JP4847262B2 - 加工装置 - Google Patents
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Description
11 被洗浄物
15 洗浄装置
19 加工手段
45 高圧ポンプ
61 記憶手段
62 制御手段
211 保持手段
411 アーム部
412 洗浄流体噴出部
417 第1の流体噴出ノズル
417a 高圧洗浄流体
418 第2の流体噴出ノズル
Claims (1)
- 洗浄前の被洗浄物を前記被洗浄物の形状情報が含まれるデバイスデータに従い切断加工する加工手段と、
該加工手段による切断加工の条件として入力されたデバイスデータを記憶する記憶手段と、
被洗浄物を回転可能に保持する保持手段、該保持手段に保持された被洗浄物に洗浄流体を噴射する洗浄流体噴出部および、該洗浄流体噴出部を前記保持手段の回転中心を通る軌跡上に揺動可能に支持するアーム部を備え、前記洗浄流体噴出部が、高圧ポンプに連結されて高圧水を噴射する高圧洗浄ノズルからなる第1の流体噴出ノズルと、洗浄水供給源および気体供給源に連結され洗浄水と気体とを合流させて噴射する2流体洗浄ノズルからなる第2の流体噴出ノズルとを一体として備える洗浄装置と、
前記加工手段により切断加工された被洗浄物を前記洗浄装置で洗浄する際に、前記記憶手段に記憶されたデバイスデータの形状情報に基づき前記第1の流体噴出ノズルと前記第2の流体噴出ノズルのいずれか一方を選択する制御手段と、を備える
ことを特徴とする加工装置。
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