JP2864234B2 - 摩擦の無い動力伝達装置 - Google Patents
摩擦の無い動力伝達装置Info
- Publication number
- JP2864234B2 JP2864234B2 JP32593596A JP32593596A JP2864234B2 JP 2864234 B2 JP2864234 B2 JP 2864234B2 JP 32593596 A JP32593596 A JP 32593596A JP 32593596 A JP32593596 A JP 32593596A JP 2864234 B2 JP2864234 B2 JP 2864234B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- valve
- roller
- drive rod
- desk
- valve seat
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Sliding Valves (AREA)
- Details Of Valves (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は摩擦の無い動力伝達
装置、特に、半導体ウエハー等の処理装置に用いるゲー
トバルブの弁デスク駆動装置に用いた摩擦の無い動力伝
達装置に関するものである。
装置、特に、半導体ウエハー等の処理装置に用いるゲー
トバルブの弁デスク駆動装置に用いた摩擦の無い動力伝
達装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体ウエハーや液晶基板等の処理装置
においては、ウエハーや基板を種々の処理室に通路を介
して出し入れすることが行なわれており、上記通路には
夫々ゲートバルブが設けられている。上記の処理室には
できるだけ不純物が混入しないようにする必要がある。
においては、ウエハーや基板を種々の処理室に通路を介
して出し入れすることが行なわれており、上記通路には
夫々ゲートバルブが設けられている。上記の処理室には
できるだけ不純物が混入しないようにする必要がある。
【０００３】また、上記ゲートバルブとしては例えば特
開昭５８−１５６７８１号公報に示すものがある。この
ような例においては、弁デスクを弁座に対して離間した
状態で上下動し、弁座に対向した位置で弁デスクをその
側方から押圧することによって弁座に対接せしめてい
る。
開昭５８−１５６７８１号公報に示すものがある。この
ような例においては、弁デスクを弁座に対して離間した
状態で上下動し、弁座に対向した位置で弁デスクをその
側方から押圧することによって弁座に対接せしめてい
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】然しながら、上記従来
のゲートバルブでは弁デスクを弁座に押圧するため、リ
ンクやローラ等を用いているが、何れも押圧時の高負荷
印加時滑る部分があり、ロスを生ずると共に、これらか
ら機械的摩耗等により発生する不純物が上記処理室内に
混入するおそれが多い欠点があった。また、上記滑る部
分は高真空中では摩耗抵抗が大きくなるためこの部分に
潤滑剤を使用する必要があった。
のゲートバルブでは弁デスクを弁座に押圧するため、リ
ンクやローラ等を用いているが、何れも押圧時の高負荷
印加時滑る部分があり、ロスを生ずると共に、これらか
ら機械的摩耗等により発生する不純物が上記処理室内に
混入するおそれが多い欠点があった。また、上記滑る部
分は高真空中では摩耗抵抗が大きくなるためこの部分に
潤滑剤を使用する必要があった。
【０００５】本発明は上記の欠点を除くようにしたもの
である。
である。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の摩擦の無い動力
伝達装置は、一方向に斜め下方に延び、次いで略垂直と
なるコロの直径に等しい長孔より成る第１のコロガイド
溝と、上記一方向と反対方向に斜め上方に延びる、コロ
の直径に等しい長孔より成る第２のコロガイド溝とを被
駆動体と駆動体の夫々に設け、上記両溝に共通のコロを
係合せしめた。
伝達装置は、一方向に斜め下方に延び、次いで略垂直と
なるコロの直径に等しい長孔より成る第１のコロガイド
溝と、上記一方向と反対方向に斜め上方に延びる、コロ
の直径に等しい長孔より成る第２のコロガイド溝とを被
駆動体と駆動体の夫々に設け、上記両溝に共通のコロを
係合せしめた。
【０００７】また、本発明の摩擦の無い動力伝達装置
は、弁座に離接される弁デスクに形成された第１のコロ
ガイド溝と、このコロガイド溝に対向する第２のコロガ
イド溝を形成した、上記弁デスクに相対的に上下動され
る弁デスク駆動ロッドと、上記第１，第２のコロガイド
溝に夫々係合せしめた共通のコロとより成り、上記第１
のコロガイド溝が、上記弁座から離れる方向に斜め下方
に延び、次いで略垂直となる上記コロの直径と等しい幅
の長孔であり、上記第２のコロガイド溝が、上記弁座に
近づく方向に斜め上方に延びる上記コロの直径と等しい
幅の長孔である。
は、弁座に離接される弁デスクに形成された第１のコロ
ガイド溝と、このコロガイド溝に対向する第２のコロガ
イド溝を形成した、上記弁デスクに相対的に上下動され
る弁デスク駆動ロッドと、上記第１，第２のコロガイド
溝に夫々係合せしめた共通のコロとより成り、上記第１
のコロガイド溝が、上記弁座から離れる方向に斜め下方
に延び、次いで略垂直となる上記コロの直径と等しい幅
の長孔であり、上記第２のコロガイド溝が、上記弁座に
近づく方向に斜め上方に延びる上記コロの直径と等しい
幅の長孔である。
【０００８】また、本発明の摩擦の無い動力伝達装置
は、弁座に離接される弁デスクに垂直に形成した側板
と、上記弁デスクに並設した、上記弁デスクと相対的に
上下動される弁デスク駆動ロッドと、上記側板と弁デス
ク駆動ロッドの何れか一方に設けたコロガイド溝と、何
れか他方に設けたコロ貫通溝と、このコロ貫通溝に貫通
しその端部を上記コロガイド溝に係合したコロとより成
り、上記側板に設けた上記溝が、上記弁座から離れる方
向に斜め下方に延び、次いで略垂直となる上記コロの直
径と等しい幅の長孔であり、上記弁デスク駆動ロッドに
設けた上記溝が、上記弁座に近づく方向に斜め上方に延
びる上記コロの直径と等しい幅の長孔である。
は、弁座に離接される弁デスクに垂直に形成した側板
と、上記弁デスクに並設した、上記弁デスクと相対的に
上下動される弁デスク駆動ロッドと、上記側板と弁デス
ク駆動ロッドの何れか一方に設けたコロガイド溝と、何
れか他方に設けたコロ貫通溝と、このコロ貫通溝に貫通
しその端部を上記コロガイド溝に係合したコロとより成
り、上記側板に設けた上記溝が、上記弁座から離れる方
向に斜め下方に延び、次いで略垂直となる上記コロの直
径と等しい幅の長孔であり、上記弁デスク駆動ロッドに
設けた上記溝が、上記弁座に近づく方向に斜め上方に延
びる上記コロの直径と等しい幅の長孔である。
【０００９】また、本発明の摩擦の無い動力伝達装置
は、上記弁デスク駆動ロッドを上記弁デスクと相対的に
常時上方に抑制する弾発手段を更に有する。
は、上記弁デスク駆動ロッドを上記弁デスクと相対的に
常時上方に抑制する弾発手段を更に有する。
【００１０】また、本発明の摩擦の無い動力伝達装置
は、弁箱内に設けた弁座に離接される弁デスクに連結し
た、上記弁箱内から弁箱外に上下動及び傾動自在に気密
に突出する弁デスク駆動ロッドと、この弁デスク駆動ロ
ッドを介して上記弁デスクを上記弁座に対向する位置と
対向しない位置に移動自在ならしめ、上記弁デスクが上
記弁座にこれから離間して対向する位置となった後、上
記弁デスク駆動ロッドを傾動して上記弁デスクが上記弁
座に押圧されるようにする、弁箱外部に設けた移動手段
とより成り、上記移動手段が、ピストンシリンダと、こ
のピストンシリンダのピストンと、上記弁デスク駆動ロ
ッドに形成された第１のコロガイド溝と、このコロガイ
ド溝に対向するよう上記ピストンに形成した第２のコロ
ガイド溝と、上記第１，第２のコロガイド溝に夫々係合
せしめた共通のコロとより成り、上記第１のコロガイド
溝が、上記弁座に近付く方向に斜め下方に延び、次いで
略垂直となる上記コロの直径と等しい幅の長孔であり、
上記第２のコロガイド溝が、上記弁座から離れる方向に
斜め上方に延びる上記コロの直径と等しい幅の長孔であ
り、上記ピストンを上記弁デスク駆動ロッドに対して接
近するよう押圧した際、上記コロ及び傾斜長孔を介して
上記弁デスク駆動ロッドが傾斜し、上記弁デスクが上記
弁座に押圧されるようになる。
は、弁箱内に設けた弁座に離接される弁デスクに連結し
た、上記弁箱内から弁箱外に上下動及び傾動自在に気密
に突出する弁デスク駆動ロッドと、この弁デスク駆動ロ
ッドを介して上記弁デスクを上記弁座に対向する位置と
対向しない位置に移動自在ならしめ、上記弁デスクが上
記弁座にこれから離間して対向する位置となった後、上
記弁デスク駆動ロッドを傾動して上記弁デスクが上記弁
座に押圧されるようにする、弁箱外部に設けた移動手段
とより成り、上記移動手段が、ピストンシリンダと、こ
のピストンシリンダのピストンと、上記弁デスク駆動ロ
ッドに形成された第１のコロガイド溝と、このコロガイ
ド溝に対向するよう上記ピストンに形成した第２のコロ
ガイド溝と、上記第１，第２のコロガイド溝に夫々係合
せしめた共通のコロとより成り、上記第１のコロガイド
溝が、上記弁座に近付く方向に斜め下方に延び、次いで
略垂直となる上記コロの直径と等しい幅の長孔であり、
上記第２のコロガイド溝が、上記弁座から離れる方向に
斜め上方に延びる上記コロの直径と等しい幅の長孔であ
り、上記ピストンを上記弁デスク駆動ロッドに対して接
近するよう押圧した際、上記コロ及び傾斜長孔を介して
上記弁デスク駆動ロッドが傾斜し、上記弁デスクが上記
弁座に押圧されるようになる。
【００１１】また、本発明の摩擦の無い動力伝達装置
は、弁箱内に設けた弁座に離接される弁デスクに連結し
た、上記弁箱内から弁箱外に上下動及び傾動自在に気密
に突出する弁デスク駆動ロッドと、この弁デスク駆動ロ
ッドを介して上記弁デスクを上記弁座に対向する位置と
対向しない位置に移動自在ならしめ、上記弁デスクが上
記弁座にこれから離間して対向する位置となった後、上
記弁デスク駆動ロッドを傾動して上記弁デスクが上記弁
座に押圧されるようにする、弁箱外部に設けた移動手段
とより成り、上記移動手段が、ピストンシリンダと、こ
のピストンシリンダのピストンと、このピストンに設け
た垂下板と、この垂下板と上記弁デスク駆動ロッドの何
れか一方に設けたコロガイド溝と、何れか他方に設けた
コロ貫通溝と、このコロ貫通溝に貫通しその端部を上記
コロガイド溝に係合したコロとより成り、上記弁デスク
駆動ロッドに設けた上記溝が、上記弁座に近付く方向に
斜め下方に延び、次いで略垂直となる上記コロの直径と
等しい幅の長孔であり、上記垂下板に設けた上記溝が、
上記弁座から離れる方向に斜め上方に延びる上記コロの
直径と等しい幅の長孔であり、上記ピストンを上記弁デ
スク駆動ロッドに対して接近するよう押圧した際、上記
コロ及び傾斜長孔を介して上記弁デスク駆動ロッドが傾
斜し、上記弁デスクが上記弁座に押圧されるようにな
る。
は、弁箱内に設けた弁座に離接される弁デスクに連結し
た、上記弁箱内から弁箱外に上下動及び傾動自在に気密
に突出する弁デスク駆動ロッドと、この弁デスク駆動ロ
ッドを介して上記弁デスクを上記弁座に対向する位置と
対向しない位置に移動自在ならしめ、上記弁デスクが上
記弁座にこれから離間して対向する位置となった後、上
記弁デスク駆動ロッドを傾動して上記弁デスクが上記弁
座に押圧されるようにする、弁箱外部に設けた移動手段
とより成り、上記移動手段が、ピストンシリンダと、こ
のピストンシリンダのピストンと、このピストンに設け
た垂下板と、この垂下板と上記弁デスク駆動ロッドの何
れか一方に設けたコロガイド溝と、何れか他方に設けた
コロ貫通溝と、このコロ貫通溝に貫通しその端部を上記
コロガイド溝に係合したコロとより成り、上記弁デスク
駆動ロッドに設けた上記溝が、上記弁座に近付く方向に
斜め下方に延び、次いで略垂直となる上記コロの直径と
等しい幅の長孔であり、上記垂下板に設けた上記溝が、
上記弁座から離れる方向に斜め上方に延びる上記コロの
直径と等しい幅の長孔であり、上記ピストンを上記弁デ
スク駆動ロッドに対して接近するよう押圧した際、上記
コロ及び傾斜長孔を介して上記弁デスク駆動ロッドが傾
斜し、上記弁デスクが上記弁座に押圧されるようにな
る。
【００１２】また、本発明の摩擦の無い動力伝達装置
は、上記ピストンを上記弁デスク駆動ロッドと相対的に
常時上方に抑制する弾発手段を更に有する。
は、上記ピストンを上記弁デスク駆動ロッドと相対的に
常時上方に抑制する弾発手段を更に有する。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下図面によって本発明の実施例
を説明する。
を説明する。
【００１４】図１〜図３は本発明の摩擦の無い動力伝達
装置を用いたゲートバルブの弁デスク駆動装置を示し、
１は弁箱、２はこの弁箱１内に設けた弁座、３はこの弁
座２に対接されるよう上記弁箱１内に配置した円板状の
弁デスク、４は上記弁箱１外に設けたピストンシリンダ
（図示せず）によって上下動される、上記弁デスク３に
並設された弁デスク駆動ロッドである。
装置を用いたゲートバルブの弁デスク駆動装置を示し、
１は弁箱、２はこの弁箱１内に設けた弁座、３はこの弁
座２に対接されるよう上記弁箱１内に配置した円板状の
弁デスク、４は上記弁箱１外に設けたピストンシリンダ
（図示せず）によって上下動される、上記弁デスク３に
並設された弁デスク駆動ロッドである。
【００１５】本発明においては、上記弁デスク３と上記
弁デスク駆動ロッド４間を動力伝達手段５を介して連結
する。
弁デスク駆動ロッド４間を動力伝達手段５を介して連結
する。
【００１６】上記動力伝達手段５は、上記弁デスク３の
背面上部及び下部から夫々水平方向に突出せしめた互い
に離間して対向する垂直の２枚の側板６と、この各側板
６の互いに対向する面に形成したコロガイド溝７と、こ
のコロガイド溝７にその両端部が挿入係合されるコロ８
と、このコロ８を受容するため上記弁デスク駆動ロッド
４に水平方向に貫通して設けたコロ貫通溝９と、上記弁
デスク駆動ロッド４を上記弁デスク３に相対的に常時上
昇せしめる方向に抑制するためその一端を上記側板６に
固定し、他端を上記弁デスク駆動ロッド４に固定した引
張ばね１０とにより構成する。
背面上部及び下部から夫々水平方向に突出せしめた互い
に離間して対向する垂直の２枚の側板６と、この各側板
６の互いに対向する面に形成したコロガイド溝７と、こ
のコロガイド溝７にその両端部が挿入係合されるコロ８
と、このコロ８を受容するため上記弁デスク駆動ロッド
４に水平方向に貫通して設けたコロ貫通溝９と、上記弁
デスク駆動ロッド４を上記弁デスク３に相対的に常時上
昇せしめる方向に抑制するためその一端を上記側板６に
固定し、他端を上記弁デスク駆動ロッド４に固定した引
張ばね１０とにより構成する。
【００１７】また、上記側板６に形成したコロガイド溝
７は、図４に示すように上記弁座２から離れる方向に斜
め下方に延び、次いで略垂直となる上記コロ８の直径と
等しい幅の長孔とし、上記弁デスク駆動ロッド４に形成
したコロ貫通溝９は図５に示すように上記コロガイド溝
７と対応する位置で上記弁座２に近づく方向に斜め上方
に延び、次いで略垂直となる、上記コロ８の直径と等し
い幅の長孔とする。
７は、図４に示すように上記弁座２から離れる方向に斜
め下方に延び、次いで略垂直となる上記コロ８の直径と
等しい幅の長孔とし、上記弁デスク駆動ロッド４に形成
したコロ貫通溝９は図５に示すように上記コロガイド溝
７と対応する位置で上記弁座２に近づく方向に斜め上方
に延び、次いで略垂直となる、上記コロ８の直径と等し
い幅の長孔とする。
【００１８】本発明の摩擦の無い動力伝達装置を用いた
ゲートバルブの弁デスク駆動装置は上記のような構成で
あるから、ゲートバルブを閉じるときは、ピストンシリ
ンダを操作して弁デスク駆動ロッド４を下降せしめれ
ば、図６及び図７に示すように引張ばね１０の作用によ
ってコロ８が側板６のコロガイド溝７の上端と弁デスク
駆動ロッド４のコロ貫通溝９の下端に接した状態で弁デ
スク駆動ロッド４と弁デスク３が互いに結合されたまま
一体に下降し、弁デスク３が弁座２に離れて対向する位
置となる。上記下降の間、コロ８は溝７，９に相対的に
移動したり、回転することはない。
ゲートバルブの弁デスク駆動装置は上記のような構成で
あるから、ゲートバルブを閉じるときは、ピストンシリ
ンダを操作して弁デスク駆動ロッド４を下降せしめれ
ば、図６及び図７に示すように引張ばね１０の作用によ
ってコロ８が側板６のコロガイド溝７の上端と弁デスク
駆動ロッド４のコロ貫通溝９の下端に接した状態で弁デ
スク駆動ロッド４と弁デスク３が互いに結合されたまま
一体に下降し、弁デスク３が弁座２に離れて対向する位
置となる。上記下降の間、コロ８は溝７，９に相対的に
移動したり、回転することはない。
【００１９】この状態では弁デスク３が下側のストッパ
ー１１に突き当たって停止するようになるが、弁デスク
駆動ロッド４を引張ばね１０に抗して更に押し下げれ
ば、図１，図２，図８及び図９に示すように弁が閉じる
直前の位置となる。この位置ではコロ８は上記コロガイ
ド溝７の中間とコロ貫通溝９の中間との間に挟まれた状
態となる。
ー１１に突き当たって停止するようになるが、弁デスク
駆動ロッド４を引張ばね１０に抗して更に押し下げれ
ば、図１，図２，図８及び図９に示すように弁が閉じる
直前の位置となる。この位置ではコロ８は上記コロガイ
ド溝７の中間とコロ貫通溝９の中間との間に挟まれた状
態となる。
【００２０】この下降の間、側板６に相対的に弁デスク
駆動ロッド４は移動するが両者は遊動状態であり、両者
間の摩擦は無視できる程度に小さい。また、コロ８は両
溝７，９によって挟まれた状態で転動し、移動する。
駆動ロッド４は移動するが両者は遊動状態であり、両者
間の摩擦は無視できる程度に小さい。また、コロ８は両
溝７，９によって挟まれた状態で転動し、移動する。
【００２１】この状態で上記弁デスク駆動ロッド４を引
張ばね１０のばね力に抗して更に下降せしめれば図３，
図１０及び図１１に示すようにコロ８が側板６のコロガ
イド溝７の下端迄溝７，９内を転動しながら移動し、弁
デスク３が更に弁座２に接近する方向に移動する。この
場合、コロ８は側板６のコロガイド溝７の下端の略垂直
な部分を移動することになり、弁デスク３には最大荷重
が加えられ、そのストロークは最小となり、弁デスク３
が弁座２に強く押圧されるようになる。
張ばね１０のばね力に抗して更に下降せしめれば図３，
図１０及び図１１に示すようにコロ８が側板６のコロガ
イド溝７の下端迄溝７，９内を転動しながら移動し、弁
デスク３が更に弁座２に接近する方向に移動する。この
場合、コロ８は側板６のコロガイド溝７の下端の略垂直
な部分を移動することになり、弁デスク３には最大荷重
が加えられ、そのストロークは最小となり、弁デスク３
が弁座２に強く押圧されるようになる。
【００２２】なお、この状態でピストンシリンダによる
弁デスク駆動ロッド４の下降を停止すれば、弁デスク３
は弁座２に押圧された状態に維持される。
弁デスク駆動ロッド４の下降を停止すれば、弁デスク３
は弁座２に押圧された状態に維持される。
【００２３】ゲートバルブを開く場合には、ピストンシ
リンダを操作して弁デスク駆動ロッド４を上昇せしめ
る。この場合、引張ばね１０のばね力によって側板６に
相対的に弁デスク駆動ロッド４が上昇し、コロ８は弁デ
スク駆動ロッド４と共に側板６のコロガイド溝７内を転
動しながら上昇し、図１，図２，図８及び図９に示す状
態となり、この結果、弁デスク３が弁座２から離れ、そ
の後、弁デスク３が上記弁デスク駆動ロッド４と共に上
昇し、弁が完全に開くようになる。
リンダを操作して弁デスク駆動ロッド４を上昇せしめ
る。この場合、引張ばね１０のばね力によって側板６に
相対的に弁デスク駆動ロッド４が上昇し、コロ８は弁デ
スク駆動ロッド４と共に側板６のコロガイド溝７内を転
動しながら上昇し、図１，図２，図８及び図９に示す状
態となり、この結果、弁デスク３が弁座２から離れ、そ
の後、弁デスク３が上記弁デスク駆動ロッド４と共に上
昇し、弁が完全に開くようになる。
【００２４】上記のように本発明においては、上記コロ
８はコロガイド溝７とコロ貫通溝９内を移動するとき何
れも転動するようになり、摩擦を生ずることはない。
８はコロガイド溝７とコロ貫通溝９内を移動するとき何
れも転動するようになり、摩擦を生ずることはない。
【００２５】なお、本発明の他の実施例においては、側
板６を１枚としても良く、この場合には更に、弁デスク
駆動ロッド４の先端部をこの側板６を挾持する二叉状と
し、上記コロガイド溝７をこの二叉状部分に設け、上記
コロ貫通溝９を上記側板６に形成しても良い。
板６を１枚としても良く、この場合には更に、弁デスク
駆動ロッド４の先端部をこの側板６を挾持する二叉状と
し、上記コロガイド溝７をこの二叉状部分に設け、上記
コロ貫通溝９を上記側板６に形成しても良い。
【００２６】図１２〜図１５は本発明の更に他の実施例
を示し、１２は上記弁箱１の上部に設けたピストンシリ
ンダである。
を示し、１２は上記弁箱１の上部に設けたピストンシリ
ンダである。
【００２７】本発明のこの実施例においては弁デスク駆
動ロッド４の上記弁箱１外に突出した部分に、ブロック
１３を固定し、このブロック１３に軸方向に伸縮自在な
筒状ベローズ１４の一端を気密に接続し、他端を上記弁
箱１の上面に気密に固定し、上記弁デスク駆動ロッド４
が上記弁箱１内から弁箱１外に上下動及び傾動自在に気
密に突出されるようにする。
動ロッド４の上記弁箱１外に突出した部分に、ブロック
１３を固定し、このブロック１３に軸方向に伸縮自在な
筒状ベローズ１４の一端を気密に接続し、他端を上記弁
箱１の上面に気密に固定し、上記弁デスク駆動ロッド４
が上記弁箱１内から弁箱１外に上下動及び傾動自在に気
密に突出されるようにする。
【００２８】また、上記ブロック１３の両側に枢軸１５
を、上記弁座２に対する上記弁デスク３の押圧方向と直
角の方向に延びるよう突設し、この枢軸１５にローラ１
６を回転自在に枢支し、このローラ１６をガイドする所
定長さのガイド溝１７を上記ピストンシリンダ１２の下
部内側面に夫々設け、このガイド溝１７の下端によって
上記ローラ１６が支持されている状態で動力伝達手段１
８を介して上記ピストンシリンダ１２のピストン１９を
下方に押せば上記枢軸１５を中心として上記弁デスク駆
動ロッド４が傾動し、この弁デスク駆動ロッド４の下端
に連結された上記弁デスク３が移動し、図１４に示すよ
うに上記弁座２に押圧されるようにする。
を、上記弁座２に対する上記弁デスク３の押圧方向と直
角の方向に延びるよう突設し、この枢軸１５にローラ１
６を回転自在に枢支し、このローラ１６をガイドする所
定長さのガイド溝１７を上記ピストンシリンダ１２の下
部内側面に夫々設け、このガイド溝１７の下端によって
上記ローラ１６が支持されている状態で動力伝達手段１
８を介して上記ピストンシリンダ１２のピストン１９を
下方に押せば上記枢軸１５を中心として上記弁デスク駆
動ロッド４が傾動し、この弁デスク駆動ロッド４の下端
に連結された上記弁デスク３が移動し、図１４に示すよ
うに上記弁座２に押圧されるようにする。
【００２９】なお、上記ガイド溝１７及びローラ１６は
上記弁デスク３に対向する上記弁座２の面に対応する線
上またはその近傍に位置せしめるようにする。
上記弁デスク３に対向する上記弁座２の面に対応する線
上またはその近傍に位置せしめるようにする。
【００３０】更に、ピストンシリンダ１２のピストン１
９には上記弁デスク駆動ロッド４を取り巻く垂下部分２
０を設け、上記ピストン１９を上記弁デスク駆動ロッド
４に相対的に常時上昇せしめる方向に抑制するため、上
記垂下部分２０に引張ばね２１の一端を取り付け、他端
を上記ブロック１３に固定する。
９には上記弁デスク駆動ロッド４を取り巻く垂下部分２
０を設け、上記ピストン１９を上記弁デスク駆動ロッド
４に相対的に常時上昇せしめる方向に抑制するため、上
記垂下部分２０に引張ばね２１の一端を取り付け、他端
を上記ブロック１３に固定する。
【００３１】上記動力伝達手段１８は、上記弁デスク駆
動ロッド４の上端部に形成した二叉部と、この二叉部の
互いに離間して対向する垂直の面に形成したコロガイド
溝７と、このコロガイド溝７にその両端部が挿入係合さ
れるコロ８と、上記ピストン１９の中央部下面から上記
弁デスク駆動ロッド４の二叉部間に挿入される垂下板２
２と、上記コロ８を受容するため上記垂下板２２に水平
方向に貫通して設けたコロ貫通溝９とにより構成する。
動ロッド４の上端部に形成した二叉部と、この二叉部の
互いに離間して対向する垂直の面に形成したコロガイド
溝７と、このコロガイド溝７にその両端部が挿入係合さ
れるコロ８と、上記ピストン１９の中央部下面から上記
弁デスク駆動ロッド４の二叉部間に挿入される垂下板２
２と、上記コロ８を受容するため上記垂下板２２に水平
方向に貫通して設けたコロ貫通溝９とにより構成する。
【００３２】また、上記弁デスク駆動ロッド４に形成し
たコロガイド溝７は、図１６に示すように上記弁座２に
接近する方向に斜め下方に延び、次いで略垂直となる上
記コロ８の直径と等しい幅の長孔とし、上記ピストン１
９の垂下板２２に形成したコロ貫通溝９は図１７に示す
ように上記コロガイド溝７と対応する位置で上記弁座２
から離れる方向に斜め上方に延び、次いで略垂直とな
る、上記コロ８の直径と等しい幅の長孔とする。
たコロガイド溝７は、図１６に示すように上記弁座２に
接近する方向に斜め下方に延び、次いで略垂直となる上
記コロ８の直径と等しい幅の長孔とし、上記ピストン１
９の垂下板２２に形成したコロ貫通溝９は図１７に示す
ように上記コロガイド溝７と対応する位置で上記弁座２
から離れる方向に斜め上方に延び、次いで略垂直とな
る、上記コロ８の直径と等しい幅の長孔とする。
【００３３】図１２〜図１７に示す本発明の摩擦の無い
動力伝達装置を用いたゲートバルブの弁デスク駆動装置
は上記のような構成であるから、常時は図１５に示すよ
うに引張ばね２１の作用によってコロ８がコロガイド溝
７の上端とコロ貫通溝９の下端に接した状態であるが、
ゲートバルブを閉じるときは、ピストンシリンダ１２を
操作して弁デスク駆動ロッド４を下降せしめれば、常時
は図１５に示すように引張ばね２１の作用によってコロ
８がコロガイド溝７の上端とコロ貫通溝９の下端に接し
た状態で弁デスク駆動ロッド４とピストン１９が互いに
結合されたまま一体に下降し、弁デスク３が弁座２に離
れて対向する位置となる。この下降の間、コロ８は溝
７，９に相対的に移動したり、回転することはない。
動力伝達装置を用いたゲートバルブの弁デスク駆動装置
は上記のような構成であるから、常時は図１５に示すよ
うに引張ばね２１の作用によってコロ８がコロガイド溝
７の上端とコロ貫通溝９の下端に接した状態であるが、
ゲートバルブを閉じるときは、ピストンシリンダ１２を
操作して弁デスク駆動ロッド４を下降せしめれば、常時
は図１５に示すように引張ばね２１の作用によってコロ
８がコロガイド溝７の上端とコロ貫通溝９の下端に接し
た状態で弁デスク駆動ロッド４とピストン１９が互いに
結合されたまま一体に下降し、弁デスク３が弁座２に離
れて対向する位置となる。この下降の間、コロ８は溝
７，９に相対的に移動したり、回転することはない。
【００３４】この状態で更に上記ピストン１９を引張ば
ね２１に抗して押し下げれば、図１２及び図１３に示す
ように弁が閉じる直前の位置となる。
ね２１に抗して押し下げれば、図１２及び図１３に示す
ように弁が閉じる直前の位置となる。
【００３５】この下降の間、弁デスク駆動ロッド４に相
対的に垂下板２２は移動するが、両者は遊動状態であ
り、両者間の摩擦は無視できる程度に小さい。また、コ
ロ８は両溝７，９によって挟まれた状態で転動しながら
移動し、上記コロガイド溝７の中間とコロ貫通溝９の中
間との間に挟まれた状態となる。この位置ではブロック
１３のローラ１６がガイド溝１７の下端に突き当たって
弁デスク駆動ロッド４の下降が停止される。
対的に垂下板２２は移動するが、両者は遊動状態であ
り、両者間の摩擦は無視できる程度に小さい。また、コ
ロ８は両溝７，９によって挟まれた状態で転動しながら
移動し、上記コロガイド溝７の中間とコロ貫通溝９の中
間との間に挟まれた状態となる。この位置ではブロック
１３のローラ１６がガイド溝１７の下端に突き当たって
弁デスク駆動ロッド４の下降が停止される。
【００３６】この状態で上記ピストン１９を引張ばね２
１のばね力に抗して更に下降せしめれば図１４に示すよ
うに、コロ８が弁デスク駆動ロッド４のコロガイド溝７
の下端迄溝７，９内を転動しながら移動し、コロガイド
溝７が傾斜しているため、弁デスク３が更に弁座２に接
近する方向に移動し接合する。この場合、コロ８はコロ
ガイド溝７の下端の略垂直な部分を移動することにな
り、弁デスク３には最大荷重が加えられ、そのストロー
クは最小となり、弁デスク３が弁座２に強く押圧される
ようになる。
１のばね力に抗して更に下降せしめれば図１４に示すよ
うに、コロ８が弁デスク駆動ロッド４のコロガイド溝７
の下端迄溝７，９内を転動しながら移動し、コロガイド
溝７が傾斜しているため、弁デスク３が更に弁座２に接
近する方向に移動し接合する。この場合、コロ８はコロ
ガイド溝７の下端の略垂直な部分を移動することにな
り、弁デスク３には最大荷重が加えられ、そのストロー
クは最小となり、弁デスク３が弁座２に強く押圧される
ようになる。
【００３６】なお、この状態でピストン１９の下降を停
止すれば、弁デスク３は弁座２に押圧された状態に維持
される。
止すれば、弁デスク３は弁座２に押圧された状態に維持
される。
【００３７】
【発明の効果】上記のように本発明の摩擦の無い動力伝
達装置においては、コロ８が溝７と溝９内を移動すると
き何れも転動するようになるためコロと溝との間に摩擦
を生ずることなく、従って潤滑剤を必要としないばかり
でなく、ロスも少なく、更に摩耗その他による不純物を
発生するおそれが無い等大きな利益がある。
達装置においては、コロ８が溝７と溝９内を移動すると
き何れも転動するようになるためコロと溝との間に摩擦
を生ずることなく、従って潤滑剤を必要としないばかり
でなく、ロスも少なく、更に摩耗その他による不純物を
発生するおそれが無い等大きな利益がある。
【図１】本発明の摩擦の無い動力伝達装置を用いたゲー
トバルブの弁デスク駆動装置の弁が閉じる直前の状態に
おける縦断側面図である。
トバルブの弁デスク駆動装置の弁が閉じる直前の状態に
おける縦断側面図である。
【図２】本発明の摩擦の無い動力伝達装置を用いたゲー
トバルブの弁デスク駆動装置の弁が閉じる直前の状態に
おける縦断正面図である。
トバルブの弁デスク駆動装置の弁が閉じる直前の状態に
おける縦断正面図である。
【図３】本発明の摩擦の無い動力伝達装置を用いたゲー
トバルブの弁デスク駆動装置の弁を閉じた状態における
縦断側面図である。
トバルブの弁デスク駆動装置の弁を閉じた状態における
縦断側面図である。
【図４】本発明の摩擦の無い動力伝達装置を用いたゲー
トバルブの弁デスク駆動装置における側板のコロガイド
溝の正面図である。
トバルブの弁デスク駆動装置における側板のコロガイド
溝の正面図である。
【図５】本発明の摩擦の無い動力伝達装置を用いたゲー
トバルブの弁デスク駆動装置における弁デスク駆動ロッ
ドのコロ貫通溝の正面図である。
トバルブの弁デスク駆動装置における弁デスク駆動ロッ
ドのコロ貫通溝の正面図である。
【図６】本発明の摩擦の無い動力伝達装置を用いたゲー
トバルブの弁デスク駆動装置の弁が完全に開いている状
態におけるコロ部分の縦断正面図である。
トバルブの弁デスク駆動装置の弁が完全に開いている状
態におけるコロ部分の縦断正面図である。
【図７】本発明の摩擦の無い動力伝達装置を用いたゲー
トバルブの弁デスク駆動装置の弁が完全に開いている状
態におけるコロ部分の縦断側面図である。
トバルブの弁デスク駆動装置の弁が完全に開いている状
態におけるコロ部分の縦断側面図である。
【図８】本発明の摩擦の無い動力伝達装置を用いたゲー
トバルブの弁デスク駆動装置の弁が閉じる直前の状態に
おけるコロ部分の縦断正面図である。
トバルブの弁デスク駆動装置の弁が閉じる直前の状態に
おけるコロ部分の縦断正面図である。
【図９】本発明の摩擦の無い動力伝達装置を用いたゲー
トバルブの弁デスク駆動装置の弁が閉じる直前の状態に
おけるコロ部分の縦断側面図である。
トバルブの弁デスク駆動装置の弁が閉じる直前の状態に
おけるコロ部分の縦断側面図である。
【図１０】本発明の摩擦の無い動力伝達装置を用いたゲ
ートバルブの弁デスク駆動装置の弁を閉じた状態におけ
るコロ部分の縦断正面図である。
ートバルブの弁デスク駆動装置の弁を閉じた状態におけ
るコロ部分の縦断正面図である。
【図１１】本発明の摩擦の無い動力伝達装置を用いたゲ
ートバルブの弁デスク駆動装置の弁を閉じた状態におけ
るコロ部分の縦断側面図である。
ートバルブの弁デスク駆動装置の弁を閉じた状態におけ
るコロ部分の縦断側面図である。
【図１２】本発明の摩擦の無い動力伝達装置を用いたゲ
ートバルブの弁デスク駆動装置の弁が閉じる直前の状態
における他の実施例の縦断正面図である。
ートバルブの弁デスク駆動装置の弁が閉じる直前の状態
における他の実施例の縦断正面図である。
【図１３】本発明の摩擦の無い動力伝達装置を用いたゲ
ートバルブの弁デスク駆動装置の弁が閉じる直前の状態
における他の実施例の縦断側面図である。
ートバルブの弁デスク駆動装置の弁が閉じる直前の状態
における他の実施例の縦断側面図である。
【図１４】本発明の摩擦の無い動力伝達装置を用いたゲ
ートバルブの弁デスク駆動装置の弁を閉じた状態におけ
る他の実施例の縦断側面図である。
ートバルブの弁デスク駆動装置の弁を閉じた状態におけ
る他の実施例の縦断側面図である。
【図１５】本発明の摩擦の無い動力伝達装置を用いたゲ
ートバルブの弁デスク駆動装置の弁が完全に開いた状態
における縦断側面図である。
ートバルブの弁デスク駆動装置の弁が完全に開いた状態
における縦断側面図である。
【図１６】図１２〜図１５に示す実施例における弁デス
ク駆動ロッドに形成したコロガイド溝の正面図である。
ク駆動ロッドに形成したコロガイド溝の正面図である。
【図１７】図１２〜図１５に示す実施例におけるピスト
ンの垂下板に形成したコロ貫通溝の正面図である。
ンの垂下板に形成したコロ貫通溝の正面図である。
１ 弁箱 ２ 弁座 ３ 弁デスク ４ 弁デスク駆動ロッド ５ 動力伝達手段 ６ 側板 ７ コロガイド溝 ８ コロ ９ コロ貫通溝 １０ 引張ばね １１ ストッパー １２ ピストンシリンダ １３ ブロック １４ 筒状ベローズ １５ 枢軸 １６ ローラ １７ ガイド溝 １８ 動力伝達手段 １９ ピストン ２０ 垂下部分 ２１ 引張ばね ２２ 垂下板
Claims (7)
- 【請求項１】 一方向に斜め下方に延び、次いで略垂直
となるコロの直径に等しい長孔より成る第１のコロガイ
ド溝と、上記一方向と反対方向に斜め上方に延びる、コ
ロの直径に等しい長孔より成る第２のコロガイド溝とを
被駆動体と駆動体の夫々に設け、上記両溝に共通のコロ
を係合せしめたことを特徴とする摩擦の無い動力伝達装
置。 - 【請求項２】 弁座に離接される弁デスクに形成された
第１のコロガイド溝と、このコロガイド溝に対向する第
２のコロガイド溝を形成した、上記弁デスクに相対的に
上下動される弁デスク駆動ロッドと、上記第１，第２の
コロガイド溝に夫々係合せしめた共通のコロとより成
り、上記第１のコロガイド溝が、上記弁座から離れる方
向に斜め下方に延び、次いで略垂直となる上記コロの直
径と等しい幅の長孔であり、上記第２のコロガイド溝
が、上記弁座に近づく方向に斜め上方に延びる上記コロ
の直径と等しい幅の長孔であることを特徴とする摩擦の
無い動力伝達装置。 - 【請求項３】 弁座に離接される弁デスクに垂直に形成
した側板と、上記弁デスクに並設した、上記弁デスクと
相対的に上下動される弁デスク駆動ロッドと、上記側板
と弁デスク駆動ロッドの何れか一方に設けたコロガイド
溝と、何れか他方に設けたコロ貫通溝と、このコロ貫通
溝に貫通しその端部を上記コロガイド溝に係合したコロ
とより成り、上記側板に設けた上記溝が、上記弁座から
離れる方向に斜め下方に延び、次いで略垂直となる上記
コロの直径と等しい幅の長孔であり、上記弁デスク駆動
ロッドに設けた上記溝が、上記弁座に近づく方向に斜め
上方に延びる上記コロの直径と等しい幅の長孔であるこ
とを特徴とする摩擦の無い動力伝達装置。 - 【請求項４】 上記弁デスク駆動ロッドを上記弁デスク
と相対的に常時上方に抑制する弾発手段を更に有するこ
とを特徴とする請求項２または３記載の摩擦の無い動力
伝達装置。 - 【請求項５】 弁箱内に設けた弁座に離接される弁デス
クに連結した、上記弁箱内から弁箱外に上下動及び傾動
自在に気密に突出する弁デスク駆動ロッドと、この弁デ
スク駆動ロッドを介して上記弁デスクを上記弁座に対向
する位置と対向しない位置に移動自在ならしめ、上記弁
デスクが上記弁座にこれから離間して対向する位置とな
った後、上記弁デスク駆動ロッドを傾動して上記弁デス
クが上記弁座に押圧されるようにする、弁箱外部に設け
た移動手段とより成り、上記移動手段が、ピストンシリ
ンダと、このピストンシリンダのピストンと、上記弁デ
スク駆動ロッドに形成された第１のコロガイド溝と、こ
のコロガイド溝に対向するよう上記ピストンに形成した
第２のコロガイド溝と、上記第１，第２のコロガイド溝
に夫々係合せしめた共通のコロとより成り、上記第１の
コロガイド溝が、上記弁座に近付く方向に斜め下方に延
び、次いで略垂直となる上記コロの直径と等しい幅の長
孔であり、上記第２のコロガイド溝が、上記弁座から離
れる方向に斜め上方に延びる上記コロの直径と等しい幅
の長孔であり、上記ピストンを上記弁デスク駆動ロッド
に対して接近するよう押圧した際、上記コロ及び傾斜長
孔を介して上記弁デスク駆動ロッドが傾斜し、上記弁デ
スクが上記弁座に押圧されるようになることを特徴とす
る摩擦の無い動力伝達装置。 - 【請求項６】 弁箱内に設けた弁座に離接される弁デス
クに連結した、上記弁箱内から弁箱外に上下動及び傾動
自在に気密に突出する弁デスク駆動ロッドと、この弁デ
スク駆動ロッドを介して上記弁デスクを上記弁座に対向
する位置と対向しない位置に移動自在ならしめ、上記弁
デスクが上記弁座にこれから離間して対向する位置とな
った後、上記弁デスク駆動ロッドを傾動して上記弁デス
クが上記弁座に押圧されるようにする、弁箱外部に設け
た移動手段とより成り、上記移動手段が、ピストンシリ
ンダと、このピストンシリンダのピストンと、このピス
トンに設けた垂下板と、この垂下板と上記弁デスク駆動
ロッドの何れか一方に設けたコロガイド溝と、何れか他
方に設けたコロ貫通溝と、このコロ貫通溝に貫通しその
端部を上記コロガイド溝に係合したコロとより成り、上
記弁デスク駆動ロッドに設けた上記溝が、上記弁座に近
付く方向に斜め下方に延び、次いで略垂直となる上記コ
ロの直径と等しい幅の長孔であり、上記垂下板に設けた
上記溝が、上記弁座から離れる方向に斜め上方に延びる
上記コロの直径と等しい幅の長孔であり、上記ピストン
を上記弁デスク駆動ロッドに対して接近するよう押圧し
た際、上記コロ及び傾斜長孔を介して上記弁デスク駆動
ロッドが傾斜し、上記弁デスクが上記弁座に押圧される
ようになることを特徴とする摩擦の無い動力伝達装置。 - 【請求項７】 上記ピストンを上記弁デスク駆動ロッド
と相対的に常時上方に抑制する弾発手段を更に有するこ
とを特徴とする請求項５または６記載の摩擦の無い動力
伝達装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32593596A JP2864234B2 (ja) | 1996-11-22 | 1996-11-22 | 摩擦の無い動力伝達装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32593596A JP2864234B2 (ja) | 1996-11-22 | 1996-11-22 | 摩擦の無い動力伝達装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10159999A JPH10159999A (ja) | 1998-06-16 |
| JP2864234B2 true JP2864234B2 (ja) | 1999-03-03 |
Family
ID=18182247
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32593596A Expired - Lifetime JP2864234B2 (ja) | 1996-11-22 | 1996-11-22 | 摩擦の無い動力伝達装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2864234B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP3159587A1 (en) * | 2015-02-16 | 2017-04-26 | King Lai Hygienic Materials Co., Ltd. | Gate valve with secure sealing mechanism |
| KR20230102634A (ko) * | 2021-12-30 | 2023-07-07 | 주식회사 에이이엘코리아 | 진공챔버 게이트 도어장치 |
Families Citing this family (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100476391B1 (ko) | 1999-06-02 | 2005-03-16 | 동경 엘렉트론 주식회사 | 반도체 처리 시스템의 게이트 밸브 |
| JP2002323149A (ja) * | 2001-04-23 | 2002-11-08 | Smc Corp | ゲートバルブ |
| JP4642488B2 (ja) * | 2005-01-24 | 2011-03-02 | 京セラ株式会社 | ゲートバルブ |
| DE102005043595A1 (de) * | 2005-09-12 | 2007-04-19 | Bösch, Hubert | Ventilmechanik für ein Vakuumventil |
| KR101472514B1 (ko) * | 2009-03-23 | 2014-12-15 | 세메스 주식회사 | 트레이 이송 장치 및 이를 포함하는 테스트 핸들러 |
| TWI551798B (zh) * | 2015-02-06 | 2016-10-01 | 新萊應材科技有限公司 | 具有鎖定功能之閘閥 |
| CN106122580B (zh) * | 2015-02-15 | 2018-11-23 | 新莱应材科技有限公司 | 具有锁定功能的闸阀 |
| EP3239567A1 (de) * | 2016-04-27 | 2017-11-01 | VAT Holding AG | Torventil mit kurvenführung |
| DE102019123563A1 (de) * | 2019-09-03 | 2021-03-04 | Vat Holding Ag | Vakuumventil für das Be- und/oder Entladen einer Vakuumkammer |
| CN114198516A (zh) * | 2020-09-18 | 2022-03-18 | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 | 一种适用于高温环境的气动阀门 |
-
1996
- 1996-11-22 JP JP32593596A patent/JP2864234B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP3159587A1 (en) * | 2015-02-16 | 2017-04-26 | King Lai Hygienic Materials Co., Ltd. | Gate valve with secure sealing mechanism |
| KR20230102634A (ko) * | 2021-12-30 | 2023-07-07 | 주식회사 에이이엘코리아 | 진공챔버 게이트 도어장치 |
| KR102616233B1 (ko) | 2021-12-30 | 2023-12-19 | 주식회사 에이이엘코리아 | 진공챔버 게이트 도어장치 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH10159999A (ja) | 1998-06-16 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2864234B2 (ja) | 摩擦の無い動力伝達装置 | |
| JP2613171B2 (ja) | ゲートバルブ | |
| JP3588637B2 (ja) | 流量制御バルブ | |
| US6237892B1 (en) | Gate valve | |
| US6799394B2 (en) | Apparatus for sealing a vacuum chamber | |
| JP3572222B2 (ja) | ゲートバルブ | |
| JP2657778B2 (ja) | ゲートバルブ | |
| JP3323459B2 (ja) | ゲートバルブ | |
| JP2996915B2 (ja) | 無しゅう動真空ゲートバルブ | |
| JP3586657B2 (ja) | ゲートバルブ並びに真空処理装置および方法 | |
| JP2002039401A (ja) | ゲートバルブの弁板駆動装置 | |
| JPH09310766A (ja) | 無しゅう動真空ゲートバルブ | |
| JP3310578B2 (ja) | ゲートバルブ | |
| JP2649662B2 (ja) | ゲートバルブ | |
| JP4169892B2 (ja) | ゲートバルブ | |
| JP3191338B2 (ja) | ウェハ保持器の保持装置 | |
| JP4302709B2 (ja) | 振子式ゲートバルブおよびこれを使用したゲートバルブ開閉方法 | |
| JP2001041330A (ja) | ゲートバルブ | |
| JPH07208620A (ja) | ゲートバルブ | |
| JP2002276829A (ja) | ゲートバルブ | |
| KR100482980B1 (ko) | 게이트 밸브 | |
| JPS5824288Y2 (ja) | プレ−ヤにおけるア−ムのキュ−イング機構 | |
| JPS6241002B2 (ja) | ||
| JP2571530Y2 (ja) | 記録ペンの昇降装置 | |
| JP3288616B2 (ja) | ゲートバルブ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081218 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091218 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091218 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101218 Year of fee payment: 12 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101218 Year of fee payment: 12 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111218 Year of fee payment: 13 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121218 Year of fee payment: 14 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121218 Year of fee payment: 14 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131218 Year of fee payment: 15 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |