JPH07158767A - ゲートバルブ - Google Patents
ゲートバルブInfo
- Publication number
- JPH07158767A JPH07158767A JP34145593A JP34145593A JPH07158767A JP H07158767 A JPH07158767 A JP H07158767A JP 34145593 A JP34145593 A JP 34145593A JP 34145593 A JP34145593 A JP 34145593A JP H07158767 A JPH07158767 A JP H07158767A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gate valve
- passage
- airtight chamber
- flow path
- cooling
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】温度調整機能を有するゲートバルブに於いて、
構造が簡単で小型のゲートバルブを提供する。 【構成】気密室１を貫通した作動ロッド３１を揺動可能
且軸心方向に進退可能に支持すると共に貫通箇所をベロ
ーズ３５により気密にシールし、前記作動ロッドの上端
に気密室開口部を閉塞可能なゲート弁体３３を固着し、
該ゲート弁体内部に冷却流路４１を設け、前記作動ロッ
ドに導入流路３９、排出流路４０を設け、該導入流路を
前記冷却流路の始端に連通し、前記排出流路を前記冷却
流路の終端に連通すると共に前記導入流路、排出流路を
熱源に接続し、作動ロッドの揺動、進退で開口部の開閉
を行い、熱媒体を導入流路、冷却流路、排出流路を循環
させることで、ゲート弁体の温度調整を行う。
構造が簡単で小型のゲートバルブを提供する。 【構成】気密室１を貫通した作動ロッド３１を揺動可能
且軸心方向に進退可能に支持すると共に貫通箇所をベロ
ーズ３５により気密にシールし、前記作動ロッドの上端
に気密室開口部を閉塞可能なゲート弁体３３を固着し、
該ゲート弁体内部に冷却流路４１を設け、前記作動ロッ
ドに導入流路３９、排出流路４０を設け、該導入流路を
前記冷却流路の始端に連通し、前記排出流路を前記冷却
流路の終端に連通すると共に前記導入流路、排出流路を
熱源に接続し、作動ロッドの揺動、進退で開口部の開閉
を行い、熱媒体を導入流路、冷却流路、排出流路を循環
させることで、ゲート弁体の温度調整を行う。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は気密室の開口部を開閉す
るゲートバルブ、特に温度調整機能を有するゲートバル
ブに関するものである。
るゲートバルブ、特に温度調整機能を有するゲートバル
ブに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図５、図６に於いて従来のゲートバルブ
について説明する。
について説明する。
【０００３】図中１は気密室であり、該気密室１の側壁
には処理対象物の搬入搬出の為の開口部２が設けられ、
前記気密室１の下面にはバルブ固定フランジ３が気密に
固定されている。前記バルブ固定フランジ３にブラケッ
ト４が左右一対設けられ、該ブラケット４には前記気密
室１の下面と前記開口部２とに平行な揺動軸５，５がそ
れぞれ同一軸心上に回転自在に設けられている。前記揺
動軸５，５の中心側端部は突出しており、該揺動軸５，
５の突出端に掛渡って揺動フランジ６が固着されてい
る。
には処理対象物の搬入搬出の為の開口部２が設けられ、
前記気密室１の下面にはバルブ固定フランジ３が気密に
固定されている。前記バルブ固定フランジ３にブラケッ
ト４が左右一対設けられ、該ブラケット４には前記気密
室１の下面と前記開口部２とに平行な揺動軸５，５がそ
れぞれ同一軸心上に回転自在に設けられている。前記揺
動軸５，５の中心側端部は突出しており、該揺動軸５，
５の突出端に掛渡って揺動フランジ６が固着されてい
る。
【０００４】前記揺動軸５，５には揺動リンク７，７の
上端がそれぞれ固着され、該揺動リンク７，７の下端に
は揺動基板８が掛渡され設けられている。該揺動基板８
に開閉シリンダ９が設けられ、該開閉シリンダ９のロッ
ド１０は前記揺動フランジ６、バルブ固定フランジ３、
気密室１の下面を遊貫し、その先端が前記気密室１内部
に突出している。前記ロッド１０の突出端に前記開口部
２を気密に閉塞可能な弁体１１が固着されている。前記
ロッド１０の所要位置にフランジ１２が気密に固着さ
れ、該フランジ１２と前記揺動フランジ６間にベローズ
１３が気密に設けられ、又前記揺動フランジ６と前記バ
ルブ固定フランジ３間にベローズ１４が気密に設けら
れ、ロッド１０の気密室１貫通箇所が気密にシールされ
ている。
上端がそれぞれ固着され、該揺動リンク７，７の下端に
は揺動基板８が掛渡され設けられている。該揺動基板８
に開閉シリンダ９が設けられ、該開閉シリンダ９のロッ
ド１０は前記揺動フランジ６、バルブ固定フランジ３、
気密室１の下面を遊貫し、その先端が前記気密室１内部
に突出している。前記ロッド１０の突出端に前記開口部
２を気密に閉塞可能な弁体１１が固着されている。前記
ロッド１０の所要位置にフランジ１２が気密に固着さ
れ、該フランジ１２と前記揺動フランジ６間にベローズ
１３が気密に設けられ、又前記揺動フランジ６と前記バ
ルブ固定フランジ３間にベローズ１４が気密に設けら
れ、ロッド１０の気密室１貫通箇所が気密にシールされ
ている。
【０００５】前記ブラケット４の下部には揺動シリンダ
１５が設けられ、該揺動シリンダ１５のロッド１６は前
記揺動基板８に当接している。
１５が設けられ、該揺動シリンダ１５のロッド１６は前
記揺動基板８に当接している。
【０００６】而して、前記開閉シリンダ９で弁体１１を
上昇させ、該弁体１１を開口部２に対峙させた状態で、
前記揺動シリンダ１５を作動させ、ロッド１６を突出さ
せれば前記揺動軸５を中心にロッド１０が揺動し、前記
弁体１１が開口部２を気密に閉塞する。
上昇させ、該弁体１１を開口部２に対峙させた状態で、
前記揺動シリンダ１５を作動させ、ロッド１６を突出さ
せれば前記揺動軸５を中心にロッド１０が揺動し、前記
弁体１１が開口部２を気密に閉塞する。
【０００７】前記弁体１１は気密室１内の温度に応じ
て、冷却或は加熱される。前記弁体１１の内部には冷却
流路１７が設けられ、該冷却流路１７には導入管１８、
排出管１９が連通されており、該導入管１８、排出管１
９はそれぞれ前記気密室１、バルブ固定フランジ３を遊
貫している。前記導入管１８、排出管１９の途中にフラ
ンジ２０が設けられており、該フランジ２０と前記バル
ブ固定フランジ３間にはベローズ２１が設けられ、前記
導入管１８、排出管１９の貫通箇所を気密にシールして
いる。又、前記導入管１８、排出管１９は図示しない熱
源に接続され、該熱源から温度媒体が導入管１８、冷却
流路１７、排出管１９を流通して前記弁体１１を所要の
温度に調整する様になっている。
て、冷却或は加熱される。前記弁体１１の内部には冷却
流路１７が設けられ、該冷却流路１７には導入管１８、
排出管１９が連通されており、該導入管１８、排出管１
９はそれぞれ前記気密室１、バルブ固定フランジ３を遊
貫している。前記導入管１８、排出管１９の途中にフラ
ンジ２０が設けられており、該フランジ２０と前記バル
ブ固定フランジ３間にはベローズ２１が設けられ、前記
導入管１８、排出管１９の貫通箇所を気密にシールして
いる。又、前記導入管１８、排出管１９は図示しない熱
源に接続され、該熱源から温度媒体が導入管１８、冷却
流路１７、排出管１９を流通して前記弁体１１を所要の
温度に調整する様になっている。
【０００８】尚、図中２２は保護チューブである。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】上記した従来のゲート
バルブでは、前記ロッド１０の他に導入管１８、排出管
１９が前記気密室１、バルブ固定フランジ３、気密室１
を遊貫する構造となっているので、シール構造が複雑、
大型となり、又シール部分が気密室１外部に露出する構
造であるので可動部が占有する空間が大きいという問題
があった。
バルブでは、前記ロッド１０の他に導入管１８、排出管
１９が前記気密室１、バルブ固定フランジ３、気密室１
を遊貫する構造となっているので、シール構造が複雑、
大型となり、又シール部分が気密室１外部に露出する構
造であるので可動部が占有する空間が大きいという問題
があった。
【００１０】本発明は斯かる実情に鑑み、構造が簡単で
小型のゲートバルブを提供しようとするものである。
小型のゲートバルブを提供しようとするものである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明は、気密室を貫通
した作動ロッドを揺動可能且軸心方向に進退可能に支持
すると共に貫通箇所をベローズにより気密にシールし、
前記作動ロッドの上端に気密室開口部を閉塞可能なゲー
ト弁体を固着し、該ゲート弁体内部に冷却流路を設け、
前記作動ロッドに導入流路、排出流路を設け、該導入流
路を前記冷却流路の始端に連通し、前記排出流路を前記
冷却流路の終端に連通すると共に前記導入流路、排出流
路を熱源に接続したことを特徴とするものである。
した作動ロッドを揺動可能且軸心方向に進退可能に支持
すると共に貫通箇所をベローズにより気密にシールし、
前記作動ロッドの上端に気密室開口部を閉塞可能なゲー
ト弁体を固着し、該ゲート弁体内部に冷却流路を設け、
前記作動ロッドに導入流路、排出流路を設け、該導入流
路を前記冷却流路の始端に連通し、前記排出流路を前記
冷却流路の終端に連通すると共に前記導入流路、排出流
路を熱源に接続したことを特徴とするものである。
【００１２】
【作用】作動ロッドの揺動、進退で開口部の開閉を行
い、導入流路より流入した熱媒体を冷却流路を流通さ
せ、更に前記排出流路より熱媒体を排出することでゲー
ト弁体の温度調整を行う。
い、導入流路より流入した熱媒体を冷却流路を流通さ
せ、更に前記排出流路より熱媒体を排出することでゲー
ト弁体の温度調整を行う。
【００１３】
【実施例】以下、図面を参照しつつ本発明の一実施例を
説明する。
説明する。
【００１４】尚、図１、図２中、図５、図６中で示した
ものと同一のものには同符号を付してある。
ものと同一のものには同符号を付してある。
【００１５】気密室１下面に固着されるバルブ固定フラ
ンジ２５にブリッジ状の軸受ホルダ２６を固着し、該軸
受ホルダ２６に球面軸受２７を回転自在に設ける。又、
前記バルブ固定フランジ２５に前記軸受ホルダ２６を跨
ぐシリンダ保持ブロック２８を設ける。該シリンダ保持
ブロック２８には凸字状の凹部２９を刻設し、該凹部２
９の左右に揺動シリンダ１５を設ける。
ンジ２５にブリッジ状の軸受ホルダ２６を固着し、該軸
受ホルダ２６に球面軸受２７を回転自在に設ける。又、
前記バルブ固定フランジ２５に前記軸受ホルダ２６を跨
ぐシリンダ保持ブロック２８を設ける。該シリンダ保持
ブロック２８には凸字状の凹部２９を刻設し、該凹部２
９の左右に揺動シリンダ１５を設ける。
【００１６】前記球面軸受２７にフランジ付きブッシュ
３０を嵌入固定する。該フランジ付きブッシュ３０のフ
ランジにエアシリンダ、油圧シリンダ等の流体圧シリン
ダ３１を固着する。該流体圧シリンダ３１の作動ロッド
３２を両端方向に延出させ、該作動ロッド３２の上部は
前記フランジ付きブッシュ３０を摺動自在に貫通させ、
前記気密室１内部に挿入している。前記作動ロッド３２
の上端にゲート弁体３３を固着し、又前記作動ロッド３
２の前記ゲート弁体３３下方所要位置に固定フランジ３
４を気密に設ける。該固定フランジ３４にベロース３５
の上フランジ３５ａを気密に固着し、ベロース３５の下
フランジ３５ｂを前記バルブ固定フランジ２５の下面に
気密に固着する。而して、前記作動ロッド３２の貫通箇
所を気密にシールする。
３０を嵌入固定する。該フランジ付きブッシュ３０のフ
ランジにエアシリンダ、油圧シリンダ等の流体圧シリン
ダ３１を固着する。該流体圧シリンダ３１の作動ロッド
３２を両端方向に延出させ、該作動ロッド３２の上部は
前記フランジ付きブッシュ３０を摺動自在に貫通させ、
前記気密室１内部に挿入している。前記作動ロッド３２
の上端にゲート弁体３３を固着し、又前記作動ロッド３
２の前記ゲート弁体３３下方所要位置に固定フランジ３
４を気密に設ける。該固定フランジ３４にベロース３５
の上フランジ３５ａを気密に固着し、ベロース３５の下
フランジ３５ｂを前記バルブ固定フランジ２５の下面に
気密に固着する。而して、前記作動ロッド３２の貫通箇
所を気密にシールする。
【００１７】前記流体圧シリンダ３１の下端には庇状の
シリンダロッド受け３６を固着し、前記揺動シリンダ１
５のロッド１６が前記シリンダロッド受け３６に当接す
る様になっている。前記作動ロッド３２の下部は前記シ
リンダロッド受け３６を遊貫すると共に前記シリンダ保
持ブロック２８の底枠部３７を摺動自在に貫通する。又
該底枠部３７の作動ロッド貫通孔３８は図１の紙面に対
して垂直な方向に長孔となっており、前記作動ロッド３
２は前記作動ロッド貫通孔３８に対して摺動自在である
と共に紙面に対して垂直な方向に揺動自在となってい
る。
シリンダロッド受け３６を固着し、前記揺動シリンダ１
５のロッド１６が前記シリンダロッド受け３６に当接す
る様になっている。前記作動ロッド３２の下部は前記シ
リンダロッド受け３６を遊貫すると共に前記シリンダ保
持ブロック２８の底枠部３７を摺動自在に貫通する。又
該底枠部３７の作動ロッド貫通孔３８は図１の紙面に対
して垂直な方向に長孔となっており、前記作動ロッド３
２は前記作動ロッド貫通孔３８に対して摺動自在である
と共に紙面に対して垂直な方向に揺動自在となってい
る。
【００１８】前記作動ロッド３２の下端面より前記ゲー
ト弁体３３が固着された上端部に迄延びる導入流路３
９、及び排出流路４０を穿設する。又、前記ゲート弁体
３３には偏平なＣ字状の冷却流路４１を穿設し、該冷却
流路４１の始端と前記導入流路３９の上端とを連絡路４
２で連通し、前記冷却流路４１の終端と前記排出流路４
０の上端とを連絡路４３で連通する。而して、前記導入
流路３９と前記排出流路４０とを図示しない熱源に連通
し、前記冷却流路４１に所要温度の熱媒体を流通させ得
る様にする。
ト弁体３３が固着された上端部に迄延びる導入流路３
９、及び排出流路４０を穿設する。又、前記ゲート弁体
３３には偏平なＣ字状の冷却流路４１を穿設し、該冷却
流路４１の始端と前記導入流路３９の上端とを連絡路４
２で連通し、前記冷却流路４１の終端と前記排出流路４
０の上端とを連絡路４３で連通する。而して、前記導入
流路３９と前記排出流路４０とを図示しない熱源に連通
し、前記冷却流路４１に所要温度の熱媒体を流通させ得
る様にする。
【００１９】尚、熱媒体は冷却する場合は水、加熱する
場合はシリコンオイル等調整温度により適宜選択される
ことは言う迄もない。
場合はシリコンオイル等調整温度により適宜選択される
ことは言う迄もない。
【００２０】以下、作動を説明する。
【００２１】図１、図２はゲート弁体３３により開口部
２を閉塞した状態を示している。
２を閉塞した状態を示している。
【００２２】この状態で、前記導入流路３９から熱媒体
を流入させ、前記連絡路４２を経て冷却流路４１を流通
させ、前記ゲート弁体３３と熱媒体間で熱の授受を行わ
せ温度調節を行う。前記冷却流路４１を流通した熱媒体
は前記連絡路４３、排出流路４０を経て図示しない熱源
に還流する。
を流入させ、前記連絡路４２を経て冷却流路４１を流通
させ、前記ゲート弁体３３と熱媒体間で熱の授受を行わ
せ温度調節を行う。前記冷却流路４１を流通した熱媒体
は前記連絡路４３、排出流路４０を経て図示しない熱源
に還流する。
【００２３】前記開口部２を開放する場合、前記揺動シ
リンダ１５を駆動して前記ロッド１６を短縮させる。該
ロッド１６の短縮により前記球面軸受２７を中心に作動
ロッド３２、流体圧シリンダ３１、ゲート弁体３３が図
２中時計方向に一体に揺動し、前記ゲート弁体３３が前
記開口部２より離反する（図３参照）。更に、前記流体
圧シリンダ３１を駆動して前記作動ロッド３２を下方に
引下げる。而して、前記ゲート弁体３３が前記開口部２
の下方に降下し、前記開口部２が完全に開放される（図
４参照）。
リンダ１５を駆動して前記ロッド１６を短縮させる。該
ロッド１６の短縮により前記球面軸受２７を中心に作動
ロッド３２、流体圧シリンダ３１、ゲート弁体３３が図
２中時計方向に一体に揺動し、前記ゲート弁体３３が前
記開口部２より離反する（図３参照）。更に、前記流体
圧シリンダ３１を駆動して前記作動ロッド３２を下方に
引下げる。而して、前記ゲート弁体３３が前記開口部２
の下方に降下し、前記開口部２が完全に開放される（図
４参照）。
【００２４】又、前記開口部２を閉塞する場合は、前記
作動を逆に行えばよい。
作動を逆に行えばよい。
【００２５】上記した様に、温度調整の為の導入流路３
９、排出流路４０を前記作動ロッド３２内に一体に組込
んだのでゲートバルブ構造に於ける、気密室１に対する
貫通箇所が一箇所となり、構造が著しく簡潔となり、又
構成要素が少なくなり、小型となる。
９、排出流路４０を前記作動ロッド３２内に一体に組込
んだのでゲートバルブ構造に於ける、気密室１に対する
貫通箇所が一箇所となり、構造が著しく簡潔となり、又
構成要素が少なくなり、小型となる。
【００２６】尚、上記実施例では作動ロッド３２を揺動
可能に支持する為に、球面軸受２７を用いたが、図５、
図６に示した従来の揺動機構を用いることも可能であ
り、又冷却流路４１の形状については適宜変更が可能で
あることは言う迄もない。
可能に支持する為に、球面軸受２７を用いたが、図５、
図６に示した従来の揺動機構を用いることも可能であ
り、又冷却流路４１の形状については適宜変更が可能で
あることは言う迄もない。
【００２７】
【発明の効果】以上述べた如く本発明によれば、気密室
の貫通箇所が減少してシール構造が簡潔になり、又部品
点数が減少し、製作コストが低減し、更に小型化が図れ
る、又貫通部シールの為のベローズを気密室内部に設け
たので気密室外に露出する部分が小型化する等の種々優
れた効果を発揮する。
の貫通箇所が減少してシール構造が簡潔になり、又部品
点数が減少し、製作コストが低減し、更に小型化が図れ
る、又貫通部シールの為のベローズを気密室内部に設け
たので気密室外に露出する部分が小型化する等の種々優
れた効果を発揮する。
【図１】本発明の一実施例を示す一部破断正面図であ
る。
る。
【図２】同前実施例の側断面図である。
【図３】同前実施例の作動説明図である。
【図４】同前実施例の作動説明図である。
【図５】従来例を示す一部破断正面図である。
【図６】同前従来例の側断面図である。
１ 気密室 １５ 揺動シリンダ ３１ 流体圧シリンダ ３２ 作動ロッド ３４ 固定フランジ ３５ ベロース ３９ 導入流路 ４０ 排出流路 ４１ 冷却流路
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 井口 博樹 東京都中野区東中野三丁目14番20号 国際 電気株式会社内 (72)発明者 池田 文秀 東京都中野区東中野三丁目14番20号 国際 電気株式会社内
Claims (2)
- 【請求項１】 気密室を貫通した作動ロッドを揺動可能
且軸心方向に進退可能に支持すると共に貫通箇所をベロ
ーズにより気密にシールし、前記作動ロッドの上端に気
密室開口部を閉塞可能なゲート弁体を固着し、該ゲート
弁体内部に冷却流路を設け、前記作動ロッドに導入流
路、排出流路を設け、該導入流路を前記冷却流路の始端
に連通し、前記排出流路を前記冷却流路の終端に連通す
ると共に前記導入流路、排出流路を熱源に接続したこと
を特徴とするゲートバルブ。 - 【請求項２】 気密室内部に挿入された作動ロッドの所
要位置に固定フランジを設け、該固定フランジと作動ロ
ッド貫通箇所との間にベローズを設け貫通箇所のシール
をした請求項１のゲートバルブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34145593A JPH07158767A (ja) | 1993-12-09 | 1993-12-09 | ゲートバルブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34145593A JPH07158767A (ja) | 1993-12-09 | 1993-12-09 | ゲートバルブ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07158767A true JPH07158767A (ja) | 1995-06-20 |
Family
ID=18346207
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34145593A Pending JPH07158767A (ja) | 1993-12-09 | 1993-12-09 | ゲートバルブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07158767A (ja) |
Cited By (19)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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