JP2000240816A - バタフライバルブ - Google Patents

バタフライバルブ

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JP2000240816A JP11352127A JP35212799A JP2000240816A JP 2000240816 A JP2000240816 A JP 2000240816A JP 11352127 A JP11352127 A JP 11352127A JP 35212799 A JP35212799 A JP 35212799A JP 2000240816 A JP2000240816 A JP 2000240816A
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    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K1/00Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces
    • F16K1/24Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces with valve members that, on opening of the valve, are initially lifted from the seat and next are turned around an axis parallel to the seat

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Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【課題】動作寿命が長く、粉塵発生の少ないバタフライ
バルブ機構を提供する。 【解決手段】閉鎖体32は、バルブハウジング12内に
取り付けられた、開放位置と中間位置との間で長手軸4
2回りに回転可能な主軸40と、開放位置と閉鎖位置と
の間で長手軸42回りに回転可能なクランク軸110
と、主軸40に取り付けられ、封止プレート体30に移
動可能に連結されてハブ60に対する封止プレート体3
0の並進移動を許容するハブ60と、封止プレート体3
0に係合し、長手軸42回りに偏心回転可能なようにク
ランク軸110に取り付けられたボール軸受122と、
封止プレート70を中間位置へと付勢するために封止プ
レート体30とハブ60とを連結する1以上のバネ9
0,92を含む。バタフライバルブ10は、開放位置と
閉鎖位置との間で長手軸42回りにクランク軸110を
回転させるバルブアクチュエータ34を備えていてもよ
い。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、バタフライバルブ
に関し、特に、動作寿命が長く、粉塵発生の少ないバタ
フライバルブ機構に関する。
【0002】
【従来の技術】従来のバタフライバルブ構造は、流体導
管とバルブ座部を有するバルブハウジングと、流体導管
内で開放位置と閉鎖位置との間を移動可能な封止部材
と、開放位置と閉鎖位置との間で封止部材を回転させる
機構とを含む。封止部材は、通常、開放位置においては
流体の流動方向に平行であり、閉鎖位置においては流体
の流動方向に垂直に回転するプレートである。閉鎖位置
において、封止部材は、バルブ座部と係合して流体導管
を封止する。
【0003】バタフライバルブは、広範な用途において
使用されている。様々な用途には、液体、気体、真空に
関わるものがある。用途の中には、開放位置と閉鎖位置
間の頻繁なサイクル動作を伴い、長動作寿命および低粉
塵発生を必要とするものがある。この様な用途の一例と
して、半導体ウェハの真空処理用設備におけるものがあ
る。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】半導体装置の形状寸法
の小型化と回路密度の増加に伴って、半導体ウェハは益
々粉塵汚染に敏感になっている。処理チャンバの真空密
封容器内の構成部材、例えば、真空ライン内のバタフラ
イバルブなどは、潜在的な粉塵汚染源である。さらに、
バタフライバルブの故障は、半導体製造ラインの一部あ
るいは全体を停止しなければならず、生産性に悪影響を
及ぼす。したがって、長動作寿命と低粉塵発生は、バタ
フライバルブの重要な特性である。
【0005】バルブ座部に対して係合、脱離する封止部
材の動作は、粉塵汚染と摩耗の潜在的な原因となる。こ
の様な問題を軽減するために、従来のバタフライバルブ
設計では、封止部材の回転動作と直線動作を組み合わせ
て利用してきた。開放位置から封止部材を回転させてバ
ルブ座部に整合させ、直線動作で封止部材をバルブ座部
と係合させることによって動作するバタフライバルブ
が、1989年4月4日にRawstronに付与され
た米国特許第4,817,916号、1990年5月1
日にdeQuayに付与された米国特許第4,921,
212号、1994年7月19日にDernらに付与さ
れた米国特許第5,330,157号各明細書に開示さ
れている。開示されたバタフライバルブは、それぞれカ
ム構造を備えている。また、シフタロッド/摺動ガイド
閉鎖機構を備えた遮断バルブが、1987年1月6日に
Geiserに付与された米国特許第4,634,09
4号明細書に開示されている。公知の従来型バタフライ
バルブ構成は、何れも、動作寿命の制約や高粉塵発生を
含む1以上の短所がある。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、次のバ
タフライバルブが提供される。このバタフライバルブ
は、流体導管を有しバルブ座部を形成したバルブハウジ
ングと、封止プレートを備えた封止プレート体と、閉鎖
体とを含む。閉鎖体は、開放位置と、封止プレートがバ
ルブ座部から後退した中間位置と、封止プレートがバル
ブ座部に封止係合する閉鎖位置との間で封止プレートを
移動させる。
【0007】閉鎖体は、バルブハウジング内に取り付け
られた、長手軸回りに回転可能な主軸と、主軸内に同軸
に配置された、長手軸回りに回転可能なクランク軸と、
主軸に取り付けられた、主軸と共回転可能なハブであっ
て、封止プレート体に移動可能に連結されてハブに対す
る封止プレート体の並進移動を許容するハブと、長手軸
回りに偏心回転可能なようにクランク軸に取り付けられ
た、封止プレート体に係合するローラと、封止プレート
を中間位置へと付勢するために封止プレート体とハブと
を連結する1以上のバネを含む。
【0008】バタフライバルブは、バルブアクチュエー
タが設けられていてもよく、あるいは、手動操作のため
のハンドルが設けられていてもよい。バルブアクチュエ
ータは、長手軸回りにクランク軸を回転させるためにク
ランク軸に接続され、封止プレートは、主軸とハブの回
転によって開放位置から中間位置へと回転し、封止プレ
ートは、主軸に対するクランク軸の相対回転および長手
軸回りのローラの偏心回転によって中間位置から閉鎖位
置へと並進移動するようになっていてもよい。
【0009】主軸は、ハブの一方側に連結され、バルブ
ハウジングに回転可能に取り付けられた中実軸と、ハブ
の他方側に連結され、バルブハウジングに回転可能に取
り付けられた中空軸とを含んでいてもよい。クランク軸
は、偏心構造を有する中実軸であり、中空軸の内部に取
り付けられていてもよい。中実軸は、平坦面を備えてい
てもよい。バタフライバルブは、封止プレートの開放位
置に相当する第1の位置へと主軸が回転した時に中実軸
の平坦面に係合するようにバルブハウジングに取り付け
られた第1のストップ部と、封止プレートの中間位置に
相当する第2の位置へと主軸が回転した時に中実軸の平
坦面に係合するようにバルブハウジングに取り付けられ
た第2のストップ部とを更に含んでいてもよい。主軸と
クランク軸は、第1の位置と第2の位置との間を約90
゜に亘り回転するようになっていてもよい。クランク軸
は、中実軸の平坦面を第2のストップ部に接触させた状
態で、主軸に対して約180゜相対回転し、これによっ
て封止プレートを中間位置から閉鎖位置へと移動させる
ようにしてもよい。
【0010】封止プレート体は、ハブに対する封止プレ
ートの並進移動の際にハブの孔内を摺動するガイドピン
を備えていてもよい。封止プレート体は、バネを保持す
るための保持プレートを更に含んでいてもよい。
【0011】
【発明の実施の形態】本発明の特徴を組み込んだバタフ
ライバルブの一実施形態を図1〜図8に示す。図1〜図
8中の同様の部材は、同じ参照番号を有する。バタフラ
イバルブ10は、気体または液体の通過のための流体導
管14を有するバルブハウジング12を備えている。バ
タフライバルブが真空用途の場合、気体圧は低い。バル
ブハウジング12は、下記のように封止プレートとの係
合のためのバルブ座部16が形成されている。流体導管
14を略円筒形とし、バルブ座部16を円錐台形として
もよい。好ましくは、バルブ座部16は、封止プレート
とバルブ座部との間の流体密封止を確保するために弾性
体Oリング20が設けられている。バルブハウジング1
2は、複数の取付孔22(図4)を更に備えていてもよ
い。
【0012】バタフライバルブ10は、封止プレート体
30と、閉鎖体32(図4〜図6によく示されている)
とを更に備えている。バタフライバルブ10は、バルブ
アクチュエータ34を備えていてもよい。閉鎖体32と
バルブアクチュエータ34の制御の下で、封止プレート
体30は、図1に示す開放位置と、図2、図5に示す中
間位置と、図3、図6に示す閉鎖位置との間で移動可能
である。開放位置において、封止プレート体30は、バ
ルブ座部16と流体導管14から離反する方向に回転
し、液体や気体を通過させる。中間位置(図2)におい
て、封止プレート体30は、回転してバルブ座部16と
整合するが、バルブ座部16から離隔している。閉鎖位
置(図3)において、封止プレート体30は、中間位置
から並進してバルブ座部16と係合し、流体導管14を
封止する。閉鎖位置においては、バタフライバルブ10
は閉鎖される。別の構成において、アクチュエータ34
は、バタフライバルブの手動操作のためのハンドルまた
はその他の適切な装置と置き換えられる。もちろん、封
止プレート体30は、閉鎖位置から開放位置へと逆方向
にも移動可能である。開放と閉鎖の両方において、封止
プレート体は中間位置を通過する。
【0013】閉鎖体32は、主軸40、クランク軸11
0、中心ハブ60、ボール軸受122、バネ90、92
とを備えている。下記のように、閉鎖体32は、アクチ
ュエータ34と封止プレート体30との間に連結され、
開放位置と閉鎖位置との間で封止プレート体を移動させ
る。主軸40は、バルブハウジング12内に取り付けら
れ、主軸40の長手軸42回りに回転可能である。図4
〜図6によく示されているように、主軸40は、ボール
軸受46内で回転可能に取り付けられた中実軸44と、
ボール軸受52内で回転可能に取り付けられた中空軸5
0とを含む2つの部材を有する。中実軸44と中空軸5
0は、中心ハブ60の両側に固定されている。したがっ
て、中実軸44、中空軸50、中心ハブ60は、長手軸
42回りに一体的に回転する。
【0014】中実軸44は、中心ハブ60の一方側の孔
に挿入され、ピン62で固定されている。中空軸50
は、中心ハブ60の他方側の孔に挿入され、固定ネジ6
4で所定位置に固定されている。この様にして、中心ハ
ブ60は、中実軸44と中空軸50に対して所定の相対
位置に固定される。中心ハブ60は、封止プレート体3
0と連結されて、下記のように、中心ハブ60との封止
プレート体30の共回転および中心ハブ60に対する封
止プレート体30の並進移動を許容する。
【0015】図1〜図3によく示されているように、封
止プレート体30は、閉鎖位置においてバルブ座部16
とOリング20に係合するフランジ72をその外周部に
有する略ディスク形状の封止プレート70を備えてい
る。封止プレート70は、バルブが閉鎖された時に流体
導管14を遮断封止する閉鎖部材である。封止プレート
体30は、保持プレート74とガイドピン76、78を
更に備えている。保持プレート74は、ガイドピン7
6、78によって封止プレート70から離隔され、空洞
部80を形成する。封止プレート70、保持プレート7
4、ガイドピン76、78は、機械ネジ82によって一
体的に固定されている。封止プレート70には、空洞部
80に対向し、ボール軸受122に対する接触面を提供
する当接部84が設けられている。
【0016】バネ90、92は、封止プレート体30を
中間位置へと付勢するために、封止プレート体30と中
心ハブ60との間に配置されている。すなわち、バネ9
0、92は、中心ハブ60によって形成される各スリー
ブ94、96および保持プレート74の凹部内に取り付
けられている。バネ90、92は、封止プレート体30
が図3に示す閉鎖位置にある時には圧縮され、封止プレ
ート体30が図2に示す中間位置にある時には伸長す
る。中心ハブ60には、更に、ガイドピン76を受ける
スリーブ100およびガイドピン78を受けるスリーブ
102が形成されている。ガイドピン76、78は、そ
れぞれ、スリーブ100、102内を摺動し、中間位置
と閉鎖位置との間において中心ハブ60に対して封止プ
レート体30を直線的に並進移動させる。
【0017】図4〜図6によく示されているように、ク
ランク軸110は、中空軸50内に取り付けられ、長手
軸42回りに回転可能となっている。クランク軸110
は、ボール軸受112によってバルブハウジング10内
に回転可能に取り付けられており、ニードル軸受114
によって中心ハブ60内に回転可能に取り付けられてい
る。クランク軸110は、中実であることが好ましい。
アクチュエータ34は、クランク軸110の一端に取り
付けられているので、アクチュエータ34に通電する
と、クランクシャフト110は長手軸42回りに回転す
る。上述の別の構成においては、ハンドルがクランク軸
110の一端に取り付けられていてもよい。弾性体リン
グ116が、クランク軸110とバルブハウジング12
との間の封止を提供する。クランク軸110は、中心ハ
ブ60内の端部において、長手軸42に対して偏心配置
された延長ピン120を備えている。偏心延長ピン12
0によって、クランク軸110は、偏心シャフトとして
の機能を果たす。通常ボール軸受122として実施され
るローラが、延長ピン120上に取り付けられている。
ボール軸受122の外側レースは、長手軸42と平行に
離隔されているローラ軸124回りに回転するようにし
てもよい。さらに、クランク軸110の回転に伴って、
ボール軸受122全体が、長手軸42から偏心して回転
する。下記のように、ボール軸受122の偏心動作によ
って、封止プレート体30は、中間位置と閉鎖位置との
間を移動する。
【0018】図4〜図8に示すように、軸受キャップ1
30がバルブハウジング12に取り付けられている。軸
受キャップ130は、バルブハウジング12内でボール
軸受46を保持し、中実軸44の拡張端134を受ける
ための凹部132を備えている。弾性体リング136
が、軸受キャップ130とバルブハウジング12との間
の封止を提供し、弾性体リング138が、軸受キャップ
130と中実軸44との間の封止を提供する。図7、図
8に示すように、軸端134は、図7に示すように第1
のストップ部142と係合したり図8に示すように第2
のストップ部144と係合する平坦面140が設けられ
ている。ストップ部142、144は、それぞれ、軸受
キャップ130と螺合し軸受キャップ130の凹部13
2内へと延びる固定ネジとして実施してもよい。図7、
図8を参照して、主軸44は、図7に示すように第1の
ストップ部142によって規定される第1の位置と図8
に示すように第2のストップ部144によって規定され
る第2の位置との間で回転するようにしてもよい。第1
の位置において、第1のストップ部142が平坦面14
0に接触し、第2の位置において、第2のストップ部1
44が平坦面140に接触する。第1のストップ部14
2によって規定される第1の位置は、図2に示すよう
に、封止プレート体30の開放位置に対応する。第2の
ストップ部144によって規定される中実軸44の第2
の位置は、図1に示すように封止プレート体30の中間
位置に対応する。さらに、封止プレート体30がクラン
ク軸110の回転によって閉鎖位置へと並進移動する
時、中実軸44は第2のストップ部144によって規定
される第2の位置に留まる。ストップ部142、144
は、封止プレート体30の開放位置と中間位置をそれぞ
れ調節できるように調節されるものと理解される。中実
軸44は、第1のストップ部142と第2のストップ部
144との間で90゜回転することが好ましい。
【0019】次に、バタフライバルブの動作について説
明する。図1に示す開放位置と図2に示す中間位置との
間を移動する際、アクチュエータ34は、軸42回りに
クランク軸110を回転させる。開放位置と中間位置と
の間で、主軸40は自由回転し、バネ90、92は、封
止プレート体30と中心ハブ60との固定関係を維持す
る。さらに、ボール軸受122とクランク軸110は、
開放位置と中間位置との間で、封止プレート体30およ
び中心ハブ60に対して固定関係に維持される。この様
にして、クランク軸110が開放位置から中間位置へと
回転すると同時に、主軸40、中心ハブ60、封止プレ
ート体30は、クランク軸110と共回転する。結果的
に、封止プレート70は、図1に示す開放位置と図2に
示す中間位置との間で約90゜に亘り回転する。図1、
図2に更に示すように、ボール軸受122は、開放位置
と中間位置との間で軸42回りに90゜偏心回転する。
【0020】閉鎖体32が中間位置に到達すると、中実
軸44の平坦面140(図7)は、第2のストップ部1
44に接触して、主軸40の更なる回転を防止する。し
かし、クランク軸110は、アクチュエータ34によっ
て引き続き回転させられるので、この時点で静止してい
る主軸40に対して相対回転する。ボール軸受122
は、軸42回りに偏心回転し続け、封止プレート70上
の当接部84に当接する。アクチュエータ34がクラン
ク軸110とボール軸受122を介して及ぼす力によっ
て、バネ90、92は圧縮され、封止プレート体30は
中心ハブ60に対して直線的に並進移動する。すなわ
ち、封止プレート体30は、中心ハブ60のスリーブ1
00、102内におけるガイドピン76、78の摺動に
よって並進移動する。図2、図3に示すように、ボール
軸受122は、中間位置と閉鎖位置との間で軸42回り
に約180゜回転する。結果的に、封止プレート70
は、中心ハブ60および主軸40に対して相対的に並進
移動し、バルブ座部16とOリング20と係合し、流体
導管14を閉鎖封止する。
【0021】バタフライバルブ10を開放する際には、
単に上述の動作を逆の順序で行う。すなわち、アクチュ
エータ34がクランク軸110を回転させ、ボール軸受
122が軸42回りに偏心回転して保持プレート74に
当接し、封止プレート体30がバルブ座部16とOリン
グ20から中間位置へと後退する。封止プレート体30
を閉鎖位置から後退させる際には、バネ90、92の力
を保持プレート74上のボール軸受122の力と合わせ
て封止プレート70を後退させ、これによって、封止プ
レート70が閉鎖位置に留まろうとする傾向に打ち勝
つ。主軸40は、中間位置から開放位置へと軸42回り
に自由回転する。この様にして、封止プレート体30、
中心ハブ60、主軸40、ボール軸受122、クランク
軸110を含む閉鎖体は、中間位置と開放位置との間を
一体的に回転する。中実軸44の平坦面140(図8)
が第1のストップ部142と接触すると、封止プレート
70は図1に示す開放位置にあり、閉鎖体32の更なる
回転が防止される。
【0022】開示されたバタフライバルブは、動作寿命
が長く、粉塵汚染が少ない。閉鎖体は、中間位置と閉鎖
位置との間の直線的な並進移動のためにボール軸受12
2を利用するので、ボール軸受122と空洞部80の内
面との摺擦接触は最小であり、粉塵発生は非常に少な
い。上述の図1〜図8に示すような構成のバタフライバ
ルブは、百万回のサイクルテストに成功している。現時
点において本発明の好適な実施形態と考えられるものに
ついて、図示、説明してきたが、添付の請求項により定
義される本発明の範囲から逸脱することなく、様々な変
更、修正が可能であることは、当業者にとって明白であ
ろう。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係るバタフライバルブの一実施形態の
側断面図であり、封止プレートが開放位置にある状態を
示す。
【図2】図1のバタフライバルブの側断面図であり、封
止プレートが中間位置にある状態を示す。
【図3】図1のバタフライバルブの側断面図であり、封
止プレートが閉鎖位置にある状態を示す。
【図4】流体導管に沿って見た図1のバタフライバルブ
の部分断面端面図である。
【図5】図1のバタフライバルブの上断面図であり、封
止プレートが中間位置にある状態を示す。
【図6】図1のバタフライバルブの上断面図であり、封
止プレートが閉鎖位置にある状態を示す。
【図7】図1のバタフライバルブの側断面図であり、開
放位置を規定するストップ部を示す。
【図8】図1のバタフライバルブの側断面図であり、中
間位置を規定するストップ部を示す。
【符号の説明】
6 バルブ座部 10 バタフライバルブ 14 流体導管 12 バルブハウジング 30 封止プレート体 32 閉鎖体 34 バルブアクチュエータ 40 主軸 42 長手軸 60 ハブ 70 封止プレート 90,92 バネ 110 クランク軸 122 ローラ(ボール軸受)
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成12年2月9日(2000.2.9)
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0018
【補正方法】変更
【補正内容】
【0018】図4〜図8に示すように、軸受キャップ1
30がバルブハウジング12に取り付けられている。軸
受キャップ130は、バルブハウジング12内でボール
軸受46を保持し、中実軸44の拡張端134を受ける
ための凹部132を備えている。弾性体リングが、軸受
キャップ130とバルブハウジング12との間の封止を
提供し、弾性体リングが、軸受キャップ130と中実軸
44との間の封止を提供する。図7、図8に示すよう
に、軸端134は、図7に示すように第1のストップ部
142と係合したり図8に示すように第2のストップ部
144と係合する平坦面140が設けられている。スト
ップ部142、144は、それぞれ、軸受キャップ13
0と螺合し軸受キャップ130の凹部132内へと延び
る固定ネジとして実施してもよい。図7、図8を参照し
て、主軸44は、図7に示すように第1のストップ部1
42によって規定される第1の位置と図8に示すように
第2のストップ部144によって規定される第2の位置
との間で回転するようにしてもよい。第1の位置におい
て、第1のストップ部142が平坦面140に接触し、
第2の位置において、第2のストップ部144が平坦面
140に接触する。第1のストップ部142によって規
定される第1の位置は、図2に示すように、封止プレー
ト体30の開放位置に対応する。第2のストップ部14
4によって規定される中実軸44の第2の位置は、図1
に示すように封止プレート体30の中間位置に対応す
る。さらに、封止プレート体30がクランク軸110の
回転によって閉鎖位置へと並進移動する時、中実軸44
は第2のストップ部144によって規定される第2の位
置に留まる。ストップ部142、144は、封止プレー
ト体30の開放位置と中間位置をそれぞれ調節できるよ
うに調節されるものと理解される。中実軸44は、第1
のストップ部142と第2のストップ部144との間で
90゜回転することが好ましい。
フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) F16K 1/48 F16K 1/48 Z 51/02 51/02 A

Claims (20)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】流体導管を有し、バルブ座部が形成された
    バルブハウジングと、 封止プレートを備えた封止プレート体と、 開放位置と、前記封止プレートが前記バルブ座部から後
    退した中間位置と、前記封止プレートが前記バルブ座部
    と封止係合する閉鎖位置との間で前記封止プレートを移
    動させる閉鎖体とを含むバタフライバルブであって、前
    記閉鎖体が、 前記バルブハウジング内に取り付けられた、長手軸回り
    に回転可能な主軸と、 前記主軸内に同軸に配置された、前記長手軸回りに回転
    可能なクランク軸と、 前記主軸に取り付けられた、前記主軸と共回転可能なハ
    ブであって、前記封止プレート体に移動可能に連結され
    て前記ハブに対する前記封止プレート体の並進移動を許
    容するハブと、 前記長手軸回りに偏心回転可能なように前記クランク軸
    に取り付けられたローラであって、前記封止プレート体
    に係合するローラと、 前記封止プレートを中間位置へと付勢するために前記封
    止プレート体と前記ハブとの間に取り付けられた1以上
    のバネを含むことを特徴とするバタフライバルブ。
  2. 【請求項2】前記主軸が、平坦面を備えており、前記バ
    タフライバルブが、前記封止プレートの開放位置に相当
    する第1の位置へと前記主軸が回転した時に前記主軸の
    平坦面に係合するように前記バルブハウジングに取り付
    けられた第1のストップ部と、前記封止プレートの中間
    位置に相当する第2の位置へと前記主軸が回転した時に
    前記主軸の平坦面に係合するように前記バルブハウジン
    グに取り付けられた第2のストップ部とを更に含む請求
    項1に記載のバタフライバルブ。
  3. 【請求項3】前記第1、第2のストップ部が調節可能で
    ある請求項2に記載のバタフライバルブ。
  4. 【請求項4】前記主軸の平坦面が前記第2のストップ部
    と接触すると、前記クランク軸が前記主軸に対して相対
    回転可能となる請求項2に記載のバタフライバルブ。
  5. 【請求項5】前記主軸と前記クランク軸が、前記第1の
    位置と前記第2の位置との間を約90゜に亘り回転し、
    前記クランク軸が、前記主軸の平坦面を前記第2のスト
    ップ部に接触させた状態で、前記主軸に対して約180
    ゜相対回転し、これによって前記封止プレートを前記中
    間位置から前記閉鎖位置へと移動させるようになってい
    る請求項2に記載のバタフライバルブ。
  6. 【請求項6】前記ローラが、ボール軸受で構成されてい
    る請求項1に記載のバタフライバルブ。
  7. 【請求項7】前記主軸が、前記ハブの一方側に連結さ
    れ、前記バルブハウジングに回転可能に取り付けられた
    中実軸と、前記ハブの他方側に連結され、前記バルブハ
    ウジングに回転可能に取り付けられた中空軸とを含んで
    おり、前記クランク軸が、前記中空軸の内部に取り付け
    られている請求項1に記載のバタフライバルブ。
  8. 【請求項8】前記中実軸が、平坦面を備えており、前記
    バタフライバルブが、前記封止プレートの開放位置に相
    当する第1の位置へと前記主軸が回転した時に前記中実
    軸の平坦面に係合するように前記バルブハウジングに取
    り付けられた第1のストップ部と、前記封止プレートの
    中間位置に相当する第2の位置へと前記主軸が回転した
    時に前記中実軸の平坦面に係合するように前記バルブハ
    ウジングに取り付けられた第2のストップ部とを更に含
    む請求項7に記載のバタフライバルブ。
  9. 【請求項9】前記封止プレート体が、前記ハブに対する
    前記封止プレートの並進移動の際に前記ハブの孔内を摺
    動するガイドピンを備えている請求項1に記載のバタフ
    ライバルブ。
  10. 【請求項10】前記封止プレート体が、前記バネを保持
    するための保持プレートを更に含んでいる請求項9に記
    載のバタフライバルブ。
  11. 【請求項11】前記長手軸回りに前記クランク軸を回転
    させるために前記クランク軸に接続されたバルブアクチ
    ュエータを更に含み、前記封止プレートが、前記主軸と
    前記ハブの回転によって開放位置から中間位置へと回転
    し、前記封止プレートが、前記主軸に対する前記クラン
    ク軸の相対回転および前記長手軸回りの前記ローラの偏
    心回転によって中間位置から閉鎖位置へと並進移動する
    ようになっている請求項1に記載のバタフライバルブ。
  12. 【請求項12】前記長手軸回りに前記クランク軸を回転
    させるために前記クランク軸に接続されたハンドルを更
    に含み、前記封止プレートが、前記主軸と前記ハブの回
    転によって開放位置から中間位置へと回転し、前記封止
    プレートが、前記主軸に対する前記クランク軸の相対回
    転および前記長手軸回りの前記ローラの偏心回転によっ
    て中間位置から閉鎖位置へと並進移動するようになって
    いる請求項1に記載のバタフライバルブ。
  13. 【請求項13】流体導管を有し、バルブ座部が形成され
    たバルブハウジングと、 封止プレートを備え、空洞部が形成された封止プレート
    体と、 開放位置と、前記封止プレートが前記バルブ座部から後
    退した中間位置と、前記封止プレートが前記バルブ座部
    と封止係合する閉鎖位置との間で前記封止プレートを移
    動させる閉鎖体とを含むバタフライバルブであって、前
    記閉鎖体が、 前記バルブハウジング内に取り付けられた、開放位置と
    中間位置との間で長手軸回りに回転可能な主軸と、 前記バルブハウジング内に取り付けられた、開放位置と
    閉鎖位置との間で前記長手軸回りに回転可能なクランク
    軸と、 前記主軸に取り付けられ、前記封止プレート体に移動可
    能に連結されて前記ハブに対する前記封止プレート体の
    並進移動を許容するハブと、 前記長手軸回りに偏心回転可能なように前記クランク軸
    に取り付けられたローラであって、前記封止プレート体
    の内部に位置するローラと、 前記封止プレートを中間位置へと付勢するために前記封
    止プレート体と前記ハブとの間に取り付けられたバネ手
    段とを含むことを特徴とするバタフライバルブ。
  14. 【請求項14】前記主軸が、前記ハブの一方側に連結さ
    れ、前記バルブハウジングに回転可能に取り付けられた
    中実軸と、前記ハブの他方側に連結され、前記バルブハ
    ウジングに回転可能に取り付けられた中空軸とを含んで
    おり、前記クランク軸が、前記中空軸の内部に取り付け
    られている請求項13に記載のバタフライバルブ。
  15. 【請求項15】前記中実軸が、平坦面を備えており、前
    記バタフライバルブが、前記封止プレートの開放位置に
    相当する第1の位置へと前記主軸が回転した時に前記中
    実軸の平坦面に係合するように前記バルブハウジングに
    取り付けられた第1のストップ部と、前記封止プレート
    の中間位置に相当する第2の位置へと前記主軸が回転し
    た時に前記中実軸の平坦面に係合するように前記バルブ
    ハウジングに取り付けられた第2のストップ部とを更に
    含む請求項14に記載のバタフライバルブ。
  16. 【請求項16】前記封止プレート体が、保持プレートを
    更に含み、前記バネ手段が、前記保持プレートと前記ハ
    ブとの間に取り付けられた第1、第2のバネを含む請求
    項13に記載のバタフライバルブ。
  17. 【請求項17】前記封止プレート体が、前記ハブに対す
    る前記封止プレート体の並進移動の際に前記ハブの孔内
    を摺動するガイドピンを更に含む請求項16に記載のバ
    タフライバルブ。
  18. 【請求項18】前記ローラが、前記長手軸に対して偏心
    配置された前記クランク軸の延長部に設けられたボール
    軸受で構成される含む請求項13に記載のバタフライバ
    ルブ。
  19. 【請求項19】前記長手軸回りに前記クランク軸を回転
    させるために前記クランク軸に接続されたバルブアクチ
    ュエータを更に含み、前記封止プレートが、前記主軸と
    前記ハブの回転によって開放位置から中間位置へと回転
    し、前記封止プレートが、前記主軸に対する前記クラン
    ク軸の相対回転および前記長手軸回りの前記ローラの偏
    心回転によって中間位置から閉鎖位置へと並進移動する
    ようになっている請求項13に記載のバタフライバル
    ブ。
  20. 【請求項20】前記長手軸回りに前記クランク軸を回転
    させるために前記クランク軸に接続されたハンドルを更
    に含み、前記封止プレートが、前記主軸と前記ハブの回
    転によって開放位置から中間位置へと回転し、前記封止
    プレートが、前記主軸に対する前記クランク軸の相対回
    転および前記長手軸回りの前記ローラの偏心回転によっ
    て中間位置から閉鎖位置へと並進移動するようになって
    いる請求項13に記載のバタフライバルブ。
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