JP2018509570A - 真空バルブ - Google Patents
真空バルブ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2018509570A JP2018509570A JP2017545948A JP2017545948A JP2018509570A JP 2018509570 A JP2018509570 A JP 2018509570A JP 2017545948 A JP2017545948 A JP 2017545948A JP 2017545948 A JP2017545948 A JP 2017545948A JP 2018509570 A JP2018509570 A JP 2018509570A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- drive
- lateral
- longitudinal
- parallel
- vacuum valve
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 claims abstract description 109
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 8
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 9
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 5
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 4
- 230000033228 biological regulation Effects 0.000 description 2
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 229920006169 Perfluoroelastomer Polymers 0.000 description 1
- 230000002457 bidirectional effect Effects 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 1
- 230000000452 restraining effect Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
- F16K31/44—Mechanical actuating means
- F16K31/52—Mechanical actuating means with crank, eccentric, or cam
- F16K31/528—Mechanical actuating means with crank, eccentric, or cam with pin and slot
- F16K31/5286—Mechanical actuating means with crank, eccentric, or cam with pin and slot comprising a sliding valve
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
- F16K3/02—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor
- F16K3/16—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together
- F16K3/18—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together by movement of the closure members
- F16K3/184—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together by movement of the closure members by means of cams
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
- F16K3/02—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor
- F16K3/0218—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with only one sealing face
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
- F16K31/02—Actuating devices; Operating means; Releasing devices electric; magnetic
- F16K31/04—Actuating devices; Operating means; Releasing devices electric; magnetic using a motor
- F16K31/041—Actuating devices; Operating means; Releasing devices electric; magnetic using a motor for rotating valves
- F16K31/043—Actuating devices; Operating means; Releasing devices electric; magnetic using a motor for rotating valves characterised by mechanical means between the motor and the valve, e.g. lost motion means reducing backlash, clutches, brakes or return means
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K51/00—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus
- F16K51/02—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus specially adapted for high-vacuum installations
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
- F16K31/02—Actuating devices; Operating means; Releasing devices electric; magnetic
- F16K31/04—Actuating devices; Operating means; Releasing devices electric; magnetic using a motor
- F16K31/047—Actuating devices; Operating means; Releasing devices electric; magnetic using a motor characterised by mechanical means between the motor and the valve, e.g. lost motion means reducing backlash, clutches, brakes or return means
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Sliding Valves (AREA)
- Mechanically-Actuated Valves (AREA)
- Details Of Valves (AREA)
Abstract
Description
Claims (11)
- 軸線(3)を有し、かつ、バルブシート(5)により囲まれているバルブ開口部(2)を有するバルブ本体(1)と、
前記バルブ開口部(2)を開放する開位置と、前記バルブ開口部(2)を覆っている一方で前記バルブシート(5)から離間している中間位置との間で縦運動方向(14)に平行に変位可能であり、かつ、当該中間位置と前記バルブシート(5)に対して当接する閉位置との間で横運動方向(15)に平行に変位可能である閉塞要素(4)と、
前記縦変位方向(14)に平行に変位可能、かつ、前記横変位方向(15)に対して平行に変位可能に設けられ、前記閉塞要素(4)を担持するバルブロッド(9)と、
前記バルブロッド(9)が堅固に連結されている移動部材(13)と、
前記閉塞要素(4)を開位置、中間位置および閉位置の間で駆動するため、前記縦運動方向(14)に平行に延在する軸線(23)のまわりでドライブシャフト(21)(22)を回転自在とする駆動モータ(25)(26)と、を備えている真空バルブであって、
前記ドライブシャフト(21)(22)が、
第1部分において、前記閉塞要素(4)を開位置および中間位置の間で駆動するため、前記移動部材(13)に対して前記縦運動方向(14)に平行に変位不可能に連結された、縦駆動カム機構の縦駆動係合部材(32)と相互作用する、当該縦駆動カム機構の縦駆動カム部材(31)を備え、かつ、
第2部分において、前記閉塞要素(4)を中間位置および閉位置の間で駆動するため、前記移動部材(13)に対して前記横運動方向(15)に平行に変位不可能に連結された、横駆動カム機構の横駆動係合部材(35)(36)(44)と相互作用する、当該横駆動カム機構の横駆動カム部材(33)(34)(43)を備えていることを特徴とする真空バルブ。 - 請求項1記載の真空バルブにおいて、
前記バルブロッド(9)を前記縦運動方向(14)に平行に変位可能、かつ、前記横運動方向(15)に平行に変位可能に設けるため、前記移動部材(13)が、前記バルブ本体(1)に堅固に連結された担持部材(20)に対して前記縦運動方向(14)に平行に変位可能、かつ、前記横運動方向(15)に平行に変位可能に設けられていることを特徴とする真空バルブ。 - 請求項2記載の真空バルブにおいて、
前記移動部材(13)のための少なくとも1つの縦リニアガイドが設けられ、
当該少なくとも1つの縦リニアガイドが、前記移動部材(13)を前記縦運動方向(14)に平行に変位可能とし、かつ、少なくとも1つの横リニアガイドによって前記横運動方向(15)に平行に変位可能に設けられていることを特徴とする真空バルブ。 - 請求項2記載の真空バルブにおいて、
前記横変位方向(15)に平行に変位不可能に設けられたスライダ(45)が、少なくとも1つの縦リニアガイドにより前記縦運動方向(14)に平行に変位可能に設けられ、かつ、前記移動部材(13)を前記横運動方向(15)に変位可能とし、前記移動部材(13)が前記スライダ(45)に対して前記縦運動方向(14)に平行に変位不可能に担持されていることを特徴とする真空バルブ。 - 請求項1〜4のうちいずれか1つに記載の真空バルブにおいて、
前記横駆動カム部材(33)(34)が、前記横係合部材(35)(36)を案内するための外表面を有するカムの形態で構成され、または、前記横駆動カム部材(43)が、前記横駆動係合部材(44)のための溝ガイドを形成するガイド溝(43a)を有していることを特徴とする真空バルブ。 - 請求項5記載の真空バルブにおいて、
前記ドライブシャフト(21)(22)が、前記第2部分において、二重のカムを構成し、かつ、第1横駆動係合部材(35)および第2横駆動係合部材(36)と相互作用する、第1横駆動カム部材(33)および第2横駆動カム部材(34)を備えていることを特徴とする真空バルブ。 - 請求項1〜6のうちいずれか1つに記載の真空バルブにおいて、
前記縦駆動カム部材(31)により構成される曲線は、無勾配部分(31a)を有し、前記縦駆動係合部材(32)が、前記閉塞要素(4)の開位置から中間位置に至る軌道の終端部において、無勾配部分(31b)に設けられていることを特徴とする真空バルブ。 - 請求項1〜7のうちいずれか1つに記載の真空バルブにおいて、
前記縦駆動カム機構は、シリンダカム機構であることを特徴とする真空バルブ。 - 請求項1〜8のうちいずれか1つに記載の真空バルブにおいて、
駆動モータまたはそれぞれの駆動モータ(25)(26)によってそれぞれの回転軸線(23)のまわりに回転可能な第1ドライブシャフト(21)および第2ドライブシャフト(22)を備え、
前記第1ドライブシャフト(21)および前記第2ドライブシャフト(22)のそれぞれが、
第1部分において、縦駆動カム機構の縦駆動係合部材(32)と相互作用する、それぞれの当該縦駆動カム機構の縦駆動カム部材(31)を備え、
第2部分において、横駆動カム機構の横駆動係合部材(35)(36)と相互作用する、それぞれの当該横駆動カム機構の横駆動カム部材(33)(34)を備えていることを特徴とする真空バルブ。 - 請求項1〜9のうちいずれか1つに記載の真空バルブにおいて、
前記バルブロッド(9)が、前記縦変位方向(14)に平行に延在する縦軸線(10)を有することを特徴とする真空バルブ。 - 請求項1〜10のうちいずれか1つに記載の真空バルブにおいて、
前記ドライブシャフト(21)(22)の前記回転軸線(23)の周りの回転を防止する制動装置(40)が設けられていることを特徴とする真空バルブ。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
AT1812015 | 2015-03-27 | ||
ATA181/2015 | 2015-03-27 | ||
PCT/EP2016/054730 WO2016155976A1 (de) | 2015-03-27 | 2016-03-07 | Vakuumventil |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018509570A true JP2018509570A (ja) | 2018-04-05 |
JP6778206B2 JP6778206B2 (ja) | 2020-10-28 |
Family
ID=55456808
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017545948A Active JP6778206B2 (ja) | 2015-03-27 | 2016-03-07 | 真空バルブ |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10184570B2 (ja) |
JP (1) | JP6778206B2 (ja) |
KR (1) | KR102504622B1 (ja) |
CN (1) | CN107429857B (ja) |
TW (1) | TWI684722B (ja) |
WO (1) | WO2016155976A1 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2020250841A1 (ja) * | 2019-06-12 | 2020-12-17 | 住友重機械工業株式会社 | 真空バルブ及び真空バルブに用いられるアクチュエータ |
KR20200145688A (ko) * | 2019-06-20 | 2020-12-30 | 가부시키가이샤 아루박 | 게이트 밸브 |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110410564B (zh) * | 2018-04-28 | 2024-04-26 | 佛山市顺德区美的饮水机制造有限公司 | 软水阀及软水机 |
DE102019129344A1 (de) | 2019-10-30 | 2021-05-06 | Vat Holding Ag | Vakuumventil |
DE102021114422A1 (de) | 2021-06-04 | 2022-12-08 | Vat Holding Ag | Vakuumventil |
BR102021011549A2 (pt) * | 2021-06-14 | 2022-12-27 | Petróleo Brasileiro S.A. - Petrobras | Dispositivo atuador de válvula micrométrica para o controle da pressão de gás |
DE102021129883A1 (de) * | 2021-11-16 | 2023-05-17 | Vat Holding Ag | Ventilplatte |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005098492A (ja) * | 2003-08-26 | 2005-04-14 | Kitz Sct:Kk | ゲートバルブ |
JP2010534302A (ja) * | 2007-07-24 | 2010-11-04 | バット ホールディング アーゲー | 真空バルブの制御方法 |
JP2014129879A (ja) * | 2012-12-27 | 2014-07-10 | Vat Holding Ag | 真空ゲート弁 |
JP2015068468A (ja) * | 2013-09-30 | 2015-04-13 | 東京エレクトロン株式会社 | ゲートバルブおよび基板処理装置 |
Family Cites Families (30)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1190755B (de) | 1960-06-29 | 1965-04-08 | Commissariat Energie Atomique | Absperrschieber |
JPH03234979A (ja) * | 1990-02-09 | 1991-10-18 | Canon Inc | 仕切り弁 |
US5269491A (en) * | 1992-03-10 | 1993-12-14 | Reynolds Calvin E | High vacuum valve |
DE19746241C2 (de) | 1997-10-20 | 2000-05-31 | Vat Holding Ag Haag | Einrichtung zum Verschließen einer Öffnung |
JP3439121B2 (ja) * | 1998-06-08 | 2003-08-25 | 重高 賢治郎 | 真空装置のバルブ |
JPH11351419A (ja) * | 1998-06-08 | 1999-12-24 | Irie Koken Kk | 無摺動ゲート弁 |
US6089537A (en) * | 1999-06-23 | 2000-07-18 | Mks Instruments, Inc. | Pendulum valve assembly |
US6237892B1 (en) | 2000-02-18 | 2001-05-29 | V Tex Corporation | Gate valve |
US6328051B1 (en) | 2000-06-28 | 2001-12-11 | Mks Instruments, Inc. | Dual pendulum valve assembly |
JP4304365B2 (ja) | 2002-12-16 | 2009-07-29 | Smc株式会社 | ゲートバルブ |
US6776394B2 (en) * | 2002-12-30 | 2004-08-17 | Mks Instruments, Inc. | Pendulum valve assembly |
US6899316B2 (en) | 2003-04-16 | 2005-05-31 | Vat Holding Ag | Closure device for vacuum closure of at least one opening in a wall |
US7100892B2 (en) | 2003-08-26 | 2006-09-05 | Kitz Sct Corporation | Non-rubbing gate valve for semiconductor fabrication apparatus |
JP4079157B2 (ja) | 2005-04-12 | 2008-04-23 | 東京エレクトロン株式会社 | ゲートバルブ装置及び処理システム |
KR20070113122A (ko) | 2006-05-24 | 2007-11-28 | 배트 홀딩 아게 | 벽 내의 개구부의 진공 밀봉 폐쇄를 위한 폐쇄장치 |
DE102007030006B4 (de) | 2006-07-19 | 2009-12-17 | Vat Holding Ag | Vakuumventil |
DE102008049353A1 (de) | 2008-09-29 | 2010-04-08 | Vat Holding Ag | Vakuumventil |
DE102008051349B3 (de) * | 2008-10-15 | 2009-11-12 | Vat Holding Ag | Vakuumventil |
JP5297296B2 (ja) * | 2009-08-10 | 2013-09-25 | 株式会社水道技術開発機構 | 作業用仕切弁 |
JP5365867B2 (ja) * | 2009-10-15 | 2013-12-11 | Smc株式会社 | ゲートバルブ |
DE102010053411B4 (de) * | 2009-12-15 | 2023-07-06 | Vat Holding Ag | Vakuumventil |
JP2011127190A (ja) | 2009-12-18 | 2011-06-30 | Showa Denko Kk | インライン式成膜装置、磁気記録媒体の製造方法、及びゲートバルブ |
JP5533839B2 (ja) * | 2011-11-04 | 2014-06-25 | Smc株式会社 | 無摺動型ゲートバルブ |
KR101376045B1 (ko) * | 2012-04-06 | 2014-03-18 | 프리시스 주식회사 | 게이트 밸브 |
US8960641B2 (en) | 2012-11-14 | 2015-02-24 | Vat Holding Ag | Vacuum valve |
EP2913573A1 (de) * | 2014-02-26 | 2015-09-02 | VAT Holding AG | Vakuumventil |
TWI656293B (zh) * | 2014-04-25 | 2019-04-11 | 瑞士商Vat控股股份有限公司 | 閥 |
JP6584829B2 (ja) * | 2014-07-04 | 2019-10-02 | バット ホールディング アーゲー | バルブ |
WO2016096471A1 (de) * | 2014-12-19 | 2016-06-23 | Vat Holding Ag | Tür zum verschliessen einer kammeröffnung in einer kammerwand einer vakuumkammer |
TWI705212B (zh) * | 2016-01-19 | 2020-09-21 | 瑞士商Vat控股股份有限公司 | 用於對壁中開口進行真空密封的密封裝置 |
-
2016
- 2016-03-07 US US15/557,605 patent/US10184570B2/en active Active
- 2016-03-07 JP JP2017545948A patent/JP6778206B2/ja active Active
- 2016-03-07 WO PCT/EP2016/054730 patent/WO2016155976A1/de active Application Filing
- 2016-03-07 CN CN201680019045.0A patent/CN107429857B/zh active Active
- 2016-03-07 KR KR1020177026797A patent/KR102504622B1/ko active IP Right Grant
- 2016-03-18 TW TW105108428A patent/TWI684722B/zh active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005098492A (ja) * | 2003-08-26 | 2005-04-14 | Kitz Sct:Kk | ゲートバルブ |
JP2010534302A (ja) * | 2007-07-24 | 2010-11-04 | バット ホールディング アーゲー | 真空バルブの制御方法 |
JP2014129879A (ja) * | 2012-12-27 | 2014-07-10 | Vat Holding Ag | 真空ゲート弁 |
JP2015068468A (ja) * | 2013-09-30 | 2015-04-13 | 東京エレクトロン株式会社 | ゲートバルブおよび基板処理装置 |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2020250841A1 (ja) * | 2019-06-12 | 2020-12-17 | 住友重機械工業株式会社 | 真空バルブ及び真空バルブに用いられるアクチュエータ |
JP2020200905A (ja) * | 2019-06-12 | 2020-12-17 | 住友重機械工業株式会社 | 真空バルブ及び真空バルブに用いられるアクチュエータ |
CN114072603A (zh) * | 2019-06-12 | 2022-02-18 | 住友重机械工业株式会社 | 真空阀及使用于真空阀的致动器 |
JP7164491B2 (ja) | 2019-06-12 | 2022-11-01 | 住友重機械工業株式会社 | 真空バルブ及び真空バルブに用いられるアクチュエータ |
US11629796B2 (en) | 2019-06-12 | 2023-04-18 | Sumitomo Heavy Industries, Ltd. | Vacuum valve and actuator used in vacuum valve |
KR20200145688A (ko) * | 2019-06-20 | 2020-12-30 | 가부시키가이샤 아루박 | 게이트 밸브 |
KR102382145B1 (ko) | 2019-06-20 | 2022-04-01 | 가부시키가이샤 아루박 | 게이트 밸브 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2016155976A1 (de) | 2016-10-06 |
US10184570B2 (en) | 2019-01-22 |
CN107429857B (zh) | 2019-05-17 |
US20180058591A1 (en) | 2018-03-01 |
CN107429857A (zh) | 2017-12-01 |
JP6778206B2 (ja) | 2020-10-28 |
TW201641860A (zh) | 2016-12-01 |
KR20170129776A (ko) | 2017-11-27 |
TWI684722B (zh) | 2020-02-11 |
KR102504622B1 (ko) | 2023-02-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2018509570A (ja) | 真空バルブ | |
JP5490124B2 (ja) | 真空バルブ | |
US8800956B2 (en) | Non-sliding gate valve | |
KR100997131B1 (ko) | 챔버의 도어개폐장치 | |
JP6677738B2 (ja) | 真空バルブ | |
JP6014476B2 (ja) | バタフライ式圧力制御バルブ | |
JP5511677B2 (ja) | 真空バルブ | |
KR101683552B1 (ko) | 논슬라이드형 게이트 밸브 | |
KR102274973B1 (ko) | 진공밸브 | |
KR20180044290A (ko) | 진공밸브 | |
JP6584829B2 (ja) | バルブ | |
CN102886540A (zh) | 用于机床的夹持装置 | |
ES2931211T3 (es) | Unidad de accionamiento para un cabezal aplicador de tapas y cabezal aplicador de tapas que usa la misma | |
GB2543686A (en) | Door driving mechanism | |
IT201800006575A1 (it) | Cerniera decelerata per mobili. | |
EP2242946B1 (en) | Valve actuator | |
BR112020018782B1 (pt) | Rolo de pressão e método para prensar uma camada de pneu em um tambor de construção de pneu | |
KR101127896B1 (ko) | 볼 밸브 | |
JP2022553905A (ja) | 真空バルブ | |
CN106170225B (zh) | 磁脱毛器 | |
KR20200016850A (ko) | 제 1 챔버 및 적어도 하나의 제 2 챔버를 포함하는 조립체 | |
KR20200001800A (ko) | 클러치 액츄에이터 | |
JP6457844B2 (ja) | 往復回転出力機構及びこれを用いた往復回転アクチュエータ | |
JP2016169801A (ja) | ゲートバルブ | |
KR20130083273A (ko) | 공압을 이용한 밸브 개폐용 액츄에어터 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190304 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20200122 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200204 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200414 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200526 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200608 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20200915 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20201009 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6778206 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |