JP2000356271A

JP2000356271A - ゲートバルブ

Info

Publication number: JP2000356271A
Application number: JP11167545A
Authority: JP
Inventors: Tsuneo Ishigaki; 恒雄石垣; Kenji Waratani; 健二藁谷; Ikuo Kamisaka; 育男神坂
Original assignee: SMC Corp
Current assignee: SMC Corp
Priority date: 1999-06-14
Filing date: 1999-06-14
Publication date: 2000-12-26

Abstract

(57)【要約】【課題】ガイド手段を不要とすることにより部品点数を
削減して製造コストを低減し、しかも、塵埃等の発生を
抑制することにより清浄性が要求される環境で好適に使
用できることにある。【解決手段】ピストンロッド６４に連結されて昇降自在
なレバー部材７８と、前記レバー部材７８と一体的に上
下動するとともに、変位終端において支持ローラ４６を
支点として傾動自在に設けられた変位部材８０と、前記
レバー部材７８と変位部材８０との間に介装されたばね
部材８４と、前記レバー部材７８の側面に係止されたピ
ン部材９４と、前記変位部材８０の側面に形成され前記
ピン部材９４が係合する係合用溝部９６とを設ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、集積回路
（ＩＣ）やその部品等のワークを一方の真空処理室から
他方の真空処理室に移送する移送通路、または、圧力流
体、気体等の流通通路もしくは排気通路等を開閉するこ
とが可能なゲートバルブに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来から、例えば、半導体ウェハや液晶
基板等の処理装置においては、半導体ウェハや液晶基板
等を種々の処理室に通路を介して出し入れすることが行
われており、前記通路には、それぞれ、該通路を開閉す
るゲートバルブが設けられている。

【０００３】このゲートバルブは、例えば、特許第２６
１３１７１号公報（米国特許第５４１５３７６号、米国
特許第５６４１１４９号）に示されるように、シリンダ
の駆動作用下に変位する弁ロッドの直進運動によって弁
ディスクが弁座の対向位置に到達した後、前記弁ロッド
の傾動運動によって前記弁ディスクが弁座に押し付けら
れて着座することにより、弁箱に形成された通路が閉塞
されるように設けられている。

【０００４】すなわち、従来技術に係る前記ゲートバル
ブ１は、図１５および図１６に示されるように、ワーク
を出し入れする通路２が形成された弁箱３と、前記弁箱
３内に形成された弁座４に着座することにより前記通路
２を閉塞する弁ディスク５と、前記弁ディスク５に連結
されて上下動および傾動自在に設けられた弁ロッド６と
を有する。

【０００５】前記弁ロッド６の上部にはブロック７が連
結され、前記ブロック７の両側面には、一組のシリンダ
８ａ、８ｂのシリンダチューブ９の両側面にそれぞれ形
成されたガイド溝１０（図１７参照）に沿って変位する
枢軸１１が固着され、前記ブロック７は、枢軸１１が係
合するガイド溝１０の案内作用下に上下動および傾動す
るように設けられている。なお、前記シリンダチューブ
９、ブロック７および枢軸１１はそれぞれ金属製材料に
よって形成されている。

【０００６】換言すると、前記ブロック７は、枢軸１１
が係合するガイド溝１０の案内作用下に、引張ばね１２
を介してヨーク１３と一体的に上下方向に沿って直進運
動するとともに、前記ガイド溝１０の湾曲する下端部１
０ａ（図１７参照）によって支持された枢軸１１を支点
として矢印Ａ方向に傾動運動するように設けられてい
る。従って、前記弁ディスク５は、枢軸１１を支点とし
て矢印Ｂ方向に傾動して弁座４に着座することにより、
通路２が気密に閉塞される。

【０００７】なお、参照数字１４は、断面菱形の板状カ
ムを示し、傾斜した前記板状カム１４が略水平に変位す
ることにより、前記ブロック７がガイド溝１０の下端部
１０ａを支点として矢印Ａ方向に傾動するように設けら
れている。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
従来技術に係るゲートバルブでは、シリンダの側面に形
成されたガイド溝に沿ってブロックの枢軸が摺動変位す
るように設けられているため、長年の使用によって前記
枢軸が摩耗して変形してしまい、ガイド機能が低下する
という不具合がある。

【０００９】また、従来技術に係るゲートバルブでは、
弁ブロックの両側に枢軸を設けることにより部品点数が
多くなるとともに、シリンダの側面にガイド溝を切り欠
く工程が必要となり、製造コストが高騰するという不具
合がある。

【００１０】さらに、従来技術に係るゲートバルブで
は、金属製材料からなるシリンダチューブのガイド溝に
沿って金属製材料からなるブロックの枢軸が摺動変位す
ることにより塵埃等が発生する。換言すると、金属製材
料同士の摩擦によってダストが発生することによりクリ
ーンルーム等の清浄性が要求される環境では使用するこ
とができないという不具合がある。

【００１１】本発明は、前記の不具合を考慮してなされ
たものであり、ガイド手段を不要とすることにより部品
点数を削減して製造コストを低減し、しかも、塵埃等の
発生を抑制することにより清浄性が要求される環境で好
適に使用することが可能なゲートバルブを提供すること
を目的とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めに、本発明は、駆動源と、前記駆動源の駆動軸に連結
され、該駆動源の駆動作用下に軸線方向に沿って変位す
る第１変位部材と、前記第１変位部材と一体的に軸線方
向に沿って変位するとともに、軸線方向に沿った変位終
端において支持部材を支点として傾動自在に設けられた
第２変位部材と、前記第２変位部材に連結された弁ロッ
ドを介して通路を開閉する弁ディスクと、前記第１変位
部材と第２変位部材とを変位方向に沿って位置決めした
状態で一体的に保持する位置決め保持手段と、を備える
ことを特徴とする。

【００１３】この場合、前記位置決め保持手段は、第１
変位部材と第２変位部材との間に介装されたばね部材
と、前記第１変位部材の側面に係止されたピン部材と、
前記第２変位部材の側面に形成されピン部材が係合する
係合用溝部とを含み、あるいは第１変位部材と第２変位
部材との間に介装されたばね部材と、一端部が前記第１
変位部材の長孔に遊嵌され、他端部が前記第２変位部材
に固着された連結ピンとを含むように設けると好適であ
る。

【００１４】また、前記駆動源は圧力流体の作用下にピ
ストンおよびピストンロッドを軸線方向に沿って変位さ
せるシリンダ機構からなり、前記シリンダ機構には、前
記ピストンロッドの周方向の回動を阻止する回り止め手
段が設けられると好適である。なお、前記回り止め手段
は、軸線方向に沿って延在するスプライン溝が形成され
たピストンロッドと、前記スプライン溝に沿って転動す
る複数のボールが設けられたスプライン軸受部材とを有
する。

【００１５】さらに、前記支持部材は、第２変位部材の
一端部に回動自在に軸支された一組の支持ローラからな
り、前記支持ローラを、第２変位部材の変位終端位置に
おいて湾曲する凹部に係合するように設けるとよい。

【００１６】さらにまた、前記凹部に支持ローラが当接
したときの衝撃を吸収する第１緩衝部材を設け、また、
ピストンが下死点に到達した際、前記シリンダ機構に前
記ピストンに付与される衝撃を吸収する第２緩衝部材を
設け、しかも、前記ピストンが一方および他方の変位終
端位置に到達した際、弁ロッドの外周面に形成された環
状段部に接触してシールするシール部材を設けると好適
である。

【００１７】本発明によれば、駆動源の駆動作用下に、
位置決め保持手段を介して第１変位部材と第２変位部材
とが変位方向に沿って位置決めされた状態で一体的に軸
線方向に沿って変位する。軸線方向に沿った変位終端位
置に到達した後、第１変位部材を軸線方向に沿ってさら
に変位させることにより、前記第２変位部材は支持部材
を支点として所定角度だけ傾動する。この結果、第２変
位部材に連結された弁ロッドが傾動し、弁ディスクによ
って通路が閉塞される。

【００１８】本発明では、第１変位部材と第２変位部材
とを位置決めした状態で一体的に保持する位置決め保持
手段を設けることにより、ガイド手段を不要としたた
め、部品点数が削減される。

【００１９】

【発明の実施の形態】本発明に係るゲートバルブについ
て好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照しながら
以下詳細に説明する。

【００２０】図１において、参照数字２０は、本発明の
実施の形態に係るゲートバルブを示す。

【００２１】このゲートバルブ２０は、駆動部２２と、
前記駆動部２２の駆動作用下に上下方向に沿って変位す
るとともに、前記上下方向と略直交する方向に傾動する
一組の弁ロッド２４ａ、２４ｂと、前記弁ロッド２４
ａ、２４ｂの一端部に連結された略長方形状の弁ディス
ク２６とを有する。前記弁ロッド２４ａ、２４ｂの一端
側および略中央部の外周面には、それぞれ、環状段部２
７ａ、２７ｂが形成されている（図３参照）。

【００２２】なお、前記駆動部２２の上部側には、図示
しないワークを出し入れするための通路２８が形成され
た弁箱３０が設けられ（図７および図８参照）、前記弁
箱３０の内壁面に形成された弁座３２に前記弁ディスク
２６が着座することにより、前記通路２８が気密に閉塞
される。前記弁ディスク２６には環状溝に沿ってシール
部材３４が装着され、前記シール部材３４によって弁デ
ィスク２６が弁座３２に着座した際の気密性が保持され
る。

【００２３】駆動部２２は、前記弁箱３０の底面にねじ
部材３６（図３参照）を介して固定されたベースプレー
ト３８と、前記ベースプレート３８に装着される有底筒
状のケーシング４０と、前記ケーシング４０内に配設さ
れたシリンダ機構（駆動源）４２とを有する。

【００２４】前記ベースプレート３８には、図２に示さ
れるように、一組の弁ロッド２４ａ、２４ｂを挿通する
ための断面略円形状の一組の貫通孔４４ａ、４４ｂが形
成され、また、その下面部には、後述する支持ローラ
（支持部材）４６を支持するための断面半円状の凹部４
８（図１参照）が形成されている。前記貫通孔４４ａ、
４４ｂの直径は、弁ロッド２４ａ、２４ｂの直径よりも
若干大きく形成され、また該貫通孔４４ａ、４４ｂに
は、弁ロッド２４ａ、２４ｂの所定部分を被覆するベロ
ーズ５０の一端部を保持するリング体５２が嵌合され
る。

【００２５】前記ベローズ５０と弁箱３０との間には、
図９に示されるように、弁ロッド２４ａ、２４ｂの外周
面を囲繞するパッキン（シール部材）５１が挟持され、
前記パッキン５１は、ピストン６０が変位終端位置であ
る上死点または下死点に到達した際、弁ロッド２４ａ、
２４ｂの上部側の環状段部２７ａまたは下部側の環状段
部２７ｂに接触してシール機能を営む。なお、前記パッ
キン５１は、ピストン６０が上死点と下死点との間にあ
るとき、弁ロッド２４ａ、２４ｂの外周面と接触しない
ように設けられているため、摩擦による塵埃の発生が阻
止される。

【００２６】また、前記ベースプレート３８には、図１
０に示されるように、例えば、ウレタン樹脂またはポリ
ウレタン樹脂等の樹脂製材料によって形成された第１緩
衝部材５３が孔部内に装着され、前記第１緩衝部材５３
は金具５５および止め輪５７を介して孔部内に固定され
る。前記第１緩衝部材５３は、支持ローラ４６が凹部４
８に係合する際、前記支持ローラ４６に当接して該支持
ローラ４６の衝撃を吸収する機能を営む。

【００２７】前記シリンダ機構４２は、図３に示される
ように、両側面に外方に向かって突出する凸部５４（図
２参照）が形成され、図示しないねじ部材を介して前記
ベースプレート３８に一端部が固定されるシリンダチュ
ーブ５６と、前記シリンダチューブ５６内のシリンダ室
５８に沿って変位自在に収装されたピストン６０と、一
端部が前記ピストン６０に連結され、外周面に軸線方向
に沿って延在するスプライン溝６２が形成されたピスト
ンロッド６４と、前記シリンダチューブ５６に固定さ
れ、前記ピストンロッド６４のスプライン溝６２に係合
する複数のボール６６が設けられたスプライン軸受部材
６８とを有する。

【００２８】前記ピストン６０の外周面には、該ピスト
ン６０によって二分割された上部側シリンダ室５８ａと
下部側シリンダ室５８ｂとをそれぞれ気密に保持するピ
ストンパッキン７０が装着され、また前記ピストンパッ
キン７０に近接する底面部には、ピストン６０が下死点
に到達した際、前記スプライン軸受部材６８の上端部に
当接し、その衝撃を吸収する第２緩衝部材７２が装着さ
れている。第２緩衝部材７２は、例えば、ウレタン樹
脂、あるいはポリウレタン樹脂等の樹脂製材料によって
形成されると好適である。

【００２９】なお、前記上部側シリンダ室５８ａおよび
下部側シリンダ室５８ｂには、圧力流体供給源（図示せ
ず）に接続された図示しないチューブを介して圧力流体
（例えば、圧縮空気）が供給され、図示しない切換弁の
切換作用下に上部側シリンダ室５８ａまたは下部側シリ
ンダ室５８ｂのいずれか一方に圧力流体が供給される。

【００３０】さらに、駆動部２２は、図２および図３に
示されるように、ロックナット７４およびスペーサ７６
を介してピストンロッド６４の他端部に固定されるレバ
ー部材（第１変位部材）７８と、前記レバー部材７８と
一体的に変位する変位部材（第２変位部材）８０とを有
する。

【００３１】略平行に延在する前記レバー部材７８の両
側面には、横方向に向かって所定長だけ突出する一組の
突出片８２ａ、８２ｂが形成され、前記突出片８２ａ、
８２ｂには、後述するばね部材８４の一端部が係着され
る略円形状の凹部８６が形成されている。前記レバー部
材７８の両側面には略長円状に切り欠かれた長孔８８
ａ、８８ｂがそれぞれ形成され、前記長孔８８ａ、８８
ｂにはピン部材９０を介して変位部材８０に固定された
ローラ９２が係合するように設けられている。

【００３２】さらに、前記レバー部材７８の両側面の上
部側には孔部を介して一組のピン部材９４が嵌着され、
前記ピン部材９４の一端部は、変位部材８０の両側面に
形成された係合用溝部９６に係合するように設けられて
いる。

【００３３】図２および図３に示されるように、変位部
材８０の略平行に延在する両側面には、横方向に向かっ
て所定長だけ突出する一組のフランジ部９８ａ、９８ｂ
が形成されている。前記フランジ部９８ａ、９８ｂに
は、弁ロッド２４ａ、２４ｂの他端部が嵌挿される断面
略円形状の孔部１００が形成され、前記弁ロッド２４
ａ、２４ｂのねじ部に締結されるロックナット１０２を
介して前記弁ロッド２４ａ、２４ｂが変位部材８０に固
定される。

【００３４】前記変位部材８０の一組のフランジ部９８
ａ、９８ｂとレバー部材７８の一組の突出片８２ａ、８
２ｂとの間には、それぞれ、ばね部材８４が介装され、
前記ばね部材８４の一端部は、フランジ部９８ａ、９８
ｂに固定される弁ロッド２４ａ、２４ｂの一端部に係着
され、該ばね部材８４の他端部は、突出片８２ａ、８２
ｂの円形状の凹部８６に係着されている。

【００３５】なお、前記弁ロッド２４ａ、２４ｂの他端
部には、その外周面を被覆するようにベローズ５０が設
けられ、前記ベローズ５０の一端部はベースプレート３
８に保持されたリング体５２に回動自在に連結され、他
端部は弁ロッド２４ａ、２４ｂに外嵌されたリング体１
０４に固着されている。

【００３６】また、変位部材８０の両側面には、レバー
部材７８に係止されたピン部材９４の一端部が係合する
係合用溝部９６がそれぞれ形成されている。前記係合用
溝部９６の下端部９６ａにピン部材９４が係合すること
により、レバー部材７８と変位部材８０とが上下方向お
よび前後方向（図３において、紙面と略直交する方向）
の位置ずれを防止し且つ上下方向に沿って所定間隔離間
した状態で位置決めされ、このように位置決めされた状
態で一体的に上下動する。そして、前記ピン部材９４が
係合用溝部９６の下端部９６ａから離脱して傾斜部９６
ｂ（図２参照）に沿って上昇することにより、弁ディス
ク２６が傾動可能となる。

【００３７】さらに、二股に分岐した変位部材８０の上
部には、一組の支持ローラ４６が回動自在に軸支され、
前記支持ローラ４６は、変位部材８０の変位終端位置に
おいてベースプレート３８の湾曲する凹部４８に挿入さ
れ（図１参照）、前記凹部４８に係合する支持ローラ４
６を支点として、弁ディスク２６、弁シャフト２４ａ、
２４ｂおよび変位部材８０が所定角度θだけ傾動する
（図８参照）。

【００３８】さらにまた、変位部材８０の下部には、ピ
ストンロッド６４が挿通し断面長円状からなる長孔１０
６が形成され、前記変位部材８０が傾動する際、前記ピ
ストンロッド６４が長孔１０６に沿って変位するように
設けられている（図５参照）。

【００３９】本発明の実施の形態に係るゲートバルブ２
０は、基本的には以上のように構成されるものであり、
次にその動作並びに作用効果について説明する。なお、
以下の説明では、ピストン６０がシリンダ室５８の最下
端位置（下死点）にあり、弁箱３０に形成された通路２
８が弁ディスク２６によって閉塞されていない開成状態
を初期位置として説明する。

【００４０】この場合、前記初期位置では、ばね部材８
４の弾発力によってレバー部材７８が下方側に向かって
押圧されているため、レバー部材７８に固着されたピン
部材９４が変位部材８０の係合用溝部９６の下端部９６
ａに保持された状態にある。また、前記初期位置では、
レバー部材７８の両側面に形成された長孔８８ａ、８８
ｂの上部にローラ９２が係合した状態にある。

【００４１】前記初期位置において、圧力流体供給源
（図示せず）から図示しないチューブを介して下部側シ
リンダ室５８ｂに圧力流体を供給する。下部側シリンダ
室５８ｂに供給された圧力流体の作用下にピストン６０
が上昇し、前記ピストン６０に連結されたピストンロッ
ド６４も上昇する。なお、この場合、上部側シリンダ室
５８ａは、図示しない切換弁の作用下に大気開放状態に
あるものとする。

【００４２】前記ピストンロッド６４が上昇することに
より、該ピストンロッド６４とともにレバー部材７８、
変位部材８０、弁ロッド２４ａ、２４ｂおよび弁ディス
ク２６が一体的に上昇する。この場合、レバー部材７８
はばね部材８４の弾発力によって下方側に押圧された状
態にあり、前記レバー部材７８の両側面に固着された一
組のピン部材９４が変位部材８０の係合用溝部９６の下
端部９６ａに保持されることにより、レバー部材７８と
変位部材８０とは、それぞれ、上下方向および前後方向
（図３において、紙面と略直交する方向）の位置ずれを
防止した所定位置に位置決め保持された状態にある。従
って、レバー部材７８および変位部材８０は、前記所定
位置に位置決め保持された状態で一体的に上昇する。

【００４３】ピストンロッド６４が上昇する際、前記ピ
ストンロッド６４に形成されたスプライン溝６２に沿っ
て複数のボール６６が転動して循環するとともに、該ピ
ストンロッド６４はシリンダチューブ５６に固着された
スプライン軸受部材６８によって周方向の回転が阻止さ
れて回り止めがなされている。

【００４４】ピストンロッド６４が上昇して変位部材８
０の一端部がベースプレート３８に当接することにより
前記変位部材８０は変位終端位置に到達し、弁ディスク
２６は、通路２８の開口部に対峙した状態となる（図７
参照）。その際、変位部材８０の上部に設けられた支持
ローラ４６は、ベースプレート３８の湾曲する凹部４８
に係合するとともに、第１緩衝部材５３に当接すること
によりその衝撃が吸収される。

【００４５】変位部材８０が変位終端位置に到達した
後、ピストンロッド６４がさらに上昇することにより、
該変位部材８０は、レバー部材７８の長孔８８ａ、８８
ｂに対するローラ９２の係合作用下に、凹部４８に係合
する支持ローラ４６を支点として所定角度θだけ傾動
し、弁ディスク２６が弁座３２に着座することにより通
路２８が閉塞される（図８参照）。

【００４６】すなわち、変位部材８０が変位終端位置に
到達した後、ばね部材８４の弾発力に抗してピストンロ
ッド６４をさらに上昇させることによりレバー部材７８
のみが上昇し、その際、変位部材８０は、レバー部材７
８の両側面に形成された長孔８８ａ、８８ｂに対するロ
ーラ９２の係合作用下に、支持ローラ４６を支点として
所定角度θだけ傾動する（図８参照）。なお、変位部材
８０が支持ローラ４６を支点として傾動する際、レバー
部材７８の両側面に固着されたピン部材９４は、変位部
材８０の係合用溝部９６の下端部９６ａから離脱して傾
斜部９６ｂに沿って上昇する。

【００４７】従って、弁ロッド２４ａ、２４ｂを介して
変位部材８０に固定された弁ディスク２６は、前記変位
部材８０が所定角度θだけ傾動することにより、通路２
８から所定間隔離間して対峙した状態から通路２８側に
向かって略水平に変位する。この結果、弁ディスク２６
に設けられたシール部材３４が弁座３２に着座して通路
２８が気密に閉塞される。

【００４８】次に、弁ディスク２６を弁座３２から離間
させて通路２８を開成する場合には、図示しない切換弁
の切換作用下に上部側シリンダ室５８ａに圧力流体を供
給することによりピストン６０が下降し、ピストンロッ
ド６４、レバー部材７８および変位部材８０が一体的に
下降することにより、初期位置に復帰する。なお、この
場合、下部側シリンダ室５８ｂは、図示しない切換弁の
作用下に大気開放状態にある。

【００４９】すなわち、変位部材８０が長孔８８ａ、８
８ｂに対するローラ９２の係合作用下に前記とは反対方
向に向かって所定角度θだけ傾動した後、ピストンロッ
ド６４と一体的にレバー部材７８および変位部材８０が
下降することにより初期位置に復帰する。その際、ピス
トン６０の底面部に設けられた第２緩衝部材７２によっ
て該ピストン６０が下死点に到達したときの衝撃が吸収
される。なお、ピストン６０が下降するとき、ばね部材
８４の弾発力によってレバー部材７８が下方側に向かっ
て押圧されるため、上部側シリンダ室５８ａに供給され
る圧力流体の流量を抑制することができる。

【００５０】本実施の形態では、レバー部材７８の両側
面に固着されたピン部材９４を変位部材８０の係合用溝
部９６に係合させることにより、前記レバー部材７８と
前記変位部材８０とを上下方向および前後方向に位置ず
れがない所定位置に位置決めした状態で保持し、両者が
一体的に上下動するように設けられている。従って、本
実施の形態では、レバー部材７８および変位部材８０を
上下動させる際に前記レバー部材７８および変位部材８
０を案内するガイド手段が不要となり、従来技術と比較
して部品点数を削減して製造コストを低減することがで
きる。

【００５１】また、本実施の形態では、従来技術のよう
にシリンダチューブ９の側面にガイド溝１０（図１４参
照）を切り欠く工程を省略することにより、製造工程を
簡素化して製造コストを低減することができる。

【００５２】さらに、本実施の形態では、従来技術のよ
うにガイド溝に沿って摺動変位する際に塵埃等を発生さ
せるガイド手段を設けていないため、塵埃等の発生を抑
制することにより、例えば、クリーンルーム等の清浄性
が要求される環境で好適に使用することができる。

【００５３】次に、本発明の他の実施の形態に係るゲー
トバルブ１１０を図１１乃至図１４に示す。なお、図１
に示す前記の実施の形態に係るゲートバルブ２０と同一
の構成要素には同一の参照符号を付し、その詳細な説明
を省略する。

【００５４】この他の実施の形態に係るゲートバルブ１
１０では、前記実施の形態に係るゲートバルブ２０を構
成するレバー部材７８に固着されたピン部材９４と変位
部材８０の両側面に形成された係合用溝部９６とに代替
して、前記レバー部材７８および変位部材８０をそれぞ
れ位置決めした状態で一体的に保持する一組の連結ピン
１１２ａ、１１２ｂが設けられている点に特徴がある。

【００５５】前記一組の連結ピン１１２ａ、１１２ｂ
は、それぞれ、一端部が変位部材８０の底面部にねじ締
結されて固定され、他端部がレバー部材７８の長孔１１
４内にクリアランスを介して遊嵌されている。従って、
連結ピン１１２ａ、１１２ｂの他端部は、長孔１１４に
沿って変位自在に設けられている。また、断面テーパ状
に形成された前記連結ピン１１２ａ、１１２ｂの頭部
は、長孔１１４に形成されたテーパ部１１６によって係
止されるように設けられている。

【００５６】この場合、レバー部材７８はばね部材８４
の弾発力によって下方側に押圧された状態にあり、前記
レバー部材７８の底面に固着された一組の連結ピン１１
２ａ、１１２ｂの頭部が変位部材８０の長孔１１４のテ
ーパ部１１６に係止されることにより、レバー部材７８
と変位部材８０とが共に位置決めされた状態で保持され
る。従って、レバー部材７８および変位部材８０は、前
記位置決め保持された状態で一体的に上下動する。

【００５７】なお、変位部材８０が変位終端位置に到達
した後、レバー部材７８はばね部材８４の弾発力に抗し
てさらに上昇し、その際、連結ピン１１２ａ、１１２ｂ
の頭部がレバー部材７８の長孔１１４から抜け出して突
出することにより、変位部材８０は支持ローラ４６を支
点として所定角度θだけ傾動する（図１４参照）。

【００５８】他の実施の形態では、一組の連結ピン１１
２ａ、１１２ｂという簡素な構造によってレバー部材７
８と変位部材８０とを上下方向等に沿った所定位置に位
置決めした状態で保持することができ、より一層製造コ
ストを低減することができる。

【００５９】その他の構成並びに作用効果は、前記実施
の形態と同一であるため、その詳細な説明を省略する。

【００６０】なお、本発明の実施の形態では、駆動源と
して圧力流体の作用下にピストン６０およびピストンロ
ッド６４を一体的に変位させるシリンダ機構４２を用い
て説明しているが、これに限定されるものではなく、前
記駆動源として、例えば、図示しないリニアアクチュエ
ータ、回転駆動源または電動アクチュエータ等を用いて
もよいことは勿論である。

【００６１】

【発明の効果】本発明によれば、以下の効果が得られ
る。

【００６２】すなわち、第１変位部材と第２変位部材と
を位置決めした状態で一体的に保持する位置決め保持手
段を設けることにより、ガイド手段を不要としたため、
部品点数を削減して製造コストを低減することができ
る。

【００６３】また、ガイド溝を切り欠く工程を省略する
ことができることから、製造工程が簡素化され、より一
層製造コストを低減することができる。

【００６４】さらに、塵埃の発生を抑制することによ
り、クリーンルーム等の清浄性が要求される環境で好適
に使用することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態に係るゲートバルブの概略
斜視図である。

【図２】図１に示すゲートバルブの分解斜視図である。

【図３】前記ゲートバルブの軸線方向に沿った縦断面図
である。

【図４】図３のＩＶ−ＩＶ線に沿った横断面図である。

【図５】図３のＶ−Ｖ線に沿った横断面図である。

【図６】図３のＶＩ−ＶＩ線に沿った横断面図である。

【図７】図３のＶＩＩ−ＶＩＩ線に沿った縦断面図であ
る。

【図８】図７に示す状態から弁ロッドが角度θだけ傾動
して弁ディスクが弁座に着座した状態を示す縦断面図で
ある。

【図９】弁ロッドをシールするパッキンを示す部分拡大
縦断面図である。

【図１０】軸線と略直交する方向に沿ったベースプレー
トの縦断面図である。

【図１１】本発明の他の実施の形態に係るゲートバルブ
の軸線方向に沿った縦断面図である。

【図１２】図１１のＸＩＩ−ＸＩＩ線に沿った縦断面図
である。

【図１３】図１１のＸＩＩＩ−ＸＩＩＩ線に沿った横断
面図である。

【図１４】図１２に示す状態から弁ロッドが角度θだけ
傾動して弁ディスクが弁座に着座した状態を示す縦断面
図である。

【図１５】従来技術に係るゲートバルブの軸線方向に沿
った縦断面図である。

【図１６】図１５に示すゲートバルブの軸線方向に沿っ
た縦断面図である。

【図１７】図１５に示すゲートバルブを構成するシリン
ダチューブの斜視図である。

【符号の説明】

２０、１１０…ゲートバルブ２２…駆動部２４ａ、２４ｂ…弁ロッド２６…弁ディスク２８…通路３０…弁箱３２…弁座３８…ベースプレー
ト４０…ケーシング４２…シリンダ機構４４ａ、４４ｂ…貫通孔４６…支持ローラ４８、８６…凹部５０…ベローズ５１…パッキン５３、７２…緩衝部
材５６…シリンダチューブ５８、５８ａ、５８
ｂ…シリンダ室６０…ピストン６２…スプライン溝６４…ピストンロッド６６…ボール６８…スプライン軸受部材７０…ピストンパッ
キン７８…レバー部材８０…変位部材８２ａ、８２ｂ…突出片８４…ばね部材８８ａ、８８ｂ、１０６、１１４…長孔９０、９４…ピン部材９２…ローラ９６…係合用溝部９８ａ、９８ｂ…フ
ランジ部１１２ａ、１１２ｂ…連結ピン１１６…テーパ部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者神坂育男茨城県筑波郡谷和原村絹の台４−２−２エスエムシー株式会社筑波技術センター内Ｆターム(参考） 3H053 AA02 AA22 AA25 AA26 AA31 BD01 BD03 DA09 3H056 AA05 BB22 BB32 BB33 BB38 BB41 CA01 CB02 CD04 GG02 GG14 3H063 AA04 BB22 BB32 BB33 BB39 BB41 DA15 DB24 GG02 GG15 3H066 AA03 BA12 BA17 BA18 BA19

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】駆動源と、前記駆動源の駆動軸に連結され、該駆動源の駆動作用下
に軸線方向に沿って変位する第１変位部材と、前記第１変位部材と一体的に軸線方向に沿って変位する
とともに、軸線方向に沿った変位終端において支持部材
を支点として傾動自在に設けられた第２変位部材と、前記第２変位部材に連結された弁ロッドを介して通路を
開閉する弁ディスクと、前記第１変位部材と第２変位部材とを変位方向に沿って
位置決めした状態で一体的に保持する位置決め保持手段
と、を備えることを特徴とするゲートバルブ。
【請求項２】請求項１記載のゲートバルブにおいて、前記位置決め保持手段は、第１変位部材と第２変位部材
との間に介装されたばね部材と、前記第１変位部材の側
面に係止されたピン部材と、前記第２変位部材の側面に
形成されピン部材が係合する係合用溝部とを含むことを
特徴とするゲートバルブ。
【請求項３】請求項１記載のゲートバルブにおいて、前記位置決め保持手段は、第１変位部材と第２変位部材
との間に介装されたばね部材と、一端部が前記第１変位
部材の長孔に遊嵌され、他端部が前記第２変位部材に固
着された連結ピンとを含むことを特徴とするゲートバル
ブ。
【請求項４】請求項１乃至３のいずれか１項に記載のゲ
ートバルブにおいて、前記駆動源は圧力流体の作用下にピストンおよびピスト
ンロッドを軸線方向に沿って変位させるシリンダ機構か
らなり、前記シリンダ機構には、前記ピストンロッドの
周方向の回動を阻止する回り止め手段が設けられること
を特徴とするゲートバルブ。
【請求項５】請求項４記載のゲートバルブにおいて、前記回り止め手段は、軸線方向に沿って延在するスプラ
イン溝が形成されたピストンロッドと、前記スプライン
溝に沿って転動する複数のボールが設けられたスプライ
ン軸受部材とを有することを特徴とするゲートバルブ。
【請求項６】請求項１記載のゲートバルブにおいて、前記支持部材は、第２変位部材の一端部に回動自在に軸
支された一組の支持ローラからなり、前記支持ローラ
は、第２変位部材の変位終端位置において湾曲する凹部
に係合するように設けられていることを特徴とするゲー
トバルブ。
【請求項７】請求項６記載のゲートバルブにおいて、前記凹部には、支持ローラが当接したときの衝撃を吸収
する第１緩衝部材が設けられていることを特徴とするゲ
ートバルブ。
【請求項８】請求項４記載のゲートバルブにおいて、前記シリンダ機構には、ピストンが下死点に到達した
際、前記ピストンに付与される衝撃を吸収する第２緩衝
部材が設けられることを特徴とするゲートバルブ。
【請求項９】請求項４記載のゲートバルブにおいて、前記ピストンが一方および他方の変位終端位置に到達し
た際、弁ロッドの外周面に形成された環状段部に接触し
てシールするシール部材が設けられることを特徴とする
ゲートバルブ。