KR20060072918A - 평판표시소자 제조장치 유지/보수용 개폐장치 - Google Patents

평판표시소자 제조장치 유지/보수용 개폐장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은, 평판표시소자 제조장치 유지/보수용 개폐장치에 있어서, 상기 평판표시소자 제조장치의 상측에 기밀이 유지된 상태로 마련되는 상부커버; 상기 상부커버를 평판표시소자 제조장치로부터 장, 탈착할 수 있도록 그 평판표시소자 제조장치 일측에 마련되는 링크시스템;을 포함하는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치 유지/보수용 개폐장치를 제공한다.
평판표시소자 제조장치, 상부커버, 링크시스템, 구동링크, 종동링크, 연결링크, 구동수단

Description

평판표시소자 제조장치 유지/보수용 개폐장치{Maintenance opening and shutting apparatus for FPD manufacturer}
도 1은 종래의 평판표시소자 제조장치의 상부커버 개폐 방식을 도시한 단면도이다.
도 2는 종래의 다른 평판표시소자 제조장치의 상부커버를 개폐하는 방식을 도시한 사시도이다.
도 3은 본 발명에 따른 일 실시예의 평판표시소자 제조장치의 상부커버를 개폐하는 링크 시스템을 도시한 사시도이다.
도 4a 내지 도 4e는 본 발명의 평판표시소자 제조장치 유지/보수용 개폐장치의 링크 시스템에 의해 상부커버가 개폐되는 과정을 도시한 측면도이다.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >
110 : 평판표시소자 제조장치 120 : 상부커버
130 : 링크시스템 132 : 베이스
136 : 구동축 138 : 구동링크
144 : 종동축 146 : 종동링크
148 : 연결구 152 : 구동수단
156 : 연결링크
본 발명은 평판표시소자 제조장치 유지/보수용 개폐장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 평판표시소자 제조장치 상부에 상부커버가 구비되어, 그 상부커버를 개폐할 수 있도록 링크시스템이 마련되는 평판표시소자 제조장치 유지/보수용 개폐장치에 관한 것이다.
일반적으로, 평판표시소자를 제조하기 위한 평판표시소자 제조장치는 일반적으로 로드락(Loadlock) 챔버, 반송 챔버 및 공정챔버의 3개의 진공 챔버로 구성된다. 이때, 로드락 챔버는 외부로부터 처리되지 않은 기판을 받아들이거나 처리가 끝난 기판을 외부로 반출하는 역할을 하며, 반송 챔버는 기판을 각 챔버들 간에 반송하기 위한 로봇이 구비되어 있어서 처리가 예정된 기판을 로드락 챔버에서 공정챔버로 전달하거나, 처리가 완료된 기판을 공정챔버에서 로드락 챔버로 전달하는 역할을 하며, 공정챔버는 진공 중에서 플라즈마를 이용하거나 열 에너지를 이용하여 기판 상에 막을 성막하거나 에칭을 수행하는 역할을 한다.
이때, 공정 챔버 내에서는 여러 가지 가스나 플라즈마를 이용하므로 많은 수의 공정을 반복하는 경우에는 상기 공정챔버내의 장비들이 손상되거나 오염되어서 그 교체나 보수가 주기적으로 필요한 실정이다. 따라서 공정챔버는 공정챔버의 내부를 유지 보수할 수 있도록 공정챔버의 상부커버를 개폐 가능하게 구성되는 것이 일반적이다. 이렇게 상부커버를 개폐하는 작업은 로드락 챔버나 반송 챔버의 유지 및 보수 작업에도 필수적으로 요구된다.
한편, 평판표시소자 제조장치의 유지 보수 작업에는 평판표시소자 제조장치로 부터 분리된 상부커버를 유지 보수 작업이 진행되는 동안 임시로 개폐 및 탑재시킬 수 있는 장치가 필요하다.
종래의 일 실시예에 따른 평판표시소자 제조장치는 도 1에 도시된 바와 같이 평판표시소자 제조장치(10)가 마련되며, 상술한 평판표시소자 제조장치(10) 내부에 마련되는 장비(도면에 미도시)의 유지 보수작업을 하기 위해 개폐가 불가피함에 따라 개구된 상부 영역에 상부커버(20)가 마련된다.
여기서, 상술한 상부커버(20)는 적정 두께로 이루어진 판상으로 그 상면 모서리 영역에 각각 연결고리(22)가 구비되며, 상술한 연결고리(22)와 크린룸 천정에 마련된 크레인(30)에 서로 와이어를 연결하여 그 상부커버(20)를 개방 또는 폐쇄시킨 다음 상술한 평판표시소자 제조장치(10)내에 마련된 장비를 운반한 상태에서 유지, 보수하였다.
또한, 종래의 다른 실시예의 평판표시소자 제조장치는 도 2에 도시된 바와 같이 평판표시소자 제조장치(10') 내부에 마련된 장비의 유지 보수가 필요할 경우 내부를 개폐하기 위한 상부커버(20')가 상부 영역에 접한 상태로 마련되고, 상술한 상부커버(20')와의 평판표시소자 제조장치(10')와의 접촉면에 상호 기밀을 유지하는 기밀유지부재(도면에 미도시)가 마련되며, 상술한 상부커버(20')를 평판표시소자 제조장치(10')에서 소정 높이로 수직이동시킨 후 수평이동시켜 그 상부커버(20')를 개방하고 회동시키는 수평방향 구동부(30')가 마련된다.
상술한 수평방향 구동부(30')는 평판표시소자 제조장치(10')의 양단 상측에 각각 마련되며, 수평된 위치에서 일측이 연장되는 사각기둥 형상의 수평이동 가이드(34')와, 이 수평이동 가이드(34')의 상면에 접한 상태로 상부커버(20')를 수평 이동시키는 지지부(32')로 이루어진다.
여기서, 상술한 상부커버(20')의 양단에 외측으로 돌출되는 돌출부(22')가 형성된다.
또한, 상술한 지지부(32')는 그 내부에 상술한 상부커버(20')에 형성된 돌출부(22')를 소정 높이로 승강하게 하는 수직방향 구동부(도면에 미도시)가 마련되고, 상술한 돌출부(22')가 삽입되어 소정 각도로 회전할 수 있도록 하는 회전구동부(도면에 미도시)가 마련된다.
상술한 상부커버(20')의 양측에 지지부(32')가 위치되며, 이 지지부(32')에 양단이 고정될 수 있도록 돌출부(22')가 마련되고 이 돌출부(22')가 지지부(32')에 결합되어 용이한 수평이동이 가능하다.
그러나, 종래의 일 실시예에서 처럼 상술한 상부커버(20)를 크린룸 천장에 마련된 크레인(30)으로 개폐시킬 경우, 기판이 대형화되면서 장비 또한 대형화됨에 따라 적정 하중을 수용할 수 있는 크레인(30)의 용량이 제한되어 그 크레인(30)을 교체하여야 하며, 크린룸의 천정 높이가 대략 5.5 m로 제한됨에 따라 대형화된 장비에서 상부커버(20)의 개폐작업이 어려운 문제점이 있으며, 상술한 상부커버(20)를 회전시키기 위해서는 별도의 회전 모듈이 필요한 문제점이 있었다.
그리고, 종래의 다른 실시예에서는 상술한 평판표시소자 제조장치(10')의 양 측 상부 영역에 구비되는 수평이동 가이드(34')를 따라 수평방향으로 이동하는 지지부(32')로 구성된 수평방향 구동부(30')에 의해 소정 높이만큼 상승시킨 다음 수평방향으로 이동하였으나, 상술한 수평방향 구동부(30')를 사용하고자 하는 평판표시소자 제조장치(10')에 각각 설치해야 하므로 소요 비용이 증가하며, 상술한 평판표시소자 제조장치(10')에서 어느 한 방향을 향해 돌출되므로 차지하는 면적의 증가와 장치의 무게 증가 및 구조가 복잡해지는 문제점이 있었다.
본 발명은 상기 종래의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 그 목적은 상술한 평판표시소자 제조장치에서 상부커버를 개폐하는 링크시스템의 구조를 변경하여 그 상부커버의 개폐가 용이할 수 있게 한 평판표시소자 제조장치 유지/보수용 개폐장치를 제공함에 있다.
상술한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 평판표시소자 제조장치 유지/보수용 개폐장치에 있어서, 상기 평판표시소자 제조장치의 상측에 기밀이 유지된 상태로 구비되는 상부커버와 분리되어 별도로 마련되고, 상기 상부커버에 결합하여 그 상부커버를 포물선의 궤적을 따라 회동식으로 개폐하는 링크 시스템이 마련됨으로써, 상술한 상부커버를 평판표시소자 제조장치의 상부에서 장탈착하기 위한 개폐장치를 링크로 조합된 링크 시스템에 의해 실시되며, 그 링크 시스템이 그 평판표시소자 제조장치의 일측에 마련하여 그 상부커버의 장탈착시 포물선 궤적을 따라 용이하게 실시되며, 상술한 상부커버를 유지 보수하기 쉬운 위치로 이동키므로 바 람직하다.
또한, 본 발명에서의 상기 링크 시스템은, 판상의 베이스; 상기 베이스의 상면에 상기 베이스와 평행이 되도록 양측이 지지되어 마련되며, 소정 각도로 회전하는 구동축; 상기 구동축의 양단에 각각 삽입 고정되며, 상기 구동축을 따라 소정 각도로 회동하는 구동링크; 상기 구동링크와 평행한 상태로 그 후단에 마련되며, 상기 구동링크를 따라 동일한 각도로 회동하는 종동링크; 상기 구동링크와 종동링크의 선단에 각각 힌지로 연결되며, 내측면에서 상부커버의 양단을 지지하여 그 상부커버를 회동시킬 수 있게 마련되는 연결링크; 일단은 베이스의 후단 중앙부에서 회동할 수 있게 지지되고, 타단은 구동축의 중앙부에 지지되어 상기 구동축에 회전력을 제공하는 구동수단;으로 이루어짐으로써, 상술한 평판표시소자 제조장치에서 상부커버를 장탈착하기 위해 마련되는 링크 시스템의 구동수단이 작동되면 그 구동수단의 피스톤 로드가 그 피스톤 로드에 연결되는 구동축을 회전시키며, 그 구동축의 양단에 고정된 구동링크와, 그 구동링크와 평행되게 후방에 마련되는 종동링크를 상호 힌지에 의해 연결링크에 연결하고 그 연결링크에 상부커버의 양단을 지지한 상태에서 그 상부커버를 구동수단 방향으로 회동시켜 평판표시소자 제조장치에서 장착 또는 탈착시키므로 여러개로 연결된 링크와 구동수단에 의해 용이하게 상부커버를 평판표시소자 제조장치로부터 실시되므로 바람직하다.
또한, 본 발명에서의 구동링크는, 고정링크와 이동링크로 이루어지며, 상기 고정링크가 상기 이동링크의 내부에서 출몰함으로써, 소정의 궤적을 따라 상부커버를 평판표시소자 제조장치에서 장탈착할 때, 상술한 구동링크가 출몰하여 작업자가 작업하기 쉬운 위치만큼 하강하므로 바람직하다.
또한, 본 발명에서는 상부커버의 양단에 돌출부가 형성되고, 그 돌출부가 각각 삽입되어 상기 상부커버를 소정 각도만큼 회동할 수 있도록 회전력을 제공하는 회전구동부가 연결링크의 대향된 내측면에 마련됨으로써, 상술한 상부커버의 바닥면에 대해 유지 보수하기 쉽도록 회전시키므로 바람직하다.
이하, 본 발명의 평판표시소자 제조장치를 첨부도면을 참조하여 일 실시예를 들어 설명하면 다음과 같다.
본 발명의 바람직한 일 실시예의 평판표시소자 제조장치 유지/보수용 개폐장치는 도 3에 도시된 바와 같이 적정 높이에서 위치되도록 마련되고, 내부에서 소정 공정이 수행되며, 그 내부에 구비된 장비의 유지 또는 보수하기 위해 상부가 개구된 평판표시소자 제조장치(110)와, 상술한 평판표시소자 제조장치(110)의 상면에 기밀을 유지할 수 있도록 마련되며, 상술한 평판표시소자 제조장치(110)내부에 마련된 장비를 분리 및 장착시킬 때 이동통로를 개폐하는 상부커버(120)와, 상기 평판표시소자 제조장치(110)의 일측에 마련되어 상술한 상부커버(120)를 평판표시소자 제조장치(110)에서 장착 또는 탈착시키는 링크시스템(130)으로 이루어진다.
상술한 링크시스템(130)은 지면에 접하게 마련되는 베이스(132)와, 상술한 베이스(132)의 일측 양단에 마련되는 구동축(136)과, 상술한 구동축(136)의 양단에 각각 고정되는 구동링크(138)와, 상술한 베이스(132)에 마련된 구동축(136)의 후방에 마련되는 종동축(144)과, 상술한 종동축(144)의 양단에 각각 고정되며, 상술한 구동링크(138)과 평행하게 회동할 수 있도록 마련되는 종동링크(146)와, 상술한 구동링크(138)과 종동링크(146)의 끝단을 각각 힌지 고정하며, 상술한 상부커버(120)의 양단을 회동 가능하게 지지하는 연결링크(156)와, 상술한 구동축(136)과 베이스(132)에 양단이 고정되어 그 구동축(136)을 적정 각도만큼 회전시키는 구동수단(152)으로 이루어진다.
상술한 베이스(132)는 직육면체의 틀형상으로 내부에 다수개의 보강부재로 연결시키며, 그 후단 중앙부에 직립된 판상으로 한 쌍의 연결부재(134)가 마련되어 그 연결부재(134)에 구동수단(152) 후단이 힌지 결합됨으로써 자유 회동되게 마련된다. 그리고, 상술한 베이스(132)에 구동수단(152)에 유압 또는 공압을 제공하는 압력 제공부가 상면 소정 위치에 마련된다.
상술한 구동축(136)은 수평방향으로 연장되는 봉 형상으로 상술한 구동수단(152)의 피스톤 로드와 연결될 수 있도록 그 중앙부에 양단에 원호가 형성된 삼각형상의 연결구(148)가 마련되며, 그 구동축(136)이 위치되는 베이스(132)의 양단의 길이보다 더 연장되어 그 연장된 부분에 구동링크(138)가 고정된다.
상술한 구동링크(138)는 길이 방향으로 연장되는 막대 형상으로 고정링크(140)와 이동링크(142)로 나누어지고 상술한 고정링크(140) 내부에 구비된 상태에 서 직선 왕복 운동하여 상술한 이동링크(142)가 출몰하게 되며, 상술한 고정링크(140)는 구동축(136)에 고정되고, 상술한 이동링크(142)는 연결링크(156)에 고정된다.
상술한 종동축(144)은 수평방향으로 연장되는 봉 형상으로 상술한 베이스(132)의 양단에 고정되되 상술한 구동축(136)의 후방에 위치되며, 그 종동축(144)이 위치되는 베이스(132)의 양단 길이보다 더 연장되어 그 연장된 부분에 각각 종동링크(146)가 고정된다.
상술한 종동링크(146)는 길이 방향으로 연장되는 막대 형상으로 출몰이 가능하며, 일단은 종동축(144)에 고정되고 타단은 연결링크(156)에 힌지로 고정된다. 한편, 상술한 종동링크(146)는 평상시에는 출몰하지 않고 길이가 고정되며, 상술한 상부커버(120)의 위치를 지면에서 가깝게 낮출 때만 선택적으로 출몰시킨다. 그리고, 상술한 종동링크(146)는 대향되는 내측면에 봉 형상의 연결부재(154)를 개재하여 회동하는 과정에서 어느 한 종동링크(46)에 부하가 걸리는 것을 양단으로 분산시킨다.
여기서, 상술한 구동링크(138)중 고정링크(140)에서 이동링크(142)가 출몰되고, 상술한 종동링크(146)도 출몰 가능하게 마련되는 이유는 상부커버(120)의 양단을 지지한 상태에서 회동하고 180°로 회전시킨 상부커버(120)를 작업이 용이한 위치까지 하강시키고자 할 때, 상술한 종동링크(146)와 상술한 구동링크(138)의 이동링크(142)가 하강하여 함몰되면 그에 따라 상부커버(120)도 하강하므로 낮은 위치에서 유지 보수가 용이하게 이루어지기 때문이다.
상술한 구동수단(152)은 공압 또는 유압으로 작동하는 실린더로 유체 또는 기체에 의해 출몰하는 피스톤 로드 선단에 마련된 연결부재(154)를 구동축(136)에 마련된 연결구(148)에 개입시킨 다음 이탈을 방지할 수 있도록 힌지로 고정하며, 후단은 베이스(132)의 후단 중앙부에 마련된 연결부재(134)에 개입하고 힌지로 고정한다. 그러므로, 상술한 구동수단(152)의 선단은 구동축(136)에 고정되고 후단은 베이스(132)에 고정되며, 상술한 베이스(132)의 연결부재(134)를 기점으로 소정 각도만큼 회동한다.
또한, 상술한 구동수단(152)는 실린더 이외에 스크루 잭(Screw jack)을 작동시켜 상술한 구동축(136)을 적정 각도만큼 회동시킨다.
상술한 연결링크(156)는 상술한 구동링크(138)의 이동링크(142) 상부와 상술한 종동링크(146)의 상부를 힌지로 고정시키며, 그 내측면에는 상부커버(120)의 양단에 형성된 돌출부(도면에 미도시)가 각각 삽입되어 상술한 상부커버(20)를 소정 각도만큼 회동할 수 있도록 회전력을 제공하는 회전구동부(도면에 미도시)가 마련된다.
여기서, 상술한 상부커버(120)는 상술한 링크 시스템(130)에 의해 회동식으로 개폐되며, 여기서, 회동식이라 함은 종래와 같이 상부커버(120)을 크린룸 천장에 마련된 크레인으로 개폐시켜 이동하거나, 상술한 상부커버(120)를 상술한 평판표시소자 제조장치(110)에서 소정 높이로 상승하고 어느 한 수평방향으로 이동시킨 상부커버(120)를 회전시킬 수 있는 별도의 장비에 이동시켜 그 상부커버(120)가 회전되게 하는 것이 아니라, 상술한 상부커버(120)가 링크 시스템(130)의 4절 링크에 의해 포물선 궤적을 따라 이동하면서 그 상부커버(120)가 수직방향으로의 상승공정, 수평방향으로의 이동공정 및 상술한 상부커버(120)의 바닥면이 상부에 위치되도록 회전시키는 회전공정이 연속된 하나의 공정에 의해 이루어짐을 말한다.
그러므로, 본 발명에 따른 평판표시소자 제조장치 유지/보수용 개폐장치의 링크 시스템에 의해 개폐되는 과정은 도 4a 내지 도 4e에 도시된 바와 같이 상술한 상부커버(120)가 평판표시소자 제조장치(110)의 상면에 장착된 상태에서 압력 제공부에서 상술한 구동수단(152)에 압을 제공하여 그 상부커버(120)가 평판표시소자 제조장치(110)에 장착된 링크 시스템(130)에 의해 상술한 상부커버(120)가 평판표시소자 제조장치(110)의 상면에 장착된 상태에서 전방으로 이동된 구동수단(152)의 피스톤 로드를 소정 길이만큼 후방으로 이동시키면 상술한 구동수단(152)의 피스톤 로드 선단에서 회동이 가능할 수 있게 구동축(136)에 고정된 연결구(148)가 구동수단(152)쪽으로 회동하며, 그에 따라 상술한 연결구(148)가 고정된 구동축(136)을 구동수단(152) 방향으로 회전시킨다.
그후, 회전된 구동축(136)을 따라 그 구동축(136)의 양단에 마련된 구동링크(138)가 회동하게 되며, 그 구동링크(138)의 후방에서 종동축(144)의 양단에 고정된 종동링크(146)도 회전하게 되므로 그 구동링크(138)과 종동링크(146)의 상단에 각각 마련된 연결링크(156)가 포물선 궤적을 따라 이동하게 된다.
그리고, 상술한 상부커버(120)가 4절 링크 구조인 구동링크(138)와 종동링크(146)와 연결링크(156)로 구성되어 그 구동링크(138)에 고정된 연결구(148)를 구동수단(152)의 피스톤 로드가 후진함에 따라 상술한 구동축(136)을 회동시키고, 상술 한 상부커버(120)가 적정 위치에 도달했을 때 상술한 상부커버(120)를 소정의 각도만큼 회전하게 되고 상술한 연결링크(156)의 내측에 마련된 회전 구동부에 의해 상술한 연결부재(156)의 양단에서 상부커버(120)를 지지한 상태로 180°만큼 이동하게 되며, 이때, 상술한 상부커버(120)의 적정 위치라 함은 그 상부커버(120)의 회전시 평판표시소자 제조장치(100)의 모서리 부분과 종동링크(146)에 개재된 보강부재(150)에 의해 충돌하지 않는 각도만큼 이동하는 것이다.
그후, 상술한 상부커버(120)가 회전하여 그 상부커버(120)의 바닥면이 상측에 도달하면 상술한 상부커버(120)의 위치를 작업하기 쉬운 위치까지 하강시킬 수 있게 상술한 구동수단(152)쪽으로 구동링크(138)를 구동수단(152)쪽으로 피스톤 도르를 최대한 후진하여 그 구동링크(138)가 구동수단(152) 방향으로 기울면 상술한 연결링크(156)에 의해 상술한 종동링크(146)도 평행하게 기울게 되며, 상술한 구동링크(138)인 고정링크(140)와 이동링크(142)중 상술한 고정링크(140)의 내부로 이동하는 이동링크(142)와, 상술한 종동링크(146)가 하강하여 상술한 상부커버(120)의 위치는 작업자가 별도의 높이로 올라가지 않고 유지 보수가 가능한 위치까지 하강하게 된다.
이와 같은 평판표시소자 제조장치 유지/보수용 개폐장치는, 상술한 상부커버가 마련된 평판표시소자 제조장치의 어느 일측에 마련되어 그 상부커버를 개폐하되 지면과 접한 상태로 마련된 베이스의 선단에 각각 구동링크와 종동링크를 연결하고 상술한 구동링크와 종동링크의 선단을 연결링크로 연결하며, 그 연결링크에 상부커 버의 양단을 지지한 상태에서 상술한 구동링크에 회전력을 부여하는 구동수단에 의해 상술한 상부커버를 개폐하여 각각의 평판표시소자 제조장치에 대하여 4절 링크로 조합된 개폐장치에 의해 독립적으로 운용이 가능하며, 지면에 마련되므로 설치 공간에 한정을 받지 않고, 대형화되는 상부커버를 낮은 위치로 이동시켜 유지 보수시 작업이 용이한 효과가 있다.

Claims (5)

  1. 평판표시소자 제조장치 유지/보수용 개폐장치에 있어서,
    상기 평판표시소자 제조장치의 상측에 기밀이 유지된 상태로 구비되는 상부커버와 분리되어 별도로 마련되고, 상기 상부커버에 결합하여 그 상부커버를 포물선의 궤적을 따라 회동식으로 개폐하는 링크 시스템이 마련되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치 유지/보수용 개폐장치.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 링크 시스템은,
    판상의 베이스;
    상기 베이스의 상면에 상기 베이스와 평행이 되도록 양측이 지지되어 마련되며, 소정 각도로 회전하는 구동축;
    상기 구동축의 양단에 각각 삽입 고정되며, 상기 구동축을 따라 소정 각도로 회동하는 구동링크;
    상기 구동링크와 평행한 상태로 그 후단에 마련되며, 상기 구동링크를 따라 동일한 각도로 회동하는 종동링크;
    상기 구동링크와 종동링크의 선단에 각각 힌지로 연결되며, 내측면에서 상부커버의 양단을 지지하여 그 상부커버를 회동시킬 수 있게 마련되는 연결링크;
    일단은 베이스의 후단 중앙부에서 회동할 수 있게 지지되고, 타단은 구동축의 중앙부에 지지되어 상기 구동축에 회전력을 제공하는 구동수단;으로 이루어진 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치 유지/보수용 개폐장치.
  3. 제 2항에 있어서, 상기 구동링크는,
    고정링크와 이동링크로 이루어지며, 상기 고정링크가 상기 이동링크의 내부에서 출몰하는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치 유지/보수용 개폐장치.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 상부커버의 양단에 돌출부가 형성되고, 그 돌출부가 각각 삽입되어 상기 상부커버를 소정 각도만큼 회동할 수 있도록 회전력을 제공하는 회전구동부가 연결링크의 대향된 내측면에 마련되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치 유지/보수용 개폐장치.
  5. 제 4항에 있어서, 상기 구동수단은,
    공압실린더 또는 유압실린더로 이루어진 군에서 선택되는 단 하나인 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치 유지/보수용 개폐장치.
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