JP5686671B2 - スライド弁 - Google Patents

Description

本発明は、弁体（弁板）による流路を開閉する動作に加えて、弁体をスライド動作させる振り子型に適したスライド弁に関する。特に、本発明は、真空装置等において、異なる圧力、及び異なるプロセスを行う２つの空間をつなげている流路を仕切り（閉鎖し）、この仕切り状態を開放する（２つの空間をつなぐ）とともに、その開度を調整可能なスライド弁に関する。

真空装置等においては、チャンバと配管との間、配管と配管との間、あるいは配管とポンプ等との間等、異なる真空度の２つの空間の間を仕切り、仕切られた２つの空間をつなげる仕切りバルブが設けられている。このような仕切りバルブとしては、様々な形態の弁が知られている。

例えば、弁板をスライドさせて流路の弁開閉位置に弁板を挿入し、更にこの弁板を作動させて流路を仕切り（閉弁動作）、あるいは上記弁板を作動させて流路をつなぎ（開弁動作）、更に弁板をスライドさせ、流路から弁箱内の退避位置に弁板を退避させる構造が知られている。このような構造を有する弁としては、振り子型，直動型，ドア型等が知られている。

直動型仕切弁は、流路を構成する第１開口部及び第２開口部が形成された弁箱の中空部に、弁棒（支持体）に固設された弁板が配置された構造を有する。この構造においては、上記弁棒をその長手方向に直動させて、上記弁板を開口部（流路）の弁開閉位置に挿入し、または、上記弁板を開口部が形成されていない退避位置に退避させる。

従来の上記直動型仕切弁としては、ベローズで接続された２枚の第１弁板及び第２弁板からなる弁体と、この２つの弁板の間において弁板の中央部に配置されたアクチュエータと、流路を構成する開口部が形成された弁箱とを備えた仕切弁が知られている。この仕切弁においては、アクチュエータによって、弁箱の開口部の周囲の内面に第１弁板を当接及び押圧させて流路を閉鎖し、または、アクチュエータによって第１弁板を上記弁箱の内面から離間させて流路を開放する（例えば特許文献１参照）。

また、振り子型仕切弁は、流路を構成する第１開口部及び第２開口部が形成されかつ中空部を有する弁箱と、中空部において回転軸に固設されて回転軸と垂直をなす面に平行な方向において広がっている支持体と、この支持体に固設された弁体（シールリング板が開口部に設けられている構造の場合には弁板）とが配置された構造を有する。この仕切弁においては、上記回転軸を回転させて、上記弁体を回動させ、上記弁体を開口部（流路）の弁開閉位置に挿入し、または、上記弁体を開口部が形成されていない退避位置に退避させる。

従来の上記振り子型仕切弁としては、ハウジングの中空部内に、回転軸において回動可能な弁板と、ハウジングの開口部に配置された摺動可能なシールリング板と、ハウジングに一体形成されたフランジに上記シールリング板を摺動させるアクチュエータとが設けられた構造が知られている。この仕切弁においては、上記シールリング板を上記弁板に当接及び押圧して流路を閉鎖し、または、上記シールリング板を上記弁板から離間させて流路を開放する（例えば特許文献２参照）。

こうした振り子型仕切弁において、弁板を回動させるための機構として、弁板が取り付けられた回転軸に固着されたピニオンギアと、このピニオンギアに噛合するラックギアが形成されたラック部材と、ラック部材を直線運動（往復運動）させるシリンダからなる弁板回転機構が知られている。

特開２００２−１８１２０５号公報 特許第３６５５７１５号公報

上述した従来の仕切弁においては、連通するチャンバ等を仕切るバルブであるという用途から、駆動部分、特に、弁板回動の駆動部分はできるだけ小型化することが望ましい。しかしながら、駆動部分を小型化する、つまり、シリンダを小型化するとその出力が低下して、弁板の移動速度、すなわち、弁の開閉速度が低下してしまうため一定以上の小型化ができないという問題があった。
さらに、上述した従来の仕切弁においては、筒状のシリンダ本体内を摺動するピストンが収縮する、シリンダを含む駆動部分の小型化を図る場合にはピストンを移動させる圧力空気供給が１系統とされてこの圧空の供給によって伸縮のうち片方の動作をおこなうとともに、逆の動作はバネ等の付勢手段によりおこなう、いわゆる単動シリンダとされる構造となっていた。
このため、バネ等の付勢力に打ち勝って圧空によりピストンを駆動する必要があるため、駆動速度が遅くなるという問題があった。
また、このような単動シリンダにおいて、弁の駆動用に供給される圧空が１系統であるにも関わらず、弁板の回動動作と、これと直交する方向である閉塞解除の動作との２つの動作をおこなわなくてはいけない。さらに、これらの動作のタイミングとして、閉塞解除が不充分な状態で回動した場合には弁の破損も起こり得るため、動作のタイミングにも正確性が必要である。また、停電や圧空供給停止などの制御系のトラブルに対応して弁破壊防止を可能する構成が求められていた。
さらにこのような構成をより簡単な構成で実現したいという要求があった。

本発明は、このような従来の課題を解決するためになされたものであり、小型化が可能であり簡単な構成で高い信頼性の仕切り動作が可能なスライド弁を提供することを目的とするものである。

上記課題を解決するために、本発明のいくつかの態様は、次のようなスライド弁を提供した。
すなわち、本発明のスライド弁は、スライド弁であって、
中空部と、前記中空部を挟み互いに対向するように設けられて連通する流路となる第１開口部及び第２開口部とを有する弁箱と、
前記弁箱の前記中空部内に配置され前記第１開口部を閉塞可能な中立弁体と、
前記中立弁体を、前記第１開口部に対して閉塞状態にする弁閉塞位置と前記第１開口部から退避した開放状態とする弁開放位置との間で回動させる回転軸と、
該回転軸を回転させラックピニオン及びこれを駆動する復動式エアシリンダからなる回転手段と、
前記中立弁体を閉塞解除動作させる単動式エアシリンダからなる閉塞解除駆動手段と、を有するスライド弁において、
前記中立弁体の閉塞解除動作と該中立弁体の回転動作とを順次動作可能とするとともに、オープン時には、閉塞解除エアシリンダの駆動圧が所定の閾値を超えた際に回転エアシリンダを動作開始させるとともに、クローズ時には、回転動作終了時に閉塞動作を開始させるエアオペレイト式２チャンネル２方弁を有するシーケンス回路を具備してなることを特徴とする。
本発明は、前記シーケンス回路が、クローズ時に、前記中立弁体の回転動作を終了するまで、閉塞圧力を安定した状態で維持可能とする回転動作終了検出スイッチを有することができる。
本発明の前記シーケンス回路が、ハウジングと、該ハウジング内部で付勢されたボールと、該ボールの移動位置を規制するボールガイドとを有し、前記ボールの位置によらず流路断面積が一定となるチェック弁を有することができる。

本発明は、スライド弁であって、
中空部と、前記中空部を挟み互いに対向するように設けられて連通する流路となる第１開口部及び第２開口部とを有する弁箱と、
前記弁箱の前記中空部内に配置され前記第１開口部を閉塞可能な中立弁体と、
前記中立弁体を、前記第１開口部に対して閉塞状態にする弁閉塞位置と前記第１開口部から退避した開放状態とする弁開放位置との間で回動させる回転軸と、
該回転軸を回転させる回転手段と、
前記弁箱内において前記回転軸に固着され、前記中立弁部を脱着可能に保持する接続部材と、を具備するものとされ、
前記中立弁体は、前記接続部材を介して前記回転軸に接続される中立弁部と、該中立弁部に対して流路方向位置変更可能に接続される可動弁部と、を有し、
前記回転手段は、前記回転軸の軸心周りに形成されたピニオンと、該ピニオンに噛合するラック歯を備えたラック部材と、該ラック部材を直線運動させるシリンダと、これらラック部材とピニオンとを密閉状態に収納するケーシングと、を有し、
前記ケーシングには、前記ピニオンと前記ラック歯との噛合部分の両側にそれぞれ、前記ラック部材を摺動可能に支持する滑り軸受が周設され、
前記シリンダが、筒状のシリンダ本体と、該シリンダ本体内で往復運動可能なピストンとからなり、該ピストンには、その往復運動方向に延在する前記ラック部材が固着され、
前記シリンダ本体の一端側と前記ピストンとの間で伸圧力空間を成すとともに、
前記シリンダ本体の他端側に密閉状態に接続された前記ケーシング側と前記ピストンとの間で縮圧力空間を成し、
前記シリンダ本体に設けられ前記伸圧力空間と外部との間を連通させる伸通気口と、前記ピニオン収納側のケーシングに設けられ前記縮圧力空間と外部との間を連通させる縮通気口とを有し、
前記ラック部材と前記滑り軸受との間で対向する部分には、前記ラック部材が往復運動しても前記滑り軸受より前記ピストン側の縮圧力空間内と前記縮通気口との通気状態を維持する連通溝が形成されていることができる。
本発明は、前記ピストンには、前記往復運動方向に沿って断面積が連続的に変化し、前記圧力空間内の空気を前記通気口に向けて徐々に通気させる緩衝溝が形成されていることができる。
本発明の前記ケーシングには、前記圧力空間内の空気を前記通気口に向けて通気させる際、この通気量を制御可能とする制御緩衝流路が形成されていることが好ましい。
前記ピニオンと前記ラック歯との噛合部分の両側にはそれぞれ、前記ラック部材を摺動可能に支持する滑り軸受が配され、
前記シリンダは、筒状のシリンダ本体と、該シリンダ本体内で往復運動可能なピストンとからなり、前記シリンダ本体の一端側と前記ピストンとの間で圧力空間を成し、
前記シリンダ本体には、前記圧力空間と外部との間を連通させる通気口を有し、前記ピストンには、前記往復運動方向に沿って断面積が連続的に変化し、前記圧力空間内の空気を前記通気口に向けて徐々に通気させる緩衝溝が形成されていることを特徴とする。

本発明のスライド弁においては、第１の通気口から駆動用空気を供給することと、第２の通気口からケーシング内部のピニオン収納部分、ラック部材収納部分および連通溝を介して駆動用空気を供給することで、移動するピストンに接続されたラック部材が伸縮し中立弁体が開閉する。

前記ラック部材は長手方向に垂直な断面が円形を成し、かつ、前記長手方向に沿った２箇所以上で、前記滑り軸受によって摺動自在に支持されることが好ましい。

前記滑り軸受は、前記ピニオンと前記ラック歯との噛合部分に生じる前記ラック部材の作用線と、前記ラック部材の軸中心線との交点よりも、前記噛合部分から遠ざかる方向に配されていることがある。

前記ラック部材の表面には、長手方向に沿って延びる溝が更に形成されていることもできる。

前記可動弁部には、該弁板に周設され前記第１開口部周囲の弁箱内面に密着されるシール部が設けられるとともに、
前記中立弁部に対して流路方向位置変更可能に接続される第１可動弁部と、
前記第１可動弁部を前記流路方向前記第１開口部に向けて付勢して前記シール部を前記第１開口部周囲の弁箱内面に密着可能とする第１付勢部と、
前記第１可動弁部に対して前記流路方向に摺動可能とされる第２可動弁部と、
前記第１付勢部の付勢力に対抗して前記第１可動弁部と前記第２可動弁部との前記流路方向厚み寸法を収縮可能なように駆動する第２付勢部と、
前記第１可動弁部と前記第２可動弁部との流路方向厚み寸法変化に対応して、前記第１可動弁部を前記中立弁体に対して流路方向位置変更可能に接続するとともに、前記第１可動弁部を前記流路方向中央位置側に付勢する第３付勢部と、を具備してなる手段を採用することができる。

本発明のスライド弁は、中空部と、前記中空部を挟み互いに対向するように設けられて連通する流路となる第１開口部及び第２開口部とを有する弁箱と、
前記弁箱の前記中空部内に配置され前記第１開口部を閉塞可能な中立弁体と、
前記中立弁体を、前記第１開口部に対して閉塞状態にする弁閉塞位置と前記第１開口部から退避した開放状態とする弁開放位置との間で動作する位置切り替え手段として前記流路方向に延在する軸線を有する回転軸と、
を具備するものとされ、
前記中立弁体が、前記切り替え手段に接続される中立弁部と、該中立弁部に対して流路方向位置変更可能に接続される可動弁部と、を有し、
前記可動弁部が、該可動弁部に周設され前記第１開口部周囲の弁箱内面に密着されるシール部が設けられるとともに前記中立弁部に対して流路方向位置変更可能に接続される第１可動弁部と、
前記第１可動弁部を前記流路方向前記第１開口部に向けて付勢して前記シール部を前記第１開口部周囲の弁箱内面に密着可能とする第１付勢部と、
前記第１可動弁部に対して前記流路方向に摺動可能とされる第２可動弁部と、
前記第１付勢部の付勢力に対抗して前記第１可動弁部と前記第２可動弁部との前記流路方向厚み寸法を収縮可能なように駆動する第２付勢部と、
前記第１可動弁部と前記第２可動弁部との流路方向厚み寸法変化に対応して、前記第１可動弁部を前記中立弁部に対して流路方向位置変更可能に接続するとともに、前記第１可動弁部を前記流路方向中央位置側に付勢する第３付勢部と、
前記回転軸の軸線方向に離間して該回転軸を保持する２以上の軸受と、
前記回転軸の軸線方向におけるこれら軸受間の位置で前記回転軸周面に摺動可能に接触する流体経路リングと、
を有し、
前記回転軸の一端面と前記流体経路リングの外周面とに設けられた開口どうしを連通する密閉した流体経路が設けられ、前記回転軸が回動位置に依らずに、かつ、前記弁箱中空部に露出することなく前記中立弁部内部に形成された流体経路と前記回転軸径方向外側位置となる前記弁箱外部とを連通することができる。

本発明の前記流体経路として、前記回転軸内部には軸内経路が設けられ、該軸内経路が、前記回転軸の軸線方向に延在して前記回転軸の一端側に開口する軸方向軸内経路と、該軸方向経路に接続されるとともに前記回転軸の周面に開口する径方向軸内経路とからなり、
前記流体経路として、前記流体経路リング内部には、該流体経路リングの径方向に延在しその外周面及び内周面に開口する径方向リング経路が設けられ、
前記流体経路リング内周面および回転軸周面の間に、周方向に設けられ前記径方向軸内経路と前記径方向リング経路とを連通する周方向経路が周設されることができる。

本発明において、前記経路は、前記第２周囲領域において前記第１可動弁部と前記第２可動弁部との間に前記第２付勢部として形成されたエアシリンダに駆動用気体を供給する供給路の一部とされる手段か、または、前記経路は、前記第２付勢部とされたエアシリンダの摺動部分に設けられた２重シール部において２重目のシールより気体供給側に設けられ、１重目のシールが破れた際に駆動用気体をスライド弁外部に向けて逃がす連絡路の一部とされる手段を選択することができる。

本発明の前記回転軸には、前記供給路と前記連絡路となる軸方向経路がそれぞれ平行に設けられてなるとともに、前記供給路と前記連絡路と対応する流体経路リングが前記回転軸の異なる軸方向位置に設けられてなることができる。
本発明における前記供給路と前記連絡路と対応する流体経路リングが、前記軸受の軸線方向中間位置に対して対称に配置されてなることができる。
本発明の前記軸受の軸線方向中間位置には、前記回転軸を駆動する駆動系ピニオンが接続されてなることが可能である。
さらに、本発明において、前記第２可動弁部には、前記第１付勢部の反力を前記第２開口部周囲の弁箱内面に伝達する反力伝達部が設けられることがより好ましい。
本発明の前記第２付勢部は、前記第２周囲領域において前記第１可動弁部と前記第２可動弁部との間に形成されたエアシリンダとされ、バネ等とされる第１付勢部とあわせて単動エアシリンダを形成することが可能である。
また、本発明において、前記第２付勢部とされたエアシリンダには、摺動部分に２重シール部が設けられ、１重目のシールが破れた際に、２重目のシールより気体供給側に、駆動用気体をスライド弁外部に向けて逃がす連絡路が設けられる手段を採用することもできる。

また、前記第２付勢部とされたエアシリンダに駆動用気体を供給する供給路が形成され、該供給路には、前記第１可動弁部と前記中立弁部との流路方向位置が変更した際にも、前記第１可動弁部と前記中立弁部との間で駆動用気体を供給可能に摺動接続する接続ピン部が設けられることができる。
本発明においては、前記接続ピン部には、摺動部分に２重シール部が設けられ、１重目のシールが破れた際に、２重目のシールより気体供給側に、駆動用気体をスライド弁外部に向けて逃がす連絡路が設けられることが望ましい。
さらに、前記切り替え手段が、前記流路方向に延在する軸線を有する回転軸を含むものとされてなることが可能である。
また、前記切り替え手段が、前記流路方向と交差する方向に延在し直線状に駆動される弁棒を含むものとされてなることがある。

本発明は、前記回転軸の一端面と前記流体経路リングの外周面とに設けられた開口どうしを連通する密閉した流体経路が設けられ、前記回転軸が回動位置に依らずに、かつ、前記弁箱中空部に露出することなく前記中立弁部内部に形成された流体経路と前記回転軸径方向外側位置となる前記弁箱外部とを連通することにより、軸受と軸受との間の距離を長く確保でき、これにより、回転軸が傾く方向に回転軸へ作用するモーメントを２以上の軸受で保持する場合に、この軸受が受けるラジアル荷重を最小にすることができ、それにより軸受の耐久性を向上させることができる。あるいは、必要な回転軸の傾斜方向における変形防止能を維持した状態で回転軸の軸線方向長さを確保することができ、バルブとしての小型化を図ることができる。
また、上記の構成とすることにより、部品の構成を変えずに部品の組立方向を変えることのみによって、回転機構部の弁箱に対する取付面を、反転させることが可能である。

本発明の前記流体経路として、前記回転軸内部には軸内経路が設けられ、該軸内経路が、前記回転軸の軸線方向に延在して前記回転軸の一端側に開口する軸方向軸内経路と、該軸方向経路に接続されるとともに前記回転軸の周面に開口する径方向軸内経路とからなり、
前記流体経路として、前記流体経路リング内部には、該流体経路リングの径方向に延在しその外周面及び内周面に開口する径方向リング経路が設けられ、
前記流体経路リング内周面および回転軸周面の間に、周方向に設けられ前記径方向軸内経路と前記径方向リング経路とを連通する周方向経路が周設されることによって、回転軸が回動しても、周設された周方向経路が前記径方向軸内経路と前記径方向リング経路とを連通した状態を維持することができる。また、周方向経路が周設されているため、経路内の流体からの作用力が軸受けにおける回転軸の支持状態に対して影響を及ぼすことを防止できる。

本発明において、前記経路は、前記第２周囲領域において前記第１可動弁部と前記第２可動弁部との間に前記第２付勢部として形成されたエアシリンダに駆動用気体を供給する供給路の一部とされる手段か、または、前記経路は、前記第２付勢部とされたエアシリンダの摺動部分に設けられた２重シール部において２重目のシールより気体供給側に設けられ、１重目のシールが破れた際に駆動用気体をスライド弁外部に向けて逃がす連絡路の一部とされる手段を選択することにより、弁箱内部の中空部に露出（暴露）することなく、駆動用流体を回転軸内部経由で中立弁体へ供給するとともに、中間大気室への連絡路を回転軸内部経由で弁箱外部に連通させることが可能となる。

本発明の前記回転軸には、前記供給路と前記連絡路となる軸方向経路がそれぞれ平行に設けられてなるとともに、前記供給路と前記連絡路と対応する流体経路リングが前記回転軸の異なる軸方向位置に設けられてなることにより、複数の経路を一本の回転軸内部を介して同時にそれぞれを別個に連通状態とすることができるので、駆動用流体の供給路とセーフティー用の中間大気用の連絡路とを一つの回転軸のみを介して配置することが可能となる。
本発明における前記供給路と前記連絡路と対応する流体経路リングが、前記軸受の軸線方向中間位置に対して対称に配置されてなることにより、軸受に対する加重を均等に近いものとして軸受の耐久性を向上し、バルブのメンテナンス費用を低減することが可能となる。
本発明の前記軸受の軸線方向中間位置には、前記回転軸を駆動する駆動系ピニオンが接続されてなることにより、軸受に対する加重を均等に近いものとして軸受の耐久性を向上し、バルブのメンテナンス費用を低減することができる。

また、本発明においては、前記エアシリンダおよび接続ピン部は、第２シール部，第３シール部，及びワイパーを有することができ、前記ワイパーは、前記第３シール部よりも前記第２開口部に近い位置に配置されていることが好ましい。

本発明の一実施形態のスライド弁においては、ラック歯の形成された部分が滑り軸受の両側位置まで移動するラック部材を有するシリンダであっても、ラックおよびピニオンを収納する部分のケーシングが密閉され、このケーシングのピニオン収納部分に対して駆動用空気を供給することで、ラックピニオンへの連通部分が密閉されていなくても、駆動用圧縮空気をシリンダに供給してピストンを往復動作させることが可能となり、中立弁体の駆動部分が従来できなかった程度に小型化することが可能となる。同時に、連通溝を設けることで、シリンダ内の縮圧力空間、ラック部材の収納部分、滑り軸受に対応する連通溝、ピニオンの収納部分、通気口の順に縮圧力空間を連通して、例えば、この経路の途中に通気口を設けた場合にピストンと反対側の密閉空間が、蓄圧部となって、中立弁体の動作が遅くなることを防止できる。
さらに、ピストンを伸位置から縮位置に移動させる際に、伸圧力空間の急激な縮小によるピストンの急停止、即ちラック部材とピニオンとの噛合部分に急激に大きな応力が加わらないように、ピストンに形成された緩衝溝によって、ピストンの縮位置への移動を滑らかに変化させる。
同様にピストンに形成された緩衝溝によって、ピストンを縮位置から伸位置に移動させる際に、縮圧力空間の急激な縮小によるピストンの急停止、即ちラック部材とピニオンとの噛合部分に急激に大きな応力が加わらないように、ピストンの伸位置への移動を滑らかに変化させる。

即ち、縮圧力空間の内圧を増加させてピストンをその縮位置に向けて移動させる際に、伸圧力空間の内圧が急に高まり（伸圧力空間が圧縮され）、ピストンの移動速度が急激に減少する方向に力が働く。しかしながら、伸圧力空間内の空気は緩衝溝を介して通気口に誘導され、この緩衝溝は、ピストンの一面側からシリンダ本体の一端側に向かって断面積が広がるように形成されているので、ピストンが縮位置に近づくほど、緩衝溝の断面積、即ち開口面積が減少する。これによって、ピストンが縮位置に至る直前では、伸圧力空間から通気口に至る空気の流量が徐々に絞られる（減少する）ため、圧力空間の内圧減少が徐々に低下する。これによって、ピストンを緩やかに縮位置で停止させることができる。よって、伸圧力空間の急激な縮小によるピストンの急停止を防止し、ラック部材とピニオンとの噛合部分に急激に大きな応力を加えずに滑らかに停止させることが可能になる。
さらに、伸圧力空間の内圧を増加させてピストンをその伸位置に向けて移動させる際に、縮圧力空間の内圧が急に高まり（縮圧力空間が圧縮され）、ピストンの移動速度が急激に減少する方向に力が働く。しかしながら、縮圧力空間内の空気は緩衝溝および制御緩衝流路を介して通気口側に誘導される。この際、緩衝溝は、シリンダ本体の一端側からピストンの一面側に向かって断面積が広がる、つまり、ピストンの他面側から滑り軸受側に向かって断面積が広がるように形成されているので、ピストンが伸位置に近づくほど、緩衝溝の断面積、即ち開口面積が減少する。これによって、ピストンが伸位置に至る直前では、縮圧力空間から通気口側の密閉空間に至る空気の流量が徐々に絞られる（減少する）ため、縮圧力空間の内圧減少が徐々に低下する。これによって、ピストンを緩やかに縮位置で停止させることができる。よって、縮圧力空間の急激な縮小によるピストンの急停止を防止し、ラック部材とピニオンとの噛合部分に急激に大きな応力を加えずに滑らかに停止させることが可能になる。
さらに、縮圧力空間から通気口側の密閉空間に至る空気の流量を制御緩衝流路によって、制御することで、ピストンの移動速度、すなわち、ラック部材の伸張速度、つまり、中立弁体の開閉動作の停止する直前の速さを制御することが可能となる。

本発明の第１実施形態におけるスライド弁の構成を示す横断面図である。 本発明の第１実施形態におけるスライド弁の構成を示す縦断面図であり、弁体が退避動作可能位置とされている場合を示す図である。 図２における円環状エアシリンダ付近の要部拡大図である。 本発明の第１実施形態におけるスライド弁の構成を示す縦断面図であり、弁体が弁閉位置とされている場合を示す図である。 図４におけるメインバネ付近の要部拡大図である。 本発明の第１実施形態におけるスライド弁の構成を示す縦断面図であり、弁体が退避位置とされている場合を示す図である。 本発明の第１実施形態のスライド弁における回転軸および流体経路リング付近の要部を拡大して示す径方向断面図（ａ）、軸方向断面図（ｂ）である。 本発明の第１実施形態における回転軸駆動機構を示す断面図（伸位置）である。 本発明の第１実施形態における回転軸駆動機構を示す断面図（縮位置）である。 緩衝溝の作用を示す断面図である。 ラック部材、および滑り軸受を示す要部拡大断面図である。 ラック部材とピニオンとの噛合部分を示す要部拡大断面図である。 回転軸と中立弁体との係合部分を示す要部拡大図である。 本発明の第１実施形態における駆動シーケンス機構を示す回路図である。 本発明の第１実施形態における駆動シーケンス機構における圧力状態を示すタイムチャートである。 図１５の丸数字１で示すタイミングにおける駆動シーケンス機構での圧力状態を示す図である。 図１５の丸数字２で示すタイミングにおける駆動シーケンス機構での圧力状態を示す図である。 図１５の丸数字３で示すタイミングにおける駆動シーケンス機構での圧力状態を示す図である。 図１５の丸数字４で示すタイミングにおける駆動シーケンス機構での圧力状態を示す図である。 図１５の丸数字５で示すタイミングにおける駆動シーケンス機構での圧力状態を示す図である。 本発明の第１実施形態における２チャンネル２方弁を示す断面図である。 本発明の第１実施形態におけるチェック弁を示す断面図である。 本発明の第１実施形態におけるチェック弁を示す分解断面図（ａ）、ケースの側面図（ｂ）である。 本発明の第１実施形態におけるチェック弁の部品を示す破断斜視図である。 本発明の第１実施形態のスライド弁における回転軸および流体経路リングの要部を透視した模式斜視図（ａ）、径方向の模式断面図（ｂ）である。 本発明の他の実施形態のスライド弁における流体経路リングの内周面および回転軸の摺動面付近を示す模式図である。 本発明の第１実施形態における接続ピン付近の要部拡大図である。 本発明の第１実施形態におけるガイドピン付近を示す要部拡大図である。 本発明の他の実施形態におけるスライド弁の構成を示す縦断面図であり、シリンダ付近の要部拡大図である。 本発明の他の実施形態における接続ピン付近の要部拡大図である。 本発明の他の実施形態のスライド弁における回転軸および流体経路リングを示す要部を透視した斜視図である。 本発明の他の実施形態のスライド弁における回転軸および流体経路リングを示す径方向断面図である。 本発明の他の実施形態のスライド弁における流体経路リングの内周面付近を示す軸方向断面図である。 本発明の他の実施形態のスライド弁における回転軸および流体経路リングを示す軸方向断面図である。 本発明の実施形態のスライド弁に適用可能な開口部及び可動弁部の形状を示す図である。 本発明の第１実施形態における締結部材付近の要部拡大図である。 図３６における締結部材とメインバネの配置の例を示す配置図である。 締結部材における係止部材の例を示す拡大図である。

以下、本発明に係るスライド弁の第１実施形態を、図面に基づいて説明する。
また、以下の説明に用いられる各図においては、各構成要素を図面上で認識し得る程度の大きさとするため、各構成要素の寸法及び比率を実際のものとは適宜に異ならせてある。
本発明の技術範囲は、以下に述べる実施形態に限定されることなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。

（第１実施形態）
図１は、本実施形態におけるスライド弁の構成を示す平面図である。図２は、本発明の第１実施形態におけるスライド弁の構成を示す縦断面図で、弁体が退避動作可能位置とされている場合を示す図である。図３は、図２の中立弁部と第１可動弁部の接続部分および第１と第２との付勢部付近を示す要部拡大図である。図４は、本発明の第１実施形態におけるスライド弁の構成を示す縦断面図で、弁体が密閉閉塞位置とされている場合を示す図である。図５は、図４の中立弁部と第１可動弁部の接続部分および第１と第２との付勢部付近を示す要部拡大図である。図６は、本発明の第１実施形態におけるスライド弁の構成を示す縦断面図で、弁体が退避位置とされている場合を示す図である。

［振り子型スライド弁］
第１実施形態のスライド弁１は、図１〜図６に示すように、振り子型スライド弁である。
このスライド弁１は、互いに対向した第１開口部１２ａと第２開口部１２ｂとが設けられた弁箱１０と、弁箱１０を貫通した切り替え手段としての回転軸２０と、回転軸２０に固着された接続部材９１と、この接続部材９１を介して回転軸２０に接続された中立弁部３０と、回転軸２０の軸線方向に移動可能として中立弁部３０に接続された可動弁部４０と、可動弁部４０の厚さ方向寸法を拡大する方向に付勢されるメインバネ（第１付勢部）７０と、メインバネ７０の付勢方向と反対方向に伸張可能な駆動用の円環状エアシリンダ（第２付勢部）８０と、可動弁部４０を弁箱１０の中央位置側にしようとする位置規制用の補助バネ（第３付勢部）９０と、を備えている。

中立弁部３０及び可動弁部４０は、中立弁体５を構成している。また、可動弁部４０は、第２可動弁部（可動弁板部）５０と第１可動弁部（可動弁枠部）６０とによって構成されている。第１開口部１２ａから第２開口部１２ｂに向かって流路Ｈが設定されている。なお、以下の説明において、この流路Ｈに沿った方向を流路方向Ｈと称することがある。

回転軸２０が符号Ａ１で示された方向（流路Ｈの方向に交差する方向）に回転すると、この回転に従って、接続部材９１を介して回転軸２０に固定されている中立弁部３０も方向Ａ１に沿って回動する。また、可動弁部４０は中立弁部３０に厚さ方向のみ摺動可能として接続されているため、可動弁部４０は、中立弁部３０と一体に回転する。
このように中立弁部３０を回転することにより、流路Ｈが設けられていない中空部１１とされる退避位置Ｅ１から第１開口部１２ａに対応する位置とされる流路Ｈの弁閉位置Ｅ２に可動弁部４０が振り子運動で移動する。

そして、メインバネ７０が伸張する方向に作用することで流路Ｈ方向に可動弁部４０の厚さ寸法が拡大する動作により（閉弁動作）、後述するように、可動弁枠部６０のシール部６１と、可動弁板部５０の反力伝達部５９とが、それぞれ、弁箱１０の内面１５ａと内面１５ｂとを押圧することにより、可動弁部４０は流路Ｈを閉鎖する。

逆に、円環状エアシリンダ８０が作用することで、メインバネ７０の付勢力に円環状エアシリンダ８０の押圧力が打ち勝って流路Ｈ方向に可動弁部４０の厚さ寸法が収縮する動作により可動弁部４０が表裏とも弁箱１０の内面１５ａおよび内面１５ｂから離間した後に（解除動作）、回転軸２０が符号Ａ２で示された向きに回転する（退避動作）と、この回転に従って中立弁部３０および可動弁部４０も向きＡ２に回動する。
この解除動作と退避動作とにより、可動弁部４０は上記弁開閉位置から上記退避位置に退避して弁開状態とする弁開動作がおこなわれる。

［弁箱１０］
弁箱１０は、中空部１１を有するフレームによって構成されている。フレームの図示上面には第１開口部１２ａが設けられており、フレームの図示下面には第２開口部１２ｂが設けられている。
スライド弁１は、第１開口部１２ａが露出されている空間（第１空間）と第２開口部１２ｂが露出されている空間（第２空間）の間に挿入される。スライド弁１は、第１開口部１２ａと第２開口部１２ｂとをつなげている流路Ｈ、即ち、第１空間と第２空間とをつなげている流路Ｈを仕切り（閉鎖し）、この仕切り状態を開放する（第１空間と第２空間をつなぐ）。
弁箱１０の中空部１１には、回転軸２０、中立弁部３０、可動弁部４０、メインバネ（第１付勢部）７０、円環状エアシリンダ（第２付勢部）８０、及び補助バネ（第３付勢部）９０が設けられている。

［回転軸２０、流体経路リング１７，１８］
回転軸２０は、流路Ｈとほぼ平行状態に延在して弁箱１０を貫通するとともに回転可能に設けられている。
この回転軸２０には、接続部材９１が固着されている。この接続部材９１は、例えば略平板状の部材であり、図７に示すように、回転軸２０の一端２０ａに対してネジ９２によって固着される。図７（ｂ）に示すように、接続部材９１は、流路方向Ｈに沿った一端側が広がった略Ｔ字状の断面形状を成す突起部９３が形成されている。

回転軸２０は、図７に示すように、弁箱１０に固設されるケーシング１４に、ベアリング等とされる軸受１６Ａ，１６Ｂを介して、この弁箱１０を貫通して回動可能に支持されている。軸受１６Ａ，１６Ｂは、回転軸２０の軸線ＬＬ方向に可能な限り離間して配置される。

ケーシング１４は、弁箱１０に対して密閉状態として貫通するように固定されるとともに、回転軸２０が密閉状態で回動自在に貫通するシールケーシング１４Ａと、このシールケーシング１４Ａに接続され、その内周側に設けられた軸受１６Ａ，１６Ｂを介して回転軸２０を回動自在に支持する円筒ケーシング１４Ｂと、円筒ケーシング１４Ｂの一端を閉塞する蓋体ケーシング１４Ｃとからなり、これらは互いに固定接続されている。蓋体ケーシング１４Ｃには回転軸２０を挿抜可能な開孔を閉塞する蓋体１４Ｄが設けられる。

シールケーシング１４Ａには、弁箱１０内部をシールするために、シール部１４Ａａ、１４Ａｂ，１４Ａｃおよび、大気圧の空間（空隙）である中間大気室１４Ａｄが設けられている。
円筒ケーシング１４Ｂの内周面側には、軸線ＬＬ方向における軸受１６Ａ，１６Ｂの間の位置に、流体経路リング１７，１８が、回転軸２０の外周面２０ｂに摺動可能に接触するように固定されている。

回転軸２０の外周面２０ｂの流体経路リング１７，１８の間の中心位置には、この回転軸２０を駆動させる（回転させる）ための回転軸駆動機構１００（図８参照）を構成するピニオン２１が固着される。ピニオン２１は外部から密閉可能なケーシング１４Ｂの内部空間２２ｈに収納され、このピニオン２１には、図７において紙面奥行方向に往復動作することで、ピニオン２１を介して回転軸２０を回動させる丸棒状のラック部材２２が接続される。

［回転軸駆動機構１００］
図８は、回転軸駆動機構１００を示す概要図である。
回転軸２０を回転させるための回転軸駆動機構１００は、回転軸２０に固着されたピニオン２１と、このピニオン２１と噛合するラック歯２２ａを備えたラック部材２２とを有している。
また、回転軸駆動機構１００は、ラック部材２２を往復運動させるための回転駆動エアシリンダ１１０を備えている。回転駆動エアシリンダ１１０によって、ラック部材２２は軸線（長手方向）Ｃに沿って直線的に往復運動可能とされる。

ラック部材２２は、図８に示すように、回転軸２０の軸線と直交方向の軸線を有し往復動作するピストン１１２に接続されている。ピストン１１２は筒状のシリンダ本体（ケーシング）１１１に格納されて回転駆動エアシリンダ（駆動手段）１１０を構成している。この回転駆動エアシリンダ１１０に接続されたラック部材２２は、ピストン１１２のラック部材２２に対して反対側の伸圧力空間１１３に圧縮空気（駆動用気体）を供給することで伸張し、ピストン１１２のラック部材２２側の縮圧力空間２２ｃに圧縮空気（駆動用気体）を供給することで収縮する。

ラック部材２２は、ケーシング１４Ｂと一体とされたケーシング１４Ｂｂ内部に、ラック部材２２の径寸法よりも大きな径寸法とされて回転軸２０と直行する方向に延在するように設けられたラック収納空間（空間）２２ｄ、２２ｇ、２２ｍ内部に軸方向に移動可能として収納される。この空間２２ｄ、２２ｇ、２２ｍの内部では、ラック部材２２は、その軸線方向においてピニオン２１と噛み合う両側位置とされる２箇所の外周を覆うように設けられた滑り軸受（軸受）１１５Ｂ，１１５Ｃによって往復移動可能に支承されている。軸受１１５Ｂ，１１５Ｃは、いずれも、ケーシング１４Ｂｂと一体とされて、空間２２ｇよりも小さな径寸法となるように縮径された外周面として形成されており、この軸受２２Ｂ，２２Ｃは、ラック部材２２の外周面に密着している。

ラック部材２２の外周面の周方向の片側にはピニオン２１と噛合うラック歯２１ａが軸方向に隣接して多数設けられ、このラック歯２２ａとは異なる周方向位置に、ラック部材２２の軸線方向に対して軸受１１５Ｂ両側位置の空間２２ｄおよび空間２２ｇに連通する連通溝１１６が設けられる。この連通溝１１６は、図１１に示すように、軸線方向に対して軸受１１５Ｃ両側位置の空間２２ｇおよび空間２２ｍに連通するとともに、ラック部材２２が往復動作した場合でも、軸受２２Ｂ両側位置の空間２２ｄと空間２２ｇにおける連通状態および軸受２２Ｃ両側位置の空間２２ｇと空間２２ｍにおける連通状態を維持する長さとなるよう設定されている。

伸圧力空間１１３ａは、伸通気口（供給路）１１４を介して回転駆動エアシリンダ１１０外部から伸張用の圧縮空気を供給する供給源に接続されている。
縮圧力空間２２ｃには回転駆動エアシリンダ１１０外部から収縮用の圧縮空気を供給源から供給する供給源が接続されているが、その経路は、縮圧力空間２２ｃ、ラック２２の収納された空間２２ｄ、縮径した軸受１１５Ｂに対応する位置の連通溝１１６およびラック歯２２ａに対応する部分空間、軸受１１５Ｂと軸受け１１５Ｃとの間で拡径した空間２２ｇ、ピニオン２１の収納されるケーシング１４Ｂの内部空間２２ｈ、この内部空間２２ｈとケーシング１４Ｂ外部とに接続された供給路（縮通気口）２２ｊ、とされている。

軸受１６Ａ，１６Ｂによってケーシング１４に対して支持された回転軸２０は、回転駆動エアシリンダ（回転駆動手段）によって往復運動するラック部材２２により駆動され、このラック部材２２に噛み合うピニオン２１とともに回転動作する。

また、回転駆動エアシリンダ（駆動手段）１１０の収縮動作時、および、ラック部材２２の収縮位置Ｐｂを維持する間は、これら縮圧力空間２２ｃ、収納空間２２ｄ、ラック部材２２の収納された空間２２ｇ、縮径した軸受１１５Ｂに対応する位置の連通溝１１６およびラック歯２２ａの噛み合わせ位置に対応する空間２２ｇ、軸受１１５Ｂと軸受け１１５Ｃとの位置にかかわらず拡径している空間２２ｄ、２２ｇ、２２ｍ、ピニオン２１の収納されるケーシング１４Ｂの内部空間２２ｈ、この内部空間２２ｈとケーシング１４Ｂ外部とに接続された供給路２２ｊ、のいずれにおいても加圧状態が維持されることになる。

回転駆動エアシリンダ(シリンダ）１１０は、回転軸２０を収納するケーシング１４Ｂと一体とされ、一端側１１１ａが閉塞された円筒状のシリンダ本体１１１と、このシリンダ本体１１１の内部空間１１１ｂに摺動可能に収容されたピストン１１２とを備えている。そして、この内部空間１１１ｂには、シリンダ本体１１１の一端側１１１ａとピストン１１２の一面側１１２ａとで区画されて、ピストン１１２の移動によって容量が可変する伸圧力空間１１３が形成される。また、シリンダ本体１１１には、この伸圧力空間１１３に連通し、外部から伸圧力空間１１３に駆動用に圧縮空気を供給する伸通気口（通気口）１１４が形成されている。こうした通気口１１４は、スライド弁１外部に設けられた駆動用圧力空気供給源として例えばポンプが接続されていればよい。

ピストン１１２は、シリンダ本体１１１の内部空間１１１ｂにおいて、軸線（長手方向）Ｃに沿って直線的に往復運動可能に収容されている。こうしたピストン１１２は、伸圧力空間１１３が最大に拡張され、シリンダ本体１１１の内部空間１１１ｂにおいて最も一端側１１１ａから遠ざかった位置にピストン１１２がある伸位置Ｐａ（図８）と、ピストン１１２のラック部材２２側の縮圧力空間２２ｃが最大に拡張されて収縮し、伸圧力空間１１３が最小に縮小され、最も一端側１１１ａに接近した位置にピストン１１２がある縮位置Ｐｂ（図９）との間で摺動可能にされている。

また、ピストン１１２の一面側１１２ａには、突起部１１２ｃが形成されている。シリンダ本体１１１の一端側１１１ａには、ピストン１１２が縮位置Ｐｂにある時に突起部１１２ｃが入り込む凹部１１１ｃが形成されている。突起部１１２ｃの外径と凹部１１１ｃの内径とは略等しく、これらが摺動する際には凹部１１１ｃ内部と伸圧力空間１１３とが気密状態に近くなるように設定されている。通気口１１４の一端側は、この凹部１１１ｃで露呈する位置に形成されている。また、ピストン１１２の他面側１１２ｂには、突起部１１２ｃと同様に形成された突起部（接続部）１１２ｄを介してラック部材２２が固着される。接続部１１２ｄの外径とラック収納空間２２ｄの内径とは略等しく、これらが摺動している際には、ラック収納空間２２ｄ内部と縮圧力空間２２ｃとが気密状態に近くなるように設定されている。

ピストン１１２の突起部１１２ｃには、ピストン１１２の往復運動方向、即ち軸線（長手方向）Ｃに沿って断面積が連続的に変化し、伸圧力空間１１３内の空気を通気口１１４に向けて徐々に通気させる緩衝溝（縮緩衝溝）１１８が形成されている。
具体的には、図１０に示すように、緩衝溝１１８は、ピストン１１２の突起部１１２ｃに形成された、ピストン１１２の一面側１１２ａからシリンダ本体１１１の一端側１１１ａに向かって断面積が広がるように、軸線（長手方向）Ｃに対して傾斜した溝からなる。

ピストン１１２の突起部１１２ｄには、ピストン１１２の往復運動方向、即ち軸線（長手方向）Ｃに沿って断面積が連続的に変化し、縮圧力空間２２ｃ内の空気を空間２２ｇに向けて徐々に通気させる緩衝溝（伸緩衝溝）１１９が形成されている。
緩衝溝（伸緩衝溝）１１９は、図１０に示した緩衝溝１１８と同様に、ピストン１１２の突起部１１２ｄに形成され、ピストン１１２の一面側１１２ｂからラック部材２２側の空間２２ｄに向かって断面積が広がるように、軸線（長手方向）Ｃに対して傾斜した溝からなる。

ラック部材２２は、図８、９，１１に示すように、軸線（長手方向）Ｃに垂直な断面が円形を成す丸棒状に形成されている。そして、この丸棒状のラック部材２２の周面の一部には、ラック歯２２ａが軸線（長手方向）Ｃに沿って所定のピッチで配列形成されている。

回転軸２０に固着されたピニオン２１とラック歯２２ａとの噛合部分Ｓの両側にはそれぞれ、ラック部材２２を摺動可能に支持する滑り軸受１１５Ｂ，１１５Ｃが配されている。この滑り軸受１１５Ｂ，１１５Ｃは、図１１に示すように、ラック部材２２の断面よりも僅かに大きい断面円形の内周面１１５ａが形成され、その内周面１１５ａに外周が接触する丸棒状のラック部材２２を軸線（長手方向）Ｃに沿って円滑に摺動可能に支持する。

また、図８、図１１に示すように、ラック部材２２の表面（周面）には、上述したように連通溝（溝）１１６が、軸線Ｃ方向において、滑り軸受１１５Ｂと滑り軸受１１５Ｃとの両外位置側まで延在するように形成されている。また、ラック部材２２を収納するケーシング１４Ｂには、この連通溝１１６に入り込むボス（図示略）が形成されて、連通溝１１６とボスとの係合によって、ラック部材２２が軸線Ｃ周りに回動することを防止することもできる。これによって、ラック部材２２が往復運動する際に軸線Ｃ周りに捩れることがない。

図１２は、滑り軸受１１５Ｂ，１１５Ｃの配置位置を示す説明図である。
滑り軸受１１５Ｂ，１１５Ｃは、ピニオン２１とラック歯２２ａとの噛合部分Ｓに生じるラック部材２２の作用線（の延長線）Ｌ１，Ｌ２と、ラック部材２２の軸心（軸中心線）Ｃとの交点Ｐ１，Ｐ２よりも、噛合部分Ｓから遠ざかる方向に配されるのが好ましい。

即ち、２つの噛合歯であるピニオン２１とラック歯２２ａとの接触点の移動方向である作用線Ｌ１，Ｌ２が、それぞれラック部材２２の軸心（軸中心線）Ｃと交差する点を交点Ｐ１，Ｐ２としたときに、滑り軸受１１５Ｂ，１１５Ｃの中心線Ｑがこの交点Ｐ１，Ｐ２よりも外側になるように、滑り軸受１１５Ｂ，１１５Ｃをそれぞれ配置する。

滑り軸受１１５Ｂ，１１５Ｃの配置位置を上述したように設定することによって、滑り軸受１１５Ｂ，１１５Ｃは、ピニオン２１の回転によって生じる外力、即ちピニオン２１から遠ざかる方向に向かう力を受けることがなくなる。これによって、滑り軸受１１５Ｂ，１１５Ｃは、ラック部材２２との接触部分において、軸心（軸中心線）Ｃに直角な方向の応力が加わることを防止して、ラック部材２２との摩擦力を低減して円滑に摺動可能にラック部材２２を保持することが可能になる。

シリンダ本体１１１の一端側１１１ａには、縮位置Ｐｂにピストン１１２がある場合に動作する接触式のリミッタスイッチ（回転動作終了検出スイッチ）ｃｄＳが設けられる。このスイッチｃｄＳは、後述するように、図１４に示すシーケンス回路ＳＱにおける動作を、ピストン１１２の位置に依存させるものである。具体的には、後述する図２１の２チャンネル２方弁ｔｔＶにおけるエアオペレート側ｔｔＶ０の加圧に対応するように、縮位置Ｐｂにピストン１１２がある場合にスイッチを押圧することでバネ等の付勢力に打ち勝って回路を連通させる。また、この縮位置Ｐｂからピストン１１２が移動した場合には、ピストン１１２の動作に追従してバネ等の付勢力によって回路を切断するものである。なお、図９においては、後述の緩衝溝１１８等によるエアクッション動作を説明するために、縮位置Ｐｂに到達する直前の状態を示している。このため、スイッチｃｄＳは動作状態として示されていない。

以上のような構成の回転軸駆動機構１００によれば、例えば、図９に示す縮位置Ｐｂにピストン１１２がある場合には、このピストン１１２に固着されたラック部材２２からピニオン２１を介して連動（回転）される回転軸２０が、その回動範囲において、図９中の反時計回り方向いっぱいに回転した状態とされ、この回転軸２０の位置においては、回転軸２０に固定された中立弁部３０を介して可動弁部４０が流路Ｈの弁閉位置Ｅ２（図１）に置かれる。

一方、この縮位置Ｐｂから、図８に示す伸位置Ｐａにピストン１１２を移動させる際には、シリンダ本体１１１の内面とピストン１１２の一面側１１２ａとで区画された伸圧力空間１１３内に、通気口１１４から駆動用圧縮空気を送り込む。すると伸圧力空間１１３の内圧が高まることによって、ピストン１１２は軸線（長手方向）Ｃに沿って、シリンダ本体１１１の一端側１１１ａから遠ざかる方向に移動（摺動）し、圧力空間１１３が広がる。この際、縮圧力空間２２ｃ内部の余分な空気は、縮圧力空間２２ｃから、ラック２２収納用の空間２２ｄ、軸受１１５Ｂに対応する位置の連通溝１１６およびラック歯２２ａに対応する部分空間、ケーシング１４Ｂｂの内部空間２２ｇ、ケーシング１４Ｂの内部空間２２ｈ、通気口２２ｊを介して、外部へ排出される。

ピストン１１２がシリンダ本体１１１の一端側１１１ａから遠ざかる方向に伸位置Ｐａまで移動すると、ピストン１１２に固着されたラック部材２２は、ラック歯２２ａと噛合するピニオン２１を図８中の時計回り方向に回転させる。これによって、回転軸２０も時計回り方向に回転され、この回転軸２０に固定された中立弁部３０を介して可動弁部４０が流路Ｈの退避位置Ｅ１（図１）に振り子運動で移動する。

さらに、図８に示す伸位置Ｐａにピストン１１２があり、可動弁部４０が流路Ｈの退避位置Ｅ１（図１）とされた場合に、この伸位置Ｐａ(図８)から、縮位置Ｐｂ（図９）にピストン１１２を移動させる際には、ケーシング１４Ｂｂの端面１４Ｂａ側とシリンダ本体１１１の内面１１１ｂとピストン１１２の他面側１１２ｂとで区画された縮圧力空間２２ｃ内に、通気口２２ｊから駆動用圧縮空気を送り込む。すると縮圧力空間２２ｃの内圧が高まることによって、ピストン１１２は軸線（長手方向）Ｃに沿って、シリンダ本体１１１の一端側１１１ａに近づく方向に移動（摺動）し、圧力空間１１３が縮まる。

この際、伸圧力空間１１３内部の余分な空気は、伸圧力空間１１３から、通気口１１４を介して、外部へ排出される。
縮圧力空間２２ｃには、通気口２２ｊからピニオン２１の収納された内部空間２２ｈ、ラック２２の収納された内部空間２２ｇ、軸受１１５Ｂに対応する位置の連通溝１１６およびラック歯２２ａの噛み合わせ位置に対応する空間２２ｇ、収納空間２２ｄを介して、圧縮空気が供給される。この際、軸受け１１５Ｃに対応した連通溝１１６内部、空間２２ｄも加圧状態となっている。

ピストン１１２がシリンダ本体１１１の一端側１１１ａに近づく方向に縮位置Ｐｂまで移動すると、ピストン１１２に固着されたラック部材２２は、ラック歯２２ａと噛合するピニオン２１を図９中の反時計回り方向に回転させる。これによって、回転軸２０も反時計回り方向に回転され、この回転軸２０に固定された中立弁部３０を介して可動弁部４０が流路Ｈの弁閉位置Ｅ２（図１）に振り子運動で移動する。

このように、回転軸駆動機構１００を構成するシリンダ本体１１１内の伸圧力空間１１３および縮圧力空間２２ｃの内圧を可変させ、ピストン１１２を伸位置Ｐａ（図８）と縮位置Ｐｂ（図９）との間で直線運動させることによって、ラック部材２２、ピニオン２１を介して回転軸２０を回動させ、可動弁部４０を流路Ｈに対して退避位置Ｅ１と弁閉位置Ｅ２（図１）との間で移動させることができる。

以上のようなピストン１１２の伸位置Ｐａと縮位置Ｐｂとの間の移動においては、緩衝溝１１８によって、ピストン１１２の縮位置Ｐｂへの移動を滑らかに変化させる。同様に、緩衝溝１１９によって、ピストン１１２の伸位置Ｐａへの移動を滑らかに変化させる。

先ず緩衝溝１１８について説明する。
ピストン１１２を伸位置Ｐａから縮位置Ｐｂに移動させる際には、伸圧力空間１１３の急激な縮小によるピストン１１２の急停止、即ちラック部材２２とピニオン２１との噛合部分Ｓに急激に大きな応力が加わらないように、ピストン１１２の突起部１１２ｃ形成された緩衝溝１１８によって、ピストン１１２の縮位置Ｐｂへの移動を滑らかに変化させる。

例えば、図１０（ａ）に示すように、縮圧力空間２２ｃに駆動用圧縮空気を供給しその内圧を増大させてピストン１１２を縮位置Ｐｂに向けて移動させる際に、突起部１１２ｃがシリンダ本体１１１の凹部１１１ｃに入り込む位置まで移動してくると、突起部１１２ｃ周囲の伸圧力空間１１３から凹部１１１ｃに流入して通気口１１４から排出されていた空気の流れが遮断され、突起部１１２ｃの周縁に広がる伸圧力空間１１３ａの内圧が急に高まり（伸圧力空間１１３ａが圧縮され）、ピストン１１２の移動速度が急激に減少する方向に力が働く。

しかしながら、突起部１１２ｃに形成された緩衝溝１１８によって、伸圧力空間１１３ａ内の空気はこの緩衝溝１１８を介して通気口１１４に誘導される。即ち、伸圧力空間１１３ａは緩衝溝１１８を介して通気口１１４に連通される。

しかも、この緩衝溝１１８は、ピストン１１２の一面側１１２ａからシリンダ本体１１１の一端側１１１ａに向かって断面積が広がるように形成されているので、図１０（ｂ）に示すように、ピストン１１２が縮位置Ｐｂ（図９）に近づくほど、緩衝溝１１８の断面積、即ち開口面積が減少する。これによって、ピストン１１２が縮位置Ｐｂに至る直前では、伸圧力空間１１３ａから通気口１１４に至る空気の流量が徐々に絞られる（減少する）ため、伸圧力空間１１３ａの内圧減少が徐々に低下する。これによって、ピストン１１２を緩やかに縮位置Ｐｂで停止させることができる。よって、伸圧力空間１１３の急激な縮小によるピストン１１２の急停止を防止し、ラック部材２２とピニオン２１との噛合部分Ｓ（図１２）に急激に大きな応力を加えずに滑らかに停止させることが可能になる。

同様に、緩衝溝１１９によって、ピストン１１２の伸位置Ｐａへの移動を滑らかに変化させる。
伸圧力空間１１３に駆動用圧縮空気を供給しその内圧を増大させてピストン１１２の伸位置Ｐａに向けて移動させる際に、突起部１１２ｄがケーシング１４Ｂｂの空間２２ｄに入り込む位置まで移動してくると、突起部１１２ｄ周囲の縮圧力空間２２ｃから空間２２ｄに流入して空間２２ｈ側に移動して通気口２２ｊから排出されていた空気の流れが遮断され、突起部１１２ｄの周縁に広がる縮圧力空間２２ｃの内圧が急に高まり（縮圧力空間２２ｃが圧縮され）、ピストン１１２の移動速度が急激に減少する方向に力が働く。

しかしながら、突起部１１２ｄに形成された緩衝溝１１９によって、縮圧力空間２２ｃ内の空気はこの緩衝溝１１９を介して通気口２２ｊに連通する空間２２ｄに誘導される。即ち、縮伸圧力空間２２ｃは緩衝溝１１９を介して空間２２ｄに連通される。

しかも、この緩衝溝１１９は、ピストン１１２の一面側１１２ｂからケーシング１４Ｂｂの他端側１４Ｂａに向かって断面積が広がるように形成されているので、ピストン１１２が伸位置Ｐａ（図８）に近づくほど、緩衝溝１１９の断面積、即ち開口面積が減少する。これによって、ピストン１１２が伸位置Ｐａに至る直前では、縮圧力空間２２ｃから空間２２ｄに至る空気の流量が徐々に絞られる（減少する）ため、縮圧力空間２２ｃの内圧減少が徐々に低下する。これによって、ピストン１１２を緩やかに伸位置Ｐａで停止させることができる。よって、縮圧力空間２２ｃの急激な縮小によるピストン１１２の急停止を防止し、ラック部材２２とピニオン２１との噛合部分Ｓ（図１２）に急激に大きな応力を加えずに滑らかに停止させることが可能になる。

回転駆動エアシリンダ１１０には、上記の緩衝溝１１８，１１９に加えて、ピストン１１２が伸位置Ｐａに至る直前、または、ピストン１１２が伸位置Ｐａから移動し始めた直後におけるピストン１１２の移動速度を調節するための制御緩衝流路１１９ａが設けられる。

制御緩衝流路１１９ａは、図８，図９，図１９に示すように、ピストン１１２が伸位置Ｐａ（図８）とされた際に、突起部１１２ｄによって閉塞される位置の空間２２ｄに一端が開口するとともに、他端がケーシング１４Ｂｂの他面側１４Ｂａに開口する流路１１９ａとされる。
この流路１１９ａには、交わる方向に連通し、ケーシング１４Ｂｂ外部に開口する制御用孔１１６ｂが設けられ、この制御用孔１６ｂ内部には、流路１１９ａを閉塞可能な制御ピン１１９ｃが制御用孔１１９ｂの延在する方向に摺動可能に設けられている。

この制御緩衝流路１１９ａは、緩衝溝１１９と同様、縮圧力空間２２ｃと空間２２ｄとの間で移動する空気の流量を制御するものである。
具体的には、制御緩衝流路１１９ａでは、制御ピン１１９ｃが制御用孔１６ｂ内部を移動すると、その位置によって、流路１１９ａの断面積が変化する。これにより、縮圧力空間２２ｃと空間２２ｄとの間で移動する空気の流量が変化する。したがって、制御緩衝流路１１９ａが、空間２２ｄに開口した状態で、かつ、突起部１１２ｄがケーシング１４Ｂｂの空間２２ｄに入り込んだ状態の間は、制御ピン１１９ｃの位置によって、流路１１９ａの開度を調節し、ピストン１１２の移動速度を制御することができる。

制御ピン１１９ｃを抜いて流路１１９ａの断面積を増やすと、ラック２２の移動速度、つまり、可動弁体４０のり子運動の移動速度が増大し、また、制御ピン１１９ｃを挿入して流路１１９ａの断面積を減少させると、ラック２２の移動速度、つまり、可動弁体４０のり子運動の移動速度が減少する。
特に、ピストン１１２が伸位置Ｐａに到着する直前のみならず、ピストン１１２が伸位置Ｐａから縮位置Ｐｂに動き始める場合、つまり、可動弁部４０が流路Ｈの退避位置Ｅ１（図１）に振り子運動で移動し始める場合にもこのようなエアダンパー効果を奏する。これにより、ラック部材２２とピニオン２１との噛合部分Ｓ（図１２）に急激に大きな応力を加えずに滑らかに動作開始、および、停止させることが可能となる。

このようなシリンダ１１０であると、圧縮空気の供給を伸通気口１１４と縮通気口２２ｊとで切り替えるだけでシリンダ１１０の伸縮をおこなって中立弁体５の揺動動作をさせることが可能である。

流体経路リング１７と流体経路リング１８とは、回転軸２０とほぼ等しい内径とされ、ピニオン２１よりも弁箱１０側の流体経路リング１７の外径がベアリング１６Ａの外径より大きくかつピニオン２１の外径寸法よりも小さく設定され、ピニオン２１よりも蓋体１４Ｄ側の流体経路リング１８の外径がピニオン２１の径寸法よりも大きく設定されている。ベアリング１６Ａ，１６Ｂで支持された回転軸２０が回動すると、流体経路リング１７と流体経路リング１８とに対して、接触位置が周方向に変化することになる。

流体経路リング１７には、第２周囲領域４０ａにおいて可動弁板部５０と可動弁枠部６０との間に形成された円環状エアシリンダ８０に駆動用気体を供給する供給路４１の一部とされる流体経路として、径方向に延在しその外周面１７ａ及び内周面１７ｂに開口する径方向リング経路１７ｃが設けられる。この径方向リング経路１７ｃの外周面１７ａ側は円筒ケーシング１４Ｂの径方向に貫通する経路１４Ｂｃに連通している。

流体経路リング１８には、第２周囲領域４０ａにおいて可動弁板部５０と可動弁枠部６０との間に形成された円環状エアシリンダ８０に設けられた２重シール部において２重目のシールｓ１ａ，５２ａより気体供給側に設けられた中間大気室５５に接続され、１重目のシール５１ｂ，５２ｂが破れた際に駆動用気体をスライド弁１外部に向けて逃がす連絡路４２の一部とされる流体経路として、径方向に延在しその外周面１８ａ及び内周面１８ｂに開口する径方向リング経路１８ｃが設けられる。この径方向リング経路１８ｃの外周面１８ａ側は円筒ケーシング１４Ｂの径方向に貫通する経路１４Ｃｃに連通している。

流体経路リング１７には、内周面１７ｂに溝１７ｄが周設され、回転軸２０外周面２０ｂとで囲まれることで周方向経路となっている。
溝１７ｄに対向する位置とされる回転軸２０外周面２０ｂには、径方向軸内経路２７が開口し、径方向軸内経路２７は、回転軸２０の軸線ＬＬ方向に延在して回転軸２０の一端面２０ａに開口する軸方向軸内経路２５に連通している。

流体経路リング１８には、内周面１８ｂに溝１８ｄが周設され、回転軸２０外周面２０ｂとで囲まれることで周方向経路となっている。
溝１８ｄに対向する位置とされる回転軸２０外周面２０ｂには、径方向軸内経路２８が開口し、径方向軸内経路２８は、回転軸２０の軸線ＬＬ方向に延在して回転軸２０の一端面２０ａに開口する軸方向軸内経路２６に連通している。

これら軸方向軸内経路２５と軸方向軸内経路２６とは、互いに平行状態でかつ軸線ＬＬに平行とされ、回転軸２０の蓋体１４Ｄ側の他端２０ｃ側は閉塞されている。
軸方向軸内経路２５と軸方向軸内経路２６とは、いずれも、中立弁部３０内部の供給路４１及び、連絡路４２に接続されている。

流体経路リング１７には、内周面１７ｂと回転軸２０外周面２０ｂとの間において径方向軸内経路２７の開口部分および溝１７ｄを摺動可能にシールするＯリング等のシール部材１７ｈ，１７ｊ，１７ｋが周設されている。
流体経路リング１７には、外周面１７ａと円筒ケーシング１４Ｂ内面との間において径方向リング経路１７ｃの開口部分および経路１４ＢｃをシールするＯリング等のシール部材１７ｅ，１７ｆ，１７ｇが周設されている。

流体経路リング１８には、内周面１８ｂと回転軸２０外周面２０ｂとの間において径方向軸内経路２７の開口部分および溝１８ｄを摺動可能にシールするＯリング等のシール部材１８ｈ，１８ｊ，１８ｋが周設されている。
流体経路リング１８には、外周面１８ａと円筒ケーシング１４Ｂ内面との間において径方向リング経路１８ｃの開口部分および経路１４ＣｃをシールするＯリング等のシール部材１８ｅ，１８ｆ，１８ｇが周設されている。

こうした流体経路リング１７と流体経路リング１８によって、回転軸２０がどのような回動位置になっても、径方向軸内経路２７と径方向軸内経路２８が連通した状態を維持できるため、後述するように密閉度よく、駆動用流体の供給等を行うことができる。しかも、供給路４１と連絡路４２とを、独立してそれぞれ接続しているので、回転軸２０の回動位置にかかわらず、異なる圧力状態あるいは、異なるガス状態の２系統を弁体１０内部に影響を与えずに、制御することが可能となる。

同時に、周方向経路となる溝１７ｄ，１８ｄが周設されているため、溝１７ｄ、１８ｄ内の流体からの圧力が回転軸２０の外周面２０ｂに一周するように作用するため、径方向に作用する圧力を全周で均等にすることができるため、これらの流路における圧力状態にかかわらず、軸受１６Ａと軸受１６Ｂにおける回転軸２０の支持状態に対して影響を及ぼすことを防止できる。

同時に、軸受１６Ａと軸受１６Ｂとの間にこれらの流体経路リング１７と流体経路リング１８を位置して、回転軸を支持する軸受１６Ａと軸受１６Ｂとの間の距離をできるだけ長く確保することができる。これにより、回転軸２０が傾く方向に回転軸へ作用するモーメントを軸受１６Ａと軸受１６Ｂで保持する場合、これらの軸受１６Ａと軸受１６Ｂが受けるラジアル荷重を最小にすることができ、それによりこれら軸受１６Ａと軸受１６Ｂの耐久性を向上させることができる。または、必要な回転軸２０の傾斜方向における変形防止能を維持した状態で回転軸２０の軸線方向長さを確保することができ、回転軸２０の駆動手段を小型化し、バルブとしての小型化を図ることができる。

また、軸受１６Ａと軸受１６Ｂ、流体経路リング１７、ピニオン２１および流体経路リング１８の外径寸法を上記の構成とすることにより、部品の構成を変えずに部品の組立方向を変えることのみによって、回転機構部の弁箱に対する取付面を反転させて、これらをケーシング１４に対して組み付けることが可能である。

本実施形態においてエアシリンダ８０の駆動用とされる圧縮空気を、弁箱１０内部の中空部１１に露出（暴露）することなく、回転軸２０内部経由で中立弁体５へ供給するとともに、後述する中間大気室５５，５６への連絡路４２を回転軸２０内部経由で弁箱１０外部に連通させることが可能となる。

本発明の回転軸２０には、供給路４１と連絡路４２となる軸方向経路２５，２６がそれぞれ平行に設けられてなるとともに、供給路４１と連絡路４２とに対応する流体経路リング１７と流体経路リング１８とが回転軸２０の異なる軸線ＬＬ方向位置に設けられてなることにより、一本の回転軸２０内部を介して複数の経路２５，２６を同時にそれぞれ別個に連通状態とすることができるので、エアシリンダ８０の駆動用流体の供給路４１とセーフティー用の中間大気用の連絡路４２とを一つの回転軸２０のみで他の構成を用いずに配置することが可能となる。

本発明における供給路４１と連絡路４２と対応する流体経路リング１７，１８が、軸受１６Ａ，１６Ｂの軸線方向中間位置に対して対称に配置されてなることにより、軸受１６Ａ，１６Ｂに対する加重を均等に近いものとして軸受１６Ａ，１６Ｂの耐久性を向上し、スライド弁１のメンテナンス費用を低減することがる。

なお、本実施形態においては、周方向経路として、図７、図２５に示すように、溝１７ｄ、１８ｄを流体経路リング１７と流体経路リング１８との内面１７ｂ、１８ｂのみに形成したが、図３１に示すように、回転軸２０外周面２０ｂに溝２２ｐ，溝２３ｐを形成することが可能である。あるいは、これら流体経路リング１７と流体経路リング１８との内面１７ｂ、１８ｂおよび回転軸２０外周面２０ｂの両方に溝を形成することもできる。

また、本実施形態においては、周方向経路として、図７（ａ）、図２５（ｂ）に示すように、溝１７ｄ、１８ｄを回転軸２０の全周に設けたが、図１に矢印Ａ１，Ａ２で示した中立弁体５の回動範囲に対応した必要部分のみ、つまり、図３２に示すように、回転軸２０に要求される回動範囲に対応した周方向円弧範囲Ａ１Ａ２に対応した部分に円弧状に溝１７ｄ、１８ｄを形成することもできる。この例では、溝１７ｄが径方向リング経路１８ｃに対する径方向軸内経路２７の移動範囲Ａ１Ａ２に円弧状に設けられ、この溝１７ｄは中立弁体５の回動範囲に体操する中心角度範囲とほぼ等しい中心角度範囲とされる。また、溝１８ｄが、径方向リング経路１８ｃに対する径方向軸内経路２８の移動範囲Ａ１Ａ２に加えて、径方向リング経路１８ｃに対する接続部分Ａ１Ａ２ａにも設けられている。

流体経路リング１７の内周面１７ｂにおいて、シール部材１７ｈとシール部材１７ｊとの間には、径方向リング経路１７ｃに連通する溝１７ｄが設けられ、シール部材１７ｊとシール部材１７ｋとの間には、溝１７ｐが周設されている。
この溝１７ｐと対向する回転軸２０の外周面２０ｂとは、大気圧の空間（空隙）である第２中間大気室を形成するとともに第２連通路４２Ａによって、ケーシング外部に接続されている。

これらシール部材１７ｊとシール部材１７ｋとは、駆動用気体の存在する供給路４１となる溝１７ｄに対する２重シール部として機能しており、エアシリンダ８０の加圧中に、回転軸２０における１重目のシールであるシール部材１７ｊが破れた場合でも、圧縮空気（駆動用気体）を溝１７ｐおよび第２連通路４２Ａを介してケーシング１４外部に逃がして、ケーシング１４Ｂ内において流体経路リング１７の溝１７ｄ側からピニオン２１側の内部空間２２ｈに圧縮空気が放出されてしまう等、溝１７ｄと内部空間２２ｈとの間で圧力状態が変化してしまうという不具合を防止するようになっている。

同時に、シール部材１７ｋとシール部材１７ｊとは、回転軸２０の回転駆動エアシリンダ（駆動手段）において加圧空間となる内部空間２２ｈに対する２重シール部として機能しており、回転駆動エアシリンダの収縮中に、回転軸２０における１重目のシールであるシール部材１７ｋが破れた場合でも、圧縮空気（駆動用気体）を溝１７ｐおよび第２連通路４２Ａを介してケーシング１４外部に逃がして、ケーシング１４Ｂ内において内部空間２２ｈ側から供給路４１となる溝１７ｄに圧縮空気が放出されてしまう等、溝１７ｄと内部空間２２ｈとの間で圧力状態が変化してしまうという不具合を防止するようになっている。

これらの溝１７ｄ、内部空間２２ｈは、いずれも加圧空間であるが、所定の動作に対応する圧力状態が、シール部の破れによって変化した場合、中立弁体５の厚さがいきなり膨張する、中立弁体５が回動動作するといった予期せぬ動作を起こしてしまうことを防止するものである。
つまり、シール部材１７ｋ、シール部材１７ｊ、溝１７ｐおよび第２連通路４２Ａにより、スライド弁１がシール破れによって破損する等を防止することができる。

流体経路リング１８の内周面１８ｂにおいて、シール部材１８ｋとシール部材１８ｊとの間には、径方向リング経路１８ｃに連通する溝１８ｄが設けられ、シール部材１８ｊとシール部材１８ｈとの間には、溝１８ｐが周設されている。
この溝１８ｐと対向する回転軸２０の外周面２０ｂとは、大気圧の空間（空隙）である第２中間大気室を形成するとともに第２連通路４２Ａによって、ケーシング外部に接続されている。

これらシール部材１８ｊとシール部材１８ｈとは、回転軸２０の回転駆動エアシリンダ（駆動手段）において加圧空間となる内部空間２２ｈに対する２重シール部として機能しており、回転駆動エアシリンダの収縮中に、回転軸２０における１重目のシールであるシール部材１８ｈが破れた場合でも、圧縮空気（駆動用気体）を溝１８ｐおよび第２連通路４２Ａを介してケーシング１４外部に逃がして、ケーシング１４Ｂ内において内部空間２２ｈ側から連通路４２となる溝１８ｄに圧縮空気が放出されてしまう等、溝１８ｄと内部空間２２ｈとの間で圧力状態が変化してしまうという不具合を防止するようになっている。

これにより、内部空間２２ｈは加圧空間であり、所定の動作に対応する圧力状態が、シール部の破れによって変化した場合、中立弁体５が回動動作するといった予期せぬ動作を起こしてしまうことを防止するものである。
つまり、シール部材１８ｈ、シール部材１８ｊ、溝１８ｐおよび第２連通路４２Ａにより、スライド弁１がシール破れによって破損する等を防止することができる。

なお、ピニオン２１の収納される内部空間２２ｈが、加圧空間とはならない場合には、図３４に示すように、溝１７ｐ、溝１８ｐ、および、第２連通路４２Ａを設けない構成も可能である。この場合、さらに、シール部材１７ｊ、１８ｊを設けないこともできる。

また、溝１７ｄおよび溝１８ｄには、図２６に示すように、その回転軸２０の外周面２０ｂ側開口位置に、テーパ面１７ｍ、テーパ面１８ｍが設けられて、拡径されている。
このテーパ面１７ｍ，１８ｍは、流体経路リング１７，１８の径方向に奥行き寸法Ｔｔ１を有し、この奥行き寸法Ｔｔ１は、シール部材１７ｈ，１７ｊ，１７ｋ，１８ｈ，１８ｊ，１８ｋがＯリングとされた場合に、シール時における潰し代ではなく、回転軸２０が流体経路リング１７，１８と接触しない状態で、このＯ−リングが回転軸２０の外周面２０ｂかた突出した高さ寸法Ｔｔ２よりも大きくなるように設定される。

また、テーパ面１７ｍ，１８ｍは、流体経路リング１７，１８内周面の径方向の法線となす角度θが４５°以上、好ましくは３０°以上となるように設定される。
これにより、回転軸２０のケーシング１４への組み付け時に、Ｏ−リングが溝１７ｄ，１８ｄの開口部分に引っかかって破損するなどの不具合を防止することができる。
なお、テーパ面１７ｍ，１８ｍは、Ｏ−リングの破損が可能であれば、この形状に限定されるものではない。

さらに、溝１７ｄおよび溝１８ｄの回転軸２０の外周面２０ｂ側開口位置には、テーパ面１７ｍ，１８ｍの代わりに、図３３に示すように、角を丸めた曲面１７ｎ，１８ｎを形成することもできる。
この曲面１７ｎ，１８ｎの奥行き寸法Ｔｔ１は、同様に、Ｏ−リングが回転軸２０の外周面２０ｂかた突出した高さ寸法Ｔｔ２よりも大きくなるように設定されることができる。

円筒ケーシング１４Ｂのシールケーシング１４Ａ側には、径方向に延在するリーク流路１４Ｈｅが設けられる。このリーク流路１４Ｈｅは、図１０（ｂ）に示すように、軸受１６Ａよりもシールケーシング１４Ａ側となるとともに回転軸２０の表面２０ｂと接するリーク空間２２Ｈｅに連通している。

リーク空間２２Ｈｅと接する回短軸２０の内部には、軸方向リーク流路２７Ｈｅが設けられ、この軸方向リーク流路２７Ｈｅは、その一端が、図１０（ａ）および図１１（ｂ）に示すように、リーク空間２２Ｈｅに開口するとともに、軸方向リーク流路２７Ｈｅの他端は、後述するように、図１０（ｂ）および図１２に示すように、回転軸２０の中心に軸線方向に貫通し接続部材９１を介して回転軸２０と中立弁部３０とを締結するための雄ネジ（締結具）２１を貫通させる貫通穴２１Ａに向けて開口している。

貫通穴２１Ａは、接続部材９１の開口９８および中立弁部３０に設けられ、雄ネジ２１を螺合する雌ネジ（締結具）３１のある空間３１Ｈｅに連通している。
後述するように雄ネジ２１は、図１２に示すように、締結されている雌ネジ３１のある空間３１Ｈｅまでネジ溝のない開口９８を貫通している。この空間３１Ｈｅは溝９５Ｂ側が、図示しない閉塞部材によって閉塞されている。

中立弁部３０の空気溜まり空間３１Ｈｅは、その先の溝９５Ｂ側における図示しないＯリング等による封止が破れているかを調べるヘリウムリークテストをおこなうことが必要である。このため、空気溜まり空間３１Ｈｅは、開口９８、貫通穴２１Ａ、軸方向リーク流路２７Ｈｅ、リーク空間２２Ｈｅ、リーク流路１４Ｈｅを介してリーク空間２２Ｈｅ側に連通され、ここから、空気溜まり空間３１Ｈｅ、開口９８、貫通穴２１Ａに対する密閉状態を検査するヘリウムリークテストのためにヘリウムの供給が可能となっている。
このように、軸方向リーク流路２７Ｈｅおよびリーク流路１４Ｈｅを設けることで、空気溜まり空間３１Ｈｅ、開口９８、貫通穴２１Ａに対するヘリウムリークテストが可能となる。

同時に、リーク流路１４Ｈｅから、回転軸２０の表面２０ｂに沿ったシール手段としてのシール部１４Ａａ、１４Ａｂ，１４Ａｃおよび、大気圧の空間（空隙）である中間大気室１４Ａｄに対して、中空部１１へのシールテストをおこなうことが可能となる。つまり、として、リーク流路１４Ｈｅから、リーク空間２２Ｈｅ側にヘリウムを供給し中空部１１に対するリークを調べることで、ヘリウムリークテストをおこなうことが可能となる。

さらに、リーク流路１４Ｈｅは、シール部材１７ｈ，１７ｊ，１７ｋ、シール部材１７ｅ，１７ｆ，１７ｇなどによる封止が破綻して、加圧空間である内部空間２２ｈおよび径方向リング経路１７ｃ、溝１７ｄなどから、圧縮空気がリーク空間２２Ｈｅに漏れだした場合に、この圧縮空気を外部に逃がすことができる。これにより、シール部１４Ａａ、１４Ａｂ，１４Ａｃに圧力が加わることを防止して、漏れた圧縮空気が中空部１１へ流入してしまうことが防止できる。

［中立弁部３０、接続部材９１］
中立弁部３０は、回転軸２０の軸線に対して直行する方向に延在し、この方向に平行な面を有している。図１に示すように、中立弁部３０は、可動弁部４０に重なる円形部３０ａと、回転軸２０の回転に伴って円形部を回転させる回転部３０ｂとを有する。回転部３０ｂは、回転軸２０と円形部３０ａとの間に位置しており、回転部３０ｂの幅は回転軸２０から円形部３０ａに向けて徐々に増加している。これら回転軸２０、中立弁部３０は、弁箱１０に対して回動はするが、流路Ｈ方向には位置変動しないように設けられている。

中立弁部３０の一端には、図１３に示すように、接続部材９１の突起部９３と嵌合する凹部９５が形成されている。この凹部９５は、その断面形状が接続部材９１の断面形状と合致する略Ｔ字状を成す。こうした凹部９５は、中立弁部３０の流路方向Ｈにおける一面側３０Ａと他面側３０Ｂの両側に、それぞれ凹部９５Ａ，９５Ｂとして形成されている。これによって、回転軸２０は、中立弁部３０に対して流路方向Ｈに沿った上側と下側のいずれにも選択的に接続することができる。

あるいは、回転軸２０に対して、中立弁体５全体を両面どちらにも取り付けることができる。即ち、接続部材９１の凹部９５Ａの側に中立弁体５を取り付ければ、スライド弁１の閉弁時において、可動弁部４０が第１開口部１２ａを塞ぐ向きとなる。逆に、接続部材９１の凹部９５Ｂの側に中立弁体５を取り付ければ、可動弁部４０が第２開口部１２ａｂを塞ぐ向きにとなる。

図１３に示すように、接続部材９１に形成された突起部９３と、中立弁部３０に形成された凹部９５とは互いに嵌合される。図１３（ａ）に示すように、接続部材９１と中立弁部３０とは、係合状態において、流路方向Ｈに沿って互いに平行に広がり第１間隔ｔ１で離間した一組の第１平行面９６ａ，９６ｂと、流路方向Ｈに沿って互いに平行に広がり第１間隔ｔ１よりも広い第２間隔ｔ２で離間した一組の第２平行面９７ａ，９７ｂとで互いに接触している。

こうした一組の第１平行面９６ａ，９６ｂ、および一組の第２平行面９７ａ，９７ｂは、それぞれ、流路方向Ｈに直角に延びる一軸Ｌを挟んで対称に配される。また、第１平行面９６ａ，９６ｂと第２平行面９７ａ，９７ｂとは、この一軸Ｌに沿って互いに重ならない位置に配される。

接続部材９１の突起部９３には、図１３に示すように、この一組の第１平行面９６ａ，９６ｂを構成する第１接触面９３ａ，９３ｂと、第２平行面９７ａ，９７ｂを構成する第２接触面９３ｃ，９３ｄとが形成されている。そして、これら第１接触面９３ａ，９３ｂと第２接触面９３ｃ，９３ｄのそれぞれを繋ぐ第１傾斜面９３ｅ，９３ｆとともに、突起部９３は全体として２段階の幅を持つ突起形状を成している。

中立弁部３０の一端に形成された凹部９５は、図１３に示すように、一組の第１平行面９６ａ，９６ｂを構成する第三接触面９５ａ，９５ｂと、第２平行面９７ａ，９７ｂを構成する第四接触面９５ｃ，９５ｄとが形成されている。そして、これら第三接触面９５ａ，９５ｂと第四接触面９５ｃ，９５ｄのそれぞれを繋ぐ第２傾斜面９５ｅ，９５ｆとともに、凹部９５は全体として２段階の幅を持つ溝形状を成している。

回転軸２０の中心には、図１２に示すように、接続部材９１を介して回転軸２０と中立弁部３０とを締結するための雄ネジ（締結具）２１を貫通させる貫通穴２１Ａが形成されている。また、中立弁部３０の一端に形成された凹部９５には、雄ネジ（締結具）２１と螺合する雌ネジ３１が形成されている。更に、接続部材９１には、雄ネジ（締結具）２１を貫通させるネジ溝のない開口９８が形成されている。

以上の構成によって、接続部材９１に形成された突起部９３と、中立弁部３０に形成された凹部９５とを嵌合させ、更に、回転軸２０の上端側から、雄ネジ２１を貫通穴２１Ａおよび開口９８に貫通させ、雄ネジ２１の先端部分を、中立弁部３０の雌ネジ３１にネジ止めすることにより、回転軸２０と中立弁部３０とは、接続部材９１を介して締結（固定）される。

中立弁部３０のメンテナンス、例えば、繰り返し開閉による中立弁部３０の交換等で、中立弁部３０を回転軸２０に固着された接続部材９１に取り付ける際には、中立弁部３０の一端に形成された凹部９５を接続部材９１に形成された突起部９３に対向させる。
次に、中立弁部３０の凹部９５を突起部９３に差し込むと、凹部９５の第三接触面９５ａ，９５ｂが、それぞれ突起部９３の第１接触面９３ａ，９３ｂに接触する。また、凹部９５の第四接触面９５ｃ，９５ｄが、それぞれ突起部９３の第２接触面９３ｃ，９３ｄに接触する。

こうした挿入工程での凹部９５と突起部９３との接触面は、第１平行面９６ａ，９６ｂ、および第２平行面９７ａ，９７ｂに限られ、突起部９３の第１傾斜面９３ｅ，９３ｆと、凹部９５の第２傾斜面９５ｅ，９５ｆとは接触しない。つまり、矢印Ｂ１で示す方向である接続方向において、回転軸２０の軸線を挟んだ両側位置となる部分で周方向の取り付け位置を規制することができるので、取り付け位置、特に、回転軸２０の軸線周りの中立弁部３０の取り付け方向の正確性を容易に向上することができる。

同時に、例えば、凹部９５と突起部９３との接触面（第１平行面９６ａ，９６ｂ、第２平行面９７ａ，９７ｂ）のクリアランス（隙間）を極めて小さく設定しても、凹部９５を突起部９３に押し込む際の摩擦力が軽減され、スムーズに凹部９５と突起部９３とを嵌合させることができる。

また、互いに幅の異なる第１平行面９６ａ，９６ｂ、および第２平行面９７ａ，９７ｂで凹部９５と突起部９３とを接触させることによって、凹部９５を突起部９３に押し込む際の取付精度を向上させると共に、取付時に摩擦力の軽減によって、容易にその取付位置、即ち突起部９３に対する凹部９５の押し込み量を調整することができる。即ち、凹部９５と突起部９３との係合時には、凹部９５に形成されためねじ３１のネジ穴位置を、接続部材９１の突起部９３に形成された開口９８と合致させる必要がある。

本実施形態のように、第１平行面９６ａ，９６ｂ、および第２平行面９７ａ，９７ｂだけで凹部９５と突起部９３とを接触させることで、雌ネジ３１のネジ穴位置と突起部９３に形成された開口９８とを容易に微調整しつつ合致させることができる。これによって、回転軸２０の貫通穴２１Ａから開口９８を介して雄ネジ（締結具）２１を容易に雌ネジ３１に締結することができる。また、端面９３ｍと端面９５ｍとを接触させることで、図１３において矢印Ｂ１で示す方向である接続方向における互いの位置決めをおこなうことも可能である。

なお、この実施形態においては、接続部材９１に突起部９３を、また中立弁部３０の一端に凹部９５を設けているが、凹凸が逆の構造とすることもできる。つまり、回転軸２０に固着される接続部材に凹部を形成して、この凹部と嵌合する突起部を中立弁部の一端に形成する構造である。

［可動弁部４０、第２可動弁部（可動弁板部）５０、第１可動弁部（可動弁枠部）６０］
可動弁部４０は略円板状とされ、円形部３０ａと略同心円状に形成された可動弁板部５０と、この可動弁板部５０の周囲を囲むように配置された略円環状の第２可動弁部６０とを有する。第２可動弁部６０は、中立弁部３０に流路Ｈ方向に摺動可能として接続されている。

また、可動弁板部５０は、第２可動弁部６０に摺動可能として嵌合されている。可動弁板部５０と第２可動弁部６０とは、メインバネ７０及び円環状エアシリンダ８０によって符号Ｂ１，Ｂ２で示された方向（往復方向）に摺動しながら移動可能である。ここで、符号Ｂ１，Ｂ２で示された方向とは、可動弁板部５０および第２可動弁部６０の面に垂直な方向であり、回転軸２０の軸方向に平行な流路Ｈ方向である。

また、可動弁板部５０の外周付近における全領域には、内周クランク部５０ｃが形成されている。また、可動弁枠部６０の内周付近における全領域には、外周クランク部６０ｃが形成されている。
第１実施形態においては、外周クランク部６０ｃと内周クランク部５０ｃとが、流路Ｈ方向と平行な摺動面５０ｂ、６０ｂどうしで摺動可能に嵌合している。

弁箱１０の内面に対向（当接）する可動弁枠部６０の表面には、第１開口部１２ａの形状に対応して円環状に形成された、例えば、Ｏリング等からなる第１シール部６１（主シール部）が設けられている。
この第１シール部６１は、閉弁時に可動弁部４０が第１開口部１２ａを覆っている状態で、第１開口部１２ａの周縁となる弁箱１０の内面１５ａに接触し、可動弁枠部６０及び弁箱１０の内面によって押圧される。これによって、第１空間は第２空間から確実に隔離される（仕切り状態が確保される）。

［メインバネ（第１付勢部）７０］
メインバネ（第１付勢部）７０は、可動弁部４０の最外周となる第１周囲領域４０ａに隣接した第１周囲領域４０ｂに配置されている。メインバネ７０においては、可動弁枠部６０を第１開口部１２ａに向けて（Ｂ１方向）に押圧するように、同時に、可動弁板部５０を第２開口部１２ｂに向けて（Ｂ２方向）に押圧するように復元力が生じている。

これにより可動弁部４０による弁閉状態において、メインバネ７０は、可動弁板部５０に力を加え（付勢し）、第２開口部１２ｂの周囲に位置する弁箱１０の内面１５ｂに向けて可動弁板部５０を押圧して内面１５ｂと可動弁板部５０の反力伝達部５９とを当接させているとともに、同時に、可動弁枠部６０に力を加え（付勢し）、第１開口部１２ａの周囲に位置する弁箱１０の内面１５ａに向けて可動弁枠部６０を押圧して内面１５ａと可動弁枠部６０の第１シール部６１とを当接させている。

第１実施形態においては、メインバネ７０は、可動弁板部５０に第２開口部１２ｂ側を向いて開口するよう設けられた凹部５０ａとこの凹部５０ａの対向位置に可動弁枠部６０に第１開口部１２ａ側を向いて開口するよう設けられた凹部６０ａとに嵌め込まれて設けられた弾性部材（例えば、スプリング、ゴム、密閉されたエアダンパーなど）である。

メインバネ７０は、第１端と第２端とを有する。第１端は、可動弁板部５０の凹部５０ａの底面に当接している。第２端は、可動弁枠部６０の凹部６０ａの天井面に当接している。また、図１に示すように、円環状の可動弁枠部６０において、複数の第１付勢部７０が周方向に沿って等間隔に設けられている。

メインバネ７０を構成する弾性部材の自然長は、可動弁枠部６０のシール部６１と、可動弁板部５０の反力伝達部５９とが、それぞれ、弁箱１０の内面１５ａと内面１５ｂとを押圧する可動弁部４０の最大厚さ寸法となった状態における可動弁板部５０の凹部５０ａの底面と可動弁枠部６０の凹部６０ａの天井面との間の距離よりも大きい。このため、可動弁板部５０の凹部５０ａの底面と可動弁枠部６０の凹部６０ａの天井面とによって圧縮されつつ凹部５０ａおよび凹部６０ａの内部に配置されているメインバネ７０においては、弾性復元力（延伸力，付勢力）が生じている。この弾性復元力が作用することにより、可動弁枠部６０がＢ１方向に、同時に、可動弁板部５０がＢ２方向に摺動しながら、第１シール部６１および反力伝達部５９が弁箱１０の内面に当接して押圧され、閉弁動作が行われる。

また、メインバネ７０は、第１シール部６１に対する押圧力を効率よく伝達してスライド弁１の閉塞を確実にするために、第１シール部６１に近接した第２周囲領域４０ｂに配置される。具体的には、第１シール部６１直下のすぐ外周位置には後述する反力伝達部５９となる突条が位置するのに対し、可動弁板部５０の径方向位置として、この第１シール部６１を挟んだ突条（反力伝達部）５９の反対側位置にメインバネ７０は位置される。これにより、メインバネ７０の付勢力は効率よく可動弁枠部６０のシール部６１と可動弁板部５０の反力伝達部５９とに伝達され、第１シール部６１の変形による弁の密閉の確実性を向上することができる。

また、メインバネ７０は、第１シール部６１を直接押圧できるようにするために、第１シール部６１の直下付近とされる第２周囲領域４０ｂに配置されることもできる。この場合、スライド弁においては、第１付勢部７０を可動弁枠部６０に設けられているので、第１付勢部７０を第１シール部６１の直下に位置させることが可能である。

このように、スライド弁１においては、閉弁動作及び開弁動作を行うアクチュエータとして、閉弁動作を行うメインバネ７０と、開弁動作を行う第２付勢部８０（後述）とが近接して設けられている。この構成において、メインバネ７０及び第２付勢部８０は、第１シール部６１に近い可動弁部４０の周囲領域（第１周囲領域４０ａ及び第２周囲領域４０ｂ）において、互いに近接するように径方向に隣接して配置されている。また、メインバネ７０は、第１シール部６１の直下付近に位置している。つまり、スライド弁１の構造は、第１シール部６１、反力伝達部５９、メインバネ７０の位置関係が、作用点及び支点が存在するモーメント荷重を加える構造として効率よくシールをおこなうことができるように構成される。

さらに、メインバネ７０の付勢力が可動弁板部５０と可動弁枠部６０とを拡げる方向、つまり、可動弁部４０の厚さを増大して、可動弁枠部６０のシール部６１と可動弁板部５０の反力伝達部５９とを弁箱１０の内面１５ａ，１５ｂに押圧する方向に設定されているので、停電等によってユーティリティ設備からスライド弁１を備える装置への電力供給（エネルギー供給）が停止した場合であっても、メインバネ７０において生じる機械的な力のみで確実にスライド弁１を閉じることができる。このため、フェイルセーフなスライド弁を確実に実現できる。

一方、スライド弁４０の厚さを減じる付勢がおこなわれているもの、あるいは、ユーティリティ設備から供給される電力等のエネルギーによって閉弁動作が行われている構造を有するスライド弁においては、ユーティリティ設備から装置へのエネルギー供給が停止した場合に閉弁動作を行うことができない場合がある。このため、このような構造においては、フェイルセーフなスライド弁を実現できない。

［円環状エアシリンダ（第２付勢部）８０］
円環状エアシリンダ８０は、可動弁部４０の最外周となる第１周囲領域４０ａに配置されている。円環状エアシリンダ８０においては、円環状エアシリンダ８０に駆動流体として圧縮空気が供給された際に、可動弁枠部６０を第２開口部１２ｂに向けて（Ｂ２方向）移動させる力（付勢力、圧縮空気に起因する力）が生じる。同時に、可動弁板部５０を第１開口部１２ａに向けて（Ｂ１方向）に移動させる力（付勢力、圧縮空気に起因する力）が生じる。これによって、メインバネ７０の付勢力に打ち勝って、第１開口部１２ａの周囲に位置する弁箱１０の内面１５ａから可動弁枠部６０を離間させるのと同時に、第２開口部１２ｂの周囲に位置する弁箱１０の内面１５ｂから可動弁板部５０を離間させる。
これにより、後述する補助バネ（第３付勢部）９０の付勢力により体４０は流路Ｈ方向において弁箱１０の厚さ中央位置となりの弁箱１０内で回動可能な状態となる。

なお、可動弁部４０において、第１周囲領域４０ａは、円環状である可動弁枠部６０のシール部６１と可動弁板部５０の反力伝達部５９との内側に位置する。同時に、可動弁部４０において、第２周囲領域４０ｂは、第１周囲領域４０ａの内側に位置する。即ち、可動弁部４０の径方向において、メインバネ７０は、円環状エアシリンダ８０の内側に配置されている。言い換えれば、円環状エアシリンダ８０は、可動弁板部５０と可動弁枠部６０とが摺動する方向（流路Ｈ方向）に交差する方向においてメインバネ７０に隣接している。つまり、円環状エアシリンダ８０は、可動弁部４０の径方向において、シール部６１および反力伝達部５９、と、メインバネ７０との間に位置する。

第１実施形態においては、円環状エアシリンダ８０は、可動弁板部５０と可動弁枠部６０との間に設けられた１つのエアシリンダ（空隙）である。
具体的に、この円環状エアシリンダ８０は、可動弁枠部６０の第１開口部１２ａに向けて開口した凹部６０ｄと可動弁板部５０の第２開口部１２ｂに向けて突出した凸部５０ｄとが勘合した状態で形成され、これら環状の凹部６０ｄと環状の凸部５０ｄとが摺動するように形成されている。また、この円環状エアシリンダ８０は、可動弁枠部６０の周縁部に形成された円環状の空間、および、可動弁板部５０の最外周に形成された突条（環状凸部）からなり、１つの円環シリンダ（円環空隙）として機能する。また、言い換えると、円環シリンダは、流路Ｈを囲むように形成されている。

円環状エアシリンダ８０に駆動用流体である圧縮空気が供給されると、第２付勢部８０の体積を膨張させる膨張力（付勢力）がＢ１，Ｂ２方向に生じる。膨張力の大きさがメインバネ７０に生じる復元力よりも大きい場合、この膨張力がメインバネ７０の付勢力に打ち勝ってメインバネ７０が圧縮され、可動弁板部５０がＢ１方向に可動弁枠部６０がＢ２方向に摺動して弁体４０の厚さ方向寸法が縮小して、第１シール部６１が弁箱１０の内面１５ａから離間し、同時に、反力伝達部５９が弁箱１０の内面１５ｂから離間して、開弁動作が行われる。この際、円環状の凹部６０ｄと凸部５０ｄとが摺動することで、可動弁板部５０と可動弁枠部６０との移動する方向が流路方向のみに規制されるとともに、可動弁板部５０と可動弁枠部６０とが、シール部６１および反力伝達部５９が弁箱１０内面１５ａ、１５ｂに当接した状態から平行移動するように位置規制される。つまり、この円環状エアシリンダ８０は可動弁板部５０と可動弁枠部６０との相対移動方向とその姿勢を規制することができる。

［補助バネ（第３付勢部）９０］
補助バネ９０は、中立弁部３０と可動弁枠部６０との間に設けられ、弁箱１０の流路方向ほぼ中央に位置する中立弁部３０に対して、弁体４０の厚さ寸法が縮小した際に、弁体４０を弁箱１０の中央よりに付勢するものである。
補助バネ９０は、中立弁部３０の外周位置（図２，図４では右側位置）に設けられた開口３０ａを貫通して可動弁枠部６０に接続された棒状の位置規制部６５に設けられている。補助バネ９０もメインバネ７０と同様に弾性部材（例えば、スプリング、ゴム、密閉されたエアダンパーなど）である。
補助バネ９０は、中立弁部３０開口３０ａの第１開口部１２ａ側に設けられたフランジ部３０ｂと、位置規制部６５の先端６５ａとに係止されて、可動弁枠部６０を第２開口部１２ｂ側に移動するＢ２に向かう向きに付勢されている。

補助バネ９０は、この中立弁部３０より第１開口部１２ａ側に位置する可動弁枠部６０を第２開口部１２ｂに向けて付勢して、第１開口部１２ａの周囲に位置する弁箱１０の内面１５ａに可動弁枠部６０のシール部６１が当接している場合であって、円環状エアシリンダ８０に駆動用流体である圧縮空気が供給された際に、可動弁枠部６０が第１開口部１２ａの周囲に位置する弁箱１０の内面１５ａから離間するように付勢している。

これにより、円環状エアシリンダ８０に圧縮空気が供給された際に、弁体４０が弁箱１０の流路方向ほぼ中央に向かって移動し、最終的に、弁体４０が弁箱１０の流路方向ほぼ中央に位置するように姿勢制御される。また、補助バネ９０の付勢力は、メインバネ７０の付勢力と円環状エアシリンダ８０の付勢力の差よりも遙かに小さいものとされる。つまり、弁閉状態を実現するための能動的バネあるいは、アクチュエータとしてのメインバネ７０や円環状エアシリンダ８０に比べて、弁体の厚さ寸法を変化させるものであるから極めて小さなものでよい。

このように、スライド弁１においては、閉弁動作及び開弁動作を行うアクチュエータとして、弁体４０厚さを増大する動作を行うメインバネ７０と、弁体４０厚さを縮小する動作を行う円環状エアシリンダ８０と、弁体４０を流路方向において弁箱１０中央位置側にする姿勢制御をおこなう補助バネ９０と、が設けられている。

この構成において、メインバネ７０及び円環状エアシリンダ８０は、第１シール部６１に近い可動弁部４０の周囲領域において、互いに近接するように並列に配置されている。円環状エアシリンダ８０は、可動弁板部５０と可動弁枠部６０との間に設けられた１つの円環シリンダを構成している。この構成によれば、一方向に圧縮空気第２付勢部８０に供給する供給路４１が１つ設けられていれば、圧縮空気を円環状エアシリンダ８０に沿ってこの円環シリンダの内部に供給することができ、弁体４０の厚さ寸法の伸縮（開弁動作及び閉弁動作）を行うことができるとともに、この動作中において補助バネ９０により弁体４０の伸縮に伴う弁体４０の流路方向位置を弁箱１０中央付近に容易に維持することができる。このため、簡易かつコンパクトな構成を有するアクチュエータを実現することができる。

また、円環状エアシリンダ８０は、開弁動作を行うために用いられるので、第２付勢部８０において発生する力の大きさ（出力）として、第１付勢部７０を圧縮することができる大きさ（出力）があれば十分である。

第１実施形態においては、可動弁板部５０と可動弁枠部６０とによって１つの厚さ方向寸法を可変な可動弁部４０が構成されているので、２枚の可動弁部を設ける必要がなく、簡単かつコンパクトな構造を有する可動弁部を実現することができる。

また、中立弁部３０にはアクチュエータの力、特に弁閉状態を維持するように弁体４０を密閉する際にかかる力が作用しない。このため、中立弁部３０には振り子弁として弁体を揺動するに足る強度があれば充分である。また、回転軸２０にもアクチュエータの力、特に弁閉状態を維持するように弁体４０を密閉する際にかかる力が作用しない。このため、回転軸２０振り子弁として弁体を揺動するに足る強度があれば充分である。同時に、回転軸２０に弁密閉するためのモーメントが必要なものに比べて、弁体４０の揺動機構の出力を抑えることができるので、この回転軸２０の回動機構を小型化することができる。
この構造においては、剛性として、上記中立弁部３０の強度に加えて、退避位置と弁開閉位置の間で可動弁部４０を回動させる際にその自重を支える強度があれば十分である。

図２は、可動弁板部５０と可動弁枠部６０とが互いに嵌合されている部分および中立弁部３０と可動弁板部５０とが互いに嵌合されている部分を示す拡大縦断面図であり、第１付勢部７０及びガイドピン６２が設けられた部位を示している。

［第２シール部（２重シール部）５１ａ，５１ｂ及び第３シール部（２重シール部）５２ａ，５２ｂ］
可動弁板部５０の環状凸部（突条）５０ｄの外周面には、可動弁枠部６０の環状凹部６０ｄの内周面に当接し、可動弁板部５０と可動弁枠部６０との間をシールする２重シール部として、Ｏリング等の円環状の第２シール部５１ａ，５１ｂ及び第３シール部５２ａ，５２ｂが設けられている。

具体的には、可動弁板部５０の環状凸部（突条）５０ｄの径方向外側に位置する第１外周面５０ｆに第２シール部５１ａ，５１ｂが設けられている。また、径方向において第１外周面５０ｆの内側である第２内周面５０ｇに、第３シール部５２ａ，５２ｂが設けられている。第２シール部５１ａ，５１ｂは、可動弁枠部６０の第１内周面６０ｆに当接し、第３シール部５２ａ，５２ｂは、可動弁枠部６０の第２外周面６０ｇに当接する。

第２シール部５１ａ，５１ｂは、圧力が高い空間である円環状エアシリンダ８０と、圧力が低い空間等であって第１開口部１２ａに近い中空部１１とを仕切り、仕切り状態を確保する。同様に、第３シール部５２ａ，５２ｂは、圧力が高い空間である円環状エアシリンダ８０と、圧力が低い空間等であって第２開口部１２ｂに中空部１１とを仕切り、仕切り状態を確保する。

第２シール部５１ａ，５１ｂは、駆動用の圧縮空気が供給されて圧力が高い空間である円環状エアシリンダ８０と、例えば圧力が低い空間である第１開口部１２ａに連通する第１空間側とを遮断するものであり、この仕切り状態を確保することができる。同様に、第３シール部５２ａ，５２ｂは、圧力が高い空間である円環状エアシリンダ８０と、圧力が低い空間であって第２開口部１２ｂに近い第２空間側とを仕切り、仕切り状態を確保することができる。

［ガイドピン６２］
ガイドピン６２は、可動弁枠部６０に固設されて流路方向に立設された太さ寸法均一の棒状体とされ、円環状エアシリンダ８０内を貫通し、可動弁板部５０の環状凸部（突条）５０ｄに形成された孔部５０ｈに嵌合している。
このガイドピン６２は、可動弁板部５０と可動弁枠部６０とが摺動する方向が符号Ｂ１，Ｂ２に示された方向からずれないように、かつ、可動弁板部５０と可動弁枠部６０とが摺動した際にもその姿勢が変化せずに平行移動をおこなうように、これらの位置規制を確実に誘導する。

これによって、可動弁板部５０と可動弁枠部６０とが、符号Ｂ１，Ｂ２に対して斜め方向に移動することを防止している。同時に、可動弁枠部６０は、弁閉状態としてシール部６１と反力伝達部５９とがそれぞれ弁箱１０の内面１５ａ，１５ｂに当接した状態に対して、可動弁板部５０と可動弁枠部６０との流路方向位置が変化した場合でも、これらが平行状態を維持して平行移動し、可動弁板部５０と可動弁枠部６０とが傾いてしまうことを防止している。

この構造においては、可動弁板部５０と可動弁枠部６０とが互いに位置決めされつつ、符号Ｂ１及びＢ２で示された方向に平行状態を維持したまま相対的に移動し、閉弁動作及び開弁動作を行うことができる。これによって、開弁動作においては、可動弁枠部６０に設けられた第１シール部６１に均一に押圧力を生じさせ、リークが抑制されたシール構造を実現できる。

また、このようにガイドピン６２を備えた構造においては、スライド弁１が真空装置に取り付けられる姿勢が決められていない場合、即ち、スライド弁１が取り付け方向が自由である場合に、弁体４０の重量の負荷が第２シール部５１ａ，５１ｂ及び第３シール部５２ａ，５２ｂに局所的に加わることを防止することができる。例えば、可動弁板部５０と可動弁枠部６０とが摺動する方向に対して直角に重力が作用するようにスライド弁１が取り付けられている場合、摺動する部材である可動弁板部５０と可動弁枠部６０との重量がガイドピン６２に加わる。このため、第２シール部５１ａ，５１ｂ及び第３シール部５２ａ，５２ｂ（Ｏ−ｒｉｎｇ）に可動弁板部５０と可動弁枠部６０との重量が直接的に加わることを防止される。これにより、スライド弁１が取り付けられる姿勢がいかなる姿勢であっても、シール部の寿命が短くならず、リークを防止する効果を確保・維持することができる。

ガイドピン６２と孔部５０ｈとの摺動面の面積を低減するため、また、スライド弁１の外部である第１空間及び第２空間からガイドピン６２を隔離するために、ガイドピン６２は、円環状エアシリンダ８０内を貫通するように配置されている。
また、このように、円環状エアシリンダ８０内にガイドピン６２を配置することにより、可動弁板部５０と可動弁枠部６０とを互いに滑らかに摺動させることができる。

なお、ガイドピンの強度が十分に得られていれば、大口径を有するスライド弁においても、可動弁部６０が摺動する方向がずれることが防止される。また、ガイドピン６２は、特殊な形状を有する可動弁部においても流路と直行する面内配置を設定して荷重を適宜分散することでより一層開閉動作の良好なスライド弁として適用可能である。

ガイドピン６２には、図２８に示すように、その先端と可動弁枠部６０側に形成された内部空間６２ａに連通する開口を有し、ガイドピン６２内部を貫通する軸方向経路６２ｂが設けられその基部側が、連絡路４２に接続されている。また、円筒状の内部空間６２ａは、中立弁部５の径方向内側および外側に向かう経路４２ａを介してガイドピン６２中心側に位置する中間大気室５５，５６にそれぞれ連通されている。ガイドピン６２の可動弁板部５０側となる先端側には、Ｏリング等とされるシール部材６２ｃが設けられて孔部５０ｈとの摺動面をシールしている。

［ワイパー５３，５４］
可動弁板部５０の環状凸部（突条）５０ｄの径方向外側に位置する第１外周面５０ｆには、可動弁部６０の内周面に当接する円環状のワイパー５３が設けられている。同様に、可動弁板部５０の環状凸部（突条）５０ｄの径方向において第１外周面５０ｆの内側である第２内周面５０ｇには、可動弁部６０の外周面に当接する円環状のワイパー５４が設けられている。

ワイパー５３は、第２シール部５１ａ，５１ｂと同様にして、可動弁枠部６０の第１内周面６０ｆに当接し、ワイパー５４は、第３シール部５２ａ，５２ｂと同様にして、可動弁枠部６０の第１外周面６０ｇに当接する。
ワイパー５３，５４、第２シール部５１ａ，５１ｂ、第３シール部５２ａ，５２ｂは、いずれも、可動弁板部５０の環状凸部（突条）５０ｄに配置されている。第２シール部５１ａは、第１開口部１２ａ（第１空間）に近い位置に配置されている。第３シール部５２ａは、第２開口部１２ｂ（第２空間）に近い位置に配置されている。

これらのワイパー５３，５４は、開弁動作及び閉弁動作によって環状の凹部６０ｄと環状の凸部５０ｄとが摺動する円環状エアシリンダ８０において、その可動弁枠部６０の凹部６０ｄの内周面を潤滑あるいは清掃し、上記摺動によって発生するダスト及び円環状エアシリンダ８０から発生するダストを第１空間及び第２空間に放出させない機能を有する。
また、ワイパー５３，５４を構成する部材（材料）として、例えば、スポンジ状のポーラスな弾性体を選択すれば、その部材の内部に潤滑油を浸透（保持）させておくことができる。

これにより、第２シール部５１ａ，５１ｂ及び第３シール部５２ａ，５２ｂによってシールされるシール面に一定の膜厚を有する薄い油膜が形成された状態を維持することが可能となる。つまり、ワイパー５３，５４は、余剰な油膜を拭き取り、油膜が枯渇した際には一定の膜厚を有する油膜を塗布する。

［中間大気室５５，５６］
第２シール部５１ａ，５１ｂによって仕切られた円環状エアシリンダ８０の表面には、大気圧の空間（空隙）である中間大気室５５が設けられている。同様に、第３シール部５２ａ，５２ｂによって仕切られた円環状エアシリンダ８０の表面には、大気圧の空間（空隙）である中間大気室５６が設けられている。
具体的には、可動弁板部５０の環状凸部（突条）５０ｄの外周面５０ｆで第２シール部５１ａ，５１ｂによって仕切られた部分に中間大気室５５が設けられている。また、可動弁板部５０の環状凸部（突条）５０ｄの内周面５０ｇで第３シール部５２ａ，５２ｂによって仕切られた部分に中間大気室５６が設けられている。中間大気室５５は、可動弁枠部６０の第１内周面６０ｆと可動弁板部５０の外周面５０ｆに設けられた溝とで形成された空間であり、中間大気室５６は、可動弁枠部６０の第１外周面６０ｇと可動弁板部５０の第２内周面５０ｇに設けられた溝とで形成された空間である。

そして、これらの中間大気室５５，５６は、後述する供給路４１と同様の構成とされた図示しない連絡路によってスライド弁１の外部に連通され、円環状エアシリンダ８０の加圧中に１重目のシールが破れた場合でも、圧縮空気（駆動用気体）をスライド弁外部に向けて逃がして、圧縮空気が弁箱１０内部に放出されてしまうことを防止するようになっている。

つまり、加圧状態にある円環状エアシリンダ８０に対して、１重目のシールである第２シール部５１ｂが破れた際に、２重目のシールである第２シール部５１ａより気体供給側に、駆動用気体をスライド弁外部に向けて逃がす中間大気室５５および連絡路が設けられている。また、加圧状態にある円環状エアシリンダ８０に対して、１重目のシールである第３シール部５２ｂが破れた際に、２重目のシールである第３シール部５２ａより気体供給側に、駆動用気体をスライド弁外部に向けて逃がす中間大気室５６および連絡路が設けられている。
これにより、圧縮空気が弁体１０内部に噴出して、スライド弁１内部、および、第１空間、第２空間、に悪影響を及ぼすことを防止できる。

同時にまた、これらの中間大気室５５，５６の圧力は、連絡路によりモニタ可能である。即ち、圧力計が中間大気室５５，５６の圧力を測定するようにスライド弁１外部に設けられるとともに連絡路によって接続されており、ユーザによってその圧力が監視される。
例えば、第１開口部１２ａに近い第１空間が減圧空間であり、第２シール部５１ａが破損している場合においては、中間大気室５５の圧力は、大気圧よりも低くなる。
また、圧縮空気が供給されている円環状エアシリンダ８０内の圧力は大気圧よりも高くなるため、第２シール部５１ｂが破損している場合には、中間大気室５５の圧力は、大気圧よりも高くなる。

同様に、第２開口部１２ｂに近い第２空間が減圧空間であり、第３シール部５２ａが破損している場合においては、中間大気室５６の圧力は、大気圧よりも低くなる。
また、圧縮空気が供給されている円環状エアシリンダ８０内の圧力は大気圧よりも高くなるため、第３シール部５２ｂが破損している場合には、中間大気室５６の圧力は、大気圧よりも高くなる。

このようにスライド弁１は、中間大気室５５，５６の圧力をモニタする構造を有することができるので、例えば、中間大気室５５，５６の圧力値が大気圧よりも低い圧力であって閾値の圧力よりも低い場合、あるいは大気圧よりも高い圧力であって閾値の圧力よりも高い場合に、第２シール部５１ａ，５１ｂ及び第３シール部５２ａ，５２ｂの異常を検知することができる。

例えば、と中間大気室５５，５６中あるいは連絡路にアラーム装置が設けられた構造、或いは、スライド弁１に接続された制御装置にアラーム装置が設けられた構造が採用されていれば、第２シール部５１ａ，５１ｂ及び第３シール部５２ａ，５２ｂの異常をアラームによって報知することができる。従って、第２シール部５１ａ，５１ｂ及び第３シール部５２ａ，５２ｂが破損し、内部リークがスライド弁１に発生し、メンテナンスが必要であることをすぐに認識することができる。
これにより、真空装置等の外部から検知することができない、スライド弁において発生した内部リーク等の不具合を確実に判断することができる。

［接続ピン部６９、供給路４１］
スライド弁１には、図に二点差線で示すように、円環状エアシリンダ８０に駆動用気体を供給する供給路４１が形成され、この供給路４１は、可動弁枠部６０の躯体内部、および、中立弁部３０の躯体内部、回転軸１０内部を経由して、スライド弁１の外部に設けられた図示しない駆動用気体供給手段に連通するよう設けられている。
この供給路４１には、可動弁枠部６０と中立弁部３０との流路方向位置が変化した際にも、可動弁枠部６０と中立弁部３０との間で駆動用気体を供給可能に摺動接続する接続ピン部６９が設けられる。

接続ピン部６９は、中立弁部３０に流路方向と平行に穿孔された円形断面の孔部３８と、この孔部３８に回動可能に勘合された棒状の接続ピン６８とからなっている。孔部３８の内面３８ａは、開口側の内面３８ａに比べて底部側の内面３８ｂが縮径され、これに対応して、接続ピン６８の径寸法も基部６８ａに対して先端６８ｂが縮径している。そして、この径寸法が変化する部分にそれぞれ段差３８ｃ、段差６８ｃが形成されている。

接続ピン部６９は、図に二点差線で示すように、その中心軸線付近に供給路４１が形成されて管状となっており、可動弁枠部６０内部の供給路４１が連通されている。また、接続ピン６８の先端面６８ｄａには供給路４１が開口しており、この先端面６８ｄと孔部３８の底部３８ｄ付近とで形成される加圧空間６９ａには、中立弁部３０躯体内に形成された供給路４１が連通されている。

駆動用気体供給手段から供給された圧縮空気は、中立弁部３０内部の供給路４１を介して空間６９ａに噴出し、接続ピン部６９内部の供給路４１および可動弁枠部６０内部の供給路４１を介して円環状エアシリンダ８０に供給される。

接続ピン部６９においては、接続ピン６８の外周面６８ａには孔部３８の内周面３８ａが当接するとともに、接続ピン６８の外周面６８ｂには孔部３８の内周面３８ｂが当接している。

接続ピン６８には、孔部３８内で接続ピン６８が軸線方向（流路方向）に移動した場合でも、加圧面となる先端面６８ｄと底面３８ｄとの間ではなく、摺動方向となる面に、駆動用の圧縮空気が供給されて圧力が高い空間である加圧空間６９ａと、例えば圧力が低い空間である第２開口部１ｂに連通する第２空間側とを遮断する２重シール部が設けられる。
シール部は、加圧空間６９ａと中空部１１との仕切り状態を確保できるものとされる。

具体的には、接続ピン６８には、接続ピン６８と孔部３８との間をシールする２重シール部として、Ｏリング等とこれを埋設する周設溝とされる円環状の太シール部６８ｆが設けられるとともに、Ｏリング等とこれを埋設する周設溝とされる円環状の小シール部６８ｇが外周面６８ｂに設けられている。

同時に、段差６８ｃおよび段差３８ｃで形成された円環状の中間大気室６９ｃが、この２重シールの間にあり、図示しない連絡路４２に連通されることで、圧縮空気が弁箱１０内部に噴出して、スライド弁１内部、および、第１空間、第２空間、に悪影響を及ぼすことを防止できる。

特に、加圧面となるとともにその距離が変化する先端面６８ｄと底面３８ｄとの間でシールするのではなく、直接的に加圧面とはならずかつ摺動面であり距離が変化しない外周面６８ａと内周面３８ａおよび外周面６８ｂと内周面３８ｂとの間でシールをおこなうので、より確実な密閉状態を維持することが可能となる。
このようなシール部６８ｆ、６８ｇの構成によれば、上述した円環状エアシリンダ８０における第２シール部（２重シール部）５１ａ，５１ｂ及び第３シール部（２重シール部）５２ａ，５２ｂおよびガイドピン６２の構成と同様の作用効果を奏することが可能となる。

孔部３８内で接続ピン６８が軸線方向（流路方向）に移動中あるいは移動して流路方向の相対位置が変化した場合でも、駆動用気体供給手段から供給された圧縮空気は、中立弁部３０内部の供給路４１を介して空間６９ａに噴出し、この体積の変化した空間６９ａを介して、接続ピン部６９内部の供給路４１および可動弁枠部６０内部の供給路４１を介して円環状エアシリンダ８０に安定的に供給される。

［シーケンス回路ＳＱ］
本実施形態においてスライド弁１は、図１４に示すように、供給路４１とされるＯＰＥＮポートから円環状エアシリンダ（第２付勢部）８０とメインバネ７０とからなる単動エアシリンダに中立弁体３０の厚さ収縮用の圧縮空気を供給するとともに、回転駆動エアシリンダ（駆動手段）１１０の伸張動作時に、ＯＰＥＮポートから伸通気口（供給路）１１４を介して伸圧力空間１１３ａに伸張用の圧縮空気を供給し、回転駆動エアシリンダ１１０の収縮動作時に、ＣＬＯＳＥポートから供給路（縮通気口）２２ｊを介して縮圧力空間２２ｃに収縮用の圧縮空気を供給するシーケンス回路ＳＱを有する。

シーケンス回路ＳＱは、ＯＰＥＮポートから、２チャンネル２方弁ｔｔＶ、および、チェック弁と流量調整弁とが組み合わされたスピードコントロール弁ＮＣＶ２を介して伸圧力空間１１３ａに接続される。また、シーケンス回路ＳＱは、ＯＰＥＮポートから、スピードコントロール弁ＮＣＶ１、２チャンネル２方弁ｔｔＶのエアオペレート部ｔｔＶ０、チェック弁ＣＶ３と並列にリミッタスイッチ弁ｃｄＳ、および、メンテナンススイッチｍＳＷを介して円環状エアシリンダ８０に接続され、同時に、２チャンネル２方弁ｔｔＶのエアオペレート部ｔｔＶ０に連続する流路が分岐して、チェック弁ＣＶ１を介して２チャンネル２方弁ｔｔＶおよびスピードコントロール弁ＮＣＶ２の間に接続されている。

また、シーケンス回路ＳＱは、ＣＬＯＳＥポートから、チェック弁ＣＶ２と並列に２チャンネル２方弁ｔｔＶ、および、スピードコントロール弁ＮＣＶ３を介して縮圧力空間２２ｃに接続されている。
スピードコントロール弁ＮＣＶ１は、円環状エアシリンダ８０および２チャンネル２方弁ｔｔＶのエアオペレート側ｔｔＶ０からＯＰＥＮポートに向かう側が順方向となるとともに、このスピードコントロール弁ＮＣＶ１は２チャンネル２方弁ｔｔＶにおいてｔｔＶ２からｔｔＶ１への流れと平行となるように並列接続される。
スピードコントロール弁ＮＣＶ２は、出力ＯＰ側から伸圧力空間１１３ａに向かう側が順方向となるように接続され、スピードコントロール弁ＮＣＶ３は、出力ＣＬ側から縮圧力空間２２ｃに向かう側が順方向となるように接続される。

チェック弁ＣＶ１は、出力ＯＰおよび２チャンネル２方弁ｔｔＶのｔｔＶ２側からエアオペレート側ｔｔＶ０および円環状エアシリンダ８０に向かう側が順方向となるとともに、チェック弁ＣＶ１は２チャンネル２方弁ｔｔＶにおいてｔｔＶ２からｔｔＶ１への流れと平行となるように並列接続される。
チェック弁ＣＶ２は、ＣＬＯＳＥポート側から縮圧力空間２２ｃに向かう側が順方向となるとともに、チェック弁ＣＶ２は２チャンネル２方弁ｔｔＶにおいてｔｔＶ３からｔｔＶ４への流れと平行となるように並列接続される。
チェック弁ＣＶ３は、ＯＰＥＮポート側から円環状エアシリンダ８０に向かう側が順方向となるとともに、チェック弁ＣＶ３はリミッタスイッチｃｄＳで連通した流れと平行となるように並列接続される。

円環状エアシリンダ８０とチェック弁ＣＶ３との間には、手動で円環状エアシリンダ８０を大気圧の外部Ａｉｒに接続するように切り替え可能なメンテナンススイッチｍＳＷが接続されている。このメンテナンススイッチｍＳＷにより、出力ポイントＦＲおよび入力のＯＰＥＮポートとＣＬＯＳＥポートの圧力状態がどのような状態でも、円環状エアシリンダ８０の圧力を低圧ＰＬｏ状態にすることができる。

２チャンネル２方弁ｔｔＶは、図２１に示すように、エアオペレート側ｔｔＶ０から駆動用圧縮空気を供給することで流路ｔｔＶ１と流路ｔｔＶ２とを接続・切断するとともに、同時に、流路ｔｔＶ３と流路ｔｔＶ４とを接続・切断するよう構成されている。このため、流路ｔｔＶ１と流路ｔｔＶ２と流路ｔｔＶ３と流路ｔｔＶ４とが貫通するように形成されたシリンダ状のケースｔｔＶ９に、摺動可能な弁体ｔｔＶ５が挿入されて、バネｔｔＶ８等の付勢手段により、エアオペレート側ｔｔＶ０に付勢されている。弁体ｔｔＶ５には、その表面に流路溝ｔｔＶ６，ｔｔＶ７が形成されて、弁体ｔｔＶ５の軸線に沿った摺動位置により、流路ｔｔＶ１と流路ｔｔＶ２とを接続・切断可能とされるとともに、流路ｔｔＶ３と流路ｔｔＶ４とを接続・切断可能とされる。また、ケースｔｔＶ９のエアオペレート側ｔｔＶ０と逆側には、バネｔｔＶ８の付勢力を受けるとともに、図に矢印で示す軸線方向位置を調整可能に設定できる調整部材ｔｔＶａが設けられ、図示しない固定手段によってこの調整部材ｔｔＶａをケースｔｔＶ９に固定する軸線方向位置を調節することで、バネｔｔＶ８付勢力が変化し、エアオペレート側ｔｔＶ０から供給する圧力において、チャンネル接続・切断の閾値を調節させることができる。

チェック弁ＣＶ１、ＣＶ２，ＣＶ３は、図２２〜２４に符号ＣＶで示すように、流路ＣＶａから流路ＣＶｂには圧縮空気を流し、逆方向には流さない逆止弁である。チェック弁ＣＶは、流路となるハウジングＣＶｃに形成された凹部ＣＶｄと、この凹部ＣＶｄに挿入される有底円筒状のケースＣＶＷと、ケース（ボールガイド）ＣＶＷ内部に設けられた弁体となるボールＣＶＢと、ボールＣＶＢを流路ＣＶａ側に付勢するバネＣＶＳとケースＣＶＷと凹部ＣＶｄとの間をシールするシール部材ＣＶｒとからなる。

チェック弁ＣＶのケースＣＶＷの外周面には、凹部ＣＶｄの開口部分に二重のフランジＣＶｅが形成されて、これらの内側に位置するリング状シール部材ＣＶｒによって密閉される。ケースＣＶＷは、凹部ＣＶｄの内側部分においては、凹部ＣＶｄ内表面とケースＣＶＷ外周面とは接触していない部分を有するように外径寸法が設定される。

また、ボールＣＶＢの外径よりもケースＣＶＷ内径は大きく、ケースＣＶＷ内表面とボールＣＶＢ外周面とは常に接触していない部分を有する。
ケースＣＶＷ内周面には、図２２〜２４に示すように、中心軸線に向けて突出する３枚のフィン（ボールガイド）ＣＶｆが形成され、このフィンＣＶｆの中心軸側端面ＣＶｆ１がボールＣＶＢ外周面と常に接触している部分を有し、これにより、ボールＣＶＢのケースＣＶＷ内での移動位置を規制している。ケースＣＶＷには、周方向でフィンＣＶｆどうしの間となる位置に、貫通孔ＣＶｇが形成されてケースＣＶＷ内外を連通状態としている。

ケースＣＶＷは、流路ＣＶａ側に開口する状態で配置され、軸線方向にほぼ同径寸法となるように配置されるフィンＣＶｆの端面ＣＶｆ１により、ボールＣＶＷの移動方向が軸線方向に記載され、軸線方向の移動位置規制は、ケースＣＶＷの開口側で弁座となるテーパ部ＣＶａａおよび、ケースＣＶＷ底部側となるフィンＣＶｆの端面ＣＶｆ１が基端部側で縮径した箇所でおこなう。

ボールＣＶＢは、バネＣＶＳにより流路ＣＶａ側に付勢されて、流路ＣＶａに形成されたテーパ部ＣＶａａに押圧されることで密着し、流路ＣＶｂから流路ＣＶａに圧縮空気を流さない状態となる。流路ＣＶａから加圧され、バネＣＶＳの付勢力に打ち勝ってボールＣＶＢをテーパ部ＣＶａａから離間させると流路ＣＶａから流路ＣＶｂには圧縮空気が流れる。また、バネＣＶＳ側のフィンＣＶｆが軸線側に突出することで、ボールＣＶＢの移動位置を規制している。

この際、ケースＣＶＷ内周面にフィンＣＶｆが形成されていることにより、ケースＣＶＷ内表面とボールＣＶＢ外周面とは常に接触していない部分、つまり、軸線方向におけるボールＣＶＢの位置にかかわらず、ケースＣＶＷ内表面とボールＣＶＢ外周面との間で流路断面となる空間が存在している。このため、バネＣＶＳの付勢力と流路ＣＶａからの圧力で決まるどのような位置にボールＣＶＢがあったとしても、ケースＣＶＷ内表面とボールＣＶＢ外周面との間で決まる流路断面の大きさは変化しない。
同時に、流路ＣＶａから閉塞するテーパ部ＣＶａａとボールＣＶＢ、ボールＣＶＢとケースＣＶＷ内周面、貫通孔ＣＶｇ、ＣＶＷ外周面と凹部ＣＶｄの内面、流路ＣＶｂとして形成される流れが、ボールＣＶＢの位置にかかわらず安定している。

これにより、大流量あるいは、高流速で圧縮流体を流した場合でも、ケースＣＶＷ内表面とボールＣＶＢ外周面との間などで発生する流速変化により、ボールＣＶＢとテーパ部ＣＶａａとの位置が変動して、流量、流速が変動することがない。特に、ボールＣＶＢがテーパ部ＣＶａａに対して振動し、流量、流速が周期的に変動してしまうことを防止できる。

したがって、大流量あるいは、高流速で圧縮流体を流すことが可能となるため、円環状エアシリンダ８０および回転駆動エアシリンダ１１０の伸縮動作における出力を増大し、スライド弁１としての動作を高速化することができる。

次に、シーケンス回路ＳＱにおける圧力状態および、エアオペレート状態を説明する。

図１５は、駆動用の圧縮空気入力２系統と、出力３系統における圧力状態の変化を示すものである。ここで、ＯＰＥＮポート、ＣＬＯＳＥポート、ＦＲ，ＯＰ，ＣＬの各点は、図１４に示す各点に対応する。図１６〜図２０は、シーケンス回路ＳＱにおける圧力状態を示すものであり、太線が高圧ＰＨｉ状態を示し、細線が低圧ＰＬｏ状態を示すとともに、二点差線は、実際の構成に対応する回路ブロックを示している。

まず、スライド弁１が閉塞密閉している弁閉の状態を始状態とする。
このとき、中立弁部３０は弁閉位置Ｅ２（図１）にあり、かつ可動弁部４０の厚さが最大となっている。

閉状態において、圧力状態としては、図１５で丸数字１で示すように、入力側では、圧縮空気を供給する駆動用２系統の入力のうち、弁開動作をおこなうためのＯＰＥＮポートには、圧縮空気は供給されずほぼ大気圧と同じ低圧ＰＬｏ状態であり、弁閉動作をおこなうためのＣＬＯＳＥポートには、圧縮空気が供給されて動作する高圧ＰＨｉ状態とされる。また、出力側では、円環状エアシリンダ（第２付勢部）８０を動作させる出力ポイントＦＲではほぼ大気圧と同じ低圧ＰＬｏ状態、回転駆動エアシリンダ１１０の伸圧力空間１１３ａを加圧する点ＯＰではほぼ大気圧と同じ低圧ＰＬｏ状態、回転駆動エアシリンダ１１０の縮圧力空間２２ｃを加圧する点ＣＬでは圧縮空気が供給されて動作する高圧ＰＨｉ状態とされる。

同時に、図１６に示すように、２チャンネル２方弁ｔｔＶのエアオペレート側ｔｔＶ０も大気圧であるため、バネｔｔＶ８による付勢力により図２１の右方向に弁体が位置し、流路ｔｔＶ１と流路ｔｔＶ２、および、流路ｔｔＶ３と流路ｔｔＶ４がいずれも切断状態となっている。これにより、ＣＬＯＳＥポート、チェック弁ＣＶ２、出力ポイントＣＬ、スピードコントロール弁ＮＣＶ３が高圧ＰＨｉ状態として連続することになり、縮圧力空間２２ｃが加圧されて、回転駆動エアシリンダ１１０ではピストン１１２が縮位置Ｐｂにある。
同時に、リミットスイッチｃｄＳはピストン１１２が接触して連通状態となっている。

次に、開動作として弁開のコマンドがｏｎになったタイミングで、圧力状態としては、図１５で丸数字２で示すように、入力側では、ＯＰＥＮポートには圧縮空気が供給されて動作する高圧ＰＨｉ状態となり、ＣＬＯＳＥポートには圧縮空気は供給されずほぼ大気圧同じ低圧ＰＬｏ状態となるように切り替えられる。
これに伴って、図１７に示すように、ＯＰＥＮポート、２チャンネル２方弁ｔｔＶのエアオペレート側ｔｔＶ０、チェック弁ＣＶ１まで、および、チェック弁ＣＶ３、リミットスイッチｃｄＳ、出力ポイントＦＲが加圧状態となり、図１５で丸数字２で示すように、これらの回路の部分における圧力が上昇してゆく。
なお、この出力ポイントＦＲにおける圧力は、円環状エアシリンダ８０の圧力をほぼ等しいと見なすことができる。

この際、円環状エアシリンダ８０の圧力上昇に伴って、可動弁板部５０がＢ１方向に可動弁枠部６０がＢ２方向に摺動することで、可動弁部４０の厚さ方向寸法が縮小して、閉塞解除状態へと動作する。
この際、可動弁部４０の回動動作は開始しないで、弁閉位置（解除位置）Ｅ２を維持する。

同時に、図１７に示すように、２チャンネル２方弁ｔｔＶが切断された状態であり、また、チェック弁ＣＶ１のために、流路ｔｔＶ２、出力ポイントＯＰ、スピードコントロール弁ＮＣＶ２、伸圧力空間１１３ａは、ほぼ大気圧と同じ低圧ＰＬｏ状態となる。同時に、２チャンネル２方弁ｔｔＶが切断された状態であり、また、チェック弁ＣＶ２のために圧力が抜けず、出力ポイントＣＬ、スピードコントロール弁ＮＣＶ３、縮圧力空間２２ｃは、高圧ＰＨｉ状態を維持している。
同時に、リミットスイッチｃｄＳはピストン１１２が接触して連通状態となっている。

ＯＰＥＮポートからの圧縮空気の供給が所定量となり、円環状エアシリンダ８０がメインバネ７０の付勢力に打ち勝って、ＯＰＥＮポート、２チャンネル２方弁ｔｔＶのエアオペレート側ｔｔＶ０、チェック弁ＣＶ１まで、および、チェック弁ＣＶ３、リミットスイッチｃｄＳ、出力ポイントＦＲ、円環状エアシリンダ８０の圧力が所定の閾値Ｐｔｈを超えると、図１５で丸数字３で示すように、２チャンネル２方弁ｔｔＶのエアオペレート側ｔｔＶ０の圧力が高くなり、バネｔｔＶ８の付勢力に対抗して弁体ｔｔＶ５が移動して図２１（ｂ）に示す連通状態となる。

これにより、ＣＬＯＳＥポートから、２チャンネル２方弁ｔｔＶにおいてｔｔＶ４からｔｔＶ３への流れ、出力ポイントＣＬ、スピードコントロール弁ＮＣＶ３、縮圧力空間２２ｃが連通して、縮圧力空間２２ｃが減圧される。同時に、ＯＰＥＮポートから、２チャンネル２方弁ｔｔＶにおいてｔｔＶ１からｔｔＶ２への流れ、出力ポイントＯＰ、伸圧力空間１１３ａが連通し、伸圧力空間１１３ａが加圧される。
その結果、回転駆動エアシリンダ１１０では、ピストン１１２が縮位置Ｐｂから伸位置Ｐａ側に向けて移動し、ピストン１１２が非接触となったリミットスイッチｃｄＳが切断状態となる。これにより、チェック弁ＣＶにより円環状エアシリンダ８０は加圧状態を維持する。

この際、縮圧力空間２２ｃの減圧、伸圧力空間１１３ａの加圧によるピストン１１２の移動に従って、回転軸２０および中立弁体５が回動して、可動弁部４０は弁閉位置（閉塞解除位置）Ｅ２（図１）から、退避位置Ｅ１（図１）に向けて回転動作する。
ここで、中立弁部３０の回転動作中、つまり、ピストン１１２が縮位置Ｐｂから移動している間は、円環状エアシリンダ８０は加圧状態であるため、可動弁部４０の厚さ方向寸法が縮小した状態を維持する。
このように、スライド弁１の開動作が終了すると、図１５に丸数字３ダッシュで示すように、弁開の状態を維持する。

なお、円環状エアシリンダ８０の圧力閾値Ｐｔｈとしては、弁体４０の厚さ方向寸法が縮小動作が終了する状態で、なおかつ、高圧ＰＨｉ状態以下であればよい。つまり、弁体４０の厚さ縮小動作終了後に回転軸２０の回転動作をおこなうという動作順を維持可能で、かつ、回転軸２０の回転速度（回転）が、スライド弁１において要求される俊敏さを維持できる値となるように、
ＰＬｏ ＜ Ｐｔｈ ＜ ＰＨｉ
であればよく、さらに、回転軸２０の回転が３０°／ｓｅｃ（±１割）の場合に、
３ ＜ Ｐｔｈ／ＰＬｏ ＜ ５
０．５ ＜ （ＰＨｉ−Ｐｔｈ）／ＰＬｏ ＜ ４
とすることができる。この圧力閾値Ｐｔｈ設定は、２チャンネル２方弁ｔｔＶにおいて、簡便にはバネｔｔＶ８の付勢力を調節部材ｔｔＶａの固定位置によって調節することでおこなう。具体的には、これらの値を絶対圧表記として、ＰＬｏ＝１．０ｋｇｆ／ｃｍ^２（９８．１ｋＰａ）、Ｐｔｈ＝３．０〜５．０ｋｇｆ／ｃｍ^２（２９４．２〜４９０．３ｋＰａ）、ＰＨｉ＝５．５〜７．０ｋｇｆ／ｃｍ^２（５３９．４〜６８６．５ｋＰａ）、とすることができるが、これらの数値は、弁のサイズ、開閉速度の設定などによって変動させることができる。

次に、開状態からの閉動作を説明する。

閉動作として弁閉のコマンドがｏｎになったタイミングで、圧力状態としては、図１５に丸数字４で示すように、入力側では、ＣＬＯＳＥポートには圧縮空気が供給されて動作する高圧ＰＨｉ状態となり、ＯＰＥＮポートには圧縮空気は供給されずほぼ大気圧同じ低圧ＰＬｏ状態となるように切り替えられる。

これに伴って、図１９に示すように、ＣＬＯＳＥポート、チェック弁ＣＶ２、出力ポイントＣＬ、スピードコントロール弁ＮＣＶ３が高圧ＰＨｉ状態として連続することになり、縮圧力空間２２ｃが加圧されて、回転駆動エアシリンダ１１０ではピストン１１２が伸位置Ｐａから縮位置Ｐｂに移動し始める。このタイミングでは、リミットスイッチｃｄＳはピストン１１２が非接触で切断状態となっている。
同時に、ＯＰＥＮポートからの減圧により、ＯＰＥＮポート、２チャンネル２方弁ｔｔＶのエアオペレート側ｔｔＶ０、チェック弁ＣＶ１、２チャンネル２方弁ｔｔＶにおいてｔｔＶ２からｔｔＶ１への流れ、出力ポイントＯＰ、伸圧力空間１１３ａが連通し、伸圧力空間１１３ａが減圧される。
すると、２チャンネル２方弁ｔｔＶのエアオペレート側ｔｔＶ０の圧力が所定の閾値Ｐｔｈより低くなると、バネｔｔＶ８の付勢力に対抗して弁体ｔｔＶ５が移動して図２１（ａ）に示す切断状態となる。

同時に、開状態において、加圧状態であった円環状エアシリンダ８０側では、リミットスイッチｃｄＳが切断された状態であり、かつ、チェック弁ＣＶ３のために圧力が抜けず、出力ポイントＦＲ、円環状エアシリンダ８０は、高圧ＰＨｉ状態を維持している。
これにより、回転駆動エアシリンダ１１０において伸圧力空間１１３ａの減圧、縮圧力空間２２ｃの加圧により、ピストン１１２が伸位置Ｐａから縮位置Ｐｂに向けて移動し始める。同時に、可動弁部４０は退避位置Ｅ１（図１）から弁閉位置（閉塞解除位置）Ｅ２（図１）に向けて回転動作する。この際、可動弁部４０の厚さ方向寸法が縮小した状態を維持する。

可動弁部４０の回転動作が終了して弁閉位置（閉塞解除位置）Ｅ２に到達すると、同時に、回転駆動エアシリンダ１１０において、ピストン１１２が縮位置Ｐｂに到達する。これにより、ピストン１１２がリミッタスイッチｃｄＳに接触して、リミッタスイッチｃｄＳが連通状態になる。
これにより、圧力状態としては、図１５で丸数字５で示すように、円環状エアシリンダ８０および出力ポイントＦＲがＯＰＥＮポートと連通して減圧される。
この際、メインバネ７０の付勢力により円環状エアシリンダ８０の圧力下降に伴って、可動弁板部５０がＢ２方向に可動弁枠部６０がＢ１方向に摺動することで、可動弁部４０の厚さ方向寸法が拡大して、閉塞状態へと動作する。
図１９に示すように、出力側では、円環状エアシリンダ（第２付勢部）８０を動作させる出力ポイントＦＲがほぼ大気圧と同じ低圧ＰＬｏ状態となり、閉状態となる。

以上のように、ＯＰＥＮポートとＣＬＯＳＥポートとの２ポートとされた入力に対し、ＦＲ，ＯＰ，ＣＬの３出力ポイントにおいて、圧力状態を電気的な機構を用いずに制御可能とするとともに、これらの圧力変化順を設定して、閉塞位置、閉塞解除位置、退避位置の状態を順番に実現することにより、スライド弁１の動作を迅速、かつ、安全におこなうことが可能となる。

上記のシーケンス回路ＳＱを有することにより、可動弁部４０の回転移動動作、可動弁部４０の昇降動作（閉塞・解除動作）の２回の独立した動作を有し、しかも、回動動作は複動式エアシリンダ１１０、昇降動作は単動式エアシリンダ８０で行うスライド弁１において、これら移動動作・昇降動作を連動させることが可能となる。可動弁部４０の移動動作および昇降動作をいずれも電気的な制御で行わず、機械的な制御で行うことができるので、停電時の異常動作等を防止することが容易に可能となる。

１チャンネル２方弁を２個使う場合と比較して、２チャンネル２方弁ｔｔＶとすることで、弁の動作タイミングを正確に合わせることが可能となり、シーケンスを正確に実現できる。
回路形成体を、分割することで、シリンダの変更、３位置シリンダ制御用回路に変更する場合においても、ブロック１を共用することが可能となり、コスト低減効果を得られる。

メンテナンススイッチｍＳＷにより、円環状エアシリンダ８０への圧空供給を遮断する操作が可能となり、回転駆動エアシリンダ１１０への圧空供給を保持したまま、円環状エアシリンダ８０の脱着作業が可能となる。
チェック弁ＣＶにおいて、ケース（ボールガイド）ＣＶＷの内周面および外周面が流路となるようにフィンＣＶｆおよび貫通孔ＣＶｇを形成することで、ボールＣＶＢが弁座となるテーパ部ＣＶａａに吸い寄せられることを防止することを可能とし、これにより、圧縮空気の供給流量を増加させ、回転駆動エアシリンダ１１０の動作時間を短縮して、スライド弁１の開閉動作時間を短縮することができる。

なお、メンテナンススイッチｍＳＷは、次に説明する締結ボルト４３とともにメンテナンス時に使用することができる。

［締結ボルト（締結部材）４３］
締結ボルト（締結部材）４３は、図３６に示すように、外周面に雄ネジの設けられた先端部分４３ａが可動弁枠部６０に設けられた締結螺着部６３に設けられたネジ穴６３ａに螺接されている。締結ボルト４３は、可動弁体４０の厚さ方向、つまり、可動弁板部５０と可動弁枠部６０との移動方向であるＢ１方向またはＢ２方向と平行な方向に軸線が向くように設けられている。

締結ボルト４３の中央部分４３ｂは、先端部分４３ａと略同径とされ、可動弁板部５０に設けられた締結螺着部６３に設けられた貫通孔５７ｂに軸方向移動可能として貫通されている。中央部分４３ｂの径寸法は貫通孔５７ｂの径寸法よりも小さく設定され、これらが軸方向に相対移動した場合でも互いに接触しないようになっている。
締結ボルト４３の基端部分４３ｃには、先端部分４３ａおよび中央部分４３ｂよりも拡径したボルトヘッドとされ、先端部分４３ａ側の当接面４３ｄが、対向する締結部５７における貫通孔５７ｂ外側の当接面５７ｄと当接して、締結ボルト４３と可動弁板部５０との流路方向変動位置を規制可能になっている。

締結ボルト４３には、先端部分４３ａの雄ネジが螺設された部分より先端位置に、係止用溝４３ｅが周設されて、この係止用溝４３ｅに勘合されたワッシャ等の止め輪（係止部材）４３ｆが、ネジ穴６３ａの外側面６３ｆに当接することで締結ボルト４３の軸方向（流路方向）における内側方向（図示下方向）の移動を規制し、締結ボルト４３を回転させても可動弁枠部６位から離脱しないように係止している。
止め輪（係止部材）４３ｆは、締結ボルト（締結部材）４３が単純に外れないだけではなく、可動弁板部５０と可動弁枠部６０と締結解除した状態で、締結ボルト４３が、長期的に緩みなく、かつ、位置を保持していることを可能とする。つまり止め輪（係止部材）４３ｆが締付軸力を安定的に負担する必要があるため、図３８（ａ）に示すように、Ｅ形止め輪とされるか、あるいは、図３８（ｂ）に示すように、Ｃ型止め輪を適用することが好ましい。なお、止め輪のタイプによって係止用溝４３ｅの形状も対応したものとされる。また、係止部材としては、ピン型のものも適応可能で、この場合は、係止用溝４３ｅに代えて締結ボルト４３の径方向に設けられた係止孔に固定されることができる。

締結ボルト４３の長さは、止め輪４３ｆが外側面６３ｆに当接した状態で、可動弁部４０が最大厚さとなっても、先端部分４３ａ側の当接面４３ｄが、対向する締結部５７における貫通孔５７ｂ外側の当接面５７ｄと当接しない程度に長く設定されている。また、可動弁部４０が最小厚さとなった場合には、締結螺着部６３と締結螺着部６３との対向する当接面６３ｇと、当接面５７ｇとが当接することで、可動弁板部５０と可動弁枠部６０との位置規制がおこなわれる。つまり、螺接された締結ボルト４３に対して、可動弁板部５０は、Ｂ１方向には当接面５７ｇが当接面６３ｇに当接する位置まで、また、Ｂ２方向には当接面５７ｄが当接面４３ｄに当接する位置まで移動可能となる。

したがって、締結ボルト４３をネジ穴６３ａに対して回転し、締結長さを変化することで、可動弁板部５０の移動範囲、つまり、可動弁板部５０と可動弁枠部６０との流路方向位置を規制することができる。特に、エアシリンダ８０によって、メインバネ７０の付勢力に打ち勝って可動弁部４０の厚さが縮小した状態で、当接面５７ｄが当接面４３ｄに当接するように、締結ボルトを回動させることにより、エアシリンダ８０の駆動を停止した状態でも、可動弁部４０の厚さが縮小した状態を維持することが可能となる。これにより、メンテナンス時などに、中立弁体を弁箱１０と接触しないように自由な状態で回動可能とすることができる。

また、締結ボルト４３は、複数設けられたメインバネ７０の付勢力に打ち勝って安定的に可動弁部４０の厚さが縮小した状態を維持するために、可動弁部４０を流路方向に平面視して、複数のメインバネ７０が配置された中心位置に対して、この締結ボルト４３が対称に配置される。
具体的には、図３７に示すように、可動弁部４０が流路方向に平面視して略円形とされ、可動弁部４０の最外周である第１周囲領域４０ａに複数のメインバネ７０が同心状に位置するように配置された場合、締結ボルト４３は、メインバネ７０と同心状にかつ、メインバネ７０と等間隔になるように、メインバネ７０と同数設けられる。

一例として、図３７（ａ）には、メインバネ７０と締結ボルト４３とがメインバネとが４本ずつ配置された例を、図３７（ｂ）には、メインバネ７０と締結ボルト４３とがメインバネとが３本ずつ配置された例を示す。また、図３７（ｃ）には、６本のメインバネ７０が同心状に配置され、締結ボルト４３と中心に設けられた例を示す。
なお、これらの例はメインバネ７０の付勢力が全て等しいものとして例示したが、複数のメインバネの付勢力が不均等である場合には、これらの付勢力を効率よく受けて、可動弁部４０の厚み寸法の縮小幅が、中立弁体面方向全体で等しくなるように締結ボルトを設けることが好ましい。

これにより、常にメインバネ７０の付勢力が働いている可動弁部４０に対してその厚さを縮小する冶具を別途用意することなく、中立弁部３０と可動弁部４０とからなる中立弁体の取り外しを可能とすることができる。
さらに、止め輪４３ｆを設けることで、メンテナンス時に、締結ボルト４３を取り外した上で紛失してしまうリスクを排除することができる。

以上のように、第１実施形態においては、流路方向に互いに離間接近可能な可動弁板部５０と可動弁枠部６０とによって構成された可動弁部４０が設けられ、可動弁部４０には、可動弁板部５０と可動弁枠部６０とを流路方向外側に向けて付勢するメインバネ７０が設けられ、可動弁部４０には、可動弁板部５０と可動弁枠部６０とを中空部１１の流路方向中央位置側に向けて移動させる円環状エアシリンダ８０が設けられ、可動弁枠部６０を中立弁部３０に接近する方向に付勢する補助バネ９０が設けられることによって、可動弁板部５０と可動弁枠部６０とを弁箱の内面１５ａ、１５ｂに押圧して、シール部６１及び反力伝達部５９とで確実に弁閉塞をおこなうことができる。

また、可動弁板部５０と可動弁枠部６０とを中空部１１の流路方向中央位置側に向けて移動させることで、弁箱１０に弁体４０が接触しないようにして回動させ、回動以外の動作が必要な機構に比べて小型で出力の小さい駆動機構によって退避位置まで弁体４０を移動することができる。

この構成においては、１つの可動弁部４０と３つの付勢部７０，８０，９０とによって弁体を形成することができる。また、可動弁部４０の周囲領域に配置されたメインバネ７０の復元力によって可動弁板部５０と可動弁枠部６０とを弁箱１０の内面に直接押し付けて、確実に閉弁できる。同様に、可動弁部４０の周囲領域に配置された円環状エアシリンダ８０に供給された圧縮空気の作用によって可動弁板部５０と可動弁枠部６０とを弁箱１０の内面から離間させて、確実に回動可能状態として開弁できる。従って、第１実施形態においては、簡単な構造を有し、高い信頼性で仕切り動作を行うことができるスライド弁を実現することができる。

＜他の実施形態＞
上述した本発明の実施形態においては、可動弁板部５０の外周にＵ字形状のＵ字部が形成されており、可動弁枠部６０の内周に逆Ｕ字形状の逆Ｕ字部が形成されている。また、可動弁板部５０のＵ字部と可動弁枠部６０の逆Ｕ字部とが互いに嵌合するように、可動弁板部５０及び可動弁枠部６０が設けられている。
図２９は、本発明の他の実施形態におけるスライド弁の構成を示す縦断面図であり、固定弁部と可動弁部とが嵌合されているシリンダ付近の要部拡大図である。
図２９において、図１ないし図６に示した第１実施形態と同一の部材には同一符号を付して、その説明は省略または簡略化する。
一方、他の実施形態の可動弁部４０の構造においては、図２９に示すように可動弁板部５０の外周に形成された外周クランク部と可動弁枠部６０の内周に形成された内周クランク部とが嵌合されている。

メインバネ７０を構成する弾性部材の自然長は、凹部６０ａの深さよりも大きい。このため、凹部６０ａの天井面と可動弁板部５０とによって圧縮されつつ凹部６０ａ内に配置されている第１付勢部７０においては、弾性復元力（延伸力，付勢力）が生じている。この弾性復元力が作用することにより、可動弁部６０がＢ１方向に摺動しながら、第１シール部６１が弁箱１０の内面に当接して押圧され、閉弁動作が行われる。

メインバネ７０は、第１シール部６１を直接押圧できるようにするために、第１シール部６１の直下に配置されることが望ましい。
本実施形態においては、メインバネ７０が可動弁枠部６０に設けられているので、メインバネ７０を第１シール部６１の直下に位置させることが可能である。

このような他の実施形態においては、閉弁動作及び開弁動作を行うアクチュエータとして、閉弁動作を行うメインバネ７０と、開弁動作を行う円環状エアシリンダ８０とが設けられている。この構成において、メインバネ７０及びエアシリンダ８０は、第１シール部６１に近い可動弁部４０の周囲領域において、互いに近接するように並列に配置されている。
具体的には、可動弁部４０の最外周である第１周囲領域４０ａにメインバネ７０が設けられ、第１周囲領域４０ａに隣接した第２周囲領域４０ｂにはエアシリンダ８０が配置される。また、メインバネ７０は、第１シール部６１の直下に位置している。

この構造においては、メインバネ７０は第１シール部６１を直接押圧することができ、第１シール部６１にほぼ垂直方向に荷重を直接加えることができる。
つまり、スライド弁１００の構造は、作用点及び支点が存在するモーメント荷重を加える構造ではない。このため、梃子に相当する部分の構造部材（強度）は必要なく、アクチュエータの構造を簡易化することができる。また、可動弁部６０に要求される剛性として、可動弁部６０の自重を支えることができる強度があれば十分である。

本実施形態の構造においては、可動弁枠部６０の第１シール部６１の直下にメインバネ７０が配置され、可動弁板部５０と可動弁枠部６０との間に設けられた１つの円環状エアシリンダによって第２付勢部（エアシリンダ）８０が形成されている。この構造においては、アクチュエータの構成も簡単にすることにでき、閉弁動作及び開弁動作の信頼性を向上させることができる。
また、このように可動弁部４０の周囲領域にアクチュエータが配置された構成が大口径を有するスライド弁に適用された場合であっても、上述した同様の構造によって確実に閉弁動作及び開弁動作を行うことができ、逆圧が作用した場合においても同様の動作ができる。

この他の実施形態においては、第３シール部５２ｂ，中間大気室５６，第３シール部５２ａ，及びワイパー５４の位置が、上記の実施形態とは異なっている。
具体的に、上記の実施形態においては、第１外周面５０ｆとは反対の面である内側面５０ｇに第３シール部５２ｂ，中間大気室５６，第３シール部５２ａ，及びワイパー５４が設けられているが、第２実施形態においては、第２外周面５０ｊに第３シール部５２ｂ，中間大気室５６，第３シール部５２ａ，及びワイパー５４が設けられている。

可動弁板部５０の外周クランク部において、径方向外側に位置する第１外周面５０ｆに第２シール部５１ａ，５１ｂ、ワイパー５３が設けられている。また、径方向において第１外周面５０ｆの内側であって第２シール部５１ａ，５１ｂの下方に位置する第２外周面５０ｊに、第３シール部５２ａ，５２ｂ、ワイパー５４が設けられている。第２シール部５１ａ，５１ｂは、可動弁枠部６０の第１内周面６０ｊに当接し、第３シール部５２ａ，５２ｂは、可動弁部６０の第１内周面６０ｊの下方に位置する第２内周面６０ｋに当接する。

第２シール部５１ａ，５１ｂ、ワイパー５３、中間大気室５５は、圧力が高い空間であるエアシリンダ８０と、圧力が低い空間等であって第１開口部１２ａに近い第１空間とを仕切り、仕切り状態を確保する。同様に、第３シール部５２ａ，５２ｂ、ワイパー５４、中間大気室５６は、圧力が高い空間であるエアシリンダ８０と、圧力が低い空間等であって第２開口部１２ｂに近い第２空間とを仕切り、仕切り状態を確保する。

これらのワイパー５３，５４は、開弁動作及び閉弁動作によって摺動する可動弁枠部６０の内周面を潤滑あるいは清掃し、上記摺動によって発生するダスト及びエアシリンダ８０から発生するダストを第１空間及び第２空間に放出させない機能を有する。
また、ワイパー５３，５４の内部に潤滑油を浸透（保持）させておくことができる。
これにより、第２シール部５１ａ，５１ｂ及び第３シール部５２ａ，５２ｂによってシールされるシール面に一定の膜厚を有する薄い油膜が形成された状態を維持することが可能となる。つまり、ワイパー５３，５４は、余剰な油膜を拭き取り、油膜が枯渇した際には一定の膜厚を有する油膜を塗布する。

以上のように、この実施形態によれば、上述した実施形態と同様の効果が得られる。更に、この実施形態においては、閉弁動作を行うメインバネ７０と、開弁動作を行うエアシリンダ８０とを、第１シール部６１に近い可動弁部４０の周囲領域に配置しているので、弁箱１０にアクチュエータを設ける必要がなく、簡単な構成を有するスライド弁を実現できる。

図２７は、本発明の他の実施形態のスライド弁における縦断面図であり、中立弁部と可動弁部（可動弁枠部）とが接続されている接続ピン部付近の要部拡大図である。
図２７において、図１ないし図６に示した第１実施形態と同一の部材には同一符号を付して、その説明は省略または簡略化する。

第１実施形態においては、接続ピン部６９として、可動弁枠部６０と一体とされた接続ピン６８が形成されていたが、本実施形態の接続ピン部６９としては、可動弁枠部６０に接続されたフローティングピン（接続ピン）６８Ａが貫通孔６７に勘合されている。
フローティングピン６８Ａは、図８に示すように、孔部３８に回動可能かつ軸方向に摺動可能として勘合されている図示下部側が、上述した第１実施形態と略同等の構成とされている。

［接続ピン部６９、フローティングピン６８Ａ、供給路４１］
本実施形態の接続ピン部６９は、供給路４１として設けられたもので、図２７に示すように、可動弁枠部６０に流路方向と平行に穿孔された円形断面の貫通孔６７を有し、この貫通孔６７にフランジ部６８Ａａを有する棒状のフローティングピン６８Ａが回動可能かつ半径方向に微動可能で、かつ傾斜は最小限になる様に勘合されている。貫通孔６７の内面６７ａは、フランジ部６８Ａａの径寸法に対応して可動弁枠部６０に対向した孔部３８よりも拡径したフランジ内面６７ａを有し、この開口側のフランジ内面６７ａに比べて図示上となる貫通側のガス接続位置内面３８ｂが縮径され、このガス接続位置内面６７ｂに比べて図示上となる貫通側の支持位置内面６７ｃが縮径され、この支持位置内面６７ｃに比べて図示上となる貫通側の外側内面６７ｄが拡径されている。

フローティングピン６８Ａは、その径寸法がこの貫通孔６７の径寸法に対応して、フランジ部６８Ａａに対して縮径したガス接続部６８Ａｂが縮径し、ガス接続部６８Ａｂに対して固定端６８Ａｃが縮径している。
固定端６８Ａｃには、固定溝６８Ａｄが周設されて、この固定溝６８Ａｄに勘合されたワッシャ等の固定部材６８Ａｅが、貫通孔６７の外側面６７ｅに当接することでフローティングピン６８Ａの軸方向（流路方向）における内側方向（図示下方向）の移動を規制し位置を固定している。
フランジ部６８Ａａの上側となるシール面６８Ａｆと、ガス接続部６８Ａｂの上側となるシール面６８Ａｇは、対向する段差面６７ｆおよび段差面６７ｇとの間に、Ｏリング等とされるシール部材６７ｈ、６７ｊが設けられている。

フローティングピン６８Ａの外径寸法として、固定端６８Ａｃは支持位置内面６７ｃの内径寸法とほぼ等しく設定されているが、フランジ部６８Ａａおよびガス接続部６８Ａｂは、それぞれ、フランジ内面６７ａおよびガス接続位置内面３８ｂに対して、微少寸法小さく設定されて、フローティングピン６８Ａが可動弁枠部６０に対して径方向に僅かに遊びがある状態とされている。傾斜すると、シール部材６７ｈの潰し代が変化してしまう為、傾斜は最低限に抑え、径方向に微小変位するというのが技術的特徴である。

フローティングピン６８Ａは、固定端６８Ａｃの固定部材６８Ａｅと、シール面６８Ａｆおよびシール面６８Ａｇのシール部材６７ｈ、６７ｊで対向する方向に可動弁枠部６０を挟持するように固定されている。これにより、フローティングピン６８Ａは、図示上側に押圧された状態で、軸線方向（貫通孔６７の長さ方向）には移動しないように可動弁枠部６０に固定されている。
同時に、フローティングピン６８Ａは、シール部材６７ｈがシール面６８Ａｆと段差面６７ｆとに押圧されて変形するとともに、シール部材６７ｊがシール面６８Ａｇと段差面６７ｇとに押圧されて変形するようになっている。
このように、フローティングピン６８ＡのＯリング等とされるシール部材６７ｈ、６７ｊが段差面６７ｆおよび段差面６７ｇに押圧されて変形することで、ガス接続部６８Ａｂ、および、接続位置内面６７ｂ部分がシールされる。

孔部３８の底部３８ｄ付近には、供給路４１となる
フローティングピン６８Ａの内部には、その先端面６８ｄに開口し軸方向に沿って中心に開けられるとともに、接続位置内面６７ｂに設けられた開口に対向する位置とされるガス接続部６８Ａｂの表面に開口する供給路４１が設けられて、加圧空間６９ａとエアシリンダ８０とを接続可能となっている。

［接続ピン部６９、フローティングピン６８Ｂ、連絡路４２］
本実施形態の接続ピン部６９としては、連絡路４２として設けられたフローティングピン６８Ｂが、図３０に示すように、可動弁枠部６０側は図２７に示すフローティングピン６８Ａと略同様の構成とされるため、対応する構成には同一の符号を付すか、６８Ａとの符号を６８Ｂと読み替えてその説明を省略する。
フローティングピン６８Ｂは、中立弁部３０側が短くなっている。 このため、中間大気室となる空間６９Ｂａは加圧されておらず、開口した連絡路４２は、段差６８ｃに対応する位置で端面６８Ｂｄとなっている。また、加圧状態でないため、２重シールも採用されていない。連絡路４２の一部であるフローティングピン６８Ｂと、供給路４１の一部であるフローティングピン６８Ａとは、図１に示すように、中立弁体５の面内で異なる位置にそれぞれ設けられている。このように、連絡路４２と供給路４１とは、回転軸２０内部において平行位置とされたように、並行して中立弁部３０内部、可動弁枠部６０内部に設けられている。

フローティングピン６８Ｂの内部には、その先端面６８Ｂｄに開口し軸方向に沿って中心に開けられるとともに、接続位置内面６７ｂに設けられた開口に対向する位置とされるガス接続部６８Ｂｂの表面に開口する連絡路４２が設けられて、中間大気空間６９Ｂａと中間大気室５５，５６とを接続可能となっている。

本実施形態においては、フローティングピン６８Ａは、摺動面と同じ方向となる内面６７ａとフランジ部６８Ａａ外周、ガス接続位置内面６７ｂとガス接続部６８Ａｂではなく、加圧面となる先端面６８ｄと平行な方向、つまり、摺動方向と直行する面であるシール面６８Ａｆと段差面６７ｆとの間、および、シール部材６７ｊがシール面６８Ａｇと段差面６７ｇとの間に、シール部材６７ｈ、シール部材６７ｊが設けられることで、フローティングピン６８Ａが傾斜した場合や、フローティングピン６８Ａが僅かに径方向に移動した場合であっても、Ｏリング等とされるシール部材６７ｈ、６７ｊの潰し代は変化しない。したがって、このようにフローティングピン６８Ａが移動した場合、つまり、中立弁部３０と可動弁枠部６０とが、流路方向以外の相対位置変動した場合であっても、加圧されたガス接続部６８Ａｂ付近の供給路４１に対するシールを維持し、密閉が破れることがない。フローティングピン６８Ｂも同様に連絡路４２に対するシールを維持し、密閉が破れることがない。

同時に、本実施形態においては、太シール部６８ｆおよび小シール部６８ｇにおいて、製作公差等によってフローティングピン６８Ａに対して半径方向の位置ズレなどがある場合においても、フローティングピン６８Ａと可動弁枠部６０に流路と直交する方向（フローティングピン６８Ａ径方向）の遊びがあるため、太シール部６８ｆおよび小シール部６８ｇの摺動Ｏリングには偏芯が生じない。したがって、摺動時にも接続ピン６８と孔部３８との間のシールを維持し、密閉が破れることがない。
同時に、フローティングピン６８Ａの位置変動時においても、太シール部６８ｆおよび小シール部６８ｇに変形が集中することがないので、変形・破損の可能性を低減することができ、密閉維持をより確実におこなうことができる。

なお、上記本発明の実施形態においては、第１付勢部７０としてスプリングが用いられた構造について説明したが、他の弾性体を用いてもよい。
また、第２付勢部８０の構造として、円環状の１つのエアシリンダが採用された構造について説明したが、油圧シリンダ等とされる他の駆動流体を使用する構成を採用してもよい。この場合にも、１つの円環状のシリンダが駆動することによって弁箱１０（１０ａ，１０ｂ）の内面から可動弁板部５０と可動弁枠部６０との厚さ寸法を収縮させる駆動装置が第２付勢部として用いられる。

また、上記本発明の実施形態においては、図３５（ａ）に示すような円形に形成された開口部及び可動弁部について説明した。本発明のスライド弁はこれらの形状に限定されない。本発明のスライド弁は、可動弁部の周囲領域にアクチュエータが設けられた構造を有するので、例えば、或いは図３５（ｂ）に示すような角部に丸みを有する略正方形に形成された開口部及び可動弁部、図３５（ｃ）に示すような角部に丸みを有する略三角形に形成された開口部及び弁板（可動弁部）が採用されてもよい。また、図３５（ｄ）に示すような角部に丸みを有する略長方形に形成された開口部及び弁板が採用されてもよい。また、図３５（ｅ）に示すような角部に丸みを有する略六角形に形成された開口部及び弁板が採用されてもよい。また、図３５（ｆ）に示すような角部に丸みを有する略Ｕ字形に形成された開口部及び弁板に適用することも可能である。
更には、楕円形に形成された開口部及び弁板、あるいは角部に丸みを有する略八角形に形成された開口部及び弁板等、あらゆる形状に形成された開口部及び弁板を本発明に適用可能である。

本発明は、真空装置等において、真空度や温度あるいはガス雰囲気等性質の異なる２つの空間を連結している流路を仕切る状態と、この仕切り状態を開放した状態を切り替える用途および、これらの状態の間で開度をコントロールする用途のスライド弁に広く適用できる。

１…スライド弁、 ５…中立弁体、 １０，１０ａ，１０ｂ…弁箱、 １１…中空部、 １２ａ…第１開口部、 １２ｂ…第２開口部、 １７，１８…流体経路リング、 ２０…回転軸、 ２１…ピニオン、 ２２…ラック、 ２６…弁軸、 ３０…中立弁部、 ４０…可動弁部、 ４１…供給路、 ４２…連絡路、 ５０…可動弁板部（第２可動弁部）、 ５１ａ，５１ｂ…第２シール部、 ５２ａ，５２ｂ…第３シール部、 ５３，５４…ワイパー、 ５５，５６…中間大気室、 ６０…可動弁枠部（第１可動弁部）、 ６１…第１シール部、 ６２…ガイドピン、 ６８…接続ピン、６８Ａ…フローティングピン、 ６９…接続ピン部、 ７０…メインバネ（第１付勢部）、 ８０…円環状エアシリンダ（第２付勢部）、 ９０…補助バネ（第３付勢部）、 ９１…接続部材、１００…スライド弁、 １１０…シリンダ、 １１１…シリンダ本体、 １１２…ピストン、 １１３…圧力空間、 １１４…通気口、 １１８…緩衝溝、 ２３６…緩衝材。

Claims (3)

1. スライド弁であって、
   中空部と、前記中空部を挟み互いに対向するように設けられて連通する流路となる第１開口部及び第２開口部とを有する弁箱と、
   前記弁箱の前記中空部内に配置され前記第１開口部を閉塞可能な中立弁体と、
   前記中立弁体を、前記第１開口部に対して閉塞状態にする弁閉塞位置と前記第１開口部から退避した開放状態とする弁開放位置との間で回動させる回転軸と、
   該回転軸を回転させラックピニオン及びこれを駆動する復動式エアシリンダからなる回転手段と、
   前記中立弁体を閉塞解除動作させる単動式エアシリンダからなる閉塞解除駆動手段と、を有するスライド弁において、
   前記中立弁体の閉塞解除動作と該中立弁体の回転動作とを順次動作可能とするとともに、オープン時には、閉塞解除エアシリンダの駆動圧が所定の閾値を超えた際に回転エアシリンダを動作開始させるとともに、クローズ時には、回転動作終了時に閉塞動作を開始させるエアオペレイト式２チャンネル２方弁を有するシーケンス回路を具備してなることを特徴とするスライド弁。
2. 前記シーケンス回路が、クローズ時に、前記中立弁体の回転動作を終了するまで、閉塞圧力を安定した状態で維持可能とする回転動作終了検出スイッチを有することを特徴とする請求項１記載のスライド弁。
3. 前記シーケンス回路が、ハウジングと、該ハウジング内部で付勢されたボールと、該ボールの移動位置を規制するボールガイドとを有し、前記ボールの位置によらず流路断面積が一定となるチェック弁を有することを特徴とする請求項１または請求項２記載のスライド弁。

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