JP2001270691A - 物体移送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 真空容器１の蓋板３内面に上下方向のガイド
レール２８，２８を設け、このガイドレール２８，２８
上で物体移送用の移動体３３を案内して移動させる場合
に、真空容器１の内外部間の圧力差により蓋板３が撓ん
だとしてもガイドレール２８，２８は撓み難くし、移動
体３３のスムーズな移動の確保等を図る。 【解決手段】 蓋板３の内面に中間板８を上下２つの位
置決め用軸１９，２０にて位置決めした状態で、隅角部
にて４つの支持ボルト９，９，…により接離可能に支持
し、この中間板８にガイドレール２８，２８を取付固定
する。圧力差により撓んだ蓋板３の変形を中間板８に伝
え難くして、中間板８及びガイドレール２８，２８の変
形を抑える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、物体を移動体によ
り移送する物体移送装置に関し、特に、その移動体をガ
イドレールにより案内して移動させるようにしたものに
関する技術分野に属する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、この種ガイドレールを使用す
る物体移送装置として、特開平８―３３３６８２号公報
等に示されるように、使用時に真空状態となる蒸着装置
における真空チャンバの内側壁にガイドレールを配置
し、このガイドレールにより移動体をガイドしながら物
体を上下方向に搬送するようにしたものは知られてい
る。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところで、このように
真空容器の内部にガイドレールを設けるに当たり、通
常、そのガイドレールを容器内壁に直接に取付固定する
構造が一般的に採用される。

【０００４】しかし、その場合、真空容器の内壁は内外
の圧力差により内壁中央部を容器内側に向かって膨出さ
せるように撓むので、その撓み変形する内壁に取付固定
されているガイドレールも撓んでしまい、その結果、ガ
イドレールと移動体側のガイド部との間のクリアランス
が許容量以上に変化して、移動体のスムーズな移動が損
なわれ、或いはガイド部の寿命が短くなるという問題が
あった。

【０００５】特に、上記問題は、ガイド部とガイドレー
ルとの間の摺接部分に固体潤滑剤が使用される場合に顕
著となる。すなわち、一般にガイドレールのガイド部に
はグリース等の液体の潤滑剤が使用される。しかし、こ
の液体潤滑剤を真空容器内で用いると、その液体潤滑剤
が真空中に蒸発して、その蒸発した潤滑剤が対象とする
製品に付着する等の問題が生じることから、真空中のガ
イドレールのガイド部に固体潤滑剤が使用される。そし
て、上記液体潤滑剤を用いると、ガイド部でのガイドレ
ールの撓みに対する許容が大きく、ガイドレールが若干
撓んでいても移動体のスライド移動にさほど支障は生じ
ないが、固体潤滑剤の場合、ガイド部のガイドレールに
対する撓みの許容量が小さいので、スムースな移動が損
なわれるのである。

【０００６】本発明は斯かる諸点に鑑みてなされたもの
であり、その目的とするところは、容器の内壁に設けら
れるガイドレールの取付構造を改良することで、その内
壁が撓んだとしてもガイドレールは撓み難くして、ガイ
ドレール上での移動体のスムーズな移動の確保等を図る
ことにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成すべ
く、この発明では、容器の内壁にガイドレールを直接に
取り付けるのではなく、内壁に中間部材を内壁の撓みを
吸収するように位置決め支持して、その中間部材にガイ
ドレールを取付固定するようにした。

【０００８】具体的には、請求項１の発明では、内外部
間に圧力差を有する容器の内壁に設けられたガイドレー
ルと、該ガイドレールに案内されながら移動して物体を
移送する移動体とを備えた物体移動装置を前提とする。
そして、上記容器の内壁に中間部材が位置決めされた状
態で接離可能に支持され、この中間部材に上記ガイドレ
ールが取付固定されている構成とする。

【０００９】上記の構成により、容器の内壁に中間部材
が位置決めされて接離可能に支持されているので、容器
の内外部間の圧力差により容器内壁が撓んだとしても、
その内壁に対し中間部材が接離するのみとなって、内壁
の変形が中間部材に伝わらず、中間部材が内壁の変形を
受け難くなってその撓み変形が抑えられる。従って、こ
の中間部材に取付固定されているガイドレールについて
も変形し難くなり、ガイドレール上での移動体のスムー
ズな移動が確保され、ガイド部の寿命を延ばすことがで
きる。

【００１０】請求項２の発明では、上記中間部材は容器
の内壁に複数本の位置決め用軸により位置決めされてお
り、その１本の位置決め用軸は、中間部材が容器の内壁
に対し接離する動きを許容する一方、残りの位置決め用
軸は、中間部材がガイドレールの長さ方向へ動く動きを
も許容するものとする。

【００１１】こうすると、容器内壁が撓み変形したと
き、中間部材が容器内壁に対し接離する方向の動きは１
本の位置決め用軸により、また中間部材のガイドレール
長さ方向への動きは残りの位置決め用軸によりそれぞれ
許容されるので、内壁の２つの方向の撓み変形がそれぞ
れ位置決め用軸によって効果的に吸収されるようにな
り、容器内壁の変形の中間部材への伝達によるガイドレ
ールの変形を確実に抑制することができる。

【００１２】請求項３の発明では、中間部材が支持され
る内壁は、容器の開口部にシール部材を介して着脱可能
に取り付けられる蓋板とする。このことで、蓋板が容器
内外部の圧力差により撓み易い構造であっても、その内
面に設けられるガイドレールの撓み変形を可及的に抑え
ることができる。

【００１３】請求項４の発明では、容器は真空容器であ
り、ガイドレールと移動体との間の潤滑剤として固体潤
滑剤が用いられているものとする。こうすれば、真空容
器の内部において、その内壁のガイドレールと移動体と
の間を固体潤滑剤で潤滑する場合であっても、移動体を
スムーズに移動させることができるようになる。

【００１４】

【発明の実施の形態】図１及び図２において、１は本発
明の実施形態に係る真空容器で、その内部は真空状態に
保たれており、このことで真空容器は内外部間に圧力差
を有する。

【００１５】上記真空容器１の側壁には矩形状の開口部
２が開けられ、この開口部２には蓋板３が容器１外側か
らシール部材４を介して着脱可能に取り付けられてい
る。すなわち、図３にも示すように、蓋板３の内面周縁
部にはその全体に亘ってシール収容溝５が略ループ状に
形成され、このシール収容溝５にシール部材４が嵌め込
まれている。また、シール収容溝５外側の蓋板３外周縁
部には取付ボルトを挿通させる複数のボルト孔（いずれ
も図示せず）が貫通形成されており、蓋板３を容器１側
壁の外面に当接させて、各ボルト孔に挿通させた取付ボ
ルトをそれぞれ開口部２周縁のねじ孔（図示せず）に螺
合締結することで、蓋板３を容器１の側壁外面に取付固
定し、その蓋板３のシール部材４を開口部２周りの側壁
外面に圧接させてシールするようにしている。

【００１６】上記蓋板３の内面の左右方向中央部には中
間板８（中間部材）が上下２本の位置決め用軸１９，２
０によって位置決めされた状態で接離可能に支持されて
いる。この中間板８は縦長の板材からなり、その上縁部
がシール収容溝５の上側部と略同じ高さ位置でかつ下縁
部がシール収容溝５の下側部よりも高くなるように配置
され、この中間板８の下縁部とシール収容溝５の下側部
との間の蓋板３には左右１対の軸受孔６，６が貫通形成
されている。

【００１７】上記中間板８は上下左右の隅角部の４箇所
にて蓋板３内面に支持ボルト９，９，…を介して支持さ
れている。これら４箇所での支持ボルト９による支持構
造はいずれも同じであり、図４に拡大詳示するように、
蓋板３の内面には支持ボルト９の先端部が螺合される有
底のねじ穴１０が開けられている一方、中間板８には支
持ボルト９（ねじ穴１０）よりも大径のボルト挿通孔１
１が貫通形成されている。また、中間板８の背面（蓋板
３との対向面）においてボルト挿通孔１１周りには円形
の段差凹部１２が同心状に形成されている。１４は上記
ボルト挿通孔１１に若干の隙間をあけて挿通可能なスリ
ーブである。このスリーブ１４の一端部には上記中間板
８の段差凹部１２に嵌合される外向きのフランジ１４ａ
が形成され、このフランジ１４ａの厚さは段差凹部１２
の深さよりも大きく設定されている。１７は支持ボルト
９に挿通されるワッシャで、中間板８のボルト挿通孔１
１よりも大きい外径を有する。そして、中間板８のボル
ト挿通孔１１にスリーブ１４を嵌合させた状態で、ワッ
シャ１７を挿通した支持ボルト９を中間板８の表面側か
らスリーブ１４に差し込み、その支持ボルト９の先端部
を蓋板３のねじ穴１０に螺合させることで、ワッシャ１
７と蓋板３内面との間でスリーブ１４をそのフランジ１
４ａにより中間板８の背面が蓋板３内面から所定距離だ
け離れた（浮いた）状態で固定しており、このような支
持ボルト９による支持構造により中間板８が蓋板３の内
面に接離可能に支持されている。

【００１８】上記上下の位置決め用軸１９，２０は中間
板８（蓋板３）の左右中央部に上下方向に対応して配置
されている。図２に示すように、位置決め用軸１９，２
０は円柱状の摺接部２１と、この摺接部２１から先端側
に同心に延びるねじ部２２とからなり、このねじ部２２
を蓋板３の内面に形成したねじ穴２３に螺合締結するこ
とで、位置決め用軸１９，２０が蓋板３に固定されてい
る。一方、中間板８には上下の位置決め用軸１９，２０
の各摺接部２１をそれぞれ摺動可能に嵌挿する軸挿通孔
２４，２５が貫通形成されている。この上下の軸挿通孔
２４，２５の形状は異なり、上側の軸挿通孔２４は円形
状で、上側位置決め用軸１９の摺接部２１を軸心方向に
摺動可能に嵌挿しているが、下側の軸挿通孔２５は上下
方向に長い長円形状で、下側位置決め用軸２０の摺接部
２１を軸心方向及び上下方向に摺動可能に嵌挿してい
る。このことで、上側の位置決め用軸１９は、中間板８
が容器１の内壁に対し接離する前後方向の動きを許容す
る一方、下側の位置決め用軸２０は、中間板８が後述す
るガイドレール２８の長さ方向である上下方向へ動く動
きをも許容するようにしている。

【００１９】そして、上記中間板８の表面において左右
の支持ボルト９，９及び位置決め用軸１９，２０の間に
はそれぞれ本発明の実施形態に係る物体移送装置の一部
を構成する左右１対のガイドレール２８，２８が複数の
ボルト２９，２９，…により取付固定されている。尚、
この各ボルト２９は、各ガイドレール２８を貫通して先
端部が中間板８に螺合されている。

【００２０】上記左右のガイドレール２８，２８にはそ
れぞれ上下１対のガイド部３１，３１，…が上下方向に
スライド移動可能に係止状態で支持され、これら４つの
ガイド部３１，３１，…間に亘って移動体３３が掛け渡
されて取付固定されている。上記各ガイド部３１はＬＭ
ガイド（商品名）と呼ばれる公知のもので、内抱するボ
ール（図示せず）をガイドレール２８上で転動させなが
らスライド移動する。この各ガイド部３１とガイドレー
ル２８との間の潤滑剤として例えばＭｏＳ₂（二硫化モ
リブデン）等の固体潤滑剤が用いられており、この固体
潤滑剤は各ガイド部３１のボールやガイドレール２８等
の表面に塗布や焼付け等により被膜として形成されてい
る。

【００２１】上記移動体３３は、ガイド部３１，３１，
…間に亘って架設されて一体的に固定された矩形板状の
基台３４と、この基台３４の表面（容器１の内側）に突
設された略Ｌ字状の左右１対の支持アーム部３５，３５
と、これら左右の支持アーム部３５，３５の上面間に載
置固定された略円弧板形状の支持台３６とを備えてな
り、この支持台３６上に、図外の多数枚の基板を多段に
積み重ねて載置するための基板載置台（図示せず）を載
せて上下方向に移送するようにしている。そして、上記
基板載置台は、移動体３３が上昇端位置又は下降端位置
の一方にあるときに図外の移載手段（例えば真空ロボッ
ト）から移動体３３の支持台３６に移載され、移動体３
３が移動して上昇端位置又は下降端位置の他方に停止す
ると、図外の別の移載手段により移動体３３の支持台３
６から降ろされる。

【００２２】上記移動体３３を昇降駆動するための駆動
機構について図１により概略的に説明するに、上記蓋板
３下部の左右の軸受孔６，６の各々には駆動軸４１を回
転可能に支持せしめた軸受部４０が気密状に挿通されて
固定されている。各軸受部４０における駆動軸４１の内
端部は容器１の内部に、また外端部は容器１外にそれぞ
れ延び、上記駆動軸４１の内端部には第１アーム４２の
基端部が回転一体に固定され、この第１アーム４２の先
端部には軸４３を介して第２アーム４４の基端部が揺動
可能に連結され、この第２アーム４４の先端部は、上記
移動体３３における基台３４の左右下端部に取り付けた
連結部３４ａに軸４５を介して揺動可能に連結されてい
る。

【００２３】一方、蓋板３の外面には上下方向の軸心を
有するシリンダ４６がピストンロッド４６ａを下向きに
して取付固定され、このピストンロッド４６ａの下端部
（先端部）には左右１対の第１レバー４８，４８（一方
のみ図示する）の先端部が軸４７を介して揺動可能に支
持され、この各第１レバー４８の基端部には軸４９を介
して第２レバー５０の先端部が揺動可能に連結され、こ
の各第２レバー５０の基端部は上記各駆動軸４１の外端
部に回転一体に固定されており、シリンダ４６の伸縮作
動により第１及び第２の両レバー４８，５０をリンク動
作させて駆動軸４１を回動させるとともに、この駆動軸
４１の回動により第１及び第２アーム４２，４４をリン
ク動作させて移動体３３を昇降させ、例えばシリンダ４
６を伸長させたときには移動体３３を下降移動させる一
方、シリンダ４６を収縮させたときには移動体３３を上
昇移動させるようにしている。

【００２４】次に、上記実施形態の物体移送装置の動作
について説明する。真空容器１の側壁を構成する蓋板３
の外面に固定されているシリンダ４６を伸縮作動させる
と、それに伴い真空容器１外部の左右の第１及び第２の
両レバー４８，５０がリンク動作して各駆動軸４１が回
動し、この駆動軸４１の回動により容器１内部の第１及
び第２アーム４２，４４がリンク動作して、移動体３３
が４つのガイド部３１，３１，…にて左右のガイドレー
ル２８，２８に沿ってガイドされながら上昇端位置及び
下降端位置の間をスライド移動する。そして、例えば移
動体３３が上昇端位置又は下降端位置の一方にあるとき
に、移動体３３の支持台３６に移載手段から基板載置台
が移載され、その状態から移動体３３が移動して上昇端
位置又は下降端位置の他方に停止すると、別の移載手段
により上記移動体３３の支持台３６から基板載置台が降
ろされる。このようにして移動体３３により基板載置台
が移送されると、空になった移動体３３が、上記と同様
にして４つのガイド部３１，３１，…にて左右のガイド
レール２８，２８に沿ってガイドされながら逆方向にス
ライド移動して元の位置に戻り、以後、同様の動作が繰
り返される。

【００２５】そのとき、上記蓋板３内面に中間板８が支
持ボルト９，９，…による支持構造により接離可能に支
持され、この中間板８上に上記左右のガイドレール２
８，２８がボルト２９，２９，…により取付固定されて
いるので、真空容器１の内外部間の圧力差により蓋板３
がその中央部を周縁部よりも容器１内側に膨出させるよ
うに撓んだとしても、その蓋板３の撓み変形に対し中間
板８が接離するのみとなり、蓋板３の変形は中間板８に
伝わらず、中間板８が蓋板３の変形を受け難くなってそ
の撓み変形が抑えられ、この中間板８に取付固定されて
いるガイドレール２８，２８についても変形し難くな
る。その結果、真空容器１の内部において、各ガイドレ
ール２８と移動体３３側の各ガイド部３１との間を固体
潤滑剤で潤滑する場合であっても、各ガイドレール２８
上でのガイド部３１、つまり移動体３３のスムーズな移
動を確保して作動信頼性を高めることができるととも
に、各ガイド部３１の寿命をも延ばすことができる。

【００２６】また、上記中間板８は蓋板３の内面に上下
２本の位置決め用軸１９，２０により位置決めされてお
り、上記のように真空容器１の内外部間の圧力差により
蓋板３が撓み変形したとき、中間板８が容器１内壁に対
し接離する前後方向の動きは上記位置決め用軸１９，２
０により、また中間板８のガイドレール２８の長さ方向
に沿った上下方向への動きは下側の位置決め用軸２０に
よりそれぞれ許容される。このため、蓋板３の前後方向
及び上下方向の２つの方向の撓み変形がそれぞれ位置決
め用軸１９，２０によって効果的に吸収されるようにな
り、蓋板３の変形の中間板８への伝達によるガイドレー
ル２８の変形を確実に抑制することができる。

【００２７】尚、上記実施形態では、ガイドレール２
８，２８を取付固定するための部材として板状の中間板
８を用いているが、この中間板８の代わりに枠部材等の
他の構造のものを用いてもよい。また、上記実施形態で
は、蓋板３の内面にガイドレール２８を設けている構造
であるが、本発明はその他、容器の蓋板以外の側壁や、
底壁、天井壁にガイドレールを設ける場合にも適用で
き、容器の内壁であればよい。さらに、上記実施形態で
は、真空容器１内の物体移送装置であるが、本発明は、
内外部間に圧力差を有する容器内で物体を移送する装置
であれば適用することができる。

【００２８】

【発明の効果】以上説明した如く、請求項１の発明によ
ると、内外部間の圧力差がある容器の内壁にガイドレー
ルを設け、このガイドレール上で物体移送用の移動体を
案内して移動させるようにした物体移動装置に対し、容
器の内壁に中間部材を位置決めして接離可能に支持し、
この中間部材にガイドレールを取付固定したことによ
り、容器の内外部間の圧力差により生じた容器内壁の変
形を中間部材に伝え難くして、中間部材及びガイドレー
ルの変形を抑えることができ、移動体のスムーズな移動
の確保やガイド部の長寿命化等を図ることができる。

【００２９】請求項２の発明によれば、中間部材の位置
決めのための位置決め用軸を複数本設けて、１本の位置
決め用軸により中間部材の容器内壁に対する接離方向の
動きを、また残りの位置決め用軸により中間部材のガイ
ドレール長さ方向への動きをそれぞれ許容するようにし
たことにより、内壁の２つの方向の撓み変形をそれぞれ
位置決め用軸によって効果的に吸収して、容器内壁の変
形の中間部材への伝達によるガイドレールの変形を確実
に抑制することができる。

【００３０】請求項３の発明によれば、中間部材を支持
する内壁は、容器開口部にシール部材を介して着脱可能
に取り付けられる蓋板としたことにより、蓋板が容器内
外部の圧力差により撓み易い構造であっても、その内面
に設けられるガイドレールの撓み変形を可及的に抑える
ことができる。

【００３１】請求項４の発明によると、容器を真空容器
とし、ガイドレールと移動体との間を固体潤滑剤で潤滑
するようにしたことにより、真空容器の内壁のガイドレ
ールと移動体との間を固体潤滑剤で潤滑する場合であっ
ても、移動体をスムーズに移動させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施形態に係る真空容器の開口部周縁
の構造を示す断面図である。

【図２】蓋板の平面図である。

【図３】蓋板の正面図である。

【図４】中間板を蓋板に支持する支持構造を拡大して示
す断面図である。

【符号の説明】

１ 真空容器 ２ 開口部 ３ 蓋板（内壁） ４ シール部材 ８ 中間板（中間部材） ９ 支持ボルト １４ スリーブ １９，２０ 位置決め用軸 ２１ 摺接部 ２４，２５ 軸挿通孔 ３１ ガイド部 ３３ 移動体 ４１ 駆動軸 ４６ シリンダ

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 内外部間に圧力差を有する容器の内壁に
   設けられたガイドレールと、該ガイドレールに案内され
   ながら移動して物体を移送する移動体とを備えた物体移
   動装置において、 上記容器の内壁に中間部材が位置決めされた状態で接離
   可能に支持され、 上記中間部材に上記ガイドレールが取付固定されている
   ことを特徴とする物体移送装置。
2. 【請求項２】 請求項１の物体移送装置において、 中間部材は容器の内壁に複数本の位置決め用軸により位
   置決めされており、 上記１本の位置決め用軸は、中間部材が容器の内壁に対
   し接離する動きを許容する一方、 残りの位置決め用軸は、中間部材がガイドレールの長さ
   方向へ動く動きをも許容するものとされていることを特
   徴とする物体移送装置。
3. 【請求項３】 請求項１又は２の物体移送装置におい
   て、 中間部材が支持される内壁は、容器の開口部にシール部
   材を介して着脱可能に取り付けられる蓋板であることを
   特徴とする物体移送装置。
4. 【請求項４】 請求項１〜３のいずれか１つの物体移送
   装置において、 容器は真空容器であり、 ガイドレールと移動体との間の潤滑剤として固体潤滑剤
   が用いられていることを特徴とする物体移送装置。