JP2613171B2 - ゲートバルブ - Google Patents
ゲートバルブInfo
- Publication number
- JP2613171B2 JP2613171B2 JP5342760A JP34276093A JP2613171B2 JP 2613171 B2 JP2613171 B2 JP 2613171B2 JP 5342760 A JP5342760 A JP 5342760A JP 34276093 A JP34276093 A JP 34276093A JP 2613171 B2 JP2613171 B2 JP 2613171B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- valve
- block
- desk
- valve seat
- box
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
- F16K3/02—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor
- F16K3/16—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together
- F16K3/18—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together by movement of the closure members
Description
体ウエハー等の処理装置に用いるゲートバルブに関する
ものである。
においては、ウエハーや基板を種々の処理室に通路を介
して出し入れすることが行われており、上記通路には夫
々ゲートバルブが設けられている。上記の処理室にはで
きるだけ不純物が混入しないようにする必要がある。
昭51−115639号公報や特開昭58−15678
1号公報に示すものがある。このような例においては、
弁デスクを弁座に対して離間した状態で上下動し、弁座
に対向した位置で弁デスクをその側方から押圧すること
によって弁座に対接せしめている。
すように弁箱の外側から挿入された弁ロッドを傾斜させ
ることにより弁デスクを弁座に押圧するようにしたゲー
トバルブ駆動装置も既知である。
前者のゲートバルブでは弁デスクを弁座に押圧するた
め、弁抑え、柱体、スプリング、ストッパー、ローラ等
の多くの機械的可動部分が上記通路内に位置しており、
これらから機械的磨耗等により発生する不純物が上記処
理室内に混入するおそれが多い欠点があった。
ルブを斜めに下向せしめてこれをシール材に当接し閉塞
するものであり、僅かではあるが両者が互いに摺動する
ようになる。従ってシール材の摩耗による通路内の汚染
はまぬがれない。
である。
は、弁箱と、この弁箱内に設けた弁座に対接されるよう
上記弁箱内に配置した弁デスクと、この弁デスクに連結
した、上記弁箱内から弁箱外にベローズを介して上下動
及び傾動自在に気密に突出する弁ロッドと、この弁ロッ
ドを介して上記弁デクスを上記弁座に対向する位置と対
向しない位置に移動自在ならしめ、上記弁デスクが上記
弁座にこれから離間して対向する位置となった後、上記
弁ロッドを傾動して上記弁デスクが上記弁座に押圧され
るようにした、弁箱外部に設けた移動手段とより成り、
上記移動手段が、ピストンシリンダと、このピストンシ
リンダのピストンロッドに連結されたヨークと、上記弁
ロッドの上部に連結されたブロックと、このブロックの
上面に形成した段部と、この段部と対向するよう上記ヨ
ークの下面に形成した段部と、上記両段部間に傾斜して
配置した断面菱形の板状カムと、上記ヨーク及びブロッ
クを軸方向の相対移動を抑制するよう互いに連結するば
ねと、上記ブロックを上下動及び傾動自在にガイドする
ため上記ピストンシリンダの側面に形成したガイドとよ
り成り、上記ブロックが上記ガイドによってガイドされ
る枢軸を有し、この枢軸及びそのガイドが上記弁デスク
に対向する上記弁座の面に対応する線上またはその近傍
に位置し、上記ヨークを上記ブロックに対して接近する
よう押圧した際、上記板状カムが水平状となって上記弁
ロッドが上記ブロックを中心として傾斜し、上記弁デス
クが上記弁座に押圧されるようになることを特徴とす
る。
この弁箱内に設けた弁座に対接されるよう上記弁箱内に
配置した弁デスクと、この弁デスクに連結した、上記弁
箱内から弁箱外にベローズを介して上下動及び傾動自在
に気密に突出する弁ロッドと、この弁ロッドを介して上
記弁デクスを上記弁座に対向する位置と対向しない位置
に移動自在ならしめ、上記弁デスクが上記弁座にこれか
ら離間して対向する位置となった後、上記弁ロッドを傾
動して上記弁デスクが上記弁座に押圧されるようにし
た、弁箱外部に設けた移動手段とより成り、上記移動手
段が、ピストンシリンダと、このピストンシリンダのピ
ストンロッドに連結されたヨークと、上記弁ロッドの上
部に連結されたブロックと、上記ヨークとブロック間に
夫々その端部を回動自在に枢支した傾斜リンクと、上記
ヨーク及びブロックを軸方向の相対移動を抑制するよう
互いに連結するばねと、上記ブロックを上下動及び傾動
自在にガイドするため上記ピストンシリンダの側面に形
成したガイドとより成り、上記ヨークを上記ブロックに
対して接近するよう押圧した際、上記リンクが水平状と
なって上記弁ロッドが上記ブロックを中心として傾斜
し、上記弁デスクが上記弁座に押圧されるようになるこ
とを特徴とする。
この弁箱内に設けた弁座に対接されるよう上記弁箱内に
配置した弁デスクと、この弁デスクに連結した、上記弁
箱内から弁箱外にベローズを介して上下動及び傾動自在
に気密に突出する弁ロッドと、この弁ロッドを介して上
記弁デクスを上記弁座に対向する位置と対向しない位置
に移動自在ならしめ、上記弁デスクが上記弁座にこれか
ら離間して対向する位置となった後、上記弁ロッドを傾
動して上記弁デスクが上記弁座に押圧されるようにし
た、弁箱外部に設けた移動手段とより成り、上記移動手
段が、ピストンシリンダと、このピストンシリンダのピ
ストンロッドに連結されたヨークと、上記弁ロッドの上
部に連結されたブロックと、上記ヨークとブロックを互
いに連結する、ピン及びこのピンに係合する傾斜長孔
と、上記ヨーク及びブロックを軸方向の相対移動を抑制
するよう互いに連結するばねと、上記ブロックを上下動
及び傾動自在にガイドするため上記ピストンシリンダの
側面に形成したガイドとより成り、上記ヨークを上記ブ
ロックに対して接近するよう押圧した際、上記ピン及び
傾斜長孔を介して上記弁ロッドが上記ブロックを中心と
して傾斜し、上記弁デスクが上記弁座に押圧されるよう
になることを特徴とする。
る。
弁箱1内に設けた矩形状の弁座、3はこの弁座2に対接
されるよう上記弁箱1内に配置した矩形板状の弁デス
ク、4は上記弁箱1の上部両側に設けたピストンシリン
ダ、5はそのピストン、6はピストンロッド、7はこの
ピストンロッド6の上部に連結したヨーク、8は上記弁
デスク3から上記弁箱1外に突出する弁ロッドを示す。
箱1外に突出した部分に、軸方向に伸縮自在な筒状ベロ
ーズ9の一端を気密に接続し、他端を上記弁箱1に気密
に固定し、上記弁ロッド8が上記弁箱1内から弁箱1外
に気密に突出されるようにする。
を連結し、このブロック10の両側に枢軸11を、上記
弁座2に対する上記弁デスク3の押圧方向と直角の方向
に延びるよう突設し、この枢軸11をガイドする所定長
さのガイド溝12を上記2つのピストンシリンダ4の側
面に夫々設け、上記ピストンシリンダ4の側面に形成し
たガイド溝12の下端によって上記枢軸11が支持され
ている状態で上記ブロック10を図1に示す矢印A方向
に押せば上記枢軸11を中心として上記弁ロッド8が傾
動し、この弁ロッド8の下端に連結された上記弁デスク
3が図1の矢印B方向に移動し上記弁座2に押圧される
ようにする。
記弁デスク3に対向する上記弁座2の面に対応する線上
またはその近傍に位置せしめるようにする。
3を形成し、この溝13内に引張ばね15を配置すると
共に、上記ヨーク7の上記弁座2側の側面に垂下部分1
4を設け、この垂下部分14に引張ばね15の一端を取
り付け、他端を上記ブロック10に固定する。
7の下面に夫々対向する段部16a,16bを形成し、
両者間に断面が菱形の板状カム17を傾斜して配置せし
め、上記ピストンシリンダ4のピストンロッド6によっ
て上記ヨーク7を下降せしめた場合、上記ブロック10
と共に下降し、上記ブロック10の枢軸11が上記ピス
トンシリンダ4の側面に形成したガイド溝12の下端に
接するようになった状態で更に上記ヨーク7をブロック
10に向かって押し下げた場合、上記傾斜した板状カム
17が略水平となりその結果上記ブロック10が上記枢
軸11を中心として上記引張ばね15のばね力に抗して
上記矢印A方向に移動されるようにする。
配置関係は、図1に示すように常時ハの字形を形成する
ように定めるのが好ましい。
であるから、弁を閉じるときは、ピストンシリンダ4を
操作してヨーク7を下降せしめれば同時にブロック10
が引張ばね15によってヨーク7の垂下部分14に摩擦
結合されたまま一体に下降し、その結果図1,図2に示
すように弁デスク3が弁座2に対向する位置に下降し、
この位置で枢軸11が上記ガイド溝12の下端に接して
位置決めされるようになる。
下降しないが、ヨーク7は更に下降を続け、ヨーク7が
ブロック10に対して押し下げられ、傾斜している板状
カム17が略水平となり、これに伴ってブロック10が
引張ばね15のばね力に抗して水平方向に移動され、こ
の移動によりブロック10が枢軸11を中心として引張
ばね15のばね力に抗して上記矢印A方向に傾動し、こ
の結果、弁ロッド8の下端に連結された弁デスク3が上
記矢印B方向に移動して弁座2に強く押圧されるように
なる。
るヨーク7の下降を停止すれば、弁デスク3は弁座2に
押圧された状態に維持される。
操作してヨーク7を上昇せしめる。この場合、ブロック
10は、弁座2と弁デスク3間の摩擦力が大きいため直
ちに上昇することはなく、一方ブロック10の側面は上
記ヨーク7の垂下部分14から離間して両者は摩擦結合
されていないためヨーク7のみがブロック10に相対的
に上方に引き離されるようになり、この結果引張ばね1
5の作用により板状カム17が再び傾斜し、同時に弁ロ
ッド8の傾斜が解除され、弁デスク3が上記矢印B方向
と反対方向に移動して弁座2から離れ、続いてヨーク7
と共にブロック10が弁デスク3と共に上昇し、図3に
示すように弁が開くようになる。
8が傾斜する際筒状ベローズ9も傾斜変形するようにな
るが、上記枢軸11の位置決めされる位置を上記筒状ベ
ローズ9の略中間の高さならしめれば、上記ベローズ9
の傾斜変形を最小ならしめることができるので好まし
い。
3が上記弁座2に接する位置で弁デスク3の移動の軌跡
が弁座2の面に対し略垂直となり、片当たりがないよう
になる。
に示すようにブロック10の両側に枢軸11とこれをガ
イドする所定長さのガイド溝12を上記ブロック10の
側面と上記2つのピストンシリンダ4の側面の中央部に
夫々設け、また、 上記段部16a,16b及び板状カム
17を用いる代わりに上記ヨーク7の下部とブロック1
0の上部に夫々その端部を回動自在に枢支した傾斜リン
ク18を用いる。
様である。
の例においては板状カム17やリンク18を用いずブロ
ック10の上部に上記枢軸11の向きと直角の向きに突
出するピン19を設け、このピン19に係合する斜めの
長孔20を有する袖片21を上記ヨーク7の下端から垂
下せしめる。
に接近するように移動せしめた際、上記斜めの長孔20
によってブロック10の上部が上記各実施例と同様横方
向に移動されるようになる。
れば、ベローズ9によって外部から気密に区劃された弁
箱1内には弁デスク3を弁座2に対し押圧するための機
械部品が全く含まれておらず、また、弁デスク3は弁座
2に対向する位置迄下降した後これに直角に押圧される
ので従来のもののように弁箱1内で磨耗その他による不
純物を発生するおそれが無いと共に、上記弁デスク3の
傾動手段を極めて簡単な構成とすることができる。ま
た、ブロック10はピストンシリンダ4間に配置されて
いるのでその高さを低くでき、ゲートバルブ全体の形状
を小形化できる等大きな利益がある。
バルブの縦断側面図である。
バルブの縦断正面図である。
の正面図である。
の斜視図である。
である。
側面図である。
トンシリンダ部分の斜視図であ る。
ック部分の斜視図である。
一部の正面図である。
Claims (4)
- 【請求項1】 弁箱と、この弁箱内に設けた弁座に対接
されるよう上記弁箱内に配置した弁デスクと、この弁デ
スクに連結した、上記弁箱内から弁箱外にベローズを介
して上下動及び傾動自在に気密に突出する弁ロッドと、
この弁ロッドを介して上記弁デクスを上記弁座に対向す
る位置と対向しない位置に移動自在ならしめ、上記弁デ
スクが上記弁座にこれから離間して対向する位置となっ
た後、上記弁ロッドを傾動して上記弁デスクが上記弁座
に押圧されるようにした、弁箱外部に設けた移動手段と
より成り、上記移動手段が、ピストンシリンダと、この
ピストンシリンダのピストンロッドに連結されたヨーク
と、上記弁ロッドの上部に連結されたブロックと、この
ブロックの上面に形成した段部と、この段部と対向する
よう上記ヨークの下面に形成した段部と、上記両段部間
に傾斜して配置した断面菱形の板状カムと、上記ヨーク
及びブロックを軸方向の相対移動を抑制するよう互いに
連結するばねと、上記ブロックを上下動及び傾動自在に
ガイドするため上記ピストンシリンダの側面に形成した
ガイドとより成り、上記ブロックが上記ガイドによって
ガイドされる枢軸を有し、この枢軸及びそのガイドが上
記弁デスクに対向する上記弁座の面に対応する線上また
はその近傍に位置し、上記ヨークを上記ブロックに対し
て接近するよう押圧した際、上記板状カムが水平状とな
って上記弁ロッドが上記ブロックを中心として傾斜し、
上記弁デスクが上記弁座に押圧されるようになることを
特徴とするゲートバルブ。 - 【請求項2】 弁箱と、この弁箱内に設けた弁座に対接
されるよう上記弁箱内に配置した弁デスクと、この弁デ
スクに連結した、上記弁箱内から弁箱外にベローズを介
して上下動及び傾動自在に気密に突出する弁ロッドと、
この弁ロッドを介して上記弁デクスを上記弁座に対向す
る位置と対向しない位置に移動自在ならしめ、上記弁デ
スクが上記弁座にこれから離間して対向する位置となっ
た後、上記弁ロッドを傾動して上記弁デスクが上記弁座
に押圧されるようにした、弁箱外部に設けた移動手段と
より成り、上記移動手段が、ピストンシリンダと、この
ピストンシリンダのピストンロッドに連結されたヨーク
と、上記弁ロッドの上部に連結されたブロックと、上記
ヨークとブロック間に夫々その端部を回動自在に枢支し
た傾斜リンクと、上記ヨーク及びブロックを軸方向の相
対移動を抑制するよう互いに連結するばねと、上記ブロ
ックを上下動及び傾動自在にガイドするため上記ピスト
ンシリンダの側面に形成したガイドとより成り、上記ヨ
ークを上記ブロックに対して接近するよう押圧した際、
上記リンクが水平状となって上記弁ロッドが上記ブロッ
クを中心として傾斜し、上記弁デスクが上記弁座に押圧
されるようになることを特徴とするゲートバルブ。 - 【請求項3】 弁箱と、この弁箱内に設けた弁座に対接
されるよう上記弁箱内に配置した弁デスクと、この弁デ
スクに連結した、上記弁箱内から弁箱外にベローズを介
して上下動及び傾動自在に気密に突出する弁ロッドと、
この弁ロッドを介して上記弁デクスを上記弁座に対向す
る位置と対向しない位置に移動自在ならしめ、上記弁デ
スクが上記弁座にこれから離間して対向する位置となっ
た後、上記弁ロッドを傾動して上記弁デスクが上記弁座
に押圧されるようにした、弁箱外部に設けた移動手段と
より成り、上記移動手段が、ピストンシリンダと、この
ピストンシリンダのピストンロッドに連結されたヨーク
と、上記弁ロッドの上部に連結されたブロックと、上記
ヨークとブロックを互いに連結する、ピン及びこのピン
に係合する傾斜長孔と、上記ヨーク及びブロックを軸方
向の相対移動を抑制するよう互いに連結するばねと、上
記ブロックを上下動及び傾動自在にガイドするため上記
ピストンシリンダの側面に形成したガイドとより成り、
上記ヨークを上記ブロックに対して接近するよう押圧し
た際、上記ピン及び傾斜長孔を介して上記弁ロッドが上
記ブロックを中心として傾斜し、上記弁デスクが上記弁
座に押圧されるようになることを特徴とするゲートバル
ブ。 - 【請求項4】 上記ブロックが上記ガイドによってガイ
ドされる枢軸を有し、この枢軸及びそのガイドが上記弁
デスクに対向する上記弁座の面に対応する線上またはそ
の近傍に位置することを特徴とする請求項2または3記
載のゲートバルブ。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5342760A JP2613171B2 (ja) | 1993-07-22 | 1993-12-16 | ゲートバルブ |
US08/260,703 US5415376A (en) | 1993-07-22 | 1994-06-16 | Gate valve |
US08/427,154 US5641149A (en) | 1993-07-22 | 1995-04-24 | Gate valve |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5-201309 | 1993-07-22 | ||
JP20130993 | 1993-07-22 | ||
JP5342760A JP2613171B2 (ja) | 1993-07-22 | 1993-12-16 | ゲートバルブ |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP21946795A Division JP2649662B2 (ja) | 1993-07-22 | 1995-08-07 | ゲートバルブ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0783336A JPH0783336A (ja) | 1995-03-28 |
JP2613171B2 true JP2613171B2 (ja) | 1997-05-21 |
Family
ID=26512718
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5342760A Expired - Lifetime JP2613171B2 (ja) | 1993-07-22 | 1993-12-16 | ゲートバルブ |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US5415376A (ja) |
JP (1) | JP2613171B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1061301A2 (en) | 1999-06-14 | 2000-12-20 | SMC Kabushiki Kaisha | Gate valve |
EP1111279A2 (en) | 1999-12-21 | 2001-06-27 | Smc Kabushiki Kaisha | Gate valve |
DE102011113829A1 (de) | 2010-09-22 | 2012-03-22 | Smc K.K. | Absperrventil |
Families Citing this family (30)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4418019A1 (de) * | 1994-05-24 | 1995-11-30 | Vse Vakuumtechn Gmbh | Ventilmechanik für ein Vakuumventil |
JP2766190B2 (ja) * | 1994-07-28 | 1998-06-18 | 入江工研株式会社 | 無しゅう動真空ゲートバルブ |
CH692821A5 (de) * | 1998-02-04 | 2002-11-15 | Unaxis Trading Ag | Vakuumventilplatte und Vakuumkammeranordnung mit einer solchen. |
JP3388435B2 (ja) | 1999-12-28 | 2003-03-24 | 株式会社ブイテックス | ゲートバルブ |
US6237892B1 (en) | 2000-02-18 | 2001-05-29 | V Tex Corporation | Gate valve |
JP3571613B2 (ja) * | 2000-04-21 | 2004-09-29 | イーグル工業株式会社 | ゲートバルブ |
US6431518B1 (en) * | 2001-01-11 | 2002-08-13 | Vat Holding Ag | Vacuum valve |
US6416037B1 (en) | 2001-01-11 | 2002-07-09 | Vat Holding Ag | Vacuum pipe |
US6629682B2 (en) | 2001-01-11 | 2003-10-07 | Vat Holding Ag | Vacuum valve |
US6471181B2 (en) | 2001-01-11 | 2002-10-29 | Vat Holding Ag | Suspension of a valve plate of a vacuum valve |
US6698718B2 (en) | 2001-08-29 | 2004-03-02 | Wafermasters, Inc. | Rotary valve |
US6736368B2 (en) * | 2002-07-22 | 2004-05-18 | Eagle Industry Co., Ltd. | Gate valve |
KR100482980B1 (ko) * | 2002-09-13 | 2005-04-19 | 가부시키가이샤 브이텍스 | 게이트 밸브 |
KR100960030B1 (ko) * | 2004-03-12 | 2010-05-28 | 배트 홀딩 아게 | 진공 게이트 밸브 |
JP5324827B2 (ja) * | 2007-06-08 | 2013-10-23 | ヴィ・エイ・ティー ホールディング アクチェンゲゼルシャフト | 脚部要素を有する真空ゲートバルブ |
DE102008049353A1 (de) * | 2008-09-29 | 2010-04-08 | Vat Holding Ag | Vakuumventil |
DE102008061315B4 (de) | 2008-12-11 | 2012-11-15 | Vat Holding Ag | Aufhängung einer Ventilplatte an einer Ventilstange |
JP5365867B2 (ja) * | 2009-10-15 | 2013-12-11 | Smc株式会社 | ゲートバルブ |
CN101906306B (zh) * | 2010-07-14 | 2013-07-31 | 抚顺矿业集团有限责任公司 | 一种干馏炉用高温阀门 |
KR101375280B1 (ko) * | 2012-04-06 | 2014-03-17 | 프리시스 주식회사 | 게이트 밸브 |
EP2749798B1 (de) | 2012-12-27 | 2016-03-02 | VAT Holding AG | Vakuumschieberventil |
EP2781813A1 (de) | 2013-03-21 | 2014-09-24 | VAT Holding AG | Vakuumventil |
TWI656293B (zh) * | 2014-04-25 | 2019-04-11 | 瑞士商Vat控股股份有限公司 | 閥 |
KR102504619B1 (ko) | 2015-03-09 | 2023-02-27 | 배트 홀딩 아게 | 진공밸브 |
KR101784839B1 (ko) * | 2015-09-25 | 2017-11-06 | 프리시스 주식회사 | 양방향 게이트밸브 |
TWI705212B (zh) | 2016-01-19 | 2020-09-21 | 瑞士商Vat控股股份有限公司 | 用於對壁中開口進行真空密封的密封裝置 |
TWI740981B (zh) | 2016-08-22 | 2021-10-01 | 瑞士商Vat控股股份有限公司 | 真空閥 |
JP6774302B2 (ja) * | 2016-10-28 | 2020-10-21 | 株式会社キッツエスシーティー | 真空用ゲートバルブ |
JP7044303B2 (ja) * | 2018-05-16 | 2022-03-30 | 東京瓦斯株式会社 | 管路分岐システムおよび管路分岐方法 |
DE102021114422A1 (de) * | 2021-06-04 | 2022-12-08 | Vat Holding Ag | Vakuumventil |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3120944A (en) * | 1960-06-29 | 1964-02-11 | Commissariat Energie Atomique | Mechanical movement gate-valve having positive reduction means |
JPS51115639U (ja) * | 1975-03-17 | 1976-09-20 | ||
JPS5293930U (ja) * | 1976-01-08 | 1977-07-13 | ||
DE3224387A1 (de) * | 1982-06-30 | 1984-01-12 | Schertler, Siegfried, 9469 Haag | Vakuumschieberventil |
US4721282A (en) * | 1986-12-16 | 1988-01-26 | Lam Research Corporation | Vacuum chamber gate valve |
US5002255A (en) * | 1989-03-03 | 1991-03-26 | Irie Koken Kabushiki Kaisha | Non-sliding gate valve for high vacuum use |
US5120019A (en) * | 1989-08-03 | 1992-06-09 | Brooks Automation, Inc. | Valve |
-
1993
- 1993-12-16 JP JP5342760A patent/JP2613171B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1994
- 1994-06-16 US US08/260,703 patent/US5415376A/en not_active Expired - Lifetime
-
1995
- 1995-04-24 US US08/427,154 patent/US5641149A/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1061301A2 (en) | 1999-06-14 | 2000-12-20 | SMC Kabushiki Kaisha | Gate valve |
US6390449B1 (en) | 1999-06-14 | 2002-05-21 | Smc Kabushiki Kaisha | Gate valve |
EP1111279A2 (en) | 1999-12-21 | 2001-06-27 | Smc Kabushiki Kaisha | Gate valve |
US6299133B2 (en) | 1999-12-21 | 2001-10-09 | Smc Kabushiki Kaisha | Gate valve |
DE102011113829A1 (de) | 2010-09-22 | 2012-03-22 | Smc K.K. | Absperrventil |
JP2012067841A (ja) * | 2010-09-22 | 2012-04-05 | Smc Corp | ゲートバルブ |
US8474791B2 (en) | 2010-09-22 | 2013-07-02 | Smc Kabushiki Kaisha | Gate valve |
DE102011113829B4 (de) | 2010-09-22 | 2022-04-21 | Smc K.K. | Absperrventil |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0783336A (ja) | 1995-03-28 |
US5641149A (en) | 1997-06-24 |
US5415376A (en) | 1995-05-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2613171B2 (ja) | ゲートバルブ | |
US5002255A (en) | Non-sliding gate valve for high vacuum use | |
US5626324A (en) | Non-sliding vacuum gate valve | |
US6237892B1 (en) | Gate valve | |
KR20010007378A (ko) | 게이트 밸브 | |
KR20120031133A (ko) | 게이트 밸브 | |
CA2149986C (en) | Valve mechanism for a vacuum valve | |
JP2864234B2 (ja) | 摩擦の無い動力伝達装置 | |
JP3588637B2 (ja) | 流量制御バルブ | |
JP2657778B2 (ja) | ゲートバルブ | |
JP2000356186A (ja) | ゲートバルブ | |
JP2649662B2 (ja) | ゲートバルブ | |
JP3323459B2 (ja) | ゲートバルブ | |
JP3586657B2 (ja) | ゲートバルブ並びに真空処理装置および方法 | |
EP0436770B1 (en) | Non-sliding gate valve for high vacuum use | |
JP4169892B2 (ja) | ゲートバルブ | |
JPH0732370A (ja) | 樹脂成形金型のルーズコアエジェクター装置 | |
JPH0727235A (ja) | 無摺動ゲートバルブ | |
JP2585928B2 (ja) | 環境試験装置の扉装置 | |
JP2000356271A (ja) | ゲートバルブ | |
JP3337667B2 (ja) | ゲートバルブ | |
JPH07208620A (ja) | ゲートバルブ | |
JP3043886B2 (ja) | 真空容器開口部の閉鎖装置 | |
JPS6254143A (ja) | 開口部密閉装置 | |
JPH0524717Y2 (ja) |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090227 Year of fee payment: 12 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090227 Year of fee payment: 12 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100227 Year of fee payment: 13 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110227 Year of fee payment: 14 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110227 Year of fee payment: 14 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120227 Year of fee payment: 15 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130227 Year of fee payment: 16 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140227 Year of fee payment: 17 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |