JP2019532493A - 真空チャンバ用のドアシール - Google Patents

Abstract

インフレータブルスリットバルブ開口部シールを有する真空チャンバが、本書に記載されている。一例では、真空チャンバは、チャンバ本体と、第１のインフレータブルシールと、第１のスリットバルブドアとを含む。チャンバ本体は、頂部と、底部と、側壁とを有する。第１のスリットバルブ開口部は、側壁内に形成されている。第１のインフレータブルシールは、側壁に密封連結され、第１のスリットバルブ開口部に外接している。第１のインフレータブルシールは、側壁に連結された基部と、基部に対して横方向に移動することができる空洞の管状部とを有する。第１のスリットバルブドアは、第１のスリットバルブドアとチャンバ本体との間に真空シールをもたらすために第１のインフレータブルシールに接触している閉じた状態と、第１のスリットバルブドアが第１のスリットバルブ開口部から離れるように位置づけされている開いた状態との間で移動可能である。【選択図】図５

Description

［０００１］本書に記載の実行形態は概して、真空チャンバ用のドアシールに関し、より具体的には、真空チャンバ用のドアシールを有する真空チャンバに関する。

関連技術の説明
［０００２］プラズマディスプレイパネル、液晶ディスプレイ、ソーラーパネル、有機発光ダイオード（ＯＬＥＤ）ディスプレイは頻繁に、ディスプレイ及びソーラーパネルのために使用されている。ディスプレイ及びソーラーパネルの製造中に、ファクトリインターフェースの大気環境から、基板が処理される処理システムの真空環境へ、大面積基板を移送する必要がある。大気環境から基板を受け入れ、真空状態までポンプダウンした後に、基板を処理システムの真空環境へ導入するために、ロードロックチャンバが用いられる。大気環境及び真空環境からのロードロックチャンバの選択的な分離は、スリットバルブを使用して達成される。

［０００３］スリットバルブは概して、スリットバルブドアのシール面に接触するシールと、ロードロックチャンバに固定された、又はロードロックチャンバの一部であるスリットバルブシール板とを含む。ロードロックチャンバが真空状態までポンプダウンされ、大気まで通気され、再び真空状態までポンプダウンされたときの圧力差に起因して、チャンバ本体とドアがわずかに曲がるため、スリットバルブドアとスリットバルブシール板が相対的に移動する。ドアとシール板が相対的に移動したときに、ドアとシール板との間に真空シールをもたらすために用いられるＯリング又はシールガスケット等のシールがこれらの面の１つに当たって擦られ又は滑動しうるため、処理汚染となりうる不必要な粒子が不所望に生成される。更に、擦られることによりシールの寿命が短縮され、より頻繁にシールを交換する必要がある。

［０００４］したがって、真空チャンバ用の改善されたスリットバルブドアシールが必要である。

［０００５］本書に記載の実行形態は、インフレータブルスリットバルブシールを有する真空チャンバを含む。一例において、真空チャンバは、チャンバ本体と、第１のインフレータブルシールと、第１のスリットバルブドアとを含む。チャンバ本体は、頂部と、底部と、側壁とを有する。第１のスリットバルブ開口部は、側壁内に形成される。第１のインフレータブルシールは、側壁に密封連結され、第１のスリットバルブ開口部に外接している。第１のスリットバルブドアは、第１のスリットバルブドアとチャンバ本体との間に真空シールをもたらすために第１のインフレータブルシールに接触している閉じた状態と、第１のスリットバルブドアが第１のスリットバルブ開口部から離れるように位置づけされている開いた状態との間で移動可能である。第１のインフレータブルシールは、側壁に連結された基部と、スリットバルブドアが閉じた状態にあるときに基部に対して横方向に移動することができる空洞の管状部とを有する。

［０００６］別の実施例では、真空チャンバは更に、側壁を通して形成された第２のスリットバルブ開口部と、閉じた位置と開いた位置との間で移動可能な第２のスリットバルブドアと、第２のインフレータブルシールとを含む。開いた位置において、第２のスリットバルブドアは、基板の通過を可能にするように第２のスリットバルブ開口部から離れている。第２のインフレータブルシールは、第２のスリットバルブドアが閉じた位置、例えば閉じた状態にあるときに、第２のスリットバルブ開口部を密封するように位置づけされる。

［０００７］更に別の実施例では、チャンバ本体と、第１のスリットバルブドアと、第１のインフレータブルシールと、シールクランプとを含む真空チャンバが提供される。チャンバ本体は、頂部と、底部と、側壁とを有する。側壁は、側壁内に形成された少なくとも第１のスリットバルブ開口部を有する。第１のスリットバルブドアは、閉じた状態と開いた状態との間で移動可能である。第１のスリットバルブドアは、開いた状態にあるときに第１のスリットバルブ開口部から離れるように位置づけされる。第１のインフレータブルシールは、第１のスリットバルブドアとチャンバ本体との間に配置され、第１のスリットバルブ開口部に外接している。第１のインフレータブルシールは、ネック部によって空洞の管状部に連結された基部を有する。空洞の管状部により、第１のスリットバルブドアが閉じた位置にあるときに、第１のスリットバルブドアとチャンバ本体との間にシールがもたらされる。第１のインフレータブルシールの空洞の管状部は、約９０ショアＡ未満のデュロメータ値を有する。シールクランプは、空洞の管状部の幅よりも少なくとも５％広い幅を有する凹部を有する。凹部は開孔を有し、開孔を通してネック部が、基部に対して横方向に移動できる空洞の管状部を延ばしており、凹部の幅は、第１のスリットバルブドアが閉じた状態にある間に第１のスリットバルブドアが基部に対して横方向に移動したときに、空洞の管状部を基部に対して回る形で変形させることが可能になるほど十分な幅である。

［０００８］上述した本発明の特徴を詳細に理解できるように、一部が添付の図面に例示されている実行形態を参照しながら、上記に要約した本発明をより具体的に説明する。しかし、添付の図面は本発明の典型的な実行形態のみを示すものであり、したがって、実行形態の範囲を限定するものと見なすべきではなく、本発明は他の等しく有効な実行形態も許容しうることに留意されたい。

ファクトリインターフェースを移送チャンバに連結させるロードロックチャンバを有する真空処理システムの部分断面図である。 ロードロックチャンバのチャンバ本体に連結された、膨張していない状態のインフレータブルシールを示すロードロックチャンバの部分断面図である。 膨張した状態のインフレータブルシールを示す、ロードロックチャンバのチャンバ本体の部分断面図である。 スリットバルブドアが閉じた状態にある状態を示す、チャンバ本体に取り付けられたインフレータブルシールの部分断面図である。 スリットバルブドアが閉じた状態にある間にスリットバルブドアに対してチャンバ本体が移動している状態を示すチャンバ本体に取り付けられたインフレータブルシールの部分断面図である。 インフレータブルシールを有するスリットバルブドアの断面図である。 スリットバルブ開口部を示すロードロックチャンバの部分平面図である。

［００１６］理解しやすくするために、可能な場合には、図に共通する同一の要素を指し示すのに同一の参照番号を使用した。１つの実行形態で開示された要素は、具体的な記述がなくても、他の実行形態で有益に使用できると想定されている。

［００１７］本書に記載の実行形態は、真空チャンバと、真空チャンバのチャンバ本体を通して形成されたスリットバルブ開口部を密封するのに用いられるスリットバルブドアとの間に強固なシールをもたらすように用いられるインフレータブルシールを提供する。有益なことに、ドアが閉じた位置にあるときにチャンバ本体とドアが何らかの相対運動を行う条件においてシールがチャンバ本体又はドアを擦ることなくわずかに回ることが可能になるような方法でチャンバ本体又はドアに取り付けられたインフレータブルドアシールにより、粒子の発生の可能性が大幅に削減される一方で、シールの寿命が延びる。

［００１８］インフレータブルドアシールは、例えばロードロックチャンバ等の、真空環境と周囲環境との間を密封するために用いられる真空チャンバ用に特に好適であるが、インフレータブルドアシールを、例えば移送チャンバ、処理チャンバ等の他の種類の真空チャンバにおいて用いることが可能である。

［００１９］図１は、ファクトリインターフェース１０４を移送チャンバ１３０に連結させるロードロックチャンバ１０２を有する真空処理システム１００の部分断面図である。図示していないが、少なくとも一または複数の処理チャンバが移送チャンバ１３０に連結される。ファクトリインターフェース１０４の内部１０８は概して、移送チャンバ１３０の内部１３２が概して真空下に維持されている間に、大気環境に維持される。

［００２０］ロードロックチャンバ１０２は、チャンバ本体１２８の内部領域１０６内部の真空を維持するのに適したチャンバ本体１２８を含む。基板支持体１２６は、従来既知のように、チャンバ本体１２８の内部領域１０６内部に配置され、ファクトリインターフェース１０４内部に配置されたファクトリインターフェースロボットと、移送チャンバ１３０内部に配置された真空ロボットを用いて、基板（図示せず）の交換をしやすくするように構成される。

［００２１］圧力制御システム１２２は、チャンバ本体１２８を通して形成された一または複数のポート１２４を通してロードロックチャンバ１０２に連結される。圧力制御システム１２２は、基板がロードロックチャンバ１０２と移送チャンバ１３０との間で交換されるときに、既定の真空条件までチャンバ本体１２８の内部領域１０６をポンプダウンするように構成される。圧力制御システム１２２は、基板がロードロックチャンバ１０２とファクトリインターフェース１０４との間で交換されるときに、大気条件までチャンバ本体１２８の内部領域１０６を通気するように構成される。圧力制御システム１２２は、従来既知のように、チャンバ本体１２８の内部領域１０６の圧力を変えやすくするために、様々なポンプ、流れコントローラ及びバルブを含む。

［００２２］チャンバ本体１２８は、頂部１６２と、底部１６４と、側壁１６６、１６８とを含む。第１のスリットバルブ開口部１１０は、チャンバ本体１２８の側壁（例えば、側壁１６６）のうちの１つを通して形成される。スリットバルブ開口部１１０は、チャンバ本体１２８の内部領域１０６をファクトリインターフェース１０４の内部１０８と接続させる、ファクトリインターフェース１０４の本体１３８内に形成された通路１７２に合わせてアライメントされる。第２のスリットバルブ開口部１７４は、側壁（例えば、側壁１６８）のうちの別の１つを通して形成される。第２のスリットバルブ開口部１７４は、チャンバ本体１２８の内部領域１０６を移送チャンバ１３０の内部１３２と接続させる、移送チャンバ１３０の本体１３６内に形成された通路１３４に合わせてアライメントされる。スリットバルブ開口部１１０、１７４は概して、規定のサイズを有する基板の通路を収容するように構成される。一実施形態では、基板は、例えばソーラー、フラットパネル又はＯＬＥＤの製造において用いられる大面積基板である。他の実施形態では、基板は、真空処理チャンバで処理される半導体ウエハ又は他の基板でありうる。

［００２３］スリットバルブドア１１２は、各スリットバルブ開口部１１０、１７４に隣接して配置される。各スリットバルブドア１１２は、ヒンジ１４０によってチャンバ本体１２８、１３６、１３８のうちの１つに接続される。スリットバルブドア１１２は、チャンバ本体１２８の外側に配置されたモータ又は空圧シリンダー等のアクチュエータ（図示せず）によって（閉じた状態と開いた状態との間で）移動可能である。閉じた状態において、スリットバルブドア１１２は、更に以下に説明するように、チャンバ本体１２８、１３６、１３８のうちの１つに取り付けられたインフレータブルシール１１４に接触することによってスリットバルブ開口部１１０、１７４を密封する。開いた状態において、スリットバルブドア１１２は、ロボットによってスリットバルブ開口部１１０、１７４を通して基板をチャンバ間で移送することが可能になるように、例えば回転することによってスリットバルブ開口部１１０、１７４から離れるように移動する。

［００２４］図１に示す実施形態では、一方のスリットバルブドア１１２がチャンバ本体１３８に接続され、他方のスリットバルブドア１１２がチャンバ本体１２８に接続される。この配置では、１つのチャンバが真空条件にあり、隣接するチャンバが大気条件にあるときに、スリットバルブドア１１２はスリットバルブ開口部１１０、１７４の大気側にある。他の実施形態では、スリットバルブドア１１２が反対方向に開くように、スリットバルブドア１１２を反対側のチャンバに取り付けることができる。

［００２５］流体制御システム１１８は、インフレータブルシール１１４に連結される。一例において、流体制御システム１１８は、チャンバ本体１２８を通って迂回する導管１１６を通ってインフレータブルシール１１４に連結される。流体制御システム１１８は、インフレータブルシール１１４を制御しながら加圧及び通気することを可能にするポンプ及びバルブを含む。流体制御システム１１８の動作の制御は、例えばプログラム可能な論理制御装置（ＰＬＣ）等のコントローラ１２０によって提供される。

［００２６］流体制御システム１１８は、ドア１１２が移動し、閉じた状態に維持されたときに、インフレータブルシール１１４を膨張条件に維持するように動作可能である。インフレータブルシール１１４は、ドア１１２が開いた状態及び閉じた状態のいずれかにあるときに、流体制御システム１１８によって膨張条件に維持されうる。一実施形態では、流体制御システム１１８は、シール１１４にドア１１２が最初に接触したときの低い圧力から、シール１１４に対するドア１１４の接触力がシール１１４との接触後に増加したときの、より高い圧力まで、インフレータブルシール１１４内部の圧力を調節するように動作可能である。一実施形態では、流体制御システム１１８は、ドア１１２全体の圧力差の変化に応じてインフレータブルシール１１４内部の圧力を調節するように動作可能である。更に別の実施形態では、流体制御システム１１８は、ドア１１２を閉じた位置へと促す閉じる力の変化に応じてインフレータブルシール１１４内部の圧力を調節するように動作可能である。

［００２７］インフレータブルシール１１４は概して、第１のスリットバルブ開口部１１０に外接する。インフレータブルシール１１４は概して、所定のサイズを有する基板を通過できるようにするのに適した細長い長方形の形状を有する。一例では、シール１１４の長さは少なくとも２９５０ｍｍであり、幅は少なくとも１４０ｍｍである。インフレータブルシール１１４は、例えばＶＩＴＯＮ（登録商標）等のフッ素重合体エラストマー、ＫＡＬＲＥＺ（登録商標）等のパーフルオロエラストマー、又は他の適切なエラストマーから製造されうる。インフレータブルシール１１４は、例えば約６０ショアＡ等の約９０ショアＡ未満のデュロメータ値を有しうる。

［００２８］図２は、ロードロックチャンバ１０２のチャンバ本体１２８に連結された膨張していない状態のインフレータブルシール１１４を示すロードロックチャンバ１０２の部分断面図である。インフレータブルシール１１４は、シールクランプ２１０によってチャンバ本体１２８の側壁１６６に取り付けられる。チャンバ本体１２８の側壁１６６は、スリットバルブ開口部１１０に外接する凹部２００を含む。凹部２００は、シールクランプ２１０を受け入れるようにサイズ設定される。一例において、凹部２００は、ほぼ長方形の形状を有し、その上ほぼ長方形の輪郭を有する。流体制御システム１１８（図１に示す）をインフレータブルシール１１４に連結させる導管１１６は、凹部２００とシールクランプ２１０を通して迂回しうる。

［００２９］シールクランプ２１０は、真空環境において使用するのに適した剛性材料から製造されうる。一実施形態では、シールクランプ２１０はアルミニウム又はステンレス鋼から製造される。

［００３０］シールクランプ２１０は、取付基部２４０を含む。取付基部２４０は、複数の孔２１２を含む。孔２１２は、チャンバ本体１２８内に形成されたねじ山付きの孔２０２と係合することによって、取付基部２４０をチャンバ本体１２８に連結させる締め具２１６の通路を提供する。孔２１２は、締め具２１６のヘッドを受け入れるための面取りフライス２１４を含みうる。一実施形態では、シールクランプ２１０は、一方がインフレータブルシール１１４の内径に沿っており、もう一方がインフレータブルシール１１４の外径に沿っている２つの片から形成される。

［００３１］シールクランプ２１０はまた、底凹部２２０と頂凹部２４２も含む。底凹部２２０と頂凹部２４２とは、凹部２４２、２２０を分離するフランジ２２２を通して形成された開孔２４５によって接続される。

［００３２］インフレータブルシール１１４は、ネック部２３８によって空洞の管状部２５８に連結される基部２５０を含む。基部２５０は、シールクランプ２１０の底凹部２２０よりもわずかに大きく、凹部２００よりも小さくなるようにサイズ設定されているため、シールクランプ２１０がチャンバ本体１２８に固定されたときに基部２５０が圧縮され、これにより、チャンバ本体１２８との真空シールが形成される。

［００３３］ネック部２３８は、凹部２４２、２２０を分離するフランジ２２２を通して形成された開孔２４５を通って延びる。通路２５２（点線で示す）はネック部２３８と基部２５０とを通って迂回し、導管１１６に連結される。導管１１６は、チャンバ本体１２８を通して形成された孔２０４を通って迂回する。導管１１６は、孔２０４内に配置されたシール２５６を含みうる、あるいはそれと係合しうる。通路２５２は、管状部２５８の空洞内部２６０に流体接続され、これにより、空気、窒素、水又は他の好適な流体等の流体が流体制御システム１１８によって選択的に供給され除去されて管状部２５８の膨張／収縮が制御される。一実施形態では、流体制御システム１１８は、約６０ＰＳＩ以上の空気を管状部２５８の空洞内部２６０へ供給しうる。

［００３４］膨張可能なシール１１４の管状部２５８は、シールクランプ２１０の頂凹部２４２内に部分的に配置される。管状部２５８は、外側のシール面２６２を含む。外側のシール面２６２は概して、それ自体の膨張していない状態では平坦であり、これは、使用中に良好な接触シール面を維持する助けとなる。管状部２５８はまた、管状部２５８を含むポリマーを補強する布心（点線で示す）も含みうる。管状部２５８と基部２５０は概して、開孔２４５よりも大きく、これにより、インフレータブルシール１１４がシールクランプ２１０内に保たれる。

［００３５］インフレータブルシール１１４の管状部２５８の幅は概して、収縮したときに、頂凹部２４２の幅よりも小さい。インフレータブルシール１１４の管状部２５８の高さは、収縮したときに、頂凹部２４２の深さよりも大きくてよい。

［００３６］インフレータブルシール１１４の管状部２５８への損傷を防止するために、頂凹部２４２の底部２４４と側壁２４６との間の交点２０６には、半径が含まれうる。一例において、交点２０６は、側壁２４６の全高を包含する全径を有しうる。

［００３７］図３は、膨張した状態にあるインフレータブルシール１１４を示す、ロードロックチャンバ１０２のチャンバ本体１２８の部分断面図である。膨張した状態において、流体制御システム１１８が管状部２５８の空洞内部２６０へ流体を供給することで、管状部２５８が、チャンバ本体１２８の側壁１６６の外面を越えて、少なくとも６ｍｍの高さ３１０まで拡張する。一実施形態では、流体制御システム１１８は、６０ＰＳＩ以上の空気を供給しうる。膨張した状態において、管状部２５８の側面３０２は、頂凹部２４２の側壁２４６から離れるように移動する。

［００３８］図４は、スリットバルブドア１１２が閉じた位置にあり、インフレータブルシール１１４に接触しているときに膨張した状態にあるインフレータブルシール１１４の部分断面図である。インフレータブルシール１１４に対するスリットバルブドア１１２の力により、インフレータブルシール１１４の管状部２５８が圧縮され、わずかに広がる。しかしながら、頂凹部２４２は管状部２５８よりもかなり幅が広いため、管状部２５８の側面３０２は、少なくとも１ｍｍ、例えば１．５ｍｍ以上の距離４００ほど、頂凹部２４２の側壁２４６から離れたままである。例えば、シールクランプ２１０の頂凹部２４２は、インフレータブルシール１１４が膨張した状態にあるときに、空洞の管状部２５８の幅よりも少なくとも１．４％大きい幅を有する頂凹部２４２を有する。空洞の管状部２５８の幅は、基部２５０に平行であると定義される。

［００３９］距離４００により、インフレータブルシール１１４が膨張した状態にあるときに、管状部２５８が空洞の管状部２５８の幅の少なくとも１．４％だけ横方向に回ることが可能になる。例えば、図５に示す矢印５１０によって示すように、スリットバルブドア１１２が閉じた状態にある間にスリットバルブドア１１２がチャンバ本体１２８に対して横方向に移動したときに、空洞の管状部２５８が基部２５０に対して１ｍｍ以上横方向に移動しうる。別の実施例では、図５に示す矢印５１０によって示すように、スリットバルブドア１１２が閉じた状態にある間にスリットバルブドア１１２がチャンバ本体１２８に対して横方向に移動したときに、空洞の管状部２５８が基部２５０に対して２ｍｍだけ横方向に移動しうる。

［００４０］図５に示すように、平坦な外側のシール面２６２はスリットバルブドア１１２と良好に密封接触し、これにより、十分な摩擦が起きて、管状部２５８が矢印５２０に示すように戦車軌道又はキャタピラー軌道のような形態で回り、管状部２５８の外側のシール面２６２がスリットバルブドア１１２と非滑動接触したままである間、また管状部２５８の一部の底部がシールクランプ２１０と非滑動接触したままである間に、管状部２５８が基部２５０に対して横方向に移動することが可能になる。したがって、インフレータブルシール１１４は、スリットバルブドア１１２が閉じた状態にある間、スリットバルブドア１１２とチャンバ本体１２８との間の相対運動に適応する。

［００４１］距離４００は概して、インフレータブルシール１１４の側面の距離５００が、スリットバルブドア１１２が規定の距離だけ移動したときにインフレータブルシール１１４の側面３０２が頂凹部２４２の側面２４６から離れたままになるほど十分大きいものとなるように選択される。距離５００が距離４００よりも小さくなるにつれ、インフレータブルシール１１４の反対側の距離５０２は逆に、距離４００よりも大きくなるように増加する。

［００４２］凹部２４２内のインフレータブルシール１１４の移動を示す図７を手短に参照する。図７は、スリットバルブ開口部１１０を示すロードロックチャンバ１０２の部分平面図である。ロードロックチャンバ１０２は、スリットバルブドア１１２が開いた位置にある、例えば開いた状態にあるときは、高圧下にありうる。スリットバルブドア１１２が閉じた位置へ移動すると、ロードロックチャンバ１０２内部の圧力がおおよそ真空圧までポンプダウンされる。スリットバルブ開口部１１０は、スリットバルブ開口部１１０を通って移送される基板に適応するように構成される高さ７２０と幅７５０とを有する。

［００４３］ロードロックチャンバ１０２が真空圧までポンプダウンされると、チャンバ本体１３６の頂部１６２、底部１６４、及び側壁１６６、１６８に作用する差圧力に起因して、スリットバルブ開口部１１０が変形しうる。スリットバルブ開口部１１０の高さ７２０が幅７５０よりもかなり小さいことに起因して、スリットバルブ開口部１１０は、真空下にあるときに、スリットバルブ開口部１１０の中心部に沿って、大気圧における元の高さ７２２から圧縮された高さ７２４を有する。幾つかの実施形態では、チャンバ本体１３６の頂部１６２、底部１６４、及び側壁１６６、１６８に対する圧縮圧の負荷下で、側壁１６６、１６８が圧縮された高さ７２４にゆがんだときの高さ７２０の変化は２ｍｍ程度でありうる。例えば、高さ７２０の元の高さ７２２は約５０ｍｍと約２００ｍｍとの間であってよく、例えばチャンバ１０２が大気圧にあるときは約１２０ｍｍである。チャンバ１０２が真空圧までポンプダウンされると、スリットバルブ開口部１１０の高さ７２０は、開口部１１０の端部に近接する元の高さ７２２と同じであってよいが、すなわち圧縮された高さ７２４によって示すように、幅７５０に沿ってゆがむ。圧縮された高さ７２４は、元の高さ７２２よりも約１．５ｍｍ小さい場合がある。

［００４４］高さ７２０に対して大幅に大きい開口部１１０の幅７５０に起因して、開口部１１０の中心のゆがみの方が概して、もっと大きくなる。したがって、インフレータブルシール１１４は、シール１１４の管状部２５８の角に近接する部分よりも、管状部２５８の直線の長さの中心部での方がもっとゆがみうる、すなわち回りうる、あるいは横方向に移動しうる。

［００４５］頂凹部２４２により、スリットバルブドアがシール１１４と接触している間にスリットバルブ開口部１１０が圧力下で高さ７２０から低い高さ７２０までわずかに変形すると、インフレータブルシール１１４が側壁１６６の移動とともに回ることが有益に可能になる。したがって、チャンバが大気圧及び真空圧との間を循環するときに、シール１１４は、シール１１４が擦れるのを実質的に防止するスリットバルブドア１１２に対する側壁１６６、１６８の移動に適応する。側壁１６６、１６８の移動に適応することによって、シール１１４からの粒子の発生が最小限に抑えられうる、あるいは除去されうる。更に、シール１１４が擦れることなく回り、ドア１１２と側壁１６６、１６８との間の相対運動に適応することができることにより、シールの摩耗が削減され、予防保守の間隔とシステムのアップタイムが伸びる。

［００４６］図示したチャンバ本体１３６に取り付けられたインフレータブルシール１１４が同様に取り付けられ、操作される。

［００４７］図６は、インフレータブルシール１１４を有するスリットバルブドア６００の断面図である。スリットバルブドア６００は概して、インフレータブルシール１１４とシールクランプ２１０とを受け入れる凹部６１２を含む。上述したように、ドア６００に取り付けられたインフレータブルシール１１４は、導管１１６によって流体制御システムに連結される。

［００４８］スリットバルブドア６００は、ドア６００が上述したように閉じた状態と開いた状態との間で移動することを可能にするヒンジの一部を形成するシャフトを収容するピボット孔６０４を含む、本体６０２を含む。本体６０２は、裏面６０８及びシール面６０６を有する。シール面６０６は、ドア６００が閉じた状態にあるときに、インフレータブルシール１１４が壁６３０と接触し、壁６３０内に形成されたスリットバルブ開口部６３２に外接するように、隣接する真空チャンバの壁６３０の方へ向いている。

［００４９］図２〜５を参照して上述したのと同じ方法で、シール面６０６内に凹部６１２が形成され、インフレータブルシール１１４及びシールクランプ２１０を受け入れる。

［００５０］真空チャンバ本体とスリットバルブドアとの間に強固なシールをもたらすインフレータブルシールが有益に記載されている。インフレータブルドアシールが、擦れることなく、真空チャンバ本体と閉じたスリットバルブドアとの間の横方向の移動に適応することにより、粒子の発生の可能性が大幅に削減され、シールの寿命が伸びるため、有益である。

［００５１］上記は本発明の実行形態を対象とするが、本発明の基本的な範囲から逸脱することなく、本発明の他のさらなる実行形態を考案することもでき、本発明の範囲は、以下の特許請求の範囲によって決定される。

Claims (20)

1. 頂部と、底部と、側壁とを有するチャンバ本体であって、前記側壁は、前記側壁内に形成された少なくとも第１のスリットバルブ開口部を有する、チャンバ本体と、
   前記側壁に密封連結され、前記第１のスリットバルブ開口部を制限する、第１のインフレータブルシールと、
   第１のスリットバルブドアであって、前記第１のスリットバルブドアとチャンバ本体との間に真空シールをもたらすために前記第１のインフレータブルシールに接触している閉じた状態と、前記第１のスリットバルブドアが前記第１のスリットバルブ開口部から離れるように位置づけされている開いた状態との間で移動可能な第１のスリットバルブドアと
   を備え、
   前記第１のインフレータブルシールは、前記側壁に連結された基部と、前記第１のスリットバルブドアが前記閉じた状態にあるときに前記基部に対して横方向に移動することができる空洞の管状部とを有する、真空チャンバ。
2. 前記第１のインフレータブルシールの前記基部を前記チャンバ本体に密封締付けするシールクランプを更に備える、請求項１に記載の真空チャンバ。
3. 前記チャンバ本体の前記側壁が更に、前記シールクランプを受け入れる溝を含む、請求項２に記載の真空チャンバ。
4. 前記シールクランプが、
   開孔を有する凹部であって、前記第１のインフレータブルシールのネック部が前記開孔を通って延び、該ネック部が前記基部を前記空洞の管状部に連結する、凹部
   を含む、請求項２に記載の真空チャンバ。
5. 前記第１のインフレータブルシールが膨張した状態にあるときに、前記空洞の管状部が、前記基部に対して前記空洞の管状部の直径の少なくとも１．４％の距離にわたって、横方向に回るように構成されている、請求項１に記載の真空チャンバ。
6. 前記距離は少なくとも１ｍｍである、請求項５に記載の真空チャンバ。
7. 前記第１のインフレータブルシールは、
   前記第１のインフレータブルシールを膨張させるための導管であって、前記側壁内に形成された前記凹部を通って前記基部から延びている導管
   を含む、請求項４に記載の真空チャンバ。
8. 前記側壁を通して形成された第２のスリットバルブ開口部と、
   閉じた位置と開いた位置との間で移動可能な第２のスリットバルブドアであって、前記開いた位置にあるときは前記第２のスリットバルブ開口部から離れている、第２のスリットバルブドアと、
   前記第２のスリットバルブドアが閉じた位置にあるときに、前記第２のスリットバルブ開口部を密封するように位置づけされた第２のインフレータブルシールと
   を更に備える、請求項１に記載の真空チャンバ。
9. 前記チャンバ本体に連結された圧力制御システムであって、前記チャンバ本体を真空条件までポンプダウンして、前記チャンバ本体を大気条件まで通気するように適合された圧力制御システム
   を更に備える、請求項８に記載の真空チャンバ。
10. 前記第１のインフレータブルシールは前記チャンバ本体の内部とは別の方に向いており、前記第２のインフレータブルシールは前記チャンバ本体の内部の方に向いている、請求項８に記載の真空チャンバ。
11. 前記第１のインフレータブルシールの前記空洞の管状部は、約９０ショアＡ未満のデュロメータ値を有する、請求項１に記載の真空チャンバ。
12. 頂部と、底部と、側壁とを有するチャンバ本体であって、前記側壁は、前記側壁内に形成された少なくとも第１のスリットバルブ開口部を有する、チャンバ本体と、
    閉じた状態と開いた状態との間で移動可能な第１のスリットバルブドアであって、前記開いた状態にあるときは前記第１のスリットバルブ開口部から離れるように位置づけされている、第１のスリットバルブドアと、
    前記第１のスリットバルブドアと前記チャンバ本体との間に配置され、ネック部によって空洞の管状部に連結された基部を有する第１のインフレータブルシールであって、前記第１のスリットバルブドアが前記閉じた状態にあるときに、前記空洞の管状部により前記第１のスリットバルブドアと前記チャンバ本体との間にシールがもたらされ、前記第１のインフレータブルシールの前記空洞の管状部は約９０ショアＡ未満のデュロメータ値を有する、第１のインフレータブルシールと、
    前記空洞の管状部の幅よりも少なくとも１．４％広い幅を有する凹部を有するシールクランプであって、前記凹部は開孔を有し、前記開孔を通して前記ネック部が、前記基部に対して横方向に移動できる前記空洞の管状部を延ばしており、前記凹部の幅は、前記第１のスリットバルブドアが前記閉じた状態にある間に前記第１のスリットバルブドアが前記基部に対して横方向に移動したときに、前記空洞の管状部を前記基部に対して回る形で変形させることが可能になるほど十分な幅である、シールクランプと
    を備える、真空チャンバ。
13. 前記第１のスリットバルブドアは更に、
    前記シールクランプを内部に受け入れる凹部であって、開孔を有し、前記開孔を通して前記第１のインフレータブルシール及び前記チャンバ本体に連結された導管が配置されている、凹部
    を含む、請求項１２に記載の真空チャンバ。
14. 前記側壁を通して形成された第２のスリットバルブ開口部と、
    閉じた状態と開いた状態との間で移動可能な第２のスリットバルブドアであって、前記開いた状態にあるときに前記第２のスリットバルブ開口部から離れている、第２のスリットバルブドアと、
    前記第２のスリットバルブドアが閉じた位置にあるときに、前記第２のスリットバルブ開口部を密封するように位置づけされた第２のインフレータブルシールと
    を更に備える、請求項１２に記載の真空チャンバ。
15. 前記第１のインフレータブルシールは前記チャンバ本体の内部とは別の方に向いており、前記第２のインフレータブルシールは前記チャンバ本体の前記内部の方に向いている、請求項１４に記載の真空チャンバ。
16. 前記チャンバ本体に連結された圧力制御システムであって、前記チャンバ本体を真空条件までポンプダウンして、前記チャンバ本体を大気条件まで通気するように適合された圧力制御システム
    を更に備える、請求項１５に記載の真空チャンバ。
17. 前記チャンバ本体に連結されたファクトリインターフェースであって、前記第１のスリットバルブ開口部が前記ファクトリインターフェースと前記チャンバ本体との間で基板を移送することを可能にするように構成されている、ファクトリインターフェースと、
    前記チャンバ本体に連結された移送チャンバであって、前記第１のスリットバルブ開口部が前記移送チャンバと前記チャンバ本体との間で基板を移送することを可能にするように構成されている、移送チャンバと
    を更に備える、請求項１４に記載の真空チャンバ。
18. 前記第１のインフレータブルシールが膨張した状態にあるときに、前記空洞の管状部が前記空洞の管状部の直径の少なくとも１．４％の距離にわたって前記基部に対して横方向に回るように構成されている、請求項１２に記載の真空チャンバ。
19. 前記距離は少なくとも１ｍｍである、請求項１８に記載の真空チャンバ。
20. 前記第１のインフレータブルシールは前記チャンバ本体に連結されている、請求項１２に記載の真空チャンバ。

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