WO2012121410A1 - 仕切弁及びスライド弁 - Google Patents

Abstract

　本発明の仕切弁は、弁箱と、中立弁体と、位置切り替え手段と、可動弁部と、第１可動弁部と、第１付勢部と、第２可動弁部と、第２付勢部と、第３付勢部と を具備する。

Description

仕切弁及びスライド弁

　本発明は、弁体（弁板）による流路を開閉する動作に加えて、弁体をスライド動作させる振り子型，直動型，ドア型等に適した仕切弁と、弁体をスライド動作させる振り子型に適したスライド弁とに関する。
　特に、本発明は、真空装置等において、異なる圧力、及び異なるプロセスを行う２つの空間をつなげている流路を仕切り（閉鎖し）、この仕切り状態を開放（２つの空間をつなぐ）し、弁の開度が調整可能であり、流路の一部を制限する（流路の開口面積を制限する）仕切弁及びスライド弁に関する。
　本願は、２０１１年３月１０日に出願された特願２０１１－０５３１４１号，２０１１年３月１７日に出願された特願２０１１－０５９７０４号，２０１１年３月１７日に出願された特願２０１１－０５９７７８号，２０１１年４月０４日に出願された特願２０１１－０８２７９２号，２０１１年４月２２日に出願された特願２０１１－０９６２７９号，２０１１年４月２６日に出願された特願２０１１－０９８４２８号，２０１１年６月０３日に出願された特願２０１１－１２５７２７号，及び２０１１年６月０３日に出願された特願２０１１－１２５７２８号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。

　真空装置等においては、チャンバと配管との間、配管と配管との間、あるいは配管とポンプ等との間等、異なる真空度の２つの空間の間を仕切り、仕切られた２つの空間をつなげる仕切りバルブが設けられている。このような仕切りバルブとしては、様々な形態の弁が知られている。

　例えば、弁板をスライドさせて流路の弁開閉位置に弁板を挿入し、更にこの弁板を作動させて流路を仕切り（閉弁動作）、あるいは上記弁板を作動させて流路をつなぎ（開弁動作）、更に弁板をスライドさせ、流路から弁箱内の退避位置に弁板を退避させる構造が知られている。また、例えば、弁板をスライドさせて流路上に弁体を導入し（流路仕切位置）、さらに流路を構成する開口部を弁板によって閉塞する（弁閉位置）構造が知られている。このような構造を有する弁としては、振り子型，直動型，ドア型等が知られている。

　直動型仕切弁（直動型スライド弁）は、流路を構成する第１開口部及び第２開口部が形成された弁箱の中空部に、弁棒（支持体）に固設された弁板が配置された構造を有する。この構造においては、上記弁棒をその長手方向に直動させて、上記弁板を開口部（流路）の弁開閉位置に挿入し、または、上記弁板を開口部が形成されていない退避位置に退避させる。

　従来の上記直動型仕切弁としては、ベローズで接続された２枚の第１弁板及び第２弁板からなる弁体と、この２つの弁板の間において弁板の中央部に配置されたアクチュエータと、流路を構成する開口部が形成された弁箱とを備えた仕切弁が知られている。この仕切弁においては、アクチュエータによって、弁箱の開口部の周囲の内面に第１弁板を当接及び押圧させて流路を閉鎖し、または、アクチュエータによって第１弁板を上記弁箱の内面から離間させて流路を開放する（例えば、特許文献１参照）。

　また、振り子型仕切弁（振り子型スライド弁）は、流路を構成する第１開口部及び第２開口部が形成されかつ中空部を有する弁箱と、中空部において回転軸に固設されて回転軸と垂直をなす面に平行な方向において広がっている支持体と、この支持体に固設された弁体（シールリング板が開口部に設けられている構造の場合には弁板）とが配置された構造を有する。この仕切弁においては、上記回転軸を回転させて、上記弁体を回動させ、上記弁体を開口部（流路）の弁開閉位置に挿入し、または、上記弁体を開口部が形成されていない退避位置に退避させる。

　従来の上記振り子型仕切弁としては、ハウジングの中空部内に、回転軸において回動可能な弁板と、ハウジングの開口部に配置された摺動可能なシールリング板と、ハウジングに一体形成されたフランジに上記シールリング板を摺動させるアクチュエータとが設けられた構造が知られている。この仕切弁においては、上記シールリング板を上記弁板に当接及び押圧して流路を閉鎖し、または、上記シールリング板を上記弁板から離間させて流路を開放する（例えば、特許文献２参照）。

　この振り子型仕切弁のアクチュエータは、ボルトと環状室（シリンダ）とピストンとスプリングとが、シールリング板の摺動方向に直列に配置された構造を有する。従って、流路を閉鎖するときは、スプリングに生じる復元力が、ピストン，シリンダ，及びボルトを介してシールリング板に伝達される。

　このような仕切弁においては、仕切弁の全体構成をコンパクトにする等の要請から、弁体の構造を簡単にする必要があり、かつ、仕切り動作の信頼性を確保する必要がある。

　しかしながら、上記従来の弁においては、アクチュエータが弁板の中央部に配置されているので、実際に空間をシールする弁板の面に十分な押し付け力を伝えるためには、弁板に高い剛性が要求される。弁板の剛性が不足すると、確実に仕切りをすることができず、高い信頼性を得られないという課題があった。
　更に、上記従来の弁においては、２枚の弁板を連結する構造が採用されている。この連結構造とアクチュエータとは個別の構造部品であるので、弁体の構造が複雑であるという課題があった。
　また、大口径バルブにおいては、逆圧に耐え得るためには大きな力を発生するシリンダが必要であり、弁体が大型化してしまうという課題があった。

　また、上記従来の振り子型仕切弁においては、シールリングを摺動させるアクチュエータがフランジに設けられており、このアクチュエータと、環状のシリンダと、スプリングとが直列に配置されている。
　このため、実際に空間をシールする弁板の面は、アクチュエータの内側に位置しており、この面はアクチュエータの位置からずれており、更に、この面にはピストン，シリンダ，ボルトを介してスプリングによる押し付け力（スプリングによる復元力）が伝われる。
このため、この押し付け力が不十分であると、確実に仕切りをすることができず、高い信頼性を得られないという課題があった。
　また、大口径バルブにおいて逆圧に耐え得るためには、或いは、特殊な形状の弁板、シールリング板、フランジに適用するためには、シリンダを除いたアクチュエータ部品を多数配置する必要があり、仕切弁の構成が複雑になるという課題があった。

　また、上述した従来の振り子型仕切弁では、弁体を回転軸に取り付けるために、回転軸の一端部に接続部材を設け、この接続部材に対して弁体を係合させることで、弁体と回転軸とを接続していた。
　図２１Ａ，図２１Ｂ，図２２Ａ，及び図２２Ｂに、従来の接続部材と弁体との係合構造の一例を示す。例えば、図２１Ａ及び図２１Ｂに示す仕切弁２０１では、弁体２０２の一端に形成された矩形の係合突起２０３と、回転軸２０４に取り付けられた接続部材２０５とを備えている。この接続部材２０５には、係合突起２０３と係合する凹部２０６が形成されている。

　そして、弁体２０２を回転軸２０４へ取り付ける際には、係合突起２０３を接続部材２０５の凹部２０６に差し込む（図２１Ａ参照）。そして、係合突起２０３の先端面が凹部の奥の面に接するまで、弁体２０２を接続部材２０５に向けて押し込む（図２１Ｂ参照）。

　また、例えば、図２２Ａ及び図２２Ｂに示す仕切弁２１１では、弁体２１２の一端に形成された、取付方向に対して傾斜した面をもつ係合突起２１３と、回転軸２１４に取り付けられた接続部材２１５とを備えている。接続部材２１５には、係合突起２１３と係合する凹部２１６が形成されている。
　そして、弁体２１２を回転軸２１４へ取り付ける際には、係合突起２１３を接続部材２２５の凹部２１６に位置合わせする（図２２Ａ参照）。そして、係合突起２１３を凹部２１６に合わせるようにして保持し、弁体２１２を接続部材２１５にネジ等で固定する（図２２Ｂ参照）。

　しかしながら、上述した従来の仕切弁における回転軸と弁体との取付構造では、回転軸に固定された接続部材に対して、弁体を取り付ける際に極めて大きな力を必要としたり、正しい取付位置に弁体をズレ無く取り付けることが困難であるなどの課題があった。

　例えば、図２１Ａ及び図２１Ｂに示した従来の仕切弁２０１では、弁体２０２を接続部材２０５にズレ無く取り付けるために、係合突起２０３と凹部２０６との接触部分のクリアランスが極めて小さくなっている。このため、矩形の係合突起２０３を凹部２０６に押し込む際に、押し込み長さが長くなり、摩擦力が大きくなるために取り付けに大きな力が必要となる。従って、接続部材２０５に対する弁体２０２の脱着が困難であるという課題があった。

　一方、例えば図２２Ａ及び図２２Ｂに示した従来の仕切弁２１０では、係合突起２１３を凹部２１６に嵌合させることは容易であるが、正しい取付位置で弁体２１２を保持したまま、回転軸２１４に形成されたネジ穴と係合突起２１３に形成されたネジ穴とを一致させて、ズレ無くネジ止めする必要があり、各部品は高い加工精度が要求される。また、高度な位置合わせが必要なため、作業性が悪いという課題があった。

　このようなスライド弁においては、スライド弁の全体構成をコンパクトにする等の要請から、弁体の構造を簡単にする必要があり、かつ、仕切り動作の信頼性を確保する必要がある。
　また、大口径バルブにおいて逆圧に耐え得るためには、或いは、特殊な形状の弁板、シールリング板、フランジに適用するためには、シリンダを除いたアクチュエータ部品を多数配置する必要があり、スライド弁の構成が複雑になるという課題があった。

　上述したよう振り子型仕切弁において、弁板を回動させるための機構として、弁板が取り付けられた回転軸に固着されたピニオンギアと、このピニオンギアに噛合するラックギアが形成されたラック部材と、ラック部材を直線運動（往復運動）させるシリンダからなる弁板回転機構が知られている。

　上述した従来の仕切弁においては、連通するチャンバ等を仕切るバルブであるという用途から、その駆動部分はできるだけ小型化することが望ましい。しかしながら、ピストンに固着されたラックには、回転軸に固着されたピニオンと噛み合う歯が形成されているため、あまり小型化すると、そのラック歯の形成された部分が、ラックを摺動可能としてシリンダの密閉している部分まで動作するようになり、シリンダを密閉できなくなるため一定以上の小型化ができないという問題があった。
　さらに、上述した従来の仕切弁においては、筒状のシリンダ本体内を摺動するピストンが収縮する、即ち、シリンダ本体の圧力空間が減少する方向にピストンが移動する際に、ピストンの移動方向の終端部分でピストンがシリンダ本体の内壁に衝突するなどして、ピストンが急減速する構造となっていた。
　このため、ピストンに固着されたラック部材から回転軸を介して接続された弁体も回動が急に停止することになり、弁体に強い応力が加わることで弁体にダメージが及ぶ虞があった。
　さらに、仕切りしている流路の面積を弁の開度を変化して設定可能とする構成を簡単な構成で実現したいという要求があった。

　上述した従来の仕切弁においては、連通するチャンバ等を仕切るバルブであるという用途から、駆動部分、特に、弁板回動の駆動部分はできるだけ小型化することが望ましい。
　しかしながら、駆動部分を小型化する、つまり、シリンダを小型化するとその出力が低下して、弁板の移動速度、即ち、弁の開閉速度が低下してしまうため一定以上の小型化ができないという問題があった。
　さらに、上述した従来の仕切弁においては、筒状のシリンダ本体内を摺動するピストンが収縮する、シリンダを含む駆動部分の小型化を図る場合にはピストンを移動させる圧力空気供給が１系統とされてこの圧空の供給によって伸縮のうち片方の動作を行うとともに、逆の動作はバネ等の付勢手段により行う、いわゆる単動シリンダとされる構造となっていた。
　このため、バネ等の付勢力に打ち勝って圧空によりピストンを駆動する必要があるため、駆動速度が遅くなるという問題があった。
　また、このような単動シリンダにおいて、弁の駆動用に供給される圧空が１系統であるにも関わらず、弁板の回動動作と、これと直交する方向である閉塞解除の動作との２つの動作を行わなくてはいけない。さらに、これらの動作のタイミングとして、閉塞解除が不充分な状態で回動した場合には弁の破損も起こり得るため、動作のタイミングにも正確性が必要である。また、停電や圧空供給停止などの制御系のトラブルに対応して弁破壊防止を可能する構成が求められていた。
　さらに、このような構成をより簡単な構成で実現したいという要求があった。
　さらに、仕切りしている流路の面積を弁の開度を変化して設定可能とする構成をより簡単な構成で実現したいという要求があった。

日本国特開２００２－１８１２０５号公報 日本国特許第３６５５７１５号公報

　本発明は、このような従来の課題を解決するためになされ、簡単な構成で高い信頼性の仕切り動作が可能な仕切弁を提供することを目的とする。

　また、本発明は、このような従来の課題を解決するためになされ、簡単な構成で、弁体を回転軸に対して正確に、かつ容易に取り付け可能な仕切弁を提供することを目的とする。

　本発明は、このような従来の課題を解決するためになされ、簡単な構成で高い信頼性の仕切り動作が可能なスライド弁を提供することを目的とする。

　本発明は、このような従来の課題を解決するためになされ、小型化が可能であり簡単な構成で高い信頼性の仕切り動作が可能で、かつ、仕切り量、即ち、弁の開度が調節可能なスライド弁を提供することを目的とする。

　本発明の第１態様の仕切弁は、中空部と、前記中空部を挟み互いに対向するように設けられて連通する流路となる第１開口部及び第２開口部とを有する弁箱と、前記弁箱の前記中空部内に配置され前記第１開口部を閉塞可能な中立弁体と、前記中立弁体を、前記第１開口部に対して閉塞状態にする弁閉塞位置と前記第１開口部から退避した開放状態とする弁開放位置との間で動作する位置切り替え手段とを具備し、前記中立弁体が、前記切り替え手段に接続される中立弁部と、該中立弁部に対して流路方向位置変更可能に接続される可動弁部と、を有し、前記可動弁部が、該可動弁部に周設され前記第１開口部周囲の弁箱内面に密着されるシール部が設けられるとともに前記中立弁部に対して流路方向位置変更可能に接続される第１可動弁部と、前記第１可動弁部を前記流路方向前記第１開口部に向けて付勢して前記シール部を前記第１開口部周囲の弁箱内面に密着可能とする第１付勢部と、前記第１可動弁部に対して前記流路方向に摺動可能とされる第２可動弁部と、前記第１付勢部の付勢力に対抗して前記第１可動弁部と前記第２可動弁部との前記流路方向厚み寸法を収縮可能なように駆動する第２付勢部と、前記第１可動弁部と前記第２可動弁部との流路方向厚み寸法変化に対応して、前記第１可動弁部を前記中立弁部に対して流路方向位置変更可能に接続するとともに、前記第１可動弁部を前記流路方向中央位置側に付勢する第３付勢部とを具備する。
　本発明の第１態様の仕切弁においては、前記第２可動弁部には、前記第１付勢部の反力を前記第２開口部周囲の弁箱内面に伝達する反力伝達部が設けられることが好ましい。
　本発明の第１態様の仕切弁においては、前記第２付勢部は、前記第２周囲領域において前記第１可動弁部と前記第２可動弁部との間に形成されたエアシリンダであることが好ましい。
　本発明の第１態様の仕切弁においては、前記第２付勢部とされたエアシリンダに駆動用気体を供給する供給路が形成され、該供給路には、前記第１可動弁部と前記中立弁部との流路方向位置が変更した際にも、前記第１可動弁部と前記中立弁部との間で駆動用気体を供給可能に摺動接続する接続ピン部が設けられることが好ましい。
　本発明の第１態様の仕切弁においては、前記第２付勢部とされたエアシリンダには、摺動部分に２重シール部が設けられ、１重目のシールが破れた際に、２重目のシールより気体供給側に、駆動用気体を仕切弁外部に向けて逃がす連絡路が設けられていることが好ましい。
　本発明の第１態様の仕切弁においては、前記接続ピン部には、摺動部分に２重シール部が設けられ、１重目のシールが破れた際に、２重目のシールより気体供給側に、駆動用気体を仕切弁外部に向けて逃がす連絡路が設けられることが好ましい。
　本発明の第１態様の仕切弁においては、前記切り替え手段が、前記流路方向に延在する軸線を有する回転軸を含むことが好ましい。
　本発明の第１態様の仕切弁においては、前記切り替え手段が、前記流路方向と交差する方向に延在し直線状に駆動される弁棒を含むことが好ましい。
　本発明の第１態様の仕切弁においては、前記弁箱の前記中空部内に配置され前記第１開口部を閉塞可能な可動弁部と、前記可動弁部を、前記第１開口部に対して閉塞状態にする弁閉塞位置と前記第１開口部から退避した開放状態とする弁開放位置との間で動作する位置切り替え手段と、前記切り替え手段と前記可動弁部とを接続する中立弁部とを含むことが好ましい。
　この中立弁部を備えることにより、中立弁部に流路方向の力を作用させることなく、第１可動弁部および第２可動弁部のみによって第１開口部を閉塞する際のシール部の変形を行うことができる。

　また、本発明の第１態様の仕切弁においては、前記エアシリンダおよび接続ピン部は、第２シール部，第３シール部，及びワイパーを有することができ、前記ワイパーは、前記第３シール部よりも前記第２開口部に近い位置に配置されていることが好ましい。

　本発明の第２態様の仕切弁は、中空部と、前記中空部を挟み互いに対向するように設けられて連通する流路となる第１開口部及び第２開口部とを有する弁箱と、前記弁箱の前記中空部内に配置され前記第１開口部を閉塞可能な中立弁体と、前記中立弁体を、前記第１開口部に対して閉塞状態にする弁閉塞位置と前記第１開口部から退避した開放状態とする弁開放位置との間で動作する位置切り替え手段とを具備し、前記中立弁体が、前記切り替え手段に接続される中立弁部と、該中立弁部に対して流路方向位置変更可能に接続される可動弁部と、を有し、前記可動弁部が、該可動弁部に周設され前記第１開口部周囲の弁箱内面に密着されるシール部が設けられるとともに前記中立弁部に対して流路方向位置変更可能に接続される第１可動弁部と、前記第１可動弁部を前記流路方向前記第１開口部に向けて付勢して前記シール部を前記第１開口部周囲の弁箱内面に密着可能とする第１付勢部と、前記第１可動弁部に対して前記流路方向に摺動可能とされる第２可動弁部と、前記第１付勢部の付勢力に対抗して前記第１可動弁部と前記第２可動弁部との前記流路方向厚み寸法を収縮可能なように駆動する第２付勢部と、前記第１可動弁部と前記第２可動弁部との流路方向厚み寸法変化に対応して、前記第１可動弁部を前記中立弁部に対して流路方向位置変更可能に接続するとともに、前記第１可動弁部を前記流路方向中央位置側に付勢する第３付勢部と、前記中立弁体の厚み寸法が縮んだ状態で前記第１可動弁部と前記第２可動弁部とを締結可能な締結部材と、具備する。
　本発明の第２態様の仕切弁においては、前記締結部材には、前記第１可動弁部と前記第２可動弁部とを締結解除した状態で弁開閉動作可能なようにこの締結部材が前記可動弁部から外れないようにする係止部材が設けられることが好ましい。
　本発明の第２態様の仕切弁においては、前記第１付勢部が複数設けられ、前記中立弁体を流路方向に平面視して、前記第１付勢部が配置された中心位置に対して、前記締結部材が対称に配置されることが好ましい。
　本発明の第２態様の仕切弁においては、前記中立弁体が略円形の前記第１開口部を閉塞可能とされ、流路方向に平面視して、前記第１付勢部と前記締結部材とが前記中立弁体に対して同心状に配置されることが好ましい。
　本発明の第２態様の仕切弁においては、前記係止部材がＥ型止め輪、あるいは、Ｃ型止め輪とされてなることが好ましい。

　本発明の第２態様の仕切弁においては、前記第２可動弁部には、前記第１付勢部の反力を前記第２開口部周囲の弁箱内面に伝達する反力伝達部が設けられることが好ましい。
　本発明の第２態様の仕切弁においては、前記第２付勢部は、前記第２周囲領域において前記第１可動弁部と前記第２可動弁部との間に形成されたエアシリンダであることが好ましい。
　本発明の第２態様の仕切弁においては、前記第２付勢部とされたエアシリンダには、摺動部分に２重シール部が設けられ、１重目のシールが破れた際に、２重目のシールより気体供給側に、駆動用気体を仕切弁外部に向けて逃がす連絡路が設けられることが好ましい。
　本発明の第２態様の仕切弁においては、前記第２付勢部とされたエアシリンダに駆動用気体を供給する供給路が形成され、該供給路には、前記第１可動弁部と前記中立弁部との流路方向位置が変更した際にも、前記第１可動弁部と前記中立弁部との間で駆動用気体を供給可能に摺動接続する接続ピン部が設けられることが好ましい。
　本発明の第２態様の仕切弁においては、前記接続ピン部には、摺動部分に２重シール部が設けられ、１重目のシールが破れた際に、２重目のシールより気体供給側に、駆動用気体を仕切弁外部に向けて逃がす連絡路が設けられることが好ましい。
　本発明の第２態様の仕切弁においては、前記切り替え手段が、前記流路方向に延在する軸線を有する回転軸を含むことが好ましい。
　本発明の第２態様の仕切弁においては、前記切り替え手段が、前記流路方向と交差する方向に延在し直線状に駆動される弁棒を含むことが好ましい。

　本発明の第２態様の仕切弁においては、前記弁箱の前記中空部内に配置され前記第１開口部を閉塞可能な可動弁部と、前記可動弁部を、前記第１開口部に対して閉塞状態にする弁閉塞位置と前記第１開口部から退避した開放状態とする弁開放位置との間で動作する位置切り替え手段と、前記切り替え手段と前記可動弁部とを接続する中立弁部とを含むことが好ましい。
　この中立弁部を備えることにより、中立弁部に流路方向の力を作用させることなく、第１可動弁部および第２可動弁部のみによって第１開口部を閉塞する際のシール部の変形を行うことができる。

　本発明の第２態様の仕切弁においては、前記エアシリンダおよび接続ピン部は、第２シール部，第３シール部，及びワイパーを有することができ、前記ワイパーは、前記第３シール部よりも前記第２開口部に近い位置に配置されていることが好ましい。

　本発明の第３態様の仕切弁は、中空部と、前記中空部を挟み互いに対向するように設けられて連通する流路となる第１開口部及び第２開口部とを有する弁箱と、前記弁箱の前記中空部内に配置され前記第１開口部を閉塞可能な中立弁体と、前記中立弁体を、前記第１開口部に対して閉塞状態にする弁閉塞位置と前記第１開口部から退避した開放状態とする弁開放位置との間で回動させる回転軸と、前記弁箱内において前記回転軸に固着され、前記中立弁部を脱着可能に保持する接続部材とを具備し、前記中立弁体は、前記接続部材を介して前記回転軸に接続される中立弁部と、該中立弁部に対して流路方向位置変更可能に接続される可動弁部とを有し、前記接続部材と前記中立弁部は、前記流路方向に沿って互いに平行に広がり第一間隔で離間した一組の第一平行面と、前記流路方向に沿って互いに平行に広がり前記第一間隔よりも広い第二間隔で離間した一組の第二平行面とで互いに接触してなる。

　本発明の第３態様の仕切弁においては、前記可動弁部には、該弁板に周設され前記第１開口部周囲の弁箱内面に密着されるシール部が設けられるとともに、前記中立弁部に対して流路方向位置変更可能に接続される第１可動弁部と、前記第１可動弁部を前記流路方向前記第１開口部に向けて付勢して前記シール部を前記第１開口部周囲の弁箱内面に密着可能とする第１付勢部と、前記第１可動弁部に対して前記流路方向に摺動可能とされる第２可動弁部と、前記第１付勢部の付勢力に対抗して前記第１可動弁部と前記第２可動弁部との前記流路方向厚み寸法を収縮可能なように駆動する第２付勢部と、前記第１可動弁部と前記第２可動弁部との流路方向厚み寸法変化に対応して、前記第１可動弁部を前記中立弁体に対して流路方向位置変更可能に接続するとともに、前記第１可動弁部を前記流路方向中央位置側に付勢する第３付勢部と、を具備することが好ましい。

　本発明の第３態様の仕切弁においては、前記接続部材には、前記第一平行面を構成する第一接触面と前記第二平行面を構成する第二接触面とを具備した突起部が形成され、前記中立弁体の一端部には、前記第一平行面を構成する第三接触面と前記第二平行面を構成する第四接触面とを具備し前記突起部と嵌合する凹部が形成されていることが好ましい。

　本発明の第３態様の仕切弁においては、前記凹部は、前記流路方向における前記中立弁部の一面側（第一面）および他面側（第二面）にそれぞれ形成されていることが好ましい。

　本発明の第３態様の仕切弁においては、前記回転軸と前記中立弁部とは、該回転軸および前記接続部材を貫通するおねじと、前記中立弁部に形成され前記おねじに螺合するめねじによって結合されていることが好ましい。

　本発明の第４態様の仕切弁は、中空部と、前記中空部を挟み互いに対向するように設けられて連通する流路となる第１開口部及び第２開口部とを有する弁箱と、前記弁箱の前記中空部内に配置され前記第１開口部を閉塞可能な弁体と、前記弁体を、前記第１開口部に対して閉塞状態にする弁閉塞位置と前記第１開口部から退避した開放状態とする弁開放位置との間で回動させる回転軸と、前記弁箱内において前記回転軸に固着され、前記弁部を脱着可能に保持する接続部材とを具備し、前記接続部材と前記弁部は、前記流路方向に沿って互いに平行に広がり第一間隔で離間した一組の第一平行面と、前記流路方向に沿って互いに平行に広がり前記第一間隔よりも広い第二間隔で離間した一組の第二平行面とで互いに接触してなることが好ましい。

　本発明の第５態様のスライド弁は、中空部と、前記中空部を挟み互いに対向するように設けられて連通する流路となる第１開口部及び第２開口部とを有する弁箱と、前記弁箱の前記中空部内に配置され前記第１開口部を閉塞可能な中立弁体と、前記中立弁体を、前記第１開口部に対して閉塞状態にする弁閉塞位置と前記第１開口部から退避した開放状態とする弁開放位置との間で動作する位置切り替え手段として前記流路方向に延在する軸線を有する回転軸とを具備し、前記中立弁体が、前記切り替え手段に接続される中立弁部と、該中立弁部に対して流路方向位置変更可能に接続される可動弁部と、を有し、前記可動弁部が、該可動弁部に周設され前記第１開口部周囲の弁箱内面に密着されるシール部が設けられるとともに前記中立弁部に対して流路方向位置変更可能に接続される第１可動弁部と、前記第１可動弁部を前記流路方向前記第１開口部に向けて付勢して前記シール部を前記第１開口部周囲の弁箱内面に密着可能とする第１付勢部と、前記第１可動弁部に対して前記流路方向に摺動可能とされる第２可動弁部と、前記第１付勢部の付勢力に対抗して前記第１可動弁部と前記第２可動弁部との前記流路方向厚み寸法を収縮可能なように駆動する第２付勢部と、前記第１可動弁部と前記第２可動弁部との流路方向厚み寸法変化に対応して、前記第１可動弁部を前記中立弁部に対して流路方向位置変更可能に接続するとともに、前記第１可動弁部を前記流路方向中央位置側に付勢する第３付勢部と、前記回転軸の軸線方向に離間して該回転軸を保持する２以上の軸受と、前記回転軸の軸線方向におけるこれら軸受間の位置で前記回転軸周面に摺動可能に接触する流体経路リングとを有し、前記回転軸の一端面と前記流体経路リングの外周面とに設けられた開口どうしを連通する密閉した流体経路が設けられ、前記回転軸が回動位置に依らずに、かつ、前記弁箱中空部に露出することなく前記中立弁部内部に形成された流体経路と前記回転軸径方向外側位置となる前記弁箱外部とを連通する。
　本発明の第５態様のスライド弁においては、前記流体経路として、前記回転軸内部には軸内経路が設けられ、該軸内経路が、前記回転軸の軸線方向に延在して前記回転軸の一端側に開口する軸方向軸内経路と、該軸方向経路に接続されるとともに前記回転軸の周面に開口する径方向軸内経路とからなり、前記流体経路として、前記流体経路リング内部には、該流体経路リングの径方向に延在しその外周面及び内周面に開口する径方向リング経路が設けられ、前記流体経路リング内周面および回転軸周面の間に、周方向に設けられ前記径方向軸内経路と前記径方向リング経路とを連通する周方向経路が周設されることが好ましい。
　本発明の第５態様のスライド弁においては、前記経路は、前記第２周囲領域において前記第１可動弁部と前記第２可動弁部との間に前記第２付勢部として形成されたエアシリンダに駆動用気体を供給する供給路の一部とされる手段か、または、前記経路は、前記第２付勢部とされたエアシリンダの摺動部分に設けられた２重シール部において２重目のシールより気体供給側に設けられ、１重目のシールが破れた際に駆動用気体をスライド弁外部に向けて逃がす連絡路の一部とされることが好ましい。
　本発明の第５態様のスライド弁においては、前記回転軸には、前記供給路と前記連絡路となる軸方向経路がそれぞれ平行に設けられてなるとともに、前記供給路と前記連絡路と対応する流体経路リングが前記回転軸の異なる軸方向位置に設けられていることが好ましい。
　本発明の第５態様における前記供給路と前記連絡路と対応する流体経路リングが、前記軸受の軸線方向中間位置に対して対称に配置されてなることができる。
　本発明の第５態様における前記軸受の軸線方向中間位置には、前記回転軸を駆動する駆動系ピニオンが接続されてなることが可能である。

　本発明の第５態様のスライド弁においては、前記第２可動弁部には、前記第１付勢部の反力を前記第２開口部周囲の弁箱内面に伝達する反力伝達部が設けられることが好ましい。
　本発明の第５態様のスライド弁においては、前記第２付勢部は、前記第２周囲領域において前記第１可動弁部と前記第２可動弁部との間に形成されたエアシリンダであることが好ましい。
　本発明の第５態様のスライド弁においては、前記第２付勢部とされたエアシリンダには、摺動部分に２重シール部が設けられ、１重目のシールが破れた際に、２重目のシールより気体供給側に、駆動用気体をスライド弁外部に向けて逃がす連絡路が設けられることが好ましい。
　本発明の第５態様のスライド弁においては、前記第２付勢部とされたエアシリンダに駆動用気体を供給する供給路が形成され、該供給路には、前記第１可動弁部と前記中立弁部との流路方向位置が変更した際にも、前記第１可動弁部と前記中立弁部との間で駆動用気体を供給可能に摺動接続する接続ピン部が設けられることが好ましい。
　本発明の第５態様のスライド弁においては、前記接続ピン部には、摺動部分に２重シール部が設けられ、１重目のシールが破れた際に、２重目のシールより気体供給側に、駆動用気体をスライド弁外部に向けて逃がす連絡路が設けられることが好ましい。
　本発明の第５態様のスライド弁においては、前記切り替え手段が、前記流路方向に延在する軸線を有する回転軸を含むことが好ましい。
　本発明の第５態様のスライド弁においては、前記切り替え手段が、前記流路方向と交差する方向に延在し直線状に駆動される弁棒を含むことが好ましい。

　本発明の第６態様のスライド弁は、中空部と、前記中空部を挟み互いに対向するように設けられて連通する流路となる第１開口部及び第２開口部とを有する弁箱と、前記弁箱の前記中空部内に配置され前記第１開口部を閉塞可能な可動弁部と、前記可動弁部を、前記第１開口部に対して閉塞状態にする弁閉塞位置と前記第１開口部から退避した開放状態とする弁開放位置との間で動作する位置切り替え手段として前記流路方向に延在する軸線を有する回転軸と、前記切り替え手段と前記可動弁部とを接続する中立弁部とを具備し、前記中立弁体が、前記切り替え手段に接続される中立弁部と、該中立弁部に対して流路方向位置変更可能に接続される可動弁部とを有し、前記可動弁部が、該可動弁部に周設され前記第１開口部周囲の弁箱内面に密着されるシール部が設けられるとともに前記中立弁部に対して流路方向位置変更可能に接続される第１可動弁部と、前記第１可動弁部を前記流路方向前記第１開口部に向けて付勢して前記シール部を前記第１開口部周囲の弁箱内面に密着可能とされる第１付勢部と、前記第１可動弁部に対して前記流路方向に摺動可能とされる第２可動弁部と、前記第１付勢部の付勢力に対抗して前記第１可動弁部と前記第２可動弁部との前記流路方向厚み寸法を収縮可能なように駆動する第２付勢部と、前記第１可動弁部と前記第２可動弁部との流路方向厚み寸法変化に対応して、前記第１可動弁部を前記中立弁部に対して流路方向位置変更可能に接続するとともに、前記第１可動弁部を前記流路方向中央位置側に付勢する第３付勢部と、前記回転軸の軸線方向に離間して該回転軸を保持する２以上の軸受と、前記回転軸の軸線方向におけるこれら軸受間の位置で前記回転軸周面に摺動可能に接触する流体経路リングとを有し、前記回転軸の一端面と前記流体経路リングの外周面とに設けられた開口どうしを連通する密閉した流体経路が設けられ、前記回転軸が回動位置に依らずに、かつ、前記弁箱中空部に露出することなく前記中立弁部内部に形成された流体経路と前記回転軸径方向外側位置となる前記弁箱外部とを連通する。この構成により、軸受と軸受との間の距離を長く確保できる。これにより、回転軸が傾く方向に回転軸へ作用するモーメントを２以上の軸受で保持する場合に、この軸受が受けるラジアル荷重を最小にすることができ、それにより軸受の耐久性を向上させることができる。あるいは、必要な回転軸の傾斜方向における変形防止能を維持した状態で回転軸の軸線方向長さを確保することができ、バルブとしての小型化を図ることができる。
　また、上記の構成とすることにより、部品の構成を変えずに部品の組立方向を変えることのみによって、回転機構部の弁箱に対する取付面を、反転させることが可能である。

　本発明の第６態様のスライド弁においては、前記流体経路として、前記回転軸内部には軸内経路が設けられ、該軸内経路が、前記回転軸の軸線方向に延在して前記回転軸の一端側に開口する軸方向軸内経路と、該軸方向経路に接続されるとともに前記回転軸の周面に開口する径方向軸内経路とからなり、前記流体経路として、前記流体経路リング内部には、該流体経路リングの径方向に延在しその外周面及び内周面に開口する径方向リング経路が設けられ、前記流体経路リング内周面および回転軸周面の間に、周方向に設けられ前記径方向軸内経路と前記径方向リング経路とを連通する周方向経路が周設されることが好ましい。
　これによって、回転軸が回動しても、周設された周方向経路が前記径方向軸内経路と前記径方向リング経路とを連通した状態を維持することができる。また、周方向経路が周設されているため、経路内の流体からの作用力が軸受けにおける回転軸の支持状態に対して影響を及ぼすことを防止できる。

　本発明の第６態様のスライド弁においては、前記経路は、前記第２周囲領域において前記第１可動弁部と前記第２可動弁部との間に前記第２付勢部として形成されたエアシリンダに駆動用気体を供給する供給路の一部であることが好ましい。
　本発明の第６態様のスライド弁においては、前記経路は、前記第２付勢部とされたエアシリンダの摺動部分に設けられた２重シール部において２重目のシールより気体供給側に設けられ、１重目のシールが破れた際に駆動用気体をスライド弁外部に向けて逃がす連絡路の一部であることが好ましい。これにより、弁箱内部の中空部に露出（暴露）することなく、駆動用流体を回転軸内部経由で中立弁体へ供給するとともに、中間大気室への連絡路を回転軸内部経由で弁箱外部に連通させることが可能となる。

　本発明の第６態様のスライド弁においては、前記回転軸には、前記供給路と前記連絡路となる軸方向経路がそれぞれ平行に設けられてなるとともに、前記供給路と前記連絡路と対応する流体経路リングが前記回転軸の異なる軸方向位置に設けられてなることが好ましい。これにより、複数の経路を一本の回転軸内部を介して同時にそれぞれを別個に連通状態とすることができるので、駆動用流体の供給路とセーフティー用の中間大気用の連絡路とを一つの回転軸のみを介して配置することが可能となる。
　本発明の第６態様のスライド弁においては、前記供給路と前記連絡路と対応する流体経路リングが、前記軸受の軸線方向中間位置に対して対称に配置されてなることが好ましい。これにより、軸受に対する加重を略均等にして軸受の耐久性を向上し、バルブのメンテナンス費用を低減することが可能となる。
　本発明の第６態様のスライド弁においては、前記軸受の軸線方向中間位置には、前記回転軸を駆動する駆動系ピニオンが接続されていることが好ましい。これにより、軸受に対する加重を略均等にして軸受の耐久性を向上し、バルブのメンテナンス費用を低減することがる。

　本発明の第５態様及び第６態様のスライド弁においては、前記エアシリンダおよび接続ピン部は、第２シール部，第３シール部，及びワイパーを有することがこのましい。前記ワイパーは、前記第３シール部よりも前記第２開口部に近い位置に配置されていることが好ましい。

　本発明の第７態様のスライド弁は、中空部と、前記中空部を挟み互いに対向するように設けられて連通する流路となる第１開口部及び第２開口部とを有する弁箱と、前記弁箱の前記中空部内に配置され前記第１開口部を閉塞可能な中立弁体と、前記中立弁体を、前記第１開口部に対して閉塞状態にする弁閉塞位置と前記第１開口部から退避した開放状態とする弁開放位置との間で回動させる回転軸と、該回転軸を回転させる回転手段と、前記弁箱内において前記回転軸に固着され、前記中立弁部を脱着可能に保持する接続部材と、を具備し、前記中立弁体は、前記接続部材を介して前記回転軸に接続される中立弁部と、該中立弁部に対して流路方向位置変更可能に接続される可動弁部とを有し、前記回転手段は、前記回転軸の軸心周りに形成されたピニオンと、該ピニオンに噛合するラック歯を備えたラック部材と、該ラック部材を直線運動させるシリンダと、これらラック部材とピニオンとを密閉状態に収納するケーシングとを有し、前記ケーシングには、前記ピニオンと前記ラック歯との噛合部分の両側にそれぞれ、前記ラック部材を摺動可能に支持する滑り軸受が周設され、前記シリンダが、筒状のシリンダ本体と、該シリンダ本体内で往復運動可能なピストンとからなり、該ピストンには、その往復運動方向に延在する前記ラック部材が固着され、前記シリンダ本体の一端側と前記ピストンとの間で伸圧力空間を成すとともに、前記シリンダ本体の他端側に密閉状態に接続された前記ケーシング側と前記ピストンとの間で縮圧力空間を成し、前記シリンダ本体に設けられ前記伸圧力空間と外部との間を連通させる伸通気口と、前記ピニオン収納側のケーシングに設けられ前記縮圧力空間と外部との間を連通させる縮通気口とを有し、前記ラック部材と前記滑り軸受との間で対向する部分には、前記ラック部材が往復運動しても前記滑り軸受より前記ピストン側の縮圧力空間内と前記縮通気口との通気状態を維持する連通溝が形成されている。
　本発明の第７態様のスライド弁においては、前記ピストンには、前記往復運動方向に沿って断面積が連続的に変化し、前記圧力空間内の空気を前記通気口に向けて徐々に通気させる緩衝溝が形成されていることが好ましい。
　本発明の第７態様のスライド弁においては、前記ケーシングには、前記圧力空間内の空気を前記通気口に向けて通気させる際、この通気量を制御可能とする制御緩衝流路が形成されていることが好ましい。
　本発明の第７態様のスライド弁においては、前記ピニオンと前記ラック歯との噛合部分の両側にはそれぞれ、前記ラック部材を摺動可能に支持する滑り軸受が配され、前記シリンダは、筒状のシリンダ本体と、該シリンダ本体内で往復運動可能なピストンとからなり、前記シリンダ本体の一端側と前記ピストンとの間で圧力空間が形成され、前記シリンダ本体には、前記圧力空間と外部との間を連通させる通気口を有し、前記ピストンには、前記往復運動方向に沿って断面積が連続的に変化し、前記圧力空間内の空気を前記通気口に向けて徐々に通気させる緩衝溝が形成されていることが好ましい。

　本発明の第７態様のスライド弁においては、第１の通気口から駆動用空気を供給することと、第２の通気口からケーシング内部のピニオン収納部分、ラック部材収納部分および連通溝を介して駆動用空気を供給することで、移動するピストンに接続されたラック部材が伸縮し中立弁体が開閉することが好ましい。
　本発明の第７態様のスライド弁においては、前記ピストンは、第１ピストンと、該第１ビストンと前記シリンダ本体の一端側との間に配された第２ピストンと、からなり、前記第１ピストンと前記第２ピストンとの当接部分には、緩衝材が配されてなることが好ましい。

　本発明の第７態様のスライド弁においては、前記ラック部材は長手方向に垂直な断面が円形を成し、かつ、前記長手方向に沿った２箇所以上で、前記滑り軸受によって摺動自在に支持されることが好ましい。

　本発明の第７態様のスライド弁においては、前記滑り軸受は、前記ピニオンと前記ラック歯との噛合部分に生じる前記ラック部材の作用線と、前記ラック部材の軸中心線との交点よりも、前記噛合部分から遠ざかる方向に配されていることが好ましい。

　本発明の第７態様のスライド弁においては、前記ラック部材の表面には、長手方向に沿って延びる溝が更に形成されていることが好ましい。

　本発明の第７態様のスライド弁においては、前記可動弁部には、該弁板に周設され前記第１開口部周囲の弁箱内面に密着されるシール部が設けられるとともに、前記中立弁部に対して流路方向位置変更可能に接続される第１可動弁部と、前記第１可動弁部を前記流路方向前記第１開口部に向けて付勢して前記シール部を前記第１開口部周囲の弁箱内面に密着可能とする第１付勢部と、前記第１可動弁部に対して前記流路方向に摺動可能とされる第２可動弁部と、前記第１付勢部の付勢力に対抗して前記第１可動弁部と前記第２可動弁部との前記流路方向厚み寸法を収縮可能なように駆動する第２付勢部と、前記第１可動弁部と前記第２可動弁部との流路方向厚み寸法変化に対応して、前記第１可動弁部を前記中立弁体に対して流路方向位置変更可能に接続するとともに、前記第１可動弁部を前記流路方向中央位置側に付勢する第３付勢部とを具備することが好ましい。

　本発明の第８態様のスライド弁は、中空部と、前記中空部を挟み互いに対向するように設けられて連通する流路となる第１開口部及び第２開口部とを有する弁箱と、前記弁箱の前記中空部内に配置され前記第１開口部を閉塞可能な中立弁体と、前記中立弁体を、前記第１開口部に対して閉塞状態にする弁閉塞位置と前記第１開口部から退避した開放状態とする弁開放位置との間で動作する位置切り替え手段として前記流路方向に延在する軸線を有する回転軸とを具備し、前記中立弁体が、前記切り替え手段に接続される中立弁部と、該中立弁部に対して流路方向位置変更可能に接続される可動弁部とを有し、前記可動弁部が、該可動弁部に周設され前記第１開口部周囲の弁箱内面に密着されるシール部が設けられるとともに前記中立弁部に対して流路方向位置変更可能に接続される第１可動弁部と、前記第１可動弁部を前記流路方向前記第１開口部に向けて付勢して前記シール部を前記第１開口部周囲の弁箱内面に密着可能とする第１付勢部と、前記第１可動弁部に対して前記流路方向に摺動可能とされる第２可動弁部と、前記第１付勢部の付勢力に対抗して前記第１可動弁部と前記第２可動弁部との前記流路方向厚み寸法を収縮可能なように駆動する第２付勢部と、前記第１可動弁部と前記第２可動弁部との流路方向厚み寸法変化に対応して、前記第１可動弁部を前記中立弁部に対して流路方向位置変更可能に接続するとともに、前記第１可動弁部を前記流路方向中央位置側に付勢する第３付勢部と、前記回転軸の軸線方向に離間して該回転軸を保持する２以上の軸受と、前記回転軸の軸線方向におけるこれら軸受間の位置で前記回転軸周面に摺動可能に接触する流体経路リングとを有し、前記回転軸の一端面と前記流体経路リングの外周面とに設けられた開口どうしを連通する密閉した流体経路が設けられ、前記回転軸が回動位置に依らずに、かつ、前記弁箱中空部に露出することなく前記中立弁部内部に形成された流体経路と前記回転軸径方向外側位置となる前記弁箱外部とを連通する。

　本発明の第８態様のスライド弁においては、前記流体経路として、前記回転軸内部には軸内経路が設けられ、該軸内経路が、前記回転軸の軸線方向に延在して前記回転軸の一端側に開口する軸方向軸内経路と、該軸方向経路に接続されるとともに前記回転軸の周面に開口する径方向軸内経路とからなり、記流体経路として、前記流体経路リング内部には、該流体経路リングの径方向に延在しその外周面及び内周面に開口する径方向リング経路が設けられ、記流体経路リング内周面および回転軸周面の間に、周方向に設けられ前記径方向軸内経路と前記径方向リング経路とを連通する周方向経路が周設されることが好ましい。

　本発明の第８態様のスライド弁においては、前記経路は、前記第２周囲領域において前記第１可動弁部と前記第２可動弁部との間に前記第２付勢部として形成されたエアシリンダに駆動用気体を供給する供給路の一部であることが好ましい。
　本発明の第８態様のスライド弁においては、前記経路は、前記第２付勢部とされたエアシリンダの摺動部分に設けられた２重シール部において２重目のシールより気体供給側に設けられ、１重目のシールが破れた際に駆動用気体をスライド弁外部に向けて逃がす連絡路の一部であることが好ましい。

　本発明の第８態様のスライド弁においては、前記回転軸には、前記供給路と前記連絡路となる軸方向経路がそれぞれ平行に設けられてなるとともに、前記供給路と前記連絡路と対応する流体経路リングが前記回転軸の異なる軸方向位置に設けられていることが好ましい。
　本発明の第８態様のスライド弁においては、前記供給路と前記連絡路と対応する流体経路リングが、前記軸受の軸線方向中間位置に対して対称に配置されていることが好ましい。
　本発明の第８態様のスライド弁においては、本発明の前記軸受の軸線方向中間位置には、前記回転軸を駆動する駆動系ピニオンが接続されていることが好ましい。
　本発明の第８態様のスライド弁においては、前記第２可動弁部には、前記第１付勢部の反力を前記第２開口部周囲の弁箱内面に伝達する反力伝達部が設けられることが好ましい。
　本発明の第８態様のスライド弁においては、前記第２付勢部は、前記第２周囲領域において前記第１可動弁部と前記第２可動弁部との間に形成されたエアシリンダであることが好ましい。
　本発明の第８態様のスライド弁においては、前記第２付勢部とされたエアシリンダには、摺動部分に２重シール部が設けられ、１重目のシールが破れた際に、２重目のシールより気体供給側に、駆動用気体をスライド弁外部に向けて逃がす連絡路が設けられていることが好ましい。

　本発明の第８態様のスライド弁においては、前記第２付勢部とされたエアシリンダに駆動用気体を供給する供給路が形成され、該供給路には、前記第１可動弁部と前記中立弁部との流路方向位置が変更した際にも、前記第１可動弁部と前記中立弁部との間で駆動用気体を供給可能に摺動接続する接続ピン部が設けられていることが好ましい。
　本発明の第８態様のスライド弁においては、前記接続ピン部には、摺動部分に２重シール部が設けられ、１重目のシールが破れた際に、２重目のシールより気体供給側に、駆動用気体をスライド弁外部に向けて逃がす連絡路が設けられることが好ましい。
　本発明の第８態様のスライド弁においては、前記切り替え手段が、前記流路方向に延在する軸線を有する回転軸を含むことが好ましい。
　本発明の第８態様のスライド弁においては、前記切り替え手段が、前記流路方向と交差する方向に延在し直線状に駆動される弁棒を含むことが好ましい。

　本発明の第８態様のスライド弁においては、前記回転軸の一端面と前記流体経路リングの外周面とに設けられた開口どうしを連通する密閉した流体経路が設けられている。前記回転軸が回動位置に依らずに、かつ、前記弁箱中空部に露出することなく、前記中立弁部内部に形成された流体経路と前記回転軸径方向外側位置となる前記弁箱外部とが連通されている。この構成により、軸受と軸受との間の距離を長く確保できる。これにより、回転軸が傾く方向に回転軸へ作用するモーメントを２以上の軸受で保持する場合に、この軸受が受けるラジアル荷重を最小にすることができ、それにより軸受の耐久性を向上させることができる。あるいは、必要な回転軸の傾斜方向における変形防止能を維持した状態で回転軸の軸線方向長さを確保することができ、バルブとしての小型化を図ることができる。
　また、上記の構成とすることにより、部品の構成を変えずに部品の組立方向を変えることのみによって、回転機構部の弁箱に対する取付面を、反転させることが可能である。

　本発明の第８態様のスライド弁においては、前記流体経路として、前記回転軸内部には軸内経路が設けられ、該軸内経路が、前記回転軸の軸線方向に延在して前記回転軸の一端側に開口する軸方向軸内経路と、該軸方向経路に接続されるとともに前記回転軸の周面に開口する径方向軸内経路とからなる。前記流体経路として、前記流体経路リング内部には、該流体経路リングの径方向に延在しその外周面及び内周面に開口する径方向リング経路が設けられている。前記流体経路リング内周面および回転軸周面の間に、周方向に設けられ前記径方向軸内経路と前記径方向リング経路とを連通する周方向経路が周設されることによって、回転軸が回動しても、周設された周方向経路が前記径方向軸内経路と前記径方向リング経路とを連通した状態を維持することができる。また、周方向経路が周設されているため、経路内の流体からの作用力が軸受けにおける回転軸の支持状態に対して影響を及ぼすことを防止できる。

　本発明の第８態様のスライド弁においては、前記経路は、前記第２周囲領域において前記第１可動弁部と前記第２可動弁部との間に前記第２付勢部として形成されたエアシリンダに駆動用気体を供給する供給路の一部である。或いは、前記経路は、前記第２付勢部とされたエアシリンダの摺動部分に設けられた２重シール部において２重目のシールより気体供給側に設けられ、１重目のシールが破れた際に駆動用気体をスライド弁外部に向けて逃がす連絡路の一部である。この構成により、弁箱内部の中空部に露出（暴露）することなく、駆動用流体を回転軸内部経由で中立弁体へ供給するとともに、中間大気室への連絡路を回転軸内部経由で弁箱外部に連通させることが可能となる。

　本発明の第８態様のスライド弁においては、前記回転軸には、前記供給路と前記連絡路となる軸方向経路がそれぞれ平行に設けられてなるとともに、前記供給路と前記連絡路と対応する流体経路リングが前記回転軸の異なる軸方向位置に設けられてなることにより、複数の経路を一本の回転軸内部を介して同時にそれぞれを別個に連通状態とすることができるので、駆動用流体の供給路とセーフティー用の中間大気用の連絡路とを一つの回転軸のみを介して配置することが可能となる。
　本発明の第８態様のスライド弁においては、前記供給路と前記連絡路と対応する流体経路リングが、前記軸受の軸線方向中間位置に対して対称に配置されてなることにより、軸受に対する加重を略均等にして軸受の耐久性を向上し、バルブのメンテナンス費用を低減することが可能となる。
　本発明の第８態様のスライド弁においては、前記軸受の軸線方向中間位置には、前記回転軸を駆動する駆動系ピニオンが接続されてなることにより、軸受に対する加重を略均等にして軸受の耐久性を向上し、バルブのメンテナンス費用を低減することができる。

　本発明の第８態様のスライド弁においては、前記エアシリンダおよび接続ピン部は、第２シール部，第３シール部，及びワイパーを有することができ、前記ワイパーは、前記第３シール部よりも前記第２開口部に近い位置に配置されていることが好ましい。

　本発明の第９態様のスライド弁は、中空部と、前記中空部を挟み互いに対向するように設けられて連通する流路となる第１開口部及び第２開口部とを有する弁箱と、前記弁箱の前記中空部内に配置され前記第１開口部を閉塞可能な中立弁体と、前記中立弁体を、前記第１開口部に対して閉塞状態にする弁閉塞位置と前記第１開口部から退避した開放状態とする弁開放位置との間で回動させる回転軸と、該回転軸を回転させる回転手段と、前記弁箱内において前記回転軸に固着され、前記中立弁部を脱着可能に保持する接続部材とを具備し、前記中立弁体は、前記接続部材を介して前記回転軸に接続される中立弁部と、該中立弁部に対して流路方向位置変更可能に接続される可動弁部とを有し、前記回転手段は、前記回転軸の軸心周りに形成されたピニオンと、該ピニオンに噛合するラック歯を備えたラック部材と、該ラック部材を直線運動させるシリンダとを有し、前記ピニオンと前記ラック歯との噛合部分の両側にはそれぞれ、前記ラック部材を摺動可能に支持する滑り軸受が配され、前記シリンダは、筒状のシリンダ本体と、該シリンダ本体内で往復運動可能なピストンとからなり、前記シリンダ本体の一端側と前記ピストンとの間で圧力空間を成し、前記シリンダ本体には、前記圧力空間と外部との間を連通させる通気口を有し、前記ピストンには、前記往復運動方向に沿って断面積が連続的に変化し、前記圧力空間内の空気を前記通気口に向けて徐々に通気させる緩衝溝が形成されている。

　本発明の第９態様のスライド弁においては、前記ピストンは、第１ピストンと、該第１ビストンと前記シリンダ本体の一端側との間に配された第２ピストンとからなり、前記第１ピストンと前記第２ピストンとの当接部分には、緩衝材が配されてなることが好ましい。

　本発明の第９態様のスライド弁においては、前記ラック部材は長手方向に垂直な断面が円形を成し、かつ、前記長手方向に沿った２箇所以上で、前記滑り軸受によって摺動自在に支持されることが好ましい。

　本発明の第９態様のスライド弁においては、前記滑り軸受は、前記ピニオンと前記ラック歯との噛合部分に生じる前記ラック部材の作用線と、前記ラック部材の軸中心線との交点よりも、前記噛合部分から遠ざかる方向に配されていることが好ましい。

　本発明の第９態様のスライド弁においては、前記ラック部材の表面には、長手方向に沿って延びる溝が更に形成されていることが好ましい。

　本発明の第９態様のスライド弁においては、前記可動弁部には、該弁板に周設され前記第１開口部周囲の弁箱内面に密着されるシール部が設けられるとともに、前記中立弁部に対して流路方向位置変更可能に接続される第１可動弁部と、前記第１可動弁部を前記流路方向前記第１開口部に向けて付勢して前記シール部を前記第１開口部周囲の弁箱内面に密着可能とする第１付勢部と、前記第１可動弁部に対して前記流路方向に摺動可能とされる第２可動弁部と、前記第１付勢部の付勢力に対抗して前記第１可動弁部と前記第２可動弁部との前記流路方向厚み寸法を収縮可能なように駆動する第２付勢部と、前記第１可動弁部と前記第２可動弁部との流路方向厚み寸法変化に対応して、前記第１可動弁部を前記中立弁体に対して流路方向位置変更可能に接続するとともに、前記第１可動弁部を前記流路方向中央位置側に付勢する第３付勢部とを具備していることが好ましい。

　本発明の第１０態様のスライド弁は、中空部と、前記中空部を挟み互いに対向するように設けられて連通する流路となる第１開口部及び第２開口部とを有する弁箱と、前記弁箱の前記中空部内に配置され前記第１開口部を閉塞可能な中立弁体と、前記中立弁体を、前記第１開口部に対して閉塞状態にする弁閉塞位置と前記第１開口部から退避した開放状態とする弁開放位置との間で回動させる回転軸と、該回転軸を回転させラックピニオン及びこれを駆動する復動式エアシリンダからなる回転手段と、前記中立弁体を閉塞解除動作させる単動式エアシリンダからなる閉塞解除駆動手段と、を有するスライド弁においては、前記中立弁体の閉塞解除動作と該中立弁体の回転動作とを順次動作可能とするとともに、オープン時には、閉塞解除エアシリンダの駆動圧が所定の閾値を超えた際に回転エアシリンダを動作開始させるとともに、クローズ時には、回転動作終了時に閉塞動作を開始させるエアオペレイト式２チャンネル２方弁を有するシーケンス回路を具備している。
　本発明の第１０態様のスライド弁においては、前記シーケンス回路が、クローズ時に、前記中立弁体の回転動作を終了するまで、閉塞圧力を安定した状態で維持可能とする回転動作終了検出スイッチを有することが好ましい。
　本発明の第１０態様のスライド弁においては、本発明の前記シーケンス回路が、ハウジングと、該ハウジング内部で付勢されたボールと、該ボールの移動位置を規制するボールガイドとを有し、前記ボールの位置によらず流路断面積が一定となるチェック弁を有することが好ましい。

　本発明の第１０態様のスライド弁においては、前記第２付勢部は、前記第２周囲領域において前記第１可動弁部と前記第２可動弁部との間に形成されたエアシリンダとされ、バネ等とされる第１付勢部とあわせて単動エアシリンダを形成することが好ましい。

　本発明の第１１態様のスライド弁は、中空部と、前記中空部を挟み互いに対向するように設けられて連通する流路となる第１開口部及び第２開口部とを有する弁箱と、前記弁箱の前記中空部内に配置され前記第１開口部を閉塞可能な中立弁体と、前記中立弁体を、前記第１開口部に対して閉塞状態にする弁閉塞位置と前記第１開口部から退避した開放状態とする弁開放位置との間で回動させる回転軸と、該回転軸を回転させラックピニオン及びこれを駆動する復動式エアシリンダからなる回転手段と、前記中立弁体を閉塞解除動作させる単動式エアシリンダからなる閉塞解除駆動手段と、を有するとともに、前記復動式エアシリンダが前記ピニオンを駆動する第２ピストンと、弁開度を設定するように前記第２ピストンの停止位置を規制する第１ピストンとを有するスライド弁においては、前記中立弁体の閉塞解除動作と該中立弁体の回転動作とを順次動作可能とするとともに、オープン時には、閉塞解除エアシリンダの駆動圧が所定の閾値を超えた際に回転エアシリンダを動作開始させるとともに、クローズ時には、回転動作終了時に閉塞動作を開始させるエアオペレイト式２チャンネル２方弁を有し、かつ、前記中立弁体の停止位置を設定するエアオペレイト式２チャンネル２方弁を有するシーケンス回路を具備する。
　本発明の第１１態様のスライド弁においては、前記シーケンス回路が、クローズ時に、前記中立弁体の回転動作を終了するまで、閉塞圧力を安定した状態で維持可能とする回転動作終了検出スイッチを有することが好ましい。
　本発明の第１１態様のスライド弁においては、前記シーケンス回路が、ハウジングと、該ハウジング内部で付勢されたボールと、該ボールの移動位置を規制するボールガイドとを有し、前記ボールの位置によらず流路断面積が一定となるチェック弁を有することが好ましい。

　本発明の第１１態様のスライド弁においては、前記第２付勢部は、前記第２周囲領域において前記第１可動弁部と前記第２可動弁部との間に形成されたエアシリンダとされ、バネ等とされる第１付勢部とあわせて単動エアシリンダを形成することが好ましい。

　本発明の第１１態様のスライド弁においては、前記回転軸の一端面と前記流体経路リングの外周面とに設けられた開口どうしを連通する密閉した流体経路が設けられている。前記回転軸が回動位置に依らずに、かつ、前記弁箱中空部に露出することなく前記中立弁部内部に形成された流体経路と前記回転軸径方向外側位置となる前記弁箱外部とが連通されている。この構成により、軸受と軸受との間の距離を長く確保できる。これにより、回転軸が傾く方向に回転軸へ作用するモーメントを２以上の軸受で保持する場合に、この軸受が受けるラジアル荷重を最小にすることができ、それにより軸受の耐久性を向上させることができる。あるいは、必要な回転軸の傾斜方向における変形防止能を維持した状態で回転軸の軸線方向長さを確保することができ、バルブとしての小型化を図ることができる。
　また、上記の構成とすることにより、部品の構成を変えずに部品の組立方向を変えることのみによって、回転機構部の弁箱に対する取付面を、反転させることが可能である。

　本発明の第１１態様のスライド弁においては、前記流体経路として、前記回転軸内部には軸内経路が設けられ、該軸内経路が、前記回転軸の軸線方向に延在して前記回転軸の一端側に開口する軸方向軸内経路と、該軸方向経路に接続されるとともに前記回転軸の周面に開口する径方向軸内経路とからなる。前記流体経路として、前記流体経路リング内部には、該流体経路リングの径方向に延在しその外周面及び内周面に開口する径方向リング経路が設けられている。前記流体経路リング内周面および回転軸周面の間に、周方向に設けられ前記径方向軸内経路と前記径方向リング経路とを連通する周方向経路が周設されることによって、回転軸が回動しても、周設された周方向経路が前記径方向軸内経路と前記径方向リング経路とを連通した状態を維持することができる。また、周方向経路が周設されているため、経路内の流体からの作用力が軸受けにおける回転軸の支持状態に対して影響を及ぼすことを防止できる。

　本発明の第１１態様のスライド弁においては、前記経路は、前記第２周囲領域において前記第１可動弁部と前記第２可動弁部との間に前記第２付勢部として形成されたエアシリンダに駆動用気体を供給する供給路の一部である。或いは、前記経路は、前記第２付勢部とされたエアシリンダの摺動部分に設けられた２重シール部において２重目のシールより気体供給側に設けられ、１重目のシールが破れた際に駆動用気体をスライド弁外部に向けて逃がす連絡路の一部である。この構成により、弁箱内部の中空部に露出（暴露）することなく、駆動用流体を回転軸内部経由で中立弁体へ供給するとともに、中間大気室への連絡路を回転軸内部経由で弁箱外部に連通させることが可能となる。

　本発明の第１態様の仕切弁においては、可動弁部が第１可動弁部と第２可動弁部とによって構成されている。更に、前記第１付勢部は、前記第１可動弁部を前記第１開口部に向けて移動させ、前記第１可動弁部を前記内面に接させ、前記第１可動弁部を前記内面に押圧し、前記流路を閉鎖する。更に、前記第２付勢部は、前記第１可動弁部を前記第２開口部に向けて移動させ、前記第１可動弁部を前記内面から離間させた後可動弁部を退避させることにより、前記流路を開放する。この構成によれば、２つの可動弁部と２つの付勢部とによって弁体を構成することができる。また、第１付勢部が第１、第２可動弁部を移動させて、仕切弁を直接かつ確実に閉弁することができる。また、第２付勢部が第１、第２可動弁部を移動させて、仕切弁を直接かつ確実に開弁できる。このため、簡単な構成で高い信頼性の仕切り動作を行う仕切弁を得ることができるという効果が得られる。本発明の第１態様によれば、小さな出力で駆動できる前記切り替え手段の機構を実現し、弁の小型化を図ることができるという効果を奏することができる。

　本発明の第２態様の仕切弁においては、可動弁部が第１可動弁部と第２可動弁部とによって構成されている。更に、前記第１付勢部は、前記第１可動弁部を前記第１開口部に向けて移動させ、前記第１可動弁部を前記内面に接させ、前記第１可動弁部を前記内面に押圧し、前記流路を閉鎖する。更に、前記第２付勢部は、前記第１可動弁部を前記第２開口部に向けて移動させ、前記第１可動弁部を前記内面から離間させた後可動弁部を退避させることにより、前記流路を開放する。この構成によれば、２つの可動弁部と２つの付勢部とによって弁体を構成することができる。また、第１付勢部が第１、第２可動弁部を移動させて、仕切弁を直接かつ確実に閉弁することができる。また、第２付勢部が第１、第２可動弁部を移動させて、仕切弁を直接かつ確実に開弁できる。さらに締結部材により、中立弁体の厚み寸法が縮んだ状態で前記第１可動弁部と前記第２可動弁部とを締結可能なため、第２付勢部によって付勢しない状態でも中立弁体の厚み寸法を縮んだ状態に維持することで、中立弁体を弁開の状態にし、メンテナンスを行うことができる。このため、簡単な構成で高い信頼性の仕切り動作を行う仕切弁を得ることができるという効果が得られる。
　本発明の第２態様によれば、小さな出力で駆動できる前記切り替え手段の機構を実現し、弁の小型化を図ることができるという効果を奏することができる。

　本発明の第３態様及び第４態様の仕切弁によれば、中立弁体を回転軸に固定された接続部材に取り付ける際に、中立弁部の凹部と接続部材の突起部との接触面は、第一平行面、および第二平行面に限られる。これによって、例えば、凹部と突起部との接触面（第一平行面、第二平行面）のクリアランス（隙間）を極めて小さく設定しても、従来と比較して凹部を突起部に押し込む際の押し込み長さが短くなり、スムーズに、かつ高い取付精度で凹部と突起部とを嵌合させることができる。

　本発明の第５態様及び第６態様のスライド弁においては、可動弁部が第１可動弁部と第２可動弁部とによって構成されている。更に、前記第１付勢部は、前記第１可動弁部を前記第１開口部に向けて移動させ、前記第１可動弁部を前記内面に接させ、前記第１可動弁部を前記内面に押圧し、前記流路を閉鎖する。更に、前記第２付勢部は、前記第１可動弁部を前記第２開口部に向けて移動させ、前記第１可動弁部を前記内面から離間させた後可動弁部を退避させることにより、前記流路を開放する。この構成によれば、２つの可動弁部と２つの付勢部とによって弁体を構成することができる。また、第１付勢部が第１、第２可動弁部を移動させて、スライド弁を直接かつ確実に閉弁することができる。また、第２付勢部が第１、第２可動弁部を移動させて、スライド弁を直接かつ確実に開弁できる。このため、簡単な構成で高い信頼性の仕切り動作を行うスライド弁を得ることができるという効果が得られる。
　本発明の第５態様及び第６態様によれば、小さな出力で駆動できる前記切り替え手段の機構を実現し、弁の小型化を図ることができるという効果を奏することができる。

　本発明の第７態様及び第８態様のスライド弁においては、ラック歯が形成された部分が滑り軸受の両側位置まで移動するラック部材を有するシリンダであっても、ラックおよびピニオンを収納する部分のケーシングが密閉されている。また、このケーシングのピニオン収納部分に対して駆動用空気を供給することで、ラックピニオンへの連通部分が密閉されていなくても、駆動用圧縮空気をシリンダに供給してピストンを往復動作させることが可能である。中立弁体の駆動部分が従来できなかった程度に小型化することが可能となる。同時に、連通溝を設けることで、シリンダ内の縮圧力空間、ラック部材の収納部分、滑り軸受に対応する連通溝、ピニオンの収納部分、通気口の順に縮圧力空間を連通して、例えば、この経路の途中に通気口を設けた場合にピストンと反対側の密閉空間が、蓄圧部となって、中立弁体の動作が遅くなることを防止できる。
　さらに、ピストンを伸位置から縮位置に移動させる際に、伸圧力空間の急激な縮小によるピストンの急停止、即ち、ラック部材とピニオンとの噛合部分に急激に大きな応力が加わらないように、ピストンに形成された緩衝溝によって、ピストンの縮位置への移動を滑らかに変化させる。
　同様にピストンに形成された緩衝溝によって、ピストンを縮位置から伸位置に移動させる際に、縮圧力空間の急激な縮小によるピストンの急停止、即ち、ラック部材とピニオンとの噛合部分に急激に大きな応力が加わらないように、ピストンの伸位置への移動を滑らかに変化させる。

　即ち、縮圧力空間の内圧を増加させてピストンをその縮位置に向けて移動させる際に、伸圧力空間の内圧が急に高まり（伸圧力空間が圧縮され）、ピストンの移動速度が急激に減少する方向に力が働く。しかしながら、伸圧力空間内の空気は緩衝溝を介して通気口に誘導され、この緩衝溝は、ピストンの一面側からシリンダ本体の一端側に向かって断面積が広がるように形成されているので、ピストンが縮位置に近づくほど、緩衝溝の断面積、即ち、開口面積が減少する。これによって、ピストンが縮位置に至る直前では、伸圧力空間から通気口に至る空気の流量が徐々に絞られる（減少する）ため、圧力空間の内圧減少が徐々に低下する。これによって、ピストンを緩やかに縮位置で停止させることができる。よって、伸圧力空間の急激な縮小によるピストンの急停止を防止し、ラック部材とピニオンとの噛合部分に急激に大きな応力を加えずに滑らかに停止させることが可能になる。
　さらに、伸圧力空間の内圧を増加させてピストンをその伸位置に向けて移動させる際に、縮圧力空間の内圧が急に高まり（縮圧力空間が圧縮され）、ピストンの移動速度が急激に減少する方向に力が働く。しかしながら、縮圧力空間内の空気は緩衝溝および制御緩衝流路を介して通気口側に誘導される。この際、緩衝溝は、シリンダ本体の一端側からピストンの一面側に向かって断面積が広がる、つまり、ピストンの他面側から滑り軸受側に向かって断面積が広がるように形成されているので、ピストンが伸位置に近づくほど、緩衝溝の断面積、即ち、開口面積が減少する。これによって、ピストンが伸位置に至る直前では、縮圧力空間から通気口側の密閉空間に至る空気の流量が徐々に絞られる（減少する）ため、縮圧力空間の内圧減少が徐々に低下する。これによって、ピストンを緩やかに縮位置で停止させることができる。よって、縮圧力空間の急激な縮小によるピストンの急停止を防止し、ラック部材とピニオンとの噛合部分に急激に大きな応力を加えずに滑らかに停止させることが可能になる。
　さらに、縮圧力空間から通気口側の密閉空間に至る空気の流量を制御緩衝流路によって、制御することで、ピストンの移動速度、即ち、ラック部材の伸張速度、つまり、中立弁体の開閉動作の停止する直前の速さを制御することが可能となる。

　本発明の第９態様のスライド弁においては、ピストンを伸位置から縮位置に移動させる際に、圧力空間の急激な縮小によるピストンの急停止、即ち、ラック部材とピニオンとの噛合部分に急激に大きな応力が加わらないように、ピストンに形成された緩衝溝によって、ピストンの縮位置への移動を滑らかに変化させる。

　即ち、圧力空間の内圧を減少させてピストンの縮位置に向けて移動させる際に、圧力空間の内圧が急に高まり（圧力空間が圧縮され）、ピストンの移動速度が急激に減少する方向に力が働く。しかしながら、圧力空間内の空気は緩衝溝を介して通気口に誘導され、この緩衝溝は、ピストンの一面側からシリンダ本体の一端側に向かって断面積が広がるように形成されているので、ピストンが縮位置に近づくほど、緩衝溝の断面積、即ち、開口面積が減少する。これによって、ピストンが縮位置に至る直前では、圧力空間から通気口に至る空気の流量が徐々に絞られる（減少する）ため、圧力空間の内圧減少が徐々に低下する。これによって、ピストンを緩やかに縮位置で停止させることができる。よって、圧力空間の急激な縮小によるピストンの急停止を防止し、ラック部材とピニオンとの噛合部分に急激に大きな応力を加えずに滑らかに停止させることが可能になる。

　本発明の第１０態様のスライド弁においては、ラック歯の形成された部分が滑り軸受の両側位置まで移動するラック部材を有するシリンダであっても、ラックおよびピニオンを収納する部分のケーシングが密閉されている。このケーシングのピニオン収納部分に対して駆動用空気を供給することで、ラックピニオンへの連通部分が密閉されていなくても、駆動用圧縮空気をシリンダに供給してピストンを往復動作させることが可能となり、中立弁体の駆動部分が従来できなかった程度に小型化することが可能となる。同時に、連通溝を設けることで、シリンダ内の縮圧力空間、ラック部材の収納部分、滑り軸受に対応する連通溝、ピニオンの収納部分、通気口の順に縮圧力空間を連通して、例えば、この経路の途中に通気口を設けた場合にピストンと反対側の密閉空間が、蓄圧部となって、中立弁体の動作が遅くなることを防止できる。
　さらに、ピストンを伸位置から縮位置に移動させる際に、伸圧力空間の急激な縮小によるピストンの急停止、即ち、ラック部材とピニオンとの噛合部分に急激に大きな応力が加わらないように、ピストンに形成された緩衝溝によって、ピストンの縮位置への移動を滑らかに変化させる。
　同様にピストンに形成された緩衝溝によって、ピストンを縮位置から伸位置に移動させる際に、縮圧力空間の急激な縮小によるピストンの急停止、即ち、ラック部材とピニオンとの噛合部分に急激に大きな応力が加わらないように、ピストンの伸位置への移動を滑らかに変化させる。

　即ち、縮圧力空間の内圧を増加させてピストンをその縮位置に向けて移動させる際に、伸圧力空間の内圧が急に高まり（伸圧力空間が圧縮され）、ピストンの移動速度が急激に減少する方向に力が働く。しかしながら、伸圧力空間内の空気は緩衝溝を介して通気口に誘導され、この緩衝溝は、ピストンの一面側からシリンダ本体の一端側に向かって断面積が広がるように形成されているので、ピストンが縮位置に近づくほど、緩衝溝の断面積、即ち、開口面積が減少する。これによって、ピストンが縮位置に至る直前では、伸圧力空間から通気口に至る空気の流量が徐々に絞られる（減少する）ため、圧力空間の内圧減少が徐々に低下する。これによって、ピストンを緩やかに縮位置で停止させることができる。よって、伸圧力空間の急激な縮小によるピストンの急停止を防止し、ラック部材とピニオンとの噛合部分に急激に大きな応力を加えずに滑らかに停止させることが可能になる。
　さらに、伸圧力空間の内圧を増加させてピストンをその伸位置に向けて移動させる際に、縮圧力空間の内圧が急に高まり（縮圧力空間が圧縮され）、ピストンの移動速度が急激に減少する方向に力が働く。しかしながら、縮圧力空間内の空気は緩衝溝および制御緩衝流路を介して通気口側に誘導される。この際、緩衝溝は、シリンダ本体の一端側からピストンの一面側に向かって断面積が広がる、つまり、ピストンの他面側から滑り軸受側に向かって断面積が広がるように形成されているので、ピストンが伸位置に近づくほど、緩衝溝の断面積、即ち、開口面積が減少する。これによって、ピストンが伸位置に至る直前では、縮圧力空間から通気口側の密閉空間に至る空気の流量が徐々に絞られる（減少する）ため、縮圧力空間の内圧減少が徐々に低下する。これによって、ピストンを緩やかに縮位置で停止させることができる。よって、縮圧力空間の急激な縮小によるピストンの急停止を防止し、ラック部材とピニオンとの噛合部分に急激に大きな応力を加えずに滑らかに停止させることが可能になる。
　さらに、縮圧力空間から通気口側の密閉空間に至る空気の流量を制御緩衝流路によって、制御することで、ピストンの移動速度、即ち、ラック部材の伸張速度、つまり、中立弁体の開閉動作の停止する直前の速さを制御することが可能となる。

　本発明の第１１態様のスライド弁においては、ラック歯の形成された部分が滑り軸受の両側位置まで移動するラック部材を有するシリンダであっても、ラックおよびピニオンを収納する部分のケーシングが密閉されている。このケーシングのピニオン収納部分に対して駆動用空気を供給することで、ラックピニオンへの連通部分が密閉されていなくても、駆動用圧縮空気をシリンダに供給してピストンを往復動作させることが可能となり、中立弁体の駆動部分が従来できなかった程度に小型化することが可能となる。同時に、連通溝を設けることで、シリンダ内の縮圧力空間、ラック部材の収納部分、滑り軸受に対応する連通溝、ピニオンの収納部分、通気口の順に縮圧力空間を連通して、例えば、この経路の途中に通気口を設けた場合にピストンと反対側の密閉空間が、蓄圧部となって、中立弁体の動作が遅くなることを防止できる。
　さらに、ピストンを伸位置から縮位置に移動させる際に、伸圧力空間の急激な縮小によるピストンの急停止、即ち、ラック部材とピニオンとの噛合部分に急激に大きな応力が加わらないように、ピストンに形成された緩衝溝によって、ピストンの縮位置への移動を滑らかに変化させる。
　同様にピストンに形成された緩衝溝によって、ピストンを縮位置から伸位置に移動させる際に、縮圧力空間の急激な縮小によるピストンの急停止、即ち、ラック部材とピニオンとの噛合部分に急激に大きな応力が加わらないように、ピストンの伸位置への移動を滑らかに変化させる。

　即ち、縮圧力空間の内圧を増加させてピストンをその縮位置に向けて移動させる際に、伸圧力空間の内圧が急に高まり（伸圧力空間が圧縮され）、ピストンの移動速度が急激に減少する方向に力が働く。しかしながら、伸圧力空間内の空気は緩衝溝を介して通気口に誘導され、この緩衝溝は、ピストンの一面側からシリンダ本体の一端側に向かって断面積が広がるように形成されているので、ピストンが縮位置に近づくほど、緩衝溝の断面積、即ち、開口面積が減少する。これによって、ピストンが縮位置に至る直前では、伸圧力空間から通気口に至る空気の流量が徐々に絞られる（減少する）ため、圧力空間の内圧減少が徐々に低下する。これによって、ピストンを緩やかに縮位置で停止させることができる。
よって、伸圧力空間の急激な縮小によるピストンの急停止を防止し、ラック部材とピニオンとの噛合部分に急激に大きな応力を加えずに滑らかに停止させることが可能になる。
　さらに、伸圧力空間の内圧を増加させてピストンをその伸位置に向けて移動させる際に、縮圧力空間の内圧が急に高まり（縮圧力空間が圧縮され）、ピストンの移動速度が急激に減少する方向に力が働く。しかしながら、縮圧力空間内の空気は緩衝溝および制御緩衝流路を介して通気口側に誘導される。この際、緩衝溝は、シリンダ本体の一端側からピストンの一面側に向かって断面積が広がる、つまり、ピストンの他面側から滑り軸受側に向かって断面積が広がるように形成されているので、ピストンが伸位置に近づくほど、緩衝溝の断面積、即ち、開口面積が減少する。これによって、ピストンが伸位置に至る直前では、縮圧力空間から通気口側の密閉空間に至る空気の流量が徐々に絞られる（減少する）ため、縮圧力空間の内圧減少が徐々に低下する。これによって、ピストンを緩やかに縮位置で停止させることができる。よって、縮圧力空間の急激な縮小によるピストンの急停止を防止し、ラック部材とピニオンとの噛合部分に急激に大きな応力を加えずに滑らかに停止させることが可能になる。
　さらに、縮圧力空間から通気口側の密閉空間に至る空気の流量を制御緩衝流路によって、制御することで、ピストンの移動速度、即ち、ラック部材の伸張速度、つまり、中立弁体の開閉動作の停止する直前の速さを制御することが可能となる。
　本発明の第１１態様のスライド弁によれば、上記のようなシーケンス回路を有しているため、電子回路によらずに、駆動用の圧縮空気を３ポートの入力で、４ポートでの出力をその順序を設定して行うことができる。

本発明の第１実施形態における仕切弁の構成を示す横断面図である。 本発明の第１実施形態における仕切弁の構成を示す縦断面図であり、弁体が退避動作可能位置とされている場合を示す図である。 図２におけるシリンダ付近の要部拡大図である。 本発明の第１実施形態における仕切弁の構成を示す縦断面図であり、弁体が弁閉位置とされている場合を示す図である。 図４におけるメインバネ付近の要部拡大図である。 本発明の第１実施形態における仕切弁の構成を示す縦断面図であり、弁体が退避位置とされている場合を示す図である。 本発明の第２実施形態における仕切弁の構成を示す縦断面図であり、シリンダ付近の要部拡大図である。 本発明の第３実施形態における仕切弁の構成を示す横断面図である。 図８における中立弁部付近の要部拡大図である。 本発明の第４実施形態の仕切弁に適用可能な開口部及び可動弁部の形状を示す図である。 本発明の第４実施形態の仕切弁に適用可能な開口部及び可動弁部の形状を示す図である。 本発明の第４実施形態の仕切弁に適用可能な開口部及び可動弁部の形状を示す図である。 本発明の第４実施形態の仕切弁に適用可能な開口部及び可動弁部の形状を示す図である。 本発明の第４実施形態の仕切弁に適用可能な開口部及び可動弁部の形状を示す図である。 本発明の第４実施形態の仕切弁に適用可能な開口部及び可動弁部の形状を示す図である。 本発明の第４実施形態における接続ピン付近の要部拡大図である。 本発明の第５実施形態における締結部材付近の要部拡大図である。 本発明の第５実施形態における締結部材とメインバネの配置の例を示す配置図である。 本発明の第５実施形態における締結部材とメインバネの配置の例を示す配置図である。 本発明の第５実施形態における締結部材とメインバネの配置の例を示す配置図である。 本発明の第５実施形態における係止部材の例を示す拡大図である。 本発明の第５実施形態における係止部材の例を示す拡大図である。 本発明の第６実施形態における仕切弁の構成を示す横断面図である。 回転軸に固定された接続部材を示す要部拡大平面図（ａ）及び要部拡大断面図（ｂ）である。 接続部材と接続される中立弁部の一端を示す要部拡大平面図（ａ）及び要部拡大断面図（ｂ）である。 接続部材と中立弁部とを嵌合させた状態を示す要部拡大平面図（ａ）及び要部拡大断面図（ｂ）である。 中立弁部を接続部材に取り付ける際の様子を示す説明図である。 中立弁部を接続部材に取り付ける際の様子を示す説明図である。 中立弁部を接続部材に取り付ける際の様子を示す説明図である。 第６実施形態の変形例である中立弁部と接続部材との接続部分の形状を示す平面図である。 従来の仕切弁における弁体と回転軸との取付部分を示す説明図である。 従来の仕切弁における弁体と回転軸との取付部分を示す説明図である。 従来の仕切弁における弁体と回転軸との取付部分を示す説明図である。 従来の仕切弁における弁体と回転軸との取付部分を示す説明図である。 本発明の第７実施形態における中立弁部と接続部材との接続部分の形状を示す平面図である。 本発明の第７実施形態における中立弁部と接続部材との接続部分の形状を示す平面図である。 本発明の第８実施形態におけるスライド弁の構成を示す横断面図である。 本発明の第８実施形態におけるスライド弁の構成を示す縦断面図であり、弁体が退避動作可能位置とされている場合を示す図である。 図２５におけるシリンダ付近の要部拡大図である。 本発明の第８実施形態におけるスライド弁の構成を示す縦断面図であり、弁体が弁閉位置とされている場合を示す図である。 図２７におけるメインバネ付近の要部拡大図である。 本発明の第８実施形態におけるスライド弁の構成を示す縦断面図であり、弁体が退避位置とされている場合を示す図である。 本発明の第９実施形態におけるスライド弁の構成を示す縦断面図であり、シリンダ付近の要部拡大図である。 本発明の第１０実施形態における接続ピン付近の要部拡大図である。 本発明の第８実施形態のスライド弁における回転軸および流体経路リング付近の要部を拡大して示す径方向断面図である。 本発明の第８実施形態のスライド弁における回転軸および流体経路リング付近の要部を拡大して示す軸方向断面図である。 本発明の第８実施形態のスライド弁における回転軸および流体経路リングの要部を透視した模式斜視図である。 本発明の第８実施形態のスライド弁における回転軸および流体経路リングの要部を透視した模式断面図である。 本発明の第８実施形態のスライド弁における接続部材と中立弁部とを嵌合させた状態を示す要部拡大平面（ａ）及び要部拡大断面図（ｂ）である。 本発明の第１０実施形態における接続ピン付近の要部拡大図である。 本発明の第８実施形態におけるガイドピン付近を示す要部拡大図である。 本発明の第８実施形態のスライド弁における流体経路リングの内周面および回転軸の摺動面付近を示す軸方向断面図である。 本発明の他の実施形態のスライド弁における回転軸および流体経路リングを示す要部を透視した斜視図である。 本発明の他の実施形態のスライド弁における回転軸および流体経路リングを示す軸方向断面図である。 本発明の他の実施形態のスライド弁における流体経路リングの内周面および回転軸の摺動面付近を示す模式図である。 本発明の他の実施形態のスライド弁における流体経路リングの内周面付近を示す軸方向断面図である。 本発明の第８実施形態のスライド弁における回転軸の駆動手段を示す断面図である。 本発明の第１１実施形態における回転軸駆動機構を示す断面図（伸位置）である。 本発明の第１１実施形態における回転軸駆動機構を示す断面図（縮位置）である。 緩衝溝の作用を示す断面図である。 緩衝溝の作用を示す断面図である。 ラック部材、および滑り軸受を示す要部拡大断面図である。 ラック部材とピニオンとの噛合部分を示す要部拡大断面図である。 本発明の第１２実施形態における回転軸駆動機構を示す断面図（縮位置Ｐｂ１，Ｐｂ３、伸位置Ｐａ２）である。 本発明の第１２実施形態における回転軸駆動機構を示す断面図（縮位置Ｐｂ１，Ｐｂ２，Ｐｂ３）である。 本発明の第１２実施形態における回転軸駆動機構を示す断面図（伸位置Ｐａ１，Ｐｃ３，Ｐａ３）である。 本発明の第１２実施形態におけるスライド弁の構成を示す横断面図である。 本発明の第１２実施形態における緩衝材の作用を示す模式図である。 制御緩衝流路を示す要部拡大断面図である。 本発明の第１２実施形態における回転軸駆動機構を示す断面図（縮位置Ｐｂ１、中間位置Ｐｃ３、伸位置Ｐａ２）である。 本発明の第１２実施形態における回転軸駆動機構を示す断面図（中間位置Ｐｃ１、Ｐｃ３，伸位置Ｐａ２）である。 本発明の第１２実施形態における回転軸駆動機構を示す断面図（中間位置Ｐｃ１、Ｐｃ２，Ｐｃ３）である。 本発明の第１２実施形態における回転軸駆動機構での圧縮空気供給切り替え状態を示す図である。 本発明の第１２実施形態における回転軸駆動機構での圧縮空気供給切り替え状態を示す図である。 本発明の第１３実施形態のスライド弁における回転軸および流体経路リング付近の要部を拡大して示す径方向断面図である。 本発明の第１３実施形態のスライド弁における回転軸および流体経路リング付近の要部を拡大して示す軸方向断面図である。 本発明の第１３実施形態における回転軸駆動機構を示す断面図（伸位置）である。 本発明の第１３実施形態における回転軸駆動機構を示す断面図（縮位置）である。 緩衝溝の作用を示す断面図である。 緩衝溝の作用を示す断面図である。 ラック部材、および滑り軸受を示す要部拡大断面図である。 ラック部材とピニオンとの噛合部分を示す要部拡大断面図である。 本発明の第１４実施形態における回転軸駆動機構を示す断面図（伸位置）である。 本発明の第１４実施形態における回転軸駆動機構を示す断面図（縮位置）である。 本発明の第１４実施形態における回転軸駆動機構を示す断面図（中間位置）である。 本発明の第１４実施形態におけるスライド弁の構成を示す横断面図である。 本発明の第１４実施形態における緩衝材の作用を示す模式図である。 本発明の第１４実施形態における緩衝材の作用を示す模式図である。 本発明の第１５実施形態における駆動シーケンス機構を示す回路図である。 本発明の第１５実施形態における駆動シーケンス機構における圧力状態を示すタイムチャートである。 図７１の丸数字１で示すタイミングにおける駆動シーケンス機構での圧力状態を示す図である。 図７１の丸数字２で示すタイミングにおける駆動シーケンス機構での圧力状態を示す図である。 図７１の丸数字３で示すタイミングにおける駆動シーケンス機構での圧力状態を示す図である。 図７１の丸数字４で示すタイミングにおける駆動シーケンス機構での圧力状態を示す図である。 図７１の丸数字５で示すタイミングにおける駆動シーケンス機構での圧力状態を示す図である。 本発明の第１５実施形態における２チャンネル２方弁を示す断面図である。 本発明の第１５実施形態における２チャンネル２方弁を示す断面図である。 本発明の第１５実施形態におけるチェック弁を示す断面図である。 本発明の第１５実施形態におけるチェック弁を示す分解断面図である。 本発明の第１５実施形態におけるチェック弁を示すケースの側面図である。 本発明の第１５実施形態におけるチェック弁の部品を示す破断斜視図である。 本発明の第１５実施形態における締結部材付近の要部拡大図である。 図８１における締結部材とメインバネの配置の例を示す配置図である。 図８１における締結部材とメインバネの配置の例を示す配置図である。 図８１における締結部材とメインバネの配置の例を示す配置図である。 締結部材における係止部材の例を示す拡大図である。 締結部材における係止部材の例を示す拡大図である。 本発明の第１６実施形態における駆動シーケンス機構を示す回路図である。 本発明の第１６実施形態における駆動シーケンス機構における圧力状態を示すタイムチャートである。 図８５のＡ－丸数字１で示すタイミングにおける駆動シーケンス機構での圧力状態を示す図である。 図８５のＡ－丸数字２で示すタイミングにおける駆動シーケンス機構での圧力状態を示す図である。 図８５のＡ－丸数字３で示すタイミングにおける駆動シーケンス機構での圧力状態を示す図である。 図８５のＡ－丸数字４で示すタイミングにおける駆動シーケンス機構での圧力状態を示す図である。 本発明の第１６実施形態における駆動シーケンス機構における圧力状態を示すタイムチャートである。 図９０のＢ－丸数字１で示すタイミングにおける駆動シーケンス機構での圧力状態を示す図である。 図９０のＢ－丸数字２で示すタイミングにおける駆動シーケンス機構での圧力状態を示す図である。 図９０のＢ－丸数字３で示すタイミングにおける駆動シーケンス機構での圧力状態を示す図である。 図９０のＢ－丸数字４で示すタイミングにおける駆動シーケンス機構での圧力状態を示す図である。 本発明の第１６実施形態における駆動シーケンス機構における圧力状態を示すタイムチャートである。 図９５のＣ－丸数字１で示すタイミングにおける駆動シーケンス機構での圧力状態を示す図である。 図９５のＣ－丸数字２で示すタイミングにおける駆動シーケンス機構での圧力状態を示す図である。 図９５のＣ－丸数字３で示すタイミングにおける駆動シーケンス機構での圧力状態を示す図である。 本発明の第１６実施形態における駆動シーケンス機構における圧力状態を示すタイムチャートである。 図９９のＤ－丸数字１で示すタイミングにおける駆動シーケンス機構での圧力状態を示す図である。 図９９のＤ－丸数字２で示すタイミングにおける駆動シーケンス機構での圧力状態を示す図である。 図９９ＤのＤ－丸数字３で示すタイミングにおける駆動シーケンス機構での圧力状態を示す図である。

　以下、本発明に係る仕切弁の第１実施形態を、図面に基づいて説明する。
　また、以下の説明に用いられる各図においては、各構成要素を図面上で認識し得る程度の大きさとするため、各構成要素の寸法及び比率を実際のものとは適宜に異ならせてある。
　本発明の技術範囲は、以下に述べる実施形態に限定されることなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。

（第１実施形態）
　図１は、第１実施形態における仕切弁の構成を示す平面図である。図２は、本発明の第１実施形態における仕切弁の構成を示す縦断面図で、弁体が退避動作可能位置とされている場合を示す図である。図３は、図２の中立弁部と第１可動弁部の接続部分および第１と第２との付勢部付近を示す要部拡大図である。図４は、本発明の第１実施形態における仕切弁の構成を示す縦断面図で、弁体が密閉閉塞位置とされている場合を示す図である。図５は、図４の中立弁部と第１可動弁部の接続部分および第１と第２との付勢部付近を示す要部拡大図である。図６は、本発明の第１実施形態における仕切弁の構成を示す縦断面図で、弁体が退避位置とされている場合を示す図である。

［振り子型仕切弁］
　第１実施形態の仕切弁１００は、図１～図３に示すように、振り子型仕切弁である。
　この仕切弁１００は、互いに対向した第１開口部１２ａと第２開口部１２ｂとが設けられた弁箱１０と、弁箱１０を貫通した切り替え手段としての回転軸２０と、回転軸２０に接続された中立弁部３０と、回転軸２０の軸線方向に移動可能として中立弁部３０に接続された可動弁部４０と、可動弁部４０の厚さ方向寸法を拡大する方向に付勢されるメインバネ７０（第１付勢部）と、メインバネ７０の付勢方向と反対方向に伸張可能な駆動用のエアシリンダ８０（第２付勢部）と、可動弁部４０を弁箱１０の中央位置に向けて移動させようとする位置規制用の補助バネ９０（第３付勢部）と、を備えている。中立弁部３０及び可動弁部４０は、中立弁体５を構成している。また、可動弁部４０は、第２可動弁部５０（可動弁板部）と第１可動弁部６０（可動弁枠部）とによって構成されている。第１開口部１２ａから第２開口部１２ｂに向かって流路Ｈ（流路方向Ｈ）が設定されている。

　また、以下の第５実施形態で述べるように、可動弁部４０の厚み寸法が縮んだ状態で第２可動弁部５０（可動弁板部）と第１可動弁部６０（可動弁枠部）とを締結可能な締結ボルト４３（締結部材）が設けられている。

　回転軸２０が符号Ａ１で示された方向（流路Ｈの方向に交差する方向）に回転すると、この回転に従って中立弁部３０も方向Ａ１に沿って回動する。また、可動弁部４０は中立弁部３０に厚さ方向のみ摺動可能として接続されているため、可動弁部４０は、中立弁部３０と一体に回転する。
　このように中立弁部３０を回転することにより、流路Ｈが設けられていない中空部１１に位置する退避位置から第１開口部１２ａに対応する位置とされる流路Ｈの弁閉位置に可動弁部４０が振り子運動で移動する。

　そして、メインバネ７０が伸張する方向に作用することで流路Ｈ方向に可動弁部４０の厚さ寸法が拡大する動作により（閉弁動作）、後述するように、可動弁枠部６０のシール部６１と、可動弁板部５０の反力伝達部５９とが、それぞれ、弁箱１０の内面１５ａと内面１５ｂとを押圧することにより、可動弁部４０は流路Ｈを閉鎖する。逆に、エアシリンダ８０が作用することで、メインバネ７０の付勢力にエアシリンダ８０の押圧力が打ち勝って流路Ｈ方向に可動弁部４０の厚さ寸法が収縮する動作により可動弁部４０が表裏とも弁箱１０の内面１５ａおよび内面１５ｂから離間した後に（解除動作）、回転軸２０が符号Ａ２で示された向きに回転する（退避動作）と、この回転に従って中立弁部３０および可動弁部４０も向きＡ２に回動する。
　この解除動作と退避動作とにより、可動弁部４０は上記弁開閉位置から上記退避位置に退避して弁開状態とする弁開動作が行われる。

［弁箱１０］
　弁箱１０は、中空部１１を有するフレームによって構成されている。フレームの図示上面には第１開口部１２ａが設けられており、フレームの図示下面には第２開口部１２ｂが設けられている。
　仕切弁１００は、第１開口部１２ａが露出されている空間（第１空間）と第２開口部１２ｂが露出されている空間（第２空間）の間に挿入される。仕切弁１００は、第１開口部１２ａと第２開口部１２ｂとをつなげている流路Ｈ、即ち、第１空間と第２空間とをつなげている流路Ｈを仕切り（閉鎖し）、この仕切り状態を開放する（第１空間と第２空間をつなぐ）。
　弁箱１０の中空部１１には、回転軸２０、中立弁部３０、可動弁部４０、メインバネ７０（第１付勢部）、エアシリンダ８０（第２付勢部）、及び補助バネ９０（第３付勢部）が設けられている。

［回転軸２０、中立弁部３０］
　回転軸２０は、流路Ｈとほぼ平行状態に延在して弁箱１０を貫通するとともに回転可能に設けられている。
　この回転軸２０には、中立弁部３０が固設されている。中立弁部３０は、回転軸２０の軸線に対して直行する方向に延在し、この方向に平行な面を有している。図１に示すように、中立弁部３０は、可動弁部４０に重なる円形部３０ａと、回転軸２０の回転に伴って円形部を回転させる回転部３０ｂとを有する。回転部３０ｂは、回転軸２０と円形部３０ａとの間に位置しており、回転部３０ｂの幅は回転軸２０から円形部３０ａに向けて徐々に増加している。これら回転軸２０、中立弁部３０は、弁箱１０に対して回動はするが、流路Ｈ方向には位置変動しないように設けられている。

［可動弁部４０、第２可動弁部５０（可動弁板部）、第１可動弁部６０（可動弁枠部）］
　可動弁部４０は略円板状とされ、円形部３０ａと略同心円状に形成された可動弁板部５０と、この可動弁板部５０の周囲を囲むように配置された略円環状の第２可動弁部６０とを有する。第２可動弁部６０は、中立弁部３０に流路Ｈ方向に摺動可能として接続されている。また、可動弁板部５０は、第２可動弁部６０に摺動可能として嵌合されている。可動弁板部５０と第２可動弁部６０とは、メインバネ７０及びエアシリンダ８０によって符号Ｂ１，Ｂ２で示された方向（往復方向）に摺動しながら移動可能である。ここで、符号Ｂ１，Ｂ２で示された方向とは、可動弁板部５０および第２可動弁部６０の面に垂直な方向であり、回転軸２０の軸方向に平行な流路Ｈ方向である。
　また、可動弁板部５０の外周付近における全領域には、内周クランク部５０ｃが形成されている。また、可動弁枠部６０の内周付近における全領域には、外周クランク部６０ｃが形成されている。
　第１実施形態においては、外周クランク部６０ｃと内周クランク部５０ｃとが、流路Ｈ方向と平行な摺動面５０ｂ、６０ｂどうしで摺動可能に嵌合している。

　弁箱１０の内面に対向（当接）する可動弁枠部６０の表面には、第１開口部１２ａの形状に対応して円環状に形成された、例えば、Ｏリング等からなる第１シール部６１（主シール部）が設けられている。
　この第１シール部６１は、閉弁時に可動弁部４０が第１開口部１２ａを覆っている状態で、第１開口部１２ａの周縁となる弁箱１０の内面１５ａに接触し、可動弁枠部６０及び弁箱１０の内面によって押圧される。これによって、第１空間は第２空間から確実に隔離される（仕切り状態が確保される）。

［メインバネ７０（第１付勢部）］
　メインバネ７０（第１付勢部）は、可動弁部４０の最外周となる第１周囲領域４０ａに隣接した第１周囲領域４０ｂに配置されている。メインバネ７０においては、可動弁枠部６０を第１開口部１２ａに向けて（Ｂ１方向）に押圧するように、同時に、可動弁板部５０を第２開口部１２ｂに向けて（Ｂ２方向）に押圧するように復元力が生じている。これにより、可動弁部４０による弁閉状態において、メインバネ７０は、可動弁板部５０に力を加え（付勢し）、第２開口部１２ｂの周囲に位置する弁箱１０の内面１５ｂに向けて可動弁板部５０を押圧して内面１５ｂと可動弁板部５０の反力伝達部５９とを当接させている。更に、メインバネ７０は、同時に、可動弁枠部６０に力を加え（付勢し）、第１開口部１２ａの周囲に位置する弁箱１０の内面１５ａに向けて可動弁枠部６０を押圧して内面１５ａと可動弁枠部６０の第１シール部６１とを当接させている。

　第１実施形態においては、メインバネ７０は、可動弁板部５０に第２開口部１２ｂ側を向いて開口するよう設けられた凹部５０ａとこの凹部５０ａの対向位置に可動弁枠部６０に第１開口部１２ａ側を向いて開口するよう設けられた凹部６０ａとに嵌め込まれて設けられた弾性部材（例えば、スプリング、ゴム、密閉されたエアダンパーなど）である。
　メインバネ７０は、第一端と第二端とを有する。第一端は、可動弁板部５０の凹部５０ａの底面に当接している。第二端は、可動弁枠部６０の凹部６０ａの天井面に当接している。また、図１に示すように、円環状の可動弁枠部６０において、複数の第１付勢部７０が周方向に沿って等間隔に設けられている。

　メインバネ７０を構成する弾性部材の自然長は、可動弁枠部６０のシール部６１と、可動弁板部５０の反力伝達部５９とが、それぞれ、弁箱１０の内面１５ａと内面１５ｂとを押圧する可動弁部４０の最大厚さ寸法となった状態における可動弁板部５０の凹部５０ａの底面と可動弁枠部６０の凹部６０ａの天井面との間の距離よりも大きい。このため、可動弁板部５０の凹部５０ａの底面と可動弁枠部６０の凹部６０ａの天井面とによって圧縮されつつ凹部５０ａおよび凹部６０ａの内部に配置されているメインバネ７０においては、弾性復元力（延伸力，付勢力）が生じている。この弾性復元力が作用することにより、可動弁枠部６０がＢ１方向に、同時に、可動弁板部５０がＢ２方向に摺動しながら、第１シール部６１および反力伝達部５９が弁箱１０の内面に当接して押圧され、閉弁動作が行われる。

　また、メインバネ７０は、第１シール部６１に対する押圧力を効率よく伝達して仕切弁１００の閉塞を確実にするために、第１シール部６１に近接した第２周囲領域４０ｂに配置される。具体的には、第１シール部６１直下のすぐ外周位置には後述する反力伝達部５９となる突条が位置するのに対し、可動弁板部５０の径方向位置として、この第１シール部６１を挟んだ突条５９（反力伝達部）の反対側位置にメインバネ７０は位置される。これにより、メインバネ７０の付勢力は効率よく可動弁枠部６０のシール部６１と可動弁板部５０の反力伝達部５９とに伝達され、第１シール部６１の変形による弁の密閉の確実性を向上することができる。
　また、メインバネ７０は、第１シール部６１を直接押圧できるようにするために、第１シール部６１の直下付近とされる第２周囲領域４０ｂに配置されることもできる。この場合、仕切弁においては、第１付勢部７０を可動弁枠部６０に設けられているので、第１付勢部７０を第１シール部６１の直下に位置させることが可能である。

　このように、仕切弁１００においては、閉弁動作及び開弁動作を行うアクチュエータとして、閉弁動作を行うメインバネ７０と、開弁動作を行う第２付勢部８０（後述）とが近接して設けられている。この構成において、メインバネ７０及び第２付勢部８０は、第１シール部６１に近い可動弁部４０の周囲領域（第１周囲領域４０ａ及び第２周囲領域４０ｂ）において、互いに近接するように径方向に隣接して配置されている。また、メインバネ７０は、第１シール部６１の直下付近に位置している。つまり、仕切弁１００の構造は、第１シール部６１、反力伝達部５９、メインバネ７０の位置関係が、作用点及び支点が存在するモーメント荷重を加える構造として効率よくシールを行うことができるように構成される。

　さらに、メインバネ７０の付勢力が可動弁板部５０と可動弁枠部６０とを拡げる方向、つまり、可動弁部４０の厚さを増大して、可動弁枠部６０のシール部６１と可動弁板部５０の反力伝達部５９とを弁箱１０の内面１５ａ，１５ｂに押圧する方向に設定されている。このため、停電等によってユーティリティ設備から仕切弁１００を備える装置への電力供給（エネルギー供給）が停止した場合であっても、メインバネ７０において生じる機械的な力のみで確実に仕切弁１００を閉じることができる。このため、フェイルセーフな仕切弁を確実に実現できる。
　一方、仕切弁４０の厚さを減じる付勢が行われている構造、あるいは、ユーティリティ設備から供給される電力等のエネルギーによって閉弁動作が行われている構造を有する仕切弁においては、ユーティリティ設備から装置へのエネルギー供給が停止した場合に閉弁動作を行うことができない場合がある。このため、このような構造においては、フェイルセーフな仕切弁を実現できない。

［エアシリンダ８０（第２付勢部）］
　エアシリンダ８０は、可動弁部４０の最外周となる第１周囲領域４０ａに配置されている。エアシリンダ８０においては、エアシリンダ８０に駆動流体として圧縮空気が供給された際に、可動弁枠部６０を第２開口部１２ｂに向けて（Ｂ２方向）移動させる力（付勢力、圧縮空気に起因する力）が生じる。同時に、可動弁板部５０を第１開口部１２ａに向けて（Ｂ１方向）に移動させる力（付勢力、圧縮空気に起因する力）が生じる。これによって、メインバネ７０の付勢力に打ち勝って、第１開口部１２ａの周囲に位置する弁箱１０の内面１５ａから可動弁枠部６０を離間させるのと同時に、第２開口部１２ｂの周囲に位置する弁箱１０の内面１５ｂから可動弁板部５０を離間させる。
　これにより、後述する補助バネ９０（第３付勢部）の付勢力により体４０は流路Ｈ方向において弁箱１０の厚さ中央位置となりの弁箱１０内で回動可能な状態となる。

　なお、可動弁部４０において、第１周囲領域４０ａは、円環状である可動弁枠部６０のシール部６１と可動弁板部５０の反力伝達部５９との内側に位置する。同時に、可動弁部４０において、第２周囲領域４０ｂは、第１周囲領域４０ａの内側に位置する。即ち、可動弁部４０の径方向において、メインバネ７０は、エアシリンダ８０の内側に配置されている。言い換えれば、エアシリンダ８０は、可動弁板部５０と可動弁枠部６０とが摺動する方向（流路Ｈ方向）に交差する方向においてメインバネ７０に隣接している。つまり、エアシリンダ８０は、可動弁部４０の径方向において、シール部６１および反力伝達部５９、と、メインバネ７０との間に位置する。

　第１実施形態においては、エアシリンダ８０は、可動弁板部５０と可動弁枠部６０との間に設けられた１つのエアシリンダ（空隙）である。
　具体的に、このエアシリンダ８０は、可動弁枠部６０の第１開口部１２ａに向けて開口した凹部６０ｄと可動弁板部５０の第２開口部１２ｂに向けて突出した凸部５０ｄとが勘合した状態で形成され、これら環状の凹部６０ｄと環状の凸部５０ｄとが摺動するように形成されている。また、このエアシリンダ８０は、可動弁枠部６０の周縁部に形成された円環状の空間、および、可動弁板部５０の最外周に形成された突条（環状凸部）からなり、１つの円環シリンダ（円環空隙）として機能する。また、言い換えると、円環シリンダは、流路Ｈを囲むように形成されている。

　エアシリンダ８０に駆動用流体である圧縮空気が供給されると、第２付勢部８０の体積を膨張させる膨張力（付勢力）がＢ１，Ｂ２方向に生じる。膨張力の大きさがメインバネ７０に生じる復元力よりも大きい場合、この膨張力がメインバネ７０の付勢力に打ち勝ってメインバネ７０が圧縮され、可動弁板部５０がＢ１方向に可動弁枠部６０がＢ２方向に摺動して弁体４０の厚さ方向寸法が縮小して、第１シール部６１が弁箱１０の内面１５ａから離間し、同時に、反力伝達部５９が弁箱１０の内面１５ｂから離間して、開弁動作が行われる。この際、円環状の凹部６０ｄと凸部５０ｄとが摺動することで、可動弁板部５０と可動弁枠部６０との移動する方向が流路方向のみに規制されるとともに、可動弁板部５０と可動弁枠部６０とが、シール部６１および反力伝達部５９が弁箱１０内面１５ａ、１５ｂに当接した状態から平行移動するように位置規制される。つまり、このエアシリンダ８０は可動弁板部５０と可動弁枠部６０との相対移動方向とその姿勢を規制することができる。

［補助バネ９０（第３付勢部）］
　補助バネ９０は、中立弁部３０と可動弁枠部６０との間に設けられ、弁箱１０の流路方向ほぼ中央に位置する中立弁部３０に対して、弁体４０の厚さ寸法が縮小した際に、弁体４０を弁箱１０の中央よりに付勢する。
　補助バネ９０は、中立弁部３０の外周位置（図２，図４では右側位置）に設けられた開口３０ａを貫通して可動弁枠部６０に接続された棒状の位置規制部６５に設けられている。補助バネ９０もメインバネ７０と同様に弾性部材（例えば、スプリング、ゴム、密閉されたエアダンパーなど）である。
　補助バネ９０は、中立弁部３０開口３０ａの第１開口部１２ａ側に設けられたフランジ部３０ｂと、位置規制部６５の先端６５ａとに係止されて、可動弁枠部６０を第２開口部１２ｂ側に移動するＢ２に向かう向きに付勢されている。

　補助バネ９０は、この中立弁部３０より第１開口部１２ａ側に位置する可動弁枠部６０を第２開口部１２ｂに向けて付勢して、第１開口部１２ａの周囲に位置する弁箱１０の内面１５ａに可動弁枠部６０のシール部６１が当接している場合であって、エアシリンダ８０に駆動用流体である圧縮空気が供給された際に、可動弁枠部６０が第１開口部１２ａの周囲に位置する弁箱１０の内面１５ａから離間するように付勢している。
　これにより、エアシリンダ８０に圧縮空気が供給された際に、弁体４０が弁箱１０の流路方向ほぼ中央に向かって移動し、最終的に、弁体４０が弁箱１０の流路方向ほぼ中央に位置するように弁体の姿勢が制御される。また、補助バネ９０の付勢力は、メインバネ７０の付勢力とエアシリンダ８０の付勢力の差よりも遙かに小さい。つまり、弁体の厚さ寸法を変化させるために補助バネ９０は機能するため、弁閉状態を実現するための能動的バネ、あるいは、アクチュエータとしてのメインバネ７０やエアシリンダ８０に比べて、補助バネ９０の付勢力は、極めて小さくてよい。

　このように、仕切弁１００においては、閉弁動作及び開弁動作を行うアクチュエータとして、弁体４０厚さを増大する動作を行うメインバネ７０と、弁体４０厚さを縮小する動作を行うエアシリンダ８０と、弁体４０を流路方向において弁箱１０の中央位置側に配置させるように弁体４０の姿勢を制御する補助バネ９０と、が設けられている。
　この構成において、メインバネ７０及びエアシリンダ８０は、第１シール部６１に近い可動弁部４０の周囲領域において、互いに近接するように並列に配置されている。エアシリンダ８０は、可動弁板部５０と可動弁枠部６０との間に設けられた１つの円環シリンダを構成している。この構成によれば、一方向に圧縮空気第２付勢部８０に供給する供給路４１が１つ設けられていれば、圧縮空気を円環状のエアシリンダ８０に沿ってこの円環シリンダの内部に供給することができ、弁体４０の厚さ寸法の伸縮（開弁動作及び閉弁動作）を行うことができるとともに、この動作中において補助バネ９０により弁体４０の伸縮に伴う弁体４０の流路方向位置を弁箱１０の中央付近に容易に維持することができる。このため、簡易かつコンパクトな構成を有するアクチュエータを実現することができる。

　また、エアシリンダ８０は、開弁動作を行うために用いられるので、第２付勢部８０において発生する力の大きさ（出力）として、第１付勢部７０を圧縮することができる大きさ（出力）があれば十分である。

　第１実施形態においては、可動弁板部５０と可動弁枠部６０とによって１つの厚さ方向寸法を可変な可動弁部４０が構成されているので、２枚の可動弁部を設ける必要がなく、簡単かつコンパクトな構造を有する可動弁部を実現することができる。
　また、中立弁部３０にはアクチュエータの力、特に弁閉状態を維持するように弁体４０を密閉する際にかかる力が作用しない。このため、中立弁部３０には振り子弁として弁体を揺動するに足る強度があれば充分である。また、回転軸２０にもアクチュエータの力、特に弁閉状態を維持するように弁体４０を密閉する際にかかる力が作用しない。このため、回転軸２０振り子弁として弁体を揺動するに足る強度があれば充分である。同時に、回転軸２０に弁密閉するためのモーメントが必要な構造に比べて、弁体４０の揺動機構の出力を抑えることができるので、この回転軸２０の回動機構を小型化することができる。
　この構造においては、剛性として、上記中立弁部３０の強度に加えて、退避位置と弁開閉位置の間で可動弁部４０を回動させる際にその自重を支える強度があれば十分である。

　図２は、可動弁板部５０と可動弁枠部６０とが互いに嵌合されている部分および中立弁部３０と可動弁板部５０とが互いに嵌合されている部分を示す拡大縦断面図であり、第１付勢部７０及びガイドピン６２が設けられた部位を示している。

［第２シール部５１ａ，５１ｂ（２重シール部）及び第３シール部５２ａ，５２ｂ（２重シール部）］
　可動弁板部５０の環状凸部５０ｄ（突条）の外周面には、可動弁枠部６０の環状凹部６０ｄの内周面に当接し、可動弁板部５０と可動弁枠部６０との間をシールする２重シール部として、Ｏリング等の円環状の第２シール部５１ａ，５１ｂ及び第３シール部５２ａ，５２ｂが設けられている。

　具体的には、可動弁板部５０の環状凸部５０ｄ（突条）の径方向外側に位置する第１外周面５０ｆに第２シール部５１ａ，５１ｂが設けられている。また、径方向において第１外周面５０ｆの内側である第２内周面５０ｇに、第３シール部５２ａ，５２ｂが設けられている。第２シール部５１ａ，５１ｂは、可動弁枠部６０の第１内周面６０ｆに当接し、第３シール部５２ａ，５２ｂは、可動弁枠部６０の第２外周面６０ｇに当接する。
　第２シール部５１ａ，５１ｂは、圧力が高い空間であるエアシリンダ８０と、圧力が低い空間等であって第１開口部１２ａに近い中空部１１とを仕切り、仕切り状態を確保する。同様に、第３シール部５２ａ，５２ｂは、圧力が高い空間であるエアシリンダ８０と、圧力が低い空間等であって第２開口部１２ｂに中空部１１とを仕切り、仕切り状態を確保する。

　第２シール部５１ａ，５１ｂは、駆動用の圧縮空気が供給されて圧力が高い空間であるエアシリンダ８０と、例えば圧力が低い空間である第１開口部１２ａに連通する第１空間側とを遮断し、この仕切り状態を確保することができる。同様に、第３シール部５２ａ，５２ｂは、圧力が高い空間であるエアシリンダ８０と、圧力が低い空間であって第２開口部１２ｂに近い第２空間側とを仕切り、仕切り状態を確保することができる。

［ガイドピン６２］
　ガイドピン６２は、可動弁枠部６０に固設されて流路方向に立設された太さ寸法均一の棒状体とされ、エアシリンダ８０内を貫通し、可動弁板部５０の環状凸部５０ｄ（突条）に形成された孔部５０ｈに嵌合している。
　このガイドピン６２は、可動弁板部５０と可動弁枠部６０とが摺動する方向が符号Ｂ１，Ｂ２に示された方向からずれないように、かつ、可動弁板部５０と可動弁枠部６０とが摺動した際にもその姿勢が変化せずに平行移動を行うように、これらの位置規制を確実に誘導する。

　これによって、可動弁板部５０と可動弁枠部６０とが、符号Ｂ１，Ｂ２に対して斜め方向に移動することを防止している。同時に、可動弁枠部６０は、弁閉状態としてシール部６１と反力伝達部５９とがそれぞれ弁箱１０の内面１５ａ，１５ｂに当接した状態に対して、可動弁板部５０と可動弁枠部６０との流路方向位置が変化した場合でも、これらが平行状態を維持して平行移動し、可動弁板部５０と可動弁枠部６０とが傾いてしまうことを防止している。

　この構造においては、可動弁板部５０と可動弁枠部６０とが互いに位置決めされつつ、符号Ｂ１及びＢ２で示された方向に平行状態を維持したまま相対的に移動し、閉弁動作及び開弁動作を行うことができる。これによって、開弁動作においては、可動弁枠部６０に設けられた第１シール部６１に均一に押圧力を生じさせ、リークが抑制されたシール構造を実現できる。

　また、このようにガイドピン６２を備えた構造においては、仕切弁１００が真空装置に取り付けられる姿勢が決められていない場合、即ち、仕切弁１００が取り付け方向が自由である場合に、弁体４０の重量の負荷が第２シール部５１ａ，５１ｂ及び第３シール部５２ａ，５２ｂに局所的に加わることを防止することができる。例えば、可動弁板部５０と可動弁枠部６０とが摺動する方向に対して直角に重力が作用するように仕切弁１００が取り付けられている場合、摺動する部材である可動弁板部５０と可動弁枠部６０との重量がガイドピン６２に加わる。このため、第２シール部５１ａ，５１ｂ及び第３シール部５２ａ，５２ｂ（Ｏ－ｒｉｎｇ）に可動弁板部５０と可動弁枠部６０との重量が直接的に加わることを防止される。これにより、仕切弁１００が取り付けられる姿勢がいかなる姿勢であっても、シール部の寿命が短くならず、リークを防止する効果を確保・維持することができる。

　ガイドピン６２と孔部５０ｈとの摺動面の面積を低減するため、また、仕切弁１００の外部である第１空間及び第２空間からガイドピン６２を隔離するために、ガイドピン６２は、エアシリンダ８０内を貫通するように配置されている。
　また、このように、エアシリンダ８０内にガイドピン６２を配置することにより、可動弁板部５０と可動弁枠部６０とを互いに滑らかに摺動させることができる。
　なお、ガイドピンの強度が十分に得られていれば、大口径を有する仕切弁においても、可動弁部６０が摺動する方向がずれることが防止される。また、ガイドピン６２は、特殊な形状を有する可動弁部においても流路と直行する面内配置を設定して荷重を適宜分散することでより一層開閉動作の良好な仕切弁として適用可能である。

［ワイパー５３，５４］
　可動弁板部５０の環状凸部５０ｄ（突条）の径方向外側に位置する第１外周面５０ｆには、可動弁部６０の内周面に当接する円環状のワイパー５３が設けられている。同様に、可動弁板部５０の環状凸部５０ｄ（突条）の径方向において第１外周面５０ｆの内側である第２内周面５０ｇには、可動弁部６０の外周面に当接する円環状のワイパー５４が設けられている。

　ワイパー５３は、第２シール部５１ａ，５１ｂと同様にして、可動弁枠部６０の第１内周面６０ｆに当接し、ワイパー５４は、第３シール部５２ａ，５２ｂと同様にして、可動弁枠部６０の第１外周面６０ｇに当接する。
　ワイパー５３，５４、第２シール部５１ａ，５１ｂ、第３シール部５２ａ，５２ｂは、いずれも、可動弁板部５０の環状凸部５０ｄ（突条）に配置されている。第２シール部５１ａは、第１開口部１２ａ（第１空間）に近い位置に配置されている。第３シール部５２ａは、第２開口部１２ｂ（第２空間）に近い位置に配置されている。

　これらのワイパー５３，５４は、開弁動作及び閉弁動作によって環状の凹部６０ｄと環状の凸部５０ｄとが摺動するエアシリンダ８０において、その可動弁枠部６０の凹部６０ｄの内周面を潤滑あるいは清掃し、上記摺動によって発生するダスト及びエアシリンダ８０から発生するダストを第１空間及び第２空間に放出させない機能を有する。
　また、ワイパー５３，５４を構成する部材（材料）として、例えば、スポンジ状のポーラスな弾性体を選択すれば、その部材の内部に潤滑油を浸透（保持）させておくことができる。
　これにより、第２シール部５１ａ，５１ｂ及び第３シール部５２ａ，５２ｂによってシールされるシール面に一定の膜厚を有する薄い油膜が形成された状態を維持することが可能となる。つまり、ワイパー５３，５４は、余剰な油膜を拭き取り、油膜が枯渇した際には一定の膜厚を有する油膜を塗布する。

［中間大気室５５，５６］
　第２シール部５１ａ，５１ｂによって仕切られたエアシリンダ８０の表面には、大気圧の空間（空隙）である中間大気室５５が設けられている。同様に、第３シール部５２ａ，５２ｂによって仕切られたエアシリンダ８０の表面には、大気圧の空間（空隙）である中間大気室５６が設けられている。
　具体的には、可動弁板部５０の環状凸部５０ｄ（突条）の外周面５０ｆで第２シール部５１ａ，５１ｂによって仕切られた部分に中間大気室５５が設けられている。また、可動弁板部５０の環状凸部５０ｄ（突条）の内周面５０ｇで第３シール部５２ａ，５２ｂによって仕切られた部分に中間大気室５６が設けられている。中間大気室５５は、可動弁枠部６０の第１内周面６０ｆと可動弁板部５０の外周面５０ｆに設けられた溝とで形成された空間であり、中間大気室５６は、可動弁枠部６０の第１外周面６０ｇと可動弁板部５０の第２内周面５０ｇに設けられた溝とで形成された空間である。

　そして、これらの中間大気室５５，５６は、後述する供給路４１と同様の構成とされ図示しない連絡路によって仕切弁１００の外部に連通され、エアシリンダ８０の加圧中に１重目のシールが破れた場合でも、圧縮空気（駆動用気体）を仕切弁外部に向けて逃がして、圧縮空気が弁箱１０内部に放出されてしまうことを防止するようになっている。
　つまり、加圧状態にあるエアシリンダ８０に対して、１重目のシールである第２シール部５１ｂが破れた際に、２重目のシールである第２シール部５１ａより気体供給側に、駆動用気体を仕切弁外部に向けて逃がす中間大気室５５および連絡路が設けられている。また、加圧状態にあるエアシリンダ８０に対して、１重目のシールである第３シール部５２ｂが破れた際に、２重目のシールである第３シール部５２ａより気体供給側に、駆動用気体を仕切弁外部に向けて逃がす中間大気室５６および連絡路が設けられている。
　これにより、圧縮空気が弁体１０内部に噴出して、仕切弁１００内部、および、第１空間、第２空間、に悪影響を及ぼすことを防止できる。

　同時にまた、これらの中間大気室５５，５６の圧力は、連絡路によりモニタ可能である。即ち、圧力計が中間大気室５５，５６の圧力を測定するように仕切弁１００外部に設けられるとともに連絡路によって接続されており、ユーザによってその圧力が監視される。
　例えば、第１開口部１２ａに近い第１空間が減圧空間であり、第２シール部５１ａが破損している場合においては、中間大気室５５の圧力は、大気圧よりも低くなる。
　また、圧縮空気が供給されているエアシリンダ８０内の圧力は大気圧よりも高くなるため、第２シール部５１ｂが破損している場合には、中間大気室５５の圧力は、大気圧よりも高くなる。
　同様に、第２開口部１２ｂに近い第２空間が減圧空間であり、第３シール部５２ａが破損している場合においては、中間大気室５６の圧力は、大気圧よりも低くなる。
　また、圧縮空気が供給されているエアシリンダ８０内の圧力は大気圧よりも高くなるため、第３シール部５２ｂが破損している場合には、中間大気室５６の圧力は、大気圧よりも高くなる。

　このように仕切弁１００は、中間大気室５５，５６の圧力をモニタする構造を有することができるので、例えば、中間大気室５５，５６の圧力値が大気圧よりも低い圧力であって閾値の圧力よりも低い場合、あるいは大気圧よりも高い圧力であって閾値の圧力よりも高い場合に、第２シール部５１ａ，５１ｂ及び第３シール部５２ａ，５２ｂの異常を検知することができる。
　例えば、中間大気室５５，５６中あるいは連絡路にアラーム装置が設けられた構造、或いは、仕切弁１００に接続された制御装置にアラーム装置が設けられた構造が採用されていれば、第２シール部５１ａ，５１ｂ及び第３シール部５２ａ，５２ｂの異常をアラームによって報知することができる。従って、第２シール部５１ａ，５１ｂ及び第３シール部５２ａ，５２ｂが破損し、内部リークが仕切弁１００に発生し、メンテナンスが必要であることをすぐに認識することができる。
　これにより、真空装置等の外部から検知することができない、仕切弁において発生した内部リーク等の不具合を確実に判断することができる。

［接続ピン部６９、供給路４１］
　仕切弁１００には、図に二点差線で示すように、エアシリンダ８０に駆動用気体を供給する供給路４１が形成され、この供給路４１は、可動弁枠部６０の躯体内部、および、中立弁部３０の躯体内部、回転軸１０内部を経由して、仕切弁１００の外部に設けられた図示しない駆動用気体供給手段に連通するよう設けられている。
　この供給路４１には、可動弁枠部６０と中立弁部３０との流路方向位置が変化した際にも、可動弁枠部６０と中立弁部３０との間で駆動用気体を供給可能に摺動接続する接続ピン部６９が設けられる。

　接続ピン部６９は、中立弁部３０に流路方向と平行に穿孔された円形断面の孔部３８と、この孔部３８に回動可能に勘合された棒状の接続ピン６８とからなっている。孔部３８の内面３８ａは、開口側の内面３８ａに比べて底部側の内面３８ｂが縮径され、これに対応して、接続ピン６８の径寸法も基部６８ａに対して先端６８ｂが縮径している。そして、この径寸法が変化する部分にそれぞれ段差３８ｃ、段差６８ｃが形成されている。

　接続ピン部６９は、図に二点差線で示すように、その中心軸線付近に供給路４１が形成されて管状となっており、可動弁枠部６０内部の供給路４１が連通されている。また、接続ピン６８の先端面６８ｄａには供給路４１が開口しており、この先端面６８ｄと孔部３８の底部３８ｄ付近とで形成される加圧空間６９ａには、中立弁部３０躯体内に形成された供給路４１が連通されている。
　駆動用気体供給手段から供給された圧縮空気は、中立弁部３０内部の供給路４１を介して空間６９ａに噴出し、接続ピン部６９内部の供給路４１および可動弁枠部６０内部の供給路４１を介してエアシリンダ８０に供給される。

　接続ピン部６９においては、接続ピン６８の外周面６８ａには孔部３８の内周面３８ａが当接するとともに、接続ピン６８の外周面６８ｂには孔部３８の内周面３８ｂが当接している。
　接続ピン６８には、孔部３８内で接続ピン６８が軸線方向（流路方向）に移動した場合でも、加圧面となる先端面６８ｄと底面３８ｄとの間ではなく、摺動方向となる面に、駆動用の圧縮空気が供給されて圧力が高い空間である加圧空間６９ａと、例えば圧力が低い空間である第２開口部１ｂに連通する第２空間側とを遮断する２重シール部が設けられる。
　シール部としては、加圧空間６９ａと中空部１１との仕切り状態を確保できる部材が使用される。

　具体的には、接続ピン６８には、接続ピン６８と孔部３８との間をシールする２重シール部として、Ｏリング等とこれを埋設する周設溝とされる円環状の太シール部６８ｆが設けられるとともに、Ｏリング等とこれを埋設する周設溝とされる円環状の小シール部６８ｇが外周面６８ｂに設けられている。
　同時に、段差６８ｃおよび段差３８ｃで形成された円環状の中間大気室６９ｃが、この２重シールの間にあり、図示しない連絡路４２に連通されることで、圧縮空気が弁箱１０内部に噴出して、仕切弁１００内部、および、第１空間、第２空間、に悪影響を及ぼすことを防止できる。

　特に、加圧面となるとともにその距離が変化する先端面６８ｄと底面３８ｄとの間でシールするのではなく、直接的に加圧面とはならずかつ摺動面であり距離が変化しない外周面６８ａと内周面３８ａおよび外周面６８ｂと内周面３８ｂとの間でシールを行うので、より確実な密閉状態を維持することが可能となる。
　このようなシール部６８ｆ、６８ｇの構成によれば、上述したエアシリンダ８０における第２シール部５１ａ，５１ｂ（２重シール部）及び第３シール部５２ａ，５２ｂ（２重シール部）およびガイドピン６２の構成と同様の作用効果を奏することが可能となる。

　孔部３８内で接続ピン６８が軸線方向（流路方向）に移動中あるいは移動して流路方向の相対位置が変化した場合でも、駆動用気体供給手段から供給された圧縮空気は、中立弁部３０内部の供給路４１を介して空間６９ａに噴出し、この体積の変化した空間６９ａを介して、接続ピン部６９内部の供給路４１および可動弁枠部６０内部の供給路４１を介してエアシリンダ８０に安定的に供給される。

　以上のように、第１実施形態においては、流路方向に互いに離間接近可能な可動弁板部５０と可動弁枠部６０とによって構成された可動弁部４０が設けられている。可動弁部４０には、可動弁板部５０と可動弁枠部６０とを流路方向外側に向けて付勢するメインバネ７０が設けられている。可動弁部４０には、可動弁板部５０と可動弁枠部６０とを中空部１１の流路方向中央位置側に向けて移動させるエアシリンダ８０が設けられている。可動弁枠部６０を中立弁部３０に接近する方向に付勢する補助バネ９０が設けられている。この構成によって、可動弁板部５０と可動弁枠部６０とを弁箱の内面１５ａ、１５ｂに押圧して、シール部６１及び反力伝達部５９とで確実に弁閉塞を行うことができる。
　また、可動弁板部５０と可動弁枠部６０とを中空部１１の流路方向中央位置側に向けて移動させることで、弁箱１０に弁体４０が接触しないようにして回動させ、回動以外の動作が必要な機構に比べて小型で出力の小さい駆動機構によって退避位置まで弁体４０を移動することができる。
　この構成においては、１つの可動弁部４０と３つの付勢部７０，８０，９０とによって弁体を形成することができる。また、可動弁部４０の周囲領域に配置されたメインバネ７０の復元力によって可動弁板部５０と可動弁枠部６０とを弁箱１０の内面に直接押し付けて、確実に閉弁できる。同様に、可動弁部４０の周囲領域に配置されたエアシリンダ８０に供給された圧縮空気の作用によって可動弁板部５０と可動弁枠部６０とを弁箱１０の内面から離間させて、確実に回動可能状態として開弁できる。従って、第１実施形態においては、簡単な構造を有し、高い信頼性で仕切り動作を行うことができる仕切弁を実現することができる。

（第２実施形態）
　図７は、本発明の第２実施形態における仕切弁の構成を示す縦断面図であり、固定弁部と可動弁部とが嵌合されているシリンダ付近の要部拡大図である。
　図７において、図１ないし図６に示した第１実施形態と同一の部材には同一符号を付して、その説明は省略または簡略化する。

　第１実施形態においては、可動弁板部５０の外周にＵ字形状のＵ字部が形成されており、可動弁枠部６０の内周に逆Ｕ字形状の逆Ｕ字部が形成されている。また、可動弁板部５０のＵ字部と可動弁枠部６０の逆Ｕ字部とが互いに嵌合するように、可動弁板部５０及び可動弁枠部６０が設けられている。
　一方、第２実施形態の可動弁部４０の構造においては、図７に示すように可動弁板部５０の外周に形成された外周クランク部と可動弁枠部６０の内周に形成された内周クランク部とが嵌合されている。

　メインバネ７０を構成する弾性部材の自然長は、凹部６０ａの深さよりも大きい。このため、凹部６０ａの天井面と可動弁板部５０とによって圧縮されつつ凹部６０ａ内に配置されている第１付勢部７０においては、弾性復元力（延伸力，付勢力）が生じている。この弾性復元力が作用することにより、可動弁部６０がＢ１方向に摺動しながら、第１シール部６１が弁箱１０の内面に当接して押圧され、閉弁動作が行われる。

　メインバネ７０は、第１シール部６１を直接押圧できるようにするために、第１シール部６１の直下に配置されることが望ましい。
　第２実施形態においては、メインバネ７０が可動弁枠部６０に設けられているので、メインバネ７０を第１シール部６１の直下に位置させることが可能である。

　このような第２実施形態においては、閉弁動作及び開弁動作を行うアクチュエータとして、閉弁動作を行うメインバネ７０と、開弁動作を行うエアシリンダ８０とが設けられている。この構成において、メインバネ７０及びエアシリンダ８０は、第１シール部６１に近い可動弁部４０の周囲領域において、互いに近接するように並列に配置されている。
　具体的には、弁体４０の最外周である第１周囲領域４０ａにメインバネ７０が設けられ、第１周囲領域４０ａに隣接した第２周囲領域４０ｂにはエアシリンダ８０が配置される。また、メインバネ７０は、第１シール部６１の直下に位置している。
　この構造においては、メインバネ７０は第１シール部６１を直接押圧することができ、第１シール部６１にほぼ垂直方向に荷重を直接加えることができる。
　つまり、仕切弁１００の構造は、作用点及び支点が存在するモーメント荷重を加える構造ではない。このため、梃子に相当する部分の構造部材（強度）は必要なく、アクチュエータの構造を簡易化することができる。また、可動弁部６０に要求される剛性として、可動弁部６０の自重を支えることができる強度があれば十分である。

　第２実施形態の構造においては、可動弁枠部６０の第１シール部６１の直下にメインバネ７０が配置され、可動弁板部５０と可動弁枠部６０との間に設けられた１つの円環シリンダによって第２付勢部８０（エアシリンダ）が形成されている。この構造においては、アクチュエータの構成も簡単にすることにでき、閉弁動作及び開弁動作の信頼性を向上させることができる。
　また、このように可動弁部４０の周囲領域にアクチュエータが配置された構成が大口径を有する仕切弁に適用された場合であっても、上述した同様の構造によって確実に閉弁動作及び開弁動作を行うことができ、逆圧が作用した場合においても同様の動作ができる。

　この第２実施形態においては、第３シール部５２ｂ，中間大気室５６，第３シール部５２ａ，及びワイパー５４の位置が、第１実施形態とは異なっている。
　具体的に、第１実施形態においては、第１外周面５０ｆとは反対の面である内側面５０ｇに第３シール部５２ｂ，中間大気室５６，第３シール部５２ａ，及びワイパー５４が設けられているが、第２実施形態においては、第２外周面５０ｊに第３シール部５２ｂ，中間大気室５６，第３シール部５２ａ，及びワイパー５４が設けられている。

　可動弁板部５０の外周クランク部において、径方向外側に位置する第１外周面５０ｆに第２シール部５１ａ，５１ｂ、ワイパー５３が設けられている。また、径方向において第１外周面５０ｆの内側であって第２シール部５１ａ，５１ｂの下方に位置する第２外周面５０ｊに、第３シール部５２ａ，５２ｂ、ワイパー５４が設けられている。第２シール部５１ａ，５１ｂは、可動弁枠部６０の第１内周面６０ｊに当接し、第３シール部５２ａ，５２ｂは、可動弁部６０の第１内周面６０ｊの下方に位置する第２内周面６０ｋに当接する。
　第２シール部５１ａ，５１ｂ、ワイパー５３、中間大気室５５は、圧力が高い空間であるエアシリンダ８０と、圧力が低い空間等であって第１開口部１２ａに近い第１空間とを仕切り、仕切り状態を確保する。同様に、第３シール部５２ａ，５２ｂ、ワイパー５４、中間大気室５６は、圧力が高い空間であるエアシリンダ８０と、圧力が低い空間等であって第２開口部１２ｂに近い第２空間とを仕切り、仕切り状態を確保する。

　これらのワイパー５３，５４は、開弁動作及び閉弁動作によって摺動する可動弁枠部６０の内周面を潤滑あるいは清掃し、上記摺動によって発生するダスト及びエアシリンダ８０から発生するダストを第１空間及び第２空間に放出させない機能を有する。
　また、ワイパー５３，５４の内部に潤滑油を浸透（保持）させておくことができる。
　これにより、第２シール部５１ａ，５１ｂ及び第３シール部５２ａ，５２ｂによってシールされるシール面に一定の膜厚を有する薄い油膜が形成された状態を維持することが可能となる。つまり、ワイパー５３，５４は、余剰な油膜を拭き取り、油膜が枯渇した際には一定の膜厚を有する油膜を塗布する。

　以上のように、第２実施形態によれば、上記第１実施形態と同様の効果が得られる。更に、第２実施形態においては、閉弁動作を行うメインバネ７０と、開弁動作を行うエアシリンダ８０とを、第１シール部６１に近い可動弁部４０の周囲領域に配置しているので、弁箱１０にアクチュエータを設ける必要がなく、簡単な構成を有する仕切弁を実現できる。

（第３実施形態）
　図８及び図９は、本発明の第３実施形態の仕切弁の構成を説明する図である。図８は仕切弁の横断面図である。図９は弁体が弁開閉位置に配置されている場合の仕切弁の縦断面図である。
　図８及び図９において、図１ないし図６に示した第１実施形態および図７に示した第２実施形態と同一部材には同一符号を付して、その説明は省略または簡略化する。

　第３実施形態の仕切弁１０００は、弁箱１０ａと、弁棒２５と、中立弁部３０と、可動弁部４０と、第１付勢部７０（スプリング）と、第２付勢部８０（エアシリンダ）とを備えている。中立弁部３０及び可動弁部４０は、弁体を構成している。また、可動弁部４０は、可動弁板部５０と可動弁枠部６０とによって構成されている。

［直動型仕切弁］
　第３実施形態の仕切弁１０００は、直動型仕切弁である。仕切弁１０００においては、上記第１実施形態の振り子型の仕切弁１００を構成する弁体構造が、直動型仕切弁に適用されている。
　ただし、上記実施形態１においては、第１開口部１２ａ，第２開口部１２ｂ，及び可動弁部４０（可動弁板部５０および可動弁枠部６０）の形状は、同心円形状であったが、第３実施形態においては、これらの形状の形状は、角部に丸みを有する略正方形である。
　また、弁体を直動させるため、弁箱１０ａの横断面形状は略長方形である。中立弁部３０は、切り替え手段としての弁棒２５の端部に固設されている。

　圧縮空気が供給路４１に供給されて、可動弁板部５０と可動弁枠部６０との厚さ寸法が収縮し、弁箱１０の内面１５ａ、１５ｂから可動弁部４０が離間した状態で、符号Ｄ１で示された向きに直進するように弁棒２５が駆動すると、この駆動に従って中立弁部３０も向きＤ１に沿って直動する。このように中立弁部３０が直動することにより、流路Ｈが設けられていない退避位置から流路Ｈの弁開位置に可動弁部４０が挿入される。
　そして、エアシリンダ８０の動作を切断しメインバネ７０が作動することにより（閉弁動作）、可動弁部４０の厚み寸法が増大して可動弁部４０は流路Ｈを閉鎖する。逆に、エアシリンダ８０が作動することにより可動弁部４０を開いた後（開弁動作）に、弁棒２５を向きＤ２に直進するように駆動すると、これに従って中立弁部３０も向きＤ２に直動する。
　これにより、可動弁部４０は上記弁開閉位置から上記退避位置に退避する。

（第４実施形態）
　図１１は、本発明の第４実施形態における仕切弁の構成を示す縦断面図であり、中立弁部と可動弁部（可動弁枠部）とが接続されている接続ピン部付近の要部拡大図である。
　図１１において、図１ないし図６に示した第１実施形態と同一の部材には同一符号を付して、その説明は省略または簡略化する。

　第１実施形態においては、接続ピン部６９として、可動弁枠部６０と一体とされた接続ピン６８が形成されていたが、第４実施形態の接続ピン部６９としては、可動弁枠部６０に接続されたフローティングピン６８Ａ（接続ピン）が貫通孔６７に勘合されている。
　フローティングピン６８Ａは、図１１に示すように、孔部３８に回動可能かつ軸方向に摺動可能として勘合されている図示下部側が、上述した第１実施形態と略同等の構成とされている。

　第４実施形態の接続ピン部６９は、可動弁枠部６０に流路方向と平行に穿孔された円形断面の貫通孔６７を有し、この貫通孔６７にフランジ部６８Ａａを有する棒状のフローティングピン６８Ａが回動可能かつ半径方向に微動可能で、かつ傾斜は最小限になる様に勘合されている。貫通孔６７の内面６７ａは、フランジ部６８Ａａの径寸法に対応して可動弁枠部６０に対向した孔部３８よりも拡径したフランジ内面６７ａを有し、この開口側のフランジ内面６７ａに比べて図示上となる貫通側のガス接続位置内面３８ｂが縮径され、このガス接続位置内面６７ｂに比べて図示上となる貫通側の支持位置内面６７ｃが縮径され、この支持位置内面６７ｃに比べて図示上となる貫通側の外側内面６７ｄが拡径されている。

　フローティングピン６８Ａは、その径寸法がこの貫通孔６７の径寸法に対応して、フランジ部６８Ａａに対して縮径したガス接続部６８Ａｂが縮径し、ガス接続部６８Ａｂに対して固定端６８Ａｃが縮径している。
　固定端６８Ａｃには、固定溝６８Ａｄが周設されて、この固定溝６８Ａｄに勘合されたワッシャ等の固定部材６８Ａｅが、貫通孔６７の外側面６７ｅに当接することでフローティングピン６８Ａの軸方向（流路方向）における内側方向（図示下方向）の移動を規制し位置を固定している。
　フランジ部６８Ａａの上側となるシール面６８Ａｆと、ガス接続部６８Ａｂの上側となるシール面６８Ａｇは、対向する段差面６７ｆおよび段差面６７ｇとの間に、Ｏリング等とされるシール部材６７ｈ、６７ｊが設けられている。

　フローティングピン６８Ａの外径寸法として、固定端６８Ａｃは支持位置内面６７ｃの内径寸法とほぼ等しく設定されているが、フランジ部６８Ａａおよびガス接続部６８Ａｂは、それぞれ、フランジ内面６７ａおよびガス接続位置内面３８ｂに対して、微少寸法小さく設定されて、フローティングピン６８Ａが可動弁枠部６０に対して径方向に僅かに遊びがある状態とされている。傾斜すると、シール部材６７ｈの潰し代が変化してしまう為、傾斜は最低限に抑え、径方向に微小変位するというのが技術的特徴である。このため、径方向の外力に応じて固定端６８Ａｃを支持位置として僅かに傾斜・移動する余地がある。

　フローティングピン６８Ａは、固定端６８Ａｃの固定部材６８Ａｅと、シール面６８Ａｆおよびシール面６８Ａｇのシール部材６７ｈ、６７ｊで対向する方向に可動弁枠部６０を挟持するように固定されている。これにより、フローティングピン６８Ａは、図示上側に押圧された状態で、軸線方向（貫通孔６７の長さ方向）には移動しないように可動弁枠部６０に固定されている。
　同時に、フローティングピン６８Ａは、シール部材６７ｈがシール面６８Ａｆと段差面６７ｆとに押圧されて変形するとともに、シール部材６７ｊがシール面６８Ａｇと段差面６７ｇとに押圧されて変形するようになっている。
　このように、フローティングピン６８ＡのＯリング等とされるシール部材６７ｈ、６７ｊが段差面６７ｆおよび段差面６７ｇに押圧されて変形することで、ガス接続部６８Ａｂ、および、接続位置内面６７ｂ部分がシールされる。

　孔部３８の底部３８ｄ付近には、供給路４１となる開口が設けられる。
　フローティングピン６８Ａの内部には、その先端面６８ｄに開口し軸方向に沿って中心に開けられるとともに、接続位置内面６７ｂに設けられた開口に対向する位置とされるガス接続部６８Ａｂの表面に開口する供給路４１が設けられて、加圧空間６９ａとエアシリンダ８０とを接続可能となっている。

　第４実施形態のフローティングピン６８Ａにおいては、摺動面と同じ方向となる内面６７ａとフランジ部６８Ａａの外周との間にシール部材は設けられていない。また、ガス接続位置内面６７ｂとガス接続部６８Ａｂとの間にシール部材は設けられていない。加圧面となる先端面６８ｄと平行な面（方向）との間、つまり、シール部材６７ｊがシール面６８Ａｇと段差面６７ｇとの間に設けられている。また、シール部材６７ｈがシール面６８Ａｆ（摺動方向と直行する面）と段差面６７ｆとの間に設けられている。このため、フローティングピン６８Ａが傾斜した場合や、フローティングピン６８Ａが僅かに径方向に移動した場合であっても、Ｏリング等とされるシール部材６７ｈ、６７ｊの潰し代は変化しない。したがって、このようにフローティングピン６８Ａが移動した場合、つまり、中立弁部３０と可動弁枠部６０とが、流路方向以外の相対位置変動した場合であっても、加圧されたガス接続部６８Ａｂ付近の供給路４１に対するシールを維持し、密閉が破れることがない。

　同時に、第４実施形態においては、太シール部６８ｆおよび小シール部６８ｇにおいて、製作公差等によってフローティングピン６８Ａに対して半径方向の位置ズレなどがある場合においても、フローティングピン６８Ａと可動弁枠部６０に流路と直交する方向（フローティングピン６８Ａ径方向）の遊びがあるため、太シール部６８ｆおよび小シール部６８ｇの摺動Ｏリングには偏芯が生じない。したがって、摺動時にも接続ピン６８と孔部３８との間のシールを維持し、密閉が破れることがない。
　同時に、フローティングピン６８Ａの位置変動時においても、太シール部６８ｆおよび小シール部６８ｇに変形が集中することがないので、変形・破損の可能性を低減することができ、密閉維持をより確実に行うことができる。

　なお、上記本発明の実施形態においては、第１付勢部７０としてスプリングが用いられた構造について説明したが、他の弾性体を用いてもよい。
　また、第２付勢部８０の構造として、円環状の１つのエアシリンダが採用された構造について説明したが、油圧シリンダ等とされる他の駆動流体を使用する構成を採用してもよい。この場合にも、１つの円環状のシリンダが駆動することによって弁箱１０（１０ａ，１０ｂ）の内面から可動弁板部５０と可動弁枠部６０との厚さ寸法を収縮させる駆動装置が第２付勢部として用いられる。

　また、上記本発明の実施形態においては、図１０Ａに示すような円形に形成された開口部及び可動弁部、或いは図１０Ｂに示すような角部に丸みを有する略正方形に形成された開口部及び可動弁部について説明した。本発明の仕切弁はこれらの形状に限定されない。本発明の仕切弁は、可動弁部の周囲領域にアクチュエータが設けられた構造を有するので、例えば、図１０Ｃに示すような角部に丸みを有する略三角形に形成された開口部及び弁板（可動弁部）が採用されてもよい。また、図１０Ｄに示すような角部に丸みを有する略長方形に形成された開口部及び弁板が採用されてもよい。また、図１０Ｅに示すような角部に丸みを有する略六角形に形成された開口部及び弁板が採用されてもよい。また、図１０Ｆに示すような角部に丸みを有する略Ｕ字形に形成された開口部及び弁板に適用することも可能である。
　更には、楕円形に形成された開口部及び弁板、あるいは角部に丸みを有する略八角形に形成された開口部及び弁板等、あらゆる形状に形成された開口部及び弁板を本発明に適用可能である。

（第５実施形態）
　図１２は、本発明の第５実施形態における締結部材付近の要部拡大図である。
　図１２において、図１から図１１に示した実施形態と同一の部材には同一符号を付して、その説明は省略または簡略化する。

［締結ボルト４３（締結部材）］
　締結ボルト４３（締結部材）は、図１２に示すように、外周面に雄ネジの設けられた先端部分４３ａが可動弁枠部６０に設けられた締結螺着部６３に設けられたネジ穴６３ａに螺接されている。締結ボルト４３は、可動弁体４０の厚さ方向、つまり、可動弁板部５０と可動弁枠部６０との移動方向であるＢ１方向またはＢ２方向と平行な方向に軸線が向くように設けられている。

　締結ボルト４３の中央部分４３ｂは、先端部分４３ａと略同径とされ、可動弁板部５０に設けられた締結螺着部６３に設けられた貫通孔５７ｂに軸方向移動可能として貫通されている。中央部分４３ｂの径寸法は貫通孔５７ｂの径寸法よりも小さく設定され、これらが軸方向に相対移動した場合でも互いに接触しないようになっている。
　締結ボルト４３の基端部分４３ｃには、先端部分４３ａおよび中央部分４３ｂよりも拡径したボルトヘッドとされ、先端部分４３ａ側の当接面４３ｄが、対向する締結部５７における貫通孔５７ｂ外側の当接面５７ｄと当接して、締結ボルト４３と可動弁板部５０との流路方向変動位置を規制可能になっている。

　締結ボルト４３には、先端部分４３ａの雄ネジが螺設された部分より先端位置に、係止用溝４３ｅが周設されて、この係止用溝４３ｅに勘合されたワッシャ等の止め輪４３ｆ（係止部材）が、ネジ穴６３ａの外側面６３ｆに当接することで締結ボルト４３の軸方向（流路方向）における内側方向（図示下方向）の移動を規制し、締結ボルト４３を回転させても可動弁枠部６位から離脱しないように係止している。
　止め輪４３ｆ（係止部材）は、締結ボルト４３（締結部材）が単純に外れないだけではなく、可動弁板部５０と可動弁枠部６０と締結解除した状態で、締結ボルト４３が、長期的に緩みなく、かつ、位置を保持していることを可能とする。つまり止め輪４３ｆ（係止部材）が締付軸力を安定的に負担する必要があるため、図１４Ａに示すように、Ｅ形止め輪とされるか、あるいは、図１４Ｂに示すように、Ｃ型止め輪を適用することが好ましい。なお、止め輪の形状に応じて、係止用溝４３ｅの形状も適切に選択される。また、係止部材としては、ピン型も適応可能で、この場合は、係止用溝４３ｅに代えて締結ボルト４３の径方向に設けられた係止孔に固定されることができる。

　締結ボルト４３の長さは、止め輪４３ｆが外側面６３ｆに当接した状態で、可動弁部４０が最大厚さとなっても、先端部分４３ａ側の当接面４３ｄが、対向する締結部５７における貫通孔５７ｂ外側の当接面５７ｄと当接しない程度に長く設定されている。また、可動弁部４０が最小厚さとなった場合には、締結螺着部６３と締結螺着部６３との対向する当接面６３ｇと、当接面５７ｇとが当接することで、可動弁板部５０と可動弁枠部６０との位置規制が行われる。つまり、螺接された締結ボルト４３に対して、可動弁板部５０は、Ｂ１方向には当接面５７ｇが当接面６３ｇに当接する位置まで、また、Ｂ２方向には当接面５７ｄが当接面４３ｄに当接する位置まで移動可能となる。

　したがって、締結ボルト４３をネジ穴６３ａに対して回転し、締結長さを変化することで、可動弁板部５０の移動範囲、つまり、可動弁板部５０と可動弁枠部６０との流路方向位置を規制することができる。特に、エアシリンダ８０によって、メインバネ７０の付勢力に打ち勝って可動弁部４０の厚さが縮小した状態で、当接面５７ｄが当接面４３ｄに当接するように、締結ボルトを回動させることにより、エアシリンダ８０の駆動を停止した状態でも、可動弁部４０の厚さが縮小した状態を維持することが可能となる。これにより、メンテナンス時などに、中立弁体５を弁箱１０と接触しないように自由な状態で回動可能とすることができる。

　また、締結ボルト４３は、複数設けられたメインバネ７０の付勢力に打ち勝って安定的に可動弁部４０の厚さが縮小した状態を維持するために、可動弁部４０を流路方向に平面視して、複数のメインバネ７０が配置された中心位置に対して、この締結ボルト４３が対称に配置される。
　具体的には、図１３Ａ～図１３Ｃに示すように、可動弁部４０が流路方向に平面視して略円形とされ、可動弁部４０の最外周である第１周囲領域４０ａに複数のメインバネ７０が同心状に位置するように配置された場合、締結ボルト４３は、メインバネ７０と同心状にかつ、メインバネ７０と等間隔になるように、メインバネ７０と同数設けられる。

　一例として、図１３Ａには、メインバネ７０と締結ボルト４３とがメインバネとが４本ずつ配置された例を、図１３Ｂには、メインバネ７０と締結ボルト４３とがメインバネとが３本ずつ配置された例を示す。また、図１３Ｃには、６本のメインバネ７０が同心状に配置され、締結ボルト４３と中心に設けられた例を示す。
　なお、これらの例はメインバネ７０の付勢力が全て等しい場合を例示したが、複数のメインバネの付勢力が不均等である場合には、これらの付勢力を効率よく受けて、可動弁部４０の厚み寸法の縮小幅が、中立弁体５における面方向の全体で等しくなるように締結ボルトを設けることが好ましい。

　これにより、常にメインバネ７０の付勢力が働いている可動弁部４０に対してその厚さを縮小する冶具を別途用意することなく、中立弁部３０と可動弁部４０とからなる中立弁体５の取り外しを可能とすることができる。
　さらに、止め輪４３ｆを設けることで、メンテナンス時に、締結ボルト４３を取り外した上で紛失してしまうリスクを排除することができる。

（第６実施形態）
　次に本発明の第６実施形態における仕切弁について述べる。
　図１５は、第６実施形態における仕切弁の構成を示す平面図である。図１６は、回転軸に固定された接続部材を示す要部拡大平面図（図１６（ａ））、要部拡大断面図（図１６（ｂ））である。図１７は、接続部材と接続される中立弁部の一端を示す要部拡大平面図（図１７（ａ））、要部拡大断面図（図１７（ｂ））である。図１８は、接続部材と中立弁部とを嵌合させた状態を示す要部拡大平面図（図１８（ａ））、要部拡大断面図（図１８（ｂ））である。
　第６実施形態において、上述した第１～５実施形態と同一部材には同一符号を付して、その説明は省略または簡略化する。

　第６実施形態の仕切弁１００Ａは、図１～図３に示す振り子型仕切弁であるため、説明を省略する。第６実施形態においては、仕切弁１００Ａは、回転軸２０に固着された接続部材９１と、この接続部材９１を介して回転軸２０に接続された中立弁部３０とを備えている。

　回転軸２０が符号Ａ１で示された方向（流路方向Ｈに交差する方向）に回転すると、この回転に従って、接続部材９１を介して回転軸２０に固定されている中立弁部３０も方向Ａ１に沿って回動する。また、中立弁部３０における可動弁部４０の動作は、上述した実施形態と同じである。また、第６実施形態における弁箱１０の構造も上述した実施形態と同じである。

［回転軸２０、中立弁部３０、接続部材９１］
　回転軸２０は、流路Ｈとほぼ平行状態に延在して弁箱１０を貫通するとともに回転可能に設けられている。
　この回転軸２０には、接続部材９１が固着されている。この接続部材９１は、例えば略平板状の部材であり、図１６に示すように、回転軸２０の一端２０ａに対してネジ９２によって固着される。図１６（ｂ）に示すように、接続部材９１は、流路方向Ｈに沿った一端側が広がった略Ｔ字状の断面形状を成す突起部９３が形成されている。

　一方、中立弁部３０は、回転軸２０の軸線に対して直行する方向に延在し、この方向に平行な面を有している。図１に示すように、中立弁部３０は、可動弁部４０に重なる円形部３０ａと、回転軸２０の回転に伴って円形部を回転させる回転部３０ｂとを有する。回転部３０ｂは、回転軸２０と円形部３０ａとの間に位置しており、回転部３０ｂの幅は回転軸２０から円形部３０ａに向けて徐々に増加している。これら回転軸２０、中立弁部３０は、弁箱１０に対して回動はするが、流路Ｈ方向には位置変動しないように設けられている。

　そして、図１５及び図１７に示すように、この中立弁部３０の一端には、接続部材９１の突起部９３と嵌合する凹部９５が形成されている。この凹部９５は、その断面形状が接続部材９１の断面形状と合致する略Ｔ字状を成す。こうした凹部９５は、中立弁部３０の流路方向Ｈにおける一面側３０Ａ（第一面）と他面側３０Ｂ（第二面）の両側に、それぞれ凹部９５Ａ，９５Ｂとして形成されている。これによって、回転軸２０（図１８参照）は、中立弁部３０に対して流路方向Ｈに沿った上側と下側のいずれにも選択的に接続することができる。あるいは、回転軸２０に対して、中立弁体５全体を両面どちらにも取り付けることができる。即ち、接続部材９１の凹部９５Ａの側に中立弁体５を取り付ければ、仕切弁１００Ａの閉弁時において、可動弁部４０が第１開口部１２ａを塞ぐ向き（図２参照）となる。逆に、接続部材９１の凹部９５Ｂの側に中立弁体５を取り付ければ、可動弁部４０が第２開口部１２ａｂを塞ぐ向きにとなる。

　図１８に示すように、接続部材９１に形成された突起部９３と、中立弁部３０に形成された凹部９５とは互いに嵌合される。図１８（ａ）に示すように、接続部材９１と中立弁部３０とは、係合状態において、流路方向Ｈに沿って互いに平行に広がり第一間隔ｔ１で離間した一組の第一平行面９６ａ，９６ｂと、流路方向Ｈに沿って互いに平行に広がり第一間隔ｔ１よりも広い第二間隔ｔ２で離間した一組の第二平行面９７ａ，９７ｂとで互いに接触している。

　こうした一組の第一平行面９６ａ，９６ｂ、および一組の第二平行面９７ａ，９７ｂは、それぞれ、流路方向Ｈに直角に延びる一軸Ｌを挟んで対称に配される。また、第一平行面９６ａ，９６ｂと第二平行面９７ａ，９７ｂとは、この一軸Ｌに沿って互いに重ならない位置に配される。

　図１６に示すように、接続部材９１の突起部９３には、この一組の第一平行面９６ａ，９６ｂを構成する第一接触面９３ａ，９３ｂと、第二平行面９７ａ，９７ｂを構成する第二接触面９３ｃ，９３ｄとが形成されている。そして、これら第一接触面９３ａ，９３ｂと第二接触面９３ｃ，９３ｄのそれぞれを繋ぐ第一傾斜面９３ｅ，９３ｆとともに、突起部９３は全体として２段階の幅を持つ突起形状を成している。

　一方、図１７に示すように、中立弁部３０の一端に形成された凹部９５は、一組の第一平行面９６ａ，９６ｂを構成する第三接触面９５ａ，９５ｂと、第二平行面９７ａ，９７ｂを構成する第四接触面９５ｃ，９５ｄとが形成されている。そして、これら第三接触面９５ａ，９５ｂと第四接触面９５ｃ，９５ｄのそれぞれを繋ぐ第二傾斜面９５ｅ，９５ｆとともに、凹部９５は全体として２段階の幅を持つ溝形状を成している。

　更に、図１６、図１８に示すように、回転軸２０の中心には、接続部材９１を介して回転軸２０と中立弁部３０とを締結するための雄ネジ２１（締結具）を貫通させる貫通穴２２が形成されている。また、中立弁部３０の一端に形成された凹部９５には、雄ネジ２１（締結具）と螺合する雌ネジ３１が形成されている。更に、接続部材９１には、雄ネジ２１（締結具）を貫通させるネジ溝のない開口９８が形成されている。

　以上の構成によって、接続部材９１に形成された突起部９３と、中立弁部３０に形成された凹部９５とを嵌合させ、更に、回転軸２０の上端側から、雄ネジ２１（締結具）を貫通穴２２および開口９８に貫通させ、雄ネジ２１の先端部分を、中立弁部３０の雌ネジ３１にネジ止めすることにより、回転軸２０と中立弁部３０とは、接続部材９１を介して締結（固定）される。

　図１９Ａ～図１９Ｃは、中立弁部を接続部材に取り付ける際の工程を段階的に示した説明図である。
　中立弁部３０のメンテナンス、例えば、繰り返し開閉による中立弁部３０の交換等で、中立弁部３０を回転軸２０に固着された接続部材９１に取り付ける際には、中立弁部３０の一端に形成された凹部９５を接続部材９１に形成された突起部９３に対向させる（図１９Ａ参照）。

　次に、中立弁部３０の凹部９５を突起部９３に差し込むと、凹部９５の第三接触面９５ａ，９５ｂが、それぞれ突起部９３の第一接触面９３ａ，９３ｂに接触する（図１９Ｂ参照）。また、凹部９５の第四接触面９５ｃ，９５ｄが、それぞれ突起部９３の第二接触面９３ｃ，９３ｄに接触する。

　こうした挿入工程での凹部９５と突起部９３との接触面は、第一平行面９６ａ，９６ｂ、および第二平行面９７ａ，９７ｂに限られ、突起部９３の第一傾斜面９３ｅ，９３ｆと、凹部９５の第二傾斜面９５ｅ，９５ｆとは接触しない。これによって、例えば、凹部９５と突起部９３との接触面（第一平行面９６ａ，９６ｂ、第二平行面９７ａ，９７ｂ）のクリアランス（隙間）を極めて小さく設定しても、凹部９５を突起部９３に押し込む際の摩擦力が軽減され、スムーズに凹部９５と突起部９３とを嵌合させることができる（図１９Ｃ参照）。

　また、互いに幅の異なる第一平行面９６ａ，９６ｂ、および第二平行面９７ａ，９７ｂで凹部９５と突起部９３とを接触させることによって、凹部９５を突起部９３に押し込む際の取付精度を向上させると共に、取付時に摩擦力の軽減によって、容易にその取付位置、即ち、突起部９３に対する凹部９５の押し込み量を調整することができる。即ち、凹部９５と突起部９３との係合時には、凹部９５に形成された雌ネジ３１のネジ穴位置を、接続部材９１の突起部９３に形成された開口９８と合致させる必要がある。

　しかしながら、図１８に示したような取付時の摩擦力の大きな係合構造では、小径の穴どうしを合致させるように調節することは困難である。しかしながら、第６実施形態のように、第一平行面９６ａ，９６ｂ、および第二平行面９７ａ，９７ｂだけで凹部９５と突起部９３とを接触させることで、雌ネジ３１のネジ穴位置と突起部９３に形成された開口９８とを容易に微調整しつつ合致させることができる。これによって、回転軸２０の貫通穴２２から開口９８を介して雄ネジ２１（締結具）を容易に雌ネジ３１に締結することができる。

（第６実施形態の変形例）
　この第６実施形態においては、接続部材９１に突起部９３を、また中立弁部３０の一端に凹部９５を設けているが、逆であっても良い。
　図２０は、第６実施形態の変形例である。この変形例では、回転軸２０に固着される接続部材１９１に凹部１９５を形成している。また、中立弁部１３０の一端に、凹部１９５と嵌合する突起部１９３が形成されている。こうした変形例であっても、上述した実施形態と同様に、中立弁部１３０を接続部材１９１に取り付ける際に、凹部１９５と突起部１９３との摩擦を軽減して取り付けを容易にすると共に、取付位置の微調整も容易に行うことが可能になる。

（第７実施形態）
　次に本発明の第７実施形態における仕切弁について述べる。
　以下、仕切弁の第７実施形態においては、第６実施形態と同様の構成には、同一の番号を付す。
　図２３Ａ及び図２３Ｂに示す第７実施形態では、接続部材１５１に形成された突起部１５２と、中立弁部１５３に形成された凹部１５４とを備える。第７実施形態では、図２３Ｂに示すように、接続部材１５１と中立弁部１５３とは、係合状態において、流路方向Ｈに沿って互いに平行に広がり第一間隔ｔ１で離間した一組の第一平行面１５６ａ，１５６ｂと、流路方向Ｈに沿って互いに平行に広がり第一間隔ｔ１よりも広い第二間隔ｔ２で離間した一組の第二平行面１５７ａ，１５７ｂとで互いに接触している。

　こうした一組の第一平行面１５６ａ，１５６ｂ、および一組の第二平行面１５７ａ，１５７ｂは、重ならない位置に配される。そして、突起部１５２と凹部１５４とが嵌合された状態において、第一平行面１５６ａ，１５６ｂと第二平行面１５７ａ，１５７ｂとの間には、突起部１５２とを互いに接触させずに離間させた空間部１５９が形成される。

　図２３Ａに示すように、接続部材１５１の突起部１５２には、この一組の第一平行面１５６ａ，１５６ｂを構成する第一接触面１５２ａ，１５２ｂと、第二平行面１５７ａ，１５７ｂを構成する第二接触面１５２ｃ，１５２ｄとが形成されている。
　一方、中立弁部１５３の一端に形成された凹部１５４は、一組の第一平行面１５６ａ，１５６ｂを構成する第三接触面１５４ａ，１５４ｂと、第二平行面１５７ａ，１５７ｂを構成する第四接触面１５４ｃ，１５４ｄとが形成されている。

　以上の構成によれば、中立弁部１５３の凹部１５４を突起部１５２に差し込むと、凹部１５４の第三接触面１５４ａ，１５４ｂが、それぞれ突起部１５２の第一接触面１５２ａ，１５２ｂに接触する。この時、突起部１５２の第一接触面１５２ａ，１５２ｂは、先端部分だけで凹部１５４の第三接触面１５４ａ，１５４ｂと接触し、その他の大部分は凹部１５４に対して離間され、嵌合状態においても凹部１５４を突起部１５２とが接触しない空間部１５９が形成される。
　また、凹部１５４の第四接触面１５４ｃ，１５４ｄが、それぞれ突起部１５２の第二接触面１５２ｃ，１５２ｄに接触する。

　このような第７実施形態の仕切弁によれば、突起部１５２が凹部１５４の内部に入り込む部分の全体長さＬ３のうち、突起部１５２と凹部１５４とが接触する長さは、第一平行面１５６ａ，１５６ｂの長さＬ１と第二平行面１５７ａ，１５７ｂの長さＬ２に限られ、他のほとんどは空間部１５９として凹部１５４と突起部１５２とが離間された状態となる。これによって、中立弁部１５３を接続部材１５１に嵌合させる際には、少ない接触面により容易に取り付けることが可能になり、取り付け作業性が大幅に向上する。一方で、凹部１５４と突起部１５２とは、空間部１５９を挟んで第一平行面１５６ａ，１５６ｂと第二平行面１５７ａ，１５７ｂとで確実に精度良く嵌合させることが可能になる。

（第８実施形態）
　以下、本発明の第８実施形態に係るスライド弁を、図面に基づいて説明する。
　以下に述べるスライド弁を構成する部材のうち、上述した仕切弁を構成する部材と共通する部材には、同一符号を付している。

　図２４は、第８実施形態におけるスライド弁の構成を示す平面図である。図２５は、本発明の第８実施形態におけるスライド弁の構成を示す縦断面図で、弁体が退避動作可能位置とされている場合を示す図である。図２６は、図２５の中立弁部と第１可動弁部の接続部分および第１と第２との付勢部付近を示す要部拡大図である。図４は、本発明の第８実施形態におけるスライド弁の構成を示す縦断面図で、弁体が密閉閉塞位置とされている場合を示す図である。図２８は、図４の中立弁部と第１可動弁部の接続部分および第１と第２との付勢部付近を示す要部拡大図である。図２９は、本発明の第８実施形態におけるスライド弁の構成を示す縦断面図で、弁体が退避位置とされている場合を示す図である。

［振り子型スライド弁］
　第８実施形態のスライド弁１００Ｂは、図２４～図２９に示すように、振り子型スライド弁である。
　このスライド弁１００Ｂは、互いに対向した第１開口部１２ａと第２開口部１２ｂとが設けられた弁箱１０と、弁箱１０を貫通した切り替え手段としての回転軸２０と、回転軸２０に固着された接続部材９１と、この接続部材９１を介して回転軸２０に接続された中立弁部３０と、回転軸２０の軸線方向に移動可能として中立弁部３０に接続された可動弁部４０と、可動弁部４０の厚さ方向寸法を拡大する方向に付勢されるメインバネ７０（第１付勢部）と、メインバネ７０の付勢方向と反対方向に伸張可能な駆動用のエアシリンダ８０（第２付勢部）と、可動弁部４０を弁箱１０の中央位置に向けて移動させようとする位置規制用の補助バネ９０（第３付勢部）と、を備えている。中立弁部３０及び可動弁部４０は、中立弁体５を構成している。また、可動弁部４０は、第２可動弁部５０（可動弁板部）と第１可動弁部６０（可動弁枠部）とによって構成されている。第１開口部１２ａから第２開口部１２ｂに向かって流路Ｈが設定されている。なお、以下の説明において、この流路Ｈに沿った方向を流路方向Ｈと称することがある。

　回転軸２０が符号Ａ１で示された方向（流路Ｈの方向に交差する方向）に回転すると、この回転に従って、接続部材９１を介して回転軸２０に固定されている中立弁部３０も方向Ａ１に沿って回動する。また、可動弁部４０は中立弁部３０に厚さ方向のみ摺動可能として接続されているため、可動弁部４０は、中立弁部３０と一体に回転する。
　このように中立弁部３０を回転することにより、流路Ｈが設けられていない中空部１１に位置する退避位置Ｅ１から第１開口部１２ａに対応する位置とされる流路Ｈの弁閉位置Ｅ２に可動弁部４０が振り子運動で移動する（図２４参照）。

　そして、メインバネ７０が伸張する方向に作用することで流路Ｈ方向に可動弁部４０の厚さ寸法が拡大する動作により（閉弁動作）、後述するように、可動弁枠部６０のシール部６１と、可動弁板部５０の反力伝達部５９とが、それぞれ、弁箱１０の内面１５ａと内面１５ｂとを押圧することにより、可動弁部４０は流路Ｈを閉鎖する。逆に、エアシリンダ８０が作用することで、メインバネ７０の付勢力にエアシリンダ８０の押圧力が打ち勝って流路Ｈ方向に可動弁部４０の厚さ寸法が収縮する動作により可動弁部４０が表裏とも弁箱１０の内面１５ａおよび内面１５ｂから離間した後に（解除動作）、回転軸２０が符号Ａ２で示された向きに回転する（退避動作）と、この回転に従って中立弁部３０および可動弁部４０も向きＡ２に回動する。
　この解除動作と退避動作とにより、可動弁部４０は上記弁開閉位置から上記退避位置に退避して弁開状態とする弁開動作が行われる。

［弁箱１０］
　弁箱１０は、中空部１１を有するフレームによって構成されている。フレームの図示上面には第１開口部１２ａが設けられており、フレームの図示下面には第２開口部１２ｂが設けられている。
　スライド弁１００Ｂは、第１開口部１２ａが露出されている空間（第１空間）と第２開口部１２ｂが露出されている空間（第２空間）の間に挿入される。スライド弁１００Ｂは、第１開口部１２ａと第２開口部１２ｂとをつなげている流路Ｈ、即ち、第１空間と第２空間とをつなげている流路Ｈを仕切り（閉鎖し）、この仕切り状態を開放する（第１空間と第２空間をつなぐ）。
　弁箱１０の中空部１１には、回転軸２０、中立弁部３０、可動弁部４０、メインバネ７０（第１付勢部）、エアシリンダ８０（第２付勢部）、及び補助バネ９０（第３付勢部）が設けられている。

［回転軸２０、流体経路リング１７，１８］
　回転軸２０は、流路Ｈとほぼ平行状態に延在して弁箱１０を貫通するとともに回転可能に設けられている。
　この回転軸２０には、接続部材９１が固着されている。この接続部材９１は、例えば略平板状の部材である。図３２Ａ及び図３２Ｂに示すように、回転軸２０の一端２０ａに対してネジ９２によって固着される。図３２Ｂに示すように、接続部材９１は、流路方向Ｈに沿った一端側が広がった略Ｔ字状の断面形状を成す突起部９３が形成されている。

　回転軸２０は、図３２Ａ及び図３２Ｂに示すように、弁箱１０に固設されるケーシング１４に、ベアリング等とされる軸受１６Ａ，１６Ｂを介して、この弁箱１０を貫通して回動可能に支持されている。軸受１６Ａ，１６Ｂは、回転軸２０の軸線ＬＬ方向に可能な限り離間して配置される。
　ケーシング１４は、弁箱１０に対して密閉状態として貫通するように固定されるとともに、回転軸２０が密閉状態で回動自在に貫通するシールケーシング１４Ａと、このシールケーシング１４Ａに接続され、その内周側に設けられた軸受１６Ａ，１６Ｂを介して回転軸２０を回動自在に支持する円筒ケーシング１４Ｂと、円筒ケーシング１４Ｂの一端を閉塞する蓋体ケーシング１４Ｃとからなり、これらは互いに固定接続されている。蓋体ケーシング１４Ｃには回転軸２０を挿抜可能な開孔を閉塞する蓋体１４Ｄが設けられる。

　シールケーシング１４Ａには、弁箱１０内部をシールするために、シール部１４Ａａ、１４Ａｂ，１４Ａｃおよび、大気圧の空間（空隙）である中間大気室１４Ａｄが設けられている。
　円筒ケーシング１４Ｂの内周面側には、軸線ＬＬ方向における軸受１６Ａ，１６Ｂの間の位置に、流体経路リング１７，１８が、回転軸２０の外周面２０ｂに摺動可能に接触するように固定されている。
　回転軸２０の外周面２０ｂの流体経路リング１７，１８の間の中心位置には、この回転軸２０を駆動する駆動系ピニオン１２１が固着される。ピニオン１２１は外部から密閉可能なケーシング１４Ｂの内部空間１２２ｈに収納され、このピニオン１２１には、図３２Ａ及び図３２Ｂにおいて紙面垂直方向に往復動作することで回転軸２０を回動する丸棒状のラック１２２が接続される。

　ラック１２２は、図４２に示すように、回転軸２０の軸線と直交方向の軸線を有し往復動作するピストン１２２ｂに接続部材１２２ａを介して接続されている。ピストン１２２ｂは筒状のケーシング１２２Ａに格納されて回転駆動エアシリンダ（駆動手段）を構成している。このエアシリンダに接続されたラック１２２は、ピストン１２２ｂのラック１２２に対して反対側の伸シリンダ１２２ｃに圧縮空気（駆動用気体）を供給することで伸張し、ピストン１２２ｂのラック１２２側の縮シリンダ１２２ｄに圧縮空気（駆動用気体）を供給することで収縮する。

　ラック１２２は、ラック１２２の径寸法よりも大きな径寸法とされて回転軸２０と直行する方向にケーシング１４内部に設けられた空間１２２ｇ内部に収納される。この空間１２２ｇ内部では、ラック１２２は、その軸線方向においてピニオン１２１と噛み合う両側位置とされる２箇所の外周を覆うように設けられた軸受１２２Ｂ，１２２Ｃによって往復移動可能に支承されている。軸受１２２Ｂ，１２２Ｃは、いずれも、ケーシング１４Ｂと一体とされて、空間１２２ｇよりも小さな径寸法となるように縮径された外周面として形成されており、この軸受１２２Ｂ，１２２Ｃは、ラック１２２の外周面に密着している。

　ラック１２２の外周面の周方向の片側にはピニオン１２１と噛み合う歯１２１ｅが軸方向に隣接して多数設けられ、この歯１２２ｅとは異なる周方向位置に、ラック１２２の軸線方向に対して軸受１２２Ｂ両側位置の空間１２２ｇに連通する連通溝１２２ｆが設けられる。この連通溝１２２ｆは、軸線方向に対して軸受１２２Ｃ両側位置の空間１２２ｇに連通するとともに、ラック１２２が往復動作した場合でも、軸受１２２Ｂ両側位置の空間１２２ｇにおける連通状態および軸受１２２Ｃ両側位置の空間１２２ｇにおける連通状態を維持する長さとなるよう設定されている。

　伸シリンダ１２２ｃは、供給路１２２ｋを介して回転駆動エアシリンダ外部から伸張用の圧縮空気を供給する供給源に接続されている。
　縮シリンダ１２２ｄには回転駆動エアシリンダ外部から収縮用の圧縮空気を供給源から供給する供給源が接続されている。その経路は、縮シリンダ１２２ｄ、ラック１２２の収納された空間１２２ｇ、縮径した軸受１２２Ｂに対応する位置の連通溝１２２ｆおよび歯１２２ｅに対応する空間１２２ｇ、軸受１２２Ｂと軸受け１２２Ｃとの間で拡径した空間１２２ｇ、ピニオン１２１の収納されるケーシング１４Ｂの内部空間１２２ｈ、この内部空間１２２ｈとケーシング１４Ｂ外部とに接続された供給路１２２ｊ、とされている。

　軸受１６Ａ，１６Ｂによってケーシング１４に対して支持された回転軸２０は、回転駆動エアシリンダ（駆動手段）によって往復運動するラック１２２により駆動され、このラック１２２に噛み合うピニオン１２１とともに回転動作する。

　また、回転駆動エアシリンダ（駆動手段）の収縮動作時、および、ラック１２２の収縮位置を維持する間は、以下の空間（シリンダ）において加圧状態が維持される。具体的に、縮シリンダ１２２ｄ、ラック１２２の収納された空間１２２ｇ、縮径した軸受１２２Ｂに対応する位置の連通溝１２２ｆおよび歯１２２ｅに対応する空間１２２ｇ、軸受１２２Ｂと軸受け１２２Ｃとの位置にかかわらず拡径している空間１２２ｇ、ピニオン１２１の収納されるケーシング１４Ｂの内部空間１２２ｈ、この内部空間１２２ｈとケーシング１４Ｂ外部とに接続された供給路１２２ｊ、のいずれにおいても、加圧状態が維持される。

　流体経路リング１７と流体経路リング１８とは、回転軸２０とほぼ等しい内径とされ、ピニオン１２１よりも弁箱１０側の流体経路リング１７の外径がベアリング１６Ａの外径より大きくかつピニオン１２１の外径寸法よりも小さく設定され、ピニオン１２１よりも蓋体１４Ｄ側の流体経路リング１８の外径がピニオン１２１の径寸法よりも大きく設定されている。ベアリング１６Ａ，１６Ｂで支持された回転軸２０が回動すると、流体経路リング１７と流体経路リング１８とに対して、接触位置が周方向に変化することになる。

　流体経路リング１７には、第２周囲領域４０ａにおいて可動弁板部５０と可動弁枠部６０との間に形成されたエアシリンダ８０に駆動用気体を供給する供給路４１の一部とされる流体経路として、径方向に延在しその外周面１７ａ及び内周面１７ｂに開口する径方向リング経路１７ｃが設けられる。この径方向リング経路１７ｃの外周面１７ａ側は円筒ケーシング１４Ｂの径方向に貫通する経路１４Ｂｃに連通している。
　流体経路リング１８には、第２周囲領域４０ａにおいて可動弁板部５０と可動弁枠部６０との間に形成されたエアシリンダ８０に設けられた２重シール部において２重目のシール５１ａ，５２ａより気体供給側に設けられた中間大気室５５に接続され、１重目のシール５１ｂ，５２ｂが破れた際に駆動用気体をスライド弁１００Ｂ外部に向けて逃がす連絡路４２の一部とされる流体経路として、径方向に延在しその外周面１８ａ及び内周面１８ｂに開口する径方向リング経路１８ｃが設けられる。この径方向リング経路１８ｃの外周面１８ａ側は円筒ケーシング１４Ｂの径方向に貫通する経路１４Ｃｃに連通している。

　流体経路リング１７には、内周面１７ｂに溝１７ｄが周設され、回転軸２０の外周面２０ｂとで囲まれることで周方向経路となっている。
　溝１７ｄに対向する位置とされる回転軸２０の外周面２０ｂには、径方向軸内経路２７が開口し、径方向軸内経路２７は、回転軸２０の軸線ＬＬ方向に延在して回転軸２０の一端面２０ａに開口する軸方向軸内経路１２５に連通している。

　流体経路リング１８には、内周面１８ｂに溝１８ｄが周設され、回転軸２０の外周面２０ｂとで囲まれることで周方向経路となっている。
　溝１８ｄに対向する位置とされる回転軸２０の外周面２０ｂには、径方向軸内経路２８が開口し、径方向軸内経路２８は、回転軸２０の軸線ＬＬ方向に延在して回転軸２０の一端面２０ａに開口する軸方向軸内経路１２６に連通している。
　これら軸方向軸内経路１２５と軸方向軸内経路１２６とは、互いに平行状態でかつ軸線ＬＬに平行とされ、回転軸２０の蓋体１４Ｄ側の他端２０ｃ側は閉塞されている。
　軸方向軸内経路１２５と軸方向軸内経路１２６とは、いずれも、中立弁部３０内部の供給路４１及び、連絡路４２に接続されている。

　流体経路リング１７には、内周面１７ｂと回転軸２０の外周面２０ｂとの間において径方向軸内経路２７の開口部分および溝１７ｄを摺動可能にシールするＯリング等のシール部材１７ｈ，１７ｊ，１７ｋが周設されている。
　流体経路リング１７には、外周面１７ａと円筒ケーシング１４Ｂ内面との間において径方向リング経路１７ｃの開口部分および経路１４ＢｃをシールするＯリング等のシール部材１７ｅ，１７ｆ，１７ｇが周設されている。

　流体経路リング１８には、内周面１８ｂと回転軸２０の外周面２０ｂとの間において径方向軸内経路２７の開口部分および溝１８ｄを摺動可能にシールするＯリング等のシール部材１８ｈ，１８ｊ，１８ｋが周設されている。
　流体経路リング１８には、外周面１８ａと円筒ケーシング１４Ｂ内面との間において径方向リング経路１８ｃの開口部分および経路１４ＣｃをシールするＯリング等のシール部材１８ｅ，１８ｆ，１８ｇが周設されている。

　流体経路リング１７と流体経路リング１８とは、図３２Ａ，図３２Ｂ，図３３Ａ，及び図３３Ｂに示すように、周方向経路となる溝１７ｄ，１８ｄが設けられていることで、どのような回転軸２０の回動位置になっても、径方向軸内経路２７と径方向軸内経路２８が連通した状態を維持できるため、密閉度よく、後述するように駆動用流体の供給等を行うことができる。しかも、供給路４１と連絡路４２とを、独立してそれぞれ接続しているので、回転軸２０の回動位置にかかわらず、異なる圧力状態あるいは、異なるガス状態の２系統を弁体１０内部に影響を与えずに、制御することが可能となる。
　同時に、周方向経路となる溝１７ｄ，１８ｄが周設されているため、溝１７ｄ、１８ｄ内の流体からの圧力が回転軸２０の外周面２０ｂに一周するように作用するため、径方向に作用する圧力を全周で均等にすることができるため、これらの流路における圧力状態にかかわらず、軸受１６Ａと軸受１６Ｂにおける回転軸２０の支持状態に対して影響を及ぼすことを防止できる。

　同時に、軸受１６Ａと軸受１６Ｂとの間にこれらの流体経路リング１７と流体経路リング１８を位置して、回転軸を支持する軸受１６Ａと軸受１６Ｂとの間の距離をできるだけ長く確保することができる。これにより、回転軸２０が傾く方向に回転軸へ作用するモーメントを軸受１６Ａと軸受１６Ｂで保持する場合、これらの軸受１６Ａと軸受１６Ｂが受けるラジアル荷重を最小にすることができ、それによりこれら軸受１６Ａと軸受１６Ｂの耐久性を向上させることができる。または、必要な回転軸２０の傾斜方向における変形防止能を維持した状態で回転軸２０の軸線方向長さを確保することができ、回転軸２０の駆動手段を小型化し、バルブとしての小型化を図ることができる。
　また、軸受１６Ａと軸受１６Ｂ、流体経路リング１７、ピニオン１２１および流体経路リング１８の外径寸法を上記の構成とすることにより、部品の構成を変えずに部品の組立方向を変えることのみによって、回転機構部の弁箱に対する取付面を反転させて、これらをケーシング１４に対して組み付けることが可能である。

　第８実施形態においてエアシリンダ８０の駆動用とされる圧縮空気を、弁箱１０内部の中空部１１に露出（暴露）することなく、回転軸２０内部経由で中立弁体５へ供給するとともに、後述する中間大気室５５，５６への連絡路４２を回転軸２０内部経由で弁箱１０外部に連通させることが可能となる。

　本発明の回転軸２０には、供給路４１と連絡路４２となる軸方向経路１２５，１２６がそれぞれ平行に設けられている。更に、供給路４１と連絡路４２とに対応する流体経路リング１７と流体経路リング１８とが回転軸２０の異なる軸線ＬＬ方向位置に設けられている。この構成により、一本の回転軸２０内部を介して複数の経路１２５，１２６を同時にそれぞれ別個に連通状態とすることができる。このため、エアシリンダ８０の駆動用流体の供給路４１とセーフティー用の中間大気用の連絡路４２とを一つの回転軸２０のみで他の構成を用いずに配置することが可能となる。

　本発明における供給路４１と連絡路４２と対応する流体経路リング１７，１８が、軸受１６Ａ，１６Ｂの軸線方向中間位置に対して対称に配置されてなることにより、軸受１６Ａ，１６Ｂに対する加重を略均等にして軸受１６Ａ，１６Ｂの耐久性を向上し、スライド弁１００Ｂのメンテナンス費用を低減することができる。

　なお、第８実施形態においては、周方向経路として、図３２Ａ，図３２Ｂ，図３３Ａ，及び図３３Ｂに示すように、溝１７ｄ、１８ｄを流体経路リング１７と流体経路リング１８との内面１７ｂ、１８ｂのみに形成したが、図３８に示すように、回転軸２０の外周面２０ｂに溝１２２，溝２３を形成することが可能である。あるいは、これら流体経路リング１７と流体経路リング１８との内面１７ｂ、１８ｂおよび回転軸２０の外周面２０ｂの両方に溝を形成することもできる。

　また、第８実施形態においては、周方向経路として、図３２Ａ及び図３３Ｂに示すように、溝１７ｄ、１８ｄを回転軸２０の全周に設けたが、図２４に矢印Ａ１，Ａ２で示した中立弁体５の回動範囲に対応した必要部分のみ、つまり、図３９に示すように、回転軸２０に要求される回動範囲に対応した周方向円弧範囲Ａ１Ａ２に対応した部分に円弧状に溝１７ｄ、１８ｄを形成することもできる。この例では、溝１７ｄが径方向リング経路１８ｃに対する径方向軸内経路２７の移動範囲Ａ１Ａ２に円弧状に設けられ、この溝１７ｄは中立弁体５の回動範囲に体操する中心角度範囲とほぼ等しい中心角度範囲とされる。また、溝１８ｄが、径方向リング経路１８ｃに対する径方向軸内経路２８の移動範囲Ａ１Ａ２に加えて、径方向リング経路１８ｃに対する接続部分Ａ１Ａ２ａにも設けられている。

　流体経路リング１７の内周面１７ｂにおいて、シール部材１７ｈとシール部材１７ｊとの間には、径方向リング経路１７ｃに連通する溝１７ｄが設けられ、シール部材１７ｊとシール部材１７ｋとの間には、溝１７ｐが周設されている。
　この溝１７ｐと対向する回転軸２０の外周面２０ｂとは、大気圧の空間（空隙）である第２中間大気室を形成するとともに第２連通路４２Ａによって、ケーシング外部に接続されている。

　これらシール部材１７ｊとシール部材１７ｋとは、駆動用気体の存在する供給路４１となる溝１７ｄに対する２重シール部として機能している。このため、エアシリンダ８０の加圧中に、回転軸２０における１重目のシールであるシール部材１７ｊが破れた場合でも、圧縮空気（駆動用気体）を溝１７ｐおよび第２連通路４２Ａを介してケーシング１４外部に逃がす。これによって、ケーシング１４Ｂ内において流体経路リング１７の溝１７ｄ側からピニオン１２１側の内部空間１２２ｈに圧縮空気が放出されてしまう等、溝１７ｄと内部空間１２２ｈとの間で圧力状態が変化してしまうという不具合を防止するようになっている。

　同時に、シール部材１７ｋとシール部材１７ｊとは、回転軸２０の回転駆動エアシリンダ（駆動手段）において加圧空間となる内部空間１２２ｈに対する２重シール部として機能している。このため、回転駆動エアシリンダの収縮中に、回転軸２０における１重目のシールであるシール部材１７ｋが破れた場合でも、圧縮空気（駆動用気体）を溝１７ｐおよび第２連通路４２Ａを介してケーシング１４外部に逃がす。これによって、ケーシング１４Ｂ内において内部空間１２２ｈ側から供給路４１となる溝１７ｄに圧縮空気が放出されてしまう等、溝１７ｄと内部空間１２２ｈとの間で圧力状態が変化してしまうという不具合を防止するようになっている。

　これらの溝１７ｄ、内部空間１２２ｈは、いずれも加圧空間であるが、所定の動作に対応する圧力状態が、シール部の破れによって変化した場合、中立弁体５の厚さがいきなり膨張する、中立弁体５が回動動作するといった予期せぬ動作を起こしてしまうことを防止する。
　つまり、シール部材１７ｋ、シール部材１７ｊ、溝１７ｐおよび第２連通路４２Ａにより、スライド弁１００Ｂがシール破れによって破損する等を防止することができる。

　流体経路リング１８の内周面１８ｂにおいて、シール部材１８ｋとシール部材１８ｊとの間には、径方向リング経路１８ｃに連通する溝１８ｄが設けられ、シール部材１８ｊとシール部材１８ｈとの間には、溝１８ｐが周設されている。
　この溝１８ｐと対向する回転軸２０の外周面２０ｂとは、大気圧の空間（空隙）である第２中間大気室を形成するとともに第２連通路４２Ａによって、ケーシング外部に接続されている。

　これらシール部材１８ｊとシール部材１８ｈとは、回転軸２０の回転駆動エアシリンダ（駆動手段）において加圧空間となる内部空間１２２ｈに対する２重シール部として機能している。回転駆動エアシリンダの収縮中に、回転軸２０における１重目のシールであるシール部材１８ｈが破れた場合でも、圧縮空気（駆動用気体）を溝１８ｐおよび第２連通路４２Ａを介してケーシング１４外部に逃がす。これのよって、ケーシング１４Ｂ内において内部空間１２２ｈ側から連通路４２となる溝１８ｄに圧縮空気が放出されてしまう等、溝１８ｄと内部空間１２２ｈとの間で圧力状態が変化してしまうという不具合を防止するようになっている。

　これにより、内部空間１２２ｈは加圧空間であり、所定の動作に対応する圧力状態が、シール部の破れによって変化した場合、中立弁体５が回動動作するといった予期せぬ動作を起こしてしまうことを防止する。
　つまり、シール部材１８ｈ、シール部材１８ｊ、溝１８ｐおよび第２連通路４２Ａにより、スライド弁１００Ｂがシール破れによって破損する等を防止することができる。

　なお、ピニオン１２１の収納される内部空間１２２ｈが、加圧空間とはならない場合には、図４０に示すように、溝１７ｐ、溝１８ｐ、および、第２連通路４２Ａを設けない構成も可能である。この場合、さらに、シール部材１７ｊ、１８ｊを設けないこともできる。

　また、溝１７ｄおよび溝１８ｄには、図３７に示すように、その回転軸２０の外周面２０ｂ側開口位置に、テーパ面１７ｍ、テーパ面１８ｍが設けられて、拡径されている。
　このテーパ面１７ｍ，１８ｍは、流体経路リング１７，１８の径方向に奥行き寸法Ｔｔ１を有し、この奥行き寸法Ｔｔ１は、シール部材１７ｈ，１７ｊ，１７ｋ，１８ｈ，１８ｊ，１８ｋがＯリングとされた場合に、シール時における潰し代ではなく、回転軸２０が流体経路リング１７，１８と接触しない状態で、このＯ－リングが回転軸２０の外周面２０ｂかた突出した高さ寸法Ｔｔ２よりも大きくなるように設定される。

　また、テーパ面１７ｍ，１８ｍは、流体経路リング１７，１８内周面の径方向の法線となす角度θが４５°以上、好ましくは３０°以上となるように設定される。
　これにより、回転軸２０のケーシング１４への組み付け時に、Ｏ－リングが溝１７ｄ，１８ｄの開口部分に引っかかって破損するなどの不具合を防止することができる。
　なお、テーパ面１７ｍ，１８ｍは、Ｏ－リングの破損が可能であれば、この形状に限定されない。

　さらに、溝１７ｄおよび溝１８ｄの回転軸２０の外周面２０ｂ側開口位置には、テーパ面１７ｍ，１８ｍの代わりに、図４１に示すように、角を丸めた曲面１７ｎ，１８ｎを形成することもできる。
　この曲面１７ｎ，１８ｎの奥行き寸法Ｔｔ１は、同様に、Ｏ－リングが回転軸２０の外周面２０ｂかた突出した高さ寸法Ｔｔ２よりも大きくなるように設定されることができる。

　円筒ケーシング１４Ｂのシールケーシング１４Ａ側には、径方向に延在するリーク流路１４Ｈｅが設けられる。このリーク流路１４Ｈｅは、図３２Ｂに示すように、軸受１６Ａよりもシールケーシング１４Ａ側となるとともに回転軸２０の表面２０ｂと接するリーク空間１２２Ｈｅに連通している。

　リーク空間１２２Ｈｅと接する回短軸２０の内部には、軸方向リーク流路２７Ｈｅが設けられている。この軸方向リーク流路２７Ｈｅは、その一端が、図３２Ａおよび図３３Ｂに示すように、リーク空間１２２Ｈｅに開口している。軸方向リーク流路２７Ｈｅの他端は、後述するように、図３２Ｂおよび図３４に示すように、回転軸２０の中心に軸線方向に貫通し接続部材９１を介して回転軸２０と中立弁部３０とを締結するための雄ネジ１２１（締結具）を貫通させる貫通穴１２１Ａに向けて開口している。

　貫通穴１２１Ａは、接続部材９１の開口９８および中立弁部３０に設けられ、雄ネジ１２１を螺合する雌ネジ３１（締結具）のある空間３１Ｈｅに連通している。
　後述するように雄ネジ１２１は、図３４に示すように、締結されている雌ネジ３１のある空間３１Ｈｅまでネジ溝のない開口９８を貫通している。この空間３１Ｈｅは溝９５Ｂ側が、図示しない閉塞部材によって閉塞されている。

　中立弁部３０の空気溜まり空間３１Ｈｅは、その先の溝９５Ｂ側における図示しないＯリング等による封止が破れているかを調べるヘリウムリークテストを行うことが必要である。このため、空気溜まり空間３１Ｈｅは、開口９８、貫通穴１２１Ａ、軸方向リーク流路２７Ｈｅ、リーク空間１２２Ｈｅ、リーク流路１４Ｈｅを介してリーク空間１２２Ｈｅ側に連通され、ここから、空気溜まり空間３１Ｈｅ、開口９８、貫通穴１２１Ａに対する密閉状態を検査するヘリウムリークテストのためにヘリウムの供給が可能となっている。
　このように、軸方向リーク流路２７Ｈｅおよびリーク流路１４Ｈｅを設けることで、空気溜まり空間３１Ｈｅ、開口９８、貫通穴１２１Ａに対するヘリウムリークテストが可能となる。

　同時に、リーク流路１４Ｈｅから、回転軸２０の表面２０ｂに沿ったシール手段としてのシール部１４Ａａ、１４Ａｂ，１４Ａｃおよび、大気圧の空間（空隙）である中間大気室１４Ａｄに対して、中空部１１へのシールテストを行うことが可能となる。つまり、として、リーク流路１４Ｈｅから、リーク空間１２２Ｈｅ側にヘリウムを供給し中空部１１に対するリークを調べることで、ヘリウムリークテストを行うことが可能となる。

　さらに、リーク流路１４Ｈｅは、シール部材１７ｈ，１７ｊ，１７ｋ、シール部材１７ｅ，１７ｆ，１７ｇなどによる封止が破綻して、加圧空間である内部空間１２２ｈおよび径方向リング経路１７ｃ、溝１７ｄなどから、圧縮空気がリーク空間１２２Ｈｅに漏れだした場合に、この圧縮空気を外部に逃がすことができる。これにより、シール部１４Ａａ、１４Ａｂ，１４Ａｃに圧力が加わることを防止して、漏れた圧縮空気が中空部１１へ流入してしまうことが防止できる。

［中立弁部３０、接続部材９１］
　中立弁部３０は、回転軸２０の軸線に対して直行する方向に延在し、この方向に平行な面を有している。図２４に示すように、中立弁部３０は、可動弁部４０に重なる円形部３０ａと、回転軸２０の回転に伴って円形部を回転させる回転部３０ｂとを有する。回転部３０ｂは、回転軸２０と円形部３０ａとの間に位置しており、回転部３０ｂの幅は回転軸２０から円形部３０ａに向けて徐々に増加している。これら回転軸２０、中立弁部３０は、弁箱１０に対して回動はするが、流路Ｈ方向には位置変動しないように設けられている。

　中立弁部３０の一端には、図３４に示すように、接続部材９１の突起部９３と嵌合する凹部９５が形成されている。この凹部９５は、その断面形状が接続部材９１の断面形状と合致する略Ｔ字状を成す。こうした凹部９５は、中立弁部３０の流路方向Ｈにおける一面側３０Ａ（第一面）と他面側３０Ｂ（第二面）の両側に、それぞれ凹部９５Ａ，９５Ｂとして形成されている。
これによって、回転軸２０は、中立弁部３０に対して流路方向Ｈに沿った上側と下側のいずれにも選択的に接続することができる。あるいは、回転軸２０に対して、中立弁体５全体を両面どちらにも取り付けることができる。即ち、接続部材９１の凹部９５Ａの側に中立弁体５を取り付ければ、スライド弁１００Ｂの閉弁時において、可動弁部４０が第１開口部１２ａを塞ぐ向きとなる。逆に、接続部材９１の凹部９５Ｂの側に中立弁体５を取り付ければ、可動弁部４０が第２開口部１２ａｂを塞ぐ向きにとなる。

　図３４に示すように、接続部材９１に形成された突起部９３と、中立弁部３０に形成された凹部９５とは互いに嵌合される。図３４（ａ）に示すように、接続部材９１と中立弁部３０とは、係合状態において、流路方向Ｈに沿って互いに平行に広がり第一間隔ｔ１で離間した一組の第一平行面９６ａ，９６ｂと、流路方向Ｈに沿って互いに平行に広がり第一間隔ｔ１よりも広い第二間隔ｔ２で離間した一組の第二平行面９７ａ，９７ｂとで互いに接触している。

　こうした一組の第一平行面９６ａ，９６ｂ、および一組の第二平行面９７ａ，９７ｂは、それぞれ、流路方向Ｈに直角に延びる一軸Ｌを挟んで対称に配される。また、第一平行面９６ａ，９６ｂと第二平行面９７ａ，９７ｂとは、この一軸Ｌに沿って互いに重ならない位置に配される。

　接続部材９１の突起部９３には、図３４に示すように、この一組の第一平行面９６ａ，９６ｂを構成する第一接触面９３ａ，９３ｂと、第二平行面９７ａ，９７ｂを構成する第二接触面９３ｃ，９３ｄとが形成されている。そして、これら第一接触面９３ａ，９３ｂと第二接触面９３ｃ，９３ｄのそれぞれを繋ぐ第一傾斜面９３ｅ，９３ｆとともに、突起部９３は全体として２段階の幅を持つ突起形状を成している。

　中立弁部３０の一端に形成された凹部９５は、図３４に示すように、一組の第一平行面９６ａ，９６ｂを構成する第三接触面９５ａ，９５ｂと、第二平行面９７ａ，９７ｂを構成する第四接触面９５ｃ，９５ｄとが形成されている。そして、これら第三接触面９５ａ，９５ｂと第四接触面９５ｃ，９５ｄのそれぞれを繋ぐ第二傾斜面９５ｅ，９５ｆとともに、凹部９５は全体として２段階の幅を持つ溝形状を成している。

　回転軸２０の中心には、図３４に示すように、接続部材９１を介して回転軸２０と中立弁部３０とを締結するための雄ネジ１２１（締結具）を貫通させる貫通穴１２１Ａが形成されている。また、中立弁部３０の一端に形成された凹部９５には、雄ネジ１２１（締結具）と螺合する雌ネジ３１が形成されている。更に、接続部材９１には、雄ネジ１２１（締結具）を貫通させるネジ溝のない開口９８が形成されている。

　以上の構成によって、接続部材９１に形成された突起部９３と、中立弁部３０に形成された凹部９５とを嵌合させ、更に、回転軸２０の上端側から、雄ネジ１２１を貫通穴１２１Ａおよび開口９８に貫通させ、雄ネジ１２１の先端部分を、中立弁部３０の雌ネジ３１にネジ止めすることにより、回転軸２０と中立弁部３０とは、接続部材９１を介して締結（固定）される。

　中立弁部３０のメンテナンス、例えば、繰り返し開閉による中立弁部３０の交換等で、中立弁部３０を回転軸２０に固着された接続部材９１に取り付ける際には、中立弁部３０の一端に形成された凹部９５を接続部材９１に形成された突起部９３に対向させる。
　次に、中立弁部３０の凹部９５を突起部９３に差し込むと、凹部９５の第三接触面９５ａ，９５ｂが、それぞれ突起部９３の第一接触面９３ａ，９３ｂに接触する。また、凹部９５の第四接触面９５ｃ，９５ｄが、それぞれ突起部９３の第二接触面９３ｃ，９３ｄに接触する。

　こうした挿入工程での凹部９５と突起部９３との接触面は、第一平行面９６ａ，９６ｂ、および第二平行面９７ａ，９７ｂに限られ、突起部９３の第一傾斜面９３ｅ，９３ｆと、凹部９５の第二傾斜面９５ｅ，９５ｆとは接触しない。つまり、矢印Ｂ１で示す方向である接続方向において、回転軸２０の軸線を挟んだ両側位置となる部分で周方向の取り付け位置を規制することができるので、取り付け位置、特に、回転軸２０の軸線周りの中立弁部３０の取り付け方向の正確性を容易に向上することができる。同時に、例えば、凹部９５と突起部９３との接触面（第一平行面９６ａ，９６ｂ、第二平行面９７ａ，９７ｂ）のクリアランス（隙間）を極めて小さく設定しても、凹部９５を突起部９３に押し込む際の摩擦力が軽減され、スムーズに凹部９５と突起部９３とを嵌合させることができる。

　また、互いに幅の異なる第一平行面９６ａ，９６ｂ、および第二平行面９７ａ，９７ｂで凹部９５と突起部９３とを接触させることによって、凹部９５を突起部９３に押し込む際の取付精度を向上させると共に、取付時に摩擦力の軽減によって、容易にその取付位置、即ち、突起部９３に対する凹部９５の押し込み量を調整することができる。即ち、凹部９５と突起部９３との係合時には、凹部９５に形成された雌ネジ３１のネジ穴位置を、接続部材９１の突起部９３に形成された開口９８と合致させる必要がある。

　第８実施形態のように、第一平行面９６ａ，９６ｂ、および第二平行面９７ａ，９７ｂだけで凹部９５と突起部９３とを接触させることで、雌ネジ３１のネジ穴位置と突起部９３に形成された開口９８とを容易に微調整しつつ合致させることができる。これによって、回転軸２０の貫通穴１２１Ａから開口９８を介して雄ネジ１２１（締結具）を容易に雌ネジ３１に締結することができる。また、端面９３ｍと端面９５ｍとを接触させることで、図３４において矢印Ｂ１で示す方向である接続方向における互いの位置決めを行うことも可能である。

　なお、第８実施形態においては、接続部材９１に突起部９３を、また中立弁部３０の一端に凹部９５を設けているが、凹凸が逆の構造とすることもできる。つまり、回転軸２０に固着される接続部材に凹部を形成して、この凹部と嵌合する突起部を中立弁部の一端に形成する構造である。

［可動弁部４０、第２可動弁部５０（可動弁板部）、第１可動弁部６０（可動弁枠部）］
　可動弁部４０は略円板状とされ、円形部３０ａと略同心円状に形成された可動弁板部５０と、この可動弁板部５０の周囲を囲むように配置された略円環状の第２可動弁部６０とを有する。第２可動弁部６０は、中立弁部３０に流路Ｈ方向に摺動可能として接続されている。また、可動弁板部５０は、第２可動弁部６０に摺動可能として嵌合されている。可動弁板部５０と第２可動弁部６０とは、メインバネ７０及びエアシリンダ８０によって符号Ｂ１，Ｂ２で示された方向（往復方向）に摺動しながら移動可能である。ここで、符号Ｂ１，Ｂ２で示された方向とは、可動弁板部５０および第２可動弁部６０の面に垂直な方向であり、回転軸２０の軸方向に平行な流路Ｈ方向である。

　また、可動弁板部５０の外周付近における全領域には、内周クランク部５０ｃが形成されている。また、可動弁枠部６０の内周付近における全領域には、外周クランク部６０ｃが形成されている。
　第８実施形態においては、外周クランク部６０ｃと内周クランク部５０ｃとが、流路Ｈ方向と平行な摺動面５０ｂ、６０ｂどうしで摺動可能に嵌合している。

　弁箱１０の内面に対向（当接）する可動弁枠部６０の表面には、第１開口部１２ａの形状に対応して円環状に形成された、例えば、Ｏリング等からなる第１シール部６１（主シール部）が設けられている。
　この第１シール部６１は、閉弁時に可動弁部４０が第１開口部１２ａを覆っている状態で、第１開口部１２ａの周縁となる弁箱１０の内面１５ａに接触し、可動弁枠部６０及び弁箱１０の内面によって押圧される。これによって、第１空間は第２空間から確実に隔離される（仕切り状態が確保される）。

［メインバネ７０（第１付勢部）］
　メインバネ７０（第１付勢部）は、可動弁部４０の最外周となる第１周囲領域４０ａに隣接した第１周囲領域４０ｂに配置されている。メインバネ７０においては、可動弁枠部６０を第１開口部１２ａに向けて（Ｂ１方向）に押圧するように、同時に、可動弁板部５０を第２開口部１２ｂに向けて（Ｂ２方向）に押圧するように復元力が生じている。これにより可動弁部４０による弁閉状態において、メインバネ７０は、可動弁板部５０に力を加え（付勢し）、第２開口部１２ｂの周囲に位置する弁箱１０の内面１５ｂに向けて可動弁板部５０を押圧して内面１５ｂと可動弁板部５０の反力伝達部５９とを当接させている。更に、同時に、可動弁枠部６０に力を加え（付勢し）、第１開口部１２ａの周囲に位置する弁箱１０の内面１５ａに向けて可動弁枠部６０を押圧して内面１５ａと可動弁枠部６０の第１シール部６１とを当接させている。

　第８実施形態においては、メインバネ７０は、可動弁板部５０に第２開口部１２ｂ側を向いて開口するよう設けられた凹部５０ａとこの凹部５０ａの対向位置に可動弁枠部６０に第１開口部１２ａ側を向いて開口するよう設けられた凹部６０ａとに嵌め込まれて設けられた弾性部材（例えば、スプリング、ゴム、密閉されたエアダンパーなど）である。

　メインバネ７０は、第一端と第二端とを有する。第一端は、可動弁板部５０の凹部５０ａの底面に当接している。第二端は、可動弁枠部６０の凹部６０ａの天井面に当接している。また、図２４に示すように、円環状の可動弁枠部６０において、複数の第１付勢部７０が周方向に沿って等間隔に設けられている。

　メインバネ７０を構成する弾性部材の自然長は、可動弁枠部６０のシール部６１と、可動弁板部５０の反力伝達部５９とが、それぞれ、弁箱１０の内面１５ａと内面１５ｂとを押圧する可動弁部４０の最大厚さ寸法となった状態における可動弁板部５０の凹部５０ａの底面と可動弁枠部６０の凹部６０ａの天井面との間の距離よりも大きい。このため、可動弁板部５０の凹部５０ａの底面と可動弁枠部６０の凹部６０ａの天井面とによって圧縮されつつ凹部５０ａおよび凹部６０ａの内部に配置されているメインバネ７０においては、弾性復元力（延伸力，付勢力）が生じている。この弾性復元力が作用することにより、可動弁枠部６０がＢ１方向に、同時に、可動弁板部５０がＢ２方向に摺動しながら、第１シール部６１および反力伝達部５９が弁箱１０の内面に当接して押圧され、閉弁動作が行われる。

　また、メインバネ７０は、第１シール部６１に対する押圧力を効率よく伝達してスライド弁１００Ｂの閉塞を確実にするために、第１シール部６１に近接した第２周囲領域４０ｂに配置される。具体的には、第１シール部６１直下のすぐ外周位置には後述する反力伝達部５９となる突条が位置するのに対し、可動弁板部５０の径方向位置として、この第１シール部６１を挟んだ突条５９（反力伝達部）の反対側位置にメインバネ７０は位置される。これにより、メインバネ７０の付勢力は効率よく可動弁枠部６０のシール部６１と可動弁板部５０の反力伝達部５９とに伝達され、第１シール部６１の変形による弁の密閉の確実性を向上することができる。
　また、メインバネ７０は、第１シール部６１を直接押圧できるようにするために、第１シール部６１の直下付近とされる第２周囲領域４０ｂに配置されることもできる。この場合、スライド弁においては、第１付勢部７０を可動弁枠部６０に設けられているので、第１付勢部７０を第１シール部６１の直下に位置させることが可能である。

　このように、スライド弁１００Ｂにおいては、閉弁動作及び開弁動作を行うアクチュエータとして、閉弁動作を行うメインバネ７０と、開弁動作を行う第２付勢部８０（後述）とが近接して設けられている。この構成において、メインバネ７０及び第２付勢部８０は、第１シール部６１に近い可動弁部４０の周囲領域（第１周囲領域４０ａ及び第２周囲領域４０ｂ）において、互いに近接するように径方向に隣接して配置されている。また、メインバネ７０は、第１シール部６１の直下付近に位置している。つまり、スライド弁１００Ｂの構造は、第１シール部６１、反力伝達部５９、メインバネ７０の位置関係が、作用点及び支点が存在するモーメント荷重を加える構造として効率よくシールを行うことができるように構成される。

　さらに、メインバネ７０の付勢力が可動弁板部５０と可動弁枠部６０とを拡げる方向、つまり、可動弁部４０の厚さを増大して、可動弁枠部６０のシール部６１と可動弁板部５０の反力伝達部５９とを弁箱１０の内面１５ａ，１５ｂに押圧する方向に設定されている。このため、停電等によってユーティリティ設備からスライド弁１００Ｂを備える装置への電力供給（エネルギー供給）が停止した場合であっても、メインバネ７０において生じる機械的な力のみで確実にスライド弁１００Ｂを閉じることができる。このため、フェイルセーフなスライド弁を確実に実現できる。

　一方、スライド弁４０の厚さを減じる付勢が行われている構造、あるいは、ユーティリティ設備から供給される電力等のエネルギーによって閉弁動作が行われている構造を有するスライド弁においては、ユーティリティ設備から装置へのエネルギー供給が停止した場合に閉弁動作を行うことができない場合がある。このため、このような構造においては、フェイルセーフなスライド弁を実現できない。

［エアシリンダ８０（第２付勢部）］
　エアシリンダ８０は、可動弁部４０の最外周となる第１周囲領域４０ａに配置されている。エアシリンダ８０においては、エアシリンダ８０に駆動流体として圧縮空気が供給された際に、可動弁枠部６０を第２開口部１２ｂに向けて（Ｂ２方向）移動させる力（付勢力、圧縮空気に起因する力）が生じる。同時に、可動弁板部５０を第１開口部１２ａに向けて（Ｂ１方向）に移動させる力（付勢力、圧縮空気に起因する力）が生じる。これによって、メインバネ７０の付勢力に打ち勝って、第１開口部１２ａの周囲に位置する弁箱１０の内面１５ａから可動弁枠部６０を離間させるのと同時に、第２開口部１２ｂの周囲に位置する弁箱１０の内面１５ｂから可動弁板部５０を離間させる。
　これにより、後述する補助バネ９０（第３付勢部）の付勢力により体４０は流路Ｈ方向において弁箱１０の厚さ中央位置となりの弁箱１０内で回動可能な状態となる。

　なお、可動弁部４０において、第１周囲領域４０ａは、円環状である可動弁枠部６０のシール部６１と可動弁板部５０の反力伝達部５９との内側に位置する。同時に、可動弁部４０において、第２周囲領域４０ｂは、第１周囲領域４０ａの内側に位置する。即ち、可動弁部４０の径方向において、メインバネ７０は、エアシリンダ８０の内側に配置されている。言い換えれば、エアシリンダ８０は、可動弁板部５０と可動弁枠部６０とが摺動する方向（流路Ｈ方向）に交差する方向においてメインバネ７０に隣接している。つまり、エアシリンダ８０は、可動弁部４０の径方向において、シール部６１および反力伝達部５９、と、メインバネ７０との間に位置する。

　第８実施形態においては、エアシリンダ８０は、可動弁板部５０と可動弁枠部６０との間に設けられた１つのエアシリンダ（空隙）である。
　具体的に、このエアシリンダ８０は、可動弁枠部６０の第１開口部１２ａに向けて開口した凹部６０ｄと可動弁板部５０の第２開口部１２ｂに向けて突出した凸部５０ｄとが勘合した状態で形成され、これら環状の凹部６０ｄと環状の凸部５０ｄとが摺動するように形成されている。また、このエアシリンダ８０は、可動弁枠部６０の周縁部に形成された円環状の空間、および、可動弁板部５０の最外周に形成された突条（環状凸部）からなり、１つの円環シリンダ（円環空隙）として機能する。また、言い換えると、円環シリンダは、流路Ｈを囲むように形成されている。

　エアシリンダ８０に駆動用流体である圧縮空気が供給されると、第２付勢部８０の体積を膨張させる膨張力（付勢力）がＢ１，Ｂ２方向に生じる。膨張力の大きさがメインバネ７０に生じる復元力よりも大きい場合、この膨張力がメインバネ７０の付勢力に打ち勝ってメインバネ７０が圧縮され、可動弁板部５０がＢ１方向に可動弁枠部６０がＢ２方向に摺動して弁体４０の厚さ方向寸法が縮小して、第１シール部６１が弁箱１０の内面１５ａから離間し、同時に、反力伝達部５９が弁箱１０の内面１５ｂから離間して、開弁動作が行われる。この際、円環状の凹部６０ｄと凸部５０ｄとが摺動することで、可動弁板部５０と可動弁枠部６０との移動する方向が流路方向のみに規制されるとともに、可動弁板部５０と可動弁枠部６０とが、シール部６１および反力伝達部５９が弁箱１０内面１５ａ、１５ｂに当接した状態から平行移動するように位置規制される。つまり、このエアシリンダ８０は可動弁板部５０と可動弁枠部６０との相対移動方向とその姿勢を規制することができる。

［補助バネ９０（第３付勢部）］
　補助バネ９０は、中立弁部３０と可動弁枠部６０との間に設けられ、弁箱１０の流路方向ほぼ中央に位置する中立弁部３０に対して、弁体４０の厚さ寸法が縮小した際に、弁体４０を弁箱１０の中央よりに付勢する。
　補助バネ９０は、中立弁部３０の外周位置（図２５，図４では右側位置）に設けられた開口３０ａを貫通して可動弁枠部６０に接続された棒状の位置規制部６５に設けられている。補助バネ９０もメインバネ７０と同様に弾性部材（例えば、スプリング、ゴム、密閉されたエアダンパーなど）である。
　補助バネ９０は、中立弁部３０開口３０ａの第１開口部１２ａ側に設けられたフランジ部３０ｂと、位置規制部６５の先端６５ａとに係止されて、可動弁枠部６０を第２開口部１２ｂ側に移動するＢ２に向かう向きに付勢されている。

　補助バネ９０は、この中立弁部３０より第１開口部１２ａ側に位置する可動弁枠部６０を第２開口部１２ｂに向けて付勢して、第１開口部１２ａの周囲に位置する弁箱１０の内面１５ａに可動弁枠部６０のシール部６１が当接している場合であって、エアシリンダ８０に駆動用流体である圧縮空気が供給された際に、可動弁枠部６０が第１開口部１２ａの周囲に位置する弁箱１０の内面１５ａから離間するように付勢している。
　これにより、エアシリンダ８０に圧縮空気が供給された際に、弁体４０が弁箱１０の流路方向ほぼ中央に向かって移動し、最終的に、弁体４０が弁箱１０の流路方向ほぼ中央に位置するように弁体４０の姿勢が制御される。また、補助バネ９０の付勢力は、メインバネ７０の付勢力とエアシリンダ８０の付勢力の差よりも遙かに小さい。つまり、弁体の厚さ寸法を変化させるために補助バネ９０は機能するため、弁閉状態を実現するための能動的バネあるいは、アクチュエータとしてのメインバネ７０やエアシリンダ８０に比べて、補助バネ９０の付勢力は、極めて小さくてよい。

　このように、スライド弁１００Ｂにおいては、閉弁動作及び開弁動作を行うアクチュエータとして、弁体４０厚さを増大する動作を行うメインバネ７０と、弁体４０厚さを縮小する動作を行うエアシリンダ８０と、弁体４０を流路方向において弁箱１０の中央位置側に配置させるように弁体４０の姿勢を制御する補助バネ９０と、が設けられている。
　この構成において、メインバネ７０及びエアシリンダ８０は、第１シール部６１に近い可動弁部４０の周囲領域において、互いに近接するように並列に配置されている。エアシリンダ８０は、可動弁板部５０と可動弁枠部６０との間に設けられた１つの円環シリンダを構成している。この構成によれば、一方向に圧縮空気第２付勢部８０に供給する供給路４１が１つ設けられていれば、圧縮空気を円環状のエアシリンダ８０に沿ってこの円環シリンダの内部に供給することができ、弁体４０の厚さ寸法の伸縮（開弁動作及び閉弁動作）を行うことができるとともに、この動作中において補助バネ９０により弁体４０の伸縮に伴う弁体４０の流路方向位置を弁箱１０の中央付近に容易に維持することができる。このため、簡易かつコンパクトな構成を有するアクチュエータを実現することができる。

　また、エアシリンダ８０は、開弁動作を行うために用いられるので、第２付勢部８０において発生する力の大きさ（出力）として、第１付勢部７０を圧縮することができる大きさ（出力）があれば十分である。

　第８実施形態においては、可動弁板部５０と可動弁枠部６０とによって１つの厚さ方向寸法を可変な可動弁部４０が構成されているので、２枚の可動弁部を設ける必要がなく、簡単かつコンパクトな構造を有する可動弁部を実現することができる。
　また、中立弁部３０にはアクチュエータの力、特に弁閉状態を維持するように弁体４０を密閉する際にかかる力が作用しない。このため、中立弁部３０には振り子弁として弁体を揺動するに足る強度があれば充分である。また、回転軸２０にもアクチュエータの力、特に弁閉状態を維持するように弁体４０を密閉する際にかかる力が作用しない。このため、回転軸２０振り子弁として弁体を揺動するに足る強度があれば充分である。同時に、回転軸２０に弁密閉するためのモーメントが必要な構造に比べて、弁体４０の揺動機構の出力を抑えることができるので、この回転軸２０の回動機構を小型化することができる。
　この構造においては、剛性として、上記中立弁部３０の強度に加えて、退避位置と弁開閉位置の間で可動弁部４０を回動させる際にその自重を支える強度があれば十分である。

　図２５は、可動弁板部５０と可動弁枠部６０とが互いに嵌合されている部分および中立弁部３０と可動弁板部５０とが互いに嵌合されている部分を示す拡大縦断面図であり、第１付勢部７０及びガイドピン６２が設けられた部位を示している。

［第２シール部５１ａ，５１ｂ（２重シール部）及び第３シール部５２ａ，５２ｂ（２重シール部）］
　可動弁板部５０の環状凸部５０ｄ（突条）の外周面には、可動弁枠部６０の環状凹部６０ｄの内周面に当接し、可動弁板部５０と可動弁枠部６０との間をシールする２重シール部として、Ｏリング等の円環状の第２シール部５１ａ，５１ｂ及び第３シール部５２ａ，５２ｂが設けられている。

　具体的には、可動弁板部５０の環状凸部５０ｄ（突条）の径方向外側に位置する第１外周面５０ｆに第２シール部５１ａ，５１ｂが設けられている。また、径方向において第１外周面５０ｆの内側である第２内周面５０ｇに、第３シール部５２ａ，５２ｂが設けられている。第２シール部５１ａ，５１ｂは、可動弁枠部６０の第１内周面６０ｆに当接し、第３シール部５２ａ，５２ｂは、可動弁枠部６０の第２外周面６０ｇに当接する。
　第２シール部５１ａ，５１ｂは、圧力が高い空間であるエアシリンダ８０と、圧力が低い空間等であって第１開口部１２ａに近い中空部１１とを仕切り、仕切り状態を確保する。同様に、第３シール部５２ａ，５２ｂは、圧力が高い空間であるエアシリンダ８０と、圧力が低い空間等であって第２開口部１２ｂに中空部１１とを仕切り、仕切り状態を確保する。

　第２シール部５１ａ，５１ｂは、駆動用の圧縮空気が供給されて圧力が高い空間であるエアシリンダ８０と、例えば圧力が低い空間である第１開口部１２ａに連通する第１空間側とを遮断し、この仕切り状態を確保することができる。同様に、第３シール部５２ａ，５２ｂは、圧力が高い空間であるエアシリンダ８０と、圧力が低い空間であって第２開口部１２ｂに近い第２空間側とを仕切り、仕切り状態を確保することができる。

［ガイドピン６２］
　ガイドピン６２は、可動弁枠部６０に固設されて流路方向に立設された太さ寸法均一の棒状体とされ、エアシリンダ８０内を貫通し、可動弁板部５０の環状凸部５０ｄ（突条）に形成された孔部５０ｈに嵌合している。
　このガイドピン６２は、可動弁板部５０と可動弁枠部６０とが摺動する方向が符号Ｂ１，Ｂ２に示された方向からずれないように、かつ、可動弁板部５０と可動弁枠部６０とが摺動した際にもその姿勢が変化せずに平行移動を行うように、これらの位置規制を確実に誘導する。

　これによって、可動弁板部５０と可動弁枠部６０とが、符号Ｂ１，Ｂ２に対して斜め方向に移動することを防止している。同時に、可動弁枠部６０は、弁閉状態としてシール部６１と反力伝達部５９とがそれぞれ弁箱１０の内面１５ａ，１５ｂに当接した状態に対して、可動弁板部５０と可動弁枠部６０との流路方向位置が変化した場合でも、これらが平行状態を維持して平行移動し、可動弁板部５０と可動弁枠部６０とが傾いてしまうことを防止している。

　この構造においては、可動弁板部５０と可動弁枠部６０とが互いに位置決めされつつ、符号Ｂ１及びＢ２で示された方向に平行状態を維持したまま相対的に移動し、閉弁動作及び開弁動作を行うことができる。これによって、開弁動作においては、可動弁枠部６０に設けられた第１シール部６１に均一に押圧力を生じさせ、リークが抑制されたシール構造を実現できる。

　また、このようにガイドピン６２を備えた構造においては、スライド弁１００Ｂが真空装置に取り付けられる姿勢が決められていない場合、即ち、スライド弁１００Ｂが取り付け方向が自由である場合に、弁体４０の重量の負荷が第２シール部５１ａ，５１ｂ及び第３シール部５２ａ，５２ｂに局所的に加わることを防止することができる。例えば、可動弁板部５０と可動弁枠部６０とが摺動する方向に対して直角に重力が作用するようにスライド弁１００Ｂが取り付けられている場合、摺動する部材である可動弁板部５０と可動弁枠部６０との重量がガイドピン６２に加わる。このため、第２シール部５１ａ，５１ｂ及び第３シール部５２ａ，５２ｂ（Ｏ－ｒｉｎｇ）に可動弁板部５０と可動弁枠部６０との重量が直接的に加わることを防止される。これにより、スライド弁１００Ｂが取り付けられる姿勢がいかなる姿勢であっても、シール部の寿命が短くならず、リークを防止する効果を確保・維持することができる。

　ガイドピン６２と孔部５０ｈとの摺動面の面積を低減するため、また、スライド弁１００Ｂの外部である第１空間及び第２空間からガイドピン６２を隔離するために、ガイドピン６２は、エアシリンダ８０内を貫通するように配置されている。
　また、このように、エアシリンダ８０内にガイドピン６２を配置することにより、可動弁板部５０と可動弁枠部６０とを互いに滑らかに摺動させることができる。
　なお、ガイドピンの強度が十分に得られていれば、大口径を有するスライド弁においても、可動弁部６０が摺動する方向がずれることが防止される。また、ガイドピン６２は、特殊な形状を有する可動弁部においても流路と直行する面内配置を設定して荷重を適宜分散することでより一層開閉動作の良好なスライド弁として適用可能である。
　ガイドピン６２には、図３６に示すように、その先端と可動弁枠部６０側に形成された内部空間６２ａに連通する開口を有し、ガイドピン６２内部を貫通する軸方向経路６２ｂが設けられその基部側が、連絡路４２に接続されている。また、円筒状の内部空間６２ａは、中立弁部５の径方向内側および外側に向かう経路４２ａを介してガイドピン６２中心側に位置する中間大気室５５，５６にそれぞれ連通されている。ガイドピン６２の可動弁板部５０側となる先端側には、Ｏリング等とされるシール部材６２ｃが設けられて孔部５０ｈとの摺動面をシールしている。

［ワイパー５３，５４］
　可動弁板部５０の環状凸部５０ｄ（突条）の径方向外側に位置する第１外周面５０ｆには、可動弁部６０の内周面に当接する円環状のワイパー５３が設けられている。同様に、可動弁板部５０の環状凸部５０ｄ（突条）の径方向において第１外周面５０ｆの内側である第２内周面５０ｇには、可動弁部６０の外周面に当接する円環状のワイパー５４が設けられている。

　ワイパー５３は、第２シール部５１ａ，５１ｂと同様にして、可動弁枠部６０の第１内周面６０ｆに当接し、ワイパー５４は、第３シール部５２ａ，５２ｂと同様にして、可動弁枠部６０の第１外周面６０ｇに当接する。
　ワイパー５３，５４、第２シール部５１ａ，５１ｂ、第３シール部５２ａ，５２ｂは、いずれも、可動弁板部５０の環状凸部５０ｄ（突条）に配置されている。第２シール部５１ａは、第１開口部１２ａ（第１空間）に近い位置に配置されている。第３シール部５２ａは、第２開口部１２ｂ（第２空間）に近い位置に配置されている。

　これらのワイパー５３，５４は、開弁動作及び閉弁動作によって環状の凹部６０ｄと環状の凸部５０ｄとが摺動するエアシリンダ８０において、その可動弁枠部６０の凹部６０ｄの内周面を潤滑あるいは清掃し、上記摺動によって発生するダスト及びエアシリンダ８０から発生するダストを第１空間及び第２空間に放出させない機能を有する。
　また、ワイパー５３，５４を構成する部材（材料）として、例えば、スポンジ状のポーラスな弾性体を選択すれば、その部材の内部に潤滑油を浸透（保持）させておくことができる。
　これにより、第２シール部５１ａ，５１ｂ及び第３シール部５２ａ，５２ｂによってシールされるシール面に一定の膜厚を有する薄い油膜が形成された状態を維持することが可能となる。つまり、ワイパー５３，５４は、余剰な油膜を拭き取り、油膜が枯渇した際には一定の膜厚を有する油膜を塗布する。

［中間大気室５５，５６］
　第２シール部５１ａ，５１ｂによって仕切られたエアシリンダ８０の表面には、大気圧の空間（空隙）である中間大気室５５が設けられている。同様に、第３シール部５２ａ，５２ｂによって仕切られたエアシリンダ８０の表面には、大気圧の空間（空隙）である中間大気室５６が設けられている。
　具体的には、可動弁板部５０の環状凸部５０ｄ（突条）の外周面５０ｆで第２シール部５１ａ，５１ｂによって仕切られた部分に中間大気室５５が設けられている。また、可動弁板部５０の環状凸部５０ｄ（突条）の内周面５０ｇで第３シール部５２ａ，５２ｂによって仕切られた部分に中間大気室５６が設けられている。中間大気室５５は、可動弁枠部６０の第１内周面６０ｆと可動弁板部５０の外周面５０ｆに設けられた溝とで形成された空間であり、中間大気室５６は、可動弁枠部６０の第１外周面６０ｇと可動弁板部５０の第２内周面５０ｇに設けられた溝とで形成された空間である。

　そして、これらの中間大気室５５，５６は、後述する供給路４１と同様の構成とされた図示しない連絡路によってスライド弁１００Ｂの外部に連通され、エアシリンダ８０の加圧中に１重目のシールが破れた場合でも、圧縮空気（駆動用気体）をスライド弁外部に向けて逃がして、圧縮空気が弁箱１０内部に放出されてしまうことを防止するようになっている。
　つまり、加圧状態にあるエアシリンダ８０に対して、１重目のシールである第２シール部５１ｂが破れた際に、２重目のシールである第２シール部５１ａより気体供給側に、駆動用気体をスライド弁外部に向けて逃がす中間大気室５５および連絡路が設けられている。また、加圧状態にあるエアシリンダ８０に対して、１重目のシールである第３シール部５２ｂが破れた際に、２重目のシールである第３シール部５２ａより気体供給側に、駆動用気体をスライド弁外部に向けて逃がす中間大気室５６および連絡路が設けられている。
　これにより、圧縮空気が弁体１０内部に噴出して、スライド弁１００Ｂ内部、および、第１空間、第２空間、に悪影響を及ぼすことを防止できる。

　同時にまた、これらの中間大気室５５，５６の圧力は、連絡路によりモニタ可能である。即ち、圧力計が中間大気室５５，５６の圧力を測定するようにスライド弁１００Ｂ外部に設けられるとともに連絡路によって接続されており、ユーザによってその圧力が監視される。
　例えば、第１開口部１２ａに近い第１空間が減圧空間であり、第２シール部５１ａが破損している場合においては、中間大気室５５の圧力は、大気圧よりも低くなる。
　また、圧縮空気が供給されているエアシリンダ８０内の圧力は大気圧よりも高くなるため、第２シール部５１ｂが破損している場合には、中間大気室５５の圧力は、大気圧よりも高くなる。
　同様に、第２開口部１２ｂに近い第２空間が減圧空間であり、第３シール部５２ａが破損している場合においては、中間大気室５６の圧力は、大気圧よりも低くなる。
　また、圧縮空気が供給されているエアシリンダ８０内の圧力は大気圧よりも高くなるため、第３シール部５２ｂが破損している場合には、中間大気室５６の圧力は、大気圧よりも高くなる。

　このようにスライド弁１００Ｂは、中間大気室５５，５６の圧力をモニタする構造を有することができるので、例えば、中間大気室５５，５６の圧力値が大気圧よりも低い圧力であって閾値の圧力よりも低い場合、あるいは大気圧よりも高い圧力であって閾値の圧力よりも高い場合に、第２シール部５１ａ，５１ｂ及び第３シール部５２ａ，５２ｂの異常を検知することができる。
　例えば、と中間大気室５５，５６中あるいは連絡路にアラーム装置が設けられた構造、或いは、スライド弁１００Ｂに接続された制御装置にアラーム装置が設けられた構造が採用されていれば、第２シール部５１ａ，５１ｂ及び第３シール部５２ａ，５２ｂの異常をアラームによって報知することができる。従って、第２シール部５１ａ，５１ｂ及び第３シール部５２ａ，５２ｂが破損し、内部リークがスライド弁１００Ｂに発生し、メンテナンスが必要であることをすぐに認識することができる。
　これにより、真空装置等の外部から検知することができない、スライド弁において発生した内部リーク等の不具合を確実に判断することができる。

［接続ピン部６９、供給路４１］
　スライド弁１００Ｂには、図に二点差線で示すように、エアシリンダ８０に駆動用気体を供給する供給路４１が形成され、この供給路４１は、可動弁枠部６０の躯体内部、および、中立弁部３０の躯体内部、回転軸１０内部を経由して、スライド弁１００Ｂの外部に設けられた図示しない駆動用気体供給手段に連通するよう設けられている。
　この供給路４１には、可動弁枠部６０と中立弁部３０との流路方向位置が変化した際にも、可動弁枠部６０と中立弁部３０との間で駆動用気体を供給可能に摺動接続する接続ピン部６９が設けられる。

　接続ピン部６９は、中立弁部３０に流路方向と平行に穿孔された円形断面の孔部３８と、この孔部３８に回動可能に勘合された棒状の接続ピン６８とからなっている。孔部３８の内面３８ａは、開口側の内面３８ａに比べて底部側の内面３８ｂが縮径され、これに対応して、接続ピン６８の径寸法も基部６８ａに対して先端６８ｂが縮径している。そして、この径寸法が変化する部分にそれぞれ段差３８ｃ、段差６８ｃが形成されている。

　接続ピン部６９は、図に二点差線で示すように、その中心軸線付近に供給路４１が形成されて管状となっており、可動弁枠部６０内部の供給路４１が連通されている。また、接続ピン６８の先端面６８ｄａには供給路４１が開口しており、この先端面６８ｄと孔部３８の底部３８ｄ付近とで形成される加圧空間６９ａには、中立弁部３０躯体内に形成された供給路４１が連通されている。
　駆動用気体供給手段から供給された圧縮空気は、中立弁部３０内部の供給路４１を介して空間６９ａに噴出し、接続ピン部６９内部の供給路４１および可動弁枠部６０内部の供給路４１を介してエアシリンダ８０に供給される。

　接続ピン部６９においては、接続ピン６８の外周面６８ａには孔部３８の内周面３８ａが当接するとともに、接続ピン６８の外周面６８ｂには孔部３８の内周面３８ｂが当接している。
　接続ピン６８には、孔部３８内で接続ピン６８が軸線方向（流路方向）に移動した場合でも、加圧面となる先端面６８ｄと底面３８ｄとの間ではなく、摺動方向となる面に、駆動用の圧縮空気が供給されて圧力が高い空間である加圧空間６９ａと、例えば圧力が低い空間である第２開口部１ｂに連通する第２空間側とを遮断する２重シール部が設けられる。
　シール部としては、加圧空間６９ａと中空部１１との仕切り状態を確保できるも部材が使用される。

　具体的には、接続ピン６８には、接続ピン６８と孔部３８との間をシールする２重シール部として、Ｏリング等とこれを埋設する周設溝とされる円環状の太シール部６８ｆが設けられるとともに、Ｏリング等とこれを埋設する周設溝とされる円環状の小シール部６８ｇが外周面６８ｂに設けられている。
　同時に、段差６８ｃおよび段差３８ｃで形成された円環状の中間大気室６９ｃが、この２重シールの間にあり、図示しない連絡路４２に連通されることで、圧縮空気が弁箱１０内部に噴出して、スライド弁１００Ｂ内部、および、第１空間、第２空間、に悪影響を及ぼすことを防止できる。

　特に、加圧面となるとともにその距離が変化する先端面６８ｄと底面３８ｄとの間でシールするのではなく、直接的に加圧面とはならずかつ摺動面であり距離が変化しない外周面６８ａと内周面３８ａおよび外周面６８ｂと内周面３８ｂとの間でシールを行うので、より確実な密閉状態を維持することが可能となる。
　このようなシール部６８ｆ、６８ｇの構成によれば、上述したエアシリンダ８０における第２シール部５１ａ，５１ｂ（２重シール部）及び第３シール部５２ａ，５２ｂ（２重シール部）およびガイドピン６２の構成と同様の作用効果を奏することが可能となる。

　孔部３８内で接続ピン６８が軸線方向（流路方向）に移動中あるいは移動して流路方向の相対位置が変化した場合でも、駆動用気体供給手段から供給された圧縮空気は、中立弁部３０内部の供給路４１を介して空間６９ａに噴出し、この体積の変化した空間６９ａを介して、接続ピン部６９内部の供給路４１および可動弁枠部６０内部の供給路４１を介してエアシリンダ８０に安定的に供給される。

　以上のように、第８実施形態においては、流路方向に互いに離間接近可能な可動弁板部５０と可動弁枠部６０とによって構成された可動弁部４０が設けられている。可動弁部４０には、可動弁板部５０と可動弁枠部６０とを流路方向外側に向けて付勢するメインバネ７０が設けられている。可動弁部４０には、可動弁板部５０と可動弁枠部６０とを中空部１１の流路方向中央位置側に向けて移動させるエアシリンダ８０が設けられている。可動弁枠部６０を中立弁部３０に接近する方向に付勢する補助バネ９０が設けられることによって、可動弁板部５０と可動弁枠部６０とを弁箱の内面１５ａ、１５ｂに押圧して、シール部６１及び反力伝達部５９とで確実に弁閉塞を行うことができる。
　また、可動弁板部５０と可動弁枠部６０とを中空部１１の流路方向中央位置側に向けて移動させることで、弁箱１０に弁体４０が接触しないようにして回動させ、回動以外の動作が必要な機構に比べて小型で出力の小さい駆動機構によって退避位置まで弁体４０を移動することができる。

　この構成においては、１つの可動弁部４０と３つの付勢部７０，８０，９０とによって弁体を形成することができる。また、可動弁部４０の周囲領域に配置されたメインバネ７０の復元力によって可動弁板部５０と可動弁枠部６０とを弁箱１０の内面に直接押し付けて、確実に閉弁できる。同様に、可動弁部４０の周囲領域に配置されたエアシリンダ８０に供給された圧縮空気の作用によって可動弁板部５０と可動弁枠部６０とを弁箱１０の内面から離間させて、確実に回動可能状態として開弁できる。従って、第８実施形態においては、簡単な構造を有し、高い信頼性で仕切り動作を行うことができるスライド弁を実現することができる。

（第９実施形態）
　図３０は、本発明の第９実施形態におけるスライド弁の構成を示す縦断面図であり、固定弁部と可動弁部とが嵌合されているシリンダ付近の要部拡大図である。
　図３０において、図２４ないし図２９に示した第８実施形態と同一の部材には同一符号を付して、その説明は省略または簡略化する。

　第８実施形態においては、可動弁板部５０の外周にＵ字形状のＵ字部が形成されており、可動弁枠部６０の内周に逆Ｕ字形状の逆Ｕ字部が形成されている。また、可動弁板部５０のＵ字部と可動弁枠部６０の逆Ｕ字部とが互いに嵌合するように、可動弁板部５０及び可動弁枠部６０が設けられている。
　一方、第９実施形態の可動弁部４０の構造においては、図３０に示すように可動弁板部５０の外周に形成された外周クランク部と可動弁枠部６０の内周に形成された内周クランク部とが嵌合されている。

　メインバネ７０を構成する弾性部材の自然長は、凹部６０ａの深さよりも大きい。このため、凹部６０ａの天井面と可動弁板部５０とによって圧縮されつつ凹部６０ａ内に配置されている第１付勢部７０においては、弾性復元力（延伸力，付勢力）が生じている。この弾性復元力が作用することにより、可動弁部６０がＢ１方向に摺動しながら、第１シール部６１が弁箱１０の内面に当接して押圧され、閉弁動作が行われる。

　メインバネ７０は、第１シール部６１を直接押圧できるようにするために、第１シール部６１の直下に配置されることが望ましい。
　第９実施形態においては、メインバネ７０が可動弁枠部６０に設けられているので、メインバネ７０を第１シール部６１の直下に位置させることが可能である。

　このような第９実施形態においては、閉弁動作及び開弁動作を行うアクチュエータとして、閉弁動作を行うメインバネ７０と、開弁動作を行うエアシリンダ８０とが設けられている。この構成において、メインバネ７０及びエアシリンダ８０は、第１シール部６１に近い可動弁部４０の周囲領域において、互いに近接するように並列に配置されている。
　具体的には、可動弁部４０の最外周である第１周囲領域４０ａにメインバネ７０が設けられ、第１周囲領域４０ａに隣接した第２周囲領域４０ｂにはエアシリンダ８０が配置される。また、メインバネ７０は、第１シール部６１の直下に位置している。

　この構造においては、メインバネ７０は第１シール部６１を直接押圧することができ、第１シール部６１にほぼ垂直方向に荷重を直接加えることができる。
　つまり、スライド弁１００Ｂの構造は、作用点及び支点が存在するモーメント荷重を加える構造ではない。このため、梃子に相当する部分の構造部材（強度）は必要なく、アクチュエータの構造を簡易化することができる。また、可動弁部６０に要求される剛性として、可動弁部６０の自重を支えることができる強度があれば十分である。

　第９実施形態の構造においては、可動弁枠部６０の第１シール部６１の直下にメインバネ７０が配置され、可動弁板部５０と可動弁枠部６０との間に設けられた１つの円環シリンダによって第２付勢部８０（エアシリンダ）が形成されている。この構造においては、アクチュエータの構成も簡単にすることにでき、閉弁動作及び開弁動作の信頼性を向上させることができる。
　また、このように可動弁部４０の周囲領域にアクチュエータが配置された構成が大口径を有するスライド弁に適用された場合であっても、上述した同様の構造によって確実に閉弁動作及び開弁動作を行うことができ、逆圧が作用した場合においても同様の動作ができる。

　この第９実施形態においては、第３シール部５２ｂ，中間大気室５６，第３シール部５２ａ，及びワイパー５４の位置が、第８実施形態とは異なっている。
　具体的に、第８実施形態においては、第１外周面５０ｆとは反対の面である内側面５０ｇに第３シール部５２ｂ，中間大気室５６，第３シール部５２ａ，及びワイパー５４が設けられているが、第９実施形態においては、第２外周面５０ｊに第３シール部５２ｂ，中間大気室５６，第３シール部５２ａ，及びワイパー５４が設けられている。

　可動弁板部５０の外周クランク部において、径方向外側に位置する第１外周面５０ｆに第２シール部５１ａ，５１ｂ、ワイパー５３が設けられている。また、径方向において第１外周面５０ｆの内側であって第２シール部５１ａ，５１ｂの下方に位置する第２外周面５０ｊに、第３シール部５２ａ，５２ｂ、ワイパー５４が設けられている。第２シール部５１ａ，５１ｂは、可動弁枠部６０の第１内周面６０ｊに当接し、第３シール部５２ａ，５２ｂは、可動弁部６０の第１内周面６０ｊの下方に位置する第２内周面６０ｋに当接する。

　第２シール部５１ａ，５１ｂ、ワイパー５３、中間大気室５５は、圧力が高い空間であるエアシリンダ８０と、圧力が低い空間等であって第１開口部１２ａに近い第１空間とを仕切り、仕切り状態を確保する。同様に、第３シール部５２ａ，５２ｂ、ワイパー５４、中間大気室５６は、圧力が高い空間であるエアシリンダ８０と、圧力が低い空間等であって第２開口部１２ｂに近い第２空間とを仕切り、仕切り状態を確保する。

　これらのワイパー５３，５４は、開弁動作及び閉弁動作によって摺動する可動弁枠部６０の内周面を潤滑あるいは清掃し、上記摺動によって発生するダスト及びエアシリンダ８０から発生するダストを第１空間及び第２空間に放出させない機能を有する。
　また、ワイパー５３，５４の内部に潤滑油を浸透（保持）させておくことができる。
　これにより、第２シール部５１ａ，５１ｂ及び第３シール部５２ａ，５２ｂによってシールされるシール面に一定の膜厚を有する薄い油膜が形成された状態を維持することが可能となる。つまり、ワイパー５３，５４は、余剰な油膜を拭き取り、油膜が枯渇した際には一定の膜厚を有する油膜を塗布する。

　以上のように、第９実施形態によれば、上記第８実施形態と同様の効果が得られる。更に、第９実施形態においては、閉弁動作を行うメインバネ７０と、開弁動作を行うエアシリンダ８０とを、第１シール部６１に近い可動弁部４０の周囲領域に配置しているので、弁箱１０にアクチュエータを設ける必要がなく、簡単な構成を有するスライド弁を実現できる。

（第１０実施形態）
　図３１は、本発明の第１０実施形態におけるスライド弁の構成を示す縦断面図であり、中立弁部と可動弁部（可動弁枠部）とが接続されている接続ピン部付近の要部拡大図である。
　図３１において、図２４ないし図２９に示した第８実施形態と同一の部材には同一符号を付して、その説明は省略または簡略化する。

　第８実施形態においては、接続ピン部６９として、可動弁枠部６０と一体とされた接続ピン６８が形成されていたが、第１０実施形態の接続ピン部６９としては、可動弁枠部６０に接続されたフローティングピン６８Ａ（接続ピン）が貫通孔６７に勘合されている。
　フローティングピン６８Ａは、図３１に示すように、孔部３８に回動可能かつ軸方向に摺動可能として勘合されている図示下部側が、上述した第８実施形態と略同等の構成とされている。

［接続ピン部６９、フローティングピン６８Ａ、供給路４１］
　第１０実施形態の接続ピン部６９は、供給路４１として設けられ、図３１に示すように、可動弁枠部６０に流路方向と平行に穿孔された円形断面の貫通孔６７を有し、この貫通孔６７にフランジ部６８Ａａを有する棒状のフローティングピン６８Ａが回動可能かつ半径方向に微動可能で、かつ傾斜は最小限になる様に勘合されている。貫通孔６７の内面６７ａは、フランジ部６８Ａａの径寸法に対応して可動弁枠部６０に対向した孔部３８よりも拡径したフランジ内面６７ａを有し、この開口側のフランジ内面６７ａに比べて図示上となる貫通側のガス接続位置内面３８ｂが縮径され、このガス接続位置内面６７ｂに比べて図示上となる貫通側の支持位置内面６７ｃが縮径され、この支持位置内面６７ｃに比べて図示上となる貫通側の外側内面６７ｄが拡径されている。

　フローティングピン６８Ａは、その径寸法がこの貫通孔６７の径寸法に対応して、フランジ部６８Ａａに対して縮径したガス接続部６８Ａｂが縮径し、ガス接続部６８Ａｂに対して固定端６８Ａｃが縮径している。
　固定端６８Ａｃには、固定溝６８Ａｄが周設されて、この固定溝６８Ａｄに勘合されたワッシャ等の固定部材６８Ａｅが、貫通孔６７の外側面６７ｅに当接することでフローティングピン６８Ａの軸方向（流路方向）における内側方向（図示下方向）の移動を規制し位置を固定している。
　フランジ部６８Ａａの上側となるシール面６８Ａｆと、ガス接続部６８Ａｂの上側となるシール面６８Ａｇは、対向する段差面６７ｆおよび段差面６７ｇとの間に、Ｏリング等とされるシール部材６７ｈ、６７ｊが設けられている。

　フローティングピン６８Ａの外径寸法として、固定端６８Ａｃは支持位置内面６７ｃの内径寸法とほぼ等しく設定されているが、フランジ部６８Ａａおよびガス接続部６８Ａｂは、それぞれ、フランジ内面６７ａおよびガス接続位置内面３８ｂに対して、微少寸法小さく設定されて、フローティングピン６８Ａが可動弁枠部６０に対して径方向に僅かに遊びがある状態とされている。傾斜すると、シール部材６７ｈの潰し代が変化してしまう為、傾斜は最低限に抑え、径方向に微小変位するというのが技術的特徴である。

　フローティングピン６８Ａは、固定端６８Ａｃの固定部材６８Ａｅと、シール面６８Ａｆおよびシール面６８Ａｇのシール部材６７ｈ、６７ｊで対向する方向に可動弁枠部６０を挟持するように固定されている。これにより、フローティングピン６８Ａは、図示上側に押圧された状態で、軸線方向（貫通孔６７の長さ方向）には移動しないように可動弁枠部６０に固定されている。
　同時に、フローティングピン６８Ａは、シール部材６７ｈがシール面６８Ａｆと段差面６７ｆとに押圧されて変形するとともに、シール部材６７ｊがシール面６８Ａｇと段差面６７ｇとに押圧されて変形するようになっている。
　このように、フローティングピン６８ＡのＯリング等とされるシール部材６７ｈ、６７ｊが段差面６７ｆおよび段差面６７ｇに押圧されて変形することで、ガス接続部６８Ａｂ、および、接続位置内面６７ｂ部分がシールされる。

　孔部３８の底部３８ｄ付近には、供給路４１となる開口が設けられる。
　フローティングピン６８Ａの内部には、その先端面６８ｄに開口し軸方向に沿って中心に開けられるとともに、接続位置内面６７ｂに設けられた開口に対向する位置とされるガス接続部６８Ａｂの表面に開口する供給路４１が設けられて、加圧空間６９ａとエアシリンダ８０とを接続可能となっている。

［接続ピン部６９、フローティングピン６８Ｂ、連絡路４２］
　第１０実施形態の接続ピン部６９としては、連絡路４２として設けられたフローティングピン６８Ｂが、図３５に示すように、可動弁枠部６０側は図３１に示すフローティングピン６８Ａと略同様の構成とされるため、対応する構成には同一の符号を付すか、６８Ａとの符号を６８Ｂと読み替えてその説明を省略する。
　フローティングピン６８Ｂは、中立弁部３０側が短くなっている。このため、中間大気室となる空間６９Ｂａは加圧されておらず、開口した連絡路４２は、段差６８ｃに対応する位置で端面６８Ｂｄとなっている。また、加圧状態でないため、２重シールも採用されていない。連絡路４２の一部であるフローティングピン６８Ｂと、供給路４１の一部であるフローティングピン６８Ａとは、図２４に示すように、中立弁体５の面内で異なる位置にそれぞれ設けられている。このように、連絡路４２と供給路４１とは、回転軸２０内部において平行位置とされたように、並行して中立弁部３０内部、可動弁枠部６０内部に設けられている。

　フローティングピン６８Ｂの内部には、その先端面６８Ｂｄに開口し軸方向に沿って中心に開けられるとともに、接続位置内面６７ｂに設けられた開口に対向する位置とされるガス接続部６８Ｂｂの表面に開口する連絡路４２が設けられて、中間大気空間６９Ｂａと中間大気室５５，５６とを接続可能となっている。

　第１０実施形態のフローティングピン６８Ａにおいては、摺動面と同じ方向となる内面６７ａとフランジ部６８Ａａの外周との間にシール部材は設けられていない。また、ガス接続位置内面６７ｂとガス接続部６８Ａｂとの間にシール部材は設けられていない。加圧面となる先端面６８ｄと平行な面（方向）との間、つまり、シール部材６７ｊがシール面６８Ａｇと段差面６７ｇとの間に設けられている。また、シール部材６７ｈがシール面６８Ａｆ（摺動方向と直行する面）と段差面６７ｆとの間に設けられている。このため、フローティングピン６８Ａが傾斜した場合や、フローティングピン６８Ａが僅かに径方向に移動した場合であっても、Ｏリング等とされるシール部材６７ｈ、６７ｊの潰し代は変化しない。したがって、このようにフローティングピン６８Ａが移動した場合、つまり、中立弁部３０と可動弁枠部６０とが、流路方向以外の相対位置変動した場合であっても、加圧されたガス接続部６８Ａｂ付近の供給路４１に対するシールを維持し、密閉が破れることがない。フローティングピン６８Ｂも同様に連絡路４２に対するシールを維持し、密閉が破れることがない。

　同時に、第１０実施形態においては、太シール部６８ｆおよび小シール部６８ｇにおいて、製作公差等によってフローティングピン６８Ａに対して半径方向の位置ズレなどがある場合においても、フローティングピン６８Ａと可動弁枠部６０に流路と直交する方向（フローティングピン６８Ａ径方向）の遊びがあるため、太シール部６８ｆおよび小シール部６８ｇの摺動Ｏリングには偏芯が生じない。したがって、摺動時にも接続ピン６８と孔部３８との間のシールを維持し、密閉が破れることがない。
　同時に、フローティングピン６８Ａの位置変動時においても、太シール部６８ｆおよび小シール部６８ｇに変形が集中することがないので、変形・破損の可能性を低減することができ、密閉維持をより確実に行うことができる。

　なお、上記本発明の実施形態においては、第１付勢部７０としてスプリングが用いられた構造について説明したが、他の弾性体を用いてもよい。
　また、第２付勢部８０の構造として、円環状の１つのエアシリンダが採用された構造について説明したが、油圧シリンダ等とされる他の駆動流体を使用する構成を採用してもよい。この場合にも、１つの円環状のシリンダが駆動することによって弁箱１０（１０ａ，１０ｂ）の内面から可動弁板部５０と可動弁枠部６０との厚さ寸法を収縮させる駆動装置が第２付勢部として用いられる。

　また、上記本発明の実施形態においては、図１０Ａに示すような円形に形成された開口部及び可動弁部、或いは図１０Ｂに示すような角部に丸みを有する略正方形に形成された開口部及び可動弁部について説明した。本発明のスライド弁はこれらの形状に限定されない。本発明のスライド弁は、可動弁部の周囲領域にアクチュエータが設けられた構造を有するので、例えば、図１０Ｃに示すような角部に丸みを有する略三角形に形成された開口部及び弁板（可動弁部）が採用されてもよい。また、図１０Ｄに示すような角部に丸みを有する略長方形に形成された開口部及び弁板が採用されてもよい。また、図１０Ｅに示すような角部に丸みを有する略六角形に形成された開口部及び弁板が採用されてもよい。また、図１０Ｆに示すような角部に丸みを有する略Ｕ字形に形成された開口部及び弁板に適用することも可能である。
　更には、楕円形に形成された開口部及び弁板、あるいは角部に丸みを有する略八角形に形成された開口部及び弁板等、あらゆる形状に形成された開口部及び弁板を本発明に適用可能である。

（第１１実施形態）
　次に本発明の第１１実施形態におけるスライド弁について述べる。
　以下、第１１実施形態のスライド弁おいては、第８～第１０実施形態と同様の構成には、同一の番号を付す。

　図４３に示されているように、回転軸２０の外周面２０ｂの流体経路リング１７，１８の間の中心位置には、この回転軸２０を駆動させる（回転させる）ための回転軸駆動機構３００Ａを構成するピニオン４２１が固着される。ピニオン４２１は外部から密閉可能なケーシング４１４Ｂの内部空間４２２ｈに収納され、このピニオン４２１には、図４０において紙面奥行方向に往復動作することで、ピニオン４２１（ピニオン１２１に対応）を介して回転軸２０を回動させる丸棒状のラック部材４２２（ラック１２２に対応）が接続される。

［回転軸駆動機構３００Ａ］
　図４３は、回転軸駆動機構３００Ａを示す概要図である。
　回転軸２０を回転させるための回転軸駆動機構３００Ａは、回転軸２０に固着されたピニオン４２１と、このピニオン４２１と噛合するラック歯４２２ａを備えたラック部材４２２とを有している。
　また、回転軸駆動機構３００Ａは、ラック部材４２２を往復運動させるための回転駆動エアシリンダ４１０を備えている。回転駆動エアシリンダ４１０によって、ラック部材４２２は軸線（長手方向）Ｃに沿って直線的に往復運動可能とされる。
　また、後述する第１５実施形態において具体的に述べるが、回転軸駆動機構３００Ａには、リミッタスイッチ（回転動作終了検出スイッチ）ｃｄＳが設けられている。このスイッチは、シリンダ本体４１１の一端側４１１ａに設けられており、縮位置Ｐｂにピストン４１２がある場合に動作する接触式のリミッタスイッチである。

　ラック部材４２２は、図４３に示すように、回転軸２０の軸線と直交方向の軸線を有し往復動作するピストン４１２に接続されている。ピストン４１２は筒状のシリンダ本体４１１（ケーシング）に格納されて回転駆動エアシリンダ４１０（駆動手段）を構成している。
この回転駆動エアシリンダ４１０に接続されたラック部材４２２は、ピストン４１２のラック部材４２２に対して反対側の伸圧力空間４１３に圧縮空気（駆動用気体）を供給することで伸張し、ピストン４１２のラック部材４２２側の縮圧力空間４２２ｃに圧縮空気（駆動用気体）を供給することで収縮する。

　ラック部材４２２は、ケーシング４１４Ｂと一体とされたケーシング４１４Ｂｂ内部に、ラック部材４２２の径寸法よりも大きな径寸法とされて回転軸２０と直行する方向に延在するように設けられたラック収納空間４２２ｄ、４２２ｇ、４２２ｍ（空間）の内部に軸方向に移動可能として収納される。この空間４２２ｄ、４２２ｇ、４２２ｍの内部では、ラック部材４２２は、その軸線方向においてピニオン４２１と噛み合う両側位置とされる２箇所の外周を覆うように設けられた滑り軸受４１５Ｂ，４１５Ｃ（軸受）によって往復移動可能に支承されている。軸受４１５Ｂ，４１５Ｃは、いずれも、ケーシング４１４Ｂｂと一体とされて、空間４２２ｇよりも小さな径寸法となるように縮径された外周面として形成されており、この軸受４２２Ｂ，４２２Ｃは、ラック部材４２２の外周面に密着している。

　ラック部材４２２の外周面の周方向の片側にはピニオン４２１と噛合うラック歯４２２ａが軸方向に隣接して多数設けられ、このラック歯４２２ａとは異なる周方向位置に、ラック部材４２２の軸線方向に対して軸受４１５Ｂ両側位置の空間４２２ｄおよび空間４２２ｇに連通する連通溝４１６が設けられる。この連通溝４１６は、図４６に示すように、軸線方向に対して軸受４１５Ｃ両側位置の空間４２２ｇおよび空間４２２ｍに連通するとともに、ラック部材４２２が往復動作した場合でも、軸受４２２Ｂ両側位置の空間４２２ｄと空間４２２ｇにおける連通状態および軸受４２２Ｃ両側位置の空間４２２ｇと空間４２２ｍにおける連通状態を維持する長さとなるよう設定されている。

　伸圧力空間４１３ａは、伸通気口４１４（供給路）を介して回転駆動エアシリンダ４１０外部から伸張用の圧縮空気を供給する供給源に接続されている。
　縮圧力空間４２２ｃには回転駆動エアシリンダ４１０外部から収縮用の圧縮空気を供給源から供給する供給源が接続されている。その経路は、縮圧力空間４２２ｃ、ラック部材４２２の収納された空間４２２ｄ、縮径した軸受４１５Ｂに対応する位置の連通溝４１６およびラック歯４２２ａに対応する部分空間、軸受４１５Ｂと軸受４１５Ｃとの間で拡径した空間４２２ｇ、ピニオン４２１の収納されるケーシング４１４Ｂの内部空間４２２ｈ、この内部空間４２２ｈとケーシング４１４Ｂ外部とに接続された供給路４２２ｊ（縮通気口）、とされている。

　軸受１６Ａ，１６Ｂ（図４０参照）によってケーシング１４に対して支持された回転軸２０は、回転駆動エアシリンダ（回転駆動手段）によって往復運動するラック部材４２２により駆動され、このラック部材４２２に噛み合うピニオン４２１とともに回転動作する。

　また、回転駆動エアシリンダ４１０（駆動手段）の収縮動作時、および、ラック部材４２２の収縮位置Ｐｂを維持する間は、以下の空間（シリンダ）において加圧状態が維持される。具体的に、縮圧力空間４２２ｃ、収納空間４２２ｄ、ラック部材４２２の収納された空間４２２ｇ、縮径した軸受４１５Ｂに対応する位置の連通溝４１６およびラック歯４２２ａの噛み合わせ位置に対応する空間４２２ｇ、軸受４１５Ｂと軸受４１５Ｃとの位置にかかわらず拡径している空間４２２ｄ、４２２ｇ、４２２ｍ、ピニオン４２１の収納されるケーシング４１４Ｂの内部空間４２２ｈ、この内部空間４２２ｈとケーシング４１４Ｂ外部とに接続された供給路４２２ｊ、のいずれにおいても、加圧状態が維持される。

　回転駆動エアシリンダ４１０（シリンダ）は、回転軸２０を収納するケーシング４１４Ｂと一体とされ、一端側４１１ａが閉塞された円筒状のシリンダ本体４１１と、このシリンダ本体４１１の内部空間４１１ｂに摺動可能に収容されたピストン４１２とを備えている。そして、この内部空間４１１ｂには、シリンダ本体４１１の一端側４１１ａとピストン４１２の一面側４１２ａ（第一面）とで区画されて、ピストン４１２の移動によって容量が可変する伸圧力空間４１３が形成される。また、シリンダ本体４１１には、この伸圧力空間４１３に連通し、外部から伸圧力空間４１３に駆動用に圧縮空気を供給する伸通気口４１４（通気口）が形成されている。こうした通気口４１４は、スライド弁１００Ｂの外部に設けられた駆動用圧力空気供給源として例えばポンプが接続されていればよい。

　ピストン４１２は、シリンダ本体４１１の内部空間４１１ｂにおいて、軸線（長手方向）Ｃに沿って直線的に往復運動可能に収容されている。こうしたピストン４１２は、伸圧力空間４１３が最大に拡張され、シリンダ本体４１１の内部空間４１１ｂにおいて最も一端側４１１ａから遠ざかった位置にピストン４１２がある伸位置Ｐａ（図４３）と、ピストン４１２のラック部材４２２側の縮圧力空間４２２ｃが最大に拡張されて収縮し、伸圧力空間４１３が最小に縮小され、最も一端側４１１ａに接近した位置にピストン４１２がある縮位置Ｐｂ（図４４）との間で摺動可能にされている。

　また、ピストン４１２の一面側４１２ａには、突起部４１２ｃが形成されている。シリンダ本体４１１の一端側４１１ａには、ピストン４１２が縮位置Ｐｂにある時に突起部４１２ｃが入り込む凹部４１１ｃが形成されている。突起部４１２ｃの外径と凹部４１１ｃの内径とは略等しく、これらが摺動する際には凹部４１１ｃ内部と伸圧力空間４１３とが気密状態に近くなるように設定されている。通気口４１４の一端側は、この凹部４１１ｃで露呈する位置に形成されている。また、ピストン４１２の他面側４１２ｂ（第二面）には、突起部４１２ｃと同様に形成された突起部４１２ｄ（接続部）を介してラック部材４２２が固着される。接続部４１２ｄの外径とラック収納空間４２２ｄの内径とは略等しく、これらが摺動している際には、ラック収納空間４２２ｄ内部と縮圧力空間４２２ｃとが気密状態に近くなるように設定されている。

　ピストン４１２の突起部４１２ｃには、ピストン４１２の往復運動方向、即ち、軸線（長手方向）Ｃに沿って断面積が連続的に変化し、伸圧力空間４１３内の空気を通気口４１４に向けて徐々に通気させる緩衝溝４１８（縮緩衝溝）が形成されている。
　具体的には、図４５Ａ及び図４５Ｂに示すように、緩衝溝４１８は、ピストン４１２の突起部４１２ｃに形成された、ピストン４１２の一面側４１２ａからシリンダ本体４１１の一端側４１１ａに向かって断面積が広がるように、軸線（長手方向）Ｃに対して傾斜した溝からなる。

　ピストン４１２の突起部４１２ｄには、ピストン４１２の往復運動方向、即ち、軸線（長手方向）Ｃに沿って断面積が連続的に変化し、縮圧力空間４２２ｃ内の空気を空間４２２ｇに向けて徐々に通気させる緩衝溝４１９（伸緩衝溝）が形成されている。
　緩衝溝４１９（伸緩衝溝）は、図４５Ａ及び図４５Ｂに示した緩衝溝４１８と同様に、ピストン４１２の突起部４１２ｄに形成され、ピストン４１２の一面側４１２ｂからラック部材４２２側の空間４２２ｄに向かって断面積が広がるように、軸線（長手方向）Ｃに対して傾斜した溝からなる。

　ラック部材４２２は、図４３、図４４，図４６に示すように、軸線（長手方向）Ｃに垂直な断面が円形を成す丸棒状に形成されている。そして、この丸棒状のラック部材４２２の周面の一部には、ラック歯４２２ａが軸線（長手方向）Ｃに沿って所定のピッチで配列形成されている。

　回転軸２０に固着されたピニオン４２１とラック歯４２２ａとの噛合部分Ｓの両側にはそれぞれ、ラック部材４２２を摺動可能に支持する滑り軸受４１５Ｂ，４１５Ｃが配されている。この滑り軸受４１５Ｂ，４１５Ｃは、図４６に示すように、ラック部材４２２の断面よりも僅かに大きい断面円形の内周面４１５ａが形成され、その内周面４１５ａに外周が接触する丸棒状のラック部材４２２を軸線（長手方向）Ｃに沿って円滑に摺動可能に支持する。

　また、図４３、図４６に示すように、ラック部材４２２の表面（周面）には、上述したように連通溝４１６（溝）が、軸線Ｃ方向において、滑り軸受４１５Ｂと滑り軸受４１５Ｃとの両外位置側まで延在するように形成されている。また、ラック部材４２２を収納するケーシング４１４Ｂには、この連通溝４１６に入り込むボス（図示略）が形成されて、連通溝４１６とボスとの係合によって、ラック部材４２２が軸線Ｃ周りに回動することを防止することもできる。これによって、ラック部材４２２が往復運動する際に軸線Ｃ周りに捩れることがない。

　図４７は、滑り軸受４１５Ｂ，４１５Ｃの配置位置を示す説明図である。
　滑り軸受４１５Ｂ，４１５Ｃは、ピニオン４２１とラック歯４２２ａとの噛合部分Ｓに生じるラック部材４２２の作用線（の延長線）Ｌ１，Ｌ２と、ラック部材４２２の軸心（軸中心線）Ｃとの交点Ｐ１，Ｐ２よりも、噛合部分Ｓから遠ざかる方向に配されるのが好ましい。

　即ち、２つの噛合歯であるピニオン４２１とラック歯４２２ａとの接触点の移動方向である作用線Ｌ１，Ｌ２が、それぞれラック部材４２２の軸心（軸中心線）Ｃと交差する点を交点Ｐ１，Ｐ２としたときに、滑り軸受４１５Ｂ，４１５Ｃの中心線Ｑがこの交点Ｐ１，Ｐ２よりも外側になるように、滑り軸受４１５Ｂ，４１５Ｃをそれぞれ配置する。

　滑り軸受４１５Ｂ，４１５Ｃの配置位置を上述したように設定することによって、滑り軸受４１５Ｂ，４１５Ｃは、ピニオン４２１の回転によって生じる外力、即ち、ピニオン４２１から遠ざかる方向に向かう力を受けることがなくなる。これによって、滑り軸受４１５Ｂ，４１５Ｃは、ラック部材４２２との接触部分において、軸心（軸中心線）Ｃに直角な方向の応力が加わることを防止して、ラック部材４２２との摩擦力を低減して円滑に摺動可能にラック部材４２２を保持することが可能になる。

　以上のような構成の回転軸駆動機構３００Ａによれば、例えば、図４４に示す縮位置Ｐｂにピストン４１２がある場合には、このピストン４１２に固着されたラック部材４２２からピニオン４２１を介して連動（回転）される回転軸２０が、その回動範囲において、図４４中の反時計回り方向いっぱいに回転した状態とされ、この回転軸２０の位置においては、回転軸２０に固定された中立弁部３０を介して可動弁部４０が流路Ｈの弁閉位置Ｅ２（図２４）に置かれる。

　一方、この縮位置Ｐｂから、図４３に示す伸位置Ｐａにピストン４１２を移動させる際には、シリンダ本体４１１の内面とピストン４１２の一面側４１２ａとで区画された伸圧力空間４１３内に、通気口４１４から駆動用圧縮空気を送り込む。すると伸圧力空間４１３の内圧が高まることによって、ピストン４１２は軸線（長手方向）Ｃに沿って、シリンダ本体４１１の一端側４１１ａから遠ざかる方向に移動（摺動）し、圧力空間４１３が広がる。この際、縮圧力空間４２２ｃ内部の余分な空気は、縮圧力空間４２２ｃから、ラック部材４２２が収納される空間４２２ｄ、軸受４１５Ｂに対応する位置の連通溝４１６およびラック歯４２２ａに対応する部分空間、ケーシング４１４Ｂｂの内部空間４２２ｇ、ケーシング４１４Ｂの内部空間４２２ｈ、通気口４２２ｊを介して、外部へ排出される。

　ピストン４１２がシリンダ本体４１１の一端側４１１ａから遠ざかる方向に伸位置Ｐａまで移動すると、ピストン４１２に固着されたラック部材４２２は、ラック歯４２２ａと噛合するピニオン４２１を図４３中の時計回り方向に回転させる。これによって、回転軸２０も時計回り方向に回転され、この回転軸２０に固定された中立弁部３０を介して可動弁部４０が流路Ｈの退避位置Ｅ１（図２４）に振り子運動で移動する。

　さらに、図４３に示す伸位置Ｐａにピストン４１２があり、可動弁部４０が流路Ｈの退避位置Ｅ１（図２４）とされた場合に、この伸位置Ｐａ（図４３）から、縮位置Ｐｂ（図４４）にピストン４１２を移動させる際には、ケーシング４１４Ｂｂの端面４１４Ｂａ側とシリンダ本体４１１の内面４１１ｂとピストン４１２の他面側４１２ｂとで区画された縮圧力空間４２２ｃ内に、通気口４２２ｊから駆動用圧縮空気を送り込む。すると縮圧力空間４２２ｃの内圧が高まることによって、ピストン４１２は軸線（長手方向）Ｃに沿って、シリンダ本体４１１の一端側４１１ａに近づく方向に移動（摺動）し、圧力空間４１３が縮まる。

　この際、伸圧力空間４１３内部の余分な空気は、伸圧力空間４１３から、通気口４１４を介して、外部へ排出される。
　縮圧力空間４２２ｃには、通気口４２２ｊからピニオン４２１の収納された内部空間４２２ｈ、ラック部材４２２が収納された内部空間４２２ｇ、軸受４１５Ｂに対応する位置の連通溝４１６およびラック歯４２２ａの噛み合わせ位置に対応する空間４２２ｇ、収納空間４２２ｄを介して、圧縮空気が供給される。この際、軸受４１５Ｃに対応した連通溝４１６内部、空間４２２ｄも加圧状態となっている。

　ピストン４１２がシリンダ本体４１１の一端側４１１ａに近づく方向に縮位置Ｐｂまで移動すると、ピストン４１２に固着されたラック部材４２２は、ラック歯４２２ａと噛合するピニオン４２１を図４４中の反時計回り方向に回転させる。これによって、回転軸２０も反時計回り方向に回転され、この回転軸２０に固定された中立弁部３０を介して可動弁部４０が流路Ｈの弁閉位置Ｅ２（図２４）に振り子運動で移動する。

　このように、回転軸駆動機構３００Ａを構成するシリンダ本体４１１内の伸圧力空間４１３および縮圧力空間４２２ｃの内圧を可変させ、ピストン４１２を伸位置Ｐａ（図４３）と縮位置Ｐｂ（図４４）との間で直線運動させることによって、ラック部材４２２、ピニオン４２１を介して回転軸２０を回動させ、可動弁部４０を流路Ｈに対して退避位置Ｅ１と弁閉位置Ｅ２（図２４）との間で移動させることができる。

　以上のようなピストン４１２の伸位置Ｐａと縮位置Ｐｂとの間の移動においては、緩衝溝４１８によって、ピストン４１２の縮位置Ｐｂへの移動を滑らかに変化させる。同様に、緩衝溝４１９によって、ピストン４１２の伸位置Ｐａへの移動を滑らかに変化させる。

　先ず緩衝溝４１８について説明する。
　ピストン４１２を伸位置Ｐａから縮位置Ｐｂに移動させる際には、伸圧力空間４１３の急激な縮小によるピストン４１２の急停止、即ち、ラック部材４２２とピニオン４２１との噛合部分Ｓに急激に大きな応力が加わらないように、ピストン４１２の突起部４１２ｃ形成された緩衝溝４１８によって、ピストン４１２の縮位置Ｐｂへの移動を滑らかに変化させる。

　例えば、図４５Ａに示すように、縮圧力空間４２２ｃに駆動用圧縮空気を供給しその内圧を増大させてピストン４１２を縮位置Ｐｂに向けて移動させる際に、突起部４１２ｃがシリンダ本体４１１の凹部４１１ｃに入り込む位置まで移動してくると、突起部４１２ｃ周囲の伸圧力空間４１３から凹部４１１ｃに流入して通気口４１４から排出されていた空気の流れが遮断される。また、突起部４１２ｃの周縁に広がる伸圧力空間４１３ａの内圧が急に高まり（伸圧力空間４１３ａが圧縮され）、ピストン４１２の移動速度が急激に減少する方向に力が働く。

　しかしながら、突起部４１２ｃに形成された緩衝溝４１８によって、伸圧力空間４１３ａ内の空気はこの緩衝溝４１８を介して通気口４１４に誘導される。即ち、伸圧力空間４１３ａは緩衝溝４１８を介して通気口４１４に連通される。

　しかも、この緩衝溝４１８は、ピストン４１２の一面側４１２ａからシリンダ本体４１１の一端側４１１ａに向かって断面積が広がるように形成されているので、図４５Ｂに示すように、ピストン４１２が縮位置Ｐｂ（図４４）に近づくほど、緩衝溝４１８の断面積、即ち、開口面積が減少する。これによって、ピストン４１２が縮位置Ｐｂに至る直前では、伸圧力空間４１３ａから通気口４１４に至る空気の流量が徐々に絞られる（減少する）ため、伸圧力空間４１３ａの内圧減少が徐々に低下する。これによって、ピストン４１２を緩やかに縮位置Ｐｂで停止させることができる。よって、伸圧力空間４１３の急激な縮小によるピストン４１２の急停止を防止し、ラック部材４２２とピニオン４２１との噛合部分Ｓ（図４７）に急激に大きな応力を加えずに滑らかに停止させることが可能になる。

　同様に、緩衝溝４１９によって、ピストン４１２の伸位置Ｐａへの移動を滑らかに変化させる。
　伸圧力空間４１３に駆動用圧縮空気を供給しその内圧を増大させてピストン４１２の伸位置Ｐａに向けて移動させる際に、突起部４１２ｄがケーシング４１４Ｂｂの空間４２２ｄに入り込む位置まで移動してくると、突起部４１２ｄ周囲の縮圧力空間４２２ｃから空間４２２ｄに流入して空間４２２ｈ側に移動して通気口４２２ｊから排出されていた空気の流れが遮断される。また、突起部４１２ｄの周縁に広がる縮圧力空間４２２ｃの内圧が急に高まり（縮圧力空間４２２ｃが圧縮され）、ピストン４１２の移動速度が急激に減少する方向に力が働く。

　しかしながら、突起部４１２ｄに形成された緩衝溝４１９によって、縮圧力空間４２２ｃ内の空気はこの緩衝溝４１９を介して通気口４２２ｊに連通する空間４２２ｄに誘導される。即ち、縮伸圧力空間４２２ｃは緩衝溝４１９を介して空間４２２ｄに連通される。

　しかも、この緩衝溝４１９は、ピストン４１２の一面側４１２ｂからケーシング４１４Ｂｂの他端側４１４Ｂａに向かって断面積が広がるように形成されているので、ピストン４１２が伸位置Ｐａ（図４３）に近づくほど、緩衝溝４１９の断面積、即ち、開口面積が減少する。これによって、ピストン４１２が伸位置Ｐａに至る直前では、縮圧力空間４２２ｃから空間４２２ｄに至る空気の流量が徐々に絞られる（減少する）ため、縮圧力空間４２２ｃの内圧減少が徐々に低下する。これによって、ピストン４１２を緩やかに伸位置Ｐａで停止させることができる。よって、縮圧力空間４２２ｃの急激な縮小によるピストン４１２の急停止を防止し、ラック部材４２２とピニオン４２１との噛合部分Ｓ（図４７）に急激に大きな応力を加えずに滑らかに停止させることが可能になる。

　回転駆動エアシリンダ４１０には、上記の緩衝溝４１８，４１９に加えて、ピストン４１２が伸位置Ｐａに至る直前、または、ピストン４１２が伸位置Ｐａから移動し始めた直後におけるピストン４１２の移動速度を調節するための制御緩衝流路４１９ａが設けられる。

　制御緩衝流路４１９ａは、図４３，図４４，図５３に示すように、ピストン４１２が伸位置Ｐａ（図４３）とされた際に、突起部４１２ｄによって閉塞される位置の空間４２２ｄに一端が開口するとともに、他端がケーシング４１４Ｂｂの他面側４１４Ｂａ（第二面）に開口する流路４１９ａとされる。
　この流路４１９ａには、交わる方向に連通し、ケーシング４１４Ｂｂ外部に開口する制御用孔４１６ｂが設けられ、この制御用孔４１６ｂ内部には、流路４１９ａを閉塞可能な制御ピン４１９ｃが制御用孔４１９ｂの延在する方向に摺動可能に設けられている。

　この制御緩衝流路４１９ａは、緩衝溝４１９と同様、縮圧力空間４２２ｃと空間４２２ｄとの間で移動する空気の流量を制御する。
　具体的には、制御緩衝流路４１９ａでは、制御ピン４１９ｃが制御用孔４１６ｂ内部を移動すると、その位置によって、流路４１９ａの断面積が変化する。これにより、縮圧力空間４２２ｃと空間４２２ｄとの間で移動する空気の流量が変化する。したがって、制御緩衝流路４１９ａが、空間４２２ｄに開口した状態で、かつ、突起部４１２ｄがケーシング４１４Ｂｂの空間４２２ｄに入り込んだ状態の間は、制御ピン４１９ｃの位置によって、流路４１９ａの開度を調節し、ピストン４１２の移動速度を制御することができる。

　制御ピン４１９ｃを抜いて流路４１９ａの断面積を増やすと、ラック部材４２２の移動速度、つまり、可動弁体４０の振り子運動の移動速度が増大する。また、制御ピン４１９ｃを挿入して流路４１９ａの断面積を減少させると、ラック部材４２２の移動速度、つまり、可動弁体４０の振り子運動の移動速度が減少する。
　特に、ピストン４１２が伸位置Ｐａに到着する直前のみならず、ピストン４１２が伸位置Ｐａから縮位置Ｐｂに動き始める場合、つまり、可動弁部４０が流路Ｈの退避位置Ｅ１（図２４）に振り子運動で移動し始める場合にもこのようなエアダンパー効果を奏する。これにより、ラック部材４２２とピニオン４２１との噛合部分Ｓ（図４７）に急激に大きな応力を加えずに滑らかに動作開始、および、停止させることが可能となる。

　このようなシリンダ４１０であると、圧縮空気の供給を伸通気口４１４と縮通気口４２２ｊとで切り替えるだけでシリンダ４１０の伸縮を行って中立弁体５の揺動動作をさせることが可能である。

　流体経路リング１７と流体経路リング１８とは、回転軸２０とほぼ等しい内径とされ、ピニオン４２１よりも弁箱１０側の流体経路リング１７の外径がベアリング１６Ａの外径より大きくかつピニオン４２１の外径寸法よりも小さく設定され、ピニオン４２１よりも蓋体１４Ｄ（図４０参照）側の流体経路リング１８の外径がピニオン４２１の径寸法よりも大きく設定されている。ベアリング１６Ａ，１６Ｂで支持された回転軸２０が回動すると、流体経路リング１７と流体経路リング１８とに対して、接触位置が周方向に変化することになる。

　流体経路リング１７には、第２周囲領域４０ａにおいて可動弁板部５０と可動弁枠部６０との間に形成された円環状エアシリンダ８０に駆動用気体を供給する供給路４１の一部とされる流体経路として、径方向に延在しその外周面１７ａ及び内周面１７ｂに開口する径方向リング経路１７ｃが設けられる。この径方向リング経路１７ｃの外周面１７ａ側は円筒ケーシング４１４Ｂの径方向に貫通する経路１４Ｂｃに連通している。

　流体経路リング１８には、第２周囲領域４０ａにおいて可動弁板部５０と可動弁枠部６０との間に形成された円環状エアシリンダ８０に設けられた２重シール部において２重目のシール５１ａ，５２ａより気体供給側に設けられた中間大気室５５に接続され、１重目のシール５１ｂ，５２ｂが破れた際に駆動用気体をスライド弁１００Ｂの外部に向けて逃がす連絡路４２の一部とされる流体経路として、径方向に延在しその外周面１８ａ及び内周面１８ｂに開口する径方向リング経路１８ｃが設けられる。この径方向リング経路１８ｃの外周面１８ａ側は円筒ケーシング４１４Ｂの径方向に貫通する経路１４Ｃｃに連通している。
　上述の第１１実施形態においても、上述した第８～第１０実施形態と同様の効果が得られる。

（第１２実施形態）
　次に本発明の第１２実施形態における回転軸駆動機構３００Ｂについて述べる。
　以下、第１２実施形態のスライド弁おいては、第８～第１１実施形態と同様の構成には、同一の番号を付す。
　図４８は、本発明の第１２実施形態における回転軸駆動機構３００Ｂの構成を示す断面図であり、回転駆動エアシリンダ（シリンダ）が伸位置にある時の状態である。図４９は、回転軸駆動機構３００Ｂの構成を示す断面図であり、シリンダが縮位置にある時の状態である。
図５０は、回転軸駆動機構３００Ｂの構成を示す断面図であり、シリンダが中間位置にある時の状態である。
　なお、これら図４８～図５８に示す第１２実施形態において、図２４ないし図４７に示した第１１実施形態と同一の構成、部材には同一符号を付し、また、その説明は省略または簡略化し、ピニオン４２１、回転軸２０側は図示を省略する。

　第１１実施形態においては、シリンダ本体４１１の内部空間４１１ｂに収容されているピストン４１２は１つであり、このピストン４１２の停止位置として伸位置Ｐａと縮位置Ｐｂの２位置が設定されていた（図４３，図４４参照）。
　一方、以下に説明する第１２実施形態においては、シリンダ本体５１１の第１の内部空間５１１ｂおよび第２の内部空間５１１ｃには、直列に２つのピストン５２１ａ，５２１ｂがそれぞれ収容される。そして、これら２つのピストン５２１ａ，５２１ｂがそれぞれ、３つの停止位置、即ち、伸位置Ｐａ１，Ｐａ２，縮位置Ｐｂ１，Ｐｂ２，および中間位置Ｐｃ１，Ｐｃ２が設定される。

　こうした２つのピストン５２１ａ，５２１ｂにそれぞれ３つの停止位置が設定されることによって、図５１に示す第１２実施形態におけるスライド弁の可動弁部４０は、可動弁部における３つの停止位置で停止可能となる。具体的に、３つの停止位置とは、流路Ｈが設けられていない中空部１１に位置する退避位置Ｅ１、第１開口部１２ａに対応する位置である流路Ｈの弁閉位置Ｅ２、およびこれら退避位置Ｅ１と弁閉位置Ｅ２との中間にあって流路Ｈの開口面積のうち半分ほどを覆う（遮蔽する）半開位置（Ｅ３）である。この半開位置の状態が調整可能である。
　なお、それ以外の構成は第１１実施形態と同様である。以下、回転軸駆動機構３００Ｂを構成するシリンダ５１０を中心に、その構成と作用を説明する。

　回転軸２０を回転させるための回転軸駆動機構３００Ｂは、回転軸２０に固着されたピニオン４２１と、このピニオン４２１と噛合するラック歯４２２ａを備えたラック部材４２２とを有し、これらがケーシング１４他の内部に密閉されている。
　また、回転軸駆動機構３００Ｂは、ラック部材４２２を往復運動させるためのシリンダ５１０を備えている。シリンダ５１０によって、ラック部材４２２は軸線（長手方向）Ｃに沿って直線的に往復運動可能とされる。

　回転駆動エアシリンダ５１０（シリンダ）は、回転軸２０を収納するケーシング４１４Ｂと一体とされ、一端側５１１ａが閉塞された略円筒形のシリンダ本体５１１を有している。
シリンダ本体５１１の内部は、中間隔壁５２３によって互いに仕切られた第１の内部空間５１１ｂおよび第２の内部空間５１１ｃが区画されている。
　また、第１の内部空間５１１ｂに摺動可能に収容された第１ピストン５２１と、第２の内部空間５１１ｃに摺動可能に収容された第２ピストン５２２とを備えている。そして、このシリンダ本体５１１と第１ピストン５２１の一面側５２１ａ（第一面）とで区画され、第１ピストン５２１の移動によって容量が可変する停止位置設定用圧力空間５２４（第１圧力空間）が形成される。また、シリンダ本体５１１の中間隔壁５２３と第２ピストン５２２の一面側５２２ａ（第一面）とで区画され、第２ピストン５２２の移動によって容量が可変する第２伸圧力空間５２５および、ケーシング４１４Ｂｂの他面側４１４Ｂａと第２ピストン５２２とで区画され、第２ピストン５２２の移動によって容量が可変する第２縮圧力空間４２２ｃが形成される。

　シリンダ本体５１１には、第１圧力空間５２４に連通し、外部から第１圧力空間５２４に空気を送り込み、又は第１圧力空間５２４から外部に空気を排出する伸通気口５２６（通気口）と、第１ピストン５２１の移動によって容量が可変する第１圧力空間５２４と反対側の容量可変空間５２３Ａに連通して第１ピストン５２１の移動に従って容量可変空間５２３Ａ内部の空気を外部との間でやりとりする連通穴５２３ｂが形成されている。
　また、シリンダ本体５１１には、第２圧力空間５２５に連通し、外部から第２圧力空間５２５に空気を送り込み、又は第２圧力空間５２５から外部に空気を排出する伸通気口５２７（通気口）が形成されている。ケーシング４１４Ｂには、第２縮圧力空間４２２ｃには空間４２２ｄ（図４３、図４４参照）、空間４２２ｇ、空間４２２ｈに連通し、外部から圧力空気を送り込み、または、排出する縮通気口４２２ｊが設けられる。（図４３、図４４参照）
　これら伸通気口５２６，５２７、縮通気口４２２ｊは、それぞれ外部に例えばポンプ等の圧力空気供給源が接続されていればよい。

　第１ピストン５２１は、中心部分が一面側５２１ａから第２圧力空間５２５に向けて延びる中空の突出部５３１が形成されている。中間隔壁５２３には、この突出部５３１を摺動可能に貫通させる貫通孔５２３ａが形成されている。突出部５３１は、第１ピストン５２１の一面側５２１ａが狭窄部５３１ａとされ、中間隔壁５２３側に広がる中空部分よりも開口幅が狭められている。突出部５３１は、第１ピストン５２１がシリンダ本体５１１の一端側５１１ａに位置した場合には、貫通孔５２３ａが第２ピストン５２２側に対して、第１１実施形態における凹部４１１ｃに対応する凹部となるようにその軸方向Ｃ長さ寸法が設定される。また、貫通孔５２３ａ内面の容量可変空間５２３Ａ側には、突出部５３１を密閉状態で摺動可能にするシール手段としてのＯリング５２３ｃが周設されている。

　シリンダ本体５１１の一端側５１１ａには、長ネジ５３２、回動ツマミ５３３、および長ネジ５３２の一端に螺合されたナット５３４とからなる第１ピストン規制部材５３５が回動可能に設けられている。
　このうち、長ネジ５３２は一端側が第１ピストン５２１の突出部５３１における狭窄部５３１ａを貫通し、突出部５３１の中空部分でナット５３４が締結されている。このナット５３４の外径は、狭窄部５３１ａの開口幅よりも大きい。また、ナット５３４は、長ネジ５３２を回転した際、ナット５３４は回動せずに、長ネジ５３２への螺合位置が軸方向に変化するように、突出部５３１の中空部分内面によってその回動が規制されている。

　一方、第２ピストン５２２の一面側５２２ａには、突起部５２２ｂが形成されている。
そして、この突起部５２２ｂは、第１１実施形態における突起部４１２ｃと同様の作用を得られるよう、図４８に示すように、突起部５２２ｂの外径と貫通孔５２３ａの内径とは略等しく、これらが摺動する際には、突出部５３１先端と貫通孔５２３ａで形成される凹部内と伸圧力空間５２５とが気密状態に近くなるように設定されている。同時に、貫通孔５２３ａ内面の伸圧力空間５２５側には、突起部５２２ｂと貫通孔５２３ａ内部とにおける気密性を維持するためのをエアクッションパッキン５２３ｄが周設されている。これちとともに、突起部５２２ｂには、ピストン５２１の往復運動方向、即ち、軸線（長手方向）Ｃに沿って断面積が連続的に変化し、貫通孔５２３ａ内部の空気を徐々に伸圧力空間５２５に向けて通気させる緩衝溝５１８が、第１１実施形態における緩衝溝４１８（縮緩衝溝）と同様に設けられている。

　突起部５２２ｂの一端には、緩衝材５３６が形成されている。第１ピストン５２１と第２ピストン５２２とは、突出部５３１の第２ピストン５２２側の外面（底面）と突起部５２２ｂとで当接し、こうした当接部分においては、この緩衝材５３６を介して第１ピストン５２１と第２ピストン５２２とが当接する。緩衝材５３６は、例えば、ゴム、ゲルなど弾性材料、スポンジなどの多孔質材料から構成されていればよい。
　こうしたと第２ピストン５２２の他面側５２２ｃ（第二面）には、突起部５２２ｄ（接続部）を介してラック部材４２２が固着される。

　第１ピストン５２１は、シリンダ本体５１１の第１の内部空間５１１ｂにおいて、軸線（長手方向）Ｃに沿って直線的に往復運動可能に収容されている。こうした第１ピストン５２１は、第１圧力空間５２４が最大に拡張され、第１の内部空間５１１ｂにおいて最も一端側５２１ａから遠ざかった位置、即ち、第１ピストン５２１の他面側５２１ｂ（第二面）が中間隔壁５２３に接する位置にある伸位置Ｐａ１（図４８）と、第１の内部空間５１１ｂが最小に縮小され、最も一端側５１１ａに接近した位置にある縮位置Ｐｂ１（図４９）と、この伸位置Ｐａ１と縮位置Ｐｂ１の中間付近にある中間位置Ｐｃ１（図５２）の３位置の停止位置が設定される。

　なお、第１ピストン５２１は、第１ピストン規制部材５３５によって、中間位置Ｐｃ１（図５２）における停止位置を調整することが可能とされている。即ち、第１ピストン規制部材５３５の回動ツマミ５３３を回すことによって、突出部５３１の内面に接して回動が抑止されたナット５３４と、長ネジ５３２との位置を変化させる。

　これによって、例えば、ナット５３４の長ネジ５３２に対する締結位置をシリンダ本体５１１の一端側５１１ａに寄せた位置にすると、第１ピストン５２１が伸位置Ｐａ１に向けて移動させる際に、狭窄部５３１ａにナット５３４が当接し、第１ピストン５２１はそれ以上中間隔壁５２３に向かって移動することができなくなる。これによって、第１ピストン５２１の中間位置Ｐｃ１における停止位置を調整、即ち、回転軸２０を介して接続された可動弁部４０の半開位置（Ｅ３）における停止位置を調整することが可能になる。

　第２ピストン５２２は、シリンダ本体５１１の第２の内部空間５１１ｃにおいて、軸線（長手方向）Ｃに沿って直線的に往復運動可能に収容されている。こうした第２ピストン５２２が停止する位置は、伸位置Ｐａ２（図４８），縮位置Ｐｂ２（図４９），及び中間位置Ｐｃ２（図５０）の３位置（停止位置）に設定される。ここで、伸位置Ｐａ２は、第２圧力空間５２５が最大に拡張される、第２の内部空間５１１ｃにおいて最も中間隔壁５２３から遠ざかった位置である。縮位置Ｐｂ２は、第２の内部空間５１１ｃが最小に縮小され、第２ピストン５２２の一面側５２２ａが中間隔壁５２３に近接、ないし接した位置である。中間位置Ｐｃ２は、伸位置Ｐａ２と縮位置Ｐｂ２の中間付近であり、第１ピストン５２１の中間位置Ｐｃ１によって設定される。
　第２ピストン５２２の突起部５２２ｄには、第２ピストン５２２の往復運動方向、即ち、軸線（長手方向）Ｃに沿って断面積が連続的に変化し、縮圧力空間４２２ｃ内の空気を空間４２２ｇに向けて徐々に通気させる緩衝溝５１９（伸緩衝溝）が、第１１実施形態の緩衝溝４１９と同様に形成されている。

　ラック部材４２２は、軸線（長手方向）Ｃに垂直な断面が円形を成す丸棒状に形成されている。そして、この丸棒状のラック部材４２２の周面の一部には、ラック歯４２２ａが軸線（長手方向）Ｃに沿って所定のピッチで配列形成されている。また、回転軸２０に固着されたピニオン４２１とラック歯４２２ａとの噛合部分Ｓの両側にはそれぞれ、ラック部材４２２を摺動可能に支持する滑り軸受４１５Ｂ，４１５Ｃが配されている。（図４３，図４４参照）
　また、後述する第１６実施形態において具体的に述べるが、回転軸駆動機構３００Ｂには、リミッタスイッチ（回転動作終了検出スイッチ）ｃｄＳが設けられている。このスイッチは、シリンダ本体５１１の中間隔壁５２３に設けられており、縮位置Ｐｂ２に第２ピストン５２２がある場合に動作する接触式のリミッタスイッチである。

　以上のような構成の回転軸駆動機構３００Ｂを備えたスライド弁の作用を説明する。
　例えば、初期状態として、図４９に示す縮位置Ｐｂ１，Ｐｂ２にそれぞれ第１ピストン５２１，第２ピストン５２２がある場合には、この第２ピストン５２２に固着されたラック部材４２２からピニオン４２１を介して連動（回転）される回転軸２０が、図４４中と同様に反時計回りに回転した状態とされ、この回転軸２０の位置においては、回転軸２０に固定された中立弁部３０を介して可動弁部４０が流路Ｈの弁閉位置Ｅ２（図５１）に置かれる。

　ここで、第１ピストン規制部材５３５における初期状態として、図４８，図４９に示すように、回動ツマミ５３３を回して、縮位置Ｐｂ１とされた第１ピストン５２１において狭窄部５３１ａがナット５３４に当接する縮位置Ｐｂ３となるように、ナット５３４と、長ネジ５３２との位置を調節する。（case1,2）

　第１ピストン規制部材５３５における初期状態を縮位置Ｐｂ３とした状態で、終状態として、第２ピストン５２２を縮位置Ｐｂ２から、図４８に示す伸位置Ｐａ２、即ち、可動弁部４０の流路Ｈの退避位置Ｅ１（図５１）に移動させる際には、第２圧力空間５２５内に通気口５２７から圧縮空気を供給するとともに、通気口４２２ｊには圧縮空気を供給せず排気可能とする。すると，第２圧力空間５２５の内圧が高まるとともに、縮圧力空間４２２ｃの圧力が低下することによって、第２ピストン５２２は、軸線（長手方向）Ｃに沿って、シリンダ本体５１１の一端側５１１ａから遠ざかる方向に移動（摺動）し、第２圧力空間５２５の内容積がそれぞれ広がるとともに、縮圧力空間４２２ｃの内容積が収縮する。

　第２ピストン５２２がシリンダ本体５１１の一端側５１１ａからそれぞれ遠ざかる方向に移動すると、第２ピストン５２２に固着されたラック部材４２２は、ラック歯４２２ａと噛合するピニオン４２１を図４９中の時計回り方向に回転させる。これによって、回転軸２０も時計回り方向に回転され、この回転軸２０に固定された中立弁部３０を介して可動弁部４０が流路Ｈの退避位置Ｅ１（図５１）に振り子運動で移動する。

　次に、第１ピストン規制部材５３５における初期状態として、図５０に示すように、回動ツマミ５３３を回して、伸位置Ｐａ１とされた第１ピストン５２１において狭窄部５３１ａがナット５３４に当接する伸位置Ｐａ３となるように、ナット５３４と、長ネジ５３２との位置を調節する。（case3～6）
　また、初期状態として、第１圧力空間５２４内に通気口５２６から圧縮空気を供給せず排気可能とし、第２圧力空間５２５内に通気口５２７から圧縮空気を供給せず排気可能とし、通気口４２２ｊには圧縮空気を供給する。これにより、図４９に示す縮位置Ｐｂ１，Ｐｂ２にそれぞれ第１ピストン５２１，第２ピストン５２２を位置する。

　第１ピストン規制部材５３５における初期状態を伸位置Ｐａ３とした状態で、第２ピストン５２２を初期状態の縮位置Ｐｂ２から、終状態として図４８に示す伸位置Ｐａ２、即ち、可動弁部４０の流路Ｈの退避位置Ｅ１（図５１）に移動させる際には、第２圧力空間５２５内に通気口５２７から圧縮空気を供給するとともに、通気口４２２ｊには圧縮空気を供給せず排気可能とする。すると，第２圧力空間５２５の内圧が高まるとともに、縮圧力空間４２２ｃの圧力が低下することによって、第２ピストン５２２は、軸線（長手方向）Ｃに沿って、シリンダ本体５１１の一端側５１１ａから遠ざかる方向に移動（摺動）し、第２圧力空間５２５の内容積がそれぞれ広がるとともに、縮圧力空間４２２ｃの内容積が収縮する。

　これにより、第１ピストン５２１が縮位置Ｐｂ１、第２ピストン５２２伸位置Ｐａ２となり、第２ピストン５２２がシリンダ本体５１１の一端側５１１ａからそれぞれ遠ざかる方向に移動する。すると、第２ピストン５２２に固着されたラック部材４２２は、ラック歯４２２ａと噛合するピニオン４２１を図４３と同様に時計回り方向に回転させる。これによって、回転軸２０も時計回り方向に回転され、この回転軸２０に固定された中立弁部３０を介して可動弁部４０が流路Ｈの退避位置Ｅ１（図５１）に振り子運動で移動する。

　同様に、初期状態として、第１ピストン規制部材５３５のナット５３４が伸位置Ｐａ３、第１ピストン５２１が縮位置Ｐｂ１、第２ピストン５２２が縮位置Ｐｂ２とする。

　この状態で、第１圧力空間５２４内に通気口５２６から圧縮空気を供給し、第２圧力空間５２５内に通気口５２７から圧縮空気を供給し、通気口４２２ｊには圧縮空気を供給せず排気可能とする。これにより、第１ピストン５２１，および第２ピストン５２２がシリンダ本体５１１の一端側５１１ａからそれぞれ遠ざかる方向に移動して、第１ピストン５２１、第２ピストン５２２をともに伸位置Ｐａ１，Ｐａ２となる。すると、第２ピストン５２２に固着されたラック部材４２２は、ラック歯４２２ａと噛合するピニオン４２１を図４９中の時計回り方向に回転させる。これによって、回転軸２０も時計回り方向に回転され、この回転軸２０に固定された中立弁部３０を介して可動弁部４０が流路Ｈの退避位置Ｅ１（図５１）に振り子運動で移動する。

　このように、第１ピストン５２１，第２ピストン５２２を伸位置Ｐａ１，Ｐａ２に移動させる際、第１ピストン規制部材５３５によって、第１ピストン５２１の伸位置Ｐａ１における停止位置を微調整することも可能である。つまり、第１ピストン５２１の伸位置Ｐａ１における停止位置を微調整、即ち、回転軸２０を介して接続された可動弁部４０の弁開位置Ｅ１における停止位置を微調整することが可能になる。

　次に、第１ピストン規制部材５３５における初期状態として、図５４～図５６に示すように、回動ツマミ５３３を回して、縮位置Ｐｂ３と伸位置Ｐａ３との間の任意の位置である中間位置Ｐｃ３となるように、ナット５３４と、長ネジ５３２との位置を調節する。
（case7～14）

　まず、初期状態として、第１圧力空間５２４内に通気口５２６から圧縮空気を供給せず排気可能とし、第２圧力空間５２５内に通気口５２７から圧縮空気を供給せず排気可能とし、通気口４２２ｊには圧縮空気を供給する。これにより、第１ピストン５２１および第２ピストン５２２が、縮位置Ｐｂ１，Ｐｂ２とする。

　次いで、第１圧力空間５２４内に通気口５２６から圧縮空気を供給せず排気可能とし、第２圧力空間５２５内に通気口５２７から圧縮空気を供給し、通気口４２２ｊには圧縮空気を供給せず排気可能とする。これにより、図５４に示すように、第１ピストン５２１が縮位置Ｐｂ１，第２ピストン５２２が伸位置Ｐａ２となる。

　この状態で、第１圧力空間５２４内に通気口５２６から圧縮空気を供給し、第２圧力空間５２５内に通気口５２７から圧縮空気を供給し、通気口４２２ｊには圧縮空気を供給せず排気可能とする。これにより、図５５に示すように、第１ピストン５２１が中間位置Ｐｃ１，第２ピストン５２２が伸び位置Ｐａ２となる。

　この状態で、第１圧力空間５２４内に通気口５２６から圧縮空気を給を維持し、第２圧力空間５２５内に通気口５２７から圧縮空気を供給せず排気可能とし、通気口４２２ｊには圧縮空気を供給する。これにより、図５６に示すように、第１ピストン５２１および第２ピストン５２２が中間位置Ｐｃ１，Ｐｃ２となる。この時、第２ピストン５２２の突起部５２２ｂが第１ピストン５２１の突出部５３１に衝突する。しかしながら、第２ピストン５２２の突起部５２２ｂには、緩衝材５３６が形成されているので、中間位置Ｐｃ１で停止している第１ピストン５２１には、第２ピストン５２２の突起部５２２ｂがこの緩衝材５３６を介して当接することになる。これによって、衝突の衝撃は緩衝材５３６によって吸収され、第２ピストン５２２の移動によって第１ピストン５２１に強い衝撃が加わることを防止できる。

　そして、第２ピストン５２２の突起部５２２ｂが緩衝材５３６を介して第１ピストン５２１の突出部５３１に当接した位置で第２ピストン５２２が停止し、第２ピストン５２２は中間位置Ｐｃ２に配置される。
　こうした第１ピストン５２１および第２ピストン５２２が、それぞれ中間位置Ｐｃ１，Ｐｃ２にある時は、回転軸２０に中立弁部３０を介して固定された可動弁部４０は、流路Ｈの半開位置Ｅ３（図５１）に位置する。こうした半開位置Ｅ３においては、可動弁部４０が流路Ｈを半分ほど覆う形となり、例えば、流路Ｈの開口面積が弁開位置Ｅ１の半分ほどに制限される。このような半開位置Ｅ３を設定することによって、スライド弁を通過する流量を弁開位置Ｅ１よりも制限する弁位置として適用することができる。

　なお、こうした回転軸駆動機構３００Ｂにおいても、第一実施形態の回転軸駆動機構３００と同様に、第１ピストン５２１や第２ピストン５２２に対して緩衝溝を形成し、これら第１ピストン５２１や第２ピストン５２２が縮位置Ｐｂ１，Ｐｂ２に向けて移動する際に、シリンダ本体５１１に対して第１ピストン５２１や第２ピストン５２２が緩やかに当接する構成とすればよい。

　第１２実施形態においては、図５７，図５８に示すように、第１ピストン規制部材５３５における初期状態を、回動ツマミ５３３を回して、縮位置Ｐｂ３、伸位置Ｐａ３、中間位置Ｐｃ３から選択する。第１ピストン５２１における初期状態および終状態を、縮位置Ｐｂ２、伸位置Ｐａ２、中間位置Ｐｃ２から選択する。第２ピストン５２２における初期状態および終状態を、縮位置Ｐｂ１、伸位置Ｐａ１、中間位置Ｐｃ１から選択する。第１圧力空間５２４内への通気口５２６からの圧縮空気供給状態、第２圧力空間５２５内への通気口５２７からの圧縮空気供給状態、縮圧力空間４２２ｃ内への通気口４２２ｊからの圧縮空気供給状態、をそれぞれ設定して切り替える。これのよって、可動弁部４０における退避位置Ｅ１（弁開位置）Ｅ１、弁閉位置Ｅ２、半開位置Ｅ３を切り替えることができる。

　しかも、第１ピストン規制部材５３５における初期状態として、図５４～図５６に示すように、回動ツマミ５３３を回して、中間位置Ｐｃ３を、縮位置Ｐｂ３と伸位置Ｐａ３との間の任意の位置となるように、ナット５３４と、長ネジ５３２との位置を調節することで、可動弁部４０における半開位置Ｅ３の半壊状体を、退避位置Ｅ１（弁開位置）Ｅ１と弁閉位置Ｅ２との間で任意に設定することができる。

　さらに、第１２実施形態においては、図５２に示すように、通気口５２７から第２圧力空間５２５内に圧縮空気を供給せず排気可能とし、通気口５２６から第１圧力空間５２４内に供給する圧縮空気の圧力状態と、通気口４２２ｊから、圧力空間４２２ｃに供給する圧縮空気の圧力状態とを制御することで、図５２に示すように、第１ピストン５２１，第２ピストン５２２を中間位置、Ｐｃ１，Ｐｃ２とすることも可能である。

　この場合、第１ピストン５２１，第２ピストン５２２を伸位置Ｐａ１，Ｐａ２から中間位置Ｐａ３，Ｐａ３、即ち、可動弁部４０の半開位置Ｅ３に移動させる際には、図５２に示すように、まず、第１圧力空間５２４内の空気を通気口５２６から排出して第１圧力空間５２４を縮める（縮小させる）。これによって、第１ピストン５２１は、軸線（長手方向）Ｃに沿って、シリンダ本体５１１の一端側５１１ａに近づく方向に向けて移動（摺動）する。そして、所定の中間位置Ｐｃ１で停止させる。

　その後、第２圧力空間５２５内の空気を通気口５２７から排出して第２圧力空間５２５を縮める（縮小させる）。この時、第２ピストン５２２の突起部５２２ｂが第１ピストン５２１の突出部５３１に衝突する。しかしながら、第２ピストン５２２の突起部５２２ｂには、緩衝材５３６が形成されているので、中間位置Ｐｃ１で停止している第２ピストン５２２の突起部５２２ｂにはこの緩衝材５３６を介して当接することになる。これによって、衝突の衝撃は緩衝材５３６によって吸収され、第２ピストン５２２の移動によって第１ピストン５２１に強い衝撃が加わることを防止できる。

（第１３実施形態）
　次に本発明の第１３実施形態におけるスライド弁について述べる。
　以下、第１３実施形態のスライド弁おいては、第８～第１２実施形態と同様の構成には、同一の番号を付す。

　図５９Ａ及び図５９Ｂに示すように、回転軸２０は、弁箱１０に固設されるケーシング１４に、ベアリング等とされる軸受１６Ａ，１６Ｂを介して、この弁箱１０を貫通して回動可能に支持されている。軸受１６Ａ，１６Ｂは、回転軸２０の軸線ＬＬ方向に可能な限り離間して配置される。

　ケーシング１４は、弁箱１０に対して密閉状態として貫通するように固定されるとともに、回転軸２０が密閉状態で回動自在に貫通するシールケーシング１４Ａと、このシールケーシング１４Ａに接続され、その内周側に設けられた軸受１６Ａ，１６Ｂを介して回転軸２０を回動自在に支持する円筒ケーシング１４Ｂと、円筒ケーシング１４Ｂの一端を閉塞する蓋体ケーシング１４Ｃとからなり、これらは互いに固定接続されている。蓋体ケーシング１４Ｃには回転軸２０を挿抜可能な開孔を閉塞する蓋体１４Ｄが設けられる。

　シールケーシング１４Ａには、弁箱１０内部をシールするために、シール部１４Ａａ、１４Ａｂ，１４Ａｃおよび、大気圧の空間（空隙）である中間大気室１４Ａｄが設けられている。
　円筒ケーシング１４Ｂの内周面側には、軸線ＬＬ方向における軸受１６Ａ，１６Ｂの間の位置に、流体経路リング１７，１８が、回転軸２０の外周面２０ｂに摺動可能に接触するように固定されている。

　回転軸２０の外周面２０ｂの流体経路リング１７，１８の間の中心位置には、この回転軸２０を駆動させる（回転させる）ための回転軸駆動機構３００Ｃ（図６０参照）を構成するピニオン６２１（図４０のピニオン１２１に対応）が固着される。ピニオン６２１は外部と連通した大気圧状態におかれている。
このピニオン６２１には、図５９Ａ及び図５９Ｂにおいて紙面奥行方向に往復動作することで、ピニオン６２１を介して回転軸２０を回動させる丸棒状のラック部材６２２（図４０のラック１２２に対応）が接続される。

［回転軸駆動機構３００Ｃ］
　図６０は、回転軸駆動機構３００Ｃを示す概要図である。
　回転軸２０を回転させるための回転軸駆動機構３００Ｃは、回転軸２０に固着されたピニオン６２１と、このピニオン６２１と噛合するラック歯６２２ａを備えたラック部材６２２とを有している。
　また、回転軸駆動機構３００Ｃは、ラック部材６２２を往復運動させるためのシリンダ６１０（回転軸駆動用シリンダ）を備えている。シリンダ６１０によって、ラック部材６２２は軸線（長手方向）Ｃに沿って直線的に往復運動可能とされる。

　シリンダ６１０は、一端側６１１ａが閉塞されたシリンダ本体６１１と、このシリンダ本体６１１の内部空間６１１ｂに摺動可能に収容されたピストン６１２とを備えている。
そして、このシリンダ本体６１１とピストン６１２の一面側６１２ａ（第一面）とで区画され、ピストン６１２の移動によって容量が可変する圧力空間６１３が形成される。また、シリンダ本体６１１には、この圧力空間６１３に連通し、外部から圧力空間６１３に空気を送り込み、又は圧力空間６１３から外部に空気を排出する通気口６１４が形成されている。こうした通気口６１４は、外部に例えばポンプが接続されていれば良い。

　ピストン６１２は、シリンダ本体６１１の内部空間６１１ｂにおいて、軸線（長手方向）Ｃに沿って直線的に往復運動可能に収容されている。こうしたピストン６１２は、圧力空間６１３が最大に拡張され、シリンダ本体６１１の内部空間６１１ｂにおいて最も一端側６１１ａから遠ざかった位置にピストン６１２がある伸位置Ｐａ（図６０）と、圧力空間６１３が最小に縮小され、最も一端側６１１ａに接近した位置にピストン６１２がある縮位置Ｐｂ（図６１）との間で摺動可能にされている。

　また、ピストン６１２の一面側６１２ａには、突起部６１２ｃが形成されている。シリンダ本体６１１の一端側６１１ａには、ピストン６１２が縮位置Ｐｂにある時に突起部６１２ｃが入り込む凹部６１１ｃが形成されている。通気口６１４の一端側は、この凹部６１１ｃで露呈する位置に形成されている。また、ピストン６１２の他面側６１２ｂ（第二面）には、接続部６１２ｄを介してラック部材６２２が固着される。

　ピストン６１２の突起部６１２ｃには、ピストン６１２の往復運動方向、即ち、軸線（長手方向）Ｃに沿って断面積が連続的に変化し、圧力空間６１３内の空気を通気口６１４に向けて徐々に通気させる緩衝溝６１８が形成されている。
　具体的には、図６２Ａ及び図６２Ｂに示すように、緩衝溝６１８は、ピストン６１２の突起部６１２ｃに形成された、ピストン６１２の一面側６１２ａからシリンダ本体６１１の一端側６１１ａに向かって断面積が広がるように、軸線（長手方向）Ｃに対して傾斜した溝からなる。

　ラック部材６２２は、図６０、図６１，図６３に示すように、軸線（長手方向）Ｃに垂直な断面が円形を成す丸棒状に形成されている。そして、この丸棒状のラック部材６２２の周面の一部には、ラック歯６２２ａが軸線（長手方向）Ｃに沿って所定のピッチで配列形成されている。

　回転軸２０に固着されたピニオン６２１とラック歯６２２ａとの噛合部分Ｓの両側にはそれぞれ、ラック部材６２２を摺動可能に支持する滑り軸受６１５，６１５が配されている。この滑り軸受６１５，６１５は、図６２Ａ及び図６２Ｂに示すように、ラック部材６２２の断面よりも僅かに大きい断面円形の開口６１５ａが形成され、この開口６１５ａを取り囲むように配列されたベアリング（図示略）によって、丸棒状のラック部材６２２を軸線（長手方向）Ｃに沿って円滑に摺動可能に支持する。

　また、図６０に示すように、ラック部材６２２の表面（周面）には、軸線（長手方向）Ｃに沿って延びる溝６１６（長溝）が形成されている。また、例えばラック部材６２２に隣接するケーシング（図示略）には、この溝６１６（長溝）に入り込むボス６１７が形成されている。こうした溝６１６（長溝）は、ボス６１７との係合によって、ラック部材６２２が軸線Ｃ周りに回動することを防止する。これによって、ラック部材６２２が往復運動する際に軸線Ｃ周りに捩れることがない。

　図６４は、滑り軸受６１５の配置位置を示す説明図である。
　滑り軸受６１５，６１５は、ピニオン６２１とラック歯６２２ａとの噛合部分Ｓに生じるラック部材６２２の作用線（の延長線）Ｌ１，Ｌ２と、ラック部材６２２の軸心（軸中心線）Ｃとの交点Ｐ１，Ｐ２よりも、噛合部分Ｓから遠ざかる方向に配されるのが好ましい。

　即ち、２つの噛合歯であるピニオン６２１とラック歯６２２ａとの接触点の移動方向である作用線Ｌ１，Ｌ２が、それぞれラック部材６２２の軸心（軸中心線）Ｃと交差する点を交点Ｐ１，Ｐ２としたときに、滑り軸受６１５，６１５の中心線Ｑがこの交点Ｐ１，Ｐ２よりも外側になるように、滑り軸受６１５，６１５をそれぞれ配置する。

　滑り軸受６１５，６１５の配置位置を上述したように設定することによって、滑り軸受６１５，６１５は、ピニオン６２１の回転によって生じる外力、即ち、ピニオン６２１から遠ざかる方向に向かう力を受けることがなくなる。これによって、滑り軸受６１５，６１５は、ラック部材６２２との接触部分において、軸心（軸中心線）Ｃに直角な方向の応力が加わることを防止して、ラック部材６２２との摩擦力を低減して円滑に摺動可能にラック部材６２２を保持することが可能になる。

　以上のような構成の回転軸駆動機構３００Ｃによれば、例えば、図６１に示す縮位置Ｐｂにピストン６１２がある場合には、このピストン６１２に固着されたラック部材６２２からピニオン６２１を介して連動（回転）される回転軸２０が、図６１中の反時計回りに回転した状態とされ、この回転軸２０の位置においては、回転軸２０に固定された中立弁部３０を介して可動弁部４０が流路Ｈの弁閉位置Ｅ２（図２４）に置かれる。

　一方、この縮位置Ｐｂから、図６０に示す伸位置Ｐａにピストン６１２を移動させる際には、シリンダ本体６１１の内面とピストン６１２の一面側６１２ａとで区画された圧力空間６１３内に、通気口６１４から空気を送り込む。すると圧力空間６１３の内圧が高まることによって、ピストン６１２は軸線（長手方向）Ｃに沿って、シリンダ本体６１１の一端側６１１ａから遠ざかる方向に移動（摺動）し、圧力空間６１３が広がる。

　ピストン６１２がシリンダ本体６１１の一端側６１１ａから遠ざかる方向に移動すると、ピストン６１２に固着されたラック部材６２２は、ラック歯６２２ａと噛合するピニオン６２１を図６０中の時計回り方向に回転させる。これによって、回転軸２０も時計回り方向に回転され、この回転軸２０に固定された中立弁部３０を介して可動弁部４０が流路Ｈの退避位置Ｅ１（図２４）に振り子運動で移動する

　このように、回転軸駆動機構３００Ｃを構成するシリンダ本体６１１内の圧力空間６１３の内圧を可変させ、ピストン６１２を伸位置Ｐａ（図６０）と縮位置Ｐｂ（図６１）との間で直線運動させることによって、ラック部材６２２、ピニオン６２１を介して回転軸２０を回動させ、可動弁部４０を流路Ｈに対して退避位置Ｅ１と弁閉位置Ｅ２（図２４）との間で移動させることができる。

　以上のようなピストン６１２の伸位置Ｐａと縮位置Ｐｂとの間の移動において、特にピストン６１２を伸位置Ｐａから縮位置Ｐｂに移動させる際に、圧力空間６１３の急激な縮小によるピストン６１２の急停止、即ち、ラック部材６２２とピニオン６２１との噛合部分Ｓに急激に大きな応力が加わらないように、ピストン６１２の突起部６１２ｃ形成された緩衝溝６１８によって、ピストン６１２の縮位置Ｐｂへの移動を滑らかに変化させる。

　例えば、図６２Ａに示すように、圧力空間６１３の内圧を減少させてピストン６１２の縮位置Ｐｂに向けて移動させる際に、突起部６１２ｃがシリンダ本体６１１の凹部６１１ｃに入り込む位置まで移動してくると、突起部６１２ｃの周縁に広がる圧力空間６１３ａの内圧が急に高まり（圧力空間６１３ａが圧縮され）、ピストン６１２の移動速度が急激に減少する方向に力が働く。

　しかしながら、突起部６１２ｃに形成された緩衝溝６１８によって、圧力空間６１３ａ内の空気はこの緩衝溝６１８を介して通気口６１４に誘導される。即ち、圧力空間６１３ａは緩衝溝６１８を介して通気口６１４に連通される。

　しかも、この緩衝溝６１８は、ピストン６１２の一面側６１２ａからシリンダ本体６１１の一端側６１１ａに向かって断面積が広がるように形成されているので、図６２Ｂに示すように、ピストン６１２が縮位置Ｐｂ（図６１）に近づくほど、緩衝溝６１８の断面積、即ち、開口面積が減少する。これによって、ピストン６１２が縮位置Ｐｂに至る直前では、圧力空間６１３ａから通気口６１４に至る空気の流量が徐々に絞られる（減少する）ため、圧力空間６１３ａの内圧減少が徐々に低下する。これによって、ピストン６１２を緩やかに縮位置Ｐｂで停止させることができる。よって、圧力空間６１３の急激な縮小によるピストン６１２の急停止を防止し、ラック部材６２２とピニオン６２１との噛合部分Ｓ（図６４）に急激に大きな応力を加えずに滑らかに停止させることが可能になる。

　流体経路リング１７と流体経路リング１８とは、回転軸２０とほぼ等しい内径とされ、ピニオン６２１よりも弁箱１０側の流体経路リング１７の外径がベアリング１６Ａの外径より大きくかつピニオン６２１の外径寸法よりも小さく設定され、ピニオン６２１よりも蓋体１４Ｄ側の流体経路リング１８の外径がピニオン６２１の径寸法よりも大きく設定されている。ベアリング１６Ａ，１６Ｂで支持された回転軸２０が回動すると、流体経路リング１７と流体経路リング１８とに対して、接触位置が周方向に変化することになる。

　流体経路リング１７には、第２周囲領域４０ａにおいて可動弁板部５０と可動弁枠部６０との間に形成された円環状エアシリンダ８０に駆動用気体を供給する供給路４１の一部とされる流体経路として、径方向に延在しその外周面１７ａ及び内周面１７ｂに開口する径方向リング経路１７ｃが設けられる。この径方向リング経路１７ｃの外周面１７ａ側は円筒ケーシング１４Ｂの径方向に貫通する経路１４Ｂｃに連通している。

　流体経路リング１８には、第２周囲領域４０ａにおいて可動弁板部５０と可動弁枠部６０との間に形成された円環状エアシリンダ８０に設けられた２重シール部において２重目のシール５１ａ，５２ａより気体供給側に設けられた中間大気室５５に接続され、１重目のシール５１ｂ，５２ｂが破れた際に駆動用気体をスライド弁１外部に向けて逃がす連絡路４２の一部とされる流体経路として、径方向に延在しその外周面１８ａ及び内周面１８ｂに開口する径方向リング経路１８ｃが設けられる。この径方向リング経路１８ｃの外周面１８ａ側は円筒ケーシング１４Ｂの径方向に貫通する経路１４Ｃｃに連通している。

　流体経路リング１７には、内周面１７ｂに溝１７ｄが周設され、回転軸２０外周面２０ｂとで囲まれることで周方向経路となっている。
溝１７ｄに対向する位置とされる回転軸２０外周面２０ｂには、径方向軸内経路２７が開口し、径方向軸内経路２７は、回転軸２０の軸線ＬＬ方向に延在して回転軸２０の一端面２０ａに開口する軸方向軸内経路１２５に連通している。

　流体経路リング１８には、内周面１８ｂに溝１８ｄが周設され、回転軸２０外周面２０ｂとで囲まれることで周方向経路となっている。
　溝１８ｄに対向する位置とされる回転軸２０外周面２０ｂには、径方向軸内経路２８が開口し、径方向軸内経路２８は、回転軸２０の軸線ＬＬ方向に延在して回転軸２０の一端面２０ａに開口する軸方向軸内経路１２６に連通している。

　これら軸方向軸内経路１２５と軸方向軸内経路１２６とは、互いに平行状態でかつ軸線ＬＬに平行とされ、回転軸２０の蓋体１４Ｄ側の他端２０ｃ側は閉塞されている。
軸方向軸内経路１２５と軸方向軸内経路１２６とは、いずれも、中立弁部３０内部の供給路４１及び、連絡路４２に接続されている。

　流体経路リング１７には、内周面１７ｂと回転軸２０外周面２０ｂとの間において径方向軸内経路２７の開口部分および溝１７ｄを摺動可能にシールするＯリング等のシール部材１７ｈ，１７ｊ，１７ｋが周設されている。
　流体経路リング１７には、外周面１７ａと円筒ケーシング１４Ｂ内面との間において径方向リング経路１７ｃの開口部分および経路１４ＢｃをシールするＯリング等のシール部材１７ｅ，１７ｆ，１７ｇが周設されている。

　流体経路リング１８には、内周面１８ｂと回転軸２０外周面２０ｂとの間において径方向軸内経路２７の開口部分および溝１８ｄを摺動可能にシールするＯリング等のシール部材１８ｈ，１８ｊ，１８ｋが周設されている。
　流体経路リング１８には、外周面１８ａと円筒ケーシング１４Ｂ内面との間において径方向リング経路１８ｃの開口部分および経路１４ＣｃをシールするＯリング等のシール部材１８ｅ，１８ｆ，１８ｇが周設されている。

　こうした流体経路リング１７と流体経路リング１８によって、回転軸２０がどのような回動位置になっても、径方向軸内経路２７と径方向軸内経路２８が連通した状態を維持できるため、密閉度よく、駆動用流体の供給等を行うことができる。しかも、供給路４１と連絡路４２とを、独立してそれぞれ接続しているので、回転軸２０の回動位置にかかわらず、異なる圧力状態あるいは、異なるガス状態の２系統を弁体１０内部に影響を与えずに、制御することが可能となる。

［中立弁部３０、接続部材９１］
　中立弁部３０は、回転軸２０の軸線に対して直行する方向に延在し、この方向に平行な面を有している。図２４に示すように、中立弁部３０は、可動弁部４０に重なる円形部３０ａと、回転軸２０の回転に伴って円形部を回転させる回転部３０ｂとを有する。回転部３０ｂは、回転軸２０と円形部３０ａとの間に位置しており、回転部３０ｂの幅は回転軸２０から円形部３０ａに向けて徐々に増加している。これら回転軸２０、中立弁部３０は、弁箱１０に対して回動はするが、流路Ｈ方向には位置変動しないように設けられている。

　中立弁部３０の一端には、図３４に示すように、接続部材９１の突起部９３と嵌合する凹部９５が形成されている。この凹部９５は、その断面形状が接続部材９１の断面形状と合致する略Ｔ字状を成す。こうした凹部９５は、中立弁部３０の流路方向Ｈにおける一面側３０Ａ（第一面）と他面側３０Ｂ（第二面）の両側に、それぞれ凹部９５Ａ，９５Ｂとして形成されている。
これによって、回転軸２０は、中立弁部３０に対して流路方向Ｈに沿った上側と下側のいずれにも選択的に接続することができる。

　あるいは、回転軸２０に対して、中立弁体５全体を両面どちらにも取り付けることができる。即ち、接続部材９１の凹部９５Ａの側に中立弁体５を取り付ければ、スライド弁１の閉弁時において、可動弁部４０が第１開口部１２ａを塞ぐ向きとなる。逆に、接続部材９１の凹部９５Ｂの側に中立弁体５を取り付ければ、可動弁部４０が第２開口部１２ａｂを塞ぐ向きにとなる。

　図３４に示すように、接続部材９１に形成された突起部９３と、中立弁部３０に形成された凹部９５とは互いに嵌合される。図３４（ａ）に示すように、接続部材９１と中立弁部３０とは、係合状態において、流路方向Ｈに沿って互いに平行に広がり第１間隔ｔ１で離間した一組の第１平行面９６ａ，９６ｂと、流路方向Ｈに沿って互いに平行に広がり第１間隔ｔ１よりも広い第２間隔ｔ２で離間した一組の第２平行面９７ａ，９７ｂとで互いに接触している。

　こうした一組の第１平行面９６ａ，９６ｂ、および一組の第２平行面９７ａ，９７ｂは、それぞれ、流路方向Ｈに直角に延びる一軸Ｌを挟んで対称に配される。また、第１平行面９６ａ，９６ｂと第２平行面９７ａ，９７ｂとは、この一軸Ｌに沿って互いに重ならない位置に配される。

　接続部材９１の突起部９３には、図３４に示すように、この一組の第１平行面９６ａ，９６ｂを構成する第１接触面９３ａ，９３ｂと、第２平行面９７ａ，９７ｂを構成する第２接触面９３ｃ，９３ｄとが形成されている。そして、これら第１接触面９３ａ，９３ｂと第２接触面９３ｃ，９３ｄのそれぞれを繋ぐ第１傾斜面９３ｅ，９３ｆとともに、突起部９３は全体として２段階の幅を持つ突起形状を成している。

　中立弁部３０の一端に形成された凹部９５は、図３４に示すように、一組の第１平行面９６ａ，９６ｂを構成する第三接触面９５ａ，９５ｂと、第２平行面９７ａ，９７ｂを構成する第四接触面９５ｃ，９５ｄとが形成されている。そして、これら第三接触面９５ａ，９５ｂと第四接触面９５ｃ，９５ｄのそれぞれを繋ぐ第２傾斜面９５ｅ，９５ｆとともに、凹部９５は全体として２段階の幅を持つ溝形状を成している。

　回転軸２０の中心には、図３４に示すように、接続部材９１を介して回転軸２０と中立弁部３０とを締結するための雄ネジ２１（締結具）を貫通させる貫通穴２２が形成されている。また、中立弁部３０の一端に形成された凹部９５には、雄ネジ２１（締結具）と螺合する雌ネジ３１が形成されている。更に、接続部材９１には、雄ネジ２１（締結具）を貫通させるネジ溝のない開口９８が形成されている。

　以上の構成によって、接続部材９１に形成された突起部９３と、中立弁部３０に形成された凹部９５とを嵌合させ、更に、回転軸２０の上端側から、雄ネジ２１を貫通穴２２および開口９８に貫通させ、雄ネジ２１の先端部分を、中立弁部３０の雌ネジ３１にネジ止めすることにより、回転軸２０と中立弁部３０とは、接続部材９１を介して締結（固定）される。

　中立弁部３０のメンテナンス、例えば、繰り返し開閉による中立弁部３０の交換等で、中立弁部３０を回転軸２０に固着された接続部材９１に取り付ける際には、中立弁部３０の一端に形成された凹部９５を接続部材９１に形成された突起部９３に対向させる。
　次に、中立弁部３０の凹部９５を突起部９３に差し込むと、凹部９５の第三接触面９５ａ，９５ｂが、それぞれ突起部９３の第１接触面９３ａ，９３ｂに接触する。また、凹部９５の第四接触面９５ｃ，９５ｄが、それぞれ突起部９３の第２接触面９３ｃ，９３ｄに接触する。

　こうした挿入工程での凹部９５と突起部９３との接触面は、第１平行面９６ａ，９６ｂ、および第２平行面９７ａ，９７ｂに限られ、突起部９３の第１傾斜面９３ｅ，９３ｆと、凹部９５の第２傾斜面９５ｅ，９５ｆとは接触しない。つまり、矢印Ｂ１で示す方向である接続方向において、回転軸２０の軸線を挟んだ両側位置となる部分で周方向の取り付け位置を規制することができるので、取り付け位置、特に、回転軸２０の軸線周りの中立弁部３０の取り付け方向の正確性を容易に向上することができる。

　同時に、例えば、凹部９５と突起部９３との接触面（第１平行面９６ａ，９６ｂ、第２平行面９７ａ，９７ｂ）のクリアランス（隙間）を極めて小さく設定しても、凹部９５を突起部９３に押し込む際の摩擦力が軽減され、スムーズに凹部９５と突起部９３とを嵌合させることができる。

　また、互いに幅の異なる第１平行面９６ａ，９６ｂ、および第２平行面９７ａ，９７ｂで凹部９５と突起部９３とを接触させることによって、凹部９５を突起部９３に押し込む際の取付精度を向上させると共に、取付時に摩擦力の軽減によって、容易にその取付位置、即ち、突起部９３に対する凹部９５の押し込み量を調整することができる。即ち、凹部９５と突起部９３との係合時には、凹部９５に形成された雌ネジ３１のネジ穴位置を、接続部材９１の突起部９３に形成された開口９８と合致させる必要がある。

　第１３実施形態のように、第１平行面９６ａ，９６ｂ、および第２平行面９７ａ，９７ｂだけで凹部９５と突起部９３とを接触させることで、雌ネジ３１のネジ穴位置と突起部９３に形成された開口９８とを容易に微調整しつつ合致させることができる。これによって、回転軸２０の貫通穴２２から開口９８を介して雄ネジ２１（締結具）を容易に雌ネジ３１に締結することができる。また、端面９３ｍと端面９５ｍとを接触させることで、図３４において矢印Ｂ１で示す方向である接続方向における互いの位置決めを行うことも可能である。

　なお、第１３実施形態においては、接続部材９１に突起部９３を、また中立弁部３０の一端に凹部９５を設けているが、凹凸が逆の構造とすることもできる。つまり、回転軸２０に固着される接続部材に凹部を形成して、この凹部と嵌合する突起部を中立弁部の一端に形成する構造である。

（第１４実施形態）
　図６５は、本発明の第１４実施形態における回転軸駆動機構３００Ｄの構成を示す断面図であり、シリンダが伸位置にある時の状態である。図６６は、回転軸駆動機構３００Ｄの構成を示す断面図であり、シリンダが縮位置にある時の状態である。図６７は、回転軸駆動機構３００Ｄの構成を示す断面図であり、シリンダが中間位置にある時の状態である。
　なお、これら図６５～図６７に示す第１４実施形態において、図５９Ａないし図６４に示した第１３実施形態と同一の構成、部材には同一符号を付し、また、その説明は省略または簡略化する。

　第１３実施形態においては、シリンダ本体６１１の内部空間６１１ｂに収容されているピストン６１２は１つであり、このピストン６１２の停止位置として伸位置Ｐａと縮位置Ｐｂの２位置が設定されていた（図６０，図６１参照）。
　一方、以下に説明する第１４実施形態においては、シリンダ本体７１１の第１の内部空間７１１ｂおよび第２の内部空間７１１ｃには、直列に２つのピストン７１２ａ，７１２ｂがそれぞれ収容される。そして、これら２つのピストン７１２ａ，７１２ｂがそれぞれ、３つの停止位置、即ち、伸位置Ｐａ１，Ｐａ２，縮位置Ｐｂ１，Ｐｂ２，および中間位置Ｐｃ１，Ｐｃ２が設定される。

　こうした２つのピストン７１２ａ，７１２ｂにそれぞれ３つの停止位置が設定されることによって、図６８に示す第１４実施形態におけるスライド弁の可動弁部４０は、可動弁部における３つの停止位置で停止可能となる。具体的に、３つの停止位置とは、流路Ｈが設けられていない中空部１１に位置する退避位置Ｅ１、第１開口部１２ａに対応する位置である流路Ｈの弁閉位置Ｅ２、およびこれら退避位置Ｅ１と弁閉位置Ｅ２との中間にあって流路Ｈの開口面積のうち半分ほどを覆う（遮蔽する）半開位置（Ｅ３）である。
　なお、それ以外の構成は第１３実施形態と同様である。以下、回転軸駆動機構３００Ｄを構成するシリンダ７１０を中心に、その構成と作用を説明する。

　回転軸２０を回転させるための回転軸駆動機構３００Ｄは、回転軸２０に固着されたピニオン６２１と、このピニオン６２１と噛合するラック歯６２２ａを備えたラック部材６２２とを有している。
　また、回転軸駆動機構３００Ｄは、ラック部材６２２を往復運動させるためのシリンダ７１０を備えている。シリンダ７１０によって、ラック部材６２２は軸線（長手方向）Ｃに沿って直線的に往復運動可能とされる。

　シリンダ７１０は、一端側７１１ａが閉塞された略円筒形のシリンダ本体７１１を有している。シリンダ本体７１１の内部は、中間隔壁７２３によって互いに仕切られた第１の内部空間７１１ｂおよび第２の内部空間７１１ｃが区画されている。
　また、第１の内部空間７１１ｂに摺動可能に収容された第１ピストン７２１と、第２の内部空間７１１ｃに摺動可能に収容された第２ピストン７２２とを備えている。そして、このシリンダ本体７１１と第１ピストン７２１の一面側７２１ａ（第一面）とで区画され、第１ピストン７２１の移動によって容量が可変する第１圧力空間７２４が形成される。また、シリンダ本体７１１と第２ピストン７２２の一面側７２２ａ（第一面）とで区画され、第２ピストン７２２の移動によって容量が可変する第２圧力空間７２５が形成される。

　シリンダ本体７１１には、第１圧力空間７２４に連通し、外部から第１圧力空間７２４に空気を送り込み、又は第１圧力空間７２４から外部に空気を排出する通気口７２６が形成されている。
　また、シリンダ本体７１１には、第２圧力空間７２５に連通し、外部から第２圧力空間７２５に空気を送り込み、又は第２圧力空間７２５から外部に空気を排出する通気口７２７が形成されている。
　これら通気口７２６，７２７は、それぞれ外部に例えばポンプが接続されていれば良い。

　第１ピストン７２１は、中心部分が一面側７２１ａから第２圧力空間７２５に向けて延びる中空の突出部７３１が形成されている。中間隔壁７２３には、この突出部７３１を摺動可能に貫通させる貫通孔７２３ａが形成されている。突出部７３１は、第１ピストン７２１の一面側７２１ａが狭窄部７３１ａとされ、中間隔壁７２３側に広がる中空部分よりも開口幅が狭められている。

　シリンダ本体７１１の一端側７１１ａには、長ネジ７３２、回動ツマミ７３３、および長ネジ７３２の一端に螺合されたナット７３４とからなる第１ピストン規制部材７３５が回動可能に設けられている。
　このうち、長ネジ７３２は一端側が第１ピストン７２１の突出部７３１における狭窄部７３１ａを貫通し、突出部７３１の中空部分でナット７３４が締結されている。このナット７３４の外径は、狭窄部７３１ａの開口幅よりも大きい。

　一方、第２ピストン７２２の一面側７２２ａには、突起部７２２ｂが形成されている。
そして、この突起部７２２ｂの一端には、緩衝材７３６が形成されている。第１ピストン７２１と第２ピストン７２２とは、突出部７３１の第２ピストン７２２側の外面（底面）と突起部７２２ｂとで当接し、こうした当接部分においては、この緩衝材７３６を介して第１ピストン７２１と第２ピストン７２２とが当接する。緩衝材７３６は、例えば、ゴム、ゲルなど弾性材料、スポンジなどの多孔質材料から構成されていればよい。
　こうしたと第２ピストン７２２の他面側７２２ｃ（第二面）には、接続部７２２ｄを介してラック部材６２２が固着される。

　第１ピストン７２１は、シリンダ本体７１１の第１の内部空間７１１ｂにおいて、軸線（長手方向）Ｃに沿って直線的に往復運動可能に収容されている。こうした第１ピストン７２１は、第１圧力空間７２４が最大に拡張され、第１の内部空間７１１ｂにおいて最も一端側７２１ａから遠ざかった位置、即ち、第１ピストン７２１の他面側７２１ｂ（第二面）が中間隔壁７２３に接する位置にある伸位置Ｐａ１（図６５）と、第１の内部空間７１１ｂが最小に縮小され、最も一端側７１１ａに接近した位置にある縮位置Ｐｂ１（図６６）と、この伸位置Ｐａ１と縮位置Ｐｂ１の中間付近にある中間位置Ｐｃ１（図６７）の３位置の停止位置が設定される。

　なお、第１ピストン７２１は、第１ピストン規制部材７３５によって、伸位置Ｐａ１（図６５）における停止位置を微調整することが可能されている。即ち、第１ピストン規制部材７３５の回動ツマミ７３３を回すことによって、突出部７３１の内面に接して回動が抑止されたナット７３４と、長ネジ７３２との位置を変化させることができる。

　これによって、例えば、ナット７３４の長ネジ７３２に対する締結位置をシリンダ本体７１１の一端側７１１ａに寄せた位置にすると、第１ピストン７２１が伸位置Ｐａ１に向けて移動させる際に、狭窄部７３１ａにナット７３４が当接し、第１ピストン７２１はそれ以上中間隔壁７２３に向かって移動することができなくなる。これによって、第１ピストン７２１の伸位置Ｐａ１における停止位置を微調整、即ち、回転軸２０を介して接続された可動弁部４０の弁開位置Ｅ１における停止位置を微調整することが可能になる。

　第２ピストン７２２は、シリンダ本体７１１の第２の内部空間７１１ｃにおいて、軸線（長手方向）Ｃに沿って直線的に往復運動可能に収容されている。こうした第２ピストン７２２は、第２圧力空間７２５が最大に拡張され、第２の内部空間７１１ｃにおいて最も中間隔壁７２３から遠ざかった位置にある伸位置Ｐａ２（図６５）と、第２の内部空間７１１ｃが最小に縮小され、第２ピストン７２２の一面側７２２ａが中間隔壁７２３に近接、ないし接した位置にある縮位置Ｐｂ２（図６６）と、この伸位置Ｐａ２と縮位置Ｐｂ２の中間付近にある中間位置Ｐｃ２（図６７）の３位置の停止位置が設定される。

　ラック部材６２２は、軸線（長手方向）Ｃに垂直な断面が円形を成す丸棒状に形成されている。そして、この丸棒状のラック部材６２２の周面の一部には、ラック歯６２２ａが軸線（長手方向）Ｃに沿って所定のピッチで配列形成されている。また、回転軸２０に固着されたピニオン６２１とラック歯６２２ａとの噛合部分Ｓの両側にはそれぞれ、ラック部材６２２を摺動可能に支持する滑り軸受６１５，６１５が配されている。

　以上のような構成の回転軸駆動機構３００Ｄを備えたスライド弁の作用を説明する。例えば、図６６に示す縮位置Ｐｂ１，Ｐｂ２にそれぞれ第１ピストン７２１，第２ピストン７２２がある場合には、この第２ピストン７２２に固着されたラック部材６２２からピニオン６２１を介して連動（回転）される回転軸２０が、図６１中の反時計回りに回転した状態とされ、この回転軸２０の位置においては、回転軸２０に固定された中立弁部３０を介して可動弁部４０が流路Ｈの弁閉位置Ｅ２（図６８）に置かれる。

　一方、この縮位置Ｐｂ１，Ｐｂ２から第１ピストン７２１，第２ピストン７２２をそれぞれ、図６５に示す伸位置Ｐａ１，Ｐａ２、即ち、可動弁部４０の弁開位置Ｅ２に移動させる際には、第１圧力空間７２４内および第２圧力空間７２５内にそれぞれ、通気口７２６，７２７から空気を送り込む。すると第１圧力空間７２４，および第２圧力空間７２５の内圧それぞれが高まることによって、第１ピストン７２１，および第２ピストン７２２は、軸線（長手方向）Ｃに沿って、シリンダ本体７１１の一端側７１１ａから遠ざかる方向に移動（摺動）し、第１圧力空間７２４，および第２圧力空間７２５の内容積がそれぞれ広がる。

　第１ピストン７２１，および第２ピストン７２２がシリンダ本体７１１の一端側７１１ａからそれぞれ遠ざかる方向に移動すると、第２ピストン７２２に固着されたラック部材６２２は、ラック歯６２２ａと噛合するピニオン６２１を図６６中の時計回り方向に回転させる。これによって、回転軸２０も時計回り方向に回転され、この回転軸２０に固定された中立弁部３０を介して可動弁部４０が流路Ｈの退避位置Ｅ１（図６８）に振り子運動で移動する。

　こうした第１ピストン７２１，第２ピストン７２２を伸位置Ｐａ１，Ｐａ２に移動させる際に第１ピストン規制部材７３５によって、第１ピストン７２１の伸位置Ｐａ１における停止位置を微調整することにより、第１ピストン７２１の伸位置Ｐａ１における停止位置を微調整、即ち、回転軸２０を介して接続された可動弁部４０の弁開位置Ｅ１における停止位置を微調整することが可能になる。

　次に、この第１ピストン７２１，第２ピストン７２２をそれぞれ伸位置Ｐａ１，Ｐａ２から中間位置Ｐａ３，Ｐａ３、即ち、可動弁部４０の半開位置Ｅ３に移動させる際には、図６９Ａに示すように、まず、第１圧力空間７２４内の空気を通気口７２６から排出して第１圧力空間７２４を縮める（縮小させる）。これによって、第１ピストン７２１は、軸線（長手方向）Ｃに沿って、シリンダ本体７１１の一端側７１１ａに近づく方向に向けて移動（摺動）する。そして、所定の中間位置Ｐｃ１で停止させる。なお、第１ピストン７２１の停止位置は、第１圧力空間７２４内の内圧調整によって設定すればよい。また、第１ピストン７２１をシリンダ本体７１１の一端側７１１ａに向けて移動させる際に、長ネジ７３２に螺合されたナット７３４の位置調整によって、第１ピストン７２１の移動を制限することで所定の中間位置Ｐｃ１で停止させてもよい。

　その後、第２圧力空間７２５内の空気を通気口７２７から排出して第２圧力空間７２５を縮める（縮小させる）。この時、第２ピストン７２２の突起部７２２ｂが第１ピストン７２１の突出部７３１に衝突する（図６９Ａ）。しかしながら、第２ピストン７２２の突起部７２２ｂには、緩衝材７３６が形成されているので、中間位置Ｐｃ１で停止している第２ピストン７２２の突起部７２２ｂにはこの緩衝材７３６を介して当接することになる。これによって、衝突の衝撃は緩衝材７３６によって吸収され、第２ピストン７２２の移動によって第１ピストン７２１に強い衝撃が加わることを防止できる。

　そして、第２ピストン７２２の突起部７２２ｂが緩衝材７３６を介して第１ピストン７２１の突出部７３１に当接した位置で第２ピストン７２２が停止し、第２ピストン７２２は中間位置Ｐｃ２に配置される。
　こうした第１ピストン７２１および第２ピストン７２２が、それぞれ中間位置Ｐｃ１，Ｐｃ２にある時は、回転軸２０に中立弁部３０を介して固定された可動弁部４０は、流路Ｈの半開位置Ｅ３（図６８）に位置する。こうした半開位置Ｅ３においては、可動弁部４０が流路Ｈを半分ほど覆う形となり、例えば、流路Ｈの開口面積が弁開位置Ｅ１の半分ほどに制限される。このような半開位置Ｅ３を設定することによって、スライド弁を通過する流量を弁開位置Ｅ１よりも制限する弁位置として適用することができる。

　なお、こうした回転軸駆動機構３００Ｄにおいても、第一実施形態の回転軸駆動機構３００Ｃと同様に、第１ピストン７２１や第２ピストン７２２に対して緩衝溝を形成し、これら第１ピストン７２１や第２ピストン７２２が縮位置Ｐｂ１，Ｐｂ２に向けて移動する際に、シリンダ本体７１１に対して第１ピストン７２１や第２ピストン７２２が緩やかに当接する構成とすればよい。

（第１５実施形態）
　次に本発明の第１５実施形態におけるスライド弁について述べる。
　以下、第１５実施形態のスライド弁おいては、第８～第１４実施形態と同様の構成には、同一の番号を付す。以下、本発明に係るスライド弁の第１５実施形態を、図面に基づいて説明する。
　第１５実施形態においては、弁開度調節機構を使用しないスライド弁の構成及び動作を説明する。これは、後述する第１６実施形態のスライド弁におけるシーケンス回路ＳＱ３において、ＭＩＤポートに駆動用圧縮空気を供給しない状態を簡略化して説明するためである。なぜなら、シャトル弁ｓｔＶ、および、ＭＩＤポートに駆動用圧縮空気を供給しない２チャンネル２方弁ｔ２Ｖのｔ２Ｖ４によりシーケンス回路ＳＱ３のＭＬ側があたかも切断された状態となり加圧状態にならないからである。

［振り子型スライド弁］
　第１５実施形態のスライド弁１００Ｂは、図２４に示すように、振り子型スライド弁である。また、スライド弁１００Ｂは、第８実施形態で述べたように、弁箱１０と、回転軸２０と、接続部材９１と、中立弁部３０と、可動弁部４０と、メインバネ７０（第１付勢部）と、円環状エアシリンダ８０（第２付勢部）と、補助バネ９０（第３付勢部）と、を備えている。
　また、回転軸２０及び流体経路リング１７，１８の構造は、第８実施形態の図３２Ａ及び図３２Ｂに示された構造と同じである。

　また、回転軸２０の外周面２０ｂの流体経路リング１７，１８の間の中心位置には、この回転軸２０を駆動させる（回転させる）ための回転軸駆動機構３００Ａ（図４３参照）を構成するピニオン１２１（ピニオン４２１に対応）が固着される。ピニオン１２１は外部から密閉可能なケーシング１４Ｂ（図３２Ａ及び図３２Ｂ参照）の内部空間１２２ｈに収納され、このピニオン１２１には、図３２Ａ及び図３２Ｂにおいて紙面奥行方向に往復動作することで、ピニオン１２１を介して回転軸２０を回動させる丸棒状のラック部材１２２（ラック、ラック部材４２２に対応）が接続される。
　第１５実施形態のスライド弁１００Ｂの作用及び動作は、第８～第１４実施形態と同様である。
　また、回転軸駆動機構３００Ａの基本構造、作用、及び動作は、第８～第１４実施形態と同様であるが、第１５実施形態における回転軸駆動機構は、特に、リミッタスイッチ（回転動作終了検出スイッチ）ｃｄＳを備えている。

　このスイッチは、シリンダ本体４１１の一端側４１１ａに設けられており、縮位置Ｐｂにピストン４１２がある場合に動作する接触式のリミッタスイッチである。
　このスイッチｃｄＳは、後述するように、図７０に示すシーケンス回路ＳＱにおける動作を、ピストン４１２の位置に依存させる。具体的には、後述する図７７Ａ及び図７７Ｂの２チャンネル２方弁ｔｔＶにおけるエアオペレート側ｔｔＶ０の加圧に対応するように、縮位置Ｐｂにピストン４１２がある場合にスイッチを押圧することでバネ等の付勢力に打ち勝って回路を連通させる。また、この縮位置Ｐｂからピストン４１２が移動した場合には、ピストン４１２の動作に追従してバネ等の付勢力によって回路を切断する。なお、図４４においては、後述の緩衝溝４１８等によるエアクッション動作を説明するために、縮位置Ｐｂに到達する直前の状態を示している。このため、スイッチｃｄＳは動作状態として示されていない。

［シーケンス回路ＳＱ］
　第１５実施形態においてスライド弁１００Ｂは、図７０に示すように、シーケンス回路ＳＱを有する。このシーケンス回路ＳＱによれば、供給路４１とされるＯＰＥＮポートから円環状エアシリンダ８０（第２付勢部）とメインバネ７０とからなる単動エアシリンダに中立弁体３０の厚さ収縮用の圧縮空気が供給される。更に、回転駆動エアシリンダ４１０（駆動手段）の伸張動作時に、ＯＰＥＮポートから伸通気口４１４（供給路）を介して伸圧力空間４１３ａに伸張用の圧縮空気が供給される。回転駆動エアシリンダ４１０の収縮動作時に、ＣＬＯＳＥポートから供給路４２２ｊ（縮通気口）を介して縮圧力空間４２２ｃに収縮用の圧縮空気を供給する。

　シーケンス回路ＳＱは、ＯＰＥＮポートから、２チャンネル２方弁ｔｔＶ、および、チェック弁と流量調整弁とが組み合わされたスピードコントロール弁ＮＣＶ２を介して伸圧力空間４１３ａに接続される。また、シーケンス回路ＳＱは、ＯＰＥＮポートから、スピードコントロール弁ＮＣＶ１、２チャンネル２方弁ｔｔＶのエアオペレート部ｔｔＶ０、チェック弁ＣＶ３と並列にリミッタスイッチ弁ｃｄＳ、および、メンテナンススイッチｍＳＷを介して円環状エアシリンダ８０に接続され、同時に、２チャンネル２方弁ｔｔＶのエアオペレート部ｔｔＶ０に連続する流路が分岐して、チェック弁ＣＶ１を介して２チャンネル２方弁ｔｔＶおよびスピードコントロール弁ＮＣＶ２の間に接続されている。

　また、シーケンス回路ＳＱは、ＣＬＯＳＥポートから、チェック弁ＣＶ２と並列に２チャンネル２方弁ｔｔＶ、および、スピードコントロール弁ＮＣＶ３を介して縮圧力空間４２２ｃに接続されている。
　スピードコントロール弁ＮＣＶ１は、円環状エアシリンダ８０および２チャンネル２方弁ｔｔＶのエアオペレート側ｔｔＶ０からＯＰＥＮポートに向かう側が順方向となるとともに、このスピードコントロール弁ＮＣＶ１は２チャンネル２方弁ｔｔＶにおいてｔｔＶ２からｔｔＶ１への流れと平行となるように並列接続される。
　スピードコントロール弁ＮＣＶ２は、出力ＯＰ側から伸圧力空間４１３ａに向かう側が順方向となるように接続され、スピードコントロール弁ＮＣＶ３は、出力ＣＬ側から縮圧力空間４２２ｃに向かう側が順方向となるように接続される。

　チェック弁ＣＶ１は、出力ＯＰおよび２チャンネル２方弁ｔｔＶのｔｔＶ２側からエアオペレート側ｔｔＶ０および円環状エアシリンダ８０に向かう側が順方向となるとともに、チェック弁ＣＶ１は２チャンネル２方弁ｔｔＶにおいてｔｔＶ２からｔｔＶ１への流れと平行となるように並列接続される。
　チェック弁ＣＶ２は、ＣＬＯＳＥポート側から縮圧力空間４２２ｃに向かう側が順方向となるとともに、チェック弁ＣＶ２は２チャンネル２方弁ｔｔＶにおいてｔｔＶ３からｔｔＶ４への流れと平行となるように並列接続される。
　チェック弁ＣＶ３は、ＯＰＥＮポート側から円環状エアシリンダ８０に向かう側が順方向となるとともに、チェック弁ＣＶ３はリミッタスイッチｃｄＳで連通した流れと平行となるように並列接続される。

　円環状エアシリンダ８０とチェック弁ＣＶ３との間には、手動で円環状エアシリンダ８０を大気圧の外部Ａｉｒに接続するように切り替え可能なメンテナンススイッチｍＳＷが接続されている。このメンテナンススイッチｍＳＷにより、出力ポイントＦＲおよび入力のＯＰＥＮポートとＣＬＯＳＥポートの圧力状態がどのような状態でも、円環状エアシリンダ８０の圧力を低圧ＰＬｏ状態にすることができる。

　２チャンネル２方弁ｔｔＶは、図７７Ａ及び図７７Ｂに示すように、エアオペレート側ｔｔＶ０から駆動用圧縮空気を供給することで流路ｔｔＶ１と流路ｔｔＶ２とを接続・切断するとともに、同時に、流路ｔｔＶ３と流路ｔｔＶ４とを接続・切断するよう構成されている。このため、流路ｔｔＶ１と流路ｔｔＶ２と流路ｔｔＶ３と流路ｔｔＶ４とが貫通するように形成されたシリンダ状のケースｔｔＶ９に、摺動可能な弁体ｔｔＶ５が挿入されて、バネｔｔＶ８等の付勢手段により、エアオペレート側ｔｔＶ０に付勢されている。弁体ｔｔＶ５には、その表面に流路溝ｔｔＶ６，ｔｔＶ７が形成されて、弁体ｔｔＶ５の軸線に沿った摺動位置により、流路ｔｔＶ１と流路ｔｔＶ２とを接続・切断可能とされるとともに、流路ｔｔＶ３と流路ｔｔＶ４とを接続・切断可能とされる。また、ケースｔｔＶ９のエアオペレート側ｔｔＶ０と逆側には、バネｔｔＶ８の付勢力を受けるとともに、図に矢印で示す軸線方向位置を調整可能に設定できる調整部材ｔｔＶａが設けられ、図示しない固定手段によってこの調整部材ｔｔＶａをケースｔｔＶ９に固定する軸線方向位置を調節することで、バネｔｔＶ８付勢力が変化し、エアオペレート側ｔｔＶ０から供給する圧力において、チャンネル接続・切断の閾値を調節させることができる。

　チェック弁ＣＶ１、ＣＶ２，ＣＶ３は、図７８～図８０に符号ＣＶで示すように、流路ＣＶａから流路ＣＶｂには圧縮空気を流し、逆方向には流さない逆止弁である。チェック弁ＣＶは、流路となるハウジングＣＶｃに形成された凹部ＣＶｄと、この凹部ＣＶｄに挿入される有底円筒状のケースＣＶＷと、ケース（ボールガイド）ＣＶＷ内部に設けられた弁体となるボールＣＶＢと、ボールＣＶＢを流路ＣＶａ側に付勢するバネＣＶＳとケースＣＶＷと凹部ＣＶｄとの間をシールするシール部材ＣＶｒとからなる。

　チェック弁ＣＶのケースＣＶＷの外周面には、凹部ＣＶｄの開口部分に二重のフランジＣＶｅが形成されて、これらの内側に位置するリング状シール部材ＣＶｒによって密閉される。ケースＣＶＷは、凹部ＣＶｄの内側部分においては、凹部ＣＶｄ内表面とケースＣＶＷ外周面とは接触していない部分を有するように外径寸法が設定される。

　また、ボールＣＶＢの外径よりもケースＣＶＷ内径は大きく、ケースＣＶＷ内表面とボールＣＶＢ外周面とは常に接触していない部分を有する。
　ケースＣＶＷ内周面には、図７８～図８０に示すように、中心軸線に向けて突出する３枚のフィン（ボールガイド）ＣＶｆが形成され、このフィンＣＶｆの中心軸側端面ＣＶｆ１がボールＣＶＢ外周面と常に接触している部分を有し、これにより、ボールＣＶＢのケースＣＶＷ内での移動位置を規制している。ケースＣＶＷには、周方向でフィンＣＶｆどうしの間となる位置に、貫通孔ＣＶｇが形成されてケースＣＶＷ内外を連通状態としている。

　ケースＣＶＷは、流路ＣＶａ側に開口する状態で配置され、軸線方向にほぼ同径寸法となるように配置されるフィンＣＶｆの端面ＣＶｆ１により、ボールＣＶＷの移動方向が軸線方向に記載され、軸線方向の移動位置規制は、ケースＣＶＷの開口側で弁座となるテーパ部ＣＶａａおよび、ケースＣＶＷ底部側となるフィンＣＶｆの端面ＣＶｆ１が基端部側で縮径した箇所で行う。

　ボールＣＶＢは、バネＣＶＳにより流路ＣＶａ側に付勢されて、流路ＣＶａに形成されたテーパ部ＣＶａａに押圧されることで密着し、流路ＣＶｂから流路ＣＶａに圧縮空気を流さない状態となる。流路ＣＶａから加圧され、バネＣＶＳの付勢力に打ち勝ってボールＣＶＢをテーパ部ＣＶａａから離間させると流路ＣＶａから流路ＣＶｂには圧縮空気が流れる。また、バネＣＶＳ側のフィンＣＶｆが軸線側に突出することで、ボールＣＶＢの移動位置を規制している。

　この際、ケースＣＶＷ内周面にフィンＣＶｆが形成されていることにより、ケースＣＶＷ内表面とボールＣＶＢ外周面とは常に接触していない部分、つまり、軸線方向におけるボールＣＶＢの位置にかかわらず、ケースＣＶＷ内表面とボールＣＶＢ外周面との間で流路断面となる空間が存在している。このため、バネＣＶＳの付勢力と流路ＣＶａからの圧力で決まるどのような位置にボールＣＶＢがあったとしても、ケースＣＶＷ内表面とボールＣＶＢ外周面との間で決まる流路断面の大きさは変化しない。
　同時に、流路ＣＶａから閉塞するテーパ部ＣＶａａとボールＣＶＢ、ボールＣＶＢとケースＣＶＷ内周面、貫通孔ＣＶｇ、ＣＶＷ外周面と凹部ＣＶｄの内面、流路ＣＶｂとして形成される流れが、ボールＣＶＢの位置にかかわらず安定している。

　これにより、大流量あるいは、高流速で圧縮流体を流した場合でも、ケースＣＶＷ内表面とボールＣＶＢ外周面との間などで発生する流速変化により、ボールＣＶＢとテーパ部ＣＶａａとの位置が変動して、流量、流速が変動することがない。特に、ボールＣＶＢがテーパ部ＣＶａａに対して振動し、流量、流速が周期的に変動してしまうことを防止できる。

　したがって、大流量あるいは、高流速で圧縮流体を流すことが可能となるため、円環状エアシリンダ８０および回転駆動エアシリンダ４１０の伸縮動作における出力を増大し、スライド弁１００Ｂとしての動作を高速化することができる。

　次に、シーケンス回路ＳＱにおける圧力状態および、エアオペレート状態を説明する。

　図７１は、駆動用の圧縮空気入力２系統と、出力３系統における圧力状態の変化を示す。ここで、ＯＰＥＮポート、ＣＬＯＳＥポート、ＦＲ，ＯＰ，ＣＬの各点は、図７０に示す各点に対応する。図７２～図７６は、シーケンス回路ＳＱにおける圧力状態を示し、太線が高圧ＰＨｉ状態を示し、細線が低圧ＰＬｏ状態を示すとともに、二点差線は、実際の構成に対応する回路ブロックを示している。

　まず、スライド弁１００Ｂが閉塞密閉している弁閉の状態を始状態とする。
　このとき、中立弁部３０は弁閉位置Ｅ２（図２４）にあり、かつ可動弁部４０の厚さが最大となっている。

　閉状態において、圧力状態としては、図７２で丸数字１で示すように、入力側では、圧縮空気を供給する駆動用２系統の入力のうち、弁開動作を行うためのＯＰＥＮポートには、圧縮空気は供給されずほぼ大気圧と同じ低圧ＰＬｏ状態であり、弁閉動作を行うためのＣＬＯＳＥポートには、圧縮空気が供給されて動作する高圧ＰＨｉ状態とされる。また、出力側では、円環状エアシリンダ８０（第２付勢部）を動作させる出力ポイントＦＲではほぼ大気圧と同じ低圧ＰＬｏ状態、回転駆動エアシリンダ４１０の伸圧力空間４１３ａを加圧する点ＯＰではほぼ大気圧と同じ低圧ＰＬｏ状態、回転駆動エアシリンダ４１０の縮圧力空間４２２ｃを加圧する点ＣＬでは圧縮空気が供給されて動作する高圧ＰＨｉ状態とされる。

　同時に、図７２に示すように、２チャンネル２方弁ｔｔＶのエアオペレート側ｔｔＶ０も大気圧であるため、バネｔｔＶ８による付勢力により図７７Ａ及び図７７Ｂの右方向に弁体が位置し、流路ｔｔＶ１と流路ｔｔＶ２、および、流路ｔｔＶ３と流路ｔｔＶ４がいずれも切断状態となっている。これにより、ＣＬＯＳＥポート、チェック弁ＣＶ２、出力ポイントＣＬ、スピードコントロール弁ＮＣＶ３が高圧ＰＨｉ状態として連続することになり、縮圧力空間４２２ｃが加圧されて、回転駆動エアシリンダ４１０ではピストン４１２が縮位置Ｐｂにある。
　同時に、リミッタスイッチｃｄＳはピストン４１２が接触して連通状態となっている。

　次に、開動作として弁開のコマンドがｏｎになったタイミングで、圧力状態としては、図７１で丸数字２で示すように、入力側では、ＯＰＥＮポートには圧縮空気が供給されて動作する高圧ＰＨｉ状態となり、ＣＬＯＳＥポートには圧縮空気は供給されずほぼ大気圧同じ低圧ＰＬｏ状態となるように切り替えられる。
　これに伴って、図７３に示すように、ＯＰＥＮポート、２チャンネル２方弁ｔｔＶのエアオペレート側ｔｔＶ０、チェック弁ＣＶ１まで、および、チェック弁ＣＶ３、リミッタスイッチｃｄＳ、出力ポイントＦＲが加圧状態となり、図７１で丸数字２で示すように、これらの回路の部分における圧力が上昇してゆく。
　なお、この出力ポイントＦＲにおける圧力は、円環状エアシリンダ８０の圧力をほぼ等しいと見なすことができる。

　この際、円環状エアシリンダ８０の圧力上昇に伴って、可動弁板部５０がＢ１方向に可動弁枠部６０がＢ２方向に摺動することで、可動弁部４０の厚さ方向寸法が縮小して、閉塞解除状態へと動作する。
　この際、可動弁部４０の回動動作は開始しないで、弁閉位置（解除位置）Ｅ２を維持する。

　同時に、図７３に示すように、２チャンネル２方弁ｔｔＶが切断された状態であり、また、チェック弁ＣＶ１のために、流路ｔｔＶ２、出力ポイントＯＰ、スピードコントロール弁ＮＣＶ２、伸圧力空間４１３ａは、ほぼ大気圧と同じ低圧ＰＬｏ状態となる。同時に、２チャンネル２方弁ｔｔＶが切断された状態であり、また、チェック弁ＣＶ２のために圧力が抜けず、出力ポイントＣＬ、スピードコントロール弁ＮＣＶ３、縮圧力空間４２２ｃは、高圧ＰＨｉ状態を維持している。
　同時に、リミッタスイッチｃｄＳはピストン４１２が接触して連通状態となっている。

　ＯＰＥＮポートからの圧縮空気の供給が所定量となり、円環状エアシリンダ８０がメインバネ７０の付勢力に打ち勝って、ＯＰＥＮポート、２チャンネル２方弁ｔｔＶのエアオペレート側ｔｔＶ０、チェック弁ＣＶ１まで、および、チェック弁ＣＶ３、リミッタスイッチｃｄＳ、出力ポイントＦＲ、円環状エアシリンダ８０の圧力が所定の閾値Ｐｔｈを超えると、図７１で丸数字３で示すように、２チャンネル２方弁ｔｔＶのエアオペレート側ｔｔＶ０の圧力が高くなり、バネｔｔＶ８の付勢力に対抗して弁体ｔｔＶ５が移動して図７７Ｂに示す連通状態となる。

　これにより、ＣＬＯＳＥポートから、２チャンネル２方弁ｔｔＶにおいてｔｔＶ４からｔｔＶ３への流れ、出力ポイントＣＬ、スピードコントロール弁ＮＣＶ３、縮圧力空間４２２ｃが連通して、縮圧力空間４２２ｃが減圧される。同時に、ＯＰＥＮポートから、２チャンネル２方弁ｔｔＶにおいてｔｔＶ１からｔｔＶ２への流れ、出力ポイントＯＰ、伸圧力空間４１３ａが連通し、伸圧力空間４１３ａが加圧される。
　その結果、回転駆動エアシリンダ４１０では、ピストン４１２が縮位置Ｐｂから伸位置Ｐａ側に向けて移動し、ピストン４１２が非接触となったリミッタスイッチｃｄＳが切断状態となる。これにより、チェック弁ＣＶにより円環状エアシリンダ８０は加圧状態を維持する。

　この際、縮圧力空間４２２ｃの減圧、伸圧力空間４１３ａの加圧によるピストン４１２の移動に従って、回転軸２０および中立弁体５が回動して、可動弁部４０は弁閉位置（閉塞解除位置）Ｅ２（図２４）から、退避位置Ｅ１（図２４）に向けて回転動作する。
　ここで、中立弁部３０の回転動作中、つまり、ピストン４１２が縮位置Ｐｂから移動している間は、円環状エアシリンダ８０は加圧状態であるため、可動弁部４０の厚さ方向寸法が縮小した状態を維持する。
　このように、スライド弁１００Ｂの開動作が終了すると、図７１に丸数字３ダッシュで示すように、弁開の状態を維持する。

　なお、円環状エアシリンダ８０の圧力閾値Ｐｔｈとしては、弁体４０の厚さ方向寸法が縮小動作が終了する状態で、なおかつ、高圧ＰＨｉ状態以下であればよい。つまり、弁体４０の厚さ縮小動作終了後に回転軸２０の回転動作を行うという動作順を維持可能で、かつ、回転軸２０の回転速度（回転）が、スライド弁１００Ｂにおいて要求される俊敏さを維持できる値となるように、
　　ＰＬｏ ＜ Ｐｔｈ ＜ ＰＨｉ 
であればよく、さらに、回転軸２０の回転が３０°／ｓｅｃ（±１割）の場合に、
　　３ ＜ Ｐｔｈ／ＰＬｏ ＜ ５
　　０．５ ＜ （ＰＨｉ－Ｐｔｈ）／ＰＬｏ ＜ ４
とすることができる。この圧力閾値Ｐｔｈ設定は、２チャンネル２方弁ｔｔＶにおいて、簡便にはバネｔｔＶ８の付勢力を調節部材ｔｔＶａの固定位置によって調節することで行う。具体的には、これらの値を絶対圧表記として、ＰＬｏ＝１．０ｋｇｆ／ｃｍ２（９８．１ｋＰａ）、Ｐｔｈ＝３．０～５．０ｋｇｆ／ｃｍ２（２９４．２～４９０．３ｋＰａ）、ＰＨｉ＝５．５～７．０ｋｇｆ／ｃｍ２（５３９．４～６８６．５ｋＰａ）、とすることができるが、これらの数値は、弁のサイズ、開閉速度の設定などによって変動させることができる。

　次に、開状態からの閉動作を説明する。

　閉動作として弁閉のコマンドがｏｎになったタイミングで、圧力状態としては、図７１に丸数字４で示すように、入力側では、ＣＬＯＳＥポートには圧縮空気が供給されて動作する高圧ＰＨｉ状態となり、ＯＰＥＮポートには圧縮空気は供給されずほぼ大気圧同じ低圧ＰＬｏ状態となるように切り替えられる。

　これに伴って、図７５に示すように、ＣＬＯＳＥポート、チェック弁ＣＶ２、出力ポイントＣＬ、スピードコントロール弁ＮＣＶ３が高圧ＰＨｉ状態として連続することになり、縮圧力空間４２２ｃが加圧されて、回転駆動エアシリンダ４１０ではピストン４１２が伸位置Ｐａから縮位置Ｐｂに移動し始める。このタイミングでは、リミッタスイッチｃｄＳはピストン４１２が非接触で切断状態となっている。
　同時に、ＯＰＥＮポートからの減圧により、ＯＰＥＮポート、２チャンネル２方弁ｔｔＶのエアオペレート側ｔｔＶ０、チェック弁ＣＶ１、２チャンネル２方弁ｔｔＶにおいてｔｔＶ２からｔｔＶ１への流れ、出力ポイントＯＰ、伸圧力空間４１３ａが連通し、伸圧力空間４１３ａが減圧される。
　すると、２チャンネル２方弁ｔｔＶのエアオペレート側ｔｔＶ０の圧力が所定の閾値Ｐｔｈより低くなると、バネｔｔＶ８の付勢力に対抗して弁体ｔｔＶ５が移動して図７７Ａに示す切断状態となる。

　同時に、開状態において、加圧状態であった円環状エアシリンダ８０側では、リミッタスイッチｃｄＳが切断された状態であり、かつ、チェック弁ＣＶ３のために圧力が抜けず、出力ポイントＦＲ、円環状エアシリンダ８０は、高圧ＰＨｉ状態を維持している。
　これにより、回転駆動エアシリンダ４１０において伸圧力空間４１３ａの減圧、縮圧力空間４２２ｃの加圧により、ピストン４１２が伸位置Ｐａから縮位置Ｐｂに向けて移動し始める。同時に、可動弁部４０は退避位置Ｅ１（図２４）から弁閉位置（閉塞解除位置）Ｅ２（図２４）に向けて回転動作する。この際、可動弁部４０の厚さ方向寸法が縮小した状態を維持する。

　可動弁部４０の回転動作が終了して弁閉位置（閉塞解除位置）Ｅ２に到達すると、同時に、回転駆動エアシリンダ４１０において、ピストン４１２が縮位置Ｐｂに到達する。これにより、ピストン４１２がリミッタスイッチｃｄＳに接触して、リミッタスイッチｃｄＳが連通状態になる。
　これにより、圧力状態としては、図７１で丸数字５で示すように、円環状エアシリンダ８０および出力ポイントＦＲがＯＰＥＮポートと連通して減圧される。
　この際、メインバネ７０の付勢力により円環状エアシリンダ８０の圧力下降に伴って、可動弁板部５０がＢ２方向に可動弁枠部６０がＢ１方向に摺動することで、可動弁部４０の厚さ方向寸法が拡大して、閉塞状態へと動作する。
　図７５に示すように、出力側では、円環状エアシリンダ８０（第２付勢部）を動作させる出力ポイントＦＲがほぼ大気圧と同じ低圧ＰＬｏ状態となり、閉状態となる。

　以上のように、ＯＰＥＮポートとＣＬＯＳＥポートとの２ポートとされた入力に対し、ＦＲ，ＯＰ，ＣＬの３出力ポイントにおいて、圧力状態を電気的な機構を用いずに制御可能とするとともに、これらの圧力変化順を設定して、閉塞位置、閉塞解除位置、退避位置の状態を順番に実現することにより、スライド弁１００Ｂの動作を迅速、かつ、安全に行うことが可能となる。

　上記のシーケンス回路ＳＱを有することにより、可動弁部４０の回転移動動作、可動弁部４０の昇降動作（閉塞・解除動作）の２回の独立した動作を有し、しかも、回動動作は複動式エアシリンダ４１０、昇降動作は単動式エアシリンダ８０で行うスライド弁１００Ｂにおいて、これら移動動作・昇降動作を連動させることが可能となる。可動弁部４０の移動動作および昇降動作をいずれも電気的な制御で行わず、機械的な制御で行うことができるので、停電時の異常動作等を防止することが容易に可能となる。

　１チャンネル２方弁を２個使う場合と比較して、２チャンネル２方弁ｔｔＶとすることで、弁の動作タイミングを正確に合わせることが可能となり、シーケンスを正確に実現できる。
　回路形成体を、分割することで、シリンダの変更、３位置シリンダ制御用回路に変更する場合においても、ブロック１を共用することが可能となり、コスト低減効果を得られる。

　メンテナンススイッチｍＳＷにより、円環状エアシリンダ８０への圧空供給を遮断する操作が可能となり、回転駆動エアシリンダ４１０への圧空供給を保持したまま、円環状エアシリンダ８０の脱着作業が可能となる。
　チェック弁ＣＶにおいて、ケース（ボールガイド）ＣＶＷの内周面および外周面が流路となるようにフィンＣＶｆおよび貫通孔ＣＶｇを形成することで、ボールＣＶＢが弁座となるテーパ部ＣＶａａに吸い寄せられることを防止することを可能とし、これにより、圧縮空気の供給流量を増加させ、回転駆動エアシリンダ４１０の動作時間を短縮して、スライド弁１００Ｂの開閉動作時間を短縮することができる。

　なお、メンテナンススイッチｍＳＷは、次に説明する締結ボルト４３とともにメンテナンス時に使用することができる。

［締結ボルト４３（締結部材）］
　締結ボルト４３（締結部材）は、図８１に示すように、外周面に雄ネジの設けられた先端部分４３ａが可動弁枠部６０に設けられた締結螺着部６３に設けられたネジ穴６３ａに螺接されている。締結ボルト４３は、可動弁体４０の厚さ方向、つまり、可動弁板部５０と可動弁枠部６０との移動方向であるＢ１方向またはＢ２方向と平行な方向に軸線が向くように設けられている。

　締結ボルト４３の中央部分４３ｂは、先端部分４３ａと略同径とされ、可動弁板部５０に設けられた締結螺着部６３に設けられた貫通孔５７ｂに軸方向移動可能として貫通されている。中央部分４３ｂの径寸法は貫通孔５７ｂの径寸法よりも小さく設定され、これらが軸方向に相対移動した場合でも互いに接触しないようになっている。
　締結ボルト４３の基端部分４３ｃには、先端部分４３ａおよび中央部分４３ｂよりも拡径したボルトヘッドとされ、先端部分４３ａ側の当接面４３ｄが、対向する締結部５７における貫通孔５７ｂ外側の当接面５７ｄと当接して、締結ボルト４３と可動弁板部５０との流路方向変動位置を規制可能になっている。

　締結ボルト４３には、先端部分４３ａの雄ネジが螺設された部分より先端位置に、係止用溝４３ｅが周設されて、この係止用溝４３ｅに勘合されたワッシャ等の止め輪４３ｆ（係止部材）が、ネジ穴６３ａの外側面６３ｆに当接することで締結ボルト４３の軸方向（流路方向）における内側方向（図示下方向）の移動を規制し、締結ボルト４３を回転させても可動弁枠部６位から離脱しないように係止している。
　止め輪４３ｆ（係止部材）は、締結ボルト４３（締結部材）が単純に外れないだけではなく、可動弁板部５０と可動弁枠部６０と締結解除した状態で、締結ボルト４３が、長期的に緩みなく、かつ、位置を保持していることを可能とする。つまり止め輪４３ｆ（係止部材）が締付軸力を安定的に負担する必要があるため、図８３Ａに示すように、Ｅ形止め輪とされるか、あるいは、図８３Ｂに示すように、Ｃ型止め輪を適用することが好ましい。なお、止め輪の形状に応じて係止用溝４３ｅの形状も適切に選択される。また、係止部材としては、ピン型も適応可能で、この場合は、係止用溝４３ｅに代えて締結ボルト４３の径方向に設けられた係止孔に固定されることができる。

　締結ボルト４３の長さは、止め輪４３ｆが外側面６３ｆに当接した状態で、可動弁部４０が最大厚さとなっても、先端部分４３ａ側の当接面４３ｄが、対向する締結部５７における貫通孔５７ｂ外側の当接面５７ｄと当接しない程度に長く設定されている。また、可動弁部４０が最小厚さとなった場合には、締結螺着部６３と締結螺着部６３との対向する当接面６３ｇと、当接面５７ｇとが当接することで、可動弁板部５０と可動弁枠部６０との位置規制が行われる。つまり、螺接された締結ボルト４３に対して、可動弁板部５０は、Ｂ１方向には当接面５７ｇが当接面６３ｇに当接する位置まで、また、Ｂ２方向には当接面５７ｄが当接面４３ｄに当接する位置まで移動可能となる。

　したがって、締結ボルト４３をネジ穴６３ａに対して回転し、締結長さを変化することで、可動弁板部５０の移動範囲、つまり、可動弁板部５０と可動弁枠部６０との流路方向位置を規制することができる。特に、エアシリンダ８０によって、メインバネ７０の付勢力に打ち勝って可動弁部４０の厚さが縮小した状態で、当接面５７ｄが当接面４３ｄに当接するように、締結ボルトを回動させることにより、エアシリンダ８０の駆動を停止した状態でも、可動弁部４０の厚さが縮小した状態を維持することが可能となる。これにより、メンテナンス時などに、中立弁体を弁箱１０と接触しないように自由な状態で回動可能とすることができる。

　また、締結ボルト４３は、複数設けられたメインバネ７０の付勢力に打ち勝って安定的に可動弁部４０の厚さが縮小した状態を維持するために、可動弁部４０を流路方向に平面視して、複数のメインバネ７０が配置された中心位置に対して、この締結ボルト４３が対称に配置される。
　具体的には、図８２Ａ～図８２Ｃに示すように、可動弁部４０が流路方向に平面視して略円形とされ、可動弁部４０の最外周である第１周囲領域４０ａに複数のメインバネ７０が同心状に位置するように配置された場合、締結ボルト４３は、メインバネ７０と同心状にかつ、メインバネ７０と等間隔になるように、メインバネ７０と同数設けられる。

　一例として、図８２Ａには、メインバネ７０と締結ボルト４３とがメインバネとが４本ずつ配置された例を、図８２Ｂには、メインバネ７０と締結ボルト４３とがメインバネとが３本ずつ配置された例を示す。また、図８２Ｃには、６本のメインバネ７０が同心状に配置され、締結ボルト４３と中心に設けられた例を示す。
　なお、これらの例はメインバネ７０の付勢力が全て等しい場合を例示したが、複数のメインバネの付勢力が不均等である場合には、これらの付勢力を効率よく受けて、可動弁部４０の厚み寸法の縮小幅が、中立弁体面方向全体で等しくなるように締結ボルトを設けることが好ましい。

　これにより、常にメインバネ７０の付勢力が働いている可動弁部４０に対してその厚さを縮小する冶具を別途用意することなく、中立弁部３０と可動弁部４０とからなる中立弁体の取り外しを可能とすることができる。
　さらに、止め輪４３ｆを設けることで、メンテナンス時に、締結ボルト４３を取り外した上で紛失してしまうリスクを排除することができる。

　以上のように、第１５実施形態においては、流路方向に互いに離間接近可能な可動弁板部５０と可動弁枠部６０とによって構成された可動弁部４０が設けられている。可動弁部４０には、可動弁板部５０と可動弁枠部６０とを流路方向外側に向けて付勢するメインバネ７０が設けられている。可動弁部４０には、可動弁板部５０と可動弁枠部６０とを中空部１１の流路方向中央位置側に向けて移動させる円環状エアシリンダ８０が設けられている。可動弁枠部６０を中立弁部３０に接近する方向に付勢する補助バネ９０が設けられている。これによって、可動弁板部５０と可動弁枠部６０とを弁箱の内面１５ａ、１５ｂに押圧して、シール部６１及び反力伝達部５９とで確実に弁閉塞を行うことができる。

　また、可動弁板部５０と可動弁枠部６０とを中空部１１の流路方向中央位置側に向けて移動させることで、弁箱１０に弁体４０が接触しないようにして回動させ、回動以外の動作が必要な機構に比べて小型で出力の小さい駆動機構によって退避位置まで弁体４０を移動することができる。

　この構成においては、１つの可動弁部４０と３つの付勢部７０，８０，９０とによって弁体を形成することができる。また、可動弁部４０の周囲領域に配置されたメインバネ７０の復元力によって可動弁板部５０と可動弁枠部６０とを弁箱１０の内面に直接押し付けて、確実に閉弁できる。同様に、可動弁部４０の周囲領域に配置された円環状エアシリンダ８０に供給された圧縮空気の作用によって可動弁板部５０と可動弁枠部６０とを弁箱１０の内面から離間させて、確実に回動可能状態として開弁できる。従って、第１５実施形態においては、簡単な構造を有し、高い信頼性で仕切り動作を行うことができるスライド弁を実現することができる。

（第１６実施形態）
　次に本発明の第１６実施形態におけるスライド弁について述べる。
　以下、第１６実施形態のスライド弁おいては、第８～第１５実施形態と同様の構成には、同一の番号を付す。以下、本発明に係るスライド弁の第１６実施形態を、図面に基づいて説明する。
　第１６実施形態においては、弁開度調節を行うスライド弁の構成及び動作を説明する。

［振り子型スライド弁］
　第１６実施形態のスライド弁は、図５１に示すように弁開度調節機構を備えた振り子型スライド弁である。このスライド弁は、第１２実施形態で述べたように、弁箱１０と、回転軸２０と、接続部材９１と、中立弁部３０と、可動弁部４０と、メインバネ７０（第１付勢部）と、円環状エアシリンダ８０（第２付勢部）と、補助バネ９０（第３付勢部）と、を備えている。このスライド弁の可動弁部４０は、可動弁部における３つの停止位置で停止可能となる。具体的に、３つの停止位置とは、流路Ｈが設けられていない中空部１１に位置する退避位置Ｅ１、第１開口部１２ａに対応する位置である流路Ｈの弁閉位置Ｅ２、およびこれら退避位置Ｅ１と弁閉位置Ｅ２との中間にあって流路Ｈの開口面積のうち半分ほどを覆う（遮蔽する）半開位置（Ｅ３）である。この半開位置の状態が調整可能である。図５１に示すスライド弁は、図４８～図５０に示す回転軸駆動機構３００Ｂを備えている。

　第１１，１５実施形態においては、シリンダ本体４１１の内部空間４１１ｂに収容されているピストン４１２は１つとし、このピストン４１２の停止位置として伸位置Ｐａと縮位置Ｐｂの２位置を設定した（図４３，図４４参照）。
　一方、第１６実施形態においては、第１２実施形態で説明したように、弁開度調節機構として、シリンダ本体５１１の第１の内部空間５１１ｂおよび第２の内部空間５１１ｃには、直列に２つのピストン５１２ａ，５１２ｂがそれぞれ収容される。そして、これら２つのピストン５１２ａ，５１２ｂがそれぞれ、３つの停止位置、即ち、伸位置Ｐａ１，Ｐａ２，縮位置Ｐｂ１，Ｐｂ２，および中間位置Ｐｃ１，Ｐｃ２が設定される。

　こうした２つのピストン５１２ａ，５１２ｂにそれぞれ３つの停止位置が設定されることによって、図５１に示すように、スライド弁２の可動弁部４０は、３つの停止位置で停止可能であり、この半開位置の状態が調整可能である。
　回転軸駆動機構３００Ｂの基本構造、作用、及び動作は、第８～第１５実施形態と同様であるが、第１５実施形態における回転軸駆動機構は、特に、リミッタスイッチｃｄＳを備えている。

［シーケンス回路ＳＱ３］
　第１６実施形態においてスライド弁は、図７０に示した、シーケンス回路ＳＱに加えて図８４に示すように、弁開度を設定する第１ピストン５２１の伸張動作時に、ＭＩＤポートから通気口５２６を介して停止位置設定用圧力空間５２４（第１圧力空間）に伸張用の圧縮空気を供給するとともに、シャトル弁ｓｔＶを有する構成とされるシーケンス回路ＳＱ３を有する。

　つまり、図８４に示すように、シーケンス回路ＳＱ３においては、供給路４１とされるＯＰＥＮポートから円環状エアシリンダ８０（第２付勢部）とメインバネ７０とからなる単動エアシリンダに中立弁体３０の厚さ収縮用の圧縮空気が供給される。また、回転駆動エアシリンダ５１０（駆動手段）の伸張動作時に、ＯＰＥＮポートから伸通気口５２７（供給路）を介して第２伸圧力空間５２５に伸張用の圧縮空気が供給される。回転駆動エアシリンダ５１０の収縮動作時に、ＣＬＯＳＥポートから供給路４２２ｊ（縮通気口）を介して縮圧力空間４２２ｃに収縮用の圧縮空気が供給される。弁開度を設定する第１ピストン５２１の伸張動作時に、ＭＩＤポートから通気口５２６を介して停止位置設定用圧力空間５２４（第１圧力空間）に伸張用の圧縮空気が供給される。また、シーケンス回路ＳＱ３は、シャトル弁ｓｔＶを有する。

　シーケンス回路ＳＱ３は、ＯＰＥＮポートから、２チャンネル２方弁ｔｔＶ、および、チェック弁と流量調整弁とが組み合わされたスピードコントロール弁ＮＣＶ２を介して第２伸圧力空間５２５に接続される。また、シーケンス回路ＳＱ３は、ＯＰＥＮポートから、スピードコントロール弁ＮＣＶ１、２チャンネル２方弁ｔｔＶのエアオペレート部ｔｔＶ０、シャトル弁ｓｔＶ、チェック弁ＣＶ３と並列にリミッタスイッチ弁ｃｄＳ、および、メンテナンススイッチｍＳＷを介して円環状エアシリンダ８０に接続され、同時に、２チャンネル２方弁ｔｔＶのエアオペレート部ｔｔＶ０がシャトル弁ｓｔＶヘ流入する部分と分岐した流路が、チェック弁ＣＶ１を介して２チャンネル２方弁ｔｔＶの流路ｔｔＶ２およびスピードコントロール弁ＮＣＶ２の間に接続されている。

　また、シーケンス回路ＳＱ３は、ＣＬＯＳＥポートから、チェック弁ＣＶ２と並列に２チャンネル２方弁ｔｔＶ、および、スピードコントロール弁ＮＣＶ３を介して第２縮圧力空間４２２ｃに接続されている。
　また、シーケンス回路ＳＱ３は、ＭＩＤポートから２チャンネル２方弁ｔ２Ｖ、および、スピードコントロール弁ＮＣＶ５を介して第１圧力空間５２４に接続される。また、シーケンス回路ＳＱ３は、ＭＩＤポートから、スピードコントロール弁ＮＣＶ４、２チャンネル２方弁ｔ２Ｖのエアオペレート部ｔ２Ｖ０を介して、シャトル弁ｓｔＶに接続されている。

　また、第１圧力空間５２４の第１ピストン５２１に接続された突出部５３１の先端は、第２ピストン５２２に接触可能とされ、第１圧力空間５２４と第２縮圧力空間４２２ｃとのいずれかもしくは両方が加圧された場合に、第１ピストン５２１と第２ピストン５２２との間で互いに押圧して圧力を伝達可能となっている。

　スピードコントロール弁ＮＣＶ１は、円環状エアシリンダ８０および２チャンネル２方弁ｔｔＶのエアオペレート側ｔｔＶ０からＯＰＥＮポートに向かう側が順方向となるとともに、このスピードコントロール弁ＮＣＶ１は２チャンネル２方弁ｔｔＶにおいてｔｔＶ２からｔｔＶ１への流れと平行となるように並列接続される。
　スピードコントロール弁ＮＣＶ２は、出力ＯＰ側から第２伸圧力空間５２５に向かう側が順方向となるように接続され、スピードコントロール弁ＮＣＶ３は、出力ＣＬ側から第２縮圧力空間４２２ｃに向かう側が順方向となるように接続される。

　チェック弁ＣＶ１は、出力ＯＰおよび２チャンネル２方弁ｔｔＶの流路ｔｔＶ２側からエアオペレート側ｔｔＶ０および円環状エアシリンダ８０に向かう側が順方向となるとともに、チェック弁ＣＶ１は２チャンネル２方弁ｔｔＶにおいてｔｔＶ２からｔｔＶ１への流れと平行となるように並列接続される。
　チェック弁ＣＶ２は、ＣＬＯＳＥポート側から第２縮圧力空間４２２ｃに向かう側が順方向となるとともに、チェック弁ＣＶ２は２チャンネル２方弁ｔｔＶにおいてｔｔＶ３からｔｔＶ４への流れと平行となるように並列接続される。
　チェック弁ＣＶ３は、ＯＰＥＮポート側から円環状エアシリンダ８０に向かう側が順方向となるとともに、チェック弁ＣＶ３はリミッタスイッチｃｄＳで連通した流れと平行となるように並列接続される。

　スピードコントロール弁ＮＣＶ４は、ＭＩＤパイロットラインとなるポイントＭＬを介してシャトル弁ｓｔＶに接続され、このシャトル弁ｓｔＶおよび２チャンネル２方弁ｔ２Ｖのエアオペレート側ｔ２Ｖ０とチェック弁ＣＶ５へ分岐する側からＭＩＤポートに向かう側が順方向となるとともに、このスピードコントロール弁ＮＣＶ４は２チャンネル２方弁ｔ２Ｖにおいてｔ２Ｖ２からｔ２Ｖ１への流れと平行となるように並列接続される。
　スピードコントロール弁ＮＣＶ４には、ポイントＭＬに至る回路のエアオペレート側ｔ２Ｖ０よりも上流で分岐してチェック弁ＣＶ５、２チャンネル２方弁ｔ２Ｖの流路ｔ２Ｖ３側、流路ｔ２Ｖ４側から、２チャンネル２方弁ｔｔＶのｔｔＶ４およびチェック弁ＣＶ２および出力ＣＬが分岐して接続される。

　スピードコントロール弁ＮＣＶ５は、出力ＭＩＤ側から第１圧力空間５２４に向かう側が順方向となるように接続される。
　チェック弁ＣＶ５は２チャンネル２方弁ｔ２Ｖのｔ２Ｖ３からスピードコントロール弁ＮＣＶ４に向かう側が順方向となるとともに、チェック弁ＣＶ４は、出力ＭＩＤおよび２チャンネル２方弁ｔ２Ｖの流路ｔ２Ｖ２側からエアオペレート側ｔ２Ｖ０およびポイントＭＬに向かう側が順方向となるように接続される。

　シャトル弁ｓｔＶは、ＯＰＥＮポートからの２チャンネル２方弁ｔ２Ｖのエアオペレート部ｔ２Ｖ０側（ポイントＳＳ側）及び、ＭＩＤポートからの回路内のポイントＭＬ側からの流入を出力ポイントＦＲ側に選択的に流出させるように接続される。
　円環状エアシリンダ８０とチェック弁ＣＶ３との間には、手動で円環状エアシリンダ８０を大気圧の外部Ａｉｒに接続するように切り替え可能なメンテナンススイッチｍＳＷが接続されている。２チャンネル２方弁ｔ２Ｖは、図７７Ａ及び図７７Ｂに示す２チャンネル２方弁ｔ２Ｖと同様の構成とされている。チェック弁ＣＶ４，ＣＶ５は、図７８～図８０に示した構成とされている。

　次に、シーケンス回路ＳＱ３における圧力状態および、エアオペレート状態を説明する。

　図８５は、駆動および位置制御用の圧縮空気入力３系統と、出力４系統における圧力状態の変化を示す。ここで、ＯＰＥＮポート、ＣＬＯＳＥポート、ＭＩＤポート、ＦＲ，ＯＰ，ＣＬ，ＭＩＤ、および、ＭＬの各点は、図８４に示す各点に対応する。図８６～図８９は、シーケンス回路ＳＱ３における圧力状態を示し、太線が高圧ＰＨｉ状態を示し、細線が低圧ＰＬｏ状態を示すとともに、二点差線は、実際の構成に対応する回路ブロックを示している。

　まず、スライド弁が閉塞密閉している弁閉（Ｅ２）の状態を始状態とする。また終状態を半開位置（Ｅ３）とする。
　このとき、中立弁部３０は弁閉位置Ｅ２（図５１）にあり、かつ可動弁部４０の厚さが最大となっている。

　閉塞密閉状態において、圧力状態としては、図８５でＡ－丸数字１で示すように、入力側では、圧縮空気を供給する駆動用２系統の入力のうち、弁開動作を行うためのＯＰＥＮポートには、圧縮空気は供給されずほぼ大気圧と同じ低圧ＰＬｏ状態であり、弁閉動作を行うためのＣＬＯＳＥポートには、圧縮空気が供給されて動作する高圧ＰＨｉ状態とされる。また、圧縮空気を供給する開度制御用の入力であるＭＩＤポートには、圧縮空気は供給されずほぼ大気圧と同じ低圧ＰＬｏ状態とされる。

　また、図８５にＡ－丸数字１で示す閉塞密閉状態において、出力側では、円環状エアシリンダ８０（第２付勢部）を動作させる出力ポイントＦＲではほぼ大気圧と同じ低圧ＰＬｏ状態、回転駆動エアシリンダ５１０の第２伸圧力空間５２５を加圧する点ＯＰではほぼ大気圧と同じ低圧ＰＬｏ状態である。また、回転駆動エアシリンダ５１０の第２縮圧力空間４２２ｃを加圧する点ＣＬでは、圧縮空気が供給されて動作する高圧ＰＨｉ状態である。また、弁開度調節を行う第１ピストン５２１側の第１圧力空間５２４を動作させる出力ポイントＭＩＤでは、ほぼ大気圧と同じ低圧ＰＬｏ状態である。また、回路内のポイントＭＬも低圧ＰＬｏ状態である。

　同時に、図８６に示すように、２チャンネル２方弁ｔｔＶのエアオペレート側ｔｔＶ０も大気圧であるため、バネｔｔＶ８による付勢力により図７７Ａ及び図７７Ｂの右方向に弁体が位置し、流路ｔｔＶ１と流路ｔｔＶ２、および、流路ｔｔＶ３と流路ｔｔＶ４がいずれも切断状態となっている。これにより、ＣＬＯＳＥポート、チェック弁ＣＶ２、出力ポイントＣＬ、スピードコントロール弁ＮＣＶ３が高圧ＰＨｉ状態として連続することになり、縮圧力空間４２２ｃが加圧されて、回転駆動エアシリンダ５１０では第２ピストン５２２が縮位置Ｐｂ２（図４９）にある。

　同時に、２チャンネル２方弁ｔ２Ｖのエアオペレート側ｔ２Ｖ０も大気圧であるため、同様に、流路ｔ２Ｖ１と流路ｔ２Ｖ２、および、流路ｔ２Ｖ３と流路ｔ２Ｖ４がいずれも切断状態となっている。また、リミッタスイッチｃｄＳは第２ピストン５２２が接触して連通状態となっている。
　これにより、ＣＬＯＳＥポート、チェック弁ＣＶ２，２チャンネル２方弁ｔｔＶのｔｔＶ４から２チャンネル２方弁ｔ２Ｖのｔ２Ｖ４、出力ポイントＣＬ、スピードコントロール弁ＮＣＶ、第２縮圧力空間４２２ｃが連通して高圧ＰＨｉ状態となる。

　次に、密閉解除動作として半開駆動のコマンドがｏｎになったタイミングで、圧力状態としては、図８５にＡ－丸数字２で示すように、ＯＰＥＮポートは低圧ＰＬｏ状態、ＣＬＯＳＥポートは高圧ＰＨｉ状態で変化せず、ＭＩＤポートは低圧ＰＬｏ状態から高圧ＰＨｉ状態に切り替えられる。
　これに伴って、図８７に示すように、ＭＩＤポート、２チャンネル２方弁ｔｔＶのｔＳＶ１、チェック弁ＣＶ５まで、２チャンネル２方弁ｔｔＶのエアオペレート側ｔｔＶ０、チェック弁ＣＶ４まで、出力ＭＬ，シャトル弁ｓｔＶまで、および、チェック弁ＣＶ３、リミッタスイッチｃｄＳ、出力ポイントＦＲ、円環状エアシリンダ８０が加圧状態となり、図８５でＡ－丸数字２に示すように、これらの回路の部分における圧力が上昇してゆく。

　この際、円環状エアシリンダ８０の圧力上昇に伴って、可動弁板部５０がＢ１方向に可動弁枠部６０がＢ２方向に摺動することで、可動弁部４０の厚さ方向寸法が縮小して、閉塞解除状態へと動作する。
　また、図８５にＡ－丸数字２で示す状態では、密閉解除はするが、可動弁部４０の回動動作は開始しないで解除位置としての弁閉位置Ｅ２を維持する。

　同時に、図８７に示すように、２チャンネル２方弁ｔｔＶが切断された状態であり、また、シャトル弁ｓｔＶのために、流路ｔｔＶ２、出力ポイントＯＰ、スピードコントロール弁ＮＣＶ１、チェック弁ＣＶ１、スピードコントロール弁ＮＣＶ２、第２伸圧力空間５２５は、ほぼ大気圧と同じ低圧ＰＬｏ状態となる。
　同時に、２チャンネル２方弁ｔｔＶおよび２チャンネル２方弁ｔ２Ｖが切断された状態であり、また、シャトル弁ｓｔＶ等のために圧力が抜けず、ＣＬＯＳＥポート、チェック弁ＣＶ２，２チャンネル２方弁ｔｔＶのｔｔＶ４から２チャンネル２方弁ｔ２Ｖのｔ２Ｖ４、出力ポイントＣＬ、スピードコントロール弁ＮＣＶ３、第２縮圧力空間４２２ｃが高圧ＰＨｉ状態を維持する。
　このとき、リミッタスイッチｃｄＳはピストン５１２が接触して連通状態となっている。

　ＭＩＤポートからの圧縮空気の供給が所定量となり、円環状エアシリンダ８０がメインバネ７０の付勢力に打ち勝って、ＭＩＤポート、スピードコントロール弁ＮＣＶ４、チェック弁ＣＶ５まで、２チャンネル２方弁ｔ２Ｖのエアオペレート側ｔ２Ｖ０、チェック弁ＣＶ４まで、ポイントＭＬからシャトル弁まで、および、チェック弁ＣＶ３、リミッタスイッチｃｄＳ、出力ポイントＦＲ、円環状エアシリンダ８０の圧力が所定の閾値ＰｔＭを超えると、図８８でＡ－丸数字３で示すように、２チャンネル２方弁ｔ２Ｖのエアオペレート側ｔ２Ｖ０の圧力が高くなりバネの付勢力に対抗して弁体が移動して２チャンネル２方弁ｔ２Ｖが連通状態となる。

　これにより、図８８でＡ－丸数字３で示すように、ＭＩＤポートから、２チャンネル２方弁ｔ２Ｖにおいてｔ２Ｖ１からｔ２Ｖ２への流れ、出力ポイントＭＩＤ、スピードコントロール弁ＮＣＶ５、第１圧力空間５２４が連通して、第１圧力空間５２４が加圧される。同時に、ＣＬＯＳＥポートから、２チャンネル２方弁ｔ２Ｖにおいてｔ２Ｖ４からｔｔＶ３への流れ、チェック弁ＣＶ５、ポイントＭＬが連通する。
　その結果、回転駆動エアシリンダ５１０では、第１ピストン５２１が縮位置Ｐｂ１から伸位置Ｐａ１側に向けて移動する。この際、第１圧力空間５２４の圧力上昇に伴って、第１ピストン５２１の突出部５３１が接触する第２ピストン５２２を押圧し、第１ピストン５２１と第１圧力空間５２４との押圧力の差から、第２縮圧力空間４２２ｃが収縮し、第１圧力空間５２４が拡大（伸縮）する方向に駆動力が働き始める。
　同時に、第２ピストン５２２が移動し始めリミッタスイッチｃｄＳが切断状態となる。これにより、チェック弁ＣＶにより円環状エアシリンダ８０は加圧状態を維持する。

　ここで、第１ピストン５２１および第２ピストン５２２の伸張動作においては、第１圧力空間５２４および第２縮圧力空間４２２ｃの拡大縮小は、加圧・減圧によって行われておらず、突出部５３１で接触する第１ピストン５２１と第２ピストン５２２との押圧力の差によって行われる。このため、第１ピストン５２１および第２ピストン５２２の伸張動作に伴って、第２縮圧力空間４２２ｃから第１圧力空間５２４へは、図８９でＡ－丸数字４で示す状態のように、駆動用の圧縮空気が環流する。
　具体的には、第２縮圧力空間４２２ｃからスピードコントロール弁ＮＣＶ３、スピードコントロール弁ＮＣＶ３から出力ポイントＣＬ、出力ポイントＣＬから２チャンネル２方弁ｔ２Ｖのｔ２Ｖ４、２チャンネル２方弁ｔ２Ｖのｔ２Ｖ４からｔ２Ｖ３への流れ、２チャンネル２方弁ｔ２Ｖのｔ２Ｖ３からチェック弁ＣＶ５、チェック弁ＣＶ５スピードコントロール弁ＮＣＶ４、スピードコントロール弁ＮＣＶ４から２チャンネル２方弁ｔ２Ｖのｔ２Ｖ１、２チャンネル２方弁ｔ２Ｖのｔ２Ｖ１からｔ２Ｖ２への流れ、２チャンネル２方弁ｔ２Ｖのｔ２Ｖ２から出力ＭＩＤ、出力ＭＩＤからスピードコントロール弁ＮＣＶ５、スピードコントロール弁ＮＣＶ５から第１圧力空間５２４へと流れることになる。

　この第２縮圧力空間４２２ｃから第１圧力空間５２４への環流による第２ピストン５２２の移動に従って、回転軸２０および中立弁体５が回動して、可動弁部４０は弁閉位置Ｅ２（閉塞解除位置，図５１）から、半開位置Ｅ３（図５１）に向けて回転動作する。
　ここで、中立弁部３０の回転動作中、つまり、ピストン５１２が縮位置Ｐｂから移動している間は、円環状エアシリンダ８０は加圧状態であるため、可動弁部４０の厚さ方向寸法が縮小した状態を維持する。
　このように、第１ピストン５２１，第２ピストン５２２がいずれも半開位置Ｐｃ１，Ｐｃ２への移動が終了してスライド弁の半開動作が終了すると、第１圧力空間５２４から突出部５３１で接触するにかかる圧力によって突出部５３１で接触する第２ピストン５２２に対する伸張方向への押圧力と、第２縮圧力空間４２２ｃから第２ピストン５２２への加圧により、図８９でＡ－丸数字３で示すように、弁半開の状態を維持する。なお、第１ピストン５２１の停止位置は、第１ピストン規制部材５３５によって設定される位置に規制される。

　なお、円環状エアシリンダ８０の圧力閾値ＰｔＭとしては、上述した圧力閾値Ｐｔｈと等しくすることも可能であるし、異ならせることもできる。この圧力閾値ＰｔＭは、弁のサイズ、開閉速度の設定などによって変動することができるが、弁体４０の厚さ方向寸法が縮小動作が終了する状態で、なおかつ、高圧ＰＨｉ状態以下であればよい。つまり、弁体４０の厚さ縮小動作終了後に回転軸２０の回転動作を行うという動作順を維持可能で、かつ、回転軸２０の回転速度（回転）が、スライド弁において要求される俊敏さを維持できる値となるように、
　　ＰＬｏ＜ ＰｔＭ ＜ ＰＨｉ 
であればよい。

　次に、半開Ｅ３状態から弁閉（Ｅ２）への半閉（閉塞・密閉）動作を説明する。
　スライド弁は始状態として半開位置Ｅ３（図５１）にあり、かつ可動弁部４０の厚さは最小となっている。

　半開状態において、圧力状態としては、図９０でＢ－丸数字１で示すように、入力側では、圧縮空気を供給する駆動用２系統の入力のうち、弁開動作を行うためのＯＰＥＮポートは低圧ＰＬｏ状態とされ、ＣＬＯＳＥポートは高圧ＰＨｉ状態とされ、ＭＩＤポートは高圧ＰＨｉ状態とされる。

　また、図９０にＢ－丸数字１で示す半開状態において、出力側では、出力ポイントＦＲは高圧ＰＨｉ状態、出力ポイントＯＰは低圧ＰＬｏ状態、出力ポイントＣＬは高圧ＰＨｉ状態、出力ポイントＭＩＤは高圧ＰＨｉ状態、回路内のポイントＭＬも高圧ＰＨｉ状態とされる。
　同時に、図９０に示すように、第１ピストン５２１，第２ピストン５２２がいずれも半開位置Ｐｃ１，Ｐｃ２まで伸張し、円環状エアシリンダ８０が伸張している。また、２チャンネル２方弁ｔ２Ｖのｔ２Ｖ１とｔ２Ｖ２およびｔ２Ｖ３とｔ２Ｖ４が連通状態、２チャンネル２方弁ｔｔＶのｔｔＶ１とｔｔＶ２およびｔｔＶ３とｔｔＶ４が切断状態、リミッタスイッチｃｄＳが切断状態である。

　半閉動作としてのコマンドがｏｎになったタイミングで、圧力状態としては、図９０にＢ－丸数字２で示すように、入力側では、ＭＩＤポートが低圧ＰＬｏ状態となるように切り替えられる。

　これに伴って、図９２に示すように、ＭＩＤポート、スピードコントロール弁ＮＣＶ４、チェック弁ＣＶ５まで、２チャンネル２方弁ｔ２Ｖのエアオペレート側ｔ２Ｖ０、チェック弁ＣＶ４、ポイントＭＬ，スピードコントロール弁ＮＣＶ５、第１圧力空間５２４が連続して減圧され、回転駆動エアシリンダ５１０では第１ピストン５２１が半開位置Ｐｃ１から縮位置Ｐｂ１に移動し始める。この際、第２縮圧力空間４２２ｃの伸張に伴って、ＣＬＯＳＥポートから圧縮空気が供給される。
　同時に、２チャンネル２方弁ｔ２Ｖのエアオペレート側ｔ２Ｖ０が減圧されるため、エアオペレート側ｔ２Ｖ０の圧力が所定の閾値ＰｔＭより低くなると、２チャンネル２方弁ｔ２Ｖのｔ２Ｖ１とｔ２Ｖ２およびｔ２Ｖ３とｔ２Ｖ４が切断状態となる。

　同時に、半開（Ｅ３）状態において、加圧状態であった円環状エアシリンダ８０側では、リミッタスイッチｃｄＳが切断された状態であり、かつ、チェック弁ＣＶ３のために圧力が抜けず、出力ポイントＦＲ、円環状エアシリンダ８０は、高圧ＰＨｉ状態を維持している。
　これにより、回転駆動エアシリンダ５１０において第１圧力空間５２４の減圧、第２縮圧力空間４２２ｃへの圧縮空気供給により、第２ピストン５２２が半開位置Ｐｃ２から縮位置Ｐｂ２に向けて移動し始める。同時に、可動弁部４０は半開位置Ｅ３（図５１）から退避位置Ｅ１（閉塞解除位置、図５１）に向けて回転動作する。この際、可動弁部４０の厚さ方向寸法が縮小した状態を維持する。

　可動弁部４０の回転動作が終了して弁閉位置Ｅ２（閉塞解除位置）に到達すると、図９３に示すように、同時に、回転駆動エアシリンダ５１０において、第２ピストン５２２が縮位置Ｐｂ２に到達する。これにより、第２ピストン５２２がリミッタスイッチｃｄＳに接触して、リミッタスイッチｃｄＳが連通状態になる。
　これにより、圧力状態としては、図９０でＢ－丸数字３で示すように、円環状エアシリンダ８０および出力ポイントＦＲがＯＰＥＮポートと連通して減圧される。
　この際、メインバネ７０の付勢力により円環状エアシリンダ８０の圧力下降に伴って、可動弁板部５０がＢ２方向に可動弁枠部６０がＢ１方向に摺動することで、可動弁部４０の厚さ方向寸法が拡大して、閉塞状態へと動作する。
　出力側では、円環状エアシリンダ８０（第２付勢部）を動作させる出力ポイントＦＲがほぼ大気圧と同じ低圧ＰＬｏ状態となり、図９４に示すように、閉塞・密閉状態となる。

　次に、半開Ｅ３状態から弁開（Ｅ１）への半開から開への動作を説明する。
　スライド弁は始状態として半開位置Ｅ３（図５１）にあり、かつ可動弁部４０の厚さは最小となっている。

　半開状態において、圧力状態としては、図９５でＣ－丸数字１で示すように、入力側では、圧縮空気を供給する駆動用２系統の入力のうち、ＯＰＥＮポートは低圧ＰＬｏ状態とされ、ＣＬＯＳＥポートは高圧ＰＨｉ状態とされ、ＭＩＤポートは高圧ＰＨｉ状態とされる。

　また、図９５にＣ－丸数字１で示す半開状態において、出力側では、出力ポイントＦＲは高圧ＰＨｉ状態、出力ポイントＯＰは低圧ＰＬｏ状態、出力ポイントＣＬは高圧ＰＨｉ状態、出力ポイントＭＩＤは高圧ＰＨｉ状態、回路内のポイントＭＬは高圧ＰＨｉ状態、回路内のシャトル弁ｓｔＶとチェック弁ＣＶ１との間のポイントＳＳは低圧ＰＬｏ状態とされる。
　同時に、図９６に示すように、第１ピストン５２１，第２ピストン５２２がいずれも半開位置Ｐｃ１，Ｐｃ２まで伸張し、円環状エアシリンダ８０が伸張している。また、２チャンネル２方弁ｔ２Ｖのｔ２Ｖ１とｔ２Ｖ２およびｔ２Ｖ３とｔ２Ｖ４が連通状態、２チャンネル２方弁ｔｔＶのｔｔＶ１とｔｔＶ２およびｔｔＶ３とｔｔＶ４が切断状態、リミッタスイッチｃｄＳが切断状態である。

　半開動作としてのコマンドがｏｎになったタイミングで、圧力状態としては、図９５にＣ－丸数字２で示すように、入力側では、ＯＰＥＮポートが高圧ＰＨｉ状態、ＣＬＯＳＥポートは低圧ＰＬｏ状態となるように切り替えられる。

　これに伴って、図９７に示すように、ＯＰＥＮポート、２チャンネル２方弁ｔｔＶのエアオペレート側ｔｔＶ０、チェック弁ＣＶ１まで、および、シャトル弁ｓｔＶ、チェック弁ＣＶ３、リミッタスイッチｃｄＳ、出力ポイントＦＲが加圧状態となるとともに、ＭＩＤポート、スピードコントロール弁ＮＣＶ４、チェック弁ＣＶ５、２チャンネル２方弁ｔ２Ｖのエアオペレート側ｔ２Ｖ０、チェック弁ＣＶ４、ポイントＭＬ，出力ＭＩＤ、スピードコントロール弁ＮＣＶ５、第１圧力空間５２４が加圧状態となる。
　回転駆動エアシリンダ５１０では第１ピストン５２１が半開位置Ｐｃ１を維持する。
　同時に、ＣＬＯＳＥポート、２チャンネル２方弁ｔｔＶのｔｔＶ３、チェック弁ＣＶ２からＣＬＯＳＥポート側が減圧状態となる。この際、チェック弁ＣＶ２により、チェック弁ＣＶ２から出力ＣＬ，第２縮圧力空間４２２ｃ側は加圧状態を維持する。

　ＯＰＥＮポートからの圧縮空気の供給が所定量となり、図９５にＣ－丸数字３で示すように、２チャンネル２方弁ｔｔＶのエアオペレート側ｔｔＶ０の圧力が所定の閾値Ｐｔｈを超えると、図９８に示すように、２チャンネル２方弁ｔｔＶのｔｔＶ１とｔｔＶ２およびｔｔＶ３とｔｔＶ４が連通状態となる。

　これにより、ＣＬＯＳＥポートから、２チャンネル２方弁ｔｔＶにおいてｔｔＶ４からｔｔＶ３への流れ、出力ポイントＣＬ、スピードコントロール弁ＮＣＶ３、第２縮圧力空間４２２ｃが連通して、第２縮圧力空間４２２ｃが減圧される。同時に、ＯＰＥＮポートから、２チャンネル２方弁ｔｔＶにおいてｔｔＶ１からｔｔＶ２への流れ、出力ポイントＯＰ、第２伸圧力空間５２５が連通し、第２伸圧力空間５２５が加圧される。
　その結果、回転駆動エアシリンダ５１０では、第２伸圧力空間５２５の加圧により、第２ピストン５２２が半開位置Ｐｃ２から伸位置Ｐａ２に移動し始める。同時に、非接触となった第１ピストン５２１は、半開位置Ｐｃ１を維持する。この際、円環状エアシリンダ８０は加圧状態を維持する。

　この回転駆動エアシリンダ５１０における第２ピストン５２２の半開位置Ｐｃ２から伸位置Ｐａ２への移動により、可動弁部４０が半開位置Ｅ３（図５１）から退避位置Ｅ１（弁開位置，図５１）に向けて回転動作する。この際、可動弁部４０の厚さ方向寸法が縮小した状態を維持する。

　次に、退避状態（Ｅ１）から半開状態（Ｅ３）までの半開閉動作を説明する。
　スライド弁は始状態として退避位置Ｅ１（図５１）にあり、かつ可動弁部４０の厚さは最小となっている。

　弁開（退避）状態において、圧力状態としては、図９９でＤ－丸数字１で示すように、入力側では、圧縮空気を供給する駆動用２系統の入力のうち、ＯＰＥＮポートは高圧ＰＨｉ状態とされ、ＣＬＯＳＥポートは低圧ＰＬｏ状態とされ、ＭＩＤポートは高圧ＰＨｉ状態とされる。

　また、図９９にＤ－丸数字１で示す半開状態において、出力側では、出力ポイントＦＲは高圧ＰＨｉ状態、出力ポイントＯＰは高圧ＰＨｉ状態、出力ポイントＣＬは低圧ＰＬｏ状態、出力ポイントＭＩＤは高圧ＰＨｉ状態、回路内のポイントＭＬも高圧ＰＨｉ状態、ポイントＳＳも高圧ＰＨｉ状態とされる。
　同時に、図１００に示すように、第１ピストン５２１がいずれも半開位置Ｐｃ１、第２ピストン５２２が伸位置Ｐａ２まで伸張し、円環状エアシリンダ８０が伸張している。また、２チャンネル２方弁ｔ２Ｖのｔ２Ｖ１とｔ２Ｖ２およびｔ２Ｖ３とｔ２Ｖ４が連通状態、２チャンネル２方弁ｔｔＶのｔｔＶ１とｔｔＶ２およびｔｔＶ３とｔｔＶ４が連通状態、リミッタスイッチｃｄＳが切断状態である。

　半開閉動作としてのコマンドがｏｎになったタイミングで、圧力状態としては、図９９にＤ－丸数字２で示すように、入力側では、ＯＰＥＮポートが低圧ＰＬｏ状態、ＣＬＯＳＥポートは高圧ＰＨｉ状態となるように切り替えられる。

　これに伴って、図１０１に示すように、ＯＰＥＮポート、２チャンネル２方弁ｔｔＶのエアオペレート側ｔｔＶ０、チェック弁ＣＶ１、ポイントＳＳ，シャトル弁ｓｔＶまで、および、ＯＰＥＮポート、２チャンネル２方弁ｔｔＶのｔｔＶ１からｔｔＶ２、出力ポイントＯＰ、第２伸圧力空間５２５が連通して減圧し始める。
　回転駆動エアシリンダ５１０では第１ピストン５２１が半開位置Ｐｃ１を維持する。
　同時に、ＣＬＯＳＥポート、２チャンネル２方弁ｔｔＶのｔｔＶ３からｔｔｖ４、チェック弁ＣＶ２、出力ポイントＣＬ，第２縮圧力空間４２２ｃが加圧状態となる。

　その結果、回転駆動エアシリンダ５１０では、第２伸圧力空間５２５の減圧および第２縮圧力空間４２２ｃの加圧により、第２ピストン５２２が伸位置Ｐａ２から半開位置Ｐｃ２に移動し始める。この際、第２縮圧力空間４２２ｃの伸張に伴って、ＣＬＯＳＥポートから圧縮空気が供給される。また、第１ピストン５２１が半開位置Ｐｃ１を維持する。
　このタイミングでは、リミッタスイッチｃｄＳはピストン５１２が非接触で切断状態となっている。

　同時に、ＯＰＥＮポートからの減圧により、２チャンネル２方弁ｔｔＶのエアオペレート側ｔｔＶ０が減圧されるため、エアオペレート側ｔｔＶ０の圧力が所定の閾値Ｐｔｈより低くなると、２チャンネル２方弁ｔｔＶのｔｔＶ１とｔｔＶ２およびｔｔＶ３とｔｔＶ４が切断状態となる。

　同時に、退避状態（Ｅ１）において、加圧状態であった円環状エアシリンダ８０側では、シャトル弁ｓｔＶのために圧力が抜けず、出力ポイントＦＲ、円環状エアシリンダ８０は、高圧ＰＨｉ状態を維持している。
　これにより、回転駆動エアシリンダ５１０において第２伸圧力空間５２５の減圧、第２縮圧力空間４２２ｃへの圧縮空気供給により移動し始めた第２ピストン５２２が、半開位置Ｐｃ１にある第１ピストン５２１の突出部５３１に当接し、図１０２に示すように、半開位置Ｐｃ２で停止する。向けて移動し始める。同時に、可動弁部４０は退避位置Ｅ１（図５１）から半開位置Ｅ３（図５１）に向けて回転動作する。この際、可動弁部４０の厚さ方向寸法が縮小した状態を維持する。

　以上のように、第１６実施形態においては、ＯＰＥＮポート、ＣＬＯＳＥポート、ＭＩＤポートの３ポートとされた駆動および位置制御用圧力空気の入力に対し、ＦＲ，ＯＰ，ＣＬ、ＭＩＤの４出力ポイントとされるシーケンス回路によって単動シリンダによる中立弁体の厚さ変動と二段式かつ復動シリンダとされる中立弁体の回転動作シリンダとを駆動制御する構成が採用されている。この構成において、これらの圧力状態を電気的な機構を用いずに制御して、閉塞位置Ｅ２，退避位置Ｅ１，半開位置Ｅ３の３位置間での動作を制御することができる。また、これらの動作に対応した圧力変化順を設定して、閉塞位置、閉塞解除位置、半開位置、退避位置の状態を所定の順番に実現することができる。このため、スライド弁の動作を迅速、かつ、安全に行うことが可能となる。また、上述した動作を連続、あるいは組み合わせて行うことも可能である。

　上記のシーケンス回路ＳＱ３を有することにより、可動弁部４０の回転移動動作、可動弁部４０の昇降動作（閉塞・解除動作）の２回の独立した動作を有し、しかも、回動動作は複動式エアシリンダ５１０、昇降動作は単動式エアシリンダ８０で行うとともに、開度を調節可能なスライド弁においては、これら移動動作・昇降動作を連動させることが可能となる。可動弁部４０の移動動作および昇降動作、半開動作をいずれも電気的な制御で行わず、機械的な制御で行うことができるので、停電時の異常動作等を防止することが容易に可能となる。なお、第１６実施形態のシーケンス回路は一例であり、他の構成であっても、上述したような動作およびこれに対応した圧縮空気の制御を行うであれば適応することができる。

　また、１チャンネル２方弁を４個使う場合と比較して、ＯＰＥＮポートに２チャンネル２方弁ｔｔＶ、ＭＩＤポートに２チャンネル２方弁ｔ２Ｖとすることで、弁の動作タイミングを正確に合わせることが可能となり、シーケンスを正確に実現できる。
　回路形成体を、図８４に二点差線で囲まれたブロックごとに分割してこれを組み立てて構成可能とすることで、シリンダの変更、特に、２位置シリンダと３位置シリンダとの間で制御用回路に変更する場合においても、ブロックを共用することが可能となり、コスト低減効果を得られる。

　本発明は、真空装置等において、真空度や温度あるいはガス雰囲気等の性質の異なる２つの空間を連結している流路を仕切る状態と、この仕切り状態を開放した状態を切り替える用途、及び、仕切り状態と開放状態との間で開度をコントロールする仕切弁及びスライド弁に広く適用できる。

　５…中立弁体、　１０，１０ａ，１０ｂ…弁箱、　１１…中空部、　１２ａ…第１開口部、　１２ｂ…第２開口部、　１７，１８…流体経路リング、　２０…回転軸、　２１，１２１…雄ネジ、　２５…弁棒、　３０…中立弁部、　３１…雌ネジ、　４０…可動弁部、　４１…供給路、　４２…連絡路、　４３…締結ボルト（締結部材）、　４３ｆ…止め輪（係止部材）、　５０…可動弁板部（第２可動弁部）、　５１ａ，５１ｂ…第２シール部、　５２ａ，５２ｂ…第３シール部、　５３，５４…ワイパー、　５５，５６…中間大気室、　６０…可動弁枠部（第１可動弁部）、　６１…第１シール部、　６２…ガイドピン、　６８…接続ピン、６８Ａ…フローティングピン、６９…接続ピン部、　７０…メインバネ（第１付勢部）、　８０…エアシリンダ（第２付勢部、円環状エアシリンダ）、　９０…補助バネ（第３付勢部）、　９１…接続部材、　９３…突起部、　９５…凹部、　９６ａ，９６ｂ…第一平行面、　９７ａ，９７ｂ…第二平行面、　１２１，４２１，６２１…ピニオン、　１２２，４２２，６２２…ラック、　１２５，１２６…軸方向軸内経路、　１００，１００Ａ，１０００…仕切弁、　１００Ｂ…スライド弁、　３００Ａ，３００Ｂ，３００Ｃ，３００Ｄ…回転軸駆動機構、　４１０，５１０，６１０，７１０…シリンダ、　４１１，５１１，６１１，７１１…シリンダ本体、　４１２，５２１，６１２，７１２…ピストン、　４１３，６１３…圧力空間、　４１４，６１４…通気口、　４１８，６１８…緩衝溝、　５３６，７３６…緩衝材。

Claims (44)

1. 　仕切弁であって、
   　中空部と、前記中空部を挟み互いに対向するように設けられて連通する流路となる第１開口部及び第２開口部とを有する弁箱と、
   　前記弁箱の前記中空部内に配置され前記第１開口部を閉塞可能な中立弁体と、
   　前記中立弁体を、前記第１開口部に対して閉塞状態にする弁閉塞位置と前記第１開口部から退避した開放状態とする弁開放位置との間で動作する位置切り替え手段と、
   を具備し、
   　前記中立弁体が、前記切り替え手段に接続される中立弁部と、該中立弁部に対して流路方向位置変更可能に接続される可動弁部と、を有し、
   　前記可動弁部が、該可動弁部に周設され前記第１開口部周囲の弁箱内面に密着されるシール部が設けられるとともに前記中立弁部に対して流路方向位置変更可能に接続される第１可動弁部と、
   　前記第１可動弁部を前記流路方向前記第１開口部に向けて付勢して前記シール部を前記第１開口部周囲の弁箱内面に密着可能とする第１付勢部と、
   　前記第１可動弁部に対して前記流路方向に摺動可能とされる第２可動弁部と、
   　前記第１付勢部の付勢力に対抗して前記第１可動弁部と前記第２可動弁部との前記流路方向厚み寸法を収縮可能なように駆動する第２付勢部と、
   　前記第１可動弁部と前記第２可動弁部との流路方向厚み寸法変化に対応して、前記第１可動弁部を前記中立弁部に対して流路方向位置変更可能に接続するとともに、前記第１可動弁部を前記流路方向中央位置側に付勢する第３付勢部と、
   を具備することを特徴とする仕切弁。
2. 　請求項１に記載の仕切弁であって、
   　前記第２可動弁部には、前記第１付勢部の反力を前記第２開口部周囲の弁箱内面に伝達する反力伝達部が設けられることを特徴とする仕切弁。
3. 　請求項１又は請求項２に記載の仕切弁であって、
   　前記第２付勢部は、前記第２周囲領域において前記第１可動弁部と前記第２可動弁部との間に形成されたエアシリンダであることを特徴とする仕切弁。
4. 　請求項３に記載の仕切弁であって、
   　前記第２付勢部とされたエアシリンダに駆動用気体を供給する供給路が形成され、該供給路には、前記第１可動弁部と前記中立弁部との流路方向位置が変更した際にも、前記第１可動弁部と前記中立弁部との間で駆動用気体を供給可能に摺動接続する接続ピン部が設けられることを特徴とする仕切弁。
5. 　請求項３に記載の仕切弁であって、
   　前記第２付勢部とされたエアシリンダには、摺動部分に２重シール部が設けられ、１重目のシールが破れた際に、２重目のシールより気体供給側に、駆動用気体を仕切弁外部に向けて逃がす連絡路が設けられることを特徴とする仕切弁。
6. 　請求項４に記載の仕切弁であって、
   　前記接続ピン部には、摺動部分に２重シール部が設けられ、１重目のシールが破れた際に、２重目のシールより気体供給側に、駆動用気体を仕切弁外部に向けて逃がす連絡路が設けられることを特徴とする仕切弁。
7. 　請求項１に記載の仕切弁であって、
   　前記切り替え手段が、前記流路方向に延在する軸線を有する回転軸を含むことを特徴とする仕切弁。
8. 　請求項１に記載の仕切弁であって、
   　前記切り替え手段が、前記流路方向と交差する方向に延在し直線状に駆動される弁棒を含むことを特徴とする仕切弁。
9. 　仕切弁であって、
   　中空部と、前記中空部を挟み互いに対向するように設けられて連通する流路となる第１開口部及び第２開口部とを有する弁箱と、
   　前記弁箱の前記中空部内に配置され前記第１開口部を閉塞可能な中立弁体と、
   　前記中立弁体を、前記第１開口部に対して閉塞状態にする弁閉塞位置と前記第１開口部から退避した開放状態とする弁開放位置との間で動作する位置切り替え手段と、
   を具備し、
   　前記中立弁体が、前記切り替え手段に接続される中立弁部と、該中立弁部に対して流路方向位置変更可能に接続される可動弁部と、を有し、
   　前記可動弁部が、該可動弁部に周設され前記第１開口部周囲の弁箱内面に密着されるシール部が設けられるとともに前記中立弁部に対して流路方向位置変更可能に接続される第１可動弁部と、
   　前記第１可動弁部を前記流路方向前記第１開口部に向けて付勢して前記シール部を前記第１開口部周囲の弁箱内面に密着可能とする第１付勢部と、
   　前記第１可動弁部に対して前記流路方向に摺動可能とされる第２可動弁部と、
   　前記第１付勢部の付勢力に対抗して前記第１可動弁部と前記第２可動弁部との前記流路方向厚み寸法を収縮可能なように駆動する第２付勢部と、
   　前記第１可動弁部と前記第２可動弁部との流路方向厚み寸法変化に対応して、前記第１可動弁部を前記中立弁部に対して流路方向位置変更可能に接続するとともに、前記第１可動弁部を前記流路方向中央位置側に付勢する第３付勢部と、
   　前記中立弁体の厚み寸法が縮んだ状態で前記第１可動弁部と前記第２可動弁部とを締結可能な締結部材と、
   を具備することを特徴とする仕切弁。
10. 　請求項９に記載の仕切弁であって、
    　前記締結部材には、前記第１可動弁部と前記第２可動弁部とを締結解除した状態で弁開閉動作可能なようにこの締結部材が前記可動弁部から外れないようにする係止部材が設けられることを特徴とする仕切弁。
11. 　請求項１０に記載の仕切弁であって、
    　前記第１付勢部が複数設けられ、
    　前記中立弁体を流路方向に平面視して、前記第１付勢部が配置された中心位置に対して、前記締結部材が対称に配置されることを特徴とする仕切弁。
12. 　請求項９に記載の仕切弁であって、
    　前記中立弁体が略円形の前記第１開口部を閉塞可能とされ、流路方向に平面視して、前記第１付勢部と前記締結部材とが前記中立弁体に対して同心状に配置されることを特徴とする仕切弁。
13. 　請求項１０に記載の仕切弁であって、
    　前記係止部材がＥ型止め輪、あるいは、Ｃ型止め輪とされてなることを特徴とする仕切弁。
14. 　仕切弁であって、
    　中空部と、前記中空部を挟み互いに対向するように設けられて連通する流路となる第１開口部及び第２開口部とを有する弁箱と、
    　前記弁箱の前記中空部内に配置され前記第１開口部を閉塞可能な中立弁体と、
    　前記中立弁体を、前記第１開口部に対して閉塞状態にする弁閉塞位置と前記第１開口部から退避した開放状態とする弁開放位置との間で回動させる回転軸と、
    　前記弁箱内において前記回転軸に固着され、前記中立弁部を脱着可能に保持する接続部材と、を具備し、
    　前記中立弁体は、前記接続部材を介して前記回転軸に接続される中立弁部と、該中立弁部に対して流路方向位置変更可能に接続される可動弁部と、を有し、
    　前記接続部材と前記中立弁部は、前記流路方向に沿って互いに平行に広がり第一間隔で離間した一組の第一平行面と、前記流路方向に沿って互いに平行に広がり前記第一間隔よりも広い第二間隔で離間した一組の第二平行面とで互いに接触してなることを特徴とする仕切弁。
15. 　前記可動弁部には、該弁板に周設され前記第１開口部周囲の弁箱内面に密着されるシール部が設けられるとともに、
    　前記中立弁部に対して流路方向位置変更可能に接続される第１可動弁部と、
    　前記第１可動弁部を前記流路方向前記第１開口部に向けて付勢して前記シール部を前記第１開口部周囲の弁箱内面に密着可能とする第１付勢部と、
    　前記第１可動弁部に対して前記流路方向に摺動可能とされる第２可動弁部と、
    　前記第１付勢部の付勢力に対抗して前記第１可動弁部と前記第２可動弁部との前記流路方向厚み寸法を収縮可能なように駆動する第２付勢部と、
    　前記第１可動弁部と前記第２可動弁部との流路方向厚み寸法変化に対応して、前記第１可動弁部を前記中立弁体に対して流路方向位置変更可能に接続するとともに、前記第１可動弁部を前記流路方向中央位置側に付勢する第３付勢部と、を具備することを特徴とする請求項１４に記載の仕切弁。
16. 　前記接続部材には、前記第一平行面を構成する第一接触面と前記第二平行面を構成する第二接触面とを具備した突起部が形成され、
    　前記中立弁体の一端部には、前記第一平行面を構成する第三接触面と前記第二平行面を構成する第四接触面とを具備し前記突起部と嵌合する凹部が形成されていることを特徴とする請求項１４又は請求項１５にに記載の仕切弁。
17. 　前記凹部は、前記流路方向における前記中立弁部の一面側および他面側にそれぞれ形成されていることを特徴とする請求項１４から請求項１６のいずれか一項に記載の仕切弁。
18. 　前記回転軸と前記中立弁部とは、該回転軸および前記接続部材を貫通するおねじと、前記中立弁部に形成され前記おねじに螺合するめねじによって結合されていることを特徴とする請求項１４から請求項１７のいずれか一項に記載の仕切弁。
19. 　仕切弁であって、
    　中空部と、前記中空部を挟み互いに対向するように設けられて連通する流路となる第１開口部及び第２開口部とを有する弁箱と、
    　前記弁箱の前記中空部内に配置され前記第１開口部を閉塞可能な弁体と、
    　前記弁体を、前記第１開口部に対して閉塞状態にする弁閉塞位置と前記第１開口部から退避した開放状態とする弁開放位置との間で回動させる回転軸と、
    　前記弁箱内において前記回転軸に固着され、前記弁部を脱着可能に保持する接続部材と、を具備し、
    　前記接続部材と前記弁部は、前記流路方向に沿って互いに平行に広がり第一間隔で離間した一組の第一平行面と、前記流路方向に沿って互いに平行に広がり前記第一間隔よりも広い第二間隔で離間した一組の第二平行面とで互いに接触してなることを特徴とする仕切弁。
20. 　スライド弁であって、
    　中空部と、前記中空部を挟み互いに対向するように設けられて連通する流路となる第１開口部及び第２開口部とを有する弁箱と、
    　前記弁箱の前記中空部内に配置され前記第１開口部を閉塞可能な中立弁体と、
    　前記中立弁体を、前記第１開口部に対して閉塞状態にする弁閉塞位置と前記第１開口部から退避した開放状態とする弁開放位置との間で動作する位置切り替え手段として前記流路方向に延在する軸線を有する回転軸と、
    を具備し、
    　前記中立弁体が、前記切り替え手段に接続される中立弁部と、該中立弁部に対して流路方向位置変更可能に接続される可動弁部と、を有し、
    　前記可動弁部が、該可動弁部に周設され前記第１開口部周囲の弁箱内面に密着されるシール部が設けられるとともに前記中立弁部に対して流路方向位置変更可能に接続される第１可動弁部と、
    　前記第１可動弁部を前記流路方向前記第１開口部に向けて付勢して前記シール部を前記第１開口部周囲の弁箱内面に密着可能とする第１付勢部と、
    　前記第１可動弁部に対して前記流路方向に摺動可能とされる第２可動弁部と、
    　前記第１付勢部の付勢力に対抗して前記第１可動弁部と前記第２可動弁部との前記流路方向厚み寸法を収縮可能なように駆動する第２付勢部と、
    　前記第１可動弁部と前記第２可動弁部との流路方向厚み寸法変化に対応して、前記第１可動弁部を前記中立弁部に対して流路方向位置変更可能に接続するとともに、前記第１可動弁部を前記流路方向中央位置側に付勢する第３付勢部と、
    　前記回転軸の軸線方向に離間して該回転軸を保持する２以上の軸受と、
    　前記回転軸の軸線方向におけるこれら軸受間の位置で前記回転軸周面に摺動可能に接触する流体経路リングと、
    を有し、
    　前記回転軸の一端面と前記流体経路リングの外周面とに設けられた開口どうしを連通する密閉した流体経路が設けられ、前記回転軸が回動位置に依らずに、かつ、前記弁箱中空部に露出することなく前記中立弁部内部に形成された流体経路と前記回転軸径方向外側位置となる前記弁箱外部とを連通することを特徴とするスライド弁。
21. 　請求項２０に記載のスライド弁であって、
    　前記流体経路として、前記回転軸内部には軸内経路が設けられ、該軸内経路が、前記回転軸の軸線方向に延在して前記回転軸の一端側に開口する軸方向軸内経路と、該軸方向経路に接続されるとともに前記回転軸の周面に開口する径方向軸内経路とからなり、
    　前記流体経路として、前記流体経路リング内部には、該流体経路リングの径方向に延在しその外周面及び内周面に開口する径方向リング経路が設けられ、
    　前記流体経路リング内周面および回転軸周面の間に、周方向に設けられ前記径方向軸内経路と前記径方向リング経路とを連通する周方向経路が周設されることを特徴とするスライド弁。
22. 　請求項２１に記載のスライド弁であって、
    　前記経路は、前記第２周囲領域において前記第１可動弁部と前記第２可動弁部との間に前記第２付勢部として形成されたエアシリンダに駆動用気体を供給する供給路の一部とされることを特徴とするスライド弁。
23. 　請求項２２に記載のスライド弁であって、
    　前記経路は、前記第２付勢部とされたエアシリンダの摺動部分に設けられた２重シール部において２重目のシールより気体供給側に設けられ、１重目のシールが破れた際に駆動用気体をスライド弁外部に向けて逃がす連絡路の一部とされることを特徴とするスライド弁。
24. 　請求項２３に記載のスライド弁であって、
    　前記回転軸には、前記供給路と前記連絡路となる軸方向経路がそれぞれ平行に設けられてなるとともに、前記供給路と前記連絡路と対応する流体経路リングが前記回転軸の異なる軸方向位置に設けられてなることを特徴とするスライド弁。
25. 　請求項２４に記載のスライド弁であって、
    　前記供給路と前記連絡路と対応する流体経路リングが、前記軸受の軸線方向中間位置に対して対称に配置されてなることを特徴とするスライド弁。
26. 　請求項２５に記載のスライド弁であって、
    　前記軸受の軸線方向中間位置には、前記回転軸を駆動する駆動系ピニオンが接続されてなることを特徴とするスライド弁。
27. 　スライド弁であって、
    　中空部と、前記中空部を挟み互いに対向するように設けられて連通する流路となる第１開口部及び第２開口部とを有する弁箱と、
    　前記弁箱の前記中空部内に配置され前記第１開口部を閉塞可能な中立弁体と、
    　前記中立弁体を、前記第１開口部に対して閉塞状態にする弁閉塞位置と前記第１開口部から退避した開放状態とする弁開放位置との間で回動させる回転軸と、
    　該回転軸を回転させる回転手段と、
    　前記弁箱内において前記回転軸に固着され、前記中立弁部を脱着可能に保持する接続部材と、を具備し、
    　前記中立弁体は、前記接続部材を介して前記回転軸に接続される中立弁部と、該中立弁部に対して流路方向位置変更可能に接続される可動弁部と、を有し、
    　前記回転手段は、前記回転軸の軸心周りに形成されたピニオンと、該ピニオンに噛合するラック歯を備えたラック部材と、該ラック部材を直線運動させるシリンダと、これらラック部材とピニオンとを密閉状態に収納するケーシングと、を有し、
    　前記ケーシングには、前記ピニオンと前記ラック歯との噛合部分の両側にそれぞれ、前記ラック部材を摺動可能に支持する滑り軸受が周設され、
    　前記シリンダが、筒状のシリンダ本体と、該シリンダ本体内で往復運動可能なピストンとからなり、該ピストンには、その往復運動方向に延在する前記ラック部材が固着され、
    　前記シリンダ本体の一端側と前記ピストンとの間で伸圧力空間を成すとともに、
    　前記シリンダ本体の他端側に密閉状態に接続された前記ケーシング側と前記ピストンとの間で縮圧力空間を成し、
    　前記シリンダ本体に設けられ前記伸圧力空間と外部との間を連通させる伸通気口と、前記ピニオン収納側のケーシングに設けられ前記縮圧力空間と外部との間を連通させる縮通気口とを有し、
    　前記ラック部材と前記滑り軸受との間で対向する部分には、前記ラック部材が往復運動しても前記滑り軸受より前記ピストン側の縮圧力空間内と前記縮通気口との通気状態を維持する連通溝が形成されていることを特徴とするスライド弁。
28. 　前記ピストンには、前記往復運動方向に沿って断面積が連続的に変化し、前記圧力空間内の空気を前記通気口に向けて徐々に通気させる緩衝溝が形成されていることを特徴とする請求項２７に記載のスライド弁。
29. 　前記ケーシングには、前記圧力空間内の空気を前記通気口に向けて通気させる際、この通気量を制御可能とする制御緩衝流路が形成されていることを特徴とする請求項２７に記載のスライド弁。
30. 　前記ピストンは、第１ピストンと、該第１ビストンと前記シリンダ本体の一端側との間に配された第２ピストンと、からなり、
    　前記第１ピストンと前記第２ピストンとの当接部分には、緩衝材が配されてなることを特徴とする請求項２７に記載のスライド弁。
31. 　前記滑り軸受は、前記ピニオンと前記ラック歯との噛合部分に生じる前記ラック部材の作用線と、前記ラック部材の軸中心線との交点よりも、前記噛合部分から遠ざかる方向に配されていることを特徴とする請求項２７に記載のスライド弁。
32. 　前記可動弁部には、該弁板に周設され前記第１開口部周囲の弁箱内面に密着されるシール部が設けられるとともに、
    　前記中立弁部に対して流路方向位置変更可能に接続される第１可動弁部と、
    　前記第１可動弁部を前記流路方向前記第１開口部に向けて付勢して前記シール部を前記第１開口部周囲の弁箱内面に密着可能とする第１付勢部と、
    　前記第１可動弁部に対して前記流路方向に摺動可能とされる第２可動弁部と、
    　前記第１付勢部の付勢力に対抗して前記第１可動弁部と前記第２可動弁部との前記流路方向厚み寸法を収縮可能なように駆動する第２付勢部と、
    　前記第１可動弁部と前記第２可動弁部との流路方向厚み寸法変化に対応して、前記第１可動弁部を前記中立弁体に対して流路方向位置変更可能に接続するとともに、前記第１可動弁部を前記流路方向中央位置側に付勢する第３付勢部と、を具備することを特徴とする請求項２７から請求項３１のいずれか一項に記載のスライド弁。
33. 　スライド弁であって、
    　中空部と、前記中空部を挟み互いに対向するように設けられて連通する流路となる第１開口部及び第２開口部とを有する弁箱と、
    　前記弁箱の前記中空部内に配置され前記第１開口部を閉塞可能な中立弁体と、
    　前記中立弁体を、前記第１開口部に対して閉塞状態にする弁閉塞位置と前記第１開口部から退避した開放状態とする弁開放位置との間で回動させる回転軸と、
    　該回転軸を回転させる回転手段と、
    　前記弁箱内において前記回転軸に固着され、前記中立弁部を脱着可能に保持する接続部材と、を具備し、
    　前記中立弁体は、前記接続部材を介して前記回転軸に接続される中立弁部と、該中立弁部に対して流路方向位置変更可能に接続される可動弁部と、を有し、
    　前記回転手段は、前記回転軸の軸心周りに形成されたピニオンと、該ピニオンに噛合するラック歯を備えたラック部材と、該ラック部材を直線運動させるシリンダと、を有し、
    　前記ピニオンと前記ラック歯との噛合部分の両側にはそれぞれ、前記ラック部材を摺動可能に支持する滑り軸受が配され、
    　前記シリンダは、筒状のシリンダ本体と、該シリンダ本体内で往復運動可能なピストンとからなり、前記シリンダ本体の一端側と前記ピストンとの間で圧力空間を成し、
    　前記シリンダ本体には、前記圧力空間と外部との間を連通させる通気口を有し、前記ピストンには、前記往復運動方向に沿って断面積が連続的に変化し、前記圧力空間内の空気を前記通気口に向けて徐々に通気させる緩衝溝が形成されていることを特徴とするスライド弁。
34. 　前記ピストンは、第１ピストンと、該第１ビストンと前記シリンダ本体の一端側との間に配された第２ピストンと、からなり、
    　前記第１ピストンと前記第２ピストンとの当接部分には、緩衝材が配されてなることを特徴とする請求項３３に記載のスライド弁。
35. 　前記ラック部材は長手方向に垂直な断面が円形を成し、かつ、前記長手方向に沿った２箇所以上で、前記滑り軸受によって摺動自在に支持されることを特徴とする請求項３３又は請求項３４に記載のスライド弁。
36. 　前記滑り軸受は、前記ピニオンと前記ラック歯との噛合部分に生じる前記ラック部材の作用線と、前記ラック部材の軸中心線との交点よりも、前記噛合部分から遠ざかる方向に配されていることを特徴とする請求項３３から請求項３５のいずれか一項に記載のスライド弁。
37. 　前記ラック部材の表面には、長手方向に沿って延びる溝が更に形成されていることを特徴とする請求項３３から請求項３６のいずれか一項に記載のスライド弁。
38. 　前記可動弁部には、該弁板に周設され前記第１開口部周囲の弁箱内面に密着されるシール部が設けられるとともに、
    　前記中立弁部に対して流路方向位置変更可能に接続される第１可動弁部と、
    　前記第１可動弁部を前記流路方向前記第１開口部に向けて付勢して前記シール部を前記第１開口部周囲の弁箱内面に密着可能とする第１付勢部と、
    　前記第１可動弁部に対して前記流路方向に摺動可能とされる第２可動弁部と、
    　前記第１付勢部の付勢力に対抗して前記第１可動弁部と前記第２可動弁部との前記流路方向厚み寸法を収縮可能なように駆動する第２付勢部と、
    　前記第１可動弁部と前記第２可動弁部との流路方向厚み寸法変化に対応して、前記第１可動弁部を前記中立弁体に対して流路方向位置変更可能に接続するとともに、前記第１可動弁部を前記流路方向中央位置側に付勢する第３付勢部と、を具備することを特徴とする請求項３３から請求項３７のいずれか一項に記載のスライド弁。
39. 　スライド弁であって、
    　中空部と、前記中空部を挟み互いに対向するように設けられて連通する流路となる第１開口部及び第２開口部とを有する弁箱と、
    　前記弁箱の前記中空部内に配置され前記第１開口部を閉塞可能な中立弁体と、
    　前記中立弁体を、前記第１開口部に対して閉塞状態にする弁閉塞位置と前記第１開口部から退避した開放状態とする弁開放位置との間で回動させる回転軸と、
    　該回転軸を回転させラックピニオン及びこれを駆動する復動式エアシリンダからなる回転手段と、
    　前記中立弁体を閉塞解除動作させる単動式エアシリンダからなる閉塞解除駆動手段と、を有するスライド弁において、
    　前記中立弁体の閉塞解除動作と該中立弁体の回転動作とを順次動作可能とするとともに、オープン時には、閉塞解除エアシリンダの駆動圧が所定の閾値を超えた際に回転エアシリンダを動作開始させるとともに、クローズ時には、回転動作終了時に閉塞動作を開始させるエアオペレイト式２チャンネル２方弁を有するシーケンス回路を具備することを特徴とするスライド弁。
40. 　前記シーケンス回路が、クローズ時に、前記中立弁体の回転動作を終了するまで、閉塞圧力を安定した状態で維持可能とする回転動作終了検出スイッチを有することを特徴とする請求項３９に記載のスライド弁。
41. 　前記シーケンス回路が、ハウジングと、該ハウジング内部で付勢されたボールと、該ボールの移動位置を規制するボールガイドとを有し、前記ボールの位置によらず流路断面積が一定となるチェック弁を有することを特徴とする請求項３９又は請求項４０に記載のスライド弁。
42. 　スライド弁であって、
    　中空部と、前記中空部を挟み互いに対向するように設けられて連通する流路となる第１開口部及び第２開口部とを有する弁箱と、
    　前記弁箱の前記中空部内に配置され前記第１開口部を閉塞可能な中立弁体と、
    　前記中立弁体を、前記第１開口部に対して閉塞状態にする弁閉塞位置と前記第１開口部から退避した開放状態とする弁開放位置との間で回動させる回転軸と、
    　該回転軸を回転させラックピニオン及びこれを駆動する復動式エアシリンダからなる回転手段と、
    　前記中立弁体を閉塞解除動作させる単動式エアシリンダからなる閉塞解除駆動手段と、を有するとともに、前記復動式エアシリンダが前記ピニオンを駆動する第２ピストンと、弁開度を設定するように前記第２ピストンの停止位置を規制する第１ピストンとを有するスライド弁において、
    　前記中立弁体の閉塞解除動作と該中立弁体の回転動作とを順次動作可能とするとともに、オープン時には、閉塞解除エアシリンダの駆動圧が所定の閾値を超えた際に回転エアシリンダを動作開始させるとともに、クローズ時には、回転動作終了時に閉塞動作を開始させるエアオペレイト式２チャンネル２方弁を有し、かつ、前記中立弁体の停止位置を設定するエアオペレイト式２チャンネル２方弁を有するシーケンス回路を具備することを特徴とするスライド弁。
43. 　前記シーケンス回路が、クローズ時に、前記中立弁体の回転動作を終了するまで、閉塞圧力を安定した状態で維持可能とする回転動作終了検出スイッチを有することを特徴とする請求項４２に記載のスライド弁。
44. 　前記シーケンス回路が、ハウジングと、該ハウジング内部で付勢されたボールと、該ボールの移動位置を規制するボールガイドとを有し、前記ボールの位置によらず流路断面積が一定となるチェック弁を有することを特徴とする請求項４２又は請求項４３に記載のスライド弁。 

Images