CN101208551A - 滑阀 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种滑阀，该滑阀能够高精度地控制最小区域的传导从而能够进行稳定的控制，并且使得滑动板不产生塑性变形从而能够使最小流量的控制性良好，能够将阀芯和空气驱动部与滑动板一体取下从而容易进行维修。滑阀(1)具有：具有流路(2)的阀体(3)和滑动板(4)，该滑动板(4)设置在阀体(3)内并可在阻止流路(2)流通的闭锁位置和允许流通的开放位置之间相对于流路轴垂直地水平或直线移动。在该滑阀(1)中，用气缸驱动组装在滑动板(4)内的阀芯(13)使其在流路轴方向上开闭，在阀芯(13)的开状态下在阀体(3)和滑动板(4)的上下面之间存在微小间隙从而能够进行最小传导控制，在阀芯(13)的闭状态下滑动板(4)即便受到差压载荷也不会塑性变形。

Description

滑阀

技术领域

本发明涉及滑阀，特别是涉及在阀体内相对于流路轴水平且可横向移动自如地设置摆动板、在全闭位置时用阀芯关闭阀口的流路这样的摆动式滑阀。

背景技术

一般来说，这种阀是这样的滑阀，即，既能在扁平中空状的阀盒内横向移动或水平移动，又能移动到全闭位置和全开位置进行开闭或控制。

作为这种阀的以往例，提出了这种结构的滑阀，即，在阀盒中装设有阀座密封用的空气驱动部，将阀座密封用的密封圈装卸自如地安装在阀盒内，在可移动的摆动板移动到闭阀位置的状态下将密封圈按压在摆动板上，从而能够密封阀座(参照专利文献1)。该专利文献1的优点是，由于是仅在作为密封圈的阀座密封用O形密封圈和滑动O形密封圈的直径的差分的面积上施加有背压这样的结构，所以能够用小的阀推力克服大气压和真空差压的推力地进行密封。

另外，还提出了这种结构的滑阀，即，在该摆动板的圆周部上形成凹凸或槽，从而使最小流量的控制性良好(参照专利文献2)。作为使该控制性良好的其他方式，还已知这样结构的阀，即，在滑动板上安装接触环，在滑动板位于关闭位置时借助弹簧的作用力使之与阀体的接触面按压接触(参照专利文献3)。

作为其他的以往例，提出了这样结构的闸阀，即，在阀芯封闭时借助使用了滚轮的凸轮从两侧按压扩张阀芯和设置在其背面的板，用板承受阀芯封闭的载荷从而将阀芯封闭(参照专利文献4)。该闸阀的结构是：借助使用了滚轮的凸轮从两侧按压扩张阀芯和设置在其背面的板，按压阀座密封O形密封圈，从而滚轮超过凸轮的水平位置，这样大气压和真空差压的推力不向开阀方向进行力变换，所以能够保持密封。

专利文献1：日本特开平9-178000号公报

专利文献2：日本特开平9-210222号公报

专利文献3：日本特开2005-9678号公报

专利文献4：日本特开2002-295695号公报

发明内容

但是，在专利文献1和专利文献2中，是密封圈设置在阀体侧、滑动板在阻止流路流通的关闭位置上与密封圈卡合从而进行闭阀的结构，在滑动板侧为大气压、而密封圈侧被排放成真空的情况下，在差压的载荷的作用下滑动板挠曲，阀芯封闭气缸的推力比差压载荷小，并且将密封圈上推与动作行程相对应的量、成为止动部，所以需要将使滑动板发生挠曲的量设为较大，当滑动板的刚性较弱时，在闭阀从而受到阀推力和差压载荷的情况下滑动板的臂部因塑性变形而弯曲、与阀体接触。结果，不能将滑动板和阀体的间隙设置得很窄，所以最小值控制传导变大，从而最小值控制性变差。作为对策，专利文献3中公开的是在滑动板上安装接触环来改善最小值控制性，但是因为是接触而滑动的结构反而会容易产生微粒。

专利文献4，由于是按压扩张阀芯和其背面的板来进行密封的结构，所以不会在摆动板的臂部上发生弯曲载荷，但是在承受载荷的板的驱动部需要凸轮等机构，所以不仅结构复杂而且会引起微粒的产生。另外，在真空中的动作和加热时(150℃)的动作会使凸轮机构容易产生咬住。并且，对阀座密封O形密封圈进行密封时的载荷，例如在320A时需要150kg以上的载荷，所以为了使凸轮动作需要20～30kg左右的凸轮移动推力，因此，为了在从旋转轴到滑动板中心距离产生该推力需要很大的行程。

进而，压力控制还可以用作从打开阀芯位置的控制范围，所以控制范围能够广泛的应用，但是为了防止密封用O形密封圈接触，需要将打开阀芯的间隙设置得较大。该阀芯密封用O形密封圈因封闭载荷、热的影响而容易变形，当对阀体和O形密封圈之间的间隙进行控制时，间隙不稳定，在阀芯在流路轴方向开闭的控制范围和滑动板滑动进行控制的范围中容易产生传导特性的变化、和死区，特别是再加上凸轮机构的齿隙、磨损等，最小值控制区域更加不稳定。另外，在专利文献1至4中，在阀盒侧形成封闭阀芯的驱动部，或者用复杂的凸轮机构驱动驱动部分，所以存在不能容易地进行包括驱动部在内的所有维修等问题。

本发明的技术课题是鉴于上述问题而做出的，其目的在于，提供一种滑阀，该滑阀能够高精度地控制最小区域的传导从而实现稳定的控制，并且使得滑动板不产生塑性变形从而能够良好地实现最小流量的控制性，能够将阀芯和空气驱动部与滑动板一体地拆卸从而能够容易地进行维修。

为了达成上述目的，技术方案1的发明是一种滑阀，在具有流路的阀体内设置有滑动板，该滑动板能够在阻止上述流路流通的闭锁位置和允许该流通的开放位置之间相对于流路轴垂直地水平或在直线上移动，其中，将组装在上述滑动板内的阀芯设置成可在流路轴方向上动作从而能够进行开闭，在上述阀芯打开的状态下，在上述阀体和上述滑动板的上下面之间存在微小间隙，在上述阀芯关闭、产生差压载荷的情况下，将上述滑动板的上下面的任一方作为止动部，在上述阀芯打开时可借助上述滑动板的弹性将微小间隙保持为一定。即，在将阀芯关闭的状态下，滑动板弹性变形与微小间隙相应的量而成为止动部，从而即便受到差压也不会塑性变形。另外，在控制用的滑阀的情况下，在阀体和滑动板的上下面之间设置微小的间隙，能够实现最小传导控制。

在技术方案2的发明中，在上述阀芯关闭、上述滑动板弹性变形与微小间隙相应的量的状态下，上述滑动板的上下面的任一方成为止动部，从而形成即便用上述止动部承受差压载荷也不会产生塑性变形的结构。

在技术方案3的发明中，在上述滑动板的外周突出设置止动部，在上述止动部的比止动面的稍向内侧收容上述阀芯，将上述止动面设置成能够通过上述滑动板的上下面的间隙中的一方或双方进行最小流量的控制的控制面。

技术方案4的发明是一种滑阀，其在具有流路的阀体内设置有滑动板，该滑动板能够在阻止上述流路流通的闭锁位置和允许该流路流通的开放位置之间相对于流路轴垂直地水平移动，其中，将组装在上述滑动板内的阀芯设置成可在流路轴方向上移动从而使上述阀芯可开闭自如，并且将上述滑动板的基端部可装卸地安装在设置于上述阀体的旋转轴上。

在技术方案5的发明中，在上述滑动板的基端部上形成梯形形状，在上述旋转轴上设置与上述基端部的梯形形状嵌合的梯形部，以将上述基端部的梯形形状和上述旋转轴的梯形部嵌合的方式使上述滑动板的基端部与上述旋转轴连接。

在技术方案6的发明中，将上述滑动板的基端部经由螺母装卸自如地紧固在上述旋转轴的螺纹部上，并且使上述滑动板在上述阀体内以无滑动的状态水平移动。

在技术方案7的发明中，在上述旋转轴的螺纹部的中途设置为了避免上述螺母脱落而进行空转的未加工螺纹的部分。

在技术方案8的发明中，在将设置在上述滑动板上的基端部和上述旋转轴连接时，能够将设置在上述旋转轴的连接部位上的连通孔和排气路、与设置在上述滑动板上的空气供给排气口和排气口这两者同时经由O形密封圈密封装卸。

在技术方案9的发明中，上述滑动板的排气口与上述阀芯的封闭用气缸用活塞轴的双层密封结构的中间部位连通。

在技术方案10的发明中，将上述阀芯组装在上述滑动板的下游侧。

在技术方案11的发明中，将上述阀体直接安装在装置腔室的开口部。

根据技术方案1的发明，能够以高精度将阀体和滑动板的上下面之间的间隙设置成能够进行最小传导控制的间隙程度，从而可利用该上下面的两处或其中一处的间隙面进行控制，因此能够将最小流量的控制性降低到以往滑阀的例如1/2以下左右、以高精度进行控制。

根据技术方案2的发明，在上述滑动板内组装利用气缸驱动可在流路轴方向上进行开闭的阀芯，将该阀芯设置在滑动板的上端面的下方，在阀体和滑动板的上下面之间设定微小间隙。于是，在滑动板内组装利用气缸驱动可在流路轴方向上开闭的阀芯，阀芯被设置得比滑动板的上端面(止动面)低例如1mm左右，从而不会因安装在阀芯上的密封圈(O形密封圈)的变形而引起间隙变化，所以能够实现稳定的控制。

根据技术方案3的发明，在上述滑动板的外周上突出设置止动部，在该止动部的止动面的稍向内侧设置阀芯，将止动面作为利用滑动板的上下面的间隙进行最小流量控制的控制面，这样能够将止动面和阀体面之间的间隙设为最小，能够进行微小压力控制，与以往例相比可显著提高精度地进行控制。

例如，在阀芯关闭、在滑动板上产生大气压力和真空的压力差时，滑动板在弹性变形的范围内挠曲，根据差压载荷的方向阀体和滑动板的上下面成为止动部(在附图中为X部和Y部)，即便承受阀推力和差压载荷也不会产生塑性变形，若是这样的结构，可将滑动板因自重而产生的挠曲抑制在例如0.1mm以下，能够将阀体和滑动板的间隙设定为最小。另外，若提高滑动板的刚性，则能够提高在压力控制中在滑动板上产生的最高使用压力差。

根据技术方案4、6、8的发明，在将设置在滑动上的基端部和旋转轴连接时，能够将设置在该旋转轴的连接部位的空气供给排气口和设置在气缸活塞的排气口这两者同时密封装卸。因此，能够容易地将阀芯和空气驱动部与滑动板一体取出，从而不仅能够容易进行清洗时等的维修，特别是仅通过将滑动板从上部借助螺母等紧固在旋转轴上就能够确定空气供给和排放口这两处的密封与滑动板的安装位置，该装卸的作业性很好。

根据技术方案5的发明，将滑动板和旋转轴的嵌合部设置成梯形，这样滑动板被旋转轴的梯形部的斜面引导，能够可靠、容易地进行连接。

根据技术方案5的发明，在旋转轴的螺纹部的中途设置未加工螺纹的部分，通过进行空转，可以防止因松动而导致的螺母的脱落。

根据技术方案9的发明，将阀芯的封闭用气缸的活塞轴设为双层密封结构，将该双层密封的中间部位与排气口连结。因此，通过将中间部与活塞背面侧的排气口连结而向大气开放，从而不施加操作压力的差压，所以能够将活塞动作时从密封部向外部产生的泄露变为最小，能够使阀芯可靠地动作。

根据技术方案10的发明，将阀芯组装在滑动板内的下游侧，所以难以受到流体流通的影响，能够抑制阀芯的腐蚀。

根据技术方案11的发明，将阀体直接安装在装置腔室的开口部，所以能够节约配管，谋求装置的紧凑化。

附图说明

图1是安装有本发明的一个实施方式的滑阀的压力控制系统的构造图。

图2是图1所示的滑阀的俯视图。

图3是图2所示的滑阀主要部分的纵剖视图。

图4是图3所示的滑动板的俯视图。

图5是图4的滑动板的纵剖视图。

图6是图3所示的气缸壳体的俯视图。

图7是图6的气缸壳体的纵剖视图。

图8是图3所示的滑阀的旋转轴的局部剖切主视图。

图9是表示将滑动板的基端部安装在旋转轴上的状态的剖视图。

图10是表示图9的安装后状态的剖视图。

图11是表示旋转轴的另一例子的主要部分主视图。

图12是图11的旋转轴的俯视图。

图13是表示滑动板的其他例子的主要部分仰视图。

图14是表示滑动板与旋转轴的卡合状态的俯视图。

图15是用于滑动板的固定的螺母的俯视图。

图16是图15的螺母的纵剖视图。

图17是用于滑动板的固定的垫圈的俯视图。

图18是图17的垫圈使用时的主视图。

图19是表示图3所示的滑动板的马达驱动示例的纵剖视图。

图20是表示图3所示的滑动板的气缸驱动示例的纵剖视图。

图21是表示使用了延迟切换阀的示例的NC式气缸机构的电路图。

图22是表示图3中的滑阀的阀芯开状态的A部放大剖视图。

图23是表示图3所示的滑阀的阀芯闭状态的A部放大剖视图。

图24是表示图3所示的滑阀的阀芯闭状态的A部放大剖视图。

图25是滑动板的挠曲说明图。

图26是滑动板的挠曲说明图。

图27是表示将盖体取下、使滑动板在装卸位置转动的状态的俯视图。

图28是表示另一滑阀中的滑动板的控制开度位置的主要部分纵剖视图。

图29是表示图28所示的滑阀中的滑动板的全闭位置的主要部分纵剖视图。

图30是表示将滑阀组装在腔室中的示例的纵剖视图。

标号说明

1  滑阀

2  流路

3  阀体

4  滑动板

7       旋转轴

13      阀芯

14      止动部

15      阀座面

17、18  间隙

19      控制肋

20      活塞

27      弹簧

30      阀芯气缸

31      摆动气缸

36      马达

具体实施方式

参照附图，详细说明本发明的滑阀的优选实施方式。

图1是表示装设有本发明的滑阀的一个例子的压力控制构造系统，在该图中，向腔室CH内供给工艺气体、N₂气体，在排气侧设置滑阀1、压力传感器S、阀控制器C、以及泵P。

图2是滑阀1的俯视图，图3是表示滑阀1的主要部分的纵剖视图。

在图2、3中，上述滑阀1具有扁平状的阀体3，该阀体3由阀体本体3a和盖体3b构成。阀体3b借助螺栓等紧固机构12与阀体本体3a可分离地设置，使得在维修时能够分离。

上述阀体3具有流路2，在阀体3内设置有滑动板4，该滑动板可相对于流路轴垂直地以水平状态在阻止流路2流通的闭锁位置和允许流通的开放位置之间移动。在本例中的滑动板4与流路轴垂直地以水平状态移动，但是也可以相对于流路轴在直线上移动。另外，在图中，4A、4B表示滑动板4的移动位置。

在这种滑动板4中组入阀芯13，在设置于圆盘状的活塞20中心的活塞轴20a上经由O形密封圈22、22和O形密封圈24、25装设有气缸壳体21，在该活塞轴20a的上部用螺母23将上述阀芯13固定。

滑动板4，是能够在阀体3内除旋转轴7的滑动之外再无滑动地进行开闭的结构。设置在滑动板4的上下面上的止动部14、14能够将滑动板4的挠曲量控制在最小，从而能够防止滑动板4因弹性变形的挠曲量而动作、与阀体3接触。即，在滑动板4的与圆形的长度方向相交的中心部位具有止动部，从而可以可靠地防止与阀体3接触。

这样，由于将止动部14、14配置在滑动板4上，所以即便在密封阀座后产生真空和大气压的差异也不会在滑动板4上施加弯曲载荷，从而能够可靠地防止塑性变形。特别是在滑阀为300A、250A的情况下，若在滑动板4的下面的半圆部分和另一半圆部分上设置0.3～0.4mm左右的台阶差面，使得上下面的止动部14、14位于滑动板4的中心部位上，则能够防止滑动板4的塑性变形，将滑动板4和阀体3之间的微小间隙保持为一定。

于是，该滑动板4的结构是：在阀芯13关闭从而在滑动板4中产生大气压力和真空的压力差的情况下，滑动板4在弹性变形的范围内挠曲，根据差压载荷的方向，阀体3和滑动板4的上下面成为止动部14、14，滑动板4即便受到阀推力和差压载荷也不发生塑性变形。在该阀芯13中，均匀地开设多个孔13a，用该孔13a谋求压力平衡。在图中，14a表示止动部14的止动面。

在气缸壳体21的外侧，在设置于阀芯13的下面和图4、5所示的滑动板4的上面的装设孔27a内，配置有多个(例如5～7个)弹簧27。借助排出空气时的弹簧27的弹力将阀芯13关闭。另外，阀芯13构成为：在封闭用移动导向部29a上装设有直径与阀座密封用密封垫28大致相同的O形密封圈29，通过采用该O形密封圈29的滑动结构，即便产生正压反压的加压，作为封闭推力的反力而产生的加载也较小，能够用按压密封阀座面15这样的最小加载的弹簧27来可靠地密封阀座面15。

在图4、5中，在支撑着圆盘状的滑动板4的臂部5上形成切口部5a，由此设置成可持有弹性地在弹性变形范围内挠曲，在该臂部5的基端部6上形成有U字状的卡合槽6a，在该卡合槽6a的下部连设有四边形的嵌合部6b，在该嵌合部6b的内部面上设置有空气供给排气口6c和排气口6d。该口6c、6d埋设在滑动板4中，其前端部分分别在上面开口。

气缸壳体21，如图6、7所示，分别形成与滑动板4的空气供给排气口6c连通的连通口21a和与排气口6d连通的排气孔21b，排气口6d形成在O形密封圈22、22的中间位置，从而从该排气孔21b经过排气口6d通过排气路9向大气开放，由此不会施加操作压力的差压，所以能够将活塞动作时产生的从密封部位向外部的泄露控制在最少。上述连通口21a的前端与由活塞20和气缸壳体21构成的气缸26内连通。

旋转轴7，如图8～10所示，在上端形成与上述卡合槽6a卡合的圆形部7a和与嵌合部6b嵌合的四边部7b，在圆形部7a和四边部7b的连接位置的肩部位形成倾斜部7c，在旋转轴7上形成与空气供给排气口6c和排气口6d连通的连通孔8和排气路9，在空气供给排气口6c和排气口6d的开口部位上装设有O形密封圈10。在该连通孔8设置被程序控制的后述的气缸驱动机构。

在将设置在滑动板4上的臂部5的基端部和旋转轴7连接时，能够使设置在该旋转轴7的连接部位上的空气供给排气口6c和排气口6d这两者同时密封装卸。在装设后，用螺母11将滑动板4固定在旋转轴7，在拆卸时通过将螺母11取下就可从旋转轴7卸下滑动板4。

如图9所示，将滑动板4的U字形槽状的卡合槽6a以大约高出2～3mm的方式从横向插入旋转轴7的四边部7b，在O形密封圈10、10的接触位置以稍向上倾斜的状态插入四边部7b和倾斜部7c。然后，使滑动板4成为水平，从而在自重的作用下压缩O形密封圈10、10就确定了安装位置，结果，如图10所示，滑动板4的基端部在与旋转轴7嵌合的状态下被螺母11紧固。

图11是表示旋转轴的另一例子的主要部分主视图，图12是表示旋转轴的俯视图。在图11、12中，旋转轴41，在上端形成圆形部43，并形成与该圆形部43的下部相邻的四边部42，在旋转轴41上形成与空气供给排气口6c和排气口6d连通的连通孔8和排气路9。在圆形部43上形成螺纹部43a，在该螺纹部43a的中途形成有小径的环状凹部43b。四边部42形成在两侧具有斜面42a的梯形。

图13是表示滑动板的另一例子的主要部分仰视图。在该图中，在圆盘状的滑动板50的臂部53上形成U字状的卡合槽52，在该卡合槽52的下部连设有嵌合部51，该嵌合部51为在两侧具有斜面51a、与旋转轴41的四边部42大致匹配的梯形。

臂部53的嵌合部51，如图14所示，从横向插入旋转轴41的四边部42。在这种情况下，嵌合部51的斜面51a被四边部42的斜面42a引导，臂部53被定位在旋转轴41上，能够顺畅且容易地插入，臂部53的卡合槽52与旋转轴41的圆形部43没有松动地可靠嵌合。

这样的臂部53和旋转轴41，借助如图15、16所示的螺母60紧固。该螺母60，在圆周方向上具有多个贯通孔61，在侧面形成槽60a。图17、18是螺母60的紧固时使用的垫圈70。在该垫圈70的外端部留有规定角度间隔地突出设置多个卡合片71，在使用时，如图21所示，通过将卡合片71的前端向上方弯曲，使之与螺母60的槽60a卡合，从而可防止从螺母60脱落。另外，即便螺母60松弛也在螺纹部中途的环状凹部43b空转，所以能够防止螺母60从旋转轴41脱落。

滑动板4的驱动源具有如图19所示的利用马达驱动的驱动示例、和如图20、21所示的利用气缸驱动的驱动示例。

即，在图19中，根据利用马达驱动的驱动示例，使步进马达36的驱动力经由传送带37驱动后述的旋转轴旋转，进而使滑动板4旋转。在这种情况下，步进马达36由图未示的控制器控制，在控制阀芯13开闭的同时使之动作，用于控制用的滑阀1。

在利用马达驱动的控制用的滑阀的情况下，在阀体3的控制面上可装卸地设置有控制肋19。该控制肋19，在滑动板4位于全闭位置附近从而流路2的阀口成为新月形时，进行微小压力的控制，所以通过滑动板4的两面控制，微小压力的控制性良好，并且通过安装所希望的控制肋19，能够适当改变控制特性。在此情况下，通过滑动板4的两面控制，微小压力的控制性良好，并且通过安装所希望的控制肋，能够适当改变控制特性。

另外，利用气缸驱动的驱动示例，如图20、21所示，是组合了阀芯气缸30和滑动板4用的摆动气缸31这两个气缸、以及空气动作用的延迟切换阀32而构成的。在这种情况下，将具有针32a的延迟切换阀32的动作压力范围设置得比阀芯气缸30的动作压力范围小。

在阀芯气缸30的空气供给口33上装设有节流孔34，从而即便排出空气也能够将摆动气缸31和延迟切换阀32的压力保持为大致相同。在阀芯气缸30和空气供给口上装设有止回阀35，在空气供给的同时向阀芯气缸30供给空气，当切换阀32动作时排放阀芯气缸30的空气。

将阀芯气缸30的动作压力设为0.4～0.6Mpa，将摆动气缸31的动作压力设为0.25～0.30Mpa，将延迟切换阀32的气缸的动作压力设为0.15～0.18Mpa，根据压力来切换动作，通过采用这种结构，能够可靠地进行气缸30、31的切换。例如，在从开阀状态排放操作压力的情况下，排放摆动气缸31的空气，当排放到0.2Mpa时，摆动动作到闭阀位置，另一方面，延迟切换阀32的操作压力由于被空气供给口33的节流孔34节流，所以是被供给相同压力的状态，从而在摆动动作中延迟切换阀32不会动作。

进而，当排放到0.2Mpa以下时，延迟切换阀32动作，阀芯气缸30的空气被排放、阀芯13关闭。阀芯气缸30，即使在长时间为开状态下也能防止关闭地一直供给空气，但是，到延迟切换阀32动作时，需要保持操作压力，所以设置了止回阀35。

除了用气缸机构使组装在滑动板4上的阀芯13动作的示例之外，还可以采用下述其他机构。例如，可以为这样的结构，即，在滑动板4中内置将流路2向直角方向驱动的气缸(图未示)，利用该气缸的空气压力或弹簧的推力使凸轮(图未示)动作，从而使阀芯13在流路方向上开闭；或者，可以利用例如马达等电驱动机构在流路方向上开闭组装在滑动板4中的阀芯13。

图22～图26是滑动板4的挠曲和止动部14、14的说明图。在滑动板4内，组装有利用气缸驱动机构在流路轴方向上进行开闭的阀芯13，将该阀芯13安装在从滑动板4的外周上端突出地设置的止动部14的止动面14a的下方1mm左右，在阀体3的阀座面15、内周面16与滑动板4的上下面之间设置例如0.3～0.5mm这样微小的间隙17、18。在该情况下，不仅止动面14a，连滑动板4的下面也与阀体3的内周面之间存在0.3～0.5mm的间隙，将滑动板4的下面作为止动面14b。另外，图22～图24是图3的A部放大图。

图22表示阀体13为开状态，通过用上下面这两处止动部14、14进行控制，能够提高最小流量的控制性。在图23中，阀芯13为闭状态，上部侧在大气压力下，下部侧为真空状态，下面的止动部14发挥了止动功能，并且通过密封垫28将阀座密封。在图24中，阀芯为闭状态，下部侧在大气压力下，上部侧是真空状态，上面的止动部14发挥了止动功能。在这种情况下，用滑动板4的上下面的微小间隙进行控制，但是并不限于此，可以将滑动板4的下面设为控制面，上面侧仅发挥止动部的功能。

另外，对于滑动板4的臂部5，将因滑动板单元的自重产生的挠曲抑制在0.1mm以下，并具有即便滑动板4的臂部5受到阀推力和差压载荷而发生挠曲也不产生塑性变形这样的弹性，由此能够将阀体3和滑动板4之间的间隙17、18设为最小。而且，通过提高滑动板4的刚性，能够使压力控制中在滑动板4上产生的最高使用压力差增大。例如，320A的阀芯面积是830cm²，在10Torr的差压下施加11kgf的滑动板重量程度的载荷。这样，就成为了两倍于因自重引起的挠曲的挠曲，所以容易与阀体3接触，但是，通过提高滑动板4的刚性，能够提高最高使用差压。

下面，说明上述实施方式的作用。

当向阀芯气缸30供给例如0.4Mpa的空气时，在图3中，流入活塞20的气缸26内、按压活塞20，并且将与活塞20连结的阀芯13向图3中的下方牵拉，从而阀芯13打开。在这种情况下，延迟切换阀32由针32a供给空气，所以在例如2秒期间不进行动作。然后，当在2秒后延迟切换阀32动作、向摆动气缸31供给空气时，滑动板4旋转，在0.3～0.4Mpa的压力下，如图2所示，在滑动板4’的位置处于全开位置。

接下来，当排放空气时，滑动板旋转，在0.2Mpa的压力下如图3所示位于全闭位置。并且，当排放空气时，延迟切换阀32在0.2Mpa～0.1Mpa的压力下动作，另一方面，当阀芯气缸30的空气排放后，在弹簧27的弹力作用下，阀芯13向图3中的上方即关闭方向动作，装设在阀芯13上的密封垫28与阀座面15按压接触，从而阀芯13保持关闭状态。在图19中的利用马达驱动的控制用滑阀的情况下，借助马达36的驱动使滑动板4旋转，进行控制，其中，阀芯气缸30与上述的例子相同。

在图22中，在阀芯13处于开状态时的滑动板4中，在支撑滑动板4的臂部5的弹性作用下，处于阀体3的中央位置上且位于阀体3与滑动板4的上下面的间隙17、18被设定为大致相同程度。因此，在阀芯13关闭时，如图23或图24所示，当在滑动板4上产生大气压和真空的压力差，滑动板4在弹性变形的范围内挠曲，如图25和图26所示，根据加压载荷的方向，阀体3和滑动板4的上下面成为止动部X、止动部Y，这样就成为即便承受阀推力和加压载荷也不会塑性变形的结构。

另外，将图2所示的阀体3的连结机构12卸下，从阀体本体3a取出盖体3b，接着，将滑动板4旋转到图27所示的位置。在该状态下，当取出旋转轴7的螺母11时，能够容易地取出组装有阀芯13等的滑动板4，从而能够极其有利于清洗、维修这样的作业。在这种情况下，仅通过卸下螺母11就能够拆卸滑动板4，然后，通过拆卸螺母23等，将组装在滑动板4中的阀芯13等部件构造分离，能够可靠地进行维修。另一方面，在安装滑动板4时，能够通过螺母11容易地将滑动板4的基端部装设在旋转轴7上。

另外，阀体3、阀芯13、滑动板4等这些接触气体部件的材料，例如优选具有耐化学药品性的不锈钢、铝材料等。

以上，详细说明了本发明的实施方式，但是本发明并不限定于上述的实施方式，能够在不脱离本发明的权利要求所记载的本发明的精神的范围内，进行各种变更。

例如，如图28、29所示的滑阀80那样，若将阀芯81组装在滑动板82内的下游侧，安装于阀芯81的密封垫等密封件83就难以受到流体流的影响，可抑制密封件83的腐蚀。并且，等离子、副产物的影响也减少，可减少腐蚀。另外，图28表示滑动板82的控制开度位置，图29表示滑动板82的全闭位置。

另外，如图30所示，可以将滑阀80直接安装在半导体制造装置的腔室90的开口部91上。这样，可以节约配管，以低成本得到紧凑的制造装置。这时，若将阀芯81组装在滑动板82的下游侧，则能够抑制阀芯81的腐蚀。

本发明的滑阀能够应用于半导体制造装置、液晶制造装置等真空排气系统。

Claims (11)

1.一种滑阀，在具有流路的阀体内设置有滑动板，该滑动板能够在阻止上述流路流通的闭锁位置和允许该流通的开放位置之间相对于流路轴垂直地水平或在直线上移动，其特征在于，

组装在上述滑动板内的阀芯设置成可在流路轴方向上动作从而能够进行开闭，在上述阀芯打开的状态下，在上述阀体和上述滑动板的上下面之间存在微小间隙，在上述阀芯关闭、产生差压载荷的情况下，将上述滑动板的上下面的任一方作为止动部，在上述阀芯打开时可借助上述滑动板的弹性将微小间隙保持为一定。

2.如权利要求1所述的滑阀，其特征在于，在上述阀芯关闭、上述滑动板弹性变形与微小间隙相应的量的状态下，上述滑动板的上下面的任一方成为止动部，从而形成即便用上述止动部承受差压载荷也不会产生塑性变形的结构。

3.如权利要求1或2所述的滑阀，其特征在于，在上述滑动板的外周突出设置止动部，在上述止动部的止动面的稍向内侧收容上述阀芯，将上述止动面设置成能够通过上述滑动板的上下面的间隙中的一方或双方进行最小流量的控制的控制面。

4.一种滑阀，在具有流路的阀体内设置有滑动板，该滑动板能够在阻止上述流路流通的闭锁位置和允许该流通的开放位置之间相对于流路轴垂直地水平移动，其特征在于，

将组装在上述滑动板内的阀芯设置成可在流路轴方向上移动从而使上述阀芯可开闭自如，并且将上述滑动板的基端部可装卸地安装在设置于上述阀体的旋转轴上。

5.如权利要求4所述的滑阀，其特征在于，在上述滑动板的基端部上形成梯形形状，在上述旋转轴上设置与上述基端部的梯形形状嵌合的梯形部，以将上述基端部的梯形形状和上述旋转轴的梯形部嵌合的方式使上述滑动板的基端部与上述旋转轴连接。

6.如权利要求4或5所述的滑阀，其特征在于，将上述滑动板的基端部经由螺母装卸自如地紧固在上述旋转轴的螺纹部上，并且使上述滑动板在上述阀体内以无滑动的状态水平移动。

7.如权利要求6所述的滑阀，其特征在于，在上述旋转轴的螺纹部的中途设置为了避免上述螺母脱落而进行空转的未加工螺纹的部分。

8.如权利要求4～7中任一项所述的滑阀，其特征在于，在将设置在上述滑动板上的基端部和上述旋转轴连接时，能够将设置在上述旋转轴的连接部位上的连通孔和排气路、与设置在上述滑动板上的空气供给排气口和排气口这两者同时经由O形密封圈密封装卸。

9.如权利要求8所述的滑阀，其特征在于，上述滑动板的排气口与上述阀芯的封闭用气缸用活塞轴的双层密封结构的中间部位连通。

10.如权利要求1～9中任一项所述的滑阀，其特征在于，将上述阀芯组装在上述滑动板内的下游侧。

11.如权利要求1～10中任一项所述的滑阀，其特征在于，将上述阀体直接安装在装置腔室的开口部。

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