KR101964578B1 - 반도체 부품 테스트 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명에 따른 반도체 부품 열처리 장치는 열처리장치의 전체 외관을 구성하는 챔버부재, 상기 챔버부재의 전면에 설치되는 도어부재를 포함하며, 상기 도어부재는 상기 챔버부재의 전방을 폐쇄하기 위한 도어본체부와, 상기 도어본체부에 결합되어 상기 도어본체부를 수평 방향으로 좌우 이동시키기 위한 좌우이동실린더와, 상기 좌우이동실린더를 지지하기 위한 좌우이동실린더지지프레임과, 상기 좌우이동실린더지지프레임을 전후 방향으로 이동시키기 위한 전후이동실린더와, 상기 전후이동실린더를 지지하기 위한 전후이동실린더지지프레임를 포함하며, 상기 전후이동실린더와 전후이동실린더지지프레임은 상기 도어본체부의 양 측부에 배치되며, 상기 챔버부재에는 좌우 방향으로 나란히 한쌍의 열처리공간이 형성되되, 상기 한쌍의 열처리공간 전방에 각각 상기 도어부재가 설치되며, 상기 열처리공간의 양 측부에는 상기 전후이동실린더지지프레임과 전후이동실린더를 수용하기 위한 수용공간이 형성되어, 상기 전후이동실린더와 전후이동실린더지지프레임은 상기 수용공간 내에 배치되고, 상기 도어본체부는 상기 챔버부재에 대해 전후 방향과 좌우 방향으로 이동되도록 구성되되, 좌우로 배치되는 도어본체부 중 어느 하나가 상기 열처리공간을 개방하는 위치로 이동되는 경우, 나머지 하나의 도어본체부 전방에 배치되도록 구성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의해, 테스트 장치의 도어 개방을 위한 별도의 면적이 요구되지 않아, 공간을 효율적으로 이용할 수 있다.
또한, 도어가 테스트 장치의 외측으로 돌출되지 않으므로, 현장 작업자들의 부상을 방지할 수 있으며, 제어신호 인가를 통해 도어 개폐를 자동화하기에 유리하다.

Description

반도체 부품 테스트 장치{APPARATUS FOR TESTING SEMICONDUCTOR COMPONENT}
본 발명은 반도체 부품 테스트 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 테스트 장치 전방에 설치되는 양측 도어 중 어느 일방이 개방되는 경우 나머지 하나의 도어 상에 겹쳐져 배치될 수 있도록 함으로써, 도어 개방 시 테스트 장치의 외측으로 돌출되지 않도록 컴팩트하게 구성되는 반도체 부품 테스트 장치에 관한 발명이다.
최근 컴퓨터, 스마트폰 또는 TV 와 같은 전기전자기기의 급속한 발달 및 보급에 따라 이에 이용되는 반도체 부품 기술 역시 비약적으로 발전하고 있다.
메모리 부품의 고집적화가 급속히 진행되고 있는 오늘날의 실정에 비추어, 그 제조 및 테스트 장치가 담당하는 역할은 한층 더 중요시되고 있다.
통상적으로, 유에스비(USB), 에스에스디(SSD), 이엠엠씨(eMMC) 등의 메모리 부품은 사용되는 조건이 다양하고 메모리의 사용에 따른 자체 발열로 인해 불량이 발생할 수 있으므로, 제품 출하 전에 온도 신뢰성 검사를 수행하게 된다.
종래의 메모리 부품 온도 신뢰성 테스트장치는, 테스트 장치 내의 일정 영역에 컴퓨터 본체를 배치시킨 상태에서, 상기 컴퓨터 본체와 메모리 부품을 케이블로 연결하여 고온의 분위기에서 신뢰성 테스트를 수행하였다.
상기 테스트장치는 메모리 부품에 온도 조건을 부여하기 위한 다수의 가열 및 냉온시스템을 구비한다.
메모리 부품에 대한 신뢰성 있는 검사를 위해서는 테스트장치 내에 배치되는 전체 메모리 부품들이 고루 가열되고, 테스트장치의 도어부를 통해 손실되는 열을 감소시켜 단열 성능을 향상시키도록 구성되는 것이 바람직하다.
종래 테스트장치의 경우, 통상적으로 장치의 전면에 설치되는 도어부가 힌지를 중심으로 테스트장치 전방으로 회전되어 개폐되도록 구성되는 경우가 많다.
또는, 도어가 테스트장치 전면에서 양 측에 한쌍 나란히 설치되는 경우에는, 두 도어간의 간섭을 피하면서 개폐가 가능하도록, 도어 개방 시 테스트 장치의 측방으로 돌출된다.
도어부가 개방된 상태로 상기 열처리 장치의 전방 또는 측방으로 돌출되는 경우에는, 현장 근무 인력의 부주의에 의해 부상을 일으킬 수 있는 요인이 된다.
또한, 상기 테스트장치가 설치되는 현장에서 도어부의 개방을 위한 면적이 확보되어야 하므로, 이러한 점은 현장 공간의 효율적 활용을 저해하는 요인이 된다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 테스트장치의 전면에 좌우 양측으로 한쌍의 도어들이 설치될 수 있으면서도, 도어 개방 시 개방된 도어가 나머지 하나의 도어 상에 겹쳐져 배치될 수 있도록 구성되는 반도체 부품 테스트 장치를 제공하는 것이다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 반도체 부품 열처리 장치는 열처리장치의 전체 외관을 구성하는 챔버부재, 상기 챔버부재의 전면에 설치되는 도어부재를 포함하며, 상기 도어부재는 상기 챔버부재의 전방을 폐쇄하기 위한 도어본체부와, 상기 도어본체부에 결합되어 상기 도어본체부를 수평 방향으로 좌우 이동시키기 위한 좌우이동실린더와, 상기 좌우이동실린더를 지지하기 위한 좌우이동실린더지지프레임과, 상기 좌우이동실린더지지프레임을 전후 방향으로 이동시키기 위한 전후이동실린더와, 상기 전후이동실린더를 지지하기 위한 전후이동실린더지지프레임를 포함하며, 상기 전후이동실린더와 전후이동실린더지지프레임은 상기 도어본체부의 양 측부에 배치되며, 상기 챔버부재에는 좌우 방향으로 나란히 한쌍의 열처리공간이 형성되되, 상기 한쌍의 열처리공간 전방에 각각 상기 도어부재가 설치되며, 상기 열처리공간의 양 측부에는 상기 전후이동실린더지지프레임과 전후이동실린더를 수용하기 위한 수용공간이 형성되어, 상기 전후이동실린더와 전후이동실린더지지프레임은 상기 수용공간 내에 배치되고, 상기 도어본체부는 상기 챔버부재에 대해 전후 방향과 좌우 방향으로 이동되도록 구성되되, 좌우로 배치되는 도어본체부 중 어느 하나가 상기 열처리공간을 개방하는 위치로 이동되는 경우, 나머지 하나의 도어본체부 전방에 배치되도록 구성되는 것을 특징으로 한다.
바람직하게는, 상기 전후이동실린더에는 전후진플레이트가 결합되고, 상기 전후진플레이트에 도어지지플레이트가 결합된다.
여기서, 상기 도어본체부는 좌우이동가이드에 슬라이딩 가능하게 결합될 수 있다.
또한, 상기 좌우이동실린더와 도어본체부 사이에는 고정브라켓이 결합될 수 있다.
그리고, 상기 좌우이동가이드와 좌우이동실린더지지프레임은 상기 도어지지플레이트에 설치된다.
한편, 상기 도어본체부의 상하부에는 도어플렌지가 결합되고, 상기 도어플렌지는 상기 좌우이동가이드에 결합되어, 상기 좌우이동실린더의 작동에 의해 상기 고정브라켓이 이동됨으로써, 상기 고정브라켓에 결합된 도어본체부가 상기 좌우이동가이드 상에서 좌우 방향으로 슬라이딩 이동되도록 구성될 수 있다.
바람직하게는, 상기 전후이동실린더지지프레임을 지지하기 위한 측부지지플레이트를 포함한다.
본 발명에 의해, 테스트 장치의 도어 개방을 위한 별도의 면적이 요구되지 않아 장치 설치 공간을 효율적으로 이용할 수 있다.
또한, 도어가 테스트 장치의 외측으로 돌출되지 않으므로, 현장 작업자들의 부상을 방지할 수 있다.
또한, 제어신호 인가를 통해 도어 개폐를 자동화하기에 유리하다.
첨부의 하기 도면들은, 발명의 상세한 설명과 함께 본 발명의 기술적 사상을 이해시키기 위한 것이므로, 본 발명은 하기 도면에 도시된 사항에 한정 해석되어서는 아니 된다.
도 1 은 본 발명에 따른 반도체 부품 테스트 장치의 사시도이며,
도 2 는 상기 테스트 장치에서 일측 도어가 개방된 상태의 사시도이며,
도 3 은 상기 테스트 장치에 포함되는 챔버부재의 사시도이며,
도 4 는 상기 테스트 장치에 설치되는 도어부재의 사시도이며,
도 5 는 상기 도어부재가 나란히 설치된 상태의 사시도이며,
도 6 은 상기 도어부재의 분해사시도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구성을 상세히 설명하기로 한다.
이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어는 사전적인 의미로 한정 해석되어서는 아니되며, 발명자는 자신의 발명을 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절히 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여, 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 의미와 개념으로 해석되어야 한다.
따라서, 본 명세서에 기재된 실시예 및 도면에 도시된 구성은 본 발명의 바람직한 실시예에 불과할 뿐이고, 본 발명의 기술적 사상을 모두 표현하는 것은 아니므로, 본 출원 시점에 있어 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 존재할 수 있음을 이해하여야 한다.
도 1 은 본 발명에 따른 반도체 부품 테스트 장치의 사시도이며, 도 2 는 상기 테스트 장치에서 일측 도어가 개방된 상태의 사시도이며, 도 3 은 상기 테스트 장치에 포함되는 챔버부재의 사시도이며, 도 4 는 상기 테스트 장치에 설치되는 도어부재의 사시도이며, 도 5 는 상기 도어부재가 나란히 설치된 상태의 사시도이며, 도 6 은 상기 도어부재의 분해사시도이다.
본 발명에 따른 반도체 부품 열처리 장치는 열처리장치의 전체 외관을 구성하는 챔버부재(100), 상기 챔버부재(100)의 전면에 설치되는 도어부재(200)를 포함하며, 상기 도어부재(200)는 상기 챔버부재(100)의 전방을 폐쇄하기 위한 도어본체부(210)와, 상기 도어본체부(210)에 결합되어 상기 도어본체부(210)를 수평 방향으로 좌우 이동시키기 위한 좌우이동실린더((220)와, 상기 좌우이동실린더(220)를 지지하기 위한 좌우이동실린더지지프레임과(230), 상기 좌우이동실린더지지프레임(230)을 전후 방향으로 이동시키기 위한 전후이동실린더(250)와, 상기 전후이동실린더(250)를 지지하기 위한 전후이동실린더지지프레임(270)을 포함하며, 상기 전후이동실린더(250)와 전후이동실린더지지프레임(270)은 상기 도어본체부(210)의 양 측부에 배치되며, 상기 챔버부재에는 좌우 방향으로 나란히 한쌍의 열처리공간이 형성되되, 상기 한쌍의 열처리공간 전방에 각각 상기 도어부재(200)가 설치되며, 상기 열처리공간의 양 측부에는 상기 전후이동실린더지지프레임(270)과 전후이동실린더(250)를 수용하기 위한 수용공간(110, 120, 130)이 형성되어, 상기 전후이동실린더(250)와 전후이동실린더지지프레임(270)은 상기 수용공간(110, 120, 130) 내에 배치되고, 상기 도어본체부(210)는 상기 챔버부재(100)에 대해 전후 방향과 좌우 방향으로 이동되도록 구성되되, 좌우로 배치되는 도어본체부(210) 중 어느 하나가 상기 열처리공간을 개방하는 위치로 이동되는 경우, 나머지 하나의 도어본체부 전방에 배치되도록 구성되는 것을 특징으로 한다.
상기 챔버부재(100)는 본 발명에 따른 반도체 부품 신뢰성 테스트 장치의 외관을 형성하면서 내부에 필터와 풍량조절팬 등을 수용하기 위한 구성으로서, 전체적으로 육면체 형상으로 형성된다.
상기 챔버부재(100)는 금속재의 선재와 금속 패널을 이용하여 구성되며, 일측에는 본 발명에 신뢰성 테스트 장치의 각종 구성들을 제어하기 위한 제어부가 설치된다.
상기 챔버부재(100)의 전방에는 도어부재(200)가 배치되어, 상기 도어부재(200)를 통해 테스트 대상인 반도체 부품을 상기 챔버부재(100) 내부로 투입 및 배출할 수 있도록 구성된다.
상기 테스트 대상인 반도체 부품은 예를 들어, 유에스비(USB) 메모리, 에스에스디(SSD) 메모리, 이엠엠씨(eMMC) 메모리 등의 메모리 부품이다.
상기 챔버부재(100) 내부에는 필터가 배치되어 상기 챔버부재(100) 내부로 공급되는 공기 중의 불순물들을 포집하여, 상기 챔버부재(100) 내부가 청정한 상태로 유지될 수 있도록 구성된다.
상기 필터는 울파필터(ULPA Filter)로 구성될 수 있다.
상기 울파필터는 0.1 내지 0.17 ㎛ 입자에 대해 99.9995 % 이상을 포집할 수 있는 초고성능 필터로서, 주로 클래스 1 내지 100 이하의 클린 룸에 적용되는 필터이다.
또한, 상기 챔버부재(100)의 내부에는 공기를 가열하여 소정의 테스트 온도로 승온시키기 위한 히터와 가열된 공기를 테스트 공간 내로 유동시키기 위한 블로우어팬 등이 설치될 수 있다.
그리하여, 상기 히터에 의해 가열된 공기를 상기 블로우어팬을 통해 상기 필터 쪽으로 유동시켜, 공기 중에 포함된 이물질을 제거한 상태에서 테스트 공간 측으로 공급할 수 있다.
도 1 내지 3 에 도시된 바와 같이, 상기 챔버부재(100)에는 좌우 양측으로 나란히 열처리 공간(104, 102)이 형성되되, 바람직하게는 상기 좌우 열처리 공간(104, 102)은 상하로 2행 형성되어 총 4 개의 열처리 공간(104, 102, 108, 106)들이 형성된다.
그리고, 상기 열처리 공간(104, 102, 108, 106)을 개폐하기 위해, 상기 챔버부재(100)의 전면에는 도어부재(200)가 설치된다.
상기 챔버부재(100)의 전면에 설치되는 도어부재(200)들은 동일한 기술적 구성들을 가지며, 좌, 우 도어부재(200)들 간 일부 구성에서 설치 방향만이 다르므로, 하나의 도어부재(200)의 구성에 대해서 설명한다.
도 4 내지 6 에 도시된 바와 같이, 상기 도어부재(200)는 상기 챔버부재의 전방을 폐쇄하기 위한 도어본체부(210)와, 상기 도어본체부(210)에 결합되어 상기 도어본체부(210)를 수평 방향으로 좌우 이동시키기 위한 좌우이동실린더(220)를 포함한다.
도 4 는 하나의 도어부재(200)를 도시한 사시도이며, 도 5 는 두 개의 도어부재(200)들이 좌우로 나란히 배치된 상태의 사시도이다.
상기 좌우이동실린더(220)에는 고정브라켓(234)이 설치되고, 상기 고정브라켓(234)은 도어본체부(210)의 상부에 설치되는 도어플렌지부(212)에 결합된다.
그리하여, 상기 좌우이동실린더(220) 작동에 의해 상기 도어본체부(210)가 좌우 방향으로 이동될 수 있다.
여기서, 상기 도어본체부(210)의 좌우 방향 이동을 슬라이딩 안내하기 위해, 상기 도어본체부(210)는 좌우이동가이드(216) 상에 슬라이딩 가능하게 지지 결합된다.
또한, 상기 좌우이동실린더(220)는 좌우이동실린더지지프레임과(230)에 설치 고정된다.
그리고, 상기 좌우이동가이드(216)와 좌우이동실린더지지프레임(230)은 도어지지플레이트(214)에 설치된다.
즉, 상기 좌우이동가이드(216)와 좌우이동실린더지지프레임(230)은 상기 도어지지플레이트(214)에 고정 설치되며, 상기 좌우이동실린더(220)는 상기 좌우이동실린더지지프레임(230)에 고정 설치된다.
이러한 상태에서, 상기 좌우이동실린더(220)의 작동에 의해, 상기 좌우이동가이드(216)에 슬라이딩가능하게 결합된 도어본체부(210)가 좌우 방향으로 슬라이딩 이동될 수 있다.
그리고, 상기 도어지지플레이트(214)는 전후진플레이트(260)에 결합된다.
상기 전후진플레이트(260)는 상기 전후이동실린더(250)의 실린더축에 결합되는 고정브라켓(255)에 결합된다.
그리하여, 상기 전후이동실린더(250)의 작동에 의해, 상기 전후진플레이트(260)가 전후 방향으로 이동되고, 이에 따라 상기 전후진플레이트(260)에 결합된 도어지지플레이트(214) 역시 전후 방향으로 이동된다.
또한, 상기 도어지지플레이트(214)가 전후 방향으로 이동됨에 따라, 상기 도어지지플레이트(214)에 결합되는 좌우이동가이드(216)와 좌우이동실린더지지프레임(230)과 도어본체부(210) 역시 전후 방향으로 함께 이동된다.
상기 전후진플레이트(260)를 전후 방향으로 이동시키기 위한 상기 전후이동실린더(250)는 전후이동실린더지지프레임(270)에 고정 설치되고, 상기 전후이동실린더지지프레임(270)은 측부지지플레이트(275)에 고정 설치된다.
상기 전후이동실린더(250)와 전후이동실린더지지프레임(270)은 상기 도어본체부(210)의 양 측부에서 상하로 배치된다.
상기 전후이동실린더지지프레임(270)과 전후이동실린더(250)는 상기 열처리공간(104, 102)의 양 측부에 형성되는 수용공간(110, 120, 130)들에 수용되어 고정 설치된다.
즉, 도 5 를 기준으로 설명하면, 도 3 에 도시된 열처리 챔버부재(100)에서 가장 좌측 공간(130)에 좌측 도어부재의 좌측(도 5 에서) 전후진플레이트(260)와 전후이동실린더지지프레임(270) 및 측부지지플레이트(275)가 수용된다.
그리고, 중심부 공간(110)에 좌측 도어부재의 우측(도 5 에서) 전후진플레이트(260)와 전후이동실린더지지프레임(270) 및 측부지지플레이트(275)가 수용된다.
또한, 상기 중심부 공간(110)에는 우측 도어부재의 좌측(도 5 에서) 전후진플레이트(260)와 전후이동실린더지지프레임(270) 및 측부지지플레이트(275)가 함께 수용된다.
그리고, 우측 공간(120)에는 우측 도어부재의 우측(도 5 에서) 전후진플레이트(260)와 전후이동실린더지지프레임(270) 및 측부지지플레이트(275)가 함께 수용된다.
그리하여, 상기 전후이동실린더(250)와 전후이동실린더지지프레임(270) 및 측부지지플레이트(275)등이 상기 수용공간(130, 110, 120)들에 수용되어 고정 설치된 상태에서, 상기 열처리공간을 개방하고자 하는 때에는 상기 전후이동실린더(250)의 작동에 의해, 상기 전후진플레이트(260)가 열처리챔버(100)의 전방으로 이동되어 돌출된다.
상기 전후진플레이트(260)가 전방으로 이동됨에 따라, 이에 결합되는 도어지지플레이트(214)와 좌우이동가이드(216)와 좌우이동실린더지지프레임(230)와 좌우이동실린더(220) 및 도어본체부(210) 역시 전방으로 이동된다.
상기와 같이 도어본체부(210)와 도어지지플레이트(214)와 좌우이동가이드(216)와 좌우이동실린더지지프레임(230)와 좌우이동실린더(220)가 전방으로 이동된 상태에서, 상기 좌우이동실린더(220)의 작동에 의해 상기 도어본체부(210)가 좌우방향으로 이동된다.
그런데, 도 5 에 도시된 바와 같이, 우측 도어본체부(210)의 우측 상부에 고정브라켓(234)이 결합되므로, 좌측 도어본체부(210)가 열처리공간을 폐쇄하는 후퇴된 위치에 배치된 상태에서, 상기 우측 도어본체부(210)가 좌측으로 슬라이딩되는 경우에는 우측 도어본체부(210)가 상기 좌측 도어본체부(210)의 전방으로 겹쳐 배치될 수 있다.
또한, 도 5 의 좌측 도어본체부(210)에 대해서는 좌측 상부에 고정브라켓(234)이 결합되므로, 우측 도어본체부(210)가 열처리공간을 폐쇄하는 후퇴된 위치(열처리 공간 폐쇄 위치)에 배치된 상태에서는, 상기 좌측 도어본체부(210)가 우측 방향으로 슬라이딩 이동되어, 우측 도어본체부(210) 전방으로 겹쳐 배치될 수 있다.
그리하여, 좌, 우에 설치되는 도어본체부들 중 어느 하나가 개방되는 경우, 나머지 하나의 도어본체부 전방으로 겹쳐 배치될 수 있으므로, 도어 개방 시 열처리챔버(100)의 좌, 우 측방으로 돌출되지 않는다.
이상, 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명의 기술적 사상은 이러한 것에 한정되지 않으며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해, 본 발명의 기술적 사상과 하기 될 특허청구범위의 균등범위 내에서 다양한 수정 및 변형 실시가 가능할 것이다.
10: 챔버부재
102, 104, 106, 108: 열처리공간
110, 120, 130: 수용공간
200: 도어부재
210: 도어본체부
220: 좌우이동실린더
230: 좌우이동실린더지지프레임
234: 고정브라켓
250: 전후이동실린더
260: 전후진플레이트
270: 전후이동실린더지지프레임
275: 측부지지플레이트

Claims (7)

  1. 열처리장치의 전체 외관을 구성하는 챔버부재와
    상기 챔버부재의 전면에 설치되는 도어부재를 포함하며,
    상기 도어부재는,
    상기 챔버부재의 전방을 폐쇄하기 위한 도어본체부와;
    상기 도어본체부에 결합되어 상기 도어본체부를 수평 방향으로 좌우 이동시키기 위한 좌우이동실린더와
    상기 좌우이동실린더를 지지하기 위한 좌우이동실린더지지프레임과;
    상기 좌우이동실린더지지프레임을 전후 방향으로 이동시키기 위한 전후이동실린더와;
    상기 전후이동실린더를 지지하기 위한 전후이동실린더지지프레임를 포함하며,
    상기 전후이동실린더와 전후이동실린더지지프레임은 상기 도어본체부의 양 측부에 배치되며,
    상기 챔버부재에는 좌우 방향으로 나란히 한쌍의 열처리공간이 형성되되,
    상기 한쌍의 열처리공간 전방에 각각 상기 도어부재가 설치되고,
    상기 열처리공간의 양 측부에는 상기 전후이동실린더지지프레임과 전후이동실린더를 수용하기 위한 수용공간이 형성되어, 상기 전후이동실린더와 전후이동실린더지지프레임은 상기 수용공간 내에 배치되고,
    상기 도어본체부는 상기 챔버부재에 대해 전후 방향과 좌우 방향으로 이동되도록 구성되되,
    좌우로 배치되는 도어본체부 중 어느 하나가 상기 열처리공간을 개방하는 위치로 이동되는 경우, 나머지 하나의 도어본체부 전방에 배치되도록 구성되며,
    상기 전후이동실린더에는 전후진플레이트가 결합되고,
    상기 전후진플레이트에 도어지지플레이트가 결합되며,
    상기 도어본체부는 좌우이동가이드에 슬라이딩 가능하게 결합되고,
    상기 좌우이동실린더와 도어본체부 사이에는 고정브라켓이 결합되며,
    상기 좌우이동가이드와 좌우이동실린더지지프레임은 상기 도어지지플레이트에 설치되고,
    상기 도어본체부의 상하부에는 도어플렌지가 결합되고, 상기 도어플렌지는 상기 좌우이동가이드에 결합되어, 상기 좌우이동실린더의 작동에 의해 상기 고정브라켓이 이동됨으로써, 상기 고정브라켓에 결합된 도어본체부가 상기 좌우이동가이드 상에서 좌우 방향으로 슬라이딩 이동되도록 구성되며,
    상기 전후이동실린더지지프레임을 지지하기 위한 측부지지플레이트를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 부품 테스트 장치.
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