JPH11280923A - ゲートバルブ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】 半導体製造装置等に用いる発塵が少なく、構
成が簡単で動作が確実なゲートバルブを提供する。 【解決手段】弁箱１３に移動可能に架設され軸受８に支
承された傾動軸７に軸支されていると共に、ベローズ１
５によって弁箱に気密に連結され、弁箱内に伸びた先端
が弁箱の開口部１４開閉用の弁体１２に連結され、弁箱
外に伸びた先端に掛止部１６を有する第一の駆動軸４
と、駆動体１によって駆動され、第一の駆動軸４のに一
端が固定されている弾性部材５によって第一の駆動軸４
に弁箱に近い方の先端側の側面が摺動可能に圧接される
第二の駆動軸２とで構成され、第二の駆動軸２の傾斜面
が第一の駆動軸４の側面上に設けられている接点６上を
摺動する時に、第一の駆動軸４がその傾動軸７を中心と
して回転運動し、その弁箱内に伸びた一端に連結されて
いる弁体１２が弁箱１３の開口部１４に離接することを
特徴とするゲートバルブ。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、半導体製造装置
等に用いる発塵が少なく、構成が簡単で動作が確実なゲ
ートバルブを提供することを目的としたものである。

【０００２】

【従来の技術】半導体製造装置等においては、ウェハー
や基板をそれぞれの処理室に通路を介して出し入れする
ことが行われており、前記通路には、それぞれゲートバ
ルブが設けられ、前記処理室には、できるだけ不純物が
混入しないようにする必要がある。このため前記ゲート
バルブは、真空内部のバルブ開閉機構を大気側に配置す
る等の手段により、真空内部からの発塵をできるだけ抑
える必要がある。この種のゲートバルブとして、大気側
に位置する枢軸を支点として弁ディスク（弁体）を弁箱
開口部に対して上下動及び傾動させてバルブを開閉する
発明が提案されている（特許第２６１３１７１号、同第
２６４９６６２号、同第２６５７７７８号）。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】前記、従来のゲートバ
ルブは、傾動を行う手段として、断面菱形の板状カム、
または回転自在に枢支した傾斜リンク、或いはピン及び
ピンに係合する傾斜長孔により構成されていた。しか
し、断面菱形の板状カムは、断面が菱形をしているため
バルブの開閉を繰り返し行っているうちに段部とカムと
の接している部分の摩擦が増加し動きが悪くなるといっ
た欠点があった。また回転自在に枢支した傾斜リンクで
は、ヨークとブロックとの間に、夫々その端部を回転自
在に枢支する機構が必要になるため、部品点数が増える
と共に、構造が複雑になる問題点があった。前記ピンと
傾斜長孔の組み合わせでは、ピンが傾斜長孔の側面で接
し滑りながら動作しているので、バルブの開閉を繰り返
し行っているうちに、接触面が摩耗し、動きが悪くなる
問題点があった。更に、エアシリンダ等の駆動体を用い
てバルブを駆動する場合、バルブを閉じている間に、バ
ルブの駆動体へ供給する圧縮空気等がなくなると、バル
ブが開いてしまうという問題点があった。

【０００４】

【課題を解決するための手段】この発明は、傾動手段に
おける摩擦を抑え、部品点数の少ないコンパクトな構造
を提供することにより、またエアシリンダ等の駆動体を
用いてバルブを駆動し、バルブを閉じている時にバルブ
の駆動体へ供給する圧縮空気等がなくなってしまって
も、バルブが閉じている状態を維持できるようにして前
記従来の問題点を解決したのである。

【０００５】即ちこの発明は、弁箱の内外に伸びる第一
の駆動軸であって、弁箱に対して接近する方向及び離れ
る方向に移動可能に架設され、弁箱外側に備えられた停
止手段によって、弁箱に対して所定間隔にまで接近した
時点で移動を停止させられる軸受に支承された傾動軸に
軸支されていると共に、ベローズによって前記弁箱に気
密に連結され、弁箱内に伸びた一端が弁箱の開口部開閉
用の弁体に連結され、弁箱外に伸びた他端に掛止部を有
する第一の駆動軸と、一端に接続された駆動体によって
駆動される第二の駆動軸であって、前記弁箱の外側に伸
びる第一の駆動軸の掛止部を有する他端近傍に一端が固
定されている弾性部材によって前記第一の駆動軸の一側
面に他端（弁箱側の端）側の一側面が摺動可能に圧接さ
れる第二の駆動軸とで構成され、第一の駆動軸の一側面
に摺動可能に圧接される第二の駆動軸の他端（弁箱側の
端）側の前記一側面は、前記第一の駆動軸の他端（弁箱
外側の端）の掛止部に係止される突部を前記他端（弁箱
側の端）近傍に有し、当該突部から第二の駆動軸の他端
（弁箱側の端）に向けてテーパー状に傾斜する傾斜面に
形成されており、第二の駆動軸の他端（弁箱側の端）側
の前記一側面が当該傾斜面によって前記第一の駆動軸の
一側面上に設けられている接点上を摺動する時に、第一
の駆動軸がその傾動軸を中心として回転運動し、その弁
箱内に伸びた一端に連結されている前記弁体が弁箱の開
口部に離接することを特徴とするゲートバルブである。

【０００６】前記発明の構成に代えて、第一の駆動軸の
一側面をその他端（弁箱外側の端）から弁箱方向に向け
て前記第二の駆動軸側へ傾斜する傾斜面に形成し、一
方、第一の駆動軸の一側面に摺動可能に圧接される第二
の駆動軸の側面上に接点を設ける構成にすることもでき
る。

【０００７】更に、前記の発明において、第一の駆動軸
の他端（弁箱外側の端）と第二の駆動軸の他端（弁箱側
の端）との間の当接部の構造を変更し、第一の駆動軸の
他端（弁箱外側の端）側と第二の駆動軸の他端（弁箱側
の端）側との間で、第一の駆動軸との間の接点を支点と
して第一の駆動軸の第二の駆動軸側の側面に対して傾動
自在に挟持される傾斜体を更に採用し、第二の駆動軸の
第一の駆動軸側の側面を、係止突部を第二の駆動軸の他
端近傍に有し、当該突部から第二の駆動軸の他端に向け
てテーパー状に傾斜する傾斜面に形成すると共に、傾斜
体の第二の駆動軸側の側面を、第二の駆動軸の前記一端
側の端部に前記第二の駆動軸の係止突部に係合する掛止
部を有すると共に、当該掛止部のある端側から弁箱側の
端に向けて、前記第二の駆動軸の傾斜面に対応して、第
二の駆動軸側に傾斜する傾斜面に形成し、第二の駆動軸
の傾斜面が前記傾斜体の傾斜面を摺動する時に、第一の
駆動軸がその傾動軸を中心として回転運動し、その弁箱
内に伸びた一端に連結されている前記弁体が弁箱の開口
部に離接するゲートバルブの発明とすることもできる。

【０００８】また、本願が提案する他の発明は、前記の
基本的構成からなるゲートバルブにおいて、第一の駆動
軸の一側面に摺動可能に圧接される第二の駆動軸の他端
側の前記一側面は、前記第一の駆動軸の他端の掛止部に
係止される突部を前記他端近傍に有し、当該突部から第
二の駆動軸の他端に向けて前記第一の駆動軸の一側面に
平行な平行面と当該平行面に連続して第二の駆動軸の他
端に向けてテーパー状に傾斜する傾斜面に形成されてお
り、第二の駆動軸の他端側の前記一側面が当該傾斜面に
よって前記第一の駆動軸の一側面上に設けられている接
点上を摺動する時に、第一の駆動軸がその傾動軸を中心
として回転運動し、その弁箱内に伸びた一端に連結され
ている前記弁体が弁箱の開口部に離接すると共に、第二
の駆動軸の他端側の前記一側面が当該平行面によって前
記第一の駆動軸の一側面上に設けられている接点上を摺
動する時に、その弁箱内に伸びた一端に連結されている
前記弁体による前記弁箱の開口の閉鎖が維持されるよう
に構成したゲートバルブである。

【０００９】ここで、第二の駆動軸の他端近傍における
突部から第二の駆動軸の他端に向けて形成されている前
記第一の駆動軸の一側面に平行な平行面と当該平行面に
連続して第二の駆動軸の他端に向けてテーパー状に傾斜
する傾斜面との間に、第一の駆動軸方向に突出する突部
が設けられている構成にすることもできる。

【００１０】更に、第二の駆動軸の他端近傍における突
部から第二の駆動軸の他端に向けて形成されている前記
第一の駆動軸の一側面に平行な面と当該平行面に連続し
て第二の駆動軸の他端に向けてテーパー状に傾斜する傾
斜面とからで構成される部分を第二の駆動軸に対して離
接可能に構成すると共に、当該離接可能な部分と第二の
駆動軸の第一の駆動軸側面との間の間隔を調整可能とす
る機構を第二の駆動軸の他端側に設けた構成とすること
もできる。

【００１１】

【発明の実施の形態】本発明においては、弁箱に対して
接近する方向及び離れる方向に移動可能に架設された軸
受は、弁箱外側に位置固定的に直立されているガイドシ
ャフトに嵌装されて、当該ガイドシャフトを摺動可能と
なっている。

【００１２】弁箱外側で前記ガイドシャフトの基端側に
は軸受ストッパが設けられており、これによって、弁箱
に向かって前記ガイドシャフトを摺動して接近してきた
前記軸受の移動（摺動）が停止される。この停止した時
点で、前記第一の駆動軸の弁箱内に伸びた一端に連結さ
れている弁体が弁箱の開口部に対向する位置になるよう
に前記ガイドシャフトの長さ、第一の駆動軸の長さ等が
調整されている。

【００１３】第一の駆動軸は軸受に支承された傾動軸に
よって軸支されているので、当該傾動軸を中心として回
動可能であり、前記のように第一の駆動軸の弁箱内に伸
びた一端に連結されている弁体が弁箱の開口部に対向し
た位置から、前記傾動軸を中心にして回動し、前記弁体
を弁箱の開口部方向に回動させて弁箱の開口部を塞ぐこ
とができる。なお、弁箱の開口部の密閉を確実ならしめ
るために、弁体にはシール材を付設することが好まし
い。

【００１４】前記第一の駆動軸はベローズによって前記
弁箱に気密に連結されているが、ベローズと第一の駆動
軸との連結位置を前記傾動軸よりも弁箱に近い側にする
ことによって、真空側に機械的運動部分をなくすること
ができる。

【００１５】前記第一の駆動軸を、その弁箱内に伸びた
一端に連結されている弁体が弁箱の開口部に対向する位
置に来るまで移動させ、その後、当該弁体によって弁箱
開口部を塞ぐべく、第一の駆動軸を前記傾動軸を中心に
して回動させ、弁体を弁箱開口部方向へ移動（回動）さ
せるための駆動力は、第二の駆動軸から与えられる。す
なわち、この発明においては、前記第一の駆動軸の前記
弁箱の外側に伸びる他端近傍に弾性手段の一端が固定さ
れており、この弾性手段の他端は、その一端部（弁箱か
ら離れている方の端部）において第二の駆動軸を駆動さ
せる駆動体に接続されている第二の駆動軸の他端（弁箱
に近い方の端）近傍に固定されている。この弾性手段の
働きによって、前記第一の駆動軸の弁箱の外側に伸びる
他端側の一側面に第二の駆動軸の他端（弁箱に近い側の
端）側の一側面が摺動可能に圧接される構成になってい
る。更に、第一の駆動軸の一側面に摺動可能に圧接され
る第二の駆動軸の他端側の前記一側面は、突部を前記他
端近傍に有し、当該突部から第二の駆動軸の他端に向け
てテーパー状に傾斜する傾斜面に形成され、一方、第二
の駆動軸の他端側の前記一側面が摺動可能に圧接される
第一の駆動軸の一側面は、点あるいは線で第二の駆動軸
の他端側の前記一側面に接触するように突部を備えた構
成となっている。

【００１６】ここで、前記第二の駆動軸は、弁箱に対し
て、前記ガイドシャフトと平行な方向に移動可能なよう
に、位置固定的に、架設されているので、前記駆動体に
よって第二の駆動軸を弁箱の方向に移動させると、前記
弾性体によって接続されている第一の駆動軸も弁箱の方
向に移動する。第一の駆動軸は、これを軸支する傾動軸
が支承されている軸受と共に弁箱側に、すなわちガイド
シャフトの基端側へ移動するので、当該軸受がガイドシ
ャフトの基端側に設けられている軸受ストッパに当接し
た時点で、第一の駆動軸の弁箱方向への移動が停止され
ることになる。この時点で、前述したように、第一の駆
動軸の弁箱の内側に伸びる一端に連結されている弁体が
弁箱の開口部に対向した位置にまで移動している。

【００１７】なお、ここまでの移動においては、前記弾
性体の弾力によって、第一の駆動軸の前記弁箱の外側に
伸びる他端（弁箱外側の端）の位置と第二の駆動軸の他
端（弁箱側の端）の位置との関係は、ほぼ不動に保たれ
ている。

【００１８】前記のように第一の駆動軸の弁箱方向への
移動が停止された後も、駆動体からの駆動力によって第
二の駆動軸を、前記ガイドシャフトと平行に、弁箱方向
へ移動させると、第二の駆動軸を移動させようとする力
が前記弾性体の弾力に打ち勝って、第一の駆動軸の前記
弁箱の外側に伸びる他端（弁箱外側の端）の位置と第二
の駆動軸の他端（弁箱側の端）の位置との間の前記ほぼ
不動であった関係が崩され、第二の駆動軸の他端（弁箱
側の端）は、これまで存在していた位置よりも前記第一
の駆動軸の弁箱の外側に伸びる他端の位置から離れ、弁
箱に近付く方向に移動することになる。

【００１９】前記のように第二の駆動軸の他端（弁箱に
近い方の端）側の前記一側面（摺接している第一の駆動
軸の一側面に対向する面）は、突部を前記他端近傍に有
し、当該突部から第二の駆動軸の他端（弁箱に近い方の
端）に向けてテーパー状に傾斜する傾斜面に形成されて
いるので、このような第二の駆動軸の移動によって、前
記第一の駆動軸の一側面に設けられている突部が傾斜面
に沿って押圧され、第一の駆動軸の弁箱の外側に伸びる
他端（弁箱外側の端）は、第二の駆動軸から離れる方
向、すなわち弁箱の開口部から離れる方向、に移動する
ことになる。

【００２０】これによって、傾動軸に軸支されている第
一の駆動軸の弁箱の内側に伸びる一端に連結されている
弁体が弁箱の開口部に対向した位置から、前記傾動軸を
中心にして弁箱の開口部方向へ回動し、前記弁体によっ
て弁箱の開口部を塞ぐことになる。

【００２１】一方、この後、駆動体によって第二の駆動
軸を逆方向へ（すなわち、弁箱から離れる方向へ）、前
記ガイドシャフトと平行に、移動させると、前記のよう
に第二の駆動軸の他端（弁箱に近い方の端）側には当該
他端に向けてテーパー状に傾斜する傾斜面が形成されて
いるので、第二の駆動軸が弁箱から離れる方向に移動す
ることによって、第一の駆動軸の弁箱の外側に伸びる他
端（弁箱外側の端）は、第二の駆動軸に近付く方向、す
なわち弁箱の開口部に近付く方向、に移動することにな
る。これによって、第一の駆動軸の弁箱の内側に伸びる
一端に連結されている弁体は、弁箱開口部から離れる方
向に回動し、開口部が開かれ、弁箱の開口部に対向した
位置にまで戻る。

【００２２】更に、第二の駆動軸を逆方向に（すなわ
ち、弁箱から離れる方向に）移動させると、第二の駆動
軸の他端（弁箱に近い方の端）側の傾斜面の上端、すな
わち第二の駆動軸の他端側の前記一側面（摺接している
第一の駆動軸の一側面に対向する面）に設けられている
突部が、前記第一の駆動軸の弁箱外に伸びる他端の掛止
部に当接し、掛止（係止）されて、第一の駆動軸を、前
記ガイドシャフトと平行に、弁箱から離れる方向へ移動
させる。これによって、第一の駆動軸の弁箱の内側に伸
びる一端に連結されている弁体が弁箱の開口部に対向し
ていた位置から離される。 前記の構成に代えて、第一
の駆動軸の一側面をその他端（弁箱外側の端）から弁箱
方向に向けて前記第二の駆動軸側へ傾斜する傾斜面に形
成し、一方、第一の駆動軸の一側面に摺動可能に圧接さ
れる第二の駆動軸の側面上に接点を設ける構成として
も、第二の駆動軸の直線運動を、第一の駆動軸の直線運
動のみならず、第一の駆動軸の傾動軸を中心とした回転
運動に変換させることができるという作用、効果は同一
である。

【００２３】また、第一の駆動軸の他端（弁箱外側の
端）側と第二の駆動軸の他端（弁箱側の端）側との間に
傾斜体を挟持する構成を採用し、当該傾斜体を第一の駆
動軸側においては第一の駆動軸側との接点において傾動
自在とし、第二の駆動軸側は前記第二の駆動軸側の傾斜
面に対応する傾斜面に構成することによっても、第二の
駆動軸の直線運動を、第一の駆動軸の直線運動のみなら
ず、第一の駆動軸の傾動軸を中心とした回転運動に変換
させることができるという作用、効果は同一である。

【００２４】更に、前記の基本的構成からなるゲートバ
ルブにおいて、第一の駆動軸の一側面に摺動可能に圧接
される第二の駆動軸の他端側の前記一側面は、前記第一
の駆動軸の他端の掛止部に係止される突部を前記他端近
傍に有し、当該突部から第二の駆動軸の他端に向けて前
記第一の駆動軸の一側面に平行な平行面と当該平行面に
連続して第二の駆動軸の他端に向けてテーパー状に傾斜
する傾斜面に形成されており、第二の駆動軸の他端側の
前記一側面が当該傾斜面によって前記第一の駆動軸の一
側面上に設けられている接点上を摺動する時に、第一の
駆動軸がその傾動軸を中心として回転運動し、その弁箱
内に伸びた一端に連結されている前記弁体が弁箱の開口
部に離接すると共に、第二の駆動軸の他端側の前記一側
面が当該平行面によって前記第一の駆動軸の一側面上に
設けられている接点上を摺動する時に、その弁箱内に伸
びた一端に連結されている前記弁体による前記弁箱の開
口の閉鎖が維持されるように構成することもできる。こ
のように構成すれば、第二の駆動軸の直線運動を、第一
の駆動軸の直線運動のみならず、第一の駆動軸の傾動軸
を中心とした回転運動に変換させることができるという
作用、効果を得ることができるだけでなく、以下のよう
な、作用、効果をも得ることができる。すなわち、弁体
が弁箱開口部を閉鎖している時には、第二の駆動軸の他
端近傍における突部から第二の駆動軸の他端に向けて形
成されている第一の駆動軸の一側面に平行な平行面が第
一の駆動軸の一側面に設けられている突部に接触してい
るので、弁体が弁箱開口部を閉鎖している間に、第二の
駆動軸が弁箱から離れる方向へ移動しても、例えば、第
二の駆動軸を駆動している駆動体がエアシリンダで構成
されており、当該エアシリンダへの圧縮空気の供給等が
なくなって、第二の駆動軸が弁箱から離れる方向に移動
したとしても、常に、第一の駆動軸の一側面に設けられ
ている突部は前記第二の駆動軸の平行面によって同一の
垂直位置で押さえられ、弁体による弁箱開口部の閉鎖を
安定して行い続けることができる。

【００２５】ここで、第二の駆動軸の他端近傍における
突部から第二の駆動軸の他端に向けて形成されている前
記第一の駆動軸の一側面に平行な平行面と当該平行面に
連続して第二の駆動軸の他端に向けてテーパー状に傾斜
する傾斜面との間に、第一の駆動軸方向に突出する突部
が設けられている構成にすれば、前記のように弁体が弁
箱開口部を閉鎖している間に、第二の駆動軸が弁箱から
離れる方向へ移動しても、当該突部を乗り越えることが
できるだけの外力が働かない限り、弁体による弁箱開口
部の閉鎖を維持できる。

【００２６】更に、第二の駆動軸の他端近傍における突
部から第二の駆動軸の他端に向けて形成されている前記
第一の駆動軸の一側面に平行な平行面と当該平行面に連
続して第二の駆動軸の他端に向けてテーパー状に傾斜す
る傾斜面とからで構成される部分を第二の駆動軸に対し
て離接可能に構成すると共に、当該離接可能な部分と第
二の駆動軸の第一の駆動軸側面との間の間隔を調整可能
とする機構を第二の駆動軸の他端側に設ければ、前記の
作用、効果に加えて、更に、弁体による弁箱開口部の閉
鎖時における、弁箱開口部への弁体の押し付け圧力を最
適に調節することができる。

【００２７】

【実施例１】図１乃至図３を用いてこの発明の好ましい
実施例を説明する。

【００２８】図３に示すように、弁箱１３にガイドシャ
フト９、９を位置固定的に直立させ、弁箱１３に近付く
方向及び遠ざかる方向に移動（摺動）可能なように軸受
８を該ガイドシャフト９、９に嵌装する。軸受８に支承
された傾動軸７によって第一の駆動軸４を軸支し、該第
一の駆動軸４の弁箱１３内に伸びている先端にシール材
１１を備えた弁体１２を連結すると共に、第一の駆動軸
４と弁箱とをベローズ１５によって気密に連結する（図
１）。

【００２９】第一の駆動軸４の弁箱１３の外側に伸びる
先端近傍に引張ばね５の一端を固定し、他端を、第二の
駆動軸２の弁箱に近い方の先端近傍に固定する（図
１）。第二の駆動軸２の弁箱から離れる方向の先端は、
第二の駆動軸２を駆動させるエアシリンダ等からなる駆
動体１に接続されている。

【００３０】引張ばね５の働きによって、第一の駆動軸
４の弁箱の外側に伸びる端側の一側面に第二の駆動軸２
の弁箱に近い側の端側の一側面が摺動可能に圧接されて
いる。 第一の駆動軸４の一側面に摺動可能に圧接され
る第二の駆動軸２の弁箱に近い方の先端側の側面は、突
部３ａを当該先端近傍に有し（図２）、当該突部３ａか
ら第二の駆動軸の他端３ｂに向けてテーパー状に傾斜す
る傾斜面に形成されている（図１、図２）。一方、第二
の駆動軸２の弁箱に近い方の先端側の一側面が摺動可能
に圧接される第一の駆動軸４の弁箱の外側に伸びる端側
には、回動可能にコロ６が設けられており、前記引張ば
ね５の働きによって第一の駆動軸４側に圧接される第二
の駆動軸２の前記傾斜面が当該コロ６の表面に摺動可能
に当接されている。

【００３１】コロ６はその湾曲面で第二の駆動軸２の傾
斜面に当接するので、両者の接点は、線になっており、
コロ６が第一の駆動軸４に回動可能に架設されているこ
ととの相乗効果によって、第二の駆動軸２の前記傾斜面
とコロ６との間の摺動の際の摩擦は極めて小さいものに
なっている。

【００３２】第二の駆動軸２は、弁箱１３に対して、前
記ガイドシャフト９、９と平行な方向に移動可能なよう
に位置固定的に架設されており、駆動体１によって第二
の駆動軸２を矢示２１のように弁箱１３の方向に移動さ
せると（図１）、引張ばね５によって接続されている第
一の駆動軸４も弁箱１３の方向に移動する。第一の駆動
軸４は、これを軸支する傾動軸７が支承されている軸受
８と共にガイドシャフト９、９の基端側へ移動し、軸受
８がガイドシャフト９、９の基端側に設けられている軸
受ストッパ１０、１０（図３）に当接した時点で、第一
の駆動軸４の弁箱１３方向への移動が停止される。

【００３３】この停止した時点で、第一の駆動軸４の弁
箱内に伸びた一端に連結されているシール材１１付の弁
体１２が、弁箱１３の開口部１４に対向する位置になる
ようにガイドシャフト９、９の長さ、第一の駆動軸４の
長さ等が調整されている。

【００３４】ここまでの第二の駆動軸２及び第一の駆動
軸４の移動においては、引張ばね５の弾力によって、第
一の駆動軸４の弁箱外側の端の位置と第二の駆動軸２の
弁箱側の端の位置との関係は、ほぼ不動に保たれてい
る。

【００３５】前記のように、軸受ストッパ１０、１０の
存在によって、第一の駆動軸４の弁箱１３方向への移動
が停止された後も、駆動体１からの駆動力によって第二
の駆動軸２を、ガイドシャフト９、９と平行に、弁箱１
３方向へ移動させると、第二の駆動軸２を移動させよう
とする力が引張ばね５の弾力に打ち勝って、第一の駆動
軸４の弁箱外側の端の位置と第二の駆動軸２の弁箱側の
端の位置との間の前記ほぼ不動であった関係が崩され、
第二の駆動軸２の弁箱側の端は、これまで存在していた
位置よりも前記第一の駆動軸４の弁箱外側の端の位置か
ら離れ、弁箱１３に近付く方向に移動する。

【００３６】第二の駆動軸２の弁箱側の端側の第一の駆
動軸４に対向する面は、突部３ａから第二の駆動軸の先
端部３ｂに向けてテーパー状に傾斜する傾斜面に形成さ
れているので、第二の駆動軸２の弁箱１３方向に向けた
更なる移動によって、第一の駆動軸４に回動可能に設け
られているコロ６が矢示２２方向に押され、第一の駆動
軸４の弁箱外側端側も矢示２２方向に移動する（図
１）。

【００３７】第一の駆動軸４は、弁箱１３に位置固定的
に直立されたガイドシャフト９、９に嵌装、架設されて
いる軸受８に支承される傾動軸７によって軸支されてい
るので、弁箱外側端側が矢示２２方向に移動するにつれ
て、弁箱１３の開口部１４に対向する位置に存在してい
た弁体１２に連結されている弁箱１３内に伸びた先端側
は、傾動軸７を中心として、矢示２３方向に移動（回
動）し、弁体１２も、傾動軸７を中心として、矢示２３
方向に移動（回動）するので、弁体１２によって弁箱１
３の開口部１４が塞がれる（図１）。

【００３８】一方、開口部１４を開き、ゲートバルブを
開方向に動作させる場合には、以下のように行う。

【００３９】図１の状態から、駆動体１によって第二の
駆動軸２を矢示２１と逆方向に移動させる。第二の駆動
軸２の弁箱側先端が弁箱１３から離れるように移動する
ことによって、第一の駆動軸４に回動可能に設けられて
いるコロ６及び第一の駆動軸４の弁箱外側端側は、第二
の駆動軸２の弁箱側の第一の駆動軸４に対向する面に形
成されている傾斜面に当接しつつ、当該傾斜面に沿っ
て、矢示２２と逆の方向に移動する。この結果、弁箱１
３内に伸びた先端に連結されているシール材１１を備え
た弁体１２も、傾動軸７を中心として、矢示２３と逆の
方向に移動（回動）し、弁箱１３の開口部１４が開か
れ、弁体１２は弁箱１３の開口部１４に対向する位置に
戻る。

【００４０】この時点から更に、第二の駆動軸２を、ガ
イドシャフト９、９と平行に、矢示２１と逆方向へ移動
させると、第二の駆動軸２の傾斜面の上端３ａが、第一
の駆動軸４の弁箱外に伸びる端の掛止部１６に当接し、
掛止（係止）され、第一の駆動軸４を弁箱１３から離れ
る方向（図１の矢示２１と逆方向）へ移動させる。これ
によって、第一の駆動軸４の弁箱１３の内側に伸びる端
に連結されている弁体１２が弁箱１３の開口部１４に対
向していた位置から離れる（図２）。

【００４１】前記において、第一の駆動軸４の弁箱外側
端近傍と第二の駆動軸２の弁箱側端近傍との結合を引張
ばね５によって行ったが、引張ばね５は、第一の駆動軸
４の弁箱の外側に伸びる端側の一側面に第二の駆動軸２
の弁箱に近い側の端側の一側面を摺動可能に圧接させ、
ゲートバルブの閉方向動作のために、第二の駆動軸２が
弁箱方向に移動した際に、軸受け８が軸受けストッパ１
０、１０に当接するまでは、第二の駆動軸２の弁箱側端
と第一の駆動軸４の弁箱外側端との関係が、ほぼ不動の
ままにとどまっていることができるような弾力を有する
ものであれば十分であるので、引張ばねに代えて、ゴム
など種々の弾性体を使用することができる。ここで、第
二の駆動軸２の弁箱側端と第一の駆動軸４の弁箱外側端
との関係が、ほぼ不動のままにとどまっていることがで
きればよい、としたのは、図１、図２図示のように、弁
体１２あるいは弁箱内に伸びている第一の駆動軸４の先
端と、弁箱１３の内壁との間には、一定程度のスペース
が存在しているので、第二の駆動軸２が弁箱方向に移動
して軸受け８が軸受けストッパ１０、１０に当接するま
での間、第二の駆動軸２の弁箱側端と第一の駆動軸４の
弁箱外側端との関係が、確実に不動な状態に止まってい
る必要はなく、両者の位置関係が多少変動して第二の駆
動軸２の傾斜面が第一の駆動軸４のコロ６上を多少摺動
し、それによる弁体１２などの多少の回動が生じても、
それが前記スペース程度に納まっているならば発塵など
の問題は生じないからである。

【００４２】以上説明したように、本発明のゲートバル
ブにおいては、第二の駆動軸２を、直線的に、弁箱１３
に近付くように移動させるあるいは遠ざけるように移動
させるだけで、第一の駆動軸４を第二の駆動軸２の移動
方向と平行に、弁箱１３に、直線的に、近付くようにあ
るいは遠ざけるように移動させることができ、第一の駆
動軸４の弁箱内に伸びる先端に接続された弁体１２を弁
箱１３の開口部１４に対向する位置まで、直線的に、移
動させたり、逆に、元の位置に、直線的に、戻したりで
きるのみならず、第一の駆動軸４の弁箱内に伸びる先端
に接続された弁体１２を弁箱１３の開口部１４に対向す
る位置まで直線的に移動させた後に、引き続く第二の駆
動軸２の直線運動によって、第一の駆動軸４をその傾動
軸７を中心として回転運動させ、第一の駆動軸４の弁箱
内に伸びる先端に接続された弁体１２を弁箱開口部１４
に対向する位置から開口部１４を塞ぐ位置へと回動さ
せ、また当該塞いだ位置から前記の開口部１４に対向す
る位置へと回動させて戻させることができる。

【００４３】また、第二の駆動軸２の直線運動を第一の
駆動軸４の傾動軸７を中心とした回転運動に変換させる
ための構成においては、第一の駆動軸４の一側面に摺動
可能に圧接される第二の駆動軸２の弁箱に近い方の先端
側の側面を、当該先端に向けてテーパー状に傾斜する傾
斜面とし、当該傾斜面を、第一の駆動軸４の弁箱の外側
に伸びる端側に回動可能に設けられているコロ６の湾曲
面に当接させつつ摺動させる構成を採用しているので、
両者の接点は、線になっており、コロ６が第一の駆動軸
４に回動可能に架設されていることとの相乗効果によっ
て、第二の駆動軸２の前記傾斜面とコロ６との間の摺動
の際の摩擦は極めて小さいものになっている。

【００４４】図５の実施例においては、前記図１乃至図
３の実施例のコロ６を用いる代わりに半球体１９を用い
たものである。第二の駆動軸２の傾斜面は、半球体１９
の湾曲面の一点と接するだけであるので、第二の駆動軸
２の傾斜面と半球体１９との間の摺動の際の摩擦は極め
て小さいものになっている。この構成を採用すれば、製
造コストを低く抑えることができるという利点がある。

【００４５】なお、図５の半球体１９に代えて、半円柱
体とすることもできる。また、球体、円柱体を、第一の
駆動軸４の一側面に設けた孔（あるいは溝）に、回転・
旋回運動可能に遊嵌あるいは、固定する構造としてもよ
い。

【００４６】すなわち、第二の駆動軸２の傾斜面と接触
する第一の駆動軸４の面に、なんらかの手段によって湾
曲面を形成し、当該湾曲面の一点、あるいは一本の線で
のみ第二の駆動軸２の傾斜面と接触させることによっ
て、両者間の摺動の際の摩擦を小さくさせる考えは、す
べて本件発明の範囲に包含される。

【００４７】以上説明した実施例では、第二の駆動軸２
側を傾斜面とし、第一の駆動軸４の一側面に、一点ある
いは一本の線でのみ第二の駆動軸２の傾斜面と接触する
湾曲面（半球体・半円柱体１９）を設ける構成を採用し
ている。これに代えて、第一の駆動軸４に、その弁箱外
側端側から弁箱方向に向けて、第二の駆動軸２側へ傾斜
する傾斜面を形成し、一方、第二の駆動軸２側に湾曲面
（半球体・半円柱体１９）を設ける構成としても、その
作用、効果は同様である。

【００４８】以上説明した構成により、第二の駆動軸２
の直線運動を、第一の駆動軸４の直線運動のみならず、
傾動軸７を中心とした回転運動に変換させるための構成
を極めて簡単な構造にできるので、本発明のゲートバル
ブは極めてコンパクトにすることができ、その動作は確
実で、また第一の駆動軸４と第二の駆動軸２との摺動・
接触面の摩耗が抑えられ、いつまでも正確な動作を行う
ことができると共に、塵の発生を極めて効果的に防止す
ることができる。

【００４９】図４は、この発明の他の実施例であって、
前記図１乃至図３を用いて説明した実施例と、第一の駆
動軸４の弁箱外側端部分と第二の駆動軸２の弁箱側端部
分との当接部の構造のみが異なるものである。

【００５０】すなわち、図４図示の構成においては、第
一の駆動軸４と第二の駆動軸２との間で傾斜体１７が、
第一の駆動軸４との間の接点（鋼球１８）を支点として
第一の駆動軸４の第二の駆動軸２側の側面に対して傾動
自在に挟持されている。第一の駆動軸４と傾斜体１７と
の間に配置される鋼球１８は、第一の駆動軸４及び第二
の駆動軸２の、夫々の、側面に設けた孔（あるいは溝）
に、回転・旋回運動可能に遊嵌させてもよいし、どちら
か一方の側面に埋設、固定し、他方の側面に設けられて
いる孔（あるいは溝）に遊嵌させる構成としてもよい。
また、傾斜体１７が第一の駆動軸４との間の接点（鋼球
１８）を支点として第一の駆動軸４の第二の駆動軸２側
の側面に対して傾動自在に構成されていれば十分である
ので、鋼球１８に代えて、半球体あるいは半円柱体を採
用し、どちらか一方の側面に固定する構成としてもよ
い。

【００５１】傾斜体１７の第二の駆動軸２側の側面は、
前記図１乃至図３で説明した第二の駆動軸２の傾斜面に
対応して、弁箱外側の端側から弁箱側の端に向けて、第
二の駆動軸２側に突出する傾斜面に形成されている（図
４）。また、傾斜体１７の第二の駆動軸２側の側面上端
には、第二の駆動軸２の突部３ａと係合する掛止部が設
けられている。

【００５２】傾斜体１７の上端側と下端側は、それぞ
れ、引張ばね５ａ、５ｂによって第一の駆動軸４に接続
されている（図４）。

【００５３】第二の駆動軸２が駆動体１によって弁箱１
３側に移動されると、第二の駆動軸２の傾斜面は対応す
る形状の傾斜体１７の傾斜面を摺動する。この際、バネ
５の働きによって、第一の駆動軸４の弁箱外側端の位置
と第二の駆動軸２の弁箱側端の位置とがほぼ不動の状態
に保たれているのは、前記図１乃至図３の実施例で説明
した通りである。

【００５４】この図４図示の実施例においては、傾斜体
１７が第一の駆動軸４と第二の駆動軸２との間に、第一
の駆動軸４に対して傾動自在に挟持されているため、軸
受ストッパ１０、１０の存在によって、第一の駆動軸４
の弁箱１３方向への移動が停止された後、更に第二の駆
動軸２を弁箱１３方向へ移動させると、前記図１乃至図
３の実施例で説明した動作の他に、傾斜体１７と第一の
駆動軸４との間の接点である鋼球１８を支点として傾斜
体１７の下端１７ｂが第一の駆動軸４側へ近付き、一
方、上端１７ａが第一の駆動軸４から遠ざかる、という
動作が生じる。また、弁箱１３の開口１４を開状態にす
べく第二の駆動軸２を弁箱１３から遠ざかる方向に移動
させる時に、前記図１乃至図３の実施例で説明した動作
の他に、鋼球１８を支点として傾斜体１７の下端１７ｂ
が第一の駆動軸４から遠ざかり、一方、上端１７ａが第
一の駆動軸４側へ近付く、という動作が生じる。

【００５５】前記で説明した以外の動作及び、第二の駆
動軸２の直線運動を、第一の駆動軸４の直線運動のみな
らず、第一の駆動軸４の傾動軸７を中心とした回転運動
に変換させることができるという作用、効果は、前記図
１乃至図３の実施例で説明したものと同一である。

【００５６】図４図示のように、傾斜体１７を第一の駆
動軸４と第二の駆動軸２との間に、第一の駆動軸４に対
して傾動自在に挟持する構成を採用することによって、
図１乃至図３の実施例では、第二の駆動軸２の傾斜面が
コロ６の表面と転がり接触しつつ、摺動接触する構成に
なっていたが、図４の実施例では、この「転がり接触」
と「摺動接触」とを分離させることができる。更に、比
較的摩耗の大きい「摺動接触」を第二の駆動軸２の傾斜
面と、この傾斜面の形状に対応している傾斜体１７の傾
斜面との面接触にさせることができるので、図１乃至図
３の実施例のものよりも更に耐久性を向上させることが
できる。

【００５７】なお、第二の駆動軸２の傾斜面と傾斜体１
７の傾斜面との間にローラ等を介在させれば、摺動部に
おける摩耗を更に減少させることができる。

【００５８】この図４図示の実施例では、傾斜体１７の
上端側と下端側を、それぞれ、引張ばね５ａ、５ｂによ
って第一の駆動軸４に接続している。前記のように、弁
の開閉動作の際に、鋼球１８を支点として傾斜体１７が
傾動し、傾斜体１７の上端１７ａ、下端１７ｂが第一の
駆動軸４側へ近付きあるいは第一の駆動軸４から遠ざか
るので、引張ばね５ａ、５ｂは、この時に縮みあるいは
伸びる部材であれば十分であるので、引張ばね以外の弾
性部材を採用することもできる。

【００５９】なお、傾斜体１７は、第一の駆動軸４と、
引張ばね５の働きによって当該第一の駆動軸４側に引き
寄せられている第二の駆動軸２との間に挟持されている
ので、引張ばね５ａ、５ｂを用いない構成にしても、前
記で説明した鋼球１８を支点とする傾斜体１７の傾動運
動には支障がなく、引張ばね５ａ、５ｂを用いない構成
にすることも可能である。

【００６０】図４、図５の構成を採用するゲートバルブ
の動作、作用、効果は、前記図１乃至図３を用いて説明
した場合と同一につき、説明を省略する。

【００６１】図６は、この発明の更に他の実施例で、駆
動体１を２個に増やしてガイドシャフト９の両側に移動
させ、前記２個の駆動体１の第二の駆動軸２を連結体２
０で連結し、該連結体２０の中央部に、弁箱１３方向に
向けてテーパー状に傾斜する傾斜面を設けて動作させる
ようにし、全体のコンパクト化を図ったものである。図
６の実施例におけるゲートバルブの動作、作用、効果
は、前記図１乃至図３を用いて説明した場合と同一につ
き、説明を省略する。

【００６２】

【実施例２】図７、図８を用いてこの発明の他の好まし
い実施例を説明する。

【００６３】この実施例２で説明する本発明のゲートバ
ルブの基本的な構成は、実施例１で説明したものと同一
であるので、同一の作用、機能を果たす同一の部材につ
いては、図面中において、実施例１の説明で用いたのと
同一の参照符号を用い、それらの部材、作用、機能の説
明は省略する。

【００６４】図７、図８に表した本発明の実施例は、前
記実施例１において図１、図２を用いて説明したゲート
バルブに更なる改良を加えたものであり、図７図示の状
態は、実施例１の図１、図８図示の状態は、実施例１の
図２図示の状態にそれぞれ対応している。

【００６５】図７、図８図示の実施例においては、第二
の駆動軸２の突部３ａから第二の駆動軸２の他端３ｂに
向けて図１、図２図示の実施例のように、ただちにテー
パー状に傾斜する傾斜面とされているのではなく、突部
３ａから他端３ｂ方向に向けて、まず第一の駆動軸４の
第二の駆動軸２側の側面に平行な平行面３ｃが形成さ
れ、この平行面３ｃに連続して、他端３ｂに向けてテー
パー状に傾斜する傾斜面が形成されている点において、
図１、図２図示の実施例と相違している。

【００６６】前記以外の構成は、実施例１の図１、図２
図示の実施例と同一であり、それらによって発揮される
作用、効果も前記実施例１で説明した通りである。この
図７、図８図示の実施例においては、前述した実施例１
の図１、図２図示の構成との相違点があることによっ
て、更に、以下のような優れた作用、効果が発揮され
る。 本実施例においては、第二の駆動軸２を矢示２１
方向に移動させ、弁体１２によって弁箱１３の開口部１
４を閉じている間に、第一の駆動軸のコロ６は、図１図
示の実施例１の場合とは異なり、第二の駆動軸２の平行
面３ｃと接触しているので（図７）、弁体１２による開
口部１４の閉鎖を安定的に続行することができる。すな
わち、弁体１２によって弁箱１３の開口部１４を閉鎖し
ている場合であって、第二の駆動軸２が矢示２１と反対
の方向に移動してしまった時、例えば、エアシリンダで
構成されている駆動体１への圧縮空気の供給等がなくな
ってしまって、弁体１２によって弁箱１３の開口部１４
を閉じていなければならない場合であるにもかかわら
ず、第二の駆動軸２が矢示２１と反対の方向に移動して
しまった時、図７図示のように、第一の駆動軸４のコロ
６は、第二の駆動軸２の平行面３ｃと接触しているの
で、常に同一の垂直方向の位置において、矢示２２方向
の力を第二の駆動軸２の平行面３ｃから受け、これによ
って、安定的に弁体１２による開口部１４の閉鎖を続行
することができるのである。

【００６７】図９図示の実施例は、実施例１における図
５図示の実施例に対応するものである。すなわち、図
７、図８で説明した実施例の場合においても、第二の駆
動軸２の平行面３ｃ及び傾斜面と接触する第一の駆動軸
４の面に、なんらかの手段によって湾曲面を形成し、当
該湾曲面の一点、あるいは一本の線でのみ第二の駆動軸
２の平行面３ｃ及び傾斜面と接触させることによって、
両者間の摺動の際の摩擦を小さくさせることができる。

【００６８】図１０図示の実施例は、図７、図８図示の
実施例において、平行面３ｃと傾斜面との間に、第一の
駆動軸側に突出する突部３ｄを設けたものである。この
ようにすれば、図７、図８を用いて説明したように、弁
体１２によって弁箱１３の開口部１４を閉じていなけれ
ばならない場合であるにもかかわらず、第二の駆動軸２
が矢示２１と反対の方向に移動してしまった時であって
も、突部３ｄを乗り越えるだけの外力が働かない限り、
弁体１２が弁箱１３の開口部１４から離れることはない
ので、更に信頼性の高いゲートバルブを提供することが
できる。

【００６９】図１１図示の実施例は、図７、図８図示の
実施例に改良を加えたものである。すなわち、第二の駆
動軸２の他端における突部３ａから他端３ｂに向けて連
続的に形成されている平行面３ｃと傾斜面とを有する部
分を、第二の駆動軸２の他端に対して離接可能な傾斜体
３として構成し、傾斜体３を取り付け用ネジ２４、２４
によって第二の駆動軸２の第一の駆動軸４側の側面に離
接可能にすると共に、第一の駆動軸４と反対側から第二
の駆動軸２に挿通させた間隔調節用ネジ２５、２５によ
って、第二の駆動軸２と傾斜体３との間の間隔を調節可
能としたものである。

【００７０】前述した図１１図示の構成を採用すること
によって、弁箱１３の開口部１４を閉鎖している時にお
ける開口部１４に対する弁体１２の押し付け圧力を最適
な圧力に調整することができるので、更に、閉鎖状態を
安定的に維持できる信頼性の高いゲートバルブを提供す
ることができる。

【００７１】図１２図示の実施例は、図１１図示の実施
例の改良型であって、図７、図８図示の実施例に対する
図１０図示の実施例に対応するものである。すなわち、
平行面３ｃと傾斜面との間に突部３ｄを設けることによ
って、更に、閉鎖状態についての信頼性の高いゲートバ
ルブを提供するものである。

【００７２】なお、この図１２図示の実施例では、図１
１図示の実施例とは異なり、間隔調節用のネジ２５、２
５を用いず、間隔を調節するためにスペーサ２６を第二
の駆動軸２と傾斜体３との間に介在させる構成を採用し
ているが、第二の駆動軸２と傾斜体３との間の間隔を調
整可能とする機構としては、弁箱１３の開口部１４を閉
鎖している時における開口部１４に対する弁体１２の押
し付け圧力を最適な圧力に調整することができるもので
あれば、間隔調節用のネジ２５、間隔調節用のスペーサ
２６に限らず、これら以外の構成部材を採用することも
できる。

【００７３】また、前記のように取り付け用ネジ２４、
２４を採用する構成のみならず、傾斜体３を第二の駆動
軸２に離接可能にできるならば、種々の構成を採用する
ことができる。

【００７４】図１３図示の実施例は、実施例１における
図６図示の実施例に対応するものである。すなわち、駆
動体１を２個に増やしてガイドシャフト９の両側に移動
させ、前記２個の駆動体１の第二の駆動軸２を第一の連
結体２７で連結すると共に、図７乃至図１２の実施例で
説明してきた平行面３ｃとこれに連設されて弁箱１３方
向に傾斜する傾斜面とを有する部分を、前記第一の連結
体２７の中央部に固定し、一方、両側のガイドシャフト
９はその上部で第二の連結体２８によって連結し、前記
第一の連結体２７も当該ガイドシャフト９でガイドする
ように動作させ、全体のコンパクト化を図ったものであ
る。

【００７５】この図１３図示の実施例によれば、装置全
体のコンパクト化が図られるのみならず、弁体１２を弁
箱１３の開口部１４に押し付けて閉鎖状態に保とうとす
る力をガイドシャフト９で受けることができるので、図
７乃至図１２で説明した実施例と異なり、第二の駆動軸
２にその移動方向（弁箱１３に接近する方向あるいは弁
箱１３から離れる方向）と直角方向に働く力が加わらな
い構造となり、弁体の駆動機構の信頼性がより高いゲー
トバルブを提供することができる。

【００７６】図１３の実施例におけるゲートバルブの動
作、作用、効果は、実施例１及び前記図７乃至図１２を
用いて説明した場合と同一につき、説明を省略する。

【００７７】なお、実施例１のゲートバルブにおいて
も、図６図示の実施例を、この図１３図示のように、連
結体２０も両側のガイドシャフト９でガイドするように
動作させることによって、第二の駆動軸２にその移動方
向と直角方向に働く力が加わらない構造とし、弁体の駆
動機構の信頼性がより高められたゲートバルブを提供す
ることができる。

【００７８】

【発明の効果】この発明のゲートバルブは、コンパクト
で信頼性が高く、かつ発塵の少ないなどの効果がある。
また、弁箱の開口部を閉鎖しているべき間に、弁体の駆
動源たるエアシリンダ等への圧縮空気供給の停止等によ
って弁体の駆動源に不都合が生じ、弁体の駆動源が弁箱
の開口部の閉鎖を維持するように作動し得ない状態が生
じても、弁体による弁箱の開口部の閉鎖を安定的に維持
し続けることができる。従って、半導体製造装置等の様
なウェハーや基板をそれぞれの処理室に通路を介して出
し入れする通路にこの発明のゲートバルブを使用すれ
ば、前記処理室に不純物が混入するのを出来得る限り抑
えられる効果があるとともに、弁体による閉鎖状態を安
定して維持できる効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の実施例のバルブ閉時の縦断側面図。

【図２】同じくバルブ開時の縦断側面図。

【図３】同じくバルブ開時の縦断正面図。

【図４】同じく他の実施例における傾斜面当接部付近の
一部縦断側面図。

【図５】同じく他の実施例における傾斜面当接部付近の
一部縦断側面図。

【図６】同じく駆動体を二つ用いた実施例の縦断正面
図。

【図７】この発明の他の実施例のバルブ閉時の縦断側面
図。

【図８】同じくバルブ開時の縦断側面図。

【図９】同じく他の実施例における傾斜面当接部付近の
一部縦断側面図。

【図１０】同じく他の実施例における傾斜面当接部付近
の一部縦断側面図。

【図１１】同じく他の実施例における傾斜面当接部付近
の一部縦断側面図。

【図１２】同じく他の実施例における傾斜面当接部付近
の一部縦断側面図。

【図１３】同じく駆動体を二つ用いた他の実施例の縦断
正面図。

【符号の説明】

１ 駆動体 ２ 第二の駆動軸 ３ 傾斜体 ３ａ 第二の駆動軸の突部 ３ｂ 第二の駆動軸の傾斜面の下端 ３ｃ 第二の駆動軸の平行面 ３ｄ 平行面と傾斜面との間の突部 ４ 第一の駆動軸 ５ 引張ばね ６ コロ ８ 軸受 ７ 傾動軸 ９ ガイドシャフト １０ 軸受けストッパ １２ 弁体 １３ 弁箱 １４ 弁箱の開口部 １５ ベローズ １６ 第一の駆動軸の掛止部 １８ 鋼球 １９ 半球体 ２４ 取り付け用ネジ ２５ 間隔調節用ネジ ２６ 間隔調節用スペーサ

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 弁箱の内外に伸びる第一の駆動軸であっ
   て、弁箱に対して接近する方向及び離れる方向に移動可
   能に架設され、弁箱外側に備えられた停止手段によっ
   て、弁箱に対して所定間隔にまで接近した時点で移動を
   停止させられる軸受に支承された傾動軸に軸支されてい
   ると共に、ベローズによって前記弁箱に気密に連結さ
   れ、弁箱内に伸びた一端が弁箱の開口部開閉用の弁体に
   連結され、弁箱外に伸びた他端に掛止部を有する第一の
   駆動軸と、 一端に接続された駆動体によって駆動される第二の駆動
   軸であって、前記弁箱の外側に伸びる第一の駆動軸の掛
   止部を有する他端近傍に一端が固定されている弾性部材
   によって前記第一の駆動軸の一側面にその他端側の一側
   面が摺動可能に圧接される第二の駆動軸とで構成され、 第一の駆動軸の一側面に摺動可能に圧接される第二の駆
   動軸の他端側の前記一側面は、前記第一の駆動軸の他端
   の掛止部に係止される突部を前記他端近傍に有し、当該
   突部から第二の駆動軸の他端に向けてテーパー状に傾斜
   する傾斜面に形成されており、第二の駆動軸の他端側の
   前記一側面が当該傾斜面によって前記第一の駆動軸の一
   側面上に設けられている接点上を摺動する時に、第一の
   駆動軸がその傾動軸を中心として回転運動し、その弁箱
   内に伸びた一端に連結されている前記弁体が弁箱の開口
   部に離接することを特徴とするゲートバルブ。
2. 【請求項２】 弁箱の内外に伸びる第一の駆動軸であっ
   て、弁箱に対して接近する方向及び離れる方向に移動可
   能に架設され、弁箱外側に備えられた停止手段によっ
   て、弁箱に対して所定間隔にまで接近した時点で移動を
   停止させられる軸受に支承された傾動軸に軸支されてい
   ると共に、ベローズによって前記弁箱に気密に連結さ
   れ、弁箱内に伸びた一端が弁箱の開口部開閉用の弁体に
   連結され、弁箱外に伸びた他端に掛止部を有する第一の
   駆動軸と、 一端に接続された駆動体によって駆動される第二の駆動
   軸であって、前記弁箱の外側に伸びる第一の駆動軸の掛
   止部を有する他端近傍に一端が固定されている弾性部材
   によって前記第一の駆動軸の一側面にその他端側の一側
   面が摺動可能に圧接される第二の駆動軸とで構成され、 前記第一の駆動軸の一側面は、掛止部を有する他端近傍
   から弁箱方向に向けて前記第二の駆動軸側へ突出する傾
   斜面に形成されており、 当該第一の駆動軸の傾斜面に摺動可能に圧接される第二
   の駆動軸の他端側の前記一側面は、前記第一の駆動軸の
   他端掛止部に係止される突部を前記他端近傍に有すると
   共に、当該係止突部より他端側において前記第一の駆動
   軸の一側面と接触する接点を有し、 前記第一の駆動軸の前記傾斜面が前記第二の駆動軸の一
   側面上に設けられている接点上を摺動する時に、第一の
   駆動軸がその傾動軸を中心として回転運動し、その弁箱
   内に伸びた一端に連結されている前記弁体が弁箱の開口
   部に離接することを特徴とするゲートバルブ。
3. 【請求項３】 弁箱の内外に伸びる第一の駆動軸であっ
   て、弁箱に対して接近する方向及び離れる方向に移動可
   能に架設され、弁箱外側に備えられた停止手段によっ
   て、弁箱に対して所定間隔にまで接近した時点で移動を
   停止させられる軸受に支承された傾動軸に軸支されてい
   ると共に、ベローズによって前記弁箱に気密に連結さ
   れ、弁箱内に伸びた一端が弁箱の開口部開閉用の弁体に
   連結されている第一の駆動軸と、 一端に接続された駆動体によって駆動される第二の駆動
   軸であって、前記弁箱の外側に伸びる第一の駆動軸の他
   端近傍に一端が固定されている弾性部材によって前記第
   一の駆動軸側にその他端側の一側面が引き寄せられる第
   二の駆動軸と、 前記第一の駆動軸の他端側と前記第二の駆動軸の他端側
   との間で、第一の駆動軸との間の接点を支点として第一
   の駆動軸の第二の駆動軸側の側面に対して傾動自在に挟
   持される傾斜体とで構成され、 第二の駆動軸の第一の駆動軸側の側面は、係止突部を第
   二の駆動軸の他端近傍に有し、当該突部から第二の駆動
   軸の他端に向けてテーパー状に傾斜する傾斜面に形成さ
   れていると共に、 傾斜体の第二の駆動軸側の側面は、第二の駆動軸の前記
   一端側の端部に前記第二の駆動軸の係止突部に係合する
   掛止部を有すると共に、当該掛止部のある端側から弁箱
   側の端に向けて、前記第二の駆動軸の傾斜面に対応し
   て、第二の駆動軸側に傾斜する傾斜面に形成され、 第二の駆動軸の傾斜面が前記傾斜体の傾斜面を摺動する
   時に、第一の駆動軸がその傾動軸を中心として回転運動
   し、その弁箱内に伸びた一端に連結されている前記弁体
   が弁箱の開口部に離接することを特徴とするゲートバル
   ブ。
4. 【請求項４】 弁箱の内外に伸びる第一の駆動軸であっ
   て、弁箱に対して接近する方向及び離れる方向に移動可
   能に架設され、弁箱外側に備えられた停止手段によっ
   て、弁箱に対して所定間隔にまで接近した時点で移動を
   停止させられる軸受に支承された傾動軸に軸支されてい
   ると共に、ベローズによって前記弁箱に気密に連結さ
   れ、弁箱内に伸びた一端が弁箱の開口部開閉用の弁体に
   連結され、弁箱外に伸びた他端に掛止部を有する第一の
   駆動軸と、 一端に接続された駆動体によって駆動される第二の駆動
   軸であって、前記弁箱の外側に伸びる第一の駆動軸の掛
   止部を有する他端近傍に一端が固定されている弾性部材
   によって前記第一の駆動軸の一側面にその他端側の一側
   面が摺動可能に圧接される第二の駆動軸とで構成され、 第一の駆動軸の一側面に摺動可能に圧接される第二の駆
   動軸の他端側の前記一側面は、前記第一の駆動軸の他端
   の掛止部に係止される突部を前記他端近傍に有し、当該
   突部から第二の駆動軸の他端に向けて前記第一の駆動軸
   の一側面に平行な平行面と当該平行面に連続して第二の
   駆動軸の他端に向けてテーパー状に傾斜する傾斜面に形
   成されており、第二の駆動軸の他端側の前記一側面が当
   該傾斜面によって前記第一の駆動軸の一側面上に設けら
   れている接点上を摺動する時に、第一の駆動軸がその傾
   動軸を中心として回転運動し、その弁箱内に伸びた一端
   に連結されている前記弁体が弁箱の開口部に離接すると
   共に、第二の駆動軸の他端側の前記一側面が当該平行面
   によって前記第一の駆動軸の一側面上に設けられている
   接点上を摺動する時に、その弁箱内に伸びた一端に連結
   されている前記弁体による前記弁箱の開口の閉鎖が維持
   されることを特徴とするゲートバルブ。
5. 【請求項５】 第二の駆動軸の他端近傍における突部か
   ら第二の駆動軸の他端に向けて形成されている第一の駆
   動軸の一側面に平行な平行面と当該平行面に連続して第
   二の駆動軸の他端に向けてテーパー状に傾斜する傾斜面
   との間に、第一の駆動軸方向に突出する突部が設けられ
   ていることを特徴とする請求項４記載のゲートバルブ。
6. 【請求項６】 第二の駆動軸の他端近傍における突部か
   ら第二の駆動軸の他端に向けて形成されている第一の駆
   動軸の一側面に平行な平行面と当該平行面に連続して第
   二の駆動軸の他端に向けてテーパー状に傾斜する傾斜面
   とからで構成される部分を第二の駆動軸に対して離接可
   能に構成すると共に、当該離接可能な部分と第二の駆動
   軸の第一の駆動軸側面との間の間隔を調整可能とする機
   構を第二の駆動軸の他端側に設けたことを特徴とする請
   求項４又は５記載のゲートバルブ。