KR20090049168A - 반도체 설비용 진자 밸브 - Google Patents

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KR20090049168A
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Abstract

본 발명은 공정 챔버와 진공펌프 사이를 연결하는 반도체 설비용 진자 밸브에 관한 것이다. 본 발명의 반도체 설비용 진자 밸브는 챔버와 진공 펌프를 연결하는 배기라인에 설치되고 내부는 몸체; 상기 몸체의 내부에 설치되는 진자 플레이트; 상기 진자 플레이트의 진자이동과 업다운이동을 위한 구동부재를 포함한다. 상술한 구성에 의하면, 진자 플레이트가 업다운 이동에 의해 몸체의 챔버측 내면에 밀착되기 때문에 배기라인의 기밀이 이루어진다.
진자, 플레이트, 오링

Description

반도체 설비용 진자 밸브{Pendulum valve for semiconductor equipment}
도 1은 본 발명에 따른 반도체 설비용 진자 밸브의 단면도이다.
도 2a는 배기라인을 개방하는 위치에 놓인 진자 플레이트를 보여주는 진자 밸브의 단면도이다.
도 2b는 배기라인을 차단하는 위치에 놓인 진자 플레이트를 보여주는 진자 밸브의 단면도이다.
도 2c는 승강 구동부에 의해 기밀 위치로 이동된 진자 플레이트를 보여주는 진자 밸브의 단면도이다.
도 2d는 도 2c에 요부를 보여주는 확대도이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호 설명 *
110 : 몸체 120 : 진자 플레이트
124 : 오링 130 : 구동 부재
132 : 구동모터 134 : 승강 구동부
140 : 제어기
본 발명은 반도체 제조 장치에 관한 것으로, 좀 더 구체적으로는 공정 챔버와 진공펌프 사이를 연결하는 반도체 설비용 진자 밸브에 관한 것이다.
반도체 제조 장치 예를 들어, 플라즈마를 이용하는 화학 기상 증착 설비, 식각 설비 등의 진공을 필요로 하는 공간에 진공을 걸어주기 위해서는 진공 펌프를 연결하여 그 챔버를 펌핑할 필요가 있으며, 챔버와 진공펌프 사이를 연결하는 배기라인에는 진자 밸브라는 개폐 장치를 설치하여 배기라인을 개폐하고 진공 펌프로부터의 펌핑 상태를 제어한다.
종래에 따른 반도체 설비용 진자 밸브는 챔버와 진공 펌프를 연결하는 배기라인에 설치되는 몸체와, 몸체의 내부에 설치되어 진자운동하면서 배기라인을 개폐하는 진자플레이트, 진자플레이트를 구동시키는 구동모터, 진자플레이트에 밀착되어 배기라인을 진공펌프측으로 밀봉시키도록 진공펌프 쪽에 위치되어진 시일링과 시일링을 진자 플레이트에 밀착시키는 공기압에 의해 동작되는 업다운 구동부로 구성된다.
상기와 같이 구성된 진자 밸브는 시일링가 업/다운시 실링하기 위해 오링을 사용하는데, 시일링이 업/다운시 오링이 몸체에 닿아 있기 때문에 끊어지는 현상으로 밀폐가 이루어지지 않는 공정 사고의 원인이 된다. 이러한 문제를 해결하기 위해 그리스를 오링에 발라 사용하고 있지만, 그리스로 인해 밸브 내부가 오염되는 문제점이 발생된다.
본 발명의 목적은 신뢰성 있는 밀폐가 이루어질 수 있는 반도체 설비용 진자 밸브를 제공하는 것이다.
본 발명의 목적은 밸브의 내부 오염을 최소화할 수 있는 반도체 설비용 진자 밸브를 제공하는 것이다.
상기 목적들을 달성하기 위한, 본 발명의 반도체 설비용 진자 밸브는 챔버와 진공 펌프를 연결하는 배기라인에 설치되는 몸체; 상기 몸체의 내부에 설치되는 진자 플레이트; 및 상기 진자 플레이트의 진자이동과 업다운이동을 위한 구동부재를 포함한다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 구동부재는 상기 진자 플레이트를 진자 이동시키는 구동모터; 및 상기 진자 플레이트를 업/다운 이동시키는 승강 구동부를 포함한다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 진자 플레이트는 상면 가장자리에 상기 몸체와의 실링을 위한 오링을 더 포함한다.
상기 목적들을 달성하기 위한 본 발명의 반도체 설비용 진자 밸브는 챔버와 진공 펌프를 연결하는 배기라인에 설치되고 내부는 몸체; 상기 몸체의 내부에 설치되어 진자 운동과 업다운 운동하면서 상기 배기라인을 개폐하는 진자 플레이트를 포함한다.
본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 서술하는 실시예로 인해 한정되어지는 것으로 해석되어서는 안된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명 하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 구성 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어진 것이다.
이하 첨부된 도 1 내지 도 2d를 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명에 따른 반도체 설비용 진자 밸브의 단면도이다.
도 1을 참조하면, 진자 밸브(100)는 내부 공간이 형성된 몸체(110)와, 몸체(110)의 내부 공간에 설치되고, 회전되어 배기라인의 통로를 개폐시키는 진자 플레이트(pendulum plate;120), 진자 플래이트(120)를 진자 이동 및 승하강 이동시키는 구동 부재(130) 및 제어기(controller)(140)를 포함한다.
몸체(110)는 공정챔버(미도시됨)에서 펌프(미도시됨)로 이어지는 배기라인(10a, 10b)을 연결하고, 그 배기라인(10a,10b)상에는 배기라인을 통한 가스 등의 유체 흐름에 대응하여 내부 공간을 갖는다. 진자 플레이트(120)는 몸체(110)의 내부에 구동부재(130)에 연결되어 구동축(128)의 회전에 따라 배기라인(10a,10b)의 가스 통로를 개폐한다. 진자 플레이트(120)는 구동부재(130)의 구동모터(132)에 의해 구동축(128)을 중심으로 진자 이동하며, 또한 구동부재(130)의 승강 구동부(134)에 의해 업다운 이동한다. 구동부재(130)는 구동축(128)과 연결되는 구동모터(132)와 구동모터(132)를 포함하여 업다운 이동시키는 승강 구동부(134)를 포함한다. 승강 구동부(134)는 실린더와 같은 유닛이 사용될 수 있다. 승강 구동부(134)는 진자 플레이트(120)가 차단 위치(도 2a에 도시된 위치)로 이동한 경우에만 진자 플레이트(120)를 상승시켜 진자 플레이트(120)가 몸체(110)의 챔버측 내 면(118)에 밀착되도록 한다. 진자 플레이트(120)는 상면 가장자리에 실링을 위한 오링(124)이 설치되어 있다. 그리고 제어기(140)는 진자 밸브(100)의 제반 동작 예를 들어, 압력 제어, 진자 플레이트의 위치 조절, 동작 상태 표시, 인터페이스 및 원격 제어 등을 처리한다. 즉, 제어기(140)는 외부 전자 장치(미도시됨)와 전기적으로 연결되고, 외부 전자 장치로부터 공정 레서피에 대응하여 구동부재(130)를 제어함으로써, 진자 플래이트(120)의 회전 각도 및 승하강 위치를 조절하여 진자 밸브(100)의 개폐 상태를 조절한다.
이러한 구성의 진자 밸브의 구동 과정을 살펴보면 다음과 같다.
도 2a에서와 같이, 공정챔버에 대하여 진공압의 제공이 이루어지는 경우에는 진자플레이트(120)는 구동축(128)을 기준으로 펌프 방향의 배기라인(10b)을 개방하는 위치에 놓인다. 그리고 공정챔버 내부에 대한 배기과정의 종료 즉, 공정챔버 내부의 설정된 진공압 분위기가 이루어지면, 구동축(128)을 회전 중심으로 한 진자플레이트(120)는 펌프 방향의 배기라인을 차단하는 위치에 놓인다(도 2b 참조). 도 2b에서와 같이, 진자 플레이트(120)가 배기라인(10b)을 차단하는 위치로 이동하면, 구동부재(130)의 승강 구동부(134)는 진자 플레이트(120)를 챔버측 방향으로 이동시킨다. 진자 플레이트(120)가 몸체(110)의 챔버측 내면(118)에 밀착되면 진자 플레이트(120)의 상면 가장자리에 설치된 오링(124)에 의해 밀착된 부위에 대한 기밀이 이루어진다. 즉, 진자 플레이트(120)와 몸체의 챔버측 내면(118) 사이가 오링(124)에 의해 기밀이 유지될 수 있음에 따라 공정챔버의 내부는 밀폐된 분위기로 유지될 수 있는 상태를 이룬다. 도 2d는 진자 플레이트(120)에 설치된 오링(124)이 몸체(110)의 챔버측 내면(118)에 밀착되어 기밀이 이루어진 상태를 확대하여 보여준다.
여기서, 본 발명의 진자 밸브는 포지션을 조정하는 진자 플레이트에 오링을 설치하고, 진자 플레이트가 업다운 가능하게 구현함으로써 종래에 시일링에 설치된 오링으로 인해 발생되는 문제점을 해결하여 공정챔버에 대한 기밀유지 관계가 안정적으로 이루어진다.
이상에서, 본 발명에 따른 진자 밸브의 구성 및 작용을 상세한 설명과 도면에 따라 도시하였지만, 이는 실시예를 들어 설명한 것에 불과하며, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화 및 변경이 가능하다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 진자 밸브는 신뢰성 있는 밀폐가 이루어진다. 본 발명의 진자 밸브는 내부 구조를 단순화시킬 수 있다. 본 발명의 진자 밸브는 밸브의 내부 오염을 최소화할 수 있다.

Claims (4)

  1. 반도체 설비용 진자 밸브에 있어서:
    챔버와 진공 펌프를 연결하는 배기라인에 설치되는 몸체;
    상기 몸체의 내부에 설치되는 진자 플레이트;
    상기 진자 플레이트의 진자이동과 업다운이동을 위한 구동부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 설비용 진자 밸브.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 구동부재는
    상기 진자 플레이트를 진자 이동시키는 구동모터; 및
    상기 진자 플레이트를 업/다운 이동시키는 승강 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 설비용 진자 밸브.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 진자 플레이트는
    상면 가장자리에 상기 몸체와의 실링을 위한 오링을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 설비용 진자 밸브.
  4. 반도체 설비용 진자 밸브에 있어서:
    챔버와 진공 펌프를 연결하는 배기라인에 설치되고 내부는 몸체;
    상기 몸체의 내부에 설치되어 진자 운동과 업다운 운동하면서 상기 배기라인을 개폐하는 진자 플레이트를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 설비용 진자 밸브.
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