JP4871452B2 - 両面スロットバルブ - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
一般には、本発明は半導体処理装置のモジュール用のバルブに関し、より詳細には、2つのクレードル板に取り付けられ、複スロットバルブを支える単一軸アクチュエータと、半導体処理装置の別々のチャンバの間にそのようなバルブを実装する方法に関し、その方法においては、スロットのシール面に対してそのバルブが閉じる際に、少なくともひとつのクレードルのひとつの回動軸がそのバルブの取り付け面と垂直に一直線上に配置されることで、そのバルブがシール面に対して直角に動き、一方のチャンバの修理中に他方のチャンバ内で動作を継続することが可能である。半導体処理装置は複数チャンバ真空システムでもよい。
【0002】
【従来の技術】
半導体デバイスの製造においては、複数のプロセスチャンバを連結し、例えば連結されたチャンバの間で基板もしくはウェーハの移動を可能にする。そのような移動は、例えば連結されたチャンバの隣接した壁に備えつけられたスロットもしくはポートを通してウェーハを移動させる搬送モジュールを経由して行われる。例えば、搬送モジュールは一般に、半導体エッチングシステム、物質蒸着システム、およびフラットパネル・ディスプレイ・エッチングシステムなど様々な基板処理モジュールと組み合わせて用いられる。清浄さと処理精度の高さへの要求が高まるにつれて、処理工程中および工程間での作業員との相互作用の量を減少させる必要性が高まってきた。この要求は、(通常、減圧状態、例えば真空状態に保たれた)中間操作装置として働く搬送モジュールの実現により部分的に満たされた。一例として、搬送モジュールは、基板が貯蔵されている1つ以上のクリーンルーム格納設備と、基板が実際に処理される、例えば、エッチングもしくはその直後に蒸着が行われる多数の基板処理モジュールとの間に物理的に配置させることができる。この様に、基板の処理が必要な際には、搬送モジュール内に配置されたロボットアームを用いて、格納庫から選択された基板を取り出し、多数の処理モジュールのひとつに送り込むことも可能である。
【0003】
当業者によく知られているように、多数の格納設備と処理モジュールの間で基板を「搬送する」搬送モジュールの配列は、「クラスタツール構造」システムと呼ばれることが多い。図1は、搬送モジュール106に連結する様々なチャンバを示す典型的な半導体処理クラスタツール構造100を表している。搬送モジュール106が、個々に最適化されて様々な製造処理を実行できる3つの処理モジュール108a−108cに連結されているのが示されている。一例として、処理モジュール108a−108cは、変成器結合プラズマ(TCP)基板エッチング、層の蒸着および/またはスパッタリングを実行するために実装することができる。
【0004】
搬送モジュール106には、搬送モジュール106に基板を送り込むために実装することのできるロードロック104が連結されている。ロードロック104は、基板が格納されているクリーンルーム102に連結してもよい。ロードロック104は、取り出しおよび配送装置として機能するとともに、搬送モジュール106とクリーンルーム102との間の圧力変化インターフェースとしても機能する。従って、クリーンルーム102を大気圧に保つ一方で、搬送モジュール106を一定気圧(例えば、真空)に保つことができる。圧力の変わり目でモジュール間の漏れを防ぐ、または処理中に搬送モジュール106から処理モジュールを密封するために、様々な種類のゲートドライブバルブが、様々なモジュールの隔離に用いられている。
【0005】
ゲートドライブバルブに関する詳しい情報については、米国特許番号4,721,282を参照することができ、それは参照によりここに組み入れられる。そのようなゲートドライブバルブは米国特許番号5,667,197でも開示されている。その特許においては、2つのポート開口部と、2つのポート開口部のうちひとつに対してひとつのバルブのみを有する従来技術のバルブハウジングが開示されている。従って、バルブを持たないポートを閉じるのは不可能である。また、‘282特許のゲートプレートバルブは、隣接した搬送チャンバと処理チャンバの間のポートを閉じるために開示されており、中間バルブハウジングは提供されていない。ゲートプレート用の駆動装置は、内部ポートに向かって垂直軌道および回動円弧軌道の一連の動作でゲートプレートを動かし、内部ポートの密閉もしくは閉鎖の効果を生じる。
【0006】
米国特許5,150,882は、減圧チャンバとエッチングチャンバを含めた様々な処理システムチャンバ間のひとつのバルブを開示している。そのバルブは、ストッパプレートがかなりの衝撃でローラに衝突するように、空気シリンダとトグルの配列によってゲート開口部と接合および離脱するよう動かされる。ゲートがゲート開口部に向かって動くように、フィッティングプレートの初期の垂直運動が、反時計回りに回転するリンクによって水平運動に変えられる。従来技術の問題を防ぐために‘882特許では、二ホウ化物硬合金からストッパプレートが作られている。更に、そのひとつの空気シリンダの単一の動きは、止められることなく、ローラとストッパプレートの接合後にも動作を継続する。このように、特別な材料を必要とすることに加え、‘882特許は、隣接した処理チャンバ間に2つのバルブを提供していない。
【0007】
クラスタツール構造システム用の他のバルブには、2つのバルブそれぞれに対して別々のアクチュエータが含まれているが、そのために、バルブ作動ハウジングの幅を増加させたり、もしくはその幅を減少させようという試みがなされている場合には、アクチュエータがバルブに力を掛ける位置を制限したりする傾向がある。更に、そのようなバルブには、2つの別々のアクチュエータそれぞれに対して別々のベローズが必要になる。そのようなベローズの価格がかなりの額(例えば、2000年の米ドルで800.00ドルから1000.00ドルの範囲)であるため、ベローズが2つ必要であると多大な費用が掛かる。更に一般的には、そのような別々のアクチュエータはそれぞれ、別々の空気シリンダによって動かされ、2つのバルブそれぞれに対して1つずつ別々のアクチュエータが必要な場合には、それによっても費用が高くなる。
【0008】
更に別のクラスタツール構造システム用バルブは、アクチュエータを取り付けるための回動軸を1つ備えたクレードルを1つ含むが、回動軸はアクチュエータによって運ばれる2つのバルブ両方のバルブシール面と一列に並ぶように移動できない。
【0009】
上述の観点から、隣接した処理もしくは搬送チャンバの間のバルブアセンブリが要望されている。そのバルブアセンブリは複バルブに対して1本のシャフトを持っており、このため、ベローズを1つ省くことによりアセンブリの費用が削減される。1本のシャフトが2個の回動可能に取り付けられたクレードルに取り付けられ、スロットのシール面に対してそのバルブが閉じる際に1個のクレードルの少なくとも1個の回動軸がバルブの取り付け面と垂直方向に一直線に並ぶことにより、そのバルブがシール面に垂直に運動するようになっている。また、2アクチュエータ複バルブの空気駆動装置が1つ省略でき、例えば他のチャンバで修理が実行されている場合にも、そのようなチャンバ内の動作を継続することができる。
【0010】
【発明の概要】
概して、本発明は、搬送チャンバと処理チャンバのように、隣接したチャンバもしくはモジュールの間のハウジングに両面スロットバルブを支える単一シャフトを設けることによりこれらの要求を満たす。例えば、他のポートが開いたままの状態で、処理チャンバに隣接した1つのハウジングポート、もしくは搬送チャンバに隣接した1つのハウジングポートを選択的に閉じられるように、2つのバルブハウジングのポートもしくはスロットそれぞれに対して、選択的に閉じたり開いたりすることができる別々のバルブが提供されている。例えば、バルブを選択的に閉じることにより、隣接した処理チャンバが大気に開放されていて修理が実行できるようになっている間、例えば搬送チャンバを真空に保つのが容易になる。その結果、処理チャンバの修理後に搬送チャンバを所望の真空状態にするためのポンプダウンサイクルが不要となり、処理チャンバの修理のために搬送チャンバに対してその他の操作を行う必要がなくなるため、かなりの休止時間を削減することができる。
【0011】
更に、搬送チャンバが真空になるように搬送チャンバへのバルブを閉じた状態では、開いている処理チャンバから(砕けたウェーハのような)破片が通過するのを処理チャンバへの開いているバルブによって防ぎ、その破片が搬送チャンバに混入しないようにすることが可能である。それ故一般に、腐食した後に修理で交換する必要があるのは処理チャンバに近接したバルブドアだけで、搬送チャンバは交換中も真空のままでよい。
【0012】
更に、両面スロットバルブにはこれらの利点があると同時に、開いているバルブで修理実行中に一方もしくは両方の開いているバルブに簡単にアクセスすることが可能である。第1のクレードルに取り付けられた第1駆動装置によって動かされるとともに、第2のクレードルに取り付けられた第2と第3駆動装置によっても動かされる単一シャフトにより、そのような簡単なアクセスが提供される。1つのバルブを閉じるために、第1駆動装置が収縮されて第1のクレードルを回転させ、第2ドライブが伸長されて第1のクレードル上で第2のクレードルを回転させる。一方のバルブが閉じて、他方のバルブがそのポートに対して開いているが横方向に離れていない(すなわち垂直方向に離れていない)位置にくると、第1および第2駆動装置が停止する。両方のバルブが修理される際には、第1および第2駆動装置は、単一シャフトを開シャフト位置の中心に保ち、それぞれのバルブの開位置を維持するような位置に、両方のクレードルをストッパまで伸長する。この開シャフト位置では、修理作業員は手袋をはめて開バルブに手を伸ばすことができる。
【0013】
第3駆動装置は、単一シャフトを動かし、それによって両方のバルブを開位置から離れる方向、かつ、それぞれのポートから離れる方向に、横(例えば下)に動かす役割も果たすことが可能である。開バルブが下方向に動かされることにより、ポート周辺のシール面を露出するので、例えば、シール面の清掃が可能になる。下方向に動かされたバルブと点検口(通常は蓋で閉じられている)の間の垂直距離のために、一般に、垂直に動かした後に作業員が修理のために保護手袋を着用した手をバルブに伸ばすのは困難である。しかしながら、下方向に動かされた位置では、バルブは、ドアが密閉する面を含め、バルブドア周辺の清掃の妨げとならない。
【0014】
更に、両方のスロットバルブドアに設けられるシャフトを1本のみにすることにより、例えば、隣接した搬送チャンバと処理チャンバの間のバルブハウジングが占めるクリーンルーム内の実際の空間を削減する。また、そのような1本のシャフトは、スロットバルブドアそれぞれの中心に力を掛けるため、スロットバルブドアを閉じておくのに必要な力が少なくて済む。更に、2つのアクチュエータを備えるために2つのベローズを要するバルブアセンブリとは対照的に、1本のシャフトと1つのベローズしか必要ではない。
【0015】
更に、2つのクレードル板に取り付けられ、両面スロットバルブを支える単一シャフトにより、スロットのシール面に対してそのバルブが閉じる際に、少なくとも1つのクレードルの1つの回動軸がそのバルブの取り付け面と垂直方向に一直線上に配置されていることによって、そのバルブがシール面に向かって垂直に動くようになっている。
【0016】
このように、2つの隣接したチャンバのうち1つのチャンバで通常動作が継続している間に、2つのチャンバのうち他方のチャンバで多くの種類の修理を実行可能であることが理解できるだろう。例えば、そのような修理には、チャンバもしくはバルブハウジングからウェーハの破片を取り除いたり、ポートのシール面を清掃したり、チャンバ内部を清掃したり、シールの表面に影響するバルブの部材(例えば、ドアやO―リング)を取り除いたり交換したりする作業が含まれる。例えば、半導体処理の通常運転を行うそのようなチャンバを維持するためのこれらの作業およびその他の作業を、ここでは「修理」と呼ぶ。
【0017】
【発明の実施の形態】
本発明の説明は、他方のモジュールの修理中に、半導体処理クラスタツール構造の1つのモジュールで動作を継続することができることを保証することに関してなされている。本発明は、半導体処理装置のモジュール用バルブ、より詳細には両面スロットバルブの単一バルブシャフトに関し、また、半導体処理装置の別々のモジュール間にそのようなバルブを実装する方法に関して説明されている。しかしながら、当業者にとっては、本発明がこれらの具体的な詳細の一部もしくはすべてがなくとも実行可能であることは明白であろう。その他にも、本発明を分かりにくくしないように、よく知られたプロセスの動作は詳細に説明していない。
【0018】
図2によると、本発明は一般に、搬送モジュール202および処理モジュール206を有し、搬送モジュールと202と処理モジュール206のうち隣接するモジュール間に両面スロットバルブが位置する半導体処理クラスタツール構造200を含むと説明されている。図2を平面図として見ると、搬送モジュール202と、処理モジュール206と、両面スロットバルブ204の合計床面積によって構造の占有面積が決まっている。モジュール202、204および206を稼動するために一緒に密閉する方法を考慮せずに、搬送モジュール202および処理モジュール206の床面積を第1に決定できることが理解できるだろう。個々の両面スロットバルブ204が、モジュール202,206を稼動するために一緒に密閉する方法を規定するため、それぞれ個々の両面スロットバルブ204の占有面積が、クラスタツール構造200の占有面積を減少させようとする場合に重要になる。従って、それぞれ個々の両面スロットバルブ204の占有面積を減少させるには、個々の両面スロットバルブ204それぞれの幅Wをできる限り減少させることが重要である。
【0019】
図3は、本発明の両面スロットバルブ204のひとつがクラスタツール構造200の2つのモジュール間に位置するバルブ真空容器(もしくはハウジング)212を含むことを示している。示されているように、2つのモジュールは、搬送モジュール202と処理モジュール206のうちの1つであり、バルブ真空容器212がクラスタツール構造200の任意の2モジュール間に設置可能なことが理解される。バルブ真空容器212は、対向した壁214によって規定される幅Wを有する。処理モジュール206に最も近いそれぞれの壁214の側面は、「PM側面」と呼ぶことができ、搬送モジュール202に最も近いそれぞれの壁214の側面は、「TM側面」と呼ぶことができる。バルブ真空容器212は、対向した端壁216によって規定される長さLを有し、幅Wと長さLを乗じることにより、個々の両面スロットバルブ204の占有面積が決定される。
【0020】
ポート(もしくはスロットもしくは開口部)218は、それぞれの壁214に設けられておりて、例えば1つのモジュールと他のモジュールの間でウェーハ(示されていない)を搬送できるようになっている。図3に示すように、一方のそのようなモジュールは搬送モジュール202で、他方のそのようなモジュールは処理モジュール206であり、スロット218Pが処理モジュール206に隣接し、スロット218Tが搬送モジュール206に隣接している。スロット218はそれぞれ、概ね長方形の形状で、それぞれのスロット218を閉じるために備えられているドア(もしくは側方ドア)222の概ね長方形の形状よりも各辺が短い。ドア222とスロット218では、角が丸いので、それぞれの長方形の形状を「概ね長方形である」と呼ぶ。ドア222はそれぞれ、真空容器212の対向した壁214の対向したシール面226に重なるシール周辺部224を有する。後述のようにドア222が閉位置にある際に、シール面226に対して押し付けられ耐真空もしくは耐ガス密閉を提供するO−リング228などのシールデバイスをシール周辺部224に設けてもよい。代わりに、ドア222に対してシールデバイスの加硫を行ってもよいし、交換可能なシール有するほかの種類のシールデバイスを用いてもよい。壁214のドア222−2は、搬送モジュール202と処理モジュール206の間に圧力シールとして機能する。この様に、例えばPM側面は、TM側面が標準真空レベル(例えば、80〜100mTorr)状態である間に、外気に対して通気してもよい。更に、バルブ204は、処理モジュール206が真空である間に搬送モジュール202を通気し、搬送モジュール202が真空レベルにある間に処理モジュール206を通気できるように設計されている。
【0021】
ドア222−1と記され、図3の右側に示されているドア222の1つに関しては、それぞれのスロット218Pは、単一シャフトアセンブリ232の動作により選択的に閉じることができる。例えば、処理モジュール206が修理されている間、単一シャフトアセンブリ232を用いることにより、例えば、搬送モジュール202内で作業を継続することが可能である。それ故、搬送モジュール202と処理モジュール206のうち選択した方だけを停止させれば、選択したモジュールの修理が可能になる。単一シャフトアセンブリ232の作動結果の1つとして、図3に示すようにドア222が閉位置もしくは開位置に配置される。X軸は、ゆるいアーチ形を示し、その軌道に沿ってドア222が閉位置から開位置まで動く。開位置においては、ドア222はいずれも、ドア222と壁214の間の空間234を規定している。アクチュエータ232の他の作動様式では、図3に示すZ軸に沿った下もしくは上位置にドア222を配置させる。
【0022】
図4Aは、搬送モジュール202、処理モジュール206、および1つの両面スロットバルブ204を示している。制御装置402は、バルブ204に接続されており、ドア222−1,222−2を制御するための単一シャフトアセンブリ232の動作を含むバルブ204の動作を制御している。制御装置402は、コンピュータワークステーション、すなわちツール組み込み式制御装置404に接続されている。制御装置402は、電子装置406を介してバルブ204に接続している。図4Bは、一連のスイッチ408,410および412を備えた電子装置406の上部を示している。 スイッチはそれぞれ、開位置と閉位置へのドア222の動作制御用、下位置と上位置へのドア222の動作制御用、モジュール202と206のどちらを修理するかの選択用(例えば、処理モジュール206が「PM」で、搬送モジュール202が「TM」)である。制御装置402とスロットバルブ204の間に送信される信号414の例は、「ドア開」と「ドア閉」である。
【0023】
図5および図6A〜6Dには、以下の動作に対して2つのドア222−1,222−2を支援する単一シャフトアセンブリ232が示されている。図6Bによると、閉じたドア222−1は、図6Aに示されている開位置に向かって左に動くようになっている。図6Dに示されるように、閉じたドア222−2は、図6Aに示されている開位置に向かって右に動くようになっている。それぞれのドア222のシール周辺部224が、真空容器212のシール面226に近づきそれぞれのスロット218を閉じる際には、閉じられつつあるドア222の取り付け面222Mは、シール面226に向かって基本的に垂直に動く。それ故、X軸は一般に、壁214の面、シール面224、取り付け面222Mに垂直に示されている。後述のように、単一シャフトアセンブリ232は、そのように基本的に垂直に動くようにドア222に対して設置されたクレードル軸CL,CRに取り付けられている。図6A〜6Dには、ドア222−1,222−2の軌道がクレードル軸CL,CRに対して幾分アーチ形であるにもかかわらず、ドア222の開位置が真空容器212の側壁214に垂直でそこから離れているといえる程、アーチの半径が大きいことが示されている。開位置においては、ドア222がそれぞれのドア222とそれぞれの壁214の間の空間234を規定している。ドア222が開位置にある際には、上述のように、修理を行うバルブ204へ簡単にアクセスできる。垂直下方の(すなわち、横方向に空間のあいた)位置ではなく、図6Aに示した開かつ上位置にあるバルブ204に初めに簡単にアクセスできることの利点は、蓋236が真空容器212から外される際に、開かつ上位置で修理作業員が手袋をはめた手(示されていない)でバルブ204のドア222に届くことができることである。
【0024】
Z軸は、上述の垂直もしくは横方向もしくは空間配置に関係し、図5および図6A〜6Dにも示されている。Z軸は、単一シャフトアセンブリ232の軸で、ドア222は、その軸に沿ってスロット218に対して上位置と下位置の間を動く。図6Aと図6Bを比較すると、Z軸が動いて、特に、クレードルの軸CL,CRを中心に、垂直方向(図6A)から図6Bおよび図6Dに示すような方向のいずれかに、例えば垂直から角TRもしくはTL傾けられた方向のいずれかにまで回転することが分かるだろう。クレードル軸を中心とした方向の変化、およびクレードル軸からドア222の中心までの距離A(図6D)により、ドア222が、図6Bに示す閉位置(O−リング228がシール面226に接している)から図6Aに示す開位置(ドア222が空間234によって壁214から隔てられている)に向かってX軸の方向に動く。これらの説明から理解できるように、X軸に沿った軌道が「第1の軌道」に相当し、Z軸に沿った軌道が「第2の軌道」に相当する。
【0025】
単一シャフトアセンブリ232は、底板302の上部に取り付けられた上部バルブ真空容器212に入れられている。真空容器212は、X軸と一直線に配置されたスロット218P,218Tを有し、蓋236による密閉に適合した上部開口部を有する。ベローズ306の下端304は、密閉して底板302に取り付けられている。ベローズ306の上端308は、密閉した状態で上部ベローズ板に取り付けられている。底板302および上部ベローズ板310に対して密閉されており、また、蓋236はバルブ真空容器212の上部に対して密閉されており、真空容器212は、例えば、スロット218Pを通して掛けられる真空の圧力に耐えられる程強くなっている。ベローズ306は、中空の円筒形をしており、空洞312を規定している。
【0026】
図5は、主ピボット枠318の互いに離れた2つの枠部材316に固定した底板302を示している。枠部材316は、底板302から下向きに延びており、クラスタツール構造200の基部(示されていない)に取り付けることができる。枠部材316の下部には、枠部材316に第1モータ320を取り付けるために、ブリッジ319が設けられている。モータ320は、例えば第1クレードル324に連結したピストンロッド322を有する単動式空気モータでもよい。第1クレードル324は、右側の軸CRを中心に回転するために間隔をおいた2つの枠部材316の間の上方に取り付けられる。右側のクレードル軸CRと同軸にある対向する2つの第1クレードル回動軸326は、枠部材316から第1クレードル324に回動軸を提供する。図5には、左側の部材316の回動軸(ピボット)326が、部材316および第1クレードル324の両方にわたって延びているのが示されており、右側の部材316の回動軸326が、図解のために断面図で示されている。図6A〜6Dには、対向する2つの第1クレードルの回動軸326が、第1クレードル324の右上に示されている。
【0027】
図6A、6C、および6Dに示すように、第1モータ320は第1の位置、すなわち伸長位置を有しており、この位置では、ピストンロッド322が第1クレードル324を、ドアの開動作(図6Aおよび6C)もしくは左のドア222−2の閉動作(図6D)ための位置におく。第1モータ320はまた、第2の位置、すなわち収縮位置を有しており、この位置では、ピストンロッド322が第1クレードル324を、右のドア222−1の閉動作(図6B)のための位置におく。
【0028】
図6A〜6Dは、第1クレードル324に設置されたクレードル軸CLを示している。図5は、左側のクレードル軸CLと同軸にある対向する2つの第2クレードル回動軸330を示しており、これらの回動軸は、第2クレードル332の間隔を置いた複数のアーム331に対して第1クレードル324からの回動支持を提供する。図5には、右側のアーム331用の旋回軸330がアーム331と第1クレードル324の両方に伸びている様子が示されている。枠318の右側の部材316と第1クレードル324の右側部分の間にある旋回軸326は、図解のために断面図で示されている。
【0029】
図6A〜6Dには、対向する第2クレードル旋回軸330が、第2クレードル332の左上に示されている。このように、第2クレードル332は、第1クレードル324に関する軸CLを中心に回動可能である。その回動は、第1クレードル324に取り付けられ、それと共に移動する第2モータ334によって引き起こされる。第2モータ334は、例えば第2クレードル332に連結されたピストンロッド336を有する単動式空気モータでもよい。図5は、第1クレードル324および第2クレードル332に固定された第2モータ334を示しており、第2クレードル332は、左のクレードル軸CRおよび旋回軸330を中心に第2クレードル332を回動させるためのピン338に、ロッド336を取り付けられるように設けられた切欠き部337で切断されている。
【0030】
第2モータ334は、第1位置すなわち伸長位置を有しており、この位置では、第1モータ320が第1(伸長)位置にあるときに、ピストンロッド336が第2クレードル332を、ドアの開動作(図6Aおよび6C)のための位置におく。第2モータ334はまた、第1モータ320が収縮位置にある際には、右のドア222−1の閉動作(図6B)のために、この第1(伸長)位置を用いる。第2モータ334はまた、第2位置すなわち収縮位置を有しており、この位置では、第1モータ320が伸長位置にあるときに、ピストンロッド336が第2のクレードル332を、左のドア222−2の閉動作(図6D)のための位置におく。
【0031】
ピストンロッド322,336の同時伸長位置は、ドア222の開位置に対応しており、第1および第2モータがそれぞれのピストンロッド322,336をそれぞれのストッパ350−1,350−2に押し付けることによって実現される。各ストッパは、それぞれのピストンロッド322,336とそれぞれのクレードル324,332の可動範囲を制限している。
【0032】
第2クレードル332はまた、第3モータ、すなわち上下動モータ356も支えている。第2クレードル332に固定された上下動モータ356により、ピストンロッド358は伸長もしくは収縮可能であり、第2クレードル332の開口部362に備えられたベアリング360を通って滑動する。ベローズ306は、ピストンロッド358のドア取り付け部364を収納するための中空な円筒形の空洞312を有する。図6A〜6Cに示すように、そのようなベアリング360により、第3モータ(上下動)モータ356のピストンロッド358が伸長もしくは収縮することを許容し、それによってベローズ板310を上下動させる。ベローズ板310は、2つのドア222−1,222−2が蝶番のピン366を中心に回動するのを支えるドア取り付け部364を支持する。ドア取り付け部364が、それぞれのドア222の中点の中心においてドア222に取り付けられており、それぞれのドア222の長辺(もしくはY軸方向)の中心に位置する取り付け部364によってそれぞれのドア222が支えられるようになっている。ドア222の中心がドア取り付け部364に取り付けられている結果として、ドア取り付け部364によってそれぞれのドア222にかかるX軸方向の閉じる力F(図6A)が、それぞれのドア222に一様にかかる。また、1つの単一シャフトアセンブリ232により、バルブ本体に2つの別々のアクチュエータを備えるバルブの幅よりも、真空容器212の幅Wをかなり削減することができる。実際、真空容器212の幅Wは、例えば約6.5インチしか必要ない。
【0033】
図6Aおよび6Cから、上下動モータ356のピストンロッド358が伸長されている時には、ドア222が上方位置(図6A、6Bおよび6D)にあると共に、ベローズ306が伸長していることが理解できる。上下動モータ356のピストンロッド358が収縮されている時には、ドア222が下方位置(図6C)に動かされると同時に、ベローズ306が折りたたまれ、その結果、スロット218T,218Pの間が一直線に開放され、モジュール202,206の間のウェーハ(示されていない)の搬送が可能になる。次に、単一シャフトアセンブリ232が、別々のモータ320,334を用いて、真空容器212のそれぞれ第1および第2の壁214−1,214−2にほぼ直交するX軸の第1の方向に沿って、ドア222を同時に動かすように動作することが理解できる。ドア222が開位置にある場合には、アセンブリ232が真空容器212の壁214にほぼ平行な第2の(横もしくは垂直の)方向にドア222を動かす。
【0034】
上述のように、単一シャフトアセンブリ232は、2つのドア222−1,222−2を支え、X軸は、ゆるいアーチ形を示し、その軌道に沿ってドア222が閉位置から開位置まで動く。閉じたドア222−1は、図6Aに示された開位置に向かって左方向に動くと述べたが、図6Dに示すように、閉じたドア222−2は図6Aに示す開位置に向かって右方向に動く。
【0035】
第1クレードル324が右側の軸CRを中心に図6Bにおいて時計回りに回動すると、例えば、左側のクレードル軸CLが第1クレードル軸CRに対して上方に動く。それ故、第2クレードル軸CLは、右のドア222−1が閉じている際には、第1クレードル軸CRよりも上方に位置することになる。第1クレードル324が、図6Bに示す右のドアの閉位置から図6Dに示す左のドアの閉位置に向かって反時計回りに回転すると、クレードル軸CLは、第1クレードル軸CRに対して下方に動き、左のドア222−2が閉じられ、軸CR,CLはZ軸に沿って同じ高さになる。X軸方向の軸CR,CLの間隔と、軸CRに対する軸CLのこのような動きにより、以下の利点があると考えられる。それぞれのドア222のシール周辺部224が、真空容器212のシール面226に近づきそれぞれのスロット218を閉じると、そのように閉じている時のそれぞれのクレードル軸CL,CRの位置により、閉じられつつあるドア222の取り付け面222Mに所望の動作をさせることが可能になる。クレードル軸CL,CRの間隔および位置と、両面スロットバルブ204を支える2つのクレードル324,332に取り付けられた単一軸アセンブリ232により、スロット218のシール面226に対してドア222が閉じる際に、1つのクレードル324もしくは332の少なくとも1つの旋回軸(すなわち軸CLもしくはCR)が、そのドア222の取り付け面222Mと垂直方向に一直線に配置され(例えば、図6Bおよび6Dの垂直の矢印Cを参照)、そのドア222がシール面226に向かって垂直に動くようになっている。そのような取り付け面222Mの動きは、基本的にシール面226に垂直であるのが望ましい。そのような垂直の動きによって、より確実にシール面226にO−リング228が適切に着座する。
【0036】
従来技術のクラスタツール構造100で満たされていない要求が、搬送モジュール202および処理モジュール206のような隣接したモジュール206および202の間の真空容器212内にある上述の両面スロットバルブ204によって満足されている。別々のドア222が2つのバルブハウジングポート218のそれぞれに対して単一シャフトアセンブリ232上に設けられているので、例えば、処理モジュール206に隣接する1つのハウジングポート218Pと搬送モジュール202に隣接する1つのハウジングポート218Tは、他方のポートが開放している間も、選択的に閉じることが可能である。例えば、選択的に閉じることにより、隣接した処理モジュール206が大気に開放されていて修理が実行できるようになっている間、搬送モジュール202を真空に保つのが容易になる。その結果、処理モジュール206の修理後に搬送モジュール202を所望の真空状態にするためのポンプダウンサイクルが不要となり、処理モジュール206の修理のために搬送モジュール202に対してその他の操作を行う必要がなくなるため、かなりの休止時間を削減することができる。更に、搬送モジュール202を真空に保つことにより、1つの処理モジュール206の修理が行われている間に搬送モジュール202を用いて生産を継続することができるため、クラスタツール構造200の総生産性が上がる。
【0037】
また、搬送モジュールが真空になるように搬送モジュール202へのドアバルブ222−2を閉じた状態では、開いている処理モジュール206から(示されていないが、砕けたウェーハのような)破片が通過するのを処理モジュール206につながる開放ドアバルブ222−1によって防ぎ、その破片が搬送モジュール202に混入しないようにすることができる。それ故一般に、腐食して修理で交換する必要があるのは処理モジュール206に近接したバルブドア222−1だけであり、搬送モジュール202は交換中も真空のままでよい。
【0038】
更に、両面スロットバルブ204にはこれらの利点があると同時に、開放ドアバルブ222で修理を行う際に、一方もしくは両方の開放ドアバルブ222に簡単にアクセスできる。そのような簡単なアクセスは、第1、第2、および第3駆動装置320,334および356によって動かされる単一シャフトアセンブリ232によって提供される。
【0039】
図5に示すように、(左のドア222−2のような)1つのドアバルブ222を閉じるために、第3モータ356がストッパ350−3に向かって伸長する。第1モータ324が、それぞれのストッパ350−1に向かって作動され(伸長され)、静止した状態に保たれる。このように、第1モータ324が第1クレードル324を垂直位置(図6A)に保ち、第2モータ334が図6Dに示されたドア閉位置に作動し(収縮し)、第2クレードル332を傾けて、左のドアバルブ222−2を閉位置にするとともに、右のドア222−1を開位置に、また、両方のドアバルブ222を上方位置にする。
【0040】
両方のバルブ222が修理される場合には、第1モータ320および第2モータ334が作動され(伸長され)、それぞれのストッパ350−1,350−2に向かって動かされる。このとき、クレードル324,332が垂直に保たれ(図6A)、ドア222が中心の開位置に保たれる。この開位置では、修理作業員は手袋をはめて開放ドアバルブ222に手を伸ばすことができる。次に第3モータ356は、単一シャフトアセンブリ232のドア取り付け部364を動かし、それによって両方のドアバルブ222を開位置から離し、それぞれのポート218から離して図6Dに示す下方位置へと横に(すなわち下向きに)動かし、ポート218の周囲のシール面226を露出させることが可能である。その露出により、例えば、シール面226の清掃が可能になる。
【0041】
横方向に動かされたドアバルブ222と点検口262(通常は蓋236で閉じられている)の間の垂直距離のために、一般に、垂直下向きに動かした後に作業員が修理のためにドアバルブ222に手を伸ばすのは困難である。しかしながら、横方向下向きに動かされた位置では、ポート218T,218Pの間が完全に開放されているので、ドアバルブ222は、ドアバルブ222が密閉する面226を含むドアバルブ222の周囲を作業員が清掃する妨げにならず、1つのモジュールから次のモジュールへのウェーハ(示されていない)の搬送が可能である。
【0042】
更に、両方のスロットバルブドア222には、幅Wを削減するために1つの単一ドア取り付け部のみが設けられており、例えば、隣接した搬送モジュール202と処理モジュール206の間のバルブハウジング212が占めるクリーンルーム内の実際の空間を削減する。また、そのような単一ドア取り付け部364は、スロットバルブドア222それぞれの中心に力Fを掛けるため、スロットバルブドア222を閉じておくのに必要な力Fが少なくて済む。更に、2つのアクチュエータを備えるために2つのベローズを要する他のバルブアセンブリと異なり、1つの単一ドア取り付け部364と1つのベローズ306しか必要ではない。
【0043】
そして、2つの隣接したモジュール202,206のうち1つのモジュール(例えば202)で通常動作が継続している間に、2つのモジュールの他方のモジュール(例えば隣接した処理モジュール206)で多くの種類の修理を行うことができることが理解できるだろう。例えば、そのように通常動作を継続できることで、搬送モジュール202に隣接したもう1つの処理モジュール206と共にその搬送モジュール202を用いて、クラスタツール構造200の総生産性もしくは全体の生産性を高めることが可能になる。例えば、1つの処理モジュール206のそのような修理には、その1つの処理モジュール206もしくはバルブハウジング212からウェーハの破片を取り除いたり、ポート218のシール面226を清掃したり、処理モジュール内部を清掃したり、バルブ204の部材(例えば、ドア222やO―リング228)を取り除いたり交換したりする作業が含まれる。
【0044】
これらの利点が得られると同時に、取り付け面222Mに所望の動作をさせることができる。それ故、それぞれのドア222のシール周辺部224が、真空容器212のシール面226に近づいてそのスロット218を閉じると、そのように閉じている時のそれぞれのクレードル軸CLおよびCRの位置により、閉じられつつあるドア222の取り付け面222Mを基本的にシール面226と垂直に動かすことが可能になる。そのような垂直の動きによって、より確実にシール面226にO−リング228が適切に着座する。
【0045】
理解を深めるために従来技術をある程度詳しく説明したが、明らかに、いくらかの変更と修正が添付の特許請求の範囲内で行われる可能性がある。従って、本実施形態は、例示的なもので、制限的なものではないと考えられ、本発明は、ここに示した詳細に限定されず、添付の特許請求の範囲および等価物の範囲内で修正可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】搬送モジュールに連結する様々な処理モジュールを示す典型的な従来技術の半導体処理クラスタツール構造を示す図であり、1つの処理もしくは搬送モジュール内のドアバルブが1つであるため、モジュールのいずれかの修理を可能にするためには処理および搬送モジュールそれぞれを停止する必要があることを示す図である。
【図2】搬送モジュールと処理モジュールのうち隣接した2モジュール間に位置した本発明の両面スロットバルブを示す図であり、搬送モジュールと処理モジュール間のバルブハウジングのバルブ真空容器に2つのドアバルブがあるため、モジュールのうち選択した一方を修理するのに選択したモジュールのみを停止すればよいことを示す図である。
【図3】対向した壁によって限定された幅を有するバルブ真空容器と、ウェーハを搬送モジュールから処理モジュールへ移動させるための各壁のスロットを示す本発明の両面スロットバルブの平面図であり1つのシャフトの動きにより2つのドアバルブのうち1つで選択的に1つのスロットを閉じて、選択されたモジュールの修理中に他方のモジュール内で作業を継続することが可能であることを示す図である。
【図4A】バルブのそれぞれの第1ドアおよびそれぞれの第2ドアの動作制御を行うための制御装置の略図であり、制御装置が両面スロットバルブの操作に用いられるコンピュータワークステーションに接続されていることを示す図である。
【図4B】バルブの第1のドアおよび第2のドアの動作制御を容易にするための制御装置に入力を行う3つのスイッチを示す図である。
【図5】第2のクレードルに取り付けられた1本のシャフトと第1のクレードルに取り付けられた第2のクレードルを示す本発明の両面スロットバルブの縦断面図であり、それぞれ第1および第2のクレードル上の第1および第2モータがドアを開くもしくは閉位置に動かすことを示す図である。
【図6A】開かつ上方位置にある本発明の2つのバルブドアと、2つのドアを支える単一シャフトとを示す略縦断面図である。
【図6B】他方のバルブドアの修理を容易にするために閉かつ上方位置にある本発明の左側バルブドアを示す図6Aと同様の縦断面図である。
【図6C】バルブスロットの修理を容易にするために、下方かつ開位置にある本発明の2つのバルブドアを示す図6Aおよび図6Bと同様の縦断面図である。
【図6D】他方のバルブドアの修理を容易にするために、閉かつ上方位置にある本発明の右側バルブドアを示す略図である。
Claims (6)
- 半導体処理クラスタツール構造の配列内で用いる両面スロットバルブであって、
第1の面および第2の面を有するハウジングであって、前記第1の面に第1のスロットおよび前記第2の面に第2のスロットを有し、前記ハウジングの第1の面に連結された第1のモジュールと前記ハウジングの第2の面に連結された第2のモジュールとの間の基板の搬送を可能にするハウジングと、
前記ハウジング内で動くように取り付けられ、前記第1のスロットを閉じることを可能にする第1のドアと、
前記ハウジング内で動くように取り付けられ、前記第2のスロットを閉じることを可能にする第2のドアと、
前記第1および第2のドアのそれぞれに連結した単一シャフトであって、前記単一シャフトは中心位置を有し、前記単一シャフトが前記中心位置にある際に、前記第1のドアおよび前記第2のドアのそれぞれが、前記第1のスロットと前記第2のスロットのそれぞれから離れてそれらの間に位置する開位置にある、単一シャフトと、
前記第1および第2のドアの一方を選択的にそれぞれの閉位置に移動させて、それぞれのスロットを閉じるための前記単一シャフトを支える複クレードルアセンブリと、
を備え、
前記複クレードルアセンブリは、
第1および第2のクレードルと、
各クレードルのための個別の駆動装置であって、それぞれが伸長位置を有し、それぞれの伸長位置にある際に、前記第1のドアおよび前記第2のドアが開位置に保たれるように前記単一シャフトを中心位置に保つ駆動装置と、
を備え、
前記第1のクレードルは、前記ハウジングに対して回動可能に取り付けられて前記第2のクレードルを支えており、前記第2のクレードルは、前記単一シャフトを支え、前記第1のクレードルに対して回動可能に取り付けらており、各駆動装置はそれぞれ収縮位置も有する、両面スロットバルブ。 - 請求項1記載の両面スロットバルブであって、更に、
前記個別の駆動装置を操作するための制御装置であって、前記個別の駆動装置の一方を伸長位置に置き、前記個別の駆動装置の他方を収縮位置に置き、前記第1および第2のドアの一方を選択的にそれぞれの閉位置に移動させて前記スロットを閉じるために、前記第1および第2のドアをバルブ開閉軌道に沿ってそれぞれの開および閉位置から閉および開位置へ移動させる制御装置を備える、両面スロットバルブ。 - 半導体処理クラスタツール構造の配列内で用いる両面スロットバルブであって、
第1の面および第2の面を有するハウジングであって、前記第1の面に第1のスロットおよび前記第2の面に第2のスロットを有し、前記ハウジングの第1の面に連結された第1のモジュールと前記ハウジングの第2の面に連結された第2のモジュールとの間の基板の搬送を可能にするハウジングと、
前記ハウジング内で動くように取り付けられ、前記第1のスロットを閉じることを可能にする第1のドアと、
前記ハウジング内で動くように取り付けられ、前記第2のスロットを閉じることを可能にする第2のドアと、
前記第1と第2のドアのそれぞれに連結した単一シャフトと、
前記第1および第2のドアの一方を選択的にそれぞれの閉位置に移動させて、それぞれのスロットを閉じるための前記単一シャフトを支える複クレードルアセンブリと、
を備え、
前記複クレードルアセンブリは、
前記ハウジングを支持する枠と、
前記ハウジングに対して動くように前記枠に取り付けられた第1のクレードルと、
前記ハウジングに対して動くように前記第1のクレードルに取り付けられた第2のクレードルと、
を備え、
前記単一シャフトは、前記第1および第2のクレードルのそれぞれが前記ハウジングに対して動くことにより、前記ハウジング内の前記単一シャフトの位置が変化して、前記スロットの選択された一方が開または閉となるように、前記第2のクレードルに取り付けられている、両面スロットバルブ。 - 請求項3記載の両面スロットバルブであって、
前記複クレードルアセンブリは、更に、
各クレードルを第1の共通の方向に移動させ、前記単一シャフトを移動させて前記スロットの一方を閉じるための駆動装置を含む、両面スロットバルブ。 - 請求項3記載の両面スロットバルブであって、
前記複クレードルアセンブリは、更に、
各クレードルを第1の共通の方向に移動させ、前記単一シャフトを移動させて前記スロットの一方を閉じるとともに、各クレードルを第2の共通の方向に移動させ、前記単一シャフトを移動させて前記スロットの他方を閉じるための駆動装置を含む、両面スロットバルブ。 - 処理モジュールと搬送モジュールを備えた半導体処理クラスタツール構造の配列内で用いる両面スロットバルブであって、
第1の処理モジュール側および第2の搬送モジュール側を有する真空容器であって、第1の壁面を有する前記第1の側に取り付けられた処理モジュール用のスロットと、第2の壁面を有する前記第2の側に取り付けられた搬送モジュール用のスロットを有することによって、前記処理モジュールと前記搬送モジュール間の基板の搬送を可能にする前記真空容器と、
第1の軌道に沿って前記処理モジュールおよび前記搬送モジュールそれぞれに対して近づく方向と離れる方向に前記真空容器内で動くことが可能なドア取り付け端として、前記第1の軌道にほぼ垂直である第2の軌道に沿って前記真空容器から離れる方向に動き、前記処理モジュールスロットと前記搬送モジュールとの間を直線的に開放することが可能なドア取り付け端を有する単一シャフトと、
前記第1の軌道に沿って動くように前記単一シャフトの前記ドア取り付け端に取り付けられ、前記処理モジュール用スロットを開閉する第1のドアと、
前記第1の軌道に沿って動くように前記単一シャフトの前記ドア取り付け端に取り付けられ、前記搬送モジュール用スロットを開閉する第2のドアと、
上方位置と、前記直線的な開放路から離れて前記2つのスロットと各スロットの壁へのアクセスを可能にする下方位置との間の前記第2の軌道に沿って動くように、前記単一シャフトに取り付けられた前記第1および第2のドアと、
前記ドア取り付け端が前記第2の軌道および前記第1の軌道に沿って動くように、前記単一シャフトを運ぶための複クレードルアセンブリであって、第1の軸を中心に回動するように前記第2のクレードルに取り付けられた第1のクレードルと、第2の軸を中心に回動するように前記真空容器に取り付けられた第2のクレードルとを有する、複クレードルアセンブリと、
前記複クレードルアセンブリ上の軸駆動機構であって、前記第1の軌道に沿って前記処理モジュールと前記搬送モジュールのそれぞれに対して近づく方向と離れる方向に前記真空容器内で前記単一シャフトの前記ドア取り付け端を動かすために前記複クレードル上に設けられた第1の駆動機構と、前記第2の軌道に沿って前記真空容器に対して近づく方向と離れる方向に前記ドア取り付け端を動かすための第2の駆動機構とを有する軸駆動機構と、
を備え、
前記単一シャフトは前記第1のクレードルに取り付けられており、
前記第1の駆動機構は、前記第1および第2のクレードルを回動させて、前記真空容器内で前記アクチュエータの前記ドア取り付け端を前記第1の軌道に沿って前記処理モジュールスロットおよび前記搬送モジュールスロットに対して近づく方向と離れる方向に動かすように前記第1および第2のクレードルに取り付けられており、
前記第2の駆動機構は、前記ドア取り付け端を前記第2の軌道に沿って前記真空容器に対して近づく方向と離れる方向に動かすように前記第1のクレードルに取り付けられている、
両面スロットバルブ。
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