JPH0320182A - 真空バルブ - Google Patents
真空バルブInfo
- Publication number
- JPH0320182A JPH0320182A JP15497589A JP15497589A JPH0320182A JP H0320182 A JPH0320182 A JP H0320182A JP 15497589 A JP15497589 A JP 15497589A JP 15497589 A JP15497589 A JP 15497589A JP H0320182 A JPH0320182 A JP H0320182A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- valve
- vacuum
- valve plate
- ring
- dust
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000428 dust Substances 0.000 claims abstract description 25
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 abstract description 4
- 238000007789 sealing Methods 0.000 abstract description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 2
- 238000007666 vacuum forming Methods 0.000 abstract 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Sliding Valves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
この発明はダストを補集することのできる真空バルブに
関するものである。
関するものである。
(従来の技術)
従来の真空バルブは、第4図に示されるように駆動機(
図示せず)によって作動する弁棒1の先端に固定された
弁板2は、0リング3を介して、弁箱4の開口に着座自
在になっている。
図示せず)によって作動する弁棒1の先端に固定された
弁板2は、0リング3を介して、弁箱4の開口に着座自
在になっている。
したがって、この真空バルブが第5図に示されるように
、貞空戒膜室5と搬送室6との間に配設され、そして、
弁板2が弁箱4の開口に着座して、真空バルブが閉の状
態になっているときに、真空成膜室5で成膜等の処理が
なされると、真空戒膜室5で発生したダスト7が弁板2
方向に飛来し、tr−板2とOリング3との間に第6図
に示されるように付着あるいは堆積することがある。
、貞空戒膜室5と搬送室6との間に配設され、そして、
弁板2が弁箱4の開口に着座して、真空バルブが閉の状
態になっているときに、真空成膜室5で成膜等の処理が
なされると、真空戒膜室5で発生したダスト7が弁板2
方向に飛来し、tr−板2とOリング3との間に第6図
に示されるように付着あるいは堆積することがある。
(発明が解決しようとする課題)
従来の真空バルブは、上記のようにダストが弁板2と0
リング3との間に付着あるいは堆積した場合、真空バル
ブを長時間使用していると、真空バルブの封止状態が劣
化する等の問題があった。
リング3との間に付着あるいは堆積した場合、真空バル
ブを長時間使用していると、真空バルブの封止状態が劣
化する等の問題があった。
この発明の目的は、従来の問題を解決して、ダストが弁
板とOリングとの間に付着あるいは堆積させな<<シて
、封止状態の劣化をなくする真空バルブを提供すること
にある。
板とOリングとの間に付着あるいは堆積させな<<シて
、封止状態の劣化をなくする真空バルブを提供すること
にある。
(課題を達戒するための手段)
上記目的を達成するために、この発明は、上記構成をし
た真空バルブにおいて、弁板のOリング側にダスト浦集
用溝を設けたことを特徴とするものである。
た真空バルブにおいて、弁板のOリング側にダスト浦集
用溝を設けたことを特徴とするものである。
(作用〉
この発明においては、弁板のOリング側にダスト補集用
溝を設けているので、弁板方向に飛来するダストはダス
ト補集用溝に補果されるようになる。そのため、ダスト
は弁板とOリングとの間に付着あるいは堆積しなくなる
。
溝を設けているので、弁板方向に飛来するダストはダス
ト補集用溝に補果されるようになる。そのため、ダスト
は弁板とOリングとの間に付着あるいは堆積しなくなる
。
(実施例)
以下、この発明の実施例について図面を参照しながら説
明する。
明する。
第1図はこの発明の実施例を示しており、同図において
、駆動機(図示せず)によって作動する弁棒1の先端に
固定された弁板2は、Oリング3を介して、弁箱4の開
口に着座自在になっているが、弁板2のOリング3側に
はダスト補集用溝8が設けられている。
、駆動機(図示せず)によって作動する弁棒1の先端に
固定された弁板2は、Oリング3を介して、弁箱4の開
口に着座自在になっているが、弁板2のOリング3側に
はダスト補集用溝8が設けられている。
したがって、第2図に示すようにこの真空バルブを真空
成膜室5と搬送室6との間に配設し、そして、弁板2を
弁箱4の開口に着座させて、真空バルブを閉の状態にし
ているときに、真空成膜室5で成膜等の処理がなされる
と、真空成膜室5で発生したダストが弁板2方向に飛来
するが、そのダストはダスト補集用溝8に補集されるよ
うになる。そのため、ダストが弁板2とOリング3との
間に付着あるいは堆積することがなくなる。
成膜室5と搬送室6との間に配設し、そして、弁板2を
弁箱4の開口に着座させて、真空バルブを閉の状態にし
ているときに、真空成膜室5で成膜等の処理がなされる
と、真空成膜室5で発生したダストが弁板2方向に飛来
するが、そのダストはダスト補集用溝8に補集されるよ
うになる。そのため、ダストが弁板2とOリング3との
間に付着あるいは堆積することがなくなる。
なお、上記実施例は弁板2のOリング3側にダスト補集
用溝8を設けているが、その代りに、第3図に示すよう
に弁板2のOリング3の内側近傍にダスト回り込み防止
用邪魔板9を設けてもよい。
用溝8を設けているが、その代りに、第3図に示すよう
に弁板2のOリング3の内側近傍にダスト回り込み防止
用邪魔板9を設けてもよい。
(発明の効果)
この発明は、上記のように弁板のOリング側にダスト補
集用溝を設けているので、弁板方向に飛来するダストは
ダスト補集用溝に補果されるようになる。そのため、ダ
ストは弁板とOリングとの間に付着あるいは堆積しなく
なるから、真空バルブを長時間使用しても、真空バルブ
の封止状態が劣化しなくなる。
集用溝を設けているので、弁板方向に飛来するダストは
ダスト補集用溝に補果されるようになる。そのため、ダ
ストは弁板とOリングとの間に付着あるいは堆積しなく
なるから、真空バルブを長時間使用しても、真空バルブ
の封止状態が劣化しなくなる。
第1図はこの発明の実施例を示す説明図、第2図はこの
発明の実施例の真空バルブを真空或膜室と搬送室との間
に配設した説明図、第3図はこの発明の変形例を示して
いる。第4図は従来の真空バルブを示す説明図、第5図
は従来の真空バルブを真空成膜室と搬送室との間に配設
した説明図、第6図は従来の真空バルブにおいてダスト
が弁板と0リングとの間に付着あるいは堆積した状態を
示す説明図である。 図中、 2・・・・・弁板 3・・・・・0リング 4・・・・・弁箱 7・・・・・ダスト補集用溝 なお、図中、同一符号は同一または相当部分を示してい
る。 第1図
発明の実施例の真空バルブを真空或膜室と搬送室との間
に配設した説明図、第3図はこの発明の変形例を示して
いる。第4図は従来の真空バルブを示す説明図、第5図
は従来の真空バルブを真空成膜室と搬送室との間に配設
した説明図、第6図は従来の真空バルブにおいてダスト
が弁板と0リングとの間に付着あるいは堆積した状態を
示す説明図である。 図中、 2・・・・・弁板 3・・・・・0リング 4・・・・・弁箱 7・・・・・ダスト補集用溝 なお、図中、同一符号は同一または相当部分を示してい
る。 第1図
Claims (1)
- 1、Oリングを介して、弁板を弁箱の開口に着座させる
真空バルブにおいて、上記弁板のOリング側にダスト補
集用溝を設けたことを特徴とする真空バルブ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15497589A JPH0320182A (ja) | 1989-06-17 | 1989-06-17 | 真空バルブ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15497589A JPH0320182A (ja) | 1989-06-17 | 1989-06-17 | 真空バルブ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0320182A true JPH0320182A (ja) | 1991-01-29 |
Family
ID=15595974
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP15497589A Pending JPH0320182A (ja) | 1989-06-17 | 1989-06-17 | 真空バルブ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0320182A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002039402A (ja) * | 2000-07-31 | 2002-02-06 | Shin Meiwa Ind Co Ltd | 真空ゲート弁 |
-
1989
- 1989-06-17 JP JP15497589A patent/JPH0320182A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002039402A (ja) * | 2000-07-31 | 2002-02-06 | Shin Meiwa Ind Co Ltd | 真空ゲート弁 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CA2030102A1 (en) | Method and apparatus for removing solid particulates from a fluid stream | |
EP0803654A3 (en) | Manifold and valve assembly and filter/gasket therefor | |
EP0999723A3 (en) | Piezoelectric speaker, method for producing the same, and speaker system including the same | |
CA2182209A1 (en) | Improved method for sealing the edge of a filter medium to a filter assembly and the filter assembly produced thereby | |
EP1016443A3 (en) | Process of making hermetically sealed filter units and filters made thereby | |
CA2209489A1 (en) | Filter element | |
EP1139385A3 (en) | Scanning electron microscope | |
CA2087316A1 (en) | An apparatus for filtering solid particles from a fluid | |
EP0782179A3 (en) | Method of manufacturing semiconductor mirror wafers | |
MX9306823A (es) | Bolsa de filtro de polvo para aspiradora. | |
ATE150161T1 (de) | Adapter für ein sorptionssystem und sorptionsverfahren unter verwendung dieses adapters | |
JPH0320182A (ja) | 真空バルブ | |
CA2247123A1 (en) | Separation device having abutment rings as an outer cover | |
IT208247Z2 (it) | Gruppo di aspirazione dell aria per veicoli industriali | |
JPS60248876A (ja) | スパツタ装置 | |
CA2113099A1 (en) | Differentiation of htlv-i and htlv-ii using synthetic peptides | |
AU639676B2 (en) | Air brake with integral spring chamber | |
DE59003245D1 (de) | Elastische Tülle. | |
EP1070952A3 (en) | Method and means for particle measurement | |
EP0765628A3 (en) | Dust container for a vacuum cleaner | |
JP2582958Y2 (ja) | エアクリーナーのシール構造 | |
WO2004049885A3 (en) | Fine particle separation from pelletized-granular media | |
FI893732A (fi) | Centraldammsugarens centralenhet. | |
JPH08282322A (ja) | ハブクラッチ | |
KR20040031252A (ko) | 이물질 차단용 플렉시블 더스트커버 |