JP2009085242A - 真空バルブ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】排気路33に介在されたバルブハウジング34、及び該バルブハウジングの内部に摺動自在に収納され弁座38に当接又は離間して排気路33を開閉する弁機能体40と、該弁機能体に形成された仕切り部43の一側に画成されたバネ室51、及び該バネ室に装着されたバネ部材52と、仕切り部43の他側に画成され該バルブハウジング壁に設けられた貫通孔47を介して大気と連通する大気圧室50と、バネ室51を弁機能体40の出口側排気路36又は大気圧室50に選択的に接続可能な連通路53〜55とからなり、弁機能体40の入口側端面42aから大気圧室50に至る部位で同一の外径とするとともに、大気圧面50aを形成して大気圧による閉動作方向の作用力を負荷した。
【選択図】図1
Description
これに対し、差圧式の真空バルブは、弁体に対して開動作方向に加わる力と閉動作方向に加わる力との差圧によって開動作又は閉動作を行なうものであるため、ストロークを大きく取ることができるとともに、消費電力を低減できるという利点がある。
一端がピストン10に螺着された中空の弁棒18は、プレート9を気密に貫通した先端に、弁座7を開閉する弁体19が取り付けられており、またピストン10側の先端に大径のオリフィス23が取り付けられている。
真空ポンプと真空チャンバとに連結され該真空チャンバ内の雰囲気を排気する排気路に介設され該排気路を開閉する真空バルブにおいて、
前記排気路に介在されたバルブハウジング、及び該バルブハウジングの内部に摺動自在に収納され該バルブハウジング内に形成された弁座に当接又は離間して該排気路を開閉する弁機能体と、
該弁機能体に一体に形成され該バルブハウジング内を2つの領域に仕切る仕切り部と、
該仕切り部に対して弁機能体の開動作方向に画成されたバネ室、及び該バネ室に装着され該弁機能体に対して閉動作方向へバネ力を付勢するバネ部材と、
該仕切り部に対して弁機能体の閉動作方向に画成され該バルブハウジング壁に設けられた貫通孔を介して大気と連通する大気圧室と、
該バネ室を弁機能体の出口側排気路又は該大気圧室に選択的に接続可能な連通路と、からなり、
弁機能体の入口側排気路に面する入口側端面から該大気圧室に至る領域で同一の外径とすることによって、該入口側端面と対面する面を形成しないように構成するとともに、
該大気圧室に面する弁機能体に弁機能体の入口側端面と対面する大気圧面を形成し、該大気圧面に大気圧による閉動作方向の作用力を負荷するようにしたものである。
真空ポンプと真空チャンバとに連結され該真空チャンバ内の雰囲気を排気する排気路に介設され該排気路を開閉する真空バルブにおいて、
前記排気路に介在されたバルブハウジング、及び該バルブハウジングの内部に摺動自在に収納され該バルブハウジング内に形成された弁座に当接又は離間して該排気路を開閉する弁機能体と、
該弁機能体に一体に形成され該バルブハウジング内を2つの領域に仕切る仕切り部と、
該仕切り部に対して弁機能体の開動作方向に画成されたバネ室、及び該バネ室に装着され該弁機能体に対して閉動作方向へバネ力を付勢するバネ部材と、
該仕切り部に対して弁機能体の閉動作方向に画成され該バルブハウジング壁に設けられた貫通孔を介して大気と連通する大気圧室と、
該バネ室を弁機能体の出口側排気路又は該大気圧室に選択的に接続可能な連通路と、からなり、
前記弁機能体の入口側端面に開口し該弁機能体の長手方向に該バネ室の近傍まで穿設された空洞部を形成し、該空洞部の端面を前記バネ室に対面するように配置したものである。
(実施形態1)
従って、真空ポンプ32の稼動中に真空バルブ30を閉動作する時も全閉状態を確実に維持することができる。
(実施形態2)
図2において、弁機能体40は、弁座38に当接又は離間して真空ポート35を閉鎖又は開放する円板状の弁体42と、バルブハウジング34の長手方向に延設された弁体42より小径の弁棒41と、弁棒41の開動作方向b端に一体的に設けられたピストン43からなる。そして、弁機能体40は、バルブハウジング34の中心側に突設されバルブハウジング34と一体に形成された支持部37によって弁棒41が矢印a又はb方向に摺動可能に支持されている。
その他の構成は前記実施形態と同一である。
また、弁機能体40に空洞部61を形成することによって、弁機能体40の軽量化を可能し、これによって弁機能体40の開閉動作の動きをスムーズに行なうようにし、弁機能体40の応答性を向上させることができる。
31 真空チャンバ
32 真空ポンプ
33a,33b 排気路
34 バルブハウジング
35 真空ポート(入口側排気路)
36 吸引ポート(出口側排気路)
37 支持部
37a 閉動作方向端面
38 弁座
40 弁機能体
41 弁棒
42 弁体
42a 入口側端面
43 ピストン(仕切り部)
47 貫通孔
50 大気圧室
50a 大気圧面50a
51 バネ室
52 コイルバネ(バネ部材)
53,54,55 連通路
56 三方電磁弁
57 コントローラ
61 空洞部
61a 空洞部端面
Claims (5)
- 真空ポンプと真空チャンバとに連結され該真空チャンバ内の雰囲気を排気する排気路に介設され該排気路を開閉する真空バルブにおいて、
前記排気路に介在されたバルブハウジング、及び該バルブハウジングの内部に摺動自在に収納され該バルブハウジング内に形成された弁座に当接又は離間して該排気路を開閉する弁機能体と、
該弁機能体に一体に形成され該バルブハウジング内を2つの領域に仕切る仕切り部と、
該仕切り部に対して弁機能体の開動作方向に画成されたバネ室、及び該バネ室に装着され該弁機能体に対して閉動作方向へバネ力を付勢するバネ部材と、
該仕切り部に対して弁機能体の閉動作方向に画成され該バルブハウジング壁に設けられた貫通孔を介して大気と連通する大気圧室と、
該バネ室を弁機能体の出口側排気路又は該大気圧室に選択的に接続可能な連通路と、からなり、
弁機能体の入口側排気路に面する入口側端面から該大気圧室に至る領域で同一の外径とすることによって、該入口側端面と対面する面を形成しないように構成するとともに、
該大気圧室に面する弁機能体に弁機能体の入口側端面と対面する大気圧面を形成し、該大気圧面に大気圧による閉動作方向の作用力を負荷するようにしたことを特徴とする真空バルブ。 - 前記弁機能体の入口側端面に開口し該弁機能体の長手方向に穿設された空洞部を形成してなることを特徴とする請求項1に記載の真空バルブ。
- 真空ポンプと真空チャンバとに連結され該真空チャンバ内の雰囲気を排気する排気路に介設され該排気路を開閉する真空バルブにおいて、
前記排気路に介在されたバルブハウジング、及び該バルブハウジングの内部に摺動自在に収納され該バルブハウジング内に形成された弁座に当接又は離間して該排気路を開閉する弁機能体と、
該弁機能体に一体に形成され該バルブハウジング内を2つの領域に仕切る仕切り部と、
該仕切り部に対して弁機能体の開動作方向に画成されたバネ室、及び該バネ室に装着され該弁機能体に対して閉動作方向へバネ力を付勢するバネ部材と、
該仕切り部に対して弁機能体の閉動作方向に画成され該バルブハウジング壁に設けられた貫通孔を介して大気と連通する大気圧室と、
該バネ室を弁機能体の出口側排気路又は該大気圧室に選択的に接続可能な連通路と、からなり、
前記弁機能体の入口側端面に開口し該弁機能体の長手方向に該バネ室の近傍まで穿設された空洞部を形成し、該空洞部の端面を前記バネ室に対面するように配置したことを特徴とする真空バルブ。 - 前記弁機能体が、
弁棒と、該弁棒の閉動作方向側端部に設けられ前記バルブハウジングに形成された弁座に当接又は離間して排気路を開閉する弁体と、該弁棒の開動作方向端部に設けられ該バルブハウジング内を前記バネ室と前記大気圧室とに仕切る前記仕切り部と、からなり、
該弁棒を該バルブハウジングに一体に形成された支持部に摺動自在に支持させるとともに、該支持部と該仕切り部との間に該大気圧室を画成させ、
前記空洞部の端面を該支持部の閉動作方向端よりバネ室寄りに配置させ、
弁機能体の弁棒を弁体より小径にして該支持部と該弁棒間のシール面積を減少させたことを特徴とする請求項3に記載の真空バルブ。 - 前記連通路が、
前記バルブハウジング壁に設けられ前記弁機能体の出口側排気路、前記大気圧室及び前記バネ室を接続する連通路と、該連通路に設けられ該バネ室を該弁機能体の出口側排気路又は該大気圧室に切換え接続する三方弁と、からなることを特徴とする請求項1又は3に記載の真空バルブ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007252105A JP2009085242A (ja) | 2007-09-27 | 2007-09-27 | 真空バルブ |
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JP2007252105A Pending JP2009085242A (ja) | 2007-09-27 | 2007-09-27 | 真空バルブ |
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2007
- 2007-09-27 JP JP2007252105A patent/JP2009085242A/ja active Pending
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