JP2002039402A - 真空ゲート弁 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 真空ゲート弁について、その弁体駆動部等か
らの発塵の拡散を簡単な構成によって防止するようにし
て、コストの低減を図りつつ真空空間の汚染を抑制す
る。 【解決手段】 開弁位置及び閉弁位置の間の弁板支持体
１５の移動を案内する後側ガイドローラ２４，２４，…
と、弁板３４及び弁板支持体１５の間に設けられ、弁板
支持体１５の閉弁位置で弁板３４及び弁板支持体１５が
互いに接離するように支持する平行リンク機構４４，４
４，…との少なくとも一方の摺動部を摺動部カバー７
０，７１，７２により局所的に覆うようにした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、真空容器の開口を
開閉するための真空ゲート弁に関し、特に、その摺動部
からの発塵を抑制するための技術分野に属する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、例えば実開昭６４―７７０号
公報等に示されるように、隣接する１対の真空容器に連
通する弁箱内に弁板支持体を、その背面に軸支したガイ
ドローラで案内しながら昇降可能に配置し、この弁板支
持体の一方の真空容器側の側面に、弁箱と一方の真空容
器との間の連通部を開閉する弁板を平行リンク機構を介
して接離可能に支持し、弁箱内の下部に、弁板支持体の
下降時に弁板に当接して弁板を支持体に対し閉じ方向に
相対移動させるストッパを設け、弁箱上壁外面に、該上
壁を上下方向に気密状に貫通するピストンロッドを有す
るシリンダを取り付けて、そのピストンロッドの下端部
を弁箱内の弁板支持部に連結し、シリンダの伸縮作動に
より弁板支持体を弁箱内で昇降移動させて弁板を開閉さ
せ、シリンダの収縮作動により弁板支持体を上昇させた
ときには、その弁板支持体と共に弁板を上昇させて弁箱
の真空容器との連通部を開き、両真空容器同士を連通さ
せる一方、シリンダの伸長動作により弁板支持体を下降
させたときには、その途中で、弁板支持体と共に下降す
る弁板をストッパに当接させて平行リンク機構により弁
板支持体から離隔させ、この離隔により弁板を弁箱と真
空容器との連通部の周りに押し付けて両真空容器同士の
連通を遮断するようにした真空ゲート弁は知られてい
る。

【０００３】また、例えば、特開２０００―７４２５８
号公報に示されるように、真空ゲート弁において、弁板
を開閉させる平行リンク機構（弁体駆動部）の全体をベ
ローズで覆うことによって、この平行リンク機構の摺動
部からの発塵をベローズ内に閉じこめて真空空間が汚染
されるのを防止することが知られている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、ベローズは
発塵をその内部へ封入する能力が高いので、真空空間の
清浄度を高く維持するのに適している。しかし、ベロー
ズは高価なものであるために、このベローズを備えるこ
とにより真空ゲート弁全体のコストが高くなるという問
題があった。

【０００５】一方、真空ゲート弁の用途によっては、真
空空間に高い清浄度までは要求されず、それよりも低い
ある程度の清浄度だけが要求されて、清浄度よりもコス
トを優先する場合がある。このような場合に対しても、
一律に高価なベローズによって真空空間の清浄度を維持
するようにすると、その要求仕様に応じて真空ゲート弁
のコストを下げることができない。

【０００６】また、このように真空ゲート弁での発塵の
拡散防止を目的としてベローズを設けるようにすると、
ベローズのひだの間に摩耗粉等の発塵が溜まってしま
い、この状態でベローズが長期間に亘り伸縮動作したと
きに、そのひだが発塵によって傷ついて終いには破損し
てしまう虞れもあった。

【０００７】本発明は斯かる諸点に鑑みてなされたもの
であり、その目的とするところは、真空ゲート弁につい
て、その弁体駆動部等からの発塵の拡散をベローズに代
わる簡単な構成によって防止するようにして、コストの
低減を図りつつ真空空間の汚染を抑制することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、この発明では、真空ゲート弁について、弁体駆動
部の発塵箇所を局所的に覆うようにした。

【０００９】具体的には、請求項１の発明の真空ゲート
弁は、ガイド機構により案内されて真空容器の開口と略
平行な方向に沿って開弁位置及び閉弁位置の間を移動可
能な弁板支持体と、上記弁板支持体に弁板支持機構を介
して接離可能に支持され、弁板支持体の閉弁位置で該弁
板支持体に対し接離して上記真空容器の開口を開閉する
弁板と、上記ガイド機構又は弁板支持機構の少なくとも
一方の摺動部を局所的に覆うように設けられ、該摺動部
からの発塵を内部に封入保持する発塵保持手段とを備え
るようにした。

【００１０】上記の構成により、弁板支持機構又はガイ
ド機構の摺動部は発塵保持手段によって局所的に覆われ
るので、その内部に弁板の開閉に伴う摺動部からの発塵
を封入保持して真空空間の汚染を抑えることができる。

【００１１】そして、高価なベローズを設ける代わりに
摺動部を局所的に覆うという簡単な構成によって真空空
間の汚染を防止するので、コストを低減させることがで
きる。特に、清浄度よりもコストを優先して、ある程度
の清浄度だけが要求されるような場合に好適なものとな
る。

【００１２】また、主要な発塵箇所だけを局所的に覆う
ので、ベローズ等で弁体駆動部全体を覆う場合に比べて
真空ゲート弁全体を小型化することができる。

【００１３】請求項２の発明では、上記請求項１の真空
ゲート弁において、発塵保持手段は、弁板支持機構の摺
動部周りの弁板又は弁板支持体上に設けられた板状の摺
動部カバーであるようにした。また、請求項３の発明で
は、上記請求項１の真空ゲート弁において、発塵保持手
段は、ガイド機構の摺動部周りに設けられた板状の摺動
部カバーであるようにした。

【００１４】これら発明の構成により、発塵保持手段を
具体化することができる。また、板状のものとすること
で、加工を容易化して製造コストを低減させることがで
きる。

【００１５】請求項４の発明では、上記請求項１の真空
ゲート弁において、弁板支持機構は、弁板及び弁板支持
体の間に設けられた対なるリンクを有する平行リンク機
構とした。請求項５の発明では、上記請求項１の真空ゲ
ート弁において、ガイド機構は、弁板支持体に軸支され
て該弁板支持体を転動しながら案内するガイドローラを
備えるようにした。このことにより、発塵保持手段によ
り摺動部を局所的に覆って発塵を封入するのに好適な弁
板支持機構が得られる。

【００１６】請求項６の発明では、摺動部を摺動させな
がら真空容器の開口を開閉する弁板を備えた真空ゲート
弁において、上記摺動部を局所的に覆うように設けら
れ、該摺動部からの発塵を内部に封入保持する発塵保持
手段を備えるようにした。

【００１７】上記の構成により、上記請求項１と同様
に、摺動部を局所的に覆うという簡単な構成によって真
空空間の汚染を防止するので、高価なベローズを設ける
場合に比べてコストを低減させることができる。また、
摺動部だけを局所的に覆うので、ベローズ等で弁体駆動
部全体を覆う場合に比べて真空ゲート弁全体を小型化す
ることができる。

【００１８】

【発明の実施の形態】図９〜図１１は本発明の実施形態
を示し、１は前側に位置する第１真空容器、２は第１真
空容器１の後側に隣接する第２真空容器であって、各真
空容器１，２はそれぞれ互いに対向配置された略矩形状
の開口３，４を有する。この両真空容器１，２間には両
真空容器１，２の内部空間（真空空間）同士を連通又は
連通遮断するための真空ゲート弁５が配設されている。
この真空ゲート弁５は、両真空容器１，２間に気密状に
挟まれた薄厚矩形状の弁箱６を備え、この弁箱６の前壁
（図１０及び図１１で左側壁）の下部には上記第１真空
容器１の開口３に対応する前側連通口７が、また後壁
（図１０及び図１１で右側壁）の下部には第２真空容器
２の開口４に対応する後側連通口８がそれぞれ開口され
ており、この連通口７，８を介して弁箱６内の真空空間
が各真空容器１，２と連通している。

【００１９】上記弁箱６内の上部には、左右方向に所定
間隔離れた位置を前後方向（図１０及び図１１で左右方
向）に互いに平行に延びる左右１対の支持軸１１，１１
がそれぞれ弁箱６の前後壁に形成した軸孔６ａ，６ａを
貫通して回転可能に支持されている。つまり、この弁箱
６前後壁の軸孔６ａ，６ａにはそれぞれ軸受１０，１０
が気密シールされて嵌合固定され、この両軸受１０，１
０には各支持軸１１が軸受１０，１０にそれぞれ内挿し
たシール部材（図示省略）を介して回転可能にかつ気密
状にシールされて挿通されている。

【００２０】上記左右の支持軸１１，１１において弁箱
６内に位置する中間部にはそれぞれ前後方向に２股状に
分かれた左右アーム１２，１２の基端部が回転一体に取
付固定され、この両アーム１２，１２の各先端部にはア
ーム１２と略同じ長さの板状の左右内側リンク１３，１
３の各一端部（上端部）がそれぞれ前後方向に延びるリ
ンク軸１４，１４により揺動可能に支持されている。こ
の内側リンク１３，１３の各他端部（下端部）は、上記
弁箱６下部の連通口７，８よりも若干大きくかつ弁箱６
内の後側（第２真空容器２側）にオフセット配置した弁
板支持体１５上端に対し、その左右方向に離れた位置に
ある前後方向に２股状に分かれた取付部１７，１７にて
それぞれ前後方向のリンク軸１９，１９により揺動可能
に連結されている。

【００２１】このことにより、弁板支持体１５は、左右
の両アーム１２，１２の先端部にそれぞれ外側リンク１
３，１３を介して吊り下げられていて、左右の両支持軸
１１，１１が互いに逆方向に同期して回転することで弁
箱６内を昇降し、左側（図９で左側）の支持軸１１が図
９で反時計回り方向に、また右側支持軸１１が図９で時
計回り方向にそれぞれ同期回転したときに上昇するよう
になっている。

【００２２】上記各支持軸１１の前端部は弁箱６の前壁
外面よりも前側（弁箱６外）に延び、その前端部には、
前側（支持軸１１の軸方向）から見て弁箱６の左右中央
側に上記アーム１２と直角となるように延びる１対の平
行な板材からなる内側リンク２８が基端部にて回転一体
に取付固定されている。この内側リンク２８の先端部に
は板状のレバー２９の一端部が前後方向のリンク軸３０
により揺動可能に支持されている。また、弁箱６よりも
前側の左右中央部には上下方向の軸線を有するリニアア
クチュエータとしてのシリンダ３１が配置固定されてい
る。このシリンダ３１は、シリンダボディから下方に突
出して直線運動をするピストンロッド３１ａを有し、こ
のピストンロッド３１ａの下端部には左右方向に延びる
板状の連結部３２が中央にて移動一体に取付固定され、
この連結部３２の両端部にそれぞれ上記内側リンク２
９，２９の他端部が前後方向のリンク軸３０により揺動
可能に連結されている。すなわち、シリンダ３１のピス
トンロッド３１ａは各内側リンク２８先端部にレバー２
９を介して連結されており、シリンダ３１の伸縮作動に
よりピストンロッド３１ａを昇降させて両支持軸１１，
１１を同期して逆方向に回転させることにより、弁板支
持体１５及び後述の弁板３４を昇降させ、シリンダ３１
を収縮作動させたときには、左側支持軸１１を図９で反
時計回り方向に、また右側支持軸１１を図９で時計回り
方向にそれぞれ回転させて弁板支持体１５及び弁板３４
を上昇させ、ゲート弁５を開弁状態とする一方、シリン
ダ３１を伸長作動させたときには、左側支持軸１１を図
９で時計回り方向に、また右側支持軸１１を図９で反時
計回り方向にそれぞれ回転させて弁板支持体１５及び弁
板３４を下降させ、ゲート弁５を閉弁状態とする。そし
て、上記アーム１２と内側リンク２８とは、各支持軸１
１の軸方向から見て直交方向に延びていて、弁板支持体
１５が上昇端位置近傍にあるときにアーム１２が略水平
状態になる一方、弁板支持体１５が下降端位置近傍にあ
るときに内側リンク２８が略水平状態になるように配置
されている。

【００２３】そして、上記弁板支持体１５を弁箱６内で
昇降案内する複数種類の案内用ローラ２２，２４，２６
が設けられている。すなわち、図７及び図８に示すよう
に、弁板支持体１５の左右側部の上下端部にはそれぞれ
水平左右方向の軸心を持ったローラ軸２１，２１，…が
突出して取付固定され、この各ローラ軸２１には、弁箱
６の前後壁内面間の間隔よりも若干小さい外径を有しか
つ弁箱６の連通孔７，８の左右両側の前後壁内面上を転
動する前後ガイドローラ２２が回転可能に支持されてい
る。そして、この前後ガイドローラ２２とその回転軸で
あるローラ軸２１との間に例えばＭｏＳ₂等の固体潤滑
材料を成形してなる円筒状ブッシュ６０が介在されてい
る。

【００２４】また、図１、図２及び図８に示す如く、上
記弁板支持体１５の第２真空容器２側（図１０及び図１
１で右側）である後側面の上下端部にはそれぞれ切り欠
き部８０，８０，…が２つずつ設けられている。この上
端部の切り欠き部８０，８０は、上及び後方向に開口す
る一方、下端部の切り欠き部８０，８０は、下及び後方
向に開口している。そして、これら切り欠き部８０，８
０，…には、それぞれ水平左右方向に延びるローラ軸２
３，２３，…が上下に略対応して左右方向に並んだ状態
で取付固定され、この各ローラ軸２３には弁箱６の後壁
内面上を転動可能な後側ガイドローラ２４が支持されて
いる。そして、この後側ガイドローラ２４とそのローラ
軸２３との間にも上記と同様のブッシュ６１が介在され
ている。

【００２５】さらに、図５、図６及び図８に示す如く、
弁板支持体１５の左右側部の上下端部にはそれぞれ水平
前後方向の軸心を持つローラ軸２５，２５，…（一方の
みを示す）が取付固定され、この各ローラ軸２５に弁箱
６の左右側壁内面上を転動するサイドローラ２６が回転
可能に支持されている。そして、この各サイドローラ２
６とそのローラ軸２５との間にも上記と同様のブッシュ
５９が介在されている。そして、これらガイドローラ２
２，２４及びサイドローラ２６により弁板支持体１５が
弁箱６内で前後方向及び左右方向に殆ど位置ずれするこ
となく昇降するようになっている。

【００２６】このようにして、弁板支持体１５は、ガイ
ド機構としての前後ガイドローラ２２、後側ガイドロー
ラ２４、及びサイドローラ２６により案内されて、第１
及び第２真空容器１，２の各開口と略平行な方向に沿っ
て開弁位置及び閉弁位置の間を移動可能とされている。

【００２７】上記弁板支持体１５の前側面（図１０び図
１１で左側面）には弁板支持体１５と略同じ大きさ（弁
箱６下部の前側連通口７よりも若干大）の弁板３４が弁
板支持機構としての平行リンク機構４４，４４，…を介
して接離可能に支持されている。この弁板３４は、弁板
支持体に対し接離して、第１真空容器１の開口３つまり
弁箱６の前側連通口７を開閉して第１及び第２真空容器
１，２同士を連通又は連通遮断させるもので、その前側
面外周部には弁箱６の前壁内面における連通口７周りに
当接してシールする金属製等のシール部材３５が取付固
定されている。

【００２８】上記平行リンク機構４４，４４，…は、弁
板３４及び弁板支持体１５の間に設けられて上記弁板支
持体１５の閉弁位置で弁板３４及び弁板支持体１５が互
いに接離するように支持しており、この弁板３４及び弁
板支持体１５が接触することによって真空ゲート弁が開
弁する一方、離隔することによって閉弁するように構成
されている。そして、この平行リンク機構４４，４４，
…の各々のリンク取付構造は以下のとおりである。

【００２９】すなわち、弁板支持体１５の上下中間部に
は、弁板支持体１５を前後方向に貫通しかつ上下１対を
１組とした例えば２組の開口部１６，１６，…がそれぞ
れ左右方向に並んだ状態で形成され、この各開口部１６
内でリンク４５の後端部（弁板支持体１５側の端部）が
弁板支持体１５の移動方向と直交する水平左右方向の軸
心回りに揺動可能に軸支されている。また、弁板３４の
後側面には上記弁板支持体１５の各開口部１６に略対応
して凹部３６ａが形成され、さらに、この凹部３６ａの
底部に凹部３６が形成されている。そして、この各凹部
３６内で上記各リンク４５の前端部（弁板３４側の端
部）が水平左右方向の軸心回りに揺動可能に軸支されて
いる。そして、上記上下に対応する１対のリンク４５，
４５で平行リンク機構４４，４４，…が構成されてお
り、この平行リンク機構４４，４４，…を介して弁板３
４が弁板支持体１５の前側面（第１の真空容器１側の側
面）に接離可能に支持されている。

【００３０】具体的には、図１〜４に拡大詳示するよう
に、上記弁板３４の後側面（弁板支持体１５側の側面）
の各凹部３６には、各リンク４５の前端部を軸支する弁
板側受け部材４９がボルト５０，５０，…により取付固
定されている。この弁板側受け部材４９には前後方向に
貫通する断面矩形状のリンク収容部４９ａが形成され、
このリンク収容部４９ａの上側の側面は後側に向かって
上側に所定角度で傾斜する傾斜面とされている。リンク
収容部４９ａの左右側壁には左右方向の軸孔４９ｂ，４
９ｂが貫通形成されており、この軸孔４９ｂ，４９ｂ及
びリンク４５の前端部に形成した軸孔４５ａ（図３参
照）にリンク軸４６を挿通させることにより、リンク４
５の前端部が弁板側受け部材４９により鉛直面内で回動
可能に軸支されている。

【００３１】これに対し、上記弁板支持体１５の開口部
１６周囲面のうち上下側面にはそれぞれ弁板支持体１５
の厚さ方向中央部に左右方向に延びる突起部１６ａ，１
６ｂが上下に対向して形成されている。また、この上側
の突起部１６ａよりも前側の開口部１６上側面は後側の
上側面よりも高くなっている。上記弁板支持体１５の開
口部１６周りには、各リンク４５の後端部を軸支する支
持体側受け部材５２が弁板支持体１５の後側つまり弁板
３４と反対側から操作されるボルト５５，５５，…によ
り取付固定されている。すなわち、この支持体側受け部
材５２は、弁板支持体１５の前側面（弁板３４側の側
面）の開口部１６周りに配置されてリンク４５の後端部
を軸支する第１受け部材５３と、弁板支持体１５の後側
面（弁板３４と反対側の側面）の開口部１６周りに配置
された第２受け部材５４とからなる。第１受け部材５３
の隅角部にはねじ孔からなる４つのボルト孔５３ａ，５
３ａ，…が貫通形成されている。また、この第１受け部
材５３には前後方向に貫通する断面矩形状のリンク収容
部５３ｂが形成され、このリンク収容部５３ｂの下側の
側面は前側に向かって下側に所定角度で傾斜する傾斜面
とされている。リンク収容部５３ｂの左右側壁には左右
方向の軸孔５３ｄ，５３ｄが貫通形成されており、この
軸孔５３ｄ，５３ｄ及びリンク４５の後端部に形成した
軸孔４５ｂにリンク軸４７（図３参照）を挿通させるこ
とにより、リンク４５の後端部が第１受け部材５３によ
り鉛直面内で回動可能に軸支されている。

【００３２】一方、上記第２受け部材５４には前後方向
に貫通する受け部材嵌合部５４ａが形成されており、こ
の受け部材嵌合部５４ａに上記第１受け部材５３の後部
を密着状態に嵌合するようにしている。また、第２受け
部材５４の隅角部には４つのボルト挿通孔５４ｂ，５４
ｂ，…が上記第１受け部材５３のボルト孔５３ａ，５３
ａ，…に対応して貫通形成されており、この各ボルト挿
通孔５４ｂに挿通した六角穴付等のボルト５５を第１受
け部材５３の対応するボルト孔５３ａに螺合すること
で、第１及び第２受け部材５３，５４同士を両者間に弁
板支持体１５（開口部１６の上下突起部１６ａ，１６
ｂ）を挟んで締結し、第１受け部材５３を弁板支持体１
５に取付固定するようにしている。

【００３３】そして、上記各平行リンク機構４４におけ
る各リンク４５の前後の軸孔４５ａ，４５ｂ内周面と、
該軸孔４５ａ，４５ｂに挿通されるリンク軸４６，４７
の外周面との間には、各ロータに設けたものと同様の例
えばＭｏＳ₂等の固体潤滑材料を成形してなる円筒状ブ
ッシュ５７が介在されている。

【００３４】尚、この各ブッシュ５７は軸方向に２分割
されていて、軸方向両側から嵌挿されるようになってい
る。また、アーム１２の軸孔１２ａ及び取付部１７の軸
孔１７ａとリンク軸１４，１９との間に同様のブッシュ
を介在させることもできる。また、上記内側リンク１３
の一方の端部のみにブッシュを設けてもよい。

【００３５】図５，図６及び図８に示すように、上記弁
板３４の前側面における左右側部下端にはそれぞれ水平
左右方向に延びるローラ軸３８，３８が取付固定され、
この各ローラ軸３８にはストッパローラとしての弁板前
ローラ３９が回転可能に支承されている。そして、この
弁板前ローラ３９とそのローラ軸３８との間に他のロー
ラと同様のブッシュ６２がそれぞれ介在されている。ま
た、弁箱６の前壁内面における左右側部の下端には、弁
板３４が弁箱６の前側連通口７を閉じた閉弁状態にある
ときの上記各弁板前ローラ３９に対応して有底の凹部６
ｂが形成されており、弁板３４が前側連通口７を開いた
状態では、弁板前ローラ３９は前側連通口７の左右両側
の前壁内面上を転動するが、閉じた状態では、弁板前ロ
ーラ３９が弁箱６の凹部６ｂ内にその底面から浮いた状
態で落ち込むようになっている。

【００３６】そして、上記弁箱６内の下部には上記各弁
板前ローラ３９の真下位置にそれぞれストッパ４０，４
０が左右方向に並んだ状態で取り付けられている。この
各ストッパ４０はブロック状のもので、弁板支持体１５
が下降端位置近傍まで下降したときに弁板３４詳しくは
弁板前ローラ３９に当接して弁板３４の下降移動を停止
させ、その後の弁板支持体１５の下降移動に伴い、弁板
３４を平行リンク機構４４，４４，…によって弁板支持
体１５から離隔する前方向つまり閉じ方向に相対移動さ
せるように案内する。尚、この弁板前ローラ３９に代
え、各ストッパ４０に、弁板３４に当接して転動するス
トッパローラを軸支するようにしてもよい。

【００３７】尚、図４中、４２は弁板３４の後側面と弁
板支持体１５との間に伸装された引張ばねで、弁板３４
を弁板支持体１５に接近する後側に付勢してその踊り
（揺れや振れ）を防止するためのものである。

【００３８】本発明の特徴として、図１及び図２に示す
ように、弁板支持機構としての平行リンク機構４４，４
４，…における摺動部と、ガイド機構としての後側ガイ
ドローラ２４，２４，…における摺動部とを発塵保持手
段としての摺動部カバー７０，７１，７２によって局所
的に覆うことによって、これら平行リンク機構４４，４
４，…及び後側ガイドローラ２４，２４，…からの発塵
をその摺動部カバー７０，７１，７２で覆われた内部に
封入保持するようにしている。

【００３９】ここで、平行リンク機構４４，４４，…の
摺動部とは、リンク４５の軸孔４５ａ，４５ｂ及びブッ
シュ５７外周面の接触部と、リンク軸４６，４７の外周
面及びブッシュ５７内周面の接触部とをいう。また、後
側ガイドローラ２４，２４，…の摺動部とは、ガイドロ
ーラ２４の内周面及びブッシュ６１外周面の接触部と、
ローラ軸２３の外周面及びブッシュ６１内周面の接触部
とをいう。

【００４０】尚、本実施形態では、大きい負荷が作用す
る箇所である平行リンク機構４４，４４，…及び後側ガ
イドローラ２４，２４，…の各摺動部のみを摺動部カバ
ー７０，７１，７２で覆うようにしており、他のサイド
ローラ２６、前後ガイドローラ２２及び弁板前ローラ３
９の各摺動部については、大きい負荷は作用せず発塵が
問題とはならないため、摺動部カバーは設けていない。

【００４１】具体的には、まず平行リンク機構４４，４
４，…については、図１〜４に示すように、例えばＳＵ
Ｓ等の薄板からなる略箱筒状の摺動部カバー７０と、同
様の薄板からなる蓋状の摺動部カバー７１とによって、
各摺動部が局所的に覆われている。

【００４２】摺動部カバー７０は、図１、図２及び図８
に示すように、左側面部７０ａ、右側面部７０ｂ、上側
面部７０ｃ及び下側面部７０ｄからなり、左側面部７０
ａ及び右側面部７０ｂは、弁板支持体１５の開口部１６
の弁板３４側の左右方向の内壁面である左方向内壁面９
０ａ及び右方向内壁面９０ｂのそれぞれに沿って、例え
ばねじ等により各々固着されている。同様に、摺動部カ
バー７０の上側面部７０ｃも開口部１６の弁板３４側の
上方向の内壁面である上方向内壁面９０ｃに固着されて
いる。そして、摺動部カバー７０の下側面部７０ｄは、
開口部１６の突起部１６ｂの弁板３４側の壁面である下
部壁面９０ｄに沿って同様に固着され、この固着部分の
上側から弁板３４側へ延びる面が、上記上側面部７０ｃ
と対向するようにして設けられている。

【００４３】さらに、これら左側面部７０ａ、右側面部
７０ｂ、上側面部７０ｃ及び下側面部７０ｄの各々の弁
板３４側端部によって、カバー開口部７０ｅが形成さ
れ、さらにこのカバー開口部７０ｅの開口部面積が小さ
くなるようにしてフランジ部７０ｆが形成されている。

【００４４】そして、弁板３４の凹部３６ａの前後方向
（図の左右方向）の深さは、弁板３４の開弁時の弁板３
４及び弁板支持体１５の接合面間距離よりも若干大きい
大きさとなっており、閉弁時には、摺動部カバー７０の
フランジ部７０ｆと弁板の凹部３６ａとが略接する一
方、開弁時には、フランジ部７０ｆは弁板３４の後側
（弁板支持体１５側）の接合面よりも若干前側に位置す
るようになっている。

【００４５】また、弁板支持体１５後側（図の右方向）
の支持体側受け部材５２及び貫通口であるリンク収容部
５３ｂは、中央部に凹部が形成された薄板からなる蓋状
の摺動部カバー７１によって覆われている。

【００４６】このようにして、摺動部カバー７０，７１
を配設することによって、平行リンク機構４４，４４，
…の摺動部は、摺動部カバー７０，７１と、弁板凹部３
６ａの壁面弁板側受け部材４９と、支持体側受け部材５
２とにより形成される略閉空間内に収容されるようにな
り、この略閉空間に平行リンク機構４４，４４，…の摺
動部からの発塵が封入保持される。

【００４７】次に、後側ガイドローラ２４，２４，…に
ついては、図１，図２及び図８に示すように、例えばＳ
ＵＳ等の薄板からなる摺動部カバー７２によって、この
後側ガイドローラ２４，２４，…の摺動部が局所的に覆
われている。

【００４８】摺動部カバー７２は、平面部７２ａ，７２
ｂ及び突出口部７２ｃからなり、切り欠き部８０，８
０，…の上又は下方向開口部８０ａ，８０ａのそれぞれ
を平面部７２ａで塞ぐ一方、後側ガイドローラ２４，２
４，…は弁板支持体１５の後側面から突出しているため
に、このローラ周りを囲む突出口部７２ｃとこの突出口
部７２ｃに連続する平面部７２ｂとによって、後方向開
口部８０ｂを塞ぐようにして設けられている。

【００４９】このようにして、摺動部カバー７２を配設
することによって、後側ガイドローラ２４，２４，…の
摺動部は、摺動部カバー７２と、弁板３４の切り欠き部
８０の内壁面とにより形成される略閉空間内に収容され
るようになり、この略閉空間に後側ガイドローラ２４，
２４，…の摺動部からの発塵が封入保持される。

【００５０】次に、上記実施形態の作動について説明す
る。図９で実線及び図１１に示す閉弁状態にある真空ゲ
ート弁５を開くときには、シリンダ３１の収縮作動によ
りピストンロッド３１ａを上昇移動させる。このこと
で、ピストンロッド３１ａ下端の連結部３２にレバー２
９，２９及び内側リンク２８，２８を介して連結されて
いる両支持軸１１，１１が同期して互いに逆方向に回転
し、左側支持軸１１は図９で反時計回り方向に、また右
側支持軸１１は同時計回り方向にそれぞれ回転する。こ
の支持軸１１，１１の回転駆動により該支持軸１１，１
１と一体のアーム１２，１２も回動し、その先端に外側
リンク１３，１３を介して連結されている弁板支持体１
５がガイドローラ２２，２４により前後方向に、またサ
イドローラ２６により左右方向にそれぞれ移動規制され
て案内されながら弁箱６内を上昇する。この弁板支持体
１５の上昇により、弁箱６と第１真空容器１との間の連
通部つまり前側連通口７を気密状に閉じていた弁板３４
が平行リンク機構４４，４４，…により引き上げられ
て、その前側連通口７が開かれる。

【００５１】そして、上記シリンダ３１の収縮ストロー
クエンド近傍で、図９で仮想線及び図１０示すように弁
板支持体１５により弁板３４が下端部を弁箱６の連通口
７，８の上端位置に略一致させるように移動して、両真
空容器１，２の内部空間同士が弁箱６内を介して連通状
態となる。

【００５２】これに対し、上記開弁状態から逆にゲート
弁５を閉じるときには、シリンダ３１の伸長作動により
ピストンロッド３１ａを下降させる。このことで、両支
持軸１１，１１が同期して互いに逆方向に回転し、左側
支持軸１１は図９で時計回り方向に、また右側支持軸１
１は反時計回り方向にそれぞれ回転する。この支持軸１
１，１１の回転駆動により該支持軸１１，１１と一体の
アーム１２，１２も回動して、その先端に外側リンク１
３，１３を介して連結されている弁板支持体１５が、ガ
イドローラ２２，２４及びサイドローラ２６により移動
規制されて案内されながら弁板３４と共に弁箱６内を下
降する。そして、弁板支持体１５の下降端位置近傍で弁
板３４下端の上記各弁板前ローラ３９がストッパ４０に
当接すると、弁板３４のそれ以上の下降移動が停止さ
れ、弁板支持体１５のさらなる下降移動により弁板３４
が今度は平行リンク機構４４，４４，…における各リン
ク４５の立上がり動作により弁板支持体１５から離隔す
るように前側に移動案内される。図９で実線及び図１１
に示すように、上記シリンダ３１の伸長ストロークエン
ド近傍で弁板支持体１５が下降端位置に達すると、弁板
３４はガイドローラ２２，２４により後側面を移動規制
されている弁板支持体１５によりリンク４５，４５，…
を介して前側に押されて弁箱６と第１真空容器１との間
の連通部つまり弁箱６の前側連通口７の周りに気密シー
ル状態で押し付けられ、両真空容器１，２の内部空間同
士の連通が弁板３４によって遮断される。尚、この状態
では、上記各弁板前ローラ３９が弁箱６の前壁内面の凹
部６ｂ内に落ち込む。

【００５３】そして、この実施形態においては、平行リ
ンク機構４４，４４，…及び後側ガイドローラ２４，２
４，…の各摺動部は、それぞれ摺動部カバー７０，７
１，７２と、弁板３４又は弁板支持体１５の一部とによ
り形成される略閉空間内に収容されるので、その内部に
弁板３４の開閉に伴って発生する摺動部からの発塵を封
入保持して真空空間の汚染を抑えることができる。

【００５４】そして、高価なベローズを設ける代わりに
平板からなる摺動部カバー７０，７１，７２によって平
行リンク機構４４，４４，…及び後側ガイドローラ２
４，２４，…の各摺動部を局所的に覆うようにするの
で、コストの低減化を図ることができる。特に、高い清
浄度は不要であるが、ある程度の清浄度だけが要求され
て清浄度よりもコストを優先するような場合に好適なも
のとなる。

【００５５】また、主要な発塵箇所である平行リンク機
構４４，４４，…及び後側ガイドローラ２４，２４，…
だけを局所的に覆うので、平行リンク機構４４，４４，
…、後側ガイドローラ２４，２４，…等からなる弁体駆
動部全体をベローズ等によって覆う場合に比べて真空ゲ
ート弁全体を小型化することができる。

【００５６】尚、上記実施形態では、真空ゲート弁５は
前後２つの真空容器１，２に連通するようにしたが、真
空ゲート弁の前後どちらか一方の連通口が真空容器に連
通していればよく、このとき他方の連通口は外部の真空
ポンプへの排気通路等に連通するようにしてもよい。

【００５７】また、平行リンク機構４４及び後側ガイド
ローラ２４の双方を摺動部カバー７０，７１，７２で覆
うようにしたが、平行リンク機構４４又は後側ガイドロ
ーラ２４の少なくとも一方のみを覆うようにしてもよ
い。

【００５８】そして、弁板支持機構は、平行リンク機構
４４としたが、他の摺動部を有する機構でもよい。ま
た、平行リンク機構４４とその他の機構とが組み合わさ
れてなるようにしてもよい。

【００５９】また、リンク軸４６，４７とリンク４５と
の間、及びローラ軸２１，２３，２５，３８とローラ２
２，２４，２６，３９との間にブッシュ５７及び５９〜
６２を介在させているが、これらの摺動部にブッシュ等
の固体潤滑剤の皮膜をコーティングするようにしてもよ
い。また、これら複数の摩擦摺接部材の全てにブッシュ
を介在させる必要はなく、必要な箇所の摩擦摺接部のみ
にブッシュを介在させるようにしてもよい。

【００６０】そして、上記実施形態では、リニアアクチ
ュエータをシリンダ３１としているが、その他、直線運
動をする出力部を有するものであればよく、また回転型
のアクチュエータにより支持軸１１を直接に回転駆動す
るようにしてもよい。

【００６１】また、上記各実施形態では、シリンダ３１
から弁板支持体１５に至る駆動連絡系を２つとしている
が、３つ以上又は１つに増減変更することもできる。

【００６２】さらに、上記各実施形態では、弁板支持体
１５及び弁板３４を上昇移動させて開弁し、下降移動さ
せて閉弁するようにしているが、逆に弁板支持体１５及
び弁板３４の下降移動により開弁し、上昇移動により閉
弁するようにしてもよい。また、弁板支持体１５及び弁
板３４の開閉動作の向きを必ずしも上下方向に限定する
必要はない。

【００６３】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１の発明に
よると、真空ゲート弁として、ガイド機構により案内さ
れて真空容器の開口と略平行な方向に沿って開弁位置及
び閉弁位置の間を移動可能な弁板支持体と、弁板支持体
に弁板支持機構を介して接離可能に支持され、弁板支持
体の閉弁位置で該弁板支持体に対し接離して真空容器の
開口を開閉する弁板と、ガイド機構又は弁板支持機構の
少なくとも一方の摺動部を局所的に覆うように設けら
れ、摺動部からの発塵を内部に封入保持する発塵保持手
段とを備えるようにしたことにより、発塵保持手段の内
側に弁板の開閉に伴う摺動部からの発塵を封入保持して
真空空間の汚染を抑えることができ、さらにコストを低
減させることができる。特に、清浄度よりもコストを優
先して、ある程度の清浄度だけが要求されるような場合
に好適なものとなる。また、ベローズ等で弁体駆動部全
体を覆う場合に比べて真空ゲート弁全体を小型化するこ
とができる。

【００６４】請求項２の発明では、発塵保持手段は、弁
板支持機構の摺動部周りの弁板又は弁板支持体上に設け
られた板状の摺動部カバーであるようにした。また、請
求項３の発明では、発塵保持手段は、ガイド機構の摺動
部周りに設けられた板状の摺動部カバーであるようにし
た。従って、これら発明によると、発塵保持手段を具体
化することができる。また、加工を容易化して製造コス
トを低減させることができる。

【００６５】請求項４の発明では、弁板支持機構は、弁
板及び弁板支持体の間に設けられた対なるリンクを有す
る平行リンク機構とした。また、請求項５の発明では、
ガイド機構は、弁板支持体に軸支されて該弁板支持体を
転動しながら案内するガイドローラを備えるようにし
た。従って、これらの発明によると、発塵を封入するの
に好適な弁板支持機構が得られる。

【００６６】請求項６の発明によると、摺動部を摺動さ
せながら真空容器の開口を開閉する弁板を備えた真空ゲ
ート弁において、 摺動部を局所的に覆うように設けら
れ、摺動部からの発塵を内部に封入保持する発塵保持手
段を備えるようにしたことにより、上記請求項１と同様
に、高価なベローズを設ける場合に比べてコストを低減
させることができる。また、ベローズ等で弁体駆動部全
体を覆う場合に比べて真空ゲート弁全体を小型化するこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本実施形態に係る真空ゲート弁の開弁状態にお
ける平行リンク機構及び後側ガイドローラを拡大して示
す側面断面図である。

【図２】本実施形態に係る真空ゲート弁の閉弁状態を示
す図１相当図である。

【図３】図２のIII−III線断面図である。

【図４】本発明の実施形態に係る真空ゲート弁における
弁板支持体及び弁板間の平行リンク機構を拡大して示す
側面断面図である。

【図５】弁板支持体左右側部のサイドローラ及び弁板下
端部の弁板前ローラの支持構造を拡大して示す一部破断
側面図である。

【図６】弁板支持体左右側部のサイドローラ及び弁板下
端部の弁板前ローラの支持構造を拡大して示す平面断面
図である。

【図７】弁板支持体左右側部の前後ガイドローラの支持
構造を拡大して示す平面断面図である。

【図８】弁板支持体の左右側部を拡大して示す正面図で
ある。

【図９】真空ゲート弁の要部を示す正面図である。

【図１０】真空ゲート弁の開弁状態を示す断面図であ
る。

【図１１】真空ゲート弁の閉弁状態を示す断面図であ
る。

【符号の説明】

１ 第１真空容器（真空容器） ２ 第２真空容器（真空容器） ３，４ 開口 ５ 真空ゲート弁 ７ 前側連通口 ８ 後側連通口 １５ 弁板支持体 ２２ 前後ガイドローラ（ガイド機構） ２３ ローラ軸（摺動部） ２４ 後側ガイドローラ（ガイド機構、ガイドローラ、
摺動部） ２６ サイドローラ（ガイド機構） ３４ 弁板 ４４ 平行リンク機構（弁板支持機構） ４５ リンク（摺動部） ４７ リンク軸（摺動部） ７０〜７２ 摺動部カバー（発塵保持手段）

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ガイド機構により案内されて真空容器の
   開口と略平行な方向に沿って開弁位置及び閉弁位置の間
   を移動可能な弁板支持体と、 上記弁板支持体に弁板支持機構を介して接離可能に支持
   され、弁板支持体の閉弁位置で上記弁板支持体に対し接
   離して上記真空容器の開口を開閉する弁板と、 上記ガイド機構又は弁板支持機構の少なくとも一方の摺
   動部を局所的に覆うように設けられ、該摺動部からの発
   塵を内部に封入保持する発塵保持手段とを備えることを
   特徴とする真空ゲート弁。
2. 【請求項２】 請求項１の真空ゲート弁において、 発塵保持手段は、弁板支持機構の摺動部周りの弁板又は
   弁板支持体上に設けられた板状の摺動部カバーであるこ
   とを特徴とする真空ゲート弁。
3. 【請求項３】 請求項１の真空ゲート弁において、 発塵保持手段は、ガイド機構の摺動部周りに設けられた
   板状の摺動部カバーであることを特徴とする真空ゲート
   弁。
4. 【請求項４】 請求項１の真空ゲート弁において、 弁板支持機構は、弁板及び弁板支持体の間に設けられた
   対なるリンクを有する平行リンク機構であることを特徴
   とする真空ゲート弁。
5. 【請求項５】 請求項１の真空ゲート弁において、 ガイド機構は、弁板支持体に軸支されて該弁板支持体を
   転動しながら案内するガイドローラを備えることを特徴
   とする真空ゲート弁。
6. 【請求項６】 摺動部を摺動させながら真空容器の開口
   を開閉する弁板を備えた真空ゲート弁において、 上記摺動部を局所的に覆うように設けられ、該摺動部か
   らの発塵を内部に封入保持する発塵保持手段を備えるこ
   とを特徴とする真空ゲート弁。