JPH10303277A - 扉開閉装置 - Google Patents
扉開閉装置Info
- Publication number
- JPH10303277A JPH10303277A JP11093797A JP11093797A JPH10303277A JP H10303277 A JPH10303277 A JP H10303277A JP 11093797 A JP11093797 A JP 11093797A JP 11093797 A JP11093797 A JP 11093797A JP H10303277 A JPH10303277 A JP H10303277A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- door
- opening
- closing
- vacuum chamber
- chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Drying Of Semiconductors (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】真空チャンバの扉の開閉が人やケースに干渉せ
ず、かつ、扉の内側面の掃除を容易に行うことができる
真空チャンバの扉開閉装置を提供すること。 【解決手段】扉２０の一端側を軸支する軸支部２３ａ，
４５と、扉２０の軸支部２３ａ，４５回りの回動を規制
する脱着自在なブロック４７と、軸支部２３ａ，４５を
開口部１２の面に沿って往復動させる上下駆動機構３１
と、扉２０を開口部１２に対して離間・圧接させるため
の離接機構４０及びクランプ機構５０とを備えている。
ず、かつ、扉の内側面の掃除を容易に行うことができる
真空チャンバの扉開閉装置を提供すること。 【解決手段】扉２０の一端側を軸支する軸支部２３ａ，
４５と、扉２０の軸支部２３ａ，４５回りの回動を規制
する脱着自在なブロック４７と、軸支部２３ａ，４５を
開口部１２の面に沿って往復動させる上下駆動機構３１
と、扉２０を開口部１２に対して離間・圧接させるため
の離接機構４０及びクランプ機構５０とを備えている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体や液晶に所
定の処理を行うプロセス装置に用いられる処理室等の真
空チャンバの開口部を蓋する扉を開閉する扉開閉装置に
関する。
定の処理を行うプロセス装置に用いられる処理室等の真
空チャンバの開口部を蓋する扉を開閉する扉開閉装置に
関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体や液晶の製造工程では、ウエハや
ガラス基板は、専用ケースに収納され各処理工程に送ら
れる。各処理工程を行う装置のうち、専用ケースからウ
エハ等を取出して処理し、その後専用ケースに戻すもの
がある。
ガラス基板は、専用ケースに収納され各処理工程に送ら
れる。各処理工程を行う装置のうち、専用ケースからウ
エハ等を取出して処理し、その後専用ケースに戻すもの
がある。
【０００３】このような製造工程で用いられるプロセス
装置におけるプロセス工程では、大気と絶縁した処理室
内で、専用治具にウエハ等をセットして行う場合が多
い。処理室の出入口においては専用ケースからウエハ等
を取出して専用治具に取り付けたり、専用ケースに戻し
たりするための機構と、大気と処理室内の処理環境とを
絶縁する機構が設けられている。
装置におけるプロセス工程では、大気と絶縁した処理室
内で、専用治具にウエハ等をセットして行う場合が多
い。処理室の出入口においては専用ケースからウエハ等
を取出して専用治具に取り付けたり、専用ケースに戻し
たりするための機構と、大気と処理室内の処理環境とを
絶縁する機構が設けられている。
【０００４】大気と処理室内とを絶縁する機構として
は、処理室に隣接するロードロック室と大気搬送ロボッ
トを持つ方式と、専用ケースを直接処理室内に持込むカ
セットチャンバ方式の２種類がある。いずれの場合も、
処理室及びロードロック室等の真空チャンバ内は、大気
と真空（処理環境）とを交互にガス置換されることにな
る。
は、処理室に隣接するロードロック室と大気搬送ロボッ
トを持つ方式と、専用ケースを直接処理室内に持込むカ
セットチャンバ方式の２種類がある。いずれの場合も、
処理室及びロードロック室等の真空チャンバ内は、大気
と真空（処理環境）とを交互にガス置換されることにな
る。
【０００５】真空チャンバにはウエハや専用ケースを出
し入れするための開口部とこの開口部を蓋する扉が設け
られている。この扉を開閉する扉開閉装置として、扉を
上下にスライド移動させて開閉する方式や、ドアのよう
に蝶番を用いて開閉する方式がある。なお、真空チャン
バ内は、パーティクルなどの発生や堆積を防ぐ必要があ
るため、定期的な掃除が行われている。
し入れするための開口部とこの開口部を蓋する扉が設け
られている。この扉を開閉する扉開閉装置として、扉を
上下にスライド移動させて開閉する方式や、ドアのよう
に蝶番を用いて開閉する方式がある。なお、真空チャン
バ内は、パーティクルなどの発生や堆積を防ぐ必要があ
るため、定期的な掃除が行われている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上記した従来の扉開閉
装置にあっては次のような問題があった。すなわち、ド
ア方式の扉開閉装置では、扉の内面を拭いて掃除をする
ことができるが、通常の開閉時においては真空チャンバ
の前面が扉開閉に使用されるため、人やケースと干渉す
ることがあった。このため、自動化は容易でない。
装置にあっては次のような問題があった。すなわち、ド
ア方式の扉開閉装置では、扉の内面を拭いて掃除をする
ことができるが、通常の開閉時においては真空チャンバ
の前面が扉開閉に使用されるため、人やケースと干渉す
ることがあった。このため、自動化は容易でない。
【０００７】一方、扉の上下動方式では、ケースや人と
の干渉が防げ、自動化は容易であるが、扉の内面側が処
理室やロードロック室側にあるため、内部を掃除するこ
とが困難となる。
の干渉が防げ、自動化は容易であるが、扉の内面側が処
理室やロードロック室側にあるため、内部を掃除するこ
とが困難となる。
【０００８】装置によっては、真空チャンバの側面に窓
を開け、扉の内面を掃除できる構造にしているものがあ
るが、この方式でも、最も掃除する必要がある扉のシー
ル面の掃除は容易ではない。
を開け、扉の内面を掃除できる構造にしているものがあ
るが、この方式でも、最も掃除する必要がある扉のシー
ル面の掃除は容易ではない。
【０００９】そこで本発明は、真空チャンバの扉の開閉
が人やケースに干渉せず、かつ、扉の内側面の掃除を容
易に行うことができる真空チャンバの扉開閉装置を提供
することを目的としている。
が人やケースに干渉せず、かつ、扉の内側面の掃除を容
易に行うことができる真空チャンバの扉開閉装置を提供
することを目的としている。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決し目的を
達成するために、請求項１に記載された発明は、真空チ
ャンバの開口部を気密に蓋する板状の扉を開閉する扉開
閉装置において、前記扉の一端側を軸支する軸支部と、
前記扉の前記軸支部回りの回動を規制する脱着自在な係
合部と、前記軸支部を前記開口部に沿って往復動させる
扉往復動機構と、前記扉を前記開口部に対して離間・圧
接させるための扉離接機構とを備えるようにした。
達成するために、請求項１に記載された発明は、真空チ
ャンバの開口部を気密に蓋する板状の扉を開閉する扉開
閉装置において、前記扉の一端側を軸支する軸支部と、
前記扉の前記軸支部回りの回動を規制する脱着自在な係
合部と、前記軸支部を前記開口部に沿って往復動させる
扉往復動機構と、前記扉を前記開口部に対して離間・圧
接させるための扉離接機構とを備えるようにした。
【００１１】上記手段を講じた結果、次のような作用が
生じる。扉往復動機構により開口部に沿って扉を移動す
ることにより、扉手前の作業者等に干渉することなく扉
を開閉することができる。また、扉の一端側は軸支さ
れ、係合部による係合を解除することで、扉の軸支部回
りの回動を行うことができるので、扉を傾斜させること
ができ、容易に扉の内壁面の清掃を行うことができる。
生じる。扉往復動機構により開口部に沿って扉を移動す
ることにより、扉手前の作業者等に干渉することなく扉
を開閉することができる。また、扉の一端側は軸支さ
れ、係合部による係合を解除することで、扉の軸支部回
りの回動を行うことができるので、扉を傾斜させること
ができ、容易に扉の内壁面の清掃を行うことができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】図１は本発明の一実施の形態に係
る扉開閉装置が取り付けられた処理室等の真空チャンバ
１０を示す斜視図である。なお、図１中Ｐはワーク（不
図示）を他の真空チャンバ（不図示）に移載するための
搬送ロボットが収容された搬送室を示している。
る扉開閉装置が取り付けられた処理室等の真空チャンバ
１０を示す斜視図である。なお、図１中Ｐはワーク（不
図示）を他の真空チャンバ（不図示）に移載するための
搬送ロボットが収容された搬送室を示している。
【００１３】真空チャンバ１０は、気密に形成されたチ
ャンバ本体１１を備えている。このチャンバ本体１１に
は処理チャンバＰへの開口部１２とカセットの出し入れ
を行う開口部１２と、この開口部１２を気密に蓋する扉
２０と、この扉２０を開閉する扉開閉機構３０とを備え
ている。
ャンバ本体１１を備えている。このチャンバ本体１１に
は処理チャンバＰへの開口部１２とカセットの出し入れ
を行う開口部１２と、この開口部１２を気密に蓋する扉
２０と、この扉２０を開閉する扉開閉機構３０とを備え
ている。
【００１４】開口部１２には後述するピン２２ａ〜２２
ｄ，２３ａ〜２３ｄが嵌入される切欠部１４ａ〜１４
ｄ、１５ａ〜１５ｄが形成される。なお、図１中１６は
扉２０が密着するシール面を示している。
ｄ，２３ａ〜２３ｄが嵌入される切欠部１４ａ〜１４
ｄ、１５ａ〜１５ｄが形成される。なお、図１中１６は
扉２０が密着するシール面を示している。
【００１５】扉２０は、平板状の扉本体２１を備え、こ
の扉本体２１の両側面にはクランプローラ２２ａ，２２
ｂと、ピン２３ａ，２３ｂとがそれぞれ設けられてい
る。扉開閉機構３０は、図１中矢印Ｚ方向に沿って設け
られた上下駆動機構（扉往復動機構）３１と、この上下
駆動機構３１に案内され矢印Ｚ方向に沿って上下動する
取付ブロック３２と、この取付ブロック３２に取り付け
られ扉２０の内壁面２１ａをシール面１６に対して離接
させる一対の離接機構４０とを備えている。
の扉本体２１の両側面にはクランプローラ２２ａ，２２
ｂと、ピン２３ａ，２３ｂとがそれぞれ設けられてい
る。扉開閉機構３０は、図１中矢印Ｚ方向に沿って設け
られた上下駆動機構（扉往復動機構）３１と、この上下
駆動機構３１に案内され矢印Ｚ方向に沿って上下動する
取付ブロック３２と、この取付ブロック３２に取り付け
られ扉２０の内壁面２１ａをシール面１６に対して離接
させる一対の離接機構４０とを備えている。
【００１６】離接機構４０は、図２の（ａ）に示すよう
に、取付ブロック３２に取り付けられたガイド板４１
と、このガイド板４１に対向配置された押付ブロック４
２と、押付ブロック４２に取り付けられた前記ガイド板
４１が前記押付ブロック４２に対してガイド板４１を扉
２０のシール面１６に対する離接方向、すなわち図２中
矢印Ｘ方向にのみ直線移動可能に案内する直線ガイド４
３と、クランプローラ２２ａ，２２ｂを図１中矢印Ｘ１
方向に移動するクランプ機構５０とを備えている。
に、取付ブロック３２に取り付けられたガイド板４１
と、このガイド板４１に対向配置された押付ブロック４
２と、押付ブロック４２に取り付けられた前記ガイド板
４１が前記押付ブロック４２に対してガイド板４１を扉
２０のシール面１６に対する離接方向、すなわち図２中
矢印Ｘ方向にのみ直線移動可能に案内する直線ガイド４
３と、クランプローラ２２ａ，２２ｂを図１中矢印Ｘ１
方向に移動するクランプ機構５０とを備えている。
【００１７】ガイド板４１にはピン４１ａが立設され、
押付ブロック４２にはピン４２ａが立設されており、こ
れらピン４１ａ，４２ａ間には引張りバネ４４が取り付
けられている。したがって、引張りバネ４４により押付
ブロック４２はガイド板４１側に付勢され、後述する切
欠部４５，４６に係合されるピン２３ａ，２３ｂを介し
て扉２０を図１中矢印Ｘ１方向に離間させている。
押付ブロック４２にはピン４２ａが立設されており、こ
れらピン４１ａ，４２ａ間には引張りバネ４４が取り付
けられている。したがって、引張りバネ４４により押付
ブロック４２はガイド板４１側に付勢され、後述する切
欠部４５，４６に係合されるピン２３ａ，２３ｂを介し
て扉２０を図１中矢印Ｘ１方向に離間させている。
【００１８】ガイド板４１には、押付ブロック４２側に
開口する切欠部４５，４６が形成されており、ピン２３
ａ，２３ｂが案内される。なお、切欠部４５とピン２３
ａにより軸支部が形成されている。
開口する切欠部４５，４６が形成されており、ピン２３
ａ，２３ｂが案内される。なお、切欠部４５とピン２３
ａにより軸支部が形成されている。
【００１９】ガイド板４１の角部は取り外し可能なブロ
ック４７となっており、ボルト４８でガイド板４１にね
じ止めされ、ピン２３ｂが切欠部４６に係合すること
で、扉２０の回動が規制されている。なお、ブロック４
７を取り外すことにより、ピン２３ｂの係合が解除さ
れ、ピン２３ａが切欠部４５により軸支され、図２の
（ｂ）に示すように扉２０を図２の（ｂ）中矢印ｒ方向
に傾斜させることができる。
ック４７となっており、ボルト４８でガイド板４１にね
じ止めされ、ピン２３ｂが切欠部４６に係合すること
で、扉２０の回動が規制されている。なお、ブロック４
７を取り外すことにより、ピン２３ｂの係合が解除さ
れ、ピン２３ａが切欠部４５により軸支され、図２の
（ｂ）に示すように扉２０を図２の（ｂ）中矢印ｒ方向
に傾斜させることができる。
【００２０】クランプ機構５０は図１中矢印Ｘ２方向に
クランプローラ２２ａ，２２ｂを移動することで、後述
する引張りバネ４４の付勢力に抗して扉本体２１をシー
ル面１６に押し付ける。
クランプローラ２２ａ，２２ｂを移動することで、後述
する引張りバネ４４の付勢力に抗して扉本体２１をシー
ル面１６に押し付ける。
【００２１】このように構成された扉開閉機構３０は、
次のようにして扉２０の開閉を行う。すなわち、図１に
示すように扉２０を閉じるときには、上下駆動機構３１
により、取付ブロック３２を上端に移動させた後、クラ
ンプ機構５０を動作させることにより、クランプローラ
２２ａ，２２ｂを移動し、扉本体２１をシール面１６に
押し付ける。
次のようにして扉２０の開閉を行う。すなわち、図１に
示すように扉２０を閉じるときには、上下駆動機構３１
により、取付ブロック３２を上端に移動させた後、クラ
ンプ機構５０を動作させることにより、クランプローラ
２２ａ，２２ｂを移動し、扉本体２１をシール面１６に
押し付ける。
【００２２】次に真空チャンバ１０のチャンバ本体１１
にワークを出し入れ及び清掃を行う場合には、図３に示
すように、上下駆動機構３１により取付ブロック３２を
下端に移動させる。これにより、開口部１２が全開し、
ワークの出し入れ及び清掃が容易となる。
にワークを出し入れ及び清掃を行う場合には、図３に示
すように、上下駆動機構３１により取付ブロック３２を
下端に移動させる。これにより、開口部１２が全開し、
ワークの出し入れ及び清掃が容易となる。
【００２３】一方、扉２０の内壁面を清掃する場合に
は、図２の（ｂ）に示すようにブロック４７を取り外す
ことにより、ピン２３ｂが自由となり、ピン２３ａを回
転軸として扉２０を手前に傾斜させることができる。こ
のため扉２０の内壁面２１ａを容易に清掃できるように
なる。
は、図２の（ｂ）に示すようにブロック４７を取り外す
ことにより、ピン２３ｂが自由となり、ピン２３ａを回
転軸として扉２０を手前に傾斜させることができる。こ
のため扉２０の内壁面２１ａを容易に清掃できるように
なる。
【００２４】なお、本発明は上述した各実施の形態に限
定されるものではない。すなわち上記実施の形態では、
真空チャンバの一例として処理室について説明したが、
ロードロック室にも適用できる。このほか本発明の要旨
を逸脱しない範囲で種々変形実施可能であるのは勿論で
ある。
定されるものではない。すなわち上記実施の形態では、
真空チャンバの一例として処理室について説明したが、
ロードロック室にも適用できる。このほか本発明の要旨
を逸脱しない範囲で種々変形実施可能であるのは勿論で
ある。
【００２５】
【発明の効果】請求項１に記載された発明によれば、扉
往復動機構により開口部に沿って扉を移動することによ
り、扉手前の作業者等に干渉することなく扉を開閉する
ことができる。また、扉の一端側は軸支され、係合部に
よる係合を解除することで、扉の軸支部回りの回動を行
うことができるので、扉を傾斜させることができ、容易
に扉の内壁面の清掃を行うことができる。
往復動機構により開口部に沿って扉を移動することによ
り、扉手前の作業者等に干渉することなく扉を開閉する
ことができる。また、扉の一端側は軸支され、係合部に
よる係合を解除することで、扉の軸支部回りの回動を行
うことができるので、扉を傾斜させることができ、容易
に扉の内壁面の清掃を行うことができる。
【図１】本発明の実施の形態に係る扉開閉装置が取り付
けられた真空チャンバを示す斜視図。
けられた真空チャンバを示す斜視図。
【図２】同扉開閉装置の要部を示す斜視図。
【図３】同扉開閉装置の出し入れ時の状態を示す斜視
図。
図。
【図４】同扉開閉装置の清掃時の状態を示す斜視図。
１０…真空チャンバ １２…開口部 ２０…扉 ２３ａ…ピン（軸支部） ３０…扉開閉装置 ３１…上下駆動機構（扉往復動機構） ４０…離接機構 ４５…切欠部（軸支部） ５０…クランプ機構
Claims (1)
- 【請求項１】真空チャンバの開口部を気密に蓋する板状
の扉を開閉する扉開閉装置において、 前記扉の一端側を軸支する軸支部と、 前記扉の前記軸支部回りの回動を規制する脱着自在な係
合部と、 前記軸支部を前記開口部に沿って往復動させる扉往復動
機構と、 前記扉を前記開口部に対して離間・圧接させるための扉
離接機構とを備えていることを特徴とする扉開閉装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11093797A JPH10303277A (ja) | 1997-04-28 | 1997-04-28 | 扉開閉装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11093797A JPH10303277A (ja) | 1997-04-28 | 1997-04-28 | 扉開閉装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10303277A true JPH10303277A (ja) | 1998-11-13 |
Family
ID=14548374
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11093797A Pending JPH10303277A (ja) | 1997-04-28 | 1997-04-28 | 扉開閉装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10303277A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100844352B1 (ko) | 2007-02-12 | 2008-07-07 | 주식회사 씨어테크 | 챔버용 도어개폐장치 |
| KR100853573B1 (ko) | 2005-08-31 | 2008-08-21 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 기판 처리 장치 및 기판 처리 시스템 |
| JP2010093223A (ja) * | 2008-09-12 | 2010-04-22 | Daifuku Co Ltd | 基板搬送設備 |
| WO2010090283A1 (ja) | 2009-02-06 | 2010-08-12 | シャープ株式会社 | 真空装置 |
| KR101688596B1 (ko) * | 2016-03-30 | 2016-12-21 | (주)블루이엔지 | 반도체 제조용 챔버의 도어 장치 |
| KR101688597B1 (ko) * | 2016-03-30 | 2016-12-21 | (주)블루이엔지 | 자유낙하형 도어 장치 및 이를 구비한 반도체 테스트 장치 |
-
1997
- 1997-04-28 JP JP11093797A patent/JPH10303277A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100853573B1 (ko) | 2005-08-31 | 2008-08-21 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 기판 처리 장치 및 기판 처리 시스템 |
| KR100844352B1 (ko) | 2007-02-12 | 2008-07-07 | 주식회사 씨어테크 | 챔버용 도어개폐장치 |
| JP2010093223A (ja) * | 2008-09-12 | 2010-04-22 | Daifuku Co Ltd | 基板搬送設備 |
| JP2010093222A (ja) * | 2008-09-12 | 2010-04-22 | Daifuku Co Ltd | 基板搬送設備 |
| WO2010090283A1 (ja) | 2009-02-06 | 2010-08-12 | シャープ株式会社 | 真空装置 |
| KR101688596B1 (ko) * | 2016-03-30 | 2016-12-21 | (주)블루이엔지 | 반도체 제조용 챔버의 도어 장치 |
| KR101688597B1 (ko) * | 2016-03-30 | 2016-12-21 | (주)블루이엔지 | 자유낙하형 도어 장치 및 이를 구비한 반도체 테스트 장치 |
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