JP2008254294A - 樹脂封止装置及び吸引孔詰まり検出方法 - Google Patents
樹脂封止装置及び吸引孔詰まり検出方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】下金型6上に基板22を搬入又は搬出する搬送手段8を備える。搬送手段8は、基板吸引孔18を通過する空気の流れによって移動する移動手段49と、移動手段49が移動したことを検出する検出手段51とを備える。さらに、基板吸引孔18を通過する空気の流れによって検出手段51により移動手段49が移動したことを検出できない場合、基板吸引孔18が詰まっていると判断する穴詰まり判定手段36を備える。
【選択図】図3
Description
下金型上に、複数の基板吸引孔を介して基板を吸着して位置決めし、金型を閉じた後、前記基板の表面に実装した電子部品を樹脂封止するようにした樹脂封止装置であって、
前記下金型上に基板を搬入又は搬出する搬送手段を備え、
前記搬送手段は、
前記基板吸引孔を通過する空気の流れによって移動する移動手段と、
前記移動手段が移動したことを検出する検出手段と、
を備え、
前記基板吸引孔を通過する空気の流れによって前記検出手段により前記移動手段が移動したことを検出できない場合、前記基板吸引孔が詰まっていると判断する穴詰まり判定手段を、さらに備えものである。
前記基板吸引孔を通過する空気の流れは、前記空気吹出手段により発生させるようにしてもよい。
下金型上に、複数の基板吸引孔を介して基板を吸着し、前記基板の表面に実装した電子部品を樹脂封止することにより、前記基板吸引孔の詰まり状態を検出する吸引孔詰まり検出方法であって、
ある樹脂封止工程が終わり、次の樹脂封止工程に移行するまでの間に、
前記基板吸引孔を通過する空気の流れによって移動手段を移動させる移動ステップと、
前記基板吸引孔を通過する空気の流れを発生させることにより、前記移動手段が移動したことを検出する検出ステップと、
前記検出ステップで、移動手段が移動したことを検出できない場合、前記基板吸引孔が詰まっていると判断する穴詰まり判定ステップと、
を実行するようにしたものである。
前記穴詰まり判定ステップで、詰まっているのがいずれの基板吸引孔であるのかを表示する表示ステップを、さらに実行するのが好ましい。
前記キャビティブロック11の上面には、基板吸引孔18と位置決めピン19がそれぞれ設けられている。基板吸引孔18は、両側縁部に沿って4箇所ずつ、合計8箇所に形成した貫通孔で構成されている。貫通孔の下端は栓体20によって閉鎖されており、各貫通孔は上下方向中央部に設けた連通路21により、幅方向(X軸方向)及び長手方向(Y軸方向)に互いに連通されている(図3参照)。位置決めピン19は、中央部内側に設けられ、基板22に形成した位置決め孔23aに挿通し、下金型6に対して基板22を位置決めする。ここでは、基板22の上面には複数箇所(3×21=63箇所)にICチップ等の電子部品24が実装され、全体を樹脂封止された後、1つずつに切断される。
2…支持フレーム
3…上金型
4…固定プラテン
5…タイバー
6…下金型
7…可動プラテン
8…アンローダ
9…取付プレート
10…下金型プレート
10a…ポットブロック
11…キャビティブロック
12…アウトサイドブロック
13…側壁
14…凹部
15a、15b…ガイドブロック
16…ポット部
17…凹所
18…基板吸引孔
19…位置決めピン
20…栓体
21…連通路
22…基板
23a、23b…位置決め孔
24…電子部品
25…接続孔
26…連通管
27…切替弁
28…第1真空源
29…高圧源
30…真空スイッチ
31…本体部
32…クリーナー
33…基板搬送部
34…穴詰まり検出部
35…記憶部
36…制御部(穴詰まり判定手段)
37…サーボモータ
38…ケーシング
39…ローラブラシ
40…モータ
41…駆動軸
42…ベルト
43…回転軸
44…吸込口
45…吸引通路
46…第2真空源
47…チャック爪
47a…第2エアシリンダ
48…第1エアシリンダ
49…検出ピン(移動手段)
49a…上端鍔部
49b…下端鍔部
50…第1センサ
51…第2センサ(検出手段)
52…ブッシュ
53…スプリング
54…表示部
55…挿通ピン
Claims (5)
- 下金型上に、複数の基板吸引孔を介して基板を吸着して位置決めし、金型を閉じた後、前記基板の表面に実装した電子部品を樹脂封止するようにした樹脂封止装置であって、
前記下金型上に基板を搬入又は搬出する搬送手段を備え、
前記搬送手段は、
前記基板吸引孔を通過する空気の流れによって移動する移動手段と、
前記移動手段が移動したことを検出する検出手段と、
を備え、
前記基板吸引孔を通過する空気の流れによって前記検出手段により前記移動手段が移動したことを検出できない場合、前記基板吸引孔が詰まっていると判断する穴詰まり判定手段を、さらに備えたことを特徴とする樹脂封止装置。 - 前記各基板吸引孔の位置を座標データとして記憶する記憶手段と、
前記座標データに基づいて、前記搬送手段を駆動制御し、前記移動手段を、順次、前記各基板吸引孔に対応する位置に移動させる移動制御手段と、
を備え、
前記穴詰まり判定手段は、前記移動制御手段により、前記記憶手段に記憶させた座標データに基づいて、前記移動手段を移動制御させた後、詰まっているのがいずれの基板吸引孔であるのかを判定し、
前記穴詰まり判定手段による判定結果を表示する表示手段を、さらに備えたことを特徴とする請求項1に記載の樹脂封止装置。 - 前記基板吸引孔から空気を吹き出させる空気吹出手段を、さらに備え、
前記基板吸引孔を通過する空気の流れは、前記空気吹出手段により発生させることを特徴とする請求項1又は2に記載の樹脂封止装置。 - 下金型上に、基板を吸着して位置決めする、複数の基板吸引孔の詰まり状態を検出するための吸引孔詰まり検出方法であって、
ある樹脂封止工程が終わり、次の樹脂封止工程に移行するまでの間に、
前記基板吸引孔を通過する空気の流れによって移動手段を移動させる移動ステップと、
前記基板吸引孔に空気の流れを発生させ、前記移動手段が移動したか否かを検出する検出ステップと、
前記検出ステップで、移動手段が移動したことを検出できない場合、前記基板吸引孔が詰まっていると判断する穴詰まり判定ステップと、
を実行することを特徴とする吸引孔詰まり検出方法。 - 前記穴詰まり判定ステップでは、各基板吸引孔の位置を示す座標データに基づいて、前記移動手段を移動制御させた後、詰まっているのがいずれの基板吸引孔であるのかを判定し、
前記穴詰まり判定ステップで、詰まっているのがいずれの基板吸引孔であるのかを表示する表示ステップを、さらに実行することを特徴とする請求項4に記載の方法。
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