JP3330686B2 - 無摺動ゲートバルブ - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は無摺動ゲートバルブに関
する。

【０００２】

【従来の技術及びその問題点】ＩＣ、ＣＣＤ、液晶表示
素子などの半導体製品の製造ラインはその代表例である
が、極く微量の、極く微細な異物粒子（ダスト）の存在
が製品の歩留りを大幅に低下させるために、製造ライン
の清浄度の保持についての要求が近年とみに厳しくなっ
ている。ゲートバルブはその製造ラインに欠くことの出
来ない配管部材であるが、弁本体内部において弁体を開
閉させる機構の構成要素部材が摺動、転動、その他、摩
擦を伴う動きをし、その摩擦によって発生するダストが
製造ラインを汚染し、清浄度を低下させることが多かっ
た。また、この摩擦を減少させるために潤滑剤を使用す
ることも考えられるが、潤滑剤そのものによる汚染の防
止には複雑な技術を要し、かつ潤滑剤の劣化による潤滑
作用の低下もあるので完全な解決策ではない。

【０００３】これらの問題に対処したものとして、特開
平３−２０４４８３号公報に「無しゅう動真空ゲートバ
ルブ」が提案されている。この従来例は弁本体の内部に
おいて摩擦部分をなくすようにしたものであり進歩した
ものであるが、未だ十分な解決とはなっていない。すな
わち、図８はこの従来例の無しゅう動真空ゲートバルブ
の部分破断正面図を左半分に、正面図を右半分に示した
ものであり、図９は部分破断側面図であるが、これらの
図を参照して以下にその内容を説明する。

【０００４】この従来例では、ほぼ直方体形状の弁本体
１００の相対する側壁に長方形の開口１０１、１０２が
形成されている。弁本体１００の内部においては、一方
の開口１０１の周辺に弁座１０３が設けられており、こ
の弁座１０３へ押し付けるための、開口１０１よりやや
大きい輪郭の長方形の弁体１１０が配置されている。ま
た弁本体１００の下壁に形成した円形の開口１０４を弁
本体１００の外部から内部へゆるく貫通して、弁体操作
棒１１７が設けられており、その先端には、半球状の突
起１１４を有する弁体押圧部材１１２が取り付けられ、
更にこの弁体押圧部材１１２には弁体１１０がコイルば
ね１１５を介して取り付けられている。

【０００５】なお、弁体押圧部材１１２は弁体１１０よ
りやや小さい輪郭の長方形状をしており、半球状の突起
１１４はその中心部にあって、弁体１１０を押圧するた
めのものである。また、弁体１１０と弁体押圧部材１１
２とは、弁体１１０の内側に設けたくぼみの横周壁１１
９と弁体押圧部材１１２の段差１１３との間を、複数の
コイルばね１１５によって弾性的に連結されている。

【０００６】弁本体１００の下壁部には支持架台１０
５、１０６が弁本体１００の中心に対称的な位置に垂直
に固定されており、それぞれの下部には空気圧シリンダ
１４０が固定されている。また支持架台１０５、１０６
の上部にはピン１０７が取り付けられており、このピン
１０７を軸として旋回する垂直部材１２１とこれらを連
結する水平部材１２２とからなる上向きコ字状の旋回枠
１２０が設けられている。更には支持架台１０５、１０
６の下部に固定された空気圧シリンダ１４０はそのピス
トン棒が旋回枠１２０の垂直部材１２１と水平部材１２
２との交点を押して、旋回枠１２０をピン１０７の回り
に旋回させるような位置関係にある。

【０００７】弁本体１００の外部において、弁体操作棒
１１７は旋回枠１２０の水平部材１２２に固定された空
気圧シリンダ１３５のピストン棒に連結されている。

【０００８】なお、弁本体１００の下壁に形成した開口
１０４を気密にシールするためのベローズ１３８が上端
を弁本体１００の下壁に、下端を弁体操作棒１１７に固
定して設けられており、弁体操作棒１１７の動きに応じ
て伸縮するようになっている。

【０００９】従来例の無しゅう動真空ゲートバルブは以
上のように構成されるが、それは次のように作動する。

【００１０】図８、図９は弁体１１０が弁座１０３から
離れて、従来例のゲートバルブの開から閉、または閉か
ら開の途中の状態を示している。この時、空気圧シリン
ダ１３５のピストン棒は最も押し出した状態、空気圧シ
リンダ１４０のピストン棒は最も引き込んだ状態にあ
る。図８、図９の状態から空気圧シリンダ１３５のピス
トン棒を引き込ませると弁体操作棒１１７も引き下げら
れ、弁本体１００の開口１０１、１０２が連通されてゲ
ートバルブは開の状態になる。

【００１１】また図８、図９の状態から空気圧シリンダ
１４０のピストン棒を押し出すと旋回枠１２０は図９に
おいてピン１０７を回転軸として反時計方向に旋回する
ので、この旋回枠１２０に固定されている空気圧シリン
ダ１３５、弁体操作棒１１７、弁体押圧部材１１２、弁
体１１０も反時計方向に旋回されて、弁体１１０はその
外面に設けられているシールリング１１１を弁座１０３
に押し付けて開口１０１を遮蔽し、ゲートバルブは閉の
状態となる。

【００１２】従来例のゲートバルブは以上のように構成
され作動し、開閉機構は弁本体１００の外部に設けられ
てダストの発生を抑えたものにはなっているが、なお、
以下の点において必ずしも十分なものではない。

【００１３】すなわち、弁体１１０はピン１０７を回転
軸とする旋回によって弁座１０３に押圧されるが、この
時に弁座１０３と弁体１１０上のシールリング１１１と
の接圧を全体的に均等なものとするために、複数のコイ
ルばね１１５で弁体押圧部材１１２と弁体１１０とを弾
性的に連結している。このことはコイルばね１１５の屈
曲を前提としており、コイルばね１１５の他部材への接
触や取り付け部での摩擦を生ずる恐れが存在している。
また、弁体押圧部材１１２の半球状突起１１４による弁
体１１０の閉時毎の押圧による摩擦も存在する。更には
弁体支持棒１１７は空気圧シリンダ１３５のピストン棒
に連結されているのみで他に支持点を持たないまま弁本
体１００の内部へ挿通されており、かつ空気圧シリンダ
１３５の固定されている旋回枠１２０はゲートバルブが
閉の状態から戻しコイルばね１０９によって図９の状態
へ戻っているのみであるため、その位置は不安定であり
易く、図９の状態から空気圧シリンダ１３５が作動して
弁体操作棒１１７を引き下げる場合、または引き下げた
位置から図９の状態へ戻す場合に、弁体操作棒１１７は
芯振れを生じて、弁体操作棒１１７それ自身、ないしは
これに連結されている弁体１１０が他部材と接触してダ
ストを生ずる恐れもある。

【００１４】

【発明が解決しようとする問題点】本発明は上述の問題
に鑑みてなされたものであり、ゲートバルブの開閉時に
弁本体の内部において摺動、転動、その他による摩擦部
分を無くして、摩擦によるダストの発生を皆無とし、高
い清浄度の要求される製造ラインでの使用に好適な無摺
動ゲートバルブを提供することを目的とする。

【００１５】

【問題点を解決するための手段】以上の目的は、側壁に
開口を有する弁本体と、該弁本体の内部にあって前記開
口を遮蔽する弁体と、前記弁本体の外部から内部へ挿通
されており、その先端部に取り付けられた前記弁体を操
作する弁軸と、前記弁本体の外部に設けられ前記弁軸を
操作する開閉機構とからなり、前記開閉機構は前記弁体
を前記開口の周縁部に着座させかつ離座させる作動と、
前記弁体を前記開口に対向する位置から離隔させかつ前
記開口に対向する位置へ戻す作動とを行なう無摺動ゲー
トバルブにおいて、前記開閉機構は、前記弁軸の他端が
前記弁本体に固定された往復動機構によって駆動される
スライド部に、該スライド部と固定されている傾動機構
を介して、連結されており、前記往復動機構が作動する
と、前記弁本体に前記弁軸と同方向に垂直に固定されて
いる支持柱と一体的なレール上を前記スライド部に付属
するローラが転動することによって、前記スライド部が
往復自在にスライドし、前記スライド部と共に前記弁軸
が往復動して、前記弁体を前記開口に対向する位置から
離隔させかつ前記開口へ対向する位置へ戻すように作動
し、更には前記弁軸が前記スライド部に支持された傾動
ピンに連結されており、前記スライド部に固定されて前
記弁軸と連結されている前記傾動機構が作動すると、前
記弁軸が傾動ピンを回転軸として傾動して、前記弁体を
前記開口の周縁部に着座させかつ離座させるように作動
することを特徴とする無摺動ゲートバルブ、によって達
成される。

【００１６】また以上の目的は、前記弁軸の傾動によっ
て前記弁体が前記開口を遮蔽する時に、前記弁体の面が
前記開口の面と平行して均等に接するように、前記弁体
が予め前記弁軸の軸心とは傾斜して前記弁軸に取り付け
られている請求項１に記載の無摺動ゲートバルブ、によ
って達成される。

【００１７】また以上の目的は、前記弁軸が前記弁本体
へ挿通されている箇所を気密にシールするための、一端
を前記弁本体に固定し、他端を前記弁軸に固定して設け
られたベローズを有する請求項１または請求項２に記載
の無摺動ゲートバルブ、によって達成される。

【００１８】

【作用】請求項１による無摺動ゲートバルブは、摺動、
転動、その他を伴うゲートバルブの開閉機構を弁本体の
外部に設けていることに加えて、弁軸の往復動を弁本体
に固定された往復動機構の駆動によるものとしているこ
と、更には一端で往復動機構に連結され他端で弁軸に連
結されているスライド部が、それ自身に付属するローラ
を介し、弁本体に垂直に固定されている支持柱と一体的
なレールに沿ってスライドするようにしていることによ
って、弁軸の芯振れがなく、弁本体の内部において構成
要素部材同志の接触によるダスト発生の恐れがない。

【００１９】また請求項２による無摺動ゲートバルブ
は、請求項１の無摺動ゲートバルブの作用のほかに、弁
体が開口を遮蔽する時に弁体の面と開口の面とが平行し
て均等に接するように、弁体を予め傾斜させて弁軸に可
動部を介さずに取り付けているので、弁体の動きによる
構成要素部材同志の接触もなく、従ってそれによるダス
ト発生の恐れもない。

【００２０】また請求項３による無摺動ゲートバルブ
は、請求項１または請求項２の無摺動ゲートバルブの作
用のほかに、弁軸が弁本体を挿通している箇所をベロー
ズが完全にシールしているので、弁本体の内部と外部と
の間の高度な差圧下での使用を可とするほか、この間隙
からの汚染を防ぐ。

【００２１】

【実施例】以下、本発明の実施例による無摺動ゲートバ
ルブについて、図面を参照して説明する。

【００２２】図１〜図７は本実施例の無摺動ゲートバル
ブを示す図である。図１は同バルブの部分破断正面図を
左半分に、正面図を右半分に示したものであり、図２は
同バルブの側面図、図３は同バルブの、図１における
［３］−［３］線方向の部分側面図、図４は同バルブ
の、図１における［４］−［４］線方向の要部を拡大し
た破断側面図であり、開から閉、または閉から開の途中
の状態を示す図、図５は図４に対応する破断側面図であ
り、同バルブが閉の状態を示す図、図６は図４に対応す
る破断側面図であり、同バルブが開の状態を示す図、図
７は同バルブの下面図である。

【００２３】本実施例の無摺動ゲートバルブは概しては
ベースプレート４０の上部の弁本体１０と下部の開閉機
構とから構成されている。弁本体１０はほぼ直方体の形
状をした箱体からなり、ベースプレート４０上にキャッ
プボルト４３で固定されている。また弁本体１０の面積
の大きい相対する側面にはほぼ長方形の開口１２、１３
が形成されている。弁本体１０の内部においては、一方
の開口１２の周縁に弁座１４が設けられており、この弁
座１４へ押し付けて開口１２を遮蔽するための、開口１
２よりやや大きい輪郭の長方形の弁体５３が配置されて
いる。

【００２４】更には、ベースプレート４０の中心部に形
成させた円形の開口４１及び弁本体の下壁１５に形成さ
せた円形開口１１を弁本体１０の外部から内部へ弁軸５
１がゆるく貫通しており、その先端には、取付部材５２
を介して、弁体５３が取り付けられている。弁体５３の
表面には上述の弁座１４に対応する位置にシールリング
５４が埋められている。

【００２５】ベースプレート４０の下部には、その中心
に対称的な両端部に支持柱４２がそれぞれキャップボル
ト４５で垂直に固定されており、更にそれらの下部には
ガイドレール４４がキャップボルト４６で一体的に固定
されている。

【００２６】またベースプレート４０の下部には、支持
柱４２の内側において対称位置に弁軸５１を上下動させ
るための空気圧シリンダ２０が固定されており、そのピ
ストン棒２１にはスライドブロック２２がネジ２３で留
めて連結されている。更には夫々のスライドブロック２
２にはローラピン２４を介してローラ２５が４個設けら
れており、上述のガイドレール４４を挟んで２個ずつの
ローラ２５が転動することによって、スライドブロック
２２が上下自在にスライドするようになっている。ま
た、夫々のスライドブロック２２の下側端部には弁軸５
１を傾動させるための空気圧シリンダ２７が固定されて
おり、それらのピストン棒２８には弁軸５１の下端部に
螺着された軸受ブロック５６ａに固定されている軸受ブ
ロック５６ｂの端部が連結されている。また、スライド
ブロック２２の上部には傾動ピン２６が取り付けられて
おり、これを回転軸とする傾動アーム５７の他端が軸受
ブロック５６ｂにキャップボルト５８で固定されてい
る。

【００２７】なお、ベースプレート４０及び弁本体の下
壁１５に形成された円形開口４１、１１をシールするた
めに、ベースプレート４０への取付部材６１、弁軸５１
への取付部材６２を介してベローズ６３が一端をベース
プレート４０に他端を弁軸５１に固定され、弁本体１０
の内部を気密にシールすると共に、弁軸５１の上下動に
応じて伸縮するようになっている。

【００２８】また、空気圧シリンダ２０にはリードスイ
ッチ７１、７２が取り付けられており、これらは空気圧
シリンダ２０のピストン棒２１に取り付けられている図
示しないマグネットリングによってオン・オフするの
で、これによってピストン棒２１の位置を検知すること
が出来る。更には、スライドブロック２２に取り付けら
れているフォトセンサ７３は軸受ブロック５６ｂに取り
付けられているキッカー７４と組合わされて、キッカー
７４がフォトセンサ７３の発光素子と受光素子との間の
光を遮断している時は弁軸５１が傾動しておらず弁体５
３が弁座１４から離れて図４または図６の状態にあるこ
と、キッカー７４が光を遮断していない時は弁軸５１が
傾動して弁体５３が弁座１４に押し付けられ、ゲートバ
ルブが図５に示す閉の状態にあることを確認するための
ものである。なお、これらのリードスイッチ７１、７
２、フォトセンサ７３による検知、確認は図示しない回
路を通じ、図示しない制御部によって行なわれる。

【００２９】本発明の実施例は上記のように構成される
が、次にその作動を説明する。

【００３０】図１〜図４は弁体５３が弁座１４から離れ
た位置にあって、本実施例の無摺動ゲートバルブは開か
ら閉へ、また閉から開への途中の状態にあることを示し
ている。この時、空気圧シリンダ２７のピストン棒２８
及び空気圧シリンダ２０のピストン棒２１は共に最も引
き込んだ状態にある。この状態から空気圧シリンダ２７
を作動させてピストン棒２８を押し出すと、これに連結
されている軸受ブロック５６ｂ、５６ａが図１において
紙面の裏から表の方向へ押圧されるので、軸受ブロック
５６ｂ、５６ａ、これに固定されている弁軸５１は傾動
アーム５７を介し傾動ピストン２６を回転軸として傾動
し、弁本体１０の内部においては図４の状態にあった弁
体５３は傾動ピン２６を回転軸として反時計方向に移動
され、図５に示すようにシールリング５４が弁座１４に
押し付けられて、弁体５３が開口１２を遮蔽し、本実施
例の無摺動ゲートバルブは閉の状態になる。なお、シー
ルリング５４が弁座１４に押し付けられた時に弁体５３
の面と弁座１４の面とが平行になって均等に接するよう
に、弁体５３は予め計算され得る傾斜を付けて弁軸５１
に取り付けられている。

【００３１】この閉の状態から本実施例の無摺動ゲート
バルブを開とするには、空気圧シリンダ２７のピストン
棒２８を引っ込めて弁軸５１を図１〜図４の状態に戻
し、次いで空気圧シリンダ２０を作動させてピストン棒
２１を押し出すと、これに連結されているスライドブロ
ック２２はガイドレール４４の両面を転動するローラ２
５に導かれて図１において下方へスライドし、スライド
ブロック２２に固定されている空気圧シリンダ２７、こ
れに連結されている軸受ブロック５６ｂ、５６ａを介し
て弁軸５１も同時に下方へ図１、図２の一点鎖線位置ま
で引き下げられる。この状態においては、図６に示すよ
うに弁本体１０の内部において弁体５３も開口１２に対
向する位置から引き下げられるので、開口１２と開口１
３とは連通状態になり、本実施例の無摺動ゲートバルブ
は完全に開の状態となる。

【００３２】開の状態から空気圧シリンダ２０のピスト
ン棒２１を引っ込めて弁軸５１を引き上げると図１〜図
４の状態へ戻ることになる。

【００３３】なお実際には、空気圧シリンダ２０、２７
の作動は図示しない制御部からの指令による。すなわ
ち、本実施例の無摺動ゲートバルブを開から閉とする時
には、制御部からの信号によって圧縮空気が空気圧シリ
ンダ２０に注入され、そのピストン棒２１が下限位置か
ら上限位置まで引き込められる（弁軸５１が上方へ引き
上げられる）とリードスイッチ７２がオフ、リードスイ
ッチ７１がオンになるので、制御部はこれを検知して空
気圧シリンダ２０への圧縮空気の注入を止める信号を出
し、次いで空気圧シリンダ２７に圧縮空気を注入する信
号を出す。これによって空気圧シリンダ２７のピストン
棒２８が押し出され、弁軸５１が傾動してキッカー７４
がフォトセンサ７３の光を遮断しなくなるとその信号が
入力されるので、制御部は弁体５３が開口１２を遮蔽し
たことを検知する。

【００３４】本実施例の無摺動ゲートバルブを閉から開
とする時も同様に制御部が空気圧シリンダ２７、２０を
順次作動させるが、空気圧シリンダ２０のピストン棒２
１が上限位置から下限位置まで押し出されると、リード
スイッチ７１がオフ、リードスイッチ７２がオンとなっ
てその信号が入力されるので、制御部は完全に開になっ
たことを検知する。

【００３５】本実施例による無摺動ゲートバルブは以上
説明したように、摺動、転動、その他、摩擦を伴う開閉
機構を弁本体１０の外部へ設けたことに加え、弁軸５１
の上下動をベースプレート４０に固定された空気圧シリ
ンダ２０の駆動によるものとし、更には空気圧シリンダ
２０のピストン棒２１に連結されているスライドブロッ
ク２２が、それ自身に付属するローラ２５を介し、ベー
スプレート４０に垂直に固定されている支持柱４２と一
体的なガイドレール４４に沿ってスライドするようにし
ているので、弁軸５１の上下動時における芯振れがな
く、従って弁軸５１自身、または弁軸５１に取り付けら
れている弁体５３と他の構成要素部材との接触、それに
よるダスト発生の恐れは解消されている。

【００３６】なお、本実施例による無摺動ゲートバルブ
は弁軸５１が弁体５３のシールリング５４を弁座１３に
押し付ける構造であるために、弁本体１０の内部が外部
より高圧である場合は勿論のこと、内部が真空で外部が
常圧の場合も含めて内部が外部より低圧である場合に
も、開口１２の遮蔽はシール洩れを起こすことはない。

【００３７】以上、本発明の実施例について説明した
が、勿論、本発明はこれに限定されることなく、本発明
の技術的思想に基いて種々の変形が可能である。

【００３８】例えば実施例においては、無摺動ゲートバ
ルブの閉時に、弁体５３の面と弁座１４の面とが平行に
なって均等に接するように、弁体５３を弁軸５１に対し
予め傾斜させて取り付けたが、弁体５４は傾斜させずに
弁軸５１に取り付け、弁座１４に傾斜を与えてもよい。

【００３９】また実施例においては、弁本体１０を上側
に、開閉機構を下側としたが、この上下が逆であっても
よく、更には横に寝かせた状態においてもその機能は変
わらない。

【００４０】また実施例においては、長方形の開口１
２、１３を有する無摺動ゲートバルブを取り上げたが、
円形の開口としてもよいことは言うまでもない。

【００４１】更には実施例においては、開閉機構の駆動
に空気圧シリンダ２０、２７を採用したが、これを他の
公知の駆動源、例えば油圧シリンダとすることも出来
る。

【００４２】

【発明の効果】本発明の無摺動ゲートバルブは摺動、転
動、その他、摩擦を伴う開閉機構を弁本体の外部へ設け
たことのほかに、弁軸の往復動時に芯振れすることのな
いようにしていること、更には可動部を介さずに弁体を
弁軸に取り付けていることによって弁本体の内部におい
てはゲートバルブの構成要素部材同志の摩擦が生起せ
ず、従ってダスト発生の恐れがないので、本発明の無摺
動ゲートバルブを使用する製造ラインの清浄度を保証す
ることが出来る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例による無摺動ゲートバルブの部
分破断正面図を左半分に、正面図を右半分に示した図で
ある。

【図２】同バルブの側面図である。

【図３】同バルブの、図１における［３］−［３］線方
向の部分側面図である。

【図４】同バルブの、図１における［４］−［４］線方
向の要部を拡大した破断側面図である。

【図５】図４に対応する破断側面図であり、同バルブが
閉の状態を示す図である。

【図６】図４に対応する破断側面図であり、同バルブが
開の状態を示す図である。

【図７】同バルブの下面図である。

【図８】従来例の無摺動ゲートバルブの正面図を右半
分、部分破断正面図を左半分に示した図である。

【図９】同バルブの部分破断側面図である。

【符号の説明】

１０ 弁本体 １２ 開口 １４ 弁座 ２０ 空気圧シリンダ ２２ スライドブロック ２５ ローラ ２６ 傾動ピン ２７ 空気圧シリンダ ３８ ベローズ ４０ ベースプレート ４２ 支持柱 ４４ ガイドレール ５１ 弁軸 ５３ 弁体 ５６ａ 軸受ブロック ５６ｂ 軸受ブロック ５７ 傾動アーム

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) F16K 3/00 - 3/36 F16K 51/02

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 側壁に開口を有する弁本体と、該弁本体
   の内部にあって前記開口を遮蔽する弁体と、前記弁本体
   の外部から内部へ挿通されており、その先端部に取り付
   けられた前記弁体を操作する弁軸と、前記弁本体の外部
   に設けられ前記弁軸を操作する開閉機構とからなり、前
   記開閉機構は前記弁体を前記開口の周縁部に着座させか
   つ離座させる作動と、前記弁体を前記開口に対向する位
   置から離隔させかつ前記開口に対向する位置へ戻す作動
   とを行なう無摺動ゲートバルブにおいて、前記開閉機構
   は、前記弁軸の他端が前記弁本体に固定された往復動機
   構によって駆動されるスライド部に、該スライド部と固
   定されている傾動機構を介して、連結されており、前記
   往復動機構が作動すると、前記弁本体に前記弁軸と同方
   向に垂直に固定されている支持柱と一体的なレール上を
   前記スライド部に付属するローラが転動することによっ
   て、前記スライド部が往復自在にスライドし、前記スラ
   イド部と共に前記弁軸が往復動して、前記弁体を前記開
   口に対向する位置から離隔させかつ前記開口へ対向する
   位置へ戻すように作動し、更には前記弁軸が前記スライ
   ド部に支持された傾動ピンに連結されており、前記スラ
   イド部に固定されて前記弁軸と連結されている前記傾動
   機構が作動すると、前記弁軸が傾動ピンを回転軸として
   傾動して、前記弁体を前記開口の周縁部に着座させかつ
   離座させるように作動することを特徴とする無摺動ゲー
   トバルブ。
2. 【請求項２】 前記弁軸の傾動によって前記弁体が前記
   開口を遮蔽する時に、前記弁体の面が前記開口の面と平
   行して均等に接するように、前記弁体が予め前記弁軸の
   軸心とは傾斜して前記弁軸に取り付けられている請求項
   １に記載の無摺動ゲートバルブ。
3. 【請求項３】 前記弁軸が前記弁本体へ挿通されている
   箇所を気密にシールするための、一端を前記弁本体に固
   定し、他端を前記弁軸に固定して設けられたベローズを
   有する請求項１または請求項２に記載の無摺動ゲートバ
   ルブ。