JPH0320182A - 真空バルブ - Google Patents

真空バルブ

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Publication number
JPH0320182A
JPH0320182A JP15497589A JP15497589A JPH0320182A JP H0320182 A JPH0320182 A JP H0320182A JP 15497589 A JP15497589 A JP 15497589A JP 15497589 A JP15497589 A JP 15497589A JP H0320182 A JPH0320182 A JP H0320182A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
valve
vacuum
valve plate
ring
dust
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP15497589A
Other languages
English (en)
Inventor
Hiroyuki Fukazawa
深沢 博之
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ulvac Inc
Original Assignee
Ulvac Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ulvac Inc filed Critical Ulvac Inc
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Publication of JPH0320182A publication Critical patent/JPH0320182A/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) この発明はダストを補集することのできる真空バルブに
関するものである。
(従来の技術) 従来の真空バルブは、第4図に示されるように駆動機(
図示せず)によって作動する弁棒1の先端に固定された
弁板2は、0リング3を介して、弁箱4の開口に着座自
在になっている。
したがって、この真空バルブが第5図に示されるように
、貞空戒膜室5と搬送室6との間に配設され、そして、
弁板2が弁箱4の開口に着座して、真空バルブが閉の状
態になっているときに、真空成膜室5で成膜等の処理が
なされると、真空戒膜室5で発生したダスト7が弁板2
方向に飛来し、tr−板2とOリング3との間に第6図
に示されるように付着あるいは堆積することがある。
(発明が解決しようとする課題) 従来の真空バルブは、上記のようにダストが弁板2と0
リング3との間に付着あるいは堆積した場合、真空バル
ブを長時間使用していると、真空バルブの封止状態が劣
化する等の問題があった。
この発明の目的は、従来の問題を解決して、ダストが弁
板とOリングとの間に付着あるいは堆積させな<<シて
、封止状態の劣化をなくする真空バルブを提供すること
にある。
(課題を達戒するための手段) 上記目的を達成するために、この発明は、上記構成をし
た真空バルブにおいて、弁板のOリング側にダスト浦集
用溝を設けたことを特徴とするものである。
(作用〉 この発明においては、弁板のOリング側にダスト補集用
溝を設けているので、弁板方向に飛来するダストはダス
ト補集用溝に補果されるようになる。そのため、ダスト
は弁板とOリングとの間に付着あるいは堆積しなくなる
(実施例) 以下、この発明の実施例について図面を参照しながら説
明する。
第1図はこの発明の実施例を示しており、同図において
、駆動機(図示せず)によって作動する弁棒1の先端に
固定された弁板2は、Oリング3を介して、弁箱4の開
口に着座自在になっているが、弁板2のOリング3側に
はダスト補集用溝8が設けられている。
したがって、第2図に示すようにこの真空バルブを真空
成膜室5と搬送室6との間に配設し、そして、弁板2を
弁箱4の開口に着座させて、真空バルブを閉の状態にし
ているときに、真空成膜室5で成膜等の処理がなされる
と、真空成膜室5で発生したダストが弁板2方向に飛来
するが、そのダストはダスト補集用溝8に補集されるよ
うになる。そのため、ダストが弁板2とOリング3との
間に付着あるいは堆積することがなくなる。
なお、上記実施例は弁板2のOリング3側にダスト補集
用溝8を設けているが、その代りに、第3図に示すよう
に弁板2のOリング3の内側近傍にダスト回り込み防止
用邪魔板9を設けてもよい。
(発明の効果) この発明は、上記のように弁板のOリング側にダスト補
集用溝を設けているので、弁板方向に飛来するダストは
ダスト補集用溝に補果されるようになる。そのため、ダ
ストは弁板とOリングとの間に付着あるいは堆積しなく
なるから、真空バルブを長時間使用しても、真空バルブ
の封止状態が劣化しなくなる。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明の実施例を示す説明図、第2図はこの
発明の実施例の真空バルブを真空或膜室と搬送室との間
に配設した説明図、第3図はこの発明の変形例を示して
いる。第4図は従来の真空バルブを示す説明図、第5図
は従来の真空バルブを真空成膜室と搬送室との間に配設
した説明図、第6図は従来の真空バルブにおいてダスト
が弁板と0リングとの間に付着あるいは堆積した状態を
示す説明図である。 図中、 2・・・・・弁板 3・・・・・0リング 4・・・・・弁箱 7・・・・・ダスト補集用溝 なお、図中、同一符号は同一または相当部分を示してい
る。 第1図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1、Oリングを介して、弁板を弁箱の開口に着座させる
    真空バルブにおいて、上記弁板のOリング側にダスト補
    集用溝を設けたことを特徴とする真空バルブ。
JP15497589A 1989-06-17 1989-06-17 真空バルブ Pending JPH0320182A (ja)

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JP15497589A JPH0320182A (ja) 1989-06-17 1989-06-17 真空バルブ

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JPH0320182A true JPH0320182A (ja) 1991-01-29

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002039402A (ja) * 2000-07-31 2002-02-06 Shin Meiwa Ind Co Ltd 真空ゲート弁

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002039402A (ja) * 2000-07-31 2002-02-06 Shin Meiwa Ind Co Ltd 真空ゲート弁

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