JP2000356186A - ゲートバルブ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】ガイド手段を不要とすることにより部品点数を
削減して製造コストを低減し、しかも、塵埃等の発生を
抑制することにより清浄性が要求される環境で好適に使
用できることにある。 【解決手段】一組のピストンロッド６４ａ、６４ｂに連
結されて昇降自在なヨーク７８と、前記ヨーク７８と一
体的に上下動するとともに、変位終端において支持ロー
ラ４６を支点として傾動自在に設けられた変位ブロック
８０と、前記ヨーク７８と変位ブロック８０との間に介
装されたばね部材８４と、前記ヨーク７８に係止された
ピン部材９４と、前記変位ブロック８０の側面に形成さ
れ前記ピン部材９４が係合する係合用溝部９６とを設け
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、集積回路
（ＩＣ）やその部品等のワークを一方の真空処理室から
他方の真空処理室に移送する移送通路、または、圧力流
体、気体等の流通通路もしくは排気通路等を開閉するこ
とが可能なゲートバルブに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来から、例えば、半導体ウェハや液晶
基板等の処理装置においては、半導体ウェハや液晶基板
等を種々の処理室に通路を介して出し入れすることが行
われており、前記通路には、それぞれ、該通路を開閉す
るゲートバルブが設けられている。

【０００３】このゲートバルブは、例えば、特許第２６
１３１７１号公報（米国特許第５４１５３７６号、米国
特許第５６４１１４９号）に示されるように、シリンダ
の駆動作用下に変位する弁ロッドの直進運動によって弁
ディスクが弁座の対向位置に到達した後、前記弁ロッド
の傾動運動によって前記弁ディスクが弁座に押し付けら
れて着座することにより、弁箱に形成された通路が閉塞
されるように設けられている。

【０００４】すなわち、従来技術に係る前記ゲートバル
ブ１は、図１３および図１４に示されるように、ワーク
を出し入れする通路２が形成された弁箱３と、前記弁箱
３内に形成された弁座４に着座することにより前記通路
２を閉塞する弁ディスク５と、前記弁ディスク５に連結
されて上下動および傾動自在に設けられた弁ロッド６と
を有する。

【０００５】前記弁ロッド６の上部にはブロック７が連
結され、前記ブロック７の両側面には、一組のシリンダ
８ａ、８ｂのシリンダチューブ９の両側面にそれぞれ形
成されたガイド溝１０（図１５参照）に沿って変位する
枢軸１１が固着され、前記ブロック７は、枢軸１１が係
合するガイド溝１０の案内作用下に上下動および傾動す
るように設けられている。なお、前記シリンダチューブ
９、ブロック７および枢軸１１はそれぞれ金属製材料に
よって形成されている。

【０００６】換言すると、前記ブロック７は、枢軸１１
が係合するガイド溝１０の案内作用下に、引張ばね１２
を介してヨーク１３と一体的に上下方向に沿って直進運
動するとともに、前記ガイド溝１０の湾曲する下端部１
０ａ（図１５参照）によって支持された枢軸１１を支点
として矢印Ａ方向に傾動運動するように設けられてい
る。従って、前記弁ディスク５は、枢軸１１を支点とし
て矢印Ｂ方向に傾動して弁座４に着座することにより、
通路２が気密に閉塞される。

【０００７】なお、参照数字１４は、断面菱形の板状カ
ムを示し、傾斜した前記板状カム１４が略水平に変位す
ることにより、前記ブロック７がガイド溝１０の下端部
１０ａを支点として矢印Ａ方向に傾動するように設けら
れている。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
従来技術に係るゲートバルブでは、シリンダの側面に形
成されたガイド溝に沿ってブロックの枢軸が摺動変位す
るように設けられているため、長年の使用によって前記
枢軸が摩耗して変形してしまい、ガイド機能が低下する
という不具合がある。

【０００９】また、従来技術に係るゲートバルブでは、
弁ブロックの両側に枢軸を設けることにより部品点数が
多くなるとともに、シリンダの側面にガイド溝を切り欠
く工程が必要となり、製造コストが高騰するという不具
合がある。

【００１０】さらに、従来技術に係るゲートバルブで
は、金属製材料からなるシリンダチューブのガイド溝に
沿って金属製材料からなるブロックの枢軸が摺動変位す
ることにより塵埃等が発生する。換言すると、金属製材
料同士の摩擦によってダストが発生することによりクリ
ーンルーム等の清浄性が要求される環境では使用するこ
とができないという不具合がある。

【００１１】本発明は、前記の不具合を考慮してなされ
たものであり、ガイド手段を不要とすることにより部品
点数を削減して製造コストを低減し、しかも、塵埃等の
発生を抑制することにより清浄性が要求される環境で好
適に使用することが可能なゲートバルブを提供すること
を目的とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めに、本発明は、略平行に配設された複数の駆動機構を
有する駆動源と、前記複数の駆動機構の駆動軸にそれぞ
れ連結され、該複数の駆動機構の駆動作用下に軸線方向
に沿って変位するヨークと、前記ヨークと一体的に軸線
方向に沿って変位するとともに、軸線方向に沿った変位
終端において支持部材を支点として傾動自在に設けられ
た変位ブロックと、前記変位ブロックに連結された弁ロ
ッドを介して通路を開閉する弁ディスクと、前記ヨーク
と変位ブロックとを変位方向に沿って位置決めした状態
で一体的に保持する位置決め保持手段と、を備えること
を特徴とする。

【００１３】この場合、前記位置決め保持手段は、ヨー
クと変位ブロックとの間に介装されたばね部材と、保持
ブロックおよび保持プレートを介してヨークに係止され
たピン部材と、前記変位ブロックの側面に形成されピン
部材が係合する係合用溝部とを含み、あるいはヨークと
変位ブロックとの間に介装されたばね部材と、一端部が
前記ヨークの長孔に遊嵌され、他端部が前記変位ブロッ
クに固着された連結ピンとを含むように設けると好適で
ある。

【００１４】また、前記複数の駆動機構を、シリンダ室
に供給される圧力流体の作用下にピストンおよびピスト
ンロッドを軸線方向に沿って変位させる第１シリンダ機
構および第２シリンダ機構によって構成するとよい。

【００１５】さらに、前記支持部材は、変位ブロックの
一端部に回動自在に軸支された一組の支持ローラからな
り、前記支持ローラを、変位ブロックの変位終端位置に
おいて湾曲する凹部に係合するように設けるとよい。

【００１６】さらにまた、前記凹部に支持ローラが当接
したときの衝撃を吸収する第１緩衝部材を設け、また、
ピストンが下死点に到達した際、前記第１シリンダ機構
および第２シリンダ機構に前記ピストンに付与される衝
撃を吸収する第２緩衝部材を設け、しかも、弁ロッドの
外周面に形成された環状段部に接触してシールするシー
ル部材を設けると好適である。

【００１７】本発明によれば、複数の駆動機構の駆動作
用下に、位置決め保持手段を介してヨークと変位ブロッ
クとが変位方向に沿って位置決めされた状態で一体的に
軸線方向に沿って変位する。軸線方向に沿った変位終端
位置に到達した後、ヨークのみを軸線方向に沿ってさら
に変位させることにより、前記変位ブロックは支持部材
を支点として所定角度だけ傾動する。この結果、変位ブ
ロックに連結された弁ロッドが傾動し、弁ディスクによ
って通路が閉塞される。

【００１８】本発明では、ヨークと変位ブロックとを変
位方向に沿って位置決めした状態で一体的に保持する位
置決め保持手段を設けることにより、ガイド手段を不要
としたため、部品点数が削減される。

【００１９】

【発明の実施の形態】本発明に係るゲートバルブについ
て好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照しながら
以下詳細に説明する。

【００２０】図１において、参照数字２０は、本発明の
実施の形態に係るゲートバルブを示す。

【００２１】このゲートバルブ２０は、駆動部（駆動
源）２２と、前記駆動部２２の駆動作用下に上下方向に
沿って変位するとともに、前記上下方向と略直交する方
向に傾動する弁ロッド２４と、前記弁ロッド２４の一端
部に連結された略長方形状の弁ディスク２６とを有す
る。前記弁ロッド２４の略中央部の外周面には、下方側
に向かって徐々に拡径する環状段部２７が形成されてい
る（図３参照）。

【００２２】なお、前記駆動部２２の上部側には、図示
しないワークを出し入れするための通路２８が形成され
た弁箱３０が設けられ（図６および図７参照）、前記弁
箱３０の内壁面に形成された弁座３２に前記弁ディスク
２６が着座することにより、前記通路２８が気密に閉塞
される。前記弁ディスク２６には環状溝に沿ってシール
部材３４が装着され、前記シール部材３４によって弁デ
ィスク２６が弁座３２に着座した際の気密性が保持され
る。

【００２３】駆動部２２は、前記弁箱３０の底面に図示
しないねじ部材を介して固定される第１ベースプレート
３６および第２ベースプレート３８と、前記第２ベース
プレート３８に装着される有底筒状のケーシング４０
と、前記ケーシング４０内に略平行に配設され、同一構
成要素からなる第１シリンダ機構４２ａおよび第２シリ
ンダ機構４２ｂ（駆動機構）とを有する。

【００２４】図２に示されるように、第１ベースプレー
ト３６および第２ベースプレート３８の略中央部には、
弁ロッド２４が挿通するための断面略円形状の貫通孔４
４ａ、４４ｂがそれぞれ形成されている。また、第２ベ
ースプレート３８の下面部には、後述する支持ローラ
（支持部材）４６を支持するための断面半円状の凹部４
８が形成された一組の突起部４９ａ、４９ｂが所定間隔
離間して設けられている。前記貫通孔４４ａ、４４ｂの
直径は、弁ロッド２４の直径よりも大きく形成され、ま
た該貫通孔４４ｂには、弁ロッド２４の所定部分を被覆
するベローズ５０の一端部を保持するリング体５２が嵌
合される。

【００２５】第１ベースプレート３６と第２ベースプレ
ート３８との間には、図８に示されるように、弁ロッド
２４の外周面を囲繞するパッキン（シール部材）５１が
挟持され、前記パッキン５１は、一組のピストン６０
ａ、６０ｂが上昇した際、弁ロッド２４の環状段部２７
に接触してシール機能を営む。なお、前記パッキン５１
は、弁ロッド２４の環状段部２７を除いた他の外周面と
接触しないように設けられているため、摩擦による塵埃
の発生が阻止される。

【００２６】また、第２ベースプレート３８には、図２
および図３に示されるように、例えば、ウレタン樹脂ま
たはポリウレタン樹脂等の樹脂製材料によって形成され
た第１緩衝部材５３が孔部内に装着され、前記第１緩衝
部材５３は第１ベースプレート３６と第２ベースプレー
ト３８とによって挟持される。前記第１緩衝部材５３
は、支持ローラ４６が凹部４８に係合する際、前記支持
ローラ４６に当接して該支持ローラ４６の衝撃を吸収す
る機能を営む。

【００２７】前記第１シリンダ機構４２ａおよび第２シ
リンダ機構４２ｂは、それぞれ、同一構成要素から構成
されるため、第１シリンダ機構４２ａについて詳細に説
明し、第２シリンダ機構４２ｂについては同一の構成要
素に符号ｂを付してその詳細な説明を省略する。

【００２８】第１シリンダ機構４２ａは、図３に示され
るように、図示しない固定手段を介して第２ベースプレ
ート３８に固定されるシリンダチューブ５６ａと、前記
シリンダチューブ５６ａ内のシリンダ室５８に沿って変
位自在に収装されたピストン６０ａと、一端部が前記ピ
ストン６０ａに連結されたピストンロッド６４ａと、前
記シリンダチューブ５６ａに保持され、ピストンロッド
６４ａの外周面を囲繞するシール部材６６ａとを有す
る。

【００２９】前記ピストン６０ａの外周面には、該ピス
トン６０ａによって二分割された上部側シリンダ室５８
ａと下部側シリンダ室５８ｂとをそれぞれ気密に保持す
るピストンパッキン７０ａが装着されている。なお、前
記ピストン６０ａの底面部には、該ピストン６０ａが下
死点に到達した際の衝撃を吸収する図示しない第２緩衝
部材を設けてもよい。前記第２緩衝部材は、例えば、ウ
レタン樹脂、あるいはポリウレタン樹脂等の樹脂製材料
によって形成されると好適である。

【００３０】この場合、前記上部側シリンダ室５８ａお
よび下部側シリンダ室５８ｂには、圧力流体供給源（図
示せず）に接続された図示しないチューブを介して圧力
流体（例えば、圧縮空気）が供給され、図示しない切換
弁の切換作用下に上部側シリンダ室５８ａまたは下部側
シリンダ室５８ｂのいずれか一方に圧力流体が供給され
る。

【００３１】さらに、駆動部２２は、図２および図３に
示されるように、ロックナット７４を介して一組のピス
トンロッド６４ａ、６４ｂの他端部にそれぞれ固定さ
れ、長尺な板状に形成されたヨーク７８と、前記ヨーク
７８と一体的に変位する縦断面略Ｈ状に形成された変位
ブロック８０とを有する。

【００３２】図２および図３に示されるように、前記ヨ
ーク７８の略中央部には、後述するばね部材８４の一端
部が係着される略円形状の凹部８６が形成されている。
また、前記ヨーク７８には、略長円状に切り欠かれた長
孔８８ａ、８８ｂを有する一組の保持ブロック９０ａ、
９０ｂが所定間隔離間して固着され、前記長孔８８ａ、
８８ｂには、ピン部材９１を介して変位ブロック８０に
軸着されたローラ９２が係合するように設けられてい
る。なお、前記ローラ９２は、ピン部材９１を中心とし
て回動自在に軸支されている。

【００３３】さらに、前記一組の保持ブロック９０ａ、
９０ｂの上部には、それぞれ、ねじ部材を介して保持プ
レート９３が固定されている。前記保持プレート９３に
は孔部を介して一組のピン部材９４が嵌着され、前記ピ
ン部材９４の一端部は、変位ブロック８０の両側面に形
成された係合用溝部９６に係合するように設けられてい
る。

【００３４】図２および図３に示されるように、変位ブ
ロック８０の略中央部には、弁ロッド２４の他端部が嵌
挿される断面略円形状の孔部１００が形成され、前記弁
ロッド２４のねじ部に締結されるロックナット１０２を
介して前記弁ロッド２４が変位ブロック８０に固定され
る。前記変位ブロック８０とヨーク７８との間には、弁
ロッド２４とばね部材８４が介装され、前記ばね部材８
４の一端部は、前記ロックナット１０２に係着され、該
ばね部材８４の他端部は、ヨーク７８の凹部８６に係着
されている。

【００３５】なお、前記弁ロッド２４の他端部側には、
その外周面を被覆するベローズ５０が設けられ、前記ベ
ローズ５０の一端部は第２ベースプレート３８に保持さ
れたリング体５２に固着され、他端部は弁ロッド２４に
外嵌されたリング体１０４に固着されている。

【００３６】また、変位ブロック８０の両側面には、保
持ブロック９０ａ、９０ｂおよび保持プレート９３を介
してヨーク７８に係止されたピン部材９４の一端部が係
合する係合用溝部９６がそれぞれ形成されている。前記
係合用溝部９６の下端部９６ａにピン部材９４が係合す
ることにより、ヨーク７８と変位ブロック８０との上下
方向および前後方向（図３において、紙面と略直交する
方向）の位置ずれを防止し且つ上下方向に沿って所定間
隔離間した状態で位置決めされ、このように位置決めさ
れた状態で一体的に上下動する。そして、前記ピン部材
９４が係合用溝部９６の下端部９６ａから離脱し該係合
用溝部９６に沿って上昇することにより、弁ディスク２
６が傾動可能となる。

【００３７】さらに、二股に分岐した変位ブロック８０
の上部には、一組の支持ローラ４６が回動自在に軸支さ
れ、前記支持ローラ４６は、変位ブロック８０の変位終
端位置において第２ベースプレート３８の突起部４９
ａ、４９ｂに形成された湾曲する凹部４８に挿入され、
前記凹部４８に係合する支持ローラ４６を支点として、
弁ディスク２６、弁ロッド２４および変位ブロック８０
が所定角度θだけ傾動する。

【００３８】本発明の実施の形態に係るゲートバルブ２
０は、基本的には以上のように構成されるものであり、
次にその動作並びに作用効果について説明する。なお、
以下の説明では、一組のピストン６０ａ、６０ｂがそれ
ぞれシリンダ室５８の最下端にあり、弁箱３０に形成さ
れた通路２８が弁ディスク２６によって閉塞されていな
い開成状態を初期位置として説明する。

【００３９】この場合、前記初期位置では、ばね部材８
４の弾発力によってヨーク７８が下方側に向かって押圧
されているため、保持ブロック９０ａ、９０ｂおよび保
持プレート９３を介してヨーク７８に係止されたピン部
材９４が変位ブロック８０の係合用溝部９６の下端部９
６ａに保持された状態にある。また、前記初期位置で
は、保持ブロック９０ａ、９０ｂに形成された長孔８８
ａ、８８ｂの上部にローラ９２が係合した状態にある。

【００４０】前記初期位置において、圧力流体供給源
（図示せず）から図示しないチューブを介して第１シリ
ンダ機構４２ａおよび第２シリンダ機構４２ｂの下部側
シリンダ室５８ｂに圧力流体をそれぞれ供給する。前記
下部側シリンダ室５８ｂに供給された圧力流体の作用下
に一組のピストン６０ａ、６０ｂがそれぞれ上昇し、前
記ピストン６０ａ、６０ｂに連結された一組のピストン
ロッド６４ａ、６４ｂもそれぞれ上昇する。なお、この
場合、上部側シリンダ室５８ａは、図示しない切換弁の
作用下に大気開放状態にあるものとする。

【００４１】前記一組のピストンロッド６４ａ、６４ｂ
が略平行にそれぞれ上昇することにより、該ピストンロ
ッド６４ａ、６４ｂとともにヨーク７８、変位ブロック
８０、弁ロッド２４および弁ディスク２６が一体的に上
昇する。この場合、ヨーク７８はばね部材８４の弾発力
によって下方側に押圧された状態にあり、保持ブロック
９０ａ、９０ｂおよび保持プレート９３を介して前記ヨ
ーク７８に係止された一組のピン部材９４が変位ブロッ
ク８０の係合用溝部９６の下端部９６ａに保持されるこ
とにより、ヨーク７８と変位ブロック８０とは、それぞ
れ、上下方向および前後方向（図３において、紙面と略
直交する方向）の位置ずれを防止した所定位置に位置決
め保持された状態にある。従って、ヨーク７８および変
位ブロック８０は、前記所定位置に位置決め保持された
状態で一体的に上昇する。

【００４２】ピストンロッド６４ａ、６４ｂが略同時に
上昇して変位ブロック８０の一端部が第２ベースプレー
ト３８に当接することにより前記変位ブロック８０は変
位終端位置に到達し、弁ディスク２６は、通路２８の開
口部に対峙した状態となる（図６参照）。その際、変位
ブロック８０の上部に設けられた一組の支持ローラ４６
は、第２ベースプレート３８の突起部４９ａ、４９ｂに
形成された湾曲する凹部４８にそれぞれ係合するととも
に、第１緩衝部材５３に当接することによりその衝撃が
吸収される。

【００４３】変位ブロック８０が変位終端位置に到達し
た後、一組のピストンロッド６４ａ、６４ｂがさらにそ
れぞれ上昇することにより、該変位ブロック８０は、ヨ
ーク７８の長孔８８ａ、８８ｂに対するローラ９２の係
合作用下に、凹部４８に係合する支持ローラ４６を支点
として所定角度θだけ傾動し、弁ディスク２６が弁座３
２に着座することにより通路２８が閉塞される（図７参
照）。

【００４４】すなわち、変位ブロック８０が変位終端位
置に到達した後、ばね部材８４の弾発力に抗して一組の
ピストンロッド６４ａ、６４ｂをさらに略同時に上昇さ
せることによりヨーク７８のみが上昇し、その際、変位
ブロック８０は、ヨーク７８の両側面に形成された長孔
８８ａ、８８ｂに対するローラ９２の係合作用下に、支
持ローラ４６を支点として所定角度θだけ傾動する（図
７参照）。なお、変位ブロック８０が支持ローラ４６を
支点として所定角度傾動する際、ヨーク７８に係止され
たピン部材９４は、変位ブロック８０の係合用溝部９６
の下端部９６ａから離脱し該係合用溝部９６に沿って上
昇する。

【００４５】従って、弁ロッド２４を介して変位ブロッ
ク８０に固定された弁ディスク２６は、前記変位ブロッ
ク８０が所定角度θだけ傾動することにより、通路２８
から所定間隔離間して対峙した状態から通路２８側に向
かって略水平に変位する。この結果、弁ディスク２６に
設けられたシール部材３４が弁座３２に着座して通路２
８が気密に閉塞される。

【００４６】次に、弁ディスク２６を弁座３２から離間
させて通路２８を開成する場合には、図示しない切換弁
の切換作用下に第１シリンダ機構４２ａおよび第２シリ
ンダ機構４２ｂの上部側シリンダ室５８ａに圧力流体を
それぞれ供給することにより一組のピストン６０ａ、６
０ｂが略同時に下降し、ピストンロッド６４ａ、６４
ｂ、ヨーク７８および変位ブロック８０が一体的に下降
することにより、初期位置に復帰する。なお、この場
合、下部側シリンダ室５８ｂは、図示しない切換弁の作
用下に大気開放状態にある。

【００４７】すなわち、変位ブロック８０が長孔８８
ａ、８８ｂに対するローラ９２の係合作用下に前記とは
反対方向に向かって所定角度θだけ傾動して弁ディスク
２６が確実に弁座３２から離間した後、係合用溝部９６
に対するピン部材９４の係合作用下に、一組のピストン
ロッド６４ａ、６４ｂと一体的にヨーク７８および変位
ブロック８０が下降することにより初期位置に復帰す
る。その際、ピストン６０ａ、６０ｂの底面部に設けら
れた図示しない第２緩衝部材によって該ピストン６０
ａ、６０ｂが下死点に到達したときの衝撃を吸収すると
よい。

【００４８】本実施の形態では、保持ブロック９０ａ、
９０ｂおよび保持プレート９３を介してヨーク７８に係
止されたピン部材９４を変位ブロック８０の係合用溝部
９６に係合させることにより、前記ヨーク７８と前記変
位ブロック８０とを上下方向に沿った所定位置に位置決
めした状態で保持し、両者が一体的に上下動するように
設けられている。従って、本実施の形態では、ヨーク７
８および変位ブロック８０を上下動させる際に前記ヨー
ク７８および変位ブロック８０を案内するガイド手段を
設ける必要がないため、従来技術と比較して部品点数を
削減して製造コストを低減することができる。

【００４９】また、本実施の形態では、従来技術のよう
にシリンダチューブ９の側面にガイド溝１０（図１４参
照）を切り欠く工程を省略することにより、製造工程を
簡素化して製造コストを低減することができる。

【００５０】さらに、本実施の形態では、従来技術のよ
うにガイド溝１０に沿って摺動変位する際に塵埃等を発
生させるガイド手段を設けていないため、塵埃等の発生
を抑制することにより、例えば、クリーンルーム等の清
浄性が要求される環境で好適に使用することができる。

【００５１】次に、本発明の他の実施の形態に係るゲー
トバルブ１１０を図９乃至図１２に示す。なお、図１に
示す前記の実施の形態に係るゲートバルブ２０と同一の
構成要素には同一の参照符号を付し、その詳細な説明を
省略する。

【００５２】この他の実施の形態に係るゲートバルブ１
１０では、前記実施の形態に係るゲートバルブ２０を構
成するヨーク７８に係止されたピン部材９４と変位ブロ
ック８０の両側面に形成された係合用溝部９６とに代替
して、前記ヨーク７８および変位ブロック８０をそれぞ
れ上下方向および前後方向の位置ずれがない所定位置に
位置決めした状態で一体的に保持する一組の連結ピン１
１２ａ、１１２ｂが設けられている点に特徴がある。

【００５３】前記一組の連結ピン１１２ａ、１１２ｂ
は、それぞれ、一端部が変位ブロック８０の底面部にね
じ締結されて固定され、他端部がヨーク７８の長孔１１
４内にクリアランスを介して遊嵌されている。従って、
連結ピン１１２ａ、１１２ｂの他端部は、長孔１１４に
沿って変位自在に設けられている。また、断面テーパ状
に形成された前記連結ピン１１２ａ、１１２ｂの頭部
は、長孔１１４に形成されたテーパ部１１６によって係
止されるように設けられている。

【００５４】この場合、ヨーク７８はばね部材８４の弾
発力によって下方側に押圧された状態にあり、前記ヨー
ク７８の底面に固着された一組の連結ピン１１２ａ、１
１２ｂの頭部が変位ブロック８０の長孔１１４のテーパ
部１１６に係止されることにより、ヨーク７８と変位ブ
ロック８０とが共に所定間隔離間した上下方向等に沿っ
た所定位置に位置決めされた状態で保持される。従っ
て、ヨーク７８および変位ブロック８０は、前記位置決
め保持された状態で一体的に上下動する。

【００５５】なお、変位ブロック８０が変位終端位置に
到達した後、ヨーク７８はばね部材８４の弾発力に抗し
てさらに上昇し、その際、連結ピン１１２ａ、１１２ｂ
の頭部がヨーク７８の長孔１１４から抜け出して突出す
ることにより、変位ブロック８０は支持ローラ４６を支
点として所定角度θだけ傾動する（図１２参照）。

【００５６】他の実施の形態では、一組の連結ピン１１
２ａ、１１２ｂという簡素な構造によってヨーク７８と
変位ブロック８０とを上下方向に沿った所定位置に位置
決めした状態で保持することができ、より一層製造コス
トを低減することができる。

【００５７】その他の構成並びに作用効果は、前記実施
の形態と同一であるため、その詳細な説明を省略する。

【００５８】なお、本発明の実施の形態では、複数の駆
動機構として圧力流体の作用下にピストン６０ａ、６０
ｂおよびピストンロッド６４ａ、６４ｂを一体的に変位
させる第１シリンダ機構４２ａおよび第２シリンダ機構
４２ｂを用いて説明しているが、これに限定されるもの
ではなく、前記複数の駆動機構として、例えば、図示し
ないリニアアクチュエータ、回転駆動源、または電動ア
クチュエータ等を用いてもよいことは勿論である。

【００５９】

【発明の効果】本発明によれば、以下の効果が得られ
る。

【００６０】すなわち、ヨークと変位ブロックとを位置
決めした状態で一体的に保持する位置決め保持手段を設
けることにより、ガイド手段を不要としたため、部品点
数を削減して製造コストを低減することができる。

【００６１】また、ガイド溝を切り欠く工程を省略する
ことができることから、製造工程が簡素化され、より一
層製造コストを低減することができる。

【００６２】さらに、塵埃の発生を抑制することによ
り、クリーンルーム等の清浄性が要求される環境で好適
に使用することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態に係るゲートバルブの概略
斜視図である。

【図２】図１に示すゲートバルブの分解斜視図である。

【図３】前記ゲートバルブの軸線方向に沿った縦断面図
である。

【図４】図３のＩＶ−ＩＶ線に沿った横断面図である。

【図５】図３のＶ−Ｖ線に沿った横断面図である。

【図６】図３のＶＩ−ＶＩ線に沿った縦断面図である。

【図７】図６に示す状態から弁ロッドが角度θだけ傾動
して弁ディスクが弁座に着座した状態を示す縦断面図で
ある。

【図８】弁ロッドをシールするパッキンを示す部分拡大
縦断面図である。

【図９】本発明の他の実施の形態に係るゲートバルブの
軸線方向に沿った縦断面図である。

【図１０】図９のＸ−Ｘ線に沿った横断面図である。

【図１１】図９のＸＩ−ＸＩ線に沿った縦断面図であ
る。

【図１２】図１１に示す状態から弁ロッドが角度θだけ
傾動して弁ディスクが弁座に着座した状態を示す縦断面
図である。

【図１３】従来技術に係るゲートバルブの軸線方向に沿
った縦断面図である。

【図１４】図１３に示すゲートバルブの軸線方向に沿っ
た縦断面図である。

【図１５】図１３に示すゲートバルブを構成するシリン
ダチューブの斜視図である。

【符号の説明】

２０、１１０…ゲートバルブ ２２…駆動部 ２４…弁ロッド ２６…弁ディスク ２８…通路 ３０…弁箱 ３２…弁座 ３６、３８…ベー
スプレート ４０…ケーシング ４２ａ、４２ｂ…
シリンダ機構 ４４ａ、４４ｂ…貫通孔 ４６…支持ローラ ４８、８６…凹部 ５０…ベローズ ５１…パッキン ５３…緩衝部材 ５６ａ、５６ｂ…シリンダチューブ ５８、５８ａ、５
８ｂ…シリンダ室 ６０ａ、６０ｂ…ピストン ６４ａ、６４ｂ…
ピストンロッド ７０ａ、７０ｂ…ピストンパッキン ７８…ヨーク ８０…変位ブロック ８４…ばね部材 ８８ａ、８８ｂ、１１４…長孔 ９０ａ、９０ｂ…
保持ブロック ９１、９４…ピン部材 ９２…ローラ ９３…保持プレート ９６…係合用溝部 １１２ａ、１１２ｂ…連結ピン

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 神坂 育男 茨城県筑波郡谷和原村絹の台４−２−２ エスエムシー株式会社筑波技術センター内 Ｆターム(参考） 3H053 AA25 AA31 BD10 DA09 DA12 3H076 AA40 BB10 BB26 BB41 BB43 BB50 CC41 CC51

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】略平行に配設された複数の駆動機構を有す
   る駆動源と、 前記複数の駆動機構の駆動軸にそれぞれ連結され、該複
   数の駆動機構の駆動作用下に軸線方向に沿って変位する
   ヨークと、 前記ヨークと一体的に軸線方向に沿って変位するととも
   に、軸線方向に沿った変位終端において支持部材を支点
   として傾動自在に設けられた変位ブロックと、 前記変位ブロックに連結された弁ロッドを介して通路を
   開閉する弁ディスクと、 前記ヨークと変位ブロックとを変位方向に沿って位置決
   めした状態で一体的に保持する位置決め保持手段と、 を備えることを特徴とするゲートバルブ。
2. 【請求項２】請求項１記載のゲートバルブにおいて、 前記位置決め保持手段は、ヨークと変位ブロックとの間
   に介装されたばね部材と、保持ブロックおよび保持プレ
   ートを介して前記ヨークに係止されたピン部材と、前記
   変位ブロックの側面に形成されピン部材が係合する係合
   用溝部とを含むことを特徴とするゲートバルブ。
3. 【請求項３】請求項１記載のゲートバルブにおいて、 前記位置決め保持手段は、ヨークと変位ブロックとの間
   に介装されたばね部材と、一端部が前記ヨークの長孔に
   遊嵌され、他端部が前記変位ブロックに固着された連結
   ピンとを含むことを特徴とするゲートバルブ。
4. 【請求項４】請求項１乃至３のいずれか１項に記載のゲ
   ートバルブにおいて、 前記複数の駆動機構は、シリンダ室に供給される圧力流
   体の作用下にピストンおよびピストンロッドを軸線方向
   に沿って変位させる第１シリンダ機構および第２シリン
   ダ機構からなることを特徴とするゲートバルブ。
5. 【請求項５】請求項１記載のゲートバルブにおいて、 前記支持部材は、変位ブロックの一端部に回動自在に軸
   支された一組の支持ローラからなり、前記支持ローラ
   は、変位ブロックの変位終端位置において湾曲する凹部
   に係合するように設けられていることを特徴とするゲー
   トバルブ。
6. 【請求項６】請求項５記載のゲートバルブにおいて、 前記凹部には、支持ローラが当接したときの衝撃を吸収
   する第１緩衝部材が設けられることを特徴とするゲート
   バルブ。
7. 【請求項７】請求項４記載のゲートバルブにおいて、 前記第１シリンダ機構および第２シリンダ機構には、そ
   れぞれ、ピストンが下死点に到達した際、前記ピストン
   に付与される衝撃を吸収する第２緩衝部材が設けられる
   ことを特徴とするゲートバルブ。
8. 【請求項８】請求項４記載のゲートバルブにおいて、 前記弁ロッドには、該弁ロッドの外周面に形成された環
   状段部に接触してシールするシール部材が設けられるこ
   とを特徴とするゲートバルブ。