JP2003065448A - ゲートバルブ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】ゲートバルブに誤って圧力流体が供給された際
において、弁ディスクおよびシール部材の損傷を防止す
るとともに、圧力流体の配管の取り回し作業等の煩雑さ
の解消を図る。 【解決手段】駆動源として機能するロータリーアクチュ
エータと、前記ロータリーアクチュエータの作用下に所
定角度回動し、且つ内部に流体通路が形成される回転軸
１６と、一端部が前記回転軸１６に連結されるととも
に、内部に流体通路が形成され、所定角度回動する弁ロ
ッド１８と、前記弁ロッド１８の他端部に固定されるピ
ストン２０と、前記ピストン２０の外周面に挿入され、
圧力流体の作用下に変位して第１開口部３２を閉塞する
弁ディスク２２とを備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、集積回路
（ＩＣ）やその部品等のワークを一方の真空処理室から
他方の真空処理室に移送する移送通路、または、圧力流
体、気体等の流通通路もしくは排気通路等を開閉するこ
とが可能なゲートバルブに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来から、例えば、半導体ウェハや液晶
基板等の処理装置においては、半導体ウェハや液晶基板
等を種々の処理室に通路を介して出し入れすることが行
われ、前記通路には、それぞれ、該通路を開閉するゲー
トバルブが設けられている。

【０００３】この種のゲートバルブは、例えば、モータ
等の回転駆動源の作用下に変位する弁ロッドの回動運動
によって、弁ディスクが弁箱の開口部に対向する位置に
到達した後、圧力流体の作用下に前記弁ディスクを開口
部に押圧して着座させることにより、弁箱に形成された
通路が閉塞されるように設けられている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、従来技術に
係るゲートバルブでは、弁ディスクが開口部に対向して
いない状態において、トラブル等の何らかの原因により
誤って圧力流体が供給されると、弁ディスクが変位して
弁箱の内壁面に押し付けられるため、弁ディスクに装着
されるシール部材が内壁面と接触してしまい、弁ディス
クおよびシール部材を損傷するおそれがある。

【０００５】本発明は、前記の種々の問題等を考慮して
なされたものであり、何らかの原因により誤って圧力流
体が供給された際において、弁ディスクおよびシール部
材の損傷を防止することが可能なゲートバルブを提供す
ることを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めに、本発明は、駆動源と、前記駆動源が固定されるボ
ディと、前記ボディの内部に配設され、前記駆動源の駆
動作用下に円弧状に所定角度回動する回動部と、弁箱の
開口部を閉塞するシール部材が装着される弁ディスク
と、前記回動部に一体的に連結され、圧力流体の作用下
に前記弁ディスクを前記開口部に向かって進退自在に変
位させる変位機構と、を備え、前記ボディの内部には、
前記弁ディスクを前記開口部に着座させる際に圧力流体
が供給される第１流路が形成され、前記回動部の内部に
は、第２流路が形成され、前記駆動源の駆動作用下に前
記弁ディスクが前記開口部に対向する位置に回動したと
きのみ、前記第１流路と前記第２流路とが相互に連通し
て圧力流体が前記変位機構に導入されることを特徴とす
る。

【０００７】また、前記回動部に前記ボディに支持され
る軸部と、一端部が前記軸部に連結され、前記軸部と一
体的に回動する弁ロッドとを設けるとよい。

【０００８】さらに、前記変位機構の内部に別個独立に
形成された複数のシリンダ室を設け、前記第２流路から
圧力流体を複数のシリンダ室のそれぞれに略同時に供給
し、前記圧力流体を前記複数のシリンダ室のそれぞれの
受圧面に略同時に且つ略同一方向に作用させるとよい。

【０００９】本発明では、駆動源の作用下に回動部を回
動させ、弁ディスクが開口部に対向する位置に変位した
ときのみ、ボディの第１流路と前記回動部の第２流路と
が連通し、変位機構に圧力流体が供給されることにより
前記弁ディスクが前記開口部を閉塞する。従って、弁デ
ィスクが開口部に対向する位置以外の状態において、誤
って圧力流体が供給された場合においても弁ディスクが
変位することがなく、弁ディスクおよびシール部材が損
傷することが阻止される。

【００１０】

【発明の実施の形態】本発明に係るゲートバルブについ
て好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照しながら
以下詳細に説明する。

【００１１】図１において、参照符号１０は、本発明の
実施の形態に係るゲートバルブを示す。

【００１２】このゲートバルブ１０は、基本的には、駆
動源として機能する、例えば、ロータリーアクチュエー
タ１２（以下、単にアクチュエータ１２という）（図７
参照）と、前記アクチュエータ１２が上部に固定される
ボディ１４と、前記ボディ１４の上部に支持され、アク
チュエータ１２の駆動作用下に所定角度回動する回転軸
（軸部）１６と、一端部が前記回転軸１６に連結され、
前記回転軸１６の軸心を回動中心として所定角度回動す
る弁ロッド１８とからなる回動部１９と、前記弁ロッド
１８の他端部に設けられるピストン２０を含む変位機構
２１と、前記ピストン２０の外周に挿入され、変位機構
２１の作用下に変位する弁ディスク２２とを備える。

【００１３】なお、アクチュエータ１２の駆動軸には歯
車２３が連結され、アクチュエータ１２の駆動作用下に
前記歯車２３が矢印Ａ１またはＡ２方向に回転するよう
に設けられている（図７参照）。

【００１４】前記ボディ１４は、弁箱２６の上部に固定
され一組の軸受部材２８ａ、２８ｂを介して回転軸１６
を回動自在に軸支する軸受ブロック２５と、前記回転軸
１６の一端部を保持し、後述する第１流体ポート３８お
よび第２流体ポート４０がそれぞれ形成されたポートブ
ロック２７と、前記軸受ブロック２５の開口部を閉塞す
るカバープレート２９とを含む。なお、前記ポートブロ
ック２７には、第１流体ポート３８に連通し、回転軸１
６側に延在する第１連通路（第１流路）３１と、第２流
体ポート４０に連通し、回転軸１６側に延在する第２連
通路３３とが形成されている。

【００１５】前記回転軸１６と軸受ブロック２５の摺動
部位には、環状溝部を介して一組のシール部材３０ａ、
３０ｂが装着され、また、軸受ブロック２５と弁箱２６
の合わせ面にはシール部材３０ｃが装着され、シール部
材３０ａ、３０ｂ、３０ｃによって大気と弁箱２６の内
部との気密を保持している。

【００１６】また、ポートブロック２７には、後述する
第１開口部３２を閉塞する際に圧力流体が供給される第
１流体ポート（第１流路）３８と、閉塞された第１開口
部３２を開口する際に圧力流体が供給され、第１流体ポ
ート３８より所定間隔離間した第２流体ポート４０とが
形成され、ポートブロック２７の内部には、前記回転軸
１６の一端部を支持する支持部３６が形成されている。

【００１７】また、図１に示されるように、ポートブロ
ック２７と回転軸１６の一端部との間には、ポートブロ
ック２７側の第１連通路３１と回転軸１６側の後述する
第１流体通路（第２流路）４２との接続部位を気密に保
持する一組の第１パッキン４４ａ、４４ｂが装着されて
いる。

【００１８】また、前記第１パッキン４４ａ、４４ｂに
近接するポートブロック２７と回転軸１６の一端部との
間には、ポートブロック２７側の第２連通路３３と回転
軸１６側の後述する第２流体通路４８との接続部位を気
密に保持する第２パッキン４６が装着されている。

【００１９】図３および図４に示されるように、略長円
状に形成される弁箱２６の内部空間の一方には、両端面
に図示しないガス等の排気やワークを出し入れするため
の第１開口部３２および第２開口部３４（図１、図２参
照）が形成され、他方には、第１開口部３２および第２
開口部３４とが連通した状態において、弁ディスク２２
が配置される空間５２（図４参照）が形成される。

【００２０】図１および図２に示されるように、アクチ
ュエータ１２（図７参照）の駆動作用下に回転する回転
軸１６は、アクチュエータ１２の駆動力を弁ロッド１８
を介して弁ディスク２２に伝達する機能を有し、回転軸
１６の一端部には、アクチュエータ１２の駆動軸に連結
された歯車２３と噛合して駆動力を伝達する歯車５４が
ナット５６を介して固定されている。

【００２１】第１流体通路４２の一端部は第１流体ポー
ト３８に連通する第１連通路３１と接続されるように半
径外方向に延在し、その他端部は回転軸１６の略中央か
ら屈曲して弁ロッド１８の軸線方向に沿って延在する第
３流体通路６０と連通するように設けられる。

【００２２】第２流体通路４８の一端部は回転軸１６の
軸線Ｔ上に沿って第２流体ポート４０に連通する第２連
通路３３と接続されるように延在し、他端部は回転軸１
６の略中央から屈曲して弁ロッド１８の軸線方向に沿っ
て延在する第４流体通路６２と連通するように設けられ
る。

【００２３】また、回転軸１６の軸線Ｔに沿って形成さ
れた第１呼吸通路５８の一端部は、回転軸１６の一端面
側に開口して大気と連通するように設けられ、その他端
部は、回転軸１６の略中央から屈曲して弁ロッド１８の
軸線方向に沿って延在する第２呼吸通路６４と連通する
ように設けられる。

【００２４】図３および図５に示されるように、弁ディ
スク２２が第１開口部３２と対向する位置以外の状態に
おいては、第１流体ポート３８と第１流体通路４２とが
連通していない状態にある。

【００２５】すなわち、第１流体ポート３８に連通する
第１連通路３１の端部と第１流体通路４２の端部との位
置が一致していないため、第１連通路３１の端部が回転
軸１６の外周面によって閉塞されるとともに、第１流体
通路４２の端部がポートブロック２７の支持部３６の内
周壁面により閉塞される。

【００２６】また、図４および図６に示されるように、
弁ディスク２２が第１開口部３２と対向する位置に回動
したときのみ、第１連通路３１の端部と第１流体通路４
２の端部との位置が一致するため、第１流体ポート３８
と第１流体通路４２とが連通した状態となる。

【００２７】さらに、第２流体ポート４０に連通する第
２連通路３３の端部と第２流体通路４８との接続部位
は、回転軸１６の軸線Ｔに位置しているため、第２流体
ポート４０と内部に形成される第２流体通路４８とが常
に連通した状態にある。

【００２８】さらに、図１乃至図４に示されるように、
回転軸１６と弁ロッド１８との接触部位には、弁ロッド
１８に形成される環状溝部を介して第３パッキン６５が
それぞれ装着され、前記第３パッキン６５によって第１
流体通路４２、第２流体通路４８および第２呼吸通路６
４に供給される圧力流体の気密が保持される。

【００２９】図３および図４に示されるように、断面略
Ｔ字状に形成された弁ロッド１８の一端部には回転軸１
６が係合される略半円形状の係合溝６６ａが形成され、
係合溝６６ａの底部は略平面状に形成されている。すな
わち、回転軸１６の周面の一部に形成される平面部６８
と係合溝６６ａの底部とが当接して嵌合することによ
り、回転軸１６に対する弁ロッド１８の回り止め機能を
有する。また、係合溝６６ａから所定間隔離間する両側
には、複数の貫通孔７０（図８参照）が形成されてい
る。

【００３０】さらに、軸支部材７２には、回転軸１６に
係合する略半円形状の係合溝６６ｂが形成され、前記係
合溝６６ｂから所定間隔離間する両側には、図示しない
複数のねじ孔が形成されている。

【００３１】前記弁ロッド１８および軸支部材７２の係
合溝６６ａ、６６ｂによって回転軸１６の外周面を囲繞
し、複数の貫通孔７０および前記ねじ孔に対してねじ部
材７６を螺入することにより、回転軸１６と弁ロッド１
８が一体的に固定される。

【００３２】また、弁ロッド１８の内部には、回転軸１
６の第１流体通路４２と連通し、弁ディスク２２を第１
開口部３２の内壁面に着座させる際に圧力流体が供給さ
れる第３流体通路６０と、回転軸１６の第２流体通路４
８と連通し、弁ディスク２２を第１開口部３２の内壁面
より離間させる際に圧力流体が供給される第４流体通路
６２と、回転軸１６の第１呼吸通路５８と連通し、後述
するベローズ１１０内の流体を大気開放するための第２
呼吸通路６４とが形成される。

【００３３】図８に示されるように、弁ロッド１８の内
部に形成される第３流体通路６０、第４流体通路６２お
よび第２呼吸通路６４は、図８中の矢印Ｘ方向に向かっ
て第４流体通路６２、第３流体通路６０、第２呼吸通路
６４の順序で所定間隔離間して配置され、且つ矢印Ｙ方
向に向かって第３流体通路６０、第４流体通路６２、第
２呼吸通路６４の順序で配置される。また、第４流体通
路６２は、回転軸１６の軸線Ｔ上に形成される。

【００３４】なお、第３流体通路６０、第４流体通路６
２および第２呼吸通路６４の配列は、相互に所定間隔離
間して形成されていればよく、この配列に限定されるも
のではない。

【００３５】変位機構２１は、図１および図２に示され
るように、断面略Ｔ字状に形成されるピストン２０と、
前記ピストン２０の一端部側の外周に嵌合されるロッド
カバー９２と、フランジ部８０の内周面に係合され、一
体的に変位するスナップリング１１２と、弁ディスク２
２のフランジ部８０の外周に挿入されるベローズホルダ
ー１０４と、ベローズホルダー１０４とプレート部材１
０２との間に介装されるベローズ１１０とからなる。

【００３６】ピストン２０は、ねじ部材７８を介して弁
ロッド１８の他端部に連結され、前記第３流体通路６０
および前記第４流体通路６２から供給される圧力流体を
受圧する受圧部８４と、ピストン２０の弁ロッド１８側
に円筒状に形成されるロッド部８８とからなる。なお、
ピストン２０の受圧部８４の直径は、ピストン２０のロ
ッド部８８の直径より大きく形成される。

【００３７】また、ピストン２０の受圧部８４の弁ディ
スク２２に当接する一端面には、溝部を介して環状のダ
ンパ９１が装着され、ピストン２０が弁ディスク２２に
当接した際の衝撃が緩和される。受圧部８４の外周面に
は、環状溝部を介してピストンパッキン９０が装着さ
れ、受圧部８４の外周面に挿入されるフランジ部８０の
内周面に当接することにより、後述する第１シリンダ室
１１６および復帰シリンダ室１２０の気密が保持され
る。

【００３８】さらに、ロッド部８８の一端面が弁ロッド
１８に形成される凹部に挿入され、ねじ部材７８を介し
て弁ロッド１８に固定されている。また、ロッド部８８
の外周面には、ロッドカバー９２が嵌合され、ロッドカ
バー９２の内周面に形成される溝部にはロッドパッキン
９４およびブッシュ９６が装着され、後述する第２シリ
ンダ室１１８および復帰シリンダ室１２０の気密が保持
される。

【００３９】弁ディスク２２には、第１開口部３２の内
壁面に着座する一端面の環状溝部に沿ってシール部材９
８が装着され、前記シール部材９８によって弁ディスク
２２が第１開口部３２の内壁面に着座した際の気密が保
持される。また、弁ディスク２２の他端面側に所定間隔
離間して突出する一組のフランジ部８０の弁ディスク２
２側には、弁ディスク２２の他端面に形成される凹部に
ねじ部材１００によってプレート部材１０２が固定され
ている。

【００４０】フランジ部８０の外周には、ベローズホル
ダー１０４が挿入され、弁ロッド１８に対してねじ部材
１０６によって一体的に固定されている。ベローズホル
ダー１０４の内周面に形成される環状溝部には摺動パッ
キン１０８が装着されている。

【００４１】また、プレート部材１０２とベローズホル
ダー１０４との間にはベローズ１１０が設けられ、第２
シリンダ室１１８から弁ロッド１８のフランジ部８０と
摺動パッキン１０８との間を介して圧力流体が漏出した
際に、第２呼吸通路６４から第１呼吸通路５８を介して
大気へと導出される。

【００４２】さらに、第２シリンダ室１１８より漏出し
た圧力流体がベローズ１１０内に流入して蓄積されるこ
とにより生じるベローズ１１０の破損を防止するため
に、ベローズ１１０内に連通する第２呼吸通路６４が弁
ロッド１８の内部に形成される。

【００４３】すなわち、第２呼吸通路６４は、第１呼吸
通路５８を介して大気開放されているため、ベローズ１
１０内に流入した圧力流体がベローズ１１０内に蓄積さ
れることなく好適に大気に排出され、ベローズ１１０の
破損を防止することができる。

【００４４】また、前記ロッドカバー９２の他端面に
は、環状に形成されるスナップリング１１２が連接さ
れ、前記スナップリング１１２は、外周部が弁ディスク
２２のフランジ部８０の内周側に形成される環状溝部に
嵌合され、内周部はロッドカバー９２の小径部に挿入さ
れているため、ロッドカバー９２と弁ディスク２２とが
一体的に変位する。

【００４５】弁ディスク２２の他端面とピストン２０の
受圧部８４の一端面との間に第１シリンダ室１１６が画
成され、フランジ部８０の内部に形成される連通路１１
７と連通している。また、弁ロッド１８とロッドカバー
９２との間に第２シリンダ室１１８が画成され、第３流
体通路６０と連通している。

【００４６】さらに、ピストン２０の受圧部８４の他端
面とロッドカバー９２の一端面との間に復帰シリンダ室
１２０が画成され、第４流体通路６２と連通している。

【００４７】なお、図１乃至図４において、第１流体ポ
ート３８、第２流体ポート４０、第１呼吸通路５８、第
１流体通路４２、第２流体通路４８、第２呼吸通路６
４、第３流体通路６０および第４流体通路６２は便宜
上、実線で表している。

【００４８】本発明の実施の形態に係るゲートバルブ１
０は、基本的に以上のように構成されるものであり、次
にその動作並びに作用効果について説明する。

【００４９】なお、以下の説明では、弁ディスク２２が
空間５２に配置された状態であり、また、図５に示され
るように、第１流体ポート３８と第１流体通路４２とが
連通していない状態を初期位置として説明する。

【００５０】図３に示されるように、初期位置におい
て、駆動源であるアクチュエータ１２に、図示しない圧
力流体供給源から図示しないチューブを介して圧力流体
が供給される。圧力流体の作用下に図７に示されるよう
に、アクチュエータ１２が時計回り（矢印Ａ１方向）に
回動することにより、アクチュエータ１２に歯車２３お
よび歯車５４を介して噛合している回転軸１６が反時計
回り（矢印Ｂ１方向）に一体的に回動する。

【００５１】回転軸１６が前記反時計回りに回動するこ
とにより、回転軸１６に連結される弁ロッド１８を介し
て弁ディスク２２が空間５２に配置された状態（図３参
照）から第１開口部３２の方向（矢印Ｃ１方向）へ回動
する。

【００５２】図４に示されるように、弁ディスク２２が
ボディ１４の下部に形成される第１開口部３２（図３参
照）に対向し、図１に示されるように、第１開口部３２
の内壁面より所定間隔離間する位置に到達すると、第１
連通路３１の端部と第１流体通路４２の端部とが接続さ
れ、ボディ１４の上部に形成される第１流体ポート３８
と回転軸１６の内部に形成される第１流体通路４２とが
連通した状態となる（図６参照）。

【００５３】なお、この場合、第２流体ポート４０、第
２流体通路４８および第４流体通路６２に連通する復帰
シリンダ室１２０は、大気開放状態にあるものとする。

【００５４】そして、第１流体ポート３８に、図示しな
い圧力流体供給源から図示しないチューブを介して圧力
流体が供給される。

【００５５】供給された圧力流体は、第１流体ポート３
８から回転軸１６の第１流体通路４２、弁ロッド１８お
よびフランジ部８０の内部に形成される連通路１１７を
介して第１シリンダ室１１６へ連通されるとともに、第
２シリンダ室１１８へと導入され、第１シリンダ室１１
６に供給される圧力流体の作用下に弁ディスク２２が第
１開口部３２の内壁面の方向に略水平に押圧されるのと
略同時に、第２シリンダ室１１８に供給された圧力流体
がスナップリング１１２を介して、ロッドカバー９２を
弁ディスク２２の方向に押圧することにより、第１シリ
ンダ室１１６と第２シリンダ室１１８とに導入された圧
力流体の押圧作用下に弁ディスク２２が第１開口部３２
の内壁面の方向に略水平方向に押圧される（図２参
照）。

【００５６】すなわち、第１シリンダ室１１６および第
２シリンダ室１１８からなる複数のシリンダ室を並列に
設け、略同時に圧力流体を供給することにより複数のシ
リンダ室の受圧面積が加算されるため、第１シリンダ室
１１６および第２シリンダ室１１８による略同一方向の
押圧力が得られ、第１開口部３２の内壁面に対して弁デ
ィスク２２を押圧する力を増大させることができる。

【００５７】その結果、圧力流体の押圧作用下に略水平
方向に変位された弁ディスク２２が、第１シリンダ室１
１６および第２シリンダ室１１８に供給される圧力流体
の作用下に第１開口部３２の内壁面に着座することによ
り、第１開口部３２が閉塞され、第１開口部３２と第２
開口部３４との連通が遮断される。

【００５８】また、第２シリンダ室１１８に供給された
圧力流体が、弁ロッド１８のフランジ部８０と摺動パッ
キン１０８との間から漏出した場合であっても、ベロー
ズ１１０内に流入されることにより好適に気密が保持さ
れ、圧力流体が第１開口部３２および第２開口部３４内
に漏出することが阻止される。

【００５９】さらに、第２シリンダ室１１８からベロー
ズ１１０内に流入した圧力流体は、ベローズ１１０に連
通している第２呼吸通路６４と、弁ロッド１８に形成さ
れる第１呼吸通路５８を介して大気中に排出されること
により、ベローズ１１０が破損することが防止される。

【００６０】次に、弁ディスク２２を第１開口部３２の
内壁面より離間させて、初期位置に復帰させる場合に
は、図示しない切換弁の作用下に第２流体ポート４０に
圧力流体を供給することにより、圧力流体が第２流体ポ
ート４０から回転軸１６の第２流体通路４８、弁ロッド
１８の内部に形成される第４流体通路６２を通って、復
帰シリンダ室１２０へと導入される。なお、この場合、
第１流体ポート３８、第１流体通路４２、第３流体通路
６０、第１シリンダ室１１６および第２シリンダ室１１
８は、大気開放状態にあるものとする。

【００６１】復帰シリンダ室１２０に供給された圧力流
体の押圧作用下にロッドカバー９２が弁ロッド１８側へ
と押圧され、弁ロッド１８と一体的にスナップリング１
１２も変位する。

【００６２】その結果、弁ディスク２２のフランジ部８
０に嵌合されたスナップリング１１２が変位することに
より、弁ディスク２２が第１開口部３２の内壁面より略
水平方向に離間する（図１参照）。

【００６３】次に、図示しない切換弁の作用下にアクチ
ュエータ１２に図示しないチューブを介して圧力流体が
供給され、圧力流体の作用下にアクチュエータ１２が反
時計回り（矢印Ａ２方向）に回動することにより、アク
チュエータ１２に歯車２３および歯車５４を介して噛合
している回転軸１６が時計回り（矢印Ｂ２方向）に一体
的に回動する。

【００６４】そして、回転軸１６が時計回り（矢印Ｂ２
方向）に回動することにより、回転軸１６に連結される
弁ロッド１８および弁ディスク２２が一体的に第１開口
部３２および第２開口部３４から空間５２方向（矢印Ｃ
２方向）へ回動し、弁ディスク２２が空間５２に配置さ
れた状態（図３参照）である初期位置に復帰し、弁箱２
６の第１開口部３２と第２開口部３４とが連通した状態
となる。

【００６５】なお、この際、誤って第１流体ポート３８
に圧力流体が供給されても、第１流体ポート３８と第１
流体通路４２とが連通されていないため、圧力流体が第
１シリンダ室１１６および第２シリンダ室１１８に導入
されることがない。すなわち、弁ディスク２２が略水平
に変位することがなく、空間５２の内壁面に接触するこ
とがないため、弁ディスク２２およびシール部材９８が
損傷することが防止される（図５参照）。

【００６６】以上により、本実施の形態では、ボディ１
４に形成される第１流体ポート３８と回転軸１６の内部
に形成される第１流体通路４２とが、弁ディスク２２が
第１開口部３２に対向した位置でのみ連通するため、弁
ディスク２２が第１開口部３２に対向した位置以外（例
えば、弁ディスク２２が空間５２に配置された状態）に
おいて、誤って第１流体ポート３８に圧力流体が供給さ
れても弁ディスク２２が変位することがない。そのた
め、弁ディスク２２およびシール部材９８がボディ１４
の内壁面等に接触することがなく、弁ディスク２２およ
びシール部材９８が損傷することを防止することができ
る。

【００６７】また、ボディ１４、回転軸１６および弁ロ
ッド１８の内部に弁ディスク２２を変位させるための第
１流体ポート３８、第２流体ポート４０、第１流体通路
４２および第２流体通路４８を形成することにより外部
に配管が不要となるため、設置スペースが少なくて済む
とともに、配管作業等の煩雑さを解消することができ
る。

【００６８】さらに、弁ロッド１８と弁ディスク２２と
の間に、弁ディスク２２を変位させるためのシリンダ室
を複数、且つ並列に設けることにより、受圧面積を増大
させることができ、弁ディスク２２を第１開口部３２の
内壁面に着座させる際の推力を増大させることができる
ため、１つのシリンダ室の受圧面積を小さく形成するこ
とができるとともに、シリンダ室内の気密を保持してい
るベローズ１１０も小型化することができる。

【００６９】すなわち、シリンダ室を小さくできること
により、弁ディスク２２およびピストン２０等を小型化
することができるとともに、高価なベローズ１１０を小
型化できることによって、効果的にコストを低減するこ
とができる。

【００７０】

【発明の効果】本発明によれば、以下の効果が得られ
る。

【００７１】すなわち、ボディの内部に形成される第１
流路と回動部の内部に形成される第２流路とが、弁ディ
スクが開口部に対向した位置でのみ連通するように構成
することにより、誤って圧力流体が供給された際におい
ても弁ディスクが変位することがないため、弁ディスク
およびシール部材の損傷を好適に防止することができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態に係るゲートバルブの初期
位置における縦断面図である。

【図２】本発明の実施の形態に係るゲートバルブの弁デ
ィスクが開口部に対向した際の縦断面図である。

【図３】本発明の実施の形態に係るゲートバルブの弁デ
ィスクが空間に配置された際の部分縦断面図である。

【図４】本発明の実施の形態に係るゲートバルブの弁デ
ィスクが開口部に対向した際の部分縦断面図である。

【図５】本発明の実施の形態に係るゲートバルブの第１
流体ポートと第１流体通路とが連通していない状態を表
す拡大縦断面図である。

【図６】本発明の実施の形態に係るゲートバルブの第１
流体ポートと第１流体通路とが連通した状態を表す拡大
縦断面図である。

【図７】本発明の実施の形態に係るゲートバルブのアク
チュエータおよび回転軸の拡大縦断面図である。

【図８】図１のＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ線に沿った横断面図
である。

【符号の説明】

１０…ゲートバルブ １４…ボディ １６…回転軸 １８…弁ロッド １９…回動部 ２０…ピストン ２１…変位機構 ２２…弁ディスク ２５…軸受ブロック ２６…弁箱 ２８ａ、２８ｂ…軸受部材 ３１…第１連通路 ３３…第２連通路 ３８…第１流体ポ
ート ４０…第２流体ポート ４２…第１流体通
路 ４８…第２流体通路 ５８…第１呼吸通
路 ６０…第３流体通路 ６２…第４流体通
路 ６４…第２呼吸通路 ６６ａ、６６ｂ…
係合溝 ８８…ロッド部 ９２…ロッドカバ
ー ９８…シール部材 １１０…ベローズ １１６…第１シリンダ室 １１８…第２シリ
ンダ室 １２０…復帰シリンダ室

フロントページの続き (72)発明者 石垣 恒雄 茨城県筑波郡谷和原村絹の台４−２−２ エスエムシー株式会社筑波技術センター内 (72)発明者 宮崎 省吾 茨城県筑波郡谷和原村絹の台４−２−２ エスエムシー株式会社筑波技術センター内 Ｆターム(参考） 3H053 AA02 AA22 BA03 BA24 BC03 BD02 BD03 DA09 3H066 AA03 CA08

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】駆動源と、 前記駆動源が固定されるボディと、 前記ボディの内部に配設され、前記駆動源の駆動作用下
   に円弧状に所定角度回動する回動部と、 弁箱の開口部を閉塞するシール部材が装着される弁ディ
   スクと、 前記回動部に一体的に連結され、圧力流体の作用下に前
   記弁ディスクを前記開口部に向かって進退自在に変位さ
   せる変位機構と、 を備え、 前記ボディの内部には、前記弁ディスクを前記開口部に
   着座させる際に圧力流体が供給される第１流路が形成さ
   れ、前記回動部の内部には、第２流路が形成され、前記
   駆動源の駆動作用下に前記弁ディスクが前記開口部に対
   向する位置に回動したときのみ、前記第１流路と前記第
   ２流路とが相互に連通して圧力流体が前記変位機構に導
   入されることを特徴とするゲートバルブ。
2. 【請求項２】請求項１記載のゲートバルブにおいて、 前記回動部は、前記ボディに支持される軸部と、 一端部が前記軸部に連結され、前記軸部と一体的に回動
   する弁ロッドと、 を有することを特徴とするゲートバルブ。
3. 【請求項３】請求項１記載のゲートバルブにおいて、 前記変位機構は、内部に別個独立に形成された複数のシ
   リンダ室を有し、 前記第２流路から圧力流体が複数のシリンダ室のそれぞ
   れに略同時に供給され、前記圧力流体は、前記複数のシ
   リンダ室のそれぞれの受圧面に略同時に且つ略同一方向
   に作用することを特徴とするゲートバルブ。