JPH04370475A - ダイレクトマウント型ゲートバルブ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ダイレクトマウント型
ゲートバルブに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】例えば、半導体製造装置のマルチチャン
バーにおいては、添付図面の図５に示すように、各種の
チャンバーＲ１〜Ｒ６がクリーンルーム内に設置される
ようになっており、また、各チャンバーＲ１〜Ｒ６は搬
送室Ｃの回りに、ほぼ放射状に配置され、各チャンバー
Ｒ１〜Ｒ６の開口部を搬送室Ｔに向けて配置し、大部分
の開口部には、ゲートバルブＧを設け、それを気密に閉
鎖することにより、必要なチャンバー内を所望の環境、
例えば、高真空に維持し、その内部においてウェハーな
どの半製品に、それぞれ、所定の処理を施した後、ゲー
トバルブＧを開放し、一つのチャンバー内の半製品を、
搬送室Ｃに設置された搬送装置Ｔを介して他のチャンバ
ー内に搬送し、再びゲートバルブＧを閉塞した後、次ぎ
の処理を施し、このようにして、全部のチャンバーＲ１
〜Ｒ６を所定の順序で通過させることにより、最終製品
が製造されるようにしてある。

【０００３】この場合、各チャンバーＲ１〜Ｒ６は、ク
リーンルーム内に設置されるので、各チャンバーは、出
来るだけ小型で軽量であることが要求されている。その
ために、チャンバーの材質としてアルミニゥムを使用す
るなどの対策が採られている。しかしながら、ゲートバ
ルブＧとして、従来の構造のものが採用される時には、
ゲートバルブ自体の重量及び容積が、比較的大きなもの
であるので、ウェハーの搬送距離が長くなり、これに伴
い、搬送室Ｃが大きくなってしまうなどの問題点が生ず
る。

【０００４】また、このゲートバルブＧとしては、クリ
ーンルーム内に設置され、半導体ウエーハ等に精細な加
工を行う環境で使用されるものであるので、その開閉作
動において、微細な粒子（異材質の粒子）などの発生の
恐れの無いものを使用することが、必要とされている。 このために、ゲートバルブとして、既に、無しゅう動ゲ
ートバルブが、提案されている。例えば、特開平２−１
９０６９１号公報には、「真空バルブ」の発明が記載さ
れている。すなわち、この発明は、バルブの開閉操作に
おいて、弁体と弁座との当接によりダストが発生するこ
との無い真空バルブを提供することを目的とし、また、
この目的を達成するために、弁箱と、弁箱の側壁の開口
部に設けた弁座に着座する弁体と、この弁体を一端部に
取り付け、他端部を弁箱外に延ばした弁棒と、弁棒の他
端部と移動自在に結合した連接棒と、連結棒に取り付け
た弁棒上下移動用駆動機と、弁箱に固定された第一の軸
受支持体に取り付けられ、弁棒を軸支する第一の球面滑
り軸受と、第一の球面滑り軸受及び弁箱内の雰囲気を遮
断するように、弁棒に固着されたベローズ固定用上板と
、弁箱に固着されたベローズ固定用下板との間に設けら
れた伸縮ベローズと、弁箱に固定されていない弁箱外の
第二の軸受支持体に取り付けられ、弁棒を軸支する第二
の球面滑り軸受と、第二の球面滑り軸受を動かすために
、第二の軸受支持体に取り付けられた弁棒回動用駆動機
とから構成されている。

【０００５】その他、本出願人により特願平２−４２４
号として特許出願されている発明「無しゅう動真空ゲー
トバルブ」もあるが、この発明によるゲートバルブは、
上に説明をした本出願前に公知となっている「真空バル
ブ」と実質的に同一の目的は有しているが、その目的を
達成するために、それとは別個の構成が、採用されてい
る。なお、この「無しゅう動真空ゲートバルブ」の構成
の詳細については、後に説明をする、本発明の実施例の
説明から明らかとなるので、ここでは、その説明を省略
する。

【０００６】更に、ゲートバルブ自体の重量及び容積が
大きいと言う問題を解決するために、いわゆる、ダイレ
クトマウント型ゲートバルブが、既に、公知となってい
る。すなわち、図６は、その１例を略図により示すもの
であるが、図に示すように、チャンバーＲの開口部Ｏを
形成した隔壁Ｒ０に、弁座ＶＳを取り付け、この弁座Ｖ
Ｓに協同をする弁体ＶＢは、チャンバーＲの外部に取り
付けられた作動機構ＡＣを介して矢印Ｙの方向に作動を
されるようになっており、その作動により、弁体ＶＢが
、弁座ＶＳを閉鎖したり、開放したりすることが出来る
ようになっている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上に説
明をしたような、従来公知の発明ないしは本出願人によ
り提案されている発明による「真空バルブ」ないしは「
無しゅう動真空ゲートバルブ」は、いずれも、その全体
の重量及び容積が比較的大きなものであるので、これを
クリーンルーム内に設置すると、ウェハーなどの半製品
の搬送距離が長くなり、これに伴い、搬送室が大きくな
ってしまうなどの問題点が生ずる。また、このことを解
決するために既に提案されている、同様に、上に説明を
した、いわゆる、ダイレクトマウント型のゲートバルブ
においては、弁箱が無く、弁体が、チヤンバーの隔壁に
取り付けられた弁座と協同をするようになっているので
、隔壁の部分における弁体の容積を小さくすることは出
来るが、この弁体と協同をする特殊な弁座を必要とする
ので、その設置が繁雑であると言う問題点がある。そこ
で、本発明は、全体の重量及び容積を小さなものとする
ことが出来る「ダイレクトマウント型ゲートバルブ」を
得ることを、その主な課題とするものである。

【０００８】更に、本発明は、弁体の開閉作動において
、何らの微細な粒子などの発生も生ずることの無い「ダ
イレクトマウント型ゲートバルブ」を得ることをも、そ
の課題とするものである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明によると、これら
の課題は、容器などの隔壁に空けられた開口部を開閉す
るためのゲートバルブにおいて、開口部の開閉を行う弁
体と、弁体に１端部において取り付けられている弁体操
作棒と、容器などに取り付けられるようにされると共に
弁体操作棒の他端部に連結されている弁体駆動機構部と
から成り立っており、弁体は弁体駆動機構部から容器な
どの内部に突出していると共に弁体駆動機構部の作動に
より、弁体操作棒を介して隔壁に空けられた開口部に対
する開閉運動を行うようになっていることを特徴とする
ダイレクトマウント型ゲートバルブにより解決される。

【００１０】一層詳細には、本発明によるゲートバルブ
は、隔壁を有し、隔壁には外部環境と連通可能な開口部
を空けられている容器などにおいて、隔壁に空けられた
開口部を開閉するために、容器などに取り付けられるよ
うにされると共にその隔壁に空けられた開口部に対応す
る弁開口を設けられている側壁を有している中空箱状の
弁箱と、弁開口を包囲するように形成されている弁座と
、弁座の開閉を行うために弁箱内にこれと協同作用をす
るように配置された弁体と、弁体に１端部において取り
付けられている弁体操作棒と、弁体操作棒の他端部に連
結されると共に弁箱の外部に設置された弁体駆動機構部
とから成り立っている基本構成を有しているゲートバル
ブを主体とするものであるが、弁箱を省略すると共に弁
体と協同作用をする弁座を、容器などの隔壁に空けられ
た開口部の周辺に直接的に形成し、この弁座と協同作用
をする弁体を、容器などに適宜に固着された弁体駆動機
構部により、弁体操作棒を介して作動させるようにする
ことを、特徴とするものである。

【００１１】この場合、ゲートバルブとしては、任意の
基本構成を有するものが使用可能であるが、この基本構
成を有するものとして、先に本出願人により提案されて
いる「無しゅう動真空ゲートバルブ」を採用することに
より、弁体駆動機構部は、弁体の開閉作動を、弁体を弁
座の面に対してほぼ垂直な方向に動かす運動と、弁体を
この弁座から間隔を置かれた状態において、この方向に
対してほぼ垂直な方向に動かす運動とを連続して行わせ
ることが出来るので、弁体の開閉作動の際に、弁体と弁
座との間に、相対的なしゅう動運動の生ずること無しに
行わせることが出来、従って、弁体の開閉作動において
、それらの間に摩擦運動がある場合に起こるような、微
細な粒子（異材質の粒子）の発生することを防止するこ
とが出来る。従って、この基本構成を主体とした本発明
によるゲートバルブは、真空環境の下に作動される半導
体の製造設備用として使用する時には、特に、有利とな
る。

【００１２】

【実施例】以下、本発明をその実施例を示す添付図面に
基づいて、詳細に説明をする。まず、図１及び２には、
本発明によるゲートバルブの１実施例５０が、真空容器
６０のために設置されているものとして示されている。 このゲートバルブ５０は、真空室６０の頂壁６１の上に
直立して設置されている弁体駆動機構部５１と、これに
より開閉作動をされる弁体５２とから成り立っているが
、弁体５２は、例えば、長方形状の盤状の輪郭を有して
おり、真空容器６０の内部に置かれており、この弁体５
２は、真空容器６０の頂壁６１に空けられた開口６２を
緩く貫通して真空容器６０の内部まで延びている弁体駆
動機構部５１の弁体操作棒５３に連結されている。なお
、この弁体５２は、弁体駆動機構部５１の作動により、
弁体操作棒５３を介して、真空容器６０の垂直な隔壁６
３に沿って、これからわずかな間隔を置かれた状態にお
いて、垂直方向に移動可能となっている他、隔壁６３の
面に対してほぼ垂直な方向にも、移動可能となっている
。

【００１３】また、真空容器６０の隔壁６３には、その
上方部分に、弁体５２の輪郭に対応する、例えば、長方
形状の輪郭を有している開口部６４が空けられており、
更に、隔壁６３においては、この開口部６４の周辺部が
、弁体５２と協同作用をする弁座６５として役立つよう
になっている。このようにして、弁体５２は、図１に示
す状態においては、隔壁６３に空けられた開口部６４を
開放している状態にあるが、この弁体５２を、弁体駆動
機構部５１の作動により弁体操作棒５３を介して隔壁６
３に沿って、それとの間にわずかな間隔を置いたまま垂
直に下降させ、ほぼ、図２に示すように、隔壁６３に空
けられた開口部６４に対向する位置にまで下降された時
に、弁体駆動機構部５１の作動により、弁体操作棒５３
を介して弁体５２を、隔壁６３に対してほぼ垂直方向に
移動させると、弁体５２は、隔壁６３に空けられて開口
部６４の周辺部の弁座６５に押圧され、図２に示すよう
に、弁開口６４をシールして閉塞するようになる。

【００１４】また、図２に示すような、弁体５２による
開口部６４の閉塞状態から、弁体５２を開放状態に持ち
来すためには、弁体駆動機構部５１を、弁体５２の開放
操作と逆の作動を行わせるようにすれば良い。すなわち
、まず、弁体５２を、隔壁６３に対してほぼ垂直方向に
弁座６５から離れるように作動をさせ、次いで、弁体５
２を弁体操作棒５３を介して、隔壁６３に沿って且つこ
れからわずかな間隔を有して、垂直上方に移動させるこ
とにより、これを行うことが出来る（図１参照）。

【００１５】本発明によるゲートバルブの１実施例は、
上に概略を説明をしたような構成及び作用を有するもの
であり、従来のゲートバルブとは、従来のゲートバルブ
が、その基本構成において必須とされていた弁箱及びそ
れに設けられた弁座を必要としない点において、根本的
に相違するものである。

【００１６】次ぎに、本発明によるゲートバルブの構成
の詳細を説明をするが、その基本構成となってゲートバ
ルブが、先に、本出願人により提案されてえいる「無し
ゅう動真空ゲートバルブ」であるものとして、まず、こ
のゲートバルブの構成を、図３及び４に基づいて、簡単
に説明をする。図３及び４に示すように、このゲートバ
ルブは、横断面が長方形状の中空箱状の弁箱１を有して
おり、この弁箱１が、頂壁１０、側壁１１，１２及び底
壁１３から成り立っているものとして示されている。

【００１７】図３及び４に示すように、弁箱１の側壁１
１の一つの下部には、弁箱１の垂直中心線Ｘ−Ｘに対し
て対称的に、長方形状の弁開口２が、その長い辺２１，
２２を底壁１３に対して平行であると共にその短い辺２
３を底壁１３に対して垂直に空けられており、この弁開
口２の周辺には、弁座３が形成されている。また、弁箱
１の頂壁１０の上面には、弁箱１の垂直中心線Ｘ−Ｘに
対して対称的に各１組の垂直な支持架台５が配置されて
いるが、各支持架台５は、１対の間隔を置かれた、先端
部近くに幅の狭い部分を形成された、ほぼ長方形状の板
状の支持体５１，５２から成り立っており、これらの支
持体５１，５２は、それぞれ、弁箱１の短い側壁１２に
対して平行となるように間隔を置かれて、その下端部に
おいて、弁箱１の頂壁１０に垂直に固着されている。

【００１８】更に、弁箱１の内部には、その弁座３と協
同して弁開口２を開閉自在に閉鎖するために、長方形状
の盤状の弁体１０が、その一つの平らな面が、弁座３に
対して、ほぼ平行となるように配置されており、その弁
座３に対向する面には、弁開口２の周辺において弁座３
に接触をするように、Ｏリング１１が取り付けられてい
る。なお、図４には、弁体１０は、弁座３から間隔を置
かれて離れている、弁開口２の開放状態において示され
ている。また、この弁体１０は、図３，４から分かるよ
うに、その弁座３と反対側の平らな面から、ある深さに
、平面輪郭が、弁体１０の平面輪郭と相似であるが、や
や小さなものであるくぼみ１０１が形成されており、こ
のくぼみ１０１の中には、このくぼみ１０１の平面輪郭
に相似であるが、これよりも、やや小さな平面輪郭を有
している長方形状の、ある厚さを有している、ほぼ板状
の弁体押圧部材１２が、その外周辺を、くぼみ１０１の
内周辺から、あるすきまを有すると共にくぼみ１０１の
底面からも、ある間隔を置かれて配置されている。なお
、弁体押圧部材１２の弁体１０の、くぼみ１０１の平面
輪郭よりも小さな平面輪郭を有する長方形状の、ある高
さの段部１２１が形成されると共にその中心部からは、
半球状の突起１２２が突出しており、その頂部が、くぼ
み１０の底面と接触するようにしてある。更に、弁体１
０と、弁体押圧部材１２とは、弁体１０のくぼみ１０１
の内周辺と、弁体押圧部材１２の段部１２１の外周辺と
を、数個のコイルばね１３を介して、適宜な手段により
相互に連結することにより、弁体１０を弁体押圧部材１
２に対して弾性的に連結してある。

【００１９】また、弁箱１の内部には、その頂壁１０に
、弁箱１の垂直中心線Ｘ−Ｘを中心として空けられた円
筒状の開口１４を緩く貫通して、同様に、弁箱１の垂直
中心線Ｘ−Ｘ内に軸心を有している丸棒状の弁体操作棒
１５が、弁箱１の外部から挿入されており、その下端部
には、弁体押圧部材１２が、その外面の中心部において
固着されている。更に、この弁体操作棒１５は、その弁
箱１の頂壁１０の中心に空けられた円筒状の開口１４を
緩く貫通して延長され、その上端部の近くにおいて、弁
箱１の頂壁１０の長手方向に延びている旋回枠２０の水
平な腕部材２０１の中央部に空けられた円筒状の開口を
、緩く貫通するようにされている。なお、この旋回枠２
０は、この水平な腕部材２０１と、その各端部に垂直に
垂下するように固着された１対の脚部材２０２とから構
成されているが、各脚部材２０２は、各支持架台５を構
成している垂直な１対の支持体５１及び５２と平行に且
つこれらの間の間隔の垂直中心線の上に中心線を置かれ
ており、このようにして、旋回枠２０は、水平な腕部材
２０１と、１対の垂直な脚部材２０２とから成り立って
いる縦断面がコの字状の板部材から形成されている。 また、この旋回枠２０は、その垂直な脚部材２０２の下
端部を、弁箱１の頂壁１０から間隔を置かれると共にそ
の下端部近くにおいて、各支持架台５を構成している各
１対の垂直な支持体５１及び５２の下端部近くに、弁箱
１の頂壁１０の横方向に対して平行に取り付けられた各
１本のピン２５が緩く貫通することにより、このピン２
５を介して、支持架台５に旋回自在に連結されている。

【００２０】更に、この旋回枠２０の水平な腕部材２０
１には、弁箱１の垂直中心線Ｘ−Ｘと同一の軸心を有し
ている空気シリンダ３５が、そのシリンダ頂端部におい
て、上方に向けて垂直に固着されており、そのピストン
は、弁体操作棒１５の上端部に固着されている。なお、
弁箱１の頂壁１０に空けられた円筒状の開口１４と、弁
体操作棒１５との間のすきまを弁箱１に対してシールす
るために、弁箱１の頂壁１０の外面と、弁箱１の外部の
弁体操作棒１５との間には、弁体操作棒１５を緩く包囲
してベローズ３８が配置されており、その各端部は、そ
れぞれ、頂壁１０及び弁体操作棒１５に固着されており
、弁箱１の内部を気密に保持するようにしてある。

【００２１】また、各支持架台５の上端部近くには、同
一水平線の上に、それぞれ、１個の空気シリンダ４０が
、その基端部において固定してあり、その他端部の中心
部をピストン棒４１が貫通しており、その端部には、半
球状の形状を有する押圧部材４２が固着されており、こ
の押圧部材４２の頂部は、旋回枠２０の水平な腕部材２
０１と、垂直な脚部材２０２との、それぞれの中心部線
の交差部において、旋回枠２０に接触するようになされ
ている。

【００２２】この無しゅう動真空ゲートバルブは、上記
のような構成を有しているが、その作動は、次ぎのよう
である。まず、図３及び４は、弁体１０が、弁座３から
離れており、弁箱１に空けられた弁開口２を開放してい
る開放の第一段階の終了ないしは閉鎖の第二段階の開始
の状態において示されており、この状態においては、弁
体１０は、弁座３から間隔を置かれて水平方向に相互に
重なり合っている。また、この状態においては、空気シ
リンダ３５のピストン棒及び空気シリンダ４０のピスト
ン棒４１は、それぞれ、最大延伸行程及び引き込み行程
状態にあるが、この状態から、開放の第二段階として、
空気シリンダ３５の作動により、そのピストン棒を引き
込ませ、これらの図で見て、上方に引き上げると、この
ピストン棒は、それに固着された弁体操作棒１５が、弁
体押圧部材１２及びコイルばね１３を介して、弁体１０
を上昇させ、その弁体１０が、弁箱１の弁開口２に干渉
しない位置まで上昇され、完全開放状態となる。

【００２３】逆に、このようにして、完全開放状態にあ
る弁体１０を、弁箱１に空けられた弁開口２を閉鎖する
ために、弁座３を閉塞するために作動をさせるには、ま
ず、閉鎖の第一段階として、空気シリンダ３５の作動に
より、そのピストン棒及び弁体操作棒１５，弁体押圧部
材１２及びコイルばね１３を介して弁体１０を図３及び
４に示す状態に持ち来すようにする。この状態において
は、空気シリンダ３５のピストン棒は、最大延伸行程状
態にあり、また、旋回枠２０の垂直な脚部材２０２の外
縁は、支持架台５を構成している支持体５１及び５２に
取り付けているピン２５の中心を通る垂直面に対して、
ほぼ平行となっており、また、各空気シリンダ４０のピ
ストン棒４１は、その引き込み行程の状態にある。そこ
で、閉鎖の第二段階として、空気シリンダ４０を、その
ピストン棒４１が、その最大延伸行程の端部に向かって
移動するように作動させると、各ピストン棒４１は、押
圧部材４２を介して、旋回枠２０を構成している水平な
腕部材２０１と、脚部材２０２との交差部分を押圧し、
旋回枠２０をピン２５の回りに、図４で見て、反時計方
向に旋回させるようにする。

【００２４】従って、旋回枠２０の水平な腕部材２０１
は、これに取り付けられた空気シリンダ３５のピストン
に連結されて弁体操作棒１５を空気シリンダ３５と一緒
に、図４で見て、反対時計方向に旋回させる。これによ
り、弁体操作棒１５の下端部に、中心部において固着さ
れている弁体押圧部材１２は、その段部１２１の面の中
心部に形成された半球状の突起１２２の頂面により、弁
体１０に形成されたくぼみ１０１の底面を、その中心部
において押圧するので、弁体１０は、弁座３に対して押
圧され、弁体１０に設置されたＯリング１１を弁座３に
対して強大な力により押圧し、弁体１０と、弁座３との
間における完全なシールを行うようになり、弁箱に空け
られた弁開口２を完全に閉塞する。なお、この場合、弁
体１０は、弁体押圧部材１２に数組のコイルばね１３を
介して連結されているので、弁体１０の弁座３に対する
押圧力は、両部材３，１０の間の接触面に均等に分布さ
れることが、確実とされる。

【００２５】逆に、この閉鎖状態にある弁体１０を弁座
３から開放させるには、まず、開放の第一段階として、
空気シリンダ４０を作動させ、そのピストン棒４１を引
き込ませると、旋回枠２０は、それを構成している脚部
材２０２と、弁箱１の頂壁１０との間に、適宜な手段に
より配置されている戻しコイルばね４５の作用により、
ピン２５の回りに、図４で見て時計方向に旋回され、図
３及び４に示す状態に持ち来され、その水平な腕部材２
０１と一体となっている空気シリンダ３５，従って、そ
のピストンに連結されている弁体操作棒１５を、同図に
示すような状態とし、弁体１０を弁座３から引き離す。 そこで、開放の第二段階として、空気シリンダ３５の作
動により、そのピストン棒を引き込ませ、これにより、
弁体１０を垂直に上方へ移動させれば良い。

【００２６】このように、この無摺動ゲートバルブにお
いては、弁箱１に設けられた弁開口２の開閉を行うため
には、弁体１０に、２種類の運動を与えることが必要と
されている。すなわち、第一の運動は、弁体１０を、そ
れが弁開口２を閉鎖している状態から、図４に示す弁開
口２と、弁体１０とが間隔を置いて重なり合っている位
置へ弁開口２から動かし、又は、この図４に示す位置か
ら、弁開口２まで動かす運動であり、また、他の運動は
、この図４に示す位置から、弁体１０が弁開口２から完
全に間隔を置かれた状態となるまで、又は、図４に示す
状態となるまで、上方、又は、下方に移動させる運動で
ある。そして、これらの２種類の運動は、いすれも、弁
箱１の外部に設置された弁体開閉機構、すなわち、旋回
枠２０，空気シリンダ３５及び空気シリンダ４０などの
各種の部材により行われ、また、これらの２種類の運動
の間において、どのような摩擦運動も生ずることが一切
無く、従って、弁箱１内は、常に、清浄に維持されるこ
ととなる。

【００２７】また、このような構成及び作用を有してい
る無しゅう動ゲートバルブは、従来は、図１及び２に示
されるような容器など６０の頂壁６１に、弁箱１の外部
輪郭に対応する開口６２を空け、この開口６２を経て室
など６０の中に、弁箱１の側壁１１の外面を、容器など
６０の隔壁６３の内面に沿って垂直に挿入し、弁箱１の
側壁１１に形成された弁開口２が、容器など６３の隔壁
６３に空けられた開口６４と一致するように挿入した後
、弁箱１の頂壁１０を、容器など６０の頂壁６１に気密
の固着することにより、使用するようにするものである
。

【００２８】ここで、前に、図１及び２に基づいて、１
実施例の概略を説明をした本発明によるダイレクトマウ
ント型ゲートバルブ５０を、図３及び４に基づいて、１
実施例を詳細に説明をした、先に本出願人により提案さ
れている「無しゅう動真空ゲートバルブ」と比較する時
は、前者においては、後者における弁箱１の側壁１１，
１２及び底壁１３が省かれ、その頂壁１０が、弁体駆動
機構部５０の、平面輪郭がほぼ長方形の板状を有してい
る基台を形成しており、弁体駆動機構部５０は、この基
台の上に組み立てられており、また、後者の弁開口２が
、前者の容器など６０の隔壁６３に空けられた開口部６
４により直接的に形成され、更に、後者の弁座３の代わ
りに、前者の隔壁６３に空けられた開口部６４の周辺部
が、弁座６５として役立つものであることが、分かると
ころである。なお、前者における弁体駆動機構部５１は
、後者における旋回枠２０，空気シリンダ３５及び空気
シリンダ４０などから成り立っている弁体開閉機構と同
一の構成を有しており、また、前者における弁体５２が
、後者における弁体操作棒１５に対応する弁体操作棒５
３を介して、弁体駆動機構部５１により、後者における
２種類の運動を行うものであることも、容易に理解する
ことが出来るところである。

【００２９】このようにして、本発明によるゲートバル
ブ５０においては、図１及び２から分かるように、容器
など６０に設置された場合には、弁体駆動部５１が、容
器など５０の頂壁６１に固着され、弁体５２が、容器な
ど６０の内部に配置され、この弁体５２が、弁体駆動機
構部５１の作動により、弁体操作棒５３を介して、容器
など６０の隔壁６３に空けられた開口部６４を、その周
辺に直接的に形成された弁座６５と協同作用を行って、
開閉するものである。また、弁体５２の開閉動作が、容
器など６０の隔壁６３の内面に対してほぼ直角な方向及
び隔壁６３の内面に対してほぼ平行な方向の２方向の運
動から構成されるので、弁体５２の開閉動作の際に、何
らの微細な粒子などの異材質の粒子を発生することが無
く、従って、いわゆる、クリーンルーム内に設置するの
に適しているものである。

【００３０】

【発明の効果】本発明によるゲートバルブは、上記のよ
うな構成及び作用を有しており、クリーン室などのに設
置する場合には、その内部に弁体自体だけを配置すれば
良く、従来のように、その内部に、弁座を形成された弁
箱などを配置する必要が無いので、クリーン室などの容
器などの内部に配置される部材を極めて小さなものとす
ることが出来、また、弁体と協同する弁座は、容器など
の隔壁自体に形成されるので、容器などの内部に特殊な
加工を施す必要が無く、これらのことから、容器などの
内部における被処理部品の搬送距離を著しく短縮するこ
とが可能となる。また、この場合に、ゲートバルブとし
て、先に本出願人により提案されている「無しゅう動真
空ゲートバルブ」を基本構成とする時は、弁体の開閉動
作には、何らの異材質の微粒子の発生も伴うことが無い
ので、例えば、半導体製造装置に使用した場合に、要求
される清浄な環境及び身直な搬送距離という要望に、容
易に応答することが出来るものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の１実施例を弁体の開放状態において示
す略縦断面図である。

【図２】同じく、弁体の閉塞状態において示す略縦断面
図である。

【図３】先に本出願人により提案されている「無しゅう
動真空ゲートバルブ」の１実施例を、左半分には正面図
で、右半分には縦断面図で示す図である。

【図４】その１部分を、同図のＩＩＩ−ＩＩＩ線により
切断して示した一部縦断面図である。

【図５】半導体製造装置のマルチチャンバーの配列の１
例を示す平面図である。

【図６】従来公知のダイレクトマウント型ゲートバルブ
の１例を示す略断面図である。

【符号の説明】

５０　　ゲートバルブ ５１　　弁体駆動機構部 ５２　　弁体 ５３　　弁体操作棒 ６０　　容器など ６１　　頂壁 ６２　　開口 ６３　　隔壁 ６４　　開口部 ６５　　弁座

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　容器などの隔壁に空けられた開口部を
   開閉するためのゲートバルブにおいて、開口部の開閉を
   行う弁体と、弁体に１端部において取り付けられている
   弁体操作棒と、容器などに取り付けられるようにされる
   と共に弁体操作棒の他端部に連結されている弁体駆動機
   構部とから成り立っており、弁体は弁体駆動機構部から
   容器などの内部に突出していると共に弁体駆動機構部の
   作動により、弁体操作棒を介して、隔壁に空けられた開
   口部に対する開閉運動を行うようになっていることを特
   徴とするダイレクトマウント型ゲートバルブ。
2. 【請求項２】　　弁体駆動機構部が、弁体に、弁体操作
   棒を介して、弁体操作棒の方向とほぼ平行な方向の運動
   と、この方向に対してほぼ垂直な方向の運動との２種類
   の運動を逐次与えることが可能となっている請求項１の
   ダイレクトマウント型ゲートバルブ。
3. 【請求項３】　　弁体が容器などの隔壁に空けられた開
   口部の開閉運動を行う際に、容器などの隔壁に空けられ
   た開口部それ自体の周辺部を弁座として、これと協同作
   用をするようになっている請求項１又は２のゲートバル
   ブ。
4. 【請求項４】　　弁体駆動機構が、容器などに固着され
   るようにされたほぼ長方形状の平面輪郭を有している板
   部材から成り立っている基台と、基台の中心部を板面に
   対して垂直に緩く貫通している弁体操作棒と、基台の上
   方において弁体操作棒に中央部を固着された水平な腕部
   材及びその各端部からそれと一体に垂直に垂下された１
   対の脚部材から成る旋回枠と、旋回枠の水平な腕部材の
   上に、弁体操作棒と同軸受心に取り付けられ且つピスト
   ン棒を弁体操作棒に連結された液圧シリンダと、基台に
   固着され且つ弁体操作棒の延長方向に対して平行に延長
   されている１対の支持架台と、各支持架台に取り付けら
   れると共に旋回枠の各脚部材の下方部分を支持架台の下
   方部分に旋回自在に連結しているピン部材とから成り立
   っている請求項１，２又は３のゲートバルブ。