KR20120055128A - 웨이퍼 운반용 박스 건조 장치 - Google Patents

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Abstract

웨이퍼 운반용 박스 건조 장치는 웨이퍼 운반용 박스를 건조하기 위한 공간인 챔버, 상기 챔버 내부에 배치되는 건조용 선반, 상기 건조용 선반 상면에 배치되며, 상기 웨이퍼 운반용 박스가 로딩되는 선반 레일 및 상기 챔버 천장에 배치되며, 상기 챔버 천장으로부터 상기 챔버 바닥으로 공기를 하강시켜 상기 챔버 내부에 공기를 순환시키는 공기 순환부를 포함하며, 상기 선반 레일에 로딩된 웨이퍼 운반용 박스의 바닥은 상기 건조용 선반과 이격한다.

Description

웨이퍼 운반용 박스 건조 장치{An apparatus for drying a wafer carrying box}
본 발명은 건조 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 웨이퍼 운반용 박스 건조 장치에 관한 것이다.
운반용 박스로는, 덮개가 몸체에 수동으로 개방?밀폐되는 수동 FOSB(manual front opening shipping box)와, 덮개가 몸체에 자동으로 개방?밀폐될 수 있는 FIMS FOSB(front-opening interface mechanical standard front opening shipping box)가 있다.
FIMS FOSB는 덮개가 자동으로 개방?밀폐될 수 있도록 하기 위한 구조를 가지기 때문에 수동 FOSB에 비하여 그 구조가 복잡하다.
한편, 이러한 수동 FOSB와 FIMS FOSB를 포함한 웨이퍼 운반용 박스는 웨이퍼를 수납하기 전에 세정 및 건조 과정을 거친다. 이와 같이 세정된 웨이퍼 운반용 박스에 잔존하는 습기를 제거하는 장치를 "웨이퍼 운반용 박스 건조 장치"라 한다.
이때 웨이퍼 운반용 박스는 운반하고자 하는 웨이퍼 크기에 따라 분류할 수 있다. 예컨대, 웨이퍼 운반용 박스는 300mm용 대구경 웨이퍼 운반용 박스 및 200mm이하의 소/중구경 웨이퍼 운반용 박스를 포함한다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 웨이퍼 운반용 박스와 건조용 선반과의 접촉 면적을 작게 하여 로딩 또는 언로딩시 마찰을 감소시킬 수 있는 웨이퍼 운반용 박스 건조 장치를 제공하는데 있다.
상기와 같은 과제를 달성하기 위한 본 발명의 실시 예에 따른 웨이퍼 운반용 박스 건조 장치는 웨이퍼 운반용 박스를 건조하기 위한 공간인 챔버, 상기 챔버 내부에 배치되는 건조용 선반, 상기 건조용 선반 상면에 배치되며, 상기 웨이퍼 운반용 박스가 로딩되는 선반 레일 및 상기 챔버 천장에 배치되며, 상기 챔버 천장으로부터 상기 챔버 바닥으로 공기를 하강시켜 상기 챔버 내부에 공기를 순환시키는 공기 순환부를 포함하며, 상기 선반 레일에 로딩된 웨이퍼 운반용 박스의 바닥은 상기 건조용 선반과 이격한다.
상기 선반 레일은 서로 이격하여 배치되는 제1 레일 및 제2 레일, 상기 제1 레일 및 상기 제2 레일을 연결하는 적어도 하나의 연결부, 및 상기 적어도 하나의 연결부와 상기 건조용 선반 사이에 배치되어, 상기 연결부를 지지하는 지지부를 포함할 수 있다. 이때 상기 제1 레일 및 상기 제2 레일은 상기 건조용 선반의 상면으로부터 이격할 수 있다.
상기 건조용 선반과 상기 지지부 사이의 거리는 상기 연결부와 상기 제1 레일 사이 또는 상기 연결부와 상기 제2 레일 사이의 거리보다 클 수 있다.
상기 웨이퍼 운반용 박스는 일 측이 개방되는 몸체 및 개방된 상기 몸체의 일 측을 덮는 덮개를 포함하고, 상기 몸체의 바닥은 양측 가장자리가 돌출된 돌출부들 및 상기 돌출부들 사이의 오목부를 가지며, 상기 선반 레일에 로딩된 웨이퍼 운반용 박스의 상기 오목부는 상기 선반 레일과 접촉하며, 상기 돌출부들은 상기 건조용 선반으로부터 이격될 수 있다.
본 발명의 실시 예에 따른 웨이퍼 운반용 박스 건조 장치는 웨이퍼 운반용 박스와 건조용 선반과의 접촉 면적을 작게 하여 로딩 또는 언로딩시 마찰을 감소시켜, 마찰에 의한 웨이퍼 운반용 박스 조각 발생을 억제할 수 있으며, 이로 인하여 웨이퍼 운반용 박스 조각에 의한 웨이퍼 오염에 따른 제품 불량을 방지할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 실시예에 따른 웨이퍼 운반용 박스 건조 장치를 나타낸다.
도 2는 도 1에 도시된 건조용 선반 상의 선반 레일들을 나타낸다.
도 3은 도 2에 도시된 선반 레일에 대한 평면 레이 아웃을 나타낸다.
도 4는 도 2에 도시된 선반 레일에 대한 측면 레이 아웃을 나타낸다.
도 5는 도 4에 도시된 지지부의 높이를 나타낸다.
이하, 본 발명의 기술적 과제 및 특징들은 첨부된 도면 및 실시 예들에 대한 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다. 본 발명이 여러 가지 수정 및 변형을 허용하면서도, 그 특정 실시 예들이 도면들로 예시되어 나타내어지며, 이하에서 상세히 설명될 것이다. 그러나 본 발명을 개시된 특별한 형태로 한정하려는 의도는 아니며, 오히려 본 발명은 청구항들에 의해 정의된 본 발명의 사상과 합치되는 모든 수정, 균등 및 대용을 포함한다. 동일한 참조 번호는 도면의 설명을 통하여 동일한 요소를 나타낸다.
도 1은 실시예에 따른 웨이퍼 운반용 박스 건조 장치(100)를 나타낸다. 도 1을 참조하면, 웨이퍼 운반용 박스 건조 장치(100)는 챔버(110), 건조용 선반들(122,124,126), 선반 레일들(shelf rails, 140), 공기 순환부(150) 및 제어부(160)를 포함한다.
챔버(110)는 웨이퍼 운반용 박스를 건조하기 위한 공간으로 일 측에 도어(door, 미도시)를 구비하며, 도어의 개폐에 의하여 밀폐 또는 개방될 수 있다.
건조용 선반들(122,124,126)은 평판 형상으로 챔버(110) 내부에 서로 이격하여 배치된다. 건조용 선반들(122,124,126)은 면적이 넓은 면이 챔버(110) 내부 천장을 향하며, 건조용 선반들(122,124,126)의 측부는 챔버(110)의 내부 측면에 연결되어 고정된다.
예컨대, 제1 건조용 선반(122)은 챔버(110) 내부의 가장 아래에 배치되고, 제2 건조용 선반(124)은 제1 건조용 선반(122) 상부에 이격하여 배치되며, 제3 건조용 선반(126)은 제2 건조용 선반(124) 상부에 이격하여 배치될 수 있다.
도 1에서는 3개의 건조용 선반들을 도시하였지만, 그 수가 이에 한정되는 것은 아니다.
건조용 선반들(122,124,126) 각각은 내부를 관통하는 서로 이격하는 관통 홀들(130)이 마련된다. 관통 홀들(130)은 건조용 선반(122,124,126)의 넓은 면을 관통할 수 있으며, 챔버(110)의 내부 천장 및 바닥을 향하여 개방될 수 있다. 따라서 챔버(110)의 내부 천장으로부터 챔버(110)의 바닥 방향 또는 그 반대 방향으로 흐르는 공기는 관통 홀들(130)을 통과하여 챔버(110) 내부를 순환할 수 있다.
선반 레일들(140)은 레일(rail) 형상이며, 건조용 선반들(122,124,126) 각각의 상면에 서로 이격하여 배치된다. 선반 레일들(140)은 길이가 긴 부분이 챔버(110)의 전방 측에서 후방 측으로 놓이도록 건조용 선반(122,124,126)의 상면 상에 배치된다. 여기서 챔버(110)의 전방 측은 챔버(110)의 도어가 있는 곳을 말하며, 후방 측은 그 반대쪽을 말한다.
웨이퍼 운반용 박스는 선반 레일(140) 상에 배치되며, 선반 레일(140)에 로딩된 웨이퍼 운반용 박스의 바닥은 건조용 선반(122,124,126)과 이격되어 건조용 선반(122,124,126)과 접촉하지 않는다.
도 2는 도 1에 도시된 건조용 선반(124) 상의 선반 레일들(140)을 나타낸다. 도 2를 참조하면, 선반 레일들(140)은 서로 이격하여 건조용 선반(124) 상에 배치되며, 배치되는 선반 레일들(140)은 서로 평행할 수 있다.
도 3은 도 2에 도시된 선반 레일(140)에 대한 평면 레이 아웃을 나타내고, 도 4는 도 2에 도시된 선반 레일(140)에 대한 측면 레이 아웃을 나타낸다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 선반 레일(140)은 제1 레일(312), 제2 레일(314), 적어도 하나의 연결부(322,324), 및 지지부(410)를 포함한다.
제1 레일(312) 및 제2 레일(314) 각각은 일 측 방향으로 긴 바(bar) 또는 봉(stick) 형태이고, 서로 이격한다.
적어도 하나의 연결부(322,324)는 제1 레일(312) 및 제2 레일(314)을 서로 연결하여 고정한다. 예컨대, 제1 연결부(322)는 제1 레일(312)의 일단과 제2 레일(314)의 일단을 서로 연결하고, 제2 연결부(324)는 제1 레일(312)의 타 단과 제2 레일(314)의 타단을 서로 연결한다. 제1 및 제2 연결부(322,324)에 의하여 제1 레일(312)과 제2 레일(314)은 서로 고정된다. 도 3에는 2개의 연결부(232,234)를 도시하였지만, 이에 한정되는 것은 아니다.
지지부(410)는 적어도 하나의 연결부(322,324)와 건조용 선반(124) 사이에 배치되어, 연결부(322,324)를 지지한다. 지지부(410)에 의하여 제1 레일(312) 및 제2 레일(314)은 건조용 선반(124)의 상면으로부터 일정 거리 이격하여 배치된다.
즉 지지부(410)는 연결부(322,324)를 지지하며, 연결부(322,324)에 고정되는 제1 레일(312) 및 제2 레일(314)은 건조용 선반(124)으로부터 일정 거리 이격하여 배치될 수 있다.
도 5는 도 4에 도시된 지지부의 높이를 나타낸다. 도 5를 참조하면, 건조용 선반(124)과 지지부(410) 사이의 거리(H2)는 연결부(322)와 제1 또는 제2 레일(312,314) 사이의 거리(H1)보다 클 수 있다. 따라서 제1 레일(312) 및 제2 레일(314)은 건조용 선반(124)으로부터 일정 거리(H2 - H1) 이격하여 배치되어 제1 레일(312) 및 제2 레일(314)은 건조용 선반(124)에 접촉하지 않을 수 있다.
웨이퍼 운반용 박스는 일 측이 개방되는 몸체 및 개방된 몸체의 일 측을 덮는 덮개를 포함한다. 몸체의 바닥(bottom)은 양측 가장자리가 돌출된 돌출부들 및 돌출부들 사이의 오목부를 갖는다. 건조를 위하여 웨이퍼 운반용 박스는 선반 레일(140) 상에 로딩(loading)된다. 이때 웨이퍼 운반용 박스(510)의 바닥의 오목부는 선반 레일(140)과 접촉하며, 돌출부들은 건조용 선반(124)의 상면으로부터 이격되어 건조용 선반(124)의 상면과 접촉하지 않는다.
일반적인 웨이퍼 운반용 박스 건조 장치는 건조용 선반 상에 웨이퍼 운반용 박스가 로딩되고, 웨이퍼 운반용 박스 바닥의 돌출부들이 건조용 선반에 접촉한다. 따라서 웨이퍼 운반용 박스를 건조용 선반에 로딩(loading)하거나 언로딩(unloading)할 때, 돌출부들이 건조용 선반과 마찰되고, 마찰에 의하여 웨이퍼 운반용 박스로부터 떨어지는 조각들이 발생할 수 있다. 그리고 이렇게 마찰에 의하여 발생하는 조각들은 건조용 선반 아래로 떨어져 하부 건조용 선반에 배치된 웨이퍼 운반용 박스 내로 유입될 수 있다. 그리고 유입된 조각들은 웨이퍼를 오염시키는 오염원으로 작용하여 제품 불량을 유발할 수 있다.
그러나 실시예에 따른 웨이퍼 운반용 박스 건조 장치(100)는 건조용 선반(122,124,126) 상에 선반 레일(140)을 마련하고, 선반 레일(140) 상에 웨이퍼 운반용 박스를 로딩함으로써 돌출부들(122,524)이 건조용 선반(122,124,126)에 접촉하지 않도록 함으로써 로딩 또는 언로딩시 건조용 선반과 웨이퍼 운반용 박스 사이의 마찰을 감소시킬 수 있다.
즉 웨이퍼 운반용 박스와 건조용 선반과의 접촉 면적을 작게 하여 로딩 또는 언로딩시 마찰을 감소시켜, 마찰에 의한 웨이퍼 운반용 박스 조각 발생을 억제할 수 있다. 이로 인하여 웨이퍼 운반용 박스 조각에 의한 웨이퍼 오염에 따른 제품 불량을 방지할 수 있다.
공기 순환부(150)는 챔버(110) 천장에 배치되며, 챔버(110) 천장으로부터 바닥으로 공기를 다운 플로우(down flow)하여 챔버(110) 내부에 공기를 순환시킨다.
예컨대, 공기 순환부(150)는 팬 필터 유닛(Fan Filter Unit, FFU)일 수 있으며, 고온의 청정된 공기를 챔버(110) 내부에 순환시킬 수 있다.
제어부(160)는 공기 순환부(150)를 제어하여 챔버(110) 내부에 순환되는 공기의 흐름, 온도 등을 조절한다.
실시예는 웨이퍼 운반용 박스와 건조용 선반 사이의 마찰을 감소시키도록 건조용 선반 상에 선반 레일을 마련함으로써, 마찰에 의한 웨이퍼 운반용 박스 조각 발생을 억제할 수 있다.
이상에서 설명한 본 발명은 상술한 실시 예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술분야에서 종래의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여져야만 할 것이다.
110: 챔버 122,124,126: 건조용 선반
130: 관통 홀들 140: 선반 레일
150: 공기 순환부 160: 제어부
312,314: 레일 322,324: 연결부
410: 지지부.

Claims (4)

  1. 웨이퍼 운반용 박스를 건조하기 위한 공간인 챔버;
    상기 챔버 내부에 배치되는 건조용 선반;
    상기 건조용 선반 상면에 배치되며, 상기 웨이퍼 운반용 박스가 로딩(loading)되는 선반 레일(shelf rail); 및
    상기 챔버 천장에 배치되며, 상기 챔버 천장으로부터 상기 챔버 바닥으로 공기를 하강시켜 상기 챔버 내부에 공기를 순환시키는 공기 순환부를 포함하며,
    상기 선반 레일에 로딩된 웨이퍼 운반용 박스의 바닥은 상기 건조용 선반과 이격하는 웨이퍼 운반용 박스 건조 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 선반 레일은,
    서로 이격하여 배치되는 제1 레일 및 제2 레일;
    상기 제1 레일 및 상기 제2 레일을 연결하는 적어도 하나의 연결부; 및
    상기 적어도 하나의 연결부와 상기 건조용 선반 사이에 배치되어, 상기 연결부를 지지하는 지지부를 포함하는 웨이퍼 운반용 박스 건조 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제1 레일 및 상기 제2 레일은 상기 건조용 선반의 상면으로부터 이격하는 웨이퍼 운반용 박스 건조 장치.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 건조용 선반과 상기 지지부 사이의 거리는 상기 연결부와 상기 제1 레일 사이 또는 상기 연결부와 상기 제2 레일 사이의 거리보다 큰 웨이퍼 운반용 박스 건조 장치.
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