JP2003021244A - ゲートバルブ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】変位部材を保持することにより、前記変位部材
の円滑な直線運動を確保することにある。 【解決手段】レバー部材７８に連結された摺動プレート
８１が変位部材８０の外側面に装着された保持プレート
８５に接触した状態で一体的に変位することにより、変
位部材８０が保持されて該変位部材８０の直線運動が確
保される。この結果、例えば、組み付け誤差または製造
誤差等があった場合であっても、前記変位部材８０の直
線精度が確保され前記誤差に起因してガタ等が発生する
ことを防止することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、集積回路
（ＩＣ）やその部品等のワークを一方の真空処理室から
他方の真空処理室に移送する移送通路、または、圧力流
体、気体等の流通通路もしくは排気通路等を開閉するこ
とが可能なゲートバルブに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来から、例えば、半導体ウェハや液晶
基板等の処理装置においては、半導体ウェハや液晶基板
等を種々の処理室に通路を介して出し入れすることが行
われており、前記通路には、それぞれ、該通路を開閉す
るゲートバルブが設けられている。

【０００３】このゲートバルブは、例えば、特許第２６
１３１７１号公報（米国特許第５４１５３７６号、米国
特許第５６４１１４９号）に示されるように、シリンダ
の駆動作用下に変位する弁ロッドの直進運動によって弁
ディスクが弁座の対向位置に到達した後、前記弁ロッド
の傾動運動によって前記弁ディスクが弁座に押し付けら
れて着座することにより、弁箱に形成された通路が閉塞
されるように設けられている。

【０００４】従来技術に係るゲートバルブでは、シリン
ダの側面に形成されたガイド溝に沿ってブロックの枢軸
が摺動変位するように設けられているため、長年の使用
によって前記枢軸が摩耗して変形してしまい、ガイド機
能が低下するという不具合がある。

【０００５】そこで、本出願人は、ガイド手段を不要と
することにより部品点数を削減して製造コストを低減
し、しかも、塵埃等の発生を抑制することにより清浄性
が要求される環境で好適に使用することが可能なゲート
バルブを提案している（特開２０００−３５６２７１号
公報）。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、前記提案に
関連してなされたものであり、駆動源の駆動作用下に第
１変位部材と一体的に第２変位部材が変位する際、保持
部材を介して前記第２変位部材を保持することにより円
滑な直線運動を遂行させることが可能なゲートバルブを
提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めに、本発明は、駆動源と、前記駆動源の駆動軸に連結
され、該駆動源の駆動作用下に軸線方向に沿って変位す
る第１変位部材と、前記第１変位部材と一体的に軸線方
向に沿って変位するとともに、軸線方向に沿った変位終
端において支持部材を支点として傾動自在に設けられた
第２変位部材と、前記第２変位部材に連結された弁ロッ
ドを介して通路を開閉する弁ディスクと、前記第２変位
部材の外側面に装着され、一部が前記外側面よりも僅か
に突出するように設けられた保持プレートと、前記第１
変位部材と一体的に変位するように設けられ、前記保持
プレートに接触することにより、前記第２変位部材の直
線運動を確保する保持部材と、を備えることを特徴とす
る。

【０００８】この場合、前記保持プレートに対して潤滑
油を保持する潤滑溝が形成されることにより潤滑性が付
与され、保持プレートの摺動摩擦を減少させて摩耗を抑
制することができて好適である。

【０００９】本発明によれば、保持部材が第２変位部材
の外側面に装着された保持プレートに接触した状態で第
１変位部材と第２変位部材とが一体的に変位する。従っ
て、保持プレートを介して第２変位部材が保持されて該
第２変位部材の直線運動が確保される。この結果、例え
ば、第２変位部材の組み付け誤差または製造誤差等があ
った場合であっても、前記第２変位部材の直線精度が確
保され前記誤差に起因してガタ等が発生することがな
い。

【００１０】

【発明の実施の形態】本発明に係るゲートバルブについ
て好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照しながら
以下詳細に説明する。

【００１１】図１において、参照数字２０は、本発明の
実施の形態に係るゲートバルブを示す。

【００１２】このゲートバルブ２０は、駆動部２２と、
前記駆動部２２の駆動作用下に上下方向に沿って変位す
るとともに、前記上下方向と略直交する方向に傾動する
一組の弁ロッド２４ａ、２４ｂと、前記弁ロッド２４
ａ、２４ｂの一端部に連結された略長方形状の弁ディス
ク２６とを有する。前記弁ロッド２４ａ、２４ｂの一端
側および略中央部の外周面には、それぞれ、環状段部２
７ａ、２７ｂが形成されている（図３参照）。

【００１３】なお、前記駆動部２２の上部側には、図示
しないワークを出し入れするための通路２８が形成され
た弁箱３０が設けられ（図７および図８参照）、前記弁
箱３０の内壁面に形成された弁座３２に前記弁ディスク
２６が着座することにより、前記通路２８が気密に閉塞
される。前記弁ディスク２６には環状溝に沿ってシール
部材３４が装着され、前記シール部材３４によって弁デ
ィスク２６が弁座３２に着座した際の気密性が保持され
る。

【００１４】駆動部２２は、前記弁箱３０の底面にねじ
部材３６（図３参照）を介して固定されたベースプレー
ト３８と、前記ベースプレート３８に装着される有底筒
状のケーシング４０と、前記ケーシング４０内に配設さ
れたシリンダ機構（駆動源）４２とを有する。

【００１５】前記ベースプレート３８には、図２に示さ
れるように、一組の弁ロッド２４ａ、２４ｂを挿通する
ための断面略円形状の一組の貫通孔４４ａ、４４ｂが形
成され、また、その下面部には、後述する支持ローラ４
６を支持するための断面半円状の凹部４８（図１参照）
が形成されている。前記貫通孔４４ａ、４４ｂの直径
は、弁ロッド２４ａ、２４ｂの直径よりも若干大きく形
成され、また該貫通孔４４ａ、４４ｂには、弁ロッド２
４ａ、２４ｂの所定部分を被覆するベローズ５０の一端
部を保持するリング体５２が嵌合される。

【００１６】前記ベローズ５０と弁箱３０との間には、
図９に示されるように、弁ロッド２４ａ、２４ｂの外周
面を囲繞するパッキン５１が挟持され、前記パッキン５
１は、ピストン６０が変位終端位置である上死点または
下死点に到達した際、弁ロッド２４ａ、２４ｂの上部側
の環状段部２７ａまたは下部側の環状段部２７ｂに接触
してシール機能を営む。なお、前記パッキン５１は、ピ
ストン６０が上死点と下死点との間にあるとき、弁ロッ
ド２４ａ、２４ｂの外周面と接触しないように設けられ
ているため、摩擦による塵埃の発生が阻止される。

【００１７】また、前記ベースプレート３８には、図１
０に示されるように、例えば、ウレタン樹脂またはポリ
ウレタン樹脂等の樹脂製材料によって形成された第１緩
衝部材５３が孔部内に装着され、前記第１緩衝部材５３
は金具５５および止め輪５７を介して孔部内に固定され
る。前記第１緩衝部材５３は、支持ローラ４６が凹部４
８に係合する際、前記支持ローラ４６に当接して該支持
ローラ４６の衝撃を吸収する機能を営む。

【００１８】前記シリンダ機構４２は、図３に示される
ように、両側面に外方に向かって突出する凸部５４（図
２参照）が形成され、図示しないねじ部材を介して前記
ベースプレート３８に一端部が固定されるシリンダチュ
ーブ５６と、前記シリンダチューブ５６内のシリンダ室
５８に沿って変位自在に収装されたピストン６０と、一
端部が前記ピストン６０に連結され、外周面に軸線方向
に沿って延在するスプライン溝６２が形成されたピスト
ンロッド６４と、前記シリンダチューブ５６に固定さ
れ、前記ピストンロッド６４のスプライン溝６２に係合
する複数のボール６６が設けられたスプライン軸受部材
６８とを有する。

【００１９】前記ピストン６０の外周面には、該ピスト
ン６０によって二分割された上部側シリンダ室５８ａと
下部側シリンダ室５８ｂとをそれぞれ気密に保持するピ
ストンパッキン７０が装着され、また前記ピストンパッ
キン７０に近接する底面部には、ピストン６０が下死点
に到達した際、前記スプライン軸受部材６８の上端部に
当接し、その衝撃を吸収する第２緩衝部材７２が装着さ
れている。第２緩衝部材７２は、例えば、ウレタン樹
脂、あるいはポリウレタン樹脂等の樹脂製材料によって
形成されると好適である。

【００２０】なお、前記上部側シリンダ室５８ａおよび
下部側シリンダ室５８ｂには、圧力流体供給源（図示せ
ず）に接続された図示しないチューブを介して圧力流体
（例えば、圧縮空気）が供給され、図示しない切換弁の
切換作用下に上部側シリンダ室５８ａまたは下部側シリ
ンダ室５８ｂのいずれか一方に圧力流体が供給される。

【００２１】さらに、駆動部２２は、図２および図３に
示されるように、ロックナット７４およびスペーサ７６
を介してピストンロッド６４の他端部に固定されるレバ
ー部材（第１変位部材）７８と、前記レバー部材７８と
一体的に変位する変位部材（第２変位部材）８０とを有
する。

【００２２】前記レバー部材７８の屈曲する両端面に
は、図２および図１１に示されるように、ねじ部材７９
を介して摺動プレート（保持部材）８１が装着される。
前記摺動プレート８１には、変位部材８０の幅広な外側
面と略平行となるように折曲した一組の折曲部８３ａ、
８３ｂが形成され、前記折曲部８３ａ、８３ｂの内壁面
は、変位部材８０の外側面に装着された保持プレート８
５と接触するように設けられる（図３参照）。前記保持
プレート８５は、変位部材８０の外側面に形成された略
長円状の溝部８７内に固着され、且つ該保持プレート８
５の一部は、変位部材８０の外側面から僅かに突出して
摺動プレート８１の内壁面と摺接するように設けられ
る。

【００２３】前記保持プレート８５は、例えば、樹脂製
材料または金属製材料からなり、その表面には、図１２
に示されるように、潤滑油を蓄積するための複数の潤滑
溝８９ａ、８９ｂが形成されている。

【００２４】前記摺動プレート８１の折曲部８３ａ、８
３ｂの下部側には、横方向に向かって所定長だけ突出す
る一組の突出片８２ａ、８２ｂが形成され、前記突出片
８２ａ、８２ｂには、後述するばね部材８４の一端部が
係着される略円形状の係着部材８６が設けられている。

【００２５】前記レバー部材７８の相互に対向する両側
面には略長円状に切り欠かれた長溝８８ａ、８８ｂがそ
れぞれ形成され、前記長溝８８ａ、８８ｂにはピン部材
９０を介して変位部材８０に固定されたローラ９２が係
合するように設けられている。

【００２６】また、前記変位部材８０の両側面には小孔
９３を介して一組のピン部材９４が嵌着され、前記ピン
部材９４の一端部は、前記摺動プレート８１の両側面に
形成された係合用孔部９６に係合するように設けられて
いる（図２および図１１参照）。

【００２７】図２および図３に示されるように、変位部
材８０の略平行に延在する両側面には、横方向に向かっ
て所定長だけ突出する一組のフランジ部９８ａ、９８ｂ
が形成されている。前記フランジ部９８ａ、９８ｂに
は、弁ロッド２４ａ、２４ｂの他端部が嵌挿される断面
略円形状の孔部１００が形成され、前記弁ロッド２４
ａ、２４ｂのねじ部に締結されるロックナット１０２を
介して前記弁ロッド２４ａ、２４ｂが変位部材８０に固
定される。

【００２８】前記変位部材８０の一組のフランジ部９８
ａ、９８ｂと摺動プレート８１の一組の突出片８２ａ、
８２ｂとの間には、それぞれ、ばね部材８４が介装さ
れ、前記ばね部材８４の一端部は、フランジ部９８ａ、
９８ｂに固定される弁ロッド２４ａ、２４ｂの一端部に
係着され、該ばね部材８４の他端部は、突出片８２ａ、
８２ｂの円形状の係着部材８６に係着されている。

【００２９】この場合、前記変位部材８０の内壁面とシ
リンダチューブ５６の外壁面とは、図３に示されるよう
に、クリアランスＣを介して所定間隔離間するように設
けられ、該変位部材８０とシリンダチューブ５６とは非
接触状態に構成されている。

【００３０】なお、前記弁ロッド２４ａ、２４ｂの他端
部には、その外周面を被覆するようにベローズ５０が設
けられ、前記ベローズ５０の一端部はベースプレート３
８に保持されたリング体５２に回動自在に連結され、他
端部は弁ロッド２４ａ、２４ｂに外嵌されたリング体１
０４に固着されている。

【００３１】また、レバー部材７８に連結された摺動プ
レート８１の両側面には、変位部材８０に係止されたピ
ン部材９４の一端部が係合する係合用孔部９６がそれぞ
れ形成されている。前記係合用孔部９６の上端部９６ａ
にピン部材９４が係合することにより、レバー部材７８
と変位部材８０とが上下方向および前後方向（図３にお
いて、紙面と略直交する方向）の位置ずれを防止し且つ
上下方向に沿って所定間隔離間した状態で位置決めさ
れ、このように位置決めされた状態で一体的に上下動す
る。そして、前記ピン部材９４が係合用孔部９６の上端
部９６ａから離脱して下端部９６ｂ（図２参照）に向か
って変位することにより、弁ディスク２６が傾動可能と
なる。

【００３２】さらに、二股に分岐した変位部材８０の上
部には、一組の支持ローラ４６が回動自在に軸支され、
前記支持ローラ４６は、変位部材８０の変位終端位置に
おいてベースプレート３８の湾曲する凹部４８に挿入さ
れ（図１参照）、前記凹部４８に係合する支持ローラ４
６を支点として、弁ディスク２６、弁ロッド２４ａ、２
４ｂおよび変位部材８０が所定角度θだけ傾動する（図
８参照）。

【００３３】さらにまた、変位部材８０の下部には、ピ
ストンロッド６４が挿通し断面長円状からなる長孔１０
６が形成され、前記変位部材８０が傾動する際、前記ピ
ストンロッド６４が長孔１０６に沿って変位するように
設けられている（図５参照）。

【００３４】本発明の実施の形態に係るゲートバルブ２
０は、基本的には以上のように構成されるものであり、
次にその動作並びに作用効果について説明する。なお、
以下の説明では、ピストン６０がシリンダ室５８の最下
端位置（下死点）にあり、弁箱３０に形成された通路２
８が弁ディスク２６によって閉塞されていない開成状態
を初期位置として説明する。

【００３５】この場合、前記初期位置では、ばね部材８
４の弾発力によってレバー部材７８が下方側に向かって
押圧されているため、レバー部材７８に固着されたピン
部材９４が変位部材８０の係合用孔部９６の上端部９６
ａに保持された状態にある。また、前記初期位置では、
レバー部材７８の両側面に形成された長溝８８ａ、８８
ｂの上部側にローラ９２が係合した状態にある。

【００３６】前記初期位置において、圧力流体供給源
（図示せず）から図示しないチューブを介して下部側シ
リンダ室５８ｂに圧力流体を供給する。下部側シリンダ
室５８ｂに供給された圧力流体の作用下にピストン６０
が上昇し、前記ピストン６０に連結されたピストンロッ
ド６４も上昇する。なお、この場合、上部側シリンダ室
５８ａは、図示しない切換弁の作用下に大気開放状態に
あるものとする。

【００３７】前記ピストンロッド６４が上昇することに
より、該ピストンロッド６４とともにレバー部材７８、
摺動プレート８１、変位部材８０、弁ロッド２４ａ、２
４ｂおよび弁ディスク２６が一体的に上昇する。この場
合、レバー部材７８は摺動プレート８１の突出片８２
ａ、８２ｂを介して付与されるばね部材８４の弾発力に
よって下方側に押圧された状態にあり、変位部材８０の
両側面に固着された一組のピン部材９４が摺動プレート
８１の係合用孔部９６の上端部９６ａに保持されること
により、レバー部材７８と変位部材８０とは、それぞ
れ、上下方向および前後方向（図３において、紙面と略
直交する方向）の位置ずれを防止した所定位置に位置決
め保持された状態にある。

【００３８】さらに、ピストンロッド６４が上昇する
際、レバー部材７８に連結された摺動プレート８１が変
位部材８０の外側面に装着された保持プレート８５に接
触することにより、変位部材８０が保持されて該変位部
材８０の直線運動が確保される。換言すると、レバー部
材７８に連結された摺動プレート８１が保持プレート８
５に接触した状態で該レバー部材７８と変位部材８０と
が一体的に変位することにより、例えば、組み付け誤差
または製造誤差等があった場合であっても、前記変位部
材８０の直線精度が確保され前記誤差に起因してガタ等
が発生することを防止することができる。

【００３９】従って、レバー部材７８、摺動プレート８
１および変位部材８０は、前記所定位置に位置決め保持
された状態で一体的に上昇するとともに、変位部材８０
の直線精度が確保される。

【００４０】ピストンロッド６４が上昇する際、前記ピ
ストンロッド６４に形成されたスプライン溝６２に沿っ
て複数のボール６６が転動して循環するとともに、該ピ
ストンロッド６４はシリンダチューブ５６に固着された
スプライン軸受部材６８によって周方向の回転が阻止さ
れて回り止めがなされている。

【００４１】ピストンロッド６４が上昇して変位部材８
０の支持ローラ４６がベースプレート３８の凹部４８に
当接することにより前記変位部材８０は変位終端位置に
到達し、弁ディスク２６は、通路２８の開口部に対峙し
た状態となる（図７参照）。その際、変位部材８０の上
部に設けられた支持ローラ４６は、ベースプレート３８
の湾曲する凹部４８に係合するとともに、第１緩衝部材
５３に当接することによりその衝撃が吸収される。

【００４２】変位部材８０が変位終端位置に到達した
後、ピストンロッド６４がさらに上昇することにより、
該変位部材８０は、レバー部材７８の長溝８８ａ、８８
ｂに対するローラ９２の係合作用下に、凹部４８に係合
する支持ローラ４６を支点として所定角度θだけ傾動
し、弁ディスク２６が弁座３２に着座することにより通
路２８が閉塞される（図８参照）。

【００４３】すなわち、変位部材８０が変位終端位置に
到達した後、ばね部材８４の弾発力に抗してピストンロ
ッド６４をさらに上昇させることによりレバー部材７８
および摺動プレート８１のみが上昇し、その際、変位部
材８０は、レバー部材７８の両側面に形成された長溝８
８ａ、８８ｂに対するローラ９２の係合作用下に、支持
ローラ４６を支点として所定角度θだけ傾動する（図８
参照）。なお、変位部材８０が支持ローラ４６を支点と
して傾動する際、変位部材８０の両側面に固着されたピ
ン部材９４は、摺動プレート８１の係合用孔部９６の上
端部９６ａから離脱して下端部９６ｂに向かって変位す
る。

【００４４】従って、弁ロッド２４ａ、２４ｂを介して
変位部材８０に固定された弁ディスク２６は、前記変位
部材８０が所定角度θだけ傾動することにより、通路２
８から所定間隔離間して対峙した状態から通路２８側に
向かって略水平に変位する。この結果、弁ディスク２６
に設けられたシール部材３４が弁座３２に着座して通路
２８が気密に閉塞される。

【００４５】次に、弁ディスク２６を弁座３２から離間
させて通路２８を開成する場合には、図示しない切換弁
の切換作用下に上部側シリンダ室５８ａに圧力流体を供
給することによりピストン６０が下降し、ピストンロッ
ド６４、レバー部材７８、摺動プレート８１および変位
部材８０が一体的に下降することにより、初期位置に復
帰する。なお、この場合、下部側シリンダ室５８ｂは、
図示しない切換弁の作用下に大気開放状態にある。

【００４６】すなわち、変位部材８０が長溝８８ａ、８
８ｂに対するローラ９２の係合作用下に前記とは反対方
向に向かって所定角度θだけ傾動した後、ピストンロッ
ド６４と一体的にレバー部材７８、摺動プレート８１お
よび変位部材８０が下降することにより初期位置に復帰
する。その際、ピストン６０の底面部に設けられた第２
緩衝部材７２によって該ピストン６０が下死点に到達し
たときの衝撃が吸収される。

【００４７】本実施の形態では、レバー部材７８に連結
された摺動プレート８１が変位部材８０の外側面に装着
された保持プレート８５に接触することにより、変位部
材８０が保持されて該変位部材８０の直線運動が確保さ
れる。この結果、例えば、組み付け誤差または製造誤差
等があった場合であっても、前記変位部材８０の直線精
度が確保され前記誤差に起因してガタ等が発生すること
を防止することができる。

【００４８】また、本実施の形態では、レバー部材７８
の両側面に固着されたピン部材９４を変位部材８０の係
合用孔部９６に係合させることにより、前記レバー部材
７８と前記変位部材８０とを上下方向および前後方向に
位置ずれがない所定位置に位置決めした状態で保持し、
両者が一体的に上下動するように設けられている。

【００４９】従って、本実施の形態では、レバー部材７
８および変位部材８０を上下動させる際に前記レバー部
材７８および変位部材８０を案内するガイド手段が不要
となり、従来技術と比較して部品点数を削減して製造コ
ストを低減することができる。

【００５０】さらに、本実施の形態では、従来技術のよ
うにガイド溝に沿って摺動変位する際に塵埃等を発生さ
せるガイド手段を設けていないため、塵埃等の発生を抑
制することにより、例えば、クリーンルーム等の清浄性
が要求される環境で好適に使用することができる。

【００５１】なお、本発明の実施の形態では、駆動源と
して圧力流体の作用下にピストン６０およびピストンロ
ッド６４を一体的に変位させるシリンダ機構４２を用い
て説明しているが、これに限定されるものではなく、前
記駆動源として、例えば、図示しないリニアアクチュエ
ータ、または電動アクチュエータ等を用いてもよいこと
は勿論である。

【００５２】

【発明の効果】本発明によれば、以下の効果が得られ
る。

【００５３】すなわち、第１変位部材と一体的に第２変
位部材が変位する際、保持部材が第２変位部材の外側面
に装着された保持プレートに接触することにより、第２
変位部材が保持されて該第２変位部材の直線運動が確保
される。従って、例えば、組み付け誤差または製造誤差
等があった場合であっても、前記第２変位部材の直線精
度が確保され前記誤差に起因してガタ等が発生すること
を防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態に係るゲートバルブの概略
斜視図である。

【図２】図１に示すゲートバルブの分解斜視図である。

【図３】前記ゲートバルブの軸線方向に沿った縦断面図
である。

【図４】図３のＩＶ−ＩＶ線に沿った横断面図である。

【図５】図３のＶ−Ｖ線に沿った横断面図である。

【図６】図３のＶＩ−ＶＩ線に沿った横断面図である。

【図７】図３のＶＩＩ−ＶＩＩ線に沿った縦断面図であ
る。

【図８】図７に示す状態から弁ロッドが角度θだけ傾動
して弁ディスクが弁座に着座した状態を示す縦断面図で
ある。

【図９】弁ロッドをシールするパッキンを示す部分拡大
縦断面図である。

【図１０】軸線と略直交する方向に沿ったベースプレー
トの縦断面図である。

【図１１】レバー部材に連結される摺動プレートと変位
部材との関係を示す分解斜視図である。

【図１２】変位部材の溝部に装着される保持プレートの
軸線方向に沿った縦断面図である。

【符号の説明】

２０…ゲートバルブ ２２…駆動部 ２４ａ、２４ｂ…弁ロッド ２６…弁ディスク ２８…通路 ３０…弁箱 ３２…弁座 ３８…ベースプレ
ート ４０…ケーシング ４２…シリンダ機
構 ４４ａ、４４ｂ…貫通孔 ４６…支持ローラ ４８、８６…凹部 ５０…ベローズ ５１…パッキン ５３、７２…緩衝
部材 ５６…シリンダチューブ ５８、５８ａ、５
８ｂ…シリンダ室 ６０…ピストン ６２…スプライン
溝 ６４…ピストンロッド ６６…ボール ６８…スプライン軸受部材 ７０…ピストンパ
ッキン ７８…レバー部材 ８０…変位部材 ８１…摺動プレート ８２ａ、８２ｂ…
突出片 ８３ａ、８３ｂ…折曲部 ８４…ばね部材 ８５…保持プレート ８７…溝部 ８９…潤滑溝 ８８ａ、８８ｂ…
長溝 ９０、９４…ピン部材 ９２…ローラ ９６…係合用孔部 ９８ａ、９８ｂ…
フランジ部 １０６…長孔

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】駆動源と、 前記駆動源の駆動軸に連結され、該駆動源の駆動作用下
   に軸線方向に沿って変位する第１変位部材と、 前記第１変位部材と一体的に軸線方向に沿って変位する
   とともに、軸線方向に沿った変位終端において支持部材
   を支点として傾動自在に設けられた第２変位部材と、 前記第２変位部材に連結された弁ロッドを介して通路を
   開閉する弁ディスクと、 前記第２変位部材の外側面に装着され、一部が前記外側
   面よりも僅かに突出するように設けられた保持プレート
   と、 前記第１変位部材と一体的に変位するように設けられ、
   前記保持プレートに接触することにより、前記第２変位
   部材の直線運動を確保する保持部材と、 を備えることを特徴とするゲートバルブ。
2. 【請求項２】請求項１記載のゲートバルブにおいて、 前記保持プレートには、潤滑油を保持する潤滑溝が形成
   されることを特徴とするゲートバルブ。