JP2000337553A - 真空装置及び真空ゲート弁 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 真空容器２の開口１３と略平行な鉛直平面に
沿って昇降移動する支持体駆動ロッド５６に固定されて
移動可能な弁板支持体３０と、この弁板支持体３０に支
持されて真空容器２の開口１３を開閉する弁板２５と、
弁板支持体３０が閉弁位置にあるときに弁板２５を開閉
させる平行リンク機構４２とを備えた真空ゲート弁２０
において、弁板支持体３０と弁板２５との間に設けられ
て平行リンク機構４２を覆う機構収容ベローズ５４、及
び支持体駆動ロッド５７と弁箱２１の底部との間に設け
られて支持体駆動ロッド５６を覆う駆動ロッド収容ベロ
ーズ７５の耐久性や信頼性を高め、ベローズ５４，７５
の電気的絶縁処理を不要とし、その磁化を防止する。 【解決手段】 平行リンク機構４２を覆う機構収容ベロ
ーズ５４と、支持体駆動ロッド５６を覆う駆動ロッド収
容ベローズ７５とをいずれもＰＴＦＥ製のベローズとす
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、真空室に可動部を
有する真空装置及び真空ゲート弁に関し、特に、防塵用
及び駆動用のベローズを備えたものに関する技術分野に
属する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、この種の真空装置の一種とし
て真空ゲート弁は知られている。例えば実開昭５７―８
０７６７号公報に示されるものでは、真空容器に連通す
る開口を有する弁箱内に弁板支持体を、その背面に軸支
したガイドローラで案内しながら開口と略平行な平面に
沿ってスライド移動可能に配置し、この弁板支持体の前
側に、弁箱の開口を開閉する弁板をカム機構等の弁板駆
動機構を介して接離可能に支持し、弁板支持体の閉弁位
置への移動時に弁板支持体に当接して停止させるストッ
パを設け、弁箱外に駆動手段としてのシリンダを取り付
け、そのピストンロッドを弁箱の壁部を気密状に貫通さ
せて弁板支持体内のカム機構に連結し、シリンダの伸縮
作動により弁板支持体を弁箱内で移動させて弁板を開閉
させ、シリンダにより弁板支持体を開弁位置に移動させ
たときには、その弁板支持体と共に弁板を移動させて弁
箱の開口を開く一方、弁板支持体を閉弁位置に移動させ
たときには、その弁板支持体のストッパとの当接により
弁板をカム機構により弁板支持体から離隔させて弁箱の
開口周りに押し付け、このことで開口を弁板によりシー
ルして閉じるようになされている。そして、この従来の
ものにおいては、弁板支持体と弁板との間にカム機構を
覆うベローズを設けて、カム機構からの発塵の影響を防
ぐようにしている。

【０００３】また、この他、特開平４―３４７０８４号
や特開平５―１０６７６１号の各公報に示されるよう
に、弁板支持体及び弁板を弁箱の開口と略平行な平面に
沿って開き位置及び閉じ位置間で揺動させるようにし、
弁板支持体が閉じ位置にあるときにカム機構やねじ機構
により弁板を弁板支持体に対し接離させて弁箱の開口を
開閉させ、弁板支持体と弁板との間にカム機構やねじ機
構を覆うベローズを設けたもの、或いは特開昭５６―９
０１６５号公報に示されるように、環状の弁板押えを駆
動手段としてのシリンダのピストンロッドに直接に取り
付けて弁箱の開口に沿った平面と略平行にスライド移動
させるようにし、この閉じ位置にある弁板押えの前側に
弁板を配置して、この弁板と弁板押えとを円筒状の駆動
ベローズにより気密状に連結し、この駆動ベローズに対
し圧力流体を給排することにより、弁板を弁箱の壁内面
に接離させて開口を開閉するようにしたものが知られて
いる。

【０００４】そして、上記各従来例においては、弁板支
持体、カム機構や弁板押えと、それらを弁箱外部から駆
動するためのシリンダ（駆動手段）とを連結するロッド
が弁箱の壁部を貫通しているので、そのロッドと弁箱壁
部との間に該ロッドを覆うベローズを設けて、ロッドの
移動に伴う発塵の影響を防ぐようになされている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところで、このような
従来の真空ゲート弁では、カム機構やロッドからの発塵
を防止するための防塵用ベローズ、又は弁板を開閉駆動
するためのアクチュエータとしての駆動ベローズはいず
れも金属製のものが一般的に用いられており、このた
め、以下に説明する問題があった。すなわち、金属製の
ベローズは、テーパリング状の複数の部材の端部同士を
ベローズの山部及び谷部となるように溶接して連続一体
化しているものであるので、多数回の伸縮動作の繰返し
に伴う金属疲労等により山部や谷部等にクラックが発生
することがあり、その場合、防塵機能や気密機能が低下
する。

【０００６】また、真空室でワークの処理のために酸や
硫化ガス等の薬品が使用されると、その薬品の影響を受
けて金属製ベローズが腐食する虞れがあり、この腐食に
よってもクラックの発生が助長される。これらのことか
ら金属製ベローズの耐久性、信頼性は今１つ不十分であ
った。

【０００７】さらには、真空室に電気的な絶縁処理を施
してワークの処理を行う場合には、金属製ベローズにつ
いても電気的絶縁処理を行う必要があり、その分、処理
工数が増加する。また、金属製ベローズが磁化したとき
には、真空室のワーク処理（例えばプラズマ処理等）の
プロセスが影響を受けるという問題もある。

【０００８】本発明は斯かる諸点に鑑みてなされたもの
で、その目的は、上記のような真空ゲート弁や、真空室
の可動部と固定部との間にベローズを設ける真空装置に
おいて、そのベローズの構成を変更することで、ベロー
ズの耐久性や信頼性を高めるとともに、ベローズの電気
的絶縁処理を不要とし、その磁化をも防止できるように
することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、この発明では、真空装置の真空室や真空ゲート弁
に配置されるベローズを金属製に代えて樹脂製のものと
した。

【００１０】具体的には、請求項１〜６は真空装置の発
明であり、請求項１の発明では、真空室に、固定部に対
し連結手段を介して連結されかつ固定部と相対的に移動
する可動部が設けられた真空装置として、上記可動部と
固定部との間に上記連結手段を覆う樹脂製のベローズが
設けられていることを特徴としている。

【００１１】この発明の構成によれば、真空室で固定部
に対し連結手段を介して連結されている可動部が相対的
に移動しても、その可動部と固定部との間にベローズが
設けられ、このベローズにより連結手段が覆われている
ので、この連結手段からの発塵が真空室に拡散するのを
ベローズにより防止できる。

【００１２】そして、上記ベローズは樹脂製のものであ
るので、その伸縮動作が繰り返されても山部や谷部等に
クラックが発生し難く、真空室でワークの処理のために
使用される酸や硫化ガス等の薬品の影響を受けてベロー
ズが腐食することもなく、ベローズの耐久性や信頼性を
高めて防塵機能や気密機能を良好に維持することができ
る。

【００１３】さらに、上記樹脂製のベローズは電気絶縁
性を有するので、真空室に電気的絶縁処理を施してワー
クの処理を行う場合でも、そのベローズについての電気
的絶縁処理を行う必要がなく、その処理工数を低減する
ことができる。また、樹脂製ベローズは磁化しないの
で、真空室の成膜処理に悪影響を及ぼすこともない。

【００１４】請求項２の発明では、真空室に、固定部を
移動可能に貫通する連結手段を介して真空室外の駆動手
段に連結されかつ固定部と相対的に移動する可動部が設
けられた真空装置であって、上記可動部と固定部との間
に上記真空室内の連結手段を覆う樹脂製のベローズが設
けられている構成とする。

【００１５】この構成によると、真空室の可動部が真空
室外の駆動手段により、固定部を移動可能に貫通する連
結手段を介して駆動されて固定部と相対的に移動する。
このとき、上記可動部と固定部との間の樹脂製ベローズ
により真空室内の連結手段が覆われているので、連結手
段からの発塵が真空室に拡散するのがベローズにより防
止される。そして、この発明でも、上記ベローズが樹脂
製のものであるので、請求項１の発明と同様の作用効果
が得られる。

【００１６】請求項３の発明では、真空室に、固定部に
対し相対移動可能な可動部と、この可動部に連結手段を
介して連結された駆動手段とが設けられた真空装置であ
って、上記可動部と固定部との間に上記連結手段及び駆
動手段を覆う樹脂製のベローズが設けられている構成と
する。

【００１７】このことで、真空室の可動部が真空室内の
駆動手段により連結手段を介して駆動されて固定部と相
対的に移動する。このとき、上記可動部と固定部との間
の樹脂製のベローズにより連結手段及び駆動手段が覆わ
れているので、連結手段及び駆動手段からの発塵が真空
室に拡散するのをベローズにより防止できる。また、こ
の発明でも、上記ベローズが樹脂製のものであるので、
上記請求項１の発明と同様の作用効果が得られる。

【００１８】請求項４の発明では、真空室に、固定部に
対し相対的に移動可能な可動部と、該可動部及び固定部
の間に連結され、内部圧力の変化に応じて可動部を移動
させる樹脂製の駆動ベローズとが設けられている構成と
する。こうすると、駆動ベローズ内の圧力変化に応じて
可動部が駆動されて固定部に対し相対移動する。そし
て、上記駆動ベローズが樹脂製のものであるので、上記
請求項１の発明と同様の作用効果が得られる。

【００１９】請求項５の発明では、上記樹脂製ベローズ
に補強部材が埋設されている構成とする。このことで、
樹脂製ベローズの強度を補強部材により高めて、その耐
久性、信頼性をさらに向上させることができる。

【００２０】請求項６の発明では、上記樹脂製ベローズ
は、フッ素樹脂からなるものとする。こうすると、上記
発明の効果が有効に発揮されるのに最適な樹脂製ベロー
ズが得られる。

【００２１】請求項７〜１２は真空ゲート弁の発明であ
り、請求項７の発明では、真空容器の開口と略平行な平
面に沿って開弁及び閉弁位置間を移動可能な弁板支持体
と、この弁板支持体に接離可能に支持され、上記真空容
器の開口を開閉する弁板と、上記弁板支持体が閉弁位置
にあるときに上記弁板を開閉させる弁板駆動機構と、上
記弁板支持体と弁板との間に設けられ、上記弁板駆動機
構を覆う樹脂製のベローズとを備えたことを特徴として
いる。

【００２２】上記の構成により、真空ゲート弁の開弁時
には、弁板支持体が真空容器の開口と略平行な平面に沿
って移動して開弁位置に位置付けられる一方、閉弁時に
は、弁板支持体が閉弁位置に移動し、この閉弁位置で弁
板が弁板駆動機構により弁板支持体から離隔して真空容
器の開口を閉じる。そして、上記弁板支持体と弁板との
間にベローズが上記弁板駆動機構を覆うように設けられ
ているので、この弁板駆動機構からの発塵がベローズ内
に封じ込まれ、その真空容器側への拡散が防止される。

【００２３】このとき、上記ベローズは樹脂製のもので
あるので、上記弁板支持体の閉弁位置で弁板が弁板支持
体に対し接離して真空容器の開口を開閉し、その接離動
作に伴いベローズの伸縮動作が繰り返されたとしても、
そのベローズの山部や谷部等にクラックが発生し難く、
真空容器内でワークの処理のために使用される薬品の影
響を受けてベローズが腐食することもなく、ベローズの
耐久性や信頼性を高めて防塵機能や気密機能を良好に維
持することができる。

【００２４】また、樹脂製のベローズが電気絶縁性を有
するので、真空容器内に電気的絶縁処理を施してワーク
の処理を行う場合でも、そのベローズについての電気的
絶縁処理を行う必要がないとともに、ベローズの磁化に
より真空容器内の成膜処理に悪影響を及ぼすこともな
い。

【００２５】請求項８の発明では、真空容器の開口と略
平行な平面に沿って進退する支持体駆動ロッドと、この
支持体駆動ロッドに固定されて開弁及び閉弁位置間を移
動可能な弁板支持体と、この弁板支持体に接離可能に支
持され、上記弁板支持体が閉弁位置にあるときに真空容
器の開口を開閉する弁板と、上記支持体駆動ロッドと固
定部との間に設けられ、該支持体駆動ロッドを覆う樹脂
製のベローズとを備えた構成とする。

【００２６】この発明の構成によると、真空ゲート弁の
開弁時には、支持体駆動ロッドの進退により弁板支持体
が真空容器の開口と略平行な平面に沿って移動して開弁
位置に位置付けられる一方、閉弁時には、弁板支持体が
閉弁位置に移動し、この閉弁位置で弁板が弁板支持体か
ら離隔して真空容器の開口を閉じる。そして、上記支持
体駆動ロッドと固定部との間にベローズが支持体駆動ロ
ッドを覆うように設けられているので、この支持体駆動
ロッドからの発塵が真空容器側に拡散するのがベローズ
により防止される。また、この場合も上記ベローズは樹
脂製であるので、上記請求項７の発明と同様の作用効果
が得られる。

【００２７】請求項９の発明では、真空容器の開口と略
平行な平面に沿って進退する支持体駆動ロッドと、この
支持体駆動ロッドに固定されて開弁及び閉弁位置間を移
動可能な弁板支持体と、この弁板支持体に接離可能に支
持され、上記真空容器の開口を開閉する弁板と、上記弁
板支持体が閉弁位置にあるときに上記弁板を開閉させる
弁板駆動機構と、上記弁板支持体と弁板との間に設けら
れ、上記弁板駆動機構を覆う樹脂製の機構収容ベローズ
と、上記支持体駆動ロッドと固定部との間に設けられ、
該支持体駆動ロッドを覆う樹脂製のロッド収容ベローズ
とを備えた構成とする。こうすると、上記請求項７及び
８の発明の作用効果が同時に得られる。

【００２８】請求項１０の発明では、真空容器の開口と
略平行な平面に沿って開弁及び閉弁位置間を移動可能な
弁板支持体と、この弁板支持体に接離可能に支持され、
上記真空容器の開口を開閉する弁板と、上記弁板支持体
と弁板との間に連結され、弁板支持体が閉弁位置にある
ときに内部圧力の変化に伴って弁板を弁板支持体に対し
接離させて開閉させる樹脂製の弁板駆動ベローズとを備
えたことを特徴としている。

【００２９】この構成によれば、真空ゲート弁の開弁時
には、弁板支持体が真空容器の開口と略平行な平面に沿
って移動して開弁位置に位置付けられる一方、閉弁時に
は、弁板支持体が閉弁位置に移動し、この閉弁位置で弁
板駆動ベローズがその内圧の変化により伸長し、このベ
ローズの伸長により弁板が弁板支持体から離隔して真空
容器の開口を閉じる。そして、上記弁板駆動ベローズは
樹脂製であるので、上記請求項７の発明と同様の作用効
果が得られる。

【００３０】請求項１１の発明では、上記請求項７〜１
０のいずれか１つの発明の真空ゲート弁における樹脂製
ベローズに補強部材が埋設されている構成とする。こう
すると、樹脂製ベローズの強度を補強部材により高め、
その耐久性、信頼性のより一層の向上を図ることができ
る。

【００３１】請求項１２の発明では、請求項７〜１１の
いずれか１つの発明の真空ゲート弁における樹脂製ベロ
ーズは、フッ素樹脂からなるものとする。こうすると、
上記請求項７〜１１の発明の効果が有効に発揮されるの
に最適な樹脂製ベローズが得られる。

【００３２】

【発明の実施の形態】（実施形態１）図７は本発明の実
施形態１の全体構成を示し、１は真空装置としての成膜
装置であって、この成膜装置１は真空容器２を有し、そ
の内部に真空室３が形成されている。この真空室３は、
隔壁６により上側の成膜処理室４と下側の搬送室５とに
上下に区画され、隔壁６には両室４，５を連通する開口
部７が形成されている。上側の成膜処理室４には、基板
等からなるワーク（図示せず）を成膜処理するための図
外の成膜手段が設置されている一方、下側の搬送室５に
は、ワークを搬送する図外の搬送装置と、ワークを載置
支持する可動部としてのワークテーブル８とが設置され
ている。このワークテーブル８は、搬送室５つまり真空
容器２の底壁２ａ（固定部）に形成した貫通孔９を気密
状に貫通する昇降ロッド１０（連結手段）の上端部に連
結支持されていて昇降ロッド１０と共に底壁２ａに対し
相対的に昇降移動する。昇降ロッド１０の下端部は真空
容器２の下面（真空室３の外部）に取り付けた駆動手段
としてのエアシリンダ１１に駆動連結されており、この
エアシリンダ１１の伸縮作動によりワークテーブル８を
搬送室５に臨む下降位置と成膜処理室４に臨む上昇位置
との間で昇降させ、ワークテーブル８を下降位置に位置
付けた状態でその上に搬送装置からワークを載置し、シ
リンダ１１の作動によりワークテーブル８を上昇位置に
上昇させて隔壁６の開口部７を通して成膜処理室４に臨
ませ、その状態で成膜手段によりワークに成膜するとと
もに、その成膜処理後はシリンダ１１の作動によりワー
クテーブル８を元の下降位置に下降移動させて搬送装置
に移載するようにしている。

【００３３】そして、上記ワークテーブル８（可動部）
の下面と真空容器２の底壁２ａ（固定部）の上面との間
には、上記真空室３内の昇降ロッド１０の周りに配置さ
れて該昇降ロッド１０を覆う樹脂製円筒状の昇降ロッド
収容ベローズ１２が両端部をそれぞれワークテーブル８
下面及び底壁２ａ上面に気密状に接合した状態で設けら
れており、昇降ロッド１０が真空容器底壁２ａの貫通孔
９を摺動するときの発塵を昇降ロッド収容ベローズ１２
内の空間に封入して、その発塵の真空室３への放出を防
止するようにしている。上記昇降ロッド収容ベローズ１
２は、例えばＰＴＦＥ樹脂（四フッ化エチレン樹脂＝ポ
リテトラフルオロエチレン樹脂）からなるものが好まし
く、例えばその樹脂製ブロックから削出し等によりベロ
ーズ形状に加工される。

【００３４】上記成膜装置１における真空容器２の前側
（図７で左側）及び後側（同右側）にはそれぞれ真空チ
ャンバ１５，１５が配置され、これら前後の真空チャン
バ１５，１５内には図示しないが上記成膜装置１の真空
容器２内の搬送装置とワークを授受する搬送装置が設置
されている。

【００３５】また、成膜装置１の真空容器２と前後の真
空チャンバ１５，１５との間にはそれぞれ真空ゲート弁
２０，２０が接続されている。これら前後の真空ゲート
弁２０，２０はいずれも同じものであるので、図７で右
側に示す後側の真空ゲート弁２０のみについて説明する
（図７で左側に示す前側の真空ゲート弁２０は真空容器
２に対し後側の真空ゲート弁２０と対称に配置され
る）。

【００３６】すなわち、図１及び図２に拡大詳示するよ
うに、成膜装置１における真空容器２の後側壁には搬送
室５に連通する開口１３が形成され、この開口１３が上
記後側の真空ゲート弁２０により開閉されて、真空容器
２内の真空室３（搬送室５）と真空チャンバ１５内とが
ゲート弁２０内の空間を介して連通又は連通遮断される
（尚、真空容器２の前側壁にも同様の開口１３が形成さ
れ、この開口１３は前側の真空ゲート弁２０により開閉
される）。上記後側の真空ゲート弁２０は、図５及び図
６に示す如く、真空容器２及び真空チャンバ１５間に気
密状に挟まれた矩形状の弁箱２１（この弁箱２１は密閉
箱状のものであるので、本発明でいう「真空容器」に、
またその内部は「真空室」にそれぞれ相当する）を備え
ている。この弁箱２１の前壁（図１、図２及び図５で左
側壁）の上部には真空容器２に連通する前側開口部２２
が、また後壁（同右側壁）の上部には後側の真空チャン
バ１５に連通する後側開口部２３がそれぞれ同じ高さ位
置に形成され、これらの開口部２２，２３はいずれも左
右方向（図５の紙面と直交する方向。図６では左右方
向）に長い矩形状でかつ真空容器２の開口１３と同じ大
きさとされており、この各開口部２２，２３を介して弁
箱２１内の空間が真空容器２内の真空室３及び真空チャ
ンバ１５内部と連通している。

【００３７】上記弁箱２１内には、上記前側開口部２２
に対し接離する前後方向に移動して該前側開口部２２を
開閉する弁板２５が配置されている。この弁板２５は前
側開口部２２よりも若干大きい矩形状の板材からなり、
その前面外周部には、弁箱２１の前壁内面に圧接して弁
板２５と弁箱２１の前側開口部２２周囲の前壁内面との
間をシールするシール部材２７が固定保持されている。

【００３８】上記弁板２５後側の弁箱２１内には、弁板
２５をその長さ方向である左右方向に離れた左右両側の
２箇所（３箇所以上でもよい）で後面側から同期して後
述の平行リンク機構４２，４２（弁板駆動機構）を介し
て押圧して前側開口部２２を閉じる弁板支持体３０（固
定部）が配設されている。すなわち、この弁板支持体３
０は弁板２５を接離可能に案内支持するもので、弁板２
５と共に、弁箱２１内の下側に位置する開弁位置と、弁
箱２１内の上側でかつ前後の開口部２２，２３に対応す
る閉弁位置との間を上記真空容器２の後側壁の開口１３
（弁箱２１の前側開口部２２）と略平行な鉛直平面に沿
って上下移動可能とされている。

【００３９】上記弁板支持体３０は、弁箱２１の後側開
口部２３よりも大きい矩形板状の本体３１を有し、この
本体３１の前面には、上記弁板２５の左右の押圧位置に
対応する部分にそれぞれ各平行リンク機構４２の各ガイ
ドローラ５１，５２を案内するためのガイド部材３２が
円環板状の取付部材４０により一体的に取付固定されて
いる。上記ガイド部材３２は、図３及び図４に示すよう
に、後向きに開口する浅い略皿形状のもので、その下側
壁部が切り欠かれて開放され、この切欠き部分以外の外
周上半部の後端には半径方向外側に延びるフランジ３２
ａが形成されており、このフランジ３２ａを取付部材４
０の内周部に係止した状態で該取付部材４０をボルト４
１，４１，…（１つのみ図示する）により本体３１に取
り付けることで、各ガイド部材３２が本体３１の前面に
取付部材４０を介して取付固定されている。

【００４０】また、上記弁板支持体３０における取付部
材４０の下縁部には、弁箱２１内を上下方向（後述の弁
板駆動ロッド５７の移動方向と同方向）に進退移動する
円筒状の支持体駆動ロッド５６の上端部（内端部）が移
動一体に気密状に溶接固定されており、この支持体駆動
ロッド５６の昇降移動（長さ方向の移動）により弁板支
持体３０が開弁位置と閉弁位置との間を移動する。

【００４１】上記ガイド部材３２の前壁（底壁）の中心
部には縦長矩形状の開口３４が貫通形成されている。ま
た、ガイド部材３２の前面には、上記開口３４の上下縁
部からそれぞれ水平前側に平行に延びる上下１対の突出
片３５，３６が上側突出片３５下面にあっては開口３４
の上縁部下面と、また下側突出片３６上面にあっては開
口３４の下縁部上面とそれぞれ面一となるように一体に
形成されている。また、上記弁板支持体３０の本体３１
前面には、上記各ガイド部材３２の開口３４に対応して
所定深さの矩形凹部３１ａが形成されている。そして、
上記ガイド部材３２の前壁（底壁）と本体３１前面の凹
部３１ａとにより、後述する弁板駆動ロッド５７の進退
移動方向（上下方向）と同方向に延びる垂直ガイド部３
３が、また上下１対の突出片３５，３６ないし開口３４
により、弁板２５の開閉移動方向（前後方向）と同方向
に延びる水平ガイド部３７がそれぞれ形成されている。

【００４２】上記弁板支持体３０の左右の各ガイド部材
３２内には弁板駆動機構としての平行リンク機構４２が
配置され、この平行リンク機構４２により、上記弁板２
５と後述の弁板駆動ロッド５７とが弁板駆動ロッド５７
の昇降移動に伴って弁板２５が前後方向に移動して弁板
駆動ロッド５７に対し接離するように連結されている。
具体的には、上記各ガイド部材３２における上下の突出
片３５，３６間に、弁板２５に連結される弁板側リンク
軸としての水平左右方向に延びる上下の前リンク軸４
３，４３が上下方向に所定間隔をあけて配置され、この
各前リンク軸４３はその左右端部の前側切欠部４３ａ，
４３ａ（図３参照）にて、弁板２５後面にボルト締結し
た弁板取付部材４５にボルト４４，４４により締結固定
されている。

【００４３】一方、上記各垂直ガイド部３３内、つまり
ガイド部材３２の開口３４の左右両側部分の前壁後面と
本体３１前面の各矩形凹部３１ａ底面（前面）との間に
は、弁板駆動ロッド５７に連結されるロッド側リンク軸
としての水平左右方向に延びる上下の後リンク軸４７，
４７が上記前リンク軸４３，４３と同じ間隔をあけて上
下方向に配置されている。そして、図３に示すように、
上記各前リンク軸４３の左右両側寄りに位置する部分に
はそれぞれ樹脂製等の左右リンク４８，４８の前端部が
揺動可能に支持され、このリンク４８，４８の後端部
は、それぞれ前リンク軸４３の後側に対応して位置する
後リンク軸４７の左右両側寄り部分に揺動可能に支持さ
れており、前後のリンク軸４３，４７同士は左右１対の
リンク４８，４８により連結されている。

【００４４】さらに、上記上下の後リンク軸４７，４７
は、その左右中央部にて、それぞれガイド部材３２内を
上下方向に延びる弁板駆動ロッド５７の上端部に上記間
隔をあけて取付固定されている。この上下の後リンク軸
４７，４７の弁板駆動ロッド５７との連結構造はいずれ
も同じで、各後リンク軸４７の左右中央部にはその略前
半部を平面状に切り欠いた嵌合部４７ａが、また弁板駆
動ロッド５７にはその略後半部を平面状に切り欠いてな
る嵌合部５７ａがそれぞれ形成されており、後リンク軸
４７と弁板駆動ロッド５７とは、互いに交差しかつ各々
の嵌合部４７ａ，５７ａで嵌合した状態で両者を前後方
向に貫通するボルト５８により一体的に締結固定されて
いる。よって、上記前後のリンク軸４３，４３，４７，
４７及び上下両側のリンク４８，４８，…により平行リ
ンク機構４２が構成されている。

【００４５】上記各前リンク軸４３の左右中央部には、
上記水平ガイド部３７により水平前後方向に案内される
樹脂製等の前ガイドローラ５１が回転可能に支持されて
いる。つまり、上側に位置する前リンク軸４３上の前ガ
イドローラ５１は、ガイド部材３２の上側突出片３５下
面ないし開口３４の上縁部下面に沿って、また下側の前
リンク軸４３上の前ガイドローラ５１は、下側突出片３
６の上面ないし開口３４の下縁部上面に沿ってそれぞれ
前後方向（弁板２５の開閉移動方向と同方向）に移動可
能に転動案内されるようになっており、これら上下の前
ガイドローラ５１，５１の案内により弁板２５がガイド
部材３２（弁板支持体３０）に対し上下方向に相対移動
不能に位置決めされた状態で前後移動する。

【００４６】また、上記各後リンク軸４７の左右端部に
はそれぞれ上記垂直ガイド部３３により垂直上下方向
（弁板駆動ロッド５７の進退移動方向と同方向）に案内
される樹脂製等の後ガイドローラ５２，５２が回転可能
に支持されている。つまり、これら後ガイドローラ５
２，５２は、ガイド部材３２の開口３４の左右両側の前
壁後面と本体３１前面の各凹部３１ａ底面との間を転動
して案内される。

【００４７】そして、上記弁板支持体３０が弁箱２１内
上側の閉弁位置にあるときに、その内部で弁板駆動ロッ
ド５７のみを昇降移動させることで、平行リンク機構４
２により弁板２５を弁板支持体３０に対し接離するよう
に前後方向に移動させて弁箱２１の前側開口部２２（真
空容器２後側壁の開口１３）を開閉し、図２に示すよう
に、弁板駆動ロッド５７を下降させたときには、平行リ
ンク機構４２の各リンク４８を後側に向かって下側に向
かうように傾斜させ、弁板２５を弁板支持体３０（弁板
駆動ロッド５７）に接近させて弁箱２１の前側開口部２
２周りの前壁から離隔させることで、その開口部２２を
開く一方、図１に示すように、弁板駆動ロッド５７を上
昇させたときには、平行リンク機構４２の各リンク４８
を前後方向に水平に配置し、弁板２５を弁板支持体３０
から離して前側開口部２２周りの前壁内面に押し付ける
ことで、その開口部２２を閉じるようになっている。

【００４８】さらに、上記弁板支持体３０における各取
付部材４０の前端部と、その前側の弁板２５における各
弁板取付部材４５の後面との間に亘り樹脂製円筒状の機
構収容ベローズ５４が両者の接離方向に伸縮可能に設け
られている。この機構収容ベローズ５４は、上記昇降ロ
ッド収容ベローズ１２と同様にＰＴＦＥ樹脂からなるも
のが好ましく、そのブロックから削出し等により加工さ
れる。機構収容ベローズ５４の前後端部はそれぞれ弁板
取付部材４５及び取付部材４０に気密状に接合されてお
り、この機構収容ベローズ５４、弁板２５（弁板取付部
材４５）及び弁板支持体３０で囲まれる気密状の空間に
上記平行リンク機構４２が収容されている。すなわち、
機構収容ベローズ５４は、平行リンク機構４２から発生
する塵を密閉空間内に封じ込めて弁箱２１内の空間ない
し真空容器２内の真空室３への放出を防止するものであ
る。

【００４９】上記弁板支持体３０が弁箱２１内で開弁位
置及び閉弁位置間を昇降する動きと、この弁板支持体３
０に対し弁板２５が接離する動きとは、いずれも弁箱２
１の底壁外側からの駆動により行われるようになってい
る。つまり、図５及び図６に示すように、弁箱２１の底
壁において各平行リンク機構４２の真下の部分（上記弁
板２５の左右の押圧位置に対応する部分）には開口部２
１ａ，２１ａが形成され、この各開口部２１ａ下面に
は、上下方向に延びかつ上端が開口する有底状の筒部６
０の上端部が同心状にかつ気密状に接合され、この筒部
６０の底部中心には中心孔６０ａが貫通形成されてい
る。さらに、上記筒部６０の下側には円筒状のストッパ
６１が同心状に接続固定されている。

【００５０】そして、上記支持体駆動ロッド５６は上記
弁箱２１底壁の開口部２１ａないし筒部６０に挿通さ
れ、その下端部（外端部）は、筒部６０底部の中心孔６
０ａを気密状に貫通した後に弁箱２１外であるストッパ
６１内を下側に延びてその下側に突出し、この下端部に
は円板状の上側プレート６２が移動一体に取付固定され
ており、支持体駆動ロッド５６の昇降移動（長さ方向の
移動）により弁板支持体３０を開弁位置及び閉弁位置間
で移動させ、後述のベローズ取付フランジ７４が略弁箱
２１の底壁の位置に移動したときを弁板支持体３０の開
弁位置に、また上側プレート６２がストッパ６１の下面
に当接したときを閉弁位置にそれぞれ設定している。

【００５１】一方、上記弁板２５を弁板支持体３０に対
し接離させて開閉させるための上記弁板駆動ロッド５７
は、弁板２５の開閉移動方向と略直角な上下方向に進退
移動するもので、上記筒状の支持体駆動ロッド５６内に
それと同軸状に摺動可能に挿通されている。この弁板駆
動ロッド５７は、上記弁板支持体３０における取付部材
４０の下端部に支持体駆動ロッド５６と同心状に形成し
た挿通孔４０ａに挿通され、その上端部は、既述の如く
弁板支持体３０のガイド部材３２内に位置して平行リン
ク機構４２の後リンク軸４７，４７に移動一体に連結さ
れている。弁板駆動ロッド５７の下端部（外端部）は支
持体駆動ロッド５６の下端部から突出して弁箱２１外に
延び、この下端部には上側プレート６２と略同径の円板
状の下側プレート６３が移動一体に取付固定されてお
り、弁板駆動ロッド５７が支持体駆動ロッド５６に対し
相対的に摺動して長さ方向に移動することにより、弁板
２５の開き状態及び閉じ状態を切り換え、下側プレート
６３が上側プレート６２から最も離れて後述のリンク機
構６６，６６が伸長したときを弁板２５が弁板支持体３
０に接近した開き状態に、また下側プレート６３が上側
プレート６２に最も接近して同リンク機構６６，６６が
収縮したときを弁板２５が弁板支持体３０に離隔した閉
じ状態にそれぞれなるようにしている。

【００５２】図６に示すように、上記左右の弁板駆動ロ
ッド５７，５７下端の下側プレート６３，６３には駆動
手段としての１つのエアシリンダ７７が駆動連結されて
いる。すなわち、このエアシリンダ７７は上記弁板２５
の左右の押圧位置間の中央下方位置に配置された上下方
向のシリンダ軸線を有するもので、そのボディ上端部は
弁箱２１に相対移動不能に固定されている。シリンダ７
７のピストンロッド７７ａの上端（先端）にはブラケッ
ト７８の左右中央部が連結されている。このブラケット
７８は左右の中央部よりも端部が低くなるように略コ字
状に折れ曲がった部材からなるもので、その左右端部に
それぞれ上記左右の下側プレート６３，６３が連結され
ており、１つのシリンダ７７の伸縮作動により、そのピ
ストンロッド７７ａの上端部にブラケット７８を介して
連結された左右の弁板駆動ロッド５７，５７を長さ方向
に昇降移動させて、その支持体駆動ロッド５６，５６と
の一体移動による弁板支持体３０の開弁位置及び閉弁位
置間の昇降移動と、弁板駆動ロッド５７，５７のみの移
動による弁板２５の開き状態及び閉じ状態間の切換えと
を行うようにしている。

【００５３】上記弁箱２１の外側にある上側及び下側プ
レート６２，６３間には、弁板駆動ロッド５７の下端部
周りに配置した圧縮ばね６４が縮装されており、この圧
縮ばね６４により弁板駆動ロッド５７を支持体駆動ロッ
ド５６に対し、弁板２５が弁板支持体３０に接近して弁
箱２１の前側開口部２２（真空容器２の開口１３）を開
く下方向に相対移動させるように付勢している。

【００５４】さらに、図５に示すように、上記上側及び
下側プレート６２，６３同士は、各々の前後方向（直径
方向）に対向した位置の１対のリンク機構６６，６６に
より連結されている。この各リンク機構６６は、上端部
が上側プレート６２に水平軸心をもって揺動可能に軸支
された上リンク６７と、上端部が該上リンク６７の下端
部に水平方向の連結軸６９を介して揺動可能に連結さ
れ、下端部が下側プレート６３に水平軸心をもって揺動
可能に軸支された下リンク６８とからなり、上記連結軸
６９にはガイドローラ７０が回転可能に支持されてい
る。そして、この各リンク機構６６を上下のリンク６
７，６８が上下方向に略一直線上に並ぶように伸長させ
たときには、下側プレート６３を上側プレート６２から
離して弁板２５を弁板支持体３０に接近させる一方、上
下のリンク６７，６８が外側（連結軸６９が弁板駆動ロ
ッド５７から離れる側）に折れ曲がるように収縮させた
ときには、下側プレート６３を上側プレート６２に接近
させて弁板２５を弁板支持体３０から離隔させるように
している。

【００５５】また、上記各ストッパ６１の真下位置に
は、シリンダ７７のストロークに対応した所定長さのリ
ンク規制部７２，７２が配置固定されている。この両リ
ンク規制部７２，７２は、その間を上記上側及び下側プ
レート６２，６３が所定の隙間をあけて昇降移動するよ
うに前後に対向配置されたもので、両リンク規制部７
２，７２間には側方から上記ブラケット７８の左右端部
が昇降移動可能に挿通されており、シリンダ７７の伸縮
作動による各下側プレート６３の昇降動作に応じて各リ
ンク機構６６を伸長状態又は収縮状態に切り換え、シリ
ンダ７７の伸縮作動に伴って弁板支持体３０を開弁位置
及び閉弁位置間で昇降移動させたとき、その弁板支持体
３０が上昇端の閉弁位置以外にある状態では、上記各リ
ンク機構６６をリンク規制部７２内（両リンク規制部７
２，７２間）に連結軸６９上のガイドローラ７０が各リ
ンク規制部７２の内面で転動案内されるように潜らせて
伸長状態に保持する一方、弁板支持体３０が上昇端の閉
弁位置にある状態では、各リンク機構６６をリンク規制
部７２上端から突出させて収縮状態に切り換えるように
している。尚、各リンク規制部７２の上端面は、上記ガ
イドローラ７０の昇降時のリンク規制部７２内に対する
出没をスムーズに行わせるように上側に向かって外側
（相手側リンク規制部７２から離れる側）に傾斜する傾
斜面に形成されている。

【００５６】そして、上記弁箱２１内の下部にある支持
体駆動ロッド５６の上端寄り部分にはベローズ取付フラ
ンジ７４が気密状に一体に取付固定されている。このベ
ローズ取付フランジ７４の下面には、支持体駆動ロッド
５６の周りに配置した伸縮可能な樹脂製の駆動ロッド収
容ベローズ７５の上端部が気密状に接合固定され、この
ベローズ７５の下端部は、弁箱２１の底壁における筒部
６０の底部（固定部）上面に気密状に接合固定されてお
り、駆動ロッド収容ベローズ７５により支持体駆動ロッ
ド５６の一部を気密状に覆っている。この駆動ロッド収
容ベローズ７５は、上記と同様にＰＴＦＥ樹脂からなる
ものが好ましく、そのブロックから削出し等によりベロ
ーズ形状に加工される。

【００５７】尚、上記弁板支持体３０の本体３１後面に
は、上記左右の平行リンク機構４２の各々の上下両側位
置にそれぞれ左右方向に延びる丸棒状のゴム（樹脂製で
もよい）からなる弾性部材８１，８１が一部を本体３１
後面から突出させた状態で取付保持されている。この各
弾性部材８１は、弁板２５が弁箱２１の前側開口部２２
を閉じた状態で弁箱２１の後側開口部２３周囲の後壁内
面（前面）に押し付けられるもので、この押付け状態で
の弾性部材８１の弾性反力により弁板支持体３０が弁板
２５の閉じ方向たる前方向に付勢されるようになってい
る。

【００５８】次に、上記実施形態の作動について説明す
る。成膜装置１においては、例えば後側の真空ゲート弁
２０が開弁した状態で後側の真空チャンバ１５内からワ
ークが搬送装置により真空容器２内の真空室３の搬送室
５に搬入される。その後に後側の真空ゲート弁２０の閉
弁により真空容器２内の真空室３が所定の真空状態にな
ると、下降位置に位置付けられているワークテーブル８
上に上記搬送装置からワークが載置される。次いで、エ
アシリンダ１１の作動によりワークテーブル８が隔壁６
の開口部７を通して上昇位置まで上昇して成膜処理室４
に臨み、その状態で成膜手段の作動によりワークが成膜
処理される。このような成膜処理後、シリンダ１１の作
動によりワークテーブル８が元の下降位置に下降移動
し、そのワークテーブル８上から成膜後のワークが搬送
装置に移載され、前側の真空ゲート弁２０が開弁してワ
ークが搬送装置により真空室３から前側の真空チャンバ
１５内へ搬出される。

【００５９】そのとき、上記ワークテーブル８と真空容
器２の底壁２ａ上面との間に樹脂製の昇降ロッド収容ベ
ローズ１２が設けられ、このベローズ１２内に真空室３
内に臨む昇降ロッド１０が収容されているので、真空室
３で昇降ロッド１０によりワークテーブル８が昇降移動
しても、その昇降ロッド１０からの発塵は昇降ロッド収
容ベローズ１２内に封じ込められ、発塵の真空室３への
放出が防止される。このことによって成膜装置１におけ
るワークに対する成膜品質を良好に維持することができ
る。

【００６０】また、上記昇降ロッド収容ベローズ１２は
樹脂製のものであるので、その伸縮動作が繰り返されて
も山部や谷部等にクラックが発生し難いとともに、真空
室３でワークの成膜処理のために酸や硫化ガス等の薬品
が使用されても、その薬品の影響によりベローズ１２が
腐食することもなく、ベローズ１２の耐久性や信頼性を
高めて防塵機能や気密機能を良好に維持することができ
る。

【００６１】さらに、上記昇降ロッド収容ベローズ１２
は電気絶縁性を有する樹脂製のものであるので、真空室
３に電気的な絶縁処理を施してワーク処理を行う場合で
も、そのベローズ１２については電気的絶縁処理を行う
必要がなくなり、その分、絶縁処理工数を低減すること
ができる。しかも、昇降ロッド収容ベローズ１２は樹脂
製で磁化しないので、真空室３の成膜処理に悪影響を及
ぼすこともない。

【００６２】上記真空ゲート弁２０の開閉作動について
詳細に説明すると、真空ゲート弁２０が開弁していると
きには、エアシリンダ７７は収縮してストロークエンド
にある。このため、上側及び下側プレート６２，６３は
両者を連結するリンク機構６６，６６と共にリンク規制
部７２，７２間にあり、その各リンク機構６６は伸長し
て両プレート６２，６３が離隔している。このことで弁
板支持体３０は開弁位置にあり、また、弁板駆動ロッド
５７の上端部は弁板支持体３０内の下側に位置してい
て、各平行リンク機構４２の各リンク４８が後側に向か
って下側に向かうように傾斜し（図２参照）、弁板２５
が弁板支持体３０に接近した後側位置にあって弁箱２１
の前壁内面から離隔している。また、機構収容ベローズ
５４及び駆動ロッド収容ベローズ７５はいずれも収縮し
ている。

【００６３】この状態からゲート弁２０を閉弁させると
きには、エアシリンダ７７が伸長してピストンロッド７
７ａが上昇する。このピストンロッド７７ａの上昇移動
に伴い、その上端にブラケット７８を介して連結されて
いる各下側プレート６３と、該各下側プレート６３に下
端が連結されている弁板駆動ロッド５７とが上昇する。
このとき、上記下側プレート６３と上側プレート６２と
を連結しているリンク機構６６，６６はそれぞれリンク
規制部７２，７２によりその間に伸長状態に拘束され、
しかも両プレート６２，６３間には圧縮ばね６４が介在
されているので、上記下側プレート６３の上昇移動に伴
って上側プレート６２も下側プレート６３から離隔した
ままで追従して上昇し、両者の相対移動は生じない。こ
のことで駆動ロッド収容ベローズ７５が伸長しながら、
支持体駆動ロッド５６が上側プレート６２と共に上昇し
て、その支持体駆動ロッド５６の上端部に連結されてい
る弁板支持体３０が開弁位置から閉弁位置に向かって弁
板２５と共に上昇する。また、両ロッド５６，５７間の
相対移動が生じないので、弁板２５は閉じ状態に切り換
わることなく弁板支持体３０に接近したままに保たれ、
その上昇時に弁箱２１の前壁の内面に接触しない。

【００６４】エアシリンダ７７がさらに伸長して伸長ス
トロークエンド近くに達すると、上側プレート６２が、
弁箱２１の底壁下面の筒部６０に接合されているストッ
パ６１下面に当接してそれ以上の上昇移動が規制され
る。このことで、図２に示すように、弁板支持体３０が
閉弁位置に停止し、弁板２５が弁箱２１における前側開
口部２２に対応した位置に位置付けられる。この状態で
は、上記各リンク機構６６がリンク規制部７２の上端か
ら抜け出し始めており、シリンダ７７のさらなる伸長作
動により、上記各リンク機構６６が収縮状態に変化しか
つ圧縮ばね６４が圧縮されながら、上記ストッパ６１で
停止規制されている上側プレート６２に対し下側プレー
ト６３のみが上昇する。このことで、図１に示すよう
に、支持体駆動ロッド５６と共に停止保持されている弁
板支持体３０に対して弁板駆動ロッド５７のみが相対的
に上昇し、この弁板駆動ロッド５７のみの上昇移動によ
り、機構収容ベローズ５４が伸長しながら、各平行リン
ク機構４２の各リンク４８が前後方向に水平に回動し、
弁板２５が弁板支持体３０から離れるように前側に移動
して弁箱２１の前側開口部２２周囲の前壁内面を押圧
し、その開口部２２がシール部材７により気密状に閉塞
されてゲート弁２０が閉弁する。

【００６５】一方、上記のような閉弁状態にあるゲート
弁２０を開弁させるときには、上記エアシリンダ７７が
収縮してピストンロッド７７ａが下降する。このピスト
ンロッド７７ａの下降移動に伴い、各下側プレート６３
が弁板駆動ロッド５７と共に下降し、この弁板駆動ロッ
ド５７の下降移動により、機構収容ベローズ５４が収縮
しながら、各平行リンク機構４２の各リンク４８が傾斜
方向に回動し、弁板２５が弁板支持体３０に近付く後方
向に移動して弁箱２１の前側開口部２２周囲の前壁内面
から離れ、その開口部２２が開かれる。この後、リンク
規制部７２によるリンク機構６６の伸長規制により両ロ
ッド５６，５７が一体的に下降して弁板支持体３０が弁
板２５と共に開弁位置に移動し、ゲート弁２０が開弁す
る。

【００６６】そして、このような真空ゲート弁２０にお
いては、上記弁板支持体３０と弁板２５との間に機構収
容ベローズ５４が設けられ、この機構収容ベローズ５４
内に平行リンク機構４２が収容されているので、この平
行リンク機構４２から発生する塵は機構収容ベローズ５
４内の密閉空間に封じ込まれる。また、支持体駆動ロッ
ド５６の上端寄り部分のベローズ取付フランジ７４と、
弁箱２１の底壁における筒部６０の底部（固定部）上面
との間に、支持体駆動ロッド５６の一部を収容する駆動
ロッド収容ベローズ７５が設けられているので、支持体
駆動ロッド５６の筒部６０底部への貫通部からの発塵が
駆動ロッド収容ベローズ７５内の密閉空間に封じ込まれ
る。このことで、平行リンク機構４２及び支持体駆動ロ
ッド５６からの発塵の弁箱２１内延いては成膜装置１の
真空室３へ放出を防止することができる。

【００６７】このとき、上記機構収容ベローズ５４及び
駆動ロッド収容ベローズ７５はいずれも樹脂製のもので
あるので、上記弁板支持体３０の閉弁位置で弁板２５が
弁板支持体３０に対し接離して弁箱２１の前側開口２２
（真空容器２の後側壁の開口１３）を開閉し、その接離
動作に伴い機構収容ベローズ５４の伸縮動作が繰り返さ
れたとしても、或いは、弁板支持体３０が閉弁位置及び
開弁位置の間で昇降移動して、その接離動作に伴い駆動
ロッド収容ベローズ７５の伸縮動作が繰り返されたとし
ても、その各ベローズ５４，７５にクラックが発生し難
くなる。しかも、成膜装置１の真空室３でワーク処理の
ために使用される薬品の影響によりベローズ５４，７５
が腐食することもなく、ベローズ５４，７５の耐久性や
信頼性を高めて防塵機能や気密機能を良好に維持するこ
とができる。

【００６８】また、樹脂製の機構収容ベローズ５４及び
駆動ロッド収容ベローズ７５がいずれも電気絶縁性を有
するので、成膜装置１の真空容器２内に電気的絶縁処理
を施してワークの処理を行う場合でも、真空ゲート弁２
０側の各ベローズ５４，７５については電気的絶縁処理
を行う必要がない。また、この真空ゲート弁２０側の各
ベローズ５４，７５が磁化して成膜装置１での成膜処理
が悪影響を受けることをも防止できる。

【００６９】（実施形態２）図８及び図９は実施形態２
に係る真空ゲート弁２０を示し（尚、図１及び図２と同
じ部分については同じ符号を付してその詳細な説明は省
略する）、弁板２５を弁板支持体３０に対し接離させる
ための弁板駆動機構を樹脂製ベローズとしたものであ
る。

【００７０】すなわち、この実施形態では、真空ゲート
弁２０における弁箱２１内に弁板支持体３０は、成膜装
置１の真空容器２の開口１３と略平行な鉛直平面に沿っ
て上下方向に閉弁位置と開弁位置との間を昇降移動可能
に配置され、この弁板支持体３０の中心部には開口部９
１が形成されている。弁板支持体３０の下端部は、弁箱
２１の底壁（固定部）を気密状に貫通する支持体駆動ロ
ッド５６の上端部に連結固定され、この支持体駆動ロッ
ド５６の下端部は弁箱２１の底壁外面に固定したエアシ
リンダ７７に連結されており、このエアシリンダ７７の
伸縮作動により弁板支持体３０を閉弁位置及び開弁位置
の間で昇降させる。そして、この支持体駆動ロッド５６
の上端寄りのベローズ取付フランジ７４と弁箱２１の底
壁上面との間に、支持体駆動ロッド５６の一部を覆う駆
動ロッド収容ベローズ７５が設けられている。

【００７１】上記弁板支持体３０の前側には弁箱２１の
前側開口部２２（真空容器２の開口１３）を開閉する前
側弁板２５が、また後側には弁箱２１の後側開口部２３
を開閉する後側弁板２６がそれぞれ引張ばね９２，９
２，…により弁板支持体３０に接離可能にかつ接近方向
に付勢されて支持されている。

【００７２】また、弁板支持体３０の前面と前側弁板２
５の後面との間、及び弁板支持体３０の後面と後側弁板
２６の前面との間に亘りそれぞれ樹脂製円筒状の弁板駆
動ベローズ９３，９３がそれぞれ気密状に接合され、こ
の両弁板駆動ベローズ９３，９３の内部は弁板支持体３
０の開口部９１を介して互いに連通している。この各弁
板駆動ベローズ９３はＰＴＦＥ樹脂からなるものが好ま
しく、そのブロックから削出し等により加工される。

【００７３】そして、上記両弁板駆動ベローズ９３，９
３内の空間は弁板支持体３０内の流体給排通路９５に連
通され、この流体給排通路９５は、支持体駆動ロッド５
６の内部ないしエアシリンダ７７のピストンロッド（図
示せず）の内部を貫通して弁箱２１外の図示しない流体
供給装置に接続されており、弁板支持体３０が閉弁位置
にあるときに、この流体供給装置から弁板駆動ベローズ
９３，９３内の空間にエア等の流体を給排して弁板駆動
ベローズ９３，９３内の圧力を変えることで、弁板２
５，２６を弁板支持体３０に対し接離させて開閉させ、
弁板駆動ベローズ９３，９３内から流体を排出してその
内部圧力を低くしたときには、ばね９２の付勢力により
弁板２５，２６を弁板支持体３０に接近させて開く一
方、弁板駆動ベローズ９３，９３内に流体を供給して内
部圧力を高くしたときには、ばね９２の付勢力に抗して
弁板２５，２６を弁板支持体３０から離隔させて閉じる
ようにしている。その他の構成は上記実施形態１と同様
である（図７参照）。

【００７４】したがって、この実施形態においては、真
空ゲート弁２０を開弁させて成膜装置１における真空容
器２の開口１３を開くときには、図９に示すように、エ
アシリンダ７７の収縮作動により弁板支持体３０が下降
して開弁位置に位置付けられる。また、弁板駆動ベロー
ズ９３，９３内から流体が排出されてその内部圧力が低
下し、このことで、前後の弁板２５，２６はばね９２の
付勢力により弁板支持体３０に接近して弁箱２１の開口
部２２，２３からそれぞれ離れ、真空容器２の開口１３
が開放される。

【００７５】これに対し、真空ゲート弁２０を閉弁させ
て真空容器２の開口１３を閉じるときには、図８に示す
ように、シリンダ７７の伸長作動により弁板支持体３０
が上昇して閉弁位置に位置付けられる。そして、この弁
板支持体３０の閉弁位置で、弁板駆動ベローズ９３，９
３内に流体が供給されてその内部圧力が上昇し、このこ
とで、前後の弁板２５，２６はばね９２の付勢力に抗し
て弁板支持体３０から離れて弁箱２１の開口部２２，２
３を閉じ、真空容器２の開口１３が閉じる。

【００７６】この実施形態では、上記支持体駆動ロッド
５６と弁箱２１の底壁上面との間の駆動ロッド収容ベロ
ーズ７５、及び、弁板２５，２６を開閉駆動する弁板駆
動ベローズ９３，９３がいずれも樹脂製であるので、上
記実施形態１と同様に、その各ベローズ７５，９３の耐
久性、信頼性の向上等を図ることができる。

【００７７】（他の実施形態）尚、上記実施形態１で
は、弁板支持体３０の前側のみに弁板２５を設けている
が、その後側にも弁板を設けるようにしてもよい。ま
た、逆に、上記実施形態２では、弁板支持体３０の前後
両側にそれぞれ弁板２５，２６を設けているが、その一
方（例えば前側弁板２５）のみを弁板とし、他方は弁箱
２１の側壁に当接して突っ張る単なる押圧板に変更して
もよい。

【００７８】また、上記各実施形態では、成膜装置１に
おけるワークテーブル８を昇降させるための駆動手段、
及び真空ゲート弁２０の弁板支持体３０を昇降駆動させ
るための駆動手段をいずれもエアシリンダ１１，７７と
しているが、液圧シリンダでもよく、その他、回転型の
アクチュエータを用いることもでき、電磁型の各種アク
チュエータを用いてもよい。

【００７９】また、真空ゲート弁２０における弁板支持
体３０に対し弁板２５を接離させる弁板駆動機構や、弁
板支持体３０の駆動構造等は上記各実施形態のものに限
定されない。例えば弁板駆動機構としてはリンク機構４
２に代えてカム機構やねじ機構等を用いてもよく、本発
明の技術思想に含まれる範囲で変更することができる。

【００８０】また、上記各実施形態では、真空ゲート弁
２０における弁板支持体３０及び弁板２５（２６）を上
昇移動させて開弁し、下降移動させて閉弁するようにし
ているが、逆に弁板支持体３０及び弁板２５（２６）の
下降移動により開弁し、上昇移動により閉弁するように
してもよい。また、弁板支持体３０及び弁板２５（２
６）の開閉動作の向きを必ずしも上下方向に限定する必
要もない。

【００８１】また、上記各実施形態では、真空ゲート弁
２０は真空容器２及び真空チャンバ１５間に配置され
て、内部が真空空間となる弁箱２１を有するものとして
いるが、真空容器２の開口１３が他の真空チャンバに接
続されておらずに直接大気に開放され得る構造であり、
その開口１３を真空ゲート弁で開閉する場合、その真空
ゲート弁が弁箱２１を備えることは必須ではない。例え
ば弁箱２１に代えて、弁板支持体３０からの力を受ける
ために外部に開放された単なるフレームを設けてもよい
（尚、その場合、フレームは密閉箱状でないので、本発
明でいう「真空容器」には相当しない）。特に、支持体
駆動ロッド５６（弁板駆動ロッド５７）だけで閉弁時の
弁板支持体３０による弁板２５の支持剛性を確保できる
場合には上記フレーム自体をも不要とできる。

【００８２】また、上記各実施形態では、成膜装置１の
ワークテーブル８を昇降駆動するシリンダ１１（駆動手
段）を真空容器２の外部に配置しているが、図１０に示
すように、そのシリンダ１１を真空容器２内の真空室３
に配置することもできる。この場合、真空室３に、真空
容器２の底壁２ａ（固定部）に対し相対移動可能なワー
クテーブル８（可動部）と、該ワークテーブル８に昇降
ロッド１０（連結手段）を介して連結された駆動手段
（駆動手段はシリンダ１１に代えて例えば電気アクチュ
エータを用いるのが望ましい）とが設けられており、シ
リンダ１１自体からの発塵を樹脂製の昇降ロッド収容ベ
ローズ１２内に封入する必要があるため、昇降ロッド１
０のみならずシリンダ１１をも含めて昇降ロッド収容ベ
ローズ１２で覆うようにすればよい。

【００８３】上記各実施形態では、成膜装置１の真空室
３の可動部としてのワークテーブル８、真空ゲート弁２
０の弁板２５、支持体駆動ロッド５６の接離動作に伴う
発塵を封じ込めるため、又は弁板２５，２６を開閉させ
るために樹脂製ベローズ１２，５４，７５，９３を設け
たものを説明しているが、本発明はこのような構成に限
定されず、その他、真空ロボット等、真空装置の可動部
と固定部との間にベローズを設ける場合であれば適用す
ることができ、そのベローズを樹脂製のものとすればよ
い。また、上記ワークテーブル８は真空容器２の底壁に
対し、また弁板２５は弁板支持体３０に対し、さらに支
持体駆動ロッド５６は弁箱２１の底壁に対しそれぞれ接
離するように相対移動するものであるが、その他、例え
ば可動部が固定部に対し揺動する構造のもの等にも本発
明の適用が可能であり、その可動部と固定部との間に樹
脂製ベローズを設ければよい。

【００８４】また、上記樹脂製の各ベローズ１２，５
４，７５，９３に補強部材を埋設してもよく、樹脂製ベ
ローズ１２，５４，７５，９３の強度を補強部材により
高めることができる。その補強部材は例えばベローズ１
２，５４，７５，９３の山部及び谷部等に埋め込めばよ
い。また、各ベローズ１２，５４，７５，９３は、ＰＴ
ＦＥ樹脂以外に三フッ化系のエチレン樹脂やその他の樹
脂でもよい。

【００８５】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１の発明で
は、真空室に、固定部に対し連結手段を介して連結され
て固定部と相対的に移動する可動部が設けられている真
空装置に対し、その可動部と固定部との間に連結手段を
覆う樹脂製のベローズを設けた。また、請求項２の発明
では、真空室に、固定部を移動可能に貫通する連結手段
を介して真空室外の駆動手段に連結されて固定部と相対
的に移動する可動部が設けられた真空装置に対し、可動
部と固定部との間に真空室内の連結手段を覆う樹脂製の
ベローズを設けた。さらに、請求項３の発明では、真空
室に、固定部に対し相対移動可能な可動部と、この可動
部に連結手段を介して連結された駆動手段とが設けられ
た真空装置に対し、可動部と固定部との間に連結手段及
び駆動手段を覆う樹脂製のベローズを設けた。また、請
求項４の発明では、真空室において、可動部を固定部に
対し駆動ベローズを介して連結して、その駆動ベローズ
内の圧力変化により固定部と相対的に移動させる場合
に、その駆動ベローズを樹脂製のものとした。これらの
発明によると、ベローズのクラックの発生や薬品の影響
による腐食を防いで、ベローズの耐久性及び信頼性を高
め、ベローズによる防塵性及び気密性の向上維持を図る
ことができる。さらに、真空室に電気的絶縁処理を施し
てワーク処理を行う場合のベローズの電気的絶縁処理を
不要として処理工数の低減を図るとともに、ベローズの
磁化に伴う真空室の成膜処理への悪影響を防止すること
ができる。

【００８６】請求項５の発明によると、樹脂製ベローズ
に補強部材を埋設したことにより、樹脂製ベローズの強
度を高めて耐久性、信頼性のより一層の向上を図ること
ができる。

【００８７】請求項６の発明によると、樹脂製ベローズ
はフッ素樹脂からなるものとしたことにより、本発明の
効果が有効に発揮されるのに最適な樹脂製のベローズが
得られる。

【００８８】請求項７の発明では、真空容器の開口と略
平行な平面に沿って移動可能な弁板支持体と、この弁板
支持体に支持されて真空容器の開口を開閉する弁板と、
弁板支持体が閉弁位置にあるときに弁板を開閉させる弁
板駆動機構とを備えた真空ゲート弁に対し、弁板支持体
と弁板との間に弁板駆動機構を覆う樹脂製のベローズを
設けた。また、請求項８の発明では、真空容器の開口と
略平行な平面に沿って進退する支持体駆動ロッドと、こ
の支持体駆動ロッドに固定されて移動可能な弁板支持体
と、この弁板支持体に支持され、弁板支持体が閉弁位置
にあるときに真空容器の開口を開閉する弁板とを備えた
真空ゲート弁に対し、支持体駆動ロッドと固定部との間
に、支持体駆動ロッドを覆う樹脂製のベローズを設け
た。さらに、請求項９の発明では、上記支持体駆動ロッ
ド、弁板支持体、弁板及び弁板駆動機構を備えた真空ゲ
ート弁に対し、弁板支持体と弁板との間に弁板駆動機構
を覆う樹脂製の機構収容ベローズを、また支持体駆動ロ
ッドと固定部との間に支持体駆動ロッドを覆う樹脂製の
ロッド収容ベローズをそれぞれ設けた。従って、これら
の発明によれば、真空ゲート弁における弁板駆動機構及
び支持体駆動ロッドからの発塵の拡散をベローズにより
防止できるとともに、ベローズのクラック発生、薬品に
よるベローズの腐食を防いで、ベローズの耐久性や信頼
性の向上を図ることができ、さらには、ベローズの電気
的絶縁処理の不要化、ベローズの磁化による成膜処理へ
の悪影響の防止を図ることができる。

【００８９】請求項１０の発明の真空ゲート弁による
と、真空容器の開口と略平行な平面に沿って移動可能な
弁板支持体と、この弁板支持体に支持されて真空容器の
開口を開閉する弁板と、弁板支持体と弁板との間に連結
され、弁板支持体が閉弁位置にあるときに内部圧力の変
化に伴って弁板を弁板支持体に対し接離させて開閉させ
る樹脂製の弁板駆動ベローズとを設けたことにより、弁
板をベローズの伸縮により駆動するタイプの真空ゲート
弁のベローズについて、請求項７の発明と同様の作用効
果が得られる。

【００９０】請求項１１の発明によると、上記真空ゲー
ト弁における樹脂製ベローズに補強部材を埋設したこと
により、樹脂製ベローズの強度を補強部材により高めて
耐久性、信頼性のより一層の向上を図ることができる。

【００９１】請求項１２の発明によると、真空ゲート弁
における樹脂製ベローズをフッ素樹脂からなるものとし
たことにより、上記請求項７〜１１の発明の効果が有効
に発揮されるのに最適な樹脂製ベローズが得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施形態１に係る真空ゲート弁の閉弁
状態を示す要部拡大側面断面図である。

【図２】真空ゲート弁の弁板が弁箱の前側開口を開いた
状態を示す図１相当図である。

【図３】平行リンク機構の一部を拡大して示す部分破断
平面図である。

【図４】ガイド部材の拡大正面図である。

【図５】真空ゲート弁の全体構成を示す側面図である。

【図６】真空ゲート弁の全体構成を示す正面図である。

【図７】本発明の実施形態１に係る成膜装置及び真空ゲ
ート弁を概略的に示す側面図である。

【図８】本発明の実施形態２に係る真空ゲート弁の閉弁
状態を示す図５相当図である。

【図９】実施形態２に係る真空ゲート弁の開弁状態を示
す図５相当図である。

【図１０】成膜装置の他の実施形態を示す図７相当図で
ある。

【符号の説明】

１ 成膜装置（真空装置） ２ 真空容器 ２ａ 底壁（固定部） ３ 真空室 ８ ワークテーブル（可動部） １０ 昇降ロッド（連結手段） １１ エアシリンダ（駆動手段） １２ 昇降ロッド収容ベローズ １３ 開口 ２０ 真空ゲート弁 ２１ 弁箱（真空容器） ２５，２６ 弁板 ３０ 弁板支持体（固定部） ４２ 平行リンク機構（弁板駆動機構） ５４ 機構収容ベローズ ５６ 支持体駆動ロッド ５７ 弁板駆動ロッド ６０ 筒部（固定部） ７５ 駆動ロッド収容ベローズ ７７ エアシリンダ（駆動手段） ９３ 弁板駆動ベローズ

Claims (12)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 真空室に、固定部に対し連結手段を介し
   て連結されかつ固定部と相対的に移動する可動部が設け
   られた真空装置であって、 上記可動部と固定部との間に上記連結手段を覆う樹脂製
   のベローズが設けられていることを特徴とする真空装
   置。
2. 【請求項２】 真空室に、固定部を移動可能に貫通する
   連結手段を介して真空室外の駆動手段に連結されかつ固
   定部と相対的に移動する可動部が設けられた真空装置で
   あって、 上記可動部と固定部との間に上記真空室内の連結手段を
   覆う樹脂製のベローズが設けられていることを特徴とす
   る真空装置。
3. 【請求項３】 真空室に、固定部に対し相対移動可能な
   可動部と、該可動部に連結手段を介して連結された駆動
   手段とが設けられた真空装置であって、 上記可動部と固定部との間に上記連結手段及び駆動手段
   を覆う樹脂製のベローズが設けられていることを特徴と
   する真空装置。
4. 【請求項４】 真空室に、固定部に対し相対的に移動可
   能な可動部と、該可動部及び固定部の間に連結され、内
   部圧力の変化に応じて可動部を移動させる樹脂製の駆動
   ベローズとが設けられていることを特徴とする真空装
   置。
5. 【請求項５】 請求項１〜４のいずれか１つの真空装置
   において、 樹脂製ベローズに補強部材が埋設されていることを特徴
   とする真空装置。
6. 【請求項６】 請求項１〜５のいずれか１つの真空装置
   において、 樹脂製ベローズは、フッ素樹脂からなることを特徴とす
   る真空装置。
7. 【請求項７】 真空容器の開口と略平行な平面に沿って
   開弁及び閉弁位置間を移動可能な弁板支持体と、 上記弁板支持体に接離可能に支持され、上記真空容器の
   開口を開閉する弁板と、 上記弁板支持体が閉弁位置にあるときに上記弁板を開閉
   させる弁板駆動機構と、 上記弁板支持体と弁板との間に設けられ、上記弁板駆動
   機構を覆う樹脂製のベローズとを備えたことを特徴とす
   る真空ゲート弁。
8. 【請求項８】 真空容器の開口と略平行な平面に沿って
   進退する支持体駆動ロッドと、 上記支持体駆動ロッドに固定されて開弁及び閉弁位置間
   を移動可能な弁板支持体と、 上記弁板支持体に接離可能に支持され、上記弁板支持体
   が閉弁位置にあるときに真空容器の開口を開閉する弁板
   と、 上記支持体駆動ロッドと固定部との間に設けられ、該支
   持体駆動ロッドを覆う樹脂製のベローズとを備えたこと
   を特徴とする真空ゲート弁。
9. 【請求項９】 真空容器の開口と略平行な平面に沿って
   進退する支持体駆動ロッドと、 上記支持体駆動ロッドに固定されて開弁及び閉弁位置間
   を移動可能な弁板支持体と、 上記弁板支持体に接離可能に支持され、上記真空容器の
   開口を開閉する弁板と、 上記弁板支持体が閉弁位置にあるときに上記弁板を開閉
   させる弁板駆動機構と、 上記弁板支持体と弁板との間に設けられ、上記弁板駆動
   機構を覆う樹脂製の機構収容ベローズと、 上記支持体駆動ロッドと固定部との間に設けられ、該支
   持体駆動ロッドを覆う樹脂製のロッド収容ベローズとを
   備えたことを特徴とする真空ゲート弁。
10. 【請求項１０】 真空容器の開口と略平行な平面に沿っ
    て開弁及び閉弁位置間を移動可能な弁板支持体と、 上記弁板支持体に接離可能に支持され、上記真空容器の
    開口を開閉する弁板と、 上記弁板支持体と弁板との間に連結され、弁板支持体が
    閉弁位置にあるときに内部圧力の変化に伴って弁板を弁
    板支持体に対し接離させて開閉させる樹脂製の弁板駆動
    ベローズとを備えたことを特徴とする真空ゲート弁。
11. 【請求項１１】 請求項７〜１０のいずれか１つの真空
    ゲート弁において、 樹脂製ベローズに補強部材が埋設されていることを特徴
    とする真空ゲート弁。
12. 【請求項１２】 請求項７〜１１のいずれか１つの真空
    ゲート弁において、 樹脂製ベローズは、フッ素樹脂からなることを特徴とす
    る真空ゲート弁。