JP2003028314A - ゲートバルブ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】ゲートバルブを簡単かつ安価に構成し、作動を
簡素化するとともに、信頼性の向上を図ることを可能に
する。 【解決手段】ゲートバルブ１０は、閉位置Ｐ１と開位置
Ｐ２との間を揺動するゲート部１８と、前記ゲート部１
８を拡縮して弁箱１６の通孔１４ａ、１４ｂを閉塞可能
な押圧機構３０と、単一のシリンダ５２の作用下に、前
記ゲート部１８を支軸２０を支点に揺動させるととも
に、前記押圧機構３０を付勢して前記ゲート部１８を拡
縮させる作動機構３２とを備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、弁箱内に配設され
たゲート部の作用下に、前記弁箱に設けられた通孔を開
閉可能なゲートバルブに関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば、半導体製造装置等の超高真空系
において、排気用サーキュラーゲートバルブが使用され
ている。この種のゲートバルブには、弁板の直線運動に
よって弁箱に形成された通孔を開閉する直進型方式と、
前記弁板を揺動させて前記通孔を開閉する振り子型方式
とがある。

【０００３】上記の振り子型のゲートバルブとして、例
えば、特開平４−３４７０８４号公報に開示された無発
塵ゲートバルブが知られている。この従来技術では、図
１０に示すように、弁箱１内には、この弁箱１に設けら
れた通孔２を開閉するための弁組立体３が揺動可能に配
設されている。弁組立体３には、この弁組立体３を通孔
２に対応する閉位置とこの通孔２から離間する開位置と
に揺動させる開閉用アクチュエータ４と、前記弁組立体
３を拡縮させて前記通孔２を閉塞可能な拡縮用アクチュ
エータ５とが連結されている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
従来技術では、ゲートバルブが、開閉用アクチュエータ
４および拡縮用アクチュエータ５として２台のアクチュ
エータ、例えば、２台のシリンダを必要としており、前
記ゲートバルブの構成が複雑化するとともに、製造コス
トが高騰するという問題が指摘されている。しかも、２
台のシリンダ間で開閉（揺動）と拡縮とのタイミングを
とるためのスイッチおよびリレー等が必要になるととも
に、操作に信号系が関与するため作動の無駄時間が発生
するという問題がある。

【０００５】本発明はこの種の問題を解決するものであ
り、簡単かつ安価に構成し、作動を簡素化するととも
に、信頼性の高いゲートバルブを提供することを目的と
する。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明に係るゲートバル
ブでは、作動機構を構成する単一のアクチュエータが駆
動されると、まず、ゲート部が支軸を中心に開位置から
閉位置に揺動して通孔に対応して配置される。次いで、
前記アクチュエータの作用下に押圧機構が付勢され、ゲ
ート部が通孔側に拡縮して前記ゲート部が前記通孔の周
囲に設けられたシール部に密着し、該通孔を気密に閉塞
する。

【０００７】このように、ゲート部を閉位置と開位置と
に揺動させる駆動と、前記ゲート部を通孔に対して拡縮
させる駆動とが、単一のアクチュエータで行われるた
め、それぞれの駆動を個別のアクチュエータで行う従来
技術に比べ、ゲートバルブ全体を有効に小型化かつ安価
に構成することができる。従って、ゲートバルブの製造
コストを削減するとともに、前記ゲートバルブの占有ス
ペースを狭小化することが可能になる。しかも、信号系
が単一化されて経済的なものになる他、リレー等が不要
になって信頼性の向上を図ることができる。

【０００８】その際、押圧機構は、支軸の軸線上を通り
かつこの軸線に交差する軸線を有し、軸方向に進退して
ゲート部を拡縮させる軸部材を備え、作動機構は、アク
チュエータに係合して進退自在な作動部材と、前記軸部
材を開位置と閉位置とに揺動させるとともに、前記閉位
置で前記軸部材を前記軸方向に進退させるカム構造とを
備えている。このため、作動部材の進退作用下に、カム
構造を介して軸部材の揺動と進退とが行われ、構成の簡
素化が容易に図られる。

【０００９】また、軸部材を進退可能に挿入して支軸を
中心に揺動自在な管部材と、前記管部材に当接してゲー
ト部を閉位置に保持する閉止部材と、前記管部材を囲繞
して前記ゲート部と弁箱とに固着され、前記弁箱内を気
密にシール可能なベローズ部材とを備えている。このた
め、閉位置で管部材が閉止部材を介して保持された状態
で、軸部材が前記管部材内を確実に進退し、ゲート部を
通孔に対して容易かつ確実に拡縮させることが可能にな
る。さらに、ベローズ部材を用いることにより、簡単な
構成で弁箱内を気密にシールすることができる。

【００１０】さらにまた、作動部材に押圧用ばね部材の
一端が係合するとともに、前記押圧用ばね部材の他端が
軸部材または管部材に係合することにより、簡単な構成
で、前記作動部材の進退作用下に前記軸部材の揺動動作
および進退動作が円滑に遂行可能になる。

【００１１】一方、管部材に押圧用ばね部材の一端が係
合するとともに、前記押圧用ばね部材の他端が軸部材に
係合することにより、簡単な構成で、前記作動部材の進
退作用下に前記軸部材の揺動動作および進退動作が円滑
に遂行可能になる。

【００１２】また、作動部材の両側部には、上下方向お
よび左右方向に作用する荷重を受けるために前記作動部
材の進退方向に延在して一対のリニアガイドが配設され
ている。従って、作動部材の進退動作が確実に行われ、
ゲートバルブを精度よく駆動制御することができる。

【００１３】

【発明の実施の形態】図１は、本発明の第１の実施形態
に係るゲートバルブ１０の断面正面図であり、図２は、
前記ゲートバルブ１０の断面側面図である。

【００１４】ゲートバルブ１０は、両側壁部１２ａ、１
２ｂに通孔１４ａ、１４ｂが貫通形成された弁箱１６を
備え、この弁箱１６内には、前記通孔１４ａ、１４ｂを
開閉可能なゲート部１８が配設される。ゲート部１８
は、支軸２０を中心にして通孔１４ａ、１４ｂに対応す
る閉位置Ｐ１と、前記通孔１４ａ、１４ｂから離間する
開位置Ｐ２とに揺動可能な一対の弁板２２を備えてい
る。

【００１５】ゲートバルブ１０は、支軸２０の軸線上を
通りかつ該軸線に交差する軸線を有する軸部材２４を設
け、前記軸部材２４を軸方向（矢印Ａ方向）に進退させ
てゲート部１８を通孔１４ａ、１４ｂ側に拡縮させるこ
とにより、弁板２２のシール面２６が前記通孔１４ａ、
１４ｂの周囲に設けられたシール材（シール部）２８に
係合して該通孔１４ａ、１４ｂを閉塞可能な押圧機構３
０と、前記ゲート部１８を前記支軸２０を支点に揺動さ
せるとともに、前記押圧機構３０を付勢して前記ゲート
部１８を拡縮させる作動機構３２とを備える。なお、弁
箱１６にシール材２８が設けられているが、弁板２２に
このシール材２８を設けるようにしてもよい。

【００１６】弁箱１６内には、開位置Ｐ２に対応して収
納室３４が設けられるとともに、前記弁箱１６の上部に
基台部３６が取り付けられ、この基台部３６に一対の支
軸２０が設けられている。各支軸２０は、管部材３８の
外周面に前記管部材３８の直径方向に配置された状態で
固定されており、前記管部材３８内には、軸部材２４が
矢印Ａ方向に進退可能に挿入される。

【００１７】図２に示すように、管部材３８の端部は、
ゲート部１８を構成するリング４０の外周部に固着さ
れ、このリング４０が一対の弁板２２の接合部分に外嵌
している。リング４０は、弁板２２を相互に離間または
接合する際のガイド機能を有しており、前記リング４０
と前記弁板２２とがベローズ部材４２を介して連結され
ている。

【００１８】図１に示すように、基台部３６には、管部
材３８が当接して弁板２２を閉位置Ｐ１に保持する閉止
部材４４が設けられる。ゲート部１８を構成するリング
４０と、弁箱１６（または基台部３６）とには、管部材
３８を囲堯して前記弁箱１６内を気密にシール可能なベ
ローズ部材４６の両端が固着される。ベローズ部材４
２、４６を介して、弁箱１６内の流体流路とゲート部１
８の内部とが完全に隔離され、この弁箱１６内の無発塵
構造を実現している。

【００１９】押圧機構３０は、図２に示すように、両弁
板２２のそれぞれの対向する面側に設けられるテーパ部
４８と、前記テーパ部４８間に挿入される軸部材２４の
端部に設けられた球状の転動子５０とを備える。テーパ
部４８は、矢印Ａ１方向に向かって内方に傾斜してお
り、軸部材２４が矢印Ａ１方向に移動する際、転動子５
０が前記テーパ部４８に接触して弁板２２を互いに離間
する方向に変位させるように、すなわち、ゲート部１８
を拡張させるように構成されている。

【００２０】作動機構３２は、図１に示すように、基台
部３６に固着される単一のシリンダ（アクチュエータ）
５２を備え、このシリンダ５２内のシリンダ室５４には
エアポート５６、５８が連通している。シリンダ室５４
に配置されたピストン６０から延在するピストンロッド
６２は、矢印Ｂ方向に延在してその先端部に作動部材６
４が固定される。

【００２１】作動部材６４は、図２に示すように、門型
状に構成されており、この作動部材６４の両側部６６に
は、上下方向および左右方向に作用する荷重を受けるた
めに前記作動部材６４の進退方向（矢印Ｂ方向）に延在
して一対のリニアガイド６８が配設される。各リニアガ
イド６８は、基台部３６に設けられるとともに、互いに
対向する内面部にＶ型溝部７０が形成される。作動部材
６４の両側部６６には、Ｖ型溝部７２が形成され、Ｖ型
溝部７０、７２間に球体７３が配置されている。

【００２２】作動部材６４には、軸部材２４を開位置Ｐ
２と閉位置Ｐ１とに揺動させるとともに、この閉位置Ｐ
１で前記軸部材２４を矢印Ａ方向に進退させるカム構造
７４が設けられる。軸部材２４の端部には軸方向と交差
してロッド７６が固着され、このロッド７６の両端に
は、カム構造７４を構成するローラ７８が配置される。

【００２３】作動部材６４の両側部６６には、各ローラ
７８が配置される揺動溝８０とシール溝８２とが一体的
に設けられている。揺動溝８０は、軸部材２４が支軸２
０を中心に揺動する際にローラ７８の上下動を許容する
ために略鉛直方向に向かって設けられている。シール溝
８２は、軸部材２４が閉位置Ｐ１で矢印Ａ方向に進退動
作する際にローラ７８の移動を許容するものであり、水
平方向から鉛直下方向に所定角度傾斜して設定されてい
る。

【００２４】作動部材６４のピストンロッド６２側の端
縁部には、ばね座８４が設けられる一方、軸部材２４
（または管部材３８）側にばね座８６が設けられ、前記
ばね座８４、８６間に押圧用ばね部材８８が配置され
る。ばね座８４、８６の少なくとも一方は、軸部材２４
が矢印Ａ方向に進退する際に、ばね部材８８が曲げ方向
に受ける力を緩和するように自由度を設けている。作動
部材６４とシリンダ５２との間には、閉じばね９０が介
装されている。

【００２５】このように構成されるゲートバルブ１０の
動作について、以下に説明する。

【００２６】図３に示すように、ゲート部１８が開位置
Ｐ２に対応して収納室３４に配置されており、弁箱１６
の両側壁部１２ａ、１２ｂに形成されている通孔１４
ａ、１４ｂが互いに連通状態にある。このため、例え
ば、図示しない真空チャンバと真空ポンプとが連通し、
排気処理が行われている。

【００２７】そこで、通孔１４ａ、１４ｂを閉塞する際
には、まず、シリンダ５２を構成するエアポート５６か
ら排気を行うことにより、作動部材６４が閉じばね９０
の弾性力を介して矢印Ｂ１方向に移動する。

【００２８】その際、作動部材６４に固定されたばね座
８４と軸部材２４に固定されてばね座８６との間に介装
されているばね部材８８の弾性力により、前記軸部材２
４に設けられているローラ７８が、カム構造７４を構成
する揺動溝８０内に保持されている。従って、作動部材
６４が矢印Ｂ１方向に移動する際、軸部材２４および管
部材３８は、支軸２０を中心にして開位置Ｐ２から閉位
置Ｐ１側に揺動するとともに、ローラ７８は揺動溝８０
内で上下動作を行う（図４参照）。

【００２９】作動部材６４が、閉じばね９０を介してさ
らに矢印Ｂ１方向に移動すると、管部材３８が閉止部材
４４に当接するため、この管部材３８の揺動動作が停止
される（図１参照）。この状態で、作動部材６４が矢印
Ｂ１方向に移動すると、ローラ７８がばね部材８８を圧
縮しながら揺動溝８０からシール溝８２に沿って移動
し、前記ローラ７８を設ける軸部材２４は、管部材３８
内を矢印Ａ１方向に移動する（図５参照）。

【００３０】このため、図６に示すように、軸部材２４
が矢印Ａ１方向に移動し、押圧機構３０を構成する転動
子５０が前記軸部材２４と一体的に矢印Ａ１方向に移動
してテーパ部４８に当接する。これにより、弁板２２
は、転動子５０とテーパ部４８との作用下に互いに離間
する方向に移動し（ゲート部１８の拡張）、それぞれの
シール面２６が弁箱１６を構成する側壁部１２ａ、１２
ｂに装着されているシール材２８に密着し、通孔１４
ａ、１４ｂが確実に閉塞される。

【００３１】一方、ゲート部１８による通孔１４ａ、１
４ｂの閉塞を解除する際には、シリンダ５２のエアポー
ト５６に高圧エアが供給され、ピストンロッド６２に連
結されている作動部材６４が、閉じばね９０を圧縮しな
がら矢印Ｂ２方向に移動する。その際、軸部材２４に
は、ばね部材８８による押圧力が作用しており、ローラ
７８がシール溝８２に沿って上昇し、このローラ７８を
設ける前記軸部材２４が矢印Ａ２方向に移動する。この
ため、軸部材２４に設けられている転動子５０がテーパ
部４８から離脱し、弁板２２同士が互いに近接する方向
に変位し（ゲート部１８の収縮）、ゲート部１８による
通孔１４ａ、１４ｂのシールが解除される。

【００３２】次いで、ローラ７８がシール溝８２から揺
動溝８０に移動すると、ゲート部１８の収縮が終了し、
作動部材６４が矢印Ｂ２方向に移動するに伴って、前記
ローラ７８が前記揺動溝８０に配置された状態で矢印Ｂ
２方向に移動する。従って、軸部材２４および管部材３
８は、支軸２０を中心に揺動を開始し、シリンダ５２の
ストロークエンドでゲート部１８が開位置Ｐ２に対応し
て収納室３４に収納される。これにより、弁箱１６の通
孔１４ａ、１４ｂ同士が連通し、図示しない真空チャン
バと真空ポンプとが各通孔１４ａ、１４ｂ間で連通して
排気処理が再開される。

【００３３】このように、第１の実施形態では、作動機
構３２を構成するシリンダ５２が駆動され、作動部材６
４が矢印Ｂ１方向に移動すると、まず、カム構造７４を
構成する揺動溝８０とローラ７８との作用下に軸部材２
４が揺動して、ゲート部１８が開位置Ｐ２から閉位置Ｐ
１に揺動する。

【００３４】次いで、カム構造７４を構成するシール溝
８２とローラ７８との作用下に軸部材２４が矢印Ａ１方
向に移動し、押圧機構３０を介して弁板２２同士が互い
に離間する方向に移動（拡張）し、ゲート部１８による
弁箱１６の通孔１４ａ、１４ｂのシールが行われる。

【００３５】従って、ゲート部１８の揺動動作と前記ゲ
ート部１８の拡縮動作とが、単一のシリンダ５２を介し
て行われるため、それぞれの駆動を個別のアクチュエー
タで行う従来技術に比べ、ゲートバルブ１０全体を有効
に小型化かつ安価に構成することができる。これによ
り、ゲートバルブ１０の製造コストを削減するととも
に、前記ゲートバルブ１０の占有スペースを有効に狭小
化することが可能になるという効果が得られる。

【００３６】しかも、単一のシリンダ５２を駆動制御す
るだけでよく、信号系が単一化されて経済的なものにな
るとともに、リレー等が不要になって信頼性の向上を図
ることができるという利点がある。

【００３７】また、管部材３８は、閉位置Ｐ１で閉止部
材４４に当接保持されるため、カム構造７４を介して軸
部材２４が前記管部材３８内を確実に進退し、ゲート部
１８の拡縮動作が容易かつ確実に行われる。その際、作
動部材６４に一端側を支持されるばね部材８８は、ばね
座８６を介して軸部材２４（または管部材３８）に係合
している。これにより、簡単な構成で、作動部材６４の
進退作用下に軸部材２４の揺動動作および進退動作が円
滑に遂行可能になる。

【００３８】さらに、ベローズ部材４２、４６を用いる
ことにより、弁箱１６内を気密かつ確実にシールするこ
とができる。

【００３９】さらにまた、作動部材６４の両側部６６が
リニアガイド６８を介して支持されており、前記リニア
ガイド６８が前記作動部材６４に上下方向および左右方
向に作用する荷重を確実に受けることができる。従っ
て、作動部材６４の進退動作が確実に行われ、ゲートバ
ルブ１０を精度よく駆動制御することが可能になる。

【００４０】図７は、本発明の第２の実施形態に係るゲ
ートバルブ１００の断面正面図である。なお、第１の実
施形態に係るゲートバルブ１０と同一の構成要素には同
一の参照符号を付して、その詳細な説明は省略する。

【００４１】このゲートバルブ１００を構成する管部材
１０２は、軸部材２４を進退可能に挿入するとともに、
その内部に段差部１０４が設けられる。段差部１０４と
ローラ７８を設けたロッド７６との間には、押圧用ばね
部材１０６が介装されている。

【００４２】このように構成される第２の実施形態で
は、ローラ７８が管部材１０２の段差部１０４とロッド
７６との間に介装されるばね部材１０６の弾性力を介し
て、カム構造７４を構成する揺動溝８０の上方側に、常
時、付勢されている。このため、ローラ７８を揺動溝８
０に対応して保持することができ、シリンダ５２の駆動
作用下に作動部材６４を矢印Ｂ方向に進退させる際に
は、前記ローラ７８が前記揺動溝８０内を上下動して、
軸部材２４および管部材１０２は、支軸２０を中心に閉
位置Ｐ１と開位置Ｐ２との間を円滑に揺動することが可
能になる。

【００４３】また、管部材１０２が閉止部材４４に当接
支持された後、作動部材６４がさらに矢印Ｂ１方向に移
動すると、ばね部材１０６を圧縮しながらローラ７８が
シール溝８２に沿って下降し、軸部材２４が矢印Ａ１方
向に移動する。これにより、ゲート部１８の内部が拡張
され、通孔１４ａ、１４ｂのシールが確実に遂行され
る。

【００４４】一方、作動部材６４が矢印Ｂ２方向に移動
する際には、ローラ７８はばね部材１０６の弾性力を介
してシール溝８２に沿って上方に移動し、ゲート部１８
の内部が収縮されて弁箱１６のシールが解除される。こ
のため、単一のシリンダ５２を介して、ゲート部１８の
揺動動作と前記ゲート部１８の拡縮動作とが、円滑かつ
確実に遂行される等、第１の実施形態と同様の効果が得
られる。

【００４５】図８は、本発明の第３の実施形態に係るゲ
ートバルブを構成するゲート部１２０の断面説明図であ
り、図９はゲート部１２０の側面図である。なお、第１
の実施形態に係るゲートバルブ１０と同一の構成要素に
は同一の参照符号を付して、その詳細な説明は省略す
る。

【００４６】ゲート部１２０を構成する一対の弁板１２
２には、互いに対向して同軸上にそれぞれ異なる方向の
ねじ孔１２４ａ、１２４ｂが形成される。弁板１２２の
内部を拡縮するための押圧機構１２６は、軸部材２４の
端部に連結された枠体１２８を備え、この枠体１２８の
内面側には、ラック１３０が矢印Ａ方向に延在して設け
られる。

【００４７】このラック１３０には、ピニオン１３２が
歯合するとともに、前記ピニオン１３２の軸心位置に
は、左右異方向のねじを刻設したねじ軸１３４ａ、１３
４ｂが軸着され、前記ねじ軸１３４ａ、１３４ｂがねじ
孔１２４ａ、１２４ｂに螺合している。

【００４８】このように構成される第３の実施形態で
は、軸部材２４が矢印Ａ方向に進退すると、この軸部材
２４に固着されている枠体１２８を介してラック１３０
が矢印Ａ方向に進退する。ラック１３０にはピニオン１
３２が歯合しており、前記ラック１３０が矢印Ａ方向に
進退することによって、前記ピニオン１３２がねじ軸１
３４ａ、１３４ｂと一体的に所定の方向に回転する。こ
のため、ねじ軸１３４ａ、１３４ｂは、ねじ孔１２４
ａ、１２４ｂに螺合した状態で回転し、弁板１２２が互
いに近接する方向および離間する方向に一体的に変位す
る。

【００４９】これにより、第３の実施形態では、ゲート
部１２０の拡縮作業が簡単な構成で確実に行われる等、
第１および第２の実施形態と同様の効果が得られる。

【００５０】

【発明の効果】本発明に係るゲートバルブでは、弁箱内
で弁板を閉位置と開位置とに揺動させる駆動と、前記弁
板を前記弁箱の通孔に対して進退させる駆動とが、単一
のアクチュエータで行われるため、それぞれの駆動を個
別のアクチュエータで行う従来技術に比べ、ゲートバル
ブ全体を有効に小型化するとともに、安価に構成するこ
とができる。

【００５１】これにより、ゲートバルブの製造コストを
有効に削減するとともに、前記ゲートバルブの占有スペ
ースを狭小化することが可能になる。しかも、信号系を
単一化して経済的なものになるとともに、リレー等が不
要になって、信頼性の向上を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施形態に係るゲートバルブの
断面正面図である。

【図２】前記ゲートバルブの断面側面図である。

【図３】前記ゲートバルブを構成するゲート部が開位置
に配置された状態の説明図である。

【図４】前記ゲートバルブを構成する作動機構によりゲ
ート部が揺動した際の動作説明図である。

【図５】前記作動機構により軸部材が進退する際の動作
説明図である。

【図６】前記ゲート部が拡張する際の動作説明図であ
る。

【図７】本発明の第２の実施形態に係るゲートバルブの
断面正面図である。

【図８】本発明の第３の実施形態に係るゲートバルブを
構成するゲート部の断面説明図である。

【図９】前記ゲート部の側面図である。

【図１０】従来技術に係るゲートバルブの概略構成説明
図である。

【符号の説明】

１０、１００…ゲートバルブ １２ａ、１２ｂ…
側壁部 １４ａ、１４ｂ…通孔 １６…弁箱 １８、１２０…ゲート部 ２０…支軸 ２２、１２２…弁板 ２４…軸部材 ２６…シール面 ２８…シール材 ３０、１２６…押圧機構 ３２…作動機構 ３６…基台部 ３８、１０２…管
部材 ４０…リング ４２、４６…ベロ
ーズ部材 ４４…閉止部材 ４８…テーパ部 ５０…転動子 ５２…シリンダ ６２…ピストンロッド ６４…作動部材 ６６…両側部 ６８…リニアガイ
ド ７４…カム構造 ７６…ロッド ７８…ローラ ８０…揺動溝 ８２…シール溝 ８８、１０６…ば
ね部材 ９０…閉じばね １０４…段差部 １２４ａ、１２４ｂ…ねじ孔 １２８…枠体 １３０…ラック １３２…ピニオン １３４ａ、１３４ｂ…ねじ軸

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｆ１６Ｋ 41/10 Ｆ１６Ｋ 41/10 51/02 51/02 Ｂ (72)発明者 宮崎 省吾 茨城県筑波郡谷和原村絹の台４−２−２ エスエムシー株式会社筑波技術センター内 (72)発明者 染谷 満広 茨城県筑波郡谷和原村絹の台４−２−２ エスエムシー株式会社筑波技術センター内 Ｆターム(参考） 3H053 AA02 AA03 AA25 BA11 BD10 CA06 DA09 3H056 AA05 BB22 BB32 CA01 CB03 CE03 GG14 3H066 AA03 BA17 BA19 DA11

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】弁箱内に配設されたゲート部を、支軸を中
   心にして前記弁箱に設けられた通孔に対応する閉位置
   と、前記通孔から離間する開位置とに揺動させて、該通
   孔を開閉可能なゲートバルブであって、 前記閉位置で前記ゲート部を前記通孔側に拡縮させるこ
   とにより、該ゲート部が前記通孔の周囲に設けられたシ
   ール部に密着し該通孔を閉塞可能な押圧機構と、 単一のアクチュエータの作用下に、前記ゲート部を前記
   支軸を支点に揺動させるとともに、前記閉位置で前記押
   圧機構を付勢して前記ゲート部を前記通孔側に拡縮させ
   る作動機構と、 を備えることを特徴とするゲートバルブ。
2. 【請求項２】請求項１記載のゲートバルブにおいて、前
   記押圧機構は、前記支軸の軸線上を通りかつ該軸線に交
   差する軸線を有し、軸方向に進退して前記ゲート部を拡
   縮させる軸部材を備え、 前記作動機構は、前記アクチュエータに係合して進退自
   在な作動部材と、 前記軸部材を前記開位置と前記閉位置とに揺動させると
   ともに、該閉位置で前記軸部材を前記軸方向に進退させ
   るカム構造と、 を備えることを特徴とするゲートバルブ。
3. 【請求項３】請求項１または２記載のゲートバルブにお
   いて、前記軸部材を進退可能に挿入して前記支軸を中心
   に揺動自在な管部材と、 前記管部材に当接して前記ゲート部を前記閉位置に保持
   する閉止部材と、 前記管部材を囲繞して前記ゲート部と前記弁箱とに固着
   され、該弁箱内を気密にシール可能なベローズ部材と、 を備えることを特徴とするゲートバルブ。
4. 【請求項４】請求項３記載のゲートバルブにおいて、前
   記作動部材に押圧用ばね部材の一端が係合するととも
   に、前記押圧用ばね部材の他端が前記軸部材または前記
   管部材に係合することを特徴とするゲートバルブ。
5. 【請求項５】請求項３記載のゲートバルブにおいて、前
   記管部材に押圧用ばね部材の一端が係合するとともに、
   前記押圧用ばね部材の他端が前記軸部材に係合すること
   を特徴とするゲートバルブ。
6. 【請求項６】請求項１乃至５のいずれか１項に記載のゲ
   ートバルブにおいて、前記作動部材の両側部には、上下
   方向および左右方向に作用する荷重を受けるために該作
   動部材の進退方向に延在して一対のリニアガイドが配設
   されることを特徴とするゲートバルブ。