KR20040024595A - 카운터 판의 후퇴가 지연되는 게이트 밸브 - Google Patents

Abstract

게이트 밸브(10)와 같은 본 발명의 밸브는 유체 도관(14)을 가지며 밸브 시트(16)를 형성하는 하우징(12)과, 지지면(18)과, 밀봉판(20; seal plate)과, 카운터 판(22)과, 밀봉판(20)과 카운터 판(22)을 개방 위치와 폐쇄 위치 사이에서 이동시키기 위한 액츄에이터(34)와, 밀봉판(20)과 카운터 판(22)과 액츄에이터(34) 사이에 작동가능하게 커플링된 커플링 메커니즘(50)을 포함한다. 밀봉판(20)은 밸브 시트(16)와 밀봉 결합(sealed engagement)되고, 카운터 판(22)은 폐쇄 위치에서 지지면(18)과 결합된다. 커플링 메커니즘(50)은 밸브(10)가 열렸을 때 밀봉판(20)의 밸브 시트(16)로부터의 반작용 이후에 지지면(18)으로부터 카운터 판(22)을 후퇴시킨다.

Description

카운터 판의 후퇴가 지연되는 게이트 밸브{Gate valve with delayed retraction of counter plate}

종래의 게이트 밸브 구조는 유체 도관을 갖는 밸브 하우징, 이 유체 도관에서 개방 위치와 폐쇄 위치 간에 이동할 수 있는 밀봉판, 이 밀봉판을 개방 위치와 폐쇄 위치 사이에서 이동시키기 위한 액츄에이터 메커니즘을 포함한다. 밀봉판은 밸브 시트와 맞물려, 폐쇄 위치에서 유체 도관을 밀봉한다. 밀봉판은 폐쇄 위치로부터 후퇴 위치로 이동된 다음 개방 위치로 선형적으로 이동될 수 있다.

게이트 밸브는 다양한 응용예에서 사용된다. 상이한 응용예에서 액체, 가스, 진공과 관련할 수 있다. 많은 응용예들이 긴 작동 수명과 함께, 개방 및 폐쇄 위치 사이의 빈번한 왕복과, 미립자 생성이 적을 것을 요구한다. 이러한 응용예의 일례로는 반도체 웨이퍼 가공 장비가 있다. 반도체 장비의 기하학적 형상의 사이즈가 감소하고 회로의 밀도가 증가함에 따라, 반도체 웨이퍼는 갈수록 미립자 오염물질에 민감해진다. 게이트 밸브와 같은 가공 챔버의 진공 외피(vacuum envelope) 내의구성요소들은 잠재적인 미립자 오염원이다. 나아가, 게이트 밸브가 고장나면, 반도체 제조 라인의 전체 또는 부분이 정지해야 하여, 생산량(throughput)에 악영향을 미칠 수 있다. 따라서 긴 작동 수명과 미립자의 적은 생성은 게이트 밸브의 중요한 특성이다.

게이트 밸브에 관련한 다른 잠재적인 문제점으로는 밸브의 개폐중에 발생할 수 있는 충격(shock)과 진동이다. 충격과 진동은 게이트 밸브 부근의 민감한 장비의 작동을 방해하거나 혼란시킬 수 있다. 종래 기술의 게이트 밸브의 작동에 의해 발생한 충격은 극저온 진공 펌프 내측으로부터 목탄(charcoal)이 진동에 의해 방출시킬 수 있음이 관측되었다. 따라서, 게이트 밸브에 의해 발생되는 충격과 진동을 제한하는 것이 바람직하다.

선형적으로 이동할 수 있는 밀봉판을 갖는 게이트 밸브가 1977년 10월 4일 셔틀러(Schertler)에게 허여된 미국 특허 제 4,052,036호에 공개되어 있다. 밀봉판과 카운터 판이 판 스프링에 의해 서로를 향해 바이어스(bias)된다. 액츄에이터는 밀봉판과 카운터 판의 리세스(recess)들과 맞물리는 일련의 롤러를 갖는다. 밀봉판과 카운터 판이 정지 위치에 도달하면, 액츄에이터는 계속 움직여, 롤러들이 리세스들로부터 나오게 하고 밀봉판과 카운터 판을 폐쇄 위치를 향해 이동하게 한다. 밀봉판은 밸브 시트와 결합하고, 카운터 판은 지지면과 결합한다. 카운터 판은 밀봉판을 폐쇄 위치에서 지지해주고, 밸브에 걸친 압력차에 의해 밸브 시트로부터 밀봉판이 떨어지는 것을 방지한다.

이 디자인의 게이트 밸브가 열렸을 때, 밀봉판과 카운터 판은 동시에 후퇴된다. 이는 밀봉판과 밸브 시트 사이의 밀봉이 중단되었을 때 밀봉판이 지지되지 않은채로 남게 한다. 밸브에 걸쳐 압력차가 존재할 때, 지지되지 않은 밀봉판은 롤러와 카운터 판쪽으로 밀린다. 이는 충격을 발생시키며, 이 충격은 민감한 구성부재를 손상시키고 시스템 내의 미립자들이 방출되게 할 수 있다. 부가적으로, 밀봉판 상의 탄성체 링은 밀봉판이 밸브 시트로부터 후퇴했을 때 긁히거나 또는 마찰될 수 있다. 이러한 긁힘(scuffing) 또는 마찰(rubbing)은 탄성체 링을 마모시키고 게이트 밸브의 작동 수명을 감소시킬 수 있다.

따라서, 게이트 밸브 구조물에 개선이 필요하다.

본 발명은 밸브 구조물에 대한 것이고, 보다 상세하게는, 압력 평형(pressure equalization) 및 밀봉 표면에서의 마모 감소를 위해 밀봉 판의 후퇴와 관련하여 카운터 판의 후퇴가 지연되는 게이트 밸브 구조물에 대한 것이다.

도 1은 폐쇄 위치에서 도시된, 본 발명에 따른 게이트 밸브의 제 1 실시예의부분 측단면도.

도 2는 제 1 후퇴 위치에서 도시된, 도 1의 밸브의 부분 측단면도.

도 3은 제 2 후퇴 위치에서 도시된, 도 1의 밸브의 부분 측단면도.

도 4는 도 1의 밸브의 정면도.

도 5는 도 1의 밸브의 밀봉판과 액츄에이터의 정면에서 본 부분 단면도.

도 6은 폐쇄 위치에서 도시된, 본 발명에 따른 게이트 밸브의 제 2 실시예의 부분 측단면도.

도 7은 제 1 후퇴 위치에서 도시된, 도 6의 밸브의 부분 측단면도.

도 8은 제 2 후퇴 위치에서 도시된, 도 6의 밸브의 부분 측단면도.

본 발명의 제 1 특징에 따르면, 밸브가 제공된다. 이 밸브는 유체 도관을 갖고 밸브 시트와 지지면을 형성하는 밸브 하우징과, 밀봉 판과, 카운터 판과, 개방 위치와 폐쇄 위치 사이에서 밀봉 판과 카운터 판을 이동시키는 액츄에이터와, 밀봉 판과 카운터 판과 액츄에이터 사이에서 작동가능하게 커플링되는 커플링 메커니즘을 포함한다. 밀봉 판은 밸브 시트와 밀봉 결합하고, 카운터 판은 폐쇄 위치에서 지지면과 결합한다. 커플링 메커니즘은 밸브가 열렸을 때 밸브 시트로부터 밀봉 판이 후퇴한 이후에 지지면으로부터 카운터 판을 후퇴시킨다.

일 실시예에서, 커플링 메커니즘은 밀봉판의 하나 이상의 밀봉판 홈과, 카운터 판의 하나 이상의 카운터 판 홈과, 액츄에이터에서 움직일 수 있게 장착된 롤러 부재와, 후퇴 위치를 향해 밀봉판과 카운터 판을 바이어스하는 하나 이상의 스프링을 포함한다. 롤러 부재는 액츄에이터가 폐쇄 위치를 향해 또는 폐쇄 위치로부터멀어져 감에 따라 밀봉판 홈과 카운터 판 홈을 따라 이동한다. 밀봉판 홈과 카운터 판 홈은 각각 얕은 부분과 깊은 부분을 갖는다. 밀봉판 홈에서 얕은 부분과 깊은 부분 사이의 천이부(transition)는 카운터 판 홈에서의 얕은 부분과 깊은 부분 사이의 천이부에 대한 액츄에이터 이동방향에서 오프셋되어 있다. 일 실시예에서, 밀봉판 홈과 카운터 판 홈은 각각 얕은 부분과 깊은 부분사이에 비교적 급격한 천이부를 갖는다. 다른 실시예에서, 밀봉판 홈은 얕은 부분과 깊은 부분 사이의 비교적 점진적인 천이부를 각각 갖고, 카운터 판 홈은 얕은 부분과 깊은 부분 사이의 비교적 급격한 천이부를 각각 갖는다.

본 발명의 다른 특징에 따르면, 게이트 밸브 작동 방법이 제공되며, 밀봉판은 밸브 시트와 결합하고, 카운터 판은 폐쇄 위치에서 지지면과 결합한다. 이 방법은 밸브 시트로부터 밀봉판을 후퇴시키는 단계와, 밸브 시트로부터의 밀봉판 후퇴 이후에 지지면으로부터 카운터 판을 후퇴시키는 단계를 포함한다.

카운터 판이 지지면으로부터 후퇴되기 전에 밸브 시트로부터 밀봉판을 후퇴시켜, 밸브에 걸쳐 어떠한 압력차도 평형화될 수 있다. 그러므로, 밀봉이 중단되었을 때 지지면에 대해 카운터 판이 부딪치는 것이 회피된다. 부가적으로, 밀봉판이 밸브 시트에 대해 거의 수직으로 밸브 시트로부터 후퇴되고, 밀봉면의 긁힘 및 마모가 제한된다.

본 발명을 보다 잘 이해할 수 있도록, 첨부한 도면을 참조한다.

본 발명에 따른 게이트 밸브의 제 1 실시예가 도 1 내지 도 5에 도시되어 있다. 도 1 내지 도 5의 유사한 부재들을 동일한 도면부호를 사용한다.

게이트 밸브(10)는 가스 또는 유체가 통과하기 위한 유체 도관(14; fluid conduit)과 다른 시스템 구성부재들에 밸브를 부착하기 위한 플랜지(15)를 갖는 밸브 하우징(12)을 포함한다. 가스 압력은 게이트 밸브의 진공 응용예의 경우에 낮을 수 있다. 밸브 하우징(12)은 후술하는 바와 같이 밀봉판과 결합하기 위한 밸브 시트(16)를 형성한다. 또한, 밸브 하우징(12)은 후술하는 바와 같이 카운터 판과 결합하기 위한 지지면(18)을 형성한다. 유체 도관(14)은 일반적으로, 원통형, 정사각형, 직사각형 또는 다른 임의의 적절한 형상일 수 있다. 밸브 시트(16)와 지지면(18)은 유체 도관(14)을 둘러싸는 표면 형상을 각각 가질 수 있다.

게이트 밸브(10)는 밀봉판(20), 카운터 판(22), 액츄에이터 조립체(32)를 더 포함하고, 에어 실린더와 같은 밸브 액츄에이터(34)를 포함할 수 있다. 다른 구성에서, 액츄에이터(34)는 게이트 밸브의 수작동을 위해 핸들 또는 다른 적절한 장치로 대체된다. 액츄에이터 조립체(32)는 일 단부에서 액츄에이터(34)에 연결된 축(40)을 포함한다. 축(40)의 반대쪽 단부는 액츄에이터 부재(44)에 연결되어 있다.

밀봉 판(20)과 카운터 판(22)은 액츄에이터 부재(44)의 대향 측면들에 배치되어 있다. 탄성체 링(64)은 밸브가 닫혔을 때 밸브 시트(16)와 밀봉판(20) 사이의 진공 밀폐 밀봉(vacuum-tight seal)을 형성하기 위해 밀봉판(20)의 홈 내에 장착된다. 카운터 판(22)이 도 1에 도시한 바와 같이 폐쇄 이치에서 지지면(18)과 접촉한다. 카운터 판(22)은 신속한 압력 평형화를 위해 통기 구멍(66; vent hole)을 포함할 수 있다.

커플링 메커니즘(50)은 액츄에이터 부재(44), 밀봉판(20), 카운터 판(22) 사이에 배치된다. 커플링 메커니즘(50)은 후술하는 바와 같이 폐쇄 위치와 후퇴 위치 사이에서의 밀봉판(20)과 카운터 판(22)의 운동을 제어한다. 후술하는 바와 같이, 커플링 메커니즘(50)은 롤러(52), 밀봉판(20)과 카운터 판(22)의 홈들, 밀봉판(20)과 카운터 판(22) 사이에 연결된 하나 이상의 스프링을 포함한다. 볼(ball)일 수 있는 롤러(52)는, 액츄에이터 부재(44)의 개구(46, 48; opening)에 이동가능하게 장착된다.

커플링 메커니즘(50)은 하나 이상의 스프링(70)을 포함하고, 이 스프링은 일단부가 밀봉판(20)에 부착되고 다른 단부가 카운터 판(22)에 부착된다. 스프링(70)은 밀봉판(20)과 카운터 판(22)을 서로를 향해 바이어스 시킨다. 밸브가 닫혔을 때, 스프링(70)이 도 1에 도시된 바와 같이 변형되어, 밀봉판(20)과 카운터 판(22)을 서로를 향해 당기는 경향이 있는 복원력을 생성한다. 판 스프링, 접시 스프링(Belleville spring), 코일 스프링 또는 다른 적절한 스프링이 본 발명의 범위 내에서 사용될 수 있다.

밀봉판(20)은 홈(80, 82)을 구비한다. 카운터 판(22)은 홈(84, 86)을 구비한다. 홈(80, 82, 84, 86)은 각각의 롤러(52)와 결합하는 형상을 갖고 결합하도록 배치된다. 각각의 홈은 각각의 판의 후퇴 위치를 형성하는 깊은 부분과, 각각의 판의 폐쇄 위치를 형성하는 얕은 부분과, 깊은 부분과 얕은 부분 사이의 천이부를 갖는다. 예를 들어, 홈(80)은 깊은 부분(80a), 얕은 부분(80b), 깊은 부분(80a)과 얕은 부분(80b) 사이의 천이부(80c)를 포함한다.

액츄에이터 조립체(32)와 밸브 액츄에이터(34)의 제어하에, 밀봉판(20)과 카운터 판(22)은 도 1에 도시된 폐쇄 위치와 도 2 및 도 3에 도시된 후퇴 위치와 개방 위치(도시되지 않음) 사이에서 움직일 수 있다. 개방 위치에서, 밀봉판(20)과 카운터 판(22)은 액체 또는 가스가 통과할 수 있도록 유체 도관(14)으로부터 밸브 하우징(12)의 상부 부분(12a; 도 4)으로 이동된다. 폐쇄 위치에서, 밀봉판(20)은 밸브 시트(16)와 밀봉 결합하여, 액체 또는 가스가 유체 도관(15)을 지나 통과하는 것을 막는다. 도 2 및 도 3의 후퇴 위치들은 하기에 상세히 설명한다.

작동시에, 축(40)은 밀봉판(20), 카운터 판(22), 액츄에이터 부재(44)를 도1에 도시된 폐쇄 위치로부터 도 2에 도시된 제 1 후퇴 위치로, 그리고 그 다음에 도 3에 도시된 제 2 후퇴 위치로 이동시킨다. 도 1에 도시된 후퇴 위치에서, 롤러(52)는 홈(80, 82, 84, 86)들의 얕은 부분들에 결합된다. 이는 밀봉판(20)이 밸브 시트(16)와 밀봉 결합하게 하고, 카운터 판(22)이 지지면(18)과 결합하게 한다. 카운터 판(22)은 폐쇄 위치에서 밀봉판(20)을 지지해주고, 밸브(10)에 걸친 압력차가 밀봉판(20)이 밸브 시트(16)로부터의 결합이 해제하도록 하는 것을 방지한다.

커플링 메커니즘(50)은 밸브가 열릴 때 밀봉판(20)과 카운터 판(22)의 이동할 수 있게 하는 구성을 갖는다. 특히, 액츄에이터(34)를 여기(energizing)시키고 축(40)과 액츄에이터 부재(44)를 도 1 내지 도 3의 좌측으로 이동시켜 밸브가 개방된다. 도 2는 제 1 후퇴 위치로의 이동을 예시하며, 제 1 후퇴 위치에서 밀봉판(20)은 밸브 시트(16)로부터 후퇴되고 카운터 판(22)이 지지면(18)과의 결합을 유지한다. 제 1 후퇴 위치에서, 밸브의 밀봉이 파괴되면, 밸브에 걸친 모든 압력차가 평형화될 수 있다. 카운터 판(22)이 지지면(18)과의 결합을 유지하므로, 밸브 시트(16)로부터의 밀봉판(20)의 후퇴는 밸브 시트(16)에 실질적으로 직각이고, 탄성체 링(64)의 마찰 및 마모가 제한된다. 또한, 카운터 판(22)이 도 2의 제 1 후퇴 위치에서 지지면(18)과의 결합을 유지하므로, 지지면(18)에 대해 카운터 판(22)이 부딪히는 것이 회피된다.

축(40)과 액츄에이터 부재(44)가 좌측으로 더 이동함에 따라, 밸브는 도 3에 도시된 바와 같이 제 2 후퇴 위치를 취하고, 밀봉판(20)은 밸브 시트(16)로부터 후퇴하고 카운터 판(22)은 지지면(18)으로부터 후퇴한다. 그 다음에, 밀봉판(20)과 카운터 판(22)은 유체 도관(14)으로부터 멀어지는 개방 위치로 또는 부분 개방 위치로 이동될 수 있다. 그러므로, 커플링 메커니즘(50)은 밸브 시트(16)로부터의 밀봉판(20)의 후퇴에 이어서 카운터 판(22)이 지지면(18)으로부터 후퇴되도록 구성된다. 밸브 시트(16)로부터의 밀봉판(20)의 후퇴와 지지면(18)으로부터 카운터 판(22)의 후퇴 간의 지연은 밸브 액츄에이터(34)와 커플링 메커니즘(50)의 디자인에 의존한다. 이 지연은 바람직하게는 밸브에 걸친 모든 압력차가 평형화되기에 충분하도록 선택된다.

도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같은 밸브 작동을 제공하는 커플링 메커니즘(50)의 작동이 이제 설명된다. 예시된 바와 같이, 밀봉판(20)의 홈(80, 82)은 깊은 부분(deep portion)들을 가지며, 이 깊은 부분은 액츄에이터의 행정 방향으로 기다랗고 홈(84, 86)의 천이부(84c, 86c)에 대해 액츄에이터의 행정 방향에서 오프셋된 얕은 부분들과 깊은 부분들 사이의 천이부(80c, 82c)를 각각 갖는다. 액츄에이터 부재(44)가 밸브가 열리는 중에 좌측으로 이동하므로, 롤러(52)는 각각의 홈(80, 82, 84, 86)의 얕은 부분들을 따라 이동하며, 밀봉판(20)과 카운터 판(22)은 초기의 그 닫힌 위치에 고정된 상태를 유지한다. 천이부(80c, 82c)는 도 2에 도시된 바와 같이 롤러(52)들이 먼저 밀봉판(20)의 홈(80, 82)들의 깊은 부분들과 결합하도록 천이부(84c, 86c)에 대해 오프셋되어 있다. 스프링(70)은 밀봉판(20)이 밸브 시트(16)로부터 후퇴하게 한다. 도 2의 제 1 후퇴 위치에서, 롤러(52)들은 카운터 판(22)의 홈(84)들의 얕은 부분들 내에 유지되고, 카운터판(22)은 지지면(18)과의 결합을 유지한다.

액츄에이터 부재(44)가 도 3에 도시된 바와 같이 좌측으로 더 이동함에 따라, 롤러(52)들은 홈(84, 86)의 깊은 부분들로 이동하고, 카운터 판(22)은 지지면(18)으로부터 후퇴한다. 이 운동 중에, 롤러(52)들은 밀봉판(20)의 홈(80, 82)의 기다란 깊은 부분들을 따라 이동하고, 밀봉판(20)은 후퇴된 위치를 유지한다. 스프링(70)은 밀봉판(20)을 홈(80, 82)의 깊은 부분들 내에 유지하고, 밀봉판(20)과 카운터 판(22)이 개방 위치를 향해 이동함에 따라 홈(84, 86)의 깊은 부분들에 카운터 판(22)을 유지한다. 그러므로, 홈(84, 86)의 천이부로부터 그 천이부가 오프셋되어 있는 홈(80, 82)들과 롤러(52)들의 결합은 도 1 내지 도 3에 도시된 원하는 운동을 제공한다.

도 1 내지 도 3에 예시되고 상술된 밸브 운동을 이루기 위해 상이한 메커니즘이 사용될 수 있음이 이해될 것이다. 예를 들어, 밀봉판(20)의 홈들과 결합하는 롤러들은 카운터 판(22)의 홈들과 결합하는 롤러들로부터 오프셋될 수 있다. 또한, 본 발명의 범위 내에서 상이한 홈 형상 및 롤러 타입이 사용될 수 있다. 일반적으로, 커플링 메커니즘은 밀봉판이 밸브 시트로부터 후퇴한 이후에 카운터 판이 지지면으로부터 후퇴하게 한다.

본 발명에 따른 게이트 밸브의 제 2 실시예가 도 6 내지 도 8에 도시되어 있다. 도 1 내지 도 8의 유사한 부재는 동일한 도면부호를 갖는다. 도 6 내지 도 8의 실시예는 도 1 내지 도 3의 실시예와는 주로 밀봉판(20)의 홈들의 형상에 대해 상이하다. 도 1 내지 도 3의 실시예에서, 밀봉판(20)의 홈(80, 82)들과 카운터판(22)의 홈(84, 86)들은 얕은 부분들과 깊은 부분들 사이에서 비교적 급격한 천이부(80c, 82c, 84c, 86c)를 갖는다. 도 6 내지 도 8의 실시예는 밀봉판(20)이 얕은 부분들과 깊은 부분들 사이에서 경사부(ramp)들 또는 점진적인 천이부들을 갖는 홈(180, 182)들을 구비한다. 이는 밀봉판(20)이 밸브 시트(16)로부터 원활하고 급격하지 않게 운동하면서 후퇴하게 한다. 도 1 내지 도 3의 실시예에서와 같이, 밀봉판(20)은 먼저 도 5에 도시된 바와 같이 밸브 시트(16)로부터 후퇴하고, 이후에, 카운터 판(22)이 도 6에 도시된 바와 같이 지지면(18)으로부터 후퇴한다. 밀봉판(20)과 카운터 판(22)의 홈들은 본 발명의 범위 내에서 다양한 구성을 가질 수 있다.

명세서에 설명되고 도면에 도시된 실시예들의 다양한 변화 및 수정이 본 발명의 진의 및 범위 내에서 이루어질 수 있음이 이해될 것이다. 따라서, 첨부한 도면에 도시되고 상기 설명에 포함된 모든 내용은 예시적인 것으로 해석되어야 하고, 본 발명을 제한하는 것이 아니다. 본 발명은 하기의 청구범위 및 그 등가물에 의해 정해진 바에 따라서만 한정된다.

Claims (16)

1. 유체 도관을 가지며 밸브 시트와 지지면을 형성하는 밸브 하우징과;

   밀봉판과;

   카운터 판과;

   개방 위치와 폐쇄 위치 사이에서 상기 밀봉판과 상기 카운터 판을 이동시키는 액츄에이터와;

   밸브가 개방될 때 밸브 시트로부터 상기 밀봉판의 후퇴 이후에 지지면으로부터 상기 카운터 판을 후퇴시키기 위해, 상기 밀봉 판, 상기 카운터 판 및 상기 액츄에이터 사이에 작동가능하게 커플링되는 커플링 메커니즘을 포함하며,

   상기 밀봉판은 밸브 시트와 밀봉 결합되어 있고 상기 카운터 판은 폐쇄 위치에서 지지면과 결합되어 있는 밸브.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 커플링 메커니즘은 상기 밀봉판의 하나 이상의 밀봉판 홈과, 상기 카운터 판의 하나 이상의 카운터 판 홈과, 상기 액츄에이터에 운동가능하게 장착된 롤러 부재들과, 상기 밀봉판과 상기 카운터 판을 후퇴 위치를 향해 바이어스(bias)하기 위한 하나 이상의 스프링을 포함하고, 상기 롤러 부재들은 상기 액츄에이터가 폐쇄 위치를 향해 또는 폐쇄 위치로부터 멀어지게 이동함에 따라 상기 밀봉판 홈들 및 상기 카운터 판 홈들을 따라 이동하는 밸브.
3. 제 2 항에 있어서,

   상기 밀봉판 홈들과 상기 카운터 판 홈들은 각각 얕은 부분과 깊은 부분을 갖고, 얕은 부분들과 깊은 부분들의 천이부들은 상기 카운터 홈들의 얕은 부분들과 깊은 부분들 사이의 천이부들에 대한 액츄에이터의 운동방향에서 오프셋되어 있는 밸브.
4. 제 3 항에 있어서,

   상기 밀봉판 홈들과 상기 카운터 판 홈들은 각각 얕은 부분과 깊은 부분 사이에 비교적 급격한 천이부를 갖는 밸브.
5. 제 3 항에 있어서,

   상기 밀봉판 홈들은 각각 얕은 부분과 깊은 부분 사이에 비교적 점진적인 천이부를 갖고, 상기 카운터 판 홈들은 각각 얕은 부분과 깊은 부분 사이에 비교적 급격한 천이부를 갖는 밸브.
6. 제 1 항에 있어서,

   상기 밸브 하우징과 상기 밀봉판은 게이트 밸브로서 구성되는 밸브.
7. 제 1 항에 있어서,

   상기 롤러 부재들은 볼을 포함하는 밸브.
8. 제 1 항에 있어서,

   상기 카운터 판은 하나 이상의 통기 구멍을 포함하는 밸브.
9. 밀봉판이 밸브 시트와 결합하고 카운터 판은 폐쇄 위치에서 지지면과 결합하는 게이트 밸브 작동 방법에 있어서,

   밀봉판을 밸브 시트로부터 후퇴시키고;

   밀봉판을 밸브 시트로부터 후퇴시킨 후에 카운터 판을 지지면으로부터 후퇴시키는 단계들을 포함하는 게이트 밸브 작동 방법.
10. 제 9 항에 있어서,

    밀봉판을 후퇴시키는 단계는 밸브 시트에 대해 실질적으로 직각인 방향으로 밀봉판을 후퇴시키는 것을 포함하는 게이트 밸브 작동 방법.
11. 제 9 항에 있어서,

    카운터 판을 지지면으로부터 후퇴시킨 후에 밀봉 판과 카운터 판을 개방 위치로 이동시키는 단계를 추가로 포함하는 게이트 밸브 작동 방법.
12. 유체 도관을 갖고 밸브 시트와 지지면을 형성하는 밸브 하우징과;

    밀봉판과;

    카운터 판과;

    개방 위치와 폐쇄 위치 사이에서 상기 밀봉판과 상기 카운터 판을 이동시키고, 상기 밀봉판은 밸브 시트와 밀봉 결합되어 있고 상기 카운터 판은 폐쇄 위치에서 지지면과 결합되어 있는 액츄에이터와;

    상기 밀봉판이 밸브 시트로부터 후퇴된 후에 상기 카운터 판을 지지면으로부터 후퇴시키는 수단을 포함하는 게이트 밸브.
13. 제 12 항에 있어서,

    상기 후퇴 수단은 상기 밀봉판의 하나 이상의 밀봉판 홈과, 상기 카운터 판의 하나 이상의 카운터 판 홈과, 상기 액츄에이터에 장착된 롤러 부재들과, 상기 밀봉판과 상기 카운터 판을 서로를 향해 바이어스하기 위한 하나 이상의 스프링을 포함하고, 상기 롤러 부재들은 상기 액츄에이터가 폐쇄 위치를 향해 또는 폐쇄 위치로부터 멀어지게 이동함에 따라 상기 밀봉판 홈들 및 상기 카운터 판 홈들을 따라 이동하는 게이트 밸브.
14. 제 13 항에 있어서,

    상기 밀봉판 홈들과 상기 카운터 판 홈들은 각각 얕은 부분과 깊은 부분을 갖고, 얕은 부분들과 깊은 부분들의 천이부들은 상기 카운터 홈들의 얕은 부분들과 깊은 부분들 사이의 천이부들에 대한 액츄에이터의 운동방향에서 오프셋되어 있는게이트 밸브.
15. 제 14 항에 있어서,

    상기 밀봉판 홈들과 상기 카운터 판 홈들은 각각 얕은 부분과 깊은 부분 사이에 비교적 급격한 천이부를 갖는 게이트 밸브.
16. 제 14 항에 있어서,

    상기 밀봉판 홈들은 각각 얕은 부분과 깊은 부분 사이에 비교적 점진적인 천이부를 갖고, 상기 카운터 판 홈들은 각각 얕은 부분과 깊은 부분 사이에 비교적 급격한 천이부를 갖는 게이트 밸브.