JP3323459B2 - ゲートバルブ - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、集積回路
（ＩＣ）やその部品等のワークを一方の真空処理室から
他方の真空処理室に移送する移送通路、または、圧力流
体、気体等の流通通路もしくは排気通路等を開閉するこ
とが可能なゲートバルブに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来から、例えば、半導体ウェハや液晶
基板等の処理装置においては、半導体ウェハや液晶基板
等を種々の処理室に通路を介して出し入れすることが行
われており、前記通路には、それぞれ、該通路を開閉す
るゲートバルブが設けられている。

【０００３】このゲートバルブは、例えば、特許第２６
１３１７１号公報に示されるように、シリンダの駆動作
用下に変位する弁ロッドの直進運動によって弁ディスク
が弁座の対向位置に到達した後、前記弁ロッドの傾動運
動によって前記弁ディスクが弁座に押し付けられて着座
することにより、弁箱に形成された通路が閉塞されるよ
うに設けられている。

【０００４】すなわち、従来技術に係るゲートバルブ１
は、図１３および図１４に示されるように、ワークを出
し入れする通路２が形成された弁箱３と、前記弁箱３内
に形成された弁座４に着座することにより前記通路２を
閉塞する弁ディスク５と、前記弁ディスク５に連結され
て上下動および傾動自在に設けられた弁ロッド６とを有
する。

【０００５】前記弁ロッド６の上部にはブロック７が連
結され、前記ブロック７の両側面には、一組のシリンダ
８ａ、８ｂのシリンダチューブ９の両側面にそれぞれ形
成されたガイド溝１０（図１５参照）に沿って変位する
枢軸１１が固着され、前記ブロック７は、枢軸１１が係
合するガイド溝１０の案内作用下に上下動および傾動す
るように設けられている。なお、前記シリンダチューブ
９、ブロック７および枢軸１１は、それぞれ金属製材料
によって形成されている。

【０００６】換言すると、前記ブロック７は、枢軸１１
が係合するガイド溝１０の案内作用下に、引張ばね１２
を介してヨーク１３と一体的に上下方向に沿って直進運
動するとともに、前記ガイド溝１０の湾曲する下端部１
０ａ（図１５参照）によって支持された枢軸１１を支点
として矢印Ａ方向に傾動運動するように設けられてい
る。従って、前記弁ディスク５は、枢軸１１を支点とし
て矢印Ｂ方向に傾動して弁座４に着座することにより、
通路２が気密に閉塞される。

【０００７】なお、参照数字１４は、断面菱形の板状カ
ムを示し、傾斜した前記板状カム１４が略水平に変位す
ることにより、前記ブロック７がガイド溝１０の下端部
１０ａを支点として矢印Ａ方向に傾動するように設けら
れている。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
従来技術に係るゲートバルブでは、一組のシリンダの駆
動作用下に弁ロッドが上下動および傾動し、前記弁ロッ
ドに連結された弁ディスクによって通路が閉塞されるよ
うに設けられている。このため、従来技術に係るゲート
バルブでは、長年の使用により、弁ディスクが弁座に着
座して通路を閉塞した際に前記通路のシール性が劣化す
るおそれがある。

【０００９】本発明は、前記の不具合を考慮してなされ
たものであり、弁箱の弁座に対し弁ディスクが略直交す
る方向から押圧してシールすることにより、擦れによる
塵埃の発生を阻止し、しかも、通路を確実にシールする
ことにより、通路に対するシール性を向上させることが
可能なゲートバルブを提供することを目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】請求項１に係る本発明に
よれば、駆動源の駆動作用下にヨークと弁ロッドとが一
体的に変位し、弁ディスクが弁箱の通路と対峙した状態
となる。弁ロッドの端部に固定されたボックスが静止し
た状態において、弁ロッドのみがさらに変位することに
より変位機構が付勢され、ボックス内の変位部材が前記
弁ロッドと一体的に変位する。その際、連結部材は、変
位部材に形成された長孔に対するピン部材の係合作用下
に、通路側に向かって接近する方向に変位する。この結
果、前記連結部材に連結された弁ディスクが通路側に接
近し、前記通路が弁ディスクによって閉塞される。弁ロ
ッドを前記とは反対方向に変位させることにより、前記
弁ディスクが通路から離間する。

【００１１】

【００１２】請求項２に係る本発明によれば、駆動源の
駆動作用下にヨークと弁ロッドとが一体的に変位し、弁
ディスクが弁箱の通路と対峙した状態となる。弁ロッド
の端部に固定されたボックスが静止した状態において、
弁ロッドのみがさらに変位することにより変位機構が付
勢され、ラックが前記弁ロッドと一体的に変位する。そ
の際、前記ラックの歯部に噛合する一組のピニオンがそ
れぞれ反対方向に回転し、前記一組のピニオンの雄ねじ
部と一組の軸受部材の雌ねじ部とのそれぞれの螺合作用
下に弁ディスクが通路側に向かって接近する方向に変位
する。この結果、弁ディスクが通路側に接近し、前記通
路が弁ディスクによって閉塞される。弁ロッドを前記と
は反対方向に変位させることにより、前記弁ディスクが
通路から離間する。

【００１３】請求項３に係る本発明によれば、駆動源の
駆動作用下にヨークと弁ロッドとが一体的に変位し、弁
ディスクが弁箱の通路と対峙した状態となる。弁ロッド
の端部に固定されたボックスが静止した状態において、
弁ロッドのみがさらに変位することにより変位機構が付
勢され、カムレバーが前記弁ロッドと一体的に変位す
る。その際、前記カムレバーに形成されたカム孔に対す
る第１ピン部材の係合作用下に、カムが押圧される。前
記カムは、ボックスの内壁面に沿って支持ローラが回動
しながら、第２ピン部材を支点として所定角度回動す
る。従って、前記支持ローラがボックスの内壁面に沿っ
て回動することによりカムが通路側に向かって変位し、
前記カムに連結された連結部材を介して弁ディスクが通
路側に向かって接近する方向に変位する。この結果、弁
ディスクが通路側に接近し、前記通路が弁ディスクによ
って閉塞される。弁ロッドを前記とは反対方向に変位さ
せることにより、前記弁ディスクが通路から離間する。

【００１４】

【００１５】また、前記弁ロッドは、ヨークに連結され
該ヨークと一体的に変位する第１シャフトと、前記第１
シャフトに外嵌される第２シャフトと、前記第２シャフ
トに外嵌される第３シャフトとを有し、前記第２シャフ
トおよび第３シャフトは、ベースプレートに形成された
ガイド孔に挿入されるガイド棒を介して保持可能に設け
られる。

【００１６】請求項１乃至３に係る本発明によれば、駆
動源とは別個に、弁ディスクを弁ロッドの軸線と略直交
する方向に変位させる変位機構を設けることにより、弁
ディスクによって通路が確実に閉塞され、通路のシール
性が向上する。また、前記弁ディスクは、弁箱の弁座に
対して略直交する方向から着座して通路をシールするた
め、着座するときの擦れに起因する塵埃の発生を阻止す
ることができる。

【００１７】

【発明の実施の形態】本発明に係るゲートバルブについ
て好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照しながら
以下詳細に説明する。

【００１８】図１において、参照数字２０は、本発明の
実施の形態に係るゲートバルブを示す。

【００１９】このゲートバルブ２０は、後述する弁箱の
外部に設けられた駆動部２２と、前記駆動部２２の駆動
作用下に上下方向に沿って変位する一組の弁ロッド２４
ａ、２４ｂと、前記弁ロッド２４ａ、２４ｂの変位作用
下に通路（後述する）を開閉する弁ディスク２６と、前
記弁ロッド２４ａ、２４ｂと弁ディスク２６との間に設
けられ、前記弁ディスク２６を前記通路側に向かって進
退動作させる変位機構２８ａ、２８ｂとを有する。

【００２０】なお、前記駆動部２２の下部側には、図示
しないワークを出し入れするための通路３０が形成され
た弁箱３２が設けられ（図３参照）、前記弁箱３２の内
壁面に形成された弁座３４に前記弁ディスク２６が着座
することにより、前記通路３０が気密に閉塞される。前
記弁ディスク２６には環状溝に沿ってシール部材３６が
装着され、前記シール部材３６によって弁ディスク２６
が弁座３４に着座した際の気密性が保持される。

【００２１】駆動部２２は、前記弁箱３２の外壁面に固
定されるベースプレート３８と、前記ベースプレート３
８に装着されるケーシング４０と、前記ベースプレート
３８の略中央部に形成された孔部４２を介して固定され
るシリンダ機構（駆動源）４４とを有する。

【００２２】前記ベースプレート３８には、一組の弁ロ
ッド２４ａ、２４ｂを挿通するための断面略円形状の一
組の貫通孔が形成され、前記貫通孔に近接する部位に
は、後述するガイド棒４８ａ、４８ｂが挿入される一組
のガイド孔５０ａ、５０ｂが対向して形成されている
（図２参照）。前記貫通孔には、弁ロッド２４ａ、２４
ｂの所定部分を被覆するベローズ５２が連結された環状
部材５３が装着されている。

【００２３】なお、図２に示されるように、弁箱３２に
は前記一組の弁ロッド２４ａ、２４ｂが挿通する一組の
孔部４６ａ、４６ｂが形成され、前記ベースプレート３
８と弁箱３２との間には、弁ロッド２４ａ、２４ｂの外
周面に摺接して塵埃等が弁箱３２内に進入することを阻
止するシール部材５４が装着されている。

【００２４】前記シリンダ機構４４は、図２に示される
ように、一端部がベースプレート３８の孔部４２内に気
密に嵌合されるシリンダチューブ５６と、前記シリンダ
チューブ５６内のシリンダ室５８に沿って変位自在に収
装されたピストン６０と、一端部が前記ピストン６０に
連結され、他端部がプレート状のヨーク６２に連結され
たピストンロッド６４とを有する。

【００２５】前記ピストン６０には、該ピストン６０に
よって二分割された上部側シリンダ室５８ａと下部側シ
リンダ室５８ｂとをそれぞれ気密に保持するピストンパ
ッキン６６と、ピストン６０が変位終端位置に到達した
際にシリンダチューブ５６の内壁面に当接することによ
りその衝撃を吸収する緩衝部材６８とが設けられてい
る。また、シリンダチューブ５６には、ピストンロッド
６４の外周面を囲繞するブッシュ７０と、環状のシール
部材７２とが装着されている。

【００２６】ピストンロッド６４とヨーク６２との連結
部位には、該ピストンロッド６４のねじ部に係合する環
状のばね部材７４と、前記ねじ部に螺合され前記ばね部
材７４の弾発力によって保持されるナット部材７６とが
設けられる。この場合、ばね部材７４は、通常の状態に
おいて、図７に示されるように略中心部が上方に向かっ
て盛り上がった状態にあり、ピストンロッド６４が下降
して下方向の荷重がばね部材７４に付与されることによ
り、図８に示されるように、ばね部材７４の弾発力に抗
して略中心部がへこんで略水平状態となるように設けら
れている。

【００２７】一組の弁ロッド２４ａ、２４ｂはそれぞれ
同一構成要素からなり、一端部がロックナット７８を介
してヨーク６２に連結され他端部がねじ部を介して変位
部材（後述する）に連結される第１シャフト８２と、前
記第１シャフト８２に対して摺動自在に外嵌される第２
シャフト８４と、前記第２シャフト８４に外嵌される第
３シャフト８６とを有する。

【００２８】前記第２シャフト８４の一端部には、ねじ
部に螺合されるナット部材８８を介してプレート８９が
締結され、前記プレート８９の底面部には、下方側に向
かって突出しベースプレート３８のガイド孔５０ａ、５
０ｂに挿入される一組のガイド棒４８ａ、４８ｂが連結
されている。第２シャフト８４の他端部は、図４および
図５に示されるように、ねじ部を介してボックス９０に
連結されている。第３シャフト８６の一端部にはベロー
ズ５２の端部が係止され、他端部はボックス９０に当接
するように設けられている。ヨーク６２とプレート８９
との間には、第１シャフト８２に沿ってばね部材９４が
介装されている。なお、前記プレート８９とガイド棒４
８ａ、４８ｂとを一体的に形成してもよい。

【００２９】この場合、ピストン６０の変位作用下に第
１乃至第３シャフト８２、８４、８６が一体的に昇降す
るとともに、ガイド棒４８ａ、４８ｂがガイド孔５０
ａ、５０ｂに挿入されると第２シャフト８４および第３
シャフト８６が固定状態となり、固定された第２シャフ
ト８４に対して第１シャフト８２が摺動変位するように
設けられている。

【００３０】弁ロッド２４ａ、２４ｂの端部に設けられ
た変位機構２８ａ、２８ｂは同一構成要素からなり、内
部に断面円形状の空間部９６（図５参照）が形成された
ボックス９０と、前記ボックス９０に固定され、所定間
隔離間して上方に向かって突出する一組のガイドロッド
９８ａ、９８ｂと、第１シャフト８２の端部に連結され
て該第１シャフト８２と一体的に前記空間部９６の上下
方向に沿って変位自在に設けられる変位部材１００と、
軸受部材１０２を介して略水平方向に沿って変位自在に
軸支される連結部材１０４とをそれぞれ有する。

【００３１】前記連結部材１０４の一端部は、弁ディス
ク２６の孔部に挿入され、止め輪１０６を介して弁ディ
スク２６に固定される。また、ボックス９０と弁ディス
ク２６との間には、前記連結部材１０４を被覆するベロ
ーズ１０８が介装される。

【００３２】前記変位部材１００には、所定角度傾斜す
る断面長円形状を呈し相互に対向する一方の側面から他
方の側面に貫通する長孔１１０が形成され、前記長孔１
１０に係合するようにピン部材１１２が設けられてい
る。前記ピン部材１１２の略中央部には連結部材１０４
の他端部が軸着され、前記連結部材１０４は、長孔１１
０に対するピン部材１１２の係合作用下に通路３０側に
向かって略水平方向に進退動作するように設けられてい
る。

【００３３】また、前記変位部材１００には、図５に示
されるように、一組のガイドロッド９８ａ、９８ｂが挿
入される第１孔部１１４ａおよび第２孔部１１４ｂが形
成され、前記第１孔部１１４ａと第２孔部１１４ｂとの
間には、前記連結部材１０４が変位するための第３孔部
１１４ｃが形成されている。なお、前記変位部材１００
の上部には、所定角度傾斜する傾斜面１１６が形成され
ている。

【００３４】本発明の実施の形態に係るゲートバルブ２
０は、基本的には以上のように形成されるものであり、
次にその動作並びに作用効果について説明する。なお、
以下の説明では、ピストン６０がシリンダ室５８の最上
端位置（上死点）にあり、弁箱３２に形成された通路３
０が弁ディスク２６によって閉塞されていない開成状態
を初期位置として説明する。

【００３５】前記初期位置において、圧力流体供給源
（図示せず）から図示しないチューブを介して上部側シ
リンダ室５８ａに圧力流体（例えば、圧縮空気）を供給
する。上部側シリンダ室５８ａに供給された圧力流体の
作用下にピストン６０が下降し、前記ピストン６０に連
結されたピストンロッド６４も一体的に下降する。な
お、この場合、下部側シリンダ室５８ｂは、図示しない
切換弁の作用下に大気開放状態にあるものとする。

【００３６】前記ピストンロッド６４が下降することに
より、該ピストンロッド６４とともにヨーク６２、一組
の弁ロッド２４ａ、２４ｂ、変位機構２８ａ、２８ｂお
よび弁ディスク２６が一体的に下降する。この場合、弁
ロッド２４ａ、２４ｂを構成する第１乃至第３シャフト
８２、８４、８６はそれぞれ一体的に下降する。

【００３７】ピストンロッド６４が下降してガイド棒４
８ａ、４８ｂがガイド孔５０ａ、５０ｂに挿入された
後、弁ロッド２４ａ、２４ｂを構成する第２シャフト８
４および第３シャフト８６は、ガイド棒４８ａ、４８ｂ
によって支持されて固定状態となる。従って、第２シャ
フト８４および第３シャフト８６の端部に連結されたボ
ックス９０も静止し、弁ディスク２６が弁箱３２の通路
３０と対峙した状態となる（図３および図４参照）。

【００３８】図４に示す状態から、ばね部材９４の弾発
力に抗してピストン６０がさらに下降してピストンロッ
ド６４およびヨーク６２が下降すると、第２シャフト８
４および第３シャフト８６がガイド棒４８ａ、４８ｂに
よって支持された状態を保持しながら、第１シャフト８
２のみが摺動変位（下降）する。従って、ボックス９０
が静止した状態で、前記第１シャフト８２のみがさらに
下降することにより、該第１シャフト８２の端部に連結
された変位部材１００が一体的に下降し、その際、連結
部材１０４は、変位部材１００に形成された長孔１１０
に対するピン部材１１２の係合作用下に、通路３０側に
向かって接近する方向に変位する。換言すると、変位部
材１００がガイドロッド９８ａ、９８ｂの案内作用下に
下降することにより、前記変位部材１００に形成された
長孔１１０に沿ってピン部材１１２が略水平方向に変位
し、前記ピン部材１１２に軸着された連結部材１０４も
該ピン部材１１２と一体的に略水平方向に変位する。こ
の結果、連結部材１０４に連結された弁ディスク２６が
通路３０側に接近し、前記弁ディスク２６に設けられた
シール部材３６が弁座３４に着座して通路３０が気密に
閉塞される。

【００３９】なお、変位機構２８ａ、２８ｂの付勢作用
下に弁ディスク２６のシール部材３６を通路３０側に向
かって押圧することにより弁ロッド２４ａ、２４ｂに付
与される横荷重は、ガイド孔５０ａ、５０ｂに挿入され
たガイド棒４８ａ、４８ｂによって吸収される。この場
合、前記ガイド棒４８ａ、４８ｂに低摩擦処理を施して
おくとよい。

【００４０】次に、弁ディスク２６を弁座３４から離間
させて通路３０を開成する場合には、図示しない切換弁
の切換作用下に下部側シリンダ室５８ｂに圧力流体を供
給することによりピストン６０が上昇し、ピストンロッ
ド６４、ヨーク６２、第１シャフト８２および変位部材
１００が一体的に上昇することにより、弁ディスク２６
が通路３０から離間する方向に変位して図３に示す状態
に至る。なお、ピストン６０が上昇する際、ばね部材９
４の弾発力の作用下に第２シャフト８４および第３シャ
フト８６が下方側に向かって押圧されるため、第１シャ
フト８２のみが上昇し、第２シャフト８４および第３シ
ャフト８６はガイド棒４８ａ、４８ｂによって支持され
た状態にある。

【００４１】下部側シリンダ室５８ｂに圧力流体を供給
してさらにピストン６０を上昇させることにより、ピス
トンロッド６４、ヨーク６２、第１乃至第３シャフト８
２、８４、８６および変位機構２８ａ、２８ｂが一体的
に上昇して初期位置に復帰する。なお、上部側シリンダ
室５８ａは、図示しない切換弁の切換作用下に大気開放
状態にある。

【００４２】本実施の形態では、弁ディスク２６を通路
３０側に向かって略水平方向に進退動作させる変位機構
２８ａ、２８ｂを弁ロッド２４ａ、２４ｂの端部に設け
ることにより、弁ディスク２６のシール部材３６によっ
て確実に通路３０が閉塞され、通路３０に対するシール
性を向上させることができる。この場合、弁ディスク２
６のシール部材３６は、弁座３４に対して略直交する方
向から着座するため、シール部材３６が着座するときに
滑ることがなく、塵埃の発生を阻止することができる。
この結果、弁箱３２内の清浄性を保持することができ
る。

【００４３】また、本実施の形態では、変位機構２８
ａ、２８ｂの付勢作用下に弁ディスク２６を通路３０側
に向かって進退動作させてシール部材３６が弁座３４に
着座するように設けられ、弁ロッド２４ａ、２４ｂは往
復直線運動を行うだけで傾動することがないため、シリ
ンダ機構４４に付与される負荷を減少させ、シリンダ機
構４４の耐久性を向上させることができる。同様に、ベ
ローズ５２に対して横方向の偏荷重が付与されることな
いため、前記ベローズ５２の耐久性を向上させることが
できる。

【００４４】さらに、本実施の形態では、ピストンロッ
ド６４とヨーク６２との連結部位に断面略円錐状のばね
部材７４を設けることにより、シリンダ機構４４の駆動
力が直接的に弁ディスク２６に伝達されることがなく、
しかも弁ディスク２６のシール部材３６が略一定の荷重
で弁座３４をシールするようにしている。

【００４５】次に、変形例に係る変位機構１２０ａ（１
２０ｂ）を図９および図１０に示す。

【００４６】この変形例に係る変位機構１２０ａ（１２
０ｂ）は、弁ロッド２４ａ、２４ｂを構成する第１シャ
フト８２の端部に同軸状に締結され、前記第１シャフト
８２と一体的に昇降自在に設けられたラック１２２と、
ボックス９０に設けられた第１ベアリング部材１２４ａ
および第２ベアリング部材１２４ｂに回動自在に軸支さ
れ、前記ラック１２２の歯部に噛合する第１ピニオン１
２６ａおよび第２ピニオン１２６ｂと、前記ラック１２
２に形成されたガイド孔１２８に沿って挿入されるガイ
ドロッド１３０とを有する。

【００４７】弁ディスク２６には、前記第１ピニオン１
２６ａおよび第２ピニオン１２６ｂの端部に形成された
雄ねじ部１３２に螺合する雌ねじ部１３４が形成された
一組の軸受部材１３６ａ、１３６ｂが連結されている。
前記一組の軸受部材１３６ａ、１３６ｂに形成された雌
ねじ部１３４は、第１ピニオン１２６ａおよび第２ピニ
オン１２６ｂの雄ねじ部１３２に対応して、ねじの切り
込み方向が反対となる右ねじおよび左ねじに形成されて
いる。

【００４８】変形例に係る変位機構１２０ａ（１２０
ｂ）では、第１シャフト８２と一体的にラック１２２が
下降することにより、該ラック１２２の歯部と第１ピニ
オン１２６ａおよび第２ピニオン１２６ｂとが噛合し、
前記第１ピニオン１２６ａおよび第２ピニオン１２６ｂ
がそれぞれ反対方向に回転する。前記第１ピニオン１２
６ａおよび第２ピニオン１２６ｂが回転することによ
り、該第１ピニオン１２６ａおよび第２ピニオン１２６
ｂの雄ねじ部１３２と軸受部材１３６ａ、１３６ｂの雌
ねじ部１３４との螺合作用下に弁ディスク２６が通路３
０側に略水平方向に変位し、シール部材３６が弁座３４
に着座することにより通路３０が閉塞される。

【００４９】変形例に係る変位機構１２０ａ（１２０
ｂ）では、ラック１２２と第１および第２ピニオン１２
６ａ、１２６ｂとを設けることにより、第１シャフト８
２に対して偏荷重が付与されることがなく、一組の第１
および第２ピニオン１２６ａ、１２６ｂを均等に回転さ
せて弁ディスク２６を変位させることができるという利
点がある。

【００５０】次に、他の変形例に係る変位機構１４０ａ
（１４０ｂ）を図１１および図１２に示す。

【００５１】この他の変形例に係る変位機構１４０ａ
（１４０ｂ）は、弁ロッド２４ａ、２４ｂを構成する第
１シャフト８２の端部に締結され、カム孔１４２が形成
されたカムレバー１４４と、前記カム孔１４２に係合す
る第１ピン部材１４６に軸支されるカム１４８と、前記
カム１４８の一端部に回動自在に軸支されてボックス９
０の内壁面に沿って回動する支持ローラ１５０とを有す
る。前記カム１４８の他端部は、第２ピン部材１５２を
介して連結部材１０４の端部に回動自在に軸支されてい
る。

【００５２】他の変形例に係る変位機構１４０ａ（１４
０ｂ）では、第１シャフト８２と一体的にカムレバー１
４４が下降することにより、カム孔１４２に対する第１
ピン部材１４６の係合作用下に、カム１４８が下方側に
向かって押圧される。前記カム１４８は、ボックス９０
の内壁面に沿って支持ローラ１５０が回動しながら、第
２ピン部材１５２を支点として所定角度回動する。前記
支持ローラ１５０がボックス９０の内壁面に沿って回動
することによりカム１４８が通路３０側に向かって変位
し、前記カム１４８に連結された連結部材１０４を介し
て弁ディスク２６が通路３０側に向かって略水平方向に
変位し、シール部材３６が弁座３４に着座することによ
り通路３０が閉塞される。

【００５３】他の変形例に係る変位機構１４０ａ（１４
０ｂ）では、カム１４８、カムレバー１４４等を設ける
ことにより、弁ディスク２６のシール部材３６が接触す
るシート面に対する押圧力を大きくすることができると
いう利点がある。

【００５４】

【発明の効果】本発明によれば、以下の効果が得られ
る。

【００５５】すなわち、弁ディスクによって確実に通路
が閉塞され、通路に対するシール性を向上させることが
できる。この場合、弁ディスクは、弁箱の弁座に対して
略直交する方向から着座するため、弁ディスクが着座す
るときに滑ることがなく、塵埃の発生を阻止することが
できる。この結果、弁箱内の清浄性を保持することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態に係るゲートバルブの概略
斜視図である。

【図２】前記ゲートバルブの軸線方向に沿った縦断面図
である。

【図３】図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿った縦断面図であ
る。

【図４】図３に示す変位機構の部分拡大図である。

【図５】図４のＶ−Ｖ線に沿った縦断面図である。

【図６】図４に示す弁ディスクが通路側に向かって略水
平方向に変位した状態を示す部分拡大図である。

【図７】ピストンロッドとヨークとの連結部位に設けら
れたばね部材を示す部分拡大断面図である。

【図８】図７から下方側に向かって荷重が付与された状
態を示す部分拡大断面図である。

【図９】変形例に係る変位機構を示す部分拡大断面図で
ある。

【図１０】図９のＸ−Ｘ線に沿った縦断面図である。

【図１１】他の変形例に係る変位機構を示す部分拡大断
面図である。

【図１２】図１１に示す弁ディスクが通路側に向かって
略水平方向に変位した状態を示す部分拡大図である。

【図１３】従来技術に係るゲートバルブの軸線方向に沿
った縦断面図である。

【図１４】従来技術に係るゲートバルブの軸線方向に沿
った縦断面図である。

【図１５】従来技術に係るゲートバルブを構成するシリ
ンダチューブの斜視図である。

【符号の説明】

２０…ゲートバルブ ２２…駆動部 ２４ａ、２４ｂ…弁ロッド ２６…弁ディスク ２８ａ、２８ｂ、１２０ａ、１２０ｂ、１４０ａ、１４
０ｂ…変位機構 ３０…通路 ３２…弁箱 ３４…弁座 ３６、５４、７２
…シール部材 ３８…ベースプレート ４４…シリンダ機
構 ４８ａ、４８ｂ…ガイド棒 ５０ａ、５０ｂ、
１２８…ガイド孔 ５２、１０８…ベローズ ６０…ピストン ６２…ヨーク ６４…ピストンロ
ッド ６８…緩衝部材 ７４、９４…ばね
部材 ７６、８８…ナット部材 ７８…ロックナッ
ト ８２、８４、８６…シャフト ９０…ボックス ９８ａ、９８ｂ…ガイドロッド １００…変位部材 １０２、１３６ａ、１３６ｂ…軸受部材 １０４…連結部材 １１０…長孔 １１２、１４６、１５２…ピン部材 １２２…ラック １２６ａ、１２６ｂ…ピニオン １４２…カム孔 １４４…カムレバー １４８…カム １５０…支持ローラ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平10−231939（ＪＰ，Ａ) 特開 昭58−156780（ＪＰ，Ａ) 実開 平２−110766（ＪＰ，Ｕ) 実開 平２−67183（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭56−168678（ＪＰ，Ｕ) 特許2839025（ＪＰ，Ｂ２) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) F16K 3/00 - 3/36 F16K 31/44 - 31/62

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】駆動源と、 前記駆動源の駆動軸に連結され、該駆動源の駆動作用下
   に変位するヨークと、 前記ヨークに連結され、該ヨークと一体的に変位する弁
   ロッドと、 前記弁ロッドの変位作用下に、弁箱に形成された通路を
   開閉する弁ディスクと、 前記弁ロッドと弁ディスクとの間に設けられ、前記弁デ
   ィスクを弁ロッドの軸線と略直交する方向に変位させる
   変位機構と、 を備え、前記変位機構は、 前記弁ロッドの端部に固定されるボックスと、 前記ボックス内の空間部に変位自在に配設される変位部
   材と、 前記弁ディスクに連結され、軸受部材を介して弁ロッド
   の軸線と略直交する方向に沿って変位自在に軸支される
   連結部材と、 前記変位部材に形成された長孔に係合し、略中央部に前
   記連結部材が軸着されたピン部材とを有す ることを特徴
   とするゲートバルブ。
2. 【請求項２】駆動源と、 前記駆動源の駆動軸に連結され、該駆動源の駆動作用下
   に変位するヨークと、 前記ヨークに連結され、該ヨークと一体的に変位する弁
   ロッドと、 前記弁ロッドの変位作用下に、弁箱に形成された通路を
   開閉する弁ディスクと、 前記弁ロッドと弁ディスクとの間に設けられ、前記弁デ
   ィスクを弁ロッドの軸線と略直交する方向に変位させる
   変位機構と、 を備え、 前記変位機構は、前記弁ロッドの端部に固定されるボックスと、 前記 弁ロッドの端部に同軸状に連結されたラックと、前記ボックスに固定された ベアリング部材によって回動
   自在に軸支され、前記ラックの歯部に噛合する一組のピ
   ニオンと、前記 弁ディスクに連結され、前記ピニオンの雄ねじ部に
   螺合する雌ねじ部が形成された一組の軸受部材とを有す
   ることを特徴とするゲートバルブ。
3. 【請求項３】駆動源と、 前記駆動源の駆動軸に連結され、該駆動源の駆動作用下
   に変位するヨークと、 前記ヨークに連結され、該ヨークと一体的に変位する弁
   ロッドと、 前記弁ロッドの変位作用下に、弁箱に形成された通路を
   開閉する弁ディスクと、 前記弁ロッドと弁ディスクとの間に設けられ、前記弁デ
   ィスクを弁ロッドの軸線と略直交する方向に変位させる
   変位機構と、 を備え、 前記変位機構は、前記 弁ロッドの端部に固定されるボックスと、 前記ボックス内の空間部に配設され、カム孔が形成され
   たカムレバーと、 前記カム孔に係合する第１ピン部材に軸支されるカム
   と、 前記カムの一端部に回動自在に軸支されて前記ボックス
   の内壁面に沿って回動する支持ローラと、 前記カムの他端部と前記連結部材とを軸着する第２ピン
   部材とを有することを特徴とするゲートバルブ。
4. 【請求項４】請求項１乃至３のいずれか１項に記載のゲ
   ートバルブにおいて、 前記弁ロッドは、ヨークに連結され該ヨークと一体的に
   変位する第１シャフトと、前記第１シャフトに外嵌され
   る第２シャフトと、前記第２シャフトに外嵌される第３
   シャフトとを有し、前記第２シャフトおよび第３シャフ
   トは、ベースプレートに形成されたガイド孔に挿入され
   るガイド棒を介して保持可能に設けられることを特徴と
   するゲートバルブ。