JPH07309440A - 搬送システム - Google Patents
搬送システムInfo
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- JPH07309440A JPH07309440A JP6126828A JP12682894A JPH07309440A JP H07309440 A JPH07309440 A JP H07309440A JP 6126828 A JP6126828 A JP 6126828A JP 12682894 A JP12682894 A JP 12682894A JP H07309440 A JPH07309440 A JP H07309440A
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- JP
- Japan
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- cassette
- container
- robot
- handle
- fingers
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
- H01L21/67769—Storage means
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
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- H01L21/67772—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading involving removal of lid, door, cover
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- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S414/00—Material or article handling
- Y10S414/135—Associated with semiconductor wafer handling
- Y10S414/14—Wafer cassette transporting
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- Power Engineering (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Stacking Of Articles And Auxiliary Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ハンドの構成を簡略化、軽量化することがで
き、製造コストを低減することができる搬送システムを
提供する。 【構成】 内部にワーク（Ｗ）を収容するカセット
（２）と、このカセット（２）を収容するコンテナ（３
０）と、カセット（２）を支持して搬送するとともに、
空またはカセット（２）が収容されたコンテナ（３０）
を支持して搬送する移送手段（１０）とを具備し、移送
手段（１０）は、カセット（２）を支持する支持手段
（１７）を備えた搬送システムであり、コンテナ（３
０）の上面に、支持手段（１７）により支持可能な取っ
手（３１）を設けたことを特徴としている。
き、製造コストを低減することができる搬送システムを
提供する。 【構成】 内部にワーク（Ｗ）を収容するカセット
（２）と、このカセット（２）を収容するコンテナ（３
０）と、カセット（２）を支持して搬送するとともに、
空またはカセット（２）が収容されたコンテナ（３０）
を支持して搬送する移送手段（１０）とを具備し、移送
手段（１０）は、カセット（２）を支持する支持手段
（１７）を備えた搬送システムであり、コンテナ（３
０）の上面に、支持手段（１７）により支持可能な取っ
手（３１）を設けたことを特徴としている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、たとえば半導体ウエ
ハ、液晶表示基板、ディスク等の電子基板などを製造す
る装置内において、半導体ウエハ等のワークをコンテナ
内に収容して搬送する搬送システムに関する。
ハ、液晶表示基板、ディスク等の電子基板などを製造す
る装置内において、半導体ウエハ等のワークをコンテナ
内に収容して搬送する搬送システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】たとえば半導体の製造は、内部雰囲気を
清浄化したクリーンルーム内において行われる。また、
クリールーム内で半導体ウエハ（以下、「ウエハ」と略
称する）を各工程間で搬送したりストッカに保管したり
する搬送システムとして、ウエハへの粉塵の付着を防止
するために、ウエハを収容したウエハカセットを可搬式
の密閉コンテナに収容して搬送や保管を行う技術が知ら
れている。
清浄化したクリーンルーム内において行われる。また、
クリールーム内で半導体ウエハ（以下、「ウエハ」と略
称する）を各工程間で搬送したりストッカに保管したり
する搬送システムとして、ウエハへの粉塵の付着を防止
するために、ウエハを収容したウエハカセットを可搬式
の密閉コンテナに収容して搬送や保管を行う技術が知ら
れている。
【０００３】図４は上記のような半導体のストッカ１を
示す斜視図、図５はその内部の正面図である。ストッカ
１は、カセット搬入口１Ａとコンテナ入出口（図１にの
み示す）１Ｂとを有している。ストッカ１内には、カセ
ット搬入口１Ａ側に位置する移載室１Ｃとコンテナ入出
口１Ｂ側に位置するカセット保管室１Ｄが設けられてい
る。また、図６において（Ａ）はカセット２、（Ｂ）は
コンテナ本体３Ａ、（Ｃ）はコンテナ本体３Ａに装着さ
れる底蓋４をそれぞれ示す図であり、コンテナ本体３Ａ
に底蓋４を装着してコンテナ３を構成するようになって
いる。
示す斜視図、図５はその内部の正面図である。ストッカ
１は、カセット搬入口１Ａとコンテナ入出口（図１にの
み示す）１Ｂとを有している。ストッカ１内には、カセ
ット搬入口１Ａ側に位置する移載室１Ｃとコンテナ入出
口１Ｂ側に位置するカセット保管室１Ｄが設けられてい
る。また、図６において（Ａ）はカセット２、（Ｂ）は
コンテナ本体３Ａ、（Ｃ）はコンテナ本体３Ａに装着さ
れる底蓋４をそれぞれ示す図であり、コンテナ本体３Ａ
に底蓋４を装着してコンテナ３を構成するようになって
いる。
【０００４】カセット２は一側が開放された箱型をな
し、その内部には複数（通常は２５枚）のウエハＷが上
下方向に互いに離間して収容されている。また、コンテ
ナ本体３Ａは下面が開放された箱型をなし、その側面と
上面にはそれぞれ取っ手３Ｂ，３Ｃが固定されている。
取っ手３Ｂは後述するロボット１０により把持されるた
めのものであり、取っ手３Ｃは作業者が持つためのもの
である。また、コンテナ本体３Ａの開放された底面に
は、底蓋４が嵌合され、かつ、着脱自在に装着されるよ
うになっている。底蓋４の側部には、内部に設けたロッ
クアーム（図示略）の先端部が突出する孔４Ａが形成さ
れ、孔４Ａから突出したロックアームの先端部がコンテ
ナ本体３Ａの内周壁に形成した凹部（図示略）に挿入さ
れることにより、コンテナ本体３Ａと底蓋４とが着脱自
在に固定される。なお、これらの構成の詳細については
本発明の実施例で説明する。
し、その内部には複数（通常は２５枚）のウエハＷが上
下方向に互いに離間して収容されている。また、コンテ
ナ本体３Ａは下面が開放された箱型をなし、その側面と
上面にはそれぞれ取っ手３Ｂ，３Ｃが固定されている。
取っ手３Ｂは後述するロボット１０により把持されるた
めのものであり、取っ手３Ｃは作業者が持つためのもの
である。また、コンテナ本体３Ａの開放された底面に
は、底蓋４が嵌合され、かつ、着脱自在に装着されるよ
うになっている。底蓋４の側部には、内部に設けたロッ
クアーム（図示略）の先端部が突出する孔４Ａが形成さ
れ、孔４Ａから突出したロックアームの先端部がコンテ
ナ本体３Ａの内周壁に形成した凹部（図示略）に挿入さ
れることにより、コンテナ本体３Ａと底蓋４とが着脱自
在に固定される。なお、これらの構成の詳細については
本発明の実施例で説明する。
【０００５】上記構成のコンテナ３にカセット２を収容
するには、底蓋４の上にカセット２を位置決めして載置
する。なお、底蓋４の上面には位置決め用駒（図示略）
が取り付けられており、カセット２の底部に設けたガイ
ド（図示略）を位置決め用駒に嵌合させることにより両
者の位置決めが行われる。次に、カセット２の上からコ
ンテナ本体３Ａを覆い被せ、次に、底蓋４内のロックア
ームの先端部を孔４Ａから突出させて底蓋４をコンテナ
本体３Ａに固定する。この状態でコンテナ３はカセット
保管室１Ｄへ搬入され、あるいは、カセット保管室１Ｄ
から取り出されてコンテナ入出口１Ｂから外部へ搬出さ
れる。そして、そのような作業は、この従来例では、ス
トッカ１内に配置したロボット１０により行われる。
するには、底蓋４の上にカセット２を位置決めして載置
する。なお、底蓋４の上面には位置決め用駒（図示略）
が取り付けられており、カセット２の底部に設けたガイ
ド（図示略）を位置決め用駒に嵌合させることにより両
者の位置決めが行われる。次に、カセット２の上からコ
ンテナ本体３Ａを覆い被せ、次に、底蓋４内のロックア
ームの先端部を孔４Ａから突出させて底蓋４をコンテナ
本体３Ａに固定する。この状態でコンテナ３はカセット
保管室１Ｄへ搬入され、あるいは、カセット保管室１Ｄ
から取り出されてコンテナ入出口１Ｂから外部へ搬出さ
れる。そして、そのような作業は、この従来例では、ス
トッカ１内に配置したロボット１０により行われる。
【０００６】図５において符号１１は、ロボット１０の
上下移動のためのＹ軸ガイドレールである。Ｙ軸ガイド
レール１１は図示しないスライダに支持され、スライダ
とともに紙面と直交する方向（Ｚ軸）へ移動可能とされ
ている。Ｙ軸ガイドレール１１には第１スライダ１２が
上下方向へ移動可能に支持され、第１スライダ１２には
Ｘ軸ガイドレール１３が取り付けられている。Ｘ軸ガイ
ドレール１３には、その長手方向へ移動可能な第２スラ
イダ１４が取り付けられており、この第２スライダ１４
の下面にはロボット１０が旋回軸１５を介して取り付け
ている。ロボット１０は、その両側部に互いに接近離間
可能なハンド１６を有している。
上下移動のためのＹ軸ガイドレールである。Ｙ軸ガイド
レール１１は図示しないスライダに支持され、スライダ
とともに紙面と直交する方向（Ｚ軸）へ移動可能とされ
ている。Ｙ軸ガイドレール１１には第１スライダ１２が
上下方向へ移動可能に支持され、第１スライダ１２には
Ｘ軸ガイドレール１３が取り付けられている。Ｘ軸ガイ
ドレール１３には、その長手方向へ移動可能な第２スラ
イダ１４が取り付けられており、この第２スライダ１４
の下面にはロボット１０が旋回軸１５を介して取り付け
ている。ロボット１０は、その両側部に互いに接近離間
可能なハンド１６を有している。
【０００７】図７はロボット１０の詳細を示す図であ
る。ロボット１０の両側にはハンド１６が軸１６Ａを中
心に回転可能、かつ、互いに接近離間可能に支持されて
いる。ハンド１６の両端部には、フィンガ１６Ｂ，１６
Ｃが取り付けられている。フィンガ１６Ｂはカセット２
を把持するためのものである。また、フィンガ１６Ｃ
は、コンテナ３を把持あるいは取っ手３Ａの下側から支
持するためのものであり、フィンガ１６Ｃどうしの離間
寸法はフィンガ１８Ｂどうしの離間寸法よりも大きくさ
れている。そして、使用するフィンガ１６Ｂ，１６Ｃの
切替は、ハンド１６を軸１６Ａを中心に回転させること
により行われる。なお、図中符号２０は、コンテナ３用
の底蓋４のロックアームを駆動して底蓋４のコンテナ３
への取付、取外しを行うためのラッチ開閉装置、２１は
ストッカ１の内部の構成全体を制御するコントローラで
ある。また、符号１Ｅはコンテナ仮置台、１Ｆはカセッ
ト置台、１Ｇはコンテナ３を置く棚である。また、上記
したようなフィンガ１６Ｂ，１６Ｃを切り替える構成の
他、カセット用とコンテナ用の２台のロボットを配置
し、それぞれのロボットに、カセットまたはコンテナ専
用のフィンガを取り付けたものも知られている。
る。ロボット１０の両側にはハンド１６が軸１６Ａを中
心に回転可能、かつ、互いに接近離間可能に支持されて
いる。ハンド１６の両端部には、フィンガ１６Ｂ，１６
Ｃが取り付けられている。フィンガ１６Ｂはカセット２
を把持するためのものである。また、フィンガ１６Ｃ
は、コンテナ３を把持あるいは取っ手３Ａの下側から支
持するためのものであり、フィンガ１６Ｃどうしの離間
寸法はフィンガ１８Ｂどうしの離間寸法よりも大きくさ
れている。そして、使用するフィンガ１６Ｂ，１６Ｃの
切替は、ハンド１６を軸１６Ａを中心に回転させること
により行われる。なお、図中符号２０は、コンテナ３用
の底蓋４のロックアームを駆動して底蓋４のコンテナ３
への取付、取外しを行うためのラッチ開閉装置、２１は
ストッカ１の内部の構成全体を制御するコントローラで
ある。また、符号１Ｅはコンテナ仮置台、１Ｆはカセッ
ト置台、１Ｇはコンテナ３を置く棚である。また、上記
したようなフィンガ１６Ｂ，１６Ｃを切り替える構成の
他、カセット用とコンテナ用の２台のロボットを配置
し、それぞれのロボットに、カセットまたはコンテナ専
用のフィンガを取り付けたものも知られている。
【０００８】上記のようなストッカ１においては、ウエ
ハＷを収容したカセット２の搬入、保管および搬出は次
のようにして行われる。まず、ロボット１０はそのフィ
ンガ１６Ｃで空のコンテナ３を支持し、コンテナ保管室
１Ｄから搬出してラッチ開閉装置２０に載置する。次
に、ラッチ開閉装置２０は、底蓋４内のロックアームを
駆動し、底蓋４とコンテナ本体３Ａとの係合状態を解除
する。次に、ロボット１０は、底蓋４をラッチ開閉装置
２０に残したままコンテナ本体３Ａをコンテナ仮置台１
Ｅに移載する。次に、ロボット１０は、フィンガ１６
Ｂ，１６Ｃを切り換え、カセット置台１Ｆに載置された
カセット２をフィンガ１６Ｂで把持して底蓋４の上面に
載置する。次に、ロボット１０は、フィンガ１６Ｂ，１
６Ｃを切り替え、コンテナ仮置台１Ｅ上のコンテナ本体
３Ａをフィンガ１６Ｃで把持し、カセット２に覆い被せ
るようにしてラッチ開閉装置２０の上面に載置する。そ
の際、コンテナ３の開口部に底蓋４を嵌合させる。次
に、ラッチ開閉装置２０は、底蓋４内のロックアームを
駆動し、底蓋４をコンテナ本体３Ａに取り付ける。次
に、ロボット１０は、内部にカセット２を収容したコン
テナ３を搬送して、コンテナ保管室１Ｄの所定の棚１Ｇ
にコンテナ３を載置する。あるいは、ロボット１０は、
要求に応じてカセット２が収容されたコンテナ３フィン
ガ１６Ｃで把持し、コンテナ入出口１Ｂから搬出する。
ハＷを収容したカセット２の搬入、保管および搬出は次
のようにして行われる。まず、ロボット１０はそのフィ
ンガ１６Ｃで空のコンテナ３を支持し、コンテナ保管室
１Ｄから搬出してラッチ開閉装置２０に載置する。次
に、ラッチ開閉装置２０は、底蓋４内のロックアームを
駆動し、底蓋４とコンテナ本体３Ａとの係合状態を解除
する。次に、ロボット１０は、底蓋４をラッチ開閉装置
２０に残したままコンテナ本体３Ａをコンテナ仮置台１
Ｅに移載する。次に、ロボット１０は、フィンガ１６
Ｂ，１６Ｃを切り換え、カセット置台１Ｆに載置された
カセット２をフィンガ１６Ｂで把持して底蓋４の上面に
載置する。次に、ロボット１０は、フィンガ１６Ｂ，１
６Ｃを切り替え、コンテナ仮置台１Ｅ上のコンテナ本体
３Ａをフィンガ１６Ｃで把持し、カセット２に覆い被せ
るようにしてラッチ開閉装置２０の上面に載置する。そ
の際、コンテナ３の開口部に底蓋４を嵌合させる。次
に、ラッチ開閉装置２０は、底蓋４内のロックアームを
駆動し、底蓋４をコンテナ本体３Ａに取り付ける。次
に、ロボット１０は、内部にカセット２を収容したコン
テナ３を搬送して、コンテナ保管室１Ｄの所定の棚１Ｇ
にコンテナ３を載置する。あるいは、ロボット１０は、
要求に応じてカセット２が収容されたコンテナ３フィン
ガ１６Ｃで把持し、コンテナ入出口１Ｂから搬出する。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記ストッ
カの搬送システムにおいては、カセットとコンテナの搬
送に応じて２種類のフィンガを回転させて切り換える構
成であるため、以下のような問題を有していた。 ハンドが複雑大型化し、ロボットの小回りが利かず、
また、動作範囲が制限される。 ロボットのフィンガ重量を含めた可搬重量には制限が
あるため、ハンドが重量化することにより搬送可能な重
量に制約を受ける。 ハンドの複雑大型化、重量化により、ロボットを含め
た搬送システム全体のコストが割高になってしまう。
カの搬送システムにおいては、カセットとコンテナの搬
送に応じて２種類のフィンガを回転させて切り換える構
成であるため、以下のような問題を有していた。 ハンドが複雑大型化し、ロボットの小回りが利かず、
また、動作範囲が制限される。 ロボットのフィンガ重量を含めた可搬重量には制限が
あるため、ハンドが重量化することにより搬送可能な重
量に制約を受ける。 ハンドの複雑大型化、重量化により、ロボットを含め
た搬送システム全体のコストが割高になってしまう。
【００１０】この発明は、上記問題点を解決するために
なされたもので、ハンドの構成を簡略化、軽量化するこ
とができ、上記した従来技術の問題点を解決することが
できる搬送システムを提供することを目的としている。
なされたもので、ハンドの構成を簡略化、軽量化するこ
とができ、上記した従来技術の問題点を解決することが
できる搬送システムを提供することを目的としている。
【００１１】
【課題を解決するための手段】この発明の搬送システム
は、内部にワークを収容するカセットと、このカセット
を収容するコンテナと、上記カセットを支持して搬送す
るとともに、空または上記カセットが収容されたコンテ
ナを支持して搬送する移送手段とを具備し、上記移送手
段は、上記カセットを支持する支持手段を備えた搬送シ
ステムにおいて、コンテナの上面に、支持手段により支
持可能な取っ手を設けたことを特徴としている。
は、内部にワークを収容するカセットと、このカセット
を収容するコンテナと、上記カセットを支持して搬送す
るとともに、空または上記カセットが収容されたコンテ
ナを支持して搬送する移送手段とを具備し、上記移送手
段は、上記カセットを支持する支持手段を備えた搬送シ
ステムにおいて、コンテナの上面に、支持手段により支
持可能な取っ手を設けたことを特徴としている。
【００１２】具体的には、支持手段は、例えば互いに接
近離間可能なハンドを備えるとともにこのハンドに設け
たフィンガで前記カセットを把持するように構成され、
取っ手の幅はフィンガで把持可能な寸法とされる。すな
わち、取っ手の側部のうちフィンガに把持される部分ど
うしの離間寸法は、カセットの側面のうちフィンガに把
持される部分どうしの離間寸法とほぼ等しくされる。
近離間可能なハンドを備えるとともにこのハンドに設け
たフィンガで前記カセットを把持するように構成され、
取っ手の幅はフィンガで把持可能な寸法とされる。すな
わち、取っ手の側部のうちフィンガに把持される部分ど
うしの離間寸法は、カセットの側面のうちフィンガに把
持される部分どうしの離間寸法とほぼ等しくされる。
【００１３】また、取っ手は、その下側から支持手段に
より支持されるように構成することもできる。この場合
には、取っ手の幅寸法は任意である。
より支持されるように構成することもできる。この場合
には、取っ手の幅寸法は任意である。
【００１４】
【作用】上記構成の搬送システムにおいては、カセット
用の支持手段でコンテナを支持することができ、よっ
て、支持手段の部品の交換ないし切替を必要としない。
用の支持手段でコンテナを支持することができ、よっ
て、支持手段の部品の交換ないし切替を必要としない。
【００１５】
【実施例】以下、図１ないし図３を参照してこの発明の
実施例について説明する。図１は実施例の搬送システム
が配置されているストッカ１を示す図である。ストッカ
１は、クリーンルーム内の例えば洗浄装置等の表面処理
装置に隣接配置されている。なお、この図において前述
した図５に示す各部と共通する部分については同一の符
号を付けてその説明を省略する。
実施例について説明する。図１は実施例の搬送システム
が配置されているストッカ１を示す図である。ストッカ
１は、クリーンルーム内の例えば洗浄装置等の表面処理
装置に隣接配置されている。なお、この図において前述
した図５に示す各部と共通する部分については同一の符
号を付けてその説明を省略する。
【００１６】ロボット（移送手段）１０は、図５に示す
ものと同様に、旋回軸１５を中心に回転可能とされると
ともに、前後左右および上下方向へ移動可能に構成され
ており、コンテナ仮置台１Ｅ、ラッチ開閉装置２０、棚
１Ｇおよびコンテナ入出口１Ｂ（図４参照）の間でコン
テナ３０またはコンテナ本体３０Ａを移送するととも
に、カセット置台１Ｆとラッチ開閉装置２０との間でカ
セット２を移送する機能を有している。また、ロボット
１０には、軸１７Ａにより回転可能とされるとともに、
互いに接近離間可能な一対のハンド（支持手段）１７が
取り付けられ、ハンド１７には、その一端部にのみフィ
ンガ１７Ｂが取り付けられている。
ものと同様に、旋回軸１５を中心に回転可能とされると
ともに、前後左右および上下方向へ移動可能に構成され
ており、コンテナ仮置台１Ｅ、ラッチ開閉装置２０、棚
１Ｇおよびコンテナ入出口１Ｂ（図４参照）の間でコン
テナ３０またはコンテナ本体３０Ａを移送するととも
に、カセット置台１Ｆとラッチ開閉装置２０との間でカ
セット２を移送する機能を有している。また、ロボット
１０には、軸１７Ａにより回転可能とされるとともに、
互いに接近離間可能な一対のハンド（支持手段）１７が
取り付けられ、ハンド１７には、その一端部にのみフィ
ンガ１７Ｂが取り付けられている。
【００１７】次に、図３はコンテナ本体３０Ａ、ウエハ
（ワーク）Ｗを収容したカセット２および底蓋４０を示
す図であり、コンテナ本体３０Ａと底蓋４０とによりコ
ンテナ４０が構成される。コンテナ本体３０Ａは、底面
が開放された箱型をなしている。また、コンテナ本体３
０Ａの底面開口部には、前記従来のものと同様に、底蓋
４が嵌合され、かつ、着脱自在に取り付けられるように
なっている。コンテナ本体３０Ａの上面には、取っ手３
１がスペーサ３２を介して取り付けられている。取っ手
３１は、カセット２の上部断面形状とほぼ同形同大とな
っており、このため、取っ手３１のフィンガ１７Ｂと接
触する側部どうしの離間寸法は、カセット３の側面どう
しの離間寸法とほぼ等しくなっている。また、取っ手３
１の側部は、カセット２の側面と同様に２段に形成され
ている。
（ワーク）Ｗを収容したカセット２および底蓋４０を示
す図であり、コンテナ本体３０Ａと底蓋４０とによりコ
ンテナ４０が構成される。コンテナ本体３０Ａは、底面
が開放された箱型をなしている。また、コンテナ本体３
０Ａの底面開口部には、前記従来のものと同様に、底蓋
４が嵌合され、かつ、着脱自在に取り付けられるように
なっている。コンテナ本体３０Ａの上面には、取っ手３
１がスペーサ３２を介して取り付けられている。取っ手
３１は、カセット２の上部断面形状とほぼ同形同大とな
っており、このため、取っ手３１のフィンガ１７Ｂと接
触する側部どうしの離間寸法は、カセット３の側面どう
しの離間寸法とほぼ等しくなっている。また、取っ手３
１の側部は、カセット２の側面と同様に２段に形成され
ている。
【００１８】上記のように構成されたコンテナ本体３０
Ａまたはコンテナ３０は、その取っ手３１をロボット１
０のフィンガ１７Ｂで把持されることにより搬送され
る。一方、フィンガ１７Ｂは、取っ手３１の側部の形状
に対応して２段に形成されており、取っ手３１の段部３
３にロボット１０のフィンガ１７Ｂの段部（図示略）が
当接させられることにより、コンテナ３０とフィンガ１
０Ｃとの位置決めがなされる。また、カセット２もその
側部がフィンガ１７Ｂにより把持され、カセット２の側
面に形成された段部２Ａによりフィンガ１７Ｂとの位置
決めが行われる。なお、カセット２およびフィンガ１７
Ｂは、上記のようなものに限定されるものではなく、種
々の形状とすることができる。たとえば、フィンガ１７
Ｂ，１７Ｂの互いに向かい合った面に取っ手３１が嵌合
する溝を形成することができる。また、この場合には、
カセット２の側部に取っ手３１と同等の形状を有する鍔
部を形成し、フィンガ１７Ｂの溝に鍔部を嵌合させるよ
うに構成することができ、あるいは、フィンガ１７Ｂを
鍔部の下側に形成した凹部へ挿入するように構成するこ
ともできる。
Ａまたはコンテナ３０は、その取っ手３１をロボット１
０のフィンガ１７Ｂで把持されることにより搬送され
る。一方、フィンガ１７Ｂは、取っ手３１の側部の形状
に対応して２段に形成されており、取っ手３１の段部３
３にロボット１０のフィンガ１７Ｂの段部（図示略）が
当接させられることにより、コンテナ３０とフィンガ１
０Ｃとの位置決めがなされる。また、カセット２もその
側部がフィンガ１７Ｂにより把持され、カセット２の側
面に形成された段部２Ａによりフィンガ１７Ｂとの位置
決めが行われる。なお、カセット２およびフィンガ１７
Ｂは、上記のようなものに限定されるものではなく、種
々の形状とすることができる。たとえば、フィンガ１７
Ｂ，１７Ｂの互いに向かい合った面に取っ手３１が嵌合
する溝を形成することができる。また、この場合には、
カセット２の側部に取っ手３１と同等の形状を有する鍔
部を形成し、フィンガ１７Ｂの溝に鍔部を嵌合させるよ
うに構成することができ、あるいは、フィンガ１７Ｂを
鍔部の下側に形成した凹部へ挿入するように構成するこ
ともできる。
【００１９】次に、図２は、コンテナ本体３０Ａと底蓋
２をさらに詳細に示した図である。コンテナ本体３０Ａ
の開口部近傍の壁部は他の部分に対して拡開され、その
拡開された空間に底蓋４が収容されている。底蓋４は、
内部が中空とされ、頂板４１および底板４２と側板４３
とを組み合わせた矩形の板状体をなしている。底蓋４の
内部には、カム４４が配置されている。カム４４の上面
中央にはピン４４Ａが形成され、このピン４４Ａを頂板
４１に挿入することによりカム４４は回転自在に支持さ
れている。カム４４には、板状のロックアーム４５の端
部が係合されており、カム４４を回転させることによ
り、ロックアーム４５を図中左右方向へ移動させること
ができるようになっている。そして、ロックアーム４５
を移動させることにより、その先端部を孔４０Ａから出
没させ、先端部をコンテナ本体３０Ａの内周壁に形成し
た凹部３４に挿脱自在に嵌合させるようになっている。
なお、図中符号４６はロックハンド４５を傾倒可能に支
持する支点部材、４７はロックハンド４５をカム４４へ
押圧する板バネである。また、符号４８は、コンテナ３
０の内部を外部から気密に遮蔽するためのパッキンであ
り、このパッキン４８は、コンテナ本体３０Ａまたは底
蓋４０のいずれか一方に固着されている。
２をさらに詳細に示した図である。コンテナ本体３０Ａ
の開口部近傍の壁部は他の部分に対して拡開され、その
拡開された空間に底蓋４が収容されている。底蓋４は、
内部が中空とされ、頂板４１および底板４２と側板４３
とを組み合わせた矩形の板状体をなしている。底蓋４の
内部には、カム４４が配置されている。カム４４の上面
中央にはピン４４Ａが形成され、このピン４４Ａを頂板
４１に挿入することによりカム４４は回転自在に支持さ
れている。カム４４には、板状のロックアーム４５の端
部が係合されており、カム４４を回転させることによ
り、ロックアーム４５を図中左右方向へ移動させること
ができるようになっている。そして、ロックアーム４５
を移動させることにより、その先端部を孔４０Ａから出
没させ、先端部をコンテナ本体３０Ａの内周壁に形成し
た凹部３４に挿脱自在に嵌合させるようになっている。
なお、図中符号４６はロックハンド４５を傾倒可能に支
持する支点部材、４７はロックハンド４５をカム４４へ
押圧する板バネである。また、符号４８は、コンテナ３
０の内部を外部から気密に遮蔽するためのパッキンであ
り、このパッキン４８は、コンテナ本体３０Ａまたは底
蓋４０のいずれか一方に固着されている。
【００２０】一方、ラッチ開閉装置２０には、カム軸２
０Ａがカム駆動機構２０Ｂにより回転可能に支持されて
いる。カム軸２０Ａの先端部は、底蓋４０の底板４２を
貫通してカム４４に挿入され、カム４４とスプライン係
合するようになっている。そして、ラッチ開閉装置２０
に底蓋４０を載置するに際しては、カム軸２０Ａの先端
部がカム４４に挿入されるようにコンテナ３０の位置決
めがなされる。
０Ａがカム駆動機構２０Ｂにより回転可能に支持されて
いる。カム軸２０Ａの先端部は、底蓋４０の底板４２を
貫通してカム４４に挿入され、カム４４とスプライン係
合するようになっている。そして、ラッチ開閉装置２０
に底蓋４０を載置するに際しては、カム軸２０Ａの先端
部がカム４４に挿入されるようにコンテナ３０の位置決
めがなされる。
【００２１】次に、上記構成の搬送システムの動作につ
いて説明する。 Ａ．カセットの入庫動作 クリールーム内の洗浄装置により表面処理されたウエ
ハＷを収容したカセット２が洗浄装置から搬出され、ス
トッカ１のカセット入出口１Ａに隣接配置されたカセッ
ト置台１Ｆに載置される。 ロボット１０がコンテナ保管室１Ｄの指定された棚１
Ｇに載置された空のコンテナ３０の取っ手３１を把持
し、コンテナ３０を搬出してラッチ開閉装置２０の上面
に載置する。その際、ラッチ開閉装置２０から突出した
カム軸２０Ａがコンテナ３０に取り付けられた底蓋４０
のカム４４に挿入されるように位置決めする。 カム軸２０Ａを回転させてロックアーム４５を移動さ
せ、ロックアーム４５の先端部をコンテナ３０の凹部３
４から抜き出す。これにより、コンテナ３０と底蓋４０
との係合状態が解除される。 ロボット１０は、ラッチ開閉装置２０上のコンテナ本
体３０Ａの取っ手３１を把持し、底蓋４０をラッチ開閉
装置２０に残したままコンテナ本体３０Ａをコンテナ仮
置台１Ｅに移載する。 ロボット１０は、そのフィンガ１７Ｂでカセット置台
１Ｆに載置されたカセット２をその側面から把持し、カ
セット２をラッチ開閉装置２０上の底蓋４０に載置す
る。 ロボット１０は、コンテナ仮置台１Ｅ上のコンテナ本
体３０Ａをラッチ開閉装置２０まで搬送し、カセット２
に覆い被せるようにしてコンテナ本体３０Ａをラッチ開
閉装置２０上に載置する。その際に、底蓋４０をコンテ
ナ本体３０Ａの開口部に嵌合させる。 ラッチ開閉装置２０のカム軸２０Ａを回転させ、ロッ
クアーム４５を駆動してその先端部を底蓋４０の孔４０
Ａから突出させ、コンテナ本体３０Ａの凹部３４に挿入
する。これにより、底蓋４０がコンテナ本体３０Ａに取
り付けられてコンテナ３０が構成される。また、パッキ
ン４８により、コンテナ３０の内部は外部から気密に遮
蔽される。 ロボット１０は、カセット２が収容されたコンテナ３
０の取っ手３１を把持して搬送し、コンテナ保管庫１Ｄ
の所定の棚１Ｇに載置する。このコンテナ３０は、出庫
の指示がなされるまでそのままの状態で保管される。
いて説明する。 Ａ．カセットの入庫動作 クリールーム内の洗浄装置により表面処理されたウエ
ハＷを収容したカセット２が洗浄装置から搬出され、ス
トッカ１のカセット入出口１Ａに隣接配置されたカセッ
ト置台１Ｆに載置される。 ロボット１０がコンテナ保管室１Ｄの指定された棚１
Ｇに載置された空のコンテナ３０の取っ手３１を把持
し、コンテナ３０を搬出してラッチ開閉装置２０の上面
に載置する。その際、ラッチ開閉装置２０から突出した
カム軸２０Ａがコンテナ３０に取り付けられた底蓋４０
のカム４４に挿入されるように位置決めする。 カム軸２０Ａを回転させてロックアーム４５を移動さ
せ、ロックアーム４５の先端部をコンテナ３０の凹部３
４から抜き出す。これにより、コンテナ３０と底蓋４０
との係合状態が解除される。 ロボット１０は、ラッチ開閉装置２０上のコンテナ本
体３０Ａの取っ手３１を把持し、底蓋４０をラッチ開閉
装置２０に残したままコンテナ本体３０Ａをコンテナ仮
置台１Ｅに移載する。 ロボット１０は、そのフィンガ１７Ｂでカセット置台
１Ｆに載置されたカセット２をその側面から把持し、カ
セット２をラッチ開閉装置２０上の底蓋４０に載置す
る。 ロボット１０は、コンテナ仮置台１Ｅ上のコンテナ本
体３０Ａをラッチ開閉装置２０まで搬送し、カセット２
に覆い被せるようにしてコンテナ本体３０Ａをラッチ開
閉装置２０上に載置する。その際に、底蓋４０をコンテ
ナ本体３０Ａの開口部に嵌合させる。 ラッチ開閉装置２０のカム軸２０Ａを回転させ、ロッ
クアーム４５を駆動してその先端部を底蓋４０の孔４０
Ａから突出させ、コンテナ本体３０Ａの凹部３４に挿入
する。これにより、底蓋４０がコンテナ本体３０Ａに取
り付けられてコンテナ３０が構成される。また、パッキ
ン４８により、コンテナ３０の内部は外部から気密に遮
蔽される。 ロボット１０は、カセット２が収容されたコンテナ３
０の取っ手３１を把持して搬送し、コンテナ保管庫１Ｄ
の所定の棚１Ｇに載置する。このコンテナ３０は、出庫
の指示がなされるまでそのままの状態で保管される。
【００２２】Ｂ．コンテナまたはカセットの出庫動作 保管されたカセット２をコンテナ３０に収容した状態で
出荷するか、あるいは、カセット２のままで出荷するか
の指示がなされると、ロボット１０は以下の動作を行
う。 （イ）カセットをコンテナに収容した状態での出庫動作 ロボット１０は、所定の棚１Ｇからコンテナ３０を搬出
し、コンテナ入出口１Ｂ（図４参照）に設けた台（図示
略）にこれを載置する。 （ロ）カセットの姿での出庫動作 ロボット１０は中にカセット２が収容されたコンテナ
３０をラッチ開閉装置２０上に載置する。 ラッチ開閉装置２０はカム軸２０Ａを回転させてロッ
クアーム４５を駆動し、コンテナ本体３０Ａと底蓋４０
との係合状態を解除する。 ロボット１０は、ラッチ開閉装置２０上のコンテナ本
体３０Ａをコンテナ仮置台１Ｅへ移載する。 ロボット１０は、底蓋４０上のカセット２を把持して
カセット置台１Ｆに移載する。 ロボット１０は、コンテナ仮置台１Ｅ上のコンテナ本
体３０Ａをラッチ開閉装置２０に移載する。 ラッチ開閉装置２０は、カム軸２０Ａを回転させてロ
ックアーム４５を駆動し、コンテナ本体３０Ａに底蓋４
０を取り付ける。 ロボット１０は、空のコンテナ３０をラッチ開閉装置
２０から搬送し、コンテナ保管室１Ｄの所定の棚１Ｇに
載置する。
出荷するか、あるいは、カセット２のままで出荷するか
の指示がなされると、ロボット１０は以下の動作を行
う。 （イ）カセットをコンテナに収容した状態での出庫動作 ロボット１０は、所定の棚１Ｇからコンテナ３０を搬出
し、コンテナ入出口１Ｂ（図４参照）に設けた台（図示
略）にこれを載置する。 （ロ）カセットの姿での出庫動作 ロボット１０は中にカセット２が収容されたコンテナ
３０をラッチ開閉装置２０上に載置する。 ラッチ開閉装置２０はカム軸２０Ａを回転させてロッ
クアーム４５を駆動し、コンテナ本体３０Ａと底蓋４０
との係合状態を解除する。 ロボット１０は、ラッチ開閉装置２０上のコンテナ本
体３０Ａをコンテナ仮置台１Ｅへ移載する。 ロボット１０は、底蓋４０上のカセット２を把持して
カセット置台１Ｆに移載する。 ロボット１０は、コンテナ仮置台１Ｅ上のコンテナ本
体３０Ａをラッチ開閉装置２０に移載する。 ラッチ開閉装置２０は、カム軸２０Ａを回転させてロ
ックアーム４５を駆動し、コンテナ本体３０Ａに底蓋４
０を取り付ける。 ロボット１０は、空のコンテナ３０をラッチ開閉装置
２０から搬送し、コンテナ保管室１Ｄの所定の棚１Ｇに
載置する。
【００２３】上記構成の搬送システムにおいては、コン
テナ本体３０Ａの上面にフィンガ１７Ｂで指示可能な取
っ手３１を取り付けているので、ロボット１０は、その
フィンガ１７Ｂによってカセット２とコンテナ３０また
はコンテナ本体３０を支持していずれをも搬送すること
ができる。このように、上記搬送システムにおいては、
ロボット１０に１種類のフィンガ１７Ｂしか必要としな
いため、ハンド１７を小型化、簡略化および軽量化する
ことができる。よって、ロボット１０の小回りが利くと
ともに、その構成も簡略化することができ、製造コスト
を低減することができる。また、ハンド１７の重量を小
さくすることができるので、ワークの可搬重量も充分と
ることができる。
テナ本体３０Ａの上面にフィンガ１７Ｂで指示可能な取
っ手３１を取り付けているので、ロボット１０は、その
フィンガ１７Ｂによってカセット２とコンテナ３０また
はコンテナ本体３０を支持していずれをも搬送すること
ができる。このように、上記搬送システムにおいては、
ロボット１０に１種類のフィンガ１７Ｂしか必要としな
いため、ハンド１７を小型化、簡略化および軽量化する
ことができる。よって、ロボット１０の小回りが利くと
ともに、その構成も簡略化することができ、製造コスト
を低減することができる。また、ハンド１７の重量を小
さくすることができるので、ワークの可搬重量も充分と
ることができる。
【００２４】特に、上記実施例では、コンテナ３０にカ
セット２の断面形状とほぼ同形同大の取っ手３１を形成
しているため、コンテナ３０をカセット２と全く同様に
して把持することができ、よって、ハンド１７の動作が
単純化されロボット１０の制御を簡略化することができ
る。
セット２の断面形状とほぼ同形同大の取っ手３１を形成
しているため、コンテナ３０をカセット２と全く同様に
して把持することができ、よって、ハンド１７の動作が
単純化されロボット１０の制御を簡略化することができ
る。
【００２５】なお、上記実施例では、取っ手３１をカセ
ット２の断面形状とほぼ同形同大に構成しているが、フ
ィンガ１７Ｂで把持できるものであればその大きさはあ
る程度異なってもよい。すなわち、取っ手３１の大きさ
は、フィンガ１７Ｂの開閉ストロークに応じて変更可能
である。
ット２の断面形状とほぼ同形同大に構成しているが、フ
ィンガ１７Ｂで把持できるものであればその大きさはあ
る程度異なってもよい。すなわち、取っ手３１の大きさ
は、フィンガ１７Ｂの開閉ストロークに応じて変更可能
である。
【００２６】また、上記実施例では開閉可能なフィンガ
１７Ｂでカセット２およびコンテナ３０の取っ手３１を
把持する構成であるが、たとえば、上記実施例のように
スペーサ３２を介して取っ手３１をコンテナ３０に取り
付けている場合には、フィンガ１７Ｂを取っ手３１の下
側へ挿入してコンテナ３０を持ち上げるように構成して
もよい。また、カセット２についても、その両側面から
フィンガ１７Ｂで把持するように構成しているが、たと
えば、前述したように、カセット２の側面に取っ手（鍔
部）を固定し、この取っ手の下側からフィンガ等でカセ
ット２を持ち上げるように構成すれば、フィンガ１７Ｂ
は開閉しない構成とすることもできる。
１７Ｂでカセット２およびコンテナ３０の取っ手３１を
把持する構成であるが、たとえば、上記実施例のように
スペーサ３２を介して取っ手３１をコンテナ３０に取り
付けている場合には、フィンガ１７Ｂを取っ手３１の下
側へ挿入してコンテナ３０を持ち上げるように構成して
もよい。また、カセット２についても、その両側面から
フィンガ１７Ｂで把持するように構成しているが、たと
えば、前述したように、カセット２の側面に取っ手（鍔
部）を固定し、この取っ手の下側からフィンガ等でカセ
ット２を持ち上げるように構成すれば、フィンガ１７Ｂ
は開閉しない構成とすることもできる。
【００２７】さらに、上記実施例では、底蓋４０の上に
カセット２を載置し、その上からコンテナ本体３０Ａを
被せる構成であるが、たとえば、ラッチ開閉装置２０の
上面に出没可能な昇降台を配置し、この昇降台に底蓋４
０およびカセット２を載置し、昇降台の上面に配置した
カセット本体３０Ａの下面開口部からカセット２を収容
し、その後に底蓋４０とカセット本体３０Ａとを固定す
るように構成することもできる。
カセット２を載置し、その上からコンテナ本体３０Ａを
被せる構成であるが、たとえば、ラッチ開閉装置２０の
上面に出没可能な昇降台を配置し、この昇降台に底蓋４
０およびカセット２を載置し、昇降台の上面に配置した
カセット本体３０Ａの下面開口部からカセット２を収容
し、その後に底蓋４０とカセット本体３０Ａとを固定す
るように構成することもできる。
【００２８】ところで、上記実施例は本発明をウエハの
ストッカに適用したものであるが、本発明はそのような
対象に限定されるものではなく、液晶表示基板、ディス
ク等の電子基板などを製造する装置は勿論のこと、コン
テナとカセットを使用するあらゆる装置に適用すること
ができる。
ストッカに適用したものであるが、本発明はそのような
対象に限定されるものではなく、液晶表示基板、ディス
ク等の電子基板などを製造する装置は勿論のこと、コン
テナとカセットを使用するあらゆる装置に適用すること
ができる。
【００２９】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、コンテナの上面にカセット用の支持手段で支持可能
な取っ手を設けているから、１種類のフィンガによりカ
セットおよびコンテナを支持して搬送することができ
る。よって、移送手段の構成を簡略化、小型化すること
ができ、製造コストを低減することができる等の効果が
得られる。
ば、コンテナの上面にカセット用の支持手段で支持可能
な取っ手を設けているから、１種類のフィンガによりカ
セットおよびコンテナを支持して搬送することができ
る。よって、移送手段の構成を簡略化、小型化すること
ができ、製造コストを低減することができる等の効果が
得られる。
【図１】本発明の実施例の搬送システムが配置されたス
トッカの内部構成を示す正面図である。
トッカの内部構成を示す正面図である。
【図２】実施例におけるコンテナの詳細を示す側断面図
である。
である。
【図３】実施例におけるコンテナおよびカセットを示す
斜視図である。
斜視図である。
【図４】ストッカの外観を示す斜視図である。
【図５】従来の搬送システムが配置されたストッカの内
部構成を示す正面図である。
部構成を示す正面図である。
【図６】従来の搬送システムでのコンテナ等の構成を示
す斜視図である。
す斜視図である。
【図７】従来の搬送システムにおけるロボットのフィン
ガの詳細を示す斜視図である。
ガの詳細を示す斜視図である。
２…カセット、１０…ロボット（移送手段）、 １７…
ハンド（支持部） Ｗ…ウエハ（ワーク）
ハンド（支持部） Ｗ…ウエハ（ワーク）
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 森田 日也 三重県伊勢市竹ケ鼻町100 神鋼電機株式 会社伊勢製作所内 (72)発明者 及部 博之 三重県伊勢市竹ケ鼻町100 神鋼電機株式 会社伊勢製作所内
Claims (4)
- 【請求項１】 内部にワークを収容するカセットと、 このカセットを収容するコンテナと、 上記カセットを支持して搬送するとともに、空または上
記カセットが収容されたコンテナを支持して搬送する移
送手段とを具備し、 上記移送手段は、上記カセットを支持する支持手段を備
えた搬送システムにおいて、 上記コンテナの上面に、上記支持手段により支持可能な
取っ手を設けたことを特徴とする搬送システム。 - 【請求項２】 前記支持手段は、互いに接近離間可能な
ハンドを備えるとともにこのハンドに設けたフィンガで
前記カセットを把持するように構成され、前記取っ手の
幅は、上記フィンガで把持可能な寸法とされていること
を特徴とする請求項１に記載の搬送システム。 - 【請求項３】 前記取っ手の側部のうち前記フィンガに
把持される部分どうしの離間寸法は、前記カセットの側
面のうち上記フィンガに把持される部分どうしの離間寸
法とほぼ等しくされていることを特徴とする請求項２に
記載の搬送システム。 - 【請求項４】 前記取っ手は、その下側から前記支持手
段により支持可能に構成されていることを特徴とする請
求項１に記載の搬送システム。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12682894A JP3331746B2 (ja) | 1994-05-17 | 1994-05-17 | 搬送システム |
| TW085200475U TW303875U (en) | 1994-05-17 | 1995-04-19 | Material handling device |
| KR1019950012041A KR100347194B1 (ko) | 1994-05-17 | 1995-05-16 | 반송시스템 |
| SG1995000463A SG33368A1 (en) | 1994-05-17 | 1995-05-17 | Conveying system |
| US08/702,800 US5628604A (en) | 1994-05-17 | 1996-08-26 | Conveying system |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12682894A JP3331746B2 (ja) | 1994-05-17 | 1994-05-17 | 搬送システム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07309440A true JPH07309440A (ja) | 1995-11-28 |
| JP3331746B2 JP3331746B2 (ja) | 2002-10-07 |
Family
ID=14944927
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12682894A Expired - Lifetime JP3331746B2 (ja) | 1994-05-17 | 1994-05-17 | 搬送システム |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5628604A (ja) |
| JP (1) | JP3331746B2 (ja) |
| KR (1) | KR100347194B1 (ja) |
| TW (1) | TW303875U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2020079797A (ja) * | 2014-01-20 | 2020-05-28 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | 持ち運び可能な低温ワークステーション |
Families Citing this family (43)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| US5898588A (en) * | 1995-10-27 | 1999-04-27 | Dainippon Screen Mfg. Co. | Method and apparatus for controlling substrate processing apparatus |
| JP2747269B2 (ja) * | 1996-02-21 | 1998-05-06 | 山形日本電気株式会社 | 箱体搬送装置 |
| US5964561A (en) * | 1996-12-11 | 1999-10-12 | Applied Materials, Inc. | Compact apparatus and method for storing and loading semiconductor wafer carriers |
| US6540466B2 (en) | 1996-12-11 | 2003-04-01 | Applied Materials, Inc. | Compact apparatus and method for storing and loading semiconductor wafer carriers |
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| US5980183A (en) * | 1997-04-14 | 1999-11-09 | Asyst Technologies, Inc. | Integrated intrabay buffer, delivery, and stocker system |
| JPH1111860A (ja) * | 1997-06-17 | 1999-01-19 | Shinko Electric Co Ltd | 天井搬送装置及び天井搬送車 |
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| KR100646906B1 (ko) | 1998-09-22 | 2006-11-17 | 동경 엘렉트론 주식회사 | 기판처리장치 및 기판처리방법 |
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