KR101900791B1 - 반도체 공정 설비용 도어 인터락 장치 - Google Patents

반도체 공정 설비용 도어 인터락 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 반도체 공정 설비의 부품 또는 소모품을 교체하는 도중에 갑작스런 도어 낙하로 작업자에게 가해질 수 있는 충격으로 인해 발생할 수 있는 안전사고를 방지할 수 있는 효과가 있다. 이를 위해 특히, 내외부로 유입 또는 배출되는 에어의 속도를 조절하여 챔버의 도어가 열리거나 닫히는 속도를 제어하기 위한 에어 실린더부; 도어가 열리거나 닫힐 때 펼쳐지거나 접히는 도어 개폐부; 도어 개폐부에 마련되어 있으며, 도어가 상기 챔버의 상측 방향으로 구동되어 열린 상태에서 도어가 챔버의 하측 방향으로 도어가 닫히는 것을 방지하는 스토퍼부; 및 에어 실린더부를 챔버의 내측 벽면 및 도어에 각각 고정시키는 실린더 고정부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 공정 설비용 도어 인터락 장치가 개시된다.

Description

반도체 공정 설비용 도어 인터락 장치{Door interlock apparatus for semiconductor process equipment}
본 발명은 반도체 공정 설비용 도어 인터록 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는 반도체 제조 공정 중 다이 어태치 공정에 이용되는 설비의 도어 인터락 장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 패키지의 제조공정은 웨이퍼에서 낱개의 반도체 다이를 소잉하여 분리하는 소잉공정, 소잉된 낱개의 반도체 다이를 기판판 위에 접착하는 다이 어태치 공정, 반도체 다이와 기판을 도전성 와이어로 본딩하여 전기적으로 연결하는 와이어 본딩 공정, 반도체 다이의 내부회로와 기타 부품을 보호하기 위해 반도체 다이의 주변을 감싸는 몰딩 공정, 기판을 절단 및 절곡하는 트림/폼 공정, 완성된 반도체 패키지의 불량 여부를 검사하는 테스트 공정으로 이루어진다.
특히, 반도체 제조 공정 중 다이 어태치 공정은 다이 어태치 설비를 이용해 소잉 공정을 거쳐 개개의 칩으로 분리된 반도체 다이를 접착 테이프를 이용하여 고온, 고압의 조건 하에서 기판에 본딩하거나 에폭시 등의 접착 물질을 도포한 기판에 반도체 다이를 본딩하는 공정을 말한다.
한편, 종래의 다이 어태치 공정에 사용되는 설비는 작동중인 설비에 접근하지 못하도록 제어하는 안전장치로서 도어 인터락 장치를 구비하여 설비의 문이 열리면 내부의 기계 동작이 정지되도록 하고 있으며, 이러한 도어 인터락 장치는 도어를 개폐시키기 위해 가스 쇼바(gas sorber)를 사용하고 있었다. 그러나, 종래의 도어 인터락 장치는 가스 쇼바에 불량 또는 고장이 발생한 경우, 작업자가 다이 어태치 설비의 부품 또는 소모품 교체를 위해 다이 어태치 설비의 도어를 열고 작업을 하는 과정 중에 도어가 갑작스럽게 낙하를 하여 작업자의 허리, 머리 등에 충격을 가함으로써 안전사고를 빈번하게 발생시키는 문제가 있었다. 또한, 종래의 도어 인터락 장치는 가스 쇼바의 교체 등에 따른 부품 비용이 추가로 소요될 뿐만 아니라 가스 쇼바의 교체 작업으로 인해 다이 어태치 설비의 작동을 중지시켜야 하므로 이로 인해 로스 타임(loss time)이 발생하게 되므로 반도체의 생산성을 저하시키는 문제가 있었다.
대한민국 공개특허공보 제1997-0017997호 (1997. 04. 30. 공개)
본 발명은 상기의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 반도체 공정 설비의 부품 또는 소모품 교체 등의 작업 도중에 도어의 낙하에 의해 작업자에게 발생할 수 있는 안전사고를 방지할 수 있는 반도체 공정 설비용 도어 인터락 장치를 제공하는 데 있다.
상기와 같은 본 발명의 목적은 내외부로 유입 또는 배출되는 에어의 속도를 조절하여 챔버의 도어가 열리거나 닫히는 속도를 제어하기 위한 에어 실린더부; 도어가 열리거나 닫힐 때 펼쳐지거나 접히는 도어 개폐부; 도어 개폐부에 마련되어 있으며, 도어가 상기 챔버의 상측 방향으로 구동되어 열린 상태에서 도어가 챔버의 하측 방향으로 도어가 닫히는 것을 방지하는 스토퍼부; 및 에어 실린더부를 챔버의 내측 벽면 및 도어에 각각 고정시키는 실린더 고정부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 공정 설비용 도어 인터락 장치를 제공함으로써 달성될 수 있다.
여기서, 실린더 고정부는, 에어 실린더부의 일측을 반도체 공정 설비에 고정시키기 위한 제1브라켓; 및 에어 실린더부의 타측을 도어에 고정시키기 위한 제2브라켓을 포함할 수 있다.
그리고, 도어 개폐부는, 제2브라켓에 회전 가능하게 연결되는 제1연결암; 및
일단은 제1연결암과 회전 가능하게 연결되고 타단은 제1브라켓과 회전 가능하게 연결되는 제2연결암;을 포함하되, 제1연결암과 제2연결암은 접히거나 펼쳐질 수 있다.
아울러, 스토퍼부는, 제1연결암의 일단에 형성되어 있는 걸림홈; 제2연결암에 마련되어 있으며, 걸림홈에 삽입되어 걸림으로써 도어의 열린 상태를 유지시키기 위한 걸림편; 및 걸림편에 탄성복원력을 가하여 걸림홈에 걸림편이 삽입된 상태를 유지시키는 탄성체;를 포함할 수 있다.
또한, 걸림홈은, 제2연결암이 제1연결암과 이루는 각도가 180°를 초과하지 않도록 일측은 끝단이 라운드진 구조로 형성되어 있으며, 일측과 타측이 단차진 구조를 가지고 있을 수 있다.
한편, 인터락 장치는, 도어가 챔버의 상하 방향으로 구동되는 것을 제어하기 위한 컨트롤부;를 더 포함할 수 있다.
아울러, 인터락 장치는, 인체나 물체의 존재 여부를 감지하는 센서부;를 더 포함하되, 센서부는, 챔버의 일측 벽면에 마련되어 감지신호를 발신하는 센서송신부; 및 챔버의 타측 벽면에 마련되어 감지신호를 수신하는 센서수신부;를 포함할 수 있다.
그리고, 인터락 장치는, 도어 개폐부로부터 발생하는 이물질을 수거하도록 도어 개폐부의 하측에 마련되는 이물수거부;를 더 포함할 수 있다.
본 발명은 첫째, 반도체 공정 설비의 부품 또는 소모품을 교체하는 도중에 반도체 공정 설비의 갑작스런 도어 낙하로 작업자에게 가해질 수 있는 충격으로 인해 발생할 수 있는 안전사고를 방지할 수 있는 효과가 있다.
둘째, 반도체 공정 설비의 부품 또는 소모품의 교체시 자동으로 도어를 개폐할 수 있을 뿐만 아니라, 작업자의 키 높이에 따른 개별적 키높이 받침대를 사용하지 않아도 되므로 작업의 편의성을 증대시킬 수 있는 효과가 있다.
셋째, 가스 쇼바를 사용하지 않음으로써 가스 쇼바를 교체할 필요가 없으며, 이를 통해 가스 쇼바의 구매 비용 및 인건비 등을 지출할 필요가 없으므로 반도체의 생산 원가를 절감할 수 있는 효과가 있다.
넷째, 가스 쇼바의 교체를 위해 반도체 공정 설비의 작동을 중지시킬 필요가 없으므로 반도체의 생산을 위한 로스 타임을 줄여 반도체 공정 설비의 유효 가동 시간을 높일 수 있으므로 반도체의 생산성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 반도체 공정 설비 중 다이 어태치 설비의 대략적인 구성을 나타낸 사시도,
도 2 및 도 3은 본 발명의 일실시예에 따라 도어가 닫힌 상태에서 좌우측 방향에서의 구성을 나타낸 사시도,
도 4 및 도 5는 본 발명의 일실시예에 따라 도어가 열린 상태에서 좌우측 방향에서의 구성을 나타낸 사시도,
도 6은 본 발명의 일실시예에 따라 도어가 닫힌 작동 상태를 나타낸 평면도,
도 7은 본 발명의 일실시예에 따라 도어가 열린 작동 상태를 나타낸 평면도,
도 8은 본 발명의 일실시예에 따라 걸림편과 걸림홈 동작 상태를 나타낸 평면도이다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면들을 참조하여 상세히 설명한다. 도면들 중 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 참조번호들 및 부호들로 나타내고 있음에 유의해야 한다. 또한, 하기에서 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략한다.
< 인터락 장치의 구성>
도 1 내지 도 8에 도시된 바와 같이, 본 발명인 반도체 공정 설비(1)용 도어 인터락 장치(10)(이하, '인터락 장치(10)'라 함)는 크게 에어 실린더부(100), 도어 개폐부(200), 스토퍼부(300), 실린더 고정부(700)를 포함하여 구성된다.
에어 실린더부(100)는 내외부로 유입 또는 배출되는 에어의 속도를 조절하여 챔버(C)의 도어(D)가 열리거나 닫히는 속도를 제어하기 위해 마련된다. 즉, 에어 실린더부(100)의 내부로 유입되거나 외부로 배출되는 에어의 속도가 빠르면 도어(D)가 상하로 구동되는 속도도 빠르게 되며, 에어 실린더부(100)의 내외부로 배출 또는 유입되는 에어의 속도가 느리면 도어(D)가 상하로 구동되는 속도가 느리게 된다. 여기서, 에어 실린더부(100)의 내외부로 유입 또는 배출되는 에어의 속도는 에어의 통로(미도시)의 크기를 달리함으로써 조절될 수 있다. 본 발명에서는 종래의 인터락 장치(10)가 가스 쇼바를 사용하는 것과 달리 본 발명에서는 에어 실린더를 사용함으로써, 도어(D)가 열린 상태에서 갑자기 하측 방향으로 구동(또는 낙하)하는 것을 방지할 수 있다. 한편, 본 발명에서 사용하는 용어 '챔버(C)'는 작업자가 반도체 공정 설비(1)의 부품이나 소모품 등을 교체하기 위해 작업하는 공간을 말한다.
도어 개폐부(200)는 에어 실린더부(100)에 결합되어 있으며, 도어(D)의 상하 방향 구동에 의해 에어 실린더부(100)가 신축된다. 한편, 도어 개폐부(200)는 제1브라켓(710)에 회전 가능하게 연결되는 제1연결암(210) 및 일단은 제1연결암(210)과 회전 가능하게 연결되고 타단은 제2브라켓(720)과 회전 가능하게 연결되는 제2연결암(220)을 포함하고 있다. 여기서, 제1연결암(210) 및 제2연결암(220)은 기다란 판상의 형상을 취하고 있고, 제1연결암(210)은 절곡된 구조를 가지고 있는 반면에 제2연결암(220)은 일자형 구조를 가질 수 있다. 이를 통해, 도어(D)가 챔버(C)의 상하측 방향으로 구동될 때, 제2연결암(220)이 제1연결암(210)을 기준으로 회동함으로써 제1연결암(210)과 제2연결암(220)이 접히거나 펴진다. 한편, 제2연결암(220)은 한 쌍으로 마련되어 있으며, 제1연결암(210)은 한 쌍의 제2연결암(220) 사이에 삽입 결합되어 상호 연결된 상태를 유지하고 있다. 또한, 제2연결암(220)과 제1연결암(210)은 축으로 결합하되 시계 또는 반시계 방향으로 회전 가능하게 결합되어 있다.
스토퍼부(300)는 도어 개폐부(200)에 마련되어 있으며, 도어(D)가 챔버(C)의 상측 방향으로 구동되어 열린 상태에서 도어(D)가 닫히는 것을 방지한다. 여기서, 스토퍼부(300)는, 제1연결암(210)의 일단에 형성되어 있는 걸림홈(320), 걸림홈(320)에 삽입되어 걸림으로써 도어(D)의 열린 상태를 유지시키기 위한 걸림편(310), 제2연결암(220)의 양 측면에 결합되어 있으며 제2연결암(220)이 제1연결암(210)에 대해 회동하여 제1연결암(210)과 제2연결암(220)이 펼쳐진 상태를 유지할 수 있도록 걸림편(310)에 탄성력을 부여하는 탄성체(330)를 포함하고 있다. 또한, 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 걸림홈(320)은 제2연결암(220)이 제1연결암(210)과 이루는 각도가 180°를 초과하지 않도록 일측은 끝단이 라운드진 구조로 형성되어 있으며, 타측보다 높이가 낮게 형성된 단차진 구조를 가지고 있다. 종래의 가스 쇼바를 이용한 인터락 장치(10)에서는 가스 쇼바에 불량이 있거나 고장 난 경우 작업자가 챔버(C)의 도어(D)를 열고 부품이나 소모품 등의 교체를 위해 작업을 하는 도중에 도어(D)가 갑자기 하강하여 작업자의 머리나 허리에 충격을 가하여 안전사고를 유발시키는 문제가 빈번히 발생하였다. 그러나, 본 발명인 인터락 장치(10)에서는 걸림홈(320)이 전술한 바와 같은 구조를 가짐으로써 도어(D)가 의도치 않은 상황에서 갑자기 닫히는 것을 방지할 수 있다. 구체적으로, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 걸림홈(320)은 U자 형상의 홈을 가지고 있되, 걸림홈(320)의 양 끝단의 높이가 다르게 형성되어 있다. 또한, 높이가 낮은 일단은 끝부분이 라운드지게 형성되어 있는 것이 바람직하다. 반면에, 걸림홈(320)의 타단은 수평면과 내측의 수직면이 이루는 각도가 180°이하가 되도록 하는 것이 바람직하다. 이는 외력에 의해 걸림편(310)이 걸림홈(320)의 타단을 타고 넘어가게 되면 도어(D)가 챔버(C)의 하측 방향으로 계속 하강 또는 낙하할 수 있으므로 이를 방지하기 위한 것이다. 이와 같은 구조를 취함으로써, 도어(D)가 챔버(C)의 상측 방향으로 구동되는 경우에는 걸림편(310)이 걸림홈(320)의 높이가 낮고 라운드진 일단을 타고 넘어가면서 도어(D)가 열릴 수 있으나, 도어(D)를 과도하게 열려고 하면 걸림편(310)이 걸림홈(320)의 타단을 타고 넘어가지 못한다. 따라서, 걸림편(310)이 걸림홈(320)에 삽입되어 도어(D)가 하강하는 것을 방지함으로써 챔버(C)에서 작업을 하는 작업자의 머리나 허리에 충격을 주는 것을 막을 수 있는 효과를 가지게 된다. 한편, 도 8에 도시된 바와 같이, 한 쌍의 제2연결암(220)의 양 측면에는 탄성체(330)가 마련되어 있다. 탄성체(330)는 도어(D)가 챔버(C)의 상측 방향으로 구동되어 있는 경우에는 탄성력에 의해 걸림편(310)이 걸림홈(320)에 끼워진 상태를 유지함으로써 도어(D)가 챔버(C)의 하측 방향으로 하강하는 것을 방지하며, 도어(D)가 외력에 의해 챔버(C)의 하측 방향으로 구동되는 경우에는 걸림편(310)이 걸림홈(320)으로부터 이탈할 수 있도록 탄성체(330)가 늘어나게 된다. 이를 위해, 제2연결암(220)에 탄성체(330)의 일단을 결합시키기 위한 걸림편(310)은 제2연결암(220)에 형성되어 있는 이동홀(221)을 따라 일정 범위 내에서 이동될 수 있어야 하며, 이동홀(221)은 장공 형상으로 형성되어 있는 것이 바람직하다.
실린더 고정부(700)는 에어 실린더부(100)를 챔버(C)의 내측 벽면 및 도어(D)에 각각 고정된다. 여기서, 실린더 고정부(700)는 에어 실린더부(100)의 일측을 다이 어태치 설비(10)에 고정시키기 위한 제1브라켓(710), 에어 실린더부(100)의 타측을 도어(D)에 고정시키기 위한 제2브라켓(720)을 포함하여 구성된다. 에어 실린더부(100)의 일측과 타측은 결합부재를 통해 각각 다이 어태치 설비(10) 및 도어(D)에 고정될 수 있으며, 이러한 결합부재로는 볼트와 나사 등이 이용될 수 있다.
한편, 본 발명인 인터락 장치(10)는 도어(D)가 챔버(C)의 상하 방향으로 구동되는 것을 제어하기 위한 컨트롤부(500)를 더 포함할 수 있다. 즉, 다이 어태치 설비(10)의 도어(D)에는 작업자가 수동으로 도어(D)를 상.하측 방향으로 구동시키기 위한 손잡이가 마련되어 있을 수도 있으나, 외부 전원(미도시) 및 모터(미도시) 등을 이용해 전기적인 방법으로 도어(D)를 구동시킬 수 있도록 컨트롤부(500)를 구비하고 있을 수 있다.
그리고, 본 발명인 인터락 장치(10)는 도어(D)가 닫히는 것을 방지할 수 있도록 인체나 물체의 존재를 감지하는 센서부(400)를 더 포함할 수 있다. 여기서, 센서부(400)는 챔버(C)의 일측 벽면에 마련되어 있으며 감지신호를 발신하는 센서송신부(410), 챔버(C)의 타측 벽면에 마련되어 있으며 감지신호를 수신하는 센서수신부(420)를 포함하여 구성될 수 있다. 즉, 센서부(400)는 챔버(C)에서 작업을 진행하고 있는 작업자 등을 감지한 경우에는 도어(D)가 챔버(C)의 하측 방향으로 구동되어 닫히는 것을 방지할 수 있도록 한다. 이를 위해, 센서송신부(410)에서는 일정한 주기로 감지신호를 발신하며, 센서수신부(420)는 감지신호에 대한 수신 정보를 다이어태치 설비를 제어하는 제어부(미도시)에 전송한다. 제어부는 수신 정보를 분석하여 작업자 등이 있는지 여부를 판단하고, 작업자 등이 있은 것으로 판단된 경우에는 도어(D)가 챔버(C)의 하측 방향으로 하강하는 것을 방지한다.
아울러, 본 발명인 인터락 장치(10)는 도어 개폐부(200)의 동작에 의해 발생할 수 있는 이물질을 수거하여 제거할 수 있도록 도어 개폐부(200)의 하측에 마련되는 이물수거부(600)를 더 포함하여 구성될 수 있다. 즉, 제1연결암(210)과 제2연결암(220)은 도어(D)의 승.하강 구동에 따라 반복적인 상호 동작을 하게 된다. 이러한 상호 동작에 의한 마찰에 의해 파티클 등 이물질이 발생할 수 있으며, 상호 동작의 원활한 진행을 위해 제1연결암(210) 및 제2연결암(220)에 묻어 있는 오일로 인한 찌꺼기가 발생할 수 있다. 이러한 이물질을 그대로 방치할 경우에는 청정 조건을 요하는 반도체 제조 공정에서 불량품을 양산할 수 있는 문제를 야기할 수 있다. 따라서, 이러한 이물질 등을 수거하여 제거할 수 있도록 제1연결암(210) 및 제2연결암(220)의 하측에는 이물수거부(600)가 마련된다.
<인터락 장치의 작동>
이하에서는, 도 2 내지 도 8을 참조하여 본 발명인 인터락 장치(10)의 작동에 대해 설명한다.
우선, 외력에 의해 도어(D)를 챔버(C)의 하측 방향으로 구동시켜 도어(D)를 닫는 경우, 제1연결암(210)에 결합되어 있는 제2연결암(220)은 하부로 회동하게 되고, 이때, 걸림편(310)은 U자형 걸림홈(320)으로부터 이탈한다. 그리고, 탄성체(330)는 탄성력에 의해 수축되면서 걸림편(310)이 제자리로 복원된다. 또한, 도어(D)가 챔버(C)의 하측 방향으로 구동되는 속도는 에어 실린더의 외부로 배출되는 에어의 속도를 조절함으로써 제어될 수 있다. 아울러, 도어(D)가 챔버(C)의 상측 방향으로 구동되면서 제1연결암(210)과 제2연결암(220)이 이루은 각도는 180° 미만이 된다.
다음으로, 외력에 의해 도어(D)를 챔버(C)의 상측 방향으로 구동시켜 챔버(C)를 여는 경우, 제1연결암(210)은 상부로 회동하게 되고, 이때, 걸림편(310)은 U자형 걸림홈(320)의 낮은 일단을 타고 넘어가고 탄성체(330)에 의해서 걸림홈(320)의 오목하게 들어간 부분에 안착되게 된다. 이에 따라, 도어(D)가 닫히는 것을 방지할 수 있다.
이상에서 본 발명에 대한 기술 사상을 첨부 도면과 함께 서술하였지만, 이는 본 발명의 가장 양호한 일 실시예를 예시적으로 설명한 것이지 본 발명을 한정하는 것은 아니다. 또한, 이 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자이면 누구나 본 발명의 기술 사상의 범주를 이탈하지 않는 범위 내에서 다양한 변형 및 모방이 가능함은 명백한 사실이다.
1 : 다이 어태치 설비
10 : 인터락 장치
100 : 에어 실린더부
200 : 도어 개폐부
210 : 제1연결암
220 : 제2연결암
221 : 이동홀
300 : 스토퍼부
310 : 걸림편
320 : 걸림홈
330 : 탄성체
400 : 센서부
410 : 센서송신부
420 : 센서수신부
500 : 컨트롤부
600 : 이물수거부
700 : 실린더 고정부
710 : 제1브라켓
720 : 제2브라켓
D : 도어 C : 챔버

Claims (8)

  1. 내외부로 유입 또는 배출되는 에어의 속도를 조절하여 챔버의 도어가 열리거나 닫히는 속도를 제어하기 위한 에어 실린더부;
    상기 도어가 열리거나 닫힐 때 펼쳐지거나 접히는 도어 개폐부;
    상기 도어 개폐부에 마련되어 있으며, 상기 도어가 상기 챔버의 상측 방향으로 구동되어 열린 상태에서 상기 도어가 상기 챔버의 하측 방향으로 상기 도어가 닫히는 것을 방지하는 스토퍼부; 및
    상기 에어 실린더부를 상기 챔버의 내측 벽면 및 상기 도어에 각각 고정시키는 실린더 고정부; 를 포함하며,
    상기 도어 개폐부로부터 발생하는 이물질을 수거하도록 상기 도어 개폐부의 하측에 마련되는 이물수거부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 공정 설비용 도어 인터락 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 실린더 고정부는,
    상기 에어 실린더부의 일측을 상기 반도체 공정 설비에 고정시키기 위한 제1브라켓; 및
    상기 에어 실린더부의 타측을 상기 도어에 고정시키기 위한 제2브라켓을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 공정 설비용 도어 인터락 장치.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 도어 개폐부는,
    상기 제1브라켓에 회전 가능하게 연결되는 제1연결암; 및
    일단은 상기 제1연결암과 회전 가능하게 연결되고 타단은 상기 제2브라켓과 회전 가능하게 연결되는 제2연결암;을 포함하되,
    상기 제1연결암과 상기 제2연결암은 접히거나 펼쳐지는 것을 특징으로 하는 하는 반도체 공정 설비용 도어 인터락 장치.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 스토퍼부는,
    상기 제1연결암의 일단에 형성되어 있는 걸림홈;
    상기 제2연결암에 마련되어 있으며, 상기 걸림홈에 삽입되어 걸림으로써 상기 도어의 열린 상태를 유지시키기 위한 걸림편; 및
    상기 걸림편에 탄성복원력을 가하여 상기 걸림홈에 상기 걸림편이 삽입된 상태를 유지시키는 탄성체;를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 공정 설비용 도어 인터락 장치.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 걸림홈은,
    제2연결암이 상기 제1연결암과 이루는 각도가 180°를 초과하지 않도록 일측은 끝단이 라운드진 구조로 형성되어 있으며, 일측과 타측이 단차진 구조를 가지고 있는 것을 특징으로 하는 반도체 공정 설비용 도어 인터락 장치.
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 도어가 상기 챔버의 상하 방향으로 구동되는 것을 제어하기 위한 컨트롤부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 공정 설비용 도어 인터락 장치.
  7. 제 6항에 있어서,
    인체나 물체의 존재 여부를 감지하는 센서부;를 더 포함하되,
    상기 센서부는,
    상기 챔버의 일측 벽면에 마련되어, 감지신호를 발신하는 센서송신부; 및
    상기 챔버의 타측 벽면에 마련되어, 상기 감지신호를 수신하는 센서수신부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 공정 설비용 도어 인터락 장치.
  8. 삭제
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