KR100482980B1 - 게이트 밸브 - Google Patents
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Abstract
진자 게이트 밸브는 내부 공간 및 서로 마주 보는 제 1 및 제 2 오프닝을 갖는 밸브 하우징, 제 1 오프닝의 가장자리 주위의 내부 공간에 배치되는 밸브 시트, 완전히 개방된 위치와 완전히 폐쇄된 위치 사이에서 내부 공간에서 이동 가능하도록 밸브 하우징에 대하여 실장되며, 폐쇄된 위치로 이동할 때 밸브 시트와 맞물리며 제 1 오프닝을 밀봉하도록 형성되는 밸브 디스크, 밸브 하우징에 주축으로 고정되는 기저부를 갖는 피벗 암, 밸브 디스크가 완전히 개방된 위치에 있는 제 1 위치와 밸브 디스크가 완전히 폐쇄된 위치에 있는 제 2 위치 사이에서 피벗 암의 말단을 이동시키기 위한 암 구동 장치, 및 피벗 암의 운동을 밸브 디스크로 전달하기 위한 동력 전달 장치를 포함한다.
Description
본 발명은 게이트 밸브에 관한 것으로, 더욱 상세하게는, 반도체 웨이퍼 등을 가공하기 위한 가공 장치에서 사용되는 진자 게이트 밸브(pendulum gate valve)에 관한 것이다.
반도체 웨이퍼, 또는 액정 기판 등을 가공하기 위한 가공 장치에 있어서, 게이트 밸브, 예를 들면, 진자 게이트 밸브를 구비하는 오프닝을 통하여 진공이 가공실에 가하여지게 된다. 그러므로, 이 때 이물질들이 가공실 내부로 진입하는 것을 가능한 한 방지할 필요가 있다.
이러한 게이트 밸브가 미국 특허 번호 제 6,089,537 호에 기재되어 있다. 이러한 게이트 밸브에 있어서, 밸브 디스크(valve disc)가 밸브 시트(valve seat)로부터 분리되어 상하로 이동하며, 밸브 디스크가 밸브 시트와 마주 보는 위치로 설치되어 있을 때 밸브 디스크의 측면을 밸브 시트를 향하여 밀어냄으로써 밸브 디스크는 밸브 시트에 접촉하게 된다.
도 17 및 도 18은 달걀형의 단면으로 형성되는 공동(hollow)의 박스 형태의 밸브 하우징(1)을 구비하는 종래의 진자 밸브 게이트를 도시한다. 여기서, 종래의 진자 밸브 게이트는 내부 공간을 정의한다. 밸브 하우징(1)은 게이트 밸브가 개방되면, 가공되는 물품 및/또는 가공 가스를 가공 채임버로 인입하기 위한 한 쌍의 마주 보는 원형의 오프닝들(2, 3)을 포함한다.
게이트 밸브는 밸브 디스크(5)를 포함한다. 게이트 밸브가 폐쇄되면, 밸브 디스크(5)는 오프닝(2)의 가장자리 주위의 내부 공간에 구비되는 밸브 시트(4)에 접촉하게 된다. 밸브 디스크(5)는 피벗 암(pivot arm)에 의해서 고정되며, 암 구동 장치(8)에 의해서 완전히 개방된 상태와 완전히 폐쇄된 상태 사이를 밸브 하우징(1)에 형성되는 주축 지점(7)을 중심으로 하여 이동된다.
상기한 종래의 진자 게이트 밸브에 있어서, 완전히 폐쇄된 상태에 있는 밸브 디스크(5)는 암 구동 장치(8)에 의해서 암(6)의 말단을 통하여 밸브 시트(4)를 향하여 이동한다. 그러므로, 동력과 크기가 큰 암 구동 장치(8) 및 직경이 큰 암(6)을 사용할 필요가 있다.
종래의 다른 게이트 밸브가 일본 공개 공보 제 277,876/91 호에 개시되어 있다. 이러한 게이트 밸브에서는, 밸브판에 가해지는 힘에 대한 반응력을 이용함으로써 밸브 디스크가 밸브 시트로 이동하도록, 밸브판이 밸브 디스크와 마주보도록 구비되고, 압력 유동체가 서로로부터 분리되어 있는 밸브판 및 밸브 디스크 사이의 공간으로 인입된다.
그러나, 이러한 게이트 밸브에 있어서는, 게이트 밸브가 더 큰 크기를 갖도록, 압력 유동체를 이 공간으로 인입시키기 위한 장치가 구비되어야만 한다.
그러므로, 본 발명의 목적은 상기한 결점들로부터 자유로운 진자 게이트 밸브를 제공하는 것이다.
본 발명은 다음과 같이 요약될 수 있다.
본 발명의 일 실시 양태에 따른 진자 게이트 밸브는 내부 공간 및 서로 마주 보는 제 1 및 제 2 오프닝을 갖는 밸브 하우징;
제 1 오프닝의 가장자리 주위의 내부 공간에 배치되는 밸브 시트;
완전히 개방된 위치와 완전히 폐쇄된 위치 사이에서 내부 공간에서 이동 가능하도록 밸브 하우징에 대하여 실장되며, 폐쇄된 위치로 이동할 때 밸브 시트와 맞물리며 제 1 오프닝을 밀봉하도록 형성되는 밸브 디스크;
밸브 하우징에 주축으로 고정되는 기저부를 갖는 피벗 암;
밸브 디스크가 완전히 개방된 위치에 있는 제 1 위치와 밸브 디스크가 완전히 폐쇄된 위치에 있는 제 2 위치 사이에서 피벗 암의 말단을 이동시키기 위한 암 구동 장치; 및
피벗 암의 운동을 밸브 디스크로 전달하기 위한 동력 전달 장치를 포함하며,
상기 동력 전달 장치는 밸브 디스크에 형성되는 제 1 롤러 가이드 그루브, 밸브 디스크에 대하여 이동가능하며 피벗 암의 말단에 주축으로 고정된 밸브 디스크 지지구, 제 1 롤러 가이드 그루브와 마주 보도록 밸브 디스크 지지구에 형성되는 제 2 롤러 가이드 그루브, 밸브 디스크 지지구에 형성되는 제 3 롤러 가이드 그루브, 지지판, 제 3 롤러 가이드 그루브와 마주 보도록 지지판에 형성되는 제 4 롤러 가이드 그루브, 제 1 및 제 2 롤러 가이드 그루브와 맞물리는 제 1 롤러, 및 제 3 및 제 4 롤러 가이드 그루브와 맞물리는 제 2 롤러를 포함하며, 제 1 및 제 2 롤러 가이드 그루브 각각은 밸브 디스크로부터 분리되도록 하향으로 비스듬하게 연장되며, 제 3 및 제 4 롤러 가이드 그루브 각각은 밸브 디스크에 접근하도록 하향으로 비스듬하게 연장되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 다른 실시 양태에 따른 진자 게이트 밸브는 내부 공간 및 서로 마주 보는 제 1 및 제 2 오프닝을 갖는 밸브 하우징;
제 1 오프닝의 가장자리 주위의 내부 공간에 배치되는 밸브 시트;
완전히 개방된 위치와 완전히 폐쇄된 위치 사이에서 내부 공간에서 이동 가능하도록 밸브 하우징에 대하여 실장되며, 폐쇄된 위치로 이동할 때 밸브 시트와 맞물리며 제 1 오프닝을 밀봉하도록 형성되는 밸브 디스크;
밸브 하우징에 주축으로 고정되는 기저부를 갖는 피벗 암;
밸브 디스크가 완전히 개방된 위치에 있는 제 1 위치와 밸브 디스크가 완전히 폐쇄된 위치에 있는 제 2 위치 사이에서 피벗 암의 말단을 이동시키기 위한 암 구동 장치; 및
피벗 암의 운동을 밸브 디스크로 전달하기 위한 동력 전달 장치를 포함하며,
상기 동력 전달 장치는 밸브 디스크에 형성되는 제 1 롤러 가이드 그루브, 밸브 디스크에 대하여 이동가능하며 피벗 암의 말단에 주축으로 고정된 밸브 디스크 지지구, 제 1 롤러 가이드 그루브와 마주 보도록 밸브 디스크 지지구에 형성되는 제 2 롤러 가이드 그루브, 밸브 디스크 지지구에 형성되는 제 3 롤러 가이드 그루브, 지지판, 제 3 롤러 가이드 그루브와 마주 보도록 지지판에 형성되는 제 4 롤러 가이드 그루브, 제 1 및 제 2 롤러 가이드 그루브와 맞물리는 제 1 롤러, 및 제 3 및 제 4 롤러 가이드 그루브와 맞물리는 제 2 롤러를 포함하며, 제 1 롤러 가이드 그루브는 밸브 디스크로부터 분리되도록 하향으로 비스듬하게 연장된 후 실질적으로 수직으로 하향으로 연장되며, 제 2 롤러 가이드 그루브는 밸브 디스크에 접근하도록 상향으로 비스듬하게 연장된 후 실질적으로 수직으로 상향으로 연장되며, 제 3 롤러 가이드 그루브는 밸브 디스크에 접근하도록 하향으로 비스듬하게 연장된 후 실질적으로 수직으로 하향으로 연장되며, 제 4 롤러 가이드 그루브는 밸브 디스크로부터 분리되도록 상향으로 비스듬하게 연장 된 후 실질적으로 수직으로 상향으로 연장되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 또 다른 진자 게이트 밸브는 내부 공간 및 서로 마주 보는 제 1 및 제 2 오프닝을 갖는 밸브 하우징;
제 1 오프닝의 가장자리 주위의 내부 공간에 배치되는 밸브 시트;
완전히 개방된 위치와 완전히 폐쇄된 위치 사이에서 내부 공간에서 이동 가능하도록 밸브 하우징에 대하여 실장되며, 폐쇄된 위치로 이동할 때 밸브 시트와 맞물리며 제 1 오프닝을 밀봉하도록 형성되는 밸브 디스크;
밸브 하우징에 주축으로 고정되는 기저부를 갖는 피벗 암;
밸브 디스크가 완전히 개방된 위치에 있는 제 1 위치와 밸브 디스크가 완전히 폐쇄된 위치에 있는 제 2 위치 사이에서 피벗 암의 말단을 이동시키기 위한 암 구동 장치; 및
피벗 암의 운동을 밸브 디스크로 전달하기 위한 동력 전달 장치를 포함하며,
상기 동력 전달 장치는 공간을 사이에 두고 서로를 마주 보며 밸브 시트와 마주 하는 밸브 디스크의 뒷면에 실장되는 한 쌍의 고정구, 고정구들의 마주 보는 면들 각각에 형성되는 제 1 롤러 가이드 그루브, 밸브 디스크에 대하여 이동 가능하도록 피벗 암의 말단에 주축으로 고정되는 밸브 디스크 고정구, 제 1 롤러 가이드 그루브와 마주 보도록 밸브 디스크 지지구에 형성되는 제 2 롤러 가이드 그루브, 밸브 디스크 지지구에 형성되는 제 3 롤러 가이드 그루브, 지지판, 제 3 롤러 가이드 그루브와 마주 보도록 지지판에 형성되는 제 4 롤러 가이드 그루브, 제 1 및 제 2 롤러 가이드 그루브와 맞물리는 제 1 롤러, 및 제 3 및 제 4 롤러 가이드 그루브와 맞물리는 제 2 롤러를 포함하며, 제 1 및 제 2 롤러 가이드 그루브 각각은 밸브 디스크로부터 분리되도록 하향으로 비스듬하게 연장되며, 제 3 및 제 4 롤러 가이드 그루브 각각은 밸브 디스크에 접근하도록 하향으로 비스듬하게 연장되는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 또 다른 실시 양태에 따른 진자 게이트 밸브는 내부 공간 및 서로 마주 보는 제 1 및 제 2 오프닝을 갖는 밸브 하우징;
제 1 오프닝의 가장자리 주위의 내부 공간에 배치되는 밸브 시트;
완전히 개방된 위치와 완전히 폐쇄된 위치 사이에서 내부 공간에서 이동 가능하도록 밸브 하우징에 대하여 실장되며, 폐쇄된 위치로 이동할 때 밸브 시트와 맞물리며 제 1 오프닝을 밀봉하도록 형성되는 밸브 디스크;
밸브 하우징에 주축으로 고정되는 기저부를 갖는 피벗 암;
밸브 디스크가 완전히 개방된 위치에 있는 제 1 위치와 밸브 디스크가 완전히 폐쇄된 위치에 있는 제 2 위치 사이에서 피벗 암의 말단을 이동시키기 위한 암 구동 장치; 및
피벗 암의 운동을 밸브 디스크로 전달하기 위한 동력 전달 장치를 포함하며,
상기 동력 전달 장치는 공간을 사이에 두고 서로를 마주 보며 밸브 시트와 마주 하는 밸브 디스크의 뒷면에 실장되는 한 쌍의 고정구, 고정구들의 마주 보는 면들 각각에 형성되는 제 1 롤러 가이드 그루브, 밸브 디스크에 대하여 이동 가능하도록 피벗 암의 말단에 주축으로 고정되는 밸브 디스크 고정구, 제 1 롤러 가이드 그루브와 마주 보도록 밸브 디스크 지지구에 형성되는 제 2 롤러 가이드 그루브, 밸브 디스크 지지구에 형성되는 제 3 롤러 가이드 그루브, 지지판, 제 3 롤러 가이드 그루브와 마주 보도록 지지판에 형성되는 제 4 롤러 가이드 그루브, 제 1 및 제 2 롤러 가이드 그루브와 맞물리는 제 1 롤러, 및 제 3 및 제 4 롤러 가이드 그루브와 맞물리는 제 2 롤러를 포함하며, 제 1 롤러 가이드 그루브는 밸브 디스크로부터 분리되도록 하향으로 비스듬하게 연장된 후 실질적으로 수직으로 하향으로 연장되며, 제 2 롤러 가이드 그루브는 밸브 디스크에 접근하도록 상향으로 비스듬하게 연장된 후 실질적으로 수직으로 상향으로 연장되며, 제 3 롤러 가이드 그루브는 밸브 디스크에 접근하도록 하향으로 비스듬하게 연장된 후 실질적으로 수직으로 하향으로 연장되며, 제 4 롤러 가이드 그루브는 밸브 디스크로부터 분리되도록 상향으로 비스듬하게 연장된 후 실질적으로 수직으로 상향으로 연장되는 것을 특징으로 한다.
바람직하게는, 진자 게이트 밸브는 지지판이 피벗 암의 이동 방향으로 밸브 디스크로 탄력적으로 이동하는 것을 방지하기 위한 부재를 더 포함한다.
또한, 바람직하게는, 진자 게이트 밸브는 밸브 디스크가 피벗 암의 이동 방향으로 밸브 디스크 지지구로 탄력적으로 이동하는 것을 방지하기 위한 부재를 더 포함한다.
더욱이, 바람직하게는, 진자 게이트 밸브는 밸브 디스크의 하단으로부터 하향으로 돌출되는 스토퍼를 더 포함한다.
본 발명의 목적 및 장점들은 첨부하는 도면들을 참조로 하는 바람직한 실시예들의 상세한 설명들로부터 잘 이해될 수 있다.
도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 진자 게이트 밸브는 달걀형의 단면을 갖는 공동의 박스 형태이며 내부 공간을 정의하는 밸브 하우징(1), 한 쌍의 마주 보는 원형의 오프닝들(2, 3), 오프닝(2)의 가장자리 주위의 밸브 하우징(1)의 내부 공간에 구비되는 밸브 시트(4), 밸브 디스크(5)가 폐쇄된 상태일 때 밸브 시트(4)와 접촉하게 되는 밸브 디스크(5), 밸브 디스크(5)와 말단에서 연결되며 밸브 하우징(1)에 형성되는 주축 샤프트(7)와 기저 단부에서 주축으로 연결되는 피벗 암(6), 완전히 개방된 상태(도 1에 도시된 바와 같은)와 완전히 폐쇄된 상태(도 14에 도시된 바와 같은) 사이에서 밸브 디스크(5)를 이동시키기 위한 암 구동 장치(8), 및 밸브 시트(4)를 향하여 밸브 디스크를 밀어내기 위한 동력 전달 장치(9)를 포함한다.
도 1 내지 도 9에 도시된 바와 같이, 동력 전달 장치(9)는 공간을 사이에 두고 서로 마주 보며 밸브 시트(4)와 마주 보는 밸브 디스크(5)의 뒷면에 실장되는 두 쌍의 지지구들(10), 상기 지지구들(10)의 마주 보는 면들에 형성되는 두 쌍의 제 1 롤러 가이드 그루브들(11), 상기 제 1 롤러 가이드 그루브들(11) 각각의 쌍으로 삽입되는 양 말단을 갖는 두 개의 제 1 롤러들(12), 상기 지지구들(10) 각각의 쌍 사이에 삽입되며 상기 피벗 암(6)에 주축으로 고정되는 밸브 지지구(13), 및 상기 제 1 롤러들(12)을 수용하기 위한 상기 밸브 디스크 지지구(13)를 통과하여 각각 형성되는 두 개의 제 2 롤러 가이드 그루브들(14)을 포함한다.
도 3 및 도 6에 도시된 바와 같이, 밸브 디스크(5)로부터 분리되어 실질적으로 수직으로 하향 연장되도록, 지지구(10)에 형성된 제 1 롤러 가이드 그루브(11)는 하향으로 비스듬하게 연장된다. 상기 제 1 롤러 가이드 그루브(11)는 제 1 롤러(12)의 직경과 실질적으로 유사한 넓이를 갖는 연장된 홀의 형태이다. 도 2 및 도 7에 도시된 바와 같이, 밸브 디스크(5)에 근접하여 상기 제 1 롤러 가이드 그루브(11)의 위치에 대응하는 위치로 실질적으로 수직으로 상향 연장되도록, 밸브 디스크 지지구(13)에 형성된 제 2 롤러 가이드 그루브(14)는 상향으로 비스듬하게 연장된다. 제 2 롤러 가이드 그루브(14)는 제 1 롤러(12)의 직경과 실질적으로 유사한 넓이를 갖는 연장된 홀의 형태이다.
도 2 및 도 15에 도시된 바와 같이, 밸브 디스크 지지구(13)가 고정구(10)를 따라 위아래로 이동될 때, 밸브 디스크(5)는 밸브 디스크 지지구(13)에 대한 밸브 시트(4)로부터 분리 및 밸브 시트(4)로 접근한다.
또한, 도 3, 도 5, 도 8, 및 도 9에 도시된 바와 같은 본 발명에 있어서, 동력 전달 장치(9)는 밸브 디스크 지지구(13)의 양 측에 배열된 한 쌍의 지지판들(15), 서로 연결하도록 한 쌍의 지지판들(13) 사이에 삽입되는 두 개의 연결 바들(16), 지지판(15)들의 마주 보는 면들에 형성되는 두 쌍의 제 3 롤러 가이드 그루브들(17), 제 3 롤러 가이드 그루브들(17)의 각 쌍에 삽입되는 양 단부를 갖는 두 개의 제 2 롤러들(18), 제 2 롤러들(18)을 각각 수용하기 위하여 밸브 디스크 지지구(13)를 통하여 형성되는 두 개의 제 4 롤러 가이드 그루브들(19), 고정구들(10) 및 그에 대응하는 지지판(15)들을 함께 연결하기 위한 두 쌍의 판 스프링들(20), 밸브 디스크(5)에 대하여 일 방향으로 피벗 암(6)을 항상 밀어내기 위하여 피벗 암(6)의 말단에 고정되는 일 단부와 밸브 디스크(5)에 고정되는 다른 일 단부를 갖는 인장 스프링(21), 및 밸브 디스크(5)의 하단으로부터 하향으로 돌출되는 판 스프링 등으로 형성되는 스토퍼(22)를 포함한다.
판 스프링(20)은 고정구(10) 및 지지판(15)이 피벗 암(6)이 이동하는 방향으로 서로에 대하여 이동하는 것을 방지하며, 그러나 그들의 상대적인 운동은 도 9의 화살표에 의해 표시되는 피벗 암(6)이 이동하는 방향으로의 정상적인 방향이 되도록 한다.
도 3 및 도 10에 도시된 바와 같이, 지지판(15)에 형성되는 제 3 롤러 가이드 그루브(17)는 밸브 디스크(5)에 접근하도록 하향으로 비스듬하게 연장되고, 그리고 나서, 실질적으로 수직으로 하향으로 연장된다. 제 3 롤러 가이드 그루브(17)는 제 2 롤러(18)의 직경과 실질적으로 유사한 넓이를 갖는 연장된 홀의 형태이다. 도 2 및 도 7에 도시된 바와 같이, 밸브 디스크 지지구(13)에 형성되는 제 4 롤러 가이드 그루브(19)는 밸브 디스크(5)로부터 분리되도록 상향으로 비스듬하게 연장되고, 그리고 나서, 제 3 롤러 가이드 그루브(17)의 위치에 대응하는 위치로 실질적으로 수직으로 상향으로 연장된다. 제 4 롤러 가이드 그루브(19)는 제 2 롤러(18)의 직경과 실질적으로 유사한 넓이를 갖는 연장된 홀의 형태이다.
도 2 및 도 15에 도시된 바와 같이 밸브 디스크 지지구(13)가 고정구(10) 및 지지판(15)을 따라 상하로 이동되면, 도 13 및 도 16에 도시된 바와 같이 지지판(15)은 밸브 디스크(5)에 대하여 밸브 하우징(10)의 오프닝(3)으로부터 분리되고 오프닝(3)으로 접근한다.
본 발명에 따른 진자 게이트 밸브는 상기한 바와 같은 구조를 갖게 된다. 따라서, 오프닝들(2, 3)이 밸브 디스크(5)가 오프닝(2)과 마주 대하는 도 11에 도시된 위치로 개방되는 도 1에 도시된 위치로부터 도 9의 화살표로 도시된 방향으로 암(6)을 진동시키도록 암 구동 장치(8)가 작동하면, 밸브 디스크(5)의 하단으로부터 돌출된 스토퍼(22)는 도 11에 도시된 바와 같이 밸브 하우징(1)의 내면과 접촉하게 되고, 밸브 디스크(5)의 운동은 정지한다. 암(6)이 도 9의 화살표로 도시된 방향으로 더 이동하면, 제 1 롤러 가이드 그루브(11)를 따라 회전하면서 제 1 롤러(12)가 이동하며 도 16에 도시된 바와 같이 제 1 롤러 가이드 그루브(11)의 하부 수직부에 마침내 도달하고, 제 2 롤러 가이드 그루브(14)를 따라 회전하면서 제 1 롤러(12)가 이동하며 도 15에 도시된 바와 같이 제 2 롤러 가이드 그루브(14)의 상부 수직부에 마침내 도달하도록, 암(6)에 고정된 밸브 디스크 지지구(13)는 도 14 내지 도 16에 도시된 바와 같이 밸브 디스크(5)에 대한 인장 스프링(21)의 힘에 반하여 이동한다.
이와 동시에, 밸브 디스크 지지구(13)의 제 4 롤러 가이드 그루브(19)를 통과한 제 2 롤러(18)는 지지판(15)의 제 3 롤러 가이드 그루브들(17)을 따라 회전하면서 이동하며 도 16에 도시된 바와 같이 제 3 롤러 가이드 그루브(17)의 하부 수직부에 마침내 도달하며, 또한, 이와 동시에, 제 2 롤러(18)는 지지판(15)의 제 4 롤러 가이드 그루브(19)를 따라 회전하면서 이동하며 도 15에 도시된 바와 같이 밸브 디스크 지지구(13)의 제 4 롤러 가이드 그루브(19)의 상부 수직부에 마침내 도달한다.
결과적으로, 지지판(15)은 큰 힘을 갖는 오프닝(8)의 가장자리 주위의 밸브 하우징(1)으로 압박되고, 그의 반응력은 밸브 디스크(5)가 밸브 시트(4)로 강하게 밀어내어지도록 밸브 디스크(5)에 가해진다.
이러한 상태에서, 암 구동 장치(8)가 작동을 멈추어 암(6)의 운동이 그치게 되더라도, 밸브 디스크(5)는 밸브 시트(4)로의 압력 접촉 상태로 유지된다.
게이트 밸브가 개방되는 경우에, 암 구동 장치(8)는 암(6)을 통하여 밸브 디스크(5)를 폐쇄된 위치에서 개방된 위치로 이동시키도록 구동되어, 밸브 디스크 지지구(13)는 처음에는 인장 스프링(21)의 스프링 력에 의해서 고정구(10) 및 지지판(15)에 대하여 이동하고, 그리고 제 1 및 제 2 롤러(12, 18)가 제 1 및 제 3 롤러 가이드 그루브(11, 17) 각각을 따라 회전하면서 밸브 디스크 지지구(13)와 함께 이동한다. 결과적으로, 지지판(15)이 오프닝(3)으로부터 분리될 뿐만 아니라, 밸브 디스크(15)도 밸브 시트(4)로부터 분리된다. 암(6)의 그 이상의 운동은 밸브 디스크(5)를 이동시켜, 오프닝(2, 3)이 완전하게 개방되게 된다.
본 발명의 다른 실시예에 있어서, 제 1 및 제 2 롤러 가이드 그루브(11, 14) 각각은 밸브 디스크(5)로부터 분리되도록 하향으로 비스듬하게 연장되며, 제 3 및 제 4 롤러 가이드 그루브(17, 19) 각각은 밸브 디스크(5)로 접근하도록 하향으로 비스듬하게 연장된다.
본 발명은 종래의 게이트 밸브에 비하여 중요한 장점들을 제공한다. 예를 들면, 본 발명의 진자 게이트 밸브는 밸브 디스크(5)가 밸브 시트(4)를 향하여 매우 강한 힘으로 밀어내어지도록, 두 개의 롤러(12, 18) 및 네 개의 롤러 가이드 그루브(11, 14, 17, 19)를 갖는 동력 전달 장치(9)를 사용한다. 또한, 롤러(12, 18)는 어떠한 윤활제의 사용 없이도 회전하면서 롤러 가이드 그루브(11, 14, 17, 19) 내에서 이동하여, 롤러들의 마찰적인 움직임들에 의해서 생겨날 수 있는 이물질의 생성이 종래의 게이트 밸브에 비하여 방지될 수 있다. 암 구동 장치(8) 및 암(6)이 간단한 구조와 작은 크기로 제조될 수 있도록, 밸브 디스크(5)는 지지판(15)의 반응력에 의해서 밸브 시트(4)로 밀어내어진다.
더욱이, 밸브 디스크(5)를 오프닝을 향하여 이동시키며 밸브 디스크(5)를 밸브 시트(4)를 향하여 밀어내기 위하여 게이트 밸브는 피벗 암(6)의 연속적인 진동 운동에 의해서 폐쇄될 수 있어서, 게이트 밸브가 유동체 유동 조절 밸브로 사용되는 경우, 유동체의 유동이 연속적으로 조절될 수 있다.
본 발명은 바람직한 실시예들을 참조로 상세하게 도시되며 설명되었으나, 첨부하는 청구 범위에 의해서 정의되는 바와 같이 본 발명의 범위를 벗어나지 않는 한 다양한 변경들이 이루어질 수 있다는 것은 당업자에게 있어서 자명하다.
도 1은 본 발명에 따른 진자 게이트 밸브의 종단면도로서, 게이트 밸브가 폐쇄되기 전의 상태를 도시한다.
도 2는 도 1의 선 X-X를 따라 자른 횡단면도이다.
도 3은 도 1의 선 Y-Y를 따라 자른 횡단면도이다.
도 4는 본 발명에 따른 진자 게이트 밸브의 동력 전달 장치의 사시도이다.
도 5는 본 발명에 따른 진자 게이트 밸브의 동력 전달 장치의 사시도이다.
도 6은 본 발명에 따른 진자 게이트 밸브의 제 1 롤러 가이드 그루브의 측면도이다.
도 7은 본 발명에 따른 진자 게이트 밸브의 제 2 및 제 4 롤러 가이드 그루브의 측면도이다.
도 8은 본 발명에 따른 진자 게이트 밸브의 동력 전달 장치의 사시도이다.
도 9는 보 발명에 따른 진자 게이트 밸브의 동력 전달 장치의 사시도이다.
도 10은 본 발명에 따른 진자 게이트 밸브의 제 3 롤러 가이드 그루브의 측면도이다.
도 11은 본 발명에 따른 진자 게이트 밸브의 종단면도로서, 게이트 밸브가 폐쇄되기 바로 전의 상태를 도시한다.
도 12는 도 11의 선 X-X를 따라 자른 횡단면도이다.
도 13은 도 11의 선 Y-Y를 따라 자른 횡단면도이다.
도 14는 본 발명에 따른 진자 게이트 밸브의 종단면도로서, 게이트 밸브가 폐쇄될 당시의 상태를 도시한다.
도 15는 도 14의 선 X-X를 따라 자른 횡단면도이다.
도 16은 도 14의 선 Y-Y를 따라 자른 횡단면도이다.
도 17은 종래의 진자 게이트 밸브의 동력 전달 장치의 사시도이다.
도 18은 종래의 게이트 밸브의 일부의 종단면도이다.
Claims (7)
- 내부 공간 및 서로 마주 보는 제 1 및 제 2 오프닝을 갖는 밸브 하우징;제 1 오프닝의 가장자리 주위의 내부 공간에 배치되는 밸브 시트;완전히 개방된 위치와 완전히 폐쇄된 위치 사이에서 내부 공간에서 이동 가능하도록 밸브 하우징에 대하여 실장되며, 폐쇄된 위치로 이동할 때 밸브 시트와 맞물리며 제 1 오프닝을 밀봉하도록 형성되는 밸브 디스크;밸브 하우징에 주축으로 고정되는 기저부를 갖는 피벗 암;밸브 디스크가 완전히 개방된 위치에 있는 제 1 위치와 밸브 디스크가 완전히 폐쇄된 위치에 있는 제 2 위치 사이에서 피벗 암의 말단을 이동시키기 위한 암 구동 장치; 및피벗 암의 운동을 밸브 디스크로 전달하기 위한 동력 전달 장치를 포함하며,상기 동력 전달 장치는 밸브 디스크에 형성되는 제 1 롤러 가이드 그루브, 밸브 디스크에 대하여 이동가능하며 피벗 암의 말단에 주축으로 고정된 밸브 디스크 지지구, 제 1 롤러 가이드 그루브와 마주 보도록 밸브 디스크 지지구에 형성되는 제 2 롤러 가이드 그루브, 밸브 디스크 지지구에 형성되는 제 3 롤러 가이드 그루브, 지지판, 제 3 롤러 가이드 그루브와 마주 보도록 지지판에 형성되는 제 4 롤러 가이드 그루브, 제 1 및 제 2 롤러 가이드 그루브와 맞물리는 제 1 롤러, 및 제 3 및 제 4 롤러 가이드 그루브와 맞물리는 제 2 롤러를 포함하며, 제 1 및 제 2 롤러 가이드 그루브 각각은 밸브 디스크로부터 분리되도록 하향으로 비스듬하게 연장되며, 제 3 및 제 4 롤러 가이드 그루브 각각은 밸브 디스크에 접근하도록 하향으로 비스듬하게 연장되는 것을 특징으로 하는 진자 게이트 밸브.
- 내부 공간 및 서로 마주 보는 제 1 및 제 2 오프닝을 갖는 밸브 하우징;제 1 오프닝의 가장자리 주위의 내부 공간에 배치되는 밸브 시트;완전히 개방된 위치와 완전히 폐쇄된 위치 사이에서 내부 공간에서 이동 가능하도록 밸브 하우징에 대하여 실장되며, 폐쇄된 위치로 이동할 때 밸브 시트와 맞물리며 제 1 오프닝을 밀봉하도록 형성되는 밸브 디스크;밸브 하우징에 주축으로 고정되는 기저부를 갖는 피벗 암;밸브 디스크가 완전히 개방된 위치에 있는 제 1 위치와 밸브 디스크가 완전히 폐쇄된 위치에 있는 제 2 위치 사이에서 피벗 암의 말단을 이동시키기 위한 암 구동 장치; 및피벗 암의 운동을 밸브 디스크로 전달하기 위한 동력 전달 장치를 포함하며,상기 동력 전달 장치는 밸브 디스크에 형성되는 제 1 롤러 가이드 그루브, 밸브 디스크에 대하여 이동가능하며 피벗 암의 말단에 주축으로 고정된 밸브 디스크 지지구, 제 1 롤러 가이드 그루브와 마주 보도록 밸브 디스크 지지구에 형성되는 제 2 롤러 가이드 그루브, 밸브 디스크 지지구에 형성되는 제 3 롤러 가이드 그루브, 지지판, 제 3 롤러 가이드 그루브와 마주 보도록 지지판에 형성되는 제 4 롤러 가이드 그루브, 제 1 및 제 2 롤러 가이드 그루브와 맞물리는 제 1 롤러, 및 제 3 및 제 4 롤러 가이드 그루브와 맞물리는 제 2 롤러를 포함하며, 제 1 롤러 가이드 그루브는 밸브 디스크로부터 분리되도록 하향으로 비스듬하게 연장된 후 실질적으로 수직으로 하향으로 연장되며, 제 2 롤러 가이드 그루브는 밸브 디스크에 접근하도록 상향으로 비스듬하게 연장된 후 실질적으로 수직으로 상향으로 연장되며, 제 3 롤러 가이드 그루브는 밸브 디스크에 접근하도록 하향으로 비스듬하게 연장된 후 실질적으로 수직으로 하향으로 연장되며, 제 4 롤러 가이드 그루브는 밸브 디스크로부터 분리되도록 상향으로 비스듬하게 연장 된 후 실질적으로 수직으로 상향으로 연장되는 것을 특징으로 하는 진자 게이트 밸브.
- 내부 공간 및 서로 마주 보는 제 1 및 제 2 오프닝을 갖는 밸브 하우징;제 1 오프닝의 가장자리 주위의 내부 공간에 배치되는 밸브 시트;완전히 개방된 위치와 완전히 폐쇄된 위치 사이에서 내부 공간에서 이동 가능하도록 밸브 하우징에 대하여 실장되며, 폐쇄된 위치로 이동할 때 밸브 시트와 맞물리며 제 1 오프닝을 밀봉하도록 형성되는 밸브 디스크;밸브 하우징에 주축으로 고정되는 기저부를 갖는 피벗 암;밸브 디스크가 완전히 개방된 위치에 있는 제 1 위치와 밸브 디스크가 완전히 폐쇄된 위치에 있는 제 2 위치 사이에서 피벗 암의 말단을 이동시키기 위한 암 구동 장치; 및피벗 암의 운동을 밸브 디스크로 전달하기 위한 동력 전달 장치를 포함하며,상기 동력 전달 장치는 공간을 사이에 두고 서로를 마주 보며 밸브 시트와 마주 하는 밸브 디스크의 뒷면에 실장되는 한 쌍의 고정구, 고정구들의 마주 보는 면들 각각에 형성되는 제 1 롤러 가이드 그루브, 밸브 디스크에 대하여 이동 가능하도록 피벗 암의 말단에 주축으로 고정되는 밸브 디스크 고정구, 제 1 롤러 가이드 그루브와 마주 보도록 밸브 디스크 지지구에 형성되는 제 2 롤러 가이드 그루브, 밸브 디스크 지지구에 형성되는 제 3 롤러 가이드 그루브, 지지판, 제 3 롤러 가이드 그루브와 마주 보도록 지지판에 형성되는 제 4 롤러 가이드 그루브, 제 1 및 제 2 롤러 가이드 그루브와 맞물리는 제 1 롤러, 및 제 3 및 제 4 롤러 가이드 그루브와 맞물리는 제 2 롤러를 포함하며, 제 1 및 제 2 롤러 가이드 그루브 각각은 밸브 디스크로부터 분리되도록 하향으로 비스듬하게 연장되며, 제 3 및 제 4 롤러 가이드 그루브 각각은 밸브 디스크에 접근하도록 하향으로 비스듬하게 연장되는 것을 특징으로 하는 진자 게이트 밸브.
- 내부 공간 및 서로 마주 보는 제 1 및 제 2 오프닝을 갖는 밸브 하우징;제 1 오프닝의 가장자리 주위의 내부 공간에 배치되는 밸브 시트;완전히 개방된 위치와 완전히 폐쇄된 위치 사이에서 내부 공간에서 이동 가능하도록 밸브 하우징에 대하여 실장되며, 폐쇄된 위치로 이동할 때 밸브 시트와 맞물리며 제 1 오프닝을 밀봉하도록 형성되는 밸브 디스크;밸브 하우징에 주축으로 고정되는 기저부를 갖는 피벗 암;밸브 디스크가 완전히 개방된 위치에 있는 제 1 위치와 밸브 디스크가 완전히 폐쇄된 위치에 있는 제 2 위치 사이에서 피벗 암의 말단을 이동시키기 위한 암 구동 장치; 및피벗 암의 운동을 밸브 디스크로 전달하기 위한 동력 전달 장치를 포함하며,상기 동력 전달 장치는 공간을 사이에 두고 서로를 마주 보며 밸브 시트와 마주 하는 밸브 디스크의 뒷면에 실장되는 한 쌍의 고정구, 고정구들의 마주 보는 면들 각각에 형성되는 제 1 롤러 가이드 그루브, 밸브 디스크에 대하여 이동 가능하도록 피벗 암의 말단에 주축으로 고정되는 밸브 디스크 고정구, 제 1 롤러 가이드 그루브와 마주 보도록 밸브 디스크 지지구에 형성되는 제 2 롤러 가이드 그루브, 밸브 디스크 지지구에 형성되는 제 3 롤러 가이드 그루브, 지지판, 제 3 롤러 가이드 그루브와 마주 보도록 지지판에 형성되는 제 4 롤러 가이드 그루브, 제 1 및 제 2 롤러 가이드 그루브와 맞물리는 제 1 롤러, 및 제 3 및 제 4 롤러 가이드 그루브와 맞물리는 제 2 롤러를 포함하며, 제 1 롤러 가이드 그루브는 밸브 디스크로부터 분리되도록 하향으로 비스듬하게 연장된 후 실질적으로 수직으로 하향으로 연장되며, 제 2 롤러 가이드 그루브는 밸브 디스크에 접근하도록 상향으로 비스듬하게 연장된 후 실질적으로 수직으로 상향으로 연장되며, 제 3 롤러 가이드 그루브는 밸브 디스크에 접근하도록 하향으로 비스듬하게 연장된 후 실질적으로 수직으로 하향으로 연장되며, 제 4 롤러 가이드 그루브는 밸브 디스크로부터 분리되도록 상향으로 비스듬하게 연장된 후 실질적으로 수직으로 상향으로 연장되는 것을 특징으로 하는 진자 게이트 밸브.
- 제 1 항에 있어서, 지지판이 피벗 암의 이동 방향으로 밸브 디스크로 탄력적으로 이동하는 것을 방지하기 위한 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진자 게이트 밸브.
- 제 1 항에 있어서, 밸브 디스크가 피벗 암의 이동 방향으로 밸브 디스크 지지구로 탄력적으로 이동하는 것을 방지하기 위한 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진자 게이트 밸브.
- 제 1 항에 있어서, 밸브 디스크의 하단으로부터 하향으로 돌출되는 스토퍼를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진자 게이트 밸브.
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2002
- 2002-09-13 KR KR10-2002-0055608A patent/KR100482980B1/ko active IP Right Grant
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| Publication number | Publication date |
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