JP2018525581A - 両方向ゲートバルブ - Google Patents

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Abstract

両方向ゲートバルブ1は、第1、2移動孔110、120が形成されたバルブハウジング100内にあり、移動孔110、120を開閉させるブレード200と、
ブレード200の下部に結合するシャフト300と、
シャフト300が挿入される第1シリンダ410と、第1シリンダ410内部の圧力変化でシャフト300を上下移動させる第1ピストン420と、ブレード200を水平移動させる水平移動ガイドローラ430、430’とを具備する第1駆動ブロック400と、
両内側面に水平移動ガイドローラ430、430’が挿入され上下移動によって前記ブレード200を水平移動させる水平移動ガイド溝510、510’を有する第2駆動ブロック500と、
圧力変化によって第2駆動ブロック500を上下移動させる第2ピストン611を含む第1停止部610と、第2ピストン611の下方移動を制限する上下移動可能な移動制限部材621を含む第2停止部620とを含む第3駆動ブロック600と、
第1、2、3駆動ブロック400、500、600を収容する本体ブラケット700と、を有する。

Description

本発明は、両方向ゲートバルブに関し、前面と後面が開口した第1、第2移動孔110、120が形成されたバルブハウジング100内部に設置され、それぞれの移動孔110、120を開閉させるブレード200と、
ブレード200の下部に結合するシャフト300と、
バルブハウジング100の下部に設置され、シャフト300が挿入される第1シリンダ410と、第1シリンダ410内部に設置され、シャフト300の下部と結合して、第1シリンダ410内部の圧力変化によって、シャフト300を上下方向に移動させる第1ピストン420と、その両外側面にブレード200の水平移動をガイドする水平移動ガイドローラ430、430’とをそれぞれ具備する第1駆動ブロック400と、
第1駆動ブロック400の下部に上下方向に移動可能に結合し、その両内側面に、水平移動ガイドローラ430、430’がそれぞれ挿入されて、上下移動により、ブレード200の水平方向移動を案内する水平移動ガイド溝510、510’がそれぞれ形成される第2駆動ブロック500と、
第2駆動ブロック500下部に形成され、その内部にそれぞれの独立的な空間で形成された第1、第2停止部610、620と、第1停止部610には、第2駆動ブロック500と結合して、第1停止部610内部の圧力変化によって、第2駆動ブロック500を上下方向に移動させる第2ピストン611と、第2停止部620には、上下方向に移動可能に設置し、第2ピストン611の下方向の移動を制限する移動制限部材621が形成される第3駆動ブロック600と、
バルブハウジング100の下部に形成されて、第1、第2、第3駆動ブロック400、500、600を収容する本体ブラケット700と、で構成されることを特徴とする両方向ゲートバルブ1に関する。
一般的に、半導体素子または基板などの高精密製品は、高精度であることが必要なため、高い清浄度と特殊な製造技術が要求される傾向がある。
このような理由で高精密製品は、空気中に含まれた異物との接触を完全に防止することができる真空状態で製造されることが好ましい。
従って、半導体製造装置の真空処理区域の大気からの密閉技術は、高精密製品の品質に無条件に影響する。
このため、高精密製品の製造工程では、一時的に真空環境を必要に応じて作るために、ゲートバルブが使用される。
このようなゲートバルブは、一方向タイプと両方向タイプの2種類に大きく分類され、製造工程の特性に適したタイプが選択されて設置される。
特に、両方向タイプのゲートバルブの場合に、必要に応じ高精密製品の移動空間を閉鎖することができ、また、一方向の移動空間だけを閉鎖するように設定して、一方向の移動空間閉鎖に問題が発生すると、他方向の移動空間を閉鎖するように設定することができ、駆動の継続性を確保することができる。
このような両方向タイプのゲートバルブの中に、特許文献1で開示された「両方向ゲートバルブ」がある。この「両方向ゲートバルブ」は、前面と後面がそれぞれ開口された開口部11、12を具備する真空ハウジング10の内部で上下/前後方向に作動して、各開口部11、12を密閉させる密閉部材110と、
真空ハウジング10の下側部に垂直に連結される第1バルブハウジング20に具備され、密閉部材110の下側に上側を結合するメインシャフト120と、
第1バルブハウジング20に具備され、メインシャフト120の下側に結合するメインシリンダ131と、メインシリンダ131の内部に設置され
メインシリンダ131の内部に供給される圧縮空気の増減によって上昇または下降し、メインシャフト120と連結されるメインピストン132と、を具備するバルブ駆動部130と、
第1バルブハウジング20の下側部に垂直に連結される第2バルブハウジング30の上側部に具備され、第1リンク40を介して、バルブ駆動部130の下側部に結合して、バルブ駆動部130を回動させる第1ムービングユニット140と、
第2バルブハウジング30の上側部に具備され、第2リンク50を介して、バルブ駆動部130の下側部に結合して、バルブ駆動部130を回動させる第2ムービングユニット150と、
第2バルブハウジング30の下側部に具備され、第1ムービングユニット140の下側部に連結されて上下運動する第1ピストンシャフト161と、第1ピストンシャフト161が挟まれて上下運動する第1ピストン162を具備した第1回転駆動部160と、
第2バルブハウジング30の下側部に具備し、第2ムービングユニット150の下側部に連結されて上下運動する第2ピストンシャフト171と第2ピストンシャフト171が挟まれて上下運動する第2ピストン172を具備する第2回転駆動部170と、そして、
第2バルブハウジング30の下側部に具備され、第1回転駆動部160と第2回転駆動部170の第1ピストン162と第2ピストン172がそれぞれ圧縮空気の増減によって、上昇または下降するようにする第1及び第2バルブ駆動部180、190と、を含む。
第1ムービングユニット140と第2ムービングユニット150は、第2バルブハウジング30の上側部前面と後面にそれぞれ設置する第1/第2ガイドパネル141、151に沿って、それぞれガイドされて、第1リンク40と第2リンク50を介して、バルブ駆動部130の回動のための上下運動を容易にする第1/第2ガイドベアリング142、152を含み、第1回転駆動部160と第2回転駆動部170は、第1/第2ピストンシャフト161、171と第1/第2ピストン162、172のほかに、第2バルブハウジング30の下側部に具備される第1/第2ピストンシャフト161、171が第1/第2バルブ駆動部180、190によって昇降動作する時に、圧縮空気の密度によって回転することを防止する回転防止用ブッシング163（未図示）を含み、回転防止用ブッシング163（未図示）は、第2バルブハウジング30の内部に位置して、第1/第2ピストンシャフト161、171の長さ方向に形成されるガイド溝161a（未図示）に挟まれてガイドされるブッシングガイドベアリング163a（未図示）で構成され、ガイドベアリングに大きな応力が集中することを防止して、ガイドベアリングが磨耗または破損することを防止することができるという長所があった。
しかし、特許文献1の「両方向ゲートバルブ」は、密閉部材110を水平移動させるために、同一の平面内に第1/第2リンク40、50としてそれぞれ具備された並列タイプのリンク構造で構成されることにより、シリンダの役割をする第1/第2回転駆動部160、170及び第1/第2バルブ駆動部180、190の圧力が直列タイプシリンダの圧力より小さいため、密閉部材110の密閉精度が低下する等の、密閉部材の水平移動の時に機械的な欠陥が発生することがあるという問題があった。
また、同一の平面内に第1/第2リンク40、50を設置することにより、第1/第2バルブハウジング20、30の幅が相対的に増加することにより、コンパクトに製作することができず、大きな空間的制約を受けるという問題があった。
大韓民国登録特許公報第10-1258240号
本発明は上述した問題点を解決するために創作されたもので、本発明の目的は、ブレードを水平移動させるために駆動力を提供するシリンダの役割をする前記第1、第2停止部を直列タイプで形成することにより、並列タイプのリンク構造より高い圧力を提供することができ、前記ブレードの密閉精度を改善し、第1、第2移動孔の高い密閉性を確保することができる両方向ゲートバルブを提供することである。
また、直列タイプの構造によって、幅が相対的に縮小され、コンパクトに製作することができるので、空間的制約が小さい両方向ゲートバルブを提供することができる。
前述のような問題点を解決するために、本発明に係る両方向ゲートバルブは、
前面と後面に開口した第1、第2移動孔110、120が、それぞれ形成されたバルブハウジング100の内部に設置され、移動孔110、120をそれぞれ開閉させるブレード200と、
ブレード200の下部に結合するシャフト300と、
バルブハウジング100の下部に設置され、シャフト300が挿入される第1シリンダ410と、
第1シリンダ410の内部に設置され、シャフト300の下部と結合して、第1シリンダ410内部の圧力変化によって、シャフト300を上下方向に移動させる第1ピストン420と、第1ピストン420の両外側面にブレード200の水平移動をガイドする水平移動ガイドローラ430、430’と、をそれぞれ具備する第1駆動ブロック400と、
第1駆動ブロック400の下部に上下移動可能に結合し、両内側面に水平移動ガイドローラ430、430’がそれぞれ挿入されて、上下方向の移動によってブレード200の水平方向移動を案内する水平移動ガイド溝510、510’がそれぞれ形成された第2駆動ブロック500と、
第2駆動ブロック500の下部に形成され、内部にそれぞれの独立した空間で形成された第1、第2停止部610、620と、前記第1停止部（610）には、前記第2駆動ブロック（500）と結合して、前記第1停止部（610）内部の圧力変化によって、前記第2駆動ブロック（500）を上下移動させる第2ピストン（611）と、前記第2停止部（620）には、上下移動可能に設置され、第2ピストン（611）の下方向の移動を制限する移動制限部材（621）が形成された第3駆動ブロック600と、
バルブハウジング100の下部に形成されて、第1、第2、第3駆動ブロック400、500、600を収容する本体ブラケット700と、を含むことを特徴とする。
また、水平移動ガイド溝510、510’の下部には、バルブハウジング100の前面方向に陥没し形成される第2移動孔閉鎖案内部511、511’がそれぞれ形成され、水平移動ガイド溝510、510’の上部には、バルブハウジング100の後面方向に陥没し形成される第1移動孔閉鎖案内部512、512’がそれぞれ構成され、第1、第2移動孔閉鎖案内部511、511`、512、512’の境界面には、シャフト300が垂直状態を維持するように垂直維持部513、513’がそれぞれ構成されて、第2駆動ブロック500の上下移動によって、第2移動孔閉鎖案内部511、511’に、水平移動ガイドローラ430、430’が位置すると、ブレード200は、第2移動孔120を閉鎖し、第1移動孔閉鎖案内部512、512’に水平移動ガイドローラ430、430’が位置すると、ブレード200は、第1移動孔110を閉鎖することを特徴とする。
また、第2ピストン611は、第2移動孔閉鎖案内部511、511’から、垂直維持部513、513’間の範囲内で、第2駆動ブロック500の垂直移動をガイドし、移動制限部材612は、第2ピストン611と接触した状態で、垂直維持部513、513’から第1移動孔閉鎖案内部512、
512’間の範囲内で、第２駆動ブロック500の垂直移動をガイドすることを特徴とする。
また、第1シリンダ410の上部に設置され、両側面に第1ガイドローラ441、441’をそれぞれ具備し、内側にはシャフト300の外側面と結合してシャフト300の垂直移動をガイドするためのガイドブロック442を具備するモーションガイドユニット440が形成され、本体ブラケット700の両内側面には、第1ガイドローラ441、441’を挿入するための、第1挿入溝710、710’がそれぞれ形成されて、第2駆動ブロック500の上下移動によって、第1駆動ブロック400が、第1挿入溝710、710’を中心に軸回転することを特徴とする。
また、第2駆動ブロック500の両外側面には、第2駆動ブロック500の上下方向の移動をガイドする第2ガイドローラ520、520’がそれぞれ形成され、本体ブラケット700の両内側面には、第2ガイドローラ520、520’をそれぞれ挿入するための、第2挿入溝720、720’がそれぞれ形成されることを特徴とする。
以上のように、本発明によると、ブレードを水平移動させるために、駆動力を提供するシリンダ役割の第1、第2停止部を直列タイプで形成することにより、並列タイプのリンク構造より高い圧力を提供して、ブレードの密閉精度を改善し、第1、第2移動孔の高い密閉性を確保することができるという長所がある。
さらに、直列タイプの構造によって、幅を相対的に縮小してコンパクトに製作ができるので、空間的制約を小さくすることができるという長所がある。
本発明の好ましい実施例に係る両方向ゲートバルブの全体を示す斜視図である。 本発明の好ましい実施例に係る両方向ゲートバルブの分解図を示す分解斜視図である。 本発明の好ましい実施例に係る両方向ゲートバルブにおいて、本体ハウジング内部に設置される第1、第2、第3駆動ブロックを示す斜視図である。 本発明の好ましい実施例に係る両方向ゲートバルブにおいて、本体ハウジング内部の構成要素間の結合関係を示す斜視図である。 本発明の好ましい実施例に係る両方向ゲートバルブにおいて、第1、第2、第3駆動ブロックが結合した状態を示す組立斜視図である。 本発明の好ましい実施例に係る両方向ゲートバルブの、水平移動ガイド溝を詳細に示す詳細図である。 図７（a）、（b）は、本発明の好ましい実施例に係る両方向ゲートバルブにおいて、第１駆動ブロックの駆動により、ブレードが垂直移動する動作を示す模式図である。 図８（a）、（b）は、本発明の好ましい実施例に係る両方向ゲートバルブにおいて、第２、第３駆動ブロックの駆動により、ブレードが第２移動孔を密閉する動作を示す模式図である。 図９（a）、（b）は、本発明の好ましい実施例に係る両方向ゲートバルブにおいて、第２、第３駆動ブロックの駆動により、ブレードが第１移動孔を密閉する動作を示す模式図である。
以下、添付された図面を参照して、本発明の一実施例に係る両方向ゲートバルブ1を詳細に説明する。まず、図面の中で、同一の構成要素または部品は、できるだけ同一の参照符号で示していることに留意して頂きたい。本発明の説明において、本明細書に関連する公知の機能あるいは構成についての具体的な説明は、本発明の趣旨の説明を曖昧にしないようにするために省略する。
本発明の一実施例に係る両方向ゲートバルブ1は、主に、ブレード200、シャフト300、第1駆動ブロック400、第2駆動ブロック500、第3駆動ブロック600、本体ブラケット700で構成される。
説明に先立って、本発明の詳細で明確な説明のために、図7を基準にして、左側を前面、右側を後面、上下方向の移動を垂直移動、前後方向の移動を水平移動として表現することに留意されたい。
まず、ブレード200について説明する。ブレード200は、図1または2に示すように、バルブハウジング100の内部に設置されて、後述する第1、第2、第3駆動ブロック400、500、600の駆動により垂直移動及び水平移動して、バルブハウジング100の前面と後面にそれぞれ開口された第1、第2移動孔110、120を開閉する役割をする。
次に、シャフト300について説明する。シャフト300は、図2に示すように、上部はブレード200と結合し、下部は第1駆動ブロック400と連結される構成要素として、第1駆動ブロック400の駆動力をブレード200に伝達して、ブレード200が垂直移動できるようにする。
次に、第1駆動ブロック400について説明する。第1駆動ブロック400は、図2または図3に示すように、シャフト300と連結されて、駆動によりシャフト300及びブレード200を垂直移動させ、図8または図9に示すように、ブレード200が上死点に位置した状態で第2、第3駆動ブロック500、600によって水平に移動する場合、前面または後面方向に移動するようにガイドする構成要素として、第1シリンダ410、第1ピストン420、水平移動ガイドローラ430、430’、モーションガイドユニット440、固定ブラケット450を含んで構成される。
第1シリンダ410は、その内側にシャフト300を挿入するための空間が形成され、前記空間の圧力変化により、シャフト300を昇降させることができる。
第1ピストン420は、第1シリンダ410内部に設置され、第1シリンダ410内部に挿入されたシャフト300と結合する構成要素として、第1シリンダ410内部空間の圧力変化によって、シャフト300を直接的に昇降させる役割をする。
水平移動ガイドローラ430、430’は、第1駆動ブロック400の両外側面に形成される構成要素として、後述する第2駆動ブロック500の水平移動ガイド溝510、510’に挿入されて、第2駆動ブロック500が垂直に移動する場合に、水平移動ガイドローラ430、430’が水平移動ガイド溝510、510’に沿って移動して、ブレード200を前面または後面方向に移動させることができるようにする。
このとき、水平移動ガイドローラ430、430’は、回転可能なローラタイプ、または突出し形成される突起タイプなど、水平移動ガイド溝510、510’に挿入されたときに移動が制限されない、多様な形態で構成することができる。
モーションガイドユニット440は、第1シリンダ410の上部に固定され、シャフト300と連結されて、シャフト300の垂直移動をガイドし、第2、第3駆動ブロック300の駆動により水平移動される第1駆動ブロック300を安定的に移動させる構成要素として、第1ガイドローラ441、441’、ガイドブロック442で構成される。
第1ガイドローラ441、441’は、モーションガイドユニット440の両外側面に形成される構成要素として、後述する本体ブラケット700の第1挿入溝710、710’にそれぞれ挿入され、第1ピストン420によりシャフト300及びブレード200が垂直に移動して上昇した状態で、ブレード200の水平移動のために第2、第3駆動ブロック500、600が駆動する場合、第1挿入溝710、710’を中心に、ブレード200、シャフト300、第1駆動ブロック400が軸回転するようにガイドすることにより、ブレード200が第1移動孔110または第2移動孔120に正確に水平移動することができるようにする。
ガイドブロック442は、モーションガイドユニット440の内部に垂直移動可能に形成される構成要素として、シャフト300の外周面と結合して、シャフト300が垂直移動する時に、シャフト300の正確な垂直移動をガイドする役割をする。
固定ブラケット450は、バルブハウジング100の下部とモーションガイドユニット440の間に固定される構成要素として、第1駆動ブロック400を固定させる役割をする。
一方、図5に示すように、固定ブラケット450の下部には、ガイドブロック442の上部と連結するベローズ451が形成されることが好ましく、ベローズ451の構成及び機能は、本発明が属する技術分野で広く知られた水準の技術に該当するので、詳細な説明は省略する。
次に、第2駆動ブロック500について説明する。第2駆動ブロック500は、図2、図4、または、図5に示すように、第1駆動ブロック400の下部に垂直移動可能に結合して、ブレード200の水平移動をガイドする構成要素として、水平移動ガイド溝510、510’、第2ガイドローラ520、520’を含む。
水平移動ガイド溝510、510’は、第2駆動ブロック500の両内側面に陥没し形成される構成要素として、第2、第3駆動ブロック500、600が駆動する場合に、水平移動ガイド溝510、510’に挿入された水平移動ガイドローラ430、430’の移動を案内して、ブレード200が前面方向または後面方向に移動できるようにする。
このような機能を遂行するために、図6に示すように、前記水平移動ガイド溝510、510’は、下部に、バルブハウジング100の前面方向に陥没し形成される第2移動孔閉鎖案内部511、511’が形成され、上部に、バルブハウジング100の後面方向に陥没し形成される第1移動孔閉鎖案内部512、512’が形成されて、第1、第2移動孔閉鎖案内部511、511'、512、512’の境界面には、シャフト300が垂直状態を維持するように垂直維持部513、513’が形成されることを特徴とする。
これにより、第3駆動ブロック600の駆動力により作動される第2駆動ブロック500の垂直移動によって、第2移動孔閉鎖案内部511、511’に、水平移動ガイドローラ430、430’が位置すると、ブレード200は、第2移動孔120を閉鎖し、第1移動孔閉鎖案内部512、512’に水平移動ガイドローラ430、430’が位置すると、ブレード200は、第1移動孔110を閉鎖することができる。
第2ガイドローラ520、520’は、第2駆動ブロック500の両外側面に形成される構成要素として、後述する本体ブラケット700の第2挿入溝720、720’に挿入されて、第2駆動ブロック500の正確な垂直移動をガイドする役割をする。
このとき、第2ガイドローラ520、520’は、回転可能なローラタイプまたは突出し形成される突起タイプなどの形態で形成されることが好ましく、第2挿入溝720、720’に挿入されて移動が制限されない、多様な形態で構成することができる。
次に、第3駆動ブロック600について説明する。第3駆動ブロック600は、図2または図4に示すように、第2駆動ブロック500の下部に形成され、第2駆動ブロック500の垂直移動に必要な駆動力を提供する構成要素として、第1停止部610、第2停止部620で構成される。
第1停止部610は、第3駆動ブロック600内部に形成される一種のシリンダとして、内部に第2ピストン611を具備する。
第2ピストン611は、第2駆動ブロック500と連結されて、第1停止部610の圧力の変化によって、第2駆動ブロック500を上下方向に垂直移動させる役割をする。
第2停止部620は、第3駆動ブロック600の内部に、第1停止部610と別個の独立した空間で形成された一種のシリンダとして、内部に移動制限部材612を具備する。
移動制限部材612は、通常は、第2ピストン611が下方向に垂直移動する範囲を制限し、必要な時には、第2停止部620の圧力変化によって、第2ピストン611と接触した状態で下方に垂直移動する一種のピストンの役割をする。
このとき、第2ピストン611は、第2移動孔閉鎖案内部511、511’から、垂直維持部513、513’間の範囲内で、第2駆動ブロック500の垂直移動を可能にし、移動制限部材612は、第2ピストン611と接触した状態で、垂直維持部513、513’から第1移動孔閉鎖案内部512、512’の間の範囲内で、第2駆動ブロック500の垂直移動を可能にする。
一方、第2停止部620の内部の圧力は、第1停止部610の内部の圧力より常に大きく設定することにより、第2ピストン611が意図せず下降することを防止して、両方向ゲートバルブの作動信頼性を確保する。
一方、移動制限部材612は、空気の圧力によって上下方向に移動するピストン以外にも、手動タイプのネジーボルト結合構造などで形成することができる。
以下では、図7〜図9を参照して、本発明の一実施例に係る両方向ゲートバルブ1の作動原理について説明する。
説明に先立って、図7（a）に示すような、各構成要素の状態を確認すると、最初水平移動ガイドローラ430、430’が、垂直維持部513、513’に位置した状態では、第1停止部610の空気圧力は低い状態であり、第2ピストン611は下降状態にあり、移動制限部材621と当接した状態を維持し、第2停止部620の空気圧力は高い状態であり、移動制限部材621が上昇状態にあり、第2ピストン611を支持する状態を維持する。
このような状態で、まず、第1駆動ブロック400の空気圧力を上昇させると、第1ピストン420が上昇する。これにより、ブレード200も一緒に上昇する（図7（b））。
次に、図8（a）に示すように、ブレード200が上昇した状態で、第1停止部610の空気圧力を上昇させると、第2ピストン611が上昇する。これにより、第2駆動ブロック500は上昇する。
第2駆動ブロック500の上昇により、水平移動ガイド溝510、510’の垂直維持部513、513’に位置した水平ガイドローラ430、430’は、水平移動ガイド溝510、510’に沿って、第2移動孔閉鎖案内部511、511’に移動する。
前述のような移動により、ブレード200、シャフト300及び第1駆動ブロック400は、第2挿入溝720、720’を中心に時計回りに回転する。これにより、ブレード200は、後面方向に水平移動して、第2移動孔120を密閉する（図8（b））。
次に、図9（a）に示すように、ブレード200が上昇した状態で、第2停止部620の空気圧力を低下させると、移動制限部材621は下降する。これと同時に、第2ピストン611も下降して、さらに、第2駆動ブロック500も下降する。
第2駆動ブロック500の下降により、水平移動ガイド溝510、510’の垂直維持部513、513’に位置した水平ガイドローラ430、430’は、水平移動ガイド溝510、510’に沿って、前記第1移動孔閉鎖案内部（513、513’）に移動する。
前述のような移動により、ブレード200、シャフト300及び第1駆動ブロック400は、第2挿入溝720、720’を中心に半時計方向に回転する。これにより、ブレード200は、前面方向に水平移動して、第1移動孔110を密閉する（図9（b））。
一方、第1移動孔110及び第2移動孔120の密閉は選択的に一方向または両方向に設定することができ、一方向に設定する場合には、第2ピストン611の駆動だけで作動することが好ましく、必要な時（維持保守または清掃作業等）には、移動制限部材621を駆動して使用することができる。
図面と明細書で最適な実施例を開示した。ここで特定の用語を用いたが、これは単に本発明を説明するための目的で用いたものであり、意味の限定や特許請求の範囲に記載された本発明の範囲を限定するために用いたものではない。従って、当該技術分野の通常の知識を有する者であれば、多様な変形および均等な他の実施例が可能であることを理解すべきである。また、本発明の真の技術的保護範囲は、添付された特許請求の範囲の技術的思想によって定められる。

Claims (5)

  1. 前面と後面が開口して、それぞれ第1、第2移動孔（110、120）が形成されたバルブハウジング（100）の内部に設置され、前記第1、第2移動孔（110、120）を開閉させるブレード（200）と、
    前記ブレード（200）の下部に結合するシャフト（300）と、
    前記バルブハウジング（100）の下部に設置され、前記シャフト（300）が挿入される第1シリンダ（410）と、前記第1シリンダ（410）の内部に設置され、前記シャフト（300）の下部と結合し、前記第1シリンダ（410）内部の圧力変化によって、前記シャフト（300）を上下方向に移動させる第1ピストン（420）と、前記第1ピストン（420）の両外側面に前記ブレード（200）の水平移動をガイドする水平移動ガイドローラ（430、430`）とをそれぞれ具備する第1駆動ブロック（400）と、
    前記第1駆動ブロック（400）の下部に上下方向に移動可能に結合し、前記水平移動ガイドローラ（430、430`）がそれぞれ挿入されて、上下方向の移動によって前記ブレード（200）の水平方向の移動を案内する水平移動ガイド溝（510、510`）が内側面の両側にそれぞれ形成された第2駆動ブロック（500）と、
    前記第2駆動ブロック（500）の下部に形成され、内部にそれぞれの独立した空間として形成された第1、第2停止部（610、620）を有し、前記第1停止部（610）には、前記第2駆動ブロック（500）と結合して、前記第1停止部（610）内部の圧力変化によって前記第2駆動ブロック（500）を上下方向に移動させる第2ピストン（611）を有し、前記第2停止部（620）には、上下方向に移動可能に設置され、前記第2ピストン（611）の下方向の移動を制限する移動制限部材（621）が形成された、第3駆動ブロック（600）と、
    前記バルブハウジング（100）下部に形成されて、前記第1、第2、第3駆動ブロック（400、500、600）を収容する本体ブラケット（700）と、を含む
    ことを特徴とする両方向ゲートバルブ（1）。
  2. 前記水平移動ガイド溝（510、510`）の下部には、前記バルブハウジング（100）の前面方向に陥没し形成される第2移動孔閉鎖案内部（511、511`）がそれぞれ構成され、
    前記水平移動ガイド溝（510、510`）の上部には、前記バルブハウジング（100）の後面方向に陥没し形成される第1移動孔閉鎖案内部（512、512`）がそれぞれ構成され、
    前記第1、第2移動孔閉鎖案内部（511、511`、512、512`）の境界面には、前記シャフト（300）が垂直状態を維持するように垂直維持部（513、513`）がそれぞれ構成されて、
    前記第2駆動ブロック（500）の上下移動によって、前記第2移動孔閉鎖案内部（511、511`）に、前記水平移動ガイドローラ（430、430`）が位置すると、前記ブレード（200）は前記第2移動孔（120）を閉鎖し、前記第1移動孔閉鎖案内部（512、512`）に前記水平移動ガイドローラ（430、430`）が位置すると、前記ブレード（200）は前記第1移動孔（110）を閉鎖することを特徴とする請求項1に記載の両方向ゲートバルブ（1）。
  3. 前記第2ピストン（611）は、前記第2移動孔閉鎖案内部（511、511`）から、前記垂直維持部（513、513`）間の範囲内で、前記第2駆動ブロック（500）の垂直移動をガイドし、
    前記移動制限部材（612）は、前記第2ピストン（611）と接触した状態で、前記垂直維持部（513、513`）から第1移動孔閉鎖案内部（512、512`）間の範囲内で、前記第2駆動ブロック（500）の垂直移動をガイドすることを特徴とする請求項2に記載の両方向ゲートバルブ（1）。
  4. 前記第1シリンダ（410）の上部には、両側面に第1ガイドローラ（441、441`）をそれぞれ具備し、内側には、前記シャフト（300）の外側面と結合して、前記シャフト（300）の垂直移動をガイドするようにガイドブロック（442）を具備するモーションガイドユニット（440）が形成され、
    前記本体ブラケット（700）の両内側面には、前記第1ガイドローラ（441、441`）がそれぞれ挿入されるように、第1挿入溝（710、710`）がそれぞれ形成され、前記第2駆動ブロック（500）の上下移動によって、前記第1駆動ブロック（400）が、前記第1挿入溝（710、710`）を中心に軸回転することを特徴とする請求項3に記載の両方向ゲートバルブ（1）。
  5. 前記第2駆動ブロック（500）の両外側面には、前記第2駆動ブロック（500）の上下移動をガイドする第2ガイドローラ（520、520`）がそれぞれ形成され、
    前記本体ブラケット（700）の両内側面には、それぞれの前記第2ガイドローラ（520、520`）が挿入されるように、第2挿入溝（720、720`）がそれぞれ形成されることを特徴とする請求項4に記載の両方向ゲートバルブ（1）。
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Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6677738B2 (ja) 2015-03-09 2020-04-08 バット ホールディング アーゲー 真空バルブ
TWI705212B (zh) 2016-01-19 2020-09-21 瑞士商Ｖａｔ控股股份有限公司 用於對壁中開口進行真空密封的密封裝置
TWI740981B (zh) 2016-08-22 2021-10-01 瑞士商Ｖａｔ控股股份有限公司 真空閥
KR20200130075A (ko) * 2019-05-07 2020-11-18 이리에 고켕 가부시키가이샤 게이트 밸브
US11749540B2 (en) * 2020-08-21 2023-09-05 Applied Materials, Inc. Dual actuating tilting slit valve

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000356271A (ja) * 1999-06-14 2000-12-26 Smc Corp ゲートバルブ
US6237892B1 (en) * 2000-02-18 2001-05-29 V Tex Corporation Gate valve
JP2004197769A (ja) * 2002-12-16 2004-07-15 Smc Corp ゲートバルブ
JP2005140151A (ja) * 2003-11-04 2005-06-02 Irie Koken Kk ゲート弁
KR101071955B1 (ko) * 2009-05-06 2011-10-11 주식회사 에스알티 게이트 밸브
KR101258240B1 (ko) * 2010-08-03 2013-04-25 주식회사 에스알티 양방향 게이트 밸브
JP2015515591A (ja) * 2012-04-06 2015-05-28 プリシス カンパニー，リミテッド ゲートバルブ

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2766190B2 (ja) * 1994-07-28 1998-06-18 入江工研株式会社 無しゅう動真空ゲートバルブ
JP2000337531A (ja) * 1999-03-19 2000-12-05 Anelva Corp ゲートバルブ
EP1061301B1 (en) * 1999-06-14 2004-07-28 SMC Kabushiki Kaisha Gate valve
KR100714249B1 (ko) * 2007-03-29 2007-05-07 주식회사 에스티에스 구동이 개선된 사각형 진공 게이트 밸브
US7735804B2 (en) * 2007-11-01 2010-06-15 Highlight Tech Corp. Sealing valve
JP5342295B2 (ja) * 2009-03-27 2013-11-13 東京エレクトロン株式会社 ゲートバルブ装置
KR20130098476A (ko) * 2012-02-28 2013-09-05 주식회사 에이티에스엔지니어링 게이트 밸브

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000356271A (ja) * 1999-06-14 2000-12-26 Smc Corp ゲートバルブ
US6237892B1 (en) * 2000-02-18 2001-05-29 V Tex Corporation Gate valve
JP2004197769A (ja) * 2002-12-16 2004-07-15 Smc Corp ゲートバルブ
JP2005140151A (ja) * 2003-11-04 2005-06-02 Irie Koken Kk ゲート弁
KR101071955B1 (ko) * 2009-05-06 2011-10-11 주식회사 에스알티 게이트 밸브
KR101258240B1 (ko) * 2010-08-03 2013-04-25 주식회사 에스알티 양방향 게이트 밸브
JP2015515591A (ja) * 2012-04-06 2015-05-28 プリシス カンパニー，リミテッド ゲートバルブ

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