JPS60252874A - 真空ゲ−トバルブ - Google Patents
真空ゲ−トバルブInfo
- Publication number
- JPS60252874A JPS60252874A JP59109873A JP10987384A JPS60252874A JP S60252874 A JPS60252874 A JP S60252874A JP 59109873 A JP59109873 A JP 59109873A JP 10987384 A JP10987384 A JP 10987384A JP S60252874 A JPS60252874 A JP S60252874A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- valve
- plate
- bellows
- cylinder
- valve plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
- F16K3/02—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor
- F16K3/16—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together
- F16K3/18—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together by movement of the closure members
- F16K3/188—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together by movement of the closure members by means of hydraulic forces
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K51/00—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus
- F16K51/02—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus specially adapted for high-vacuum installations
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Sliding Valves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔１〕 技術分野
本発明は真空配管系に使用する真空ゲートパルプに関す
る。
る。
〔２〕 従来技術
近年産業の発展とともに各種産業において真空装置の応
用分野も拡がυ、真空配管系に使用する真空ゲートバル
ブも増加しつつある。従来各分野に使用されている一般
的真空ゲートバルブを第１図および第２図に示し説明す
る。バルブの本体１１は箱型形状をしており、この本体
１１の内部に後述する弁板１２．プレート１３．リンク
１４．１５やローラ１６．１７等を内設し、その上部に
弁板１２を上下動させる駆動源となるシリンダ１８が取
付けられている。すなわち本体１１の一部を形成する側
板１’？、２０の下部に弁口２１．開口２２を穿設し、
弁口２１の内側には同弁口２１開閉用弁板１２が垂直に
設けられている。前記側板１９の弁口２１の内側はシー
ル画人となっており、弁板１２のシール面Ａに対向した
面にはＱ ＩＪング２３が装着されているとともに両側
（第２図において上下）にローラ１６が取付けられてい
る。前記弁板１２に対向して同弁板１２とほぼ同一サイ
ズのプレート１３が弁板１２の′反対側に設けられてお
沙前記弁板１２およびプレート１３はそれぞれ継ギ２４
゜２５をほぼ中央と下部に突設させ、これらの継ギ２４
と２５の間にリンク＋４．１５２渡し両端をビン２６．
２７で連結している。前記リンク１４は主に弁板１２の
押付を行なうものでリンク１５は弁板゛１２とプレート
１３の平行全作つためのものである。またリンク１４．
１５はピン２６．２７で連結されているため回動自在と
なっている。前記グレート１３０両側には弁板１２と同
様両側にローラ１７が取付けられており、これらのロー
ラ１６゜１７け本体１１の側板２Ｆ３．２９ｖｃ前記ロ
ーラ１６゜１７の外径寸法よりわずか広い巾に堀った案
内溝３０．３１内に挿入され、弁板１２およびプレート
１３の移動時ローラ１６．１７が回転するようになって
いる。
用分野も拡がυ、真空配管系に使用する真空ゲートバル
ブも増加しつつある。従来各分野に使用されている一般
的真空ゲートバルブを第１図および第２図に示し説明す
る。バルブの本体１１は箱型形状をしており、この本体
１１の内部に後述する弁板１２．プレート１３．リンク
１４．１５やローラ１６．１７等を内設し、その上部に
弁板１２を上下動させる駆動源となるシリンダ１８が取
付けられている。すなわち本体１１の一部を形成する側
板１’？、２０の下部に弁口２１．開口２２を穿設し、
弁口２１の内側には同弁口２１開閉用弁板１２が垂直に
設けられている。前記側板１９の弁口２１の内側はシー
ル画人となっており、弁板１２のシール面Ａに対向した
面にはＱ ＩＪング２３が装着されているとともに両側
（第２図において上下）にローラ１６が取付けられてい
る。前記弁板１２に対向して同弁板１２とほぼ同一サイ
ズのプレート１３が弁板１２の′反対側に設けられてお
沙前記弁板１２およびプレート１３はそれぞれ継ギ２４
゜２５をほぼ中央と下部に突設させ、これらの継ギ２４
と２５の間にリンク＋４．１５２渡し両端をビン２６．
２７で連結している。前記リンク１４は主に弁板１２の
押付を行なうものでリンク１５は弁板゛１２とプレート
１３の平行全作つためのものである。またリンク１４．
１５はピン２６．２７で連結されているため回動自在と
なっている。前記グレート１３０両側には弁板１２と同
様両側にローラ１７が取付けられており、これらのロー
ラ１６゜１７け本体１１の側板２Ｆ３．２９ｖｃ前記ロ
ーラ１６゜１７の外径寸法よりわずか広い巾に堀った案
内溝３０．３１内に挿入され、弁板１２およびプレート
１３の移動時ローラ１６．１７が回転するようになって
いる。
本体１ ｌの上部にはフタ３２がしてあり内部は密閉状
態となっている。前記フタ３２の上面にシリンダ１８が
垂直に取付けられており、シリンダロッド３３はフタ３
２を貫通して本体１１内［呻び先端はプレート１３の上
面に螺着されている。
態となっている。前記フタ３２の上面にシリンダ１８が
垂直に取付けられており、シリンダロッド３３はフタ３
２を貫通して本体１１内［呻び先端はプレート１３の上
面に螺着されている。
前述のように構成されているため、第１図の状態からシ
リンダ１８を作用させプレート１３を引上げると弁板１
２およびプレート１３はいづれも両側のガイドローラ１
６．１７が側板２Ｌ ２９の案） 内溝°０・°”Ｋ”
（１”−１″″がら移動“６・ゝ１がりてプレート１３
が上昇すると弁板１２はリンク１４．１５で引張られな
がら最初プレート１３側に案内溝３０にそって移動し、
弁板１２はシール面Ａから遠ざかり次に上昇する。この
際弁板１２は自重によりプレート１３より若干下った位
置になるがリンク１４．１５によりプレート１３と平行
を維持しながらシリンダ１８０ストローク限（シリンダ
ロッドの後退限）まで上昇し側板１９に設けた弁口２１
は全開となる。
リンダ１８を作用させプレート１３を引上げると弁板１
２およびプレート１３はいづれも両側のガイドローラ１
６．１７が側板２Ｌ ２９の案） 内溝°０・°”Ｋ”
（１”−１″″がら移動“６・ゝ１がりてプレート１３
が上昇すると弁板１２はリンク１４．１５で引張られな
がら最初プレート１３側に案内溝３０にそって移動し、
弁板１２はシール面Ａから遠ざかり次に上昇する。この
際弁板１２は自重によりプレート１３より若干下った位
置になるがリンク１４．１５によりプレート１３と平行
を維持しながらシリンダ１８０ストローク限（シリンダ
ロッドの後退限）まで上昇し側板１９に設けた弁口２１
は全開となる。
バルブ（弁口２１）を閉じる場合、シリンダ１８を下降
側に作動させ、プレート１３全下降させる。
側に作動させ、プレート１３全下降させる。
プレート１３の下降に伴ない弁板１２は側板２８゜２９
の案内溝３０にロー２１６がガイドされながらプレート
１３と平行を保ちながら下限近くまで下降し、次にシー
ル面Ａ側に向って横に移動し、シール面Ａに接触する。
の案内溝３０にロー２１６がガイドされながらプレート
１３と平行を保ちながら下限近くまで下降し、次にシー
ル面Ａ側に向って横に移動し、シール面Ａに接触する。
さらにプレー）１３が最下限装置まで下るとリンク１４
のトグル機構により弁板１２はシール面ＡＫ強力に押付
けられ、弁口２１は全閉となる。弁の開閉動作は空間Ｂ
および配管Ｃの圧力夢轍しい状態で行われる。弁が閉じ
ているとき空間Ｂが真空で接続配管Ｃの内圧力が大気圧
の場合、弁板１２には（弁口２１の面積）×（配管Ｃの
内圧力）なる力がプレート１３側（開く方向）に働くが
前記トグル機構による強力な力で押付けているため弁板
１２は開くことはなく密閉状態が保たれる。
のトグル機構により弁板１２はシール面ＡＫ強力に押付
けられ、弁口２１は全閉となる。弁の開閉動作は空間Ｂ
および配管Ｃの圧力夢轍しい状態で行われる。弁が閉じ
ているとき空間Ｂが真空で接続配管Ｃの内圧力が大気圧
の場合、弁板１２には（弁口２１の面積）×（配管Ｃの
内圧力）なる力がプレート１３側（開く方向）に働くが
前記トグル機構による強力な力で押付けているため弁板
１２は開くことはなく密閉状態が保たれる。
弁板１２のシール面Ａへの押付力はローラ１７で受け、
ローラＩ７を案内溝３１で受けている。
ローラＩ７を案内溝３１で受けている。
また押付力は連結部のピン２６．’２７にも働いている
。いづれも前記押付力を受ける面積が小さく。
。いづれも前記押付力を受ける面積が小さく。
荷重が集中し、摩耗が著しく変形が生じ易くなっている
とともにローラ１６．１７が案内溝３０．３１内をころ
がる際もローラ１６．１７自身の摩耗および案内溝３０
．３１の摩耗が発生している。これらの摩耗は潤滑が豊
かな大気圧中での使用状態と異なシ真空状態で使用する
ため潤滑が不可能または不充分なため特に摩耗が著しく
大きくなっている。
とともにローラ１６．１７が案内溝３０．３１内をころ
がる際もローラ１６．１７自身の摩耗および案内溝３０
．３１の摩耗が発生している。これらの摩耗は潤滑が豊
かな大気圧中での使用状態と異なシ真空状態で使用する
ため潤滑が不可能または不充分なため特に摩耗が著しく
大きくなっている。
その上弁板１２の開閉速度が速い場合に振動等により摩
耗は助長され開閉頻度が多、い場合はさらに摩耗は大き
くなり多量の摩耗粉が発生する。この摩耗粉は特に半導
体製造装置のような微量の摩耗粉をも障害となる場合に
は使用不可能となっている。
耗は助長され開閉頻度が多、い場合はさらに摩耗は大き
くなり多量の摩耗粉が発生する。この摩耗粉は特に半導
体製造装置のような微量の摩耗粉をも障害となる場合に
は使用不可能となっている。
〔３〕 発明の目的
本発明は前述の欠点に鑑みなされたもので、開閉速度が
早く、開閉頻度が高い場合にも摩耗粉の発生がなく微量
の摩耗粉をも障害となる半導体装置にも十分使用可能で
、しかも安価に製作できる真空ゲートバルブを提供する
ことにちる。
早く、開閉頻度が高い場合にも摩耗粉の発生がなく微量
の摩耗粉をも障害となる半導体装置にも十分使用可能で
、しかも安価に製作できる真空ゲートバルブを提供する
ことにちる。
〔４〕発明の概要
バルブ本体内に弁板およびプレートを対向させ、弁板お
よびグレート間全金属ベローズ等の伸縮自在な弾性体で
結合し、密閉空間を形成した弁体と、同弁体の内部に圧
力流体を導出入し、前記弁体の弁板全弁口のシール面に
着脱させるための手段と、この弁体を弁口の開閉位置に
移動させるシリンダとから構成された真空ゲートバルブ
である。
よびグレート間全金属ベローズ等の伸縮自在な弾性体で
結合し、密閉空間を形成した弁体と、同弁体の内部に圧
力流体を導出入し、前記弁体の弁板全弁口のシール面に
着脱させるための手段と、この弁体を弁口の開閉位置に
移動させるシリンダとから構成された真空ゲートバルブ
である。
〔５〕発明の実施例
本発明の一笑例を第３図に示す。バルブ本体１１は従来
の第１図に示す従来の真空ゲートバルブの本体と同様箱
型形状をしている。本体１１内部に円形をした弁板３４
およびプレート３４ａ’ｉ平行に対向させ、前記弁板３
４とプレート３４ａの中間にリング３５全弁板３４およ
びプレート３４ａに平行に設け、このリング３５と弁板
３４およびプレート３４ａ間全伸縮自在な金属ベローズ
３６で連結し、筒形で密閉された弁体３７を形成してい
る。さらに弁板３４およびプレート３４ａの間には複数
の引張バネ３８が取りらけられている。
の第１図に示す従来の真空ゲートバルブの本体と同様箱
型形状をしている。本体１１内部に円形をした弁板３４
およびプレート３４ａ’ｉ平行に対向させ、前記弁板３
４とプレート３４ａの中間にリング３５全弁板３４およ
びプレート３４ａに平行に設け、このリング３５と弁板
３４およびプレート３４ａ間全伸縮自在な金属ベローズ
３６で連結し、筒形で密閉された弁体３７を形成してい
る。さらに弁板３４およびプレート３４ａの間には複数
の引張バネ３８が取りらけられている。
本体１１の側板（９には弁口２１が側板２ｏには開口２
１ａがそれぞれ設けられ、弁板３４およびプレート３４
ａの外側平面の外周に近い位置に。
１ａがそれぞれ設けられ、弁板３４およびプレート３４
ａの外側平面の外周に近い位置に。
リング２３が装着されている。本体１１の上部にはフタ
３９がしてあり内部は密閉状態となっている。
３９がしてあり内部は密閉状態となっている。
前記フタ３９の上面にシリンダ１ｇが垂直に取面に螺着
されている。！、た、弁体３７の弁板３４１・（の上部
に弁体３７の内部に連通する孔を穿設するとともにフタ
３９にも配管継手接続用孔を穿設し、この両孔間を可撓
管４０で連結している。さらにフタ３９に設けた前記孔
の上側から切換弁（図示せず）壕では配管４１で連結さ
れている。
されている。！、た、弁体３７の弁板３４１・（の上部
に弁体３７の内部に連通する孔を穿設するとともにフタ
３９にも配管継手接続用孔を穿設し、この両孔間を可撓
管４０で連結している。さらにフタ３９に設けた前記孔
の上側から切換弁（図示せず）壕では配管４１で連結さ
れている。
次に作用について説明する。第３図はバルブが閉じてい
る状態（弁板３４ｖｃより弁口２１が閉じている状態）
を示す図であるが、弁口２１が全開の状態から閉じる場
合、シリンダ１８を作用させロッド３３全下降させ弁体
３７を最下限捷で下げ配管４１から圧力流体全弁体３７
内ＤＫ可撓管４゜全通して流し流体圧力によって金属ベ
ローズ３６を押し伸ばし、（第３図の左右方向）弁板３
４゜グレート３４ａｉそれぞれ側板１９のシール面Ａお
よび側板２０の押しつけ面Ｒに押しつけシール面Ａ ’
（ｉ７ Ｑ ＩＪング２３により完全にシールする。空
間Ｆと０は連通していてもよく、プレート３４ａに装着
された０リングはバルブを閉じる際にプレート３４ａと
押しつけ面Ｎとの接触により摩耗粉が発生するのを防ぐ
ためのものである。このバルブを閉める場合弁体３７内
の空間りに導入する圧力は（弁口２１の面積大空間Ｅの
圧力）なる力に引張バネ３８およびベローズ３もの収縮
力（即ち弁板３４．プレート３４ ａ：ｉ互に引張るカ
）を加算した値以上の力を発生する必要がある。バルブ
た後（空間ＦとＧは連通しているものとする）配管４１
の元に取付けた切換弁を切換λ−弁体３７内の空間りの
圧力流体を外部に排出する。弁体３７内の圧力が下ると
引張バネ３８と金属ベローズ３６の収縮力により金属ベ
ローズは内側に縮まり、弁板３４．プレート３４ａはそ
れぞれシール画人押しつけ面λか・ら離れる。この状態
でシリンダ１８を作用させてロッド３３が上昇する方向
に動がし、弁体３７全上昇させ弁口２１を全開させる。
る状態（弁板３４ｖｃより弁口２１が閉じている状態）
を示す図であるが、弁口２１が全開の状態から閉じる場
合、シリンダ１８を作用させロッド３３全下降させ弁体
３７を最下限捷で下げ配管４１から圧力流体全弁体３７
内ＤＫ可撓管４゜全通して流し流体圧力によって金属ベ
ローズ３６を押し伸ばし、（第３図の左右方向）弁板３
４゜グレート３４ａｉそれぞれ側板１９のシール面Ａお
よび側板２０の押しつけ面Ｒに押しつけシール面Ａ ’
（ｉ７ Ｑ ＩＪング２３により完全にシールする。空
間Ｆと０は連通していてもよく、プレート３４ａに装着
された０リングはバルブを閉じる際にプレート３４ａと
押しつけ面Ｎとの接触により摩耗粉が発生するのを防ぐ
ためのものである。このバルブを閉める場合弁体３７内
の空間りに導入する圧力は（弁口２１の面積大空間Ｅの
圧力）なる力に引張バネ３８およびベローズ３もの収縮
力（即ち弁板３４．プレート３４ ａ：ｉ互に引張るカ
）を加算した値以上の力を発生する必要がある。バルブ
た後（空間ＦとＧは連通しているものとする）配管４１
の元に取付けた切換弁を切換λ−弁体３７内の空間りの
圧力流体を外部に排出する。弁体３７内の圧力が下ると
引張バネ３８と金属ベローズ３６の収縮力により金属ベ
ローズは内側に縮まり、弁板３４．プレート３４ａはそ
れぞれシール画人押しつけ面λか・ら離れる。この状態
でシリンダ１８を作用させてロッド３３が上昇する方向
に動がし、弁体３７全上昇させ弁口２１を全開させる。
なおバルブを開く際配管４２，４３内の空間Ｒ，Ｆの圧
力が高真空の場合でも、前記引張バネ３８と金属ベロー
ズ３６の収縮力が内側に働くため弁体３７内の空間りの
圧力を高真空にする必要はなく空間りの圧力全大気圧に
すれば弁板３４．グレート３４ａはシール画人、押しつ
け面Ｒから離れ、直ちに弁体３７を上昇させることがで
きる。この場合真空ポンプを用いる等により空間り内の
圧力を大気圧よりかなり下げることができるならば引張
バネ３８は必ずしも必要ではない。
力が高真空の場合でも、前記引張バネ３８と金属ベロー
ズ３６の収縮力が内側に働くため弁体３７内の空間りの
圧力を高真空にする必要はなく空間りの圧力全大気圧に
すれば弁板３４．グレート３４ａはシール画人、押しつ
け面Ｒから離れ、直ちに弁体３７を上昇させることがで
きる。この場合真空ポンプを用いる等により空間り内の
圧力を大気圧よりかなり下げることができるならば引張
バネ３８は必ずしも必要ではない。
第４図は他の実施例を示すもので、弁体４４の構成が第
３図のものと異なり金属ベローズ間の中間には第３図の
リング３５に相当するものを設けず、互に平行な弁板３
４およびプレー） ３４ ａノ間を金属ベローズ４５で
連結し、筒形で密閉された弁体４４を形成している。前
記金属ベローズ４５の外周には第３図の実施例と同様な
引張バネ３８が複数個取付けられ常に弁板３４およびプ
レート３４ ａ、 ｌ内側に引張っている。弁体４４と
シリンダのロッド３３とは柔軟性のある２板の平行板バ
ネ４６で連結されている。したがってバルブを閉じた状
態で第４図に示すように板バネ４６は下部が外側に曲っ
た状態となり、バルブを全開する直前、すなわち弁体４
４内りの内圧を大気圧にし、゛弁板３４およびプレー）
３４ａがシール面Ａおよび押しつけ画人から離れ内側に
寄った場合、前記板バネ４６は、はぼロッド３３と一直
線になる。
３図のものと異なり金属ベローズ間の中間には第３図の
リング３５に相当するものを設けず、互に平行な弁板３
４およびプレー） ３４ ａノ間を金属ベローズ４５で
連結し、筒形で密閉された弁体４４を形成している。前
記金属ベローズ４５の外周には第３図の実施例と同様な
引張バネ３８が複数個取付けられ常に弁板３４およびプ
レート３４ ａ、 ｌ内側に引張っている。弁体４４と
シリンダのロッド３３とは柔軟性のある２板の平行板バ
ネ４６で連結されている。したがってバルブを閉じた状
態で第４図に示すように板バネ４６は下部が外側に曲っ
た状態となり、バルブを全開する直前、すなわち弁体４
４内りの内圧を大気圧にし、゛弁板３４およびプレー）
３４ａがシール面Ａおよび押しつけ画人から離れ内側に
寄った場合、前記板バネ４６は、はぼロッド３３と一直
線になる。
前述以外の構成および作用は第３図の実施例と同一につ
き説明は省略する。寸た従来から行われているようにシ
リンダ１８のロッド３３ｉ金属ベローズにより覆いシリ
ンダ１ｇからのエヤ漏れが空間Ｇ内に入ることを防ぐと
共にロッド３３とシリンダのパツキン（図示しない）部
との摺動によるけ可撓管を通して行なったが、シリンダ
１８の代りに両ロンド形シリンダを使用しロッドの内部
に貫通穴を設けそれを通して流体を導入するならば可撓
管４０は不要となる。またパルプの全開、全閉の動作す
なわち弁体３７，４４の上下動作をシリンダを使用して
行なったが、シリンダの代りに送りねじおよびすｙトｆ
用いてモータにより弁体を上下できることは言うまでも
ない。また弁口２Ｉの中心軸イに平行な軸全本体１１内
の弁体３７または４４の周囲の任意の位置に設け、前記
軸を中心に弁体３７または４４を旋回させることによっ
ても弁体の移動を行なうことができる。旋回式の場合で
も軸のシール部の漏洩および摩耗粉の飛散防止は従来技
術である磁気流体シールなどによりこれを防止すること
ができる。
き説明は省略する。寸た従来から行われているようにシ
リンダ１８のロッド３３ｉ金属ベローズにより覆いシリ
ンダ１ｇからのエヤ漏れが空間Ｇ内に入ることを防ぐと
共にロッド３３とシリンダのパツキン（図示しない）部
との摺動によるけ可撓管を通して行なったが、シリンダ
１８の代りに両ロンド形シリンダを使用しロッドの内部
に貫通穴を設けそれを通して流体を導入するならば可撓
管４０は不要となる。またパルプの全開、全閉の動作す
なわち弁体３７，４４の上下動作をシリンダを使用して
行なったが、シリンダの代りに送りねじおよびすｙトｆ
用いてモータにより弁体を上下できることは言うまでも
ない。また弁口２Ｉの中心軸イに平行な軸全本体１１内
の弁体３７または４４の周囲の任意の位置に設け、前記
軸を中心に弁体３７または４４を旋回させることによっ
ても弁体の移動を行なうことができる。旋回式の場合で
も軸のシール部の漏洩および摩耗粉の飛散防止は従来技
術である磁気流体シールなどによりこれを防止すること
ができる。
〔６〕 発明の効果
本発明の真空ゲートパルプは空間Ｇ内に露出弘金属接触
を行いつつ運動する直線案内部分および回転案内部分が
全く存在しないためパルプ全高速高頻度に開閉しても弁
体の移動、開閉による摩耗粉の発生はほとんどない。し
たがって半導体製造装置のような微量の摩耗粉が障害と
なる装置にも十分使用可能でおる。またシール面への弁
板の押付けが第１．２図のような機械的な方法では全面
均一な押付力で行うことは困難であるのに対し、本発明
のような流体圧力による場合にはシール面全体に均一な
押付けができシール性が高い上、０リングの寿命も長く
なるなど多大の効果を有するものである。
を行いつつ運動する直線案内部分および回転案内部分が
全く存在しないためパルプ全高速高頻度に開閉しても弁
体の移動、開閉による摩耗粉の発生はほとんどない。し
たがって半導体製造装置のような微量の摩耗粉が障害と
なる装置にも十分使用可能でおる。またシール面への弁
板の押付けが第１．２図のような機械的な方法では全面
均一な押付力で行うことは困難であるのに対し、本発明
のような流体圧力による場合にはシール面全体に均一な
押付けができシール性が高い上、０リングの寿命も長く
なるなど多大の効果を有するものである。
第１図は従来の真空ゲートパルプの断面図、第２図は第
１図のＩ−Ｉ線における断面図、第３図は本発明の一実
施例を示す断面図、第４図は本発明の他の実施例を示す
断面図である。 １１・・・本体％ １８・・・シ１ノンタ゛、３４・・
・弁板、３４ａ・・・プレート、３６．４５・・・ベロ
ーズ、３７．４４・・・弁体、 ４０・・・可撓管。 ４１・・・配管である。 出願人 東芝機械株式会云 第１図 土 第２図 第３図 Ｙ
１図のＩ−Ｉ線における断面図、第３図は本発明の一実
施例を示す断面図、第４図は本発明の他の実施例を示す
断面図である。 １１・・・本体％ １８・・・シ１ノンタ゛、３４・・
・弁板、３４ａ・・・プレート、３６．４５・・・ベロ
ーズ、３７．４４・・・弁体、 ４０・・・可撓管。 ４１・・・配管である。 出願人 東芝機械株式会云 第１図 土 第２図 第３図 Ｙ
Claims (1)
- バルブ本体内に弁板およびプレート全対向させ、弁板お
よびグレート間を金属ベローズ等の伸縮自在な弾性体で
結合し、密閉空間を形成した弁体と、この弁体内に圧力
流体を導出入する手段と、前記弁体を弁口の開閉位置に
移動させる移動機構とから成ることを特徴とした真空ゲ
ートバルブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59109873A JPS60252874A (ja) | 1984-05-30 | 1984-05-30 | 真空ゲ−トバルブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59109873A JPS60252874A (ja) | 1984-05-30 | 1984-05-30 | 真空ゲ−トバルブ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60252874A true JPS60252874A (ja) | 1985-12-13 |
Family
ID=14521350
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59109873A Pending JPS60252874A (ja) | 1984-05-30 | 1984-05-30 | 真空ゲ−トバルブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60252874A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007013227A1 (ja) * | 2005-07-29 | 2007-02-01 | Kitz Sct Corporation | スライドバルブ |
| JP2009537755A (ja) * | 2006-05-18 | 2009-10-29 | マリキャップ オーワイ | ゲート弁 |
-
1984
- 1984-05-30 JP JP59109873A patent/JPS60252874A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007013227A1 (ja) * | 2005-07-29 | 2007-02-01 | Kitz Sct Corporation | スライドバルブ |
| US7828267B2 (en) | 2005-07-29 | 2010-11-09 | Kitz Sct Corporation | Slide valve |
| JP4878029B2 (ja) * | 2005-07-29 | 2012-02-15 | 株式会社キッツエスシーティー | スライドバルブ |
| JP2009537755A (ja) * | 2006-05-18 | 2009-10-29 | マリキャップ オーワイ | ゲート弁 |
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