JP3349962B2 - ゲートバルブ - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、特に、半導体製造
装置に用いるのに適するゲートバルブに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種のゲートバルブとしては、
シリンダ装置の伸縮に伴い、ゲートを流路口に対向する
前進位置と流路口の軸心に対する直角方向の後退位置と
に移動させ、ゲートを前記前進位置で流路口の軸心方向
に沿って移動させることにより、流路口を開閉するよう
にした構成が知られている。または前記のようにゲート
を前記前進位置でステムと共に揺動させることにより、
流路口を開閉するようにした構成が知られている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところで、ゲートバル
ブを特に、半導体製造装置において、ウエハー搬送の仕
切りに使用する場合、シリンダ装置の操作圧力が無くな
ると、チャンバー内の圧力やゲートの自重やゲートの慣
性などによりゲートが動作し、ウエハー搬送機を破壊す
る場合がある。またゲートバルブを下向きに取り付けた
場合には、前記のように操作圧力が無くなってゲートが
動作すると、シール面が擦れてパーティクルが発生する
おそれがある。また、ゲートバルブは水平に取り付ける
例もあり、バルブ閉鎖状態でもバルブ開放状態でも機構
的にゲートをロックすることが望まれている。

【０００４】本発明は、前記従来例の問題を解決しよう
とするものであって、シリンダ装置の操作圧力が無くな
った場合、チャンバー内の圧力変化、ゲートの自重、ゲ
ートの慣性などによりゲートが動作するのを防止するこ
とができ、したがって、信頼性の向上等を図ることがで
きるようにしたゲートバルブを提供することを目的とす
るものである。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本発明のゲートバルブは、流路口を開閉し得るゲート
と、このゲートを前記流路口に対向する前進位置と前記
流路口の軸心に対する直角方向の後退位置とに移動させ
るとともに、前記ゲートを前記前進位置で前記流路口を
開閉させるように移動させるためのシリンダ装置を有す
る移動手段と、前記シリンダ装置に設けられ、前記ゲー
トによる前記流路口の開放位置と閉塞位置のうち、少な
くとも一方の位置で、前記シリンダ装置の操作圧力が無
くなると、このシリンダ装置の伸縮動作をロックするこ
とができ、前記シリンダ装置に操作圧力が加わると、こ
のシリンダ装置の伸縮動作のロックを解除することがで
きるロック手段とを設け、このロック手段は、シリンダ
装置のハウジングに形成された装着穴と、この装着穴に
シール状態で装着され、エアー供給穴を先端部周囲に有
するロックハウジングと、このロックピンハウジングに
装着され、大気連通穴を有するロックピンフランジと、
これらロックピンハウジングおよびロックピンフランジ
の内部にシール状態で摺動可能に支持され、先端部を前
記シリンダ装置のハウジング内に対して出没し、ピスト
ンに係合し、若しくは離脱し得るピストンピンと、この
ピストンピンを前記ピストンとの係合側へ付勢するスプ
リングとを備え、更に、ピストンピンとロックピンハウ
ジングとを回り止めの構造にしたものである。

【０００６】前記構成において、移動手段として、シリ
ンダ装置と、ゲートを支持するステムと、このステムを
前進位置と後退位置との間で軸方向に移動可能に、かつ
前進位置で揺動可能に支持する支持装置と、前記シリン
ダ装置の伸縮に伴い、前記ステムを軸方向へ移動させる
とともに、前記ステムを前進位置で揺動させる揺動装置
とを備えることができる。

【０００７】また、揺動装置として、シリンダ装置のピ
ストンロッドに取付けられたカムプレートと、このカム
プレートに取付けられたカム溝を有するローラーカム
と、ステムに取付けられたローラーホルダと、このロー
ラーホルダに支持され、前記ローラーカムのカム溝に係
合され、前記ステムを揺動させるためのカム用ローラー
と、前記ステムおよびゲートを流路口の開放側に付勢す
るスプリングとを備えることができる。

【０００８】また、ローラーカムのカム溝がなだらかな
傾斜部を有し、この傾斜部にカム用ローラーが位置した
状態でゲートにより流路口を閉じるように構成すること
ができる。

【０００９】

【００１０】

【発明の実施の形態】以下、本発明のゲートバルブの実
施形態を図によって説明する。まず、本発明の第１の実
施形態について説明する。図１〜図７に示すように、ボ
ディ１の流路口３を開閉するゲート２の表面周縁部にＯ
リング４が備えられている。ゲート２のステム８がボデ
ィ１から突出され、ベローズ１４にシール状態で挿通の
上、ベローズ１４の上端に結合されたステムホルダー１
５に支持されている。ゲート２におけるＯリング４とは
反対側の背面には必要に応じてヒータ（図示省略）が設
けられる。ベローズ１４の外周部に必要に応じてシーズ
ヒータ５１が設けられる。ステムホルダー１５の両側に
支点ローラー１８が軸支され、各支点ローラー１８が夫
々ボディ１上の両側に取り付けられた一対のエアシリン
ダ装置１９のハウジング２０の対向面において、ピスト
ンロッド２２の軸方向に沿って形成された案内溝２１に
移動可能に、かつ回転可能に支持されている。両外側の
エアシリンダ装置１９のピストンロッド２２の上端にカ
ムプレート２３の両側端部が結合されている。

【００１１】カムプレート２３の内面両側にカム溝２５
に形成する一対のローラーカム２６が長穴２３ａとねじ
２３ｂとにより位置調整可能に取付けられている。カム
プレート２３の中央部にステム８の上端に結合されたロ
ーラーホルダー２７が移動可能に配され、このローラー
ホルダー２７の両側にカム用ローラー２４が支持され、
この一対のカム用ローラー２４がローラーカム２６のカ
ム溝２５に係合されている。したがって、支点ローラー
１８が案内溝２１におけるボディ１側の端部で位置規制
された状態でエアシリンダ装置１９のピストンロッド２
２の伸縮に伴ってカムプレート２３、ローラカム２６が
移動されることによりカム用ローラ２４がカム溝２５に
沿って移動され、ステム８、ゲート２等が支点ローラー
１８を介して揺動されるようになっている。

【００１２】カム溝２５は図３、図６から明らかなよう
に、なだらかで直線状の傾斜面を有するように形成され
ている。そして、ステム８、ゲート２等が前記のように
揺動され、ゲート２により流路口３を閉塞した状態でカ
ム用ローラー２４がカム溝２５の傾斜面の途中で停止さ
れるように設定されている。また、前記のようにローラ
ーカム２６がカムプレート２３に位置調整可能に取付け
られているので、ステム８、ゲート２等の揺動角度範囲
等を簡単に、かつ正確に設定することができる。ステム
ホルダー１４の両側とローラーカム２６の両側の対向面
側には夫々ステム８、ゲート２等を流路口３の開放方向
に付勢するようにスプリング３０が張設されている。

【００１３】両外側のエアシリンダ装置１９におけるピ
ストン１９´の底部側外周と頂部側外周とに溝１９´ａ
と溝１９´ｂとが形成され、ピストン１９´の中間部外
周の溝にＯリングが嵌められ、このＯリングがハウジン
グ２０の内周面にシール状態に圧設され、溝１９´ａと
溝１９´ｂとが独立状態に隔てられている。そして、ピ
ストンロッド２２の縮んだ位置でピストン１９′の底部
側外周の溝１９′ａに係合してゲート閉鎖状態にロック
し、ピストンロッド２２の伸びた位置でピストン１９´
の頂部側外周の溝１９′ｂに係合してゲート開放状態に
ロックするピストンピン式ロック装置４０を夫々設けて
ある。このピストンピン式ロック装置４０は、図７に示
すように、エアシリンダ装置１９のハウジング２０に設
けた装着穴４１に、Ｏリング４２をセットした上でエア
ー供給穴４３を先端部周囲に備えたロックピンハウジン
グ４４を装着し、このロックピンハウジング４４内に、
外周にＯリング４５を備えたピストンピン４６を摺動可
能に挿入し、このピストンピン４６の背後にスプリング
４７を配して大気連通穴４８を有するロックピンフラン
ジ４９をロックピンハウジング４４に嵌合固定したもの
である。

【００１４】そして、ピストンピン４６がスプリング４
７に付勢されて前進されることにより、その先端がロッ
クピンハウジング４４からハウジング２０内に突出して
ピストン１９′の両端外周部の溝１９′ａ、１９′ｂの
いずれかに係合することによりピストン１９′、ピスト
ンロッド２２の移動を阻止してロックすることができ
る。これとは逆に、ピストンピン４６がスプリング４７
の弾性に抗してロックピンハウジング４４内に後退し、
溝１９′ａ、１９′ｂから離脱することにより、ピスト
ン１９′、ピストンロッド２２を解放してロック解除す
ることができる。

【００１５】上記のように構成した本発明の実施形態の
ゲートバルブについてその動作と共に更に詳細に説明す
る。エアシリンダ装置１９のピストンロッド２２側にエ
アを供給し、ピストン１９′およびピストンロッド２２
を縮めることにより、図４、図５に示すように、カムプ
レート２３およびローラーカム２６をボディ１側へ移動
させる。これに伴い、図６に示すように、カム溝２５に
おけるなだらかな直線状の傾斜面にスプリング３０の引
張力により保持されたカム用ローラー２４を介して支点
ローラー１８と案内溝２１の案内によりローラーホルダ
ー２７、ステムホルダー１５、ステム８およびゲート２
をベローズ１４を圧縮させて移動させ、ゲート２を流路
口３と対面させる。この状態で支点ローラー１８が案内
溝２１のボディ１側端部で停止し、ステムホルダー１
５、ステム８およびゲート２の軸方向への移動が停止す
る。

【００１６】さらに、エアシリンダ装置１９のピストン
１９′およびピストンロッド２２を縮めることにより、
カムプレート２３およびローラーカム２６をボディ１側
へ移動させると、カム溝２５におけるなだらかな傾斜面
によりカム用ローラー２４がスプリング３０の引張力に
抗する方向で強制的に緩やかに移動する結果、ローラー
ホルダー２７、ステムホルダー１５、ステム８およびゲ
ート２が支点ローラー１８を支点にして傾動し、ゲート
２が流路口３を閉じることになる。このゲート閉鎖時、
ゲート２はその表面周縁部のＯリング４の締付け力がク
ッションとなり、流路口３の周縁部に静かに密着し、振
動が小さくなると共に確実にシールされることになる。

【００１７】上記のようにしてゲート２が閉鎖されたと
き、カム用ローラー２４はカム溝２５におけるなだらか
な直線状の傾斜面の途中で止まるので、エアシリンダ装
置１９の操作圧力が無くなると、特に、図示例のように
上下逆向きで使用した場合など、チャンバー内の圧力変
化、ゲート２の自重などによりゲート２が開いてしまう
おそれがあるが、エアシリンダ装置１９の操作圧力が無
くなったとき、エアシリンダ装置１９の底部側における
ピストンピン式ロック装置４０が動作する。即ち、エア
シリンダ装置１９におけるピストン１９´側のエアが排
出されることにより、ピストン１９´の底部側外周の溝
１９´およびこの溝１９´ａに対向するピストンピン式
ロック装置４０のロックピンハウジング４４内にエアが
供給されなくなり、ピストンピン４６がスプリング４７
により付勢されてロックピンハウジング４４内より突出
し、図４に示すようにエアシリンダ装置１９におけるピ
ストン１９′の底部側外周の溝１９′ａに係合して、ゲ
ート２を閉鎖状態でロックすることができる。

【００１８】前記とは逆に、エアシリンダ装置１９のピ
ストン１９′側にエアが供給されると、ピストン１９´
の底部側外周の溝１９´ａを介してエアシリンダ装置１
９の底部側におけるピストンピン式ロック装置４０のロ
ックピンハウジング４４内にエアが供給され、ピストン
ピン４６がスプリング４７の弾性に抗して後退し、ピス
トン１９′が解放され、ロック解除されて図１〜図３に
示すように、ピストン１９′、ピストンロッド２２、カ
ムプレート２３およびローラーカム２６がボディ１に対
する離隔側に移動する。これに伴い、カム溝２５におけ
るなだらかな傾斜面に保持されたカム用ローラー２４は
スプリング３０の引張方向に緩やかに移動する結果、ロ
ーラーホルダー２７、ステムホルダー１５、ステム８お
よびゲート２は支点ローラー１８を支点にして緩やかに
回動し、ゲート２が流路口３の周縁より静かに離れる。

【００１９】さらに、エアシリンダ装置１９のピストン
１９′およびピストンロッド２２を伸ばすことにより、
カムプレート２３およびローラーカム２６をボディ１に
対する離隔側へ移動させると、カム溝２５に保持された
カム用ローラー２４を介してローラーホルダー２７、ス
テムホルダー１５、ステム８およびゲート２がベローズ
１４を伸長し、支点ローラー１８と案内溝２１との案内
により流路口３の軸心に対する直角方向に移動して停止
する。

【００２０】上記のようにしてゲート２が開放されたと
き、エアシリンダ装置１９の操作圧力が無くなるので、
ゲート２が動くおそれがあるが、エアシリンダ装置１９
の操作圧力が無くなったとき、エアシリンダ装置１９の
頂部側のピストンピン式ロック装置４０が動作する。即
ち、エアシリンダ装置１９におけるピストンロッド２２
側のエアが排出されることにより、ピストン１９´の頂
部側外周の溝１９´ｂおよびこの溝１９´ｂに対向する
ピストンピン式ロック装置４０のロックピンハウジング
４４内にエアが供給されなくなり、ピストンピン４６が
スプリング４７により付勢されてロックピンハウジング
４４内より突出し、エアシリンダ装置１９におけるピス
トン１９′の頂部側外周の溝１９′ｂに係合して、ゲー
ト２を開放状態でロックすることができる。また、エア
シリンダ装置１９のピストンロッド２２側にエアを供給
すると、ピストン１９´の頂部側外周の溝１９´ｂを介
してエアシリンダ装置１９の頂部側におけるピストンピ
ン式ロック装置４０のロックピンハウジング４４内にエ
アが供給され、ピストンピン４６がスプリング４７の弾
性に抗して後退し、ピストン１９´が解放され、ロック
解除されて前記と同様に、ピストン１９´およびピスト
ンロッド２２を伸ばすことができる。

【００２１】尚、図７に示すピストンピン式ロック装置
４０におけるピストンピン４６のピンは円柱状である
が、ピストンピン４６のピンの先端部を図８（ａ）、
（ｂ）に示すように切り欠き、この切り欠き部を図１に
示されるエアシリンダ装置１９のピストン１９′の溝１
９′ａ、１９′ｂに面当りに嵌合する場合には、図９の
（ａ）、（ｂ）に示すようにピストンピン４６のピスト
ンとロックピンフランジ４９とを角形、或いは長円形嵌
合の回り止め構造にしたり、図１０（ａ）に示すよう
に、ピストンピン４６のピンとロックピンハウジング４
４とをピンにより回り止め構造にしたり、図１０（ｂ）
に示すように、エアシリンダ装置１９のハウジング２０
における装着穴４１とロックピンハウジング４４とをピ
ンおよびキーにより回り止め構造にすることができる。

【００２２】本実施形態のゲートバルブによれば、カム
用ローラー２４をローラーカム２６のカム溝２５におけ
るなだらかな傾斜面に転動状態で係合させた状態でゲー
ト２と一体のステム８を揺動させるので、そのカム溝２
５に係合したカム用ローラー２４は強制的に緩やかに動
き、ゲート開閉動作は緩やかとなり、ゲート閉鎖時、ゲ
ート表面周縁部のＯリングの締付け力がクッションとな
り、流路口の周縁に静かに密着し、振動が小さくなると
共に確実にシールされる。また、ゲート開放時、カム用
ローラー２４が緩やかに動くので、振動が激減する。し
たがって、ゲート開閉時、パーティクルの発生が減少
し、特に、ウエハー搬送の仕切りに使用されている場
合、ウエハーを受け渡しする爪からウエハーがずれるこ
とがなくなり、ウエハーを安定して搬送することができ
る。また、ゲート開放およびゲート閉鎖の状態でシリン
ダ装置１９の操作圧力が無くなったとき、シリンダ装置
１９のピストン１９′をピストンピン式ロック装置４０
により係止し、ゲート開放およびゲート閉鎖の状態でロ
ックすることができるようにしているので、チャンバー
内の圧力変化、ゲート２の自重、慣性などにより、ゲー
ト２が動作することがない。また、ボディ１の内側に摺
動部がほとんど無いので、発塵しにくいものであり、ま
た、ゲート２の裏面から圧力がかかる逆圧状態でも前記
と同様にゲート２の開動作を行うことにより、Ｏリング
４のこすれ現象はほとんど無くなるなどの利点を有す
る。

【００２３】次に、本発明の第２の実施形態について説
明する。本実施形態においては、図１１、図１２に示す
ように、ローラーカム２６のカム溝２５が折れ曲がり形
状に形成され、その中間部に係止用の段部２５ａが形成
され、ゲート開放状態でカム用ローラ２４とほぼ同じ半
径を持つ落ち込み用の係合部２５ｂが形成され、段部２
５ａに続いて逆傾斜面２５ｃに形成された点に特徴を有
し、その他の構成および動作については前記第１の実施
形態と同様であるので、同一部分については同一符号を
付してその説明を省略する。

【００２４】本実施形態のゲートバルブによれば、エア
シリンダ装置１９の作動により図１１に示すゲート開放
状態からゲート閉鎖方向へ移行する間、カム用ローラ２
４をカム溝２５の係合部２５ｂに係合するので、ゲート
２の自重と慣性でゲート２が流路口３に対向する以前に
閉鎖位置へ揺動するのを防止することができる。また、
ゲート２で流路口３を閉塞する際、カム用ローラー２４
がカム溝２５における段部２５ａを乗り換えることで、
ゲート２の締め付け推力を大きくすることができ、ま
た、エアシリンダ装置１９の操作圧力が無くともロック
することができるが、前記のようにロック装置４０を用
いてエアシリンダ装置１９の動作をロックすることによ
り、更に一層確実にロックすることができる。このほ
か、本実施形態においても、上記第１の実施形態と同様
の利点を有する。

【００２５】次に、本発明の第３の実施形態について説
明する。本実施形態においては、図１３、図１４に示す
ように、ローラーカム２６のカム溝２５がロック用の係
合部２５ｂを有する折れ曲がり形状に形成され、上記第
２の実施形態における段部２５ａが傾斜面２５ｄに形成
され、カム用ローラ２４が傾斜面２５ｄを逆傾斜面２５
ｃへ乗り越えることにより、ゲート２で流路口３を閉じ
るように構成され、傾斜面２５ｄによりステム８、ゲー
ト２の揺動の際のストロークをとることができるように
された点に特徴を有し、その他の構成および動作につい
ては前記第１、第２の実施形態と同様である。本実施形
態においても、上記第１、第２の実施形態と同様の利点
を有する。

【００２６】なお、前記第１の実施形態においては、ゲ
ート閉鎖時およびゲート開放時のみエアシリンダ装置１
９のロックによりロック状態に保持するようにしている
が、前記第２、第３の実施形態と同様、カム溝２５に円
弧状の係合部２５ｂを形成し、ゲート開放状態からゲー
ト閉鎖状態に移動する間、カム用ローラ２４を係合部２
５ｂに係合させてロック状態に保持するようにしてもよ
い。また、前記各実施形態においては、ステム８、ゲー
ト２を揺動させる機構としてカム溝を有するローラカム
２６とカム用ローラー２４とを組み合わせて用いている
が、その他のカム機構、リンク機構等を用いることがで
きる。また、本発明は、ゲート２を流路口２に対向した
位置でその軸心とほぼ平行に移動させて開閉し得る方式
など、各種の方式のゲートバルブに適用することもでき
る。更に、前記実施形態では、ゲート開放位置とゲート
閉鎖位置との両方でエアシリンダ装置１９の作動をロッ
クするようにしているが、いずれか一方の位置でのみロ
ックするようにしてもよい。この場合、他方の位置にお
いては必要に応じて他のロック機構を用いてロックする
ことができる。このほか、本発明は、その基本的技術思
想を逸脱しない範囲で種々設計変更することができる。

【００２７】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、弁
閉状態および弁開状態の少なくとも一方の位置でシリン
ダ装置の操作圧力が無い場合、シリンダ装置に設けられ
たロック手段によりシリンダ装置の伸縮動作を直接的に
ロックしてゲートをロック状態に保持することができる
ので、チャンバー内の圧力変化、ゲートの自重、ゲート
の慣性などによりゲートが動作するのを防止することが
でき、したがって、信頼性の向上等を図ることができ
る。また、ピストン側のエアが排出されると、ロックピ
ンハウジング内にエアが供給されなくなり、ピストンピ
ンがスプリングにより付勢されてロックピンハウジング
内より突出し、ピストンの溝に係合してゲートの閉鎖又
は開放状態を確実にロックする。一方、ピストン側にエ
アが供給されると、ロックピンハウジング内にエアが供
給され、スプリングの弾性に抗して後退することによ
り、ピストンが開放され、ロック状態が解除される。特
に、このロック手段は作動中にピストンピンとロックピ
ンハウジングとがみだりに回動することがないため 、 ロ
ック手段による 、 ロック動作と解除動作が確実に行われ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施形態によるゲートバルブを
示し、ゲート開状態の縦断正面図である。

【図２】同ゲートバルブを示し、図１のＡ−Ａ矢視縦断
側面図である。

【図３】同ゲートバルブに用いるカム機構を示し、ゲー
ト開状態の拡大縦断側面図である。

【図４】同ゲートバルブを示し、ゲート閉状態の縦断正
面図である。

【図５】同ゲートバルブを示し、ゲート閉状態における
図２と同様の縦断側面図である。

【図６】同ゲートバルブに用いるカム機構を示し、ゲー
ト閉状態の拡大縦断側面図である。

【図７】同ゲートバルブに用いるピストンピン式ロック
装置を示す拡大縦断面図である。

【図８】ピストンピン式ロック装置の一部変更例を示
し、（ａ）は縦断面図、（ｂ）は正面図である。

【図９】（ａ）、（ｂ）は夫々図８のピストンピン式ロ
ック装置におけるピストンピンのピストンとロックピン
フランジとの回り止め構造の例を示し、図８（ａ）のＢ
−Ｂ断面図である。

【図１０】（ａ）は図８のピストンピン式ロック装置に
おけるピストンピンのピンとロックピンハウジングとの
回り止め構造を示す図であり、（ｂ）はエアシリンダ装
置のハウジングにおける装着穴とロックピンハウジング
との回り止め構造を示す図である。

【図１１】本発明の第２の実施形態によるゲートバルブ
を示し、ゲート開状態における図２と同様の縦断側面図
である。

【図１２】同ゲートバルブを示し、ゲート閉状態におけ
る図５と同様の縦断側面図である。

【図１３】本発明の第３の実施形態によるゲートバルブ
に用いるカム機構を示し、ゲート開状態の拡大縦断側面
図である。

【図１４】同ゲートバルブに用いるカム機構を示し、ゲ
ート閉状態の拡大縦断側面図である。

【符号の説明】

２ ゲート ３ 流路口 ４ Ｏリング ８ ステム １４ ベローズ １５ ステムホルダー １８ 支点ローラー １９ エアシリンダ装置 １９′ ピストン １９′ａ 溝 １９′ｂ 溝 ２０ ハウジング ２１ 案内溝 ２２ ピストンロッド ２３ カムプレート ２４ カム用ローラ ２５ カム溝 ２６ ローラーカム ２７ ローラーホルダー ３０ スプリング ４０ ピストンピン式のロック装置 ４１ 装着穴 ４２ Ｏリング ４３ エアー供給穴 ４４ ロックピンハウジング ４５ Ｏリング ４６ ピストンピン ４７ スプリング ４８ 大気連通穴 ４９ ロックピンフランジ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平８−42715（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−83336（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−128542（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−83574（ＪＰ，Ａ) 実開 平３−23207（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭63−53908（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭50−51090（ＪＰ，Ｕ) 実公 昭61−16412（ＪＰ，Ｙ１) 実公 昭61−45361（ＪＰ，Ｙ１) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) F16K 3/00 - 3/36 F16K 51/02 F16K 31/12 - 31/165 F15B 15/00

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 流路口を開閉し得るゲートと、このゲー
   トを前記流路口に対向する前進位置と前記流路口の軸心
   に対する直角方向の後退位置とに移動させるとともに、
   前記ゲートを前記前進位置で前記流路口を開閉させるよ
   うに移動させるためのシリンダ装置を有する移動手段
   と、前記シリンダ装置に設けられ、前記ゲートによる前
   記流路口の開放位置と閉塞位置のうち、少なくとも一方
   の位置で、前記シリンダ装置の操作圧力が無くなると、
   このシリンダ装置の伸縮動作をロックすることができ、
   前記シリンダ装置に操作圧力が加わると、このシリンダ
   装置の伸縮動作のロックを解除することができるロック
   手段とを設け、このロック手段は、シリンダ装置のハウ
   ジングに形成された装着穴と、この装着穴にシール状態
   で装着され、エアー供給穴を先端部周囲に有するロック
   ピンハウジングと、このロックピンハウジングに装着さ
   れ、大気連通穴を有するロックピンフランジと、これら
   ロックピンハウジングおよびロックピンフランジの内部
   にシール状態で摺動可能に支持され、先端部を前記シリ
   ンダ装置のハウジング内に対して出没し、ピストンに係
   合し、若しくは離脱し得るピストンピンと、このピスト
   ンピンを前記ピストンとの係合側へ付勢するスプリング
   とを備え、更に、ピストンピンとロックピンハウジング
   とを回り止めの構造にしたことを特徴とするゲートバル
   ブ。
2. 【請求項２】 移動手段が、シリンダ装置と、ゲートを
   支持するステムと、このステムを前進位置と後退位置と
   の間で軸方向に移動可能に、かつ前進位置で揺動可能に
   支持する支持装置と、前記シリンダ装置の伸縮に伴い、
   前記ステムを軸方向へ移動させるとともに、前記ステム
   を前進位置で揺動させる揺動装置とを備えた請求項１記
   載のゲートバルブ。
3. 【請求項３】 揺動装置が、シリンダ装置のピストンロ
   ッドに取付けられたカムプレートと、このカムプレート
   に取付けられたカム溝を有するローラーカムと、ステム
   に取付けられたローラーホルダと、このローラーホルダ
   に支持され、前記ローラーカムのカム溝に係合され、前
   記ステムを揺動させるためのカム用ローラーと、前記ス
   テムおよびゲートを流路口の開放側に付勢するスプリン
   グとを備えた請求項２記載のゲートバルブ。
4. 【請求項４】 ローラーカムのカム溝がなだらかな傾斜
   部を有し、この傾斜部にカム用ローラーが位置した状態
   でゲートにより流路口を閉じるように構成された請求項
   ３記載のゲートバルブ。