JPH07208620A - ゲートバルブ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】構造が簡単で小型のゲートバルブを提供すると
共にパーティクルの発生を抑制し、高清浄度雰囲気での
使用を可能とする。 【構成】気密室に軸支持ブロック２１を設け、該軸支持
ブロックにスライド軸受２３を揺動自在に枢支し、該ス
ライド軸受に段差を有する段付きロッド２５を摺動自在
に嵌合し、該ロッドの先端に弁体１１を固着すると共に
前記ロッドの気密室１貫通部をベローズ２６により気密
封止し、前記軸支持ブロック２１に開閉シリンダ２７を
設け、該シリンダをスライドブロック２８に連結し、該
スライドブロックと前記ロッドの基端とをリンク３２に
より連結し、前記ロッドと前記スライドブロックとの近
接離反で前記リンクを介して前記ロッドが揺動可能と
し、前記シリンダの作動で、開口部の閉塞、開放位置に
弁体が移動し、弁体が閉塞位置にある場合に更に作動す
ると、前記ロッドと前記スライドブロックとが近接離反
し、この動作はリンクを介して前記ロッドの揺動に変換
され、弁体が開口部に密着、離反する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は気密室の開口部を開閉す
るゲートバルブに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】図５、図６に於いて従来のゲートバルブ
について説明する。

【０００３】図中１は気密室であり、該気密室１の側壁
には処理対象物の搬入搬出の為の開口部２が設けられ、
前記気密室１の下面にはバルブ固定フランジ３が気密に
固定されている。前記バルブ固定フランジ３にブラケッ
ト４が左右一対設けられ、該ブラケット４には前記気密
室１の下面と前記開口部２とに平行な揺動軸５，５（一
方は図示せず）がそれぞれ同一軸心上に回転自在に設け
られている。前記揺動軸５，５の中心側端部は突出して
おり、該揺動軸５，５の突出端に掛渡って揺動フランジ
６が固着されている。

【０００４】前記揺動軸５，５には揺動リンク７，７
（一方は図示せず）の上端がそれぞれ固着され、該揺動
リンク７，７の下端には揺動基板８が掛渡され設けられ
ている。該揺動基板８に開閉シリンダ９が設けられ、該
開閉シリンダ９のロッド１０は前記揺動フランジ６、バ
ルブ固定フランジ３、気密室１の下面を遊貫し、その先
端が前記気密室１内部に突出している。前記ロッド１０
の突出端に前記開口部２を気密に閉塞可能な弁体１１が
固着されている。前記ロッド１０の所要位置にフランジ
１２が気密に固着され、該フランジ１２と前記揺動フラ
ンジ６間にベローズ１３が気密に設けられ、又前記揺動
フランジ６と前記バルブ固定フランジ３間にベローズ１
４が気密に設けられ、ロッド１０の気密室１貫通箇所が
気密にシールされている。

【０００５】前記ブラケット４の下部には揺動シリンダ
１５が設けられ、該揺動シリンダ１５のロッド１６は前
記揺動基板８に当接している。

【０００６】而して、前記開閉シリンダ９で弁体１１を
上昇させ、該弁体１１を開口部２に対峙させた状態で、
前記揺動シリンダ１５を作動させ、ロッド１６を突出さ
せれば前記揺動軸５を中心にロッド１０が揺動し、前記
弁体１１が開口部２を気密に閉塞する。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】上記した従来のゲート
バルブでは、開口部２を開閉する為の開閉シリンダ９と
開口部２を気密に閉塞する為の揺動シリンダ１５を個別
に必要とするので、非常に複雑な機構となっていると共
にシリンダを支持する部材が非常に大きくなる。更に、
前記揺動シリンダ１５は弁体１１が受ける外圧以上の推
力を必要とし、揺動シリンダ１５は容量の大きいものが
要求される等、複雑で大型、而も製作費が嵩む等の問題
があった。

【０００８】本発明は斯かる実情に鑑み、構造が簡単で
小型のゲートバルブを提供すると共にパーティクルの発
生を抑制し、高清浄度雰囲気での使用を可能とするもの
である。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明は、気密室に軸支
持ブロックを設け、該軸支持ブロックにスライド軸受を
揺動自在に枢支し、該スライド軸受に段差を有する段付
きロッドを摺動自在に嵌合し、該段付きロッドの先端に
弁体を固着すると共に前記段付きロッドの気密室貫通部
をベローズにより気密に封止し、前記軸支持ブロックに
開閉シリンダを設け、該開閉シリンダをスライドブロッ
クに連結し、該スライドブロックと前記段付きロッドの
基端とをリンクにより連結し、前記段付きロッドと前記
スライドブロックとの近接離反で前記リンクを介して前
記段付きロッドが揺動可能としたことを特徴とするもの
である。

【００１０】

【作用】開閉シリンダの作動で、開口部の閉塞位置、開
放位置に弁体が移動し、弁体が開口部閉塞位置にある場
合に更に作動すると、前記段付きロッドと前記スライド
ブロックとが近接離反し、この近接離反動作はリンクを
介して段付きロッドの揺動に変換され、弁体が開口部に
密着する。

【００１１】

【実施例】以下、図面を参照しつつ本発明の一実施例を
説明する。

【００１２】尚、図１〜図４中、図５、図６中で示した
ものと同等のものには同符号を付してある。

【００１３】気密室１の側壁に処理対象物の搬入搬出の
為の開口部２を設け、前記気密室１の下面に孔２０を穿
設し、該孔２０を閉塞する様にバルブ固定フランジ３を
気密に固定し、該バルブ固定フランジ３に軸支持ブロッ
ク２１を固着する。

【００１４】該軸支持ブロック２１は外形が凸字状をし
ており、内部に中空部２２を形成し、該中空部２２にス
ライド軸受２３を収納させ、該スライド軸受２３を揺動
軸２４により揺動可能に支持する。

【００１５】前記スライド軸受２３に段付きロッド２５
を摺動自在に嵌合させ、該段付きロッド２５の先端には
弁体１１を固着する。前記バルブ固定フランジ３と前記
弁体１１に掛渡ってベローズ２６を気密に設け、該ベロ
ーズ２６は、前記段付きロッド２５の気密室１の貫通箇
所を前記段付きロッド２５の出入りに追従して気密に保
持する。前記軸支持ブロック２１の下面に前記段付きロ
ッド２５を挾み対称に開閉シリンダ２７を１対設け、該
開閉シリンダ２７のロッド先端にスライドブロック２８
を固着する。

【００１６】前記軸支持ブロック２１に前記開閉シリン
ダ２７を収納するケース２９を設け、該収納するケース
２９の下部両側に昇降ガイド３０を前記開閉シリンダ２
７と平行に設け、該昇降ガイド３０に前記スライドブロ
ック２８を摺動自在に設ける。

【００１７】前記スライドブロック２８に凹部３１を形
成し、該凹部３１に凹字形状のリンク３２を設け、該リ
ンク３２を支点軸３３により前記スライドブロック２８
に枢着する。前記支点軸３３は前記昇降ガイド３０と直
角方向の軸心を有し、該昇降ガイド３０、前記開閉シリ
ンダ２７のロッドと干渉しない様にしてある。

【００１８】前記リンク３２の凹部に前記段付きロッド
２５の基端を嵌合させ、遊動軸３４により前記段付きロ
ッド２５の基端と前記リンク３２の遊動端とを回転自在
に連結する。前記遊動軸３４の両端は前記リンク３２よ
り突出しており、後述するスプリング３５が前記遊動軸
３４の端部に掛止される様になっている。

【００１９】前記スライドブロック２８の上面に前記凹
部３１を挾みＬ字状のスプリングフック３６を１対固着
し、該１対のスプリングフック３６と前記遊動軸３４の
両端部間に前記スプリング３５を設け、前記弁体１１が
前記開口部２弁座面より離反する方向、即ち図２〜図４
中前記段付きロッド２５が時計方向に、又前記リンク３
２が反時計方向に付勢される様にする。

【００２０】尚、前記収納するケース２９はスライドブ
ロック２８等の可動部を収納すると共に密閉構造とし、
可動部からの発塵が周囲に飛散しない様にする。又、図
中３７は弁体１１と開口部２弁座面とを気密にシールす
るＯリング等のシール材であり、３８は摺動軸受である
ブッシュである。

【００２１】以下、作動を説明する。

【００２２】図１、図２は前記弁体１１により開口部２
を閉塞した状態を示し、図３は開口部２を開放した状態
を示している。

【００２３】図３の開口部２が開放された状態から前記
弁体１１により開口部２を閉塞するには先ず前記開閉シ
リンダ２７を短縮する。該開閉シリンダ２７の短縮でス
ライドブロック２８が上昇し、前記リンク３２、遊動軸
３４を介して前記段付きロッド２５が上昇する。

【００２４】該段付きロッド２５の下降位置、上昇状態
には前記スプリング３５の力により前記遊動軸３４が前
記スプリングフック３６側に引寄せられているので、前
記段付きロッド２５は前記揺動軸２４を中心に時計方向
に回転し傾いており、前記弁体１１は前記開口部２の弁
座面より離反した状態にある。

【００２５】前記段付きロッド２５が上昇し、段付きロ
ッド２５の段差部が前記スライド軸受２３に当接すると
前記段付きロッド２５の上昇動作が拘束される（図４参
照）。更に前記開閉シリンダ２７が短縮し、前記スライ
ドブロック２８を引上げると、前記リンク３２が前記遊
動軸３４を図２で示す様に右方に変位させ、前記段付き
ロッド２５を前記揺動軸２４を中心に反時計方向に回転
させる。而して、前記弁体１１は開口部２の弁座面に摺
動することなく密着する。又、前記スプリング３５の倍
力作用により、前記開閉シリンダ２７の力が増大され、
前記弁体１１は大きな力で前記開口部２の弁座面に押圧
される。

【００２６】前記開口部２を開放する場合は、閉塞する
場合の逆作動となり、前記開閉シリンダ２７を伸長す
る。該開閉シリンダ２７の伸長により、前記スライドブ
ロック２８の下降動作が開始され、先ず前記スプリング
３５が短縮して前記リンク３２を反時計方向に回動さ
せ、前記弁体１１を前記開口部２の弁座面より離反させ
る。更に、前記開閉シリンダ２７の伸長により、前記弁
体１１が降下し、前記開口部２を解放する。この開口部
２開放作動に於いても、前記弁体１１と前記開口部２の
弁座面との摺動はなくパーティクル発生を誘起しない。

【００２７】尚、上記実施例に於いて、開閉シリンダ２
７、スライドブロック２８等の可動部を収納するケース
２９を密閉したが、気密室１外部を高清浄度雰囲気に保
持する必要のない場合は、前記収納するケース２９は密
閉構造とする必要はない。更に、上記実施例ではスプリ
ング３５として引張りスプリングを使用したが、同様な
作用を奏するものとして捩じりコイルスプリング、板バ
ネ、圧縮スプリングを用い、前記リンク３２を同様な方
向に付勢してもよい。又、開閉シリンダ２７の作動流体
としては空気等の気体、油等の液体が使用されることは
言う迄もない。

【００２８】

【発明の効果】以上述べた如く本発明によれば、弁体の
開閉動作と弁体の弁座面への密着動作とを同一のシリン
ダにより行う様にしたので、構造が簡潔となり小型化が
可能となり、又リンク機構によりシリンダの力を増大さ
せたので、小容量のシリンダでも弁体の密着が可能であ
り、又弁体の弁座面への密着動作で摺動を伴わないので
パーティクルの発生がなく、更に可動部をケースに収納
した構造であり、可動部から発生したパーティクルの飛
散、拡散が防止でき、高清浄度雰囲気での使用を可能に
する等、種々の優れた効果を発揮する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を示す正断面図である。

【図２】同前実施例の側断面図である。

【図３】同前実施例で開口部開放状態を示す側断面図で
ある。

【図４】同前実施例で開口部閉塞途中を示す側断面図で
ある。

【図５】従来例を示す正断面図である。

【図６】従来例を示す側断面図である。

【符号の説明】

２ 開口部 １１ 弁体 ２１ 軸支持ブロック ２３ スライド軸受 ２５ 段付きロッド ２６ ベローズ ２７ 開閉シリンダ ２８ スライドブロック ３２ リンク ３５ スプリング

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 気密室に軸支持ブロックを設け、該軸支
   持ブロックにスライド軸受を揺動自在に枢支し、該スラ
   イド軸受に段差を有する段付きロッドを摺動自在に嵌合
   し、該段付きロッドの先端に弁体を固着すると共に前記
   段付きロッドの気密室貫通部をベローズにより気密に封
   止し、前記軸支持ブロックに開閉シリンダを設け、該開
   閉シリンダをスライドブロックに連結し、該スライドブ
   ロックと前記段付きロッドの基端とをリンクにより連結
   し、前記段付きロッドと前記スライドブロックとの近接
   離反で前記リンクを介して前記段付きロッドが揺動可能
   としたことを特徴とするゲートバルブ。