JP3152643B2 - 無しゅう動真空ゲートバルブ - Google Patents
無しゅう動真空ゲートバルブInfo
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- JP3152643B2 JP3152643B2 JP22460298A JP22460298A JP3152643B2 JP 3152643 B2 JP3152643 B2 JP 3152643B2 JP 22460298 A JP22460298 A JP 22460298A JP 22460298 A JP22460298 A JP 22460298A JP 3152643 B2 JP3152643 B2 JP 3152643B2
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- Japan
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- opening
- box
- sliding
- vacuum gate
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- Details Of Valves (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、無しゅう動真空ゲ
ートバルブに関し、特に、ボンネットフランジを開閉自
在とし、かつ、弁棒に対して弁体を着脱自在とすること
により、弁体等のメンテナンスを容易化するための新規
な改良に関する。
ートバルブに関し、特に、ボンネットフランジを開閉自
在とし、かつ、弁棒に対して弁体を着脱自在とすること
により、弁体等のメンテナンスを容易化するための新規
な改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、用いられていたこの種の無しゅう
動真空ゲートバルブとしては、例えば、本出願人による
特公平５−４９８６６号公報に開示された構成を挙げる
ことができる。すなわち、この特公平５−４９８６６号
公報に開示された構成では、弁棒を下げて弁体を開口の
弁座位置に位置させ、この弁棒を傾動させることによっ
て弁体を弁座に押圧させ、弁箱の開口を閉じるようにす
ると共に、弁箱は密閉状に構成されていた。
動真空ゲートバルブとしては、例えば、本出願人による
特公平５−４９８６６号公報に開示された構成を挙げる
ことができる。すなわち、この特公平５−４９８６６号
公報に開示された構成では、弁棒を下げて弁体を開口の
弁座位置に位置させ、この弁棒を傾動させることによっ
て弁体を弁座に押圧させ、弁箱の開口を閉じるようにす
ると共に、弁箱は密閉状に構成されていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来の無しゅう動真空
ゲートバルブは、以上のように構成されていたため、次
のような課題が存在していた。すなわち、組立後の弁箱
は密閉状で開けることが極めて困難であるため、例え
ば、弁体に設けられているＯリングの交換を必要とする
場合には、極めて困難な作業となっていた。
ゲートバルブは、以上のように構成されていたため、次
のような課題が存在していた。すなわち、組立後の弁箱
は密閉状で開けることが極めて困難であるため、例え
ば、弁体に設けられているＯリングの交換を必要とする
場合には、極めて困難な作業となっていた。
【０００４】本発明は、以上のような課題を解決するた
めになされたもので、特に、ボンネットフランジを開閉
自在とし、かつ、弁棒に対して弁体を着脱自在とするこ
とにより弁体等のメンテナンスを容易化した無しゅう動
真空ゲートバルブを提供することを目的とする。
めになされたもので、特に、ボンネットフランジを開閉
自在とし、かつ、弁棒に対して弁体を着脱自在とするこ
とにより弁体等のメンテナンスを容易化した無しゅう動
真空ゲートバルブを提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明による無しゅう動
真空ゲートバルブは、弁棒に設けられた弁体を直動及び
傾動させ、前記弁体の外面に設けられたＯリングを前記
開口の弁座に対して接合又は非接合とすることにより、
前記開口を開閉するようにした無摺動真空ゲートバルブ
において、前記弁箱には、開閉自在なボンネットフラン
ジが設けられ、前記弁体は前記弁棒に対してボルトによ
り着脱自在に構成され、前記弁体は全体形状がＬ字型を
なすと共に、前記外面は前記弁棒の軸線とは非平行で傾
斜し、前記外面と弁箱の箱内面との間隔は、前記弁箱の
一端側からボンネットフランジ側に向けて広くなるよう
にされている構成である。
真空ゲートバルブは、弁棒に設けられた弁体を直動及び
傾動させ、前記弁体の外面に設けられたＯリングを前記
開口の弁座に対して接合又は非接合とすることにより、
前記開口を開閉するようにした無摺動真空ゲートバルブ
において、前記弁箱には、開閉自在なボンネットフラン
ジが設けられ、前記弁体は前記弁棒に対してボルトによ
り着脱自在に構成され、前記弁体は全体形状がＬ字型を
なすと共に、前記外面は前記弁棒の軸線とは非平行で傾
斜し、前記外面と弁箱の箱内面との間隔は、前記弁箱の
一端側からボンネットフランジ側に向けて広くなるよう
にされている構成である。
【０００６】
【作用】本発明による無しゅう動真空ゲートバルブにお
いては、ゲートバルブを半導体装置に装着したままの状
態で、ボンネットフランジを弁箱から除去することがで
き、弁体及びＯリング等のメンテナンスを容易に行うこ
とができる。
いては、ゲートバルブを半導体装置に装着したままの状
態で、ボンネットフランジを弁箱から除去することがで
き、弁体及びＯリング等のメンテナンスを容易に行うこ
とができる。
【０００７】
【実施例】以下、図面と共に本発明による無しゅう動真
空ゲートバルブの好適な１実施例について詳細に説明す
る。図１において符号１で示されるものは周知の開口２
を有する弁箱であり、この弁箱１は、クリーンルームで
用いられる半導体製造装置のチャンバ間に配設されてい
る。さらに、この弁箱１の底部又は上部に位置するボン
ネットフランジ１Ａは図示しないボルト等によって弁箱
１に対して開閉自在に設けられている。前記弁箱１上に
は複数のシリンダ台３，４が設けられ、この各シリンダ
台３，４の上部には、例えば、周知のダイヤフラム式の
空気シリンダからなるアクチュエータ５，６が設けられ
ている。
空ゲートバルブの好適な１実施例について詳細に説明す
る。図１において符号１で示されるものは周知の開口２
を有する弁箱であり、この弁箱１は、クリーンルームで
用いられる半導体製造装置のチャンバ間に配設されてい
る。さらに、この弁箱１の底部又は上部に位置するボン
ネットフランジ１Ａは図示しないボルト等によって弁箱
１に対して開閉自在に設けられている。前記弁箱１上に
は複数のシリンダ台３，４が設けられ、この各シリンダ
台３，４の上部には、例えば、周知のダイヤフラム式の
空気シリンダからなるアクチュエータ５，６が設けられ
ている。
【０００８】前記弁箱１の上部に形成された穴１ａに
は、板状の弁体７を有する弁棒８が摺動自在に貫通して
設けられており、この弁体７は、図３に示されるように
全体形状がＬ字型をなしていると共に、ボルト９によっ
て前記弁棒８に着脱自在かつ直接結合され、この弁体７
の外面７ａには前記開口２の弁座２ａと接合可能なＯリ
ング１０が設けられている。
は、板状の弁体７を有する弁棒８が摺動自在に貫通して
設けられており、この弁体７は、図３に示されるように
全体形状がＬ字型をなしていると共に、ボルト９によっ
て前記弁棒８に着脱自在かつ直接結合され、この弁体７
の外面７ａには前記開口２の弁座２ａと接合可能なＯリ
ング１０が設けられている。
【０００９】前記各シリンダ台４の下部には、軸受１１
を介して回動ピン１２が回動自在に設けられており、こ
の回動ピン１２の内端には、その軸方向と直交する方向
に摺動ロッド１３が上方に向けて一体状に形成されてい
る。
を介して回動ピン１２が回動自在に設けられており、こ
の回動ピン１２の内端には、その軸方向と直交する方向
に摺動ロッド１３が上方に向けて一体状に形成されてい
る。
【００１０】前記各摺動ロッド１３の上部には、板状の
傾動板１４が設けられ、この傾動板１４の中央位置に設
けられた第１スライドブッシュ１５には、前記弁棒８が
貫通し、この傾動板１４上に設けられた弁棒用空気シリ
ンダ１６のピストン１６ａには前記弁棒８が接続されて
いることにより、この弁棒用空気シリンダ１６によって
弁棒８の直動往復移動を行うことができるように構成さ
れている。
傾動板１４が設けられ、この傾動板１４の中央位置に設
けられた第１スライドブッシュ１５には、前記弁棒８が
貫通し、この傾動板１４上に設けられた弁棒用空気シリ
ンダ１６のピストン１６ａには前記弁棒８が接続されて
いることにより、この弁棒用空気シリンダ１６によって
弁棒８の直動往復移動を行うことができるように構成さ
れている。
【００１１】前記弁箱１の前記穴１ａの周囲位置には、
この穴１ａを塞ぐための周知のシールベローズ２０の一
端２０ａが固定されていると共に、このシールベローズ
２０内には前記弁棒８がほぼ同軸状に貫通している。
この穴１ａを塞ぐための周知のシールベローズ２０の一
端２０ａが固定されていると共に、このシールベローズ
２０内には前記弁棒８がほぼ同軸状に貫通している。
【００１２】前記シールベローズ２０の他端２０ｂの接
続リング２１は前記弁棒８に密着固定されて前記穴１ａ
がこのシールベローズ２０によって密閉状態に保持され
ており、この接続リング２１の周縁には、前記各摺動ロ
ッド１３に第２スライドブッシュ２２を介して相対摺動
自在に設けられた摺動部材２３が接続されている。な
お、この摺動部材２３は全体が一体に形成され、各摺動
ロッド１３に対応した数の第２スライドブッシュ２２を
一体状に有している。
続リング２１は前記弁棒８に密着固定されて前記穴１ａ
がこのシールベローズ２０によって密閉状態に保持され
ており、この接続リング２１の周縁には、前記各摺動ロ
ッド１３に第２スライドブッシュ２２を介して相対摺動
自在に設けられた摺動部材２３が接続されている。な
お、この摺動部材２３は全体が一体に形成され、各摺動
ロッド１３に対応した数の第２スライドブッシュ２２を
一体状に有している。
【００１３】次に、動作について述べる。まず、図１の
閉弁状態に示すように、弁棒用空気シリンダ１６のピス
トン１６ａを降下させシールベローズ２０を縮小させ
て、弁体７を開口２に対応させた状態として、各アクチ
ュエータ５，６を作動させると、この各アクチュエータ
５，６のプッシュロッド（図示せず）が傾動板１４を水
平方向すなわち弁棒８の長手方向と直交する方向に押す
ことにより、弁棒８及び摺動ロッド１３が回動ピン１２
を回動中心として同時に傾動し、各摺動ロッド１３は第
２スライドブッシュ２２を介して摺動部材２３と共に傾
動するため、弁棒８は回動ピン１２を軸心として図３の
矢印Ａの方向に回動し、弁体７のＯリング１０が開口２
の弁座２ａに当接し、変形することにより開口２が閉弁
される。なお、この弁体７の前記Ｏリング１０が設けら
れている外面７ａは、前記弁棒８の軸線８Ａとは非平行
で傾斜して形成されている。すなわち、前記弁体７の外
面７ａと弁箱１の箱内面１ａとの間隔Ｄは、前記弁箱１
の一端１Ｂ側からボンネットフランジ１Ａ側に向けて広
くなるように構成され、前記弁体７が傾動した時に、前
記Ｏリング１０が開口２の弁座２ａに良好に接合できる
ように構成されている。また、このアクチュエータ５，
６はダイヤフラム式であるため、大気中での旋回運動の
回転変位を吸収することができ、傾動時のパーティクル
発生を防止することができる。また、弁棒８を上昇させ
て開弁すると、シールベローズ２０は図１よりも伸びた
状態となる。
閉弁状態に示すように、弁棒用空気シリンダ１６のピス
トン１６ａを降下させシールベローズ２０を縮小させ
て、弁体７を開口２に対応させた状態として、各アクチ
ュエータ５，６を作動させると、この各アクチュエータ
５，６のプッシュロッド（図示せず）が傾動板１４を水
平方向すなわち弁棒８の長手方向と直交する方向に押す
ことにより、弁棒８及び摺動ロッド１３が回動ピン１２
を回動中心として同時に傾動し、各摺動ロッド１３は第
２スライドブッシュ２２を介して摺動部材２３と共に傾
動するため、弁棒８は回動ピン１２を軸心として図３の
矢印Ａの方向に回動し、弁体７のＯリング１０が開口２
の弁座２ａに当接し、変形することにより開口２が閉弁
される。なお、この弁体７の前記Ｏリング１０が設けら
れている外面７ａは、前記弁棒８の軸線８Ａとは非平行
で傾斜して形成されている。すなわち、前記弁体７の外
面７ａと弁箱１の箱内面１ａとの間隔Ｄは、前記弁箱１
の一端１Ｂ側からボンネットフランジ１Ａ側に向けて広
くなるように構成され、前記弁体７が傾動した時に、前
記Ｏリング１０が開口２の弁座２ａに良好に接合できる
ように構成されている。また、このアクチュエータ５，
６はダイヤフラム式であるため、大気中での旋回運動の
回転変位を吸収することができ、傾動時のパーティクル
発生を防止することができる。また、弁棒８を上昇させ
て開弁すると、シールベローズ２０は図１よりも伸びた
状態となる。
【００１４】なお、前述の場合、弁棒８の材質は、たわ
み可能でかつへたりのない材料より構成されているた
め、前述の傾動時に、弁体７が弁座２ａに当接後も、そ
の弾性によってＯリング１０が押し付けられることにな
り、従来よりもより高真空の条件に適応して閉弁を保つ
ことができるように構成されている。
み可能でかつへたりのない材料より構成されているた
め、前述の傾動時に、弁体７が弁座２ａに当接後も、そ
の弾性によってＯリング１０が押し付けられることにな
り、従来よりもより高真空の条件に適応して閉弁を保つ
ことができるように構成されている。
【００１５】また、前述の弁箱１の底部に形成されたボ
ンネットフランジ１Ａは、前述のように図示しないボル
ト等により開閉自在すなわち着脱自在であるため、ゲー
トバルブを半導体製造装置に装着したままの状態で、ボ
ンネットフランジ１Ａを弁箱１から除去し、弁体７の交
換又は、Ｏリング１０の交換、開口２の清掃を容易に行
うことができる。
ンネットフランジ１Ａは、前述のように図示しないボル
ト等により開閉自在すなわち着脱自在であるため、ゲー
トバルブを半導体製造装置に装着したままの状態で、ボ
ンネットフランジ１Ａを弁箱１から除去し、弁体７の交
換又は、Ｏリング１０の交換、開口２の清掃を容易に行
うことができる。
【００１６】なお、前述のゲートバルブの構造は一例を
示したもので、弁体７を開口２に対して開閉弁させるた
めの構造については、前述の構成に限定されるものでは
なく、他の構成のゲートバルブについても適用できるこ
とは述べるまでもないことである。
示したもので、弁体７を開口２に対して開閉弁させるた
めの構造については、前述の構成に限定されるものでは
なく、他の構成のゲートバルブについても適用できるこ
とは述べるまでもないことである。
【００１７】
【発明の効果】本発明による無しゅう動真空ゲートバル
ブは、以上のように構成されているため、次のような効
果を得ることができる。すなわち、弁箱に対してボンネ
ットフランジが着脱自在であるため、ゲートバルブを半
導体製造装置に装着したままで、弁体、Ｏリング等の清
掃や交換を行うことができる。
ブは、以上のように構成されているため、次のような効
果を得ることができる。すなわち、弁箱に対してボンネ
ットフランジが着脱自在であるため、ゲートバルブを半
導体製造装置に装着したままで、弁体、Ｏリング等の清
掃や交換を行うことができる。
【図１】 本発明による無しゅう動真空ゲートバルブを
示す断面図である。
示す断面図である。
【図２】 図１のＡ−Ａ断面図である。
【図３】 図２の拡大断面図である。
１ 弁箱 １Ａ ボンネットフランジ １Ｂ 一端 ２ 開口 ７ 弁体 ７ａ 外面 ８ 弁棒 １０ Ｏリング ３，４ シリンダ台 ２ａ 弁座 ８Ａ 軸線 Ｄ 間隔 １３ 摺動ロッド １４ 傾動板 １６ 弁棒用空気シリンダ ９ ボルト
フロントページの続き (72)発明者 岡本 秀男 東京都中央区銀座４丁目11番７号 第２ 上原ビル 入江工研株式会社内 (72)発明者 三津山 行男 東京都中央区銀座４丁目11番７号 第２ 上原ビル 入江工研株式会社内 (72)発明者 加藤 良浩 東京都中央区銀座４丁目11番７号 第２ 上原ビル 入江工研株式会社内 (72)発明者 林 雄造 東京都中央区銀座４丁目11番７号 第２ 上原ビル 入江工研株式会社内 (56)参考文献 特開 平５−263966（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−188667（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−125868（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−190691（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−370475（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−149469（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−42715（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−42748（ＪＰ，Ａ) 実開 平３−73767（ＪＰ，Ｕ) 特公 平５−49866（ＪＰ，Ｂ２) 特公 昭48−11534（ＪＰ，Ｂ１) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) F16K 3/00 - 3/36 F16K 51/02 F16K 41/10
Claims (1)
- 【請求項１】 弁棒(8)に設けられた弁体(7)を直動及び
傾動させ、前記弁体(7)の外面(7a)に設けられたＯリン
グ(10)を前記開口(2)の弁座(2a)に対して接合又は非接
合とすることにより、前記開口(2)を開閉するようにし
た無摺動真空ゲートバルブにおいて、前記弁箱(1)に
は、開閉自在なボンネットフランジ(1A)が設けられ、前
記弁体(7)は前記弁棒(8)に対してボルト(9)により着脱
自在に構成され、前記弁体(7)は全体形状がＬ字型をな
すと共に、前記外面(7a)は前記弁棒(8)の軸線(8A)とは
非平行で傾斜し、前記外面(7a)と弁箱(1)の箱内面(1a)
との間隔(D)は、前記弁箱(1)の一端(1B)側からボンネッ
トフランジ(1A)側に向けて広くなるように構成されてい
ることを特徴とする無しゅう動真空ゲートバルブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22460298A JP3152643B2 (ja) | 1994-07-18 | 1998-08-07 | 無しゅう動真空ゲートバルブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22460298A JP3152643B2 (ja) | 1994-07-18 | 1998-08-07 | 無しゅう動真空ゲートバルブ |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6165563A Division JP2974910B2 (ja) | 1994-07-18 | 1994-07-18 | 無しゅう動真空ゲートバルブ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11108243A JPH11108243A (ja) | 1999-04-20 |
| JP3152643B2 true JP3152643B2 (ja) | 2001-04-03 |
Family
ID=16816306
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22460298A Expired - Fee Related JP3152643B2 (ja) | 1994-07-18 | 1998-08-07 | 無しゅう動真空ゲートバルブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3152643B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE60012428T2 (de) * | 1999-06-14 | 2005-07-28 | Smc K.K. | Schieber |
| JP5171137B2 (ja) | 2006-07-18 | 2013-03-27 | ヴィ・エイ・ティー ホールディング アクチェンゲゼルシャフト | シャトルバルブ |
-
1998
- 1998-08-07 JP JP22460298A patent/JP3152643B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH11108243A (ja) | 1999-04-20 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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