-28 1998-11-13 Toshiba Corp 扉開閉装置
JP2004115160A (ja) * 2002-09-24 2004-04-15 Kyoshin Engineering:Kk 加工装置の扉開閉装置
KR100844352B1 (ko) * 2007-02-12 2008-07-07 주식회사 씨어테크 챔버용 도어개폐장치
KR20100009382A (ko) * 2008-07-18 2010-01-27 (주) 예스티 챔버의 도어개폐장치

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101834133B1 (ko) 2017-10-12 2018-02-28 장인재 챔버용 도어 장치
KR20210076560A (ko) * 2019-12-16 2021-06-24 주식회사 원익아이피에스 기판처리 시스템
KR102615294B1 (ko) 2019-12-16 2023-12-19 주식회사 원익아이피에스 기판처리 시스템

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