JPH0540384Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案は、真空装置用バルブに関するものであ
る。

（従来の技術） 一般に、ワークのガス処理やワークの薄膜加工
などは、第３図に示すような真空装置ａで行われ
ている。この真空装置ａは、ワークを収容する真
空槽ｂとこの真空槽ｂの内部を負圧に保つための
真空ポンプｃとが吸引管路ｄで接続され、この吸
引管路ｄの中間部にバルブｅが設けられている。

このバルブｅは、従来、弁体が弁棒の軸線方向
に沿つて上下の開閉動作をする止弁構造が多く用
いられている。

具体的には、実開昭56−76777号公報に記載の
考案（以下、第１従来例という。）と、実開昭60
−58981号公報に記載の考案（以下、第２従来例
という。）が挙げられる。

（考案が解決しようとする課題） 第１従来例は、弁体の開閉機構をポンプ側に設
けたことにより、バルブそのものの高さを低くす
る目的に達し得ない。また、この開閉機構が吸込
み孔をふさぐ位置にあるため、コンダクタンスの
悪化はまぬがれない。

さらに、筒ばこを弁ばこから突設し、この筒ば
この中にロツドを入れ、しかもベローズによりシ
ールするようになしている。したがつてバルブそ
のものの形体が大きくなり構造も複雑になる。

第２従来例は、ロツドがケース内に対し軸摺動
するため、どうしてもケース内に空気やグリスを
持ち込む問題は解決できない。

（課題を解決するための手段） 本考案の上記課題を解決するための手段は、ワ
ークを収容する真空槽と、この真空槽の内部を負
圧に保つための真空ポンプとを接続する吸引管路
に弁箱を介在させて設けられたもので、弁箱は流
入側開口部と流出側開口部とを備えており、流出
側開口部に弁座が設けられて弁体がこの弁座に対
し水平を保つて上下移動可能となされ、この弁体
を開閉するための開閉手段が弁箱に沿つて設けら
れているが、ピストンロツドが弁体と平行に伸縮
することができるようにシリンダが弁箱の天井板
上に取り付けられ、流入側開口部近くにはこのピ
ストンロツドと直交するとともに弁体と平行とな
るように支点軸が配設されるが、この支点軸は弁
箱内を貫通し、その両端部が弁箱の両側壁から弁
箱の外へ突出せられたもので、支点軸は弁箱の両
側壁に設けた軸受およびシール部材からなる軸封
手段で回動可能に取り付けられており、弁箱上に
前記の支点軸と平行に配した中間軸の中央部にピ
ストンロツドの先端部が回動可能に連結され、こ
の中間軸の両端部と支点軸の両端部は回動アーム
で連結してピストンロツドの伸縮力を支点軸の回
動力に変えて伝えるようになされ、この支点軸と
弁体とは箱体内に配した平行リンクで連結されて
いるものである。

（作用） 上記の手段による作用は、弁体が水平を保つて
短い揚程で上下移動を行うから、弁箱の高さを低
く形成しても弁体の開閉動作を妨げない。また、
弁体を開閉する開閉手段は、弁箱に沿つて設けら
れた水平姿勢で作動するから、弁箱の上方に張り
出すおそれがない。したがつて、弁箱の全高は真
空槽の上端より低くなる。

さらに、ピストンロツドの伸縮力を支点軸の回
動力に変えて伝えるようになし、支点軸は弁箱に
対しシールして軸支されている。したがつて、弁
箱内へ空気やグリスを持ち込むことは全くない。

（実施例） 以下、本考案の一実施例を図面を参照して説明
する。

本考案に係る真空装置用バルブ１は、弁体５が
弁座４に対し水平を保て上下移動可能に設けられ
るとともに、この弁体５を開閉するための開閉手
段１０が、弁箱３に沿つて水平に設けられたもの
である。

第１図および第２図に示す真空装置用バルブ１
は、真空装置（図示省略）に適用されるものであ
る。真空装置は、ワークを収容する真空槽（図示
省略）と、この真空槽の内部を負圧に保つための
真空ポンプ（図示省略）と、この両者間を接続す
るための流入側（槽側）管路２ａおよび流出側
（ポンプ側）管路２ｂからなる吸引管路２とで構
成されており、流入側管路２ａと流出側管路２ｂ
との間に、前記真空装置用バルブ１が設けられて
いる。

バルブ１は、弁箱３、弁座４、弁体５、平行リ
ンク機構６、支点軸７、回動アーム８，８、中間
軸９および開閉手段１０を主要部として構成され
ている。

前記弁箱３は、流入側開口部３ａおよび流出側
開口部３ｂを備えており、流入側開口部３ａは、
矩形断面に形成されるとともに、その管路高さＨ
が弁体５の揚程Ｌを許容できる最小限の大きさに
形成されている。一方、流出側開口部３ｂに弁座
４が設けられている。

前記平行リンク機構６は、弁体５の当り面５ａ
が弁座４に対し水平を保つて上下移動ができるよ
うに設けられたもので、弁棒５ｂを吊り下げ支持
する駆動側大リンク１１、従動側大リンク１２，
１２、駆動側小リンク１３および従動側小リンク
１４，１４の各滑節が長尺の連結軸１５と短尺の
連結ピン１６，１７，１７とで回動可能に連結さ
れるとともに、駆動側大リンク１１および従動側
小リンク１４，１４の基端部が支点軸７にキー止
めで固定されている。

前記回動アーム８，８は、開閉手段１０の伸縮
動作を支点軸７の回動動作に転換するもので、一
端部が支点軸７の両端に固定されるとともに、他
端部が中間軸９の両端に固定されている。なお、
支点軸７は弁箱３内を貫通し、その両端部が弁箱
３の両側壁から弁箱３の外へ突出せられたもので
ある。

前記開閉手段１０は、中間軸９、回動アーム
８，８、支点軸７および平行リンク機構６を介し
て弁体４を開閉するためのもので、本例では、第
１図に示すように、油圧等を駆動源とするクレビ
ス形のシリンダ装置を適用して、弁箱３の天井板
３ｃに沿つて水平に設けられている。すなわち、
開閉手段１０は、前記天井板３ｃにそつて水平に
配置されたシリンダ１８がクレビス形基部１８ａ
を、天井板３ｃの上面に固定したブラケツト１９
にピン１９ａで回動可能に支持させるとともに、
ピストンロツド２０の先端部２０ａが、前記中間
軸９の中央部に回動可能に連結されている。

２１，２１は弁箱３の両側壁に設けられた軸封
手段で、内部に軸受２１ａおよびシール部材２１
ｂが取り付けられている。支点軸７の両端部はこ
の軸封手段２１，２１により回動可能に取り付け
られている。

次に、本実施例の作用について説明する。

第１図に示す真空装置用バルブ１の全閉時で
は、開閉手段１０の短縮駆動で回動アーム８，８
を経て支点軸７に時計回りの回動力が働いてい
て、この回動力が平行リンク機構６を介して弁体
５の上面に加わり、弁体５で弁座４が強く閉めら
れている。

真空装置用バルブ１を開くときは、開閉手段１
０の伸長駆動で回動アーム８，８から反時計回り
の回動力が働くと、この回動力は、平行リンク機
構６の作用で弁体５が当り面５ａを水平に保つた
状態で上昇する力に転換される。この上昇動作が
続けられたのち、弁体５が揚程Ｌの上昇端に達す
ると、真空装置用バルブ１は全開される。

また、真空装置用バルブ１を再び閉めるとき
は、開閉手段１０を短縮駆動させると弁体５が平
行リンク機構６の作用で当り面５ａを水平に保つ
た状態で下降して、真空装置用バルブ１は第１図
に示すように全閉される。

（考案の効果） 本考案は、真空装置用のバルブが真空槽の上端
を越えない高さに構成されたから、真空装置をク
リーンルームに設ける場合、クリーンルームの天
井は、真空槽が収容できる高さで足りるので、ク
リーンルームの建設費や空気浄化装置の設備費お
よび運転費を大きく減らすことができる。弁箱の
外側に突き出して設けた支点軸は回転作用だけを
対象とした軸封構造でよいから、弁箱に空気が吸
い込まれたり、弁箱からガスが漏れ出したりする
おそれがなく、したがつて、バルブは点検修理を
繰り返す必要がないので、耐久性が良くなるなど
の優れた利点がある。

【図面の簡単な説明】

図面は本考案の実施例を示すもので、第１図は
真空装置用バルブの中央縦断面図、第２図は第１
図の−線で切断した平面図であり、第３図は
真空装置の従来例を説明する概要図である。 １……真空装置用バルブ、２……吸引管路、３
……弁箱、４……弁座、５……弁体、６……平行
リンク機構、１０……開閉手段。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. ワークを収容する真空槽と、この真空槽の内部
   を負圧に保つための真空ポンプとを接続する吸引
   管路に弁箱を介在させて設けられたもので、弁箱
   は流入側開口部と流出側開口部とを備えており、
   流出側開口部に弁座が設けられて弁体がこの弁座
   に対し水平を保つて上下移動可能となされ、この
   弁体を開閉するための開閉手段が弁箱に沿つて設
   けられているが、ピストンロツドが弁体と平行に
   伸縮することができるようにシリンダが弁箱の天
   井板上に取り付けられ、流入側開口部の近くには
   このピストンロツドと直交するとともに弁体と平
   行となるように支点軸が配設されるが、この支点
   軸は弁箱内を貫通し、その両端部が弁箱の両側壁
   から弁箱の外へ突出せられたもので、支点軸は弁
   箱の両側壁に設けた軸受およびシール部材からな
   る軸封手段で回動可能に取り付けられており、弁
   箱上に前記の支点軸と平行に配した中間軸の中央
   部にピストンロツドの先端部が回動可能に連結さ
   れ、この中間軸の両端部と支点軸の両端部は回動
   アームで連結してピストンロツドの伸縮力を支点
   軸の回動力に変えて伝えるようになされ、この支
   点軸と弁体とは箱体内に配した平行リンクで連結
   されていることを特徴とする真空装置用バルブ。