JPH04125248U

JPH04125248U - 搬送装置

Info

Publication number: JPH04125248U
Application number: JP2967291U
Authority: JP
Inventors: 芳正小田
Original assignee: セイコー精機株式会社
Priority date: 1991-04-26
Filing date: 1991-04-26
Publication date: 1992-11-16

Abstract

(57)【要約】【目的】浮上体を永久磁石及び磁気軸受部で支持するこ
とにより、浮上体の位置制御を簡単にし、かつ装置の小
型化及び装置構造の簡略化を図る。【構成】フレーム２１の浮上体２０側に一対の第１永久
磁石２２，２２を設ける。各第１永久磁石２２はフレー
ム２１の長手方向に沿って設置する。一方、浮上体２０
のフレーム２１側に一対の第２永久磁石２３，２３を配
設する。第２永久磁石２３は第１永久磁石２２に対向す
るように設置し、かつ第１永久磁石に対して反発するよ
うに設ける。また、フレーム２１の浮上体２０側に２つ
の傾斜面２４，２５を形成する。各傾斜面２４，２５は
一対の第１永久磁石間２２，２２に位置し、かつ互いに
向かい合うように設ける。一方、浮上体２０のフレーム
２１側に４つの磁気軸受部２６〜２９を設ける。磁気軸
受部２６，２７は傾斜面２４に対向するように、磁気軸
受部２８，２９は傾斜面２５に対向するように設置す
る。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

この考案は、真空チャンバ内等に設置される搬送装置に関し、特に浮上体を永久磁石及び磁気軸受部により支持するものである。

【０００２】

【従来の技術】

従来、この種の搬送装置は図４及び図５に示す如く、ワーク搬送部１と一体に浮上体２が設けられており、ワーク搬送部１は断面Ｔ型に形成されている。浮上体２は断面四角型に形成され、かつ中空状フレーム３の内部に載置されている。

【０００３】また、上記浮上体２には図６に示す如く８つの磁気軸受部４〜１１が設けられており、このうち磁気軸受部４，５はＸ₁軸線上に、磁気軸受部６，７はＸ₂軸線上にそれぞれ設置されている。一方、磁気軸受部８〜１１はＹ₁，Ｙ₂，Ｙ₃ ，Ｙ₄軸線上にそれぞれ配設されている。

【０００４】なお、上記各磁気軸受部４〜１１は、図４及び図５に示す如く電磁石１２及びセンサ部１３をそれぞれ備え、センサ部１３は浮上体２の浮上位置を検出し、電磁石１２はセンサ部１３から出力される検出値を基に励磁されるよう構成されている。

【０００５】そして、このような搬送装置は、各磁気軸受部４〜１１を起動させると、各磁気軸受部４〜１１のセンサ部１３が浮上体１の浮上位置を検出し、このセンサ部１３から出力される検出値を基に電磁石１２が励磁される。その結果、図６に示す如く上記６つのＸ₁，Ｘ₂，Ｙ₁，Ｙ₂，Ｙ₃，Ｙ₄軸線上にて浮上体２の位置制御がなされ、これにより浮上体２が所定の位置に支持される。

【０００６】また、従来よりこの種の装置では、図６に示すようなＸ₁，Ｘ₂軸線上に配設された４つの磁気軸受部４〜７に代えて、図７に示す如くＸ₀軸線上に２つの磁気軸受部１４，１５を設けることも提案されている。

【０００７】すなわち、このような装置は６つの磁気軸受部８〜１１，１４，１５を有し、かつ５つのＸ₀，Ｙ₁，Ｙ₂，Ｙ₃，Ｙ₄軸線上にて浮上体２の位置制御がなされる。

【０００８】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、このような従来の搬送装置にあっては、上記の如く浮上体２を所定の位置に支持する際、６つのＸ₁，Ｘ₂，Ｙ₁，Ｙ₂，Ｙ₃，Ｙ₄軸線上、又は５つのＸ₀，Ｙ₁，Ｙ₂，Ｙ₃，Ｙ₄軸線上にて浮上体２の位置制御がなされるため、軸数が多いので位置制御が複雑であった。

【０００９】しかも、このような装置では、上記のように浮上体２を支持するにあたり、８つの磁気軸受部４〜１１、又は６つの磁気軸受部８〜１１，１４，１５を具備するため、装置が大型化しかつ装置構造が複雑になる等の問題点があった。

【００１０】

【課題を解決するための手段】

この考案は、上述の事情に鑑みてなされたもので、その目的とするところは浮上体の位置制御を簡単にし、かつ装置の小型化及び装置構造の簡略化を図ることにあり、上記目的を達成するために、この考案は浮上体と、浮上体に対向して配設されたフレームと、フレームの浮上体側に設けた一対の第１永久磁石と、上記浮上体のフレーム側に設置され、かつ上記各第１永久磁石に対して反発する一対の第２永久磁石と、上記フレームの浮上体側に形成されるとともに、上記一対の第１永久磁石間に位置する２つの傾斜面と、上記浮上体のフレーム側に配設されるとともに、上記傾斜面に対向する磁気軸受部とを具備することを特徴とする。

【００１１】

【作用】

この考案によれば、浮上体が第１及び第２永久磁石の反発力で浮上するとともに、磁気軸受部により浮上体が傾斜面側に引き寄せられる。

【００１２】

【実施例】

以下、この考案に係る搬送装置の一実施例について、図１ないし図３を用いて詳細に説明する。

【００１３】この搬送装置は図１に示す如く浮上体２０に対向してフレーム２１が配設されており、浮上体２０及びフレーム２１は略直方体状に形成されている。

【００１４】また、上記フレーム２１の浮上体２０側には一対の第１永久磁石２２，２２が設けられており、各第１永久磁石２２，２２はフレーム２１の長手方向に沿り、かつ互いに平行に設置されている。

【００１５】一方、上記浮上体２０のフレーム２１側には一対の第２永久磁石２３，２３が配設されており（図２参照）、各第２永久磁石２３，２３は上記各第１永久磁石２２，２２に対向するように設置され、かつ各第１永久磁石２２，２２に対して反発するように設けられている。

【００１６】すなわち、上記のような第１及び第２永久磁石２２，２３は互いに反発して浮上体２０を浮上させるように構成されている。

【００１７】また、上記フレーム２１の浮上体２０側には２つの傾斜面２４，２５が形成されており、各傾斜面２４，２５は上記一対の第１永久磁石２２，２２間に位置し、かつ互いに向かい合うように設けられているとともに、フレーム２１の長手方向に亘って形成されている。

【００１８】さらに、上記浮上体２０のフレーム２１側には図３に示す如く４つの磁気軸受部２６〜２９を有し、このうち磁気軸受部２６はＶ₁軸線上にて上記傾斜面２４に対向し、磁気軸受部２７はＶ₂軸線上にて上記傾斜面２４に対向するように設置されている。一方、磁気軸受部２８はＷ₁軸線上にて上記傾斜面２５に対向し、磁気軸受部２９はＷ₂軸線上にて傾斜面２５に対向するように配設されている。

【００１９】なお、Ｖ₂軸線及びＷ₂軸線はＶ₁軸線及びＷ₁軸線を浮上体２０の長手方向に沿って平行移動したものであり、また、上記各磁気軸受部２６〜２９は電磁石３０及びセンサ部３１をそれぞれ備え（図１及び図２参照）、センサ部３１は浮上体２０の浮上位置を検出する。電磁石３０は傾斜面に臨むようにそれぞれ設置され、かつセンサ部３１から出力される検出値を基に励磁されるよう構成されている。

【００２０】また、このような搬送装置は浮上体２０を往復移動せしめるために、非接触駆動モータ部としてリニアモータが設けられており、リニアモータはモータ２次導体３２及びこれに対向する図示しないリニアモータコイルを有するもので、モータ２次導体３２は浮上体２０側に設けられ、かつ一対の第２永久磁石２３，２３間に配設されている。図示しないリニアモータコイルはフレーム２１側に設けられ、かつ一対の第１永久磁石２２，２２間に配設されている。

【００２１】次に、上記の如く構成された搬送装置の動作について図３を用いて説明する。

【００２２】この搬送装置によれば、第１及び第２永久磁石２２，２３の反発力で浮上体２０がフレーム２１から浮上する。これと同時に、４つの磁気軸受部２６〜２９を起動すると、各磁気軸受部２６〜２９のセンサ部３１が浮上体２０の浮上位置を検出し、このセンサ部３１から出力される検出値を基に電磁石３０が励磁され、その電磁石３０の吸引力により浮上体２０が傾斜面２４，２５側に引き寄せられる。その結果、浮上体２０は４つのＶ₁，Ｗ₁，Ｖ₂，Ｗ₂軸線上にて位置決めかつ支持される。

【００２３】すなわち、浮上体２０は上記のような吸引力及び反発力の合力により安定に支持される。

【００２４】また、この状態でリニアモータの図示しないリニアモータコイルを励磁することにより、浮上体２０がフレーム２１の長手方向に往復移動して、浮上体２０に載置したワーク等が搬送される。

【００２５】したがって、上記のような装置によれば、一対の第１永久磁石及び第２永久磁石の反発力で浮上体をフレームから浮上させる一方、４つの磁気軸受部により４つの軸線上にて浮上体を位置決めするので、その浮上体の位置制御が簡単になり、かつ装置の小型化を図れる。

【００２６】

【考案の効果】

この考案に係る搬送装置は、上記の如く一対の第１永久磁石及び第２永久磁石の反発力で浮上体をフレームから浮上させる一方、フレームに２つの傾斜面を形成し、かつ傾斜面に対向する磁気軸受部を浮上体に配設したため、このような磁気軸受部を４つ設け、その内の２つを一方の傾斜面へ、他の２つを他方の傾斜面へ対向させれば、各磁気軸受部により４つの軸線上にて浮上体を位置決めできるので、浮上体の位置制御が簡単になり、かつ装置の小型化及び装置構造の簡略化を図れる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この考案に係る搬送装置の説明用断面図。

【図２】図１に示す浮上体の下面図。

【図３】本装置における浮上体の支持状態を説明する斜
視図。

【図４】従来の搬送装置の説明用断面図。

【図５】図４に示す搬送装置の一部破断側面図。

【図６】従来の装置における浮上体の支持状態を説明す
る斜視図。

【図７】従来の装置における浮上体の支持状態を説明す
る斜視図。

【符号の説明】

２０浮上体２１フレーム２２第１永久磁石２３第２永久磁石２４，２５傾斜面２６〜２９磁気軸受部

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

【請求項１】浮上体と、浮上体に対向して配設されたフ
レームと、フレームの浮上体側に設けた一対の第１永久
磁石と、上記浮上体のフレーム側に設置され、かつ上記
各第１永久磁石に対して反発する一対の第２永久磁石
と、上記フレームの浮上体側に形成されるとともに、上
記一対の第１永久磁石間に位置する２つの傾斜面と、上
記浮上体のフレーム側に配設されるとともに、上記傾斜
面に対向する磁気軸受部とを具備することを特徴とする
搬送装置。