JP4417971B2 - 樹脂封止装置及び吸引孔詰まり検出方法 - Google Patents
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Description
下金型上に、複数の基板吸引孔を介して基板を吸着して位置決めし、金型を閉じた後、前記基板の表面に実装した電子部品を樹脂封止するようにした樹脂封止装置であって、
基板を支持する基板搬送部を備え、該基板搬送部に支持した基板を前記下金型上に搬入又は搬出する搬送手段を備え、
前記搬送手段は、搬送方向の先端又は後端に、
前記基板吸引孔を通過する空気の流れによって移動する移動手段と、
前記移動手段が移動したことを検出する検出手段と、
を備え、
前記各基板吸引孔の位置を座標データとして記憶する記憶手段と、
前記座標データに基づいて、前記搬送手段を駆動制御し、前記移動手段を、順次、前記各基板吸引孔に対応する位置に移動させる移動制御手段と、
前記移動制御手段により、前記記憶手段に記憶させた座標データに基づいて、前記移動手段を、順次、前記各基板吸引孔に対応する位置に移動制御させた後、前記基板吸引孔を通過する空気の流れによって前記検出手段により前記移動手段が移動したことを検出できない場合、前記基板吸引孔が詰まっていると判断する穴詰まり判定手段と、
さらに備えたものである。
前記基板吸引孔を通過する空気の流れは、前記空気吹出手段により発生させるようにしてもよい。
搬送手段に設けた基板搬送部に基板を支持して下金型上に搬入し、基板を吸着して位置決めする、複数の基板吸引孔の詰まり状態を検出するための吸引孔詰まり検出方法であって、
ある樹脂封止工程が終わり、次の樹脂封止工程に移行するまでの間に、
前記基板吸引孔を通過する空気の流れによって、前記搬送手段の搬送方向の先端又は後端に設けた移動手段を移動させる移動ステップと、
前記移動手段が移動したか否かを検出する検出ステップと、
前記検出ステップで、各基板吸引孔の位置を示す座標データに基づいて、前記移動手段を、順次、前記各基板吸引孔に対応する位置に移動制御させた後、前記基板吸引孔を通過する空気の流れによって前記検出手段により前記移動手段が移動したことを検出できない場合、前記基板吸引孔が詰まっていると判断する穴詰まり判定ステップと、
を実行するようにしたものである。
前記キャビティブロック11の上面には、基板吸引孔18と位置決めピン19がそれぞれ設けられている。基板吸引孔18は、両側縁部に沿って4箇所ずつ、合計8箇所に形成した貫通孔で構成されている。貫通孔の下端は栓体20によって閉鎖されており、各貫通孔は上下方向中央部に設けた連通路21により、幅方向(X軸方向)及び長手方向(Y軸方向)に互いに連通されている(図3参照)。位置決めピン19は、中央部内側に設けられ、基板22に形成した位置決め孔23aに挿通し、下金型6に対して基板22を位置決めする。ここでは、基板22の上面には複数箇所(3×21=63箇所)にICチップ等の電子部品24が実装され、全体を樹脂封止された後、1つずつに切断される。
2…支持フレーム
3…上金型
4…固定プラテン
5…タイバー
6…下金型
7…可動プラテン
8…アンローダ
9…取付プレート
10…下金型プレート
10a…ポットブロック
11…キャビティブロック
12…アウトサイドブロック
13…側壁
14…凹部
15a、15b…ガイドブロック
16…ポット部
17…凹所
18…基板吸引孔
19…位置決めピン
20…栓体
21…連通路
22…基板
23a、23b…位置決め孔
24…電子部品
25…接続孔
26…連通管
27…切替弁
28…第1真空源
29…高圧源
30…真空スイッチ
31…本体部
32…クリーナー
33…基板搬送部
34…穴詰まり検出部
35…記憶部
36…制御部(穴詰まり判定手段)
37…サーボモータ
38…ケーシング
39…ローラブラシ
40…モータ
41…駆動軸
42…ベルト
43…回転軸
44…吸込口
45…吸引通路
46…第2真空源
47…チャック爪
47a…第2エアシリンダ
48…第1エアシリンダ
49…検出ピン(移動手段)
49a…上端鍔部
49b…下端鍔部
50…第1センサ
51…第2センサ(検出手段)
52…ブッシュ
53…スプリング
54…表示部
55…挿通ピン
Claims (5)
- 下金型上に、複数の基板吸引孔を介して基板を吸着して位置決めし、金型を閉じた後、前記基板の表面に実装した電子部品を樹脂封止するようにした樹脂封止装置であって、
基板を支持する基板搬送部を備え、該基板搬送部に支持した基板を前記下金型上に搬入又は搬出する搬送手段を備え、
前記搬送手段は、搬送方向の先端又は後端に、
前記基板吸引孔を通過する空気の流れによって移動する移動手段と、
前記移動手段が移動したことを検出する検出手段と、
を備え、
前記各基板吸引孔の位置を座標データとして記憶する記憶手段と、
前記座標データに基づいて、前記搬送手段を駆動制御し、前記移動手段を、順次、前記各基板吸引孔に対応する位置に移動させる移動制御手段と、
前記移動制御手段により、前記記憶手段に記憶させた座標データに基づいて、前記移動手段を、順次、前記各基板吸引孔に対応する位置に移動制御させた後、前記基板吸引孔を通過する空気の流れによって前記検出手段により前記移動手段が移動したことを検出できない場合、前記基板吸引孔が詰まっていると判断する穴詰まり判定手段と、
をさらに備えたことを特徴とする樹脂封止装置。 - 前記穴詰まり判定手段による判定結果を表示する表示手段を、さらに備えたことを特徴とする請求項1に記載の樹脂封止装置。
- 前記基板吸引孔から空気を吹き出させる空気吹出手段を、さらに備え、
前記基板吸引孔を通過する空気の流れは、前記空気吹出手段により発生させることを特徴とする請求項1又は2に記載の樹脂封止装置。 - 搬送手段に設けた基板搬送部に基板を支持して下金型上に搬入し、基板を吸着して位置決めする、複数の基板吸引孔の詰まり状態を検出するための吸引孔詰まり検出方法であって、
ある樹脂封止工程が終わり、次の樹脂封止工程に移行するまでの間に、
前記基板吸引孔を通過する空気の流れによって、前記搬送手段の搬送方向の先端又は後端に設けた移動手段を移動させる移動ステップと、
前記移動手段が移動したか否かを検出する検出ステップと、
前記検出ステップで、各基板吸引孔の位置を示す座標データに基づいて、前記移動手段を、順次、前記各基板吸引孔に対応する位置に移動制御させた後、前記基板吸引孔を通過する空気の流れによって前記検出手段により前記移動手段が移動したことを検出できない場合、前記基板吸引孔が詰まっていると判断する穴詰まり判定ステップと、
を実行することを特徴とする吸引孔詰まり検出方法。 - 前記穴詰まり判定ステップで、詰まっているのがいずれの基板吸引孔であるのかを表示する表示ステップを、さらに実行することを特徴とする請求項4に記載の方法。
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