KR101694277B1 - 반도체 설비용 진자 밸브 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 밸브 바디 내에서 회전축에 결합되어 스텝 모터의 구동력으로 진자 운동하는 밸브 게이트가 한쪽으로 비틀어지거나 처지는 등의 변위를 방지하는 반도체 소자 제조용 장비의 진자 밸브를 제공하기 위한 것으로서, 본 발명에 따른 상기 밸브 게이트는, 상기 회전축의 나사구멍과 대응되는 위치에 슬롯이 형성되고, 상기 슬롯의 가장자리 둘레에 결합턱이 형성되고, 상기 회전축과 대향하는 면에 스토퍼홈이 형성되며, 상기 회전축은, 상기 밸브 게이트와 대향하는 면에 상기 스토퍼홈에 삽입되는 제1스토퍼가 형성되고, 상기 제1스토퍼와 동일선상의 상기 밸브 게이트와 대향하는 면에 상기 슬롯에 삽입되는 제2스토퍼가 형성되고, 상기 제1 및 제2스토퍼와 동일선상의 상기 밸브 게이트와 대향하는 면의 가장자리에 지그 나사구멍이 형성되며, 상기 밸브 게이트의 슬롯을 통해 상기 회전축의 지그 나사구멍 위에 밀착 결합하되, 양쪽으로 상기 슬롯을 가로질러 상기 결합턱에 밀착되는 밀착날개부가 형성되고, 중앙부에 상기 지그 나사구멍과 통하는 볼트구멍이 형성된 지그 및 상기 지그의 볼트구멍을 통해 상기 회전축의 지그 나사구멍과 볼팅 체결되고, 상기 지그가 상기 밸브 게이트의 한쪽 단부를 상기 회전축에 고정하는 상태를 유지시키는 고정볼트를 더 포함하는 반도체 설비용 진자 밸브를 제시한다.

Description

반도체 설비용 진자 밸브{Pendulum valve for semiconductor equipment}
본 발명은 반도체 설비용 진자 밸브(pendulum valve)에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 건식 식각 장치의 프로세스 쳄버와 진공 펌프 사이의 유체통로상에 설치되는 진자 밸브의 밸브 게이트가 편심 하중에 의해 한쪽으로 비틀어지거나 처지는 등의 변위를 방지할 수 있는 반도체 소자 제조용 장비의 진자 밸브에 대한 것이다.
일반적으로 반도체 소자의 제조공정(전공정) 중에서 식각(etching)은 웨이퍼에 반도체 집적회로를 형성하는 공정으로서, 노광으로 새겨진 회로 패턴 또는 증착 공정으로 얹어진 박막을 화학적 혹은 물리적 반응을 통해 깎아내는 공정을 의미한다.
이러한 식각은 크게 건식과 습식으로 나누어지는 데, 습식 식각은 소자의 최소 선폭이 수㎛ 내지 수십㎛ 대의 집적회로 소자에 범용으로 사용되었으나, 최근 들어 반도체 소자가 고집적화되고 엄격해지는 디자인 룰에 의해 선폭과 패턴의 크기가 미세화되어 감에 따라 반응성 가스를 에천트(etchant)로 사용하는 건식 식각이 주류를 이루고 있다.
건식 식각 기술은 플라즈마를 사용하여 피가공 재료, 예컨대 웨이퍼를 플라즈마 상태의 활성 미립자(래디칼)와 화학반응에 의하여 제거하는 방법과, 이온을 가속시켜 물리적으로 제거하는 방법 또는 이 두 가지 방법을 혼용하여 제거하는 방법을 총칭하고 있다.
도 1에 도시된 바와 같이 건식 식각 장치는 식각 공정이 이루어지는 프로세스 챔버(chamber)에 진공을 걸어주거나 챔버 내의 잔류가스를 배출시키는 일종의 진공 펌프(vacuum pump)인 터보 펌프와, 이 챔버와 터보 펌프를 연결하는 유체통로인 연결관과, 이 연결관을 개폐하는 진자 밸브(pendulum valve)로 이루어져 있다.
특히 진자 밸브는 터보 펌프와 연결된 연결관을 여닫는 개폐 작용을 수행함으로써 챔버의 진공 상태를 제어하는 데, 진자 밸브가 터보 펌프와 연결된 연결관을 닫게 되면 챔버의 진공도는 그대로 유지되고, 연결관을 열게 되면 터보 펌프의 펌핑 작용에 의해서 챔버의 진공도는 고진공 상태로 된다. 이때, 진자 밸브의 개폐작용은 그 내부의 이른바 밸브 게이트(valve gate)라고 하는 진자 플레이트(pendulum plate)의 진자 운동에 의해 이루어진다.
도 2는 종래기술에 따른 건식 식각 장치의 챔버와 진공 펌프 사이의 연결관에 설치된 진자 밸브를 나타낸 부분 단면도(닫힌 상태)로서, 이를 참조하면 진자 밸브(100)는 크게 밸브 바디(110)와, 이 밸브 바디(110)의 통로(111)를 개폐하는 개폐부(120)로 구성되어 있다.
밸브 바디(110)에는 챔버 및 터보 펌프와 통하도록 통로(111)가 수직으로 관통 형성되어 있고, 내부에는 통로(111)와 통하는 작동실(112)이 수평으로 형성되어 있다.
개폐부(120)는 원판 형상의 밸브 게이트(121)와, 이 밸브 게이트(121)를 진자 운동시켜 밸브 바디의 통로(111)를 개폐하는 구동부(122)로 이루어져 있고, 구동부(122)는 밸브 바디(110)의 하부에 장착되어 제어부의 신호에 따라 작동하는 스텝 모터(123)와, 이 스텝 모터(123)의 구동축과 동력전달수단에 의해 연결되고 상부가 작동실(112) 내로 돌출된 회전축(124)으로 구성되어 있으며, 밸브 게이트(121)는 구동부(122)의 작동에 의해 회전하면서 진자 운동으로 밸브 바디의 통로(111)를 개폐하도록 한쪽이 회전축(124)의 상부에 결합되어 있다.
또한, 작동실(112)의 통로(111) 쪽 상부에는 밸브 게이트(121)가 통로(111)를 폐쇄 시 챔버의 진공도가 터보 펌프로부터 영향을 받지 않도록 하고, 불필요한 공기나 기타 불순물이 밸브 게이트(121)와 통로(111) 사이의 틈새를 통해 챔버에 유입되거나 챔버의 압력 저하로 인한 반도체 소자의 불량 발생을 막기 위해 통로(111)와 밸브 게이트(121)를 기밀하게 밀봉하는 락킹링(130)이 에어 실린더(140)에 의해 승강 가능하게 설치되어 있고, 이 락킹링(130)의 밸브 게이트(121)와 마주하는 면에는 고무 소재의 밀폐링(131)이 부착되어 있다.
따라서 스텝 모터(123)가 제어부로부터 전기적 신호를 전달받으면, 미리 정해진 수만큼의 값에 따라 회전하여 회전축(124)을 회전시키고, 이와 연동하여 밸브 게이트(121)가 회전축(124)을 회전 중심점으로 하여 작동실(112) 내에서 회전하면서 밸브 바디의 통로(111)를 개폐하게 된다. 이때, 밸브 게이트(121)의 개폐 정도는 챔버의 진공 정도를 적당하게 조절할 수 있도록 초기에 세팅된 수치만큼 개폐된다.
아울러 에어 실린더(140)가 제어부로부터 전기적 신호를 전달받아 락킹링(130)을 승강 작동시켜 벨브 게이트(121)의 상면과 기밀 상태를 유지 및 해제시키게 된다.
그런데 이와 같은 종래의 진자 밸브(100)는 밸브 게이트(121)의 한쪽 부분을 회전축(124)의 상면에 얹고 단순히 볼트(B)로 죄여서(bolting) 나사 결합한 구조이기 때문에 밸브 게이트(121)의 개폐 작동을 반복 시 볼트(B)에 편심 하중 등이 집중되어 쉽게 풀리거나 헐거워지고, 이로 인해 밸브 게이트(121)가 한쪽으로 비틀어지거나 처져서 밸브 바디(110)와 접촉 간섭으로 긁히거나 찍히는 현상이 일어나면서 파티클(particle)을 발생시켜 웨이퍼의 불량률이 증가할 뿐만 아니라 밸브 게이트(121)가 설정된 위치에서 벗어나서 정밀한 제어가 불가능하여 제대로 작동되지 않는 문제점이 있다.
게다가 락킹링(130)이 하강하여 밸브 게이트(121)의 상면을 누를 때 회전축(124)과 거리가 가까운 밸브 게이트(121) 부분과 거리가 먼 부분 간에 접촉 상태의 차이로 인한 틈새가 생기면서 누설(leak)이 발생하여 결과적으로 사용수명이 짧아지는 문제점이 있다.
KR 10-1425811 B1(2014.07.28) KR 10-2006-0013810 A(2006.02.14) KR 10-2005-0015191 A(2005.02.21) KR 10-2003-0017204 A(2003.03.03)
이에 본 발명자는 상술한 제반 사항을 종합적으로 고려하여 기존의 반도체 설비용 진자 밸브가 갖고 있는 한계 및 문제점의 해결에 역점을 두어 밸브 게이트가 한쪽으로 비틀어지거나 처지는 등의 변위를 방지함으로써 긁히거나 찍히는 현상으로 인한 파티클(particle)의 발생을 방지함은 물론 누설(leak)을 막는 효과를 도모하고, 이를 통해 웨이퍼의 불량률을 최소화하고 신뢰성을 향상시킬 수 있는 새로운 구조의 반도체 설비용 진자 밸브를 개발하고자 각고의 노력을 기울여 부단히 연구하던 중 그 결과로써 본 발명을 창안하게 되었다.
따라서 본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제 및 목적은 밸브 게이트가 비틀어지거나 처지는 현상을 방지할 수 있도록 하는 반도체 설비용 진자 밸브를 제공하는 데 있는 것이다.
상술한 바와 같은 기술적 과제 해결 및 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시 양태에 따른 구체적 수단은, 반도체 소자 제조용 장비의 프로세스 챔버와 진공 펌프 사이의 연결관상에 설치되며, 내부에 상기 연결관과 연통되는 통로가 형성되고, 상기 통로와 연통되는 작동실이 형성된 밸브 바디와, 상기 밸브 바디의 내부에 설치되어 진자 운동으로 상기 통로를 개폐하는 밸브 게이트 및 상기 밸브 게이트의 한쪽과 중심부가 볼팅 체결되고 스텝 모터의 구동력을 전달받아 회전하면서 상기 밸브 게이트를 회전 작동시키는 회전축을 포함하는 진자 밸브에 있어서, 상기 밸브 게이트는, 상기 회전축의 나사구멍과 대응되는 위치에 슬롯이 형성되고, 상기 슬롯의 가장자리 둘레에 결합턱이 형성되고, 상기 회전축과 대향하는 면에 스토퍼홈이 형성되며, 상기 회전축은, 상기 밸브 게이트와 대향하는 면에 상기 스토퍼홈에 삽입되는 제1스토퍼가 형성되고, 상기 제1스토퍼와 동일선상의 상기 밸브 게이트와 대향하는 면에 상기 슬롯에 삽입되는 제2스토퍼가 형성되고, 상기 제1 및 제2스토퍼와 동일선상의 상기 밸브 게이트와 대향하는 면의 가장자리에 지그 나사구멍이 형성되며, 상기 밸브 게이트의 슬롯을 통해 상기 회전축의 지그 나사구멍 위에 밀착 결합하되, 양쪽으로 상기 슬롯을 가로질러 상기 결합턱에 밀착되는 밀착날개부가 형성되고, 중앙부에 상기 지그 나사구멍과 통하는 볼트구멍이 형성된 지그 및 상기 지그의 볼트구멍을 통해 상기 회전축의 지그 나사구멍과 볼팅 체결되고, 상기 지그가 상기 밸브 게이트의 한쪽 단부를 상기 회전축에 고정하는 상태를 유지시키는 고정볼트를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 설비용 진자 밸브를 제시한다.
이로써 본 발명은 밸브 게이트가 통로를 폐쇄 시 한쪽으로 비틀어지거나 처지면서 밸브 바디와 접촉으로 긁히거나 찍히는 현상을 방지하고, 그로 인한 파티클(particle)의 발생과 누설(leak)을 막아 웨이퍼의 불량률을 최소화하고 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
또한, 본 발명의 바람직한 실시 양태로, 상기 밸브 게이트의 슬롯을 통해 상기 회전축의 나사구멍과 볼팅 체결되는 축볼트와, 상기 축볼트와 상기 나사구멍 간의 볼팅 체결 시 상기 밸브 게이트의 결합턱에 밀착되어 상기 회전축에 대한 상기 밸브 게이트의 결합력 강화하는 홀더링을 더 포함하여 구성됨으로써 더욱 견고하고 안정적으로 밸브 게이트를 회전축에 고정할 수 있고, 사용수명을 연장할 수 있다.
상기와 같은 기술적 과제의 해결 및 목적을 달성하기 위한 수단과 구성을 갖춘 본 발명의 실시 양태는 밸브 게이트와 회전축이 스토퍼홈과 제1스토퍼 및 슬롯과 제2스토퍼에 의해 상호 간에 안정적인 고정 위치를 유지하고, 아울러 지그와 고정볼트 및 축볼트와 홀더링에 의해 견고한 지지 및 고정 상태를 유지하기 때문에 밸브 게이트가 통로를 폐쇄 시 편심 하중 등에 의해 한쪽으로 비틀어지거나 처지는 것을 방지할 수 있다.
따라서 밸브 게이트가 개폐작동 과정에서 밸브 바디와 접촉으로 긁히거나 찍히면서 파티클(particle)이 발생하는 것을 미연에 방지할 수 있을 뿐만 아니라 락킹링과 사이에 틈새가 발생하는 것을 막아 쳄버 내의 압력이나 가스의 누설(leak)로 인한 웨이퍼의 불량률을 최소화함은 물론 신뢰성을 향상시키고 사용수명을 연장할 수 있다.
도 1은 종래의 건식 식각 장치를 개략적으로 나타낸 블록도이다.
도 2는 종래기술에 따른 건식 식각 장치의 챔버와 진공 펌프 사이의 연결관에 설치된 진자 밸브를 나타낸 부분 단면도이다.
도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 반도체 설비용 진자 밸브를 나타낸 부분 단면도이다.
도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 반도체 설비용 진자 밸브의 요부를 분해하여 나타낸 사시도이다.
도 5는 본 발명의 실시 예에 따른 반도체 설비용 진자 밸브의 국부를 나타낸 사시도이다.
도 6은 본 발명의 실시 예에 따른 반도체 설비용 진자 밸브의 국부를 나타낸 부분 단면도이다.
이하, 본 발명에 따른 실시 예를 첨부된 도면을 참조하여 보다 구체적으로 설명한다.
이에 앞서, 후술하는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 것으로서, 이는 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 개념과 당해 기술분야에서 통용 또는 통상적으로 인식되는 의미로 해석하여야 함을 명시한다.
또한, 본 발명과 관련된 공지기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.
여기서, 첨부된 도면들은 기술의 구성 및 작용에 대한 설명과 이해의 편의 및 명확성을 위해 일부분을 과장하거나 간략화하여 도시한 것으로, 각 구성요소가 실제의 크기와 정확하게 일치하는 것은 아님을 밝힌다.
아울러 어떤 부분이 어떤 구성요소를 포함한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성 요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.
도 3 내지 도 6에 도시된 바와 같이 본 발명의 실시 예에 따른 반도체 설비용 진자 밸브(1)는 프로세스 챔버와 진공 펌프 사이의 연결관상에 설치되는 것으로, 한쪽에 챔버 및 터보 펌프와 통하는 통로(11)가 형성된 밸브 바디(10)와, 이 밸브 바디(10)의 통로(11)를 진자 운동으로 개폐하는 밸브 게이트(20) 및 이 밸브 게이트(20)와 중심부가 볼팅 체결되고 스텝 모터(40)로부터 구동력을 전달받아 밸브 게이트(20)를 회전 작동시키는 회전축(30)을 포함한다.
밸브 바디(10)의 내부에는 통로(11)와 통하는 작동실(12)이 수평으로 형성되어 있다.
밸브 게이트(20)는 상면 및 하면의 안쪽 부분이 그 가장자리보다 낮게 패인 원판의 일측에 회전축(30)과 결합을 위한 결합부(25)가 일정 길이로 돌출된 형상으로 이루어져 있다.
그리고 밸브 게이트(20)는 스텝 모터(40)의 작동에 의해 회전되면서 밸브 바디의 통로(11)를 개폐하도록 한쪽이 회전축(30)의 상부와 볼팅 결합되어 있다.
즉, 밸브 게이트(20) 회전축의 나사구멍(31)과 대응되는 위치의 결합부(25)에 일정 폭과 길이를 갖는 슬롯(21)이 형성되어 있고, 이 슬롯(21)의 가장자리 둘레에는 슬롯(21)이 갖는 폭과 길이보다 상대적으로 폭이 넓고 길이가 긴 결합턱(22)이 형성되어 있고, 회전축(30)의 상면과 대향하는 결합부(25)의 하면에는 스토퍼홈(23)이 형성되어 있다.
회전축(30)은 마치 원기둥 형상으로 이루어져 중심부에 밸브 게이트(20)와의 볼팅 결합을 위한 나사구멍(31)이 형성되어 있고, 상부가 밸브 바디(10)의 한쪽 하부에서 밸브 바디(10)의 작동실(12) 내로 삽입된 채로 장착되어 있다.
그리고 회전축(30)의 밸브 게이트(20)의 결합부(25) 하면과 대향하는 상면에는 밸브 게이트의 스토퍼홈(23)에 압입 또는 삽입되는 제1스토퍼(32)가 돌출 형성되어 있고, 이 제1스토퍼(32) 및 나사구멍(31)과 동일선상을 이루는 밸브 게이트(20)와 대향하는 상면 즉, 나사구멍(31)을 중심점으로 제1스토퍼(32)와 반대쪽 상면에는 슬롯(21)에 삽입되는 제2스토퍼(33)가 돌출 형성되어 있으며, 이 제1 및 제2스토퍼(32)(33)와 나사구멍(31)과 동일선상을 이루는 밸브 게이트(20)와 대향하는 상면의 가장자리에 지그 나사구멍(34)이 형성되어 있다.
여기서, 밸브 게이트의 결합부(25)는 축볼트(70)를 이용하여 회전축(30)과 볼팅 체결하는데, 이때 축볼트(70)의 나사부는 슬롯(21)을 통하여 회전축의 나사구멍(31)과 나사 결합하고, 축볼트(70)의 머리부는 결합턱(22) 위에 바로 걸쳐지도록 체결할 수 있고, 회전축(30)에 대한 밸브 게이트(20)의 결합력 한층 강화하기 위해 축볼트(70)의 머리부와 결합턱(22) 사이에 홀더링(80)를 걸친 상태로 조일 수도 있다.
아울러 축볼트(70)로는 와셔 일체형 볼트를 채용함으로써 진동에 의해 쉽게 풀리는 것을 방지할 수 있다.
스텝 모터(40)는 제어부의 신호에 따라 작동하며, 밸브 게이트(20)를 회전 작동시키도록 회전축(30)과 기어, 풀리, 체인 등의 동력전달수단에 의해 연결되어 있다.
즉, 스텝 모터(40)가 제어부로부터 전기적 신호를 전달받아 미리 정해진 값에 따라 회전하여 회전축(30)을 회전시키면, 이와 연동하여 밸브 게이트(20)가 회전축(30)을 회전 중심점으로 하여 작동실(12) 내에서 회전하면서 진자식으로 밸브 바디의 통로(11)를 개폐하여 챔버 내의 압력 및 가스 배출량을 조절하게 된다.
아울러 본 발명의 실시 예에 따른 반도체 설비용 진자 밸브(1)는 하부가 밸브 게이트의 슬롯(21)을 통해 회전축의 지그 나사구멍(34) 위에 밀착 결합되는 지그(50)와, 이 지그(50)와 함께 밸브 게이트(20)의 결합부(25) 단부를 회전축(30)에 고정하는 고정볼트(60)를 더 포함한다.
즉, 지그(50)는 양쪽으로 슬롯(21)의 폭 방향을 가로질러 결합턱(22) 위에 걸쳐지는 밀착날개부(51)가 돌출 형성되어 있고, 그 중앙부에는 회전축의 지그 나사구멍(34)과 통하는 볼트구멍(52)이 형성되어 있다.
또한, 고정볼트(60)는 지그(50)가 밸브 게이트(20)의 한쪽 단부를 회전축(30)에 고정하는 상태를 견고하게 유지시키도록 지그의 볼트구멍(52)을 통해 회전축의 지그 나사구멍(34)과 볼팅 체결되어 있다.
여기서, 볼트구멍(52)은 고정볼트(60)의 머리가 지그(50)의 표면으로부터 묻히게 하기 위하여 카운터보(counterbore)를 갖는 형태로 형성하는 것이 바람직하고, 아울러 고정볼트(60)의 머리와 볼트구멍(52)의 사이에는 와셔(61)를 끼움으로써 진동에 의한 풀림을 방지할 수 있다.
또한, 고정볼트(60)로는 원형의 나사머리에 정육각형 홈이 파져 있는 육각렌치볼트나 무두볼트 등을 채용함으로써 육각렌치나 스패너 등의 공구로 간편하고 용이하게 조일 수 있다.
한편, 지그(50)와 고정볼트(60) 및 와셔(61)는 내식성이 좋아 녹이 쉽게 생기지 않고 부식이 잘 되지 않으며, 중금속이나 유해물질이 생기지 않고 내구성이 좋아 오랜 시간 사용해도 변형이 생기지 않는 스테인리스 스틸로 형성하는 것이 바람직하다.
이처럼 본 발명의 실시 예에 따른 반도체 설비용 진자 밸브(1)는 밸브 게이트(20)와 회전축(30)이 서로 안정적인 고정 위치를 유지하는 데다 지그(50)와 고정볼트(60) 및 축볼트(70)와 홀더링(80)의 결합력에 의해 이중으로 더욱 견고한 지지 및 고정 상태를 유지하기 때문에 종래와 달리 축볼트(70)에 밸브 게이트(20)의 편심 하중 등이 집중되어 풀리거나 헐거워지는 현상이 없어서 밸브 게이트(20)가 밸브 바디의 통로(11)를 폐쇄 시 한쪽으로 비틀어지거나 처지면서 밸브 바디(10)와 접촉으로 긁히거나 찍히면서 파티클(particle)이 발생하는 것을 방지할 수 있을 뿐만 아니라 락킹링과의 거리를 항상 최적의 상태로 일정하게 유지하여 챔버 내의 압력이나 가스가 누설(leak)되는 것을 확실하게 방지할 수 있다.
한편, 본 발명은 상술한 실시 예 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 안에서 예시되지 않은 여러 가지 변형과 응용이 가능함은 물론 구성요소의 치환 및 균등한 타 실시 예로 변경하여 폭넓게 적용할 수도 있음은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진자에게 있어서 명백하다.
그러므로 본 발명의 특징에 대한 변형과 응용에 관계된 내용은 본 발명의 기술사상 및 범위 내에 포함되는 것으로 해석하여야 할 것이다.
10: 밸브 바디 11: 통로
12: 작동실 20: 밸브 게이트
21: 슬롯 22: 결합턱
23: 스토퍼홈 30: 회전축
31: 나사구멍 32: 제1스토퍼
33: 제2스토퍼 34: 지그 나사구멍
40: 스텝 모터 50: 지그
51: 밀착날개부 52: 볼트구멍
60: 고정볼트 61: 와셔
70: 축볼트 80: 홀더링

Claims (2)

  1. 반도체 소자 제조용 장비의 프로세스 챔버와 진공 펌프 사이의 연결관상에 설치되며, 내부에 상기 연결관과 통하는 통로가 형성되고, 상기 통로와 통하는 작동실이 형성된 밸브 바디와, 상기 밸브 바디의 내부에 설치되어 진자 운동으로 상기 통로를 개폐하는 밸브 게이트 및 상기 밸브 게이트의 한쪽과 중심부가 볼팅 체결되고 스텝 모터로부터 구동력을 전달받아 상기 밸브 게이트를 회전 작동시키는 회전축을 포함하는 진자 밸브에 있어서,
    상기 밸브 게이트는, 상기 회전축의 나사구멍과 대응되는 위치에 슬롯이 형성되고, 상기 슬롯의 가장자리 둘레에 결합턱이 형성되고, 상기 회전축과 대향하는 면에 스토퍼홈이 형성되며,
    상기 회전축은, 상기 밸브 게이트와 대향하는 면에 상기 스토퍼홈에 삽입되는 제1스토퍼가 형성되고, 상기 제1스토퍼와 동일선상의 상기 밸브 게이트와 대향하는 면에 상기 슬롯에 삽입되는 제2스토퍼가 형성되고, 상기 제1 및 제2스토퍼와 동일선상의 상기 밸브 게이트와 대향하는 면의 가장자리에 지그 나사구멍이 형성되며,
    상기 밸브 게이트의 슬롯을 통해 상기 회전축의 지그 나사구멍 위에 밀착 결합하되, 양쪽으로 상기 슬롯을 가로질러 상기 결합턱에 걸쳐지는 밀착날개부가 형성되고, 중앙부에 상기 지그 나사구멍과 통하는 볼트구멍이 형성된 지그; 및
    상기 지그의 볼트구멍을 통해 상기 회전축의 지그 나사구멍과 볼팅 체결되고, 상기 지그가 상기 밸브 게이트의 한쪽 단부를 상기 회전축에 고정하는 상태를 유지시키는 고정볼트;
    를 더 포함하는 반도체 설비용 진자 밸브.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 슬롯을 통해 상기 회전축의 나사구멍과 볼팅 체결되는 축볼트;
    상기 축볼트와 상기 나사구멍 간의 볼팅 체결 시 상기 결합턱에 걸쳐져 상기 회전축에 대한 상기 밸브 게이트의 결합력 강화하는 홀더링;
    을 더 포함하는 반도체 설비용 진자 밸브.
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