TWI696779B - 閘閥 - Google Patents

Abstract

本發明之閘閥具有：閥箱，其具有中空部、及以隔著上述中空部相互對向之方式設置且成為連通之流路的第1開口部及第2開口部；中立閥體，其配置於上述閥箱之上述中空部內且可閉塞上述第1開口部；旋轉軸，其使上述中立閥體於將上述中立閥體設為相對於上述第1開口部閉塞之狀態的閥閉塞位置、與將上述中立閥體設為自上述第1開口部退避之開放狀態的閥開放位置之間旋動；旋轉裝置，其包含使上述旋轉軸旋轉之齒條與小齒輪及驅動上述齒條與小齒輪之旋轉氣缸；閉塞解除驅動部，其包含進行解除上述中立閥體之閉塞之動作的閉塞解除氣缸；及順序電路，其可使解除上述中立閥體之閉塞之動作與上述中立閥體之旋轉動作依序動作。上述旋轉氣缸具有：賦能部，其使上述中立閥體進行關閉動作；活塞，其可進行開閉動作；及第1壓力空間與第2壓力空間，其等於上述活塞之動作方向串聯配置，該第1壓力空間可供上述活塞進行關閉動作，該第2壓力空間可供上述活塞進行開啟動作。上述順序電路具有氣動式雙通道滑閥以及由止回閥及流量調整閥組合而成之速度控制閥。上述順序電路於利用1個系統之驅動壓縮空氣供給而開啟上述閘閥時，將壓縮空氣作為阻尼器用空氣供給至上述第1壓力空間，於上述閉塞解除氣缸之驅動結束時，將上述第1壓力空間設為非加壓狀態，將上述第2壓力空間設為加壓狀態，開始上述旋轉氣缸之開啟動作，且於上述中立閥體即將到達上述閥開放位置之前，由上述第1壓力空間之空氣緩和衝擊，於解除上述驅動壓縮空氣供給而關閉上述閘閥時，將上述第1壓力空間及上述第2壓力空間設為非加壓狀態，藉由上述賦能部之賦能力開始上述旋轉氣缸之關閉動作，且於上述中立閥體即將到達上述閥閉塞位置之前，由上述第2壓力空間之阻尼器用空氣緩和衝擊，於上述中立閥體之旋轉動作結束時，利用上述閉塞解除氣缸開始上述中立閥體之閉塞動作。

Description

閘閥

本發明係關於一種適於鐘擺型等之閘閥，其除利用閥體(閥板)開閉流路之動作外，還使閥體滑動動作。尤其，本發明係關於如下之閘閥：隔斷(密閉)真空裝置等中連接具有不同壓力之2個空間之流路及連接進行不同製程之2個空間的流路，且解除該隔斷狀態(連接2個空間)。

於真空裝置等，設置有隔斷腔室與配管間、配管與配管間、或配管與泵等之間等不同真空度之2個空間之間，且連接被隔斷之2個空間之閘閥。作為此種閘閥，已知有各種形態之閥。

已知有例如以下構造：使閥板滑動而將閥板插入至流路之閥開閉位置，使該閥板進一步作動而隔斷流路(閉閥動作)、或使上述閥板作動而連接流路(開閥動作)，使閥板進一步滑動，而使閥板自流路退避至閥箱內之退避位置。作為具有此種構造之閥，已知有鐘擺型、直動型、門型等。

鐘擺型滑閥具有配置以下構件之構造：閥箱，其形成有構成流路之第1開口部及第2開口部且具有中空部；支持體，其在中空部固設於旋轉軸並沿平行於與旋轉軸呈垂直之面之方向展開；及閥體(於將密封環板設置於開口部之構造時為閥板)，其固設於該支持體。於該滑閥(閘閥)中，使上述旋轉軸旋轉，使上述閥體旋動，而將上述閥體插入至開口部(流路)之閥開閉位置，或使上述閥體退避至未形成開口部之退避位置。

本發明者等人開發出一種具備在藉由供給壓縮空氣而驅動之滑閥中可實現閉塞之面積之大型化的構成，且可以簡單之構成實現高可靠性之隔斷動作的閘閥，並進行了專利申請(日本專利第5728841號公報，以下稱為專利文獻1)。

又，作為鐘擺型閘閥，已知有設置以下構件之構造：閥板，其可於外殼之中空部內繞旋轉軸旋動；可滑動之密封環板，其配置於外殼之開口部；及致動器，其使上述密封環板滑動至與外殼一體形成之凸緣。於該閘閥中，將上述密封環板抵接並按壓於上述閥板而密閉流路，或使上述密封環板自上述閥板離開而開放流路(例如，參照日本專利第3655715號公報，以下稱為專利文獻2)。

該鐘擺型閘閥之致動器具有將螺栓、環狀腔室(缸體)、活塞及彈簧沿密封環板之滑動方向串聯配置之構造。因此，於密閉流路時，彈簧產生之復原力經由活塞、缸體及螺栓傳遞至密封環板。

於上述之閘閥中，已知例如為了閥體之旋動使用壓縮空氣。

又，日本專利特開2013-190028號公報(以下稱為專利文獻3)所揭示之閥與使用壓縮空氣之閘閥之不同點在於閥類型，但作為如專利文獻3記載之常閉合(Normally closed)，即，於驅動電力供給或壓縮空氣供給等消失時成為閉閥位置以便能自動密閉流路者，尋求高度安全之閥。

該常閉合意指於不作用進行閥隔斷動作時驅動閥體等之壓縮空氣(氣壓)之狀態等，閥處於開啟狀態時自動成為關閉狀態，閥處於關閉狀態時維持關閉流路之狀態。

然而，本發明者等人開發之專利文獻1記載之滑閥不具有此種常閉合構造。

又，專利文獻2記載之氣壓驅動之閘閥中，於使用彈簧構件實現常閉合構造之情形時，有因進行常閉合動作之彈簧構件之賦能力，引起於動作停止時等使驅動部或閥體等可動部抵接於其他構件之情形。

最近，隨著閘閥之開閉動作之快速化及以閘閥閉塞之面積之大型化，不能充分地防止因閘閥之動作而發生之碰撞，且該情況成為產生顆粒之原因而備受矚目。為了解決該問題，亦考慮將阻尼器等機械構件設置於閘閥。

然而，於設置有閘閥之裝置、製造線等，閘閥之設置姿勢根據使用閘閥之裝置、線設定而呈多樣化。因此，於製造閘閥時，通常無法規定閘閥之設置姿勢。因此，提前考慮閘閥之所有設置姿勢而將阻尼器設置於閘閥並不現實。其係由於根據閘閥之設置姿勢，對閘閥進行開閉動作時之動作方向會變化之故。再者，藉由將阻尼器等機械機構設置於閘閥而使因開閉動作引起之碰撞量變動，但必須根據機械機構之碰撞吸收力設定機械機構之構造、個數、性能等。關於裝置、製造線中之閘閥之設置姿勢，可考慮多種設置構造，但據此準備多種阻尼器並不現實。

又，於本發明者等人開發之專利文獻1記載之滑閥中，作為驅動控制氣壓，使用3個系統之壓縮空氣，但產生了欲僅以供給1個系統之驅動控制用壓縮空氣之壓力，即僅以1個系統之氣壓之接通/斷開(on/off)來控制滑閥之開閉動作的要求。

同時，為了可實現較大面積之隔斷動作，閘閥大型化，但供給至閘閥之控制用流體(壓縮空氣等)之壓力未增加地如此之多。因此，為了驅動重量增加之閥體等可動部，要求增大可動部之輸出，而有構成閘閥之零件之體積亦擴大之傾向。然而，於供設置閘閥之裝置、製造線等，始終尋求省空間化，故有欲將構成閘閥之零件省空間化、小型化之要求。

本發明係鑒於此種先前之實際情況而完成者，目的在於提供一種具有常閉合構造之閘閥，其可防止因閘閥之動作引起之碰撞而產生顆粒，並謀求零件之省空間化，可僅以供給1個系統之驅動用壓縮空氣來動作，可進行高可靠性之隔斷動作，且可謀求可動閥部之輕量化。

為解決上述問題，本發明之第1態樣之閘閥具有：閥箱，其具有中空部、及以隔著上述中空部相互對向之方式設置且成為連通之流路的第1開口部及第2開口部；中立閥體，其配置於上述閥箱之上述中空部內且可閉塞上述第1開口部；旋轉軸，其使上述中立閥體於將上述中立閥體設為相對於上述第1開口部閉塞之狀態的閥閉塞位置、與將上述中立閥體設為自上述第1開口部退避之開放狀態的閥開放位置之間旋動；旋轉裝置，其包含使上述旋轉軸旋轉之齒條與小齒輪及驅動上述齒條與小齒輪之旋轉氣缸；閉塞解除驅動部，其包含進行解除上述中立閥體之閉塞之動作的閉塞解除氣缸；及順序電路，其可使解除上述中立閥體之閉塞之動作與上述中立閥體之旋轉動作依序動作。上述旋轉氣缸具有：賦能部，其使上述中立閥體進行關閉動作；活塞，其可進行開閉動作；及第1壓力空間與第2壓力空間，其等於上述活塞之動作方向串聯配置，該第1壓力空間可供上述活塞進行關閉動作，該第2壓力空間可供上述活塞進行開啟動作。上述順序電路具有氣動式雙通道滑閥及由止回閥及流量調整閥組合而成之速 度控制閥。上述順序電路於利用1個系統之驅動壓縮空氣供給而開啟上述閘閥時，將壓縮空氣作為阻尼器用空氣供給至上述第1壓力空間，於上述閉塞解除氣缸之驅動結束時，將上述第1壓力空間設為非加壓狀態，將上述第2壓力空間設為加壓狀態，開始上述旋轉氣缸之開啟動作，且於上述中立閥體即將到達上述閥開放位置之前，由上述第1壓力空間之空氣緩和衝擊，於解除上述驅動壓縮空氣供給而關閉上述閘閥時，將上述第1壓力空間及上述第2壓力空間設為非加壓狀態，藉由上述賦能部之賦能力開始上述旋轉氣缸之關閉動作，且於上述中立閥體即將到達上述閥閉塞位置之前，由上述第2壓力空間之阻尼器用空氣緩和衝擊，於上述中立閥體之旋轉動作結束時，利用上述閉塞解除氣缸開始上述中立閥體之閉塞動作。

為解決上述問題，本發明之第2態樣之閘閥具備：閥箱，其具有中空部、及以隔著上述中空部相互對向之方式設置且成為連通之流路的第1開口部及第2開口部；中立閥體，其配置於上述閥箱之上述中空部內且可閉塞上述第1開口部；旋轉軸，其作為使上述中立閥體於將上述中立閥體設為相對於上述第1開口部閉塞之狀態的閥閉塞位置、與將上述中立閥體設為自上述第1開口部退避之開放狀態的閥開放位置之間動作的位置切換部發揮功能，且具有沿流路方向延伸之軸線；旋轉裝置，其包含使上述旋轉軸旋轉之齒條與小齒輪及驅動上述齒條與小齒輪之旋轉氣缸；閉塞解除驅動部，其包含進行解除上述中立閥體之閉塞之動作的閉塞解除氣缸；及順序電路，其可使解除上述中立閥體之閉塞之動作與上述中立閥體之旋轉動作依序動作。上述中立閥體具有：中立閥部，其連接於上述位置切換部；及可動閥部，其可變更在上述流路方向上之位置地對上述中立閥部連接。上述可動閥部具有：第1可動閥部，其設置有周設於上述可動閥 部且密接於上述第1開口部周圍之閥箱內表面的密封部，且可變更在上述流路方向上之位置地對上述中立閥體連接；及第2可動閥部，其可相對於上述第1可動閥部沿上述流路方向滑動。上述閘閥具備內置於上述閥箱之複數個第1賦能部、配置於上述第1可動閥部與上述第2可動閥部間之第2賦能部、及第3賦能部，上述第3賦能部可變更在上述流路方向上之位置地對上述中立閥部連接上述第1可動閥部，且將上述第1可動閥部朝上述流路方向之中央位置賦能。複數個上述第1賦能部具有以下功能：由上述閉塞解除氣缸驅動將上述第1可動閥部在上述流路方向上朝上述第1開口部賦能，而使上述密封部密接於上述第1開口部周圍之閥箱內表面。上述第2賦能部以可調整上述第1可動閥部與上述第2可動閥部在上述流路方向上之厚度尺寸之方式驅動。上述旋轉氣缸具有：賦能部，其使上述中立閥體進行關閉動作；活塞，其可進行開閉動作；及第1壓力空間與第2壓力空間，其等於上述活塞之動作方向串聯配置，該第1壓力空間可供上述活塞進行關閉動作，該第2壓力空間可供上述活塞進行開啟動作。上述順序電路具有氣動式雙通道滑閥及由止回閥及流量調整閥組合而成之速度控制閥。上述順序電路於利用1個系統之驅動壓縮空氣供給而開啟上述閘閥時，將壓縮空氣作為阻尼器用空氣供給至上述第1壓力空間，於上述密閉解除氣缸之驅動結束時，將上述第1壓力空間設為非加壓狀態，將上述第2壓力空間設為加壓狀態，開始上述旋轉氣缸之開啟動作，且於上述中立閥體即將到達上述閥開放位置之前，由上述第1壓力空間之空氣緩和衝擊，於解除上述驅動壓縮空氣供給而關閉上述閘閥時，將上述第1壓力空間及上述第2壓力空間設為非加壓狀態，藉由上述賦能部之賦能力開始上述旋轉氣缸之關閉動作，且於上述中立閥體即將到達上述閥閉塞位置之前，由上述第2壓力空 間之阻尼器用空氣緩和衝擊，於上述中立閥體之旋轉動作結束時，利用上述閉塞解除氣缸開始上述中立閥體之閉塞動作。

為解決上述問題，本發明之第3態樣之閘閥具備：閥箱，其具有中空部、及以隔著上述中空部相互對向之方式設置且成為連通之流路的第1開口部及第2開口部；中立閥體，其配置於上述閥箱之上述中空部內且可閉塞上述第1開口部；旋轉軸，其作為使上述中立閥體於將上述中立閥體設為相對於上述第1開口部閉塞之狀態的閥閉塞位置、與將上述中立閥體設為自上述第1開口部退避之開放狀態的閥開放位置之間動作的位置切換部發揮功能，且具有沿流路方向延伸之軸線；旋轉裝置，其包含使上述旋轉軸旋轉之齒條與小齒輪及驅動上述齒條與小齒輪之旋轉氣缸；密封環，其可相對於上述流路方向滑動地設置於上述第1開口部周圍且可實現抵接於成為閥閉塞位置之上述中立閥體而閉塞上述流路的閉塞狀態及使上述中立閥體成為上述閥開放位置之開放狀態，且可調整上述流路之開度；閉塞解除氣缸，其內置於上述閥箱並解除上述密封環之上述閉塞狀態；密封環賦能部，其將上述密封環朝抵接於上述中立閥體之方向賦能；及順序電路，其可使解除上述中立閥體之閉塞之動作與上述中立閥體之旋轉動作依序動作。上述旋轉氣缸具有：賦能部，其使上述中立閥體進行關閉動作；活塞，其可進行開閉動作；及第1壓力空間與第2壓力空間，其等於上述活塞之動作方向串聯配置，該第1壓力空間可供上述活塞進行關閉動作，該第2壓力空間可供上述活塞進行開啟動作。上述順序電路具有氣動式雙通道滑閥及由止回閥及流量調整閥組合而成之速度控制閥。上述順序電路於利用1個系統之驅動壓縮空氣供給而開啟上述閘閥時，將壓縮空氣作為阻尼器用空氣供給至上述第1壓力空間，於上述密閉解除氣缸之驅動 結束時，將上述第1壓力空間設為阻尼器壓力狀態，將上述第2壓力空間設為加壓狀態，開始上述旋轉氣缸之開啟動作，且於上述中立閥體即將到達上述閥開放位置之前，由上述第1壓力空間之空氣緩和衝擊，於解除上述驅動壓縮空氣供給而關閉上述閘閥時，將上述第1壓力空間設為阻尼器壓力狀態，將上述第2壓力空間設為非加壓狀態，藉由上述賦能部之賦能力開始上述旋轉氣缸之關閉動作，且於上述中立閥體即將到達上述閥閉塞位置之前，由上述第2壓力空間之阻尼器用空氣緩和衝擊，於上述中立閥體之旋轉動作結束時，利用上述閉塞解除氣缸開始上述中立閥體之閉塞動作。

另，於本發明之態樣之閘閥中，上述順序電路可具備關閉檢測軸(旋轉動作結束檢測開關閥)，並使上述中立閥體進行閉塞解除動作。

於本發明之態樣之閘閥中，具有常閉合構造，且可藉由順序電路中之1個系統之驅動壓縮空氣之供給/解除而使解除上述中立閥體之閉塞之動作與上述中立閥體之旋轉動作依序進行，可藉由上述第1壓力空間之阻尼器用空氣緩和因閘閥之動作引起之衝擊而防止產生顆粒。

根據本發明之態樣之閘閥，可提供一種具有常閉合構造之閘閥，其可防止因閘閥之動作引起之衝擊而產生顆粒，可謀求零件之省空間化，可僅以1個系統之驅動用壓縮空氣供給來動作，可實現高可靠性之隔斷動作，且可謀求可動閥部之輕量化。

以下，基於圖式說明本發明之第1實施形態之閘閥。

又，以下之說明所用之各圖中，為了將各構成要素設為在圖式上可辨識之程度之大小，使各構成要素之尺寸及比例與實物適當不同。

本發明之技術範圍不限定於以下所述之實施形態，於不脫離本發明之主旨之範圍內，可施加各種變更。

(第1實施形態) 圖1係顯示本實施形態之閘閥之構成之圖。圖2係顯示本發明之第1實施形態之閘閥之構成的縱剖視圖，且係顯示將閥體配置於可進行退避動作之位置之情形的圖。圖3係顯示圖2所示之中立閥部與第1可動閥部之連接部分及第1賦能部與第2賦能部附近區域中之要部的放大圖。圖4係顯示本實施形態之閘閥之構成之縱剖視圖，且係顯示將中立閥體配置於閉閥位置之情形的圖。圖5係顯示圖4所示之中立閥部與第1可動閥部之連接部分及第1賦能部與第2賦能部附近區域中之要部的放大圖。圖6係顯示本發明之第1實施形態之閘閥之構成之縱剖視圖，且係顯示將閥體配置於退避位置之情形的圖。圖7A係放大顯示本發明之第1實施形態之閘閥中位於旋轉軸及流體路徑環附近之構件之要部的圖，且係沿著旋轉軸之徑向之剖視圖。圖7B係放大顯示本發明之第1實施形態之閘閥中位於旋轉軸及流體路徑環附近之構件之要部的圖，且係沿著旋轉軸之軸向之剖視圖。

[鐘擺型閘閥] 第1實施形態之閘閥1如圖1～圖6所示為鐘擺型閘閥。 本實施形態之閘閥1具備：閥箱10，其設置有相互對向之第1開口部12a與第2開口部12b；作為切換部之旋轉軸20，其貫通閥箱10；連接構件91，其固接於旋轉軸20；中立閥部30，其經由該連接構件91連接於旋轉軸20；可動閥部40，其可沿旋轉軸20之軸線方向移動地連接於中立閥部30；主彈簧(第1賦能部)70，其沿可動閥部40之厚度方向對可動閥部40賦能而增加可動閥部40之厚度；驅動用之圓環狀氣缸(閉塞解除氣缸)80，其可沿與主彈簧70之賦能方向相反之方向伸展；及位置限制用之輔助彈簧(第3賦能部)90，其使可動閥部40配置於接近閥箱10之中央位置之位置。

中立閥部30及可動閥部40構成中立閥體5。又，可動閥部40由可動閥板部(第2可動閥部)50與可動閥框部(第1可動閥部)60構成。自第1開口部12a朝第2開口部12b設定流路H。另，於以下之說明中，有時將沿著該流路H之方向稱為流路方向H。

當旋轉軸20沿以符號A1所示之方向(與流路H之方向交叉之方向)旋轉時，伴隨該旋轉，經由連接構件91固定於旋轉軸20之中立閥部30亦沿著方向A1旋動。又，由於可動閥部40可僅沿厚度方向滑動地連接於中立閥部30，故可動閥部40與中立閥部30一體旋轉。

如此，藉由旋轉中立閥部30，可動閥部40自未設置流路H之中空部11之退避位置E1以鐘擺運動移動至與第1開口部12a對應之位置之流路H之閉閥位置E2。

接著，若使主彈簧70沿伸展之方向發揮作用，藉此進行擴大可動閥部40在流路H方向上之厚度尺寸之動作(閉閥動作)，則如後述般，可動閥框部60之密封部61與可動閥板部50之斥力傳遞部59分別按壓閥箱10之內表面15a與內表面15b，藉此可動閥部40將流路H密閉。

相反，藉由使圓環狀氣缸(第2賦能部)80發揮作用，使得圓環狀氣缸80之按壓力大於主彈簧70之賦能力，而進行收縮可動閥部40在流路H方向上之厚度尺寸的動作。藉此，可動閥部40之表面及背面離開閥箱10之內表面15a及內表面15b(解除動作)。隨後，當旋轉軸20沿以符號A2所示之方向旋轉(退避動作)時，伴隨該旋轉，中立閥部30及可動閥部40亦沿方向A2旋動。

藉由該解除動作與退避動作，可動閥部40自上述閥開閉位置退避至上述退避位置，而進行將可動閥部40設為開閥狀態之開閥動作。

[閥箱10] 閥箱10由具有中空部11之框體構成。於框體之圖示上表面設置有第1開口部12a，於框體之圖示下表面設置有第2開口部12b。

閘閥1插入至第1開口部12a露出之空間(第1空間)與第2開口部12b露出之空間(第2空間)間。閘閥1隔斷(密閉)連接第1開口部12a與第2開口部12b之流路H，即連接第1空間與第2空間之流路H，且解除該隔斷狀態(連接第1空間與第2空間)。

於閥箱10之中空部11設置有旋轉軸20、中立閥部30、可動閥部40、主彈簧(第1賦能部)70、圓環狀氣缸(第2賦能部)80及輔助彈簧(第3賦能部)90。

[旋轉軸20、流體路徑環17、18] 旋轉軸20設置為以與流路H大致平行之狀態延伸而貫通閥箱10且可旋轉。

於該旋轉軸20固接有連接構件91。該連接構件91為例如大致平板狀之構件。如圖7B所示，藉由螺栓92對旋轉軸20之一端20a固接。於流路方向H上，於連接構件91之一端側形成有突起部93。換言之，突起部93沿與流路方向H正交之方向展開，連接構件91具有大致T字狀之剖面形狀。

旋轉軸20如圖7A及圖7B所示，經由軸承等即軸承16A、16B貫通該閥箱10且可旋動地支持於閥箱10所固設之閥套14。軸承16A、16B於沿著旋轉軸20之軸線LL之方向上儘可能分開地配置。

閥套14被固定以便於密閉狀態下相對於閥箱10貫通。閥套14具有：密封閥套14A，其於密閉狀態下由旋轉軸20自由旋動地貫通；圓筒閥套14B，其連接於該密封閥套14A，且經由設置於其內周側之軸承16A、16B自由旋動地支持旋轉軸20；及蓋體閥套14C，其閉塞圓筒閥套14B之一端。密封閥套14A、筒閥套14B及蓋體閥套14C相互固定連接。於蓋體閥套14C設置有閉塞供插拔旋轉軸20之開孔之蓋體14D。

為了密封閥箱10之內部，於密封閥套14A設置有密封部14Aa、14Ab、14Ac及大氣壓之空間(空隙)即中間大氣室14Ad。

於圓筒閥套14B之內周面側，在沿著軸線之LL方向上，於軸承16A、16B間之位置，以可滑動地接觸於旋轉軸20之外周面20b之方式固定有流體路徑環17、18。

於旋轉軸20之外周面20b中流體路徑環17、18間之中心位置，固接有構成用以使該旋轉軸20驅動(旋轉)之旋轉軸驅動機構100(參照圖8)之小齒輪21。小齒輪21被收納於可自外部密閉之閥套14B之內部空間22h，且於該小齒輪21連接有圓桿狀之齒條構件22。於圖7B中，藉由使齒條構件22沿紙面深度方向往復移動，齒條構件22經由小齒輪21使旋轉軸20旋動。

[旋轉軸驅動機構100] 圖8係顯示旋轉軸驅動機構100之剖視圖(伸展位置)。圖9係顯示旋轉軸驅動機構100之剖視圖(收縮位置)。圖10係顯示齒條構件及滑動軸承之要部放大剖視圖。圖11係顯示齒條構件與小齒輪之嚙合部分之要部放大剖視圖。

用以使旋轉軸20旋轉之旋轉軸驅動機構100具有小齒輪21，其固接於旋轉軸20；及齒條構件22，其具備與該小齒輪21嚙合之齒條齒22a。

又，旋轉軸驅動機構100具備用以使齒條構件22往復運動之旋轉驅動氣缸110(旋轉氣缸)與賦能部120。藉由旋轉驅動氣缸110與賦能部120，齒條構件22可沿軸線(長邊方向)C直線地往復運動。

齒條構件22如圖8、圖9所示，連接於具有與旋轉軸20之軸向正交之方向之軸線且往復動作之活塞112。活塞112被收納於筒狀之缸本體(閥套)111並構成旋轉驅動氣缸(驅動機構、旋轉氣缸、缸體)110。連接於該旋轉驅動氣缸110之齒條構件22藉由將壓縮空氣(驅動用氣體)供給至相對於齒條構件22成為活塞112相反側之伸展壓力空間(第2壓力空間)113而伸展。同樣地，齒條構件22藉由經賦能部120賦能之活塞112移動而收縮。

齒條構件22可沿軸向移動地收納於與閥套14B一體之閥套14Bb之內部以沿與旋轉軸20正交之方向延伸之方式設置的齒條收納空間(空間)22d、22g、22m內部。該等空間22d、22g、22m具有大於齒條構件22之徑尺寸之徑尺寸。於空間22d、22g、22m之內部，由以覆蓋2處外周之方式設置之滑動軸承(軸承)115B、115C可往復移動地支承齒條構件22。

軸承115B、115C配置於齒條構件22之軸線方向上小齒輪21與齒條構件22嚙合之位置之兩側。軸承115B、115C皆與閥套14Bb一體，且具有以小於空間22g之徑尺寸之方式縮徑之外周面，該等軸承115B、115C密接於齒條構件22之外周面。

於齒條構件22之外周面之周向單側，沿軸向相鄰設置有與小齒輪21嚙合之複數個齒條齒22a。於齒條構件22之外周面中與周向上設置有齒條齒22a之部位不同之位置，設置有連通槽116。連通槽116連通於相對於齒條構件22之軸線方向位於軸承115B之兩側的空間22d及空間22g。

該連通槽116如圖10所示，連通於相對於軸線方向位於軸承115C兩側之空間22g及空間22m。連通槽116之長度如下設定：於齒條構件22往復動作之情形時，亦維持位於軸承115B兩側之空間22d與空間22g中之連通狀態、及位於軸承115C兩側之空間22g與空間22m中之連通狀態。

伸展壓力空間113連接於經由稍後敍述之順序電路SQ通過伸展通氣口(供給路徑)114自旋轉驅動氣缸110之外部供給伸展用之壓縮空氣的供給源。

於收縮壓力空間(第1壓力空間)22c連接有經由稍後敍述之順序電路SQ自旋轉驅動氣缸110之外部自供給源供給壓縮空氣的供給路徑22j。自供路徑22j供給之壓縮空氣作為收縮時用作阻尼器壓力之阻尼器用空氣發揮功能。

關於收縮壓力空間22c至壓縮空氣供給源之路徑，供給路徑(壓縮通氣口)22j經過收納有齒條構件22之空間22d、配置於與縮徑之軸承115B對應之位置之連通槽116及對應於齒條齒22a之部分空間、於軸承115B與軸承115C間擴徑之空間22g、收納有小齒輪21之閥套14B之內部空間22h、內部空間22h與閥套14B之外部連接。

以軸承16A、16B相對於閥套14支持之旋轉軸20由藉由旋轉驅動氣缸(旋轉驅動裝置)往復運動之齒條構件22驅動，且與嚙合於該齒條構件22之小齒輪21一併進行旋轉動作。

又，於旋轉驅動氣缸(驅動機構、旋轉氣缸)110之收縮動作時、及齒條構件22維持收縮位置Pb之期間，收縮壓力空間22c、收納空間22d、收納有齒條構件22之空間22g、以與縮徑之軸承115B對應之方式定位之連通槽116及與齒條齒22a之嚙合位置對應之空間22g、不拘於軸承115B與軸承115C之位置擴徑之空間22d、22g、22m、收納有小齒輪21之閥套14B之內部空間22h、連接於該內部空間22h與閥套14B之外部的供給路徑22j皆可維持加壓狀態。

旋轉驅動氣缸110藉由伸縮驅動使齒條構件22往復運動。旋轉驅動氣缸110與收納有旋轉軸20之閥套14B一體。旋轉驅動氣缸110具備圓筒狀之缸本體111、該缸本體111內部之內部空間111b及可滑動地收納於內部空間111b之活塞112。

於旋轉驅動氣缸110，於缸本體111之與齒條構件22相反側之位置，軸向上串聯設置有賦能部120。賦能部120與缸本體111一體，且具有配置於一端側111a被閉塞之圓筒狀之缸本體111之外部的彈簧構件120s。彈簧構件120s連接於活塞112與軸122s並可將伸縮方向之賦能力傳遞至活塞112。

於旋轉驅動氣缸110之內部空間111b，由缸本體111之一端側111a與活塞112之一面側112a劃分，而形成因活塞112之移動容量可變之伸展壓力空間113。又，於缸本體111，形成有連通於該伸展壓力空間113，且經由稍後敍述之順序電路SQ將伸長驅動用之壓縮空氣供給至伸展壓力空間113的伸展通氣口(通氣口)114。於通氣口114連接例如泵作為設置於閘閥1外部之驅動用壓力空氣供給源即可。

活塞112可沿著軸線(長邊方向)C直線往復運動地收納於缸本體111之內部空間111b。具有此種構成之活塞112可於伸展位置Pa(圖8)與收縮位置Pb(圖9)間滑動。於伸展位置Pa(圖8)，伸展壓力空間113被擴充至最大，於缸本體111之內部空間111b中，活塞112位於最遠離一端側111a之位置。於收縮位置Pb(圖9)，活塞112之齒條構件22側之收縮壓力空間22c被擴充至最大，伸展壓力空間113縮小至最小，且活塞112位於最接近一端側111a之位置。

另，圖9中，省略齒條構件22之圖示。

又，於活塞112之一面側112a(第1面)形成有突起部112c。於缸本體111之一端側111a形成有於活塞112位於收縮位置Pb時供突起部112c進入之凹部111c。突起部112c之外徑與凹部111c之內徑大致相等，且以突起部112c之外表面與凹部111c之內表面滑動時，凹部111c之內部與伸展壓力空間113變為接近氣密狀態之方式設定突起部112c之外徑及凹部111c之內徑。通氣口114之一端側形成於在該凹部111c中露出之位置。

於活塞112之一面側112a，於突起部112c之中心位置固接有軸122s。

又，於活塞112之另一面側112b(第2面)，經由與突起部112c同樣形成之突起部(連接部)112d固接有齒條構件22。連接部112d之外徑與齒條收納空間22d之內徑大致相等，且以連接部112d之外表面與齒條收納空間22d之內表面滑動時，齒條收納空間22d之內部與收縮壓力空間22c變為接近氣密狀態之方式設定連接部112d之外徑及齒條收納空間22d之內徑。供給路徑(壓縮通氣口)22j之一端側形成於在齒條收納空間22d中露出之位置。

於活塞112之突起部112c形成有緩衝槽(壓縮緩衝槽)118，其剖面積沿活塞112之往復運動方向，即軸線(長邊方向)C連續變化，且使伸展壓力空間113內之空氣逐漸朝通氣孔114通氣。

具體而言，緩衝槽118形成於活塞112之突起部112c，且包含以自活塞112之一面側112a朝缸本體111之一端側111a剖面積擴大之方式相對於軸線(長邊方向)C傾斜之槽。

於活塞112之突起部112d，形成有緩衝槽(伸展緩衝槽)119，其剖面積沿活塞112之往復運動方向，即軸線(長邊方向)C連續變化，且使收縮壓力空間22c內之空氣逐漸朝空間22g通氣。

緩衝槽119與緩衝槽118同樣，形成於活塞112之突起部112d，且包含以自活塞112之另一面側112b朝齒條構件22側之空間22d剖面積變大之方式相對於軸線(長邊方向)C傾斜之槽。

於旋轉驅動氣缸110中，缸本體111之內部空間111b通過於活塞112之伸縮方軸方向上貫通徑向之中央位置之軸孔111s與缸本體111之一端側111a之外側連通。於軸孔111s之內部，軸122s可往復動作。藉此，氣缸110與賦能部120連動。

活塞112與內部空間111b之筒狀側面、軸122s與軸孔111s之內表面皆一面由O形環等密封構件維持密閉狀態，一面可相互滑動地全周密封。

於軸122s之與活塞112相反側之端部，設置有擴徑之固定部122。於缸本體111之一端側111a之外側與固定部122之另一面122b之間，安裝有可伸縮且作用賦能力之彈簧構件120s。

齒條構件22如圖8、圖9、圖10所示，形成為垂直於軸線(長邊方向)C之剖面成圓形之圓桿狀。且，於該圓桿狀之齒條構件22之周面之一部分，沿著軸線(長邊方向)C以特定之間距排列形成齒條齒22a。

在固接於旋轉軸20之小齒輪21與齒條齒22a之嚙合部分S之兩側，分別配置有可滑動地支持齒條構件22之滑動軸承115B、115C。於該等滑動軸承115B、115C，如圖10所示，形成有稍大於齒條構件22之剖面之剖面圓形之內周面115a。齒條構件22之外周接觸於該內周面115a，且內周面115a可沿著軸線(長邊方向)C順暢滑動地支持圓桿狀之齒條構件22。

又，如圖8、圖10所示，於齒條構件22之表面(周面)，以在軸線C方向上延伸至滑動軸承115B與滑動軸承115C之兩外位置側之方式形成如上所述之連通槽(槽)116。又，於收納齒條構件22之閥套14B形成有進入至該連通槽116之凸台(省略圖示)。藉由連通槽116與凸台之卡合，亦可防止齒條構件22繞軸線C旋動。藉此，齒條構件22在往復運動時不會繞軸線C扭轉。

圖11係顯示滑動軸承115B、115C之配置位置之說明圖。

滑動軸承115B、115C較佳配置於較小齒輪21與齒條構件22之嚙合部分S產生之齒條構件22之作用線(之延長線)L1、L2與齒條構件22之軸心(軸中心線)C的交點P1、P2更遠離嚙合部分S之方向。

即，分別如下配置滑動軸承115B、115C：將2個嚙合齒即小齒輪21與齒條齒22a之接觸點之移動方向即作用線L1、L2各自與齒條構件22之軸心(軸中心線)C交差之點設為交點P1、P2時，滑動軸承115B、115C之中心線Q較該等交點P1、P2更靠外側。

藉由如上所述般設定滑動軸承115B、115C之配置位置，滑動軸承115B、115C不會受到因小齒輪21之旋轉而產生之力，即朝向遠離小齒輪21之方向之力。藉此，可防止滑動軸承115B、115C對滑動軸承115B、115C與齒條構件22之接觸部分施加與軸心(軸中心線)C呈直角之方向之應力，降低滑動軸承115B、115C與齒條構件22之摩擦力，而順暢滑動地保持齒條構件22。

可於缸本體111之一端側111a設置於活塞112位於收縮位置Pb時動作之接觸式限位器開關閥(旋轉動作結束檢測開關閥)cdS。限位器開關閥cdS例如亦可依存於以下情況而動作：於活塞112之終端位置處可啟用順序電路SQ中朝輸出點FR之向閉塞解除氣缸80供給氣壓。

另，於圖9中，為了說明稍後敍述之緩衝槽118等之氣墊動作，顯示即將到達收縮位置Pb前之狀態。因此，未將限位器開關閥cdS顯示為動作狀態。

根據如上構成之旋轉軸驅動機構100，例如，於活塞112位於圖9所示之收縮位置Pb之情形時，自固接於該活塞112之齒條構件22經由小齒輪21連動(旋轉)之旋轉軸20成為於旋轉軸20之旋動範圍內繞圖8中之逆時針方向充分旋轉之狀態。於該旋轉軸20之位置處，經由固定於旋轉軸20之中立閥部30使可動閥部40位於流路H之閉閥位置E2(圖1)。

另一方面，於使活塞112自該收縮位置Pb移動至圖8所示之伸展位置Pa時，對由缸本體111之內表面與活塞112之一面側112a劃分之伸展壓力空間113之內部，自通氣口114送入驅動用壓縮空氣。

如此，因伸展壓力空間113之內壓提高，故因內壓產生之力大於彈簧構件120s之賦能力，活塞112沿軸線(長邊方向)C朝遠離缸本體111之一端側111a之方向移動(滑動)，故伸展壓力空間113擴大。

此時，收縮壓力空間22c內部之多餘空氣自收縮壓力空間22c經過齒條構件22收納用之空間22d、配置於與軸承115B對應之位置之連通槽116及對應於齒條齒22a之部分空間、閥套14Bb之內部空間22g、閥套14B之內部空間22h、通氣口22j除阻尼器用空氣以外向外部排出。進而，當可動閥部40接近退避位置E1時，收縮壓力空間22c內之空氣經由緩衝槽(伸展緩衝槽)119及控制緩衝流路119a逐漸向空間22g排出，而可獲得空氣阻尼效果(氣墊效果)。

又，此時，於賦能部120中，藉由彈簧構件120s，沿自圖8所示之伸展位置Pa朝向圖9所示之收縮位置Pb之方向對連接於軸122s之活塞112賦能，藉此可實現可動閥部40為閉閥位置E2(圖1)之常閉合。

當活塞112沿遠離缸本體111之一端側111a之方向移動至伸展位置Pa時，固接於活塞112之齒條構件22使與齒條齒22a嚙合之小齒輪21繞圖8中之順時針方向旋轉。藉此，旋轉軸20亦順時針方向旋轉，而經由固定於該旋轉軸20之中立閥部30使可動閥部40以鐘擺運動移動至流路H之退避位置E1(圖1)。

再者，於活塞112位於圖8所示之伸展位置Pa，且可動閥部40位於流路H之退避位置E1(圖1)之情形時，使活塞112自該伸展位置Pa(圖8)朝收縮位置Pb(圖9)移動時，藉由伸展壓力空間113內之殘留壓力產生氣墊作用。

藉由彈簧構件120s之賦能力，連接於軸122s之活塞112沿軸線(長邊方向)C朝接近缸本體111之一端側111a之方向移動(滑動)，故伸展壓力空間113縮小。

此時，伸展壓力空間113內部之多餘空氣經由通氣口114自伸展壓力空間113向外部排出，但當活塞112接近閉閥位置E2時，伸展壓力空間113內部之空氣經由緩衝槽118向外部排出。藉此，可使活塞112滑順地變為向收縮位置Pb移動。

藉此，於賦能部120中，如後述般，於連接於軸122s之活塞122沿自圖8所示之伸展位置Pa朝圖9所示之收縮位置Pb之方向移動時，可防止於成為閉閥位置E2(圖1)之關閉動作時，缸本體111之內表面與活塞112猛烈地抵接、碰撞。

對收縮壓力空間22c，自通氣口22j經過收納有小齒輪21之內部空間22h、收納有齒條構件22之內部空間22g、配置於與軸承115B對應之位置之連通槽116及與齒條齒22a之嚙合位置對應之空間22g、收納空間22d供給壓縮空氣。此時，藉由控制緩衝槽119a之控制銷119c，以接近閉塞之狀態封入壓縮空氣，故與軸承115C對應之連通槽116之內部、空間22d成為低於收縮壓力空間22c之壓力的加壓狀態。

當活塞112沿接近缸本體111之一端側111a之方向移動至收縮位置Pb時，固接於活塞112之齒條構件22使與齒條齒22a嚙合之小齒輪21繞圖8中之逆時針方向旋轉。藉此，旋轉軸20亦逆時針方向旋轉，經由固定於該旋轉軸20之中立閥部30使可動閥部40以鐘擺運動移動至流路H之閉閥位置E2(圖1)。

如此，使構成旋轉軸驅動機構100之缸本體111內之伸展壓力空間113及收縮壓力空間22c之內壓可變，且藉由彈簧構件122s之賦能力，使活塞112於伸展位置Pa(圖8)與收縮位置Pb(圖9)間直線運動。藉此，可經由齒條構件22、小齒輪21使旋轉軸20旋動，而使可動閥部40相對於流路H於退避位置E1與閉閥位置E2(圖1)間移動。

又，可藉由賦能部120實現成為閉閥位置E2(圖1)之常閉合。

再者，如上文之活塞112在伸展位置Pa與收縮位置Pb間移動時，可藉由緩衝槽118使活塞112滑順地變為向收縮位置Pb移動。同樣地，亦可藉由緩衝槽119使活塞112滑順地變為向伸展位置Pa移動。

對緩衝槽118進行說明。

於使活塞112自伸展位置Pa向收縮位置Pb移動時，因伸展壓力空間113之急劇縮小引起活塞112急停，即，為了不對齒條構件22與小齒輪21之嚙合部分S急劇地施加較大之應力，藉由形成於活塞112之突起部112c之緩衝槽118使活塞112滑順地變為向收縮位置Pb移動。

例如，就將驅動用壓縮空氣供給至收縮壓力空間22c，將收縮壓力空間22c之內壓設為阻尼器壓力狀態，且藉由彈簧構件120s之賦能力，使活塞112朝收縮位置Pb移動的情形進行說明。於該情形時，當移動至突起部112c進入缸本體111之凹部111c之位置時，自突起部112c周圍之伸展壓力空間113流入至凹部111c並自通氣口114排出之空氣之流通被阻斷。藉此，延伸至突起部112c周緣之伸展壓力空間113內壓急劇提高(伸展壓力空間113被壓縮)，而使力作用於活塞112之移動速度急劇減小之方向。

然而，藉由形成於突起部112c之緩衝槽118，伸展壓力空間113內之空氣經由該緩衝槽118被引導至通氣口114。即，伸展壓力空間113經由緩衝槽118連通於通氣口114。

且，由於該緩衝槽118以自活塞112之一面側112a朝向缸本體111之一端側111a剖面積擴大之方式形成，故當活塞112越接近收縮位置Pb(圖9)，緩衝槽118之剖面積，即開口面積越小。藉此，於活塞112即將位於收縮位置Pb之前，伸展壓力空間113至通氣口114之空氣之流量逐漸縮小(減少)，故伸展壓力空間113之內壓減少逐漸降低。藉此，可使活塞112平緩地於收縮位置Pb停止。因此，可防止因伸展壓力空間113之急劇縮小引起活塞112之急停，且可不對齒條構件22與小齒輪21之嚙合部分S(圖11)急劇施加較大之應力地使活塞滑順地停止。

同樣地，作為阻尼器用空氣，預先送入驅動用壓縮空氣而設為阻尼器壓力狀態，藉此，藉由緩衝槽119使活塞112滑順地變為向伸展位置Pa移動。接著，就將驅動用壓縮空氣供給至伸展壓力空間113，使伸展壓力空間113之內壓增大而使活塞112朝伸展位置Pa移動之情形進行說明。於該情形時，移動至突起部112d進入至閥套14Bb之空間22d之位置時，自突起部112d周圍之收縮壓力空間22c進入空間22d並朝空間22側移動而自通氣口22j排出之空氣之流通被阻斷。藉此，延伸至突起部112d之周緣之收縮壓力空間22c之內壓急劇提高(收縮壓力空間22c被壓縮)，而使力作用於活塞112之移動速度急劇減小之方向。

然而，藉由形成於突起部112d之緩衝槽119，收縮壓力空間22c內之空氣經由該緩衝槽119被引導至通氣口22j。

即，收縮壓力空間22c經由緩衝槽119連通於空間22d。

且，由於該緩衝槽119以自活塞112之一面側112a朝閥套14Bb之另一端側14Ba剖面積擴大之方式形成，故當活塞112越接近伸展位置Pa(圖8)，緩衝槽119之剖面積，即開口面積越小。藉此，於活塞112即將到達伸展位置Pa之前，收縮壓力空間22c至空間22d之空氣之流量逐漸縮小(減少)，故阻尼器壓力狀態之收縮壓力空間22c之內壓減少逐漸降低。藉此，可使活塞112平緩地於伸展位置Pa停止。因此，可防止因收縮壓力空間22c之急劇縮小引起活塞112之急停，且可不對齒條構件22與小齒輪21之嚙合部分S(圖11)急劇施加較大之應力地使活塞滑順地停止。

於旋轉驅動用氣缸110，除上述緩衝槽118、119外，還設置有控制緩衝流路119a，其用以調節活塞112即將到達伸展位置Pa之前、或緊接著活塞112開始自伸展位置Pa移動後之活塞112之移動速度。

控制緩衝流路119a之一端朝活塞112位於伸展位置Pa(圖8)時，位於由突起部112d閉塞之位置之空間22d開口。控制緩衝流路119a之另一端為朝閥套14Bb之另一面側14Ba開口之流路119a。

於該流路119a設置有控制用孔119b。控制用孔119b沿與流路119a相交之方向延伸，且連通於流路119a，並朝閥套14Bb之外部開口。於該控制用孔119b之內部，可沿控制用孔119b延伸之方向滑動地設置有能閉塞流路119a之控制銷119c。

該控制緩衝流路119a與緩衝槽119同樣，用於控制在收縮壓力空間22c與空間22d間移動之空氣之流量。

具體而言，控制緩衝流路119a中，當控制銷119c於控制用孔119b之內部移動時，流路119a之剖面積因控制銷之位置而變化。藉此，於收縮壓力空間22c與空間22d間移動之空氣之流量變化。因此，於控制緩衝流路119a朝空間22d開口之狀態，且突起部112d進入至閥套14Bb之空間22d之狀態之情形時，可藉由控制銷119c之位置來調節流路119a之開度，而控制活塞112之移動速度。

若拔出控制銷119c而增加流路119a之剖面積，則齒條構件22之移動速度，即可動閥體40(可動閥部)之鐘擺運動之移動速度增大。若插入控制銷119c使流路119a之剖面積減少，則齒條構件22之移動速度，即可動閥體40之鐘擺運動之移動速度減小。

尤其，不只活塞112即將到達伸展位置Pa之前，於活塞112自伸展位置Pa開始向收縮位置Pb移動之情形時，即，於可動閥部40開始以鐘擺運動向流路H之退避位置(E1)移動之情形時，亦可獲得此種空氣阻尼效果。藉此，可不對齒條構件22與小齒輪21之嚙合部分S(圖11)急劇施加較大之應力地滑順地使動作開始及停止。

若為此種氣缸110，則可僅以切換用伸展通氣口114還是用收縮通氣口22j供給壓縮空氣來進行氣缸110之伸縮而進行中立閥體5之搖動動作。

流體路徑環17與流體路徑環18具有與旋轉軸20大致相等之內徑。較小齒輪21更接近閥箱10之流體路徑環17之外徑設定為大於軸承16A之外徑且小於小齒輪21之外徑。較小齒輪21更接近蓋體14D之流體路徑環18之外徑設定為大於小齒輪21之徑尺寸。當以軸承16A、16B支持之旋轉軸20旋動時，相對於流體路徑環17與流體路徑環18，接觸位置周向地變化。

於流體路徑環17設置有徑向環路徑17c。徑向環路徑17c為如下之流體路徑：第2周圍區域40a中將驅動用氣體供給至形成於可動閥板部50與可動閥框部60間之圓環狀氣缸80之供給路徑41之一部分。徑向環路徑17c沿流體路徑環17之徑向延伸，並朝流體路徑環17之外周面17a及內周面17b開口。該徑向環路徑17c於流體路徑環17之外周面17a連通於徑向貫通圓筒閥套14B之路徑14Bc。

於流體路徑環18設置有徑向環路徑18c。徑向環路徑18c連接於中間大氣室55(參照圖5)。中間大氣室55設置於較第2周圍區域40a中形成於可動閥板部50與可動閥框部60間之圓環狀氣缸80之雙重密封部之第2重密封部51a、51b更靠氣體供給側。徑向環路徑18c為第1重密封部51b、52b被破壞時，使驅動用氣體朝閘閥1之外部散逸之連通路徑42之一部分之流體路徑。徑向環路徑18c沿流體路徑環18之徑向延伸，且朝流體路徑環18之外周面18a及內周面18b開口。該徑向環路徑18c於流體路徑環18之外周面18a連通於徑向貫通圓筒閥套14B之路徑14Cc。

於流體路徑環17之內周面17b周設有槽17d，槽17d被旋轉軸20之外周面20b包圍，且形成周向路徑。

與槽17d對向之位置之旋轉軸20之外周面20b，徑向軸內路徑27開口，徑向軸內路徑27連通於沿旋轉軸20之軸線之LL方向延伸並朝旋轉軸20之一端面20a開口的軸向軸內路徑25。

於流體路徑環18之內周面18b周設有槽18d，槽18d被旋轉軸20之外周面20b包圍，且形成周向路徑。

與槽18d對向之位置之旋轉軸20之外周面20b，徑向軸內路徑28開口，徑向軸內路徑28連通於沿著旋轉軸20之軸線之LL方向延伸並朝旋轉軸20之一端面20a開口的軸向軸內路徑26。

該等軸向軸內路徑25與軸向軸內路徑26為相互平行之狀態且與軸線LL平行。旋轉軸20之面向蓋體14D之另一端20c被閉塞。

軸向軸內路徑25與軸向軸內路徑26皆連接於中立閥部30內部之供給路徑41及連通路徑42。

於流體路徑環17，周設有O型環等密封構件17h、17j、17k，其等於內周面17b與旋轉軸20之外周面20b間可滑動地密封徑向軸內路徑27之開口部分及槽17d。

於流體路徑環17，周設有O型環等密封構件17e、17f、17g，其等於外周面17a與圓筒閥套14B之內表面間密封徑向環路徑17c之開口部分及路徑14Bc。

於流體路徑環18，周設有O型環等密封構件18h、18j、18k，其等於內周面18b與旋轉軸20之外周面20b之間可滑動地密封徑向軸內路徑27之開口部分及槽18d。

於流體路徑環18，周設有O型環等密封構件18e、18f、18g，其等於外周面18a與圓筒閥套14B之內表面間密封徑向環路徑18c之開口部分及路徑14Cc。

藉由具有此種構成之流體路徑環17與流體路徑環18，不論旋轉軸20位於何種旋動位置，皆可維持徑向軸內路徑27與徑向軸內路徑28連通之狀態，故如後所述，可密閉度較佳地進行驅動用流體之供給等。且，由於分別獨立連接供給路徑41與連通路徑42，故不拘於旋轉軸20之旋動位置，皆可不對閥體10之內部造成影響地控制不同之壓力狀態或處於不同狀態之氣體的2個系統。

同時，由於在流體路徑環17與流體路徑環18周設有成為周向路徑之槽17d、18d，故槽17d、18d內之流體之壓力環繞旋轉軸20之外周面20b地發揮作用。因此，由於可將徑向作用之壓力設為全周均等。故可不拘於該等流路中之壓力狀態，防止對軸承16A與軸承16B中之旋轉軸20之支持狀態造成影響。

同時，上述流體路徑環17與流體路徑環18位於軸承16A與軸承16B之間，可確保支持旋轉軸之軸承16A與軸承16B間之距離儘可能長。藉此，於由軸承16A與軸承16B保持沿旋轉軸20傾斜之方向作用至旋轉軸之轉矩之情形時，可將該等軸承16A與軸承16B受到之徑向載荷設為最小，可使該等軸承16A與軸承16B之耐久性提高。或，可以維持必要之防止旋轉軸20在傾斜方向上變形之能力的狀態下確保旋轉軸20之軸線方向長度，可將包含旋轉軸20之旋轉驅動氣缸110小型化，而謀求閥之小型化。

又，作為軸承16A與軸承16B、流體路徑環17、小齒輪21及流體路徑環18之外徑尺寸，藉由採用上述構成，可不改變零件之構成，而僅改變零件之組裝方向使閥箱相對於旋轉機構部之安裝面反轉，而對閥套14組裝該等。

於本實施形態中，可使氣缸80之驅動用之壓縮空氣不露出(暴露)於閥箱10內部之中空部11，而經由旋轉軸20之內部向中立閥體5供給，且使稍後敍述之中間大氣室55、56之連通路徑42經由旋轉軸20之內部連通於閥箱10之外部。

於旋轉軸20，分別平行地設置有成為供給路徑41與連通路徑42之軸向軸內路徑25、26。又，將對應於供給路徑41與連通路徑42之流體路徑環17與流體路徑環18設置於沿旋轉軸20之軸線LL之方向上不同之位置。藉此，可經由一根旋轉軸20之內部將複數條路徑25、26同時個別地設為連通狀態。因此，可僅於一根旋轉軸20形成氣缸80之驅動用流體之供給路徑41與安全用之中間大氣用之連通路徑42，可不使用其他之構成，將供給路徑41及連通路徑42配置於旋轉軸20。

於流體路徑環17之內周面17b，於密封構件17h與密封構件17j之間設置有連通於徑向環路徑17c之槽17d，於密封構件17j與密封構件17k之間周設有槽17p。

與該槽17p對向之旋轉軸20之外周面20b形成大氣壓之空間(空隙)即第2中間大氣室且藉由第2連通路徑42A連接於閥套之外部。

該等密封構件17j與密封構件17k作為針對槽17d之雙重密封部發揮功能，該槽17d成為存在驅動用氣體之供給路徑41。於該構造中，於氣缸80加壓時，旋轉軸20中之第1重密封即密封構件17j被破壞之情形時，亦可使壓縮空氣(驅動用氣體)經由槽17p及第2連通路徑42A散逸至閥套14之外部。因此，可獲得以下構成：防止閥套14B內自流體路徑環17之槽17d向小齒輪21之內部空間22h釋放壓縮空氣等會於槽17d與內部空間22h間引起壓力狀態變化之不良。

同時，密封構件17k與密封構件17j作為針對內部空間22h之雙重密封部發揮功能，該內部空間22h在旋轉軸20之旋轉驅動氣缸(驅動機構、旋轉氣缸)中成為加壓空間。於該構造中，於旋轉驅動氣缸收縮時，旋轉軸20中之第1重密封即密封構件17k被破壞之情形時，亦可使壓縮空氣(驅動用氣體)經由槽17p及第2連通路徑42A散逸至閥套14之外部。因此，可獲得以下構成：防止閥套14B內自內部空間22h向成為供給路徑41之槽17d釋放壓縮空氣等會於槽17d與內部空間22h間引起壓力狀態變化之不良。

該等槽17d、內部空間22h皆為加壓空間，但於與特定動作對應之壓力狀態因密封部之破壞而變化之情形時，防止發生中立閥體5之厚度突然膨脹、中立閥體5進行旋動動作等不期望之動作。

即，可藉由密封構件17k、密封構件17j、槽17p及第2連通路徑42A防止閘閥1因密封破壞而受損等。

於流體路徑環18之內周面18b，於密封構件18k與密封構件18j之間設置有連通於徑向環路徑18c之槽18d，於密封構件18j與密封構件18h之間周設有槽18p。

與該槽18p對向之旋轉軸20之外周面20b形成大氣壓之空間(空隙)即第2中間大氣室且藉由第2連通路徑42A連接於閥套之外部。

該等密封構件18j與密封構件18h作為針對內部空間22h之雙重密封部發揮功能，該內部空間22h在旋轉軸20之旋轉驅動氣缸(驅動機構、旋轉氣缸)中為加壓空間。於該構造中，於旋轉驅動氣缸收縮時，旋轉軸20中之第1重密封即密封構件18h被破壞之情形時，亦可使壓縮空氣(驅動用氣體)經由槽18p及第2連通路徑42A散逸至閥套14之外部。因此，可獲得以下構成：防止閥套14B內自內部空間22h向成為連通路徑42之槽18d釋放壓縮空氣等會於槽18d與內部空間22h間引起壓力狀態變化之不良。

藉此，內部空間22h為加壓空間，但於與特定動作對應之壓力狀態因密封部之破壞而變化之情形時，防止發生中立閥體5進行旋動動作等不期望之動作。

即，可藉由密封構件18h、密封構件18j、槽18p及第2連通路徑42A防止閘閥1因密封破壞而受損等。

於圓筒閥套14B中接近密封閥套14A之位置，設置有沿徑向延伸之洩漏流路14He。該洩漏流路14He如圖7B所示連通於洩漏空間22He。洩漏空間22He形成於較軸承16A更接近密封閥套14A之位置，且與旋轉軸20之表面20b相接。

於與洩漏空間22He相接之旋轉軸20之內部設置有軸向洩漏流路27He。該軸向洩漏流路27He之一端朝洩漏空間22He開口。軸向洩漏流路27He之另一端朝貫通孔21A開口，該貫通孔21A如後述般，於旋轉軸20之中心沿軸線方向貫通，並供用以經由連接構件91緊固旋轉軸20與中立閥部30之陽螺紋(緊固件)21d貫通。

如圖12A及圖12B所示，貫通孔21A設置於連接構件91之開口98及中立閥部30，且連通於具有供螺合陽螺紋21d之陰螺紋(緊固件)31之空間31He。

如後述般，陽螺紋21d貫通無螺紋槽之開口98直至具有緊固之陰螺紋31之空間31He。該空間31He中接近槽95B之位置由未圖示之閉塞構件閉塞。

於中立閥部30之空氣滯留空間31He中之接近位於空間31He末端之槽95B之部位，必須進行氦氣洩漏測試以調查未圖示之O形環等之密封有無破損。因此，空氣滯留空間31He經由開口98、貫通孔21A、軸向洩漏流路27He、洩漏空間22He、洩漏流路14He連通於洩漏空間22He。可通過該部分供給對空氣滯留空間31He、開口98、貫通孔21A檢查密閉狀態之氦氣洩漏測試所用的氦氣。

如此，可藉由設置軸向洩漏流路27He及洩漏流路14He，而對空氣滯留空間31He、開口98、貫通孔21A進行氦氣洩漏測試。

同時，可對沿著旋轉軸20之表面20b之作為密封機構之密封部14Aa、14Ab、14Ac及大氣壓空間(空隙)即中間大氣室14Ad進行洩漏流路14He至中空部11之密封測試。即，可藉由自洩漏流路14He將氦氣供給至洩漏空間22He並對中空部11檢查洩漏，而進行氦氣洩漏測試。

再者，洩漏流路14He於密封構件17h、17j、17k、密封構件17e、17f、17g等之密封破壞，引起壓縮空氣自加壓空間即內部空間22h及徑向環路徑17c、槽17d等洩漏至洩漏空間22He之情形時，可使該壓縮空氣散逸至外部。藉此，可防止對密封構件14Aa、14Ab、14Ac施加壓力，而防止洩漏之壓縮空氣流入至中空部11。

[中立閥部30、連接構件91] 圖12A係顯示旋轉軸與中立閥體之卡合部分之要部的放大圖，且係沿著旋轉軸之徑向之剖視圖。圖12B係顯示旋轉軸與中立閥體之卡合部分之要部的放大圖，且係沿著旋轉軸之軸向之剖視圖。

中立閥部30沿相對於旋轉軸20之軸線正交之方向延伸，且具有平行於該正交方向之面。如圖1所示，中立閥部30具有與可動閥部40重合之圓形部30a及隨著旋轉軸20之旋轉使圓形部旋轉之旋轉部30b。旋轉部30b位於旋轉軸20與圓形部30a之間，旋轉軸30b之寬度自旋轉軸20朝圓形部30a逐漸增加。該等旋轉軸20、中立閥部30設置成相對於閥箱10旋動，但在流路H方向上位置不變動。

於中立閥部30之一端，如圖12B所示，形成有與連接構件91之突起部93嵌合之凹部95。該凹部95之剖面形狀與連接構件91之剖面形狀一致成大致T字狀。作為此種凹部95，於中立閥部30在流路方向H中之一面側30A與另一面側30B之兩側，分別形成有凹部95A、95B。

藉此，旋轉軸20可相對於中立閥部30選擇性地連接於沿著流路方向H之上側與下側之任一側。

或，對於旋轉軸20，可將整個中立閥體5安裝於兩面中之任一面。即，若將中立閥體5安裝於連接構件91之凹部95A，則於閘閥1關閉閥時，由可動閥部40封閉第1開口部12a。相反，若將中立閥體5安裝於連接構件91之凹部95B，則由可動閥部40封閉第2開口部12b。

如圖12A及圖12B所示，形成於連接構件91之突起部93與形成於中立閥部30之凹部95相互嵌合。如圖12A所示，連接構件91與中立閥部30於卡合狀態下，以沿著流路方向H相互平行展開且以第1間隔t1分開之一組第1平行面96a、96b與沿著流路方向H相互平行展開且以寬於第1間隔t1之第2間隔t2分開之一組第2平行面97a、97b相互接觸。

此種一組第1平行面96a、96b及一組第2平行面97a、97b分別隔著與流路方向H成直角延伸之一根軸L對稱配置。又，第1平行面96a、96b與第2平行面97a、97b配置於不沿著該根軸L相互重合之位置。

於連接構件91之突起部93，如圖12A及圖12B所示，形成有構成該一組第1平行面96a、96b之第1接觸面93a、93b、與構成第2平行面97a、97b之第2接觸面93c、93d。且，該等第1接觸面93a、93b與第2接觸面93c、93d之各者以第1傾斜面93e、93f相連。突起部93成整體具有2級寬度之突起形狀。

形成於中立閥部30之一端之凹部95如圖12A及圖12B所示，形成有構成一組第1平行面96a、96b之第3接觸面95a、95b、與構成第2平行面97a、97b之第4接觸面95c、95d。且，該等第3接觸面95a、95b與第4接觸面95c、95d之各者以第2傾斜面95e、95f相連。凹部95成整體具有2級寬度之槽形狀。

於旋轉軸20之中心，如圖12A及圖12B所示，形成有供用以經由連接構件91緊固旋轉軸20與中立閥部30之陽螺紋(緊固件)21貫通之貫通孔21A。又，於形成於中立閥部30之一端之凹部95形成有與陽螺紋(緊固件)21螺合之陰螺紋31。再者，於連接構件91形成有供陽螺紋(緊固件)21貫通之無螺紋槽之開口98。

藉由以上之構成，形成於連接構件91之突起部93與形成於中立閥部30之凹部95嵌合，進而，陽螺紋21自旋轉軸20之上端側貫通至貫通孔21A及開口98，且使陽螺紋21之末端部分螺固於中立閥部30之陰螺紋31。藉此，旋轉軸20與中立閥部30經由連接構件91緊固(固定)。

中立閥部30之維養，例如因反覆開閉引起要更換中立閥部30等，於將中立閥部30安裝於旋轉軸20所固接之連接構件91時，使形成於中立閥部30之一端之凹部95與形成於連接構件91之突起部93對向。

接著，將中立閥部30之凹部95插入至突起部93後，凹部95之第3接觸面95a、95b分別接觸於突起部93之第1接觸面93a、93b。又，凹部95之第4接觸面95c、95d分別接觸於突起部93之第2接觸面93c、93d。

此種插入步驟中之凹部95與突起部93之接觸面限定於第1平行面96a、96b及第2平行面97a、97b，突起部93之第1傾斜面93e、93f與凹部95之第2傾斜面95e、95f不接觸。即，於以箭頭B1所示之方向即連接方向中，可以成為隔著旋轉軸20之軸線之兩側位置之部分限制周向之安裝位置。因此，可容易地提高安裝位置，尤其是中立閥部30繞旋轉軸20之軸線之安裝方向之正確性。

同時，例如將凹部95與突起部93之接觸面(第1平行面96a、96b、第2平行面97a、97b)之間距(間隙)設定為極其小，亦可減輕將凹部95壓入至突起部93時之摩擦力，而使凹部95與突起部93順利地嵌合。

又，可使凹部95與突起部93以寬度互不相同之第1平行面96a、96b及第2平行面97a、97b接觸，藉此提高將凹部95壓入至突起部93時之安裝精度。又，可藉由於安裝時減輕摩擦力，而容易地調整該安裝位置，即凹部95相對於突起部93之壓入量。即，於凹部95與突起部93卡合時，必須使形成於凹部95之陰螺紋31之螺孔位置與形成於連接構件91之突起部93之開口98一致。

如本實施形態，藉由使凹部95與突起部93僅以第1平行面96a、96b及第2平行面97a、97b接觸，可容易地微調陰螺紋31之螺孔位置與形成於突起部93之開口98而使其等一致。藉此，可自旋轉軸20之貫通孔21A經由開口98將陽螺紋(緊固件)21d容易地緊固於陰螺紋31。又，亦可藉由使端面93m與端面95m接觸，而進行圖12中以箭頭B1所示之方向即連接方向上彼此之定位。

另，於本實施形態中，於連接構件91設置突起部93，又，於中立閥部30之一端設置凹部95，但亦可設為凹凸相反之構造。即，可為於固接於旋轉軸20之連接構件形成凹部，並將與該凹部嵌合之突起部形成於中立閥部之一端的構造。

[可動閥部40、可動閥板部(第2可動閥部)50、可動閥框部(第1可動閥部)60] 可動閥部40為大致圓板狀，其具有形成為與圓形部30a大致同心圓狀之可動閥板部50及以包圍該可動閥板部50之周圍之方式配置之大致圓環狀之可動閥框部60。可動閥框部60可沿流路H方向滑動地連接於中立閥部30。

又，可動閥板部50可滑動地嵌合於可動閥框部60。可動閥板部50與可動閥框部60可藉由主彈簧70及圓環狀氣缸80一面於以符號B1、B2所示之方向(往復方向)滑動一面移動。此處，以符號B1、B2所示之方向為垂直於可動閥板部50及可動閥框部60之面之方向，為平行於旋轉軸20之軸向之流路H方向。

又，於可動閥板部50之外周附近處之整個區域形成有內周曲柄部50c。又，於可動閥框部60之內周附近處之整個區域形成有外周曲柄部60c。

於本實施形態中，外周曲柄部60c與內周曲柄部50c嵌合成與流路H方向平行之滑動面50b、60b可彼此滑動。

在對向(抵接)於閥箱10之內表面之可動閥框部60之表面，設置有第1密封部61(主密封部)，其與第1開口部12a之形狀對應而形成為圓環狀且包含例如O形環等。

於關閉閥時由可動閥部40覆蓋第1開口部12a之狀態下，該第1密封部61接觸於成為第1開口部12a之周緣之閥箱10之內表面15a，並由可動閥框部60及閥箱10之內表面按壓。藉此，確實地將第1空間與第2空間隔開(確保隔斷狀態)。

[主彈簧(第1賦能部)70] 主彈簧(第1賦能部)70配置於與成為可動閥部40最外周之第1周圍區域40a相鄰之第1周圍區域40b。主彈簧70中，以朝第1開口部12a(方向B1)按壓可動閥框部60之方式，同時以朝向第2開口部12b(方向B2)按壓可動閥板部50之方式產生復原力。

藉此，於可動閥部40之閉閥之狀態下，主彈簧70對可動閥板部50施加力(賦能)，朝位於第2開口部12b周圍之閥箱10之內表面15b按壓可動閥板部50使內表面15b與可動閥板部50之斥力傳遞部59抵接。同時，主彈簧70對可動閥框部60施加力(賦能)，朝位於第1開口部12a之閥箱10之內表面15a按壓可動閥框部60而使內表面15a與可動閥框部60之第1密封部61抵接。

於本實施形態中，主彈簧70為彈性構件(例如彈簧、橡膠、密封之氣缸等)。主彈簧70設置成嵌入至凹部50a與凹部60a，該凹部50a以朝第2開口部12b開口之方式設置於可動閥板部50，該凹部60a在該凹部50a對向之位置，以朝第1開口部12a開口之方式設置於可動閥框部60。例如，主彈簧70具有第1端與第2端。第1端抵接於可動閥板部50之凹部50a之底面。第2端抵接於可動閥框部60之凹部60a之頂面。又，如圖1所示，於圓環狀之可動閥框部60中，沿周向等間隔地設置複數個第1賦能部70。

構成主彈簧70之彈性構件之自然長度大於以下狀態之可動閥板部50之凹部50a之底面與可動閥框部60之凹部60a之頂面間之距離：可動閥框部60之密封部61與可動閥板部50之斥力傳遞部59分別為按壓閥箱10之內表面15a與內表面15b之可動閥部40的最大厚度尺寸。因此，於被可動閥板部50之凹部50a之底面及可動閥框部60之凹部60a之頂面壓縮並配置於凹部50a及凹部60a之內部的主彈簧70中，產生彈性復原力(延伸力、賦能力)。藉由該彈性復原力發揮作用，一面使可動閥框部60朝方向B1，同時使可動閥板部50朝方向B2滑動，一面使第1密封部61及斥力傳遞部59抵接並按壓於閥箱10之內表面，而進行閉閥動作。

又，主彈簧70為了效率良好地對第1密封部61傳遞按壓力確實地閉塞閘閥1，配置於接近第1密封部61之第2周圍區域40b。具體而言，稍後敍述之成為斥力傳遞部59之突條位於第1密封部61正下方之外周位置。相對於此，作為在可動閥板部50徑向之位置，主彈簧70位於相對於該第1密封部61與突條(斥力傳遞部)59相反側之位置。藉此，主彈簧70之賦能力效率良好地被傳遞至可動閥框部60之密封部61與可動閥板部50之斥力傳遞部59，而可提高利用第1密封部61之變形密閉閥之確實性。

又，由於主彈簧70可直接按壓第1密封部61，故亦可配置於第1密封部61正下方附近之第2周圍區域40b。於該情形時，於閘閥中，由於將第1賦能部70設置於可動閥框部60，故可使第1賦能部70位於第1密封部61之正下方。

如此，於閘閥1中，作為進行閉閥動作與開閥動作之致動器，接近設置進行閉閥動作之主彈簧70與進行開閥動作之第2賦能部80(稍後敍述)。於該構成中，主彈簧70及第2賦能部80於接近第1密封部61之可動閥部40之周圍區域(第1周圍區域40a及第2周圍區域40b)以相互接近之方式沿徑向相鄰配置。又，主彈簧70位於第1密封部61之正下方附近。即，閘閥1之構造如下構成：設為第1密封部61、斥力傳遞部59、主彈簧70之位置關係可施加存在作用點及支點之轉矩載荷之構造而效率良好地進行密封。

再者，可將主彈簧70之賦能力設定為將可動閥板部50與可動閥框部60拉寬之方向，即，增大可動閥部40之厚度，將可動閥框部60之密封部61與可動閥板部50之斥力傳遞部59按壓於閥箱10之內表面15a、15b之方向。因此，於停電等停止自公用設備向具備閘閥1之裝置供給裝置電力(能量供給)之情形時，可僅以主彈簧70中產生之機械力確實地關閉閘閥1。因此，可確實地實現失效安全之閘閥。

另一方面，於具有進行減少可動閥部40之厚度之賦能之構造之閘閥、或具有藉由自公共設備供給之電力等能源進行閉閥動作之構造之閘閥中，有於自公共設備停止向裝置供給能源時無法進行閉閥動作之情形。因此，於此種構造中，無法實現失效安全之閘閥。

[圓環狀氣缸(第2賦能部)80] 圓環狀氣缸80配置於成為可動閥部40最外周之第1周圍區域40a。於圓環狀氣缸80中，對圓環狀氣缸80供給壓縮空氣作為驅動流體時，產生使可動閥框部60朝第2開口部12b(方向B2)移動之力(賦能力、因壓縮空氣引起之力)。同時，產生使可動閥板部50朝第1開口部12a(方向B1)移動之力(賦能力、因壓縮空氣引起之力)。藉此，壓縮空氣之力大於主彈簧70之賦能力，而使可動閥框部60自位於第1開口部12a周圍之閥箱10之內表面15a離開，同時，使可動閥板部50自位於第2開口部12b周圍之閥箱10之內表面15b離開。

藉此，藉由稍後敍述之輔助彈簧(第3賦能部)90之賦能力，使可動閥體40在流路H方向上位於閥箱10之厚度方向之中央處，而成為可於閥箱10內旋動之狀態。

另，於可動閥部40中，第1周圍區域40a位於圓環狀之可動閥框部60之密封部61與可動閥板部50之斥力傳遞部59之內側。同時，於可動閥部40中，第2周圍區域40b位於第1周圍區域40a之內側。即，於可動閥部40之徑向，主彈簧70配置於圓環狀氣缸80之內側。換言之，圓環狀氣缸80在與可動閥板部50及可動閥框部60滑動之方向(流路H方向)交叉之方向上與主彈簧70相鄰。即，圓環狀氣缸80於可動閥部40之徑向上位於密封部61、斥力傳遞部50及主彈簧70間。

於本實施形態中，圓環狀氣缸80為設置於可動閥板部50及可動閥框部60間之1個氣缸(空隙)。

具體而言，該圓環狀氣缸80以可動閥框部60之朝第1開口部12a開口之凹部60d與可動閥板部50之朝第2開口部12b之凸部50嵌合之狀態下形成，且形成為該等環狀之凹部60d與環狀之凸部50d滑動。又，該圓環狀氣缸80包含形成於可動閥框部60之周緣部之圓環狀之空間、及形成於可動閥板部50之最外周之突條(環狀凸部)，且作為1個圓環缸體(圓環空隙)發揮功能。又，換言之，圓環缸體以包含流路H之方式形成。

當對圓環狀氣缸80供給驅動用流體即壓縮空氣時，於方向B1、B2產生使第2賦能部80之體積膨脹之膨脹力(賦能力)。於膨脹力之大小大於主彈簧70產生之復原力之情形時，該膨脹力大於主彈簧70之賦能力。藉此，主彈簧70被壓縮，可動閥板部50沿方向B1，可動閥框部60沿方向B2滑動而縮小可動閥體40之厚度方向之尺寸，第1密封部61自閥箱10之內表面15a離開，同時，斥力傳遞部59自閥箱10之內表面15b離開而進行開閥動作。此時，藉由使圓環狀之凹部60d與凸部50d滑動，將可動閥板部50與可動閥框部60移動之方向限制於僅流路方向，且以使密封部61及斥力傳遞部59自抵接於閥箱10之內表面15a、15b之狀態平行移動之方式限制可動閥板部50與可動閥框部60之位置。即，該圓環狀氣缸80可限制可動閥板部50與可動閥框部60之相對移動方向及其等之姿勢。

[輔助彈簧(第3賦能部)90] 輔助彈簧90設置於中立閥部30與可動閥框部60之間。當可動閥體40之厚度尺寸縮小時，輔助彈簧90相對於位於閥箱10之流路方向之大致中央處之中立閥部30，對可動閥體40賦能以進而使其更靠近閥箱10之中央。

輔助彈簧90設置於貫通設置於中立閥部30之外周位置(圖2、圖4中之右側位置)之開口30a且連接於可動閥框部60之桿狀之位置限制部65。輔助彈簧90亦與主彈簧70同樣為彈性構件(例如彈簧、橡膠、密閉之氣缸等)。

輔助彈簧90與設置於中立閥部30開口30a之第1開口部12a附近之凸緣部30b與位置限制部65之末端65a卡合，且將可動閥框部60朝向第2開口部12b側移動之B2所向之方向賦能。

輔助彈簧90將位於較該中立閥部30更接近第1開口部12a之可動閥框部60朝第2開口部12b賦能。於可動閥框部60之密封部61抵接於位於第1開口部12a周圍之閥箱10之內表面15a之情形，且對圓環狀氣缸80供給壓縮空氣作為驅動用流體時，輔助彈簧90以使可動閥框部60離開位於第1開口部12a周圍之閥箱10之內表面15a之方式對其賦能。

藉此，於對圓環狀氣缸80供給壓縮空氣時，可動閥體40朝閥箱10之流路方向之大致中央處移動，且以最終使可動閥體40位於閥箱10之流路方向之大致中央處之方式控制可動閥體40之姿勢。又，輔助彈簧90之賦能力遠遠小於主彈簧70之賦能力與圓環狀氣缸80之賦能力之差。即，與用以實現閉閥狀態之主動彈簧或作為致動器之主彈簧70或圓環狀氣缸80相比，輔助彈簧90僅使閥體之厚度尺寸變化即可，故輔助彈簧90可為極小之彈簧。

如此，於閘閥1中，作為進行閉閥動作及開閥動作之致動器，設置有進行增大可動閥體40之厚度之動作的主彈簧70、進行縮小可動閥體40之厚度之動作的圓環狀氣缸80、及進行使可動閥體40在流路方向上位於閥箱10之中央位置側之姿勢控制的輔助彈簧90。

於該構成中，主彈簧70及圓環狀氣缸80於接近第1密封部61之可動閥部40之周圍區域以相互接近之方式並聯配置。

圓環狀氣缸80構成設置於可動閥板部50與可動閥框部60間之1個圓環缸體。根據該構成，若設置1條沿一方向將壓縮空氣供給至第2賦能部80之供給路徑41，則可將壓縮空氣沿著圓環狀氣缸80供給至該圓環缸體之內部。又，可進行可動閥體40之厚度尺寸之伸縮(開閥動作及閉閥動作)。再者，於該動作中，可藉由輔助彈簧90更容易地將伴隨可動閥體40之伸縮之可動閥體40在流路方向上之位置維持於閥箱10中央附近。因此，可實現具有簡易且小型之構成之致動器。

又，由於圓環狀氣缸80用於進行開閥動作，故作為第2賦能部80中產生之力之大小(輸出)，只要為可壓縮第1賦能部70之大小(輸出)便足夠。

於本實施形態中，由於以可動閥板部50與可動閥框部60構成1個在厚度方向上之尺寸可變之可動閥部40，故可無須設置2片可動閥部，而實現具有簡易且小型之構成之可動閥部。

又，不對中立閥部30作用致動器之力，尤其於密閉可動閥體40以維持閉閥狀態時不作用上述力。因此，中立閥部30只要具有能作為鐘擺閥搖動閥體之強度便足夠。又，亦不對旋轉軸20作用致動器之力，尤其於密閉可動閥體40以維持閉閥狀態時不作用上述力。因此，旋轉軸20只要具有能作為鐘擺閥搖動閥體之強度便足夠。同時，與於旋轉軸20需要用以密閉閥之轉矩者相比，由於可抑制可動閥體40之搖動機構之輸出，故可將該旋轉軸20之旋動機構小型化。

於該構造中，作為剛性，除上述中立閥部30之強度外，於使可動閥部40在退避位置與閥開閉位置之間旋動時，還具有可支撐其自重之強度便足夠。

於圖2顯示可動閥板部50與可動閥框部60相互嵌合之部分及中立閥部30與可動閥板部50相互嵌合之部分、設置有第1賦能部70及導銷62之部位。

[第2密封部(雙重密封部)51a、51b及第3密封部(雙重密封部)52a、52b] 於可動閥板部50之環狀凸部(突條)50d之外周面，設置有O形環等圓環狀之第2密封部51a、51b及第3密封部52a、52b作為抵接於可動閥框部60之環狀凹部60d之內周面，且密封可動閥板部50與可動閥框部60間的雙重密封部。

具體而言，在位於可動閥板部50之環狀凸部(突條)50d之徑向外側之第1外周面50f設置有第2密封部51a、51b。又，於徑向上第1外周面50f之內側即第2內周面50g設置有第3密封部52a、52b。第2密封部51a、51b抵接於可動閥框部60之第1內周面60f，第3密封部52a、52b抵接於可動閥框部60之第2外周面60g。

第2密封部51a、51b將壓力較高之空間即圓環狀氣缸80與壓力較低之空間且接近第1開口部12a之中空部11隔斷，並確保隔斷狀態。同樣地，第3密封部52a、52b將壓力較高之空間即圓環狀氣缸80與壓力較低之空間等且於第2開口部12b隔斷中空部11，並確保隔斷狀態。

第2密封部51a、51b為阻斷被供給驅動用壓縮空氣而壓力較高之空間即圓環狀氣缸80與例如壓力較低之空間即連通於第1開口部12a之第1空間側者，並可確保該隔斷狀態。同樣地，第3密封部52a、52b阻斷壓力較高之空間即圓環狀氣缸80與壓力較低之空間且接近第2開口部12b之第2空間側，並可確保該隔斷狀態。

[導銷62] 導銷62固設於可動閥框部60且立設於流路方向，並由粗度尺寸均勻之桿狀體構成。導銷62貫通圓環狀氣缸80內，且嵌合於形成於可動閥板部50之環狀凸部(突條)50d之孔部50h。

該導銷62以可動閥板部50與可動閥框部60滑動之方向不自符號B1、B2所示之方向偏移之方式，且於可動閥板部50與可動閥框部60滑動時，亦不使可動閥板部50與可動閥框部60之姿勢變化地進行平行移動之方式，確實地引導可動閥板部50與可懂閥框部60之位置限制。

藉此，防止可動閥板部50與可動閥框部60相對於符號B1、B2斜向移動。同時，相對於閉閥狀態，即相對於密封部61與斥力傳遞部59分別抵接於閥箱10之內表面15a、15b之狀態，於可動閥板部50與可動閥框部60在流路方向上之位置變化之情形時，可動閥框部60亦使其等維持平行狀態並平行移動，而防止可動閥板部50與可動閥框部60傾斜。

於該構造中，可動閥板部50與可動閥框部60可相互定位，且維持與以符號B1、B2所示之方向平行之狀態相對移動，而進行閉閥動作及開閥動作。藉此，於開閥動作時，使設置於可動閥框部60之第1密封部61均勻地產生按壓力，而實現抑制洩漏之密封構造。

又，於如此具備導銷62之構造中，閘閥1安裝於真空裝置之姿勢不定之情形時，即閘閥1之安裝方向自由之情形時，可防止將可動閥體40之重量之負載局部地施加於第2密封部51a、51b及第3密封部52a、52b。例如，於以相對於可動閥板部50與可動閥框部60滑動之方向成直角地作用重力之方式安裝閘閥1之情形時，滑動之構件即可動閥板部50與可動閥框部60之重量被施加於導銷62。因此，防止將可動閥板部50與可動閥框部60之重量直接施加於第2密封部51a、51b及第3密封部52a、52b(O形環(O-ring))。藉此，即便安裝閘閥1之姿勢為任意姿勢，亦不會縮短密封部之壽命，而可確保、維持防止洩漏之效果。

為了減少導銷62與孔部50h之滑動面之面積，又，為了自閘閥1之外部即第1空間及第2空間隔斷導銷62，導銷62以貫通圓環狀氣缸80內之方式配置。

又，如此，可藉由將導銷62配置於圓環狀氣缸80內之方式使可動閥板部50與可動閥框部60相互滑順地滑動。

另，若可充分地獲得導銷之強度，則即便為具有大口徑之閘閥，亦防止可動閥框部60滑動之方向偏移。又，於具有特殊形狀之可動閥部40中，導銷62亦可藉由設定與流路正交之面內配置適當分散載荷，而更適於用作開閉動作良好之閘閥。

[滑動片53、54] 在位於可動閥板部50之環狀凸部(突條)50d之徑向外側之第1外周面50f設置有抵接於可動閥框部60之內周面的圓環狀滑動片53。同樣地，在位於可動閥板部50之環狀凸部(突條)50d之徑向之第1外周面50f之內側即第2內周面50g，設置有抵接於可動閥框部60之外周面的圓環狀滑動片54。

滑動片53、54具有藉由開閥動作及閉閥動作潤滑或清掃可動閥框部60之凹部60d之內周面的功能。

[中間大氣室55、56] 於由第2密封部51a、51b隔斷之圓環狀氣缸80之表面設置有大氣壓之空間(空隙)即中間大氣室55。同樣地，於由第3密封部52a、52b隔斷之圓環狀氣缸80之表面設置有大氣壓之空間(空隙)即中間大氣室56，而可獲得於圓環狀氣缸80加壓時第1重密封被破壞之情形時，亦使壓縮空氣(驅動用氣體)朝閘閥外部散逸，而防止將壓縮空氣釋放至閥箱10之內部的構成。

同時，還可藉由連通路徑監控該等中間大氣室55、56之壓力。即，以測定中間大氣室55、56之壓力之方式將壓力計設置於閘閥1之外部且藉由連通路徑連接，並由使用者監視該壓力。

[連接銷部69、供給路徑41] 圖13係顯示位於連接銷附近之構件之要部的放大圖。

於閘閥1，如圖中以二點鏈線所示，形成有將驅動用軀體供給至圓環狀氣缸80之供給路徑41。該供給路徑41設置成經由可動閥框部60之軀體內部、及中立閥部30之軀體內部、旋轉軸10之內部連通於設置於閘閥1之外部之未圖示之驅動用氣體供給裝置。

於該供給路徑41設置有連接銷部69，其於可動閥框部60與中立閥部30在流路方向之位置變化時，亦可於可動閥框部60與中立閥部30之間供給驅動用氣體地滑動連接。

連接銷部69包含於中立閥部30與流路方向平行穿孔之圓形剖面之孔部38及可旋動地嵌合於該孔部38之桿狀之連接銷68。孔部38之內表面38a係與開口側之內表面38a相比，底部側之內表面38b縮徑，與此相對應，連接銷68之徑尺寸係末端68b相對於基部68a縮徑。且，於該徑尺寸變化之部分分別形成有階差38c、階差68c。

連接銷部69如圖中以二點鏈線所示，成為於其中心軸線附近形成有供給路徑41之管狀，且連通有可動閥框部60之內部之供給路徑41。又，供給路徑41於連接銷68之末端面68d開口，且於由該末端面68d與孔部38之底部38d附近之空間形成之加壓空間69a，連通有形成於中立閥部30之軀體內之供給路徑41。

自驅動用氣體供給裝置供給之壓縮空氣經由中立閥部30內部之供給路徑41噴出至空間69a，並經由連接銷69內部之供給路徑41及可動閥框部60內部之供給粒徑41供給至圓環狀氣缸80。

於連接銷部69中，孔部38之內周面38a抵接於連接銷68之外周面68a，且孔部38之內周面38b抵接於連接銷68之外周面68b。

於連接銷68設置有雙重密封部。

即便於孔部38內連接銷68沿軸線方向(流路方向)移動之情形，於成為滑動方向之面而非成為加壓面之末端面68d與底面38d之間設置有雙重密封部。雙重密封部阻斷被供給驅動用壓縮空氣而壓力較高之空間即加壓空間69a、與例如壓力較低之空間即連通於第2開口部12b之第2空間側。

密封部可確保加壓空間69a與中空部11之隔斷狀態。

具體而言，於連接銷68形成有密封連接銷68與孔部38之間之雙重密封部。於雙重密封部構造中，將O形環等與供埋設該O形環等之周設槽之圓環狀粗密封部68f設置於外周面68a，將O形環等與供埋設該O形環等之周設槽之圓環狀小密封部68g設置於外周面68b。

同時，將由階差68c及階差38c形成之圓環狀之中間大氣室69c設置於雙重密封間，並連通於未圖示之連通路徑42。藉此，防止壓縮空氣噴出至閥箱10之內側，而對閘閥1之內部及第1空間、第2空間造成不良影響。

尤其，於上述構造中，並非於成為加壓面且其等之距離變化之末端部68d與底面38d之間進行密封，而係於不會直接成為加壓面而為滑動面且距離不變化之外周面68a與內周面38a及外周面68b與內周面38b之間進行密封。藉此，可維持更確實之密閉狀態。

根據此種密封部68f、68g之構成，可獲得與上述之圓環狀氣缸80中之第2密封部(雙重密封部)51a、51b及第3密封部(雙重密封部)52a、52b及導銷62之構成同樣之作用效果。

於孔部38內連接銷68沿軸線方向(流路方向)移動時或因移動而引起流路方向之相對位置變化之情形時，自驅動用氣體供給裝置供給之壓縮空氣經由中立閥部30內部之供給路徑41噴出至空間69a。壓縮空氣經由該體積變化之空間69a經由連接銷部69內部之供給路徑41及可動閥框部60內部之供給路徑41被穩定地供給至圓環狀氣缸80。

又，作為連接銷68之圖13中位於上側之連接銷部69，將與可動閥框部60連接之浮動銷68A(連接銷)嵌合於貫通孔67。

連接銷部69具有於可動閥框部60與流路方向平行穿孔之圓形剖面之貫通孔67，且將具有凸緣部68Aa之桿狀之浮動銷68A以可旋動且可於半徑方向微動，且使傾斜最小化之方式嵌合於該貫通孔67。

貫通孔67之凸緣內表面67a對應於凸緣部68Aa之徑尺寸，且具有大於與可動閥框部60對向之孔部38之徑的徑。與其開口側之凸緣內表面67a之徑相比，氣體連接位置內表面38b之徑較小。與該氣體連接位置內表面67b相比，圖13中位於上側之貫通側之支持位置內表面67c之徑較小。與該支持位置內表面67c之徑相比，圖13中位於上側之貫通側之外側內表面67d之徑較大。

浮動銷68A之徑尺寸對應於貫通孔67之徑尺寸。氣體連接部68Ab之徑小於凸緣部68Aa之徑。固定端68Ac之徑小於氣體連接部68Ab之徑。

於固定端68Ac周設有固定槽68Ad。藉由使嵌合於該固定槽68Ad之墊圈等固定構件68Ae抵接於貫通孔67之外側面67e而限制浮動銷68A在軸向(流路方向)中之內側方向(圖示下方向)移動，而固定位置。

成為凸緣部68Aa之上側之密封面68Af與成為氣體連接部68Ab之上側之密封面68Ag於與對向之階差面67f及階差面67g之間，設置有O形環等密封構件67h、67j。

浮動銷68A以固定端68Ac之固定構件68Ae、密封面68Af及密封面68Ag之密封構件67h、67j在對向之方向夾持可動閥框部60之方式固定。藉此，浮動銷68A以圖13中被按壓於上側之狀態下，在軸線方向(貫通孔67之長度方向)上不移動之方式固定於可動閥框部60。

同時，浮動銷68A之密封構件67h受密封面68Af與階差面67f按壓而變形，且密封構件67j受密封面68Ag與階差面67g按壓而變形。

如此，浮動銷68A之O形環等密封構件67h、67j受階差面67f及階差面67g按壓而變形，藉此，密封氣體連接部68Ab及連接位置內表面67b部分。

[順序電路SQ] 圖14係顯示驅動順序機構之電路圖。

本實施形態之閘閥1如圖14所示具有順序電路SQ，其將自OP-IN埠供給之壓縮空氣供給至輸出點FR、輸出點main-OP、輸出點main-CL，而進行可動閥部40之厚度伸縮(LOCK-FREE：鎖定-未鎖定)動作、旋轉驅動氣缸110之伸縮(OPEN-CLOSE：開啟-關閉)動作及阻尼器用空氣之供給。

順序電路SQ中，輸出點FR連接於供給路徑41，輸出點main-OP連接於伸展壓力空間113，輸出點main-CL連接於收縮壓力空間22c。

輸出點FR如下連接：於解除閥閉塞狀態時，可自供給路徑41對包含圓環狀氣缸(第2賦能部)80與主彈簧70之單動氣缸供給可動閥部40之厚度收縮用之壓縮空氣。

輸出點main-CL如下連接：於開閥動作前，於可動閥部40之厚度收縮前，可經由供給路徑(收縮通氣口)22j將作為阻尼器用空氣之壓縮空氣供給至收縮壓力空間22c，並對旋轉驅動氣缸110進行阻尼器壓力狀態設定。

此處，若於閉塞閥時，不於可動閥部40收縮前維持關閉(CLOSE)旋轉狀態，則因可動閥部40之收縮成為閥體旋轉位置不定之狀態，且可動閥部40因自重而移動，故而不佳。

輸出點main-OP連接於旋轉驅動氣缸110。輸出點main-OP於解除閥閉塞狀態時，於可動閥部40收縮前，自OP-IN埠經由伸展通氣口(供給路徑)114將伸展用壓縮空氣供給至伸展壓力空間113，並使壓縮空氣之力大於賦能部120之賦能力，使旋轉驅動氣缸110可進行伸展動作。

順序電路SQ具有連接於OP-IN埠之滑閥(氣動式雙通道滑閥)sp1V、及由組合止回閥與流量調整閥而成之速度控制閥NC1V、NC2V、NC3V。

藉由自OP-IN埠將驅動用壓縮空氣供給至氣動sp1V0側而可操作切換滑閥sp1V之接通/斷開(ON/OFF)。

滑閥sp1V構成為：於來自OP-IN埠之信號為斷開時，連接OP-IN埠與main-CL，同時將輸出點main-OP連通至大氣(外部)，且，於來自OP-IN埠之信號為接通時，連接OP-IN埠與main-OP，同時將輸出點main-CL設為大氣開放。

因此，滑閥sp1V可設為以下構成：於形成為來自OP-IN埠之2條流路及連通於外部之連通孔與連接於輸出點main-OP及輸出點main-CL之2條流路分別貫通之圓筒狀之閥套，插入可滑動之閥芯(閥體)，並藉由彈簧等賦能部，朝氣動sp1V0側賦能。

於滑閥sp1v之閥芯(閥體)形成有對應於其表面之流路槽。於沿著閥芯(閥體)之軸線之滑動位置，可連接/切斷來自OP-IN埠之2條流路及連通於外部之連通孔與連接於輸出點main-OP及輸出點mian-CL的2條流路。

又，於閥套(套筒)之與氣動sp1V0側之相反側設置有調整構件，其設定為能接受彈簧等之賦能力，且可調整在套筒軸線方向上之位置。

藉由調節軸線方向上將該調整構件固定於閥套之位置，使彈簧之賦能力變化，且可在自氣動sp1V0側供給之壓力下，調節通道連接/切斷之閾值。

藉此，於滑閥sp1V中，預先將自OP-IN埠向氣動sp1V0側供給壓力設定為特定值，且設定為於具有該特定值以下之壓力變動之情形時，亦不進行閥動作。

另，可將自OP-IN埠向滑閥sp1V之氣動sp1V0施加壓力作為閥芯之滑閥開始動作信號。即，可僅以來自1級之OP-IN埠之信號進行閥動作。

速度控制閥NC1V連接於與自OP-IN埠朝向輸出點main-OP及輸出點main-CL之流路(連接於滑閥sp1V之流路)分支之流路。又，滑閥sp1V至輸出點main-OP之流路與滑閥sp1V至輸出點main-CL之流路並聯。自速度控制閥NC1V朝向滑閥sp1V之氣動sp1V0之流路分支，且分支之流路與輸出點FR連接。

速度控制閥NC1V中，組合有流量調整閥與止回閥，且流量調整閥與止回閥以阻止壓縮空氣在自OP-IN埠朝向滑閥sp1V之氣動sp1V0側及輸出點FR之方向上之流動(止回閥中之逆止功能發揮作用，逆向)之方式並聯連接。

速度控制閥NC2V與自滑閥sp1V朝向輸出點main-OP之流路連接。

速度控制閥NC2V中，組合有流量調整閥與止回閥，且流量調整閥與止回閥以允許壓縮空氣在自滑閥sp1V朝向輸出點main-OP之方向上之流動(止回閥中之逆止功能不發揮作用，順方向)之方式並聯連接。

速度控制閥NC3V與自滑閥sp1V朝向輸出點main-CL之流路連接。

速度控制閥NC3V中，組合有流量調整閥與止回閥，且流量調整閥與止回閥以允許壓縮空氣在自滑閥sp1V朝向輸出點main-CL之方向上之流動(止回閥中之逆止功能不發揮作用，順方向)之方式並聯連接。

於來自OP-IN埠之信號為接通時，藉由速度控制閥NC1V，較來自OP-IN埠之信號接通，更晚地操作滑閥sp1V。

同時，於來自OP-IN埠之信號為接通時，如下操作：藉由速度控制閥NC1V，使自OP-IN埠對氣動sp1V0側及輸出點FR之供給晚於輸出點main-OP或輸出點main-CL之流動。

又，於操作滑閥sp1V時，藉由速度控制閥NC2V，使自輸出點main-OP流出之流動晚於操作該滑閥sp1V進行切換者。

同樣地，於操作滑閥sp1V時，藉由速度控制閥NC3V，使得自輸出點main-CL流出之流動晚於操作該滑閥sp1V進行切換者。

接著，說明順序電路SQ中之壓力狀態及氣動狀態。

圖14~圖18係顯示順序電路SQ中之壓力狀態，且粗線表示高壓PHi狀態，細線表示低壓PLo狀態，粗虛線表示阻尼器壓力Pd。

另，圖14~圖18中，有為說明而將實際同時發生之狀態分別顯示於不同圖式之情形。

首先，將閘閥1閉塞密封之鎖定-關閉(LOCK-CLOSE)狀態設為初始狀態。

此時，成為可動閥部40位於閉閥位置E2(圖1)之關閉狀態，且可動閥部40之厚度為最大之鎖定狀態(閉塞狀態)。同時，活塞112位於收縮位置Pb。

於鎖定-關閉狀態下，作為順序電路SQ之壓力狀態，如圖14所示，輸入側中，於供給壓縮空氣之1個系統輸入時，不將壓縮空氣供給至用以進行閥動作之OP-IN埠而設為與大氣壓大致相同之低壓PLo狀態(以細線圖示)。

因此，如圖14所示，由於滑閥sp1V之氣動sp1V0側亦為與大氣壓相同之低壓PLo狀態(以細線圖示)，故藉由彈簧之賦能力成為信號斷開狀態，而使來自OP-IN埠之流路與輸出點main-CL側之流路連通。同時，輸出點main-OP側之流路與大氣(外部)連通。

藉此，輸出點FR、輸出點main-OP及輸出點main-CL皆為大致與大氣壓相同之低壓PLo狀態(以細線圖示)。因此，不對旋轉驅動氣缸110收縮壓力空間22c及伸展壓力空間113加壓，但因藉由賦能部120賦能而使活塞112位於收縮位置Pb。因此，可實現常閉合。

接著，作為開啟動作，於開閥之指令變為接通之時序，作為壓力狀態，如圖15所示，輸入側中切換成對OP-IN埠供給壓縮空氣使其成為超過動作之閾值之高壓PHi狀態(以粗線圖示)。

伴隨與此，如圖15所示，OP-IN埠為加壓狀態，且於輸出點main-CL流入有壓縮空氣。此時，速度控制閥NC3V係由於自OP-IN埠側朝向輸出點main-CL之方向為順方向，故順利加壓。

藉此，輸出點main-CL較與大氣壓大致相同之低壓PLo狀態(以細線圖示)為高壓，但低於旋轉驅動氣缸110動作閾值所設定之高壓PHi狀態(以粗線圖示)，而成為阻尼器壓力Pd狀態(以粗虛線圖示)。同樣地，旋轉驅動氣缸110之收縮壓力空間22c為阻尼器壓力Pd狀態。

此時，由於收縮壓力空間22c中之阻尼器壓力Pd狀態較高壓PHi狀態為低壓，且未達旋轉驅動氣缸110動作閾值，故受賦能部120賦能之活塞112不動。

此時，藉由連接於OP-IN埠之速度控制閥NC1V，成為滑閥sp1V之氣動sp1V0側之壓力上升被延遲之狀態，故滑閥sp1V維持不動之狀態。

再者，輸出點FR亦成為相對於OP-IN延遲但壓力仍上升之狀態。伴隨與此，連接於該輸出點FR之圓環狀氣缸80之壓力亦上升。

接著，輸出點FR之壓力亦上升，如圖16所示，於成為與OP-IN埠相同之高壓PHi狀態(以粗線圖示)時，輸出點FR亦成為高壓PHi狀態(以粗線圖示)之加壓狀態。

此時，隨著圓環狀氣缸80之壓力上升，氣缸之力大於主彈簧70之賦能力，可動閥板部50沿方向B1，可動閥框部60沿方向B2滑動，藉此，可動閥部40之厚度方向上之尺寸縮小，向閉塞解除狀態動作，而成為未鎖定-關閉狀態。

此時，由於以賦能部120賦能，故可動閥部40不開始旋動動作，而維持閉閥位置(解除位置)E2。

於輸出點FR之壓力上升成為與OP-IN埠相同之高壓PHi狀態(以粗線圖示)時，滑閥sp1V之氣動sp1V0側為加壓狀態，當超過閾值時，藉由滑閥sp1V，壓縮空氣之力大於彈簧之賦能力，於圖16中沿右方向移動，而切換成信號接通狀態。

向該滑閥sp1V中之信號接通狀態切換之動作中，使壓縮空氣流入至收縮壓力空間22c使其成為阻尼器壓力Pd狀態後，以使氣動sp1V0側之壓力上升至特定值之方式由速度控制閥NC1V控制該閾值。

如此，如圖17所示，於將滑閥sp1V切換為信號接通狀態時，來自OP-IN埠之流路與輸出點main-OP側之流路連通。同時，輸出點main-CL側之流路藉由滑閥sp1V連通至大氣側。

藉此，連接於OP-IN埠之輸出點main-OP被加壓而成為與OP-IN埠相同之高壓PHi狀態(以粗線圖示)。此時，速度控制閥NC2V係由於自OP-IN埠側朝向輸出點main-OP之方向為順方向而順利加壓。

如此，於連通於輸出點main-OP之旋轉驅動氣缸110之伸展壓力空間113中，瞬時成為高壓PHi狀態(以粗線圖示)，連通於輸出點main-CL之旋轉驅動氣缸110之收縮壓力空間22c為較其更低之阻尼器壓力Pd狀態(以粗虛線圖示)，故於收縮壓力空間22c與伸展壓力空間113產生壓力差。

其結果，同時間壓縮空氣之力大於賦能部120之彈簧構件120s之賦能力，而於旋轉驅動氣缸110中，活塞112開始自收縮位置Pb朝伸展位置Pa側移動。

此時，輸入點FR、圓環狀氣缸80維持高壓PHi狀態(以粗線圖示)，且維持可動閥部40之厚度方向上之尺寸縮小之狀態。

此時，隨著因伸展壓力空間113加壓引起之活塞112之移動，旋轉軸20及中立閥體5旋動，可動閥部40自閉閥位置(閉塞解除位置)E2(圖1)朝退避位置E1(圖1)進行旋動動作，而設為未鎖定-開啟狀態。

此處，由於利用速度控制閥NC1V向滑閥sp1V中之信號接通狀態之切換相對於OP-IN埠之信號更晚，故可動閥部40之旋轉動作，即活塞112自收縮位置Pb移動之開始相對於圓環狀氣缸80之加壓更晚。因此，維持於可動閥部40之厚度方向上之尺寸縮小動作後，即，可動閥體40之厚度縮小動作結束後進行旋轉軸20之旋轉動作之動作順序。

此時，速度控制閥NC3V係由於自輸出點main-CL朝向大氣側之方向為逆向，故輸出點main-CL之減壓得到緩和。藉此，作為阻尼器用空氣預先送入之空氣保留於收縮壓力空間22c。因此，於開閥動作接近結束，該空氣藉由緩衝槽119、控制緩衝流路119a經由連通槽116之內部、空間22d等向大氣側排出時，可獲得空氣阻尼效果、氣墊效果，可使活塞112順利地變化為朝伸展位置Pa移動。

最終，輸出點main-CL被減壓至與大氣壓相同之低壓PLo狀態。

如此，於滑閥1之開啟動作結束時，如圖17所示，維持開閥之未鎖定-開啟狀態。

最終，輸出點main-CL被減壓至與大氣壓相同之低壓PLo狀態。

另，滑閥1之開啟動作中之旋轉速度由旋轉驅動氣缸110中之活塞112自收縮位置Pb朝伸展位置Pa側之移動速度規定。

此處，於活塞112為閉閥位置E2(圖1)之關閉動作結束時，藉由伸展壓力空間113內之殘留壓力，產生氣墊作用，並藉由預先設為阻尼器壓力狀態，可防止缸本體111之內表面與活塞112猛烈地抵接、碰撞，而防止因碰撞產生顆粒。

再者，於活塞112之移動結束時，藉由與連接部112d對應之空間22d之氣墊填料效果之氣墊作用，如作為緩衝槽119說明之氣墊般發揮作用使得到達伸展位置Pa時之速度緩和，可防止因碰撞而產生顆粒。

接著，說明自開啟狀態關閉之動作。

作為關閉動作，於閉閥之指令接通，即OP-IN埠中之加壓狀態消除不供給壓縮空氣而成為大致與大氣壓相同之低壓PLo狀態之時序，作為壓力狀態，如圖18所示，連接於OP-IN埠之輸出點FR、及滑閥sp1V之氣動sp1V0側成為低壓PLo狀態。

此時，輸出點FR和與大氣壓相等之OP-IN埠連通，但速度控制閥NC1V係由於自輸出點FR朝向OP-IN埠之方向為順方向，故自輸出點FR流出之流動無滯後順利地減壓。

同時，滑閥sp1V藉由彈簧之賦能力於圖18中沿左方向移動，且無滯後地切換成信號斷開狀態。

同時，輸出點main-OP側之流路和與大氣壓相等之OP-IN埠連通，但速度控制閥NC2V係由於自輸出點main-OP朝向OP-IN埠側之方向為逆向，故自輸出點main-OP流出之流動較該閉閥指令接通之切換更晚。

藉此，輸出點main-OP側之流路與大氣(外部)連通，連接於輸出點main-OP之旋轉驅動氣缸110之伸展壓力空間113被減壓。如此，藉由賦能部120中之賦能構件120s之賦能力，活塞112開始自伸展位置Pa朝向收縮位置Pb側移動。

當氣動sp1V0側成為低壓PLo狀態時，輸出點FR亦同時成為低壓PLo狀態。

此處，速度控制閥NC1V係由於速度控制用之針閥與逆止閥並聯連接，故OP-IN埠中之壓力降低無滯後地引起氣動sp1V0側及輸出點FR之壓力降低。即，雖須使未鎖定動作延遲，但由於在關閉狀態下不延遲，故設為不具有延遲作用之構成。

同時，輸出點main-OP側之流路被減壓而成為低壓PLo狀態進行減壓。

隨著自活塞112自伸展位置Pa朝收縮位置Pb側之移動，旋轉軸20及可動閥部40旋動，可動閥部40自退避位置E1(圖1)朝閉閥位置(閉塞解除位置)E2(圖1)地進行旋動動作，而成為未鎖定-關閉狀態。

圓環狀氣缸80被減壓為低壓PLo狀態。藉此，因主彈簧70之賦能力，可動閥部40之厚度增大，於閉閥位置E2(圖1)向閉塞狀態動作，而成為鎖定-關閉狀態。

如此，於滑閥1之關閉動作結束時，如圖14所示，可藉由賦能部120中之彈簧構件120s之賦能力維持閉閥位置中閉塞狀態。

此處，只要OP-IN埠為減壓狀態，則可維持該可動閥部40之厚度方向上之尺寸不減少之狀態，故滑閥1不進行開啟動作，而於即便未供給驅動用壓力空氣之狀態下，亦可實現常閉合。

總結上述順序電路SQ中之狀態。

<開閥狀態>

lmian-OP：高壓導通狀態

lmian-CL：大氣導通狀態

lFR：高壓導通狀態

<閉閥旋轉動作中>

lMian-OP：大氣開放

lMian-CL：高壓導通狀態

lFR：高壓保持狀態

<閉閥旋轉完成，閥升降動作開始>

lMian-OP：大氣開放

lMian-CL：高壓導通狀態

lFR：大氣開放

如以上般，對於被設為OP-IN埠之1個系統之輸入，可不使用電氣機構而控制閥之開閉動作來實現FR、main-OP、main-CL之輸出點處之壓力狀態。再者，設定該等壓力狀態變化之順序，依序實現閉塞位置、閉塞解除位置、退避位置之狀態，藉此，可迅速且安全地進行滑閥1之動作，且進行常閉合動作。

如以上般，於本實施形態中，設置有以可於流路方向上相互離開接近之可動閥板部50與可動閥框部60構成之可動閥部40，於可動閥部40設置有將可動閥板部50與可動閥框部60朝流路方向外側賦能之主彈簧70，於可動閥部40設置有能使可動閥板部50與可動閥框部60朝中空部11之流路方向上之中央位置移動的圓環狀氣缸80，設置有將可動閥框部60朝接近中立閥部30之方向賦能之輔助彈簧90。藉此，能將可動閥板部50與可動閥框部60按壓於閥箱之內表面15a、15b，而以密封部61及斥力傳遞部59確實地進行閥閉塞。

另，藉由使可動閥板部50與可動閥框部60朝中空部11之流路方向上之中央位置移動，使可動閥體40以不接觸於閥箱10之方式旋動，與需要旋動以外之動作之機構相比，能藉由小型且輸出較小之驅動機構使可動閥體40移動至退避位置。

於該構成中，可由1個可動閥部40與3個賦能部70、80、90形成閥體。又，藉由配置於可動閥部40之周圍區域之主彈簧70之復原力將可動閥板部50與可動閥框部60直接按壓於閥箱10之內表面，而可確實地關閉閥。同樣地，藉由供給至配置於可動閥部40之周圍區域之圓環狀氣缸80之壓縮空氣之作用，使可動閥板部50與可動閥框部60自閥箱10之內表面離開，而可確實地設為能旋動狀態而開啟閥。因此，於第1實施形態中，可實現具有簡單之構造，且能高可靠性地進行隔斷動作之滑閥。

[緊固螺栓(緊固構件)43] 圖19係顯示位於本實施形態中之緊固構件附近之構件之要部的放大圖。

緊固螺栓(緊固構件43)如圖19所示具有於外周面設置有陽螺紋之末端部分43a。末端部分43a螺接於設置於可動閥框部60所設置之緊固螺接部63的螺紋孔63a。緊固螺栓43如下設置：使緊固螺栓43之軸線朝向可動閥體40之厚度方向，即與可動閥板部50與可動閥框部60之移動方向即方向B1或方向B2平行的方向。

緊固螺栓43之中央部分43b具有與末端部分43a大致相同之徑，且可軸向移動地貫通設置於可動閥板部50所設置之緊固螺接部63之貫通孔57b。中央部分43b之徑尺寸設定為小於貫通孔57b之徑尺寸，且於其等沿軸向相對移動之情形時，亦不相互接觸。

緊固螺栓43之基端部分43c為螺栓頭，且具有大於末端部分43a及中央部分43b之徑。末端部分43a之抵接面43d藉此與末端部分43a對向之緊固部57中之貫通孔57b外側之抵接面57d抵接，而可限制緊固螺栓43與可動閥板部50在流路方向上之變動位置。

於緊固螺栓43中較螺設有末端部分43a之陽螺紋之部分更靠末端位置周設有卡合用槽43e。於該卡合用槽43e嵌合有墊圈等扣環(卡合構件)43f。扣環43f抵接於螺紋孔63a之外側面63f，藉此限制緊固螺栓43在軸向(流路方向)中之內側方向(圖示下方向)之移動。扣環43以即便緊固螺栓43旋轉，亦不使緊固螺栓43自可動閥框部60脫離之方式卡合緊固螺栓43。

扣環43(卡合構件)43f並非單使緊固螺栓(緊固構件43)無法脫落，而於解除可動閥板部50與可動閥框部60之緊固之狀態下，可使緊固螺栓43長期不鬆動且保持位置。即，由於扣環43f(卡合構件)43f需穩定地負擔緊固軸力，故作為扣環43f，較佳應用E形扣環、或C型扣環。另，亦可採用根據扣環之類型具有對應於卡合用槽43e之形狀的扣環。又，作為卡合構件，亦可應用銷型之卡合構件。於該情形時，可代替卡合用槽43e而固定於緊固螺栓43之徑向所設置之卡合孔。

緊固螺栓43之長度設定為如下之程度之長度：於扣環43f抵接於外側面63f之狀態下，即便可動閥部40為最大厚度，末端部分43a側之抵接面43d亦不與抵接面43d所對向之緊固部57中之貫通孔57b外側之抵接面57d抵接。又，於可動閥部40為最小厚度之情形時，藉由使緊固螺接部63、與緊固螺接部63所對向之抵接面63g及抵接面57g抵接，進行可動閥板部50與可動閥框部60之位置限制。即，相對於螺接之緊固螺栓43，可動閥板部50可移動至方向B1上使抵接面57g抵接於抵接面63g之位置，又，方向B2上使抵接面57d在抵接於抵接面43d之位置。

因此，可藉由使緊固螺栓43相對於螺紋孔63a旋轉使緊固長度變化，而限制可動閥板部50之移動範圍，即可動閥板部50與可動閥框部69在流路方向上之位置。尤其，於藉由氣缸80產生大於主彈簧70之賦能力之力，可動閥部40之厚度縮小之狀態下，緊固螺栓以使抵接面57d抵接於抵接面43d之方式旋動。藉此，於停止氣缸80之驅動之狀態下，亦可維持可動閥部40之厚度縮小之狀態。藉此，於維養時等，可使中立閥體不與閥箱10接觸而以自由之狀態旋動。

又，緊固螺栓43為了使氣缸之力大於設置了複數個之主彈簧70之賦能力而穩定地維持可動閥部40之厚度縮小之狀態，於沿流路方向俯視可動閥部40時，相對配置有複數個主彈簧70之中心位置，對稱地配置該緊固螺栓43。

具體而言，可動閥部40之形狀在沿流路方向俯視時為大致圓形，將複數個主彈簧70以同心狀定位之方式配置於可動閥部40之最外周即第1周圍區域40a。於該情形時，以相對於複數個主彈簧70之配置成同心狀之方式配置複數個緊固螺栓43，且以複數個主彈簧70之間隔與複數個緊固螺栓43之間隔相等之方式將緊固螺栓43之個數設定為與主彈簧70之個數相同。

於上述構成中，作為一例，列舉主彈簧70之所有賦能力皆相等之情形。另一方面，於複數個主彈簧之賦能力不均等之情形時，較佳以效率良好地接受不均等之賦能力，且使可動閥部40之厚度尺寸之縮小寬度在中立閥體之整個面方向上相等之方式設置緊固螺栓。

藉此，對於主彈簧70之賦能力始終發揮作用之可動閥部40，可無須另外準備縮小可動閥部40之厚度之夾具而拆卸包含中立閥部30與可動閥部40之中立閥體。

再者，藉由設置扣環43f，可排除維養時拆卸緊固螺栓43後丟失之風險。

以下，基於圖式對本發明之第2實施形態之閘閥進行說明。

圖20係顯示本實施形態之閘閥之構成之俯視圖。圖21係顯示本實施形態之閘閥之構成之縱剖視圖，且係顯示將閥體配置於可進行退避動作之位置(FREE)之情形的圖。圖21相當於圖20中之線段B-O-C。

圖22～圖25與圖21同樣，顯示將閥體配置於可進行退避動作之位置(FREE)之情形的圖。圖22係顯示沿著圖20中之線段A-O之要部之放大圖，且係顯示位於內置於閥箱之賦能部A附近之構件之構造的圖。圖23係顯示沿著圖20中之線段B-O之要部之放大圖，且係顯示位於配置於可動閥部A與可動閥部B間之賦能部B之附近自要部的放大圖，且係顯示不存在賦能部A與賦能部B之位置處之可動閥部A與可動閥部B的圖。圖25係顯示圖20中之賦能部C之要部之放大圖。圖21係沿紙面深度方向觀察賦能部C之圖。圖26係顯示本實施形態之閘閥之構成之縱剖視圖，且係顯示將閥體配置於閉閥位置(正壓或無差壓)之情形的圖。圖26相當於圖20中之線段B-O-C。

[鐘擺型閘閥] 本實施形態之閘閥300如圖20～圖25所示為鐘擺型滑閥。

閘閥300具備：中空部311；閥箱310，其具有成為以隔著中空部311相互對向之方式設置且連通之流路的第1開口部312a及第2開口部312b；及中立閥體305，其配置於閥箱310之中空部311內且可閉塞第1開口部312a。

自第1開口部312a朝向第2開口部312b地設定流路H。另，於以下之說明中，有時將沿著該流路H之方向稱為流路方向H。

閘閥300作為於將中體閥體305設為相對於第1開口部312a閉塞之狀態的閥閉塞位置(圖26)與將中立閥體305設為自第1開口部312a退避之開放狀態(圖21)之閥開放位置之間動作的位置切換部發揮功能。又，閘閥300具有旋轉軸320，該旋轉軸具有沿流路方向H延伸之軸線。

中立閥體305由連接於上述位置切換部(中立閥體305)之中立閥部330、及可變更流路方向H之位置地對中立閥部330連接之可動閥部340構成。

可動閥部340具備可動閥部A360(可動閥框部)與可動閥部B350(可動閥板部)。可動閥部A360(可動閥框部)設置有周設於可動閥部A且密接於位於第1開口部312a之周圍之閥箱310之內表面的第1密封部361。

可動閥部B350(可動閥板部)可相對於可動閥部A360(可動閥框部)沿流路方向H滑動。

於閥箱310內置有複數個賦能部A370(活塞：相當於舊的主彈簧)。配置於閥箱310內部之賦能部A370構成將可動閥部A360向朝著密封面之方向按壓之可伸縮的升降機構。賦能部A370連接於第1實施形態中之順序電路SQ之輸出點main-FR而受驅動。

藉此，賦能部A370具有以下功能：將可動閥部A360朝流路方向H中之第1開口部312a賦能而使第1密封部361密接於位於第1開口部312a之周圍之閥箱310的內表面。

又，本實施形態之閘閥具備賦能部C，其可變更相對於中立閥部在流路方向上之位置地連接可動閥部A，且將可動閥部A朝上述流路方向之中央位置賦能。

再者，本實施形態之閘閥具有賦能部A，其構成於閥箱之內部將可動閥部A向朝著閥箱內表面310A之密封面按壓之可伸縮的升降機構。

根據該構成，由於可獲得由2個可動閥部A、B與1個賦能部B構成閥體，且將另一個賦能部A內置於閥箱之構成，故可謀求將閥體構造減輕賦能部A之重量之量。本發明之實施形態之閘閥中，於自開啟閥狀態(圖21)為設關閉閥狀態(圖26)之情形時賦能部A發揮功能，相反，於自關閉閥狀態(圖26)設為開啟閥狀態(圖21)之情形時賦能部C發揮功能。

於可動閥部A360(可動閥框部)與可動閥部B350(可動閥板部)之間，配置有賦能部B(彈簧：相當於舊的氣缸)(內置於可動閥部)。賦能部B以可調整可動閥部A360(可動閥框部)與可動閥部B(可動閥板部)在流路方向H上之厚度尺寸之方式驅動。

當旋轉軸320朝以符號R1所示之方向(與流路H之方向交差之方向)旋轉時，藉由該旋轉，經由連接構件(未圖示)固定於旋轉軸320之中立閥部330亦沿方向R1旋動。又，由於可動閥部340僅可於厚度方向滑動地連接於中立閥部330，故可動閥部340與中立閥部330一體旋轉。

如此，藉由使中立閥部30旋轉，可動閥部40自未設置流路H之中空部311之退避位置以鐘擺運動移動至與第1開口部312a對應之位置的流路H之閉閥位置。

且，內置於閥箱310之賦能部A370配置於閥箱310之內部且藉由自第1實施形態之順序電路SQ之輸出點main-FR供給之壓縮空氣作動。賦能部A370由可驅動之固定部(缸體)371、與藉由該固定部371，可自上述固定部371向朝著可動閥部A360之方向伸縮之可動部(活塞)372、及配置於固定部371且將活塞372朝向閉閥側賦能之彈簧等賦能構件構成。

又，於可動部372之周圍，於可動部372之末端側位置設置有環狀之密封構件(O形環)375。於密封固定部371側與成為可動閥部A360側之真空側之狀態下，可動部372伸縮自如。

藉此，賦能部A370具備藉由壓縮空氣使賦能部A370之末端部抵接於可動閥部A360，且使可動閥部A360朝第1開口部312移動之功能。賦能部A370與第1實施形態之氣缸80、主彈簧70同樣，可以彈力密封，以氣壓設為未鎖定(非密封)。

賦能部A370藉由使可動閥部A360朝第1開口部312a移動之功能，使可動閥部A360與閥箱310之內表面相接，將可動閥部A360按壓於上述閥箱310之內表面，而密閉流路H(閉閥動作)。

相反，賦能部C390具有能使可動閥部A360自第1開口部312a離開之功能。賦能部C390藉由該功能使可動閥部A360自閥箱310之內表面離開，隨後又使可動閥部A360退避，藉此開放上述流路H(解除動作)。

可藉由使可動閥部A360相對於閥箱310之內表面抵接之賦能部A370之機械抵接動作、與使可動閥部A360自閥箱310之內表面離開之賦能部C390之機械分離動作，實現閉閥動作與解除動作。

於該解除動作後，旋轉軸320沿以符號R2所示之方向旋轉(退避動作)時，根據該旋轉，中立閥部330及可動閥部340(即，可動閥部A360與可動閥部B350)亦沿方向R2旋動。

再者，以可調整可動閥部A360與可動閥部B350在流路方向H上之厚度之方式驅動之賦能部B配置於上述可動閥部A與上述可動閥部B之間。即，賦能部B內置於可動閥部。藉由存在該賦能部B，可動閥部A與上述可動閥部B於一連串之動作(閉閥動作、解除動作、退避動作)中連動。

藉由該解除動作與退避動作，可動閥部340進行自上述閥開閉位置退避至上述退避位置而設為開閥狀態之開閥動作。

如此，於本實施形態之閘閥中，可獲得由2個之可動閥部A360及可動閥部B350與2個之賦能部B380及賦能部C390構成閥體，並將另一個賦能部A內置於閥箱之構成。即，於本實施形態中，可將閥體減輕將另1個賦能部A內置於閥箱之量。

因此，根據本實施形態，可提供一種能進行高可靠性之隔斷動作，可謀求可動閥部之輕量化，且可實現100%之逆壓消除率的閘閥。

[閥箱310] 閥箱310由具有中空部311之框體構成。於圖21中，於框體之上表面設置有第1開口部312a，於框體之下表面設置有第2開口部312b。

閘閥300插入至第1開口部312a露出之空間(第1空間)與第2開口部312b露出之空間(第2空間)間。閘閥300隔斷(密閉)連接第1開口部312a與第2開口部312b之流路H，即連接第1空間與第2空間之流路H，且解除該隔斷狀態(連接第1空間與第2空間)。

於閥箱310之中空部311設置有旋轉軸320、中立閥部330、構成可動閥部340之2個可動閥部A360(滑閥板)與可動閥部B350(反向板)、及2個賦能部B380(保持彈簧)與賦能部C90(賦能彈簧)。於構成閥箱310之框體之內部設置有賦能部A(升降機構)。

[旋轉軸320] 旋轉軸320與第1實施形態之旋轉軸20對應，設置成以與流路H大致平行之狀態延伸而貫通閥箱10且可旋轉。旋轉軸320可藉由第1實施形態之旋轉軸驅動機構100及連接於此之順序電路SQ旋動。

於旋轉軸320固接有連接構件(未圖示)。該連接構件為例如大致平板狀之構件，且藉由螺栓等對旋轉軸320之一端固接。

[中立閥部330] 中立閥部330配置成沿相對於旋轉軸320之軸線正交之方向延伸，且包含於平行於該正交方向之面。中立閥部330經由連接構件(未圖示)或不經由連接構件(未圖示)直接地固定於旋轉軸320。

如圖20所示，中立閥部330具有圓形部330a，其與可動閥部340重合；及旋轉部330b，其隨著旋轉軸320之旋轉使圓形部330a旋轉。旋轉部330b位於旋轉軸320與圓形部330a之間，且以2條腕自旋轉軸320朝圓形部330a延伸之臂形狀形成。藉此，圓形部330a亦有被稱為臂部之情形。

該等旋轉軸320、中立閥部330以相對於閥箱310旋動，但在流路H方向位置不變動之方式設置。

旋轉軸320可相對於中立閥部330選擇性地連接於沿著流路方向H之上側與下側之任一者。或，可相對於旋轉軸320安裝於中立閥體305之全體，即中立閥體305之兩面。

於本實施形態中，於閘閥閉閥時，中立閥體305以由可動閥部340閉塞第1開口部312a之方式移動，基於該閘閥之配置，對進行閘閥之開閉動作之情形進行說明。

[可動閥部340、可動閥部B350(可動閥板部：反向板)、可動閥部A360(可動閥框部：滑閥板)] 可動閥部340為大致圓板狀，且具有與圓形部330a大致同心狀形成之可動閥部B350、及以包圍該可動閥部350之周圍之方式配置之大致圓環狀的可動閥部A360。可動閥部A360可沿流路H方向滑動地連接於中立閥部330。又，可動閥部B350可滑動地嵌合於可動閥部A360。

可動閥部B350與可動閥部A360可藉由賦能部B380(保持彈簧)一面沿以符號B1、B2(圖21)所示之方向(往復方向)滑動一面移動。此處，以符號B1、B2所示之方向為垂直於可動閥部B350及可動閥部A360之面之方向，且為平行於旋轉軸320之軸向之流路H方向。

又，於可動閥部B350之外周附近之整個區域形成有內周曲柄部350c。又，於可動閥部A360之內周附近之整個區域形成有外周曲柄部360c。

於本實施形態中，外周曲柄部360c具有與流路H方向平行之滑動面360b。內周曲柄部350c具有與流路H方向平行之滑動面350b。

外周曲柄部360c及內周曲柄部350c以滑動面350b、360b彼此可滑動之方式嵌合。為了可進行該滑動將包含O形環等之第3密封部352(滑動密封填料)配置於外周曲柄部360c與內周曲柄部350c之間。

在對向(抵接)於閥箱310之內表面之可動閥部A360之表面，設置有第1密封部361(閥板密封填料)，其與第1開口部312a之形狀對應而形成為圓環狀且包含例如O形環等。

該第1密封部361於關閉閥時由可動閥部340覆蓋第1開口部312a之狀態下，接觸於成為第1開口部312a之周緣之閥箱310之閥箱內表面310A，並受可動閥部A360及閥箱310之閥箱內表面310A按壓。藉此，確實地將第1空間與第2空間隔開(確保隔斷狀態)。

在對向(抵接)於閥箱310之閥箱內表面310B之可動閥部B350之表面，設置有第2密封部351(反向緩衝墊)，其與第2開口部312b之形狀對應而形成為圓環狀且包含例如O形環等。

[賦能部B380(保持彈簧)] 賦能部B380(保持彈簧)位於可動閥部A與可動閥部B之間，且局部配置於可動閥部A360與可動閥部B350重合之區域。即，賦能部B380內置於可動閥部340(可動閥部A360與可動閥部B350之間)。供設置賦能部B380之部位較佳為3個以上，且相互分開設置。作為相互分開之賦能部B380之配置，不限定於等間隔之配置，亦可採用複數個賦能部B380非等間隔配置之構造。圖20係顯示自閥體之中心O觀察時，3個賦能部B380配置成相同之角度(120度)之構成例。

賦能部B380構成為藉由固定於可動閥部A360(可動閥框部：滑閥板)之螺栓狀之導銷381之長軸部引導(限制)可動閥部B之移動。構成賦能部B380之保持彈簧以彈性構件(例如彈簧、橡膠等)形成。

賦能部B380(保持彈簧)以可調整可動閥部A360與可動閥部B350在流路方向H上之厚度尺寸之方式驅動。藉此，可動閥部B350朝可動閥部A360移動之方向(符號B1之方向或符號B2之方向)連動。

此時，由於可動閥部B350以可調整在流路方向H上之厚度尺寸之方式驅動，故於上述之關閉閥時，緩和可動閥部A360之第1密封部361接觸於閥箱310之閥箱內表面310A時對閘閥產生之衝擊。

又，於開啟閥或逆壓時，緩和可動閥部B350之第2密封部351接觸於閥箱310之閥箱內表面310B時對閘閥產生之衝擊。於受到該衝擊時，由可動閥部B350、閥箱內表面310B及第2密封部351形成密閉空間。為了去除對該密閉空間賦予壓力之氣體，於可動閥部B350設置有除氣孔353。

[導銷381] 導銷381固設於可動閥部A360且立設於流路方向H，並以粗度尺寸均勻之桿狀體構成。導銷381貫通賦能部B380內，且嵌合於形成於可動閥部B350之孔部50h。

該導銷381以可動閥部B350與可動閥部A360滑動之方向(以符號Q顯示之軸)不自符號B1、B2所示之方向偏移之方式，確實地引導可動閥部B350與可動閥部A360之位置限制。再者，該導銷381以可動閥部B350與可動閥部A360滑動時，亦不使可動閥部B350與可動閥部A360之姿勢變化地進行平行移動之方式，確實地引導可動閥部B350與可動閥部A360之位置限制。

[賦能部C390(輔助彈簧)] 賦能部C390(輔助彈簧)設置於中立閥部330與可動閥部A360之間。賦能部C390以在閥箱310之流路方向H上，可變更相對於在流路方向上之位置地對中立閥部330連接可動閥部A360，且將可動閥部A360朝上述流路方向之中央位置賦能。藉此，於本實施形態中，於使閘閥自關閉閥狀態(圖26)變為開啟閥狀態(圖21)之情形時，賦能部C390發揮功能。即，賦能部C390具有促進自關閉閥狀態(圖26)將可動閥部A360自閥箱310之內表面拉離之機械分離動作的構造。

賦能部C390具有位於中立閥部330之外周位置之圓形部330a，位於可動閥部A360之外周位置，且設置於與圓形部330a重疊之部位(位置限制部365)。

自閥體之中心O觀察時，賦能部C390配置於與賦能部B380相同之角度。圖20係顯示配置有3個賦能部C390之構成例。

賦能部C390亦與賦能部B380同樣地為彈性構件(例如彈簧、橡膠、板彈簧等)。

其中，於使用板彈簧(圖21)作為賦能部C390之情形時，除將可動閥部A360向中立閥部330(臂)拉動並保持之功能α[促進自關閉閥狀態(圖26)機械分離動作之功能]外，還可具備保持可動閥部A360相對於中立閥部330(臂)在半徑方向之位置之功能β，故而較佳。

圖25係顯示閘閥為開啟閥狀態(圖21)時之賦能部C390之模式性剖視圖。

如圖21所示，板彈簧(賦能部C390)兩端附近之部分由固定銷392、393隔著環狀構件392a、392b沿著中立閥部330之圓形部330a之周向卡合。又，板彈簧之中央部附近之部分由施壓銷391卡合於可動閥部A360之位置限制部365。

閘閥處於開啟閥狀態(圖21)之板彈簧具有曲部390A，藉此處於高度方向之距離被壓縮之狀態，即可動閥部A360相對於中立閥部330(臂)之分開距離變窄之狀態(圖25)。

相對於此，閘閥處於關閉閥狀態(圖26)之板彈簧消除圖25所示之曲部390A，藉此處於高度方向之距離伸展之狀態，即可動閥部A360相對於中立閥部330(臂)之分開距離擴大之狀態(圖26)。

如此，藉由採用包含極其簡單之構造之板彈簧作為賦能部C390，本發明之實施形態之閘閥中之賦能部C390可穩定地獲得上述之2個功能(功能α與功能β)。

[賦能部A370(升降機構)] 賦能部A370(升降機構)內置於閥箱，且與包含上述之2個可動閥部A、可動閥部B及2個賦能部B、賦能部C之閥體分開。

賦能部A70藉由自第1實施形態中之順序電路SQ之輸出點main-FR供給而作用於固定部371之壓力，使可動閥部372之末端部朝可動閥部A360伸展。藉由該動作，將可動閥部A360沿著流路方向H朝第1開口部312a賦能。賦能部A370具有可藉由該可動部372之伸展動作使第1密封部361密接於第1開口部312a周圍之閥箱內表面310A之功能。

內置於閥箱310之複數個賦能部A370皆可同時動作該可動部372之伸展動作。

賦能部A370不具有相反地使第1密封部361自第1開口部312a周圍之閥箱內表面310A離開之功能，但具備返回至自身(稍後敍述之可動部372)最初移動之位置(稍後敍述之固定部371內之位準)的功能。因此，賦能部A370為可朝自賦能部A370朝向可動閥部A360之方向伸縮的升降機構。

具有此種構成之複數個賦能部A370分別配置於閥箱310中對可動閥部A360發揮作用之位置，且沿著可動閥部A360設置。

於圖20所示之構成例中，供設置賦能部A370之部位較佳為3個部位以上，且相互分開設置。

作為相互分開設置之賦能部A370之配置，不限定於等間隔之配置，亦可採用複數個賦能部A370非等間隔配置之構造。圖20中顯示自閥體之中心O觀察時，4個賦能部A370配置成相同之角度(90度)之構成例。

該構成例中之賦能部A370構成為賦能部A370之角度位置不與配置上述之賦能部B380之賦能部C之角度位置重疊。

根據該構成，賦能部A370具有使可動部372之末端部372a抵接於可動閥部A360之下表面360sb，並使可動閥部A360朝第1開口部312移動之功能、及返回至自身(可動部372)最初移動之位置(固定部371內之位置)之功能之2個功能，且負擔閥體之升降機構之作用。

圖21～圖24係表示可動閥部340(可動閥部A360、可動閥部B350)皆不與閥箱310之任意之閥箱內表面310A、310B相接的狀態。將該狀態稱為閥體未鎖定之狀態。圖6係顯示未鎖定狀態(圖21)下之賦能部C之要部的放大圖。圖21係沿紙面深度方向觀察賦能部C之圖。

於該閥體未鎖定之狀態下，藉由上述之賦能部A370之功能，即使可動閥部A360朝第1開口部312a移動之功能，使可動閥體A360移動至與閥箱310之閥箱內表面310A相接，並將可動閥體A360按壓於上述閥箱內表面310A，藉此閉塞流路H(閉閥動作)。

圖26係顯示藉由上述閉閥動作將流路H密閉之狀態。將該狀態成為正壓/無壓差之狀態。

於該閥體為正壓/無壓差之狀態下，藉由上述之賦能部C390之功能，即，可變更在流路方向上之位置地對中立閥部30連接可動閥部A360，且將可動閥部A朝上述流路方向之中央位置賦能的功能，將可動閥部A360自閥箱310之內表面拉離，而使可動閥部A360退避，藉此開放上述流路H(解除動作)。

又，本實施形態之閘閥中之賦能部A370內置於閥箱310，且與包含2個可動閥部A360、可動閥部B350及2個賦能部B380、賦能部C390之中立閥體305分開，其等由第1實施形態中之旋轉軸驅動機構100及連接於此之順序電路SQ驅動，藉此，本實施形態之閘閥300可謀求使閥體構造減輕賦能部A370之重量之量。

於本實施形態中，可獲得與上述之第1實施形態同等之效果。

以下，基於圖式說明本發明之閘閥之第3實施形態。

圖27係顯示本發明之閘閥之剖視圖。

本實施形態中與上述之第1及第2實施形態之不同處在於與密封環相關之點及隨附於此之點。

本實施形態之閘閥500為鐘擺型滑閥。

滑閥500如圖27所示具備：閥箱510，其具有中空部511、及成為以隔著中空部511相互對向之方式設置且連通之流路的第1開口部512a及第2開口部512b；中立閥體(閥體)505，其配置於閥箱510之中空部511內且可閉塞第1開口部512a；旋轉軸520，其作為使閥體500於將閥體505設為相對於第1開口部512a閉塞之狀態的閥閉塞位置、與設為自第1開口部512a退避之開放狀態的閥開放位置之間動作的位置切換部發揮功能，且具有沿流路方向延伸之軸線；旋轉軸驅動機構(旋轉裝置)600，其包含使旋轉軸520旋轉之齒條構件522及小齒輪521、及驅動其等之旋轉氣缸610；密封環540，其相對於流路方向H滑動地設置於第1開口部512a周圍且可實現抵接於成為閥閉塞位置之閥體505而閉塞流路的閉塞狀態及閥體505可向閥開放位置開啟之開放狀態；閉塞解除氣缸570，其內置於閥箱510並解除密封環540之閉塞狀態；密封環賦能部590，其將密封環540朝抵接於閥體505之方向賦能；及順序電路SQ，其可使閥體505之閉塞解除動作與閥體505之旋轉動作依序動作。

本實施形態中，中空部511對應於上述之第1實施形態之中空部11，第1開口部512a對應於上述之第1實施形態之第1開口部12a，第2開口部512b對應於上述之第1實施形態之第2開口部12b，閥箱510對應於上述之第1實施形態之閥箱10，旋轉軸520上述之第1實施形態之旋轉軸20，曲柄構件522對應於上述之第1實施形態之曲柄構件22，小齒輪521上述之第1實施形態之小齒輪21，旋轉軸驅動機構(旋轉裝置)600對應於上述之第1實施形態之旋轉軸驅動機構(旋轉裝置)100，旋轉氣缸610對應於上述之第1實施形態之旋轉氣缸110。關於該等，設為替換符號之百位數者而省略其等之說明。

本實施形態之閥體505繞旋轉軸520進行旋轉動作，但設為其之厚度尺寸不變化而閉塞流路之板體。

本實施形態之密封環540可實現抵接於成為閥閉塞位置之閥體505而閉塞流路之閉塞狀態及閥體505可向閥開放位置開啟之開放狀態。密封環540具有筒狀部541，其於第1開口部512a之周緣部可沿流路方向H滑動且設置於閥箱510；及凸緣部542，其周設於筒狀部541之外側。

凸緣部542設置於對向(抵接)於閥體505之位置之周緣外側。在對向(抵接)於閥體505之凸緣部542之表面設置有第1密封部542a(反向緩衝墊)，其與第1開口部512a之形狀對應而形成為圓環狀且包含例如O形環等。

同樣地，於筒狀部541之外周部設置有閥箱510之第1開口部512a、及滑動時形成為圓環狀之包含例如O形環等的密封部541a(反向緩衝墊)。

閉塞解除氣缸570內置於閥箱510，且於第1密封部542a之相對於凸緣部542之背面位置，於密封環540之周緣位置設置複數個。

閉塞解除氣缸570具有：內部空間571，其內置於閥箱510；活塞573，其可滑動地設置於內部空間571；可動部572，其連接於活塞573且使末端部朝密封環540伸展；及密封環賦能部590，其作為設置於內部空間571內之彈簧構件。

閉塞解除氣缸570進行與上述之第2實施形態之賦能部A70(升降機構)對應之動作。可動部572進行與可動部72對應之動作。內部空間571連接於上述之第1實施形態中之順序電路SQ中之輸出點FR。

密封環賦能部590如下賦能：於無來自輸出點FR之加壓之狀態下，使可動部572之末端部朝密封環540伸展。

又，構成為：於自輸出點FR加壓之狀態下，內部空間571之壓力上升，使可動部572之末端部以離開密封環540之方式退縮。

另，活塞573與內部空間571、及可動部572之周圍與閉塞解除氣缸570以由密封構件維持相互密閉狀態之方式被密封。

本實施形態中之旋轉軸驅動機構(旋轉裝置)600對應於第1實施形態中之旋轉軸驅動機構100。旋轉氣缸610具有：賦能部620，其使閥體505進行關閉動作；活塞612，其於缸本體(閥套)611之內部空間611b內滑動並可進行開閉動作；第1壓力空間522c與第2壓力空間613，其等沿活塞612之動作方向串聯配置，且第1壓力空間522可供活塞612進行關閉動作，第2壓力空間613可供活塞612進行開啟動作。

第1壓力空間522c連接於第1實施形態之順序電路SQ中之輸出點main-CL，第2壓力空間613連接於第1實施形態之順序電路SQ中之輸出點main-OP。

作為賦能部620之彈簧構件620s設置於缸本體(閥套)611之內部空間611b內接近活塞612之曲柄構件522之位置，且使旋轉氣缸610朝退縮之方向即使閥體505進行關閉動作之方向賦能。

本實施形態中之順序電路SQ之構成與第1實施形態中之順序電路SQ相同。順序電路SQ具有氣動式雙通道滑閥sp1V、與由止回閥及流量調整閥組合而成之速度控制閥NV1V、NC2V、NC3V。

於本實施形態之閘閥500中，可藉由對連接於輸入點FR之閉塞解除氣缸570之內部空間571、連接於輸出點main-CL之第1壓力空間522c及連接於輸出點main-OP之第2壓力空間613，進行與第1實施形態中之順序電路SQ同等之順序動作，而進行開閉動作。

藉此，可防止閉閥動作時，缸本體611之內表面與活塞612猛烈地抵接、碰撞。

[產業上之可利用性] 本發明可廣泛地應用於以下用途之閘閥：於真空裝置等，切換將連結真空度或溫度或氣體環境等性質不同之2個空間之流路隔斷的狀態及解除該隔斷狀態之用途、及於解除隔斷狀態之情形時，控制開度之用途。

1‧‧‧閘閥 5‧‧‧中立閥體 10‧‧‧閥箱 10a‧‧‧閥箱 10b‧‧‧閥箱 11‧‧‧中空部 12a‧‧‧第1開口部 12b‧‧‧第2開口部 14‧‧‧閥套 14A‧‧‧密封閥套 14Aa‧‧‧密封部 14Ab‧‧‧密封部 14Ac‧‧‧密封部 14Ad‧‧‧中間大氣室 14B‧‧‧圓筒閥套 14Bb‧‧‧閥套 14Bc‧‧‧路徑 14C‧‧‧蓋體閥套 14Cc‧‧‧路徑 14D‧‧‧蓋體 14He‧‧‧洩漏流路 15a‧‧‧內表面 15b‧‧‧內表面 16A‧‧‧軸承 16B‧‧‧軸承 17‧‧‧流體路徑環 17a‧‧‧外周面 17b‧‧‧內周面 17c‧‧‧徑向環路徑 17d‧‧‧槽 17e‧‧‧密封構件 17f‧‧‧密封構件 17g‧‧‧密封構件 17h‧‧‧密封構件 17j‧‧‧密封構件 17k‧‧‧密封構件 17p‧‧‧槽 18‧‧‧流體路徑環 18a‧‧‧外周面 18b‧‧‧內周面 18c‧‧‧徑向環路徑 18d‧‧‧槽 18e‧‧‧密封構件 18f‧‧‧密封構件 18g‧‧‧密封構件 18h‧‧‧密封構件 18j‧‧‧密封構件 18k‧‧‧密封構件 20‧‧‧旋轉軸 20a‧‧‧一端 20b‧‧‧外周面 20c‧‧‧另一端 21‧‧‧小齒輪 21A‧‧‧貫通孔 22‧‧‧齒條 22a‧‧‧齒條齒 22c‧‧‧收縮壓力空間(第1壓力空間) 22d‧‧‧空間 22g‧‧‧空間 22h‧‧‧內部空間 22j‧‧‧供路徑 22m‧‧‧空間 22He‧‧‧洩漏空間 25‧‧‧軸向軸內路徑 26‧‧‧軸向軸內路徑 27‧‧‧徑向軸內路徑 27He‧‧‧軸向洩漏流路 28‧‧‧徑向軸內路徑 30‧‧‧中立閥部 30A‧‧‧一面側 30a‧‧‧圓形部 30B‧‧‧另一面側 30b‧‧‧旋轉部 31‧‧‧陰螺紋 31He‧‧‧空間 38‧‧‧孔部 38a‧‧‧內表面 38b‧‧‧內表面 38c‧‧‧階差 38d‧‧‧底部 40‧‧‧可動閥部 40a‧‧‧第2周圍區域 40b‧‧‧第1周圍區域 41‧‧‧供給路徑 42‧‧‧連通路徑 42A‧‧‧第2連通路徑 43‧‧‧緊固螺栓(緊固構件) 43a‧‧‧末端部分 43b‧‧‧中央部分 43c‧‧‧基端部分 43d‧‧‧抵接面 43e‧‧‧卡合用槽 43f‧‧‧扣環 50‧‧‧可動閥板部(第2可動閥部) 50a‧‧‧凹部 50b‧‧‧滑動面 50c‧‧‧與內周曲柄部 50d‧‧‧凸部 50f‧‧‧第1外周面 50g‧‧‧第2內周面 50h‧‧‧孔部 51a‧‧‧第2密封部 51b‧‧‧第2密封部 52a‧‧‧第3密封部 52b‧‧‧第3密封部 53‧‧‧滑動片 54‧‧‧滑動片 55‧‧‧中間大氣室 56‧‧‧中間大氣室 57‧‧‧緊固部 57b‧‧‧貫通孔 57d‧‧‧抵接面 57g‧‧‧抵接面 59‧‧‧斥力傳遞部 60‧‧‧可動閥框部(第1可動閥部) 60a‧‧‧凹部 60b‧‧‧滑動面 60c‧‧‧外周曲柄部 60d‧‧‧凹部 60f‧‧‧第1內周面 60g‧‧‧第2外周面 61‧‧‧第1密封部 62‧‧‧導銷 63‧‧‧緊固螺接部 63a‧‧‧螺紋孔 63f‧‧‧外側面 63g‧‧‧抵接面 65‧‧‧位置限制部 65a‧‧‧末端 67‧‧‧貫通孔 67a‧‧‧凸緣內表面 67b‧‧‧氣體連接位置內表面 67c‧‧‧支持位置內表面 67d‧‧‧外側內表面 67e‧‧‧外側面 67f‧‧‧階差面 67g‧‧‧階差面 67h‧‧‧密封構件 67j‧‧‧密封構件 68‧‧‧連接銷 68A‧‧‧浮動銷 68Aa‧‧‧凸緣部 68Ab‧‧‧氣體連接部 68Ac‧‧‧固定端 68Ad‧‧‧固定槽 68Ae‧‧‧固定構件 68Af‧‧‧密封面 68Ag‧‧‧密封面 68a‧‧‧基部 68b‧‧‧末端 68c‧‧‧階差 68d‧‧‧末端面 68f‧‧‧密封部 68g‧‧‧密封部 69‧‧‧連接銷部 69a‧‧‧加壓空間 69c‧‧‧中間大氣室 70‧‧‧主彈簧(第1賦能部) 80‧‧‧圓環狀氣缸(第2賦能部) 90‧‧‧輔助彈簧(第3賦能部) 91‧‧‧連接構件 92‧‧‧螺栓 93‧‧‧突起部 93a‧‧‧第1接觸面 93b‧‧‧第1接觸面 93c‧‧‧第2接觸面 93d‧‧‧第2接觸面 93e‧‧‧第1傾斜面 93f‧‧‧第1傾斜面 93m‧‧‧端面 95‧‧‧凹部 95A‧‧‧凹部 95a‧‧‧第3接觸面 95B‧‧‧凹部 95b‧‧‧第3接觸面 95c‧‧‧第4接觸面 95d‧‧‧第4接觸面 95e‧‧‧第2傾斜面 95f‧‧‧第2傾斜面 95m‧‧‧端面 96a‧‧‧第1平行面 96b‧‧‧第1平行面 97a‧‧‧第2平行面 97b‧‧‧第2平行面 98‧‧‧開口 100‧‧‧旋轉軸驅動機構 110‧‧‧旋轉驅動氣缸(缸體) 111‧‧‧缸本體 111a‧‧‧一端側 111b‧‧‧內部空間 111c‧‧‧凹部 111s‧‧‧軸孔 112‧‧‧活塞 112a‧‧‧一面側 112b‧‧‧另一面側 112c‧‧‧突起部 112d‧‧‧突起部(連接部) 113‧‧‧拉伸壓力空間(第2壓力空間) 114‧‧‧通氣口 115a‧‧‧內周面 115B‧‧‧軸承 115C‧‧‧軸承 116‧‧‧連通槽 118‧‧‧緩衝槽 119‧‧‧緩衝槽 119a‧‧‧控制緩衝流路 119b‧‧‧控制用孔 119c‧‧‧控制銷 120‧‧‧賦能部 120s‧‧‧彈簧構件 122‧‧‧固定部1 122b‧‧‧另一面 122s‧‧‧軸 300‧‧‧閘閥 305‧‧‧中立閥體 310‧‧‧閥箱 310A‧‧‧閥箱內表面 310B‧‧‧閥箱內表面 311‧‧‧中空部 312a‧‧‧第1開口部 312b‧‧‧第2開口部 320‧‧‧旋轉軸 330‧‧‧中立閥部 330a‧‧‧圓形部 330b‧‧‧旋轉部 340‧‧‧可動閥部 350b‧‧‧滑動面 350c‧‧‧內周曲柄部 351‧‧‧第2密封部 352‧‧‧第3密封部 353‧‧‧除氣孔 360b‧‧‧滑動面 361‧‧‧第1密封部 365‧‧‧位置限制部 371‧‧‧固定部 372‧‧‧可動部 375‧‧‧密封構件(O形環) 381‧‧‧導銷 390A‧‧‧曲部 391‧‧‧施壓銷 392‧‧‧固定銷 392a‧‧‧環狀構件 393‧‧‧固定銷 500‧‧‧滑閥 505‧‧‧閥體 510‧‧‧閥箱 511‧‧‧中空部 512a‧‧‧第1開口部 512b‧‧‧第2開口部 520‧‧‧旋轉軸 521‧‧‧小齒輪 522‧‧‧齒條構件 522c‧‧‧第1壓力空間 540‧‧‧密封環 541‧‧‧筒狀部 542‧‧‧凸緣部 542a‧‧‧第1密封部 570‧‧‧閉塞解除氣缸 571‧‧‧內部空間 572‧‧‧可動部 573‧‧‧活塞 590‧‧‧密封環賦能部 600‧‧‧旋轉軸驅動機構(旋轉裝置) 610‧‧‧旋轉氣缸 611‧‧‧缸本體(閥套) 611b‧‧‧內部空間 612‧‧‧活塞 613‧‧‧第2壓力空間 620‧‧‧賦能部 620s‧‧‧彈簧構件 A1‧‧‧方向 A2‧‧‧方向 B1‧‧‧方向 B2‧‧‧方向 cdS‧‧‧限位器開關閥 E1‧‧‧退避位置 E2‧‧‧閉閥位置 FR‧‧‧輸出點 H‧‧‧流路(流路方向) L‧‧‧軸 L1‧‧‧作用線 L2‧‧‧作用線 LL‧‧‧軸線 FR‧‧‧輸出點 main-OP‧‧‧輸出點 main-CL‧‧‧輸出點 NC1V‧‧‧速度控制閥 NC2V‧‧‧速度控制閥 NC3V‧‧‧速度控制閥 O‧‧‧閥體中心 OP-IN‧‧‧埠 P1‧‧‧交點 P2‧‧‧交點 Pa‧‧‧伸展位置 Pb‧‧‧收縮位置 Q‧‧‧中心線 R1‧‧‧方向 R2‧‧‧方向 S‧‧‧嚙合部分 splV‧‧‧滑閥 sp1V0‧‧‧氣動 SQ‧‧‧順序電路 t1‧‧‧第1間隔 t2‧‧‧第2間隔

圖1係顯示本發明之第1實施形態之閘閥之構成的橫剖視圖。 圖2係顯示本發明之第1實施形態之閘閥之構成的縱剖視圖，且係顯示將閥體配置於可進行退避動作之位置之情形的圖。 圖3係顯示位於圖2中之圓環狀氣缸附近之構件之要部的放大圖。 圖4係顯示本發明之第1實施形態之閘閥之構成的縱剖視圖，且係顯示將閥體配置於閉閥位置之情形的圖。 圖5係顯示位於圖4中之主彈簧附近之構件之要部的放大圖。 圖6係顯示本發明之第1實施形態之閘閥之構成的縱剖視圖，且係顯示將閥體配置於退避位置之情形的圖。 圖7A係放大顯示本發明之第1實施形態之閘閥中位於旋轉軸及流體路徑環附近之構件之要部的圖，且係沿著旋轉軸之徑向之剖視圖。 圖7B係放大顯示本發明之第1實施形態之閘閥中位於旋轉軸及流體路徑環附近之構件之要部的圖，且係沿著旋轉軸之軸向之剖視圖。 圖8係顯示本發明之第1實施形態之旋轉軸驅動機構之剖視圖(伸展位置)。 圖9係顯示本發明之第1實施形態之旋轉軸驅動機構之剖視圖(收縮位置)。 圖10係顯示齒條構件及滑動軸承之要部放大剖視圖。 圖11係顯示齒條構件與小齒輪之嚙合部分之要部放大剖視圖。 圖12A係顯示旋轉軸與中立閥體之卡合部分之要部之放大圖，且係沿著旋轉軸之徑向之剖視圖。 圖12B係顯示旋轉軸與中立閥體之卡合部分之要部之放大圖，且係沿著旋轉軸之軸向之剖視圖。 圖13係顯示位於連接銷附近之構件之要部之放大圖。 圖14係顯示本發明之第1實施形態之驅動順序機構之電路圖。 圖15係顯示圖14所示之驅動順序機構中之壓力狀態之圖。 圖16係顯示圖14所示之驅動順序機構中之壓力狀態之圖。 圖17係顯示圖14所示之驅動順序機構中之壓力狀態之圖。 圖18係顯示圖14所示之驅動順序機構中之壓力狀態之圖。 圖19係顯示位於本發明之第1實施形態之緊固構件附近之構件之要部的放大圖。 圖20係顯示本發明之第2實施形態之閘閥之構成之橫剖視圖。 圖21係顯示本發明之第2實施形態之閘閥之構成之縱剖視圖，且係顯示將閥體配置於可進行退避動作之位置(FREE)之情形的圖。 圖22係顯示沿著圖20中之線段A-O之要部之放大圖，且係顯示將閥體配置於可進行退避動作之位置(FREE)之情形的圖。 圖23係顯示沿著圖20中之線段B-O之要部之放大圖，且係顯示將閥體配置於可進行退避動作之位置(FREE)之情形的圖。 圖24係顯示沿著圖20中之線段C-O之要部之放大圖，且係顯示將閥體配置於可進行退避動作之位置(FREE)之情形的圖。 圖25係顯示圖21中之賦能部C之要部之放大圖，且係顯示將閥體配置於可進行退避動作之位置(FREE)之情形的圖。 圖26係顯示本發明之第2實施形態之閘閥之構成之縱剖視圖，且係顯示將閥體配置於閉閥位置(正壓或(or)無壓差)之情形的圖。 圖27係顯示本發明之第3實施形態之閘閥之構成之縱剖視圖。

FR‧‧‧輸出點

main-OP‧‧‧輸出點

main-CL‧‧‧輸出點

NC1V‧‧‧速度控制閥

NC2V‧‧‧速度控制閥

NC3V‧‧‧速度控制閥

OP-IN‧‧‧埠

sp1V‧‧‧滑閥

sp1V0‧‧‧氣動

SQ‧‧‧順序電路

Claims (3)

1. 一種閘閥，其具有：閥箱，其具有中空部、及以隔著上述中空部相互對向之方式設置且成為連通之流路的第1開口部及第2開口部；中立閥體，其配置於上述閥箱之上述中空部內且可閉塞上述第1開口部；旋轉軸，其使上述中立閥體於將上述中立閥體設為相對於上述第1開口部閉塞之狀態的閥閉塞位置、與將上述中立閥體設為自上述第1開口部退避之開放狀態的閥開放位置之間旋動；旋轉裝置，其包含使上述旋轉軸旋轉之齒條與小齒輪及驅動上述齒條與小齒輪之旋轉氣缸；閉塞解除驅動部，其包含進行解除上述中立閥體之閉塞之動作的閉塞解除氣缸；及順序電路，其可使解除上述中立閥體之閉塞之動作與上述中立閥體之旋轉動作依序動作；且上述旋轉氣缸具有：賦能部，其使上述中立閥體進行關閉動作；活塞，其可進行開閉動作；及第1壓力空間與第2壓力空間，其等於上述活塞之動作方向串聯配置，該第1壓力空間可供上述活塞進行關閉動作，該第2壓力空間可供上述活塞進行開啟動作；上述順序電路具有： 氣動式雙通道滑閥；及由止回閥及流量調整閥組合而成之速度控制閥；上述順序電路於利用1個系統之驅動壓縮空氣供給而開啟上述閘閥時，將壓縮空氣作為阻尼器用空氣供給至上述第1壓力空間，於上述閉塞解除氣缸之驅動結束時，將上述第1壓力空間設為非加壓狀態，將上述第2壓力空間設為加壓狀態，開始上述旋轉氣缸之開啟動作，且於上述中立閥體即將到達上述閥開放位置之前，由上述第1壓力空間之空氣緩和衝擊，於解除上述驅動壓縮空氣供給而關閉上述閘閥時，將上述第1壓力空間及上述第2壓力空間設為非加壓狀態，藉由上述賦能部之賦能力開始上述旋轉氣缸之關閉動作，且於上述中立閥體即將到達上述閥閉塞位置之前，由上述第2壓力空間之阻尼器用空氣緩和衝擊，於上述中立閥體之旋轉動作結束時，利用上述閉塞解除氣缸開始上述中立閥體之閉塞動作。
2. 一種閘閥，其具備：閥箱，其具有中空部、及以隔著上述中空部相互對向之方式設置且成為連通之流路的第1開口部及第2開口部；中立閥體，其配置於上述閥箱之上述中空部內且可閉塞上述第1開口部；旋轉軸，其作為使上述中立閥體於將上述中立閥體設為相對於上述第1開口部閉塞之狀態的閥閉塞位置、與將上述中立閥體設為自上述第1開 口部退避之開放狀態的閥開放位置之間動作的位置切換部發揮功能，且具有沿流路方向延伸之軸線；旋轉裝置，其包含使上述旋轉軸旋轉之齒條與小齒輪及驅動上述齒條與小齒輪之旋轉氣缸；閉塞解除驅動部，其包含進行解除上述中立閥體之閉塞之動作的閉塞解除氣缸；及順序電路，其可使解除上述中立閥體之閉塞之動作與上述中立閥體之旋轉動作依序動作；且上述中立閥體具有：中立閥部，其連接於上述位置切換部；及可動閥部，其可變更在上述流路方向上之位置地對上述中立閥部連接；上述可動閥部具有：第1可動閥部，其設置有周設於上述可動閥部且密接於上述第1開口部周圍之閥箱內表面的密封部，且可變更在上述流路方向上之位置地對上述中立閥體連接；及第2可動閥部，其可相對於上述第1可動閥部沿上述流路方向滑動；上述閘閥具備內置於上述閥箱之複數個第1賦能部、配置於上述第1可動閥部與上述第2可動閥部間之第2賦能部、及第3賦能部，上述第3賦能部可變更在上述流路方向上之位置地對上述中立閥部連接上述第1可動閥部，且將上述第1可動閥部朝上述流路方向之中央位置賦能，複數個上述第1賦能部具有以下功能：由上述閉塞解除氣缸驅動而將上述第1可動閥部在上述流路方向上朝上述第1開口部賦能，從而使上述密封部密接於上述第1開口部周圍之閥箱內表面，上述第2賦能部以可調整上述第1可動閥部與上述第2可動閥部在上述 流路方向上之厚度尺寸之方式驅動，上述旋轉氣缸具有：賦能部，其使上述中立閥體進行關閉動作；活塞，其可進行開閉動作；及第1壓力空間與第2壓力空間，其等於上述活塞之動作方向串聯配置，該第1壓力空間可供上述活塞進行關閉動作，該第2壓力空間可供上述活塞進行開啟動作；上述順序電路具有：氣動式雙通道滑閥；及由止回閥及流量調整閥組合而成之速度控制閥；上述順序電路於利用1個系統之驅動壓縮空氣供給而開啟上述閘閥時，將壓縮空氣作為阻尼器用空氣供給至上述第1壓力空間，於上述閉塞解除氣缸之驅動結束時，將上述第1壓力空間設為非加壓狀態，將上述第2壓力空間設為加壓狀態，開始上述旋轉氣缸之開啟動作，且於上述中立閥體即將到達上述閥開放位置之前，由上述第1壓力空間之空氣緩和衝擊，於解除上述驅動壓縮空氣供給而關閉上述閘閥時，將上述第1壓力空間及上述第2壓力空間設為非加壓狀態，藉由上述賦能部之賦能力開始上述旋轉氣缸之關閉動作，且於上述中立閥體即將到達上述閥閉塞位置之前，由上述第2壓力空間之阻尼器用空氣緩和衝擊，於上述中立閥體之旋轉動作結束時，利用上述閉塞解除氣缸開始上述中立閥體之閉塞動作。
3. 一種閘閥，其具備：閥箱，其具有中空部、及以隔著上述中空部相互對向之方式設置且成為連通之流路的第1開口部及第2開口部；中立閥體，其配置於上述閥箱之上述中空部內且可閉塞上述第1開口部；旋轉軸，其作為使上述中立閥體於將上述中立閥體設為相對於上述第1開口部閉塞之狀態的閥閉塞位置、與將上述中立閥體設為自上述第1開口部退避之開放狀態的閥開放位置之間動作的位置切換部發揮功能，且具有沿流路方向延伸之軸線；旋轉裝置，其包含使上述旋轉軸旋轉之齒條與小齒輪及驅動上述齒條與小齒輪之旋轉氣缸；密封環，其可相對於上述流路方向滑動地設置於上述第1開口部之周圍且可實現抵接於成為閥閉塞位置之上述中立閥體而閉塞上述流路的閉塞狀態及使上述中立閥體成為上述閥開放位置之開放狀態，且可調整上述流路之開度；閉塞解除氣缸，其內置於上述閥箱並解除上述密封環之上述閉塞狀態；密封環賦能部，其將上述密封環朝抵接於上述中立閥體之方向賦能；及順序電路，其可使解除上述中立閥體之閉塞之動作與上述中立閥體之旋轉動作依序動作；上述旋轉氣缸具有： 賦能部，其使上述中立閥體進行關閉動作；活塞，其可進行開閉動作；及第1壓力空間與第2壓力空間，其等於上述活塞之動作方向串聯配置，該第1壓力空間可供上述活塞進行關閉動作，該第2壓力空間可供上述活塞進行開啟動作；上述順序電路具有：氣動式雙通道滑閥；及由止回閥及流量調整閥組合而成之速度控制閥；上述順序電路於利用1個系統之驅動壓縮空氣供給而開啟上述閘閥時，將壓縮空氣作為阻尼器用空氣供給至上述第1壓力空間，於上述閉塞解除氣缸之驅動結束時，將上述第1壓力空間設為阻尼器壓力狀態，將上述第2壓力空間設為加壓狀態，開始上述旋轉氣缸之開啟動作，且於上述中立閥體即將到達上述閥開放位置之前，由上述第1壓力空間之空氣緩和衝擊，於解除上述驅動壓縮空氣供給而關閉上述閘閥時，將上述第1壓力空間設為阻尼器壓力狀態，將上述第2壓力空間設為非加壓狀態，藉由上述賦能部之賦能力開始上述旋轉氣缸之關閉動作，且於上述中立閥體即將到達上述閥閉塞位置之前，由上述第2壓力空間之阻尼器用空氣緩和衝擊，且於上述中立閥體之旋轉動作結束時，利用上述閉塞解除氣缸開始上述中立閥體之閉塞動作。

Images