JP2002009125A - 単一シャフト複ブレード真空スロットバルブ、およびその実装方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】他方のモジュール修理中でも、半導体処理クラ
スタツール構造の一つのモジュールで動作を継続できる
スロットバルブの提供。 【解決手段】処理モジュールと搬送モジュールのような
隣接する真空チャンバの間の真空容器内２１４に、単一
スロットバルブシャフト２３２が設けられている。単一
シャフトアクチュエータには、バルブ真空容器の２つの
スロットのそれぞれに対して別々のバルブが設けられて
おり、真空容器の各スロットは、単一シャフト２３２の
位置に従って閉じたり開いたりする。これらのバルブに
より、隣接する処理モジュールが修理のために開放され
ている間も搬送モジュール内の真空状態を保つことが可
能になる。この単一シャフト２３２により、駆動装置の
可動範囲を制限し、バルブを開位置に保つとともにスロ
ットから垂直に離れていない位置に保つストッパを用い
ることによって修理のために開放バルブにアクセスでき
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】一般には、本発明は半導体処
理装置のモジュール用のバルブに関し、より詳細には、
２つのクレードル板に取り付けられ、複スロットバルブ
を支える単一軸アクチュエータと、半導体処理装置の別
々のチャンバの間にそのようなバルブを実装する方法に
関し、その方法においては、スロットのシール面に対し
てそのバルブが閉じる際に、少なくともひとつのクレー
ドルのひとつの回動軸がそのバルブの取り付け面と垂直
に一直線上に配置されることで、そのバルブがシール面
に対して直角に動き、一方のチャンバの修理中に他方の
チャンバ内で動作を継続することが可能である。半導体
処理装置は複数チャンバ真空システムでもよい。

【０００２】

【従来の技術】半導体デバイスの製造においては、複数
のプロセスチャンバを連結し、例えば連結されたチャン
バの間で基板もしくはウェーハの移動を可能にする。そ
のような移動は、例えば連結されたチャンバの隣接した
壁に備えつけられたスロットもしくはポートを通してウ
ェーハを移動させる搬送モジュールを経由して行われ
る。例えば、搬送モジュールは一般に、半導体エッチン
グシステム、物質蒸着システム、およびフラットパネル
・ディスプレイ・エッチングシステムなど様々な基板処
理モジュールと組み合わせて用いられる。清浄さと処理
精度の高さへの要求が高まるにつれて、処理工程中およ
び工程間での作業員との相互作用の量を減少させる必要
性が高まってきた。この要求は、（通常、減圧状態、例
えば真空状態に保たれた）中間操作装置として働く搬送
モジュールの実現により部分的に満たされた。一例とし
て、搬送モジュールは、基板が貯蔵されている１つ以上
のクリーンルーム格納設備と、基板が実際に処理され
る、例えば、エッチングもしくはその直後に蒸着が行わ
れる多数の基板処理モジュールとの間に物理的に配置さ
せることができる。この様に、基板の処理が必要な際に
は、搬送モジュール内に配置されたロボットアームを用
いて、格納庫から選択された基板を取り出し、多数の処
理モジュールのひとつに送り込むことも可能である。

【０００３】当業者によく知られているように、多数の
格納設備と処理モジュールの間で基板を「搬送する」搬
送モジュールの配列は、「クラスタツール構造」システ
ムと呼ばれることが多い。図１は、搬送モジュール１０
６に連結する様々なチャンバを示す典型的な半導体処理
クラスタツール構造１００を表している。搬送モジュー
ル１０６が、個々に最適化されて様々な製造処理を実行
できる３つの処理モジュール１０８ａ−１０８ｃに連結
されているのが示されている。一例として、処理モジュ
ール１０８ａ−１０８ｃは、変成器結合プラズマ（ＴＣ
Ｐ）基板エッチング、層の蒸着および／またはスパッタ
リングを実行するために実装することができる。

【０００４】搬送モジュール１０６には、搬送モジュー
ル１０６に基板を送り込むために実装することのできる
ロードロック１０４が連結されている。ロードロック１
０４は、基板が格納されているクリーンルーム１０２に
連結してもよい。ロードロック１０４は、取り出しおよ
び配送装置として機能するとともに、搬送モジュール１
０６とクリーンルーム１０２との間の圧力変化インター
フェースとしても機能する。従って、クリーンルーム１
０２を大気圧に保つ一方で、搬送モジュール１０６を一
定気圧(例えば、真空)に保つことができる。圧力の変わ
り目でモジュール間の漏れを防ぐ、または処理中に搬送
モジュール１０６から処理モジュールを密封するため
に、様々な種類のゲートドライブバルブが、様々なモジ
ュールの隔離に用いられている。

【０００５】ゲートドライブバルブに関する詳しい情報
については、米国特許番号４，７２１，２８２を参照す
ることができ、それは参照によりここに組み入れられ
る。そのようなゲートドライブバルブは米国特許番号
５，６６７，１９７でも開示されている。その特許にお
いては、２つのポート開口部と、２つのポート開口部の
うちひとつに対してひとつのバルブのみを有する従来技
術のバルブハウジングが開示されている。従って、バル
ブを持たないポートを閉じるのは不可能である。また、
‘２８２特許のゲートプレートバルブは、隣接した搬送
チャンバと処理チャンバの間のポートを閉じるために開
示されており、中間バルブハウジングは提供されていな
い。ゲートプレート用の駆動装置は、内部ポートに向か
って垂直軌道および回動円弧軌道の一連の動作でゲート
プレートを動かし、内部ポートの密閉もしくは閉鎖の効
果を生じる。

【０００６】米国特許５，１５０，８８２は、減圧チャ
ンバとエッチングチャンバを含めた様々な処理システム
チャンバ間のひとつのバルブを開示している。そのバル
ブは、ストッパプレートがかなりの衝撃でローラに衝突
するように、空気シリンダとトグルの配列によってゲー
ト開口部と接合および離脱するよう動かされる。ゲート
がゲート開口部に向かって動くように、フィッティング
プレートの初期の垂直運動が、反時計回りに回転するリ
ンクによって水平運動に変えられる。従来技術の問題を
防ぐために‘８８２特許では、二ホウ化物硬合金からス
トッパプレートが作られている。更に、そのひとつの空
気シリンダの単一の動きは、止められることなく、ロー
ラとストッパプレートの接合後にも動作を継続する。こ
のように、特別な材料を必要とすることに加え、‘８８
２特許は、隣接した処理チャンバ間に２つのバルブを提
供していない。

【０００７】クラスタツール構造システム用の他のバル
ブには、２つのバルブそれぞれに対して別々のアクチュ
エータが含まれているが、そのために、バルブ作動ハウ
ジングの幅を増加させたり、もしくはその幅を減少させ
ようという試みがなされている場合には、アクチュエー
タがバルブに力を掛ける位置を制限したりする傾向があ
る。更に、そのようなバルブには、２つの別々のアクチ
ュエータそれぞれに対して別々のベローズが必要にな
る。そのようなベローズの価格がかなりの額(例えば、
２０００年の米ドルで８００．００ドルから１０００．
００ドルの範囲)であるため、ベローズが２つ必要であ
ると多大な費用が掛かる。更に一般的には、そのような
別々のアクチュエータはそれぞれ、別々の空気シリンダ
によって動かされ、２つのバルブそれぞれに対して１つ
ずつ別々のアクチュエータが必要な場合には、それによ
っても費用が高くなる。

【０００８】更に別のクラスタツール構造システム用バ
ルブは、アクチュエータを取り付けるための回動軸を１
つ備えたクレードルを１つ含むが、回動軸はアクチュエ
ータによって運ばれる２つのバルブ両方のバルブシール
面と一列に並ぶように移動できない。

【０００９】上述の観点から、隣接した処理もしくは搬
送チャンバの間のバルブアセンブリが要望されている。
そのバルブアセンブリは複バルブに対して１本のシャフ
トを持っており、このため、ベローズを１つ省くことに
よりアセンブリの費用が削減される。１本のシャフトが
２個の回動可能に取り付けられたクレードルに取り付け
られ、スロットのシール面に対してそのバルブが閉じる
際に１個のクレードルの少なくとも１個の回動軸がバル
ブの取り付け面と垂直方向に一直線に並ぶことにより、
そのバルブがシール面に垂直に運動するようになってい
る。また、２アクチュエータ複バルブの空気駆動装置が
１つ省略でき、例えば他のチャンバで修理が実行されて
いる場合にも、そのようなチャンバ内の動作を継続する
ことができる。

【００１０】

【発明の概要】概して、本発明は、搬送チャンバと処理
チャンバのように、隣接したチャンバもしくはモジュー
ルの間のハウジングに両面スロットバルブを支える単一
シャフトを設けることによりこれらの要求を満たす。例
えば、他のポートが開いたままの状態で、処理チャンバ
に隣接した１つのハウジングポート、もしくは搬送チャ
ンバに隣接した１つのハウジングポートを選択的に閉じ
られるように、２つのバルブハウジングのポートもしく
はスロットそれぞれに対して、選択的に閉じたり開いた
りすることができる別々のバルブが提供されている。例
えば、バルブを選択的に閉じることにより、隣接した処
理チャンバが大気に開放されていて修理が実行できるよ
うになっている間、例えば搬送チャンバを真空に保つの
が容易になる。その結果、処理チャンバの修理後に搬送
チャンバを所望の真空状態にするためのポンプダウンサ
イクルが不要となり、処理チャンバの修理のために搬送
チャンバに対してその他の操作を行う必要がなくなるた
め、かなりの休止時間を削減することができる。

【００１１】更に、搬送チャンバが真空になるように搬
送チャンバへのバルブを閉じた状態では、開いている処
理チャンバから（砕けたウェーハのような）破片が通過
するのを処理チャンバへの開いているバルブによって防
ぎ、その破片が搬送チャンバに混入しないようにするこ
とが可能である。それ故一般に、腐食した後に修理で交
換する必要があるのは処理チャンバに近接したバルブド
アだけで、搬送チャンバは交換中も真空のままでよい。

【００１２】更に、両面スロットバルブにはこれらの利
点があると同時に、開いているバルブで修理実行中に一
方もしくは両方の開いているバルブに簡単にアクセスす
ることが可能である。第１のクレードルに取り付けられ
た第１駆動装置によって動かされるとともに、第２のク
レードルに取り付けられた第２と第３駆動装置によって
も動かされる単一シャフトにより、そのような簡単なア
クセスが提供される。１つのバルブを閉じるために、第
１駆動装置が収縮されて第１のクレードルを回転させ、
第２ドライブが伸長されて第１のクレードル上で第２の
クレードルを回転させる。一方のバルブが閉じて、他方
のバルブがそのポートに対して開いているが横方向に離
れていない（すなわち垂直方向に離れていない）位置に
くると、第１および第２駆動装置が停止する。両方のバ
ルブが修理される際には、第１および第２駆動装置は、
単一シャフトを開シャフト位置の中心に保ち、それぞれ
のバルブの開位置を維持するような位置に、両方のクレ
ードルをストッパまで伸長する。この開シャフト位置で
は、修理作業員は手袋をはめて開バルブに手を伸ばすこ
とができる。

【００１３】第３駆動装置は、単一シャフトを動かし、
それによって両方のバルブを開位置から離れる方向、か
つ、それぞれのポートから離れる方向に、横（例えば
下）に動かす役割も果たすことが可能である。開バルブ
が下方向に動かされることにより、ポート周辺のシール
面を露出するので、例えば、シール面の清掃が可能にな
る。下方向に動かされたバルブと点検口(通常は蓋で閉
じられている)の間の垂直距離のために、一般に、垂直
に動かした後に作業員が修理のために保護手袋を着用し
た手をバルブに伸ばすのは困難である。しかしながら、
下方向に動かされた位置では、バルブは、ドアが密閉す
る面を含め、バルブドア周辺の清掃の妨げとならない。

【００１４】更に、両方のスロットバルブドアに設けら
れるシャフトを１本のみにすることにより、例えば、隣
接した搬送チャンバと処理チャンバの間のバルブハウジ
ングが占めるクリーンルーム内の実際の空間を削減す
る。また、そのような１本のシャフトは、スロットバル
ブドアそれぞれの中心に力を掛けるため、スロットバル
ブドアを閉じておくのに必要な力が少なくて済む。更
に、２つのアクチュエータを備えるために２つのベロー
ズを要するバルブアセンブリとは対照的に、１本のシャ
フトと１つのベローズしか必要ではない。

【００１５】更に、２つのクレードル板に取り付けら
れ、両面スロットバルブを支える単一シャフトにより、
スロットのシール面に対してそのバルブが閉じる際に、
少なくとも１つのクレードルの１つの回動軸がそのバル
ブの取り付け面と垂直方向に一直線上に配置されている
ことによって、そのバルブがシール面に向かって垂直に
動くようになっている。

【００１６】このように、２つの隣接したチャンバのう
ち１つのチャンバで通常動作が継続している間に、２つ
のチャンバのうち他方のチャンバで多くの種類の修理を
実行可能であることが理解できるだろう。例えば、その
ような修理には、チャンバもしくはバルブハウジングか
らウェーハの破片を取り除いたり、ポートのシール面を
清掃したり、チャンバ内部を清掃したり、シールの表面
に影響するバルブの部材（例えば、ドアやＯ―リング）
を取り除いたり交換したりする作業が含まれる。例え
ば、半導体処理の通常運転を行うそのようなチャンバを
維持するためのこれらの作業およびその他の作業を、こ
こでは「修理」と呼ぶ。

【００１７】

【発明の実施の形態】本発明の説明は、他方のモジュー
ルの修理中に、半導体処理クラスタツール構造の１つの
モジュールで動作を継続することができることを保証す
ることに関してなされている。本発明は、半導体処理装
置のモジュール用バルブ、より詳細には両面スロットバ
ルブの単一バルブシャフトに関し、また、半導体処理装
置の別々のモジュール間にそのようなバルブを実装する
方法に関して説明されている。しかしながら、当業者に
とっては、本発明がこれらの具体的な詳細の一部もしく
はすべてがなくとも実行可能であることは明白であろ
う。その他にも、本発明を分かりにくくしないように、
よく知られたプロセスの動作は詳細に説明していない。

【００１８】図２によると、本発明は一般に、搬送モジ
ュール２０２および処理モジュール２０６を有し、搬送
モジュールと２０２と処理モジュール２０６のうち隣接
するモジュール間に両面スロットバルブが位置する半導
体処理クラスタツール構造２００を含むと説明されてい
る。図２を平面図として見ると、搬送モジュール２０２
と、処理モジュール２０６と、両面スロットバルブ２０
４の合計床面積によって構造の占有面積が決まってい
る。モジュール２０２、２０４および２０６を稼動する
ために一緒に密閉する方法を考慮せずに、搬送モジュー
ル２０２および処理モジュール２０６の床面積を第１に
決定できることが理解できるだろう。個々の両面スロッ
トバルブ２０４が、モジュール２０２，２０６を稼動す
るために一緒に密閉する方法を規定するため、それぞれ
個々の両面スロットバルブ２０４の占有面積が、クラス
タツール構造２００の占有面積を減少させようとする場
合に重要になる。従って、それぞれ個々の両面スロット
バルブ２０４の占有面積を減少させるには、個々の両面
スロットバルブ２０４それぞれの幅Ｗをできる限り減少
させることが重要である。

【００１９】図３は、本発明の両面スロットバルブ２０
４のひとつがクラスタツール構造２００の２つのモジュ
ール間に位置するバルブ真空容器（もしくはハウジン
グ）２１２を含むことを示している。示されているよう
に、２つのモジュールは、搬送モジュール２０２と処理
モジュール２０６のうちの１つであり、バルブ真空容器
２１２がクラスタツール構造２００の任意の２モジュー
ル間に設置可能なことが理解される。バルブ真空容器２
１２は、対向した壁２１４によって規定される幅Ｗを有
する。処理モジュール２０６に最も近いそれぞれの壁２
１４の側面は、「ＰＭ側面」と呼ぶことができ、搬送モ
ジュール２０２に最も近いそれぞれの壁２１４の側面
は、「ＴＭ側面」と呼ぶことができる。バルブ真空容器
２１２は、対向した端壁２１６によって規定される長さ
Ｌを有し、幅Ｗと長さＬを乗じることにより、個々の両
面スロットバルブ２０４の占有面積が決定される。

【００２０】ポート(もしくはスロットもしくは開口部)
２１８は、それぞれの壁２１４に設けられておりて、例
えば１つのモジュールと他のモジュールの間でウェーハ
（示されていない）を搬送できるようになっている。図
３に示すように、一方のそのようなモジュールは搬送モ
ジュール２０２で、他方のそのようなモジュールは処理
モジュール２０６であり、スロット２１８Ｐが処理モジ
ュール２０６に隣接し、スロット２１８Ｔが搬送モジュ
ール２０６に隣接している。スロット２１８はそれぞ
れ、概ね長方形の形状で、それぞれのスロット２１８を
閉じるために備えられているドア（もしくは側方ドア）
２２２の概ね長方形の形状よりも各辺が短い。ドア２２
２とスロット２１８では、角が丸いので、それぞれの長
方形の形状を「概ね長方形である」と呼ぶ。ドア２２２
はそれぞれ、真空容器２１２の対向した壁２１４の対向
したシール面２２６に重なるシール周辺部２２４を有す
る。後述のようにドア２２２が閉位置にある際に、シー
ル面２２６に対して押し付けられ耐真空もしくは耐ガス
密閉を提供するＯ−リング２２８などのシールデバイス
をシール周辺部２２４に設けてもよい。代わりに、ドア
２２２に対してシールデバイスの加硫を行ってもよい
し、交換可能なシール有するほかの種類のシールデバイ
スを用いてもよい。壁２１４のドア２２２−２は、搬送
モジュール２０２と処理モジュール２０６の間に圧力シ
ールとして機能する。この様に、例えばＰＭ側面は、Ｔ
Ｍ側面が標準真空レベル（例えば、８０〜１００ｍＴｏ
ｒｒ）状態である間に、外気に対して通気してもよい。
更に、バルブ２０４は、処理モジュール２０６が真空で
ある間に搬送モジュール２０２を通気し、搬送モジュー
ル２０２が真空レベルにある間に処理モジュール２０６
を通気できるように設計されている。

【００２１】ドア２２２−１と記され、図３の右側に示
されているドア２２２の１つに関しては、それぞれのス
ロット２１８Ｐは、単一シャフトアセンブリ２３２の動
作により選択的に閉じることができる。例えば、処理モ
ジュール２０６が修理されている間、単一シャフトアセ
ンブリ２３２を用いることにより、例えば、搬送モジュ
ール２０２内で作業を継続することが可能である。それ
故、搬送モジュール２０２と処理モジュール２０６のう
ち選択した方だけを停止させれば、選択したモジュール
の修理が可能になる。単一シャフトアセンブリ２３２の
作動結果の１つとして、図３に示すようにドア２２２が
閉位置もしくは開位置に配置される。Ｘ軸は、ゆるいア
ーチ形を示し、その軌道に沿ってドア２２２が閉位置か
ら開位置まで動く。開位置においては、ドア２２２はい
ずれも、ドア２２２と壁２１４の間の空間２３４を規定
している。アクチュエータ２３２の他の作動様式では、
図３に示すＺ軸に沿った下もしくは上位置にドア２２２
を配置させる。

【００２２】図４Ａは、搬送モジュール２０２、処理モ
ジュール２０６、および１つの両面スロットバルブ２０
４を示している。制御装置４０２は、バルブ２０４に接
続されており、ドア２２２−１，２２２−２を制御する
ための単一シャフトアセンブリ２３２の動作を含むバル
ブ２０４の動作を制御している。制御装置４０２は、コ
ンピュータワークステーション、すなわちツール組み込
み式制御装置４０４に接続されている。制御装置４０２
は、電子装置４０６を介してバルブ２０４に接続してい
る。図４Ｂは、一連のスイッチ４０８，４１０および４
１２を備えた電子装置４０６の上部を示している。 ス
イッチはそれぞれ、開位置と閉位置へのドア２２２の動
作制御用、下位置と上位置へのドア２２２の動作制御
用、モジュール２０２と２０６のどちらを修理するかの
選択用（例えば、処理モジュール２０６が「ＰＭ」で、
搬送モジュール２０２が「ＴＭ」）である。制御装置４
０２とスロットバルブ２０４の間に送信される信号４１
４の例は、「ドア開」と「ドア閉」である。

【００２３】図５および図６Ａ〜６Ｄには、以下の動作
に対して２つのドア２２２−１，２２２−２を支援する
単一シャフトアセンブリ２３２が示されている。図６Ｂ
によると、閉じたドア２２２−１は、図６Ａに示されて
いる開位置に向かって左に動くようになっている。図６
Ｄに示されるように、閉じたドア２２２−２は、図６Ａ
に示されている開位置に向かって右に動くようになって
いる。それぞれのドア２２２のシール周辺部２２４が、
真空容器２１２のシール面２２６に近づきそれぞれのス
ロット２１８を閉じる際には、閉じられつつあるドア２
２２の取り付け面２２２Ｍは、シール面２２６に向かっ
て基本的に垂直に動く。それ故、Ｘ軸は一般に、壁２１
４の面、シール面２２４、取り付け面２２２Ｍに垂直に
示されている。後述のように、単一シャフトアセンブリ
２３２は、そのように基本的に垂直に動くようにドア２
２２に対して設置されたクレードル軸ＣＬ，ＣＲに取り
付けられている。図６Ａ〜６Ｄには、ドア２２２−１，
２２２−２の軌道がクレードル軸ＣＬ，ＣＲに対して幾
分アーチ形であるにもかかわらず、ドア２２２の開位置
が真空容器２１２の側壁２１４に垂直でそこから離れて
いるといえる程、アーチの半径が大きいことが示されて
いる。開位置においては、ドア２２２がそれぞれのドア
２２２とそれぞれの壁２１４の間の空間２３４を規定し
ている。ドア２２２が開位置にある際には、上述のよう
に、修理を行うバルブ２０４へ簡単にアクセスできる。
垂直下方の（すなわち、横方向に空間のあいた）位置で
はなく、図６Ａに示した開かつ上位置にあるバルブ２０
４に初めに簡単にアクセスできることの利点は、蓋２３
６が真空容器２１２から外される際に、開かつ上位置で
修理作業員が手袋をはめた手（示されていない）でバル
ブ２０４のドア２２２に届くことができることである。

【００２４】Ｚ軸は、上述の垂直もしくは横方向もしく
は空間配置に関係し、図５および図６Ａ〜６Ｄにも示さ
れている。Ｚ軸は、単一シャフトアセンブリ２３２の軸
で、ドア２２２は、その軸に沿ってスロット２１８に対
して上位置と下位置の間を動く。図６Ａと図６Ｂを比較
すると、Ｚ軸が動いて、特に、クレードルの軸ＣＬ，Ｃ
Ｒを中心に、垂直方向（図６Ａ）から図６Ｂおよび図６
Ｄに示すような方向のいずれかに、例えば垂直から角Ｔ
ＲもしくはＴＬ傾けられた方向のいずれかにまで回転す
ることが分かるだろう。クレードル軸を中心とした方向
の変化、およびクレードル軸からドア２２２の中心まで
の距離Ａ(図６Ｄ)により、ドア２２２が、図６Ｂに示す
閉位置（Ｏ−リング２２８がシール面２２６に接してい
る）から図６Ａに示す開位置（ドア２２２が空間２３４
によって壁２１４から隔てられている）に向かってＸ軸
の方向に動く。

【００２５】単一シャフトアセンブリ２３２は、底板３
０２の上部に取り付けられた上部バルブ真空容器２１２
に入れられている。真空容器２１２は、Ｘ軸と一直線に
配置されたスロット２１８Ｐ，２１８Ｔを有し、蓋２３
６による密閉に適合した上部開口部を有する。ベローズ
３０６の下端３０４は、密閉して底板３０２に取り付け
られている。ベローズ３０６の上端３０８は、密閉した
状態で上部ベローズ板に取り付けられている。底板３０
２および上部ベローズ板３１０に対して密閉されてお
り、また、蓋２３６はバルブ真空容器２１２の上部に対
して密閉されており、真空容器２１２は、例えば、スロ
ット２１８Ｐを通して掛けられる真空の圧力に耐えられ
る程強くなっている。ベローズ３０６は、中空の円筒形
をしており、空洞３１２を規定している。

【００２６】図５は、主ピボット枠３１８の互いに離れ
た２つの枠部材３１６に固定した底板３０２を示してい
る。枠部材３１６は、底板３０２から下向きに延びてお
り、クラスタツール構造２００の基部（示されていな
い）に取り付けることができる。枠部材３１６の下部に
は、枠部材３１６に第１モータ３２０を取り付けるため
に、ブリッジ３１９が設けられている。モータ３２０
は、例えば第1クレードル３２４に連結したピストンロ
ッド３２２を有する単動式空気モータでもよい。第１ク
レードル３２４は、右側の軸ＣＲを中心に回転するため
に間隔をおいた２つの枠部材３１６の間の上方に取り付
けられる。右側のクレードル軸ＣＲと同軸にある対向す
る２つの第１クレードル回動軸３２６は、枠部材３１６
から第１クレードル３２４に回動軸を提供する。図５に
は、左側の部材３１６の回動軸（ピボット）３２６が、
部材３１６および第１クレードル３２４の両方にわたっ
て延びているのが示されており、右側の部材３１６の回
動軸３２６が、図解のために断面図で示されている。図
６Ａ〜６Ｄには、対向する２つの第１クレードルの回動
軸３２６が、第１クレードル３２４の右上に示されてい
る。

【００２７】図６Ａ、６Ｃ、および６Ｄに示すように、
第１モータ３２０は第１の位置、すなわち伸長位置を有
しており、この位置では、ピストンロッド３２２が第１
クレードル３２４を、ドアの開動作（図６Ａおよび６
Ｃ）もしくは左のドア２２２−２の閉動作（図６Ｄ）た
めの位置におく。第１モータ３２０はまた、第２の位
置、すなわち収縮位置を有しており、この位置では、ピ
ストンロッド３２２が第１クレードル３２４を、右のド
ア２２２−１の閉動作（図６Ｂ）のための位置におく。

【００２８】図６Ａ〜６Ｄは、第１クレードル３２４に
設置されたクレードル軸ＣＬを示している。図５は、左
側のクレードル軸ＣＬと同軸にある対向する２つの第２
クレードル回動軸３３０を示しており、これらの回動軸
は、第２クレードル３３２の間隔を置いた複数のアーム
３３１に対して第１クレードル３２４からの回動支持を
提供する。図５には、右側のアーム３３１用の旋回軸３
３０がアーム３３１と第１クレードル３２４の両方に伸
びている様子が示されている。枠３１８の右側の部材３
１６と第１クレードル３２４の右側部分の間にある旋回
軸３２６は、図解のために断面図で示されている。

【００２９】図６Ａ〜６Ｄには、対向する第２クレード
ル旋回軸３３０が、第２クレードル３３２の左上に示さ
れている。このように、第２クレードル３３２は、第１
クレードル３２４に関する軸ＣＬを中心に回動可能であ
る。その回動は、第１クレードル３２４に取り付けら
れ、それと共に移動する第２モータ３３４によって引き
起こされる。第２モータ３３４は、例えば第２クレード
ル３３２に連結されたピストンロッド３３６を有する単
動式空気モータでもよい。図５は、第１クレードル３２
４および第２クレードル３３２に固定された第２モータ
３３４を示しており、第２クレードル３３２は、左のク
レードル軸ＣＲおよび旋回軸３３０を中心に第２クレー
ドル３３２を回動させるためのピン３３８に、ロッド３
３６を取り付けられるように設けられた切欠き部３３７
で切断されている。

【００３０】第２モータ３３４は、第１位置すなわち伸
長位置を有しており、この位置では、第１モータ３２０
が第１（伸長）位置にあるときに、ピストンロッド３３
６が第２クレードル３３２を、ドアの開動作（図６Ａお
よび６Ｃ）のための位置におく。第２モータ３３４はま
た、第１モータ３２０が収縮位置にある際には、右のド
ア２２２−１の閉動作（図６Ｂ）のために、この第１
（伸長）位置を用いる。第２モータ３３４はまた、第２
位置すなわち収縮位置を有しており、この位置では、第
１モータ３２０が伸長位置にあるときに、ピストンロッ
ド３３６が第２のクレードル３３２を、左のドア２２２
−２の閉動作（図６Ｄ）のための位置におく。

【００３１】ピストンロッド３２２，３３６の同時伸長
位置は、ドア２２２の開位置に対応しており、第１およ
び第２モータがそれぞれのピストンロッド３２２，３３
６をそれぞれのストッパ３５０−１，３５０−２に押し
付けることによって実現される。各ストッパは、それぞ
れのピストンロッド３２２，３３６とそれぞれのクレー
ドル３２４，３３２の可動範囲を制限している。

【００３２】第２クレードル３３２はまた、第３モー
タ、すなわち上下動モータ３５６も支えている。第２ク
レードル３３２に固定された上下動モータ３５６によ
り、ピストンロッド３５８は伸長もしくは収縮可能であ
り、第２クレードル３３２の開口部３６２に備えられた
ベアリング３６０を通って滑動する。ベローズ３０６
は、ピストンロッド３５８のドア取り付け部３６４を収
納するための中空な円筒形の空洞３１２を有する。図６
Ａ〜６Ｃに示すように、そのようなベアリング３６０に
より、第３モータ（上下動）モータ３５６のピストンロ
ッド３５８が伸長もしくは収縮することを許容し、それ
によってベローズ板３１０を上下動させる。ベローズ板
３１０は、２つのドア２２２−１，２２２−２が蝶番の
ピン３６６を中心に回動するのを支えるドア取り付け部
３６４を支持する。ドア取り付け部３６４が、それぞれ
のドア２２２の中点の中心においてドア２２２に取り付
けられており、それぞれのドア２２２の長辺（もしくは
Ｙ軸方向）の中心に位置する取り付け部３６４によって
それぞれのドア２２２が支えられるようになっている。
ドア２２２の中心がドア取り付け部３６４に取り付けら
れている結果として、ドア取り付け部３６４によってそ
れぞれのドア２２２にかかるＸ軸方向の閉じる力Ｆ（図
６Ａ）が、それぞれのドア２２２に一様にかかる。ま
た、１つの単一シャフトアセンブリ２３２により、バル
ブ本体に２つの別々のアクチュエータを備えるバルブの
幅よりも、真空容器２１２の幅Ｗをかなり削減すること
ができる。実際、真空容器２１２の幅Ｗは、例えば約
６．５インチしか必要ない。

【００３３】図６Ａおよび６Ｃから、上下動モータ３５
６のピストンロッド３５８が伸長されている時には、ド
ア２２２が上方位置（図６Ａ、６Ｂおよび６Ｄ）にある
と共に、ベローズ３０６が伸長していることが理解でき
る。上下動モータ３５６のピストンロッド３５８が収縮
されている時には、ドア２２２が下方位置（図６Ｃ）に
動かされると同時に、ベローズ３０６が折りたたまれ、
その結果、スロット２１８Ｔ，２１８Ｐの間が一直線に
開放され、モジュール２０２，２０６の間のウェーハ
（示されていない）の搬送が可能になる。次に、単一シ
ャフトアセンブリ２３２が、別々のモータ３２０，３３
４を用いて、真空容器２１２のそれぞれ第１および第２
の壁２１４−１，２１４−２にほぼ直交するＸ軸の第１
の方向に沿って、ドア２２２を同時に動かすように動作
することが理解できる。ドア２２２が開位置にある場合
には、アセンブリ２３２が真空容器２１２の壁２１４に
ほぼ平行な第２の（横もしくは垂直の）方向にドア２２
２を動かす。

【００３４】上述のように、単一シャフトアセンブリ２
３２は、２つのドア２２２−１，２２２−２を支え、Ｘ
軸は、ゆるいアーチ形を示し、その軌道に沿ってドア２
２２が閉位置から開位置まで動く。閉じたドア２２２−
１は、図６Ａに示された開位置に向かって左方向に動く
と述べたが、図６Ｄに示すように、閉じたドア２２２−
２は図６Ａに示す開位置に向かって右方向に動く。

【００３５】第１クレードル３２４が右側の軸ＣＲを中
心に図６Ｂにおいて時計回りに回動すると、例えば、左
側のクレードル軸ＣＬが第１クレードル軸ＣＲに対して
上方に動く。それ故、第２クレードル軸ＣＬは、右のド
ア２２２−１が閉じている際には、第１クレードル軸Ｃ
Ｒよりも上方に位置することになる。第１クレードル３
２４が、図６Ｂに示す右のドアの閉位置から図６Ｄに示
す左のドアの閉位置に向かって反時計回りに回転する
と、クレードル軸ＣＬは、第１クレードル軸ＣＲに対し
て下方に動き、左のドア２２２−２が閉じられ、軸Ｃ
Ｒ，ＣＬはＺ軸に沿って同じ高さになる。Ｘ軸方向の軸
ＣＲ，ＣＬの間隔と、軸ＣＲに対する軸ＣＬのこのよう
な動きにより、以下の利点があると考えられる。それぞ
れのドア２２２のシール周辺部２２４が、真空容器２１
２のシール面２２６に近づきそれぞれのスロット２１８
を閉じると、そのように閉じている時のそれぞれのクレ
ードル軸ＣＬ，ＣＲの位置により、閉じられつつあるド
ア２２２の取り付け面２２２Ｍに所望の動作をさせるこ
とが可能になる。クレードル軸ＣＬ，ＣＲの間隔および
位置と、両面スロットバルブ２０４を支える２つのクレ
ードル３２４，３３２に取り付けられた単一軸アセンブ
リ２３２により、スロット２１８のシール面２２６に対
してドア２２２が閉じる際に、１つのクレードル３２４
もしくは３３２の少なくとも１つの旋回軸（すなわち軸
ＣＬもしくはＣＲ）が、そのドア２２２の取り付け面２
２２Ｍと垂直方向に一直線に配置され（例えば、図６Ｂ
および６Ｄの垂直の矢印Ｃを参照）、そのドア２２２が
シール面２２６に向かって垂直に動くようになってい
る。そのような取り付け面２２２Ｍの動きは、基本的に
シール面２２６に垂直であるのが望ましい。そのような
垂直の動きによって、より確実にシール面２２６にＯ−
リング２２８が適切に着座する。

【００３６】従来技術のクラスタツール構造１００で満
たされていない要求が、搬送モジュール２０２および処
理モジュール２０６のような隣接したモジュール２０６
および２０２の間の真空容器２１２内にある上述の両面
スロットバルブ２０４によって満足されている。別々の
ドア２２２が２つのバルブハウジングポート２１８のそ
れぞれに対して単一シャフトアセンブリ２３２上に設け
られているので、例えば、処理モジュール２０６に隣接
する１つのハウジングポート２１８Ｐと搬送モジュール
２０２に隣接する１つのハウジングポート２１８Ｔは、
他方のポートが開放している間も、選択的に閉じること
が可能である。例えば、選択的に閉じることにより、隣
接した処理モジュール２０６が大気に開放されていて修
理が実行できるようになっている間、搬送モジュール２
０２を真空に保つのが容易になる。その結果、処理モジ
ュール２０６の修理後に搬送モジュール２０２を所望の
真空状態にするためのポンプダウンサイクルが不要とな
り、処理モジュール２０６の修理のために搬送モジュー
ル２０２に対してその他の操作を行う必要がなくなるた
め、かなりの休止時間を削減することができる。更に、
搬送モジュール２０２を真空に保つことにより、１つの
処理モジュール２０６の修理が行われている間に搬送モ
ジュール２０２を用いて生産を継続することができるた
め、クラスタツール構造２００の総生産性が上がる。

【００３７】また、搬送モジュールが真空になるように
搬送モジュール２０２へのドアバルブ２２２−２を閉じ
た状態では、開いている処理モジュール２０６から（示
されていないが、砕けたウェーハのような）破片が通過
するのを処理モジュール２０６につながる開放ドアバル
ブ２２２−１によって防ぎ、その破片が搬送モジュール
２０２に混入しないようにすることができる。それ故一
般に、腐食して修理で交換する必要があるのは処理モジ
ュール２０６に近接したバルブドア２２２−１だけであ
り、搬送モジュール２０２は交換中も真空のままでよ
い。

【００３８】更に、両面スロットバルブ２０４にはこれ
らの利点があると同時に、開放ドアバルブ２２２で修理
を行う際に、一方もしくは両方の開放ドアバルブ２２２
に簡単にアクセスできる。そのような簡単なアクセス
は、第１、第２、および第３駆動装置３２０，３３４お
よび３５６によって動かされる単一シャフトアセンブリ
２３２によって提供される。

【００３９】図５に示すように、（左のドア２２２−２
のような）１つのドアバルブ２２２を閉じるために、第
３モータ３５６がストッパ３５０−３に向かって伸長す
る。第１モータ３２４が、それぞれのストッパ３５０−
１に向かって作動され（伸長され）、静止した状態に保
たれる。このように、第１モータ３２４が第１クレード
ル３２４を垂直位置（図６Ａ）に保ち、第２モータ３３
４が図６Ｄに示されたドア閉位置に作動し（収縮し）、
第２クレードル３３２を傾けて、左のドアバルブ２２２
−２を閉位置にするとともに、右のドア２２２−１を開
位置に、また、両方のドアバルブ２２２を上方位置にす
る。

【００４０】両方のバルブ２２２が修理される場合に
は、第１モータ３２０および第２モータ３３４が作動さ
れ（伸長され）、それぞれのストッパ３５０−１，３５
０−２に向かって動かされる。このとき、クレードル３
２４，３３２が垂直に保たれ（図６Ａ）、ドア２２２が
中心の開位置に保たれる。この開位置では、修理作業員
は手袋をはめて開放ドアバルブ２２２に手を伸ばすこと
ができる。次に第３モータ３５６は、単一シャフトアセ
ンブリ２３２のドア取り付け部３６４を動かし、それに
よって両方のドアバルブ２２２を開位置から離し、それ
ぞれのポート２１８から離して図６Ｄに示す下方位置へ
と横に（すなわち下向きに）動かし、ポート２１８の周
囲のシール面２２６を露出させることが可能である。そ
の露出により、例えば、シール面２２６の清掃が可能に
なる。

【００４１】横方向に動かされたドアバルブ２２２と点
検口２６２(通常は蓋２３６で閉じられている)の間の垂
直距離のために、一般に、垂直下向きに動かした後に作
業員が修理のためにドアバルブ２２２に手を伸ばすのは
困難である。しかしながら、横方向下向きに動かされた
位置では、ポート２１８Ｔ，２１８Ｐの間が完全に開放
されているので、ドアバルブ２２２は、ドアバルブ２２
２が密閉する面２２６を含むドアバルブ２２２の周囲を
作業員が清掃する妨げにならず、１つのモジュールから
次のモジュールへのウェーハ（示されていない）の搬送
が可能である。

【００４２】更に、両方のスロットバルブドア２２２に
は、幅Ｗを削減するために１つの単一ドア取り付け部の
みが設けられており、例えば、隣接した搬送モジュール
２０２と処理モジュール２０６の間のバルブハウジング
２１２が占めるクリーンルーム内の実際の空間を削減す
る。また、そのような単一ドア取り付け部３６４は、ス
ロットバルブドア２２２それぞれの中心に力Ｆを掛ける
ため、スロットバルブドア２２２を閉じておくのに必要
な力Ｆが少なくて済む。更に、２つのアクチュエータを
備えるために２つのベローズを要する他のバルブアセン
ブリと異なり、１つの単一ドア取り付け部３６４と１つ
のベローズ３０６しか必要ではない。

【００４３】そして、２つの隣接したモジュール２０
２，２０６のうち１つのモジュール（例えば２０２）で
通常動作が継続している間に、２つのモジュールの他方
のモジュール（例えば隣接した処理モジュール２０６）
で多くの種類の修理を行うことができることが理解でき
るだろう。例えば、そのように通常動作を継続できるこ
とで、搬送モジュール２０２に隣接したもう１つの処理
モジュール２０６と共にその搬送モジュール２０２を用
いて、クラスタツール構造２００の総生産性もしくは全
体の生産性を高めることが可能になる。例えば、１つの
処理モジュール２０６のそのような修理には、その１つ
の処理モジュール２０６もしくはバルブハウジング２１
２からウェーハの破片を取り除いたり、ポート２１８の
シール面２２６を清掃したり、処理モジュール内部を清
掃したり、バルブ２０４の部材（例えば、ドア２２２や
Ｏ―リング２２８）を取り除いたり交換したりする作業
が含まれる。

【００４４】これらの利点が得られると同時に、取り付
け面２２２Ｍに所望の動作をさせることができる。それ
故、それぞれのドア２２２のシール周辺部２２４が、真
空容器２１２のシール面２２６に近づいてそのスロット
２１８を閉じると、そのように閉じている時のそれぞれ
のクレードル軸ＣＬおよびＣＲの位置により、閉じられ
つつあるドア２２２の取り付け面２２２Ｍを基本的にシ
ール面２２６と垂直に動かすことが可能になる。そのよ
うな垂直の動きによって、より確実にシール面２２６に
Ｏ−リング２２８が適切に着座する。

【００４５】理解を深めるために従来技術をある程度詳
しく説明したが、明らかに、いくらかの変更と修正が添
付の特許請求の範囲内で行われる可能性がある。従っ
て、本実施形態は、例示的なもので、制限的なものでは
ないと考えられ、本発明は、ここに示した詳細に限定さ
れず、添付の特許請求の範囲および等価物の範囲内で修
正可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】搬送モジュールに連結する様々な処理モジュー
ルを示す典型的な従来技術の半導体処理クラスタツール
構造を示す図であり、１つの処理もしくは搬送モジュー
ル内のドアバルブが１つであるため、モジュールのいず
れかの修理を可能にするためには処理および搬送モジュ
ールそれぞれを停止する必要があることを示す図であ
る。

【図２】搬送モジュールと処理モジュールのうち隣接し
た２モジュール間に位置した本発明の両面スロットバル
ブを示す図であり、搬送モジュールと処理モジュール間
のバルブハウジングのバルブ真空容器に２つのドアバル
ブがあるため、モジュールのうち選択した一方を修理す
るのに選択したモジュールのみを停止すればよいことを
示す図である。

【図３】対向した壁によって限定された幅を有するバル
ブ真空容器と、ウェーハを搬送モジュールから処理モジ
ュールへ移動させるための各壁のスロットを示す本発明
の両面スロットバルブの平面図であり１つのシャフトの
動きにより２つのドアバルブのうち１つで選択的に１つ
のスロットを閉じて、選択されたモジュールの修理中に
他方のモジュール内で作業を継続することが可能である
ことを示す図である。

【図４Ａ】バルブのそれぞれの第１ドアおよびそれぞれ
の第２ドアの動作制御を行うための制御装置の略図であ
り、制御装置が両面スロットバルブの操作に用いられる
コンピュータワークステーションに接続されていること
を示す図である。

【図４Ｂ】バルブの第１のドアおよび第２のドアの動作
制御を容易にするための制御装置に入力を行う３つのス
イッチを示す図である。

【図５】第２のクレードルに取り付けられた１本のシャ
フトと第１のクレードルに取り付けられた第２のクレー
ドルを示す本発明の両面スロットバルブの縦断面図であ
り、それぞれ第１および第２のクレードル上の第１およ
び第２モータがドアを開くもしくは閉位置に動かすこと
を示す図である。

【図６Ａ】開かつ上方位置にある本発明の２つのバルブ
ドアと、２つのドアを支える単一シャフトとを示す略縦
断面図である。

【図６Ｂ】他方のバルブドアの修理を容易にするために
閉かつ上方位置にある本発明の左側バルブドアを示す図
６Ａと同様の縦断面図である。

【図６Ｃ】バルブスロットの修理を容易にするために、
下方かつ開位置にある本発明の２つのバルブドアを示す
図６Ａおよび図６Ｂと同様の縦断面図である。

【図６Ｄ】他方のバルブドアの修理を容易にするため
に、閉かつ上方位置にある本発明の右側バルブドアを示
す略図である。

フロントページの続き (72)発明者 グレゴリー・エー．・トマッシュ アメリカ合衆国 カリフォルニア州95125 サン・ホセ，ハートフォード・アベニュ ー，830 Ｆターム(参考） 5F031 CA02 CA05 FA01 FA02 FA12 MA07 MA28 MA29 MA32 NA05 NA10 PA06 PA23

Claims (21)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 半導体処理クラスタツール構造の配列内
   で用いる両面スロットバルブであって、 第１の面および第２の面を有するハウジングであって、
   前記第１の面に第１のスロットおよび前記第２の面に第
   ２のスロットを有し、前記ハウジングの第１の面に連結
   された第１のモジュールと前記ハウジングの第２の面に
   連結された第２のモジュールとの間の基板の搬送を可能
   にするハウジングと、 前記ハウジング内に動作可能に取り付けられ、前記第１
   のスロットを閉じることを可能にする第１のドアと、 前記ハウジング内に動作可能に取り付けられ、前記第２
   のスロットを閉じることを可能にする第２のドアと、 前記第１および第２のドアのそれぞれに連結した単一シ
   ャフトと、 前記第１および第２のドアの一方を選択的にそれぞれの
   閉位置に移動させて、それぞれのスロットを閉じるため
   の前記単一シャフトを支える複クレードルアセンブリ
   と、を備える両面スロットバルブ。
2. 【請求項２】 請求項１記載の両面スロットバルブであ
   って、 前記単一シャフトは中心位置を有し、 前記単一シャフトが前記中心位置にある際に、前記第１
   のドアおよび前記第２のドアのそれぞれが、前記第１の
   スロットと前記第２のスロットのそれぞれから離れてそ
   れらの間に位置する開位置にあり、 前記複クレードルアセンブリは、 第１および第２のクレードルと、 各クレードルのための個別の駆動装置であって、それぞ
   れが伸長位置を有し、それぞれの伸長位置にある際に、
   前記第１のドアおよび前記第２のドアが開位置に保たれ
   るように前記単一シャフトを中心位置に保つ駆動装置
   と、を含む、両面スロットバルブ。
3. 【請求項３】 請求項２記載の両面スロットバルブであ
   って、 前記第１のクレードルは、前記ハウジングに対して回動
   可能に取り付けられて前記第２のクレードルを支えてお
   り、前記第２のクレードルは、前記単一シャフトを支
   え、前記第１のクレードルに対して回動可能にに取り付
   けらており、各駆動装置はそれぞれ収縮位置も有する、
   両面スロットバルブ。
4. 【請求項４】 請求項３記載の両面スロットバルブであ
   って、更に、 前記個別の駆動装置を操作するための制御装置であっ
   て、前記個別の駆動装置の一方を伸長位置に置き、前記
   個別の駆動装置の他方を収縮位置に置き、前記第１およ
   び第２のドアの一方を選択的にそれぞれの閉位置に移動
   させて前記スロットを閉じるために、前記第１および第
   ２のドアをバルブ開閉軌道に沿ってそれぞれの開および
   閉位置から閉および開位置へ移動させる制御装置を備え
   る、両面スロットバルブ。
5. 【請求項５】 請求項２記載の両面スロットバルブであ
   って、 前記複クレードルアセンブリは、 前記個別の駆動装置の一方は、前記クレードルの一方に
   取り付けられた２つのモータを有しており、前記２つの
   モータの一方は、前記スロットの間の中心位置において
   前記単一シャフトを移動させて、前記第１のモジュール
   と前記第２のモジュールとの間で前記基板の搬送を可能
   にする、両面スロットバルブ。
6. 【請求項６】 請求項１記載の両面スロットバルブであ
   って、前記複クレードルアセンブリは、 前記ハウジングを支持する枠と、 前記ハウジングに対して動くように前記枠に取り付けら
   れた第１のクレードルと、 前記ハウジングに対して動くように前記第１のクレード
   ルに取り付けられた第２のクレードルと、を備え、 前記単一シャフトは、前記第１および第２のクレードル
   のそれぞれが前記ハウジングに対して動くことにより、
   前記ハウジング内の前記単一シャフトの位置が変化し
   て、前記スロットの選択された一方が開または閉となる
   ように、前記第２のクレードルに取り付けられている、
   両面スロットバルブ。
7. 【請求項７】 請求項６記載の両面スロットバルブであ
   って、 前記複クレードルアセンブリは、更に、 各クレードルを第１の共通の方向に移動させ、前記単一
   シャフトを移動させて前記スロットの一方を閉じるため
   の駆動装置を含む、両面スロットバルブ。
8. 【請求項８】 請求項６記載の両面スロットバルブであ
   って、 前記複クレードルアセンブリは、更に、 各クレードルを第１の共通の方向に移動させ、前記単一
   シャフトを移動させて前記スロットの一方を閉じるとと
   もに、各クレードルを第２の共通の方向に移動させ、前
   記単一シャフトを移動させて前記スロットの他方を閉じ
   るための駆動装置を含む、両面スロットバルブ。
9. 【請求項９】 半導体処理クラスタツール構造の配列内
   で用いる両面スロットバルブの製造方法であって、 第１の面と第２の面を有し、第１の面に第１のスロット
   および第２の面に第２のスロットを有することで第１の
   モジュールと第２のモジュール間の基板の搬送を可能に
   するハウジングを準備する工程と、 前記第１のモジュールを前記ハウジングの前記第１の面
   に取り付ける工程と、 前記第２のモジュールを前記ハウジングの前記第２の面
   に取り付ける工程と、 前記ハウジング内に第１のドアを設けて、前記第１のス
   ロットを閉じることを可能にする工程と、 前記ハウジング内に第２のドアを設けて、前記第２のス
   ロットを閉じることを可能にする工程と、 第１の直線軌道に沿って動かすために、前記第１および
   第２のドアを単一シャフトに取り付ける工程と、 前記第１および第２のドアの一方を選択的にそれぞれ移
   動させて各スロットを閉じるための離間した回動軸を有
   する複クレードル構造上で、前記単一シャフトを支持す
   る工程と、を備える方法。
10. 【請求項１０】 請求項９記載の方法であって、 前記支持工程は、前記単一軸が中心位置にある際に、前
    記第１のドアおよび前記第２のドアそれぞれが、前記第
    １のスロットと前記第２のスロットそれぞれから離れて
    それらの間にある開位置にくるように、前記単一軸に中
    心位置を提供する、方法。
11. 【請求項１１】 請求項１０記載の方法であって、 前記支持工程は、 前記複クレードル構造に第１および第２のクレードルを
    設ける工程と、 前記離間した回動軸の一方を、閉位置にあるドアの一方
    と一直線に配置させる工程と、 前記第１および第２のドアの一方の選択的な動きが各ス
    ロットの面に垂直になるように、前記離間した回動軸の
    それぞれに前記クレードルをそれぞれ取り付ける工程
    と、 を含む方法。
12. 【請求項１２】 請求項１０記載の方法であって、 前記支持工程は、 前記複クレードル構造に第１および第２のクレードルを
    設ける工程と、 前記第１のクレードルが前記第２のクレードル上におい
    て前記離間した回動軸の一方の上で回動して第１および
    第２の回動位置の間で動くように、前記１のクレードル
    を取り付ける工程と、 前記第１のクレードル上に前記単一シャフトを取り付け
    る工程と、 前記第２のクレードルが前記離間した回動軸の他方の上
    で回動して第３および第４の回動位置の間で動くよう
    に、前記ハウジングから離れた位置に前記第２のクレー
    ドルを取り付ける工程と、 それぞれ前記第１および第３の回動位置において前記第
    １および第２クレードルのそれぞれの回動を制限して、
    前記単一シャフトをドア開位置に置く工程と、を含む方
    法。
13. 【請求項１３】 請求項１２に従って製造された両面ス
    ロットバルブの動作方法であって、 前記第１のクレードルを前記第２の回動位置に置く動作
    を引き起こす第１の動作と、 前記第２のクレードルを前記第４の回動位置に置く動作
    を引き起こす第２の動作と、を備え、 前記第１と第２の動作は、前記単一シャフトが前記ドア
    の一方を移動させて前記第１のスロットを閉じる位置に
    なるように前記単一シャフトを動作させ、 前記方法は、さらに、 前記第１のクレードルを前記第１の回動位置に置く動作
    を引き起こす第３の動作と、 前記第２のクレードルを前記第３の回動位置に置く動作
    を引き起こす第４の動作と、を備え、 前記第３と第４の動作は、前記単一シャフトが前記ドア
    の他方を移動させて前記第２のスロットを閉じる位置に
    なるように前記単一シャフトを動作させる、方法。
14. 【請求項１４】 半導体処理クラスタツール構造内で両
    面スロットバルブを動作させるための方法であって、 第１のモジュールと第２のモジュールの間に前記両面ス
    ロットバルブを連結する工程と、 前記両面スロットバルブに第１と第２のスロットを設
    け、前記第１のモジュールと前記第２のモジュール間の
    基板の搬送を可能にする工程と、 前記第１と第２のスロットをそれぞれ閉じるために前記
    両面スロットバルブ内に第１と第２のドアを設ける工程
    と、 前記第１と第２のドアを単一シャフトに取り付ける工程
    と、 それぞれが前記第１および第２のクレードルそれぞれに
    別々に連結された２つの駆動装置を動作させることによ
    り、前記クレードルの一方に取り付けられた前記単一シ
    ャフトにスロットを閉じる力を印可し、前記単一シャフ
    トを前記第１および第２のスロットの一方に向かって移
    動させ、それによって、前記一方のスロットに対応する
    ドアが前記一方のスロットを閉じるとともに、他方のス
    ロットに対応するドアは他方のスロットを開放したまま
    にしておく工程と、を含む方法。
15. 【請求項１５】 請求項１４記載の方法であって、更
    に、 前記２つの駆動装置を作動させて、駆動装置の一方を伸
    長し、駆動装置の他方を収縮させる工程を含む、方法。
16. 【請求項１６】 請求項１４記載の方法であって、 前記印可工程が、 前記回動用クレードルの一方を他方に取り付ける工程
    と、 前記他方の回動用クレードルを、前記第１および第２ス
    ロットを含むバルブハウジングに取り付ける工程と、 前記クレードルの一方に前記単一シャフトを取り付け、
    前記２つの駆動装置のそれぞれが前記クレードルの１つ
    を回動させるようにする工程と、を含み、 前記方法は、さらに、 前記一方のクレードルに対して前記単一シャフトを動か
    し、前記ドアを前記スロットから離すことにより、前記
    第１と第２のモジュールの間の基板の搬送を可能にする
    工程を含む、方法。
17. 【請求項１７】 処理モジュールと搬送モジュールを備
    えた半導体処理クラスタツール構造の配列内で用いる両
    面スロットバルブであって、 第１の処理モジュール側および第２の搬送モジュール側
    を有する真空容器であって、第１の壁面を有する前記第
    １の側に取り付けられた処理モジュール用のスロット
    と、第２の壁面を有する前記第２の側に取り付けられた
    搬送モジュール用のスロットを有することによって、前
    記処理モジュールと前記搬送モジュール間の基板の搬送
    を可能にする前記真空容器と、 閉鎖軌道に沿って前記処理モジュールおよび前記搬送モ
    ジュールそれぞれに対して近づく方向と離れる方向に前
    記真空容器内で動くことが可能なドア取り付け端とし
    て、前記閉鎖軌道にほぼ垂直であるアクセス軌道に沿っ
    て前記真空容器から離れる方向に動き、前記処理モジュ
    ールスロットと前記搬送モジュールとの間を直線的に開
    放することが可能なドア取り付け端を有する単一シャフ
    トと、 前記閉鎖軌道に沿って動くように前記単一シャフトの前
    記ドア取り付け端に取り付けられ、前記処理モジュール
    用スロットを開閉する第１のドアと、 前記閉鎖軌道に沿って動くように前記単一シャフトの前
    記ドア取り付け端に取り付けられ、前記搬送モジュール
    用スロットを開閉する第２のドアと、 上方位置と、前記直線的な開放路から離れて前記２つの
    スロットと各スロットの壁へのアクセスを可能にする下
    方位置との間の前記アクセス軌道に沿って動くように、
    前記単一シャフトに取り付けられた前記第１および第２
    のドアと、 前記ドア取り付け端が前記アクセス軌道および前記閉鎖
    軌道に沿って動くように、前記単一シャフトを運ぶため
    の複クレードルアセンブリと、 前記複クレードルアセンブリ上の軸駆動機構であって、
    前記閉鎖軌道に沿って前記処理モジュールと前記搬送モ
    ジュールのそれぞれに対して近づく方向と離れる方向に
    前記真空容器内で前記単一シャフトの前記ドア取り付け
    端を動かすために前記複クレードル上に設けられた第１
    の駆動機構と、前記アクセス軌道に沿って前記真空容器
    に対して近づく方向と離れる方向に前記軸駆動ドア取り
    付け端を動かすための第２の駆動機構とを有する軸駆動
    機構と、を備える両面スロットバルブ。
18. 【請求項１８】 請求項１７記載の両面スロットバルブ
    であって、 前記複クレードルアッセンブリは、第１の軸を中心に回
    動するように前記第２のクレードルに取り付けられた第
    １のクレードルと、第２の軸を中心に回動するように前
    記真空容器に取り付けられた第２のクレードルとを有
    し、 前記単一シャフトは前記第１のクレードルに取り付けら
    れており、 前記第１の駆動機構は、前記第１および第２のクレード
    ルを回動させて、前記真空容器内で前記アクチュエータ
    の前記ドア取り付け端を前記閉鎖軌道に沿って前記処理
    モジュールスロットおよび前記搬送モジュールスロット
    に対して近づく方向と離れる方向に動かすように前記第
    １および第２のクレードルに取り付けられており、 前記第２の駆動機構は、前記ドア取り付け端を前記アク
    セス軌道に沿って前記真空容器に対して近づく方向と離
    れる方向に動かすように前記第１のクレードルに取り付
    けられている、両面スロットバルブ。
19. 【請求項１９】 請求項１７記載の両面スロットバルブ
    であって、更に、 前記第１と第２の駆動装置を別々に制御する制御装置
    と、 前記制御装置に接続され、前記処理モジュールを修理す
    るために前記第１のドアを前記閉位置以外の位置に置く
    こととともに、前記搬送モジュールが修理モード以外の
    モードで稼動できるように前記第２のドアを前記閉位置
    に置くことを可能にするコンピュータワークステーショ
    ンと、を含む両面スロットバルブ。
20. 【請求項２０】 請求項１９記載の両面スロットバルブ
    であって、 前記真空容器は、前記ドアの修理を容易にするドアアク
    セスポートを有し、 前記コンピュータワークステーションは、前記制御装置
    が前記軸駆動機構を作動させて前記第１と第２のドアを
    前記アクセス軌道に沿って前記上方位置に移動させ、ま
    た、前記第１のドアを前記閉鎖軌道に沿って開位置に移
    動させるとともに、前記第２のドアを前記閉鎖軌道に沿
    って移動させてて前記第２のスロットを閉じることによ
    って、前記開位置にある前記第１のドアを、前記ドアア
    クセスポートから供給される新しいとドアとの交換する
    ための位置に置くためのコンピュータプログラム命令を
    含む、両面スロットバルブ。
21. 【請求項２１】 複数チャンバ真空システム内で用いる
    両面スロットバルブであって、 第１の面と第２の面とを有するハウジングであって、第
    １の面に第１のスロットを有するとともに第２の面に第
    ２のスロットを有し、前記ハウジングの第１の面に連結
    された第１のチャンバと前記ハウジングの第２の面に連
    結された第２のチャンバ間の基板の搬送を可能にするハ
    ウジングと、 前記ハウジング内で動くように取り付けられ、前記第１
    のスロットを閉じることを可能にする第１のドアと、 前記ハウジング内で動くように取り付けられ、前記第２
    のスロットを閉じることを可能にする第２のドアと、 前記第１と第２のドアのそれぞれに連結した単一シャフ
    トと、 前記単一シャフトを支え、前記第１と第２のドアを選択
    的にそれぞれの閉位置に移動させて、各スロットを閉じ
    るための複クレードルアセンブリと、含む両面スロット
    バルブ。