JP3439121B2 - 真空装置のバルブ - Google Patents
真空装置のバルブInfo
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- JP3439121B2 JP3439121B2 JP15946698A JP15946698A JP3439121B2 JP 3439121 B2 JP3439121 B2 JP 3439121B2 JP 15946698 A JP15946698 A JP 15946698A JP 15946698 A JP15946698 A JP 15946698A JP 3439121 B2 JP3439121 B2 JP 3439121B2
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- JP
- Japan
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- valve
- cylinder
- vacuum
- chamber
- vacuum device
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-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
- F16K31/02—Actuating devices; Operating means; Releasing devices electric; magnetic
- F16K31/04—Actuating devices; Operating means; Releasing devices electric; magnetic using a motor
- F16K31/041—Actuating devices; Operating means; Releasing devices electric; magnetic using a motor for rotating valves
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K5/00—Plug valves; Taps or cocks comprising only cut-off apparatus having at least one of the sealing faces shaped as a more or less complete surface of a solid of revolution, the opening and closing movement being predominantly rotary
- F16K5/08—Details
- F16K5/14—Special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together
- F16K5/16—Special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together for plugs with conical surfaces
- F16K5/162—Special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together for plugs with conical surfaces with the plugs or parts of the plugs mechanically pressing the seal against the housing
- F16K5/163—Special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together for plugs with conical surfaces with the plugs or parts of the plugs mechanically pressing the seal against the housing adjustable in height
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K51/00—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus
- F16K51/02—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus specially adapted for high-vacuum installations
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T137/00—Fluid handling
- Y10T137/6416—With heating or cooling of the system
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Details Of Valves (AREA)
- Taps Or Cocks (AREA)
- Sliding Valves (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、２っの左右の真空
チャンバー間に設けられ、それらの開口を開閉するため
の真空装置のバルブに関する。
チャンバー間に設けられ、それらの開口を開閉するため
の真空装置のバルブに関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、半導体製造装置等の真空装置の
真空チャンバーを開閉するための真空装置のバルブとし
ては、図７に示すようなものがある。すなわち、２つの
左右の真空チャンバー８０、８１間には、縦方向に真空
装置のバルブＶ0が設けられている。このバルブＶ0はケ
ーシングＣを有し、このケーシングＣ内に上下方向に移
動自在に弁体８６が収納されている。この弁体８６は板
状をなして弁軸８４の上端に固着されている。弁軸８４
はシールＳ0内を摺動し、このシールＳ0と弁軸８４上端
間にベローズ８５が設けられ、弁軸８４が摺動してもケ
ーシングＣ内の真空が維持されるようになっている。弁
軸８４の下方には図示しない駆動部が設けられ、これに
より弁体８６が上下動してケ―シングＣの連通孔８２が
開閉するようになっている。
真空チャンバーを開閉するための真空装置のバルブとし
ては、図７に示すようなものがある。すなわち、２つの
左右の真空チャンバー８０、８１間には、縦方向に真空
装置のバルブＶ0が設けられている。このバルブＶ0はケ
ーシングＣを有し、このケーシングＣ内に上下方向に移
動自在に弁体８６が収納されている。この弁体８６は板
状をなして弁軸８４の上端に固着されている。弁軸８４
はシールＳ0内を摺動し、このシールＳ0と弁軸８４上端
間にベローズ８５が設けられ、弁軸８４が摺動してもケ
ーシングＣ内の真空が維持されるようになっている。弁
軸８４の下方には図示しない駆動部が設けられ、これに
より弁体８６が上下動してケ―シングＣの連通孔８２が
開閉するようになっている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、かかる真空
装置のバルブＶ0においては、両真空チャンバー８０、
８１の真空の連通空間Ｓ1内に位置するベローズ８５は
真空内で伸縮するので、寿命が短いばかりでなくパーテ
ィクル発生の原因となっていた。また、かかるバルブＶ
0は、板状の弁体を使用しているので片側の真空チャン
バー８０のみしかシールができなかった。
装置のバルブＶ0においては、両真空チャンバー８０、
８１の真空の連通空間Ｓ1内に位置するベローズ８５は
真空内で伸縮するので、寿命が短いばかりでなくパーテ
ィクル発生の原因となっていた。また、かかるバルブＶ
0は、板状の弁体を使用しているので片側の真空チャン
バー８０のみしかシールができなかった。
【０００４】更に、バルブＶ0は、左右の両真空チャン
バー８０、８１間に縦方向に設けられているため、その
駆動部のメインテナンスをする時に、狭い場所での作業
となり、作業がしにくいという問題があった。
バー８０、８１間に縦方向に設けられているため、その
駆動部のメインテナンスをする時に、狭い場所での作業
となり、作業がしにくいという問題があった。
【０００５】本発明は、かかる点に鑑み、ベローズを使
用することなく、パーティクルが少なく寿命が長く、両
側にシール部を備えた真空装置のバルブを提供すること
を目的とする。
用することなく、パーティクルが少なく寿命が長く、両
側にシール部を備えた真空装置のバルブを提供すること
を目的とする。
【０００６】そこで、本発明は,左右の真空チャンバー
の中間に設けられ、左右の真空チャンバーのチャンバー
開口を開閉するための真空装置のバルブにおいて、この
真空装置のバルブは、真空チャンバ―のチャンバー開口
に連なる左右の連通開口を有する弁座体と、この弁座体
内に回転自在で、且つ弁座体の軸方向に移動可能で、且
つ回転位置の調節により前記連通開口を開閉する弁体
と、前記弁体を弁座体内の軸方向に移動させるとともに
回転させるための駆動部とを備え、前記真空装置のバル
ブは、左右の真空チャンバー間に横方向に配設され、バ
ルブの駆動部が真空チャンバーから横方向に張り出すよ
うにした。
の中間に設けられ、左右の真空チャンバーのチャンバー
開口を開閉するための真空装置のバルブにおいて、この
真空装置のバルブは、真空チャンバ―のチャンバー開口
に連なる左右の連通開口を有する弁座体と、この弁座体
内に回転自在で、且つ弁座体の軸方向に移動可能で、且
つ回転位置の調節により前記連通開口を開閉する弁体
と、前記弁体を弁座体内の軸方向に移動させるとともに
回転させるための駆動部とを備え、前記真空装置のバル
ブは、左右の真空チャンバー間に横方向に配設され、バ
ルブの駆動部が真空チャンバーから横方向に張り出すよ
うにした。
【０００７】このような構造とすることにより、左右の
真空チャンバーの開口を同時に開閉自在とし、パーティ
クルが少なく、寿命の長い真空装置のバルブとなり、メ
ンテナンス作業がきわめて容易となる。
真空チャンバーの開口を同時に開閉自在とし、パーティ
クルが少なく、寿命の長い真空装置のバルブとなり、メ
ンテナンス作業がきわめて容易となる。
【０００８】
【０００９】
【発明の実施の形態及び実施例】以下、図面を参照して
本発明の実施例について説明する。
本発明の実施例について説明する。
【００１０】図１及び２において、架台T.T上に設置さ
れた左右の真空チャンバー１、２の中間には、本発明の
真空装置のバルブ３が横（水平）方向に配設されてお
り、このバルブ３の駆動部５は真空チャンバー１，２の
横方向に張り出して設けられている。このように、駆動
部５が横方向に張り出して設けられていれば、他の部分
よりメィンテナンスがより必要となる駆動部へのアクセ
スが容易となる。
れた左右の真空チャンバー１、２の中間には、本発明の
真空装置のバルブ３が横（水平）方向に配設されてお
り、このバルブ３の駆動部５は真空チャンバー１，２の
横方向に張り出して設けられている。このように、駆動
部５が横方向に張り出して設けられていれば、他の部分
よりメィンテナンスがより必要となる駆動部へのアクセ
スが容易となる。
【００１１】前記バルブ３は、図３，４に示すように弁
体Ｖが収納される弁部４と、この弁部４に連結され前記
弁体Ｖを駆動させるための駆動部５とを備えている。
体Ｖが収納される弁部４と、この弁部４に連結され前記
弁体Ｖを駆動させるための駆動部５とを備えている。
【００１２】前記弁部４は、図５，６に示すように、弁
体Ｖを収納するための外形が矩形の弁座体２０（弁箱２
０）を備え、この弁座体２０は、左右の真空チャンバー
の開口に対向する連通開口２１，２２を有するととも
に、その中に断面が円形で直径が駆動部５側から弁部４
の先端に連続的に拡大する弁体収納室６を有している。
体Ｖを収納するための外形が矩形の弁座体２０（弁箱２
０）を備え、この弁座体２０は、左右の真空チャンバー
の開口に対向する連通開口２１，２２を有するととも
に、その中に断面が円形で直径が駆動部５側から弁部４
の先端に連続的に拡大する弁体収納室６を有している。
【００１３】そして、前記連通開口２１、２２は、前記
弁座体２０の弁体収納室６の直径方向反対側に弁座体２
０の軸方向に細長く伸びている。
弁座体２０の弁体収納室６の直径方向反対側に弁座体２
０の軸方向に細長く伸びている。
【００１４】前記連通開口２１，２２の周囲の弁座体２
０の端面には、シールＳ4、Ｓ4が設けられ、これらのシ
ールＳ4は左右の真空チャンバーの端面に密着してい
る。
０の端面には、シールＳ4、Ｓ4が設けられ、これらのシ
ールＳ4は左右の真空チャンバーの端面に密着してい
る。
【００１５】前記弁体Ｖは、前記弁体収納室６に対応す
る外形形状である外周面（直径）が駆動部５から弁部４
の先端に向かって拡大する略円柱体であり、この円柱体
の直径方向に開口する弁口１９を備え、この弁口１９の
幅が前記連通開口２１，２２の幅に対応している。そし
て、これら弁口１９の周囲の弁体Ｖの外周面にはシール
Ｓ5、Ｓ5がそれぞれ設けられている。
る外形形状である外周面（直径）が駆動部５から弁部４
の先端に向かって拡大する略円柱体であり、この円柱体
の直径方向に開口する弁口１９を備え、この弁口１９の
幅が前記連通開口２１，２２の幅に対応している。そし
て、これら弁口１９の周囲の弁体Ｖの外周面にはシール
Ｓ5、Ｓ5がそれぞれ設けられている。
【００１６】前記弁座体２０の先端は閉塞盤４０によっ
て閉塞され、この閉塞盤４０の内面中央部に前記弁体Ｖ
の先端から突出するガイド軸４１が回転自在かつ軸方向
に移動可能に収納されている。
て閉塞され、この閉塞盤４０の内面中央部に前記弁体Ｖ
の先端から突出するガイド軸４１が回転自在かつ軸方向
に移動可能に収納されている。
【００１７】この弁体Ｖは駆動部５によって、回転可能
かつ軸方向摺動可能に駆動されるが、図４は弁座体２０
の連通開口２１，２２が閉じている状態を示し、この状
態においては、図５、図６に示すように、弁口１９は弁
座体２０の弁体収納室６の内壁によって閉塞されてい
る。一方、弁座体２０の連通開口２１，２２は弁体Ｖの
外周壁によって閉塞されている。この状態から連通開口
２１，２２を開放するためには、図４において弁体Ｖを
図上右方向へ摺動させて弁体ＶのシールＳ5と弁座体の
弁体収納室６の内壁との密着を開放し、次いで図５，６
に示す位置から弁体Ｖを９０度回動させて弁体の弁口１
９と弁座体２０の連通開口２１，２２とを対向させる。
かつ軸方向摺動可能に駆動されるが、図４は弁座体２０
の連通開口２１，２２が閉じている状態を示し、この状
態においては、図５、図６に示すように、弁口１９は弁
座体２０の弁体収納室６の内壁によって閉塞されてい
る。一方、弁座体２０の連通開口２１，２２は弁体Ｖの
外周壁によって閉塞されている。この状態から連通開口
２１，２２を開放するためには、図４において弁体Ｖを
図上右方向へ摺動させて弁体ＶのシールＳ5と弁座体の
弁体収納室６の内壁との密着を開放し、次いで図５，６
に示す位置から弁体Ｖを９０度回動させて弁体の弁口１
９と弁座体２０の連通開口２１，２２とを対向させる。
【００１８】逆に、連通開口２１，２２を閉塞させるた
めには、弁体ＶのシールＳ5の弁体収納室６の内壁への
密着度が低い位置で開放状態から９０度回動せしめ、次
いで弁体Ｖを第４図において左方向に移動せしめて弁体
ＶのシールＳ5を弁座体の弁体収納室６の内壁に密着せ
しめる。こうして真空チャンバーが密閉される。
めには、弁体ＶのシールＳ5の弁体収納室６の内壁への
密着度が低い位置で開放状態から９０度回動せしめ、次
いで弁体Ｖを第４図において左方向に移動せしめて弁体
ＶのシールＳ5を弁座体の弁体収納室６の内壁に密着せ
しめる。こうして真空チャンバーが密閉される。
【００１９】次に、前記弁体Ｖを回動させたり、軸方向
に往復動させるための駆動部５の機構について説明す
る。
に往復動させるための駆動部５の機構について説明す
る。
【００２０】図４，５において、駆動部５はケーシング
３５を有し、このケーシング３５の弁部４側には、仕切
枠３２が設けられ、この仕切枠３２を貫いて弁体Ｖを支
持している弁軸１７が伸びている。この弁軸１７の後端
部には、リング状のマグネット１６ａが取付けられてピ
ストン１６を形成している。このピストン１６は、二重
シリンダー１２内を軸方向に摺動したり、回動したりす
るようになっており、前記二重シリンダー１２は外筒１
２ａと内筒１２ｂとからなっている。これら外内筒１２
ａと１２ｂ間にリング状のマグネット１３が収納され、
このマグネット１３と前記マグネット１６ａとがマグネ
ットカップリングを形成している。前記リング状のマグ
ネット１３は筒状ピストン体７５の筒体部７２に固定さ
れ、この筒体部７２はその軸部７３と一体に連結され、
この軸部７３の後端に作動板３０が固定され、この作動
板３０は、リミットスイッチ３１と協働して前記筒体部
７２と軸部７３からなる前記筒状ピストン体７５の後退
位置を規制する。前記筒状ピストン体７５は、図４に示
すように、二重シリンダー１２の両端部分に形成された
空気取入口１４，１５からの空気供給調節により、その
軸方向位置が調節され、このときの筒状ピストン体のマ
グネット１３と、弁軸１７のマグネット１６とが対向す
るように、弁軸１７のピストン１６が移動し、これとと
もに弁体Ｖが移動する。
３５を有し、このケーシング３５の弁部４側には、仕切
枠３２が設けられ、この仕切枠３２を貫いて弁体Ｖを支
持している弁軸１７が伸びている。この弁軸１７の後端
部には、リング状のマグネット１６ａが取付けられてピ
ストン１６を形成している。このピストン１６は、二重
シリンダー１２内を軸方向に摺動したり、回動したりす
るようになっており、前記二重シリンダー１２は外筒１
２ａと内筒１２ｂとからなっている。これら外内筒１２
ａと１２ｂ間にリング状のマグネット１３が収納され、
このマグネット１３と前記マグネット１６ａとがマグネ
ットカップリングを形成している。前記リング状のマグ
ネット１３は筒状ピストン体７５の筒体部７２に固定さ
れ、この筒体部７２はその軸部７３と一体に連結され、
この軸部７３の後端に作動板３０が固定され、この作動
板３０は、リミットスイッチ３１と協働して前記筒体部
７２と軸部７３からなる前記筒状ピストン体７５の後退
位置を規制する。前記筒状ピストン体７５は、図４に示
すように、二重シリンダー１２の両端部分に形成された
空気取入口１４，１５からの空気供給調節により、その
軸方向位置が調節され、このときの筒状ピストン体のマ
グネット１３と、弁軸１７のマグネット１６とが対向す
るように、弁軸１７のピストン１６が移動し、これとと
もに弁体Ｖが移動する。
【００２１】前記筒状ピストン体の軸部１２ｄには、フ
レームＦ1、Ｆ1、Ｆ2に回転自在に支持された駆動歯車
１０がスプライン結合され、この駆動歯車１０に中間歯
車９が噛合し、この中間歯車９はフレームＦ1、Ｆ2に回
転自在に支持された歯車軸８の後端に取付けられ、その
先端には空気作動のロータリーアクチュエータ７が連結
されている。このロータリーアクチュエータ７は空気作
動の回転駆動部７ａと、この回転駆動部７ａの作動軸に
取付けられた第１傘歯車７ｂと、この第１傘歯車７ｂと
噛合し、前記歯車軸８に固定された第２傘歯車７ｃとか
らなっている。このロータリーアクチュエータ７の作動
により、前記筒状ピストン体が回動し、これに伴って弁
軸１７に取付けられたピストン１６が回動する。
レームＦ1、Ｆ1、Ｆ2に回転自在に支持された駆動歯車
１０がスプライン結合され、この駆動歯車１０に中間歯
車９が噛合し、この中間歯車９はフレームＦ1、Ｆ2に回
転自在に支持された歯車軸８の後端に取付けられ、その
先端には空気作動のロータリーアクチュエータ７が連結
されている。このロータリーアクチュエータ７は空気作
動の回転駆動部７ａと、この回転駆動部７ａの作動軸に
取付けられた第１傘歯車７ｂと、この第１傘歯車７ｂと
噛合し、前記歯車軸８に固定された第２傘歯車７ｃとか
らなっている。このロータリーアクチュエータ７の作動
により、前記筒状ピストン体が回動し、これに伴って弁
軸１７に取付けられたピストン１６が回動する。
【００２２】弁座体２０の連通開口２１，２２を開放す
るときには、図３に示すシリンダー１２の後部に設けた
エア口１４からエアを二重シリンダー１２内に供給して
図５に示す状態から筒状ピストン体７５を右動せしめて
弁軸１７のピストン１６を右動させる。これに伴って弁
体Ｖも右動させる。次いで空気作動のロータリーアクチ
ュエータ７を作動させて前記筒状ピストン体７５を９０
度回動させる。これに伴って弁軸のピストン１６も９０
度回動して弁座体２０の連通開口２１，２２が開放され
る。
るときには、図３に示すシリンダー１２の後部に設けた
エア口１４からエアを二重シリンダー１２内に供給して
図５に示す状態から筒状ピストン体７５を右動せしめて
弁軸１７のピストン１６を右動させる。これに伴って弁
体Ｖも右動させる。次いで空気作動のロータリーアクチ
ュエータ７を作動させて前記筒状ピストン体７５を９０
度回動させる。これに伴って弁軸のピストン１６も９０
度回動して弁座体２０の連通開口２１，２２が開放され
る。
【００２３】前記連通開口２１，２２を開放するときに
は、先ずロータリーアクチュエ―タ７を作動させて弁体
Ｖを９０度回動させた後に、空気を二重シリンダー１２
の弁部４側のエア口１５から供給して二重シリンダー１
２を作動させて弁体Ｖを軸方向に移動させる。
は、先ずロータリーアクチュエ―タ７を作動させて弁体
Ｖを９０度回動させた後に、空気を二重シリンダー１２
の弁部４側のエア口１５から供給して二重シリンダー１
２を作動させて弁体Ｖを軸方向に移動させる。
【００２４】次に本発明の他の実施例について説明す
る。
る。
【００２５】図３、図４に示すように、弁体Ｖの外周壁
には１対のシールリングＳ5、Ｓ5が設けられているが、
このシールリングＳ5は一定期間経過後交換しなければ
ならない。この交換を容易にするために図８に示すよう
に、弁座体２０の少なくとも側壁に蓋９０を設ける。こ
の蓋９０は押えバー９１によって押さえられている。シ
ールリングＳ5の交換時には、押えバー９１を先ず弁座
体２０の側壁から外し、次いで蓋９０を外し、更に、弁
体Ｖを回転させつつ蓋９０を外して形成される開口部に
シールリングＳ51を対向させてそれを取り外す。更に、
逆方向に弁体Ｖを回転させてシールリングＳ52を蓋９０
の開口に対向せしめてそれを取外す。これらシールリン
グＳ51、Ｓ52を取外した後に新たなシールリングをそれ
ぞれの溝に嵌め込む。なお、蓋９０は反対側の壁内に更
に設けてもよい。
には１対のシールリングＳ5、Ｓ5が設けられているが、
このシールリングＳ5は一定期間経過後交換しなければ
ならない。この交換を容易にするために図８に示すよう
に、弁座体２０の少なくとも側壁に蓋９０を設ける。こ
の蓋９０は押えバー９１によって押さえられている。シ
ールリングＳ5の交換時には、押えバー９１を先ず弁座
体２０の側壁から外し、次いで蓋９０を外し、更に、弁
体Ｖを回転させつつ蓋９０を外して形成される開口部に
シールリングＳ51を対向させてそれを取り外す。更に、
逆方向に弁体Ｖを回転させてシールリングＳ52を蓋９０
の開口に対向せしめてそれを取外す。これらシールリン
グＳ51、Ｓ52を取外した後に新たなシールリングをそれ
ぞれの溝に嵌め込む。なお、蓋９０は反対側の壁内に更
に設けてもよい。
【００２６】また、これらシールリングＳ51、Ｓ52は一
般的に低温であり、弁体Ｖ及び弁座体２０の壁面との間
に温度差が生じると、シールリングＳ51、Ｓ52表面に反
応生成物質が析出し、粉体状の有害パーティクルとなっ
てシールリングＳ51、Ｓ52の寿命が短くなる。そこで、
ハロゲンランプ等の熱源９２を弁座体２０の側壁に設け
てバルブ全体の温度を８０℃〜１５０℃の範囲に調節し
てもよい。
般的に低温であり、弁体Ｖ及び弁座体２０の壁面との間
に温度差が生じると、シールリングＳ51、Ｓ52表面に反
応生成物質が析出し、粉体状の有害パーティクルとなっ
てシールリングＳ51、Ｓ52の寿命が短くなる。そこで、
ハロゲンランプ等の熱源９２を弁座体２０の側壁に設け
てバルブ全体の温度を８０℃〜１５０℃の範囲に調節し
てもよい。
【００２７】
【発明の効果】本発明は、以上のようにベローズを使用
することなく、マグネットカップリングを使用したの
で、寿命が伸びるとともにパーティクルの発生も少な
く、両側にシール面を設けることができ、特に本発明の
バルブを左右の真空チャンバー間に横方向に配設すれ
ば、駆動部のメンテナンスが良好になる。
することなく、マグネットカップリングを使用したの
で、寿命が伸びるとともにパーティクルの発生も少な
く、両側にシール面を設けることができ、特に本発明の
バルブを左右の真空チャンバー間に横方向に配設すれ
ば、駆動部のメンテナンスが良好になる。
【図１】本発明の真空装置のバルブの配置を示す真空チ
ャンバーの側面図。
ャンバーの側面図。
【図２】本発明の真空装置のバルブの配置を示す真空チ
ャンバーの正面図。
ャンバーの正面図。
【図３】本発明の真空装置のバルブの内部構造を示す側
面部分断面図。
面部分断面図。
【図４】本発明の真空装置のバルブの内部構造を示す上
面から見た平面断面図。
面から見た平面断面図。
【図５】図４におけるＡ−Ａ断面図。
【図６】図４におけるＢ−Ｂ断面図。
【図７】従来の真空装置のバルブの概略構成図。
【図８】本発明の他の実施例を示す弁座体の断面図。
１、２ … 真空チャンバー
３ … バルブ
４ … 弁部
５ … 駆動部
６ … 弁体収納室
１２ … 二重シリンダー
１６ … ピストン
２１、２２… 連通開口
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 平１−109801（ＪＰ，Ａ)
特開 平４−92169（ＪＰ，Ａ)
特開 平７−167307（ＪＰ，Ａ)
特開 平４−8977（ＪＰ，Ａ)
特開 平４−19478（ＪＰ，Ａ)
特開 平７−190228（ＪＰ，Ａ)
特開 昭62−89471（ＪＰ，Ａ)
実開 昭60−194576（ＪＰ，Ｕ)
特公 昭62−55390（ＪＰ，Ｂ２)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
F16K 51/02
F16K 3/00 - 5/22
Claims (5)
- 【請求項１】 左右の真空チャンバーの中間に設けら
れ、左右の真空チャンバーのチャンバー開口を開閉する
ための真空装置のバルブにおいて、この真空装置のバル
ブは、真空チャンバ―のチャンバー開口に連なる左右の
連通開口を有する弁座体と、この弁座体内に回転自在
で、且つ弁座体の軸方向に移動可能で、且つ回転位置の
調節により前記連通開口を開閉する弁体と、前記弁体を
弁座体内の軸方向に移動させるとともに回転させるため
の駆動部とを備え、前記駆動部は、内筒と外筒からな
り、内筒と外筒間にリング状のマグネットを備えた二重
シリンダーと、この二重シリンダー内に収納されてマグ
ネットを備えた筒状ピストン体と、このシリンダーの内
筒内に収納され前記弁体に連結されるとともに周囲に前
記シリンダー内のマグネットに対応するマグネツトを備
えたピストンと、前記筒状ピストン体を回転させる回転
ギア機構とからなり、前記二重シリンダー内及びピスト
ンの周囲のマグネットは、マグネットカップリングを形
成していることを特徴とする真空装置のバルブ。 - 【請求項２】 前記弁座体の一部が開閉自在とされてい
ることを特徴とする請求項１に記載の真空装置のバル
ブ。 - 【請求項３】 前記弁座体に加熱源を設けたことを特徴
とする請求項１又は２に記載の真空装置のバルブ。 - 【請求項４】 前記真空装置のバルブは、左右の真空チ
ャンバー間に横方向に配設され、バルブの駆動部が真空
チャンバーから横方向に張り出していることを特徴とす
る請求項１乃至３のいずれかに記載の真空装置のバル
ブ。 - 【請求項５】 前記弁座体は、直径が連続的に変化する
断面が円形の弁体収納室を有し、この弁体収納室の直径
方向の両側に前記連通開口を備え、前記弁体を、弁体収
納室内に収納し、この弁体を前記弁体収納室に対応する
ように直径が連続的に変化する略円柱体となし、この略
円柱体に直径方向の左右に開口する弁口を備えたことを
特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の真空装置
のバルブ。
Priority Applications (3)
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| TW088121155A TW412627B (en) | 1998-06-08 | 1999-12-03 | Valve of vacuum apparatus |
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| DE2263058A1 (de) * | 1972-12-22 | 1974-06-27 | Klaus Union Armaturen | Stopfbuechsloser antrieb, insbesondere fuer armaturen |
| US3882884A (en) * | 1973-12-04 | 1975-05-13 | Mueller Co | Tamperproof open bottom stop assemblies |
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| US4156437A (en) * | 1978-02-21 | 1979-05-29 | The Perkin-Elmer Corporation | Computer controllable multi-port valve |
| US4192482A (en) * | 1978-10-20 | 1980-03-11 | Allis-Chalmers Corporation | Hydraulic actuator to provide both rotary and linear motions to a movable valve |
| US4253640A (en) * | 1979-03-14 | 1981-03-03 | Hills-Mccanna Company | Actuation system for valve with compound closure movement |
| GB8332373D0 (en) * | 1983-12-05 | 1984-02-08 | Atomic Energy Authority Uk | Valves providing transfer ports |
| US4572333A (en) * | 1984-04-16 | 1986-02-25 | Honeywell Inc. | Speed governing and decoupling drive mechanism |
| US4619283A (en) * | 1986-01-27 | 1986-10-28 | Rockwell International Corporation | Stem seal for tapered lubricated plug valves |
| CN1014174B (zh) * | 1989-06-01 | 1991-10-02 | 毛沛琦 | 流体管道的磁控开关 |
| US4976403A (en) * | 1990-01-16 | 1990-12-11 | Rockford Controls Corporation | Valve with metallic bellows valve stem seal |
| US5485542A (en) * | 1994-07-18 | 1996-01-16 | Mks Instruments, Inc. | Heated fluid control valve with electric heating element and thermocouple wiring disposed in rotatable shaft |
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