JPH0627768U - 搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 磁気による浮上作用を利用し、薄肉断面完全
円形の筒状隔壁と、断面完全円形の筒状浮上体を用いる
ことにより、高剛性、小型、低消費電力の搬送装置を提
供する。 【構成】 真空チャンバ内に、断面円形の筒状隔壁１を
介して、外側（真空側）に完全筒状に形成された浮上体
３を有し、この浮上体３の移動により、真空チャンバ内
の物品を搬送する。浮上体３は、筒状隔壁１の内側に配
置された搬送機本体４の電磁石１０、１１により磁気的
に浮上し、そして搬送機本体４の往復移動に追従して磁
気結合により浮上体３が往復移動する。 【効果】 筒状隔壁１を均一薄肉完全円筒としたため、
製造が容易で強度が高く、小型化が可能となり、また励
磁電流の低減も実現できる。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

この考案は、半導体集積回路などの、電子デバイスの製造のためのＣＶＤ装置 、エッチング装置、スパッタ装置等や、検査装置等における複数の真空容器間で の物品の搬送に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】

従来、この種の搬送装置は、真空チャンバ内に断面四角形の筒状隔壁あるいは 、図３に示すように断面円形の厚肉部と薄肉部が共存する筒状隔壁１を有し、隔 壁の内周面側１ａは大気の状態が保持されている。また、上記隔壁の外周面側１ ｂには搬送棒を有する浮上体３が配置されている。一方、隔壁の内周面側には搬 送機本体４が設けられており、搬送機本体はその外周部４ａに磁気軸受部を有し 、かつ隔壁の両端間を往復移動するように構成されている。なお、磁気軸受部は 複数の電磁石１０、１１及びセンサ部を備え、センサ部は浮上体の浮上位置を検 出する。一方、各電磁石はセンサ部から出力される検出値をもとに励磁される。 これにより、磁気が隔壁を介して浮上体に作用し、かつ浮上体を支持している。 このように、上記のような搬送装置は、予め磁気軸受部で浮上体を支持しておき 、その後、搬送機本体を往復移動せしめると、この動きに追従して磁気結合され た浮上体が往復移動する。その結果、浮上体の搬送棒が物品を搬送するように構 成されている。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

しかし、このような従来の搬送装置にあっては、隔壁が断面四角形の筒状に形 成されている場合は、隔壁の外周面側と内周面側との大気真空の圧力差により隔 壁の変形が生じる。また、上記のような変形は、隔壁の肉厚を厚く形成すれば防 止できるが、このように形成した場合は、電磁石から隔壁を介して浮上体に作用 する磁力が弱まるため、電磁石の励磁電流を増大する必要があり、これにより装 置の消費電力が増加するとともに、装置全体が発熱するという不具合が生じる。 一方、上記のような断面四角形の筒状隔壁に代えて断面円形の筒状隔壁を有する 装置では、電磁石と対向する隔壁の肉厚を薄くし、対向しない部分を厚くし、低 消費電力及び発熱防止を図ることができるが、このように肉厚の変化のある断面 円形の筒状隔壁は、製造が困難で、かつ隔壁下部に支持部１５、１６を設けるた めに装置高さ方向形状が大きくなり、また浮上体は下部に開口部があり、剛性が 弱くなるため、剛性を高めようとすると大型重量物となり、さらに励磁電流を増 大させなければならない等の問題点があった。

【０００４】 本考案は上述の事情に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、装置 に有する隔壁を均一薄肉完全円形とし、かつ浮上体の断面を完全円形とすること により、装置の発熱防止、低消費電力、小型化及び高剛性を図ることができる。

【０００５】

【課題を解決するための手段】

上記目的を達成するために、本考案は、断面円形の筒状隔壁と、この隔壁の外 周面側に位置し、かつ搬送棒を有する浮上体と、上記隔壁の内周面側に位置しか つ隔壁の両端間を往復移動可能な搬送機本体と、この搬送機本体の外周面側に一 体に設置された電磁石及びセンサ部を有し、かつ電磁石により浮上体を支持する 磁気軸受部と、上記磁気軸受部の電磁石及びセンサ部に対向する浮上体に形成さ れたターゲットとを備える装置において、上記磁気軸受部の電磁石及びセンサ部 に対向する厚さの均一な断面完全円形の薄肉筒状隔壁と、上記隔壁が対向する断 面完全円形の筒状浮上体を設ける構成とした。

【０００６】

【作用】

このように構成した本考案による搬送装置においては、電磁石の磁力が薄肉の 隔壁を介して断面円形の浮上体のターゲットに作用する。このため、浮上体の剛 性が高まり軽量小型化されるとともに、少量の励磁電流で浮上体を支持できる。

【０００７】

【実施例】

以下に本考案の実施例を図面に基づいて説明する。図１は本考案の隔壁部の断 面図、図２は本考案の正面断面図である。 この搬送装置は図１に示すように真空チャンバ内に断面円形の筒状隔壁１を有 し、隔壁１の内周面１ａ側は大気の状態が保たれている。また隔壁１の外周面１ ｂ側には物品１７を搬送する搬送棒２（図２参照）を有する浮上体３が設けられ ており、浮上体３は隔壁１の外径よりやや大きな完全筒状に形成され、かつその 内周面３ａが隔壁１の外周面１ｂに臨むように設置されている。一方、隔壁１の 内周面１ａ側には搬送機本体４が設置されており、搬送機本体４の内径よりもや や小さな円柱状に形成され、かつその外周面４ａが隔壁１の内周面１ａに臨むよ うに設置されている。また、上記搬送機本体４はガイドレール５に沿って往復移 動可能に取りつけられており、ガイドレール５は搬送機本体４の開口部６を貫通 して隔壁１の両端間に横架されている（図２参照）。

【０００８】 即ち、搬送機本体４はガイドレール５に沿って隔壁１の両端間を往復移動でき るように構成されている。さらに、搬送機本体４の開口部６にはリニアモータコ イル７を有し、このリニアモータコイル７に対面するガイドレール５にはモータ ２次導体を備え、これらのリニアモータコイル７及びモータ２次導体８により、 上記搬送機本体４はガイドレール５に沿って移動するように構成せれている。ま た、上記搬送機本体４には一対の磁気軸受９、９が配置されており（図２参照） 、各磁気軸受部９、９は軸Ｖ上に２つの電磁石10、10を、軸Ｗ上に２つの電磁石 11、11をそれぞれ有するとともに、センサ部12、13をそれぞれ備え、各電磁石10 、11及びセンサ部12、13は、搬送機本体４の外周面４ａに一体に設置され、かつ 隔壁１の内周面１ａに臨むように設けられている。

【０００９】 なお、センサ部12は軸Ｖ上の近傍に位置し、かつ軸Ｖ上における浮上体３の浮 上位置を検出する。一方、センサ部13は軸Ｗ上の近傍に位置し、かつ軸Ｗ上にお ける浮上体３の浮上位置を検出するように構成されている。このように、一対の 磁気軸受部９、９は、各センサ部12、13から出力される検出値をもとに各電磁石 10、11がそれぞれ励磁され、その磁力で浮上体３を支持するように構成されてい る。また、上記浮上体３の内周面３ａには、４つのターゲット14、14、・が設け られており、これらターゲット14、14・は磁性材料より形成され、かつ上記４つ の電磁石にそれぞれ対向する位置に配置されている。なお、隔壁１は支持部15を 介して回転軸16に連結され、かつその回転軸16の回動により回転するように構成 されている。

【００１０】 次に、上記のように構成された搬送装置の動作について図１及び図２をもとに 説明する。この搬送装置によれば、予め一対の磁気軸受９、９で浮上体３を支持 する。この際、磁気軸受部９の各電磁石10、11から、磁力が隔壁１を介して各タ ーゲット14、14にそれぞれ作用する。そして、上記のように浮上体３を支持した 状態で、搬送機本体４を往復移動すると、この動きに追従して磁気結合された浮 上体３が往復移動する。これにより、浮上体３の搬送棒２が物品１７を搬送する 。また、このような装置では回転軸16を回転させて隔壁１を回転させれば、搬送 棒２の搬送方向を任意に変更することができる。

【００１１】 従って、上記のような実施例によれば、電磁石及びセンサ部に対向する隔壁が 均一薄肉完全円筒のため製造が容易であり、完全円筒のため強度が向上する。さ らに、隔壁下部に支持部が不要のため装置全体高さを小型化できる。しかも、浮 上体が完全円筒状のため従来の開口部のある浮上体に比べ剛性が向上し、形状を 小型・軽量化することができ、少量の励磁電流で浮上体を支持でき、装置の発熱 防止及び低消費電流化を図れる。

【００１２】 なお、本実施例では、駆動源としてリニアモータの例を示したが、他駆動方式 （例えばボールネジとモータ等）に代えても全く問題ない。また、本実施例では 、回転軸の付いた例を示したが、回転機構を廃しても全く問題ない。また、本実 施例で示した回転機構に上下機構を付加させても全く問題ない。また、本実施例 では、隔壁外周側が真空状態の例を示したが、隔壁外周側が大気状態であっても 全く問題ない。

【００１３】

【考案の効果】 以上説明したように、電磁石及びセンサ部に対向する隔壁が均一薄肉完全円筒 のため製造が容易であり、完全円筒のため強度が向上する。さらに、隔壁下部に 支持部が不要のため装置全体高さを小型化できる。しかも、浮上体が完全円筒状 のため従来の開口部のある浮上体に比べ剛性が向上し、形状を小型・軽量化する ことができ、少量の励磁電流で浮上体を支持でき、装置の発熱防止及び低消費電 流化を図れる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の実施例を示す隔壁の断面図である。

【図２】本考案の実施例の正面断面図である。

【図３】従来の隔壁の断面図である。

【符号の説明】 １ 筒状隔壁 ２ 搬送棒 ３ 浮上体 ４ 搬送機本体 ５ ガイドレール ６ 開口部 ７ リニアモータコイル ８ ２次導体 ９ 磁気軸受 10 電磁石 11 電磁石 12 センサ部 13 センサ部 14 ターゲット 15 支持部 16 回転軸 １７ 物品

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 断面円形の筒状隔壁と、この隔壁の外周
   面側に位置しかつ搬送棒を有する浮上体と、上記隔壁の
   内周面側に位置しかつ隔壁の両端間を往復移動可能な搬
   送機本体と、この搬送機本体の外周面側に一体に設置さ
   れた電磁石及びセンサ部を有しかつ電磁石により浮上体
   を支持する磁気軸受部と、上記磁気軸受部の電磁石及び
   センサ部が対向する浮上体に形成されたターゲットとを
   備える装置において、上記磁気軸受部の電磁石及びセン
   サ部に対向する厚さの均一な断面完全円形の薄肉筒状隔
   壁と、上記隔壁に対向する断面完全円形の筒状浮上体を
   設けたことを特徴とする搬送装置。