JP2000074258A - 真空ゲ―ト弁 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 前後の真空容器１，２間の真空ゲート弁５に
おける弁箱６内でその連通口７，８を開閉する弁板１
４，１５を機械的な機構により開閉駆動するようにしつ
つ、その機構からの発塵により真空空間が汚染されるの
を防止する。 【解決手段】 弁箱６内に、開弁位置及び閉弁位置間を
昇降可能な弁板支持体１８と、弁板支持体１８に接離可
能に支持された前後弁板１４，１５と、弁板駆動体２５
を昇降させて弁板１４，１５を開閉させる弁板駆動機構
３９とを設け、内部に弁板駆動機構３９を収容する機構
収容ベローズ４１を弁板１４，１５間に架設する。弁箱
６底壁を気密状に貫通して弁板支持体１８を開弁及び閉
弁位置間で移動させる筒状の支持棒４６と、この支持棒
４６内に挿通されて弁板駆動機構３９を作動させる駆動
棒４９とを設け、支持棒４６及びその貫通部周囲の弁箱
６下壁間に支持棒貫通部を覆う支持棒収容ベローズ６７
を架設する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、真空容器の開口を
開閉するための真空ゲート弁に関する技術分野に属す
る。

【０００２】

【従来の技術】従来より、この種の真空ゲート弁として
種々のものが知られている。例えば実開昭６４―７７０
号公報に示されるものでは、隣接する１対の真空容器に
連通する弁箱内に弁板支持体を、その背面に軸支したガ
イドローラで案内しながら昇降可能に配置し、この弁板
支持体の一方の真空容器側の側面に、弁箱と一方の真空
容器との間の連通部を開閉する弁板を平行リンク機構を
介して接離可能に支持し、弁箱内の下部に、弁板支持体
の下降時に弁板に当接して弁板を弁板支持体に対し閉じ
方向に相対移動させるストッパを設け、弁箱上壁外面
に、該上壁を上下方向に気密状に貫通するピストンロッ
ドを有するシリンダを取り付けて、そのピストンロッド
の下端部を弁箱内の弁板支持支持体に連結し、シリンダ
の伸縮作動により弁板支持体を弁箱内で昇降移動させて
弁板を開閉させ、シリンダの収縮作動により弁板支持体
を上昇させたときには、その弁板支持体と共に弁板を上
昇させて弁箱の真空容器との連通部を開き、両真空容器
同士を連通させる一方、シリンダの伸長動作により弁板
支持体を下降させたときには、その途中で、弁板支持体
と共に下降する弁板をストッパに当接させて平行リンク
機構により弁板支持体から離隔させ、この離隔により弁
板を弁箱と真空容器との連通部の周りに押し付けて両真
空容器同士の連通を遮断するようになされている。

【０００３】また、上記のように、弁板を弁板支持体に
リンク機構を介して接離可能に連結支持し、弁板支持体
の移動により弁板を接離させて開閉するリンク式の真空
ゲート弁の他の例としては、例えば特開昭５８―１７８
０６６号公報に示されるものがある。

【０００４】また、例えば特開平２―１８６１７３号、
実開平７―４９６６号及び実開昭５７―８０７６７号の
各公報に示されるように、上記リンク機構に代えてカム
機構を用いたカム式のものも知られている。

【０００５】さらに、特開昭５０―１５２３１６号公報
に示されるものでは、板ばねの長さ方向中央部に弁板を
取り付け、この板ばねの湾曲変形によって弁板を弁箱に
押し付けて閉弁させるようにした板ばね式の技術も示さ
れている。

【０００６】また、従来、特開昭５６―９０１６５号公
報に示されるように、弁板と弁板支持体との間を伸縮可
能なベローズにより連結し、このベローズ内に空気（圧
力流体）を供給してベローズを伸長させることで、弁板
を弁箱に押し付けて閉弁させるベローズ式のものも提案
されている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記従来の
もののうちリンク式、カム式、板ばね式のものでは、弁
板を開閉駆動するリンク機構、カム機構、板ばね機構等
の弁板駆動機構が真空空間にそのまま露出しているの
で、この各弁板駆動機構の作動に伴う摩耗粉や摺動部分
の潤滑剤等がごみや不純物となって真空域に拡がり、そ
の真空域を汚染するのは避けられない。

【０００８】一方、上記ベローズ式のものでは、ベロー
ズの伸長力によって弁板を押して閉弁させるので、上記
リンク機構やカム機構等を用いたものの如き発塵は生じ
難い。しかしながら、その反面、ベローズの伸長及び収
縮に伴う弁板の開閉動作が遅いという難がある。しか
も、例えば開弁のためにベローズをそれ自体の持つ弾性
を利用して収縮させても、シール部材の溶着等の何らか
の原因によって弁板が弁箱の壁部に固着していると、ベ
ローズが確実に収縮しないことがあり、弁板の開閉動作
が不安定となる。また、ベローズに対し空気を給排して
弁板を開閉させる制御と、弁板支持体を開弁位置及び閉
弁位置間で移動させる機械的な制御とを同時に行う必要
があり、故障等のトラブルが発生したときには、両方の
制御に対する調整が面倒になるという問題もあった。

【０００９】本発明は斯かる諸点に鑑みてなされたもの
であり、その目的とするところは、真空ゲート弁におけ
る弁板の開閉構造を改良することにより、弁板を機械的
な駆動機構によって開閉駆動するようにしつつ、その機
械的な機構からの発塵により真空空間が汚染されるのを
確実に防止しようとすることにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、この発明では、弁板を弁板駆動機構により機械的
に開閉駆動するようにした上で、その弁板駆動機構や弁
板支持体を移動させる機構をベローズにより密封して、
その内部空間を他の真空域とは区画された領域とし、真
空域ではベローズの伸縮変形のみが行われるようにし
た。

【００１１】具体的には、請求項１の発明では、真空容
器の開口と略平行な方向に沿って開弁位置及び閉弁位置
の間を移動可能な弁板支持体と、この弁板支持体に接離
可能に支持され、弁板支持体に対し接離して上記真空容
器の開口を開閉する弁板と、上記弁板支持体の閉弁位置
で弁板を弁板支持体に対し接離するように移動させて開
閉させる弁板駆動機構と、上記弁板支持体と弁板との間
に亘り両者の接離方向に伸縮可能に設けられ、内部に、
少なくとも上記弁板駆動機構を収容する収容室が他の空
間と気密状に区画形成された機構収容ベローズと、上記
弁板支持体を開弁位置及び閉弁位置間で移動させる筒状
の支持棒と、この支持棒内に相対移動可能に挿通され、
上記弁板駆動機構を作動させる駆動棒とを備えたものと
する。

【００１２】上記の構成により、真空ゲート弁が開弁し
ているときには、弁板支持体が開弁位置にあり、この状
態から支持棒の駆動により、弁板支持体が、該弁板支持
体に支持されている弁板と共に開弁位置から閉弁位置に
移動する。そして、弁板支持体が閉弁位置に位置付けら
れると、駆動棒の駆動により弁板駆動機構が作動し、弁
板支持体に連結支持されている弁板が弁板支持体から離
隔する方向に移動して真空容器の開口を閉じ、真空ゲー
ト弁が閉弁状態となる。一方、この閉弁状態から真空ゲ
ート弁を開弁させるときには、上記閉弁のための動作と
は逆の動作が行われる。すなわち、駆動棒による弁板駆
動機構の作動により弁板が真空容器の開口から離れてそ
れを開き、この弁板の離隔状態で支持棒により弁板支持
体が弁板と共に閉弁位置から開弁位置に移動すること
で、真空ゲート弁が開弁する。

【００１３】そのとき、上記弁板駆動機構が機構収容ベ
ローズ内の収容室に収容され、この収容室は他の空間と
気密状に区画されており、しかも、駆動棒は、真空空間
と遮断されるように支持棒内に挿通されていることか
ら、弁板駆動機構の作動に伴って発生する摩耗粉や摺動
潤滑剤等のごみや不純物は機構収容ベローズ内の収容室
に封じ込められることとなり、これらごみや不純物が収
容ベローズ外の真空領域に拡散することはなく、真空域
への発塵を可及的に低減することができる。

【００１４】また、上記弁板は弁板駆動機構により機械
的に開閉駆動されるので、弁板を素早く開閉することが
できるとともに、その開閉動作を安定して行わせること
ができ、故障等の際の対処も容易になる。

【００１５】請求項２の発明では、上記支持棒は固定体
に摺動可能に貫通されている。そして、この支持棒と該
支持棒が貫通される貫通部周囲の固定体との間に、支持
棒の貫通部を気密状に覆う伸縮可能な支持棒収容ベロー
ズが架設されている構成とする。このように、支持棒と
それが貫通される貫通部周囲の固定体との間に支持棒収
容ベローズが架設されていて、この支持棒収容ベローズ
により支持棒の貫通部が気密状に覆われているので、支
持棒の貫通部で発生するごみや不純物が支持棒収容ベロ
ーズ内に封じ込められて、このごみや不純物が収容ベロ
ーズ外の真空領域に拡散せず、真空域への発塵を可及的
に低減することができる。上記「固定体」とは、例えば
密閉構造の弁箱は勿論のこと、密閉されていない単なる
フレームを含むものとする。

【００１６】請求項３の発明では、隣接する１対の真空
容器間に配設され、各真空容器と連通口を介して連通す
る弁箱と、この弁箱内に設けられ、両真空容器の配列方
向と略直交する方向に沿って開弁位置及び閉弁位置の間
を移動可能な弁板支持体と、この弁板支持体に両真空容
器の配列方向に接離可能に支持され、弁板支持体に対し
接離して上記弁箱の連通口をそれぞれ開閉する１対の弁
板と、上記弁板支持体の閉弁位置で両弁板を互いに接離
するように移動させて開閉させる弁板駆動機構と、上記
両弁板間に亘り両者の接離方向に伸縮可能に設けられ、
内部に、少なくとも上記弁板駆動機構を収容する収容室
が弁箱内の他の空間と気密状に区画形成された機構収容
ベローズと、外端部が弁箱外に延びるように弁箱の壁部
を気密状に貫通し、上記弁板支持体を開弁位置及び閉弁
位置間で移動させる筒状の支持棒と、外端部が弁箱外に
延びるように上記支持棒内に相対移動可能に挿通され、
上記弁板駆動機構を作動させる駆動棒と、上記支持棒と
該支持棒が貫通される貫通部周囲の弁箱壁部との間に架
設され、その支持棒の貫通部を気密状に覆う伸縮可能な
支持棒収容ベローズとを備えたものとする。

【００１７】この構成によれば、真空ゲート弁が開弁し
ているときには、弁板支持体が開弁位置にあり、この状
態から支持棒の駆動により、弁板支持体が、該弁板支持
体に支持されている弁板と共に開弁位置から閉弁位置に
移動する。そして、弁板支持体が閉弁位置に位置付けら
れると、駆動棒の駆動により弁板駆動機構が作動し、弁
板支持体に連結されている弁板が互いに離隔する方向に
移動してそれぞれ弁箱の連通口を閉じ、真空ゲート弁が
閉弁状態となる。一方、この閉弁状態から真空ゲート弁
を開弁させるときには、上記閉弁のための動作とは逆の
動作が行われる。すなわち、駆動棒による弁板駆動機構
の作動により弁板が弁箱の連通口から離れてそれを開
き、この弁板の離隔状態で支持棒により弁板支持体が弁
板と共に閉弁位置から開弁位置に移動することで、真空
ゲート弁が開弁する。

【００１８】そのとき、上記弁板駆動機構が機構収容ベ
ローズ内の収容室に収容され、この収容室は弁箱内の他
の空間と気密状に区画されており、しかも、駆動棒は、
弁箱内の真空空間と遮断されるように支持棒内に挿通さ
れている。また、支持棒とそれが貫通される貫通部周囲
の弁箱壁部との間に支持棒収容ベローズが架設されてい
て、この支持棒収容ベローズにより支持棒の貫通部が気
密状に覆われている。これらのことから、弁板駆動機構
の作動に伴って発生する摩耗粉や摺動潤滑剤等のごみや
不純物は機構収容ベローズ内の収容室に、また支持棒の
弁箱の壁部への貫通部で発生するごみや不純物は支持棒
収容ベローズ内にそれぞれ封じ込められることとなり、
これらごみや不純物が各収容ベローズ外の弁箱内の真空
領域に拡散することはなく、真空域への発塵を可及的に
低減することができる。

【００１９】また、上記弁板は弁板駆動機構により機械
的に開閉駆動されるので、弁板を素早く開閉することが
できるとともに、その開閉動作を安定して行わせること
ができ、故障等の際の対処も容易になる。

【００２０】請求項４の発明では、請求項３の発明と同
様に、隣接する１対の真空容器間に配設され、各真空容
器と連通口を介して連通する弁箱と、この弁箱内に設け
られ、両真空容器の配列方向と略直交する方向に沿って
開弁位置及び閉弁位置の間を移動可能な弁板支持体と、
第１及び第２の１対の弁板とを備えている。この１対の
弁板のうち、第１の弁板は、請求項１の発明と同様に、
弁板支持体に両真空容器の配列方向に接離可能に支持さ
れていて、弁板支持体に対する接離により弁箱の一方の
真空容器への連通口を開閉するものであるが、第２の弁
板は、弁板支持体に一体的に固定支持されていて、弁箱
の他方の真空容器への連通口を開閉するものとされてい
る。

【００２１】また、上記弁板支持体の閉弁位置で、第１
の弁板を第２の弁板に対し接離するように移動させて開
閉させる弁板駆動機構と、上記両弁板間に亘り両者の接
離方向に伸縮可能に設けられ、内部に、少なくとも上記
弁板駆動機構を収容する収容室が弁箱内の他の空間と気
密状に区画形成された機構収容ベローズと、外端部が弁
箱外に延びるように弁箱の壁部を気密状に貫通し、上記
弁板支持体を開弁位置及び閉弁位置間で移動させる筒状
の支持棒と、外端部が弁箱外に延びるように上記支持棒
内に相対移動可能に挿通され、上記弁板駆動機構を作動
させる駆動棒と、上記支持棒と該支持棒が貫通される貫
通部周囲の弁箱壁部との間に架設され、この支持棒の貫
通部を気密状に覆う伸縮可能な支持棒収容ベローズとを
備える。

【００２２】さらに、上記弁板支持体が閉弁位置にある
ときには該弁板支持体の両真空容器の配列方向への移動
が許容される一方、弁板支持体が閉弁位置以外にあると
きには第２の弁板と弁箱の壁部内面との間に間隙が形成
されるように、上記支持棒を案内する支持棒案内部を備
えている。

【００２３】この構成によると、開弁状態にある真空ゲ
ート弁が閉弁するとき、支持棒の駆動により、弁板支持
体が、該弁板支持体に支持されている第１の弁板及び弁
板支持体に一体的に固定支持されている第２の弁板と共
に開弁位置から閉弁位置に移動する。そのとき、上記支
持棒は支持棒案内部により案内され、この案内により第
２の弁板と弁箱の壁部内面との間に間隙が形成された状
態で移動する。そして、弁板支持体が閉弁位置に移動す
ると、上記支持棒案内部は、弁板支持体の両真空容器の
配列方向への移動が許容されるように支持棒を案内す
る。この弁板支持体が両真空容器の配列方向へ移動を許
容された状態で、駆動棒の駆動により弁板駆動機構が作
動し、第１の弁板が第２の弁板から離隔する方向に移動
して弁箱の一方の連通口を閉じる。そして、この第１の
弁板が弁箱の壁部から受ける反力により弁板支持体と共
に第２の弁板が押されて弁箱の他方の連通口を閉じ、こ
のことで真空ゲート弁が閉弁する。

【００２４】したがって、この発明においても、上記請
求項３の発明と同様の作用効果を奏することができる。
特に、第２の弁板が弁板支持体に一体的に固定されてい
て接離しないので、その分、両弁板間の間隔を小さくし
て弁箱の両真空容器間の厚さ寸法を減少することができ
る。また、弁板支持体の開弁位置及び閉弁位置間の移動
時には、上記支持棒案内部による支持棒の案内によって
第２の弁板と弁箱の壁部内面との間に間隙が空けられ、
第２の弁板と弁箱の壁部内面とが接触しないので、その
接触による発塵を招くことはない。

【００２５】請求項５の発明では、弁箱の壁部にポート
が開口され、このポートに、弁箱内から空気を排出する
排気バルブと、弁箱内に大気を導入する大気導入バルブ
とが接続されている構成とする。

【００２６】このことで、例えば真空ゲート弁を開弁す
るときに、排気バルブを開いて弁箱内からポートを経て
排気したり、又は大気導入バルブを開いて弁箱内に大気
を導入したりすることで、予め、弁箱内の圧力を真空容
器内の圧力に合わせた圧力に調整しておくことができ
る。また、排気バルブを開くことにより、弁箱内から排
気してその内部をクリーンにすることもできる。

【００２７】請求項６の発明では、弁箱内が一方の真空
容器と常時連通されている構成とする。こうすれば、上
記請求項５の発明のように、排気バルブや大気導入バル
ブを要することなく、弁箱内を真空容器内の圧力に合わ
せた圧力に調整できる。

【００２８】請求項７の発明では、弁箱内と少なくとも
一方の真空容器とは連通管を介して連通され、この連通
管に開閉バルブが設けられている構成とする。このこと
で、開閉バルブを開いて弁箱内と一方又は両方の真空容
器内とを連通させることで、弁箱及び真空容器間の圧力
差をなくすことができ、真空ゲート弁の開閉動作をスム
ーズに行わせることができる。

【００２９】請求項８の発明では、駆動棒は、支持棒内
で長さ方向に相対的に摺動することにより弁板駆動機構
を作動させて弁板を開閉するように構成する。また、支
持棒及び駆動棒は、駆動棒を支持棒に対し弁板駆動機構
が弁板を開く方向に相対移動させるように付勢する付勢
手段により連結する。さらに、上記駆動棒を長さ方向に
移動させて弁板支持体の移動及び弁板駆動機構の作動切
換えを行う駆動手段を設ける。

【００３０】この構成によると、駆動手段の駆動により
駆動棒が長さ方向に移動する。この駆動棒は支持棒と付
勢手段により連結され、この付勢手段により、駆動棒が
支持棒に対し弁板駆動機構が弁板を開弁させる方向に相
対移動するように付勢されているので、この付勢手段に
よる連結により駆動棒の移動に伴って支持棒も弁板支持
体と共に移動する。そして、弁板支持体が開弁位置から
閉弁位置に移動するときには、付勢手段の付勢力により
弁板駆動機構が弁板を開弁させた状態であり、弁板支持
体が閉弁位置に位置付けられると、支持棒が移動停止す
る。その後は付勢手段の付勢力に抗して駆動棒が支持棒
に対し相対移動し、この駆動棒のみの移動により弁板駆
動機構が作動して弁板が開弁状態から閉弁状態に切り換
わる。このことで、１つの駆動手段を用いて、弁板支持
体の移動及び弁板の開閉切換えを行うことができる。

【００３１】また、上記弁板支持体が開弁位置及び閉弁
位置間で移動するときには、上記のように付勢手段の付
勢力により弁板が閉弁状態に保持されて移動するので、
その弁板が他の部分、例えば弁箱の壁部内面に接触する
ことはなく、その発塵を確実に防止することができる。

【００３２】請求項９の発明では、上記請求項８の発明
と同様に、駆動棒は、支持棒内で長さ方向に相対的に摺
動することにより弁板駆動機構を作動させて弁板を開閉
するように構成する。そして、上記支持棒及び駆動棒
は、伸長時に弁板が開弁する一方、収縮時に弁板が閉弁
するように駆動棒を支持棒に対し相対移動させて弁板駆
動機構を作動させるリンク機構を介して連結する。さら
に、上記弁板支持体が閉弁位置以外にあるときに上記リ
ンク機構を伸長状態に保持するガイド部と、上記駆動棒
を長さ方向に移動させて弁板支持体の移動及び弁板駆動
機構の開閉切換えを行う駆動手段とを備えたものとす
る。

【００３３】この発明によると、駆動手段の駆動により
駆動棒が長さ方向に移動するが、この駆動棒は支持棒と
リンク機構により連結され、このリンク機構は、弁板支
持体の閉弁位置以外のときにガイド部により伸長状態に
保持されるので、弁板支持体が開弁位置から閉弁位置に
移動するときには、駆動棒の移動により、駆動棒に伸長
状態のリンク機構を介して連結されている支持棒も弁板
支持体と共に移動し、その際、伸長状態のリンク機構に
より弁板が開弁状態となる。そして、弁板支持体が閉弁
位置に位置付けられると、ガイド部による案内が解除さ
れてリンク機構が伸長状態になり、支持棒が移動停止
し、その後はリンク機構が収縮状態になりながら駆動棒
が支持棒に対し相対移動し、この駆動棒のみの移動によ
り弁板が開弁状態から閉弁状態に切り換わる。従って、
この発明でも、請求項８の発明と同様に、１つの駆動手
段を用いて、弁板支持体の移動及び弁板駆動機構の開閉
切換えを行うことができ、弁板支持体の開弁位置及び閉
弁位置間の移動時に弁板が例えば弁箱の壁部内面等に接
触して発塵するのを確実に防止できる。

【００３４】請求項１０の発明では、弁板は、弁板支持
体の移動方向と略直交する方向に長い形状とされ、弁板
支持体、収容ベローズ、弁板駆動機構、支持棒及び駆動
棒が上記弁板の長さ方向に沿って複数配設され、その複
数の弁板駆動機構が同期して作動するように構成されて
いるものとする。このことで、細長い形状の弁板であっ
ても、その長さ方向に沿ってバランスよく均等に駆動し
て開閉させ、弁板の閉弁シール性を確保することができ
る。

【００３５】

【発明の実施の形態】（実施形態１）図４及び図５は本
発明の実施形態１を示し、１は前側に位置する第１真空
容器、２は第１真空容器１の後側に隣接する第２真空容
器であって、各真空容器１，２はそれぞれ互いに対向配
置された左右方向（図４の紙面と直交する方向。図５で
は左右方向）に長い矩形状の開口３，４を有する。この
両真空容器１，２間には各々の開口３，４を開閉して両
真空容器１，２の内部空間（真空空間）同士を連通又は
連通遮断するための真空ゲート弁５が配設されている。

【００３６】上記真空ゲート弁５は、両真空容器１，２
間に気密状に挟まれた薄厚矩形状の弁箱６（固定体）を
備え、この弁箱６の前壁（図４で左側壁）の上部には上
記第１真空容器１の開口３に対応する左右方向に長い矩
形状の前側連通口７が、また後壁（図４で右側壁）の上
部には第２真空容器２の開口４に対応する左右方向に長
い矩形状の後側連通口８がそれぞれ開口されており、こ
の連通口７，８を介して弁箱６内の真空空間が各真空容
器１，２と連通している。

【００３７】図４に概略的に示す如く、上記弁箱６の例
えば前壁（尚、後壁等の他の壁部でもよい）にポート９
が開口され、このポート９には、開弁により弁箱６内か
ら空気を排出する排気バルブ１０と、開弁時に弁箱６内
に大気を導入する大気導入バルブ１１とが接続されてい
る。また、弁箱６と例えば後側の第２真空容器２（尚、
前側の第１真空容器１又は第１及び第２の真空容器１，
２であってもよい）とは連通管１２で連通され、この連
通管１２の途中には開閉バルブ１３が設けられている。

【００３８】図１及び図３に拡大して示すように、上記
弁箱６内には前側及び後側弁板１４，１５が前後に対向
して配置され、前側弁板１４は上記前側連通口７、従っ
て該前側連通口７に連通する第１真空容器１の開口３
を、また後側弁板１５は後側連通口８、従って該後側連
通口８に連通する第２真空容器２の開口４をそれぞれ開
閉する。これら両弁板１４，１５は、それぞれ前後の連
通口７，８に対応しかつそれよりも若干大きい左右方向
に長い矩形状の板材からなり、各々の長さ方向である左
右方向に離れた左右両側の２箇所（３箇所以上でもよ
い）で背面側、つまり他の弁板１５，１４との対向面側
から同期して押圧されて各連通口７，８を閉じるように
なっている。

【００３９】すなわち、弁箱６内において上記前後の弁
板１４，１５間には上記弁板１４，１５の左右の押圧位
置に対応する部分にそれぞれ弁板支持体１８，１８が配
置されている。この各弁板支持体１８は、所定厚さを有
する円環板状のもので、後述の支持棒４６の昇降移動に
より、上記弁板１４，１５と共に、弁箱６内の下側に位
置する開弁位置と、弁箱６内の上側でかつ各連通口７，
８に対応する閉弁位置との間を上記両真空容器１，２の
配列方向たる前後方向と直交する上下方向（真空容器
１，２の開口３，４と平行な方向）に沿って移動可能と
されている。弁板支持体１８の上端部には前後方向に延
びる係止ロッド２０が貫通されて固定支持されている。
この係止ロッド２０の前端部は、前側弁板１４の後面
（背面）に取付固定した取付部材１６を貫通して前側弁
板１４の後面上部の有底の凹部２１に、また係止ロッド
２０の後端部は、後側弁板１５の前面（背面）に取付固
定した取付部材１７を貫通して後側弁板１５の前面上部
の同様の凹部２２にそれぞれ移動可能に係合されてい
る。この係止ロッド２０と各凹部２１，２２とで係止機
構２３が構成され、この係止機構２３により、前後両側
の弁板１４，１５が弁板支持体１８にそれぞれ真空容器
１，２の配列方向（真空容器１，２の開口３，４と略直
交する方向）たる前後方向に接離可能にかつ弁板支持体
１８の移動方向たる上下方向に沿って相対移動不能に係
止支持されており、この弁板支持体１８に対し接離する
ことで弁板１４，１５が弁箱の連通口７，８を開閉する
ようになっている。

【００４０】上記円環状の弁板支持体１８の内部には、
下端部から上側に向かって左右方向に２股状に分かれた
略Ｕ字状の弁板駆動体２５が配置されている。この弁板
駆動体２５は、後述の駆動棒４９のみが支持棒４６に対
し昇降移動することにより、弁板支持体１８内で下側の
開弁状態と上側の閉弁状態との間を所定距離だけ上下方
向（弁板支持体１８の移動方向）に相対的に昇降移動可
能とされている。

【００４１】上記弁板駆動体２５の２股状に分かれた上
部間及び下部間にはそれぞれ水平左右方向に延びる支持
軸２６，２７が架設されている。上側の支持軸２６の左
右中央部には例えば上側前リンク２８の後端部が、また
左右両側部には略Ｕ字状の上側後リンク２９の分離され
た両方の前端部がそれぞれ揺動可能に支持されている。
上記上側前リンク２８の前端部は、前側弁板１４後面
（背面）の取付部材１６の凹部に取り付けた左右方向に
延びる上側支持軸３０に、また上側後リンク２９の集合
された後端部は、後側弁板１５前面（背面）の取付部材
１７の凹部に取り付けた左右方向に延びる上側支持軸３
１にそれぞれ揺動可能に支持されている。

【００４２】また、弁板駆動体２５の下側支持軸２７の
左右中央部には例えば上記上側前リンク２８と同様の下
側前リンク３２の後端部が、また左右両側部には上側後
リンク２９と同様の略Ｕ字状の下側後リンク３３の分離
された両前端部がそれぞれ揺動可能に支持され、下側前
リンク３２の前端部は、前側弁板１４後面の取付部材１
６において上記上側支持軸３０よりも下側の凹部に取り
付けた左右方向に延びる下側支持軸３４に、また下側後
リンク３３の後端部は、後側弁板１５前面の取付部材１
７において上記上側支持軸３１よりも下側の凹部に取り
付けた左右方向の下側支持軸３５にそれぞれ揺動可能に
支持されている。よって、上記上下両側の前リンク２
８，３２により前側平行リンク機構３６が、また上下両
側の後リンク２９，３３により後側平行リンク機構３７
がそれぞれ構成されている。

【００４３】そして、上記弁板支持体１８が閉弁位置に
あるときに、その内部で弁板駆動体２５を昇降させるこ
とで、両弁板１４，１５を前後の平行リンク機構３６，
３７を介して互いに接離するように前後方向（両真空容
器１，２の配列方向）に移動させて開閉させる弁板駆動
機構３９が設けられている。すなわち、この弁板駆動機
構３９は、弁板支持体１８が弁箱６内上側の閉弁位置に
あるときに、駆動棒４９のみの昇降移動による弁板駆動
体２５の開弁状態及び閉弁状態の昇降移動（切換わり）
に伴って両弁板１４，１５を前後方向に接離、つまり弁
板支持体１８に対し接離させて弁箱６の連通口７，８を
開閉し、弁板駆動体２５を下降させて開弁状態に切り換
えたときには、前後の平行リンク機構３６，３７の各リ
ンク２８，２９，３２，３３を弁板駆動体２５側に向か
って下側に向かうように傾斜させ、各弁板１４，１５を
弁板支持体１８（弁板駆動体２５）に接近させて連通口
７，８周りの弁箱６の前後壁から離隔させることで、そ
の連通口７，８を開く一方、弁板駆動体２５を上昇させ
て閉弁状態に切り換えたときには、前後の平行リンク機
構３６，３７の各リンク２８，２９，３２，３３を前後
方向に水平に配置し、各弁板１４，１５を弁板支持体１
８から離して連通口７，８周りの弁箱６の前後壁に押し
付けることで、その連通口７，８を閉じるようになって
いる。

【００４４】上記両弁板１４，１５の背面（対向面）間
に亘り円筒状の機構収容ベローズ４１が両者の接離方向
に伸縮可能に設けられている。具体的には、機構収容ベ
ローズ４１は、弁板支持体１８の前面と前側弁板１４の
後面（取付部材１６後面）との間に架設された金属製の
前ベローズ４１ａと、弁板支持体１８の後面と後側弁板
１５の前面（取付部材１７前面）との間に前ベローズ４
１ａと同心に架設された同様の後ベローズ４１ｂとに分
割され、各ベローズ４１ａ，４１ｂの各々の前後端部は
弁板支持体１８及び各弁板１４，１５に気密状に溶接さ
れており、この機構収容ベローズ４１内の空間、つまり
前後ベローズ４１ａ，４１ｂ、弁板１４，１５及び弁板
支持体１８で囲まれる空間が弁箱６内の他の空間と気密
状に区画された収容室４２に形成され、この収容室４２
に、上記係止機構３２、弁板駆動体２５、前後の平行リ
ンク機構３６，３７及び弁板駆動機構３９が収容されて
いる。

【００４５】上記弁板支持体１８が弁箱６内で開弁位置
及び閉弁位置間を昇降する動きと、この弁板支持体１８
内で弁板駆動体２５が相対的に昇降移動する動き、すな
わち弁板駆動機構３９の作動とは、いずれも弁箱６の底
壁外側からの駆動により行われるようになっている。つ
まり、図２に拡大して示すように、弁箱６の底壁におい
て各弁板支持体１８の真下の部分（上記弁板１４，１５
の左右の押圧位置に対応する部分）には開口部６ａ，６
ａが形成され、この各開口部６ａには、上下方向に延び
かつ上端が開口する有底状の外筒４４の上端部が同心状
にかつ気密状に接合されている。この外筒４４の底部の
中心には中心孔４４ａが貫通形成され、また外筒４４の
内底部上面には中心孔４４ａの周りから外筒４４内を同
心状に上側に延びる内筒部４４ｂが一体に形成されてい
る。

【００４６】また、上記弁板支持体１８の下端部には弁
箱６内を上下方向に延びる筒状の支持棒４６の上端部
（内端部）が移動一体にかつ気密状に溶接固定されてい
る。この支持棒４６は、弁板支持体１８を開弁位置及び
閉弁位置間で昇降移動させるもので、上記弁箱６底壁の
開口部６ａないし該開口部６ａに同心に接合された外筒
４４をその底部の中心孔４４ａ及び内筒部４４ｂに気密
状に挿通された状態で貫通している。支持棒４６の下端
部（外端部）は弁箱６外に延び、この下端部には上側フ
ランジ４７が移動一体に取付固定されており、支持棒４
６の昇降移動（長さ方向の移動）により弁板支持体１８
を開弁位置及び閉弁位置間で移動させ、後述のベローズ
取付フランジ６６が弁箱６の底壁の位置に移動したとき
を弁板支持体１８の開弁位置に、また上側フランジ４７
が外筒４４の底部下面に当接したときを閉弁位置にそれ
ぞれ設定している。

【００４７】一方、上記筒状の支持棒４６内には、その
内径よりも若干小さい外径を有する駆動棒４９が上下方
向に摺動可能に挿通されている。この駆動棒４９は、上
記弁板駆動機構３９により弁板駆動体２５を開弁状態及
び閉弁状態の間で切り換えて弁体１４，１５を開閉させ
るもので、その上端部（内端部）は、上記弁板支持体１
８の下端部に支持棒４６と同心状に貫通形成した上下方
向の挿通孔１８ａを経て弁板支持体１８内に延び、かつ
弁板駆動体２５の下端部にピン５０により移動一体に連
結されている。一方、駆動棒４９の下端部（外端部）は
支持棒４６の下端部から突出して弁箱６外に延び、この
下端部には上側フランジ４７と略同径の下側フランジ５
１が移動一体に取付固定されており、駆動棒４９が支持
棒４６に対し相対的に摺動して昇降移動（長さ方向の移
動）することにより、弁板駆動体２５の開弁状態及び閉
弁状態を切り換え、下側フランジ５１が上側フランジ４
７から最も離れて後述のリンク機構５６，５６，…が伸
長したときを弁板駆動体２５が開弁状態に、また下側フ
ランジ５１が上側フランジ４７に最も接近して同リンク
機構５６，５６，…が収縮したときを閉弁状態にそれぞ
れなるようにしている。

【００４８】上記下側フランジ５１には、駆動手段とし
ての上下方向の軸心を持つシリンダ５３のピストンロッ
ド５３ａ上端部が移動一体に固定されている。このシリ
ンダ５３のボディは弁箱６に相対移動不能に固定されて
おり、後述の如く、シリンダ５３の伸縮作動により、そ
のピストンロッド５３ａの上端部に取り付けられた駆動
棒４９を長さ方向に昇降移動させて弁板支持体１８の開
弁位置及び閉弁位置間の昇降移動と、弁板駆動体２５の
開弁状態及び閉弁状態間の移動切換えとを行うようにし
ている。

【００４９】上記弁箱６の外側にある支持棒４６及び駆
動棒４９、つまり上側及び下側フランジ４７，５１間
は、駆動棒４９の下端部周りに配置した付勢手段として
の圧縮ばね５５により連結されており、この圧縮ばね５
５により、駆動棒４９を支持棒４６に対し弁板駆動機構
３９が弁板１４，１５を開く下方向に相対移動させるよ
うに付勢している。

【００５０】さらに、弁箱６の外側にある支持棒４６及
び駆動棒４９としての上側及び下側フランジ４７，５１
間は、周方向に間隔をあけて配置した複数のリンク機構
５６，５６，…を介して連結されている。この各リンク
機構５６は、上端部が上側フランジ４７に水平方向の上
側リンク軸５７を介して揺動可能に連結された上側リン
ク５８と、上端部が該上側リンク５８の下端部に水平方
向の中間リンク軸５９を介して揺動可能に連結され、下
端部が下側フランジ５１に水平方向の下側リンク軸６１
を介して揺動可能に連結された下側リンク６０とからな
り、上記中間リンク軸５９にはガイドローラ６２が回転
可能に支持されている。そして、この各リンク機構５６
の上下のリンク５８，６０を上下方向に略一直線上に並
べてリンク機構５６を伸長させたときには、下側フラン
ジ５１を上側フランジ４７から離して弁板駆動体２５を
開弁状態にすることで、前後の弁板１４，１５を弁板支
持体１８に接近させる一方、上下のリンク５８，６０を
互いの連結部で中間リンク軸５９が駆動棒４９から離れ
るように外側に折り曲げてリンク機構５６を収縮させた
ときには、下側フランジ５１を上側フランジ４７に接近
させて弁板駆動体２５を閉弁状態にすることで、弁板１
４，１５を弁板支持体１８から離隔させるようにしてい
る。

【００５１】また、上記シリンダ５３のボディ上面に
は、シリンダ５３のストロークに対応した所定長さの円
筒状のガイド部６４が同心に取り付けられている。この
ガイド部６４は、上記上側及び下側フランジ４７，５１
を少しの隙間をあけて昇降移動可能な大きさの内径を有
しており、シリンダ５３の伸縮作動によるピストンロッ
ド５３ａ及びそれと一体の下側フランジ５１の昇降動作
に応じて各リンク機構５６を伸長状態又は収縮状態に切
り換え、シリンダ５３の伸縮作動に伴って弁板支持体１
８を開弁位置及び閉弁位置間で昇降移動させたとき、そ
の弁板支持体１８が上昇端の閉弁位置以外にある状態で
は、上記各リンク機構５６における上下両側リンク５
８，６０の連結部にある中間リンク軸５９上のガイドロ
ーラ６２をガイド部６４内面で転動案内しながら、各リ
ンク機構５６をガイド部６４内に潜らせて伸長状態に保
持する一方、弁板支持体１８が上昇端の閉弁位置にある
状態では、各リンク機構５６をガイド部６４上端から突
出させて収縮状態に切り換えるようにしている。尚、ガ
イド部６４の上端面は、上記ガイドローラ６２の昇降時
のガイド部６４内への出没をスムーズに行わせるように
上拡がりのテーパ面に形成されている。

【００５２】そして、上記弁箱６内の下部にある支持棒
４６の上端寄り部分にはベローズ取付フランジ６６が気
密状に一体に取付固定されている。このベローズ取付フ
ランジ６６の下面には、ベローズ取付フランジ６６より
も下側の支持棒４６及び外筒４４底部上面の内筒部４４
ｂの周りに配置した金属製の伸縮可能な支持棒収容ベロ
ーズ６７の上端部が気密状に溶接固定されている。この
支持棒収容ベローズ６７の下端部は、弁箱６の底壁にお
いて支持棒４６が貫通される貫通部、つまり外筒４４の
底部上面に気密状に溶接固定されており、支持棒収容ベ
ローズ６７により支持棒４６の貫通部を気密状に覆って
いる。

【００５３】尚、前側弁板１４の前面外周部及び後側弁
板１５の後面外周部には、それぞれ弁箱６の内面におけ
る連通口７，８周りに当接してシールする金属製等のシ
ール部材１４ａ，１５ａが取付固定されている。

【００５４】次に、上記実施形態１の作動について説明
する。真空ゲート弁５が開弁しているときには、前後の
各弁板１４，１５の左右方向の２箇所に対応して配置さ
れている２つのシリンダ５３，５３は共に収縮してスト
ロークエンドにある。このため、上側及び下側フランジ
４７，５１は両者を連結する各リンク機構５６と共にガ
イド部６４内にあり、その各リンク機構５６が伸長しか
つ両フランジ４７，５１が離隔している。このことで弁
板支持体１８は開弁位置に位置しており、また、弁板駆
動体２５は弁板支持体１８内の下側に位置する開弁状態
にあって、前後の平行リンク機構３６，３７の各リンク
２８，２９，３２，３３が弁板駆動体２５側に向かって
下側に向かうように斜めに傾斜し、前後の弁板１４，１
５が互いに接近した位置にあって弁箱６の前後壁の内面
から離隔している。また、機構収容ベローズ４１の前後
ベローズ４１ａ，４１ｂ及び支持棒収容ベローズ６７は
いずれも収縮している。

【００５５】この状態からゲート弁５を開弁させるとき
には、上記両シリンダ５３，５３を同期して伸長させて
各々のピストンロッド５３ａ，５３ａを上昇させる。こ
の各ピストンロッド５３ａの上昇移動に伴い、その上端
に連結されている下側フランジ５１と、該下側フランジ
５１に下端が連結されている駆動棒４９とが上昇し、こ
の駆動棒４９の上端に連結されている弁板駆動体２５が
弁板支持体１８内で上昇して閉弁状態に切り換わろうと
する。しかし、上記下側フランジ５１と上側フランジ４
７とを連結しているリンク機構５６，５６，…はガイド
部６４によりその内部で伸長状態に拘束されており、し
かも両フランジ４７，５１間には圧縮ばね５５が介在さ
れているので、上記下側フランジ５１の上昇移動に伴っ
て上側フランジ４７も下側フランジ５１と離隔したまま
で追従して上昇し、両者の相対移動は生じない。このこ
とで、支持棒収容ベローズ６７が伸長しながら、上側フ
ランジ４７に下端部が連結されている支持棒４６も一体
的に上昇して、その上端部に連結されている弁板支持体
１８が開弁位置から閉弁位置に向かって前後の弁板１
４，１５と共に上昇する。また、支持棒４６及び駆動棒
４９間の相対移動が生じないので、弁板駆動体２５が閉
弁状態に切り換わることはなく、前後の弁板１４，１５
は互いに接近したままに保たれ、その上昇時に弁板１
４，１５が弁箱６の前後壁の内面に接触することはな
い。

【００５６】そして、シリンダ５３がさらに伸長して伸
長ストロークエンド近くに達すると、上側フランジ４７
が、弁箱６の底壁下面に接合されている外筒４４の底部
下面に当接してそれ以上の上昇移動が規制され、弁板支
持体１８が閉弁位置に停止して、前後の弁板１４，１５
がそれぞれ弁箱６における前後の連通口７，８に対応し
た位置に位置付けられる。この状態では、上記各リンク
機構５６がガイド部６４の上端から抜け出し始めてお
り、シリンダ５３のさらなる伸長作動により、上記各リ
ンク機構５６が収縮状態に変化しかつ圧縮ばね５５が圧
縮されながら、上記停止規制されている上側フランジ４
７に対し下側フランジ５１のみが上昇する。このこと
で、支持棒４６と共に停止保持されている弁板支持体１
８に対し、弁板駆動体２５が相対的に上昇して開弁状態
から閉弁状態に切り換わり、この弁板駆動体２５の上昇
移動により、機構収容ベローズ４１の前後ベローズ４１
ａ，４１ｂを伸長させながら、前後の平行リンク機構３
６，３７の各リンク２８，２９，３２，３３が前後方向
に水平に回動し、前後の弁板１４，１５が互いに離れる
方向に移動して弁箱６前後壁の連通口７，８周囲の内面
を押圧し、その連通口７，８が気密状に閉塞されて、ゲ
ート弁５が閉弁状態になる。

【００５７】一方、上記のような閉弁状態にあるゲート
弁５を開弁させるときには、左右のシリンダ５３，５３
を同期して収縮させればよく、上記閉弁の動作と逆の動
きが行われてゲート弁５が閉弁する。

【００５８】この実施形態においては、上記弁板支持体
１８と各弁板１４，１５との間にそれぞれ機構収容ベロ
ーズ４１の前後ベローズ４１ａ，４１ｂが架設されてい
て、この機構収容ベローズ４１内に収容室４２が気密状
に密閉区画され、この収容室４２に、弁板１４，１５及
び弁板駆動体２５を連結する前後の平行リンク機構３
６，３７と、弁板１４，１５及び弁板支持体１８を係合
する係止機構２３と、上記弁板駆動体２５を昇降移動さ
せる弁板駆動機構３９とが収容されており、しかも、駆
動棒４９は、弁箱６内の真空空間と遮断されるように支
持棒４６内に挿通されているので、上記平行リンク機構
３６，３７、係止機構２３及び弁板駆動機構３９の機械
的な動きに伴い、その摺接部分から摩耗粉や摺動潤滑剤
等がごみや不純物として発生したとしても、それらは機
構収容ベローズ４１内の収容室４２に封じ込められる。
また、弁箱６の底壁において支持棒４６が貫通して摺動
する外筒４４底部上面の内筒部４４ｂを覆うように支持
棒４６のベローズ取付フランジ６６と外筒４４底部上面
との間に支持棒収容ベローズ６７が架設され、この支持
棒収容ベローズ６７により支持棒４６の弁箱６外への連
通部が気密状に覆われているので、この支持棒４６の貫
通部で支持棒６の摺動により同様のごみや不純物が生じ
ても、それらは支持棒収容ベローズ６７内に封じ込めら
れる。従って、上記ごみや不純物が各ベローズ４１，６
７外の弁箱６内の真空領域に拡散することはなく、真空
域への発塵を可及的に抑制することができる。

【００５９】また、上記前後の弁板１４，１５と弁板支
持体１８とは係止機構２３によって機械的に連結されて
いるので、この弁板の駆動のためにベローズに空気を給
排してそれを伸縮させる場合に比べ、弁板１４，１５を
素早く開閉することができる。しかも、その弁板１４，
１５の開閉動作を安定して行わせることができ、故障等
の対処も容易になる。

【００６０】さらに、弁板支持体１８に支持棒４６を、
また弁板駆動体２５に駆動棒４９をそれぞれ連結して、
それら支持棒４６及び駆動棒４９の弁箱６外の下端部に
それぞれフランジ４７，５１を取り付け、両フランジ４
７，５１同士を互いに離隔するようにばね５５で付勢す
るとともに、両フランジ４７，５１をリンク機構５６，
５６，…により連結して、弁板支持体１８が閉弁位置に
ないときにはガイド部６４によるリンク機構５６，５
６，…の拘束規制により両フランジ４７，５１を離隔保
持し、弁板支持体１８の閉弁位置への位置付けによりガ
イド部６４によるリンク機構５６，５６，…の拘束規制
を解除して両フランジ４７，５１を接近させるので、各
シリンダ５３の伸縮作動のみで、弁板支持体１８の開弁
位置及び閉弁位置間の昇降動作と、その閉弁位置での弁
板駆動体２５の開弁状態及び閉弁状態の切換え、すなわ
ち弁板駆動機構３９の作動による弁板１４，１５の開閉
動作とを行うことができる。

【００６１】また、弁箱６の前壁にポート９が開口さ
れ、このポート９に排気バルブ１０と大気導入バルブ１
１とが接続されているので、例えば閉弁状態にある真空
ゲート弁５を開弁するときに、上記排気バルブ１０を開
いて弁箱６内からポート９を経て排気したり、又は大気
導入バルブ１１を開いて弁箱６内に大気を導入したりす
ることで、予め、弁箱６内の圧力を真空容器１，２内の
圧力に合わせた圧力に調整しておくことができる。ま
た、排気バルブ１０を開くことにより、弁箱６内から排
気してその内部をクリーンにすることもできる。尚、こ
の弁箱６にポート９を開口する代わりに、一方の真空容
器１（又は２）に対応する弁板１４（又は１５）の閉弁
シール性をなくすか、その弁板１４（又は１５）におい
て機構収容ベローズ４１に囲まれていない外周部分に開
口を形成するかして、弁箱６内が一方の真空容器１（又
は２）と常時連通されている構造とすれば、上記のよう
に、排気バルブ１０や大気導入バルブ１１を要すること
なく、弁箱６内の圧力を真空容器１，２内の圧力に合わ
せた圧力に調整できる。

【００６２】さらにまた、弁箱６と後側の真空容器２と
が開閉バルブ１３を有する連通管１２で連通されている
ので、開閉バルブ１３を開いて弁箱６内と後側の真空容
器２内とを連通させることで、弁箱６及び真空容器２間
の圧力差をなくすことができ、真空ゲート弁５の開閉動
作をスムーズに行わせることができる。

【００６３】また、弁箱６の前後の連通口７，８が左右
方向に長い矩形状とされ、この各連通口７，８を開閉す
る前後の弁板１４，１５も同様に左右方向に延びる矩形
状であっても、その各弁板１４，１５の長さ方向たる左
右方向に沿って弁板支持体１８、弁板駆動体２５、弁板
駆動機構３９、機構収容ベローズ４１、各駆動棒４９、
シリンダ５３等の組がそれぞれ２つずつに分散して配設
され、これら２つの組の弁板駆動機構３９，３９が互い
に同期して作動するので、矩形状の弁板１４，１５であ
っても、その長さ方向に沿ってバランスよく均等に駆動
して開閉でき、弁板１４，１５の良好な閉弁シール性を
確保することができる。

【００６４】（実施形態２）図６〜図１０は本発明の実
施形態２を示し（尚、以下の各実施形態では、図１〜図
５と同じ部分については同じ符号を付してその詳細な説
明は省略する）、一方の弁板を弁板支持体１８と一体化
したものである。

【００６５】すなわち、この実施形態では、上記実施形
態１とは異なり、弁板支持体１８は後側弁板１５（第２
の弁板）に気密シールされて一体的に固定され、前側弁
板１４（第１の弁板）のみが弁板支持体１８つまり後側
弁板１５と接離可能とされている。そして、この弁板支
持体１８と後側弁板１５との間には機構収容ベローズ４
１が設けられておらず、弁板支持体１８と前側弁板１４
との間のみに機構収容ベローズ４１が架設されている
（尚、後側弁板１５に代えて前側弁板１４を弁板支持体
１８に固定し、後側弁板１５のみを弁板支持体１８に接
離可能とするとともに、この後側弁板１５と弁板支持体
１８との間に機構収容ベローズ４１を架設するように変
更してもよい）。

【００６６】さらに、図８にも示す如く、弁板駆動体２
５は駆動棒４９の上端部に延設されたロッド状のもの
で、その上下部にはそれぞれ後側面を段差状に切り欠い
た切欠部２５ａ，２５ａが上下方向に間隔をあけて形成
され、この各切欠部２５ａにそれぞれ上下の支持軸２
６，２７が左右中央部の切欠部２６ａ，２７ａにて係合
されてボルト７０，７０により締結固定されている。こ
の各支持軸２６，２７の左右両側にはそれぞれリンク２
８，３２の後端部が揺動可能に支持され、このリンク２
８，３２の前端部は前側弁板１４の後面に取り付けた支
持軸３０，３４に揺動可能に支持されている。尚、上記
弁板支持体１８側の各支持軸２６，２７の左右両端部に
はそれぞれローラ７１，７１が回転可能に支持されてお
り、このローラ７１，７１を弁板駆動体２５の閉弁状態
で後側弁板１５の前面に押し付けることで反力を得るよ
うにしている。また、前側弁板１４の後面の支持軸３
０，３４には、弁板支持体１８の前面に凹設した上下の
ローラガイド部１８ｂ，１８ｂ内を転動して案内される
ローラ７２，７２が回転可能に支持されており、このロ
ーラガイド部１８ｂとローラ７２とにより係止機構２３
が構成されている。

【００６７】また、弁箱６の底壁に連設される外筒４４
の底部には、上記支持棒４６をその内部の駆動棒４９と
共に案内する支持棒案内部としての案内筒７４が取り付
けられている（尚、シリンダ５３の伸長作動により弁板
支持体１８が閉弁位置に位置付けられたときに、上側フ
ランジ４７は案内筒７４の下端に当接する）。この案内
筒７４は支持棒４６を摺動可能に挿通する筒状のもの
で、その上下端の開口部にはそれぞれ支持棒４６の外面
に摺接する案内リング７５，７６が嵌合固定されてい
る。この上側の案内リング７５は下側の案内リング７６
に対し僅かに前側に偏心されており、この両案内リング
７５，７６間の偏心により、弁板支持体１８が閉弁位置
以外にあるとき、具体的には下端の開弁位置と上端の閉
弁位置近くとの間で昇降するときには、後側弁板１５と
弁箱６の後壁内面との間に間隙が形成されるように支持
棒４６を弁板支持体１８や前後の弁板１４，１５等と共
に僅かに前傾した状態で案内する。また、支持棒４６の
前側外面には、弁板支持体１８が閉弁位置にあるときの
下側案内リング７６に対応する部分に凹部４６ａが切り
欠いて形成されており、この凹部４６ａが下側案内リン
グ７６の位置に移動して弁板支持体１８が閉弁位置にあ
るときに、その凹部４６ａの隙間分だけ支持棒４６の上
端部を前後移動可能として、弁板支持体１８の前後方向
（両真空容器１，２の配列方向）への移動を許容するよ
うにしている。

【００６８】尚、上記案内筒７４の下端部には下側案内
リング７６に亘り孔部７７が半径方向に貫通して形成さ
れ、この孔部７７内には、下側案内リング７６の内面か
ら突出可能なボール７８と、このボール７８を下側案内
リング７６の内面から突出させて支持棒４６の外面に押
し付けるばね７９と、このばね７９の外端部を押すよう
に孔部７７を閉じる蓋部８０とが収容されており、支持
棒４６の凹部４６ａが下側案内リング７６の位置に移動
して弁板支持体１８が閉弁位置にあるときに、ボール７
８により支持棒４６の凹部４６ａを押圧付勢すること
で、弁板支持体１８の前後方向へのふらつきを規制して
いる。

【００６９】また、図１０に示すように、この実施形態
では、上記実施形態１とは異なり、各弁板１４，１５の
左右の押圧位置間の中央下方位置に上下方向の軸線を有
する１つのシリンダ５３が配置され、このシリンダ５３
のピストンロッド５３ａの上端（先端）にブラケット８
２の左右中央部が連結されている。このブラケット８２
は左右中央部よりも左右端部が低くなるように略コ字状
に折れ曲がった部材からなるのもので、その左右端部に
それぞれ上記左右の駆動棒４９，４９の下端の下側フラ
ンジ５１，５１が連結されており、１つのシリンダ５３
の駆動により左右の駆動棒４９，４９や支持棒４６，４
６等を同期して昇降移動させるようにしている。その他
の構成は上記実施形態１と同様である。

【００７０】したがって、この実施形態においては、開
弁状態にある真空ゲート弁５が閉弁するとき、シリンダ
５３の伸長作動により左右の駆動棒４９，４９が同期し
て押し上げられ、この各駆動棒４９にリンク機構５６，
５６，…及びばね５５により連結されている支持棒４６
が相手側の支持棒４６と同期して上昇する。この各支持
棒４６の上昇移動により、弁板支持体１８が、該弁板支
持体１８に係止機構２３を介して支持されている前側弁
板１４及び弁板支持体１８に一体的に固定支持されてい
る後側弁板１４と共に開弁位置から閉弁位置に移動す
る。

【００７１】そのとき、上記各支持棒４６は案内筒７４
における上下の案内リング７５，７６により案内され、
この案内により後側弁板１５と弁箱６の後壁内面との間
に間隙が形成された前傾状態で上昇移動する。このた
め、その後側弁板１５と弁箱６の後壁内面とが接触しな
いので、その接触による発塵を招くことはない。

【００７２】そして、弁板支持体１８が閉弁位置に移動
すると、上側フランジ４７が案内筒７４の下端に当接し
て移動規制されるとともに、上記支持棒４６外周の凹部
４６ａが下側案内リング７６の位置に移動し、この凹部
４６ａの隙間分だけ、弁板支持体１８の前後方向への移
動が許容される。この弁板支持体１８の前後方向への移
動を許容された状態で、駆動棒４９のさらなる上昇移動
により弁板駆動体２５が閉弁状態に切り換えられ、この
弁板駆動体２５に平行リンク機構３６を介して連結され
ている前側弁板１４が後側弁板１５から離隔する方向に
移動して弁箱６の前側連通口７を閉じる。そして、この
前側弁板１４が弁箱６の前壁から受ける反力により後側
弁板１５が後側に押されて弁箱６の後側の連通口８を閉
じ、これらにより真空ゲート弁５が閉弁する。この真空
ゲート弁５が開弁するときには、上記と逆の動作が行わ
れる。

【００７３】よって、この実施形態の場合、上記実施形
態１と同様の作用効果が得られ、前側の弁板１４と弁板
支持体１８とを機械的に連結しつつ、平行リンク機構３
６、係止機構２３及び弁板駆動機構３９の摺接部分から
発生した摩耗粉や摺動潤滑剤等からなるごみや不純物を
機構収容ベローズ４１内の収容室４２に、また支持棒４
６の弁箱６の底壁への貫通部で同様に生じたごみや不純
物を支持棒収容ベローズ６７内にそれぞれ封じ込めて、
真空域への発塵を可及的に少なくすることができる。

【００７４】また、後側弁板１５が弁板支持体１８に一
体的に固定されているので、その分、両弁板１４，１５
間の間隔を小さくして弁箱６の前後方向の厚さ寸法を減
少することができる。

【００７５】また、１つのシリンダ５３によって左右の
駆動棒４９，４９や支持棒４６，４６等を同期して昇降
移動させるので、その同期駆動が容易になり、アクチュ
エータの数も少なくしてコストダウンを図ることができ
る。

【００７６】（実施形態３）図１１〜図１４は実施形態
３を示し、上記各実施形態では、両真空容器１，２の開
口３，４をそれぞれ開閉する２枚の弁板１４，１５を設
けて、両真空容器１，２を連通又は連通遮断するように
しているのに対し、真空容器の開口を開閉して真空容器
内を大気に対し開放又は開放遮断するようにしたもので
ある。

【００７７】すなわち、この実施形態３では、上記実施
形態２と略同様の構成において、弁箱６の代わりにフレ
ーム９３（固定体）が真空容器１に取付固定され、この
フレーム９３の例えば上壁部（他の部分でもよい）は外
部に開放されており、このフレーム９３を有するゲート
弁５により真空容器１の開口３が開閉されて真空容器１
が大気に対し開放又は開放遮断される。

【００７８】上記フレーム９３の前壁部には真空容器１
の開口３に対応する前側開口９４が、また後壁部には該
前側開口９４に対応する大きさの後側開口９５がそれぞ
れ形成されている。また、フレーム９３内には、その前
側開口９４（真空容器１の開口３）に対し接離する前後
方向に移動して該前側開口９４（開口３）を開閉する弁
板１４が配置され、その弁板１４後側のフレーム９３内
には弁板１４を接離可能に案内支持する弁板支持体１８
が配設されている。

【００７９】上記弁板支持体１８は、フレーム９３の後
側開口９５よりも大きい矩形板状の本体１９を有し、こ
の本体１９の前面には、上記弁板１４の左右の押圧位置
に対応する部分にそれぞれ平行リンク機構３６の各ガイ
ドローラ７１，７２を案内するためのガイド部材９６が
円環板状の取付部材１７により一体的に取付固定されて
いる。上記ガイド部材９６は、図１２及び図１３に示す
ように、後向きに開口する浅い略皿形状のもので、その
下側壁部が切り欠かれて開放され、この切欠き部分以外
の外周上半部の後端には半径方向外側に延びるフランジ
９６ａが形成されており、このフランジ９６ａを取付部
材１７の内周部に係止した状態で該取付部材１７をボル
ト１０５，１０５，…（１つのみ図示する）により本体
１９に取り付けることで、各ガイド部材９６が本体１９
の前面に取付部材１７を介して取付固定されている。ま
た、上記弁板支持体１８における取付部材１７の下縁部
に支持棒４６の上端部（内端部）が移動一体に気密状に
溶接固定されている。

【００８０】上記ガイド部材９６の前壁（底壁）の中心
部には縦長矩形状の開口９８が貫通形成されている。ま
た、ガイド部材９６の前面には、上記開口９８の上下縁
部からそれぞれ水平前側に平行に延びる上下１対の突出
片９９，１００が上側突出片９９下面にあっては開口９
８の上縁部下面と、また下側突出片１００上面にあって
は開口９８の下縁部上面とそれぞれ面一となるように一
体に形成されている。また、上記弁板支持体１８の本体
１９前面には、上記各ガイド部材９６の開口９８に対応
して所定深さの矩形凹部９５ａが形成されている。そし
て、上記ガイド部材９６の前壁（底壁）と本体１９前面
の凹部９５ａとにより、駆動棒４９の進退移動方向（上
下方向）と同方向に延びる垂直ガイド部９７が、また上
下１対の突出片９９，１００ないし開口９８により、弁
板１４の開閉移動方向（前後方向）と同方向に延びる水
平ガイド部１０１がそれぞれ形成されている。

【００８１】上記弁板支持体１８の左右の各ガイド部材
９６内に平行リンク機構３６が配置され、この平行リン
ク機構３６により、上記弁板１４と駆動棒４９とが駆動
棒４９の昇降移動に伴って弁板１４が前後方向に移動し
て駆動棒４９に対し接離するように連結されている。具
体的には、上記各ガイド部材９６における上下の突出片
９９，１００間に、弁板１４に連結される上下の支持軸
３０，３４が上下方向に所定間隔をあけて配置され、こ
の各支持軸３０，３４はその左右端部の前側切欠部３０
ａ，３４ａ（図１２参照）にて、弁板１４後面の取付部
材１６にボルト１０８，１０８により締結固定されてい
る。

【００８２】一方、上記各垂直ガイド部９７内、つまり
ガイド部材９６の開口９８の左右両側部分の前壁後面と
本体１９前面の各矩形凹部９５ａ底面（前面）との間に
は、駆動棒４９（その上端部の弁板駆動体２５）に連結
される上下の支持軸２６，２７が上記前側の支持軸３
０，３４と同じ間隔をあけて上下方向に配置されてい
る。そして、図１２に示すように、上記前側の支持軸３
０，３４の左右両側寄りに位置する部分にはそれぞれ樹
脂製等のリンク２８，２８（又は３２，３２）の前端部
が揺動可能に支持され、このリンク２８，２８（又は３
２，３２）の後端部は、それぞれ支持軸３０（又は３
４）の後側に対応して位置する支持軸２６（又は２７）
の左右両側寄り部分に揺動可能に支持されており、前後
の支持軸２８，２７（又は３２，２７）同士は左右１対
のリンク２８，２８（又は３２，３２）により連結され
ている。

【００８３】さらに、上記上下の支持軸２６，２７は、
その左右中央部にて、それぞれガイド部材９６内を上下
方向に延びる駆動棒４９上端部の弁板駆動体２５に上記
間隔をあけて取付固定されている。この上下の支持軸２
６，２７の駆動棒４９との連結構造はいずれも同じで、
各支持軸２６，２７の左右中央部にはその略前半部を平
面状に切り欠いた嵌合部２６ａ，２７ａが、また駆動棒
４９側の弁板駆動体２５にはその略後半部を平面状に切
り欠いてなる嵌合部２５ａがそれぞれ形成されており、
支持軸２６，２７と駆動棒４９とは、互いに交差しかつ
各々の嵌合部２６ａ，２７ａ，２５ａで嵌合した状態で
両者を前後方向に貫通するボルト１１０により一体的に
締結固定されている。よって、上記前後の支持軸３０，
３４，２６，２７及び上下両側のリンク２８，２８，３
２，３２により平行リンク機構３６が構成されている。

【００８４】上記前側の支持軸３０，３４の左右中央部
には、上記水平ガイド部１０１により水平前後方向に案
内される樹脂製等のローラ７２が回転可能に支持されて
いる。つまり、上側に位置する支持軸３０上のローラ７
２は、ガイド部材９６の上側突出片９９下面ないし開口
９８の上縁部下面に沿って、また下側の支持軸３４上の
ローラ７２は、下側突出片１００の上面ないし開口９８
の下縁部上面に沿ってそれぞれ前後方向（弁板１４の開
閉移動方向と同方向）に移動可能に転動案内されるよう
になっており、これら上下のローラ７２，７２の案内に
より弁板１４がガイド部材９６（弁板支持体１８）に対
し上下方向に相対移動不能に位置決めされた状態で前後
移動する。

【００８５】また、上記後側の支持軸２６，２７の左右
端部にはそれぞれ上記垂直ガイド部９７により垂直上下
方向（駆動棒４９の進退移動方向と同方向）に案内され
る樹脂製等のローラ７１，７１が回転可能に支持されて
いる。つまり、これらローラ７１，７０は、ガイド部材
９６の開口９８の左右両側の前壁後面と本体１９前面の
各凹部９５ａ底面との間を転動して案内される。

【００８６】そして、上記弁板支持体１８がフレーム９
３内上側の閉弁位置にあるときに、その内部で駆動棒４
９のみを昇降移動させることで、平行リンク機構３６に
より弁板１４を弁板支持体１８に対し接離するように前
後方向に移動させてフレーム９３の前側開口９４（真空
容器１の開口３）を開閉し、駆動棒４９を下降させたと
きには、平行リンク機構３６の各リンク２８，３２を後
側に向かって下側に向かうように傾斜させ、弁板１４を
弁板支持体１８（駆動棒４９）に接近させてフレーム９
３の前側開口９４周りの前壁から離隔させることで、そ
の開口９４を開く一方、図１１に示すように、駆動棒４
９を上昇させたときには、平行リンク機構３６の各リン
ク２８，３２を前後方向に水平に配置し、弁板１４を弁
板支持体１８から離して前側開口９４囲りの前壁内面に
押し付けることで、その開口９４を閉じるようになって
いる。

【００８７】さらに、上記弁板支持体１８における各取
付部材１７の前端部と、その前側の弁板１４における各
取付部材１６の後面との間に亘り機構収容ベローズ５４
が両者の接離方向に伸縮可能に設けられている。機構収
容ベローズ５４の前後端部はそれぞれ取付部材１６，１
７に気密状に接合されており、この機構収容ベローズ５
４、弁板１４（取付部材１６）及び弁板支持体１８で囲
まれる気密状の空間に上記平行リンク機構３６が収容さ
れている。

【００８８】また、上記弁板支持体１８の本体１９後面
には、上記左右の平行リンク機構３６の各々の上下両側
位置にそれぞれ左右方向に延びる丸棒状のゴム（樹脂製
でもよい）からなる弾性部材１１２，１１２が一部を本
体１９後面から突出させた状態で取付保持されている。
この各弾性部材１１２は、弁板１４がフレーム９３の前
側開口９４を閉じた状態でフレーム９３の後側開口９５
周囲の後壁内面（前面）に押し付けられるもので、この
押付け状態での弾性部材１１２の弾性反力により弁板支
持体１８が弁板１４の閉じ方向たる前方向に付勢される
ようになっている。

【００８９】その他の構成は上記実施形態２と同様であ
る。よって、この実施形態でも上記実施形態２と同様の
作用効果を奏することができる。

【００９０】（他の実施形態）尚、本発明は上記各実施
形態に限定されず、種々の変形の実施形態を包含するも
のである。例えば、上記実施形態１，２では、弁板支持
体１８と弁板１４，１５とを係止機構２３により連結
し、弁板駆動体２５の昇降移動により弁体１４，１５を
開閉させる弁板駆動機構３９を示しているが、その他の
弁板駆動機構３９を用いることができる。具体的には、
例えば、図１４（ａ）に示すように、弁板駆動体２５に
おいて上下に離れた位置にそれぞれ前後の長リンク８
４，８４，…の各一端部を揺動可能に軸支し、この各長
リンク８４の他端部をそれぞれ前後の弁板１４，１５の
各背面の上下部分に揺動可能に軸支するとともに、各長
リンク８４の長さ方向中央部に長リンク８４の半分の長
さの短リンク８５，８５，…の一端部を揺動可能に軸支
し、この各短リンク８５の他端部を弁板支持体１８に長
リンク８４の弁板１４，１５への軸支位置と対応して軸
支する。こうすれば、これらの各長リンク８４及び各短
リンク８５のみで、弁板１４，１５を弁板支持体１８に
対し接離可能にかつ弁板支持体１８の移動方向たる上下
方向に沿って相対移動不能に支持することができ、弁板
支持体１８と弁板１４，１５とを係止支持する係止機構
２３は不要となる。

【００９１】また、図１４（ｂ）に示すように、湾曲し
た前後１対の板ばね８７，８７を中間部が相手側ばね８
７，８７から離れるように配置し、その両上端部を弁板
支持体１８に、また両下端部を弁板駆動体２５の上端部
にそれぞれ軸支し、両板ばね８７，８７の中間部を弁板
１４，１５の背面部に連結支持し、停止している弁板支
持体１８に対し弁板駆動体２５を上昇させて両板ばね８
７，８７を中間部が膨出するように湾曲変形させること
で、両弁板１４，１５を閉じるようにしてもよい。或い
は、図１４（ｃ）に示す如く、弁板支持体１８にカム板
８９をガイドレール９０，９０により前後方向に移動可
能に支持し、このカム板８９に弁板１４，１５を取付固
定するとともに、カム板８９に、上側に向かって弁板１
４，１５から離れる方向に傾斜するカム部８９ａ，８９
ａを形成し、このカム部８９ａ，８９ａに弁板駆動体２
５に軸支したカムローラ９１，９１を係合させること
で、弁板駆動体２５の昇降移動によりカム板８９及び弁
板１４，１５を前後移動させるようにすることもでき
る。さらには、図示しないが、弁板支持体１８に、駆動
棒と回転一体に連結される弁板駆動体を上下方向の軸心
をもって回転可能に支持し、この弁板駆動体の直径方向
の両端部に対のリンクの一端部を軸支する一方、その両
リンクの他端部をそれぞれ前後の弁板の背面に揺動可能
に軸支し、駆動棒により弁板駆動体を回動させること
で、弁板を接離させて開閉するようにしてもよく、さら
には、この弁板駆動体の回動によりカム機構を介して弁
板を開閉するようにしてもよい。要は、真空容器の開口
と略平行な方向に沿って開弁位置及び閉弁位置の間を移
動可能な弁板支持体を設けて、この弁板支持体に弁板を
接離可能に支持し、この弁板を弁板支持体に対し接離す
るように移動させて開閉させるようにすればよい。

【００９２】また、上記実施形態１，２では、機構収容
ベローズ４１を弁板支持体１８と弁板１４，１５との間
に架設しているが、前後の弁板１４，１５の背面間に直
接架設して、その内部に弁板駆動機構３９に加え弁板支
持体１８をも収容できるようにしてもよい。

【００９３】また、上記各実施形態では、駆動手段をシ
リンダ５３としているが、その他、直線運動をする出力
部を有するものであればよく、また駆動軸を回転させる
場合には回転型のアクチュエータを用いればよい。

【００９４】さらに、上記各実施形態では、弁板支持体
１８及び弁板１４（１５）を上昇移動させて開弁し、下
降移動させて閉弁するようにしているが、逆に弁板支持
体１８及び弁板１４（１５）の下降移動により開弁し、
上昇移動により閉弁するようにしてもよい。また、弁板
支持体１８及び弁板１４（１５）の開閉動作の向きを必
ずしも上下方向に限定する必要はないのは勿論である。

【００９５】また、上記実施形態１，２では、両真空容
器１，２の開口３，４をそれぞれ弁板１４，１５で開閉
して両真空容器１，２を連通又は連通遮断するようにし
ているが、いずれか一方の１枚の弁板だけで真空容器の
開口を開閉して両真空容器１，２を連通又は連通遮断す
るようにしてもよい。また、実施形態３において、支持
棒４６や駆動棒４９だけで閉弁時の弁板支持体１８によ
る弁板１４の支持剛性を確保できる場合（但し、支持棒
４６や駆動棒４９はフレーム９３に代わる他の固定体に
支持されている）にはフレーム９３自体を不要とするこ
とができる。

【００９６】

【発明の効果】以上説明のように、請求項１の発明で
は、真空容器の開口を開閉する真空ゲート弁として、真
空容器の開口と略平行な方向に沿って開弁位置及び閉弁
位置の間を移動可能な弁板支持体と、この弁板支持体に
接離可能に支持され、真空容器の開口を開閉する弁板
と、この弁板を弁板支持体に対し接離するように移動さ
せて開閉させる弁板駆動機構と、弁板及び弁板支持体間
に亘り両者の接離方向に伸縮可能に配置され、内部に、
少なくとも弁板駆動機構を収容する収容室が気密状に区
画形成された機構収容ベローズと、上記弁板支持体を開
弁位置及び閉弁位置間で移動させる筒状の支持棒と、こ
の支持棒内に挿通され、弁板駆動機構を作動させる駆動
棒とを設けた。また、請求項２の発明では、さらに、支
持棒及びその貫通部周囲の固定体の間に、支持棒の貫通
部を気密状に覆う伸縮可能な支持棒収容ベローズを架設
した。さらに、請求項３の発明では、真空容器間に配置
される真空ゲート弁の弁箱内に、両真空容器の配列方向
と略直交する方向に沿って開弁位置及び閉弁位置の間を
移動可能な弁板支持体と、この弁板支持体に接離可能に
支持され、弁箱の連通口をそれぞれ開閉する１対の弁板
と、これら両弁板を互いに接離するように両真空容器の
配列方向に移動させて開閉させる弁板駆動機構と、両弁
板間に亘り両者の接離方向に伸縮可能に配置され、内部
に、少なくとも弁板駆動機構を収容する収容室が気密状
に区画形成された機構収容ベローズとを設け、さらに、
外端部が弁箱外に延びるように弁箱の壁部を気密状に貫
通し、上記弁板支持体を開弁位置及び閉弁位置間で移動
させる筒状の支持棒と、外端部が弁箱外に延びるように
支持棒内に挿通され、弁板駆動機構を作動させる駆動棒
と、支持棒及びその貫通部周囲の弁箱の壁部の間に架設
され、支持棒の貫通部を気密状に覆う伸縮可能な支持棒
収容ベローズとを備える構成とした。また、請求項４の
発明では、上記一方の弁板を弁板支持体に一体的に固定
して、他方の弁板のみを接離可能に支持した。従って、
これら請求項１〜４の発明によると、弁板駆動機構の作
動に伴って発生する摩耗粉や摺動潤滑剤等のごみや不純
物を機構収容ベローズ内の収容室に、また請求項２〜４
の発明によると、支持棒の貫通部で発生するごみや不純
物を支持棒収容ベローズ内にそれぞれ封じ込めることが
できる。よって、弁板駆動機構による弁板に対する機械
的な開閉駆動により、弁板の開閉動作の高速化、開閉動
作の安定化、故障時等の対処の容易化を図りながら、真
空域への発塵の低減化を有効に図ることができる。

【００９７】また、特に、請求項４の発明によると、一
方の弁板が弁板支持体に一体的に固定されて接離しない
ので、弁板支持体の移動時の一方の弁板と弁箱の壁部内
面との間の接触による発塵を招くことなく、ゲート弁に
おける弁箱の両真空容器間の厚さ寸法の薄型化を図るこ
とができる。

【００９８】請求項５の発明によると、弁箱の壁部にポ
ートを開口して、このポートに、弁箱内から空気を排出
する排気バルブと、弁箱内に大気を導入する大気導入バ
ルブとを接続したことにより、弁箱内の圧力調整の容易
化及び排気による弁箱内部のクリーン化を図ることがで
きる。

【００９９】請求項６の発明によると、弁箱内を一方の
真空容器と常時連通したことにより、上記のように、排
気バルブや大気導入バルブを要することなく、弁箱内の
圧力調整の容易化を図ることができる。

【０１００】請求項７の発明によると、弁箱内と少なく
とも一方の真空容器とを開閉バルブを有する連通管を介
して連通したことにより、開閉バルブの開弁により弁箱
内と真空容器内とを連通させて弁箱及び真空容器間の圧
力差をなくすことができ、真空ゲート弁の開閉動作のス
ムーズ化を図ることができる。

【０１０１】請求項８の発明では、駆動棒は、支持棒内
で長さ方向に相対的に摺動することにより弁板駆動機構
を作動させて弁板を開閉するようにし、支持棒及び駆動
棒を、駆動棒を支持棒に対し弁板駆動機構が弁板を開く
方向に相対移動させるように付勢する付勢手段により連
結し、駆動手段により、駆動棒を長さ方向に移動させて
弁板支持体の移動及び弁板駆動機構の開閉切換えを行う
ようにした。また、請求項９の発明では、上記と同様
に、駆動棒は、支持棒内で長さ方向に相対的に摺動する
ことにより弁板駆動機構を作動させて弁板を開閉するよ
うにし、支持棒及び駆動棒は、伸長時に弁板が開弁する
一方、収縮時に弁板が閉弁するように弁板駆動機構を作
動させるリンク機構を介して連結し、弁板支持体が閉弁
位置以外にあるときにリンク機構を伸長状態に保持する
ガイド部と、駆動棒を長さ方向に移動させて弁板支持体
の移動及び弁板駆動機構の作動切換えを行う駆動手段と
を設けた。従って、これらの発明によると、弁板支持体
が移動するときの接触による発塵を防止しながら、１つ
の駆動手段を用いて弁板支持体の移動及び弁板駆動機構
による弁板の開閉切換えを行うことができる。

【０１０２】請求項１０の発明によると、弁板を、弁板
支持体の移動方向と略直交する方向に長い形状とし、弁
板支持体、ベローズ、弁板駆動機構、支持棒及び駆動棒
を弁板の長さ方向に沿って複数配設し、これら複数の弁
板支持体が同期して移動するように構成したことによ
り、細長い形状の弁板であっても、その長さ方向に沿っ
てバランスよく均等に駆動して開閉させることができ、
弁板のシール性の向上を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施形態１の真空ゲート弁の上半部を
示す拡大断面図である。

【図２】実施形態１の真空ゲート弁の下半部を示す拡大
断面図である。

【図３】図１のIII−III線拡大断面図である。

【図４】実施形態１の真空ゲート弁の全体構成を示す断
面図である。

【図５】実施形態１の真空ゲート弁の全体構成を示す側
面図である。

【図６】実施形態２の真空ゲート弁の上半部を示す図１
相当図である。

【図７】実施形態２の真空ゲート弁の下半部を示す図２
相当図である。

【図８】実施形態２を示す図３相当図である。

【図９】実施形態２の真空ゲート弁を示す図４相当図で
ある。

【図１０】実施形態２の真空ゲート弁を示す図５相当図
である。

【図１１】実施形態３の真空ゲート弁を示す図１相当図
である。

【図１２】平行リンク機構の一部を拡大して示す部分破
断平面図である。

【図１３】ガイド部材の拡大正面図である。

【図１４】弁板駆動機構の変形例を概略的に示す断面図
である。

【符号の説明】

１，２ 真空容器 ５ 真空ゲート弁 ６ 弁箱（固定体） ７，８ 連通口 ９ ポート １０ 排気バルブ １１ 大気導入バルブ １２ 連通管 １３ 開閉バルブ １４，１５ 弁板 １８ 弁板支持体 ２３ 係止機構 ２５ 弁板駆動体 ３６，３７ 平行リンク機構 ３９ 弁板駆動機構 ４１ 機構収容ベローズ ４２ 収容室 ４４ 外筒 ４６ 支持棒 ４６ａ 凹部 ４９ 駆動棒 ５３ シリンダ（駆動手段） ５５ 圧縮ばね（付勢手段） ５６ リンク機構 ６４ ガイド部 ６７ 支持棒収容ベローズ ７４ 案内筒（支持棒案内部） ９３ フレーム（固定体） ９６ ガイド部材 ９７ 垂直ガイド部 １０１ 水平ガイド部

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 真空容器の開口と略平行な方向に沿って
   開弁位置及び閉弁位置の間を移動可能な弁板支持体と、 上記弁板支持体に接離可能に支持され、弁板支持体に対
   し接離して上記真空容器の開口を開閉する弁板と、 上記弁板支持体の閉弁位置で弁板を弁板支持体に対し接
   離するように移動させて開閉させる弁板駆動機構と、 上記弁板支持体と弁板との間に亘り両者の接離方向に伸
   縮可能に設けられ、内部に、少なくとも上記弁板駆動機
   構を収容する収容室が他の空間と気密状に区画形成され
   た機構収容ベローズと、 上記弁板支持体を開弁位置及び閉弁位置間で移動させる
   筒状の支持棒と、 上記支持棒内に相対移動可能に挿通され、上記弁板駆動
   機構を作動させる駆動棒とを備えたことを特徴とする真
   空ゲート弁。
2. 【請求項２】 請求項１の真空ゲート弁において、 支持棒は固定体に摺動可能に貫通されており、 上記支持棒と該支持棒が貫通される貫通部周囲の固定体
   との間に、支持棒の貫通部を気密状に覆う伸縮可能な支
   持棒収容ベローズが架設されていることを特徴とする真
   空ゲート弁。
3. 【請求項３】 隣接する１対の真空容器間に配設され、
   各真空容器と連通口を介して連通する弁箱と、 上記弁箱内に設けられ、両真空容器の配列方向と略直交
   する方向に沿って開弁位置及び閉弁位置の間を移動可能
   な弁板支持体と、 上記弁板支持体に両真空容器の配列方向に接離可能に支
   持され、弁板支持体に対し接離して上記弁箱の連通口を
   それぞれ開閉する１対の弁板と、 上記弁板支持体の閉弁位置で両弁板を互いに接離するよ
   うに移動させて開閉させる弁板駆動機構と、 上記両弁板間に亘り両者の接離方向に伸縮可能に設けら
   れ、内部に、少なくとも上記弁板駆動機構を収容する収
   容室が弁箱内の他の空間と気密状に区画形成された機構
   収容ベローズと、 外端部が弁箱外に延びるように弁箱の壁部を気密状に貫
   通し、上記弁板支持体を開弁位置及び閉弁位置間で移動
   させる筒状の支持棒と、 外端部が弁箱外に延びるように上記支持棒内に相対移動
   可能に挿通され、上記弁板駆動機構を作動させる駆動棒
   と、 上記支持棒と該支持棒が貫通される貫通部周囲の弁箱壁
   部との間に架設され、上記支持棒の貫通部を気密状に覆
   う伸縮可能な支持棒収容ベローズとを備えたことを特徴
   とする真空ゲート弁。
4. 【請求項４】 隣接する１対の真空容器間に配設され、
   各真空容器と連通口を介して連通する弁箱と、 上記弁箱内に設けられ、両真空容器の配列方向と略直交
   する方向に沿って開弁位置及び閉弁位置の間を移動可能
   な弁板支持体と、 上記弁板支持体に両真空容器の配列方向に接離可能に支
   持され、弁板支持体に対し接離して上記弁箱の一方の真
   空容器への連通口を開閉する第１の弁板と、 上記弁板支持体に一体的に固定支持され、上記弁箱の他
   方の真空容器への連通口を開閉する第２の弁板と、 上記弁板支持体の閉弁位置で第１の弁板を第２の弁板に
   対し接離するように移動させて開閉させる弁板駆動機構
   と、 上記両弁板間に亘り両者の接離方向に伸縮可能に設けら
   れ、内部に、少なくとも上記弁板駆動機構を収容する収
   容室が弁箱内の他の空間と気密状に区画形成された機構
   収容ベローズと、 外端部が弁箱外に延びるように弁箱の壁部を気密状に貫
   通し、上記弁板支持体を開弁位置及び閉弁位置間で移動
   させる筒状の支持棒と、 外端部が弁箱外に延びるように上記支持棒内に相対移動
   可能に挿通され、上記弁板駆動機構を作動させる駆動棒
   と、 上記支持棒と該支持棒が貫通される貫通部周囲の弁箱壁
   部との間に架設され、上記支持棒の貫通部を気密状に覆
   う伸縮可能な支持棒収容ベローズと、 弁板支持体が閉弁位置にあるときには該弁板支持体の両
   真空容器の配列方向への移動が許容される一方、弁板支
   持体が閉弁位置以外にあるときには第２の弁板と弁箱の
   壁部内面との間に間隙が形成されるように、上記支持棒
   を案内する支持棒案内部とを備えたことを特徴とする真
   空ゲート弁。
5. 【請求項５】 請求項３又は４の真空ゲート弁におい
   て、 弁箱の壁部にポートが開口され、 上記ポートに、弁箱内から空気を排出する排気バルブ
   と、弁箱内に大気を導入する大気導入バルブとが接続さ
   れていることを特徴とする真空ゲート弁。
6. 【請求項６】 請求項３又は４の真空ゲート弁におい
   て、 弁箱内が一方の真空容器と常時連通されていることを特
   徴とする真空ゲート弁。
7. 【請求項７】 請求項３又は４の真空ゲート弁におい
   て、 弁箱内と少なくとも一方の真空容器とは連通管を介して
   連通されており、 上記連通管に開閉バルブが設けられていることを特徴と
   する真空ゲート弁。
8. 【請求項８】 請求項１〜４のいずれか１つの真空ゲー
   ト弁において、 駆動棒は、支持棒内で長さ方向に相対的に摺動すること
   により弁板駆動機構を作動させて弁板を開閉するように
   構成され、 支持棒及び駆動棒は、駆動棒を支持棒に対し弁板駆動機
   構が弁板を開く方向に相対移動させるように付勢する付
   勢手段により連結され、 上記駆動棒を長さ方向に移動させて弁板支持体の移動及
   び弁板駆動機構の作動切換えを行う駆動手段が設けられ
   ていることを特徴とする真空ゲート弁。
9. 【請求項９】 請求項１〜４のいずれか１つの真空ゲー
   ト弁において、 駆動棒は、支持棒内で長さ方向に相対的に摺動すること
   により弁板駆動機構を作動させて弁板を開閉するように
   構成され、 支持棒及び駆動棒は、伸長時に弁板が開弁する一方、収
   縮時に弁板が閉弁するように駆動棒を支持棒に対し相対
   移動させて弁板駆動機構を作動させるリンク機構を介し
   て連結され、 上記弁板支持体が閉弁位置以外にあるときに上記リンク
   機構を伸長状態に保持するガイド部と、 上記駆動棒を長さ方向に移動させて弁板支持体の移動及
   び弁板駆動機構の作動切換えを行う駆動手段とを備えた
   ことを特徴とする真空ゲート弁。
10. 【請求項１０】 請求項１〜４のいずれか１つの真空ゲ
    ート弁において、 弁板は、弁板支持体の移動方向と略直交する方向に長い
    形状とされ、 弁板支持体、収容ベローズ、弁板駆動機構、支持棒及び
    駆動棒が上記弁板の長さ方向に沿って複数配設され、 上記複数の弁板駆動機構が同期して作動するように構成
    されていることを特徴とする真空ゲート弁。